파크시스템스 반기보고서 (2024.06)
7. 기타 참고사항

1. 특허 현황

구분	등록일	만료일	등록번호	제목	근거법령	취득소요인력(명)	취득소요기간(시간)	취득 소용비용	상용화 여부

특허권	2020-11-25	2039-06-10	특허 제10-2185170 호	칩 캐리어의 자동 교환이 가능한 원자 현미경 및 제어 방법	특허법	3명	약1년 6개월	4,025,890	○

특허권	2020-11-09	2039-06-10	특허 제10-2182721 호	칩 캐리어 교환 장치 및 이를 포함하는 원자 현미경 장치	특허법	4명	약 1년 5개월	4,025,890	○

특허권	2017-10-23	2036-05-26	특허 제10-1791057호	탐침의 분류 방법 및 장치	특허법	3명	약 1년 5개월	4,339,340	○

특허권	2016-11-15	2034-12-24	특허 제10-1678183호	레이저 스팟의 이동 범위를 제한하는 헤드 및 이를 구비하는 원자현미경	특허법	3명	약 1년 11개월	3,711,640	○

특허권	2016-06-08	2034-10-24	특허 제10-1630392 호	토포그래피 신호 및 옵션신호 획득방법, 장치 및 이를 구비하는 원자현미경	특허법	4명	약 1년 7개월	4,604,940	○

2. 영업의 개황(1) 개발 활동1) 연구용 장비 개발

당사는 현재 진행 중인 다수의 기술개발 사업이 있으며 일부는 정부지원을 받는 국책과제를 통해 수행 중입니다. 또한,자동화 연구용 AFM인 FX 시리즈가 호평 속에 판매중이며, 앞으로는 나노광측정, 나노리쏘, 나노조작 등의 나노기술을 주도해 나아가면서 대중적인 AFM 보급을 위해 앞장 설 것입니다.

2) 산업용 장비 개발

당사는 IMEC 연구소와 두번째 공동연구개발 계약(Joint Development Project)를 진행중이며, 해당 프로젝트를 확대하기 위한 논의 중입니다. 현재 JDP에서는 반도체 공정에서의 Advanced Packaging, Wafer bonding 공정 연구 및 이와 연관된 CMP 공정 등의 분야에서도 AFM의 활용방안에 대해 연구 중입니다.이러한 IMEC과의 협업을 통해 산업용 시장의 요구를 모두 충족시키는 최상의 기술 솔루션을 제공하여 원자현미경이 차세대 미세공정 검사장비로 자리매김하도록 할 것입니다. NX-Hybrid WLI, NX-Mask를 비롯한 신규 장비들이 많은 관심 속에 매출이 발생하고 있으며, 주요 고객사들과의 주기적인 R 미팅을 통해 솔루션을 제공하고 장비를 개선해 나가고 있습니다. 2020년 첫 출고했던 디스플레이용 장비인 NX-TSH를 2022년과 2023년에도 납품하면서 디스플레이 산업에서의 원자현미경의 필요성도 확인할 수 있었습니다.또한, 당사의 기술이 국가핵심기술로 지정되어 있는 만큼 다양한 국책과제들이 진행중이며, 전방 산업의 메이저 고객사들로부터 많은 기회가 찾아오고 있습니다. 이러한 기회에 대응하여 고객이 만족할만한 솔루션을 제공하기 위한 연구개발 활동이 지속되고 있습니다.

(2) 시장 규모 및 전망 나노기술이 각광받는 현재, 광학현미경 시장은 이미 성숙된 시장이고 분해능이 높지 않아서 나노기술의 발전과 무관하다고 평가받고 있습니다. 이에 비해 원자현미경은 나노기술의 발전과 밀접하게 관련되어 있으며 자체 시장의 성장 뿐 아니라 전자현미경(SEM) 시장을 일부 흡수할 것이기 때문에 가장 빠른 성장을 보일 것으로 예상하면서 그 이유를 아래와 같이 설명하고 있습니다.1) 연구용 장비 시장 (material science)

- 원자현미경은 공기 중에서는 물론 진공이나 용액 안에서도 사용할 수 있는데 비해 전자 현미경은 진공에서만 사용할 수 있습니다.

- 전자현미경의 경우 정교하고 복잡한 시료 준비가 필요하지만 원자현미경의 경우 별다른 시료 준비가 필요하지 않습니다.

- 원자현미경의 경우 높낮이, 각도, 거칠기 등 정량적인 3차원 형상 정보를 정량적으로 제공하지만 전자현미경의 경우 2D 이미지 제공만 가능하고 정량적인 입체정보를 측정할 수 없습니다.

