디아이티 사업보고서 (2021.12)
7. 기타 참고사항

가. 지적재산권 현황[특허 출원 및 등록 현황]

번호	구분	내용	권리자	출원일	등록일	적용제품	주무관청

1	특허권	복수의 대면적 패널에 대한 균일한 UV 조사가 가능한 UV조사장치 및 이를 이용한 UV 조사방법	디아이티	2010-04-02	2010-11-22	UV노광장비	특허청

2	특허권	디지털 홀로그래피를 이용한 입체 측정장치	디아이티 /펨트론 /전북대	2011-09-30	2012-04-16	3D검사장비	특허청

3	특허권	투명성 기재에 반사방지 효과를 부여하는 코팅조성물 및 그 코팅조성물을 사용하여 반사방지 기능을 갖는 투명성 기재의 제조방법	디아이티	2009-07-17	2013-10-17	-	특허청

4	특허권	롱 아크 UV램프를 이용한 노광 및 경화 장치	디아이티 /유니램	2008-05-29	2009-11-27	UV노광장비	특허청

5	특허권	에어블로윙 타입 기판 부상 및 이송 장치	디아이티	2014-02-07	2014-08-20	OLED 검사장비	특허청

6	특허권	차체 도장 외관 검사장치	디아이티 /현대차/기아차	2013-06-27	2015-03-03	자동차 검사장비	특허청

7	특허권	인라인 무빙 스테이지 장치	디아이티	2015-08-20	2015-12-09	OLED 검사장비	특허청

8	특허권	편광판, 편광판 각도 조절장치 및 각도 측정방법	디아이티 /삼성디스플레이/유니램	2015-04-17	2016-06-09	필름 검사장비	특허청

9	특허권	FILM DEFECT INSPECTION DEVICE, DEFECT INSPECTION METHOD, AND RELEASE FILM	디아이티 /TORAY	2011-05-12	2015-10-07	필름 검사장비	중국

10	특허권	FILM DEFECT INSPECTION DEVICE, DEFECT INSPECTION METHOD, AND RELEASE FILM	2011-05-24	2015-11-21	필름 검사기	대만

11	특허권	FILM DEFECT INSPECTION DEVICE, DEFECT INSPECTION METHOD, AND RELEASE FILM	2011-05-12	2016-06-03	필름 검사장비	일본

12	특허권	글래스 및 필름 혼용 표면검사장치	디아이티	2015-07-17	2016-11-11	OLED 검사장비	특허청

13	특허권	깊은 신경망 학습 방법을 이용한 제조품용 영상검사 장치 및 이를 이용한 제조품용 영상 검사 방법	디아이티	2016-05-06	2016-12-15	OLED 검사기	특허청

14	특허권	Inspection device for Painted Surface of Vehicle	디아이티 /현대차/기아차	2013-12-30	2017-01-17	자동차 검사장비	미국

15	특허권	구면수차를 이용한 기판절단방법	디아이티	2015-12-03	2017-04-28	레이저 커팅장비	특허청

16	특허권	필름의 결함 검사장치, 결함 검사방법 및 이형필름	디아이티 /TORAY	2012-10-19	2017-06-01	필름 검사장비	특허청

17	특허권	좌표계 매칭 방법 및 시스템, 이에 이용되는 시편, 이를 이용한 스프레이 시스템 및 방법	디아이티	2015-11-16	2017-11-21	3D검사장비	특허청

18	특허권	유리적층체의 홀 가공방법 및 가공장치	디아이티	2016-04-21	2017-11-21	레이저 커팅장비	특허청

19	특허권	라인 선택장치 및 선택방법과, 이를 이용한 시스템	디아이티	2016-08-11	2017-11-21	OLED 검사장비	특허청

20	특허권	기판검사장치	디아이티	2016-11-08	2017-11-21	PLP
검사장비	특허청

21	특허권	기판이송장치	디아이티	2016-11-08	2018-8-13	PLP
검사장비	특허청

22	특허권	Inspection device for Painted Surface of Vehicle	디아이티 /현대차/기아차	2013-12-12	2018-10-04	자동차 검사장비	독일

23	상표권	디아이티(국문) / DIT(영문)	디아이티	2010-12-23	2011-07-13	-	특허청

24	상표권	구름냥 제9,28류	디아이티	2018-05-09	2019-03-25	스마트폰용 애플리케이션, 캐릭터 인형 등	특허청

25	특허권	차체 도장 외관 검사장치	디아이티 /현대차/기아차	2013-12-30	2019-08-09	자동차 검사장비	중국

26	특허권	반도체 표면처리 시스템 및 방법	디아이티	2019-05-13	2021-03-03	반도체 장비	특허청

나. 사업의 내용 기 타 참고사항 (1) 디스플레이 산업

디스플레이란 패널(Panel)을 통하여 데이터를 시각적으로 표시하는 장치이며, 디스플레이 산업은 광의로는 디스플레이 패널을 채용하는 완제품산업(TV, 모니터, 노트북), 디스플레이 패널 산업 및 후방산업인 소재, 부품, 설비 산업을 포함하며, 협의로는 디스플레이 패널 산업만을 의미하기도 합니다.

1990년 LCD 디스플레이가 출현하면서 그동안 채용되었던 CRT (Cathode Ray Tube)라 불리는 브라운관 시대를 마감하며 평판(Flat Panel) 디스플레이 시대를 열었습니다. 이후 LCD, PDP, OLED 등 다양한 디스플레이가 개발 및 상용화 되면서 적용분야 및 산업규모가 성장하게 되었습니다.

