싸이맥스 반기보고서 (2022.06)
5. 지적재산권(상세)

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번호	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	주무관청

1	특허	반도체제조용 챔버의 히팅블록	싸이맥스	06.04.08	07.02.27	진공챔버	특허청

2	특허	웨이퍼 처리장치	싸이맥스	06.02.10	07.08.09	진공챔버	특허청

3	특허	웨이퍼 맵핑 작동장치	싸이맥스	06.03.03	07.08.09	LPM	특허청

4	특허	후프오프너 맵핑장치	싸이맥스	06.03.03	07.09.05	LPM	특허청

5	특허	후프오프너 포트 도어 진퇴기구	싸이맥스	06.04.08	07.11.20	LPM	특허청

6	특허	진공처리장치	싸이맥스	07.04.04	08.06.20	진공챔버	특허청

7	특허	반도체 제조설비	싸이맥스	07.06.20	08.07.30	로봇	특허청

8	특허	독립적으로 구동하는 적층식 이중 아암 로봇	싸이맥스	08.04.28	08.10.24	로봇	특허청

9	특허	하나의 챔버에 히터와 쿨러를 내장한 반도체 제조 장치	싸이맥스	08.06.04	08.12.18	진공챔버	특허청

10	특허	4중 로봇 아암 조립체	싸이맥스	07.05.10	08.12.24	로봇	특허청

11	특허	웨이퍼의 중심 검출 장치 및 그 방법	싸이맥스	08.09.01	11.03.15	로봇	특허청

12	특허	스테이지 이동 장치	싸이맥스	09.09.02	11.06.01	LPM	특허청

13	특허	냉각장치가 구비된 웨이퍼 챔버	싸이맥스	06.10.02	11.07.26	진공챔버	특허청

14	특허	웨이퍼 전달 및 열처리가 동시에 수행되는 로드락 챔버	싸이맥스	09.02.09	12.01.26	진공챔버	특허청

15	특허	이에프이엠 버퍼 모듈	싸이맥스	11.03.30	13.04.09	EFEM	특허청

16	특허	웨이퍼 얼라인 장치	싸이맥스	10.12.13	13.04.25	Aligner	특허청

17	특허	링크바를 통해 포트도어가 개폐되는 도어개폐 장치	싸이맥스	13.03.27	14.02.05	LPM	특허청

18	특허	외벽에 챔버의 내부를 촬영하는 카메라가 부착된 트랜스퍼 챔버	싸이맥스	12.12.26	14.05.08	진공챔버	특허청

19	특허	웨이퍼 이송위치 측정범위를 최소화하는 트랜스퍼 모듈	싸이맥스	12.12.26	14.06.10	진공챔버	특허청

20	특허	질소가스 분사장치 일체형 웨이퍼 거치대	싸이맥스	13.02.14	14.08.13	EFEM	특허청

21	특허	웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 일체형 매핑바가 형성된 매핑장치	싸이맥스	13.03.27	14.08.13	LPM	특허청

