동아엘텍 반기보고서 (2021.06)
7. 기타 참고사항

7-1. 각 사업별 산업 현황■ 디스플레이 검사장비 부문

가. 산업의 특성

디스플레이산업에서 노트북과 모니터 제품 등 전통 IT 제품 시장은 성장 정체 혹은 역성장을 보이고 있으나, 빠르게 진화 중인 e생태계 환경에 발맞춰 스마트폰과 태블릿 시장이 꾸준하게 성장하고 있습니다. TV 시장은 신흥국을 중심으로 꾸준히 성장하는 동시에, 대화면으로 영상을 즐기고자 하는 소비자 욕구에 따라 빠르게 대형화되고 있습니다. 또한, Industrial, 자동차용 등 고부가가치 시장도 빠르게 성장할 것으로 기대하고 있습니다.

디스플레이 업계는 경기변동에 민감하게 반응하는 장치산업의 특성을 갖고 있으며, 패널업체들의 설비 투자 확대 및 가동률 조정으로 수요와 공급간 불균형이 주기적으로 반복되고 있습니다.

디스플레이검사장비는 제조장비와는 다르게 직접적인 설비 투자와 어느정도 연관성은 있지만, 보다 디테일한 디스플레이 제품군의 모델, Type, Spec. 등의 변화에 따라 보다 민감하게 작용하여 장비개조, 업그레이드 등으로 신규설비 투자에 버금가는 특징이 있습니다.

나. 산업의 성장성 현재 LCD 및 OLED는 휴대폰용 및 TV용 위주로 공격적인 투자가 이루어 지고 있습니다. 특히 OLED는 최근 휴대폰과TV에서 각광받고 있고 한국의 기술이 아직 중국보다 큰 격차를 이루고 있는데 LG, 삼성에서 투자를 주도하고 있습니다. 그리고 최근 중국 패널 업체들의 공격적인 투자 계획에 따라 중국 디스플레이 장비 시장은 급증할 것으로 기대됩니다. 중국의 경우 방대한 시장과 정부의 적극적 지원에 힘입어 디스플레이 관련 set 산업과 패널 산업의 경우 양적, 질적으로 급성장을 이루고 있으며, 디스플레이 관련 신규투자 또한 중국을 중심으로 진행되고 있는데, 그 규모와 속도면에서 다른 지역을 압도하고 있습니다. BOE, CSOT, Tianma, Visionox등 중국 디스플레이 패널업계의 경우 지속적인 설비 투자를 예정하고 있으며, 기존의s-Si(비정질 실리콘)뿐만 아니라 저온폴리실리콘(LTPS), 옥사이드(산화물), 유기발광다이오드(OLED) 등 한국의 기술을 추격하기 위해 차세대 분야까지 전방위적인 투자가 예상됩니다.

다. 경기변동의 특성

LCD와 OLED 장비산업은 전방산업인 디스플레이제조산업의 설비투자의 영향력이 큰 산업입니다.

디스플레이제조산업의 투자여부에 따라 25~29개월 주기로 경기변동 싸이클이 나타고 있으며 이에따라 디스플레이장비업체의 가동율이 변동되는 특성이 있습니다.

디스플레이검사장비는 부가적으로 보다 디테일한 디스플레이 제품군의 모델, Type, Spec. 등의 변화에 따라 보다 민감하게 작용하여 장비개조, 업그레이드 등 다소 경기변동과는 영향을 받지 않는 경우도 있습니다. 라. 국내외 시장여건

국내 OLED 제조업체로 LG 디스플레이 및 삼성디스플레이가 있으며, 중국에 Tianma, BOE, CSOT, Visionox 등이 있고 아직 TV용은 LG 디스플레이가 독주하고 있고 모바일용은 삼성디스플레이가 독주하고 있습니다. 최근 차량용 OLED의 경우는 엘지디스플레이 가 많은 시장점유율을 가지고 있습니다. 당사는 TFT LCD/OLED 모듈공정에서 후공정 장비 및 Q.A 부서에 납품하고 있습니다. 일단 공정장비의 특수성이 있어서 삼성디스플레이 보다는 LG디스플레이에 주로 납품하고 있어 시장확대가 힘들 수 있으나, 반대로 삼성전자에 납품하는 동종업체도 LG 에 납품하기 힘든 역학 구조로 되어 있어 긍정적인 요소도 있습니다.