2000년 이후 평판 디스플레이 산업은 반도체 산업에 이은 한국 국가경제의 성장동력으로 주목을 받게 되었으며, 평판 디스플레이의 대형화 및 품질에 대한 기술적 경쟁은 국내외 평판 디스플레이 패널시장의 활성화를 이루어 왔습니다.

최근 디스플레이 산업의 가장 큰 이슈는 OLED로의 패러다임 전환입니다. 현재는 LCD가 평판 디스플레이의 주류제품으로 채용되고 있으나, 과거 LCD가 CRT나 PDP를 대체했듯이 향후 OLED가 LCD를 대체할 것으로 전망됩니다. 또한 OLED는 패널의 특성상 폴더블, 투명 디스플레이 등 미래 디스플레이로서의 새로운 시장 개발 및 확대가 가능할 것으로 전망되어 성장세가 둔화되고 있는 TV, 스마트폰 등 IT 제품의 신성장 동력 확보 측면에서 OLED 시장 성장을 위한 노력이 빠르게 진행될 것으로 예상됩니다.

디스플레이 산업은 ① 반도체 산업의 '실리콘 사이클'과 같이 '크리스탈 사이클'이라고 불리우는 30~36개월을 주기로 수급환경에 의한 판가 변동성이 크게 나타나는 대표적인 사이클 산업입니다. 수요 증가를 예측하고 투자를 시작하면 일정시점 이후 동시에 생산물량이 급증하여 공급 초과현상이 발생하게 되고, 공급 초과로 인한 투자축소는 일정시점 이후 증가하는 수요물량을 소화하지 못해 공급부족 현상이 발생하게 됩니다. 이러한 현상으로 인해 공급부족 현상 또는 공급초과 현상이 반복되며 판가 변동성이 큰 주기적 호황과 불황을 경험하게 됩니다. 이러한 '크리스탈 사이클'에 따라 패널업체뿐만 아니라 장비업체도 실적의 영향을 받고 있습니다. 장비업체의 실적은 패널업체와 유사한 경기 사이클을 나타내나 진폭은 패널업체보다 더 높은 특징이 있습니다.

② 자본ㆍ기술 집약적인 장치산업으로 양산을 위한 대규모 투자가 필요하고, 지속적인 투자가 요구되므로 충분한 자금 조달력이 필요합니다. SDC, LGD 등 한국기업은 기업자체로 투자금을 조달하는데 반해, 중국은 정부의 적극적 자금지원 등의 정책을 통해 공격적인 사업전개가 지속되고 있어 경쟁강도가 심화되고 있습니다.

③ 디스플레이 패널은 기술적 변화가 빠르고, 높은 수준의 공정기술력이 뒷받침되어야 하기 때문에 상당 수준의 진입장벽이 존재하여 신규 진입이 어려운 사업입니다. 한국업체들이 지속적 R 및 제품 차별화를 추진함으로써 중국업체와의 격차를 유지하고 있습니다.

④ 전방 및 후방산업에 대한 파급력과 영향력이 큰 산업으로서, 대기업 중심의 수직계열화현상이 뚜렷합니다.

(2) OLED 디스플레이 산업

OLED는 Organic Light Emitting Diode(유기발광다이오드)의 약자로, OLED는 양극과 음극 사이에 기능성 박막형태의 형광성 유기 화합물이 삽입되어 있는 구조로 전류가 흐르면 빛을 내는 전계발광현상을 이용해 스스로 빛을 내는 유기 발광 소자의 일종으로 기존LCD와 달리 자체적으로 빛을 발산할 수 있는 디스플레이입니다.

[OLED 동작원리 및 기본구조]

출처: KISTI, 유진투자증권

LCD의 핵심 구성요소인 액정은 빛을 차단하거나 통과시키지만 스스로 빛을 방출하지 못하기 때문에 시각적 정보가 표시되려면 전기에너지를 빛에너지로 바꿔주는 광원이 필요합니다. LCD구조에서 이러한 역할을 하는 부품이 BLU(Back Light Unit) 입니다. BLU는 고화질, 슬림, 저전력 특성을 구현하는 데 있어서 제한적인 요소로 작용합니다. 화질 측면에서 BLU는 상시 점등하고 있기 때문에 어두운 부분을 완벽하게 표현할 수 없고 전력소모가 많고, 빛의 전달 효과를 극대화하기 위해 여러 장의 시트로 구성되어 있기 때문에 두께를 슬림화 하는데 한계로 작용하게 됩니다. BLU와 관련한 직접적인 문제뿐만 아니라 BLU에서 나온 빛에 대해 셔터 역할을 하는 액정이 회전하는 시간이 필요하기 때문에 화면의 On/Off 시 응답속도가 느리고, 고속 동영상 화면에서는 잔상이 발생하는 문제가 발생합니다.반면, OLED는 전기에너지가 바로 빛에너지로 변환되기 때문에 LCD에서 발생하는 잔상 문제가 없습니다. 또한, BLU가 필요 없기 때문에 LCD보다 구조가 간단하여 스마트폰, TV등 완제품의 두께를 더욱 얇게 만들 수 있으며, 특수 유리나 플라스틱을 이용해 구부리거나 휘는 디스플레이 기기를 제작함으로써 차량용 디스플레이, 상업용 디스플레이까지 다양한 분야 에 적용 가능합니다.

