티로보틱스 분기보고서 (2019.09)
II. 사업의 내용

1. 사업의 개요

가. 회사의 현황

(1) 회사 개요당사는 디스플레이 패널 생산업체 및 1차 디스플레이장비업체를 대상으로 디스플레이 생산공정에 사용되는 진공로봇과 생산공정이 수행되는데 독립적인 역할을 가능하게 해주는 진공시스템(챔버) 장비를 연구 및 개발하여 및 전세계의 다양한 고객들에게 공급하는 사업을 영위하고 있습니다. OLED 생산공정은 디스플레이 원판을 제조하는 전공정과 디스플레이 원판을 커팅하고, 구동IC 부착 등의 공정을 거친 후 완제품에 적용될 디스플레이를 생산하는 후공정으로 분류됩니다. 전공정은 TFT공정, 유기재료 증착공정, 봉지공정 등을 통해 디스플레이 원판을 생산하는 공정으로 OLED 생산성을 결정하는 핵심적인 공정입니다. 후공정은 디스플레이 원판을 완제품에 적용될 사이즈별로 커팅하고, 구동IC를 부착하고 커버필름을 부착하여 완제품용 디스플레이를 생산하는 공정입니다.OLED와 같은 패널의 생산은 디스플레이의 전체적인 생산공정 특성상 진공환경에서 모든 공정이 이루어지므로, 대상물인 글라스를 이송해주는 진공로봇 장비와 각 공정이 이루어지는 진공이송모듈이 반드시 필요합니다.

진공 이송로봇은 증착장비 내부에서 사용하는 핵심 부품의 하나입니다. 증착 장비 특성상 고온과 진공 상태에서 안정감 있게 패널을 옮기는 것이 핵심입니다. 고온을 견디면서 대형 기판이 흔들리거나 처지지 않아야 하고, 미세한 입자의 발생도 최소화하는 것이 좋습니다. 일반 대기압 상태와 환경이 전혀 다른 만큼 수준 높은 제어 기술이 필요합니다. 진공공간이라는 특수한 환경에서 해당 로봇 제품이 세분화되어진 특정 업무를 일관된 속도와 정확도로 실행할 수 있어야함이 매우 중요하고 그것이 실행될 수 있는 것이 경쟁력입니다. 특정 로봇 제품에서 불량이 발생하거나 지정된 업무를 이행시키는데 차질이 생긴다면 해당 구역 외에도 생산공정 전체에 부정적인 영향을 미칠 수 있어 로봇제품의 중요성은 감안하지 않을 수 없습니다.

(2) 제품 설명① 진공로봇 장비

진공로봇은 디스플레이 생산장비의 중앙에 위치하는 Transfer Chamber(TM : Transfer Module)에 설치되어 모든 글래스 이송을 담당합니다. 해당제품의 경우, 정확한 위치에 글래스를 이송해주기 위한 높은 1) [위치정밀도], 재연성 확보를 위한 2) [반복정밀도], 글래스 자체의 무게로 인한 3) [처짐(Droop) 및 좌우떨림(Wobble) 보상제어], 그리고 고객사의 제품생산 수율 유지를 위한 4) [높은 반송동작 속도] 등이 주요한 성능평가 사항입니다.

[진공로봇의 배치 개략도]

(출처 : 티로보틱스, 디스플레이산업협회)

진공로봇은 크게 회전운동(T축)과 상하운동(Z축)의 역할과 각종 연결단자가 포함된 Body 유닛, 그리고 전후운동(R축)을 담당하는 Arm 유닛으로 구성되어 있으며, 고객사의 요구사항에 따라 Single Arm과 Dual Arm의 제품으로 구분하여 공급하고 있습니다. 당사는 글라스의 사이즈에 따라 구분되는 다양한 디스플레이 세대별(2세대 ~ 11세대)에 최적화된 로봇을 연구 및 개발하여 공급하고 있으며, 각 제품들은 진공환경 대응 및 공정 중 발생하는 고온환경에 대응하기 위한 각각의 특수사양을 포함하고 있습니다. 2017년부터는 당사의 주요 고객사인 1차 장비업체 Applied Materials와 공동 연구개발한 11세대급 진공로봇 장비를 전세계 최초로 중국 패널공급업체 BOE의 B9라인에 납품을 개시하여 당사의 기술력을 입증해 보였습니다.

② 진공이송모듈

진공이송모듈의 경우, 크게 글라스를 메인 공정 장비에 투입하여 주는 LoadLock 시스템, 디스플레이 생산공정에 사용되는 Fine Metal Mask를 보관하는 Mask Chamber 시스템, 그리고 글라스에 대한 회전 및 반전 동작을 담당하는 Turn-Flip 시스템으로 구분할 수 있습니다.

[진공장비의 구조 및 배치 개략도]

진공장비-2.jpg 진공장비-2

진공이송모듈도 진공로봇 장비와 마찬가지로 반복정밀도(Repeatability)와 동작 속도가 중요한 평가지표이며, 이에 추가로 진공환경을 유지하는 기밀성 또한 고려대상입니다. 설계 변동이 크지 않은 로봇 장비와는 달리, 시스템 장비의 경우 각 고객사별로 생산시설 상황에 따른 수많은 설계 변경이 필요하며, 이는 영업부서와 설계부서가 고객사와의 설계사양협의 과정을 거쳐 고객의 요구사항을 반영 후, 공급하고 있습니다. 또한, 상기된 장비들에 대한 단순 공급만이 아닌 자체 보유 서비스팀 인원을 활용한 Set-up 서비스도 병행하여 당사 제품이 성공적으로 설치될 수 있도록 고객사를 지원하고 있으며, 각 고객사의 인원들에 대한 당사 장비교육도 본사에서 진행되고 있습니다. 당사는 일본 경쟁사들이 독점하고 있던 디스플레이 진공로봇 시장에 진출하여, 전세계 1위 장비 업체인 Applied Materials를 포함한 국내외 다양한 고객사에 제품을 공급함으로써, 중소기업임에도 그 기술력을 인정받았습니다. 자체 모든 기계구조 설계 및 전장/제어 개발을 내재화하고 이를 통해 축적된 Know-How를 기반으로 현재 기존의 다양한 CVD 및 에칭공정용 장비를 포함하여 다양한 타 공정 장비에 대한 적용을 위해 지속적인 개발을 진행하고 있습니다.

③ 진공로봇 Overhaul일반적으로 진공 로봇이나 디스플레이, 반도체설비는 일반적으로 24시간 풀가동을 하여야 합니다. 장비를 일시적으로 멈추면 그 생산환경에 필요한 진공이나 고온 등을 유지할 수 없고 재가동을 위한 비용이 많이 소요됩니다. 이에 따라 연중 풀가동을 하게 됩니다. 이러한 풀가동으로 인해 로봇을 비롯한 장비들의 사용주기는 5년을 예상하고 있습니다. 그리고 5년 사용 연한 전에 2년 주기로 Overhaul 작업 즉 로봇을 리퍼 개념으로 전부 점검하게 됩니다. 이러한 작업을 Overhaul이라고 합니다.

