러셀 사업보고서 (2021.12)
7. 기타 참고사항

가 . 그 밖에 투자의사결정에 필요한 사항 [지적재산권]

번호	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	출원국

1	특허권	화학기상증착장치의반응챔버	(주)러셀	2007/7/13	2009/10/30	Film 증착장비	대한민국

2	특허권	플래시 디스크의 전원공급회로	(주)러셀	2006/2/17	2007/1/15	SDD 전원부위	대한민국

3	특허권	스퍼터링장치	한기대 산학협/
(주)러셀	2012/2/29	2013/10/2	PVD 증착장비	대한민국

4	실용신안권	반도체용 포토레지스트 주입장치	(주)러셀	2011/5/19	2013/3/22	PR 자동 충진 설비	대한민국

5	특허권	캐니스터용 다접점 그리핑장치	(주)러셀	2016/7/29	2017/12/14	PR 자동 충진 설비	대한민국

6	특허권	고점도 용액용 주입장치 및 이를 이용한 액샘방지능을 갖는 밸브시스템	(주)러셀	2016/07/29	2018/07/03	PR 자동 충진 설비	대한민국

7	상표권	제37 반도체검사장비수리업등 9건	(주)러셀	2017/12/06	2018/08/23	-	대한민국

8	특허권	선택적 충전이 가능한 멀티노즐형 용기충전시스템	(주)러셀	2017/01/12	2018/10/24	PR 자동 충진 설비	대한민국

9	특허권	유량제어시스템 및 이를 이용한 공정모니터링시스템	(주)러셀	2017/04/03	2018/10/16	FILM 증착장비	대한민국

10	상표권	제07류 반도체 증착장치등 19건	(주)러셀	2017/12/06	2019/01/28	-	대한민국

11	디자인	유체분사형노즐	(주)러셀	2019/05/30	2019/11/11	PR 자동 충진 설비	대한민국

나. 사업부문별 현황(반도체장비) (1) 산업의 특성 반도체는 모든 IT제품의 필수불가결한 핵심 부품으로서, 컴퓨터를 비롯해 통신장비 및 통신시스템, 자동차, 디지털 가전제품 , 산업기계 그리고 컨트롤 시스템 등 그 적용분야가 매우 광범위합니다. 반도체를 제조하기 위해서는 다양한 공정을 거쳐야 하며, 반도체 산업이 대규모 장치 산업임에 따라 반도체 장비산업, 반도체 재료산업 등 여러 후방산업을 두고 있습니다.

반도체산업의 후방 산업으로 분류되는 반도체 장비시장은 전 세계적으로 확장되고 있습니다. 반도체칩 부분은 메모리반도체와 시스템IC, Foundry 시장으로 구분이 되나, 반도체 장비의 경우는 그 시장 분류에 관계없이 전반적인 반도체 산업의 성장과 경기에 따라 연동하여 움직이는 구조를 보이고 있습니다. 반도체 장비산업의 주요한 특징은 다음과 같이 정리할 수 있습니다.

첫째, 기술혁신과 변화가 빠른 산업입니다. 반도체 장비 산업에서 시장을 안정적으로 자리한 기업이라도 지속적인 연구 개발과 차세대 반도체 공정 기술에 대응하여 준비하고, 새로운 공정 변화와 개발이 뒤따르지 못하면 시장에서 쉽게 도태될 수 밖에 없습니다. 반도체 공정 기술은 칩의 빠른 속도, 낮은 전력소비, 고기능, 고집적, 초경량 등에 대한 기술 변화를 꾸준히 빠르게 요구하고 있어 이에 대응하는 공정기술과 장비개발이 함께 이루어져 가야 합니다.

둘째, 고부가가치 산업입니다. 반도체 장비 산업은 전형적인 지식과 기술이 기반된 산업으로 공정별 독자적인 기술과 연구개발이 선행 되어야 하는 산업입니다. 장비별 차이가 있지만, 하드웨어보다 소프트웨어의 비중도 매우 높은 장비산업이며, 장비의 가격도 수십만에서 수천만 달러에 이르는 고부가가치의 장비 산업입니다. 반도체별 제조 공정에 따라 특화된 장비군들이 반도체 장비 산업 시장에 독점적 지위를 가질 경우 그 가치는 더욱 빛을 발하게 됩니다.

셋째, 경기순환에 매우 민감한 산업입니다. 반도체 장비 투자는 반도체의 경기 사이클과 함께 움직이는 특징이 있으며, 제조시장보다 장비시장의 경기 사이클 진폭이 더 크게 영향을 받는 특징이 있습니다.

넷째, 산업의 연관효과가 큰 산업입니다. 반도체 산업의 발전과 함께 반도체를 활용한 산업 전반의 변화가 심하게 일어나고 있으며, 자동차, 의료정밀 기기, 우주 항공, 인공지능 로봇 등 4차 산업 혁명에 따른 산업 전반에 걸쳐 반도체 산업이 연동되어 있어, 반도체 장비산업 또한 그 영향 속에서 연관 산업의 경기가 주는 효과가 큰 산업입니다.

