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비아트론 분기보고서 (2023.09)
분 기 보 고 서

(제 23 기)

사업연도 2023년 01월 01일 부터
2023년 09월 30일 까지

금융위원회
한국거래소 귀중 2023년 11월 14일

제출대상법인 유형 : 주권상장법인
면제사유발생 : 해당사항 없음

회 사 명 : 주식회사 비아트론
대 표 이 사 : 김형준
본 점 소 재 지 : 경기도 수원시 권선구 산업로155번길 139
(전 화)070-4016-3200
(홈페이지) http://www.viatrontech.com
작 성 책 임 자 : (직 책)전무이사 (성 명)신동훈
(전 화)070-4016-3200
1. 회사의 개요

가. 연결대상 종속회사 현황(요약)

(단위 : 사)

구분	연결대상회사수	주요종속회사수

기초	증가	감소	기말

상장	-	-	-	-	-

비상장	2	-	-	2	-

합계	2	-	-	2	-

※상세 현황은 '상세표-1. 연결대상 종속회사 현황(상세)' 참조

나. 연결대상회사의 변동내용

구 분	자회사	사 유

신규연결	-	-

-	-

연결제외	-	-

-	-

다. 회사의 법적, 상업적 명칭

당사의 명칭은 주식회사 비아트론이라고 표기합니다. 영문으로는 Viatron Technologies, Inc.라고 표기합니다.

라. 설립일자 및존속기간2001년 12월 26일 반도체 및 평판디스플레이 제조용 기계제조업 등을 목적으로 설립되어 본 공시일 현재 존속하고 있습니다.

마. 본사의 주소, 전화번호, 홈페이지 주소

구분	내용

본사 주소	경기도 수원시 권선구 산업로155번길 139(고색동)

본사 전화번호	070-4016-3200

본사 홈페이지	http://www.viatrontech.com

2공장 주소	경기도 수원시 권선구 산업로156번길 66(고색동)

바. 중소기업 등 해당 여부

중소기업 해당 여부	해당

벤처기업 해당 여부	미해당

중견기업 해당 여부	미해당

사. 회사의 주권상장(또는 등록ㆍ지정)여부 및 특례상장에 관한 사항

주권상장(또는 등록ㆍ지정)여부	주권상장(또는 등록ㆍ지정)일자	특례상장 등여부	특례상장 등적용법규

주권상장(코스닥)	2012년 05월 04일	부	-

아. 주요사업의 내용 및 향후 추진하려는 신규사업당사가 속한 산업은 디스플레이 장비산업으로 AMOLED, LTPS LCD, Oxide TFT, Flexible Display 등 디스플레이 패널 제작을 위한 장비 중 전공정 장비에 속하는 backplane 제조 관련 열처리장비가 주요제품입니다. 기타 자세한 사항은 동 보고서의 II.사업의 내용을 참고 하시기 바랍니다.

자. 종속회사에 관한 사항

상장여부	종속기업명	소재지	주요영업활동

비상장	인터밸류파트너스(주)	한국	창업자에 대한 투자 및벤처기업에 대한 투자

비상장	(주)비아트론시스템	한국	반도체제조장비 및 부품 제조

주) 인터밸류파트너스(주)는 2016년 11월 09일 설립되었으며, (주)비아트론시스템은 2021년 07월 30일 설립되었습니다.

차. 신용평가에 관한 사항최근 5년간 신용평가에 관한 내용은 다음과 같습니다.

평가일	신용평가전문기관명	신용평가등급

2023.04.14	나이스디앤비	A+

2022.05.02	나이스디앤비	A

2021.05.07	이크레더블	A

2020.04.08	이크레더블	A-

2019.05.16	이크레더블	A

주) 신용등급의 정의[나이스디앤비]

신용등급	등급정의

AAA	최상위의 상거래 신용도를 보유한 수준

AA	우량한 상거래 신용도를 보유하여, 환경변화에 대한 대처능력이 충분한 수준

A	양호한 상거래 신용도를 보유하여, 환경변화에 대한 대처능력이 충분한 수준

BBB	양호한 상거래 신용도가 인정되나, 환경변화에 대한 대처능력은 다소 제한적인 수준

BB	단기적 상거래 신용도가 인정되나, 환경변화에 대한 대처능력은 제한적인 수준

B	단기적 상거래 신용도가 인정되나, 환경변화에 대한 대처능력은 미흡한 수준

CCC	현 시점에서 신용위험 발생가능성이 내포된 수준

CC	현 시점에서 신용위험 발생가능성이 높은 수준

C	현 시점에서 신용위험 발생가능성이 매우 높고 향후 회복가능성도 매우 낮은 수준

D	상거래 불능 및 이에 준하는 상태에 있는 수준

NG	등급부재:신용평가불응, 자료불충분, 폐(휴)업 등의 사유로 판단보류

[이크레더블]

신용등급	등급정의

AAA	AAA	채무이행 능력이 최고 우량한 수준임.