나. 산업의 특성국내 디스플레이 업체들은 시장 완숙기에 접어든 LCD 시장에서 치킨게임을 벌이기보다는 OLED 시장에 대한 투자를 확대하기 시작했습니다. 국내 디스플레이업체 주력 양사는 2000년 후반부터 본격적으로 OLED 기술개발 및 투자를 진행하였고, 그룹 관계사의 제품 전략에 따라 삼성디스플레이는 모바일용 중소형 패널에, LG디스플레이는 TV에 들어가는 대형 패널 생산에 집중하였습니다. 현재 국내의 디스플레이 패널사가 글로벌 시장을 리드하고 있습니다. OLED 패널 제조 장비산업은 최첨단 기술이 요구되는 기술집약적 고부가가치 산업으로 우수한 기술인력과 대규모의 연구개발비가 투입되어야 하므로 타 산업과 비교해 볼 때 진입장벽이 높은 특성을 보이고 있습니다. 다. 성장성

모바일 디스플레이 시장의 경우 최근OLED 시장의 확대에 대한 기대감이 커지고 있습니다. 스마트폰에 OLED를 최초 적용했던 삼성전자는 기존 플래그쉽 모델인 갤럭시S와 노트 시리즈에 적용하였던 OLED를 중저가 라인업에도 적용하기 시작했고, Oppo, Vivo, Huawei 등의 해외 업체에서도 OLED를 채택한 제품군을 늘리고 있습니다. 특히, 플래그쉽 제품 기준 글로벌 1위 스마트폰 업체인 애플이 2017년 아이폰에 OLED를 도입함으로써 중소형 패널시장을 중심으로 OLED는 LCD를 빠르게 대체할 것으로 예상됩니다.현재 OLED 시장은 모바일용 중소형 패널에 집중되고 있지만 향후 OLED 생산 기술의 발전에 따라 패널이 대형화되고, Flexible OLED 등으로 확산될 것으로 보입니다. TV, VR기기, 웨어러블 기기 등 어플리케이션의 확장과 자동차, 건축, 광고 등이 타 산업과의 융복합을 통해 새로운 시장 창출이 가능해지면서 시장 내 수요는 더욱 증가할 것으로 보입니다. 수요 확대에 맞춰 주요 디스플레이 패널생산업체들은 OLED 공급확대를 위한 설비 증설을 본격적으로 진행하고 있습니다. 또한 중국 정부의 지원 속에 중국 디스플레이 패널업체의 설비투자 계획도 지속되는 바, OLED 시장은 지속적으로 확대될 것으로 보입니다.

OLED 제조 장비시장은 2017년부터 2021년까지 849억달러의 규모가 투자될 것으로 전망됩니다. TFT공정에 사용되는 장비 45%, OLED화소 형성장비 17%, encapsulation장비 13%, cell장비 13%, module장비 12%순으로 구성됩니다. 향후 flexible OLED수요가 크게 증가할 것으로 보이면서 cell장비와 module장비의 시장점유율은 25%로서 중요도가 높아질 것으로 분석됩니다. 2017년에 각공정별 장비시장은 TFT 장비가 76.3억달러, OLED 장비가 27.9억달러, encapsulation 장비가 18.7억달러, cell 장비가 20.7억달러, module 장비가 20.6억달러로 총164억달러의 규모가투자될 것으로 전망됩니다. Flexible OLED수요가 증가하면서 mobile 기기용 OLED를 주로 생산하는 Gen6 장비투자가 OLED 장비시장을 주도할 것으로 전망됩니다. 2017년부터 2021년까지 Gen6 장비는 738억 달러의 규모가 투자될 것으로 분석됩니다. 또한 2019년부터는 Gen6이상의 장비만 투자될 것으로 예상됩니다.

OLED TV수요가 증가하면서 대면적 OLED 생산을 위한 장비투자가 증가할 것으로 전망됩니다. 2017년부터 2021년까지 Gen8 장비는 63.4억 달러의 규모가 투자 될 것으로 분석됩니다. 2020년부터는 Gen10 장비도 투자가 예상됩니다. 국가별 OLED 장비시장은 한국과 중국의 panel업체가 시장을 주도할 것으로 전망됩니다. 2017년부터 2021년까지 한국과 중국의 장비구매 시장은 각각 359억달러와 405억달러의 규모가 될 것으로 분석됩니다. 2020년에는 중국의 OLED장비 투자가 전체 OLED 장비시장의 점유율 50%를 넘길 것으로 보입니다.

라. 경기변동의 특성 및 계절성당사의 제품은 계절적 요인 및 전반적인 경기변동과는 밀접한 관계가 없지만, 디스플레이 패널 제조 사업자의 투자계획에 따라 수요가 크게 변동됩니다. 패널 업체의 투자시기에는 수주와 매출이 집중되고 투자 비수기에는 차세대 로봇개발에 집중해야 하는 경기변동의 폭이 큰 산업입니다. 현재는 OLED 디스플레이 산업과 연관이 깊으며 2016년부터 본격적으로 성장하기 시작하여 국내의 삼성디스플레이, LG디스플레이가 중심이 되어 디스플레이 세계 시장에서 96%, 2017년도에는 97% 차지를 하였습니다. 중소형은 삼성디스플레이, 대형은 LG디스플레이가 시장을 주도하고 있으며 후발주자인 여러 중국업체들도 OLED 패널을 생산하기 위해 개발 및 투자 검토가 이루어져 OLED 장비의 수요는 국내 및 해외에서 당분간 지속적으로 호황이 될 것으로 예상됩니다. 이러한 장비수요 변동에 따른 수주 및 매출 리스크 최소화를 위하여 지속적인 선행 기술개발과 다양한 고객의 분포와 세대별 장비에 따른 로봇 생산 능력이 중요합니다. 마. 국내외 시장여건

(1) OLED 시장규모 및 전망

OLED는 LCD 대비 우수한 품질 구현, 생산 수율 개선 등으로 전방시장 채택이 증가하고 있으며 최근 Flexible OLED가 상용화됨에 따라 스마트폰, TV, PC 등의 완제품에 Foam Factor 차별화가 진행되고 있고, 신규로 자동차, 웨어러블 기기, 상업용 디스플레이로 확대되는 등 OLED 시장규모는 폭발적으로 성장할 것으로 전망되고, 2020년 시장규모는 332억달러로 2014년부터 연평균 24.30% 성장할 것으로 전망됩니다.

