한솔아이원스 분기보고서 (2024.09)
7. 기타 참고사항

가. 지적재산권 현황

당사의 보고서 제출일 현재 보유중인 지적재산권의 현황은 다음과 같습니다.

구분	총 합계	등록	출원

국내특허	64	22	42

국제특허	39	10	29

합계	103	32	71

나. 지적재산권 내역1) 특허권

당사의 보고서 제출일 현재 보유중인 특허권의 현황은 다음과 같습니다.

No	내용	출원일자	등록일자	출원국	권리자

1	세라믹 분말 및 그 제조방법	2008-12-26	2011-10-17	대한민국	한솔아이원스

2	정전척 재생 방법	2009-12-16	2012-02-28	대한민국

3	세정 장치	2010-09-24	2012-12-13	대한민국

4	분말 증착 장치	2012-09-25	2013-03-18	대한민국

5	공정 장비의 코팅 방법 및 이를 이용한 코팅 구조	2012-10-24	2013-03-27	대한민국

6	복합 피막 입자 입경을 갖는 바이오 세라믹 피막의 형성 방법 및 이에 따른 바이오 세라믹 피막	2014-01-17	2014-12-19	대한민국

7	복합 피막 입자 입경을 갖는 절연 피막의 형성 방법 및 이에 따른 절연 피막	2014-01-17	2014-12-19	대한민국

8	복합 피막 입자 입경을 갖는 피막의 형성 방법 및 이에 따른 피막	2014-01-17	2014-12-19	대한민국

9	2014-12-04	-	PCT

10	2015-06-29	2016-12-16	JP

11	2016-07-15	2020-03-17	US

12	2016-08-11	2020-02-21	CN

13	플라즈마 저항성이 향상된 세라믹 피막의 형성 방법 및 이에 따른 세라믹 피막	2014-01-17	2014-12-19	대한민국

14	2014-12-04	-	PCT

15	2015-06-29	2016-12-16	JP

16	2016-07-15	2021-04-20	US

17	2016-08-15	2020-02-21	CN

18	정전척	2015-03-19	2016-09-26	대한민국

19	표시 장치용 합착 장치 및 합착 방법	2015-08-10	2016-12-14	대한민국

20	반도체 공정 장비 부품의 코팅층 재생 방법 및 이에 따른 반도체 공정 장비 부품	2015-10-15	2018-11-02	대한민국

21	다이아몬드 코팅막 및 그 형성 방법	2016-06-16	-	대한민국

22	투명 불소계 박막의 형성 방법 및 이에 따른 투명 불소계 박막	2016-12-27	2020-02-26	대한민국

23	2017-12-27	-	PCT

24	2019-07-24	-	CN

25	2019-06-27	2021-03-08	JP

26	복합 구조물 및 이의 형성 방법	2016-12-28	-	대한민국

27	2017-12-27	-	PCT

28	플로라이드화 옥사이드 박막의 형성 방법 및 이에 따른 플로라이드화 옥사이드 박막	2017-05-26	2019-12-27	대한민국

29	플로라이드화 이트륨 옥사이드 코팅막의 형성 방법 및 이에 따른 플로라이드화 이트륨 옥사이드 코팅막	2018-05-25	2020-04-24	대한민국