AA	AA+	채무이행 능력이 매우 우량하나, AAA보다는 다소 열위한 요소가 있음.

AA

AA-

A	A+	채무이행 능력이 우량하나, 상위등급에 비해 경기침체 및 환경변화의 영향을 받기 쉬움.

A

A-

BBB	BBB+	채무이행 능력이 양호하나, 장래 경기침체 및 환경변화에 따라 채무이행 능력이 저하 될 가능성이 내포되어 있음.

BBB

BBB-

BB	BB+	채무이행 능력에 문제가 없으나, 경제여건 및 시장환경 변화 에 따라 그 안정성면에서는 투기적인 요소가 내포되어 있음.

BB

BB-

B	B+	채무이행 능력이 있으나, 장래의 경제 환경 악화시 채무불이 행 가능성이 있어 그 안정성면에서 투기적임.

B

B-

CCC	CCC+	현재시점에서 채무불이행이 발생할 가능성을 내포하고 있어 매우 투기적임.

CCC

CCC-

CC	CC	채무불이행이 발생할 가능성이 높음.

C	C	채무불이행이 발생할 가능성이 매우 높음.

D	D	현재 채무불이행 상태에 있음.
2. 회사의 연혁

가. 회사의 주요연혁

년월	내용

2016년	10월	2016년 한국IR대상 우수상 수상

10월	2016년 경기도 여성고용우수기업 선정

11월	인터밸류파트너스(주) 설립

12월	5천만불 수출의 탑 수상(한국무역협회)

2018년	12월	7천만불 수출의 탑 수상(한국무역협회)

2021년	07월	(주)비아트론시스템 설립

10월	국가산업발전(디스플레이산업 진흥) 대통령 표창

나. 회사의 본점 소재지 변경당사는 2006년 06월, 2010년 04월, 2013년 06월 세 차례 본점 소재지를 변경하였으며, 그 내역은 다음과 같습니다.

구분	일자	주소

법인설립	2001.12.26	서울특별시 금천구 가산동 448 대륭테크노타운 3차 508-1

본점이전	2006.06.15	서울특별시 금천구 가산동 554-2 마이크로오피스빌딩 2층

본점이전	2010.04.12	경기도 수원시 권선구 산업로 97(고색동 972)

본점이전	2013.06.14	경기도 수원시 권선구 산업로155번길 139(고색동)

다. 경영진 및 감사의 중요한 변동

변동일자	주총종류	선임	임기만료또는 해임

신규	재선임

2016.03.28	정기주총	-	대표이사 김형준사외이사 최우갑	-

2017.03.30	정기주총	상근감사 정동기	사내이사 김병국사내이사 신동훈	상근감사 배병성

2019.03.26	정기주총	-	대표이사 김형준사외이사 최우갑	-

2020.03.24	정기주총	-	사내이사 김병국사내이사 신동훈상근감사 정동기	-

2022.03.29	정기주총	사외이사 권용우	대표이사 김형준	사외이사 최우갑

2023.03.29	정기주총	-	사내이사 김병국사내이사 신동훈상근감사 정동기	-
3. 자본금 변동사항

가. 자본금 변동추이(단위 : 원, 주)

종류	구분	제23기(2023년 당분기말)	제22기(2022년말)	제21기(2021년말)

보통주	발행주식총수	12,114,710	12,114,710	12,114,710

액면금액	500	500	500

자본금	6,057,355,500	6,057,355,500	6,057,355,500

우선주	발행주식총수	-	-	-

액면금액	-	-	-

자본금	-	-	-

기타	발행주식총수	-	-	-

액면금액	-	-	-

자본금	-	-	-

합계	자본금	6,057,355,500	6,057,355,500	6,057,355,500
4. 주식의 총수 등

가. 주식의 총수 현황

(기준일 : 2023년 09월 30일 ) (단위 : 주)

