파크시스템스 사업보고서 (2020.12)
II. 사업의 내용

가. 사업의 개요 (1) 사업의 개요 당사는 첨단 나노계측장비인 원자현미경(Atomic Force Microscope)을 개발, 생산하여 전 세계에 판매하는 기술벤처기업입니다. 원자현미경은 시료의 형상과 물성을 나노미터 수준에서 계측하고 분석하는 장비로 나노기술의 발전에 핵심적인 역할을 해왔습니다. 원자현미경은 전자현미경으로도 측정이 불가능한 극미세 구조를 고해상도로 관측할 수 있고 시료표면의 형상과 여러 가지 물리적 특성을 정량적으로 측정할 수 있기 때문에 반도체산업과 정보저장산업, 그리고 다양한 나노기술 연구에 활용되고 있으며 신물질, 에너지, 환경, 바이오, 의학진단 등 미래 산업에도 크게 기여할 수 있는 장비입니다.

당사를 창업한 박상일 대표이사는 원자현미경을 세계 최초로 개발한 미국 스탠포드대학교 켈빈 퀘이트 교수 연구실 출신입니다. 박 대표는 박사 학위를 받은 후 실험실에서 개발된 원자현미경을 제품화하기 위해 세계 최초의 원자현미경 회사 Park Scientific Instruments(PSI)를 1988년 창업했습니다. 유학생 신분으로 미국에 가서 오직 기술만을 밑천으로 PSI를 창업했던 박 대표는 PSI를 전형적인 실리콘밸리 벤처기업으로 성공시킨 후 1997년 PSI를 매각하고 한국에 돌아와 당사를 창업했습니다.

당사의 제품은 가장 오래된 원자현미경 기술의 역사적 뿌리를 기반으로 전 세계에서 가장 앞선 신기술들을 개발, 적용했기 때문에 선진국 제품의 성능을 현격하게 앞서고있습니다. 국내에서 제작된 계측장비가 선진국 제품을 모방한 것이 아니라 독창적인원천기술을 기반으로 제작되었으며 그 성능이 선진국 제품을 뛰어 넘는 것은 매우 이례적인 사례입니다.

(2) 제품 설명 원자현미경은 원자, 분자 수준의 분해능을 갖는 나노계측장비로서 미세한 구조물의 형상 측정과 특성 분석에 널리 활용되고 있으며 나노기술 발전에 크게 기여를 해왔습니다. '원자는 너무 작아서 아무리 좋은 현미경으로도 볼 수 없다' 는 통념을 깨뜨린 원자 현미경은 제1세대 광학현미경과 제2세대 전자현미경의 뒤를 이은 제3세대 현미경이라 할 수 있습니다. 최고 수천 배의 배율을 가진 광학현미경과 최고 수십만 배의 배율을 가진 전자현미경(SEM)에 비해 원자현미경의 배율은 최고 수천만 배에 달하며 특히 수직 방향의 분해능이 좋기 때문에 원자 지름의 수십 분의 일(0.01nm)까지도 측정이 가능합니다. 원자현미경은 캔틸레버의 끝에 달린 나노미터 크기의 예리한 탐침이 시료 표면을 근접 비행할 때 시료와 탐침 사이에 상호작용하는 힘을 이용하여 시료의 형상과 여러 가지 물리적 특성을 측정합니다. 시료로부터 먼 거리에서 신호를 검출하는(far-field detection) 방식인 광학현미경이나 전자현미경과 달리 원자현미경은 탐침과 시료 사이의 원자간력(inter atomic force), 전자기력 등의 근접장을 검출하는(near-field detection) 방식을 사용합니다.

원자현미경은 높낮이와 각도 등 시료의 3차원적 형상을 정량적으로 측정할 수 있을 뿐 아니라 전자기적 특성, 기계적 특성, 광학적 특성 등 다양한 물리적 성질을 나노미터 수준에서 측정 분석할 수 있습니다. 뿐만 아니라 전자현미경은 진공 상태에서만 작동하는데 비해 원자현미경은 대기 중이나 액체 속에서도 작동이 가능하며 시료의 전도성과 관계없이 별도의 시료 준비과정을 거치지 않고 바로 측정이 가능합니다. 나아가 나노미터 수준에서 물체를 조작할 수 있고 나노리소그래피에도 응용이 가능하여 앞으로 nano-manufacturing 장비로도 활용될 수 있습니다.

원자현미경의 원리는 아래 그림 1과 같습니다. 미세한 탐침(tip)을 시료에 근접시켰을 때 시료와 탐침 끝 사이의 상호 작용력에 의해 캔틸레버(cantilever)의 공진 주파수가 변화하는 것을 검출하여 시료와 탐침사이의 간격을 측정합니다. 시료가 x-y 방향으로 움직이는 동안 탐침이 시료 표면의 높낮이를 따라가도록 z 축의 움직임을 제어하면 이때 기록된 각 위치(x, y)의 높낮이(z)가 바로 시료의 형상을 나타내게 됩니다. 동시에 전자기력이나 전류의 흐름 등을 측정하여 다양한 물리적 특성을 알아낼 수 있습니다. 원자현미경에서 사용되는 탐침과 캔틸레버는 마이크로 머시닝으로 제작되며 캔틸레버의 크기는 길이 100㎛, 폭 10㎛, 두께 1㎛ 정도이며, 캔틸레버 끝에 부착된 탐침은 높이 10㎛, 첨단의 직경 10nm 정도이며 분해능과 응용 분야에 따라 다양한 종류의 탐침을 사용합니다. (그림 2)

그림 2. 원자현미경에 사용되는 캔틸레버(a)와 탐침(b). 좁고 깊은 골짜기 측정 위한 가늘고 긴 탐침(c).

원자현미경의 작동방식은 탐침이 시료와 항상 접촉하고 있는 접촉 모드(Contact mode)와 간헐적으로 접촉하는 태핑 모드(tapping mode), 그리고 전혀 접촉하지 않는 비접촉 모드(Non-Contact mode)가 있습니다. 비접촉 모드에서는 탐침이 마모되지 않고 시료의 오염과 손상을 방지할 수 있으므로 매우 유리한 방식이지만 탐침과 시료 사이의 간격이 아주 좁은 범위(~1nm)내로 유지 되어야하기 때문에 z 축의 움직임이 충분히 빠르지 않으면 구현할 수 없으며 고난이도의 나노제어 기술을 필요로 합니다. 기존의 원자현미경은 속이 비어있는 튜브스캐너를 사용하는데 튜브스캐너는 3축간의 상호 간섭이 있고 직교성이 떨어집니다. 또 공진주파수가 낮고 반응속도가 느려서비접촉 모드를 구현하기 어렵기 때문에 일반적으로 탭핑모드를 사용합니다.

당사가 개발한 원자현미경은 x-y축과 z축이 분리된 유연힌지(flexure) 스캐너를 사용합니다. x-y 스캐너로 시료를 수평방향으로 움직이고 z 스캐너로 탐침을 수직방향으로 움직이도록 하면 스캔영역이 매우 평탄한 평면으로 유지될 수 있고 탐침의 반응속도가 매우 빨라 비접촉 모드가 가능해 집니다. (아래 그림 3 참조) 물론 구체적인 기계적 설계와 이를 정밀하게 제어하는 전자회로, 그리고 제어 알고리즘 등이 함께 개발되어야만 비접촉 모드가 안정적으로 구현될 수 있습니다.

당사의 제품은 크게 연구용 장비와 산업용 장비로 구분되며 산업용 장비는 다시 생산공정용과 분석용으로 구분됩니다.

1) 연구용 장비

연구용 장비로 고가대의 NX-Series 모델과 중저가대의 XE-Series 모델이 있습니다. NX-Series의 경우 시료 크기에 따라 NX10과 NX20이 있습니다. NX-Series는 당사의 최신 기술이 적용된 고기능, 고사양 제품으로 제품의 성능이 탁월할 뿐 아니라 사용의 편의성이 매우 우수합니다. XE-Series는 시료의 크기에 때라 XE7과 XE15가 있습니다. XE-Series는 저렴한 가격에도 불구하고 당사의 고유 장점인 비접촉 모드가 구현되고 유연힌지 가이드 스캐너가 적용되어 타사 대비 측정의 정확도가 높습니다. 연구용 장비는 시료의 형상을 이미지 하는 것 외에도 다양한 물성을 측정하고 분석하는 옵션 기능이 중요합니다. NX20과 NX-Hivac은 반도체를 비롯한 전자소자의 품질을 컨트롤하는 FA/QA 분석실에서 사용되고 있습니다. NX20은 다양한 크기의 sample에 대해 다양한 옵션 기능의 사용이 가능하며 품질 개선 및 신기술 개발에 필요한 분석 장비로 사용되고 있습니다. 특히 NX-Hivac은 현재 시판되는 유일한 High Vacuum 원자현미경으로 반도체 디바이스의 절단면과 같이 공기 중의 산소나 수분에 의해 시료 표면이 변환되는 경우 반드시 필요한 장비입니다. 당사는 EFM, SKPM, MFM, CP-AFM, SCM, SThM, FMM, Nanolithography 등 다양한 옵션을 구비하고 있어 대학교나 연구소에서 요구하는 다양한 기능을 충족하고 있습니다. 당사는 어느 경쟁사보다도 많은 종류의 옵션과 액세서리를 제공하고 있습니다.