2014년 이후 IT 산업은 세계 경기 둔화 속에 IT산업의 3대축인 스마트폰과 TV, PC (태블릿PC 포함) 수요를 새롭게 견인할 Killer Application의 부재로 신규 수요보다는 교체 수요에 의존 하는 저성장을 보이고 있습니다. 디스플레이산업은 양적성장의 정체 하에 ① 스마트폰 및 TV의 대형화 추세, ② 고화질에 대한 수요 증가 등으로 질적 성장을 견인하고 있습니다. 현재 OLED 시장은 모바일용 중소형 패널에 집중되고 있지만, 향후 OLED 생산 기술의 발전에 따라 패널이 대형화되고, Flexible OLED가 확산될 것으로 전망됩니다. 이에 TV, VR기기, 자동차, 웨어러블 기기 등 Application의 확장과 건축, 광고 등 타 산업과의 융ㆍ복합을 통해 새로운 시장 창출이 가능해지면서 시장 내 수요는 더욱 늘어날 것으로 예상됩니다.

[디스플레이 시장 전망]
(금액기준 / 단위: 억불)

출처: IHS, 한국디스플레이산업협회(3) 2차전지 산업

전지는 1차전지(Primary Cell)과 2차전지(Secondary Cell)로 구분할 수 있습니다. 1차전지는 방전 후 재사용이 불가능한 전지이며, 2차전지는 방전 후 충전을 통해 재사용이 가능한 전지를 의미합니다. 한편, 2차전지는 적용 소재에 따라 납축전지(Lead-Acid), 리튬이온전지(Lithium-Ion) 등으로 분류할 수 있습니다. 이 중 리튬이온전지는 스마트폰, 노트북, 전기차, ESS(Energy Storage System, 전기저장장치) 등의 용도로 적용됩니다.

대부분의 전지(Battery)는 1) 양극재(Cathode)와 2) 음극재(Anode), 그리고 양극과 음극 사이에 전하를 가진 이온이 이동하는 데 필요한 3) 전해질(Electrolyte), 양극과 음극이 서로 닿는 것을 막기 위한 4) 분리막(Separator)으로 구성됩니다. 한번 쓰고 버리는 1차전지가 아니라, 여러차례 충전 및 방전이 가능한 2차전지인 리튬이온전지(Lithium Ion Battery) 역시 양극재와 음극재, 전해질, 분리막으로 구성됩니다.

리튬이온전지의 양극재는 알루미늄 박막에 금속산화물을 코팅한 형태이고, 음극재 역시 구리 박막에 흑연을 코팅하여 건조한 형태입니다. 전해질인 리튬 이온이 이동할 수 있는 물질로, 리튬 이온이 전해질을 통해 양극에서 음극으로 이동하면서 충전이 되고, 반대로 리튬 이온이 음극에서 양극으로 이동하면서 방전이 되는 구조입니다. 리튬은 산화되는 경향이 매우 강하기 때문에, 전해액이 전지에서 새어 나오면 리튬이 공기 또는 수분과 접촉하며 고열, 화재 등의 사고가 발생하게 됩니다. 이를 방지하기 위하여 전해액을 젤리화시켜 분리막과 합친 리튬이온폴리머 전지도 2차전지로 많이 사용되고 있습니다. 분리막은 양극과 음극이 서로 닿으면 급속 방전이 일어나면서 고열이 발생하고 전지가 고장나기 때문에 이를 막는 역할을 하고 있습니다.

리튬이온전지 산업은 IT기기의 융,복합화, 전기자동차 및 에너지 저장분야(ESS) 등 새로운 응용분야의 등장으로 인하여 향후 성장가능성이 높은 분야입니다. 특히 기후변화 대응을 위해 세계적 온실가스 의무감축 등 대기오염에 따른 환경규제 강화로 인하여 자동차시장의 패러다임이 높은 효율과 연비를 지향하는 친환경 자동차로 전환되고 있으며, 이는 친환경 자동차 판매의무화 확대로 이어지고 있습니다.

전기자동차(PHEV+BEV) 판매량은 2019년, 200만대를 초과하며 전체 신규 자동차 판매량의 2.5%를 달성했으며, 2019년 글로벌 전기차 판매량 중 BEV의 비중은 74%로, 2018년 대비 6%p 증가하여 전기자동차 내에서도 BEV 비중이 점차 확대되고 있습니다. 유럽을 시작으로 탄소 배출 기준이 점차 강화되고 있으며, 자동차 제조사에도 무공해 자동차 생산 및 판매 촉구하고 있어 전기자동차의 판매량은 더욱 가속화 될 것으로 예상되고 있습니다.

(4) 반도체 산업 세계 반도체 시장은 2017년 4,122억 달러에서 2021년에 5,274억 달러로 지속적인 성장할 것으로 전망되고 있습니다. 4차 산업혁명 시대 반도체 기술의 중요성이 증가함에 따라 반도체 시장은 꾸준히 성장할 것으로 전망되며, 특히 인공지능 및 빅데이터 처리 등의 수요에 힘입어 메모리 반도체 시장이 성장을 견인하고 있습니다. 또한, NAND플래시 메모리반도체시장은 12.2%로 고성장을 기록할 것으로 전망되고있습니다. 응용분야별로는 자동차 및 산업용기기의 수요가 연평균 10% 이상의 급성장을 전망하고 있습니다. 통신용 및 정보처리 분야는 현재의 대규모 시장을 계속 유지할 것으로 전망되며, 시스템반도체를 설계하는 팹리스 산업의 비중이 전체 산업의 20%이상 증가하고 있습니다.