구 분	주식의 종류	비고

보통주	우선주	합계

Ⅰ. 발행할 주식의 총수	50,000,000	8,000,000	50,000,000	-

Ⅱ. 현재까지 발행한 주식의 총수	12,114,710	4,887,160	17,001,870	-

Ⅲ. 현재까지 감소한 주식의 총수	-	4,887,160	4,887,160	-

1. 감자	-	-	-	-

2. 이익소각	-	-	-	-

3. 상환주식의 상환	-	-	-	-

4. 기타	-	4,887,160	4,887,160	전환

Ⅳ. 발행주식의 총수 (Ⅱ-Ⅲ)	12,114,710	-	12,114,710	-

Ⅴ. 자기주식수	997,242	-	997,242	-

Ⅵ. 유통주식수 (Ⅳ-Ⅴ)	11,117,468	-	11,117,468	-

나. 자기주식 취득 및 처분 현황

(기준일 : 2023년 09월 30일 ) (단위 : 주)

취득방법	주식의 종류	기초수량	변동 수량	기말수량	비고

취득(+)	처분(-)	소각(-)

배당가능이익범위이내취득	직접취득	장내 직접 취득	-	-	-	-	-	-	-

-	-	-	-	-	-	-

장외직접 취득	-	-	-	-	-	-	-

-	-	-	-	-	-	-

공개매수	-	-	-	-	-	-	-

-	-	-	-	-	-	-

소계(a)	-	-	-	-	-	-	-

-	-	-	-	-	-	-

신탁계약에 의한취득	수탁자 보유물량	보통주	511,556	204,266	566,794	-	149,028	주2,3)

-	-	-	-	-	-	-

현물보유물량	보통주	281,420	566,794	-	-	848,214	주1)

-	-	-	-	-	-	-

소계(b)	보통주	792,976	771,060	566,794	-	997,242	-

-	-	-	-	-	-	-

기타 취득(c)	-	-	-	-	-	-	-

-	-	-	-	-	-	-

총 계(a+b+c)	보통주	792,976	771,060	566,794	-	997,242	-

-	-	-	-	-	-	-

주1) 2020년 02월 07일 주가안정 및 주주가치 제고를 위하여 대신증권과 30억원 규모의 자기주식 취득 신탁계약을 체결하였으며, 2021년 02월 06일 동 계약을 해지하였습니다. 동 계약으로 취득한 자기주식 281,420주를 현물보유하고 있습니다.주2) 2022년 06월 30일 주가안정 및 주주가치 제고를 위하여 대신증권과 50억원 규모의 자기주식 취득 신탁계약을 신규로 체결하였으며, 2023년 06월 29일 동 계약을 해지하였습니다. 동 계약으로 취득한 자기주식 566,794주를 현물보유하고 있습니다.주3) 2023년 03월 23일 주가안정 및 주주가치 제고를 위하여 대신증권과 40억원 규모의 자기주식 취득 신탁계약을 신규로 체결하였습니다. 동 계약으로 보고서 작성기준일 현재 자기주식 149,028주를 취득하였습니다.

다. 자기주식 신탁계약 체결ㆍ해지 이행현황

(기준일 : 2023년 09월 30일 ) (단위 : 백만원, %, 회)

구 분	계약기간	계약금액(A)	취득금액(B)	이행률(B/A)	매매방향 변경	결과보고일

시작일	종료일	횟수	일자

신탁 해지	2020.02.27	2021.02.06	3,000	1,960	65.34	-	-	2021.02.08

신탁 해지	2022.06.30	2023.06.29	5,000	4,993	99.88	-	-	2023.06.29

신탁 체결	2023.03.23	2024.03.22	4,000	1,473	37.83	-	-	-
5. 정관에 관한 사항

당사의 최근 정관 개정일은 2022년 03월 29일이며, 공시대상기간 중 변경된 정관의 이력은 다음과 같습니다.

