티로보틱스 분기보고서 (2020.03)
II. 사업의 내용

1. 사업의 개요 당사는 반도체, 디스플레이 제조 산업에 활용되는 Wafer/디스플레이 Panel 이송용 진공로봇(소형, 중형, 대형)을 개발 및 생산하고 있는 제조용 로봇뿐만 아니라 전문서비스 분야의 로봇까지 개발하는 로봇 전문 기업입니다. 당사의 로봇사업을 분류하면 반도체 Wafer/디스플레이 Panel 이송 진공로봇과 재활의료로봇이나 Foodtech, Smartfactory 등 전문서비스 분야에 걸친 로봇을 개발 및 생산하고 있습니다.

[사업부문별 주요 로봇 제품 등]

구분	용도	전방산업	주요제품

제조용 로봇	반도체, 디스플레이(OLED) 제조공정 핵심 역할 이송 및 적재용 로봇	반도체, OLED 등 디스플레이	글라스 이송용 중대형 진공로봇반도체 웨이퍼 이송용 진공로봇

시스템	반도체, OLED, LCD 패널 제조 생산용 진공 Chamber	LCD, OLED	LoadLock 시스템, Mask Chamber 시스템, Turn-Flip 시스템 등

전문서비스로봇	하지마비 재활의료용 로봇	하지마비 환자 재활시장	Healbot-G(smart walker 기반 자율 이동형 로봇)Healbot-T(Treadmill type)

개인서비스용로봇	Foodtech 관련Food 서비스로봇	가사, 배달,생활 전반	드립 봇주방로봇서빙로봇

전문서비스 로봇 분야의 하지 마비 재활의료용 로봇인 당사의 Helabot-G 로봇은 현재 임상실험 단계에 있는 로봇으로, 동 제품은 기존 고정형 Type의 재활치료기 개념에서 벗어난 Smart walker, 자율이동 로봇을 이용하여 환자의 재활치료를 돕고 재활가능성과 기간을 획기적으로 단축시킬 수 있는 재활로봇입니다.뿐만 아니라, Healbot-G를 착용하기 전 중증 뇌졸중 환자의 초기 재활훈련을 돕기 위한 Tread mill 기반의 Healbot-T를 개발 중에 있습니다.아울러, 2019년부터 당사가 도입한 K-IFRS에 따라 연결대상 종속회사에 포함되는 주식회사 앤로를 통하여 자율 주행로봇과 Foodtech 로봇 개발 사업을 주요 사업으로 영위하고 있습니다. 가. 업계현황 국제표준화기구(ISO: International Organization for Standardization)는 산업용 로봇을 직선 혹은 회전을 포함한 셋 혹은 그 이상의 방향으로 다양한 조작이 가능하며, 자동적으로 통제되거나, 재프로그래밍이 될 수 있는 것으로 정의하고 산업용 로봇은 고정되어 있거나 혹은 이동이 가능할 수 있으며, 전통적으로 동일한 품질의 제품을 생산하기 위해 구동되어 진다고 할 수 있습니다. 한편, 서비스 로봇은 사람들이 일터나 집안에서 일상생활을 하는 동안 물리적인 도움을 주거나 인지나 감각을 돕는 로봇시스템을 일컫는다고 정의하고 있습니다. 과거 우리나라에 산업용 로봇이 처음 도입된 시기는 1970년대에 자동차 제조 라인에서 Spot용접용 로봇이 처음 사용된 이래 국내 자동차 산업의 성장과 함께 산업용 로봇의 보급이 확대되어 왔습니다. 1980년대 이후에는 전기 전자산업에서 생산성 향상을 위해 제조용 로봇이 적극적으로 적용되었고, 품질 경쟁력 향상과 노동환경 변화에 따라 로봇의 필요성이 대두되었습니다. 1990년대에 이르러서는 반도체 산업에서 로봇이 적용되었고, 2000년대에 이르러서는 LCD와 OLED 기술이 발전하면서 디스플레이 생산장비 중 핵심적 공정에 투입되는 제조로봇사업도 급속하게 발전되어 왔습니다. 이러한, 로봇의 변화는 비단 제조(산업)용 로봇에 이르지 않고 최근에는 의료용 로봇 등 전문 서비스 분야의 일상생활에 도움을 주는 협동 로봇 등 일반 서비스 로봇까지 발전하고 있습니다. 나. 국내외 시장여건 등

IFR, 대신증권 리서치 센터의 자료에 따르면 산업용 로봇 시장은 2018 년 기준 전 세계 산업용 로봇의 연간 설치 대수는 422,000 대로 지난 10년 동안 연평균 +14.0% 성장세를 보이고 있습니다. 산업용 로봇 시장 성장의 Key 역할을 하는 아시아/호주 지역은 283,000 대로 전 세계 설치 대수의 67.1%를 차지하고 있으며 그중에서도 중국은 154,000 대를 설치하며 무려 36.5%의 비중을 차지하고 있습니다. 산업용 로봇 시장을 주도하고 있는 상위 5 개국은 중국(41.5%), 일본(14.9%), 미국(10.9%), 한국(10.2%), 독일(7.2%) 순으로 전체 시장의 84.5%를 점유하고 있습니다. 이와 같은 산업의 발전으로 인해 제조용 로봇산업 역시 2017년 국내 로봇 산업은 2016년 4조4,750억원 대비 11.6% 증가한(생산기준) 4조,9,950억원을 기록하였습니다.

