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파크시스템스 반기보고서 (2024.06)
정 정 신 고 (보고)

2024년 11월 14일1. 정정대상 공시서류 : 반기보고서

2. 정정대상 공시서류의 최초제출일 : 2024.8.14

3. 정정사항

항 목	정정요구ㆍ명령관련 여부	정정사유	정 정 전	정 정 후

임원 현황	-	대표이사 임기만료일 오기	2024년 03월 26일	2027년 03월 28일

이사회 의장에 관한 사항	-	대표이사 임기만료일 오기	2021.03.26~2024.03.26	2024.03.29~2027.03.28
1. 사업의 개요

당사는 첨단 나노계측장비인 원자현미경(Atomic Force Microscope)을 개발, 생산하여 전 세계에 판매하는 기술벤처기업입니다. 당사의 주요 수익 모델은 원자현미경이며, 현재 연구용 원자현미경과 산업용 원자현미경을 판매하고 있습니다. 당사의 당반기 연결 누적 매출액은 70,361백만원이며, 연구용 약 23%, 산업용 약 70%, 기타 소모품 및 서비스가 약 7% 비율로 이루어져 있습니다. 당반기 매출액 중 해외 수출은 약 92%, 국내 매출은 약 8%를 차지하고 있습니다. 기타 세부내용은 '2.주요제품 및 서비스', '4.매출 및 수주상황'을 참고하여 주시기 바랍니다.

원자현미경은 원자, 분자 수준의 분해능을 갖는 나노계측장비로서 미세한 구조물의 형상 측정과 특성 분석에 널리 활용되고 있으며 나노기술 발전에 크게 기여를 해왔습니다. 최고 수천 배의 배율을 가진 광학현미경과 최고 수십만 배의 배율을 가진 전자현미경(SEM)에 비해 원자현미경의 배율은 최고 수천만 배에 달하며 특히 수직 방향의 분해능이 좋기 때문에 원자 지름의 수십 분의 일(0.01nm)까지도 측정이 가능합니다. 원자현미경은 높낮이와 각도 등 시료의 3차원적 형상을 정량적으로 측정할 수 있을 뿐 아니라 전자기적 특성, 기계적 특성, 광학적 특성 등 다양한 물리적 성질을 나노미터 수준에서 측정 분석할 수 있습니다. 뿐만 아니라 전자현미경은 진공 상태에서만 작동하는데 비해 원자현미경은 대기 중이나 액체 속에서도 작동이 가능하며 시료의 전도성과 관계없이 별도의 시료 준비과정을 거치지 않고 바로 측정이 가능합니다. 나아가 나노미터 수준에서 물체를 조작할 수 있고 나노리소그래피에도 응용이 가능하여 앞으로 nano-manufacturing 장비로도 활용될 수 있습니다.

당사는 가장 오랫동안 원자현미경 기술을 개발해왔고 오직 원자현미경 한 품목에만 집중해 왔습니다. 지난 30년간의 기술적 know-how와 창의적인 기법을 기반으로 꾸준히 원자현미경 기술을 개발하여 경쟁사와의 기술력 격차와 제품의 성능 격차가 상당히 벌어진 상태입니다. 당사의 비접촉식 모드는 아직도 경쟁사들이 쫒아오지 못하고 있으며 당사가 개발한 유연힌지 가이드 스캔 시스템은 경쟁사들이 모방하려고 노력하고 있으나 정확도와 정밀도에서 아직도 크게 뒤쳐져 있습니다.

이러한 당사 제품의 우수성은 산업용 시장에서 그 진가를 발휘하고 있으며 연구용 시장에서도 기술에 대한 안목이 있는 high-end 고객들을 중점적으로 공략하여 reference site로 만들고 이러한 reference site들을 지속적으로 증대시켜 나가면 머지 않아 시장주도 업체가 될 수 있을 것입니다. 한편 아직 충분히 개발이 되지 않은 바이오 연구용 시장에서는 경쟁사들이 보유하지 않은 독자적인 SICM기술을 활용하여 핵심적인 응용분야를 찾아나가면 언젠가는 killer application이 등장하여 새로운 시장이 열릴 수 있을 것으로 기대하고 있습니다. 당사는 글로벌 마케팅 활동을 강화하고 글로벌 판매망을 확충하여 시장점유율을 높이고 동시에 더욱 사용하기 편리하고 우수한 결과를 쉽게 얻을 수 있는 원자현미경을 개발하여 원자현미경 시장의 저변을 확장해 나갈 것입니다. 또한, 국내 및 해외 반도체 산업에서의 기회를 최대한 살려서 산업용 장비의 판매실적을 향상시키고 2022년 10월 인수한 Park Systems GmbH(舊.독일 Accurion GmbH)를 통해 ISE, AVI 등 제품 다각화도 진행 중에 있습니다.
6. 주요계약 및 연구개발활동

1. 경영상의 주요 계약보고서 작성기준일 기준으로 현재 회사의 재무상태에 중요한 영향을 미치는 중요 계약은 없습니다.2. 연구개발 활동

(1) 연구개발 조직보고기준일 현재 당사의 연구개발 인력은 총 105명으로 전세계에서 가장 우수한 원자현미경을 개발하는 집단입니다. 당사의 R 부문에는 기업부설연구소로써 신기술 및 Prototyping을 연구 하는 Advanced R, SW 및 Control Electronics를 연구하는 Digital R, 원자현미경 시스템을 연구하는 System R, Park Systems GmbH에는 ISE를 연구하는 R 있습니다.