가. 정관 변경 이력

정관변경일	해당주총명	주요변경사항	변경이유

2020.03.24	제19기 정기주주총회	제8조 주식등의 전자등록(변경)	전자증권법 도입에 따른 변경 및 신설 내용 반영

2020.03.24	제19기 정기주주총회	제14조 명의개서 대리인(변경)	전자증권법 도입에 따른 변경 및 신설 내용 반영

2020.03.24	제19기 정기주주총회	제15조 주주 등의 주소, 성명 및 인감 또는 서명 등 신고(삭제)	전자증권법 도입에 따른 변경 및 신설 내용 반영

2020.03.24	제19기 정기주주총회	제19조의 2 사채 및 신주인수권증권에 표시되어야 할 권리의 전자등록(신설)	전자증권법 도입에 따른 변경 및 신설 내용 반영

2020.03.24	제19기 정기주주총회	제20조 사채발행에 관한 준용규정(변경)	전자증권법 도입에 따른 변경 및 신설 내용 반영

2020.03.24	제19기 정기주주총회	제53조 외부감사인의 선임(변경)	외부감사법 개정에 따른 변경내용 반영

2022.03.29	제21기 정기주주총회	제8조 주식등의 전자등록(변경)	비상장 사채 등 의무등록 대상이 아닌 주식등에 대해서는 전자등록을 하지 않을 수 있도록 함.

2022.03.29	제21기 정기주주총회	제10조 신주인수권(변경)	근로자복지기본법 법조문 변경으로 인한 수정

2022.03.29	제21기 정기주주총회	제11조 주식매수선택권(변경)	상법시행령 법조문 변경으로 인한 수정

2022.03.29	제21기 정기주주총회	제12조 신주의 동등배당(변경)	신주의 발행일에 상관없이 이익배당 기준일을 기준으로 구주와 신주 모두에게 동등하게 이익배당을 할 수 있음을 명확히 하는 것임.(상법 개정 반영)

2022.03.29	제21기 정기주주총회	제46조 감사의 선임·해임(변경)	전자투표 도입시 감사선임의 주주총회 결의요건 완화에 관한 내용을 반영함.

나. 사업목적 현황

구 분	사업목적	사업영위 여부

1	평판표시소자, 태양전지, 유리기판상반도체소자, 플라스틱상반도체소자 및 다양한 마이크로 전자공학 분야의 반도체 제품의 생산을 위한 생산장비, 기계부품 및 부속품의 제조 및 판매	영위

2	FPD, 태양전지, 유리기판상반도체소자, 플라스틱상반도체소자 및 다양한 마이크로 전자공학 분야에서 유리 또는 플라스틱 기판에 사용되는 결정질 반도체 필름의 제조 및 판매	영위

3	부동산임대업	영위

4	기타 상기 사업목적에 부수되는 모든 사업	영위
2. 주요 제품 및 서비스

가. 주요 제품 등의 현황(단위: 천원)

매출유형	품목	생산개시일	주요제품	2023년도 당분기(제 23 기)	2022년도 전기(제 22 기)	2021년도 전전기(제 21 기)

매출액	비율	매출액	비율	매출액	비율

제품	AMOLED열처리장비	2004.10	In-Line RTA,Batch Furnace 등	-	-	55,350	0.08%	3,004,264	3.76%

LTPS LCD열처리장비	2004.10	In-Line RTA,Batch Furnace 등	5,963,432	25.89%	14,146,246	19.93%	498,418	0.62%

Oxide TFT열처리장비	2008.11	WVA	-	-	171,251	0.24%	6,894,576	8.63%

Flexible Display열처리장비	2010.12	PICF	13,358,577	57.99%	48,273,487	68.02%	64,835,108	81.18%

기타 Part	-	-	1,605,890	6.97%	4,571,754	6.44%	2,941,942	3.68%

기타	기타(관리보수,임대등)	2016.11	기타	2,109,748	9.15%	3,756,956	5.29%	1,693,781	2.12%

합계	23,037,647	100.00%	70,975,044	100.00%	79,868,089	100.0%

주) 2018년부터 매출액은 기업회계기준서 제1115호 '고객과의 계약에서 생기는 수익' 적용으로 변경된 수익인식 기준에 따라 작성되었습니다.

(1) 주요 제품 설명

품목	주요제품	특징과 기능 및 주요용도

LTPS TFT제조용열처리 장비(AMOLED/고해상도LCD)	In-line RTA system	■ 고해상도 poly-Si Backplane 제조공정에서 필수적인 선수축 (Pre-compaction)열처리 공정과 이온 도핑(ion-doping) 후 필요한 활성화 공정(dopant activation)을 위한 정밀 온도 제어가 가능한 인라인(in-line)방식의 급속 열처리 장비
■ 단위모듈 조립식으로 구성되어 customer 요구에 적합하게 배열/모듈 개수를 조정 가능■ SMD 5.5G AMOLED라인, LGD 6G LTPS-LCD, Century 5.5G LTPS-LCD라인, BOE 4G 5.5G 적용(활성화, 선수축)