(2) 국내 현황 및 전망

OLED 시장을 주도하는 삼성디스플레이와 LG디스플레이는 주도권을 유지하기 위해 OLED 투자를 지속하고 있으며 중국, 일본 업체들은 OLED 시장 진출을 위해 라인 증설을 진행하고 있습니다. 삼성디스플레이를 제외하고는 상업적으로 양산 CAPA를 확보한 업체가 없어 후발 업체들의 설비투자 계획이 활발합니다. 하지만, 2010년대 초부터 양산을 시작한 삼성디스플레이와 경쟁업체간 기술격차는 큰 편입니다. 기술적으로 삼성디스플레이에 가장 근접한 것으로 평가받는 LG디스플레이도 6세대 OLED 패널 양산수율 안정화에 어려움을 겪고 있으며, 중국업체의 경우 양산경험과 기술력의 차이로 삼성디스플레이를 중심으로 한 국내 업체의 시장 지배력은 지속될 것으로 보입니다.

(3) 중화권 업체 현황 및 전망BOE는 현재 가장 공격적인 투자를 진행하고 있는 업체로 B6라인에서 5인치 OLED 패널을 소량 생산하고 있습니다. 2018년 Flexible OLED 생산을 목표로 48K/월 규모의 B7라인을 3번의 Phase에 걸쳐 증설하기로 결정하여 현재 투자가 진행 중이며 2017년 상반기에 Phase 1 장비 반입이 완료되어 2018년 이후 Phase 2, 3 장비발주가 진행하고 셋업을 완료하여 2019년부터 본격적으로 생산에 돌입할 계획입니다. 또한, 16K/월 규모로 예상되었던 B11라인의 투자가 2017년 48K/월 규모로 확정되어 2019년까지 단계적으로 증설을 완료하여 2020년에는 6세대 기준 96K/월 수준으로 생산규모가 확대될 것으로 전망됩니다.

TIANMA는 2016년부터 5.5인치 HD 해상도 OLED 패널을 양산하고 있습니다. 주요 고객사로 ZTE 등 중국 스마트폰 업체에 패널을 공급하고 있습니다. 중국 내 타 패널업체와 달리 중국 디자인 하우스인 후아친, 롱치어 등과 협력관계를 구축하여 생산규모 증가에 따라 패널이 빠르게 침투할 수 있는 기반을 마련하였습니다. TIANMA는 2017년부터 장비발주를 본격적으로 시작하여 셋업을 완료하고, 2018년에는 양산을 진행할 수 있도록 투자를 지속할 것으로 전망됩니다. 이외에도 CSOT, Truly, GVO, Visionox 등 업체들은 기존 라인에 추가적으로 15K/월~30K/월 규모로 2018년까지 증설을 완료한다는 계획을 세우고 있고, 기존 패널업체뿐만 아니라 Royole, MGV 등 신생업체도 정부지원 속에 10K/월 미만 규모로 생산라인을 위한 투자를 진행할 계획입니다. 현재 중소형 OLED 패널 Capa.의 5% 미만에 불과하지만, 본격적인 투자를 진행하고 양산에 접어드는 2020년 이후에는 30% 대에 달할 전망입니다.

바. 산업내 주요 경쟁력 및 회사의 강점과 단점(1) 경쟁형태

전세계 디스플레이 장비산업은 크게 전공정과 후공정으로 나누어집니다. 당사는 전공정 과정에 필수적으로 활용되는 장비인 진공이송로봇을 연구개발, 양산, 그리고 납품까지 하는 기업입니다. 당사의 판매처로는 Applied Materials, 인베니아와 같은 장비업체들에게 판매하는 방식과 판넬 업체에 직접 납품하는 방식이 존재하나 납품 물량의 대부분을 장비사에게 판매중입니다. 당사의 제품을 주로 공급 받는 기업은 미국의 글로벌 반도체/디스플레이 장비 업체인 Applied Materials인데, 과거부터 쌓여온 경험, 업계에서 인정해주는 제품품질과 대응능력, 그리고 새로운 수요를 충족시켜주는 신제품 출시로 삼성디스플레이, LG디스플레이, 그리고 BOE 등 급부상중인 중국의 판넬업체들에게 많은 신뢰가 쌓인 해당업계의 대표기업입니다.

진공이송로봇은 진공기술과 이송로봇기술 기술이 접목되어야 완성품이 연구개발에서 양산까지 가능하기 때문에 그것이 가능한 업체들이 국내뿐만 아니라 전세계적으로 극히 한정되어 있습니다. (2) 진입장벽진공기술에 대한 진입장벽이 높아 오랜 연구개발이 필수적이고, 제품개발에 성공하였다 하여도 양산과정에서 필요한 다양한 기술적인 경쟁력이 검증을 받아야 완제품 출시 및 납품까지 가능하기 때문입니다. 반도체/디스플레이 장비산업은 복잡하고 다양한 기능이 취합되어 있는 공정과정에서 각 장비마다 그 기능이 매우 특수하여 개발하는데 전문성이나 시간이 많이 요구되고 개발 이후에도 특허를 통해 기술력을 보호받습니다. 개발단계 이후에도 양산과정에서까지 장비에 대한 검증을 받아서 End-User에 납품이 가능한 장비만이 인정을 받고 사업적으로 성과를 낼 수 있는 것이 장비제품인데 이러한 양산기술 역시 다양한 경험과 기술적인 경쟁력이 부족하면 검증과정을 이겨낼 수 없습니다.

개발단계에서는 기술에 대한 이론적인 부분이 중요하다고 한다면 양산과정에서는 판매처의 세분화된 요구에 적합한 제품을 양산해내는 것이 중요하기 때문에 특정 장비의 개발 및 양산에 대한 진입장벽은 높습니다 장비업체는 이송로봇 외에도 다양한 디스플레이 공정장비를 직접 생산하거나 당사와 같은 협력업체들을 통하여 해당 장비가 제공할 수 있는 기술을 취합합니다. 여러가지 장비들의 특성과 역할을 효율적으로 반영하고 전체공정 과정에서 오류나 사고 없이 공정의 흐름이 가능하도록하여 End-User라고 하는 글로벌 판넬업체들의 새로운 수요에 맞춰주는 것이 장비사의 경쟁력입니다.

(3) 경쟁업체현황LCD, OLED 디스플레이 공정 라인의 진공이송로봇의 경우 로봇기술 선진국인 일본에 상장되어 있는 D사 S사가 주요 경쟁업체로 자리매김을 하고 있습니다.D사의 경우 진공이송로봇 외에도 변압기, 배전설비, 변전시스템 등 전력회사와의 유관사업을 많이 진행을 하고 있으며 S사의 경우에는 반도체 및 디스플레이 산업의 다양한 장비가 주력 산업이며 그 외에도 기기장비산업, 전자광학 부품사업도 함께 영위하고 있습니다. 두 회사 모두 산업용 로봇 제조회사이지만 다른 제품분야 대비 그 비중이 작습니다. (4) 비교우위사항

① 기술 수준 및 경쟁력

당사는 2004년 진공 WTR(Wafer Transfer Robot)을 시작으로 2007년 7세대급 진공이송로봇(Display)의 개발에 성공한 후, 국내 LG디스플레이, 삼성디스플레이와 해외 Applied Materials에 각각 진공로봇 공급을 통해 장비 및 기술 경쟁력을 검증 받았으며, 축적된 노하우를 기반으로 지속적인 장비 개선 및 개발을 실시하고 있습니다.