구분	주요업무

Advanced R	신기술 R, Prototyping 등

Digital R	SW R, Control Electronics 등

Systems R	Mechatronics, Systems Integration, 개발기획, 개발이관 등

Park Systems GmbH R	ISE 및 Optical technology R

(2) 연구개발비용당사는 연구개발비용을 전액 경상연구개발비로 계상하고 있으므로 보고서 제출일 현재 자산화 된 개발비용은 없습니다.

(단위: 천원,%)

구 분	2022년	2023년	2024년

(제 26기)	(제27기)	(제28기 반기)

판관비	경상연구개발비	9,496,762	12,875,865	7,604,020

매출액 대비 비율	8.77	11.21	13.33

주) 상기 재무수치는 K-IFRS 별도 기준으로 산정되었습니다.

3. 연구개발실적

(1) 연구개발기술(가)당사에서 최근 수행한 주요 연구성과는 다음과 같습니다.

구분	연구과제명	연구기관	결과

산업용 장비	(나노융합2020사업)
고해상도 탐침형 형광/WLI 융합 현미경 개발	기업부설연구소	상품화

(ATC)반도체 공정에서 30nm~100nm 크기의 결함 특성 분석을 위한 2세대 auto defect review 전용 AFM 플랫폼 개발 (2단계)

(핵심)30nm이하 나노소자용 인라인 3D-AFM

연구용 장비	300mm Wafer용 연구용 장비

(나) IMEC JDP 연구성과 당사는 2015년 2월에 유럽 벨기에에 위치한 IMEC 연구소와 차세대 반도체 생산공정용 원자현미경개발을 위하여 공동연구개발 계약(Joint Development Project)을 체결하고, 2015년 6월부터 2018년 5월까지 3년간 공동연구개발을 진행하였습니다.3년간의 연구 결과, AFM장비가 Logic Si CMOS, EUVL, 3D Packaging 등 반도체 내의 다양한 분야에서 기존 장비들로는 측정에 한계점에 도달한 나노공정에서의 새로운 계측장비로서의 가능성을 확인하였습니다. 이런 성과로 인하여 당사는 IMEC 연구소와 두번째 공동연구개발 계약(Joint Development Project)를 진행중이며, 해당 프로젝트를 확대하기 위한 논의 중입니다. 현재 JDP에서는 반도체 공정에서의 Advanced Packaging , Wafer bonding 공정 연구 및 이와 연관된 CMP 공정 등의 분야에서도 AFM의 활용 확대 방안에 대해 연구 중입니다.(2) 연구개발 로드맵(가) 산업용 원자현미경 기술개발 현재 전세계 AFM 제조업체 중 가장 활발하게 산업용 AFM 기술을 개발하고 있으며 2개의 대형 국책과제의 지원과 IMEC과의 공동연구를 통하여 반도체를 포함한 산업계에서 요구되는 AFM 응용기술을 세계최초로 개발할 수 있게 되어 산업용 자동화 AFM분야에서 주도권을 쥐고 세계 제1의 산업용 자동화 AFM 제조업체를 목표로 연구개발에 전력을 기울이고 있습니다.

[산업용 원자현미경 기술 개발 로드맵]

(나) 연구용 원자현미경 기술개발

연구용 시장은 경쟁이 치열하여 각 지역별, 특수 옵션 별로 시장이 작게 구분되어 있습니다. 산업용으로 개발된 고도의 자동화 AFM 기술 일부를 접목하고 SmartScan의 혁신적인 운영 소프트웨어를 영업의 기반으로 삼아 일반 연구용 장비 시장을 공략하며 더욱 커질 의료 및 생명과학 분야의 시장을 대비해 국내외의 SPM 전문가들과 협력하여 시장에서 요구하는 융합 SPM 기술개발 및 저가형의 교육용 AFM 제조에도 노력을 기울여 산업용 자동화 AFM 시장뿐만 아니라 연구용 AFM 시장에서도 세계 1위가 되기 위한 연구개발을 계획하고 있습니다.

[연구용 원자현미경 기술 개발 로드맵]

(3) 연구개발계획당사는 기술개발계획 로드맵에 따라 향후 5년간 다음의 연구과제를 계획하여 진행하고 있습니다.

No	연구과제명

1	물질 성분 분석용 NX-IR R300 시스템의 성능 개선

2	차세대 AFM controller 개발

3	FX System Option 개발

4	신규 광학 장비 (ISE) 도입을 위한 기반 기술 연구

5	NX-Hybrid WLI 성능 개선

6	Mask repair 기능 성능 개선

7	차세대 저가형 시스템 개발

8	FX40 자동화 성능 개선 연구

9	AFM 측정속도 개선 연구

10	Narrow Trench mode 개발

11	분석 SW 개발_SmartAnaysis

12	대면적 시료 분석 방법 연구 개발

13	ADR_자동 Defect Review System

주) AFM: Atomic Force Microscopy(원자현미경) SPM: Scanning Probe Microscopy(주사탐침현미경)