최근 중국시장 확대로 BOE (B9, B10, B11,B11,B12, B17), Tianma, Visionox 등 업체에도 장비를 납품하고 있으며 CSOT등 다양한 중국업체에 납품예상 하고 있습니다.

최근 당사에서는 75”이상 및 중소형 OLED의 Inline형태 (자동검사 포함)의 검사장비에 특화된 기술로 집약된 장비를 고객에게 납품을 하고 있으며 향후 많은 수주가 예상됩니다.

향후 중국정부의 경제정책으로 BOE등 다양한 업체들의 신규공장이 설립될 예정이며, 당사에서는 꾸준히 모니터링/정보수집/관계형성 등 밀착영업 활동을 하고 있습니다.

마. 경쟁요소

과거 당사의 장비가 TFT LCD Aging 및 검사장비이였으나 원가 및 기술 평준화로 인해 Aging장비는 감소되고 점점 고부가 TFT LCD 및 OLED 검사 장비쪽으로 납품군이 변화하고 있습니다. 검사장비는 TFT LCD 및 OLED제조업체의 모듈 후공정에서 제품의 최종적인 불량 검출 및 신뢰성 향상에 사용되는 장비로서, 검사기법이나 개선제안에 따라 Tact Time 및 수율에 영향을 끼치기 때문에 업체간 보안에 상당히 민감한 부분이 있습니다.

TFT LCD 및 OLED 검사장비는 무엇보다도 제품 특성을 잘 이해해야 되고 전기적으로 민감한 부분들을 철저하게 파악해야 됩니다. 수많은 시행착오를 거쳐서 검사관련 기술 노하우를 축적해야 되며 고객의 입장에서는 기술적 보안사항을

중시하기 때문에 중대한 사항이 발생하기 전까지 쉽게 Vendor를 변경하지 않는 특성이 있습니다. 따라서 시장진입장벽은 매우 높지만, 한번 진입하면 쉽게 경쟁업체가 진입하기도 쉽지 않습니다. 바. 회사의 현황

당사의 주력제품은 디스플레이장비중에서도 LCD검사장비와 OLED검사장비가 주력제품입니다.

1987년 설립이래 TFT LCD 검사기를 LG와 삼성에 납품하여 왔으며, 지속적인 기술개발을 통해 디스플레이산업 초창기 수입에 의존하던 검사장비들을 국산화에 성공하여 한국디스플레이산업의 발전에 일익을 담당하였습니다.

그 동안 국내시장에서 검정된 기술력으로 중국시장 등으로 진출에 성공, 매출처를 다각화함으로써 안정된 수익성을 확보 하였으며 세계적인 디스플레이장비업체로 도약할 수 있는 발판을 마련하였습니다.

또한 2009년 3월 OLED증착장비 제조업체인 (주)선익시스템을 인수하여 차세디스플레이로 조명을 받고 있는 OLED장비시장에도 진출하여 새로운 성장동력을 확보 하였으며, 전,후공정핵심장비를 모두 생산할 수 있는 일관생산능력을 갖춤으로써 경쟁력을 더욱 강화하였습니다. 최근 LCD 검사장비 투자감소 등 글로벌 위기에도 불구하고, 특히 OLED의 성장과 더불어 OLED 검사장비의 공급도 꾸준히 늘어나 지속적인 성장이 예상되고 있습니다.