22	특허	리크 방지 기능을 갖는 N2 퍼지 노즐	싸이맥스	15.05.29	16.09.01	LPM	특허청

23	특허	솔레노이드 분리형 N2 퍼지 노즐	싸이맥스 외1명	16.02.24	17.02.01	LPM	특허청

24	특허	솔레노이트 일체형 N2 퍼지 노즐	싸이맥스 외1명	16.02.24	17.02.28	LPM	특허청

25	특허	가스 노즐플레이트를 구비한 사이드 스토리지	싸이맥스	15.09.25	17.07.10	EFEM	특허청

26	특허	웨이퍼 처리장치의 배기장치	싸이맥스	15.09.25	17.07.10	EFEM	특허청

27	특허	EFEM 제조공정방법 및 EFEM 제조공정설비	싸이맥스	17.04.12	17.09.01	EFEM	특허청

28	특허	로드포트모듈 제조공정방법 및 로드포트모듈 제조공정설비	싸이맥스	17.04.06	17.09.28	LPM	특허청

29	특허	로드포트 정렬 측정장치	싸이맥스	17.05.16	17.12.04	LPM	특허청

30	특허	웨이퍼처리장치의 로봇교체용 탈착식 크레인	싸이맥스	16.06.29	17.12.19	EFEM	특허청

31	특허	웨이퍼처리장치의 이동대 장착 구조	싸이맥스	16.06.29	18.01.04	EFEM	특허청

32	특허	로드포트의 포트도어 구동장치	싸이맥스	17.12.20	18.02.14	LPM	특허청

33	특허	로드포트모듈 비전 맵핑장치 및 로드포트모듈 비전 맵핑방법	싸이맥스	17.10.11	18.03.23	LPM	특허청

34	특허	기판 휨 측정장치 및 기판 휨 측정방법	싸이맥스	17.11.07	18.03.23	EFEM	특허청

35	특허	웨이퍼처리장치의 로봇교체용 탈착실크레인	싸이맥스	17.09.01	18.03.27	EFEM	특허청

36	특허	수납포트의 종류를 검출하는 로드포트	싸이맥스	17.04.04	18.04.20	LPM	특허청

38	특허	송신기와 수신기가 일체형으로 구비된 매핑장치	싸이맥스	17.04.04	18.04.20	LPM	특허청

38	특허	돌출감지센서를 통해 수납포트에 수납된 기판의 돌출을 감지하는 매핑장치	싸이맥스	17.04.04	18.04.20	LPM	특허청

39	특허	웨어퍼 상에 잔존하는 파티클 장치	싸이맥스	17.05.24	18.11.16	로봇	특허청

40	특허	클램프가 장착된 로드포트모듈	싸이맥스	18.06.15	18.11.26	LPM	특허청

41	특허	세척된 웨이퍼를 웨이퍼 처리장치로 이송시키는 웨이퍼 이송장치	싸이맥스	17.04.12	18.12.14	EFEM	특허청

42	특허	7축 이송로봇	싸이맥스	18.09.12	18.12.14	로봇	특허청

43	특허	양방향 배기구조 사이드 스토리지	싸이맥스	18.10.08	19.03.21	EFEM	특허청

44	특허	송신기와 수신기 일체형으로 구비된 매핑장치	싸이맥스	18.03.21	19.04.22	LPM	특허청

45	특허	웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 로드포트용 매핑장치	싸이맥스	17.11.03	19.08.31	LPM	특허청

46	특허	엔코더를 통해 샤프트에 형성된 스케일을 판독하여 위치를 검출하는 웨이퍼 이송장치	싸이맥스	17.11.03	19.11.20	EFEM	특허청