[연구용 제품 라인]

제품명	구분	제품 사진	제품설명

NX10	연구용	nx10.jpg NX10	고성능으로 가장 정밀한 측정이 가능한 제품
일반 나노기술 연구에 모두 사용 가능
사용자 편리성이 고려된 다목적 장비로 작은 시료 측정에 사용하는 당사의 대표적 연구용 장비

NX20	연구용/
산업 분석용	nx20.jpg NX20	고성능으로 가장 정밀한 측정이 가능한 제품
일반 나노기술 연구 및 산업체 FA/QA 실험실에서 제품 성능 향상을 위한 연구에 사용 가능한 다목적 장비로 시료의 지름이 200mm까지 측정 가능한 대형 시료 측정용 장비

XE7	연구용	xe7.jpg XE7	예산이 제한된 고객을 대상으로 가성비가 좋은 다목적 장비로 작은 시료 측정용 장비로 대학이나 연구소에서 사용가능
대부분의 응용 옵션의 장착이 가능하여 일반 나노 기술 연구에 적합함

XE15	연구용	xe15.jpg XE15	예산이 제한된 고객을 대상으로 가성비가 좋은 다목적 장비로 시료의 지름이 150mm 까지 측정 가능한 대형

NX-Hivac	연구용	nx-hivac.jpg NX-Hivac	공기 중에서 변성이 쉽게 되는 시료의 전기적 특성을 관찰하기 위한 고진공 장비로 자동 진공 조절 SW와 motorized stages laser beam alignment 기능을 탑재하여 고객의 사용상의 편의성을 최대한 고려한 장비

2) 산업용 장비

산업용 장비에는 생산 공정용 장비와 분석용 장비가 있습니다. 하드디스크 헤드 생산 공정에 사용되는 NX-PTR과 웨이퍼 생산 공정에 사용되는 NX-Wafer는 주 7일, 하루 24시간 가동되는 자동화 장비입니다. NX-3DM도 생산 공정용 장비이며 CD(Critical Dimension) 계측, SWR(side wall roughness) 측정 등에 사용됩니다. 당사의 NX-Wafer 장비는 반도체 생산공정의 모니터링 장비로써 다양한 반도체 고객사들로 부터 호평을 받으며 판매되고 있습니다. 분석용 장비로 NX-HDM은 하드디스크 미디어, 사파이어 웨이퍼 등의 거칠기(roughness) 측정과 자동 결함 분석(ADR: Automatic Defect Review)에 주로 사용됩니다. 2020년 2월에는 IMEC과 2차 JDP를 체결하며 향후 3년간 반도체 분야에서의 다양한 과제를 AFM 기술을 통해 해결하는데 초점을 맞추고 있습니다.

[산업용 제품 라인]

제품명	구분	제품 사진	제품설명

NX-HDM	산업 분석용	nx-hdm.jpg NX-HDM	하드디스크 media sample의 광학 장비로 검출이 불가능한 나노 크기의 defect(결함)를 자동화 기능(SW)으로 찾아서 분석하는 ADR 기능과, media의 성능을 좌우 하는 표면 조도(roughness)를 서브나노 스케일로 측정 가능한 장비로 측정의 재현성이 매우 좋아 하드디스크 산업체의 공정에 제공

NX-PTR	산업 생산용	nx-ptr.jpg NX-PTR	하드디스크 산업체의 헤드공정 라인에 제공되고 있는 장비로, PTR 제작의 품질 개선과 개발에 따른 제품 분석 장비로 경쟁사나 다른 분석 장비에 비해 좋은 분해능과 정확성 그리고 재현성을 가진 장비

NX-Wafer	산업 생산용	nx-wafer.jpg NX-Wafer	웨이퍼 산업체에 납품되고 있는 장비로 200mm와 300mm wafer를 측정 가능한 완전 자동화 장비로 웨이퍼의 조도(roughness) 및 trench 측정을 기본으로 하고, 공정상에서 발생할 수 있으나 기존 광학 장비로 검출이 불가능한 wafer의 나노 크기의 defect를 자동으로 검출 분석할 수 있는 ADR 기능 제공.
기존 Optical profiler를 사용하여 측정하던 표면 프로파일링이 시료의 디바이스 크기가 작아져 더 좋은 분해능을 가진 Atomic Force Profiler에 대한 수요로 전환되어 AFM에 AFP 옵션으로 결합하여 제공

NX-3DM	산업 생산용	nx-3dm.jpg NX-3DM	기존의 AFM으로는 측정 불가능한 over hang 구조의 정확한 profiling이나 pattern의 side wall roughness를 측정 할 수 있는 장비로, 당사의 고유한 scanner 디자인으로 AFM head를 tilt시켜 이미지 측정이 가능하다. 200mm와 300mm wafer의 완전 자동화 장비로 scan head의 경우 0, 19, 38도 tilting이 가능하다.

3) 바이오 연구용 장비

NX-12는 역 광학 현미경 (IOM: Inverted Optical Microscope)과 결합하여 사용되는 바이오 연구용 장비입니다. 액체 안에 있는 생체 시료를 IOM과 AFM으로 측정하는 것과 더불어 당사 고유의 기능인 SICM(Scanning Ion Conductance Microscope)을 사용하여 live cell 이미지는 물론 nano-scales patch clamping이 가능하여 앞으로 많은 application 개발 가능성을 가진 제품입니다.

[바이오용 제품 라인]

제품명	구분	제품 사진	제품설명

NX12	바이오 연구용	nx-bio.jpg NX12	세포 관찰, 생리학 연구를 비롯한 바이오 관련 연구에 사용하는 다목적 바이오 장비로 SICM 옵션을 이용한 새로운 응용기술 및 연구 개발이 가능한 장비.
다양한 바이오 관련 시료의 대기 중과 용액에서 모두 측정 가능하며, 광학 현미경을 결합하여 다양한 측정 기법을 결합 할 수 있는 바이오 시료 측정용 장비

(3) 사업의 구조

당사의 고유 경쟁력은 고도의 기술개발 능력이며 당사는 다수의 고급 두뇌를 비롯한 고학력자 중심의 조직입니다. 당사는 조직의 슬림화와 운영의 효율화를 위해 기술개발, 마케팅 등 핵심적인 업무는 100% 자체적으로 수행하되 생산 활동 등 외주가 가능한 부분은 가급적 협력업체 이관하여 외주 생산(out sourcing) 방식을 취하고 있습니다. 물론 기술 유출을 방지하기 위하여 협력업체들과 비밀유지계약을 맺고 있으며 기술보안유지에 많은 노력을 하고 있습니다.

당사의 사업은 첨단 기술력에 의해 제품의 성능이 좌우되며 제품의 가치가 올라가는 구조입니다. 매출액에서 제조원가가 차지하는 비율은 40% 미만으로 매우 높은 고부가가치를 창출하는 제조업입니다. 따라서 매출액이 일정 수준, 즉 손익분기점을 넘어서면 추가매출액의 50% 정도가 순이익이 되는 고수익 구조입니다. 원재료의 가격변동이나 수입환율변동이 손익에 미치는 영향은 매우 제한적입니다.당사는 미국, 일본, 독일, 싱가폴에 현지법인을 가지고 있으며 현지의 법인을 통해 직접 당사의 제품을 판매하고 있습니다. 유럽법인은 2017년 3월에 신규설립하였으며 2017년 4분기부터 현지법인이 직접판매를 시작하였습니다. 그 외의 유럽지역과 아시아 각국에는 대만, 중국, 멕시코, 프랑스, 인도에 판매 대행사를 두고 있습니다. 현지 마케팅과 데모 등 영업비용이 큰 비중을 차지하기 때문에 해외 자회사와 판매대행사에 약 30%~40%의 마진을 할당하고 있습니다.당사의 고객층은 전 세계에 걸쳐 매우 다변화 되어있는 것이 특징입니다. 특정 고객에 대한 의존성이 낮고 특정 지역의 경기에 크게 좌우되지 않는 장점이 있습니다. 아울러 세계 각국의 R 투자 동향과 경제 상황을 모니터하는 역할도 하고 있습니다.

당사는 제품의 주요 구조물을 외주 업체를 통하여 제작가공하고 있습니다. 완성된 구조물을 원재료 상태로 매입하여 제품 생산에 투입하고 있습니다. 주요 구조물의 제작은 국내의 우수 가공업체들에게 발주하고 있으며, 해당 기업들은 당사와 오랜기간 동안 거래를 해 오고 있어 원재료 생산의 수율이 높고 안정적으로 공급이 가능합니다. (4) 신규 사업

(가) 연구용 장비 개발

당사는 현재 진행 중인 다수의 기술개발 사업이 있으며 일부는 정부지원을 받는 국책과제를 통해 수행 중입니다. 또한, 당사의 새로운 연구용 AFM인 FX 시리즈를 개발 중에 있으며. AFM에 PifM 기술을 접목시켜 제품화 시키는데 초점을 맞추고 있습니다.

(나) 산업용 장비 개발

당사는 차세대 반도체 인라인 AFM 솔루션 개발을 위해 2020년 2월 IMEC과 2차 공동개발프로젝트(JDP) 협약을 체결하였습니다. 이번 2차 JDP에서는 점차 미세화되고 있는 반도체 분야에서의 다양한 과제를 NX-Wafer 제품을 통해 해결하는 데 초점을 맞추고 있습니다. 이러한 IMEC과의 협업을 통해 산업용 시장의 요구를 모두 충족시키는 최상의 기술 솔루션을 제공하여 원자현미경이 차세대 미세공정 검사장비로 자리매김할 또한, 2019년 12월 부터 2년간 In-Fab AFM 검사 장비 구축을 위한 양산기술 확보를 위해 공동개발을 진행중이며, 향후 디스플레이 검사 장비로 활용될 것을 기대하고 있습니다.

나. 시장 현황(1) 시장의 특성

1980년대에 발명된 원자현미경은 나노기술의 시대를 열었습니다. 1990년경 최초로 상용화된 원자현미경이 판매되기 시작한 이래 나노기술에 대한 연구가 활발해지면서 원자현미경 시장이 급격히 성장했습니다. 초기에는 원자현미경 기술자체가 새로운 연구 분야로 관심을 받아 왔으나 점차 기술의 완성도가 높아짐에 따라 상품화, 상용화가 완료되었고 근래에는 나노기술개발에 필수적인 계측장비로 자리 잡고 있습니다. 연구용 원자현미경은 주로 신소재, 나노복합소재 등 재료연구에 사용되며 가장 큰 시장은 대학교와 연구소입니다. 산업용 원자현미경은 주로 반도체와 전기전자 산업에서 생산 공정 모니터용으로 그리고 FA(Failure Analysis), QA(Quality Assurance) 등 분석용으로 사용됩니다.