BatchFurnacesystem	■ AMOLED나 고해상도 LTPS LCD 패널을 제조하는데 사용되는 300℃~500℃ 열처리 영역인 수소화 공정, 탈수소화 공정을 수행하기 위한 배치형 퍼니스■ 한 챔버에 4 ~ 12장의 유리기판을 동시에 장입하여 운용하는 시스템이며, 장입된 전체 유리 기판의 ± 3℃ 이내의 정밀한 균일도를 갖는 시스템■ LGD 6G, Tianma 5.5G, BOE 4G 등의 LTSP-LCD라인에 적용

Oxide TFT열처리장비	WVAsystem	■ 차세대 디스플레이(3DTV/UDTV)대응 위해 기존 a-Si TFT 기술의 낮은 특성과 LTPS TFT기술의 대면적 한계를 극복하 고 설비 및 공정 단순화를 통해 양산이 가능한 Oxide TFT 기판 AMOLED/LCD 제조공정에 필요한 IGZO 산화물의 열처 리 장치■ IGZO 산화물 sputtering을 이용한 active막의 형성시 막의 불균일 및 특성 저하 등의 신뢰성에 대한 문제가 난제인데, 이를 해결하기 위하여 당사의 WVA 장비로 공정 중 H2O분위 기를 형성(wet anneal)하여 기존 막의 불균일 및 특성저하를 개선하여 우수한 특성을 갖는 IGZO TFT의 제작이 가능■ AUO 8G, LGD 6G/8G, SEC 7G, BOE 6G, dpiX 4G 등의 Oxide TFT 라인 적용

FlexibleDisplay열처리장비	PICFsystem	■ Flexible Display에서 유리기판을 대체할 수 있는 물질인 폴리이미드를 coating 후 경화하기 위한 고온 curing 장비■ 폴리이미드 경화 시 배출되는 대량의 fume의 효과적인 배기를 위한 최적화된 fume 배기 시스템 및 500℃ PIC 공정온도, ± 3℃ 온도 균일도 확보■ LGD Flexible AMOLED/E-paper 라인 적용

나. 주요 제품 등의 가격변동원인

당사의 제품인 고사양 디스플레이용 열처리 장비는 주문자 제작방식으로 고객의 요구 사양에 의하여 제품의 규모 및 사양이 다양합니다. 일반적으로 패널사이즈 및 처리 기능의 다양성에 따라 장비의 규모 및 단가가 변동되며, 2세대부터 8세대 장비로 장비 규모가 커지고, 고성능의 기능이 지원될수록 납품 단가가 높아집니다.
3. 원재료 및 생산설비

가. 매입 현황(단위: 천원)

유형	품목	2023년도 당분기(제23기)	2022년도 전기(제22기)	2021년도 전전기(제21기)

원재료
외주가공비	가공	4,571,641	11,219,333	13,469,559

판금	1,006,109	1,469,692	5,749,774

수지	17,476	81,987	99,588

구매품	3,598,500	10,248,759	11,573,701

기타	3,118,200	9,548,358	9,685,885

합계	12,311,926	32,568,129	40,578,508

주) 연도별 총 매입금액입니다.

나. 원재료 가격변동추이 및 가격변동 원인

디스플레이용 열처리 설비의 핵심기술은 단위 챔버내 히터(Heater)모듈의 안정적인 구성과 이에 대한 효과적인 온도제어 기술, 그리고 공정수행에 대한 편의성을 위한 소프트웨어 제어 기술이라고 볼 수 있습니다. 이러한 기술을 구현하기 위해서는 적절한 단위 구성 모듈의 설계 기술 뿐만 아니라, 신뢰성 있는 고품질의 생산 제조 및 전기제어기술, 그리고 사용자와 설비간의 원활한 소통을 위한 소프트웨어 기술 등이 필요하고, 이를 뒷받침하기 위한 각 단위 부품들의 적절한 선정과 원활한 공급이 중요한 부분을 차지하게 됩니다.

당사는 국내의 우수한 부품 업체를 지속적으로 발굴하고 검증하여, 국산화 부품의 비율을 점진적으로 높이고 있습니다. 현재 히터 모듈의 몇 가지 부품을 제외하고는 대부분 국내에서 조달하고 있으며, 부품 공급업체들과 국산화 및 ESI를 통해 장비의 성능개선 및 부품공급사의 경쟁력을 높여가고 있으므로, 환율 및 기타 변수 등에 의한 영향은 매우 적은 편입니다.