clip_image001.jpg 그림1

일본은 20세기 초반부터 군수 사업을 바탕으로 성장했던 기술력을 바탕으로, 60~70년대에 로봇으로 업종을 확대한 이후 일본의 산업화와 함께 빠른 속도로 성장해 왔습니다. 현재 일본은 산업용 로봇 생산 점유율의 60% 이상을 차지하고 있는 로봇 강대국 중 하나로, 특히 로봇 핵심 부품인 감속기, 서보모터, 센서 등에서 세계 시장의 90% 이상을 점유하고 있습니다. 또한 특허 출원 건수에서도 상위 10개 기업 중 7개 기업이 일본 기업일 정도로 기술력 측면에서도 월등한 모습을 보이고 있습니다.

중국은 2013 년 세계 최대 시장으로 부상한 이래, 1위 시장 지위를 유지하고 있습니다. 고성장을 이어오던 중국은 2018년 들어 전년 대비 설치 대수가 오히려 -1.4% 감소하면서, 성장세가 일시적으로 꺾이는 모습이지만 향후 성장은 지속될 것으로 판단되어 중국의 로봇 밀도(로봇수/직원 1 만명)는 140으로 세계 평균인 99보다는 높은 수치이나, 한국(774), 독일(338), 일본(327), 미국(217) 등 주요 국가들과 비교하면 여전히 낮은 수치에 자리잡고 있어 성장잠재력은 훼손되지 않았다는 판단입니다. 실제로 경기 상황에 따라 성장률에 변동성이 있었던 연간 설치 대수와는 달리 중국의 산업용 로봇 비축 재고는 경기와 무관하게 해마다 큰 폭으로 증가하고 있는 상황입니다.

clip_image003.jpg 그림2

국내 로봇산업이 본격적인 개화 단계 이전 단계로, 국내 산업용 로봇산업은 소품종 대량생산 체제의 자동차, 전기 전자 분야 시장을 바탕으로 성장해온 환경으로 인하여 현재까지도 대부분 특정 산업에 매출처가 편중된 형태를 보이고 있습니다. 그러나 한국이 이미 세계적인 수준의 산업용 로봇 활용국임은 분명합니다. 일본이 독주하는 로봇 시장을 개척하고, 국내 로봇기업들의 경쟁력 강화를 위하여 한국 정부는 최근 국가정책사업으로 추진하고 있습니다. 당사의 OLED 패널 제조용 진공로봇은 현재 디스플레이 패널 시장 여건과 밀접한 관련성이 있습니다. 전 세계 디스플레이 시장에서 생산 수량이나 점유율이 80% 이상의 비중을 차지하는 국내 "S"사는 OLED로의 변화에 더욱 속도를 낼 것으로 보고 있습니다. 현재 시장 내에서 높은 기술적 지위를 차지하고 있는 Flexible OLED 뿐만 아니라 대형 QDOLED, 더 나아가 대형 디스플레이 시장의 Game changer 가 될 수 있는 QNED 등 새로운 기술로의 전환이 본격화할 것으로 전망됩니다. 디스플레이 시장에서 국내 "L"사 역시 OLED TV 및 UHD 등 프리미엄 제품군을 확대하고 있습니다. 또한 대형 OLED의 경우 8.5세대 OLED TV 생산능력을 지속적으로 확보하고 있으며, 신제품의 성공적 라인업, 8.5세대 및 10.5세대 OLED 투자를 통하여 OLED 사업 기반을 확고히 할 것이라고 하였습니다. Display 패널 주요 생산업체는 대부분 동아시아 지역에 위치하고 있으며, 중국 업체 주도 신규 Fab 투자 및 공급 확대 지속되고 있으며, 일부 투자 지연 등으로 기존 전망 대비하여 과잉 수준이 개선되었으나 구조적 공급과잉은 지속될 가 능성이 존재합니다. 다. 영업개황 당사는 2004년 진공 WTR(Wafer Transfer Robot)을 시작으로 2007년 7세대급 진공이송로봇(Display)의 개발에 성공한 후, 국내 LG디스플레이, 삼성디스플레이와 해외 Applied Materials에 각각 진공로봇 공급을 통해 장비 및 기술 경쟁력을 검증받았으며, 축적된 노하우를 기반으로 지속적인 장비 개선 및 개발을 실시하고 있습니다. 2012년 글로벌 장비기업 Applied Materials와 협력사가 되면서 성장을 하였으며 세계 디스플레이 장비 시장 1위인 Applied Materials에 제품을 공급하며 기술력을 인정받았습니다. 특히 2016년에는 샤프에 10세대 LCD용 진공이송로봇을 공급하였으며 2017년에는 중국 BOE에 10.5세대 LCD용 제품을 공급해 초대형 기판 시장에 입지를 굳혔습니다. 현재는 시장 상황에 맞춰 신규로봇 개발에 힘을 기울이며 새로운 제품을 개발하는 것과 동시에 현재 양산중인 로봇의 안정성을 더욱더 높이기 위한 노력을 함께 하고 있습니다. 당사는 2004년 진공 WTR(Wafer Transfer Robot)을 개발하였고 현재까지 규모가 크지 않는 수량으로 판매를 하여왔습니다. 최근까지 관련 로봇의 꾸준한 성능개발 등을 통하여 기존 시장 침투하기 위해 자체 Wafer 이송 로봇으로 공정별 다양한 요구 사항에 대응하도록 설계 제작하여 공정별 적합한 Cluster Tool System을 고객의 요구사양에 맞는 맞춤형 System을 구성하여 공정 효율성을 극대화하였으며, 최근 기술적 우위와 국산화 장점을 앞세워 시장 진입 준비 중에 있습니다.

