파크시스템스 사업보고서 (2024.12)
7. 기타 참고사항

1. 특허 현황

구분	등록일	만료일	등록번호	제목	근거법령	취득소요인력(명)	취득소요기간	취득 소용비용(원)	상용화 여부

특허권	2022.6.13	2040.6.1	제 10-2409758 호	광학 측정 장치가 장착된 원자 현미경 및 이를 이용하여 측정 대상의 표면의 정보를 얻는 방법	특허법	4명	2020.01.01 ~ 2022.06.13	4,026,200	○

특허권	2023.3.08	2040.11.25	제 10-2509460 호	원자 현미경에서 목표 위치를 인식하기 위한 장치 및 방법	특허법	3명	2020.06.01 ~ 2023.03.08	3,821,490	O

특허권	2022.11.04	2040.12.4	제 10-2465302 호	원자 현미경에서 프로브 종류를 인식하기 위한 장치 및 방법	특허법	3명	2019.06.01~ 2022.11.04	4,154,890	O

특허권	2023.1.11	2040.12.17	제 10-2504845 호	색상별 간섭무늬 분석을 통한 시료의 표면 지형도 측정 장치 및 방법	특허법	5명	2020.06.01~ 2023.01.11	1,821,600	O

특허권	2023.7.06	2040-12-31	제10-2554224 호	원자 현미경에서 시료 위치를 인식하기 위한 방법 및 장치	특허법	3명	2020.06.01~ 2023.07.06	4,492,800	O

특허권	2024.1.15	2041-8-3	제 10-2626928 호	자기장 생성 장치 및 이를 가지는 원자 현미경	특허법	3명	2021.01.01~ 2024.01.15	4,137,200	○

특허권	2024.1.30	2041-9-23	제 10-2632891 호	측정 장치에 의해 측정 대상의 표면의 특성을 측정하는 방법, 이 방법이 수행되기 위한 원자 현미경 및 이 방법이 수행되기 위해 저장 매체에 저장된 컴퓨터 프로그램	특허법	5명	2021.02.01~ 2024.01.30	4,338,800	○

2. 영업의 개황 (1) 개발 활동1) 연구용 장비 개발

당사는 현재 진행 중인 다수의 기술개발 사업이 있으며 일부는 정부지원을 받는 국책과제를 통해 수행 중입니다. 또한,자동화 연구용 AFM인 FX 시리즈가 호평 속에 판매중이며, 최근에는 FX200, FX300 등 더 진보한 연구용 AFM을 출시하였습니다. 앞으로는 나노광측정, 나노리쏘, 나노조작 등의 나노기술을 주도해 나아가면서 대중적인 AFM 보급을 위해 앞장 설 것입니다.

2) 산업용 장비 개발

당사는 IMEC 연구소와 두번째 공동연구개발 계약(Joint Development Project)를 진행중이며, 해당 프로젝트를 확대하기 위한 논의 중입니다. 현재 JDP에서는 반도체 공정에서의 Advanced Packaging, Wafer bonding 공정 연구 및 이와 연관된 CMP 공정 등의 분야에서도 AFM의 활용방안에 대해 연구 중입니다.이러한 IMEC과의 협업을 통해 산업용 시장의 요구를 모두 충족시키는 최상의 기술 솔루션을 제공하여 원자현미경이 차세대 미세공정 검사장비로 자리매김하도록 할 것입니다. NX-Hybrid WLI, NX-Mask, NX-TSH 등 신규 장비들이 많은 관심 속에 매출이 발생하고 있으며, 주요 고객사들과의 주기적인 R 미팅을 통해 솔루션을 제공하고 장비를 개선해 나가고 있습니다.또한, 후공정의 고도화로 인해 원자현미경의 수요가 발생하고 있어 반도체 공정 전반에 걸쳐 원자현미경의 용처가 계속 확대되고 있는 중입니다. 또한, 당사의 기술이 국가핵심기술로 지정되어 있는 만큼 다양한 국책과제들이 진행중이며, 전방 산업의 메이저 고객사들로부터 많은 기회가 찾아오고 있습니다. 이러한 기회에 대응하여 고객이 만족할만한 솔루션을 제공하기 위한 연구개발 활동이 지속되고 있습니다.

(2) 시장 규모 및 전망 나노기술이 각광받는 현재, 광학현미경 시장은 이미 성숙된 시장이고 분해능이 높지 않아서 나노기술의 발전과 무관하다고 평가받고 있습니다. 이에 비해 원자현미경은 나노기술의 발전과 밀접하게 관련되어 있으며 자체 시장의 성장 뿐 아니라 전자현미경(SEM) 시장을 일부 흡수할 것이기 때문에 가장 빠른 성장을 보일 것으로 예상하면서 그 이유를 아래와 같이 설명하고 있습니다. 1) 연구용 장비 시장 (material science)

- 원자현미경은 공기 중에서는 물론 진공이나 용액 안에서도 사용할 수 있는데 비해 전자 현미경은 진공에서만 사용할 수 있습니다.