당사의 제품은 항상 일정한 규격을 가진 제품을 생산하는 것이 아니라 고객사의 주문에 의한 생산으로 제품의 세대, 규격 등에 따라 제조되는 장비의 제조형태도 변경이 됩니다. 따라서 당사에서 구매하는 원재료의 품목, 규격, 재질 등이 일정한 규격을 가진 원재료가 아닌 장비의 제조 사양에 따라 원재료의 규격 등이 변경되기 때문에 개별원재료에 대한 가격의 변동추이를 파악하기 어렵습니다.

다. 생산 품목별 현황

당사의 장비는 생산되는 장비의 구조적 관점에 따라 수평식의 인라인 타입, 수직식의배치 타입으로 구분되며 고객사의 주문에 따라 생산성, 고온열처리 방법, 배열모듈 조건, 기판의 크기 등을 고려하여 고객사의 생산라인 특성에 적합하게 제조되고 있습니다. 이에 당사는 수평식의 인라인 타입과 수직식의 배치 타입을 동시에 제조/생산하고 있습니다.

장비 타입 구성현황

인라인(In-Line Type) 타입	배치(Batch Type) 타입

50.jpg 인라인 장비	51.jpg 배치 장비

라. 생산능력 및 생산실적

당사의 열처리 장비는 주문자 제작방식으로 개별 장비의 주문자 요구사항에 따라 여러 개의 챔버를 조합하여 한 대의 장비를 구성합니다. 즉, 일정하게 정량화된 장비를 생산하는 것이 아니고 수주한 장비의 고객 주문사양에 따라 세대, 규격을 비롯한 형태도 변경이 됩니다. 또한 당사는 장비제조에 있어 기구조립, 전장배선 연결, 소프트웨어의 프로그램, 유틸리티 조립 등 여러 분야에 대해 협력업체의 인적자원을 활용하고 있으며 장비의 세대에 따라 제조할 수 있는 작업공간이 결정되기 때문에 생산능력을 포함한 가동율을 적정하게 평가하기는 어려운 상황입니다.

통상적인 경우는 한 대의 장비에 4~7개의 챔버로 구성이 되어 있어, 이를 연간으로 환산했을 때 연간 생산 가능한 CAPA는 8세대 챔버 기준으로 250대 정도 제작할 수 있습니다.

마. 생산 설비에 관한 사항(1) 생산설비 등의 현황

(기준일 : 2023년 09월 30일) (단위 : 천원)

공장별	자산별	소유형태	소재지	기초가액	당기증감	당기상각	기말가액

증가	감소

본사
및종속회사	토지	자가보유	경기수원	16,449,354	303,695	-	-	16,753,049

건물	14,286,378	1,015,470	-	(331,463)	14,970,385

기계장치	4,307	-	-	(3,302)	1,005

시설장치	967,499	152,800	-	(218,344)	901,955

공구와기구	2,869	1,300	-	(826)	3,343

차량운반구	501,693	13,472	(1)	(96,576)	418,588

비품	105,998	60,564	-	(29,840)	136,722

사용권자산	236,011	58,800	-	(118,243)	176,568

건설중인자산	154,010	103,090	(229,200)	-	27,900

계	32,708,119	1,709,191	(229,201)	(798,594)	33,389,515

주) 회사는 2019년 01월 01일을 최초적용일로 하여 기업회계기준서 제1116호 '리스'을 적용하였습니다.
4. 매출 및 수주상황

가. 매출실적(단위: 천원, 천USD)

매출유형	품목	2023년도 당분기(제23기)	2022년도 전기(제22기)	2021년도 전전기(제21기)

제품	AMOLED열처리장비	수출	-	-	509,614($456)

내수	-	55,350	2,494,650

소계	-	55,350	3,004,264

LTPS LCD 열처리장비	수출	5,963,432
($4,561)	14,146,246($10,499)	498,418($443)

내수	-	-	-

소계	5,963,432	14,146,246	498,418

Oxide TFT열처리장비	수출	-	-	-

내수	-	171,251	6,894,576

소계	-	171,251	6,894,576

Flexible Display열처리장비	수출	11,639,818($8,859)	22,277,245($17,997)	64,835,108($56,697)

내수	1,718,758	25,996,242	-

소계	13,358,577	48,273,487	64,835,108

기타 Part	수출	796,024($611)	2,157,120($1,684)	1,217,338($1,055)

내수	809,866	2,414,634	1,724,604

소계	1,605,890	4,571,754	2,941,242

기타	기타(관리보수,임대수익등)	수출	-	-	-

내수	2,109,748	3,756,956	1,693,781

소계	2,109,748	3,756,956	1,693,781

수 출	18,399,274($14,031)	38,580,611($30,180)	67,060,478($58,652)

내 수	4,638,372	32,394,433	12,807,611

합 계	23,037,647	70,975,044	79,868,089

주) 상기 2018년부터 매출액은 기업회계기준서 제1115호 '고객과의 계약에서 생기는 수익' 적용으로 변경된 수익인식 기준에 따라 작성되었습니다.