최근 Mini/Mirco LED 검사장비의 투자도 조금씩 나오고 있으며 다양한 어플리케이션 쪽으로 당사의 검사장비가 공급될 것이라 예상됩니다.

■ OLED제조장비부문

1) 산업의 개요 OLED는 Organic Light-Emitting Diode 약어로 유기물질을 활용해 자체적으로 빛을발광하는 디스플레이로서 2000년 초반부터 개발되기시작하면서 2016년부터 본격적으로 성장하고있습니다.한국디스플레이산업협회 자료에 따르면 전세계 디스플레이 시장은 2020년 1,155억$에서 2026년 1,390억$로 꾸준히 성장하며 이중 OLED 디스플레이 비중은 23.0%에서 34.4%까지 확대되며 전체 시장보다 큰 성장세를 보일 것으로 전망됩니다. 이런 추세는 메타버스(Metaverse)와 같은 AR/VR 등 증강현실 산업의 성장, 폴더블디스플레이, 롤러블 디스플레이 등 전자기기 폼팩터 변화의 흐름이 가속화 될 수록 더 확대 될 수 있습니다.

2) 산업의 특성 OLED 디스플레이 장비산업은 전방산업인 OLED 디스플레이 산업에 절대적인 영향을 받고 있습니다. OLED 디스플레이 산업은 기술변화와 제품변화의 속도가 매우 빠르며 패널업체의 기술변화에 대응할 수 있도록 새로운 공정에 맞는 기술 제공이 지속적으로 요구됩니다.

이러한 산업적 특성으로 인하여 디스플레이 패널 생산 산업은 수급상황에 따른 주기적 변동을 겪어 왔습니다. '신제품 개발 → 양산 투자 및 출시→ 지속적인 투자 및 설비 증설을 통한 대량 생산 → 원가 절감 및 기술개발 → 가격하락 → 수요 증가 → 생산량 확대 → 보급률 확대 → 신제품 매력 감소'의 형태로 사이클을 형성하며 성장하고 있습니다. 디스플레이 산업의 변화를 살펴보면 과거 CRT - 평면 브라운관 - PDP - LCD - LED - OLED 까지 기술 변화에 따른 주력제품의 변화가 활발하게 이루어지면서, 관련 업체들도 함께 성장해 나가고 있습니다.

특히, OLED 디스플레이산업은 연구개발비 투자와 함께 장기간에 걸친 기술개발을 필요로 하는 고도의 기술집약적 산업입니다. 또한 수직계열화가 이루어져 있어 세트업체, 패널업체, 장비업체 등과 오랜 관계를 통해 얻는 노하우와 기술이 필요하므로 비교적 높은 진입장벽을 가지고 있습니다.

OLED를 비롯한 디스플레이 산업은 생산제품이 규격화, 정형화되어 있어 소품종 대량 생산이 용이하고, 기술 및 대규모 자본이 소요되는 기술 및 자본집약적 대규모 장치 산업으로서 대규모의 초기 설비투자와 안정적인 수급구조 확보가 필수적입니다. 이에 따라 신규기업의 시장진입이 어려운 특징을 가지고 있습니다.

3) 산업의 성장성 2 021년에도 주요 스마트폰 제조 업체의 출하량 증가를 통해 OLED 성장세가 이어질 것으로 보이며 시장에서의 OLED침투율도 2016년 23%에서 2021년 39%까지 꾸준히 상승할 것으로 전망되고 있습니다.

코로나19로 인한 언택트 소비 문화 확산으로 가상현실(VR), 증강현실(AR), 혼합현실(MR)의 서비스가 비대면 환경에서의 수요가 높을 것으로 전망하고 있습니다. AR, VR, MR의 기술적으로 가장 중요한 요소는 이미지를 투사하는 마이크로 디스플레이 입니다. 현재 다양한 종류의 디스플레이가 사용되고 있지만, 픽셀크기(2000ppi 이상), 초고화질, 저전력, 우수한 응답속도 및 명함비, 소형화 등에 OLEDoS(OLED-on-Silicon)이 가장 우수하여 최근 AR, VR기기에 OLEDoS 채택이 늘어나고 있습니다.