원자현미경은 광학현미경이나 전자현미경과 같이 고유의 기능과 확실한 용도를 가지고 있는 장비입니다. 유행을 타는 소비재, 교체주기가 빠른 통신장비나 반도체 제조장비(process equipment)와 달리 시장의 부침이 적고 기술수명주기(technology life cycle)가 상대적으로 긴 특징을 가지고 있습니다. 또한 원자현미경을 대체할 기술이나 장비가 등장할 가능성이 매우 낮기 때문에 50년이나 100년 후에도 원자현미경 시장은 건재할 것으로 예상됩니다. 초기의 원자현미경 시장은 진입장벽이 낮은 편이었으나 치열한 경쟁 속에 20년 이상 제품개발과 품질개선 과정을 거치면서 제품의 완성도와 복잡도가 상당히 높아져 신규 업체가 진입하기 어려운 높은 진입장벽을 형성하고 있습니다. 대부분의 계측장비 시장에서는 한번 정착된 메이커가 그 분야에서 오랫동안 안정적으로 사업을 영위하는 특성이 있습니다.

1) 연구용 장비 시장

1990년대 원자현미경이 본격적으로 시장에 소개되면서 시작된 시장으로, 나노기술이 세계 각국에서 뜨거운 이슈로 관심을 받으며 시장 규모가 꾸준히 성장해 온 가장 오래되고 가장 규모가 큰 시장입니다. 응용분야는 재료, 고분자, 화학, 에너지, 정밀기계 등의 전반적인 나노기술 관련 분야에 폭넓게 분포되어 있습니다.

경기에 민감한 산업용 시장에 비해 비교적 안정적인 시장 성장률을 보이고 있으나 각 지역의 국가 정책이나 경기에 따른 연구비 책정과 이로 인한 장비 구매예산의 편성, 일반 회사의 차세대 기술 개발을 위한 연구비 투자 등에 수요변동이 발생합니다. 최신 기술이 가장 먼저 개발, 보급된 미국, 유럽, 일본의 경우 일반 원자현미경이 시장에서 포화상태에 이르면서 새로운 응용 분야 개척이나, 경쟁사 대비 차별화된 기술 및 solution을 제공하는 것이 전체 시장규모 확대와 시장 점유율 증대의 관건입니다. 중국, 인도, 동남아, 중동, 중남미 시장은 아직 완전히 개척되지 않은 시장으로 앞으로 자국 첨단기술의 발전과 함께시장이 크게 발전할 수 있는 잠재 시장으로 원자현미경 제조사들의 관심의 대상이 되고 있습니다.

현재 연구용 원자현미경 시장은 경쟁이 매우 치열하며 대당 5만 달러 이하의 비교적 저렴한 제품위주의 시장부터 대당 30만 달러에 이르는 고가 장비 시장에 이르기까지 시장의 스펙트럼이 상당히 큰 편이며, 이중 교육용과 기초수준의 연구를 주목적으로 하는 중저가 제품 시장은 경쟁사들의 가격경쟁이 갈수록 심화되는 경향을 보이고 있습니다. 당사는 과당한 가격 경쟁에 대해 직접적인 할인정책으로 대응하기 보다는 XE7, XE15 등 저가 시장 고객의 목적에 부합하는 모델을 투입하여 대응하고 있으며, 하이엔드 시장에는 NX10, NX20 등 장비의 성능뿐 아니라 사용자의 편의성과 생산성까지 향상시키는 고급 모델을 제안하고 있습니다. 당사의 제품은 저가와 고가 모델 모두 비접촉식 이미지 측정 기술과 고유의 스캐너 디자인으로 이미지 왜곡현상이 없는 정확한 측정 결과를 제공해 주기 때문에 저가 모델도 충분한 제품 경쟁력을 가지고 있습니다.

연구용 시장은 전 세계에 걸쳐 수많은 고객들로 구성되어 있으나 제품 자체의 우수성이 높은시장점유율을 보장하지 않습니다. 오히려 열등한 제품이 브랜드의 명성과 판매망에 힘입어 더 많이 판매되는 경우가 있습니다. 또한 당사는 Made in Korea에 대한 편견을 극복해야하고 마케팅 활동에서 언어의 장벽을 넘어야 하는 고충이 있습니다. 그럼에도 불구하고 효과적인 마케팅 전략을 꾸준히 전개하여 당사의 인지도가 올라가고 당사의 제품이 더 많이 판매되면 이러한 장애는 점진적으로 사라질 것으로 기대하고 있습니다. 2) 산업용 장비 시장

정보저장장치의 밀도가 높아지고, 반도체 소자가 고집적 저전력화로 소자의 크기가 작아짐에 따라 나노미터 크기의 작은 구조물 측정은 더욱 중요해졌으며, 높은 분해능과 함께 비파괴 측정이 가능한 원자현미경의 용도가 더욱 많아지고 있습니다. Memory 부터 logic 디바이스까지 최첨단 반도체 소자산업 분야에서 부터 정보저장 산업 (하드디스크, SSD), 스마트 기기와 IoT에 힘입은 각종센서 및 광전자소자, 그리고 LED, LCD와 같은 조명, 디스플레이 관련 사업에 이르기까지, 다양한 분야에서 신제품 개발과 생산품질관리에 원자현미경의 사용이 늘어나고 있습니다.

모든 산업 중에서 가장 작은 인공구조물을 제작하는 곳이 하드디스크 업계입니다. 테라바이트급 하드디스크의 경우 데이터를 읽고 쓰는 헤드의 구조물(PTR) 높이를 0.1nm 이하의 정밀도로 제어해야 하는데, 이렇게 작은 단위를 정밀하게 측정할 수 있을 뿐 아니라 합리적인 비용으로 생산관리에 이용할 수 있는 장비는 원자현미경뿐 입니다. 당사는 2005년부터 하드디스크 시장 진입을 시도하여 현재는 Seagate, Western Digital, HGST, Showa Denko, Toshiba 등을 비롯한 전 세계 주요 하드디스크 업체에 장비를 납품해 오고 있으며, 특히 PTR 측정과 ADR 기능에 최적화된 제품 구성과 어플리케이션 개발로 경쟁사 대비 제품경쟁력이 월등하여 꾸준한 성장세를 이어가고 있습니다. 하드디스크 시장은 한때 SSD의 출시로 시장규모가 줄어들 것이라는 우려와 함께 장비수요와 투자가 주춤하는 양상을 보이기도 했으나, 서버나 클라우딩 컴퓨팅, 데이터 센터 같은 대용량 정보저장 수요가 꾸준히 증가함과 더불어 타업계와의 경쟁으로 인해 차세대 고밀도 제품개발을 위한 투자도 지속되고 있습니다. 반도체 시장에서는 원자현미경과 같은 신규 장비의 진입 장벽이 높을 뿐 아니라, 새로운 기술과 기존 측정 기술을 이용한 측정의 상관관계 검증이 복잡하기 때문에, 원자현미경 장비 도입에 시간이 소요되었었으나, 지난 수년간 당사의 노력이 결집된 제품들이 다양한 반도체 업계의 요구에 부응하는 좋은 결과를 얻게되면서 업계의 기술을 선도하는 회사와 컨소시엄들이 당사의 원자현미경을 채택하고 있습니다. 당사는 200mm 와 300mm 반도체 웨이퍼 시장에서 완전 자동화 원자현미경(AFM)을 공급하고 있으며, 전통적인 Roughness측정 이외에도 Automatic Defect Review(ADR)과 Deep trench 분석, CMP측정 등 응용범위를 다양하게 넓혀가고 있습니다.

당사의 3D 원자현미경은 시료를 절단해서 전자현미경(SEM/TEM)으로 분석해야만하던 기존의 방법을 대체하여 시료의 파손 없이 정확한 3차원 형상을 측정할 수 있다는 점에서 많은 관심을 받고 있으며 CD metrology의 Reference tool로 여겨지고 있습니다. 또한 반도체 소자의 선폭이 작아짐과 동시에 3차원으로 적층되면서 패턴의 위쪽과 아래쪽의 선폭을 따로 측정하고 균일도를 확인하기 위해, Top/Middle/Bottom CDs, line edge roughness(LER), Side wall roughness 등을 정밀하게, 동시에 자동화로 측정하는 것이 중요해지고 있습니다. 더불어 Photoresist(PR) 패턴을 측정하기 위해서는 비파괴(non-destructive)가 필수적인데, 당사의 3D 원자현미경이 제공하는 Non-Contact AFM 기술은 PR패턴의 비파괴 측정이 가능하게 함으로써 정확한 CD를 측정하는 유일한 장비입니다. 산업용 원자현미경 시장은 연구용 원자현미경 시장에 비해 경쟁사가 매우 제한적입니다. 또한 마케팅이나 브랜드 인지도 보다는 기술검증이 고객의 구매결정에 가장 중요한 영향을 줍니다. 당사는 이미 독보적인 우수기술을 보유하고 있을 뿐 아니라, 변화하는 시장에서 요구되는 기술개발에 탁월한 능력을 가지고 있으며, 이미 다수의 산업용 고객으로부터 우수한 평가를 받고 있습니다. 따라서 앞으로 성장이 기대되는 산업용 원자현미경 시장은 향후 당사의 매출증대에 크게 기여할 것으로 기대됩니다. 그러나 일정한 주기로 신기술이 적용된 제품이 생산되고 그에 맞추어 신규 투자가 이루어지는 반도체 산업의 특성상 시장의 부침에 따른 리스크는 존재합니다.

3) 바이오 연구용 장비 시장

바이오 연구용 시장은 전체 원자현미경 시장 대비 아직 규모가 작고 어플리케이션 개발이 충분히 진행 되지 않은 분야이지만 기술개발이 일정 수준에 도달하거나 특정한 분야에서 killer application을 찾게 되면 폭발적으로 수요가 늘어날 수 있는 시장입니다. 주요 원자현미경 업체들이 아직까지 DNA나 Cell의 결합력을 측정하는 수준의 solution을 내놓고 있으나, 더 큰 잠재 시장 크기를 가지고 있는 living cell에서의 연구에 응용될 수 있는 특정 solution이 제공된다면, 바이오 연구용 시장의 크기를 확대하는데 돌파구가 될 것으로 예상하고 있습니다.