- 전자현미경의 경우 정교하고 복잡한 시료 준비가 필요하지만 원자현미경의 경우 별다른 시료 준비가 필요하지 않습니다.

- 원자현미경의 경우 높낮이, 각도, 거칠기 등 정량적인 3차원 형상 정보를 정량적으로 제공하지만 전자현미경의 경우 2D 이미지 제공만 가능하고 정량적인 입체정보를 측정할 수 없습니다.

- 원자현미경은 다양한 옵션들을 이용하여 시료의 기계적, 전기적, 열적 특성을 측정할 수 있지만 전자현미경으로는 불가능합니다.

2) 산업용 장비 시장 (semiconductor and electronics)

- 디바이스의 크기가 작아짐에 따라 전자현미경의 resolution, contrast, SNR 등이 시료 측정에 충분하게 따라가지 못하고 있습니다

- 점점 작고 복잡해지고 있는 wafer의 표면 형상이 전자현미경 측정 중에 발생하는 전자빔에 의해 오염 또는 변형되는 문제가 심각한 이슈가 되고 있습니다.

- FinFET, GAA와 같은 3D 형태의 트랜지스터의 경우 전자현미경으로는 정확한 측정이 되지 않고 있으며, 3차원적으로 나노스케일의 측정이 가능한 원자현미경이 필수 장비가 되어가고 있습니다. - 반도체가 적층구조 형태가 되어가면서 복잡하고 다단한 3차원 형태로 변해가고 있기 때문에 원자현미경의 필요성이 증대되고 있습니다.

3) 바이오 연구용 장비 시장

- 현재 바이오 시장은 전 세계 현미경 시장 중에서 가장 큰데 기존의 광학 현미경으로는 측정하기 어려운 나노미터, 분자 수준의 분해능을 필요로 하는 수요가 증대되고 있습니다.

- 전자현미경으로는 살아있는 세포나 용액 안에서의 측정이 불가능한데 비해 원자현미경(SICM이나 liquid AFM)으로는 가능합니다.

원자현미경 시장은 이제 열리고 있는 새로운 시장입니다. 따라서, 시장 규모에 대한 정확한 숫자를 집계하기는 아직 어려운 단계입니다. 시장 보고서 Global Atomic-force Microscopy Market Report(History and Forecast 2019~2030)에 따르면 전 세계 현미경 시장은 2025년도 $614M에서 2030년도 $1,013M로 연간성장율(CAGR) 약 11%를 예상하고 있습니다만 당사에서는 원자현미경 시장의 성장속도는 이보다 더 빠를 것으로 추정하고 있습니다.

(단위 : US$ Million)

TYPE	2025	2026	2027	2028	2029	2030	CAGR

Industrial	256	279	334	390	462	525	15.25%

Research	358	396	410	437	454	488	7.29%

Total	614	675	744	827	916	1,013	10.92%

Source : Global Atomic-Force Microscopy Market Report (History and Forecast 2019-2030) by QY Reserch 4) 2025년 영업전망 2025년 글로벌 반도체 시장은 AI 반도체의 지속적인 성장과 함께 HBM(고대역폭 메모리) 및 Advanced Packaging(고급 패키징) 투자가 확대될 전망입니다. 비메모리 반도체 분야에서도 글로벌 주요 업체들이 투자를 재개하고 있으며, AI, 차량용 반도체, 데이터센터 수요 증가가 시장을 견인할 것으로 예상됩니다. 메모리 반도체 부문에서는 차세대 D램의 미세 회로 구현을 위한 EUV(극자외선) 장비 도입이 가속화되면서 반도체 공정의 고도화가 지속될 것입니다. 이로 인해 미세 공정 관련 장비 수요가 증가하고, 당사의 원자현미경 장비의 투입이 증가할 것으로 기대됩니다. 또한, Advanced Packaging 기술이 발전하면서 패키징의 집적도가 높아지고 있으며, 원자현미경 장비의 중요성이 더욱 부각될 것입니다. 이에 따라, 전공정 뿐만 아니라 후공정 내에서도 당사 장비의 채택이 증가할 전망입니다. 당사는 차세대 반도체 공정 대응을 위해 연구개발(R) 투자를 확대하고, 주요 반도체 제조업체와의 협력을 강화하여 글로벌 시장 점유율을 확대해 나갈 계획입니다.

2025년은 반도체 업황 회복과 첨단 공정 투자 증가로 당사에 긍정적인 영향을 미칠 것으로 예상됩니다. AI 반도체, Advanced Packaging, EUV 공정 확대 등의 트렌드는 당사의 핵심 사업과 밀접하게 연관되어 있으며, 이를 기반으로 지속적인 성장을 기대하고 있습니다. 글로벌 반도체 시장의 변화에 신속히 대응하여 시장 점유율 확대와 기술 경쟁력 강화를 위한 전략을 적극 추진할 것입니다.