4) 경기변동의 특성

OLED 증착장비는 OLED 디스플레이 패널 제조 산업의 후방산업으로서, 각 패널업체의 OLED 패널 투자계획에 따라 장비 수요는 변동하게 됩니다. 패널 업체의 투자시기에는 수주와 매출이 집중되고 투자 비수기에는 차세대 기술개발에 집중해야 하는 경기변동의 폭이 큰 산업입니다. 이처럼 OLED 패널 제조업체들의 수주에 따라 증착장비 수주 및 매출 등이 결정되므로 수주 실적 또는 제작의 계절성은 미미한 수준입니다.

일반적 디스플레이 산업의 경우 기술 및 특정 세대가 주기적으로 교체 발전 되면서 수급상황에 따른 호황과 불황이 반복되는 특성이 있으나, OLED 디스플레이 산업은 본격적인 성장단계에 진입한 산업으로서 특정 세대가 주기적으로 반복되기 보다는 고객사 투자 현황에 따르면 현재 양산되고 있는 6GH 및 8G 급 패널 양산이 향후에도지속될 것으로 예상 됩니다. 더불어 패널 양산을 위한 물질 개발 및 Test, 마이크로 디스플레이를 적용한 AR/VR 제품의 상용화 등으로 중.소형 장비 수요와 저해상도의 PMOLED 제품을 위한 중형급 장비 수요도 당분간 지속 될 것으로 예상 됩니다

OLED 패널의 대형화 및 Flexible OLED에 적용될 신기술 및 생산 방식의 변화는 OLED 패널 제조의 패러다임을 변화시킬 수 있기 때문에, OLED 패널 제작 장비에 대한기술 혁신에 따라 제품의 라이프사이클은 기존보다 빨라질 수 있을 것으로 판단됩니다.

5) 경쟁요소 OLED 디스플레이 장비 시장은 세계 몇몇 업체가 경쟁을 하고 있지만, 각 장비당 경쟁사는 2∼ 3개로 압축되고 있으며, 신규업체의 경우 기존 업체들에비해 현장에서의 입증된 신뢰성 확보가 어렵기 때문에 시장진입이 매우 어려운 특징을 갖고 있습니다. OLED 디스플레이 장비 시장은 사전 양산 검증 받은 업체 위주로 수주가 집중되고 있습니다. 또한 기술력, 적기 생산능력, 원자재 확보능력, 생산 등의 인프라가 구축된장비업체가 지속적으로 점유율을 확보할 것으로 전망하고 있습니다.

6) 회사의 현황 6)-1. 영업개황

당사는 소형 OLED 증착기 시장에서 독보적인 전세계 M/S 1위 업체로서 지위를 확고하게 유지하고 있습니다. 이와 함께 마이크로 디스플레이용 OLEDoS 증착기 시장에서 300mm 웨이퍼 양산장비를 생산한 유일한 업체로 이 시장의 선두로 자리 매김 하는 중입니다.

대형 OLED 증착기 시장에서도 시장 점유율 확대를 위한 연구개발 및 영업활동을 강화하고 있으며 이 과정에서 최고 기술경쟁력을 인정받아 산업통상자원부에서 추진하는 '소부장 으뜸기업'으로 선정되었으며 지속가능한 성장에 중점을 두고 지원정책을 활용하고 성공적인 개발을 위하여 최선을 다하는 중입니다.