- 원자현미경은 다양한 옵션들을 이용하여 시료의 기계적, 전기적, 열적 특성을 측정할 수 있지만 전자현미경으로는 불가능합니다.

2) 산업용 장비 시장 (semiconductor and electronics)

- 디바이스의 크기가 작아짐에 따라 전자현미경의 resolution, contrast, SNR 등이 시료 측정에 충분하게 따라가지 못하고 있습니다

- 점점 작고 복잡해지고 있는 wafer의 표면 형상이 전자현미경 측정 중에 발생하는 전자빔에 의해 오염 또는 변형되는 문제가 심각한 이슈가 되고 있습니다.

- FinFET과 같은 3D 디자인의 경우 전자현미경으로는 정확한 측정이 되지 않고 있으며, 3차원적으로 나노스케일의 측정이 가능한 원자현미경이 필수 장비가 되어가고 있습니다.- 반도체가 적층구조 형태가 되어가면서 복잡하고 다단한 3차원 형태로 변해가고 있기 때문에 원자현미경의 필요성이 증대되고 있습니다.

3) 바이오 연구용 장비 시장

- 현재 바이오 시장은 전 세계 현미경 시장 중에서 가장 큰데 기존의 광학 현미경으로는 측정하기 어려운 나노미터, 분자 수준의 분해능을 필요로 하는 수요가 증대되고 있습니다.

- 전자현미경으로는 살아있는 세포나 용액 안에서의 측정이 불가능한데 비해 원자현미경(SICM이나 liquid AFM)으로는 가능합니다.

원자현미경 시장은 이제 열리고 있는 새로운 시장입니다. 따라서, 시장 규모에 대한 정확한 숫자를 집계하기는 아직 어려운 단계입니다. 시장 보고서 Global Atomic-force Microscopy Market Report(History and Forecast 2019~2030)에 따르면 전 세계 현미경 시장은 2024년도 $544M에서 2030년도 $1,013M로 연간성장율(CAGR) 약 11%를 예상하고 있습니다만 당사에서는 원자현미경 시장의 성장속도는 이보다 더 빠를 것으로 추정하고 있습니다.

(단위 : US$ Million)

TYPE	2024	2025	2026	2027	2028	2029	2030	CAGR

Industrial	224	256	279	334	390	462	525	15.25%

Research	320	358	396	410	437	454	488	7.29%

Total	544	614	675	744	827	916	1,013	10.92%

Source : Global Atomic-Force Microscopy Market Report (History and Forecast 2019-2030) by QY Reserch 4) 2024년 영업전망 2024년은 반도체 업황이 살아나면서 당사의 영업상황도 개선될 것으로 기대하고 있습니다. AI반도체에 힘입어 작년 한 해동안 주목받았던 HBM, Advanced packaging에 대한 투자는 물론, 글로벌 업체들이 다시 비메모리에 투자를 하려는 움직임을 보이고 있습니다. 또한, 메모리 공정에서도 EUV장비의 도입을 하기 위한 움직임이 계속되고 있습니다. 당사의 기술은 반도체 공정의 미세화와 함께 진행되는 장비입니다.

따라서, 상기와 같이 반도체 공정의 고도화를 위한 투자들이 지속된다면 원자현미경의 투입도 자연스레 늘어날 것으로 기대합니다.글로벌 반도체업체들은 팹을 건설하는 등 비메모리에 투자를 하기 위한 계획을 추진중이며, 메모리 업계에서는 차세대 D램에 미세 회로를 구현하기 위해 EUV장비의 도입을 추진하고 있습니다. 이러한 첨단 공정에는 당사의 NX-Wafer, NX-Mask 등의 장비가 필수적이기 때문에 해당 장비에 대한 수요가 증가할 것으로 기대하고 있습니다. 또한, 당사는 이미 반도체 제조사의 패키징팹과 OSAT 업체에 산업용 원자현미경을 납품하고 있습니다. 올해도 Advanced packaging은 더욱 고도화 될 전망입니다. 패키징의 고도화는 집적도가 높아진다는 것을 의미하며, 원자현미경의 필요성은 계속해서 높아질 것입니다. 원자현미경은 Hybrid bonding 과정에서 접착면의 평탄도를 검사하는 역할을 할 수 있습니다. 반도체 내의 다양한 분야에서 고도화가 이루어지고 있지만, 모두 공정 미세화 흐름의 한 부분입니다. 당사는 원자현미경이 미세화되는 여러 반도체 공정에 대응할 수 있는 장비로서 지속적으로 투입량이 늘어날 것으로 보고 있으며, 올 해도 성장하는 한 해가 될 것으로 기대하고 있습니다.