30	2018-05-25	-	PCT

31	2019-11-26	-	US

32	2019-12-26	-	CN

33	2019-11-26	2021-10-11	JP

34	글래스 코팅 구조물 및 이의 형성 방법	2018-02-12	-	대한민국

35	2018-02-12	-	PCT

36	가이드 노즐을 갖는 피막 형성 장치	2018-08-22	2020-08-26	대한민국

37	피막 형성용 분말 공급 장치	2018-08-22	2020-09-11	대한민국

38	코팅막의 형성 방법 및 이에 따른 코팅막	2018-12-27	-	대한민국

39	2018-12-27	-	PCT

40	균일한 두께의 구조물 형성 장치 및 그 방법	2019-08-14	-	대한민국

41	복합 구조 세라믹 코팅막 및 이의 형성 방법	2019-08-20	-	대한민국

42	복합 구조 세라믹 코팅막 및 이의 형성 방법	2019-08-20	-	대한민국

43	내플라즈마 유리 및 그 제조방법	2019-12-24	2021-10-12	대한민국	한솔아이원스,한국세라믹기술연구원

44	2020-11-19	-	PCT

45	2022-06-21	-	US

46	2022-06-23	-	JP

47	용액 마스킹 방식에 의한 관통홀이 있는 기재의 코팅 방법	2019-12-27	-	대한민국	한솔아이원스

48	용액 마스킹 방식에 의한 기재의 코팅 방법	2019-12-27	-	대한민국

49	정전척 재생 방법 및 이를 이용한 정전척	2019-12-27	-	대한민국

50	플라즈마 분말 증착 장치 및 그를 이용한 증착 방법	2019-12-31	-	대한민국

51	2021-12-29	-	PCT

52	스퍼터용 쉴드 및 그 제조 방법	2020-02-04	2022-01-04	대한민국

53	이온 세정 장치 및 그를 이용한 이온 세정 방법	2020-03-31	-	대한민국

54	진공 상온 분사 공정을 통해 적층된 플라즈마 식각 저항성 코팅의 특성 예측 방법	2020-11-19	-	대한민국	한솔아이원스,한양대학교산학협력단

55	진공 마이크로 웨이브 스프레이 코팅 장치 및 그 방법	2020-12-14	-	대한민국	한솔아이원스

56	내플라즈마 유리 및 그 제조방법	2021-05-31	-	대한민국	한솔아이원스,한국세라믹기술연구원

57	2021-10-05	-	PCT

58	2023-04-07	-	US

59	2023-04-18	-	JP

60	내플라즈마 유리, 반도체 제조 공정을 위한 챔버 내부용 부품 및 그들의 제조 방법	2021-06-04	-	대한민국	한솔아이원스

61	2022-05-13	-	PCT

62	내플라즈마 유리 및 그 제조 방법	2021-07-27	-	대한민국

63	다중 노즐 플라즈마 분말 증착 장치 및 그를 이용한 증착 방법	2021-09-17	-	대한민국

64	분사각 조절 플라즈마 분말 증 착장치 및 그를 이용한 증착방법	2021-09-17	-	대한민국

65	반도체 장비 부품 및 가공 품의 오염물 세정 방법	2021-09-24	-	대한민국

66	내플라즈마성 유리, 반도체 제조공정을 위한 챔버 내부용 부품 및 그들의 제조방법	2021-10-12	-	대한민국

67	2021-10-12	-	PCT

68	진공 마이크로 웨이브 스프레이 코팅 장치, 그 방법 및 이에 따른 코팅층	2021-12-29	-	대한민국

69	2021-12-29	-	PCT

70	내플라즈마성 유리, 반도체 제조공정을 위한 챔버 내부용 부품 및 그들의 제조방법	2022-09-30	-	대한민국

71	내플라즈마성 유리, 반도체 제조공정을 위한 챔버내부용 부품 및 그들의 제조방법 (CAS-MAS 조성)	2022-10-13	-	대한민국

72	2023-08-18	-	PCT

73	내플라즈마성 유리, 반도체 제조공정을 위한 챔버 내부용 부품 및 그들의 제조방법 (SAS (Sr) 조성)	2022-10-13	-	대한민국

74	2023-08-18	-	PCT

75	내플라즈마성 유리, 반도체 제조공정을 위한 챔버 내부용 부품 및 그들의 제조방법 (CaO-GeO2 조성)	2022-10-13	-	대한민국

76	2023-08-18	-	PCT

77	내플라즈마성 유리, 반도체 제조공정을 위한 챔버 내부용 부품 및 그들의 제조방법	2022-10-20	-	대한민국

78	경사분사 에어로졸 증착장치 및 그를 이용한 증착방법	2022-12-05	-	대한민국

79	고주파 유도를 이용한 내플라즈성 유리부품의 제조장치	2022-12-05	-	대한민국

80	내플라즈마성 반도체 제조공정용 부품 및 그의 제조방법 (hyrid coating)	2022-12-23	-	대한민국

81	내플라즈마성 반도체 제조공정용 부품 및 그의 제조방법 (3D PVD)	2022-12-23	-	대한민국

82	고주파 유도가열을 이용한 유리 조성물의 용융방법	2023-01-27	-	대한민국

83	반도체 식각 공정용 부품 및 이의 제조방법	2023-05-04	-	대한민국

84	2024-04-30	-	PCT

85	금속계 필름 및 이의 제조 방법	2023-05-04	-	대한민국

86	내플라즈마성 유리, 반도체 제조 공정을 위한 챔버 내부용 부품 및 그들의 제조방법 (MASF-GeO2 조성)	2023-06-15	-	대한민국