초기에는 당사의 로봇이 경쟁사와의 우위에서 뒤쳐졌으나 지속적으로 기구설계 및 제어기술, 전장부문의 경쟁력을 개선하여 최근에는 경쟁사와의 경쟁력에서도 뒤쳐지지 않으며 국내 디스플레이 패널의 생산/공급사에서도 해외(일본)장비만을 선호하지 않고 당사의 로봇을 항상 우선순위에 두며 많은 진공물류라인의 공정에 당사의 로봇을 적용하였습니다.

2012년 글로벌 장비기업 Applied Materials와 협력사가 되면서 성장을 하였으며 세계 디스플레이 장비시장 1위인 Applied Materials에 제품을 공급하며 기술력을 인정받았습니다. 특히 2016년에는 샤프에 10세대 LCD용 진공이송로봇을 공급하였으며 2017년에는 중국 BOE에 10.5세대 LCD용 제품을 공급해 초대형 기판시장에 입지를 굳혔습니다. 현재는 시장상황에 맞춰 신규로봇 개발에 힘을 기울이며 새로운 제품을 개발하는 것과 동시에 현재 양산중인 로봇의 안정성을 더욱더 높이기 위한 노력을 함께 하고 있습니다.

② 자체 기술 보유

당사는 진공로봇 및 진공장비 시스템의 개발 및 제작과 관련하여 전 부문의 기술을 보유하고 있습니다. 설립 초기부터 정밀 이송로봇 부문의 기술경쟁력을 통해 장비의 기구 설계 및 제어 부문에서 경쟁사에 뒤지지 않는 당사만의 기술경쟁력을 확보하고 있습니다. 세계적인 장비업체인 Applied Materials와 직접 공급계약을 맺게 되면서, 관련제품들에 대한 안정적인 기술제공 및 품질을 유지하기 위해 시스템 설계, 운영제어, 측정/분석 부문의 인력을 충원하고 기술개발을 지속하여 경쟁사에 대한 우위를 유지기 위한 노력을 유지하고 있습니다.

③ 경쟁업체 대비 비교 우위 사항

당사의 경쟁업체들은 진공로봇과 물류시스템뿐만 아니라 반도체 및 디스플레이 장비 산업의 다양한 분야에서 과거부터 오랜기간 동안 활동하며 시가총액 또는 매출의 규모 측면에서 당사 대비 월등히 큰 기업들입니다. 하지만 이런 기업들의 규모 때문에 겪는 어려움들이나 단점들이 티로보틱스에게는 좋은 기회가 되었습니다. 단적인 예로 Applied Materials가 새롭게 10~10.5세대 대형 LCD 로봇의 출시를 앞두고 시장의 다양한 분야에서 많은 활동을 보이고 있던 경쟁업체들보다 자신들의 연구개발계획 방향성과 세부적인 양산방식 등에 있어서 더 적극적으로 응해줄 의향과 여유가 있었던 당사에게 기회를 제공해준 것입니다.

진공기술이나 로봇기술에 대한 기술력은 쉽게 이해하거나 응용 할 수 없는 기술이기 때문에 판매 이후에도 End-User가 제품의 오류나 불량에 대한 대응이 필요하였을 시 빠르게 대처해줄 수 있는 능력 중요합니다. 진공이송로봇은 다양한 위치로 판넬을 이송시켜주는 역할을 제공하기 때문에 공정단계에서 불량이나 오류가 발생하여 작동이 원활하지 않을 시 앞뒤로 다른 공정 과정까지 모두 중단하게 되는 매우 중요한 제품입니다. 공정 과정에서 라인이 오랫동안 중단되는 현상도 막고 그래서 경제적인 피해도 최소화 할 수 있는 부분인데 그런 상황에서 일본 기업들의 대응능력이나 속도에 많은 아쉬움을 갖는 경우가 많았다고 합니다. 최근 티로보틱스가 본격적으로 시장에서 기술력이나 판매 이후까지 이어지는 대응능력이 인정받고 있습니다.

또 진출사업분야가 증가함에 따라 일본업체들은 일부 개발 및 양산부문에서 외주를 통해 수급하고 최종적인 조립에 집중하는 사업구조가 차지하는 비중이 커지면서 생산 및 설치에 대한 경쟁력이 희미해지고 자연스럽게 대응도 어려워졌습니다. 티로보틱스는 모든부문의 기술을 자체적으로 보유하고 있고, 양산부터 대응까지 직접적인 고객서비스를 도모하는 취지에서 부서구성도 그렇게 되어있기 때문에 고객사의 요구에 따라 해당 팀의 즉각 대응이 가능합니다. 향후, TV 및 휴대폰 패널의 대형화와 LCD에서 OLED로 전환하는 산업의 큰 변화 두가지로 인하여 판넬업체들의 투자가 본격화되어 공급대수가 늘어날 것으로 전망합니다. 그런 큰 변화 속에서 A/S 대응 시 운영 경험이 미흡한 업체보다 당사가 경쟁우위에 있다고 판단됩니다.

사. 신규 사업

당사는 현재 공장을 증축중에 있으며 2019년 9월말 완공시 기존 제품의 생산량 확대와 고객이 요구하는 새로운 PRODUCT 라인에 공급할 제품을 새로운 기능의 진공이송로봇과 진공이송모듈을 개발하고 있습니다.OLED와 같은 패널의 생산은 디스플레이의 전체적인 생산공정 특성상 진공환경에서 모든 공정이 이루어지므로, 대상물인 글라스를 이송해주는 진공로봇과 각 공정이 이루어지는 진공이송모듈이 반드시 필요합니다.향후 새로운 개념의 디스플레이 시장이 형성될때 당사는 그동안 연구개발한 장비로 인해 많은 수익을 기대하고 있습니다.

