아이에스티이 분기보고서 (2025.09)
6. 주요계약 및 연구개발활동

가. 경영상의 주요계약 등 당사는 보고서 제출일 현재 일상적인 영업활동 이외의 활동에 의하여 이루어지는 계약은 아래와 같습니다. 다만, 계약상대방과의 비밀유지계약 및 영업적으로 보호되어야 할 필요가 있는 사항에 대해서는 그 기재를 생략합니다.

계약상대방	계약의 목적 및 내용	계약체결시기 및 계약기간	계약금액 및 대금수수방법(기준) 등	비고

IBKC-메디치 세턴더리 투자조합	- 자금조달- 우선주 발행조건, 상환권, 전환권, 사전 협의및동의권, 정보제공권, 매수청구권, 공동매도권 등	2017.06.28	1,990,000천원	상환전환우선주 인수계약서
전환권행사 (2023.12.22)

참엔지니어링(주)	- PECVD 장비 시장 진출- 14건의 PECVD 장비 관련 특허에 대한 전용실시권 부여	2019.10.15~ 10년간, 실시권자가 계약연장을 원하는 경우 재계약 체결	선급금 : 20백만원
로열티 : 누적매출액 50억원까지 3%, 초과시 2%	특허전용실시권설정계약서특허권 등 양수계약으로 본 전용실시권설정은 종료됨.

갤럭시프라이빗에쿼티㈜	- 자금조달 및 국책과제- 보통주 발행 조건, 사전 동의권, 정보제공권 등	2022.09.23	750,000천원	신주인수계약서 / 2022.05.16 체결한 상환전환우선주 투자계약서 변경 계약

SK하이닉스	- PECVD 장비 판매- NDC 공정, 소재, 장비 개발을 위한 Virtual FAC 공동운영	2022.12.30 ~ 2년간	개발비는 각자 부담	제품 공동개발 계약서

SK하이닉스	- PECVD 장비 판매- SIRIUS 장비 및 DRAM NDC 공정 기술 개발	2023.12.20 ~ 2025.06.30, 단 개발업무가 종료된 날 기간 만료로 종료	개발비는 각자부담	장비 공동 개발 계약서

한국산업은행	- 전환권 행사 후 권리 확정- 전환 조건, 사전동의/협의 및 정보제공, 주식매수청구권, 우선매수권, 공동매도권, 상장 특별조건 등	2023.12.22	1,999,998천원
(2017.10.30 주식인수계약)	주식인수계약서 / 2017.10.30 체결한 주식인수계약에 대한 변경 계약

중소기업은행(파인밸류성장뉴딜 PreIPO9호 일반 사모투자신탁의 신탁업자 지위에서) 외	- 자금조달- 보통주 발행 조건, 사전 동의 및 협의권, 정보제공권, 공동매도권, 주식매수청구권 등	2023.12.14
~ 상장이 완료된 날 또는 주식을 모두 처분한 경우 등	999,994천원	신주인수계약서

NH투자증권 주식회사 (파인밸류 PreIPO플러스 일반 사모증권투자신탁의 신탁업자 지위에서)	- 자금조달- 보통주 발행 조건, 사전 동의 및 협의권, 정보제공권, 공동매도권, 주식매수청구권 등	2023.12.27
~ 상장이 완료된 날 또는 주식을 모두 처분한 경우 등	999,994천원	신주인수계약서

케이비증권 주식회사	- 자금조달- 보통주 발행 조건, 사전 동의 및 협의권, 정보제공권, 공동매도권, 주식매수청구권 등	2023.12.27
~ 상장이 완료된 날 또는 주식을 모두 처분한 경우 등	999,994천원	신주인수계약서

하이투자증권 주식회사	- 자금조달- 보통주 발행 조건, 사전 동의 및 협의권, 정보제공권, 공동매도권, 주식매수청구권 등	2024.01.25
~ 상장이 완료된 날 또는 주식을 모두 처분한 경우 등	999,994천원	신주인수계약서

주식회사 카카오페이증권	- 자금조달- 보통주 발행 조건, 사전 동의 및 협의권, 정보제공권, 공동매도권, 주식매수청구권 등	2024.01.25
~ 상장이 완료된 날 또는 주식을 모두 처분한 경우 등	499,990천원	신주인수계약서

EUMETRYS SAS	유럽 독점판매권 ( Soitec CS 포함, ST Microelectronics Singapore 포함)	2022.11.01 ~ 2025.11.01, 3년단위 자동연장	제품별, 가격별, 서비스별 수수료
Sales 3~7%
CS 7~9%	위탁
(Manufacturer's Exclusive Representation and Distribution Agreement)

Alliance Engineering Co.Ltd	대만 독점권	2024.01.01 ~ 2년, 1년단위 자동 연장	최종가격의 8%	위탁
(Agency Agreement)

안성테크노밸리	안성테크노벨리 용지 분양	2022.05 ~ 2026.06	계약금 10% 분할중도금 70% 분할잔금 20%	부동산매매계약서

제2용인테크노밸리	제2용인테크노벨리산업시설 용지 분양	2024.06 ~ 2026.10	계약금 10% 분할중도금 70% 분할잔금 20%	부동산매매계약서

고덕지식산업센터	고덕지식산업센터 사무실 분양	2022.04. ~ 2024.05	계약금 10% 중도금 50% 분할잔금 40%	부동산매매계약서

나. 연구개발활동(1) 연구개발 조직당사는 창업 이듬해인 2014년 8월부터 현재까지 기업부설연구소를 운영하고 있으며, 전자공학, 재료공학, 기계공학, 컴퓨터공학, 화학공학, 제어계측공학 등의 관련 전공 자격을 보유한 기술인력 다수를 보유하고 있으며 제품 개발, 제조를 수행하고 있습니다.