87	2023-08-23	-	PCT

88	내플라즈마성 유리, 반도체 제조 공정을 위한 챔버 내부용 부품 및 그들의 제조방법 (BAS 조성)	2023-06-15	-	대한민국

89	2023-08-01	-	PCT

90	반도체 부품 보호를 위한 ALD 코팅 적용 방법	2023-06-30	-	대한민국

91	반도체 공정 챔버 및 그 제조 방법	2023-06-30	-	대한민국

92	드라이 클리닝 보호를 위한 코팅 방법 및 이에 따른 드라이 클리닝 공정 부품	2023-06-08	-	PCT

93	반도체 장치 부품 코팅 방법	2023-10-11	-	대한민국

94	파이프세정장치	2023-10-20	-	대한민국

95	내플라즈마성 유리, 반도체 제조 공정을 위한 챔버 내부용 부품 및 그들의 제조방법 (고함량 Si 화합물)	2023-12-19	-	대한민국

96	2024-08-14	-	PCT

97	2024-09-26	-	대만(TW)

98	내플라즈마성 유리, 반도체 제조 공정을 위한 챔버 내부용 부품 및 그들의 제조방법 (Zr 조성 확합물)	2023-12-19	-	대한민국

99	2024-08-14	-	PCT

100	2024-09-27	-	대만(TW)

101	내플라즈마성 유리, 반도체 제조 공정을 위한 챔버 내부용 부품 및 그들의 제조방법	2024-06-13	-	대한민국

102	내플라즈마성 복합체 및 이의 제조방법	2024-07-01	-	대한민국

103	내플라즈마성 부재 및 그의 제조방법	2024-09-06	-	대한민국

2) 상표권

No	내용	출원일자	만료일자	출원국

1	ones.jpg ones	제9류	2005-06-28	2026-05-18	대한민국

2	아이원스(주).jpg 아이원스(주)	제9류	2005-06-28	2026-05-18	대한민국

다. 정부나 지방자치단체의 법률, 규정 등에 의한 규제사항- 해당사항 없음. 라. 회사가 영위하는 사업과 관련하여 환경물질의 배출 또는 환경보호와 관련된 사항을 규제하는 정부규제

당사는 영위하는 사업과 관련한 환경영향을 최소화하기 위하여 정부 환경법규 철저한 준수와 환경오염물질 배출 최소화, 방지시설 운영에 지속적인 모니터링을 실시하고 있습니다. 또한 환경영향평가를 실시하여 전 공정의 환경영향을 고려한 부하 설정과 부문별 목표 관리, 과학적/합리적 분석, 수행결과 검토를 통한 지속적 개선으로 쾌적한 작업 환경을 구현 및 지속가능경영을 위한 기업의 노력을 다하고 있습니다.2050년까지 탄소중립을 달성하기 위한 중장기 목표를 수립하였고, 글로벌 기후 위기해결에 동참하고자 온실가스발생 최소화, 신재생에너지 전환, 친환경 기술 및 제품 개발 등의 활동을 시행하고 있으며, 당사의 노력과 실행방안을 지속가능경영 보고서를 통해 이해관계자들과 소통하고 있습니다.관련하여 국내 전 공장에 환경경영시스템(ISO14001)을 구축하여 법규준수 및 자율관리 체제를 강화하였으며, 친환경 관련 사회적 책임을 다하고 법규준수 의무를 성실히 이행하고 있습니다.