향후 시장은 인공지능이 생활, 산업, 경제, 사회를 근본적으로 변화시킬 것으로 전망되는데, 특히 , 자율주행차, 지능형로봇, 바이오/헬스케어, 사물인터넷 등이 산업전반에 핵심기술로 대두될 것이며, 그에 따라 핵심 부품인 반도체의 고성능화, 지능화, 저전력화, 경량화, 소형화를 위한 기술 선점 경쟁이 치열할 것으로 전망되고 있습니다. 인공지능,자율주행자, IoT, AR/VR, 지능형 로봇, 센서 등 반도체 기술을 활용한 다양한 어플리케이션 시장의 성장이 전망되며, 특히 인공지능을 기반으로 한 다양한 반도체 시장이 새로운 성장동력이 될 것으로 전망하고 있습니다 .

나 . 제 품 설명

당사는 핵심 고유기술인 고속 영상처리 및 광학 설계 등의 Vision기술을 기반으로 다음과 같은 주요 사업을 영위하고 있습니다.

디스플레이 패널인 LCD와 OLED(Rigid, Flexible), 각종 Film 소재의 제조공정에서 발생하는 불량을 검사 및 측정하는 ① '비접촉 광학 검사장비와 측정장비' 사업과 LCD와 OLED 공정에서 액정의 성능을 향상 및 특정 용액을 경화시키기 위한 ② 'UV 노광 및 경화 장비' 사업, 그리고 디스플레이 모델의 형상을 가공하는 ③ 'Laser Cutting 장비' 사업 이 있습니다.

'비접촉 광학 검사장비 및 측정장비'는 대상체에 빛을 조사하여 투과 또는 반사되는 빛을 Lens를 통해 카메라의 Sensor에 전달시켜 Sensor에 맺히는 이미지를 이용합니다. 해당 이미지의 광량차이를 이용하여 결함유무를 검사하거나 해당 이미지를 기반으로 측정하는 것으로서 비접촉이므로 대상체에 Damage가 없습니다. 또한 고속 영상처리 기술을 활용하기 때문에 짧은 시간 내에서 평판 디스플레이, 반도체 등의 표면을 정밀하게 검사 및 측정할 수 있으며, 이를 더욱 발전시켜 신발 및 자동차 등에 입체 '3차원 검사기'로 사용하고 있습니다.

세부 제품으로는 LCD, OLED, TSP, PDP의 제조공정 중에 발생하는 불량을 검출하는 '패턴검사장비' 및 제품의 품질을 관리하기 위한 '측정장비'와 편광/광학 Film 및 Roll to Roll 제조공정에서 제품의 이물 및 기포 등을 '검출하는 검사장비'가 있습니다. 반도체 제조공정 중 Wafer의 폭과 Bump 높이 측정용 시스템과 Sapphire Wafer의 '표면검사 및 높이 측정용 시스템'도 공급하고 있습니다. 또한 3차원 형상검사기술을 발전시켜 신발 및 자동차 등의 3차원 형상검사시스템을 공급하여 사업의 영역을 확대하고 있습니다.

'UV 노광장비 및 경화장비'는 가시광선 보다 짧은 파장을 이용하여 다양한 제품에 경화(Curing), 노광(Photo Resistor), 살균 그리고 세정장비로 사용 됩니다. 당사는 LCD 디스플레이 패널에 적용되는 액정을 UV로 노광시켜 제품의 성능을 향상시키는 시스템을 삼성디스플레이와 공동 개발을 통해 개발에 성공하여 삼성디스플레이(SDC)에 독점으로 공급하고 있습니다.

'Laser Cutting 장비'는 다년간의 연구개발을 통하여 최근 주력사업으로 확대하고 있습니다. Laser와 Water Jet 등을 이용하여 디스플레이 패널(LCD, OLED, TSP 등), Wafer 등의 형상을 Cutting 가공하는 시스템으로 구성되어 당사의 핵심기술들이 집약된 시스템입니다.

당사는 검사, 측정시스템을 시작으로 UV 광을 이용한 솔루션 기술, 3차원 검사/측정기술, Laser 가공기술 등을 꾸준히 발전시켜 다양한 제품군을 디스플레이 산업에 공급하고 있을 뿐만 아니라, 자동차 산업 분야에도 검사 및 측정 장비를 확대하고 있으므로 동종업계의 회사와는 다르게 꾸준한 매출을 통하여 안정된 사업을 영위하고 있습니다.

Vision 장비들은 광학구성장치, 장비장치, 그리고 사람의 판단을 대처할 수 있는 많은 알고리즘으로 구성되어 있습니다. 특히 LCD나 OLED와 같은 디스플레이 패널들을 생산하는 공정에서는 검사, 측정, 3D 측정 등 다양한 방법으로 Vision 기술이 활용되고 있으며, Vision 기술은 디스플레이를 넘어서서 일반생활 속 여러 분야로 적용이 확대되고 있습니다.

(1) 주요 제품 라인업 및 특징

구분	장비군	적용 분야	특징

검사 장비	OLED 검사 장비	OLED Rigid Glass
OLED Flexible Film	Vision 광학계를 이용하여 제조공정상 기판의 이미지를 취득한 후, 다양한 S/W 알고리즘으로 각각의 제조 공정상에서 발생되는 불량(패턴불량, 이물, 얼룩, 스크래치 등)을 검사 및 측정하는 장비

LCD 검사 장비	C/F Glass
TFT Glass

Film 검사 장비	Display용 편광Film	Roll to Roll 로 생산되는 편광Film 공정에서Roll to Roll 생산구조에 적합한 별도의Vision 광학계를 이용하여 편광Film의 불량을 유발하는결함(패턴 불량, 이물, 얼룩, 스크래치 등)을 검사하는 장비

PLP 검사 장비	PLP	특정한 레이저 광학계를 이용하여 결함이 잘 보이게 한 후, 도면 정보 등을 활용하여, 다양한 알고리즘으로 불량을 검사 및 측정하는 장비