2. 주요 제품 등에 관한 사항 가. 주요 제품 등의 현황

(기준일 : 2019년 09월 30일 ) (단위 : 백만원,%)

품목	주요 모델	매출액	비율	제품 설명

중대형시스템	Auto-VAC-MC외	12,177	32.32%	디스플레이 공정용 물류 이동 모듈 및 시스템

중대형로봇	Robo-VAC-FL060외	18,399	48.83%	디스플레이 CVD/Etcher 등 공정용 Glass 이송 진공로봇

기타	7,100	18.85%	반도체 및 디스플레이 소형로봇 외

합계	37,676	100%	-

나. 주요 제품의 가격변동 추이당사 주요 제품인 디스플레이 등 OLED 장비의 가격은 주문자 생산방식의 특성 때문에 동일 품목이라 하더라도 사양에 따라 단가가 상이하여 정해진 가격으로 판매되지 않습니다 3. 주요 원재료에 관한 사항 가. 매입현황당사의 주요 원재료는 이송로봇 및 시스템을 제조하기 위한 요소품, 기구품, 전장부품 등으로 구성됩니다. 당사의 매입 내역은 다음과 같습니다.

(기준일 : 2019년 09월 30일 ) (단위 : 백만원)

구분	2019년 (제 16기 3분기)	2018년(제 15기)	2017년(제 14기)

원재료	국 내	23,591	40,630	47,685

수 입	1,106	1,714	1,851

소 계	24,697	42,344	49,536

나. 원재료 가격 변동추이당사의 제품은 고객사의 주문에 의해 생산되는 방식이며, 고객사 별로 제품 사이즈를비롯하여 요구사양이 상이합니다. 또한 수주된 제품의 사양에 맞춰 원재료도 발주가 진행됨에 따라 동일 품목의 원재료도 사양 및 가격 편차가 존재하기 때문에 주요 원재료 등의 품목별 가격변동을 비교하기 어렵습니다. 다만, 주요 원재료 품목 별 가격변동 추이는 다음과 같습니다.

원재료 품목	시장흐름 및 가격변동 추이

가공품	가공품의 원소재로 사용되는 비철과 철의 국제 원소비재 가격이 10~30% 상승, 더불어 국내 최저임금 인상에 따른 제조원가 상승으로 인하여 제조기업은 원가비중 높음.

모터류	생산국인 일본의 엔화변동에 따라 체감율의 등폭이 심함. 2018년 하반기 1,000원/100엔기준 최저점을 지나 환율이 상승하고 있음

LM류	주요 공급처인 일본의 엔화변동에 따라 체감율의 등폭이 심했으나 2018년 하반기 이후 경기침체 및 투자지연으로 수요침체로 인해 공급은 원활함

공압품류	특주 스펙의 실린더와 밸브 등은 주문자 생산방식이나 수요침체로 인해 공급은 원활함

전장품류	모터와 드라이브의 공급대비 생산능력 부족현상으로 물량부족과 납기에 문제가 발생되었으나 최근에는 수요침체로 인해 적기 공급이 가능함.

다. 주요 매입처에 관한 사항

(기준일 : 2019년 09월 30일 ) (단위 : 백만원)

업체	2019년 (제 16기 3분기)	2018년 (제 15기)	2017년(제 14기)	결제조건

A사	2,142	2,942	4,977	90일

B사	1,932	2,794	2,793	90일

기타	20,623	36,608	41,766	90일

합계	24,697	42,344	49,536	-

4. 생산 및 생산설비에 관한 사항 가. 생산능력 및 생산실적당사가 제조하는 제품은 양산품목이 아니기 때문에 주문생산방식으로 제조하고 있기 때문에 제품별 생산능력과 가동율을 파악하기 어렵습니다. 다만, 생산능력은 제조시설의 면적에 따라 결정되기 때문에 당사의 생산능력을 사용면적을 기준으로 산정하였습니다.

(기준일 : 2019년 09월 30일 ) (단위 : 백만원)

구 분	2019년 (제 16기 3분기)	2018년(제 15기)	2017년(제 14기)

생산능력	56,250	75,000	76,347

생산실적	37,676	67,518	70,378

가동율	67%	90%	92%

- 당사의 연도별 사용면적은 각 제조시설의 면적과 사용기간을 기준으로 산정하였으며, 그 내역은 다음과 같습니다.

(기준일 : 2019년 09월 30일 ) (단위 : m2)

구분	면적	사용면적	비고

2019년 (제16기 3분기)	2018년(제 15기)	2017년(제 14기)

오산1공장	1,980	1,980	1,980	1,980	-

오산임대공장	1,089	1,089	1,089	1,089	-

아산임대공장	1,350	-	-	1,350	-

오산2공장	2,253	2,253	2,253	-	-

합계	5,322	5,322	4,419	-

나. 생산설비에 관한 사항

(기준일 : 2019년 09월 30일 ) (단위 : 천원)

구분	토 지	건 물	구축물	기계장치	차량운반구	공구와기구	비품	시설장치	기타유형자산	건설중인자산	합 계

2019.01.01

취득원가	2,248,900	7,449,829	19,400	6,353,106	27,000	3,150,308	1,205,070	1,092,703	1,821,391	962,229	24,329,936

감가상각누계액	0	(618,992)	(355)	(3,944,499)	(6,942)	(2,591,121)	(658,909)	(659,943)	(1,088,382)	0	(9,569,143)

정부보조금	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0

기초 장부금액	2,248,900	6,830,837	19,045	2,408,607	20,058	559,187	546,161	432,760	733,009	962,229	14,760,793

2019년 분기 변동액

기초 순장부가액	2,248,900	6,830,837	19,045	2,408,607	20,058	559,187	546,161	432,760	733,009	962,229	14,760,793

취득	28,985	53,257	3,200	364,000	440,700	233,707	1,830,027	7,995,680	10,949,556

처분	0

대체	621,310	997,950	(1,619,260)	0

감가상각비	(154,932)	(794)	(469,335)	(4,050)	(304,360)	(126,031)	(214,380)	(136,604)	(1,410,486)

정부보조금 상계	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0

분기말 장부금액	2,899,195	7,727,112	21,451	2,303,272	16,008	695,527	653,837	2,048,407	596,405	7,338,649	24,299,863

2019.09.30

취득원가	2,899,195	8,501,036	22,600	6,717,106	27,000	3,591,008	1,438,777	2,922,730	1,821,391	7,338,649	35,279,492

감가상각누계액	0	(773,924)	(1,149)	(4,413,834)	(10,992)	(2,895,481)	(784,940)	(874,323)	(1,224,986)	0	(10,979,629)

정부보조금	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0

분기말 장부금액	2,899,195	7,727,112	21,451	2,303,272	16,008	695,527	653,837	2,048,407	596,405	7,338,649	24,299,863

5. 매출에 관한 사항 가. 매출실적

(기준일 : 2019년 09월 30일 ) (단위 : 백만원)

품 목	2019년 (제16기 3분기)	2018년(제 15기)	2017년(제 14기)

중대형시스템	수출	11,910	18,099	24,598

내수	267	-	5,995

소계	12,177	18,099	30,594

중대형로봇	수출	16,640	27,158	18,977

내수	1,759	13,231	10,857

소계	18,399	40,389	29,834

기타	수출	3,722	3,995	3,007

내수	3,378	5,035	6,943

소계	7,100	9,030	9,950

합계	수출	32,272	49,252	46,582

내수	5,404	18,266	23,795

합계	37,676	67,518	70,378

나. 판매조직당사의 주요 제품인 진공로봇은 전량 주문 제작 방식으로 수주 받아 생산 후 공급되고 있고, 당사의 영업마케팅 본부는 크게 국내영업과 해외영업으로 나뉘어 집니다. 다. 판매경로당사의 제품은 대부분 고객사로 직접 납품하고 있습니다.