6)-2. 시장특성 및 점유율OLED 패널을 위한 대형 증착기의 경우 전세계적으로 양산 공급하는 업체는 일본 Canon Tokki 와 당사입니다. 당사는 2013년 개발성공을 시작으로 2016년 국내 고객사에 양산공급하여, 일본 Canon Tokki사의 독점적 시장구조를 타파한 바 있습니다. 객관적인 국내 시장점유율 자료가 존재하지 않아 기재를 생략합니다.기타 R, 물질공급용 및 준 양산을 위한 중.소형 증착기의 경우는 산업의 성장과 더불어 약 2~3년 전부터 국내 및 해외 로컬업체들이 증착기 공급을 시도 하고 있지만, 당사의 시장점유율은 약 80% 이상으로 추정 됩니다.

6)-3. 신규사업 등의 내용 및 전망

4차 산업혁명시대 도래 및 코로나 19 장기화로 인해, 스마트팩토리, 헬스케어, 자율주행, 홈네트워크, 원격 근무의 다양한 새로운 ICT 융합서비스가 제공되고 있습니다.이 기술들의 핵심은 다양한 디지털 정보를 해상도가 높고 보다 큰 디스플레이를 통해상호 주고 받는 것이라 할 수 있습니다. 따라서 향후 고해상도 OLED를 양산하기 위해서는 설비 대형화가 필수적입니다. 이에따라 당사는 당사의 특허기술인 새로운 하이브리드형 RGB 증착기 공법을 적용하여 혁신적 마스크 제작 공법, 물류 방식 등을 개발할 예정입니다. 이를 통해 양산을염두한 투자비 절감과 공정 단순화, 기술 확장성 등 글로벌 시장에서의 경쟁력 확보가 가능할 것으로 전망하고 있습니다. 당사는 당분간 현재 장비의 신규 수요가 지속 될 것으로 현재 제조 및 판매하고 있는장비의 기술 등을 점진적으로 발전 시켜 지속적으로 OLED 증착 장비 시장에서 점유율을 높여갈 목표를 최우선적으로 하고 있습니다. 또한 현 OLED 증착장비와 더불어차세대 증착장비 개발을 위해 전주도금마스크 대응용 증착장비 R 진행하고 있습니다.

또한, 당사의 OLED 증착장비의 증착기술을 접목할 수 있는 신규사업으로 광학 박막코팅용 반응성 스퍼터를 개발 추진하고 있습니다. 본 스퍼터 장비는 현재 광학 박막 코팅용 E-Beam evaporator를 대체할 수 있는 장비로 저온공정으로 박막 코팅이 가능합니다.

■신기술사업금융업 부문

가. 신기술사업금융의 개념 신기술사업금융업은 장래성이 있지만 자본과 경영기반이 취약한 기업 및 리스크가 높아 투자가 잘 이루어지지 않는 분야를 전문투자가의 안목으로 발굴하여 지분참여를 중심으로 기업주와 공동으로 위험을 부담하면서 자금관리, 경영관리, 기술지도 등종합적인 지원을 제공함으로써 높은 자본이득을 추구하는 금융활동으로서 일반적으로 벤처캐피탈(VentureCapital)로 알려진 위험부담자본을 운용하는 금융활동을 의미합니다.

여신전문금융업법상 신기술금융은 신기술사업자에 대한 투자·융자, 경영 및 기술의지도, 신기술사업투자조합의 설립, 신기술사업투자조합 자금의 관리·운용을 종합적으로 행하는 활동입니다. 나. 신기술사업금융업무의 영역 (1) 업무의 종류 : 주업무와 부대업무로 구분됨 - 주업무 (신기술사업금융업자만 수행 : 여신전문금융업법 제41조) · 신기술사업자에 대한 투자 · 신기술사업자에 대한 융자 · 신기술사업투자조합의 설립, 조합자금의 관리·운용 · 신기술사업자에 대한 경영 및 기술의 지도 - 부대업무 (타 여신전문금융업자와 동일한 차원에서 부대적으로 수행 : 여신전 문금융업법 제46조 제1항, 시행령 제16조) · 신용대출 또는 담보대출 업무(기업 및 소비자대상) · 어음할인업무(융통어음포함) · 기업이 물품 및 용역의 제공에 의하여 취득한 매출채권의 양수·관리·회수업 무 (팩토링) · 위의 주업무 및 부대업무와 관련된 신용조사 및 부수업무 · 지급보증 · 타 여신전문금융회사 및 겸영여신업자가 보유한 채권 또는 이를 근거로