라. 경쟁요소 및 경쟁상의 강점 경쟁의 핵심은 기술선도력, 고객과의 관계, 시의적절한 투자, 제품가격, 꾸준한 관리능력, 시장 변화에 맞는 기술 접목, 생산성 혁신 등을 통한 원가 경쟁력 확보, 부품 및 원자재의 가격, 환율, 전반적인 산업 및 경제 상황 등과 같은 내외적인 요소에 의해 결정됩니다. 전방 산업의 침체 등에도 수익성을 확보할 수 있는 기술과 대체 로봇과 시스템의 개발 및 생산능력, 그리고 안정적인 거래처 확보가 중요한 경쟁 요소입니다. 매출의 상당 부분이 중대형 진공이송로봇의 한정된 제품과 일부 고객사를 통하여 이루어지고 있으므로 고객사와의 지속적인 관계 구축이 필요합니다. 국내에서는 동종 제품을 생산하는 업체가 없지만, 일본의 업체들과 진공이송로봇에 대한 경쟁 중에 있는 바, 경쟁업체와 차별화되는 대형화 기술 등 차별화될 수 있는 신기술의 개발과 신제품은 사업 성공에 중대한 사항이며, 지적재산권을 국제적으로 보호하기 위하여 적극적인 대응이 필요하며, 경험이 풍부한 핵심 경영관리자들과 숙련된 생산라인 운영자들의 확보가 필요합니다. 기술면에서 진공환경에서 파티클의 최소화, 고온 유지 기술, 기구의 처짐과 좌우 흔들림을 최소화할 수 있는 로봇 구조해석 및 설계기술, 초정밀 제어기술을 이용한 세계 최초 10.5세대급 대형 로봇 기술을 구축하고 있습니다. 영업면에서도 Applied Materials 와 같은 글로벌 고객사와 전략적 거래 관계를 유지하고 있으며, 이외에도 국내외 디스플레이 업체들과 긴밀한 Relationship을 유지/강화해 나가고 있습니다.

마. 시장점유율 당사의 디스플레이 패널 이송용 중대형 진공로봇은 제조로봇산업분야 및 디스플레이 산업분야에서 차지하는 수치적 근거자료가 없어 점유율을 객관적으로 파악하기에는 어렵습니다. 그러나, 국내에서는 동종 진공로봇 경쟁 업체가 전무하며, 일본에서는 "D"사와 "S"가 존재합니다. 그리고 당사는 디스플레이 패널 이송 진공로봇 시장에서 위 2개의 업체들과 경쟁하고 있는 바, 이를 단순 고객사들에게 공급하는 수준으로 점유율을 추정한다면 당사는 세계시장에서 약 50% 이상을 점유하는 것으로 추정하고 있습니다.

2. 주요 제품 등에 관한 사항 가. 주요 제품 등의 현황

(기준일 : 2020년 03월 31일 ) (단위 : 백만원,%)

품목	주요 모델	매출액	비율	제품 설명

중대형시스템	Auto-VAC-MC외	3,358	23.7%	디스플레이 공정용 물류 이동 모듈 및 시스템

중대형로봇	Robo-VAC-FL060외	9,188	64.8%	디스플레이 CVD/Etcher 등 공정용 Glass 이송 진공로봇

기타	1,632	11.5%	반도체 및 디스플레이 소형로봇 외

합계	14,178	100%	-

나. 주요 제품의 가격변동 추이 당사 주요 제품인 디스플레이 등 OLED 장비의 가격은 주문자 생산방식의 특성 때문에 동일 품목이라 하더라도 사양에 따라 단가가 상이하여 정해진 가격으로 판매되지 않습니다. 3. 주요 원재료에 관한 사항 가. 매입현황 당사의 주요 원재료는 이송로봇 및 시스템을 제조하기 위한 요소품, 기구품, 전장부품 등으로 구성됩니다. 당사의 매입 내역은 다음과 같습니다.