2차전지, 수소전지 검사장비 / 측정장비	2차전지수소전지	Roll To Roll 공정에서 발생하는 불량을 검사 하고, 패턴을 정밀하게측정하는 장비

가공기	Laser Cutting 장비	LCD Rigid Glass
OLED Rigid Glass
Film	레이저를 이용하여 대상체의 분판 가공, Edge 형상 가공 및 가공 후의결과를 검사 및 측정하는 장비

UV 노광장비 / 경화장비	LCD Glass
OLED Glass	UV 조사를 통한 액정의 특성을 변경시키는 공정 장비

3D 응용 시스템	신발	3D 광학계 또는 3D 스캐너 및 그에 부합 하는 알고리즘을 이용하여,3D 영상을 취득하고 측정, 도색, 마킹 또는 DATA로의 형상화를 하는장비

자동차	굴곡을 가진 대상체인 자동차 검사에 특화된 광학계(2D, 3D) 및 검사S/W를 이용하여 Whole body 검사 에서부터 Parts 까지 검사 및 측정하는 장비

반도체 장비	반도체 검사장비 등	딥러닝을 이용한 결함분류 기술과 특수광학계 적용 검사기술을 통해반도체 웨이퍼 칩핑 과정에서 발생하는 불량을 검사하는 장비 및 기타 공정장비

(가) 검사 장비 1) OLED 검사 장비

OLED 검사 장비는 Glass Type OLED Panel, Flexible Type OLED Panel 생산 공정 중 BP 공정, EVEN 공정에서 발생 되는 결함을 검사 하는 장비입니다.

주 검사 대상은 TFT 패턴을 형성하는 LPTS 공정에서의 불량을 유발하는 패턴이상 결함, 이물, 얼룩들이 있으며, OLED 디스플레이의 수분과 산소로의 노출에 의한 픽셀 수축(Pixel Shrinkage)과 암점(Dark Spot), 전극 산화 등의 문제를 방지하기 위한 EN공정(Encapsulation공정)에서의 얼룩검사, 높이성 이물검사, 증착물에 대한 각종 측정 등이 있습니다.

OLED 검사장비는 1um 크기 이하의 결함을 검사하는 sub-micro급 검사장비부터 수십, 수백um 크기의 결함 및 얼룩을 검사하는 Macro 급 검사장비까지 여러 검사 급의 장비들이 납품되고 있습니다. 당사는 각 공정에서 요구하는 결함에 대하여 보다 선명하게 결함을 보기 위한 고해상도 광학기술과 각종 파장대 필터기술을 접목하고 있으며, 각 공정에 맞는 알고리즘을 각각의 제조 공정시간 내에서 실시간 처리가 될 수 있도록 개발하여 적용하고 있습니다. OLED 기술의 발전과 더불어 더 나은 디스플레이로 변화하는 대상체(생산 모델)에 대해 당사는 고정밀의 신규 설비 개발 능력과 프로그램 개발 능력으로 안정적인 설비 개발 및 제작을 하고 있습니다.

[OLED 제조공정 및 당사 검사장비 적용현황]

2) LCD 검사 장비

LCD 디스플레이 패널 제조공정의 각 공정에서 발생되는 결함을 검사하는 장비로 LCD는 삼색으로 되어 색상을 결정짓는 컬러필터패널(Color Filter 공정), 빛의 투과를 유도하는 액정(액정 공정), 액정에 전기적인 반응을 주기 위한 TFT패널(TFT 공정), 빛을 발생시키는 백라이트(Module 공정)로 구성되어 있습니다.

당사는 컬러필터 공정과 TFT 공정의 패널 제조 공정상의 패턴의 이상, 이물, 얼룩 등 패널의 불량을 유발시키는 결함들을 검사하고 있습니다. 2um~10um 크기의 결함부터 크기가 큰 500um 크기의 얼룩 결함까지 검사를 통하여 불량 패널이 생산되지 않도록 하고 있습니다. 이를 위한 당사의 핵심기술로서 고해상도 검사를 위한 광학 Lens 제작기술, 컬러필터 파장별 대응을 위한 Band Pass Filter 제작기술, 결함에 대한 Review 정보생성을 위한 고속 자동리뷰 기술, Glass 고속 반송 및 검사를 위한 H/W Stage 제작 기술 등을 보유하고 있습니다.

[LCD 제조공정 및 당사 검사장비 적용현황]

3) TSP 검사장비

TSP는 사용자와 디스플레이(LCD, OLED) 사이의 인터페이스 역할을 해 주는 중요한 패널로서 디스플레이 시장과 동반하여 발전하고 성장하고 있습니다. 디스플레이 화면이 고해상도로 발전하면서 TSP도 고해상도로 발전하고 있으며, 그에 맞게 검사장비의 수준도 고해상도로 요구 되고 있습니다.

TSP 검사장비는 Glass Type TSP, Flexible Type TSP 생산 공정 중 미세 금속(Metal) 배선 및 ITO 패턴의 결함을 주로 검사 하는 장비이며, 요구되는 검사 사양은 2um급 이상 크기의 패턴 불량 및 이물에 대한 검사를 하고 있습니다.

이를 위한 당사의 보유기술로서 TSP내 Metal 배선 부분과 ITO부분을 동시에 모두 검사할 수 있는 광학 기술과 TSP 패널의 전면을 실시간으로 검사 할 수 있는Powerful한 S/W, 유효한 결함을 구분할 수 있는 Classification S/W, 정밀도 높고 안정적인 Hardware 설계, 제작 능력을 보유 하고 있습니다. 이런 기술을 바탕으로 TSP 검사 장비로서 최고의 경쟁력을 갖추게 되었습니다.