구분	법규명	준수여부	적용사항	관련기관

화학물질	화학물질관리법	준수	화학물질의 안전관리 등
취급제한ㆍ금지물질의 관리 등
화학물질 사고의 대비 및 대응	환경부
(화학안전과)

화학물질관리법 시행령	준수

화학물질관리법 시행규칙	준수

환경정책	환경정책기본법	준수	환경 훼손을 예방
환경을 적정하고 지속 가능하게 관리ㆍ보전	환경부
(녹색전환정책과)

환경정책기본법 시행령	준수

환경정책기본법 시행규칙	준수

환경오염피해 배상책임 및 구제	환경오염피해 배상책임 및 구제에 관한 법률	준수	환경오염피해에 대한 배상책임을 명확히 하고, 피해자의 입증부담을 경감하는 등 실효적인 피해구제 제도를 확립
환경오염피해로부터 신속하고 공정하게 피해자를 구제
환경책임보험 가입	환경부
(환경피해구제과,책임보험)

환경오염피해 배상책임 및 구제에 관한 법률 시행령	준수

환경오염피해 배상책임 및 구제에 관한 법률 시행규칙	준수

대기	대기환경보전법	준수	대기오염으로 인한 국민건강 및 환경상의 위해를 예방하고 대기환경을 적정하게 관리.보전
대기배출시설의 설치허가 신고, 배출시설 및 방지시설 운영관리, 배출허용기준, 자가측정대상항목 및 방법 등	환경부
(대기환경정책과)

대기환경보전법 시행령	준수

대기환경보전법 시행규칙	준수

악취방지법	악취방지법	준수	사업활동 등으로 인하여 발생하는 악취를 방지하여, 건강하고 쾌적한 환경에서 생활할 수 있게 함	환경부
(대기관리과)

악취방지법 시행령	준수

악취방지법 시행규칙	준수

수질	물환경보전법	준수	수질오염으로 인한 국민건강 및 환경상의 위해를 예방하고 하천, 호수등 공공수역 수질 관리.보전, 배출허용기준, 배출시설 설치허가 및 신고, 배출시설분류 기준, 배출시설 및 방지시설의 정상운영	환경부
(물환경정책과)

물환경보전법 시행령	준수

물환경보전법 시행규칙	준수

하수도법	준수	하수와 분뇨를 적정하게 처리
지역사회의 지속가능한 발전과 공중위생의 향상에 기여
공공수역의 물환경을 보전함을 목적	환경부
(개인하수도, 분뇨처리, 원인자부담금)

하수도법 시행령	준수

하수도법 시행규칙	준수

폐기물	폐기물관리법	준수	폐기물의 유해물질 함유기준, 폐기물의 수집.보관, 처리에 관한 구체적인 기준 및 방법, 사업장 폐기물 배출자 신고서, 지정폐기물 폐기물 인계서, 폐기물처리 실적보고 등	환경부
(자원순환정책과)

폐기물관리법 시행령	준수

폐기물관리법 시행규칙	준수

토양	토양환경보전법	준수	토양오염으로 인한 국민건강 및 환경상의 위해를 예방하고 토양을 적절하게 관리.보전, 토양오염방지조치	환경부
(토양지하수과)

토양환경보전법 시행령	준수

토양환경보전법 시행규칙	준수

소음,진동	소음ㆍ진동관리법	준수	공장, 건설공사장, 도로, 철도등으로부터 발생하는 소음.진동으로 인한 피해를 방지하고 소음ㆍ진동을 적정하게 관리,유지	환경부
(생활환경과-소음진동일반)

소음ㆍ진동관리법 시행령	준수

소음ㆍ진동관리법 시행규칙	준수

에너지법	에너지법	준수	환경친화적인 에너지 수급(需給) 구조를 실현하기 위한 에너지정책 및 에너지 관련 계획의 수립ㆍ시행	산업통상자원부
(에너지자원정책과)