다섯째, 주문자 생산방식으로 대기업보다는 중견 중소업체에 적합한 산업으로 수요업체인 반도체 업체와의 긴밀한 협력관계가 필요로 하는 산업입니다. 이러한 특징으로 반도체 장비는 같은 종류라 하더라도 각 반도체 업체별로 최적화(Customizing)가 필요로 합니다.

반도체 제조공정은 반도체 칩제조를 위한 관한 전공정과 테스트 과정인 후공정 크게 두가지로 나뉘며 제조공정 및 주요장비는 아래와 같습니다. [반도체 제조공정 및 주요장비]

공정

원재료(웨이퍼 등)	전공정(Front-end)	후공정(Back-end)	제품출하(반도체 IC)

회로설계공정	FAB공정	조립공정	검사공정

회로설계,마스크제작	- 산화(Oxidation)- 감광액(Photo Resist)- 노광(Exposure)- 현상(Development)- 식각(Etching)- 이온주입(Ion implantation)- 화학기상증착(CVD)- 금속배선(Metallization)	- 선별(EDS Test)- 절단(Sawing)- 접착(Bonding)- 성형(Molding)	최종검사

주요 관련장비

- Photo: Track, Stepper- Etch: Etcher, Asher- 세정,건조: Wet station- 열처리: Furnace- 불순물주입: Ion Implanter- 박막형성: CVD(PECVD)	- Dicing: Dicer- Bonding :Die/Wire Bonder- Packing :Molding, Marking	- 검사:Tester, Handler,Burn-in

[자료:한국반도체산업협회(KSIA)] (2) 산업의 성장성 전 세계적으로 반도체 시장은 빅데이터, 사물 인터넷, 스마트폰, 자율주행 자동차 등 산업 전반에 걸쳐 확산되면서 반도체 수요는 매년 크게 증가하고 있습니다. 특히 국내의 경우 삼성전자와 SK하이닉스의 DRAM, NAND 등 메모리시장의 지속적인 수요 증가 및 이에 따른 가격 상승으로 300MM 신규 FAB 투자가 계속 진행 중이며, 글로벌 시스템IC를 포함한 200MM 파운드리 업체들의 투자들도 확대되어 전반적인 반도체 관련 장비, 소재, 부품 등에 대한 투자가 계속될 것으로 전망됩니다.

WSTS의 2021년 11월30일자료에 따르면 2021년 글로벌 반도체 시장은 전년대비 25.6%증가한 5,529억달러로 예상했으며, 2022년에는 8.8% 증가한 6,014억달러로 예상했습니다. (출처 : World Semiconductor Trade Statistics)

또한 SEMI(국제반도체장비재료협회)의 2021년 12월 14일 최근자료에 따르면 2021년에 전체 반도체 제조 장비 매출이 2020년 710억달러에서 44.7% 급증한 1,030억 달러로 사상 최고치를 경신할 것으로 예상하고 있습니다. (출처 :SEMI국제반도체장비재료협회)

(3) 경쟁요소반도체 리퍼비시 장비의 시장 관련업체들은 전세계에 대략 1,000여개의 회사가 있습니다. 크게 칩메이커(Chip Maker, 중고장비 최종 사용자), 브로커, 리퍼비셔, OEM 등으로 구분 됩니다. 당사는 주로 리퍼비셔 역할이 비즈니스 모델 입니다. 동사는 중고 장비 리퍼비셔 중에서도 박막 증착 공정 장비를 전문으로 하고 있는 회사이며, 이미 국내에서는 업체 인지도 및 기술력, 가격경쟁력 등에서 최고 선두 업체로 자리하고 있으며, 해외에서는 여러 리퍼비셔 업체들과 경쟁하고 있습니다.

당사는 2006년 반도체 장비 리퍼비시 사업을 시작하여 현재까지 장비 리퍼비시 판매 270여대, 공정/장비 개조 230여대 이상의 실적을 올리며 국내 최고의 리퍼비시 회사를 넘어 글로벌 반도체 리퍼비시 산업의 선두주자로서 자리매김하고 있습니다.

반도체 장비 리퍼비시 산업은 일반적인 중고 물품과는 다르게 장비의 특수성, 한정된공급자 및 수요자, 가격, 제한된 정보 등의 차별화된 부분이 존재합니다. 그리고 장비를 보관하기 위해서는 각 장비별로 항온, 항습장치, 클린룸 등의 구축이 필요하며, 장기간 보유할 수 있는 넓은 공간과 리퍼비시를 위한 제조 관련 기술과 고도의 숙련된 기술 인력을 확보 하여야 합니다. 또한 고객의 신기술 동향을 파악 할 수 있는 능력 등이 필요 합니다. 반도체 장비 리퍼비시 산업은 이러한 특수성이 존재하기 때문에 일반적인 상거래와 상이한 측면이 존재하며 높은 진입 장벽으로도 작용하고 있습니다.

이러한 진입장벽 하에 당사의 주요 경쟁우위 사항은 아래와 같습니다.