[TSP 제조공정 및 당사 검사장비 적용현황]

4) Film 검사장비 (Roll to Roll)

Roll to Roll 방식으로 생산 되는 Film 소재를 대상으로 결함을 검사하는 시스템으로 Flexible OLED용 필름, 편광필름, 2차 전지, 하드 코팅, 실리콘 코팅 등의 분야에 주로 적용 되고 있습니다.

요구 되는 검사 품질 수준은 20um 급 이상의 이물, 돌기, 스크래치, 덴트, 점착제 뭉침 등의 결함 검출 사양이 요구 되고 있으며, 생산 속도 10~450mpm(meters per minute)의 다양한 속도에 맞게 불량에 대한 검사를 하고 있습니다.

이를 위한 당사의 기술로서는 공정 마다 요구 되는 결함을 선명하게 보기 위한 광학(투과성 광학 5가지, 반사성 광학 5가지 이상)기술과 생산 속도에 맞게 안정적으로 연속 검사 할 수 있는S/W, 4가지 검사를 동시에 운영 할 수 있는 Powerful한 알고리즘S/W를 보유 하고 있습니다.

5) PLP(Panel Level Package) 검사장비

반도체 첨단 패키징 기술인 FoPLP(Fan-out Panel Level Package) 기술이 적용된 패널에 전기 회로를 구성하는 제조 공정에서 발생되는 결함을 검사하는 장비입니다. FoPLP 제조 라인에서 주요하게 불량을 발생시키는 수 um에서 1um 이하 크기의 이물들에 대한 검사와 유기막 증착 후 에칭공정에서 제거되어야 함에도 남아서 불량을 일으키는 수 um 크기의 유기물의 잔류를 검사합니다.

당사는 해당 불량들에 대한 최적의 검사를 위해서 삼성전기와 특수한 광학계를 개발하여 설비화를 진행하였으며, 삼성전기 FoPLP 제조 라인에 해당 장비들을 공급하였습니다. PLP 검사장비에 적용된 검사기술은 기존의 FoWLP(Fan-out Wafer Level Package) 제조공정 검사 및 PCB(Printed Circuit Board) 제조공정 검사에도 적용 가능한 기술들로서, 해당 시장으로의 장비 공급도 고려 중입니다. FoPLP는 FoWLP와 완제품은 거의 유사하지만, 공정 단계에서 웨이퍼가 아닌 패널을 사용한다는 점이 다릅니다.

[반도체 패키징 발전추이 및 당사 검사장비 현황]

6) 2차전지, 수소전지 검사장비 2차전지 및 수소전지 생산 공정을 살표보면 크게 전극 공정, 조립 공정, 활성화 공정으로 분류되며, 전극 공정은 양극(+), 음극(-) 극판을 만드는 공정으로, Mixing 단계에서 활물질 , 도전제 , 바인더를 섞고 이를 Coating, Pressing, Slitting, Drying 단계를 거치면서 극판에 각 소재를 도포하고 건조시켜 각각의 양극판과 음극판 , 분리막 등으로 만드는 공정입니다. 전극 공정에는 Roll to Roll 생산방식이 사용되고 있으며, 당사는 상기 공정 중 VISION기술 및 소프트웨어 알고리즘을 활용하여 이물, 돌기, 스크래치, 덴트, 점착제 뭉침 등의 결함을 검출하는 장비를 개발하여 납품하고 있습니다.

(나) 가 공기 1) Laser Cutting 장비

LCD, OLED, TSP 등의 디스플레이용 Rigid 패널이나 Flexible Sheet를 高정밀로 절단 (원판 → 분판) 또는 분판된 대상체의 형상 가공을 하는 장비입니다.

기존에는 Mechanical Cutting 장비(Wheel Scriber)를 이용하여 다양한 모델의 제품을 Cutting 및 가공하였으나, 高정밀 Cutting 및 가공이 필요해지면서, 기존의 방식으로는 어려움이 있었습니다. 高정밀 분판 가공 및 형상 가공을 위하여, 당사는 수년간 Laser 광학을 이용한 장비 개발 과정을 거쳤으며, 高정밀 분판 가공 및 형상 가공이 어려운 패널까지도 원활한 가공을 할 수 있는 능력을 보유하게 되었습니다.

당사의 설비에는 당사가 보유하고 있는 광학 기술을 접목하여, 가공영역을 정확하게 찾아가기 위한 Vision 기술 등이 적용되어 있으며, 가공 후 검사까지 하나의 장비에서 모두 가능하도록 제작되었습니다. 당사 설비는 분판 또는 형상 가공을 위한 Cutting 영역과 Cutting 이후 잘려진 영역을 떼어내기 위한 Breaking 영역 그리고 가공 과정 중에 발생될 수 있는 가공 불량 유무를 검사하는 검사 영역으로 구성되어 있습니다. 당사의 Laser Cutting 장비가 성공적으로 삼성디스플레이 양산라인에 셋업이 되면서 고객의 호평을 받고 있으며, 향후 Laser 장비 시장에서 점유율을 높이기 위해 지속적인 개발과 Test를 진행하고 있습니다.

[당사 Laser Cutting 장비 적용 현황]

2) UV 노광장비ㆍ경화장비

UV 노광장비는 UV 광을 이용하여 특정 패턴을 형성하거나, 대상체의 성질을 바꿔주는 역할을 하는 장비로서 액정의 빠른 성질 변화를 유도하여 디스플레이 장치의 화면 응답 속도를 빠르게 하는 역할을 합니다.