유일하게 당사가 보유하고 있는 NX-12와 SICM(Scanning Ion Conductance Microscope)은 살아있는 cell의 정밀한 membrane 관찰이 가능하기 때문에 cell dynamics에도 응용될 수 있으며, 세포 친화적인 pipette의 정밀 제어 기술은 생리학 분야의 연구를 nano scale로 가능하게 하는 장점을 가지고 있어 향후 바이오 분야에서 독보적인 새로운 시장을 형성할 가능성이 있습니다. (2) 시장 규모 및 전망

Microscopy Market에 의한 시장 보고서에 따르면 전 세계 현미경 시장은 2019년도$441M에서 2024년도 $586M로 연간성장율(CAGR) 5.8%를 예상하고 있습니다. 나노기술이 각광받는 현재, 광학현미경 시장은 이미 성숙된 시장이고 분해능이 높지 않아서 나노기술의 발전과 무관하다고 평가받고 있습니다. 이에 비해 원자현미경은 나노기술의 발전과 밀접하게 관련되어 있으며 자체 시장의 성장 뿐 아니라 전자현미경(SEM) 시장을 일부 흡수할 것이기 때문에 가장 빠른 성장을 보일 것으로 예상하면서 그 이유를 아래와 같이 설명하고 있습니다.1) 연구용 장비 시장 (material science)

- 원자현미경은 공기 중에서는 물론 진공이나 용액 안에서도 사용할 수 있는데 비해 전자 현미경은 진공에서만 사용할 수 있습니다.

- 전자현미경의 경우 정교하고 복잡한 시료 준비가 필요하지만 원자현미경의 경우 별다른 시료 준비가 필요하지 않습니다.

- 원자현미경의 경우 높낮이, 각도, 거칠기 등 정량적인 3차원 형상 정보를 정량적으로 제공하지만 전자현미경의 경우 2D 이미지 제공만 가능하고 정량적인 입체정보를 측정할 수 없습니다.

- 원자현미경은 다양한 옵션들을 이용하여 시료의 기계적, 전기적, 열적 특성을 측정할 수 있지만 전자현미경으로는 불가능합니다.

2) 산업용 장비 시장 (semiconductor and electronics)

- 디바이스의 크기가 작아짐에 따라 전자현미경의 resolution, contrast, SNR 등이 시료 측정에 충분하게 따라가지 못하고 있습니다

- 점점 작고 복잡해지고 있는 wafer의 표면 형상이 전자현미경 측정 중에 발생하는 전자빔에 의해 오염 또는 변형되는 문제가 심각한 이슈가 되고 있습니다.

- FinFET과 같은 3D 디자인의 경우 전자현미경으로는 정확한 측정이 되지 않고 있으며 당사의 3차원 원자현미경(NX-3DM)과 같은 새로운 원자현미경이 유일한 대안으로 부상하고 있습니다.

3) 바이오 연구용 장비 시장

- 현재 바이오 시장은 전 세계 현미경 시장 중에서 가장 큰데 기존의 광학 현미경으로는 측정하기 어려운 나노미터, 분자 수준의 분해능을 필요로 하는 수요가 증대되고 있습니다.

- 전자현미경으로는 살아있는 세포나 용액 안에서의 측정이 불가능한데 비해 원자현미경(SICM이나 liquid AFM)으로는 가능합니다.

현재 원자현미경 시장의 규모는 연간 $400M 정도로 추산되고 있으나 정확한 숫자를 집계하기는 어렵습니다. 대부분의 원자현미경 제조사가 원자현미경 이외의 다양한 계측장비를 함께 생산 판매하는 대기업이기 때문에 원자현미경 부문의 정확한 매출규모를 파악하기 어렵고 기타 중소규모의 업체는 비상장기업으로 매출액을 공개하지 않기 때문입니다. 시장조사 기관인 Future Markets Inc, Strategic Directions International Inc. 등에서 구체적인 숫자를 발표하고 있지만 근거가 빈약하고 과장된 면이 있어서 신뢰도가 의문시되고 있습니다.

그럼에도 불구하고 당사는 시장조사 기관의 자료와 당사의 내부자료, 그리고 경쟁사의 추정 매출액 등을 감안하여 아래와 같이 분야별 시장규모를 추산하고 있습니다.

2019년 이후 원자현미경 시장은 연평균 5.8% 정도 성장하여 2024년에는 $586M에 이를 것으로 예상하고 있습니다.

표 1. 원자현미경 시장 (USD $ Million)

Type	2019년	2020년	2022년	2024년	CAGR(2019~2024)

Industrial Grade	224	240	272	304	6.2%

Research Grade	217	230	256	282	5.4%

Total	441	470	528	586	5.8%

Source: Atomic force microscopy market(Global forecast to 2024)

4) 2021년 영업전망

반도체 시장에서 사용되는 자동화 원자현미경은 기존의 Surface roughness 분석을 넘어 CMP공정으로 인한 dishing과 erosion의 정밀한 측정과 Wafer 전체 영역에서의균일도도 확인해주고 있습니다. 2020년도에는 SK하이닉스와의 NX-Wafer 장비 성능평가가 성공적으로 완료되며 평가 장비는 물론, 추가 수주로까지 이어지는 성과를 이뤄냈습니다. 아울러 반도체 부문 세계 1위 업체인 삼성전자에 장비를 공급하고 있으며, 삼성전자의 다양한 Application 대응을 위한 AFM 공급도 기대하고 있습니다. 이밖에 해외 반도체 관련 기업들과 함께 새로운 자동화 원자현미경 도입계획과 검증이 계속 이어질 전망입니다. 전세계에 걸쳐 원자현미경에 대한 수요가 증가하면서 시장의 변화를 가져올 것으로 기대하고 있습니다. 이에 당사는 해외시장 확장을 위한 해외우수인력을 두루 영입하고, 우수한 인재들을 채용하여 더 큰 성장을 위한 발판을 마련하였습니다.

산업용 원자현미경 시장의 전세계 유일한 경쟁사는 미국의 Bruker사이며, 현재 산업용 장비 시장에서는 브랜드 보다는 고객의 어플리케이션 요구에 제품성능이 부합하는지 여부와 서비스 능력이 구매결정에 가장 중요한 영향을 줍니다. 따라서 공정한 제품성능 비교에 의한 구매결정이 가능하기 때문에 경쟁사 대비 기술우위로 당사의 시장점유율 확대가 이어지고 있습니다.

그 외에도 차세대 고부가가치 디스플레이 업체들로부터 새로운 공정에 자동화 원자현미경 장비를 도입하려는 수요에 맞추어, 당사는 디스플레이 산업의 공정용 장비인 NX-TSH 장비를 개발하여 고객사에게 납품 완료하였습니다. 이를 통해 향후 디스플레이 산업시장의 수요에 맞게 시장의 저변을 확대해내갈 계획입니다.

연구용 원자현미경 시장은 미국, 일본 등 주요 시장의 연구용 시장 포화와 더불어 전세계적으로 가격경쟁이 심화되고 있습니다. 그러나 FA/QA Lab에서 분석용으로 사용하는 원자현미경 시장은 계속 성장하고 있으며 당사의 NX-20 원자현미경은 동 시장에서 호평을 받으며 꾸준히 판매되고 있습니다.

코로나로 인해 연구용 시장에서 약간의 영향을 받을 수는 있으나, 당사는 글로벌 마케팅과 글로벌 판매망을 확충하여 시장점유율을 높여나가는 동시에 더욱 사용하기 편리하고 우수한 결과를 쉽게 얻을 수 있는 원자현미경을 개발하여 원자현미경 시장의 저변을 확장해 나갈 것입니다. 또한 국내 및 해외 반도체 산업에서의 기회를 최대한 살려서 산업용 장비의 판매실적도 더욱 향상하도록 노력할 예정입니다. 이러한 활동을 적극적으로 전개하기 위해 국내외에서 유능한 인력을 지속적으로 충원하고 있습니다. 다. 경쟁 현황(1) 경쟁 상황원자현미경 시장이 처음 형성되던 1990년대에는 당사의 대표이사가 설립했던 Park Scientific Instruments를 비롯한 3개의 회사가 시장을 분점하는 구도였습니다. 1997년 박상일 대표가 PSI를 Thermo Spectra에 매각하고 귀국한 뒤 많은 변화가 일어나 결국 Veeco사가 초기의 3대 원자현미경 회사를 모두 인수합병하게 되었습니다. Veeco사는 한동안 독점적 지위를 누리다가 당사의 선전으로 주요 고객을 빼앗기고 시장점유율이 하락하게 되자 2010년 원자현미경 사업부를 Bruker에게 매각했습니다. (아래 그림 4 참조)

아직도 Bruker의 시장점유율이 가장 큰 가운데 2위 그룹으로 당사를 비롯하여 Oxford Instruments가 있으며 그 외에 일본과 유럽에서 주로 활동하는 Hitachi High Technology, NT-MDT 등이 있습니다.

글로벌 원자현미경 업체

- Bruker : 2010년 Veeco AFM 인수, 2018년 JPK Instrument 인수

- Park Systems Corp.,

- Oxford Instruments : 2012년 Asylum Research 인수

지역 원자현미경 업체

- Hitachi High Technology (주로 일본) : 2012년 Seiko AFM 인수

- NT-MDT (주로 유럽)

Veeco는 1998년 Digital Instruments를 인수했고 2001년 다시 Thermo Microscopes를 인수, 합병하였고, Thermo Microscopes는 Park Scientific Instruments와 Topometrix가 합병된 회사였습니다.. Asylum Research는 1999년 Veeco에서 독립한 회사입니다.