(기준일 : 2020년 03월 31일 ) (단위 : 백만원)

구분	2020년(제 17기 1분기)	2019년(제 16기)	2018년(제 15기)

원재료	국 내	10,512	32,579	40,630

수 입	317	1,391	1,714

소 계	10,829	33,970	42,344

나. 원재료 가격 변동추이 당사의 제품은 고객사의 주문에 의해 생산되는 방식이며, 고객사 별로 제품 사이즈를비롯하여 요구사양이 상이합니다. 또한 수주된 제품의 사양에 맞춰 원재료도 발주가 진행됨에 따라 동일 품목의 원재료도 사양 및 가격 편차가 존재하기 때문에 주요 원재료 등의 품목별 가격변동을 비교하기 어렵습니다. 다만, 주요 원재료 품목 별 가격변동 추이는 다음과 같습니다.

원재료 품목	시장흐름 및 가격변동 추이

가공품	가공품의 원소재로 사용되는 비철과 철의 국제 원소비재 가격이 10~30% 상승, 더불어 국내 최저임금 인상에 따른 제조원가 상승으로 인하여 제조기업은 원가비중 높음.

모터류	생산국들의 환율변동에 따라 체감율의 등폭이 심함. 2019년 하반기 1,000원/100엔기준 최저점을 지나 환율이 상승하고 있음

LM류	주요 공급처인 일본의 엔화변동에 따라 체감율의 등폭이 심했으나 2018년 하반기 이후 경기침체 및 투자지연으로 수요침체로 인해 공급은 원활함

공압품류	특주 스펙의 실린더와 밸브 등은 주문자 생산방식이나 수요침체로 인해 공급은 원활함

전장품류	모터와 드라이브의 공급대비 생산능력 부족현상으로 물량부족과 납기에 문제가 발생되었으나 최근에는 수요침체로 인해 적기 공급이 가능함.

다. 주요 매입처에 관한 사항

(기준일 : 2020년 03월 31일 ) (단위 : 백만원)

업체	2020년(제 17기 1분기)	2019년(제 16기)	2018년(제 15기)	결제조건

A사	816	1,785	2,942	90일

B사	852	1,515	2,794	90일

기타	9,161	30,670	36,608	90일

합계	10,829	33,970	42,344	-

4. 생산 및 생산설비에 관한 사항 가. 생산능력 및 생산실적 당사가 제조하는 제품은 양산품목이 아니기 때문에 주문생산방식으로 제조하고 있기 때문에 제품별 생산능력과 가동율을 파악하기 어렵습니다. 다만, 생산능력은 제조시설의 면적에 따라 결정되기 때문에 당사의 생산능력을 사용면적을 기준으로 산정하였습니다.

(기준일 : 2020년 03월 31일 ) (단위 : 백만원)

구 분	2020년 (제 17기 1분기)	2019년(제 16기)	2018년(제 15기)

생산능력	37,500	150,000	75,000

생산실적	14,178	52,360	67,518

가동율	37%	35%	90%

- 당사의 연도별 사용면적은 각 제조시설의 면적과 사용기간을 기준으로 산정하였으며, 그 내역은 다음과 같습니다.

(기준일 : 2020년 03월 31일 ) (단위 : m2)

구분	면적	사용면적	비고

2020년 (제17기 1분기)	2019년(제 16기)	2018년(제 15기)

오산1공장	1,980	1,980	1,980	1,980	-

오산임대공장	1,089	-	-	1,089	-

아산임대공장	1,350	-	-	-	-

오산본사	8,198	8,198	8,198	2,253	-

합계	10,178	10,178	5,322	-

나. 생산설비에 관한 사항

(기준일 : 2020년 03월 31일 ) (단위 : 천원)

구분	토 지	건 물	구축물	기계장치	차량운반구	공구와기구	비품	시설장치	기타유형자산	건설중인자산	합 계

2020.01.01

기초 장부금액	1,715,520	13,929,244	21,168	2,141,760	14,658	619,207	756,628	1,949,776	550,870	277,997	21,976,828

2020년 변동액

취득	-	-	-	-	-	41,022	45,899	39,100	-	323,566	449,587

감가상각비	-	(90,387)	(282)	(159,733)	(1,350)	(66,262)	(56,983)	(118,639)	(45,535)	-	(539,171)

기말 장부금액	1,715,520	13,838,857	20,886	1,982,027	13,308	593,967	745,544	1,870,237	505,335	601,563	21,887,244

5. 매출에 관한 사항 가. 매출실적

(기준일 : 2020년 03월 31일 ) (단위 : 백만원)

품 목	2020년 (제17기 1분기)	2019년(제 16기)	2018년(제 15기)

중대형시스템	수출	3,358	14,484	18,099

내수	-	1,134	-

소계	3,358	15,618	18,099

중대형로봇	수출	6,625	24,572	27,158

내수	2,563	5,271	13,231

소계	9,188	29,843	40,389

기타	수출	994	4,506	3,995

내수	638	2,393	5,035

소계	1,632	6,899	9,030

합계	수출	10,977	43,562	49,252

내수	3,201	8,798	18,266

합계	14,178	52,360	67,518

나. 판매조직 당사의 주요 제품인 진공로봇은 전량 주문 제작 방식으로 수주 받아 생산 후 공급되고 있고, 당사의 영업마케팅 본부는 크게 국내영업과 해외영업으로 나뉘어 집니다. 다. 판매경로 당사의 제품은 대부분 고객사로 직접 납품하고 있습니다.