당사에서는 삼성디스플레이와 UV 노광을 이용한 액정의 반응 속도 향상을 위한 연구 개발을 지속적으로 진행하여 장비 개발에 성공하였으며, LCD의 성능향상에 기여하였습니다. 해당 설비는 LCD의 액정에 전압이 가해질 때 액정의 배열을 변경하는 속도를 높이기 위한 Pre-Tilt 를 형성하는 장비(전계 UV 장비)와 액정에 잔존해 있는 찌꺼기 성분을 제거하는 장비(형광 UV 장비)로 구성되며, 최근 곡면 디스플레이 장치들이 생산되면서, 더욱 중요한 장비로 주목 받고 있습니다.

해당 기술의 확장으로서 OLED UV 경화 장비도 검토 중에 있습니다. OLED UV 경화 장비는OLED 기판에 잉크젯(Inkjet) 공정에서 도포된 용액을 UV를 통해 경화시키는 장비입니다.

[당사 UV 노광장비 적용 현황]

(다) 3D 응용 시스템 1) 자동차 도장 검사장비

4차 산업 혁명과 함께 자동차 생산 공정도 정보 통신 기술을 바탕으로 기술 진보의 시대로 진화하고 있습니다. 당사는 이러한 변화를 예측하여 자동차 생산 공정에 필요한 자동 검사 및 계측 장비를 개발하였으며, 도장공정(자동차 페인팅 공정)에서는 0.7mm 이상의 도장 불량, 핀홀(Pinhole), 덴트(Dent), 스크래치(Scratch) 검사를 진행하고 있습니다.

도장 검사장비를 위한 당사의 기술로서 3D Shape, 고광택 대상체를 검사할 수 있는 광학 기술과 결함을 자동으로 구분하는 DCE-3(Defect classification Engine), 검사 영역을 자동으로 보정하는 RAC(Real time ROI Auto Correction) 기반으로 하는 S/W입니다. 본 시스템은 자동차 도장 검사 장비 분야에서는 세계 최초로 생산량 전수를 실시간으로 검사할 수 있는 시스템으로서, 현대 자동차 아산 공장에 적용되어 있으며, 현대자동차/기아자동차 국내 공장, 해외 공장에도 도입을 위해 검토 중에 있습니다. 2) 자동차 하부조립 검사장비, 자동차 판넬 검사장비 자동차 하부 조립상태를 VISION 기술 및 Deep learning 기술을 적용 다양한 형태 변화에도 최적화 검사가 가능하게 만든 자동차 하부 검사장비와 자동차 외형 프레스 판넬의 크랙을 VISION 기술을 이용하여 측정 및 검사하여 자동차 차체 외형 품질 향상에 기여할 것으로 기대되는 자동차 판넬 검사 시스템을 보유하고 있습니다.

(라) 반 도체 장비 1 ) 반도체 검사장비 등 당사는 반도체 D램 및 NAND메모리 생상공정에서 품질 개선 및 성능 향상을 목적으로 당사의 핵심기술인 딥러닝 기술, 검사 비전 기술 그리고 고유의 S/W 알고리즘 기술을 적용하고 있습니다. 반도체 칩 제단 후 표면 품질 검사를 목적으로 하는 AVI(Auto Visual Inspection) 시스템을 보유하고 있으며, 또한 품질이력 관리를 위해 결함등의 분류를 목적으로 하는 딥러닝 시스템인 AIV(Auto Image Verification)를 개발하여 시장에 제공하고 있습니다.

다. 경쟁 현황 디스플레이 장비업체의 경쟁 요소는 기술력, 생산성, 공급가격으로 업체 선정의 주안점으로 작용하고 있습니다. 신규 업체는 기존업체들에 비해 공급 실적 측면에서 현장에서의 입증된 신뢰성 확보가 어렵기 때문에 시장진입이 어려운 상황입니다.

디스플레이 장비시장은 최첨단 장비 개발에 대한 기술개발의 어려움으로 초기 기술개발 비용이 크고 지속적인 투자가 필요하여 시장 진입이 어려운 사업입니다. 또한 대형화, 고품질화 등 시장의 상황 변화가 극심하여 다양한 고객의 요구에 효율적으로 대응하는 기업만이 살아 남을 수 있는 산업 특성을 지니고 있습니다.

시장 진입을 위한 장비 산업의 경쟁 요소는 다음의 2가지로 요약 할 수 있습니다.

(1) 지속적인 연구 및 개발 (R)장비업체로서의 가장 큰 경쟁력은 시장에서 요구되는 핵심기술력이 확보되어야 합니다. 갈수록 고객의 요구 수준이 더 높아지고 다양화되고 있는 상황에서 고객의 요구 기술력을 적기에 충족시키는 것은 정말 중요합니다. 이를 위해서는 고객의 VOC (Vo ice of Customer)에 귀를 기울이고, 시장을 예측하며 필요한 R 투자를 과감히 지속적으로 실행하는 회사만이 경쟁에서 살아 남을 수 있습니다.