1) 글로벌 네트워크

당사의 핵심인력의 업력은 15년 이상으로 장기간 견고히 구축된 글로벌 네트위크를 통해 반도체 중고 장비 및 부품을 직접적으로 매입, 판매가 가능합니다. 대부분의 거래가 Local Agent 없이 직접 매입하여 경쟁력 있는 금액으로 판매가 가능하며, 글로벌 업체들과의 지속적인 거래를 통해 다양한 장비의 매매 정보 수집이 가능하여 사업 기회의 영역이 다양합니다.

2) 전문인력의 확보

타사 리퍼비시 업체들 대비 반도체 장비 및 공정 기술, 영업 인력의 50% 이상이 반도체 장비/공정 경력 10년 이상의 전문 인력으로 구성 되어 있습니다. 최고의 전문 인력은 다양한 중고장비 구매 시 정확한 성능 및 가치평가를 통해 최적의 매입단가를 측정하여 원가 경쟁력을 확보할 수 있으며, 기술력을 바탕으로 수요자와 공급자의 정확한 Needs를 파악하여 공정변화에 신속한 대응이 가능합니다.

3) 주요 부품의 국산화

반도체 장비에 사용되는 주요 부품들의 국산화 노력으로 장비 리퍼비시 원가경쟁력을 높일 뿐만 아니라 국산화된 주요 부품의 판매도 연계하여 매출을 높이고 있습니다산업기기용 Flash Hard disk, USB Emulator, Alinco Magnet, Touch Monitor 등을개발 하여 판매 하고 있습니다.

다. 사업부문별 현황(무인자동화시스템)(1) 산업의 특성무인운반차(AGV, Automated Guided Vehicle)란 전자 유도식, 광학 테이프 방식, 혹은 자기 테이프 식 등의 유도방식에 의한 공장 내에 공정(工程) 사이를 가공 대상품이나 화물을 적재하여 무인으로 주행하고, 목적 장소까지 운반하는 반송차를 말합니다. 최근 제조산업의 생산성 증가와 품질향상에 큰 성과를 보인 스마트팩토리에 대한 관심과 성장이 지속됨에 따라 이와 밀접한 연관을 맺고 있는 무인운반차 산업은 빠른 속도로 성장하고 있습니다. 무인운반차 제조산업의 주요한 특징은 다음과 같습니다. 첫째로 IoT, AI등의 첨단 기술이 도입됨에 따라 높은 기술력과 전문성을 필요로 하고 있습니다. 둘째는 다양한 환경의 제조환경을 갖춘 고객별 맞춤 솔루션을 제공할 수 있는 최적화(Customizing) 서비스 및 application 제공 능력이 뒷받침되어야합니다. 셋째, 산업의 연관효과가 큰 산업입니다. 스마트팩토리 산업과 함께 제조 산업 전반의 변화가 심하게 일어나고 있으며, 인공지능 로봇 등 4차 산업 혁명에 따른 산업 전반의 영향 속에서 연관 산업의 경기가 주는 효과가 큰 산업입니다.(2) 산업의 성장성전세계 스마트팩토리시장은 CAGR 9.4%로 성장하여 2023년 1,338 억달러 규모로 성장할 것으로 전망되며, 국내의 경우 CAGR 11%로 2023년 15조원 규모로 성장할 것으로 전망됩니다. 스마트팩토리의 핵심이라고 할 수 있는 AGV 시장의 경우 2019년 20억달러에서 2024년 29억달러 수준으로 늘어날 전망입니다. 또한 최근 정부 주도하에 제조업 재도약을 위한 스마트공장 도입을 위한 지원이 적극적으로 이루어지고있는바,국내의 스마트팩토리 및 AGV산업은 지속적인 성장을 이룰 것으로 예상하고 있습니다.

(3) 경쟁요소당사는 풍부한 경험과 노하우를 갖춘 엔지니어들의 전문성과 기술력을 바탕으로 AGV 및 FA 분야 등의 무인자동화시스템, 산업자동화기기 개발 및 제조업을 영위하는 기술집약형 기업입니다. 코로나-19이후 증가하고 있는 물류공정의 무인화에 대한 관심과 수요에 대응하기 위하여 영업력 확대 및 연구개발에 집중하는 한편, 모기업인 ㈜러셀을 통하여 재무구조 개선 및 전략적 사업협력을 통하여 지속적인 성장을 모색하고 있습니다. 당사는 물류공정 무인화에 대한 시장의 수요에 적극적으로 대응하기 위하여 2020년부터3방향 무인지게차, 표준형 무인지게차, 하이리치(High-reach)형 무인지게차, 모바일로봇(AMR) 등을 개발 중에 있으며, 2021년 현재 3방향 무인지게차와 표준형 무인지게차의 상용화를 완료하였고, 하이리치형 무인지게차와 모바일 로봇 또한 2021년내 상용화를 목표로 하고 있습니다. 이를 통해 스마트팩토리 및 공정물류시장에 적극적으로 진출할 예정입니다. 또한 국내 대형 의료기관과의 제휴를 통해 의료폐기물 분야에 무인 로봇을 적용하기 위하여 적극적인 협업중에 있습니다. 또한 장기적으로 의료기관 내의 다양한 위치와 목적에 맞게 적용가능한 Robot Solution을 연구 및 개발 중에 있습니다.