파크시스템스 반기보고서 (2023.06)
7. 기타 참고사항

1. 특허 현황

구분	등록일	만료일	등록번호	제목	근거법령	취득소요인력(명)	취득소요기간(시간)	취득 소용비용	상용화 여부

특허권	2020-11-25	2039-06-10	특허 제10-2185170 호	칩 캐리어의 자동 교환이 가능한 원자 현미경 및 제어 방법	특허법	3명	약1년 6개월	4,025,890	○

특허권	2020-11-09	2039-06-10	특허 제10-2182721 호	칩 캐리어 교환 장치 및 이를 포함하는 원자 현미경 장치	특허법	4명	약 1년 5개월	4,025,890	○

특허권	2017-10-23	2036-05-26	특허 제10-1791057호	탐침의 분류 방법 및 장치	특허법	3명	약 1년 5개월	4,339,340	○

특허권	2016-11-15	2034-12-24	특허 제10-1678183호	레이저 스팟의 이동 범위를 제한하는 헤드 및 이를 구비하는 원자현미경	특허법	3명	약 1년 11개월	3,711,640	○

특허권	2016-06-08	2034-10-24	특허 제10-1630392 호	토포그래피 신호 및 옵션신호 획득방법, 장치 및 이를 구비하는 원자현미경	특허법	4명	약 1년 7개월	4,604,940	○

2. 영업의 개황(1) 개발 활동1) 연구용 장비 개발

당사는 현재 진행 중인 다수의 기술개발 사업이 있으며 일부는 정부지원을 받는 국책과제를 통해 수행 중입니다. 또한, 지난해 당사의 새로운 연구용 AFM인 FX 시리즈를 출시하였으며, 앞으로는 나노광측정, 나노리쏘, 나노조작 등의 나노기술을 주도해 나아가면서, 대중적인 AFM 보급을 위해 앞장 설 것입니다.

2) 산업용 장비 개발

당사는 차세대 반도체 인라인 AFM 솔루션 개발을 위해 2020년 2월 IMEC과 2차 공동개발프로젝트(JDP) 협약을 체결하였습니다. 이번 2차 JDP에서는 점차 미세화되고 있는 반도체 분야에서의 다양한 과제를 NX-Wafer 제품을 통해 해결하는 데 초점을 맞추고 있습니다. 이러한 IMEC과의 협업을 통해 산업용 시장의 요구를 모두 충족시키는 최상의 기술 솔루션을 제공하여 원자현미경이 차세대 미세공정 검사장비로 자리매김하도록 할 것입니다. 최근에는 NX-Hybrid WLI, NX-Mask를 비롯한 신규 장비들을 개발 및 런칭하는 등 다양한 어플리케이션에서 최상의 솔루션을 제공하기 위한 연구 개발 활동을 이어나아가고 있습니다. 또한, 반도체 산업에 머무르지 않고 당사의 디스플레이용 장비인 NX-TSH가 납품되기 시작하면서 디스플레이 산업으로의 진출도 기대하고 있습니다.

(2) 시장 규모 및 전망 나노기술이 각광받는 현재, 광학현미경 시장은 이미 성숙된 시장이고 분해능이 높지 않아서 나노기술의 발전과 무관하다고 평가받고 있습니다. 이에 비해 원자현미경은 나노기술의 발전과 밀접하게 관련되어 있으며 자체 시장의 성장 뿐 아니라 전자현미경(SEM) 시장을 일부 흡수할 것이기 때문에 가장 빠른 성장을 보일 것으로 예상하면서 그 이유를 아래와 같이 설명하고 있습니다.1) 연구용 장비 시장 (material science)

- 원자현미경은 공기 중에서는 물론 진공이나 용액 안에서도 사용할 수 있는데 비해 전자 현미경은 진공에서만 사용할 수 있습니다.

- 전자현미경의 경우 정교하고 복잡한 시료 준비가 필요하지만 원자현미경의 경우 별다른 시료 준비가 필요하지 않습니다.

- 원자현미경의 경우 높낮이, 각도, 거칠기 등 정량적인 3차원 형상 정보를 정량적으로 제공하지만 전자현미경의 경우 2D 이미지 제공만 가능하고 정량적인 입체정보를 측정할 수 없습니다.

- 원자현미경은 다양한 옵션들을 이용하여 시료의 기계적, 전기적, 열적 특성을 측정할 수 있지만 전자현미경으로는 불가능합니다.

2) 산업용 장비 시장 (semiconductor and electronics)

- 디바이스의 크기가 작아짐에 따라 전자현미경의 resolution, contrast, SNR 등이 시료 측정에 충분하게 따라가지 못하고 있습니다

- 점점 작고 복잡해지고 있는 wafer의 표면 형상이 전자현미경 측정 중에 발생하는 전자빔에 의해 오염 또는 변형되는 문제가 심각한 이슈가 되고 있습니다.

- FinFET과 같은 3D 디자인의 경우 전자현미경으로는 정확한 측정이 되지 않고 있으며 당사의 3차원 원자현미경(NX-3DM)과 같은 새로운 원자현미경이 유일한 대안으로 부상하고 있습니다.

3) 바이오 연구용 장비 시장

- 현재 바이오 시장은 전 세계 현미경 시장 중에서 가장 큰데 기존의 광학 현미경으로는 측정하기 어려운 나노미터, 분자 수준의 분해능을 필요로 하는 수요가 증대되고 있습니다.

- 전자현미경으로는 살아있는 세포나 용액 안에서의 측정이 불가능한데 비해 원자현미경(SICM이나 liquid AFM)으로는 가능합니다.

원자현미경 시장은 이제 열리고 있는 새로운 시장입니다. 따라서, 시장 규모에 대한 정확한 숫자를 집계하기는 아직 어려운 단계입니다. 시장 보고서 Global Atomic-force Microscopy Market Report(History and Forecast 2018~2029)에 따르면 전 세계 현미경 시장은 2023년도 $454M에서 2029년도 $603M로 연간성장율(CAGR) 약 5%를 예상하고 있습니다만 당사에서는 원자현미경 시장의 성장속도는 이보다 더 빠를 것으로 추정하고 있습니다.

표 1. 원자현미경 시장 (USD $ Million)

Type	2023년	2025년	2027년	2029년	CAGR(2023~2029)

Industrial Grade	151	163	180	207	5.43%

Research Grade	303	325	350	396	4.6%

Total	454	488	530	603	4.88%

Source: Global Atomic-force Microscopy Market Report(History and Forecast 2018-2029) by QYResearch

4) 2023년 영업전망

반도체 시장에서 사용되는 자동화 원자현미경은 기존의 Surface roughness 분석을 넘어 CMP공정으로 인한 dishing과 erosion의 정밀한 측정과 Wafer 전체 영역에서의 균일도도 확인해주고 있습니다. 아울러 글로벌 반도체 제조업체들에게 장비를 공급하고 있으며, 전방산업의 미세화 흐름과 함께 다양한 Application 대응을 위한 AFM이투입되고 있습니다. 이밖에 NX-Hybrid WLI 등 고객에게 최상의 솔루션을 제공하기 위한 신제품이 출시되어 호평 속에 테스트 중이며, 디스플레이 산업에서의 수요도 증가하고 있습니다. 또한, NX-Mask는 EUV마스크 리페어용 장비로 EUV 공정내에서 확대가 기대되고 있습니다. 2023년은 기존 장비 뿐 아니라, 신제품 및 디스플레이 장비의 시장수요가 증가하면서 당사의 매출액이 증대할 것으로 기대하고있습니다.