(2) 공급가격 치열한 경쟁 상황하에서 고객이 요구하는 성능의 충족과 동시에 경쟁력 있는 공급가격은 경쟁 우위 확보를 위한 필수 요건입니다. 또한 고객이 만족하는 가격과 성능을 충족시키기 위해서는 지속적인 R 투자와 더불어 Value Chain 상에 있는 가격 영향 요소들을 최적화시키는 다양한 지원활동이 병행되어야 합니다 (부품업체 다원화, 통합 부품화, VE 활동, 혁신활동 등).당사는 국내뿐만 아니라 해외 시장에 있어서도 BOE 등의 중국 굴지의 업계를 대상으로 각 부문 장비 판매를 진행하고 있습니다. 당사는 글로벌 경쟁 구도에서 시장 점유율 확대를 위해서, Concept Design의 변경, 새로운 솔루션 추구에 따른 부품 및 모듈 등의 연구활동을 끊임없이 진행하고 있습니다. 라. 신규 사업 당사는 기존의 광학 설계 및 S/W 처리 기술 등을 응용하여 영상처리 S/W 사업 및 3D Solution 사업분야에 신규투자를 진행하기 위한 기술적인 검토를 진행하고 있습니다. (1) 영상처리 S/W 사업영상처리 S/W 사업은 Vision 광학계를 이용하여 취득한 이미지를 다양한 S/W 알고리즘(Deep Learning포함)을 통해 고객이 필요로 하는 정보로 가공하여 제시하는 사업입니다.당사는 핵심 기술인 고속 영상처리 및 광학 설계 등의 Vision기술을 머신러닝(기계학습)에 접목하여 기존의 검사장비 공급 뿐만 아니라 전문 S/W 분야에 적용하기 위한 검토를 진행하고 있습니다.

국내 인공지능 시장 전망 2019년 ~ 2023년
(단위: 십억)

IT 시장 분석 및 컨설팅 기관인 인터내셔날데이터코퍼레이션코리아 (International Data Corporation Korea Ltd., 이하 한국IDC, https://www.idc.com/kr)는 최근 발간한 '국내 인공지능 2019-2023 시장 전망' 연구 보고서에서 국내 인공지능(AI) 시장이 향후 5년 간 연평균 17.8% 성장하여 2023년 6천 4백억원 이상의 규모를 형성할 것이고 전망하고 있습니다. 시장의 성장을 견인하는 가장 큰 요인은 제품의 품질과 생산성 향상을 위해 제조업 분야에서 영상처리 S/W의 활용이 증가하고 있고, 이를 이용한 서비스도 점차 확대되고 있기 때문입니다. 향후 과거 특정 제조업 분야에서 제품 생산과정의 불량 검출 등 참고용으로 사용되던 검사장비에 영상처리 AI를 접목하여 수요처의 다양한 요구를 충족시킬 수 있는 S/W 를 개발 및 적용할 수 있습니다.국내 시장에서 영상처리 S/W는 아직 시장 진입기이므로 성장 가능성이 높습니다. 또한, 현재 당사가 가지고 있는 영상 처리 및 광학 설계 기술에 축적된 노하우를 활용할 수 있는 범위가 많습니다. 주요 활용 분야 중 영상처리 및 영상인식 분야에 응용하게 되면, 빠른 시간에 시장에서 선도적인 위치를 차지할 수 있을 것이라 예상하고 있으며, 이를 위하여 시장 진출을 위한 기술 개발 및 검토를 진행중에 있습니다.(2) 3D SOLUTION 사업당사는 비접촉 측정기술을 기반으로 한 3D 검사 및 측정장비의 적용범위를 현재 기 적용된 디스플레이, 반도체 WAFER, 자동차 외장 도장면검사에서 PCB, 자동차부품 등의 산업분야로 적용분야를 확대하고자 합니다.

3D Solution 사업은 당사가 기 보유 중인 3D 스캐너 기술 및 검사 기술을 기반으로 3D 영상콘텐츠 제작, 제조업 분야의 역설계와 품질관리, 문화재 형상복원, 의류와 신발 등의 패션/디자인 등 다양한 분야에 적용할 수 있습니다. 특히, 제품의 품질과 생산성 향상을 위해 제조업 분야에서 3D 스캐너의 활용이 증가하고 있으며, 당사의 경우 스마트폰, 태블릿 PC 등에 사용되는 PCB, 자동차부품 등 분야 적용을 위한 검토를 진행하고 있습니다.

당사는 3D Shape, 고광택 대상체를 검사할 수 있는 광학 기술과 결함을 자동으로 구분하는 DCE-3(Defect classification Engine), 검사 영역을 자동으로 보정하는 RAC(Real time ROI Auto Correction) 기반으로 하는 S/W를 개발해 자동차 도장 공정 중 발생하는 도장불량, 핀홀(Pinhole), 덴트(Dent), 스크래치(Scratch) 등을 검출 하는 검사장비를 현장에 적용하고 있으며, 자동차 하부 조립상태를 VISION 기술 및 Deep learning 기술을 적용 다양한 형태 변화에도 최적화 검사가 가능하게 만든 자동차 하부 검사장비와 자동차 외형 프레스 판넬의 크랙을 VISION 기술을 이용하여 측정 및 검사하여 자동차 차체 외형 품질 향상에 기여할 것으로 기대되는 자동차 판넬 검사 시스템등으로 확장해 나가고 있습니다.

향후 3D 스캐닝과 관련된 새로운 사업 기회는 하드웨어보다는 소프트웨어나 관련 서비스에서 더 쉽게 찾을 수 있을 것으로 판단됩니다. 다양한 분야에서 3D 스캐너가 활용됨에 따라 각 적용 분야에 맞는 전문 소프트웨어나 서비스 분야에 새로운 기회를 찾을 수 있을 것으로 기대 됩니다.

당사는 자동차 도장검사, 신발 등에서 기본적인 3D 검사 알고리즘을 구현하고 있으며, 또한 3D solution 사업에서 주로 다루고 있는 3D 스캐너의 기본 특성에 대해 자체 개발을 통한 Know-how를 구축하고 있는 바, 향후 당사의 강점인 비접촉 측정기술 및 광학기술을 바탕으로 3D solution 분야의 다양한 기술개발 및 사업진출이 가능할 것으로 예상됩니다.