나. 판매 경로(1) 판매 조직

당사 제품의 판매는 마케팅 부서에서 총괄하고 있으며, 세부적으로 국내영업팀, 해외영업팀으로 나누어져 있습니다.

(2) 판매 전략당사의 장비 판매 전략은 단순하게 영업부의 수주 노력에만 그치는 것이 아니라 연구소의 신기술 개발, 기술지원 파트의 양산 공정 및 장비 운용 노하우 개발, C/S 부서의납입된 장비에 대한 운용지원이 어우러진 종합적인 판매 전략을 수립하고 있습니다.

다. 수주상황(1) 수주상황(단위 : 백만원)

품목	수주일자	납기	수주총액	기납품액	수주잔고

수량	금액	수량	금액	수량	금액

디스플레이용 제조장비	2020년
~ 2023년	2024년	-	68,118	-	20,927	-	47,191

합 계	-	68,118	-	20,927	-	47,191

주1) 수주총액에는 전기 이월수주액이 포함되어 있습니다.주2) 상기 수주잔고는 기업회계기준서 제1115호 적용으로 변경된 수익인식 기준에 따라 작성하였습니다.(2) 진행율적용 수주상황당사는 기업회계기준서 제1115호 적용으로 변경된 회계기준(수익인식 기준)으로 인하여 진행율이 적용되는 수주계약은 없습니다.
5. 위험관리 및 파생거래

가. 환율위험

당사는 수출대금을 외화(USD)로 회수하고 있으며, 2023년 당분기말 현재 외화 장부금액으로 자산 62,914,640천원, 부채 5,916,116천원이 환위험에 노출되어 있지만, 당사는 내부적으로 원화 환율변동에 대한 환위험을 정기적으로 측정하여 환위험에 적극적으로 대응하고 있습니다. 당분기말 현재 각 외화에 대한 원화의 환율이 5% 변동시 환율 변동이 화폐성 외화자산 부채에 미치는 영향으로 인한 법인세차감전순손익에 미치는 영향은 다음과 같습니다. (단위 : 천원)

구분	당분기	전기

5% 상승시	5% 하락시	5% 상승시	5% 하락시

USD	2,849,926	(2,849,926)	3,370,877	(3,370,877)

나. 금리위험 당사는 당분기 및 전기 보고기간 종료일 현재 변동이자율이 적용되는 차입금을 보유하고 있지 않습니다.

다. 기타 위험 및 위험관리 정책당사는 별도의 위험 관리 조직을 구성하고 있지 아니하며, 환위험 및 금리위험의 경우 경영지원부에서 관리를 하고 있습니다.

라. 파생상품 및 풋백옵션 등 거래현황

당분기말 현재 거래현황은 없습니다.
6. 주요계약 및 연구개발활동

가. 주요 연구개발 부서의 현황

구분	연구개발과제

반도체사업부	■ 반도체사업 추진■ 신규 개발 장비 설계 및 개발 ■ 문서화 및 표준화 진행

패키징사업부	■ 신규사업 추진■ 신규 개발 장비 설계 및 개발 ■ 문서화 및 표준화 진행

나. 연구개발비용(단위 : 천원)

구분	2023년도 당분기(제23기)	2022년도 전기(제22기)	2021년도 전전기(제21기)

자산처리	개발비	-	-	-

비용처리	제조원가	-	-	-

판관비	3,900,710	7,734,847	5,614,576

연구개발비 계(정부보조금 차감전)	3,900,710	7,734,847	5,614,576

(정부보조금)	1,003,777	2,062,994	(641,692)

연구개발비용계(정부보조금 차감후)	2,896,933	5,671,853	4,971,884

연구개발비 / 매출액비율	12.57%	7.99%	6.34%

다. 연구개발 실적

연구과제명	연구결과(제품화)