(기준일 : 2019년 09월 30일 ) (단위 : 백만원)

매출 유형	판매경로	2019년 제 16기 3분기 매출액	비중

제품	수출	본사 → 고객사	32,272	85.66%

내수	본사 → 고객사	5,404	14.34%

합 계	-	37,676	100.0%

당사는 일부를 제외한 전 부문에서 영업조직을 통해 고객으로부터 직접 수주를 받아 직접 생산하여 제품을 고객사에 공급하고 있습니다. 라. 판매전략

기존 공급된 장비의 기술력과 신뢰성을 바탕으로 이루어진 고객과의 관계에서 고객이 신규생산라인을 구축할 때 사전 개발 컨셉 협의 후 예비설계, 제안서 제출, 본 설계, 제작, 납품 등의 순으로 판매가 이루어집니다. 또한, 당사는 영업직무 직원만이 영업에 종사하는 것이 아니라 설계/제조/제어/CS 인력이 영업일선에 투입되어 기술영업, 현장중심 영업라인을 구축해 가고 있습니다. 이를 위한 업무 절차 및 전략은 다음과 같습니다.

[티로보틱스의 판매전략 및 영업지침]

1) 경쟁사 로봇이 적용된 장비사 영업(사양 및 가격만족)을 통한 고객사 추가수주 확보.

2) 엔드유저 별(최종 장비 사용 고객사) 요구사양에 맞춘 커스텀 제품 제공. (T-Robotics 자체 기계 설계 전기/제어(Software) 설계 부서 보유)

3) 내부 원가 관리 강화를 위한 연도별 가격 Nego로 연 고정 가격 확정 및 이를 통한 견적 협의 기간 최소화. (빠른 수주를 통한 고객 납기 준수)

4) 제품별 표준 납기 설정 및 고객사의 긴급 발주 시 납기 준수를 위한 제품별 부속품 재고 보유

5) 판매 제품의 원활한 양산 개시를 위한 T-Robotics 자체 인원 설치 서비스 제공.

6. 시장위험과 위험관리당사가 노출된 주요 시장 위험에는 신용위험, 유동성위험, 시장위험 등이 있으며, 이러한 내용은 III.재무에 관한사항 3. 연결재무제표 주석사항 중 “32. 위험관리” 항목에 상세하게 기재되어 있으므로 해당 부분을 참조하여 주시기 바랍니다. 7. 파생상품 및 풋백옵션 등 거래현황당사는 보고서 제출일 현재 파생금융상품 및 풋백옵션 등과 관련해서는 해당사항이 없습니다. 재무제표 상 파생금융부채는 신주인수권부사채이며, 그 내역은 다음과 같습니다.

(기준일 : 2019년 09월 30일 ) (단위 : 천원)

구분	당기	전기

(주)티로보틱스 1회 신주인수권부사채	-	562,506

(주)티로보틱스 2회 신주인수권부사채	-	464,991

합계	-	1,027,497

8. 경영상의 주요계약당사는 보고서 제출일 현재 당사의 재무상태에 영향을 미치는 비경상적인 중요 계약이 존재하지 않습니다. 9. 연구개발활동 가. 연구개발 담당조직 및 인력

명칭	㈜티로보틱스 기업부설연구소 1개소 운영

인증기관	한국산업기술진흥협회

연구분야	반도체 및 디스플레이 공정로봇 및 자동화장비

인원구성	1연구소 전담요원 ; 석사 3명, 학사 2명, 전문학사 1명, 총 6명

당사는 기업부설 연구소를 연구개발 분야에 따라 1개소를 현재 운영하고 있습니다. 연구전담인력은 기업부설연구소에 소속되어 연구개발업무를 수행합니다. 다만, 수주받은 장비를 개발 및 제작하는 과정에서 새로운 기술을 개발하고, 장비 제작 시 적용하는 연구요원은 기재하지 않았습니다. 나. 기술 경쟁력(1) 보유기술의 경쟁력

중분류	소분류	요소기술

설계기술	다축구동 메커니즘 설계	다축구조 암에 대한 설계 및 제어능력

진공도입기 설계 및 활용기술	구동체에 대한 진공도 확보

씰링 설계기술	고정체에서의 진공격리 실링구조 설계

고강성 설계 및 최적화 설계기술	대행 구조물에 대한 정/동적 설계검토 및 궤적/정밀도에 대한 시뮬레이션

제어기술	전용제어기 개발설계 및 제작	제어장치의 구성과 최적의 연결 설계
안전규격 대응

전용 S/W 개발	진동억제 및 제품성능을 위한 최적경로 생성 및 적용

Teaching Pendent 개발	사용성 및 안전성 확보된 Teaching Pendent의 개발 기술

서보모터 제어기술	기구 구동특성을 감안한 파라미터 설정

진동제어 기술	순간적인 진동을 억제하고, 빠른 안정화를 통한 제품의 수율 증대

Interface 기술	다기종 필드버스에 대한 대응 및 효율적인 명령어 시스템 설계/개발

조립기술	정밀조립 기술	반복정밀도 0.1mm

측정 및 평가기술	내분진, 고진공, 반복정밀도 기준수립 및 측정/평가

( 2) 주요 지적재산권 현황

구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	출원국

특허권	글라스 이송용 로봇핸드의 구조	㈜티로보틱스	2003.05.21	2006.01.17	Glass반송용 로봇핸드	대한민국

특허권	웨이퍼퀄츠 로딩 장치	㈜티로보틱스	2003.05.21	2006.01.17	웨이퍼퀄츠 이송장치	대한민국

특허권	텔레스코픽 타입 로봇회전체 적재구조	㈜티로보틱스	2003.08.05	2009.11.16	ATM 웨이퍼 이송로봇	대한민국

특허권	다단풀리를 이용한 웨이퍼 피치 조절장치	㈜티로보틱스	2003.08.05	2009.07.09	ATM 웨이퍼 이송로봇	대한민국

특허권	스프링을 이용한 웨이퍼 피치 조절장치	㈜티로보틱스	2003.08.05	2009.07.09	ATM 웨이퍼 이송로봇	대한민국

특허권	대형 엘시디 글라스 서포트모듈	㈜티로보틱스	2003.08.05	2009.03.27	PM robot	대한민국

특허권	진공챔버에서 평판디스플레이를 회전시키는 장치 및 방법	㈜티로보틱스	2003.08.12	2009.03.09	(해당없음)	대한민국

특허권	웨이퍼 자동 이송장치	㈜티로보틱스	2007.02.08	2008.01.21	웨이퍼 이송로봇	대한민국

특허권	반송챔버 내에서 사용하기에 적합한 기판반송장치	㈜티로보틱스	2008.09.02	2010.10.06	ROBO-VAC-LN Series	대한민국