(기준일 : 2020년 03월 31일 ) (단위 : 백만원)

매출 유형	판매경로	2020년 제 17기 1분기 매출액	비중

제품	수출	본사 → 고객사	10,978	77.4%

내수	본사 → 고객사	3,200	22.6%

합 계	-	14,178	100.0%

당사는 일부를 제외한 전 부문에서 영업조직을 통해 고객으로부터 직접 수주를 받아 직접 생산하여 제품을 고객사에 공급하고 있습니다. 라. 판매전략

기존 공급된 장비의 기술력과 신뢰성을 바탕으로 이루어진 고객과의 관계에서 고객이 신규생산라인을 구축할 때 사전 개발 컨셉 협의 후 예비설계, 제안서 제출, 본 설계, 제작, 납품 등의 순으로 판매가 이루어집니다. 또한, 당사는 영업직무 직원만이 영업에 종사하는 것이 아니라 설계/제조/제어/CS 인력이 영업일선에 투입되어 기술영업, 현장중심 영업라인을 구축해 가고 있습니다. 이를 위한 업무 절차 및 전략은 다음과 같습니다.

[티로보틱스의 판매전략 및 영업지침]

1) 경쟁사 로봇이 적용된 장비사 영업(사양 및 가격만족)을 통한 고객사 추가수주 확보.

2) 엔드유저 별(최종 장비 사용 고객사) 요구사양에 맞춘 커스텀 제품 제공. (T-Robotics 자체 기계 설계 전기/제어(Software) 설계 부서 보유)

3) 내부 원가 관리 강화를 위한 연도별 가격 Nego로 연 고정 가격 확정 및 이를 통한 견적 협의 기간 최소화. (빠른 수주를 통한 고객 납기 준수)

4) 제품별 표준 납기 설정 및 고객사의 긴급 발주 시 납기 준수를 위한 제품별 부속품 재고 보유

5) 판매 제품의 원활한 양산 개시를 위한 T-Robotics 자체 인원 설치 서비스 제공.

6. 시장위험과 위험관리 당사가 노출된 주요 시장 위험에는 신용위험, 유동성위험, 시장위험 등이 있으며, 이러한 내용은 III.재무에 관한사항 3. 재무제표 주석사항 중 “ 32. 위험관리” 항목에 상세하게 기재되어 있으므로 해당 부분을 참조하여 주시기 바랍니다. 7. 파생상품 및 풋백옵션 등 거래현황 당사는 보고서 제출일 현재 파생금융상품 및 풋백옵션 등과 관련해서는 해당사항이 없습니다. 재무제표 상 파생금융부채는 전환사채이며, 그 내역은 다음과 같습니다.

(기준일 : 2020년 03월 31일 ) (단위 : 천원)

구분	당분기	전기

(주)티로보틱스 3회 전환사채	2,392,930	2,392,930

합계	2,392,930	2,392,930

8. 경영상의 주요계약 당사는 보고서 제출일 현재 당사의 재무상태에 영향을 미치는 비경상적인 중요 계약이 존재하지 않습니다. 9. 연구개발활동 가. 연구개발 담당조직 및 인력

명칭	㈜티로보틱스 기업부설연구소 1개소 운영

인증기관	한국산업기술진흥협회

연구분야	반도체 및 디스플레이 공정로봇 및 자동화장비

인원구성	1연구소 전담요원 ; 박사1, 석사3명, 학사3명, 전문학사1명, 총8명

당사는 기업부설 연구소를 연구개발 분야에 따라 1개소를 현재 운영하고 있습니다. 연구전담인력은 기업부설연구소에 소속되어 연구개발업무를 수행합니다. 다만, 수주받은 장비를 개발 및 제작하는 과정에서 새로운 기술을 개발하고, 장비 제작 시 적용하는 연구요원은 기재하지 않았습니다. 나. 기술 경쟁력(1) 보유기술의 경쟁력