하여 발행한 유가증권의 매입업무 (2) 주업무의 대상(신기술사업자의 범위) - 기술을 개발하거나 이를 응용하여 사업화하는 중소기업 - 다음의 '신기술사업'을 영위하는 중소기업 · 제품개발 및 공정개발을 위한 연구사업 · 연구개발의 성과를 기업화.제품화하는 사업 · 기술도입 및 도입기술의 소화개량사업 · 중소기업창업지원법시행령 제29조 및 동령 별표 2에 규정된 기술집약

형 중소기업에 속하는 사업 · 기타 생산성향상, 품질향상, 제조원가절감, 에너지절약등 현저한 경제적

성과를 올릴 수 있는 기술을 개발 또는 응용하여 기업화.제품화하는 사업 - 대통령령이 정하는 기업 · 위의 신기술사업을 영위하는 기업으로서 상시 사용하는 종업원이 1천명

이하이고, 총자산액이 1천억원 이하인 기업 - 산업기술연구조합육성법에 의한 산업기술연구조합 다. 산업의 특성

여신전문금융업상 여신전문금융회사가 영위할 수 있는 사업부문은 신용카드업ㆍ할부금융업ㆍ시설대여업ㆍ신기술사업금융업이 있으며, 당사가 영위하고 있는 신기술사업금융업은 기술성과 사업성은 있으나 자본과 경영기반이 취약한 중소신기술사업자에 대하여 직접적인 투ㆍ융자 뿐만 아니라 회사에 대한 전반적인 경영지원 등 종합적 지원을 제공하고 높은 자본이득을 얻고자 하는 금융활동을 말합니다.

신기술사업금융업자의 투자업무는 기술력이 우수한 중소 벤처기업을 발굴하고 자본을 출자하는 주식인수가 일반적이나, 투자위험 분산을 위해 전환사채, 신주인수권부사채 등의 인수방식을 취하기도 하며, 이 밖에 신기술사업자에 대한 자체자금 융자, 정부지원 정책자금 지원 및 어음할인 등의 업무를 취급하고 있습니다.

라. 산업의 성장성 신기술사업금융업은 신기술사업자에 투자한 주식의 매각에 따른 자본이득이 회사수익의 상당부분을 차지하므로 중소벤처기업의 주식이 거래소시장에 상장 또는 협회중개시장에 등록되어 거래될 수 있는 자본시장의 발전 및 성숙이 그 성장의 필수요건입니다. 따라서 대부분의 국가에서는 자본시장을 통한 중소벤처기업 주식 거래의 활성화를 지원하기 위해 중소벤처기업 상장 및 등록요건을 일반기업보다 완화하고 중소 벤처기업에 대한 각종 세제지원 제도를 갖추고 있습니다. 마. 경기변동의 특성

신기술사업금융업자는 신기술사업자인 중소벤처기업이 거래소시장이나 코스닥시장에 상장됨에 따라 발생하는 매각이익이 회사수익의 상당부분을 차지하므로 우리나라의 전반적인 경기변동에 따른 증시환경이 회사의 영업수익에 크게 영향을 미칩니다. 바. 자원조달상의 특성자금조달의 방법은 자본금의 증자, 투자조합결성, 회사채발행, 정책자금차입, 해외자본의 도입 등 다양한 자금조달원을 갖고 있으며 업종 특성상 차입금보다는 자기자금조달, 단기차입금보다 장기차입금이 주를 이루고 있습니다. 또한 벤처금융의 일반화 및 유망분야별 투자활성화에 따라 투자조합결성을 통한 자금조달이 증가하고 있는 추세입니다.