특허권	진공환경의 반송챔버 내에서 대형기판을 반송시키는데 적합한 기판반송장치	㈜티로보틱스	2008.10.30	2011.03.10	ROBO-VAC-LN Series	대한민국

특허권	기판 이송 유닛 및 이를 포함하는 기판 이송 장치	㈜티로보틱스	2010.07.29	2013.01.31	(해당없음)	대한민국

특허권	장력으로 인한 변형을 최소화하기 위한 기판 이송 유닛 및 이를 포함하는 기판 이송 장치	㈜티로보틱스	2010.07.29	2012.10.10	ROBO-VAC-LN090
ROBO-VAC-LN100	대한민국

특허권	반송챔버 내에서 사용하기에 적합한 기판반송장치	㈜티로보틱스	2010.09.28	2011.03.07	ROBO-VAC-LN Series	대한민국

특허권	장력으로 인한 변형을 최소화하기 위한 기판 이송 유닛 및 이를 포함하는 기판 이송 장치	㈜티로보틱스	2010.11.22	2013.05.03	ROBO-VAC-LN090
ROBO-VAC-LN100	대한민국

특허권	기판 반전 장치	㈜티로보틱스	2012.01.31	2013.11.08	Flip Chamber	대한민국

특허권	기판 분단 시스템 및 기판 분단 방법	㈜티로보틱스	2012.01.31	2013.11.08	Mask Chamber	대한민국

특허권	웨이퍼 이송 로봇	㈜티로보틱스	2012.07.27	2013.09.09	반도체용 4-arm 웨이퍼이송진공로봇	대한민국

특허권	기판 이송 장치	㈜티로보틱스	2012.10.11	2013.03.15	ROBO-VAC-FL Series
25KVR	대한민국

특허권	기판 이송 장치	㈜티로보틱스	2013.03.14	2013.05.21	ROBO-VAC-FL Series
25KVR	대한민국

특허권	기판 이송 장치	㈜티로보틱스	2013.03.15	2013.05.03	ROBO-VAC-FL Series
25KVR	대한민국

특허권	카세트 이송용 수동대차	㈜티로보틱스	2013.05.20	2015.03.16	카세트이송 고하중 MGV	대한민국

특허권	기판 이송 장치	㈜티로보틱스	2013.07.29	2015.04.22	ROBO-VAC-FL Series
25KVR	대한민국

특허권	박형 구동 모듈 및 이를 사용한 착용형 로봇	㈜티로보틱스	2014.04.18	2015.01.26	(해당없음)	대한민국

특허권	환자의 재활 치료를 돕는 보행 재활 로봇	㈜티로보틱스	2015.06.18	2017.01.04	보행재활로봇
(Healbot-G)	대한민국

특허권	리드 개폐 모듈을 포함하는 장치	㈜티로보틱스	2015.10.19	2016.12.06	AutoLID	대한민국

특허권	원자층 증착 장비	㈜티로보틱스	2016.01.04	2016.10.28	(해당없음)	대한민국

특허권	힌지 모듈을 사용하여 리드를 제어하기 위한 장치	㈜티로보틱스	2016.03.30	2017.05.30	AutoLID	대한민국

특허권	APPARATUS FOR FLIPPING SUBSTRATE	㈜티로보틱스	2012.12.05	2016.09.21	Flip Chamber	중국

특허권	SUBSTRATE BREAKING SYSTEM AND SUBSTRATE BREAKING METHOD	㈜티로보틱스	2012.12.05	2016.02.10	Mask Chamber	중국

특허권	APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE	㈜티로보틱스	2013.10.02	2015.09.22	ROBO-VAC-FL Series
25KVR	미국

특허권	APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE	㈜티로보틱스	2013.08.29	2014.12.12	ROBO-VAC-FL Series
25KVR	일본

특허권	APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE	㈜티로보틱스	2013.08.30	2015.05.06	ROBO-VAC-FL Series
25KVR	중국

특허권	APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE	㈜티로보틱스	2013.08.30	2016.12.11	ROBO-VAC-FL Series
25KVR	대만

특허권	APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE	㈜티로보틱스	2014.10.20	2015.12.08	ROBO-VAC-FL Series
25KVR	미국

특허권	APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE	㈜티로보틱스	2014.10.20	2015.12.08	ROBO-VAC-FL Series
25KVR	미국

실용	마스크용 카세트	㈜티로보틱스	2013.05.20	2015.03.16	마스크카세트	대한민국

상표	힐봇	㈜티로보틱스	2015.07.16	2016.04.30	보행재활로봇	대한민국

상표	힐봇	㈜티로보틱스	2015.07.16	2016.04.30	보행재활로봇	대한민국

상표	Healbot	㈜티로보틱스	2015.07.16	2016.04.30	보행재활로봇	대한민국

상표	Healbot	㈜티로보틱스	2015.07.16	2016.04.30	보행재활로봇	대한민국

특허권	환자의 재활 치료를 위한 정형용 운동 장치	㈜티로보틱스	2019.05.13	2019.06.25	보행재활로봇	대한민국

다. 연구개발비용

(기준일 : 2019년 09월 30일 ) (단위 : 백만원)

구 분	2019년 (제 16기 3분기)	2018년(제 15기)	2017년(제 14기)

자산처리	원재료비	-	-	-

인건비	-	-	-

감가상각비	-	-	-

위탁용역비	-	-	-

기타 경비	-	-	-

소 계	-	-	-

비용
처리	제조원가	-	-	-

판관비	1,393	1,455	920

합 계
(매출액 대비 비율)	1,3933.91%	1,4552.15%	9201.31%

라. 연구개발실적(1) 주요 국책과제 실적

연구과제	연구기간	개발결과 및 기대효과

복합공정용 고속웨이퍼이송장치 개발	2005.10~2006.09	주행축 일체형 고속이송로봇 ARM 및 반전기능을 가진 Flip 일체형 로봇의 개발
3축 수평다관절 LINK 개발
웨이퍼 반전을 위한 회전축 개발
최적제어를 위한 제어기 MACRO 개발
주행축 없이 카세트간 웨이퍼 이송 핵심기술 개발 완료 및 이를 통한 고청정도 실현
로봇의 고속화를 통한 스테이지간 주행시간 단축을 통해 Through-put 향상
기술 국산화 및 국내 양산에 의한 저가제품 양산 및 수입대체 효과 기대
대량 수요처에 대한 Spec-In 작업 실시