중분류	소분류	요소기술

설계기술	다축구동 메커니즘 설계	다축구조 암에 대한 설계 및 제어능력

진공도입기 설계 및 활용기술	구동체에 대한 진공도 확보

씰링 설계기술	고정체에서의 진공격리 실링구조 설계

고강성 설계 및 최적화 설계기술	대행 구조물에 대한 정/동적 설계검토 및 궤적/정밀도에 대한 시뮬레이션

제어기술	전용제어기 개발설계 및 제작	제어장치의 구성과 최적의 연결 설계
안전규격 대응

전용 S/W 개발	진동억제 및 제품성능을 위한 최적경로 생성 및 적용

Teaching Pendent 개발	사용성 및 안전성 확보된 Teaching Pendent의 개발 기술

서보모터 제어기술	기구 구동특성을 감안한 파라미터 설정

진동제어 기술	순간적인 진동을 억제하고, 빠른 안정화를 통한 제품의 수율 증대

Interface 기술	다기종 필드버스에 대한 대응 및 효율적인 명령어 시스템 설계/개발

조립기술	정밀조립 기술	반복정밀도 0.1mm

측정 및 평가기술	내분진, 고진공, 반복정밀도 기준수립 및 측정/평가

( 2) 주요 지적재산권 현황

구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	출원국

특허권	글라스 이송용 로봇핸드의 구조	㈜티로보틱스	2003.05.21	2006.01.17	Glass반송용 로봇핸드	대한민국

특허권	웨이퍼퀄츠 로딩 장치	㈜티로보틱스	2003.05.21	2006.01.17	웨이퍼퀄츠 이송장치	대한민국

특허권	텔레스코픽 타입 로봇회전체 적재구조	㈜티로보틱스	2003.08.05	2009.11.16	ATM 웨이퍼 이송로봇	대한민국

특허권	다단풀리를 이용한 웨이퍼 피치 조절장치	㈜티로보틱스	2003.08.05	2009.07.09	ATM 웨이퍼 이송로봇	대한민국

특허권	스프링을 이용한 웨이퍼 피치 조절장치	㈜티로보틱스	2003.08.05	2009.07.09	ATM 웨이퍼 이송로봇	대한민국

특허권	대형 엘시디 글라스 서포트모듈	㈜티로보틱스	2003.08.05	2009.03.27	PM robot	대한민국

특허권	진공챔버에서 평판디스플레이를 회전시키는 장치 및 방법	㈜티로보틱스	2003.08.12	2009.03.09	(해당없음)	대한민국

특허권	웨이퍼 자동 이송장치	㈜티로보틱스	2007.02.08	2008.01.21	웨이퍼 이송로봇	대한민국

특허권	반송챔버 내에서 사용하기에 적합한 기판반송장치	㈜티로보틱스	2008.09.02	2010.10.06	ROBO-VAC-LN Series	대한민국

특허권	진공환경의 반송챔버 내에서 대형기판을 반송시키는데 적합한 기판반송장치	㈜티로보틱스	2008.10.30	2011.03.10	ROBO-VAC-LN Series	대한민국

특허권	기판 이송 유닛 및 이를 포함하는 기판 이송 장치	㈜티로보틱스	2010.07.29	2013.01.31	(해당없음)	대한민국

특허권	장력으로 인한 변형을 최소화하기 위한 기판 이송 유닛 및 이를 포함하는 기판 이송 장치	㈜티로보틱스	2010.07.29	2012.10.10	ROBO-VAC-LN090
ROBO-VAC-LN100	대한민국

특허권	반송챔버 내에서 사용하기에 적합한 기판반송장치	㈜티로보틱스	2010.09.28	2011.03.07	ROBO-VAC-LN Series	대한민국

특허권	장력으로 인한 변형을 최소화하기 위한 기판 이송 유닛 및 이를 포함하는 기판 이송 장치	㈜티로보틱스	2010.11.22	2013.05.03	ROBO-VAC-LN090
ROBO-VAC-LN100	대한민국

특허권	기판 반전 장치	㈜티로보틱스	2012.01.31	2013.11.08	Flip Chamber	대한민국

특허권	기판 분단 시스템 및 기판 분단 방법	㈜티로보틱스	2012.01.31	2013.11.08	Mask Chamber	대한민국

특허권	웨이퍼 이송 로봇	㈜티로보틱스	2012.07.27	2013.09.09	반도체용 4-arm 웨이퍼이송진공로봇	대한민국

특허권	기판 이송 장치	㈜티로보틱스	2012.10.11	2013.03.15	ROBO-VAC-FL Series
25KVR	대한민국

특허권	기판 이송 장치	㈜티로보틱스	2013.03.14	2013.05.21	ROBO-VAC-FL Series
25KVR	대한민국

특허권	기판 이송 장치	㈜티로보틱스	2013.03.15	2013.05.03	ROBO-VAC-FL Series
25KVR	대한민국

특허권	카세트 이송용 수동대차	㈜티로보틱스	2013.05.20	2015.03.16	카세트이송 고하중 MGV	대한민국

특허권	기판 이송 장치	㈜티로보틱스	2013.07.29	2015.04.22	ROBO-VAC-FL Series
25KVR	대한민국

특허권	박형 구동 모듈 및 이를 사용한 착용형 로봇	㈜티로보틱스	2014.04.18	2015.01.26	(해당없음)	대한민국

특허권	환자의 재활 치료를 돕는 보행 재활 로봇	㈜티로보틱스	2015.06.18	2017.01.04	보행재활로봇
(Healbot-G)	대한민국

특허권	리드 개폐 모듈을 포함하는 장치	㈜티로보틱스	2015.10.19	2016.12.06	AutoLID	대한민국

특허권	원자층 증착 장비	㈜티로보틱스	2016.01.04	2016.10.28	(해당없음)	대한민국

특허권	힌지 모듈을 사용하여 리드를 제어하기 위한 장치	㈜티로보틱스	2016.03.30	2017.05.30	AutoLID	대한민국

특허권	APPARATUS FOR FLIPPING SUBSTRATE	㈜티로보틱스	2012.12.05	2016.09.21	Flip Chamber	중국

