티로보틱스 반기보고서 (2025.06)
6. 주요계약 및 연구개발활동

가. 경영상의 주요계약

당사는 보고서 제출일 현재 당사의 재무상태에 영향을 미치는 비경상적인 중요 계약이 존재하지 않습니다.

나. 연구개발 담당조직 및 인력

당사는 기업부설 연구소를 연구개발 분야에 따라 1개소를 현재 운영하고 있습니다. 연구전담인력은 기업부설연구소에 소속되어 연구개발업무를 수행합니다. 다. 기술 경쟁력

중분류	소분류	요소기술

설계기술	다축구동 메커니즘 설계	다축구조 암에 대한 설계 및 제어능력

진공도입기 설계 및 활용기술	구동체에 대한 진공도 확보

씰링 설계기술	고정체에서의 진공격리 실링구조 설계

고강성 설계 및 최적화 설계기술	대행 구조물에 대한 정/동적 설계검토 및 궤적/정밀도에 대한 시뮬레이션

제어기술	전용제어기 개발설계 및 제작	제어장치의 구성과 최적의 연결 설계
안전규격 대응

전용 S/W 개발	진동억제 및 제품성능을 위한 최적경로 생성 및 적용

Teaching Pendent 개발	사용성 및 안전성 확보된 Teaching Pendent의 개발 기술

서보모터 제어기술	기구 구동특성을 감안한 파라미터 설정

진동제어 기술	순간적인 진동을 억제하고, 빠른 안정화를 통한 제품의 수율 증대

Interface 기술	다기종 필드버스에 대한 대응 및 효율적인 명령어 시스템 설계/개발

조립기술	정밀조립 기술	반복정밀도 0.1mm

측정 및 평가기술	내분진, 고진공, 반복정밀도 기준수립 및 측정/평가

라. 연구개발비용

(기준일 : 2025년 06월 30일 ) (단위 : 백만원)

구 분	2025년 반기(제22기 반기)	2024년(제21기)	2023년(제20기)

자산처리	원재료비	-	-	-

인건비	-	-	-

감가상각비	-	-	-

위탁용역비	-	-	-

기타 경비	-	-	-

소 계	-	-	-

비용
처리	제조원가	-	-	-

판관비	1,061	3,292	2,636

합 계
(매출액 대비 비율)	1,0614.69%	3,2925.73%	2,6364.11%

마. 연구개발실적(1) 주요 국책과제 실적

연구과제	연구기간	개발결과 및 기대효과

복합공정용 고속웨이퍼이송장치 개발	2005.10~2006.09	주행축 일체형 고속이송로봇 ARM 및 반전기능을 가진 Flip 일체형 로봇의 개발
3축 수평다관절 LINK 개발
웨이퍼 반전을 위한 회전축 개발
최적제어를 위한 제어기 MACRO 개발
주행축 없이 카세트간 웨이퍼 이송 핵심기술 개발 완료 및 이를 통한 고청정도 실현
로봇의 고속화를 통한 스테이지간 주행시간 단축을 통해 Through-put 향상
기술 국산화 및 국내 양산에 의한 저가제품 양산 및 수입대체 효과 기대
대량 수요처에 대한 Spec-In 작업 실시

진공환경용 고속멀티암(4-arm)방식 이송장치 개발	2007.12~2009.11	진공용 전공정 장비에서 사용되는 웨이퍼 이송용 진공로봇 (4arm)의 개발
진공환경용 이송로봇 개발 ; Single/Dual arm 구조의 이송장치 개발
주변장치 개발 (EFEM, TM 챔버 및 로드록)
고진공용 Sealing 구조 설계 및 적용
반도체, LCD, LED, Solar cell 등의 제조 공정 중, -진공환경용 장치 다수(CVD, PVD, Etcher 공정 등)에 적용검토 진행
해당 진공로봇 기술을 바탕으로 LCD 및 Solar Cell 제조용 진공로봇 설계/제어/생산 기술을 확보, 적용가능

Auto calibration기능을 갖는 웨이퍼이송장치 개발	2008.06~2009.05	Auto calibration 기능을 위한 웨이퍼 이송장치 설계 및 제작
자동보정 기능을 포함한 반도체 로봇 전용제어기 개발
전체 장치의 모듈 통합 기능 구현
CTC (Cluster tool controller) 장비 국산화 주진 업체와의 전략적 개발제휴 검토
유사 공정인 LCD 제조공정의 Index module(Loader)에 대한 개발대응을 제고

녹색기술제품(Solarcell) 생산을 위한 대형진공이송장치 개발	2009.03~2011.02	로봇 바디/회전체 및 자성유체씰 기본설계 완료
Feed-through의 개발을 통한 진공환경 내 이송을 위한 구동부 설계기술 확보
개발 로봇의 구동/운용을 위한 전용제어기 설계기술 확보
차세대 진공환경용 로봇의 개발을 위한 기반 확보
전세계 태양광 산업의 가파른 성장세에 따른 박막 태양전지 산업의 수요와 공급의 불균형으로 추가적인 설비증설이 기대됨에따라, 개발품의 시장진입이 용이하고, 매출증대로의 기대효과가 있음

박막형 솔라셀 생산을 위한 차세대(8.5G) 대형진공이송장치 개발	2011.03~ 2013.02	진공환경에서의 구동을 위한 최적 메커니즘 개발
경량 고강성 재료 적용을 위한 복합재료 설계기술 확보를 통해 경량 / 고강성 핸드 및 브라켓 형상, 및 고온 진공용 글라스 지지대 재질을 개발
진공격리장치인 진공도입기 및 Sealing 장치를 개발하여 파티클의 발생을 최소화 시킬 수 있는 분진억제 기술 개발
요소품 국산화 및 효율화 연구를 통한 경제성 확보 및 차세대 태양전지 양산기술 개발로 기존 반도체 및 LCD, PDP, OLED 등의 유사 제조장치에 적용할 수 있는 원천기술 확보