대표이사 산하에 부설연구소를 두고, 부설연구소의 연구소장이 상근하고 있으며, 연구전담조직인 PECVD팀(반도체2사업부), 신사업개발팀(수소에너지사업부)의 연구개발 지원 및 필요시 조직화되는 개발 TFT의 지원하고 있습니다.

연구개발조직도.jpg 연구개발조직도
출처 : 당사 제시

반도체2사업부내 연구개발 전담조직인 PECVD팀은 주로 PECVD (반도체 장비) System을 개발하고 있으며, 수소에너지사업부내 연구개발 전담조직인 신사업개발팀은 주로 에너지 사업 관련하여 바나듐 흐름전지 (2차전지)을 개발하였고, 폐플라스틱 열분해를 이용한 수소생산기술을 개발하였습니다.또한, 사업화가 완료된 기존 사업부인 반도체1 영위하는 FOUP Cleaner, 반도체 Automation 장비 및 OLED 등 기타산업용 장비에 대해서는 전담 연구개발 조직을 갖추고 있지 않고, 고객 및 영업 니즈에 따른 장비 개발 필요시 기구설계, 제어설계, 기구제작, 전장제작, Setup, CS 등 기능별 조직의 인원들의 일부를 TFT로 구성하여 효율적인 연구 개발을 진행하고 있습니다.(2) 연구개발비용

(단위 : 천원)

과 목	2025연도3분기(제13기)	2024연도(제12기)	2023연도(제11기)	비고

연구개발비 계	1,404,055	3,209,148	3,947,039	-

(정부보조금)	(155,162)	(1,469,632)	(1,601,862)	-

연구개발비	1,248,893	1,739,517	2,345,177	-

매출액	18,947,461	41,086,620	27,196,583	-

연구개발비 계/매출액비율	7.41%	7.81%	14.51%	-

연구개발비/매출액비율	6.59%	4.23%	8.62%	-

주1) 연구개발비용 계 : 정부보조금(국고보조금)을 차감하기 전의 연구개발비용 지출총액을 기준으로 산정

(3) 연구개발실적 및 계획보고서 제출일 현재까지의 당사 자체 수행한 주요 연구개발 및 정부 과제 수행 실적은 아래와 같습니다.

연구과제	개발
기간	연구기관	연구결과 및
기대효과	개발부서

Oxide TFT용 PECVD 개발 및 신뢰성 검증 시스템 구축	2019.
~2021	국책과제
(참여기업)	OLED Gate-Ox 공정용 장비
(개발완료)	TFT

SiCN 박막 증착용 300㎜ PECVD system 양산 성능 평가	2020.
~2021	국책과제
(주관기업)	SiCN PECVD 장비
(실용화단계)	PECVD
개발팀

SiCN 박막의 Etch Selectivity가 종래 대비 20% 이상 개선되고, Cu상의 Adhesion과 증착 속도가 개선된 PECVD System 개발	2021.
~2022	국책과제
(참여기업)	SiCN PECVD 장비
(실용화단계)	PECVD
개발팀

300mm FOUP Cleaner 개발	2022.	자체과제	VFC310
(양산단계)	TFT

도심형 고안전성 중대형 이차전지용 핵심소재부품 기술개발	2020.
~2022	국책과제
(참여기업)	바나듐 흐름전지 (2차전지)
(개발완료)	신사업
개발팀

600mm PLP FOUP Cleaner 개발	2023.	자체과제	NFC600
(양산단계)	TFT

400mm FOUP Cleaner (HBM용) 개발	2023.
~2024.	자체과제	NFC400
(양산단계)	TFT

SiCN 박막 증착용 Dual Type 300㎜ PECVD System 개발	2021
~2025	국책과제
(주관기업)	생산성이 개선된 SiCN PECVD 장비 개발 (SiRiUSⅡ)(개발완료)	PECVD
개발팀

Package Hybrid Bonding을 위한 저온 SiCN 증착 PECVD System 개발	2023
~2024	국책과제
(참여기업)	PECVD 응용 분야 확대(개발완료)	PECVD
개발팀

저온 SiCN 증착 PECVD System 양산 성능 평가	2023
~2024	국책과제
(주관기업)	PECVD 응용 분야 확대(개발완료)	PECVD
개발팀

High Carbon, High Density SiCN 증착용 Dual Frequency PECVD System 개발	2023
~2027	국책과제
(주관기업)	PECVD 응용 분야 확대(개발중)	PECVD
개발팀

폐플라스틱 열분해를 활용한 수소생산 기술 개발	2022
~2024	국책과제
(주관기업)	수소 생산 기술 확보(개발완료)	신사업개발팀

ECR PECVD 장비를 활용한 공정장비 연구개발	2025~2027	자체과제	PECVD 응용 공정 분야 확대(개발중)	TFT

반도체 3D 적층을 위한 첨단 패키징 소재 기술	2025~2028	국책과제(주관기업)	하이브리딩 본딩 기술 확보(개발중-주)	PECVD개발팀

주) 본 과제는 사전 연구를 통해 과제 타당성 및 성과물을 검토하고 사전연구를 통과하는 과제에 한하여 본 연구 과제를 수행하게 되어 있어 개발기간 등이 변경될 수 있습니다.