특허권	SUBSTRATE BREAKING SYSTEM AND SUBSTRATE BREAKING METHOD	㈜티로보틱스	2012.12.05	2016.02.10	Mask Chamber	중국

특허권	APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE	㈜티로보틱스	2013.10.02	2015.09.22	ROBO-VAC-FL Series
25KVR	미국

특허권	APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE	㈜티로보틱스	2013.08.29	2014.12.12	ROBO-VAC-FL Series
25KVR	일본

특허권	APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE	㈜티로보틱스	2013.08.30	2015.05.06	ROBO-VAC-FL Series
25KVR	중국

특허권	APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE	㈜티로보틱스	2013.08.30	2016.12.11	ROBO-VAC-FL Series
25KVR	대만

특허권	APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE	㈜티로보틱스	2014.10.20	2015.12.08	ROBO-VAC-FL Series
25KVR	미국

특허권	APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE	㈜티로보틱스	2014.10.20	2015.12.08	ROBO-VAC-FL Series
25KVR	미국

실용	마스크용 카세트	㈜티로보틱스	2013.05.20	2015.03.16	마스크카세트	대한민국

상표	힐봇	㈜티로보틱스	2015.07.16	2016.04.30	보행재활로봇	대한민국

상표	힐봇	㈜티로보틱스	2015.07.16	2016.04.30	보행재활로봇	대한민국

상표	Healbot	㈜티로보틱스	2015.07.16	2016.04.30	보행재활로봇	대한민국

상표	Healbot	㈜티로보틱스	2015.07.16	2016.04.30	보행재활로봇	대한민국

특허권	환자의 재활 치료를 위한 정형용 운동 장치	㈜티로보틱스	2019.05.13	2019.06.25	보행재활로봇	대한민국

다. 연구개발비용

(기준일 : 2020년 03월 31일 ) (단위 : 백만원)

구 분	2020년 (제 17기 1분기)	2019년(제 16기)	2018년(제 15기)

자산처리	원재료비	-	-	-

인건비	-	-	-

감가상각비	-	-	-

위탁용역비	-	-	-

기타 경비	-	-	-

소 계	-	-	-

비용
처리	제조원가	-	-	-

판관비	222	1,628	1,455

합 계
(매출액 대비 비율)	2221.57%	1,6283.11%	1,4552.15%

라. 연구개발실적(1) 주요 국책과제 실적

연구과제	연구기간	개발결과 및 기대효과

복합공정용 고속웨이퍼이송장치 개발	2005.10~2006.09	주행축 일체형 고속이송로봇 ARM 및 반전기능을 가진 Flip 일체형 로봇의 개발
3축 수평다관절 LINK 개발
웨이퍼 반전을 위한 회전축 개발
최적제어를 위한 제어기 MACRO 개발
주행축 없이 카세트간 웨이퍼 이송 핵심기술 개발 완료 및 이를 통한 고청정도 실현
로봇의 고속화를 통한 스테이지간 주행시간 단축을 통해 Through-put 향상
기술 국산화 및 국내 양산에 의한 저가제품 양산 및 수입대체 효과 기대
대량 수요처에 대한 Spec-In 작업 실시

진공환경용 고속멀티암(4-arm)방식 이송장치 개발	2007.12~2009.11	진공용 전공정 장비에서 사용되는 웨이퍼 이송용 진공로봇 (4arm)의 개발
진공환경용 이송로봇 개발 ; Single/Dual arm 구조의 이송장치 개발
주변장치 개발 (EFEM, TM 챔버 및 로드록)
고진공용 Sealing 구조 설계 및 적용
반도체, LCD, LED, Solar cell 등의 제조 공정 중, -진공환경용 장치 다수(CVD, PVD, Etcher 공정 등)에 적용검토 진행
해당 진공로봇 기술을 바탕으로 LCD 및 Solar Cell 제조용 진공로봇 설계/제어/생산 기술을 확보, 적용가능

Auto calibration기능을 갖는 웨이퍼이송장치 개발	2008.06~2009.05	Auto calibration 기능을 위한 웨이퍼 이송장치 설계 및 제작
자동보정 기능을 포함한 반도체 로봇 전용제어기 개발
전체 장치의 모듈 통합 기능 구현
CTC (Cluster tool controller) 장비 국산화 주진 업체와의 전략적 개발제휴 검토
유사 공정인 LCD 제조공정의 Index module(Loader)에 대한 개발대응을 제고

녹색기술제품(Solarcell) 생산을 위한 대형진공이송장치 개발	2009.03~2011.02	로봇 바디/회전체 및 자성유체씰 기본설계 완료
Feed-through의 개발을 통한 진공환경 내 이송을 위한 구동부 설계기술 확보
개발 로봇의 구동/운용을 위한 전용제어기 설계기술 확보
차세대 진공환경용 로봇의 개발을 위한 기반 확보
전세계 태양광 산업의 가파른 성장세에 따른 박막 태양전지 산업의 수요와 공급의 불균형으로 추가적인 설비증설이 기대됨에 따라, 개발품의 시장진입이 용이하고, 매출증대로의 기대효과가 있음