대형진공챔버 내 고온 및 저 파티클 대응을 위한진공이송모듈의 개발	2012.09~2014.08	고온환경에서도 장치 고유의 정밀도를 유지하는 장치 개발
진공챔버 내에서 동작하는 진공환경용 장치개발
반도체 및 FPD 제조 공정을 위한 특수목적용 파티클 최소화 장치개발
이송장치의 대형화에 따른 구조해석 및 안정성 기반의 설계
고온환경용 진공이송모듈의 국산화 및 저가형 양산모델의 개발
차세대 디스플레이 제조 장비의 요소 기술을 선점하고 이에 따른 매출 확대 (Less particle, high temperature, heavy load capacity, LCD, OLED)
장비 국산화 및 수입 대체(ADP, AP System, AVACO, IPS, SFA, SNU..)

진공증착장비 생산성향상을 위한 이송모듈 개발	2013.12~2014.11	고하중 대형구조물을 위한 최적설계와 이를 통한 직접 분사장치의 처짐방지 기술 개발
기판의 초정밀 조작기구 설계
링크타입 구동암의 기구적 특이점 회피 기술 개발
증착/도포의 균일성 확보를 위한 링크구조의 등속구현을 위한 기구학 적용
공정장비 적용 시, 공정 개선효과와 생산비 절감 효과 발생에 따른 제품의 효용성 입증
증착장비의 구조개선으로 신규 아이템 추가 및 추가된 이송모듈로 인한 매출액 증대 기대
유사산업인 FPD, OLED, PDP LCD 산업으로의 확장 도모

FPD 공정용 시스템최적화를 위한 차세대 링크구조의 고하중 진공이송장치 개발	2014.06~2016.04	장비(챔버) 사이즈 최적화(최소화) 하기 위한 로봇구동 워크스페이스 최소화 설계
대형구조물에 대한 정/동역학적 해석기술 확보
확보된 진공도입 기술의 안정화 도모
진동억제 기술 등을 통한 최적경로 생성기술 확보와 이의 적용
차세대 진공환경용 로봇의 개발을 위한 기반 확보
측정기술의 강화를 통한 양질의 품질관리 능력 확보
테스트 베드 강화를 통한 제품 경쟁력 향상

이승로봇 제품화 기술 개발(민간수탁연구사업, 한국생산기술연구원)	2013.01~ 2013.11	이승관련 인체 역학 해석 및 구조 분석
안전관련 로봇 구조 개선
구조/요소품의 최적화를 통한 원가절감
양산 제품화 기술 개발을 통한 기술이전 및 사업화 지원
로봇시범사업을 활용한 초기 시장 개척 및 해외 사업화 추진

국내 기획 생산을 위한지능형유연봉제시스템개발	2019.04~2021.12	ICT 기술과 지능형 로봇기술을 활용하여 최소 작업자로 생산성 및 품질 햐앙을 위한 지능형 자동 봉제시스템의 개발과 통합형 봉제 생산관리 시스템과 연계하는 국내 의류 생산기업 적용 유연봉제시스템 개발

대면적 600mm패널레벨이종 복합 패키징 공정 및 Encapsulation 시스템 개발	2019.08~2020.11	Rubber/Metal Press 설계 및 제작핵심소재 : Rubber/Metal Plate 개발Loader/Unloader 설계 및 제작진공/유압시스템 기술력 확보외산에 의존하고 있던 장비의 국산화

8.6세대 OLED 증착공정용 고가반하중/장거리 이송용 진공로봇 시스템 기술 개발	2021.04~2024.12	8.6세대 차세대 증착기 국산화에 이송용 진공로봇 및 핵심부품 개발은 필수적이며, OLED 경쟁력 확보를 통해 관련 산업은 물론 장비, 로봇 시장 확보 가능

(2) 주요 자체 연구개발 실적

연구과제	연구기간	개발결과 및 기대효과

Non-belt Linkage Arm 진공로봇 개발	2015.11~ 2016.12	벨트사용 배제 설계를 기반으로 분진억제 기술 개발
벨트사용 배제 설계를 통한 고진공 대응
LM등의 소모품에 대한 자동처리 기술 적용을 통해 메인트넌스리스 기술 확보
고진공/고청정 대응 가능 로봇을 제공하기 위한 기반기술 확보로 경쟁력 확보

LCD 디스플레이용 증착 장비 내 진공이송로봇개발(10.5G)	2016.10~ 2017.05	대형구조물에 대한 정/동역학적 해석기술 확보
확보된 진공도입기 기술의 안정화 도모
차세대 진공환경용 로봇의 개발을 위한 기반 확보
측정기술의 강화를 통한 양질의 품질관리 능력 확보
테스트 베드 강화를 통한 제품 경쟁력 향상

6세대 Mask이송용 SCARA type Arm 진공이송로봇 개발	2015.01~ 2016.12	고하중 대형구조물을 위한 최적설계와 구동암의 특이점 회피기술 개발
4DOF 구조 적용을 위한 기구학 적용
대형 SCARA 적용을 위한 전용제어기 H/W 및 S/W 개발완료신공정 적용에 따른 사각 챔버 적용 가능한 로봇을 개발함으로써 추가적인 기술 영업력 확보