사. 경쟁요소국내 중소 벤처기업에 대한 투자업무는 여신전문금융업법상의 신기술사업금융업자와 중소기업창업지원법상의 창업투자회사로 2원화 되어 있으며, 신기술사업금융업자는 당사를 포함하여 나우아이비캐피탈(주), 삼성벤처투자(주) 및 아이비케이캐피탈(주) 등 약 59개 업체가 있습니다. (여신협회 회원사 등록 기준, 2020년말)

(아) 관련법령 및 정부의 규제 및 지원

구 분	내 역

설립근거	여신전문금융업법

관할기관	금융감독위원회

설립요건	등록사항 - 상법상 주식회사, 납입자본금 100억원 이상

지원대상	신기술사업자

행위 제한	- 업무용부동산 투자 : 자기자본의 100% 이내 - 대주주에 대한 신용공여 : 자기자본의 50% 이내 - 신기술사업자에 대한 융자 : 연간투자액의 15배 이내 - 자기자본 대비 총자산 한도 : 자기자본의 10배 이내
-대주주가 발행한 주식의 소유한도 : 자기자본의 150%이내

7-2. 그밖에 투자의사 결정에 필요한 사항(1) 지적재산권 보유 현황- 디스플레이 검사장비부문>

종 류	명 칭	취득일

특허	액정표시 모듈 에이징 시험 시스템 및 그시험 방법	2002.09.26

특허	액정표시모듈 시험을 위한 팔레트 장치	2002.09.26

특허	무선통신을 이용한 액정표시모듈 시험용 시스템	2004.07.22

특허	오류감시장치 및 이를 운용하는 방범	2005.06.28

특허	LCD 모듈의 백라이트 시험장치 및 방법	2005.06.23

특허	엘시디 모듈의 디브이아이 시험장치 및 시험방법	2005.06.23

특허	음질측정장치	2005.06.23

특허	액정표시모듈의 에이징 시험장치	2005.07.08

특허	중계 선로를 시험하는 방법, 장치 및 시스템	2006.06.08

특허	무인국사 원격제어장치	2006.03.13

특허	유기 E L 소자 에이징 시험장치	2006.03.13

특허	엘시디 모듈의 동영상 에이징 시험장치 및 방법	2006.07.28

특허	차등신호 전송시스템에서의 전송선로 불량검출 장치 및 방법	2006.09.07

특허	이중시험 화면 출력기능을 이용한 TFT-LCD모듈 시험장치 및 방법	2007.06.20

특허	소팅바식 점등검사용 접촉유니트	2007.11.23

특허	디스플레이장치를 위한 패턴 편집방법	2007.12.05

특허	디스플레이장치를 위한 패턴 생성방법	2008.06.13

특허	엘씨디 화상 검사장치	2008.01.10

특허	엘씨디 화상 검사장치의 엘씨디 고정구	2008.01.10

특허	엘씨디 화상 검사장치의 엘씨디 거치대	2008.01.10

특허	패턴제너레이터의 신호 인터페이스 장치	2009.03.19

특허	디스플레이장치를 의한 패턴생성장치	2008.06.13

특허	엘씨디 모듈의 샘플링 검사장치	2010.01.29

특허	윤곽선 검출을 위한 대각선 스캔방법	2012.12.28

특허	디스플레이 모듈 에이징 시스템의 통신 네트워크 구조	2013.03.27

특허	자동 인라인 에이징 시스템의 실시간 통신 네트워크 구조	2013.08.29

특허	에너지 하베스팅을 이용한 무전원 방식의 무선 비상콜 시스템	2016.03.02

- OLED 제조장비부문>

종 류	명 칭	취득일

특허	챔버의 도어 개폐장치	2014-06-11

특허	도가니 오염 방지를 위한 유기물 증착 소스 장치	2014-06-17

특허	폭 조절이 가능한 트림 쉴드(trim shield)가 구비된 진공 증착 장비	2014-06-17