박막형 솔라셀 생산을 위한 차세대(8.5G) 대형진공이송장치 개발	2011.03~ 2013.02	진공환경에서의 구동을 위한 최적 메커니즘 개발
경량 고강성 재료 적용을 위한 복합재료 설계기술 확보를 통해 경량 / 고강성 핸드 및 브라켓 형상, 및 고온 진공용 글라스 지지대 재질을 개발
진공격리장치인 진공도입기 및 Sealing 장치를 개발하여 파티클의 발생을 최소화 시킬 수 있는 분진억제 기술 개발
요소품 국산화 및 효율화 연구를 통한 경제성 확보 및 차세대 태양전지 양산기술 개발로 기존 반도체 및 LCD, PDP, OLED 등의 유사 제조장치에 적용할 수 있는 원천기술 확보

대형진공챔버 내 고온 및 저 파티클 대응을 위한 진공이송모듈의 개발	2012.09~2014.08	고온환경에서도 장치 고유의 정밀도를 유지하는 장치 개발
진공챔버 내에서 동작하는 진공환경용 장치개발
반도체 및 FPD 제조 공정을 위한 특수목적용 파티클 최소화 장치개발
이송장치의 대형화에 따른 구조해석 및 안정성 기반의 설계
고온환경용 진공이송모듈의 국산화 및 저가형 양산모델의 개발
차세대 디스플레이 제조 장비의 요소 기술을 선점하고 이에 따른 매출 확대 (Less particle, high temperature, heavy load capacity, LCD, OLED)
장비 국산화 및 수입 대체(ADP, AP System, AVACO, IPS, SFA, SNU..)

진공증착장비 생산성 향상을 위한 이송모듈 개발	2013.12~2014.11	고하중 대형구조물을 위한 최적설계와 이를 통한 직접 분사장치의 처짐방지 기술 개발
기판의 초정밀 조작기구 설계
링크타입 구동암의 기구적 특이점 회피 기술 개발
증착/도포의 균일성 확보를 위한 링크구조의 등속구현을 위한 기구학 적용
공정장비 적용 시, 공정 개선효과와 생산비 절감 효과 발생에 따른 제품의 효용성 입증
증착장비의 구조개선으로 신규 아이템 추가 및 추가된 이송모듈로 인한 매출액 증대 기대
유사산업인 FPD, OLED, PDP LCD 산업으로의 확장 도모

FPD공정용 시스템최적화를 위한 차세대 링크구조의 고하중 진공이송장치 개발	2014.06~2016.04	장비(챔버) 사이즈 최적화(최소화) 하기 위한 로봇구동 워크스페이스 최소화 설계
대형구조물에 대한 정/동역학적 해석기술 확보
확보된 진공도입 기술의 안정화 도모
진동억제 기술 등을 통한 최적경로 생성기술 확보와 이의 적용
차세대 진공환경용 로봇의 개발을 위한 기반 확보
측정기술의 강화를 통한 양질의 품질관리 능력 확보
테스트 베드 강화를 통한 제품 경쟁력 향상

이승로봇 제품화 기술 개발(민간수탁연구사업, 한국생산기술연구원)	2013.01~ 2013.11	이승관련 인체 역학 해석 및 구조 분석
안전관련 로봇 구조 개선
구조/요소품의 최적화를 통한 원가절감
양산 제품화 기술 개발을 통한 기술이전 및 사업화 지원
로봇시범사업을 활용한 초기 시장 개척 및 해외 사업화 추진

(2) 주요 자체 연구개발 실적

연구과제	연구기간	개발결과 및 기대효과

Non-belt Linkage Arm 진공로봇 개발	2015.11~ 2016.12	벨트사용 배제 설계를 기반으로 분진억제 기술 개발
벨트사용 배제 설계를 통한 고진공 대응
LM등의 소모품에 대한 자동처리 기술 적용을 통해 메인트넌스리스 기술 확보
고진공/고청정 대응 가능 로봇을 제공하기 위한 기반기술 확보로 경쟁력 확보

LCD 디스플레이용 증착 장비 내 진공이송로봇 개발(10.5G)	2016.10~ 2017.05	대형구조물에 대한 정/동역학적 해석기술 확보
확보된 진공도입기 기술의 안정화 도모
차세대 진공환경용 로봇의 개발을 위한 기반 확보
측정기술의 강화를 통한 양질의 품질관리 능력 확보
테스트 베드 강화를 통한 제품 경쟁력 향상

6세대 Mask이송용 SCARA type Arm 진공이송로봇 개발	2015.01~ 2016.12	고하중 대형구조물을 위한 최적설계와 구동암의 특이점 회피기술 개발
4DOF 구조 적용을 위한 기구학 적용
대형 SCARA 적용을 위한 전용제어기 H/W 및 S/W 개발완료신공정 적용에 따른 사각 챔버 적용 가능한 로봇을 개발함으로써 추가적인 기술 영업력 확보