전 세계에 걸쳐 당사의 가장 크고 직접적인 경쟁 상대는 Bruker입니다. Bruker는 초창기의 원자현미경 제조업체 3곳을 모두 인수, 합병한 Veeco AFM을 이어받은 업체이기 때문에 시장점유율이 매우 크고 누적 사용자 수가 많으며 이들이 출판한 논문 수가 많습니다. 따라서 새로 원자현미경을 구매하려는 잠재 고객 대부분이 Bruker 제품을 1차적으로 고려하고 있고 아예 타사 제품을 검토할 의사가 없는 경우도 많습니다. 일단 당사를 접촉하여 데모를 의뢰한 고객의 경우 데모결과의 우수성 때문에 수주를 받을 확률이 높습니다. 그러므로 당사의 1차 관건은 회사의 인지도를 높여 원자현미경을 구매하려는 사람 대다수가 당사에도 제품 문의를 하도록 하는 것입니다. 또 데모결과가 우수해도 선입견이나 편견, 그리고 Made in Korea에 대한 불신 때문에 Bruker 제품을 구매하는 고객도 상당수 있는데 이를 극복할 수 있을 정도의 신뢰도를 줄 수 있는 마케팅 활동과 촘촘한 영업망 구축이 또 하나의 관건입니다.

Bruker를 제외한 다른 경쟁업체들은 사실상 위협적인 존재가 아니며 한때 나노기술에 대한 관심과 기대에 편승하여 무리하게 사업을 추진하다가 한계에 이르자 하나 둘씩 기존 대기업에 매각된 경우가 대부분입니다. 물론 이들을 인수한 대기업이 과감하게 신규 투자를 하여 신제품을 개발한다면 언제든지 위협적인 존재로 다시 부상할 가능성은 있습니다. (2) 경쟁업체 현황 Bruker는 2010년 Veeco의 원자현미경 사업부를 인수하며 Bruker사의 주력제품인 화학 분석 장비 시장에서의 인지도와 영업망을 이용하여 원자현미경의 시장 주도 업체로서 입지를 계속 이어 나가고 있습니다. Bruker가 Veeco를 인수한 후 기존 제품라인과 고객군에 기반을 둔 연구용 원자현미경 시장에서는 강세를 보이고 있으나, 산업용 자동화 장비 부문에서는 위축된 활동을 벌이고 있습니다. Bruker는 시장 점유율 1위 업체임에도 불구하고 지난 10여 년간 새로운 기술이나 신제품 개발 능력을 보여주지 못하고 있으며 오히려 EnviroScope과 같은 기술 지원이 중요한 제품들을 단종시켜 왔습니다. Bruker는 2018년 7월, 독일의 바이오 원자현미경 회사인 JPK Instruments를 인수하여 JPK Bio라는 이름으로 바이오용 AFM 라인을 보강 하였습니다. 피인수된 JPK Insturments는독일 회사로 바이오 시장에서만 활동하던 업체였으며, 한때 재정난을 겪기도 하다가 결국 2018년 7월 Bruker에게 인수되었습니다. Oxford Instruments는 Bruker와 유사하게 X-Ray Spectroscopy 장비를 비롯한 과학분석 장비사업에서 오랫동안 시장에서 입지를 다져온 회사로서 2012년 부진한 실적과 악화된 재무 상태로 어려움에 빠진 Asylum Research를 인수했습니다. 작지만 마니아층을 이루고 있던 Asylum의 고객층을 기반으로 기존 Oxford의 영업망을 이용하여 유럽, 미국, 일본 등 선진국 시장을 중심으로 공격적인 영업 활동을 벌이고 있으나, 지나치게 비싼 가격대와 제한된 제품라인으로 인해 시장 점유율 증대에는 한계를 보이고 있습니다.

2005년 Molecular Imaging을 인수한 Agilent는 2014년 Keysight를 분사하고 원자현미경 사업부를 이전시켰습니다. Agilent는 Molecular Imaging을 인수한 후 우수한 브랜드 인지도와 영업력을 바탕으로 활발한 영업 활동을 벌여 한동안 Bruker다음으로 큰 시장 점유율을 확보하기도 했으나 제품의 품질이 뒷받침 되지 않고 신제품이나기술 개발이 뒤따르지 않아 경쟁력을 크게 잃었으며 최근 원자현미경 사업을 중단하였습니다.

NT-MDT는 러시아에 본사를 둔 업체로 러시아 정부의 지원에 크게 의존하는 회사입니다. 주로 저가의 원자현미경을 판매하면서 주문제작 제품이나 Renishaw와 협력하여 개발한 Raman-TERS 판매에서 상당한 성과를 거두고 있습니다. 하지만 기술 수준이 낮고 수리할 제품을 러시아에 보내는데 오래 걸리는 등 서비스 대응이 느린 탓에 부정적 평판이 누적되어 현재는 가시적인 활동이 매우 줄어들었습니다.

Hitachi High Technologies(HHT)는 2013년도 주력 산업인 전자현미경과 관련된 기술을 얻기 위해 SII-NT(Seiko Instruments Inc-Nano Technology)를 인수했는데 이때 SII-NT의 원자현미경 사업부도 함께 인수하게 되었습니다. 과거 SII-NT는 일본에 국한된 영업활동을 보여 왔으나 HHT에 인수된 후 유럽 및 아시아 지역의 HHT 영업망을 공유하며 글로벌 시장에 진출을 시도하고 있습니다. Seiko사의 원자현미경은제품 경쟁력이 떨어져서 현재까지는 경쟁의 가시권에는 없으나 향후 기술개발에 투자하고 신제품 개발에 성공하면 새로운 경쟁회사로 부상할 수 있기 때문에 지속적으로 동향을 관찰할 필요가 있습니다.

결론적으로 지난 수년간 Bruker, Oxford, Agilent, Hitachi Hightech과 같은 글로벌 대기업들이 원자현미경 전문 업체들을 인수하는 양상을 보이고 있으며, 일반 연구용 시장에서는 이들과의 경쟁이 더욱 부담스러워지고 있습니다. 당사가 글로벌 대기업의 브랜드 인지도와 판매망에 맞서 경쟁하려면 제품 경쟁력은 물론이고 글로벌 대기업 못지않은 마케팅 활동과 영업망 구축이 중요한 관건입니다.

이에 비해 산업용 원자현미경 시장은 잠재 고객의 숫자가 제한적이어서 이들을 찾아내는 것이 비교적 수월한 반면 제품의 성능이 경쟁에서 승리하는데 절대적으로 중요하기 때문에 앞선 기술을 보유한 당사에게 유리한 시장입니다. 더욱이 유일한 경쟁사인 Bruker는 기술개발에 소극적이어서 갈수록 당사에 유리한 국면이 전개될 것으로 판단됩니다.

전체 원자현미경 시장 크기를 증대시키기 위해서는 원자현미경의 단점으로 꼽히는 사용편의성을 더욱 개선하여 누구나 쉽게 좋은 결과를 얻도록 하여 기존의 전자현미경과 고배율 광학현미경 사용자들을 끌어들이는 것이 관건입니다. 이를 위해 당사는 SmartScan 소프트웨어를 개발하여 큰 진전을 이루었고 향후 자동으로 탐침을 교환하고 레이저빔을 얼라인하는 장치를 개발하는 것이 다음 과제입니다.

(3) 시장점유율 현황당사의 주요 경쟁회사인 美 Bruker, 英 Oxford Instruments는 원자현미경 외에도 다양한 계열사들을 통해 다양한 제품을 판매하고 있는 대기업들입니다. 따라서 모든 공시자료가 연결 기준으로 보고되고 있기 때문에 원자현미경 사업부문에 대한 매출 Breakdown 및 부문 매출규모의 추정이 어렵습니다. 다만, 시장참여자들을 통해 전해지는 정보에 기반하여 당사 영업부서에서는 Bruker가 연간 1,000억원 안팎, Oxford Instruments가 연간 약 100억원~150억원 정도의 매출을 원자현미경 사업에서 실현하고 있는 것으로 파악하고 있습니다. 비록 원자현미경 시장의 정확한 시장규모 및 경쟁사들의 시장점유율에 대한 자료가 없습니다만, 여러 정보를 바탕으로 추정하여 당사의 현재 시장점유율은 약 15% ~ 20% 정도 되는 것으로 파악되고 있습니다.

한편, 원자현미경 시장 규모는 현재 연간 4,000억원 안팎으로 추정되고 있으나, 향후 산업용 원자현미경 시장의 확대를 통해 지속 성장할 것으로 기대되고 있습니다. 지난 수년간 당사의 신제품이 반도체 업계의 요구에 부응하는 좋은 결과를 얻어 다양한 반도체 기술을 선도하는 회사와 컨소시엄에서 당사의 원자현미경이 채택되고 있습니다. 당사는 200mm 와 300mm 반도체 wafer 시장에서 완전 자동화 장비로 ADR과 deep trench 분석, roughness 측정 등 응용범위를 넓혀가고 있습니다. 따라서 원자현미경 시장의 확장과 더불어 당사의 시장점유율은 급격한 상승곡선을 그릴 것으로 예상하고 있습니다.

(4) 비교우위 사항 당사는 가장 오랫동안 원자현미경 기술을 개발해왔고 오직 원자현미경 한 품목에만 집중해 왔습니다. 지난 30년간의 기술적 know-how와 창의적인 기법을 기반으로 꾸준히 원자현미경 기술을 개발하여 경쟁사와의 기술력 격차와 제품의 성능 격차가 상당히 벌어진 상태입니다. 당사가 15여 년 전 구사하기 시작한 비접촉식 모드는 아직도 경쟁사들이 ?아오지 못하고 있으며 당사가 개발한 유연힌지 가이드 스캔 시스템은 경쟁사들이 모방하려고 노력하고 있으나 정확도와 정밀도에서 아직도 크게 뒤쳐져 있습니다. 특히 당사가 최근 출시한 SmartScan은 아무도 생각하지 못했던 측정 자동화 기술로 고객들로부터 격찬을 받고 있습니다.

이러한 당사 제품의 우수성은 산업용 시장에서 그 진가를 발휘하고 있으며 연구용 시장에서도 기술에 대한 안목이 있는 high end 고객들을 중점적으로 공략하여 reference site로 만들고 이러한 reference site들을 지속적으로 증대시켜 나가면 머지않아 시장주도 업체가 될 수 있을 것입니다. 한편 아직 충분히 개발이 되지 않은 바이오 연구용 시장에서는 경쟁사들이 보유하지 않은 독자적인 SICM기술을 활용하여 핵심적인 응용분야를 찾아나가면 언젠가는 killer application이 등장하여 새로운 시장이 열릴 수 있을 것으로 기대하고 있습니다.