진공환경용 고속멀티암(4-arm)방식 이송장치 개발	2007.12~2009.11	진공용 전공정 장비에서 사용되는 웨이퍼 이송용 진공로봇 (4arm)의 개발
진공환경용 이송로봇 개발 ; Single/Dual arm 구조의 이송장치 개발
주변장치 개발 (EFEM, TM 챔버 및 로드록)
고진공용 Sealing 구조 설계 및 적용
반도체, LCD, LED, Solar cell 등의 제조 공정 중, -진공환경용 장치 다수(CVD, PVD, Etcher 공정 등)에 적용검토 진행
해당 진공로봇 기술을 바탕으로 LCD 및 Solar Cell 제조용 진공로봇 설계/제어/생산 기술을 확보, 적용가능

Auto calibration기능을 갖는 웨이퍼이송장치 개발	2008.06~2009.05	Auto calibration 기능을 위한 웨이퍼 이송장치 설계 및 제작
자동보정 기능을 포함한 반도체 로봇 전용제어기 개발
전체 장치의 모듈 통합 기능 구현
CTC (Cluster tool controller) 장비 국산화 주진 업체와의 전략적 개발제휴 검토
유사 공정인 LCD 제조공정의 Index module(Loader)에 대한 개발대응을 제고

녹색기술제품(Solarcell) 생산을 위한 대형진공이송장치 개발	2009.03~2011.02	로봇 바디/회전체 및 자성유체씰 기본설계 완료
Feed-through의 개발을 통한 진공환경 내 이송을 위한 구동부 설계기술 확보
개발 로봇의 구동/운용을 위한 전용제어기 설계기술 확보
차세대 진공환경용 로봇의 개발을 위한 기반 확보
전세계 태양광 산업의 가파른 성장세에 따른 박막 태양전지 산업의 수요와 공급의 불균형으로 추가적인 설비증설이 기대됨에 따라, 개발품의 시장진입이 용이하고, 매출증대로의 기대효과가 있음

박막형 솔라셀 생산을 위한 차세대(8.5G) 대형진공이송장치 개발	2011.03~ 2013.02	진공환경에서의 구동을 위한 최적 메커니즘 개발
경량 고강성 재료 적용을 위한 복합재료 설계기술 확보를 통해 경량 / 고강성 핸드 및 브라켓 형상, 및 고온 진공용 글라스 지지대 재질을 개발
진공격리장치인 진공도입기 및 Sealing 장치를 개발하여 파티클의 발생을 최소화 시킬 수 있는 분진억제 기술 개발
요소품 국산화 및 효율화 연구를 통한 경제성 확보 및 차세대 태양전지 양산기술 개발로 기존 반도체 및 LCD, PDP, OLED 등의 유사 제조장치에 적용할 수 있는 원천기술 확보

대형진공챔버 내 고온 및 저 파티클 대응을 위한 진공이송모듈의 개발	2012.09~2014.08	고온환경에서도 장치 고유의 정밀도를 유지하는 장치 개발
진공챔버 내에서 동작하는 진공환경용 장치개발
반도체 및 FPD 제조 공정을 위한 특수목적용 파티클 최소화 장치개발
이송장치의 대형화에 따른 구조해석 및 안정성 기반의 설계
고온환경용 진공이송모듈의 국산화 및 저가형 양산모델의 개발
차세대 디스플레이 제조 장비의 요소 기술을 선점하고 이에 따른 매출 확대 (Less particle, high temperature, heavy load capacity, LCD, OLED)
장비 국산화 및 수입 대체(ADP, AP System, AVACO, IPS, SFA, SNU..)

진공증착장비 생산성 향상을 위한 이송모듈 개발	2013.12~2014.11	고하중 대형구조물을 위한 최적설계와 이를 통한 직접 분사장치의 처짐방지 기술 개발
기판의 초정밀 조작기구 설계
링크타입 구동암의 기구적 특이점 회피 기술 개발
증착/도포의 균일성 확보를 위한 링크구조의 등속구현을 위한 기구학 적용
공정장비 적용 시, 공정 개선효과와 생산비 절감 효과 발생에 따른 제품의 효용성 입증
증착장비의 구조개선으로 신규 아이템 추가 및 추가된 이송모듈로 인한 매출액 증대 기대
유사산업인 FPD, OLED, PDP LCD 산업으로의 확장 도모

FPD공정용 시스템최적화를 위한 차세대 링크구조의 고하중 진공이송장치 개발	2014.06~2016.04	장비(챔버) 사이즈 최적화(최소화) 하기 위한 로봇구동 워크스페이스 최소화 설계
대형구조물에 대한 정/동역학적 해석기술 확보
확보된 진공도입 기술의 안정화 도모
진동억제 기술 등을 통한 최적경로 생성기술 확보와 이의 적용
차세대 진공환경용 로봇의 개발을 위한 기반 확보
측정기술의 강화를 통한 양질의 품질관리 능력 확보
테스트 베드 강화를 통한 제품 경쟁력 향상

이승로봇 제품화 기술 개발(민간수탁연구사업, 한국생산기술연구원)	2013.01~ 2013.11	이승관련 인체 역학 해석 및 구조 분석
안전관련 로봇 구조 개선
구조/요소품의 최적화를 통한 원가절감
양산 제품화 기술 개발을 통한 기술이전 및 사업화 지원
로봇시범사업을 활용한 초기 시장 개척 및 해외 사업화 추진

(2) 주요 자체 연구개발 실적

연구과제	연구기간	개발결과 및 기대효과

Non-belt Linkage Arm 진공로봇 개발	2015.11~ 2016.12	벨트사용 배제 설계를 기반으로 분진억제 기술 개발
벨트사용 배제 설계를 통한 고진공 대응
LM등의 소모품에 대한 자동처리 기술 적용을 통해 메인트넌스리스 기술 확보
고진공/고청정 대응 가능 로봇을 제공하기 위한 기반기술 확보로 경쟁력 확보

LCD 디스플레이용 증착 장비 내 진공이송로봇 개발(10.5G)	2016.10~ 2017.05	대형구조물에 대한 정/동역학적 해석기술 확보
확보된 진공도입기 기술의 안정화 도모
차세대 진공환경용 로봇의 개발을 위한 기반 확보
측정기술의 강화를 통한 양질의 품질관리 능력 확보
테스트 베드 강화를 통한 제품 경쟁력 향상

6세대 Mask이송용 SCARA type Arm 진공이송로봇 개발	2015.01~ 2016.12	고하중 대형구조물을 위한 최적설계와 구동암의 특이점 회피기술 개발
4DOF 구조 적용을 위한 기구학 적용
대형 SCARA 적용을 위한 전용제어기 H/W 및 S/W 개발완료신공정 적용에 따른 사각 챔버 적용 가능한 로봇을 개발함으로써 추가적인 기술 영업력 확보