에너지법 시행령	준수

에너지법 시행규칙	준수

마. 사업부문의 시장여건 및 영업의 개황1) 산업의 특성 반도체는 고도의 기술, 지식 및 노동이 복합적으로 집약된 산업으로서 국가산업의 중추산업이며 타 산업에 비해 지식ㆍ기술 집약도가 높은 산업입니다. 특히 IT, AI, 스마트폰, 자동차 등 관련 제품 및 기술이 디지털 사회로의 전환에 따라 주요 기능 구현을 위한 필수 하드웨어 장치로서 핵심적인 역할을 수행하고 있으며 제품 시장의 성장에 따라 반도체 수요 증가로 반도체 시장은 최근 몇 년 동안 크게 성장했습니다. 이러한 성장세로 반도체 공정 기술이 발달함에 따라 대규모 투자가 불가피하며 고정비가 높은 산업입니다. 호황과 불황을 주기적으로 반복하는 산업의 Cycle에 따라 가동률 상승시 제품 가격의 상승, 가동률 하락시 후발 업체의 퇴출, 경쟁력 악화로 과점화 현상이 나타나기도 하는 대표적인 경기 민감 산업입니다. 2) 산업의 성장성 2023년 세계 반도체 시장 규모는 5,340억 달러이며, 2024년까지 6,240억 달러 규모의 성장이 전망되고 있습니다.(가트너) PC, 스마트폰 반도체 시장은 정체되어 있으나 자동차, 항공우주, 생성형 AI 개발 가속화에 따른 고성능 서버에 대한 수요 증가로 반도체 시장은 꾸준히 성장할 것으로 예상하고 있습니다. 많은 글로벌 반도체 기업들이 반도체 설비투자와 R 확대하고 있고 반도체 시장의 주도권 확보를 위해 주요국들은 세제지원 혜택 및 규제 해소 등 국가적 지원을 확대하고 있습니다. 이러한 반도체 시장의 성장으로 소재.부품.장비 산업은 견고한 소부장 생태계 구축을 통해 미래 공급망 변화의 선제 대응과 공급망 안정화에 큰 역할을 할 것으로 기대하고 있습니다.

3) 경기변동의 특성 반도체 산업은 호황기의 경우 반도체 가격이 큰 폭으로 상승하고 투자가 경쟁적으로 증가하지만 양산시점에서는 공급이 증가하여 가격 급락과 재고영향 등 경기 민감도가 높은 산업입니다. 따라서 국내 메모리 업체들은 앞선 기술력과 가격 경쟁력을 바탕으로 시장 지배력을 강화하였으며 점유율 확대로 메모리 시장의 성장을 견인하였습니다. 하지만 금리인상과 인플레이션, 지정학적 리스크 등 공급체인의 불안정화는 산업의 정체기에 이르렀고 이로 인한 반도체 수요 감소 및 재고 누적 등으로 메모리 반도체의 제품 가격이 크게 하락하면서 반도체 경기의 하락을 주도하였습니다.또한 소품종 대량생산으로 재고로 인한 가격 변동폭이 높은 메모리 반도체 비중이 큰우리나라의 반도체 산업은 이러한 반도체 경기 변동에 더욱 취약하여 반도체 수출의 변동성이 높게 나타나고 있습니다.

4) 경쟁요소

당사는 반도체 제조장비 부품의 정밀가공부터 사용된 부품의 세정, 내구성 강화를 위한 코팅 전반을 자체 수행하고 있습니다. 공정 중 일부만을 수행하는 타 업체들 대비 원가절감, 납기 단축이 가능하며, 신제품 개발이나 개선, 개조 작업에 있어 타사 대비유리하다는 강점이 있습니다. 또한 당사의 주력 매출원인 반도체 소모성 부품은 AI, 전기차, 데이터센터 등 향후 반도체 수요가 크게 증가함에 따라 소모성부품 사용량 도 증가하여 전방수요 증가에 따른 직접적 수혜를 기대할 수 있습니다.

정밀가공부터 세정코팅, 분석, 장비 제조 등 고객사의 니즈에 맞춤설계 제작까지 원스톱 통합 솔루션 서비스를 통해 기존 고객사들의 긴 리드타임과 그에 따른 추가 가격 등, 분산된 공급망으로 인한 공급관리 비용 증가 문제로부터 통합 공급망을 통한 타사 대비 원가절감 및 생산 효율성 제고로 고객사의 원가절감과 수율증대에 기여하고 있습니다.