당사의 주요 경쟁사들은 전문 원자현미경 업체를 인수한 글로벌 대기업들입니다. 이들은 당사보다 월등한 인지도와 마케팅 능력을 가지고 있고 세계 각국에 포진한 현지법인들을 통해 강력한 영업망으로 시장 커버 능력을 가지고 있습니다. 당사는 이들과맞서기 위해 2015년부터 자체 영문 매거진(Nano Scientific)을 출판하는 등 미국을 중심으로 한 월드클래스 마케팅 활동을 체계적으로 전개하고 있으며 미국,유럽(독일,프랑스),멕시코,일본,싱가포르,중국,대만,인도 등에 현지법인을 설립을 완료하였습니다. 여기에 적절한 투자가 이루어지고 있어 이제까지 열세였던 시장 인지도와 신인도를 끌어올려 명실상부한 원자현미경 시장주도업체가 되어가고 있습니다.

2. 주요 제품, 서비스 등 가. 주요 제품 등의 관한 사항

(단위 : 천원)

품목	2018년 매출액(비율)	2019년매출액(비율)	2020년매출액(비율)	제 품 설 명

연구용장비군	12,588,046	13,901,106	17,371,582	연구용 나노계측(분석)장비 등

(34.53%)	(31.62%)	(27.69%)

산업용장비군	22,673,592	28,369,207	42,792,944	산업용 나노계측(분석)장비 등

(62.2%)	(64.53%)	(68.21%)

기타	1,193,929	1,689,867	2,568,410	소모품 및 서비스

(3.27%)	(3.85%)	(4.09%)

합계	36,455,567	43,960,180	62,732,936	-

(100.00%)	(100.00%)	(100.00%)	-

주) 상기 재무수치는 K-IFRS 별도 기준입니다. 나. 주요 제품 등의 가격변동추이

(단위 : 천원)

사업연도	2018년도	2019년도	2020년도

품 목	(제22기)	(제23기)	(제24기)

연구용장비	내 수	96,692	117,106	111,438

수 출	104,656	121,600	147,712

산업용장비	내 수	1,727,876	1,685,480	1,576,497

수 출	1,066,283	958,057	1,131,416

주1) 상기 재무수치는 K-IFRS 별도 기준입니다.주2) 제품 모델별로 단가의 차이가 있으므로 매출제품의 모델구성에 따라 평균단가의 변동성이 있습니다. 3. 주요 원재료

가. 주요 원재료 등에 관한 사항(단위 : 천원)

품목	2018년(제22기)	2019년(제23기)	2020년(제24기)

제품	6,426,190	8,063,511	11,044,314

원재료	3,078,896	3,813,667	3,598,243

재공품	3,718,420	4,618,824	5,725,645

(차감:평가충당금)	(536,279)	(164,960)	(201,552)

합계	12,687,227	16,331,042	20,166,650

주) 상기 재무수치는 K-IFRS 별도 기준입니다.나. 원재료 가격변동 추이

(단위 : 천원)

사업연도
품 목	2018년(제22기)	2019년(제23기)	2020년(제24기)

Cantilever	수입	14	14	14

제진대	수입	5,917	5,917	5,917

광학제품 가공물	국내	2,420	2,420	2,470

PC	국내	1,050	1,140	1,230

Head 가공물	국내	3,591	3,591	3,591

Main body 가공물	국내	14,475	14,475	14,535

Acoustic Enclosure 가공물	국내	11,000	11,000	11,000

PZT	국내	720	720	720

XY Scanner 가공물	국내	3,123	3,123	3,123

Controller	국내	1,640	1,640	1,395

4. 생산 및 설비가. 생산능력 및 생산실적(1)생산실적

(단위 : 개, 백만원)

제품군	주요
제품명	구분	2018년(제22기)	2019년(제23기)	2020년(제24기)

수량	금액	수량	금액	수량	금액

연구용	범용
분석
장비	생산능력	106.4	9,603	85.8	7,652	99.3	9,816

생산실적	96	8,668	83	7,399	88	8,703

가동율	90.26%	96.69%	88.66%

기말재고	-	-	-	-	-	-

특수
분석
장비	생산능력	11.7	1,180	6.2	1,162	7.4	683

생산실적	11	1,109	6	1,119	7	642

가동율	93.96%	96.32%	94.05%

기말재고	-	-	-	-	-	-

산업용	산업
분석
장비	생산능력	21	3,112	25.1	5,510	52.3	10,089

생산실적	19	2,836	24	5,268	46	8,880

가동율	91.13%	95.60%	88.01%

기말재고	-	-	-	-	-	-

산업
생산
장비	생산능력	39.7	31,225	43	33,758	57.0	54,597

생산실적	30	23,611	39	30,598	40	38,320

가동율	75.61%	90.64%	70.19%

기말재고	-	-	-	-	-	-

기타	Option	생산능력	-	2,884	-	2,763	-	3,709

생산실적	-	2,307	-	2,210	-	2,967

가동율	-	80.00%	-	80.00%	-	80.00%

기말재고	-	-	-	-	-	-

* 상기 가동율은 금액기준으로 산출하였습니다.(2) 생산가공 공수

분류	2018년	2019년	2020년

인원(명)	18명	17명	24명

생산가용공수(시간)	33,480	31,620	44,640

[모델별 생산공수 현황]

(단위: 시간)

분류	범용분석장비	특수분석장비	산업분석장비	산업생산장비
NX-HDM	산업생산장비NX20-PSS	산업생산장비
NX-PTR	산업생산장비
NX-WAFER	산업생산장비
NX-3DM	산업생산장비NX-TSH

생산공수	120	225	220	220	350	280	350	405	350

주1) 생산능력의 경우 연도별 생산 인력수 기준으로 투입가능공수 산출하였으며 상기 제품에 투입된 공수를 제외한 나머지 시간을 각 제품 생산에 생산실적수량 비율로 배분한 경우를 가정하여 산출(금액은 생산 간접비 포함된 금액) 함.

나. 생산설비(단위: 천원)

공장별	자산별	소재지	기초가액(2020.01.01)	당 기 증감	당 기 상각	당 기 말가액(2020.12.31)

증가	감소

본사	기계장치	본사	531,673	679,858	-	365,782	845,749

비품	본사	887,726	630,014	-	323,604	1,194,136

기타의 유형자산	본사	701,669	72,721	-	224,187	550,203

유형자산 소계	2,121,068	1,382,593	-	913,573	2,590,088

주1) 상기 재무수치는 K-IFRS 별도 기준입니다.

5. 매출에 관한 사항가. 매출실적(단위: 천원)

품목	2018년도	2019년	2020년	제 품 설 명

연구용제품군	수출	9,988,061	11,296,736	13,726,514	연구용 나노계측(분석)장비 등

내수	2,599,986	2,604,370	3,645,068

합계	12,588,046	13,901,106	17,371,582

산업용제품군	수출	20,895,131	26,758,414	31,651,827	산업용 나노계측(분석)장비 등

내수	1,748,599	1,744,807	11,141,117

합계	22,643,730	28,503,221	42,792,944

기타	수출	978,482	1,183,622	2,187,091	소모품 및 서비스

내수	245,309	372,231	381,320

합계	1,223,791	1,555,853	2,568,410

합계	수출	31,861,673	39,238,772	47,565,431	-

내수	4,593,894	4,721,408	15,167,505

합계	36,455,567	43,960,180	62,732,936

주) 상기 재무수치는 K-IFRS 별도 기준입니다. 나. 판매경로 및 판매방법

(1) 본사 Global Sales 조직

당사의 글로벌영업부는 전세계에 당사 제품의 판매업무를 담당하고 있습니다. 영업전략실은 국내시장의 제품판매 및 영업/수출지원을 담당하고 있으며, Research Global Sales 팀은은 전세계 판매망을 관리하여 주로 연구용제품의 해외판매를 담당하고 있습니다. Industrial Global Sales 팀은 전세계 산업용제품 수요고객들을 상대로 직접영업활동을 담당하고 있습니다.

팀명	담당업무

영업관리팀	국내영업, 영업관리, 수출지원

Research Global Sales	Global Sales of Research Products

Industrial Global Sales	Global Sales of Industrial Products

(2) 미국 자회사(판매법인)

당사는 미주지역에서의 제품판매, 고객지원 및 마케팅을 위하여 미국 산타클라라에 현지 자회사를 설립하여 운영하고 있습니다. 미국법인은 미국,캐나다,멕시코 및 남미지역의 제품판매를 총괄하고 있으며 영업팀, 기술지원팀, 마케팅관리팀을 운영하고 있습니다. 최근 미국 동부 오피스와 멕시코 오피스를 개소하여 미주지역 영업활동을 활발히 전개하고 있습니다.

(3) 일본 자회사(판매법인)

당사는 일본지역에서의 제품판매, 고객지원 및 마케팅을 위하여 도쿄에 현지 자회사를 설립하여 운영하고 있습니다. 일본법인은 일본 전역에 제품판매 및 서비스를 총괄하고 있으며 영업팀, 기술지원팀, 관리팀을 운영하고 있습니다.

(4) 싱가폴 자회사(연락사무소)

당사는 동남아시아 지역의 판매망 영업지원과 관리를 위하여 싱가폴에 현지 자회사를 설립하여 운영하고 있습니다. 싱가폴법인은 실제 매출과 매입거래를 발생시키지 않고 동남아 지역 대리점들의 영업관리 및 지원업무를 전담하고 있습니다. 싱가폴 현지법인은 5명의 현지인에 의해 운영되고 있습니다.

(5) 유럽 자회사 (판매법인)당사는 유럽지역에서의 제품판매, 고객지원 및 마케팅을 위하여 2017년 3월부터 독일 하이델베르그에 현지 자회사를 설립하여 운영하고 있습니다. 유럽법인은 유럽 전역의 제품판매를 총괄하고 있으며 영업팀, 마케팅관리팀, 기술지원팀을 운영하고 있습니다. 아울러 2019년 4월, 프랑스에 연락사무소를 설치하여 프랑스시장을 개척하고 있습니다. 유럽법인은 프랑스 연락사무소 인원 3명을 포함하여 14명의 현지인에 의해 운영되고 있습니다.