47	특허	유지보수가 용이한 EFEM	싸이맥스	18.03.22	20.01.21	EFEM	특허청

48	특허	필터교체가 용이한 팬 필터유닛	싸이맥스	19.08.28	20.02.25	EFEM	특허청

49	특허	인체를 감지하는 웨이퍼 이송 자동화모듈	싸이맥스	19.03.25	20.03.09	EFEM	특허청

50	특허	진공주행로봇 파티클 차단 챔버	싸이맥스	19.10.18	20.03.09	EFEM	특허청

51	특허	링크아암형 로봇아암	싸이맥스	05.08.13	06.12.22	로봇	특허청

52	특허	엘씨디 글라스 마크로 검사장치	싸이맥스	08.03.28	09.12.24	로봇	특허청

53	특허	다관절 로봇의 베벨기어 센터 정렬 방법	싸이맥스	11.05.263	13.02.25	로봇	특허청

54	특허	소형의 ＬＣＤ 글라스 마크로 검사 장치	싸이맥스	11.04.29	13.03.27	로봇	특허청

55	특허	5축 링크 기구를 구비한 엘씨디 글라스 마크로 검사장치	싸이맥스	11.03.30	13.05.20	로봇	특허청

56	특허	분리형 트레드밀을 구비한 하지 재활 훈련 시스템	싸이맥스	11.10.11	13.06.10	로봇	특허청

57	특허	힙 조인트 보상용 메커니즘을 갖는 하지 재활 훈련 시스템	싸이맥스	11.10.10	13.06.26	로봇	특허청

58	특허	정형 외과 수술용 테이블	싸이맥스	11.03.30	13.07.03	로봇	특허청

59	특허	내장형 중력 보상장치를 지닌 수직 다관절 로봇	싸이맥스	13.11.01	14.11.03	로봇	특허청

60	특허	평행링크 구조를 갖는 수직 다관절 로봇의 중력 보상 장치	싸이맥스	13.10.18	15.01.02	로봇	특허청

61	특허	교체가 용이한 의료용 로봇	싸이맥스	14.05.26	15.08.28	로봇	특허청

62	특허	협업로봇의 충돌을 감지하는 장치 및 방법	싸이맥스	16.03.04	18.03.27	로봇	특허청

63	특허	엔코더의 적정설치를 위한 방법 및 이를 적용한 통합 구동모듈구조	싸이맥스	17.06.13	18.12.10	로봇	특허청

64	특허	중공형 통합 구동 모듈 구조	싸이맥스	17.06.08	19.01.23	로봇	특허청

65	특허	질소공급을 위한 웨이퍼 이송 자동화모듈 개조방법	싸이맥스	20.02.18	20.05.07	EFEM	특허청

66	특허	풉 로드락 도어가 구비된 로드포트모듈 및 로드포트모듈 도어와 풉 로드락 도어의 개폐방법	싸이맥스	20.07.06	21.01.04	LPM	특허청

67	특허	잔류 가스 제거 장치 및 이를 포함하는 기판 처리설비	삼성전자싸이맥스	17.12.30	21.01.12	EFEM	미국상표특허청

68	특허	PLP패널 뒤틀림 검출장치 및 검출방법	싸이맥스	20.07.28	21.03.31	EFEM	특허청

69	특허	효율적인 설치면적을 갖는 웨이퍼 공정장치	싸이맥스	20.07.06	21.04.27	EFEM	특허청

70	특허	고속데이터 래치모듈 및 고속데이터 래치모듈의 이송로봇에 형성된 회전축을 얼라이너 시키는 방법	싸이맥스	20.07.20	22.02.07	ROBOT	특허청

주1) 당사는 상기 특허권 외에 보고서 작성기준일 현재 4건의 특허가 출원 및 심사 진행 중에 있습니다.

나. 실용신안권

번호	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	주무관청

1	실용신안	공정챔버의 도어개폐장치	싸이맥스	06.02.13	06.04.27	진공챔버	특허청

2	실용신안	이중 아암 로봇	싸이맥스	06.04.28	06.07.19	로봇	특허청

3	실용신안	이중 아암 로봇	싸이맥스	06.09.29	07.03.30	로봇	특허청

4	실용신안	웨이퍼처리장치의 배기장치	싸이맥스	18.03.20	18.11.30	EFEM	특허청

5	실용신안	중량물 핸들링 로봇의 밸런스 스프링부 샤프트 풀림 방지 장치	싸이맥스	11.05.23	13.08.01	로봇	특허청

다. 상표권

번호	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	주무관청

1	상표	싸이맥스	싸이맥스	06.03.02	07.03.06	-	특허청

2	상표	Duraport	싸이맥스	06.06.23	07.02.16	LPM	특허청

3	상표	CYMECHS	싸이맥스	06.03.02	07.03.06	-	특허청

라. 디자인

번호	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	주무관청

1	디자인	로봇 아암	싸이맥스	07.05.15	07.11.20	로봇	특허청

2	디자인	로봇 아암	싸이맥스	07.05.07	07.12.27	로봇	특허청

3	디자인	듀얼 로봇 아암	싸이맥스	06.12.07	07.09.12	로봇	특허청

4	디자인	반도체 제조용 전송 기기용 냉각기	싸이맥스	06.09.21	07.05.18	진공챔버	특허청

5	디자인	반도체 제조용 전송 챔버용 도어	싸이맥스	06.09.21	07.10.08	진공챔버	특허청

6	디자인	반도체 제조용 전송기기	싸이맥스	06.09.21	07.08.17	진공챔버	특허청

7	디자인	웨이퍼 이송용기 오프너	싸이맥스	06.08.23	07.03.30	LPM	특허청

8	디자인	산업용로봇 디자인	싸이맥스	17.04.13	17.12.19	로봇	특허청