5) 회사의 현황 당사는 반도체, 디스플레이 종합 부품 전문기업으로써 정밀 가공기술 및 세정, 코팅 기술을 기반으로 반도체 및 디스플레이 제조장비용 부품을 생산, 세정.코팅사업을 하고 있습니다. 수입 의존도가 높은 고가의 반도체 및 디스플레이 제조공정용 장비 부품의 가공 및 세정코팅을 통해 고객사의 원가 절감효과와 안정적인 공급, 생산량 증대 및 가동율 상승에 기여하고 있으며 신규/개조 개선 업무 진행 및 국내외 대형 장비업체들과 지속적인 교류를 통해 사업 확대를 추진하고 있습니다.부품 가공-세정-코팅까지 원스톱 통합 솔루션 체계를 완성하여 기존 고객사들의 긴 리드타임과 그에 따른 추가 가격 등, 분산된 공급망으로 인한 공급관리 비용 증가 문제로부터 원가절감 및 생산 효율성 제고로 고객사의 원가절감과 수율증대에 기여하고 있습니다.

Global Top-tier 반도체 장비회사와 종합 반도체 회사들에게 최고의 기술과 품질을 바탕으로 정밀부품을 공급함으로써 차별화 된 경쟁력을 입증해 왔으며 2022년 1월 한솔그룹의 일원이 됨으로써 Global 반도체 종합 부품전문 기업으로 한단계 도약을 위한 계기를 마련하였습니다.

6) 시장점유율

반도체장비 부품 산업의 특성상 수주 결과에 따라 시장 점유율 변동이 계속적으로 발생되고 있으며 공신력 있는 기관의 객관적인 자료나 통계 자료가 없는 관계로 정확한 시장 점유율을 산출하기에 어려움이 있습니다.

7) 시장의 특성

반도체의 성능이 지속적으로 향상됨에 따라 인공지능과 사물인터넷, 빅데이터 등 첨단정보통신 기술의 융합을 통해 제4차 산업혁명 시대를 이끌어가는 핵심 기술로 자리잡았습니다. 최근 반도체 시장은 자동차의 지능화, 데이터센터, 인공지능에 대한 수요 증가로 크게 성장하고 있으며 이로 인해 반도체 발전 속도는 가속화 하고 더욱 소형화되며 그 기능도 다양해지고 있습니다. 초저전력, 초고집적 반도체를 개발하기 위한 고객의 요구는 갈수록 높아지고 글로벌 기술패권 경쟁의 중심요인이자 첨단산업의 핵심 부품인 반도체는 국가 안보자산이며 국가 경쟁력을 결정하는 산업의 핵심 요인으로 간주되고 있습니다.세계 각국은 반도체 경쟁력 확보를 목표로 경쟁 우위를 달성하기 위한 반도체 지원법과 자국내 공급망 구축 등 반도체 산업 육성을 위한 투자에 집중하고 있으며 기술 패권 전쟁은 더욱 심화되고 있습니다. 이러한 글로벌 기술 경쟁 속에서 당사는 신규 소재 및 나노 코팅 기술 개발과 공정 개선을 통한 제조 경쟁력 강화를 위해 지속적인 노력을 기울이고 있습니다.

8) 신규사업 등의 내용 및 전망

당사의 기술연구소에서는 기존 Quartz를 대체 가능한 신소재 개발에 성공하여 Focus -ring을 제작, 현재 고객사의 공정 평가 진행중에 있습니다. 고객사와의 기술개발 협업을 통하여 차세대 반도체 식각 공정에 최적화된 Focus ring을 업그레이드 할 예정이며, 현재 Focus ring에서 나아가 대형화 제조기술 확보를 위한 연구를 지속적으로 할 것입니다. 또한 Quartz 대체 소재의 조성 다변화를 통하여 다양한 플라즈마 공정환경에 적용할 수 있는 부품 개발을 진행할 계획에 있습니다. 또한 극자외선 노광장비에 사용되는 파츠 리유즈(Re-use) 사업에 아시아 최초로 고객사에 인증을 받아 진출하였습니다. 리유즈(Re-use) 사업은 고객사 공급망 전반적으로 사용되는 파트, 도구, 모듈등의 '재사용'을 개발하고 개발된 기술이 칩메이커에서 효율적으로 쓰일 수 있도록 지원하는 사업입니다. 공시서류 제출기준일 현재 진행규모는 작으며 점진적으로 리유즈 품목을 확대해나갈 계획입니다. 당사의 기술을 응용 및 개발하여 신규시장을 개척하며 안정된 수익구조와 포트폴리오를 구성해 나가고자 합니다.