(6) 대만 연락사무소당사는 대만 지역의 판매망 영업지원과 관리를 위하여 2017년 2월부터 대만신주지역에 현지 연락사무소를 설립하여 운영하고 있습니다. 대만법인은 실제 매출과 매입거래를 발생시키지 않고 본사 및 대리점의 영업관리 및 지원업무를 전담하고 있습니다. 대만 및 중국 연락사무소는 8명의 현지인에 의해 운영되고 있습니다.

(7) 중국 연락사무소당사는 중국 지역의 판매망 영업지원과 관리를 위하여 2018년 9월부터 중국 베이징에 현지 연락사무소를 설립하여 운영하고 있습니다. 중국법인은 실제 매출과 매입거래를 발생시키지 않고 본사 및 대리점의 영업관리 및 지원업무를 전담하고 있습니다. 대만 및 중국 연락사무소는 9명의 현지인에 의해 운영되고 있습니다.

(가) Global Sales Network

당사는 미국, 일본, 싱가폴, 독일에 4개의 해외 자회사와 대만, 중국, 멕시코, 프랑스에 4개의 연락사무소를 운영하고 있으며, 전 세계 30~34개국에 판매망을 구축하고 있습니다. 각 소재는 아래의 그림과 같습니다.

(1) 자회사 및 판매망(대리점)을 통한 판매

해외 자회사 및 각국의 판매망은 해당지역에서 당사제품에 대한 독점적 판권을 가지고 있으므로 현지에서의 마케팅, 판매, 고객지원을 모두 담당합니다. 자회사와 판매망은 고객과 제품구매 계약을 체결한 후 당사에 발주를 하여 납품받는 형식을 취하므로 당사의 매출은 판매망에 대한 매출로 인식하여 기록하고 있습니다.

(2) 직접판매

국내매출은 본사의 직접판매로 이루어집니다.

그 외 중국, 인도, 중동 등 일부 국가신용도가 낮은 국가에 대하여는 판매망이 고객을 발굴하고 고객이 당사에 직접주문 하는 형식으로 판매가 이뤄지며 거래 종료 후 판매망에게 알선 및 고객지원에 대한 수수료를 매가 대비 일정부분 지급합니다.

(나) 판매전략

본사에서는 연구개발, 생산, 국내영업, 글로벌 마케팅을 담당하고 있습니다. 당사는 전세계에 당사의 제품을 공급하고, 향후 글로벌 기업으로 성장하기 위하여 제품판매에 있어 현지화 전략을 채택하고 있습니다. 당사 제품의 주요시장인 미국, 일본, 독일에는 현지법인을 설립하여 현지인들에 의한 사업운영을 해오고 있습니다. 그 밖의 국가에서는 적정한 판매망을 발굴하고 해당 지역의 독점판매권을 부여함으로써 현지판매 및 서비스를 제공하고 있습니다.

(1) 본사 및 해외 자회사 운영

본사에서는 적극적인 산업용시장 개척을 위하여 주요고객사 방문, Demo시연, User meeting 확대 등 직접판촉 활동을 전개하고 있습니다. 이를 통해 고객사와의 사전 유대감 형성, 시장정보 수집, 고객불만사항 해결 등의 성과를 이끌어내고 있으며 Product Management팀이 신제품 또는 신기능을 연구하는데 도움을 주고 있습니다. 글로벌마케팅 부서의 PR활동으로는 전시회 및 각종학회 참여, 뉴스레터 발행, 원자현미경 전문 매거진 발간, 웹기반 홍보강화 활동 등의 온오프라인 광고홍보 활동을 진행하고 있습니다. 당사 제품의 가장 큰 시장인 미국과 일본에서도 당사의 현지법인들이 본사의 판촉 및 홍보 전략에 맞추어 현지대응을 담당하고 있으며, 현지에 특화된 영업활동은 현지법인이 독자적으로 수행하고 있습니다. 이러한 전방위적인 판촉활동을 통해 당사의 시장점유율 확대를 모색해 나가고 있습니다.

(2) 해외 판매망(대리점)

해외의 판매망(대리점)들은 해당 지역에서 독자적으로 당사제품에 대한 홍보와 판촉활동을 전개하고 있습니다. 그러나 국제적인 큰 행사에 대하여는 본사에서 직접 지원을 하는 경우도 있습니다. 판매망의 역량에 따라 해당 지역에서의 매출성과가 현저하게 달라지기 때문에 본사 글로벌 영업부에서는 매년 판매망에 대한 평가를 엄중히 진행하고 있습니다. 또한 독점판매 계약의 연장, 해지, 이전가격 등에 대하여 수시로 조정협의를 진행하여 판매망의 역량을 강화시키고 있습니다.

(단위 : 백만원)

품목	전기말수주잔고	당기수주총액	당기납품액	당기말수주잔고

금액	금액	금액	금액

산업용	9,398	42,058	45,325	6,131

연구용	4,028	23,866	22,960	4,934

기타	2,196	3,898	2,938	3,156

합 계	15,622	69,822	71,223	14,221

주1) 상기 재무수치는 K-IFRS 연결기준입니다.주2) 보고서 제출일 현재 연결기준 수주잔고는 약 240억원입니다.주3) 상기금액은 환율에 따라 변동될 수 있으며 최종 매출액과도 차이가 있을 수 있습니다.

7. 시장위험과 위험관리1) 시장위험가. 외환위험연결실체는 국제적으로 영업활동을 영위하고 있어 외환위험에 노출되어 있습니다. 연결실체의 외환위험은 미래예상거래 및 인식된 자산과 부채가 기능통화 외의 통화로 표시될 때 발생합니다. 연결실체의 외환위험 관리의 목표는 환율 변동으로 인한 불확실성과 손익변동을 최소화함으로써 기업의 가치를 극대화하는데 있습니다.

상기 민감도 분석은 보고기간 종료일 현재 기능통화 이외의 외화로 인식된 화폐성 자산 및 부채를 대상으로 하였습니다. 환율의 미래 변화는 매출총이익율에 영향을 줄 수 있습니다.

나. 이자율위험 이자율위험은 시장금리변동으로 인한 재무상태표항목의 가치변동(공정가치)위험과 투자 및 재무활동으로부터 발생하는 이자수익/비용의 현금흐름이 변동될 위험으로 정의할 수 있습니다.

2) 신용위험신용위험은 통상적인 거래 및 투자활동에서 발생하여 고객 또는 거래 상대방이 계약조건상 의무사항을 지키지 못하였을 때 발생합니다. 이러한 신용위험을 관리하기 위하여 연결실체는 고객과 거래상대방의 재무상태와 과거 경험 및 기타 요소들을 고려하여 주기적으로 재무신용도를 평가하고 있으며, 신용이 부족한 경우 금융기관의 지급보증서 등의 담보물을 습득하여 신용위험을 최소화하고 있습니다.

신용위험은 금융기관과의 거래에서도 발생할 수 있으며 해당 거래는 각종 예금 그리고 파생금융상품등의 금융상품 거래를 포함합니다. 이러한 위험을 줄이기 위해, 연결실체는 신용등급이 높은 은행들에 대해서만 거래를 하는 것을 원칙으로 하고 있으며,신탁예금 등 신용위험이 발생할 가능성의 많은 예금은 경영지원실장, 대표이사의 승인을 득한 후에 신규거래를 하도록 규정하고 이루어지고 있습니다.

가. 보고기간종료일 현재 연결실체의 금융자산별 신용위험과 관련된 분류는 다음과 같습니다.

(당기말) (단위: 천원)

구 분	연체 및 손상되지않은 금융자산	연체되었으나 손상 되지 않은 금융자산	손상된 금융자산	합 계

현금및현금성자산	35,257,885	-	-	35,257,885

장단기금융자산	891,455	-	-	641,455

매출채권	20,248,663	123,608	5,667	20,377,938

기타수취채권	2,795,730	-	-	2,795,730

합 계	59,193,733	123,608	5,667	59,323,008

(전기말) (단위: 천원)

구 분	연체 및 손상되지않은 금융자산	연체되었으나 손상 되지 않은 금융자산	손상된 금융자산	합 계

현금및현금성자산	11,581,122	-	-	11,581,122

장단기금융자산	665,788	-	-	665,788

매출채권	18,755,413	368,022	25,849	19,149,284

기타수취채권	3,116,319	-	-	3,116,319

합 계	34,118,642	368,022	25,849	34,512,513

나. 연체되지도 않고 손상되지도 않은 금융자산의 신용건전성1) 매출채권 및 기타수취채권연결실체는 신용거래를 희망하는 모든 거래상대방에 대하여 신용검증절차의 수행을 원칙으로 하여 신용상태가 건전한 거래상대방과의 거래만을 수행하고 있습니다. 또한, 대손위험에 대한 연결실체의 노출정도가 중요하지 않은 수준으로 유지될 수 있도록 지속적으로 신용도를 재평가하고 담보물을 확보하는 등 매출채권 및 기타수취채권 잔액에대한 지속적인 관리업무를 수행하고 있습니다. 연결실체는 매출채권 및 기타수취채권에 대해 매 보고기간말에 연체채권 발생여부 및 개별적 손상여부를 검토하고 있습니다.2) 기타의 금융자산현금및현금성자산, 장ㆍ단기금융자산 중 채무증권으로부터 발생하는 신용위험은 거래상대방의 부도 등으로 발생합니다. 이러한 경우 연결실체의 신용위험 노출정도는 최대 해당 금융자산의 장부금액과 동일한 금액이 될 것입니다. 한편, 연결실체는 씨티은행 등의 금융기관에 현금및현금성자산과 금융상품 등을 예치하고 있고 국공채에투자하고 있으므로 금융기관으로부터의 신용위험은 제한적입니다.

다. 보고기간종료일 현재 연체되었으나 손상되지 않은 매출채권의 연령분석 내역은다음과 같습니다.