In-line 열처리 장비의 개발	1) 고온 안정한 setter의 개발 2) 고온 glass 이송 mechanism 개발 3) 고온 균일도 보장을 위한 heater 개발 4) 다단 heater의 제어 mechanism 개발

Field Enhance RTAmodule 개발	1) 4세대급 이상의 고주파 자속 인가 장치 2) 고주파 power-supply와 자속 인가 코일의 matching 장치 3) 고주파 자속 차폐 모듈

산화물 TFT 열처리용Water Vapor Annealingsystem(WVA) 개발	1) 8세대급 균일 분사 nozzle 개발(H2O vapor 공급 균일도) 2) 고용량 water vapor generator 개발(H2O vapor 반응 균일도) - bubbler, torch, vaporizer를 통한 H2O수증기 제어시스템의 개발 - computer simulation 및 제작 후 nozzle에서 정밀 계측기를 통한 분사 균일도 측정.

Plastic EPD용PI 열처리 설비_1 (다단 기판 장입을 이용한 양산성 극대화의 배치 퍼니스개발)	1) chamber내 최대 장착가능한 유리기판의 극대화 (max. 50 slot) 2) PI coating 후 고형화를 위한 고온 curing 장비 3) chamber 내 유리기판 다단 적재, shutter, 배기부, N2 공급부, glass loading부의 개발 4) 400℃ 고온 curing process 조건 만족을 위한 온도 제어 5) N2 blower 및 유기배기 제어를 통해 다량의 fume 제어 (기류시뮬레이션 분석)

Plastic OLED용PI 열처리 설비_2(Multi-zone 제어에 의한 공정 온도 균일도 구현이 가능한 배치 퍼니스)	(multi-zone 제어에 의한 공정 온도 균일도 구현이 가능한 배치 퍼니스)1) 평판형 세라믹 히터의 개발, 면분할 독립 온도 제어 시스템 (heater 12분할) 2) 최적화된 fume 배기 system (승화물 처리장치 개발): 이물방지 시스템 3) 최적화된 N2 supply nozzle 4) 열적 안정성을 높인 독립제어 shutter 시스템 개발 5) 500℃ PIC 공정 및 ± 3℃ 온도 균일도 공정구현 개발 6) glass이송 제어위한 로봇과 chamber간의 통신제어시스템 개발

박막태양전지 투명전극 성막용 APCVD 제조장비 개발	1) 대면적 증착용 Injector 개발 2) 대면적 가열 및 냉각로 개발 3) 전기적, 광학적 특성이 우수한 precursor 개발, 4) 유리 기판 이송 및 반송에 대응하는 handling 시스템 개발

Atmospheric Metal Doping system 개발	1) 액상의 Ni 기화 장치 2) 미량 균일 분사용 nozzle 3) nozzle의 정밀 이송 제어 장치

6세대/ 8세대 멀티슬롯 배치형 퍼니스의 개발	1) 최대 12장의 유리기판 동시 장입 온도 및 기판변형 제어기술2) 생산량 증대를 위한 챔버내 온도 급속 안정화 제어기술3) 안정적인 로봇을 이용한 유리기판 이송시스템

고해상도 LTPS LCD/ AMOLED를 위한 6세대/ 8세대 pre-compaction 장비의 개발	1) 6세대/8세대 유리기판의 back side 면 scratch, particel 제어기술2) 6세대/8세대 유리기판의 warpage/shrinkage 열변형 제어기술3) 대면적 초정밀 온도 제어기술(±2.5℃) 및 대면적 유리기판의 선 수축 공정온도 변화에 따른 기판 수축 데이터 화 완료

대면적 IR 평판 히터 모듈 개발	1) 내부 열선 및 애자 구성 등 최적 조합을 통한 균일한 온도 제어2) 히터 모듈 열변형 최소화를 위한 구성3) 소재 발굴, 설계, 방사 코팅의 최적화를 통한 이물 억제

열 손실 방지를 위한반사 셔터 모듈 개발	1) 유리 기판 장입/배출을 위한 shutter 개방 시, 열 손실 최소화 2) 열 처리 공정 시 승온 및 회복 시간 단축3) 제품 생산량 극대화
7. 기타 참고사항

가. 특허보유현황

(기준일 : 2023년 09월 30일)

특허등록	특허출원	비고

구분	수량	구분	수량

국내	58건	국내	16건	-

해외	-	해외	19건	-

상표등록	6건	-	-	-

합계	64건	합계	35건	-