(단위: 천원)

구 분	당기말	전기말

3개월 이하	117,625	269,516

3개월 초과 6개월 이하	-	23,419

6개월 초과 12개월 이하	1,088	93,348

12개월 초과	4,895	7,588

합 계	123,608	393,871

3) 유동성위험

연결실체의 경영지원부는 미사용 차입금한도를 적정수준으로 유지하고 영업 자금 수요를 충족시킬 수 있도록 유동성에 대한 예측을 항시 모니터링하여 차입금한도나 약정을 위반하는 일이 없도록 하고 있습니다. 유동성에 대한 예측 시에는 연결실체의 자금조달 계획, 약정 준수, 연결실체 내부의 목표재무비율 및 통화에 대한 제한과 같은 외부 법규나 법률 요구사항이 있는 경우 그러한 요구사항을 고려하고 있습니다.

유동성위험관리는 충분한 현금 및 시장성 있는 유가증권의 유지, 적절하게 약정된 신용한도금액으로부터의 자금 여력 및 시장포지션을 결제할 수 있는 능력 등을 포함하고 있습니다. 당기말 현재 연결실체는 유동성위험을 관리할 수 있도록 즉시 출금이 가능한 현금및현금성자산에 35,258백만원(전기말: 11,518백만원)을 투자하고 있습니다.

보고기간종료일 현재 연결실체의 주요 금융부채의 연도별 상환계획은 다음과 같습니다.

(당기말) (단위: 천원)

구 분	1년미만	1년에서 2년이하	2년에서 5년이하	5년초과	계

매입채무	4,659,690	-	-	-	4,659,690

기타채무	6,435,722	97,638	-	-	6,533,361

리스부채	1,383,869	2,163,971	-	-	3,547,840

파생상품부채	11,524,124	-	-	-	11,524,124

장기차입금	-	-	10,000,000	-	10,000,000

전환사채	-	-	11,807,089	-	11,807,089

합 계	24,003,405	2,261,609	21,807,089	-	48,072,103

(전기말) (단위: 천원)

구 분	1년미만	1년에서 2년이하	2년에서 5년이하	5년초과	계

매입채무	7,511,192	-	-	-	7,511,192

기타채무	5,053,350	72,851	-	-	5,126,201

리스부채	1,006,742	1,042,123	-	-	2,048,865

합 계	13,571,284	1,114,974	-	-	14,686,258

*상기 표는 금융부채에 대한 계약상 잔존만기를 기준으로 작성되었으며, 원금 및 이자의 할인하지 않은 현금흐름을 포함하고 있습니다.

(2) 자본위험관리

연결실체의 자본관리 목적은 계속기업으로서 주주 및 이해당사자들에게 이익을 지속적으로 제공할 수 있는 능력을 보호하고 자본비용을 절감하기 위해 최적 자본구조를 유지하는 것입니다.산업 내의 타사와 마찬가지로 연결실체는 부채비율, 순차입금비율에 기초하여 자본을 관리하고 있습니다. 순차입금은 총 차입부채에서 현금및현금성자산 및 단기금융자산을 차감한 금액입니다.

보고기간종료일 현재 부채비율, 순차입금비율은 다음과 같습니다.

(단위: 천원)

구 분	당기말	전기말

부채총계(A)	51,333,369	16,146,222

자본총계(B)	53,081,960	44,363,296

예금 등(C)	35,285,085	12,227,650

차입부채(D)	30,000,000	-

부채비율(A/B)	96.71%	36.40%

순차입금비율(D-C)/B	-	-

3.3 공정가치 측정연결실체는 재무상태표에 공정가치로 측정되는 금융상품에 대하여 공정가치측정에 사용된 투입변수에 따라 다음과 같은 공정가치 서열체계로 분류하였습니다.

수준	내 용

수준 1	동일한 자산이나 부채에 대한 활성시장의(조정되지 않은) 공시가격

수준 2	직접적으로(예: 가격) 또는 간접적으로(예: 가격에서 도출되어) 관측가능한, 자산이나 부채에 대한 투입변수. 단, 수준 1에 포함된 공시가격은 제외함

수준 3	관측가능한 시장자료에 기초하지 않은, 자산이나 부채에 대한 투입변수(관측가능하지 않은 투입변수)

매출채권 및 기타의 금융자산의 경우 장부가액을 공정가치의 합리적인 근사치로 추정하고 있습니다. 활성시장에서 공시되는 시장가격이 없고 공정가치를 신뢰성 있게 측정할 수 없는 지분상품의 경우 원가로 측정하고 있습니다. 8. 연구개발활동가. 연구개발 조직보고기준일 현재 당사의 연구개발 인력은 총 65명으로 전세계에서 가장 우수한 원자현미경을 개발하는 집단입니다. 당사의 연구개발부는 기업부설연구소로써 기술기획, 관리 및 지적재산권 관리 업무를 수행하는 응용기술연구부과 연구용 장비의 설계 및 개발, 그리고 연구용 장비 소프트웨어와 하드웨어 개발을 담당하는 연구용 연구개발부, 산업용 장비의 응용기술설계 및 장비의 개발 그리고 소프트웨어 / 하드웨어 개발을 담당하는 산업용 연구개발부 총 3개의 팀이 연구 및 개발업무를 수행하고 있습니다.

구분	주요업무

응용기술 연구부	기술기획 및 관리, 기술 적용 테스트, 고객시료 측정

연구용 연구개발부	연구용 제품 소프트웨어 및 하드웨어 개발, 전기전장 설계 및 개발, 기계부 설계 및 개발

산업용 연구개발부	신기술 및 응용기술 설계 및 개발, 산업용 제품 소프트웨어 및 하드웨어 개발, 전기전장 설계 및 개발, 기계부 설계 및 개발

나. 연구개발비용당사는 연구개발비용을 전액 경상연구개발비로 계상하고 있으므로 보고서 제출일 현재 자산화 된 개발비용은 없습니다.

(단위: 천원)

구 분	2018년	2019년	2020년

(제22기)	(제23기)	(제24기)

판관비	경상
연구개발비	4,392,176	6,129,009	6,443,713

(매출액 대비 비율)	(10.50%)	(13.94%)	(10.27%)

주) 상기 재무수치는 K-IFRS 별도 기준으로 산정되었습니다.

다. 연구개발실적

(1) 연구개발기술(가)당사에서 최근 수행한 주요 연구성과는 다음과 같습니다.

연구과제명	연구기간	결과

산업용 장비	(나노융합2020사업)
고해상도 탐침형 형광/WLI 융합 현미경 개발	2018.06.01~2020.12.31	성공

(ATC)반도체 공정에서 30nm~100nm 크기의 결함 특성 분석을 위한 2세대 auto defect review 전용 AFM 플랫폼 개발(2단계)	2015.06.01~2017.05.31	조기성공

(핵심)30nm이하 나노소자용 인라인 3D-AFM	2015.06.01~2018.05.31	혁신성과

연구용 장비	300mm Wafer용 연구용 장비	2016.02.01~2016.07.31	성공

(나) imec JDP 연구성과 당사는 2015년 2월에 유럽 벨기에에 위치한 imec 연구소와 차세대 반도체 생산공정용 원자현미경개발을 위하여 공동연구개발 계약(Joint Development Project)을 체결하고, 2015년 6월부터 2018년 5월까지 3년간 공동연구개발을 진행하였습니다.3년간의 연구 결과, AFM장비가 Logic Si CMOS, EUVL, 3D Packaging 등 반도체 내의 다양한 분야에서 기존 장비들로는 측정에 한계점에 도달한 나노공정에서의 새로운 계측장비로서의 가능성을 확인하였습니다. 이런 성과로 인하여 2020년 2월 두번째 JDP를 체결하였으며, 향후 3년간 반도체 공정내의 CMP 공정과 같은 분야에서도 AFM의 활용방안에 대하여 연구 해나갈 예정입니다. (2) 연구개발 로드맵(가) 산업용 원자현미경 기술개발 현재 전세계 AFM 제조업체 중 가장 활발하게 산업용 AFM 기술을 개발하고 있으며 2개의 대형 국책과제의 지원과 IMEC과의 공동연구를 통하여 반도체를 포함한 산업계에서 요구되는 AFM 응용기술을 세계최초로 개발할 수 있게 되어 산업용 자동화 AFM 분야에서 주도권을 쥐고 세계 제1의 산업용 자동화 AFM 제조업체를 목표로 연구개발에 전력을 기울이고 있습니다.

[산업용 원자현미경 기술 개발 로드맵]

(나) 연구용 원자현미경 기술개발

연구용 시장은 경쟁이 치열하여 각 지역별, 특수 옵션 별로 시장이 작게 구분되어 있습니다. 산업용으로 개발된 고도의 자동화 AFM 기술의 일부를 접목하고 SmartScan의 혁신적인 운영소프트웨어를 영업의 기반으로 삼아 일반 연구용 장비 시장을 공략하고 2020년 이후 더욱 커질 의료 및 생명과학 분야의 시장을 대비하여 바이오 SPM 기술을 개발하고 국내외의 SPM 전문가들과 협력하여 시장에서 요구하는 융합 SPM기술과 저가형의 교육용 AFM 제조에도 노력을 기울여 2020년 이후 산업용 자동화 AFM 시장을 석권한 후 연구용 AFM 시장에서도 세계 1위가 되기 위한 연구개발을 계획하고 있습니다.

[연구용 원자현미경 기술 개발 로드맵]

(3) 연구개발계획당사는 기술개발계획 로드맵에 따라 향후 5년간 다음의 연구과제를 계획하여 진행하고 있습니다.

No	연구과제명	연구기간	적용분야

1	In-Fab AFM 검사장비 구축을 위한 양산기술 확보	2019.12.02~2021.12.01	디스플레이 분야

2	AFM 기반융합계측시스템개발	2020.01.01~2025.12.31	반도체, 디스플레이 분야

3	차세대산업용원자현미경기술개발	2020.01.01~2025.12.31	반도체, 디스플레이분야

4	연구장비 고도화 사업	2020.04.01~2021.12.31	나노계측분야

주) AFM: Atomic Force Microscopy(원자현미경) SPM: Scanning Probe Microscopy(주사탐침현미경)