특허	링크구조를 활용한 도어 개폐장치	2014-06-17

특허	스프링을 이용한 기판 충격 방지 장치	2014-06-17

특허	기판 정렬장치의 샤프트 위치제어 구조	2014-06-17

특허	증발원 및 이를 구비한 증착 장치	2014-07-01

특허	증발원 및 이를 구비한 증착 장치	2014-07-01

특허	증발원 및 이를 구비한 증착장치	2014-07-01

특허	기판 얼라인 모듈과 이를 구비한 증착장치	2014-07-01

특허	고진공 챔버 내에서의 기판 가열장치, 이를 포함한 기판얼라인 장치 및 원적외선을 이용한 가열장치	2014-07-02

특허	공정 중 도가니의 교체가 가능한 하향식 증발원 및 이를 구비하는 박막 증착장치	2014-07-02

특허	OLED 증착 장비의 개폐장치	2014-07-02

특허	기판의 수동 이동 장치	2014-07-02

특허	증발원 및 이를 구비한 증착장치	2014-07-02

특허	이중조립 볼트 및 이를 구비하는 셀 조립체	2014-07-02

특허	기판 상하역장치 및 인라인 증착 시스템	2014-07-02

특허	롤러의 처짐 방지를 위한 기판 이송 장치	2014-07-02

특허	예비 챔버가 구비된 박막 증착장치	2014-07-09

특허	기판 냉각장치 및 이를 포함한 합착장치	2014-07-10

특허	선형 증발원의 원료공급장치 및 이를 구비하는 박막 증착장치	2014-07-15

특허	기판보관용 챔버	2014-07-15

특허	믹싱 영역이 포함된 선형 증발원	2014-07-17

특허	가용성 OLED 제작을 위한 봉지용 식각 마스크 및 그 봉지방법	2014-07-17

특허	동력 연장롤러의 회전 속도 유지를 위한 기판 이송 장치	2014-07-17

특허	유기물 피딩 장치	2014-08-13

특허	인라인(In-line) 증착장비에서의 막 두꼐 측정장치 및 그 측정방법	2014-08-22

특허	기판 이송 장치 및 기판 이송 방법	2014-08-22

특허	증착장치	2014-08-26

특허	열선 열처리 장치	2014-08-27

특허	센서 오염방지용 쉴드가 구비된 증착막 두께 측정장치	2014-09-24

특허	선형 기판 처리시스템에서의 동력전달장치	2014-09-26

특허	증착 장치	2014-10-02

특허	유기 발광 다이오드 제조공정용 금속재료 공급장치	2014-10-02

특허	기판보관 챔버용 카세트 이송장치	2014-10-02

특허	증착챔버의 센서 이동장치	2014-10-02

특허	열 변형을 최소화하는 노즐 쉴드	2014-10-08

특허	유기물 증착 장치 및 이를 이용한 유기물 증착 방법	2014-10-21

특허	기판의 얼라인 장치 및 방법	2014-10-21

특허	박막증착장치	2014-10-23

특허	기판 이송체 교환장치	2014-10-23

특허	실시간 증발량 확인이 가능한 박막 증착장치	2014-10-23

특허	증착물질 공급장치의 셔터 처짐 방지장치	2014-10-23

특허	냉각쉴드를 갖는 증착 소스 장치	2014-10-23

특허	기판 처리 장치의 턴 챔버	2014-10-23

특허	증발원용 도가니 및 이를 구비한 증착장치	2014-10-24

특허	증발원 가열 장치	2014-10-24

특허	증착장치용 증발원 및 이를 구비하는 증착장치	2014-10-24

특허	기판의 클램핑 장치	2014-10-24

특허	증발물질 공급장치	2014-10-24

특허	인라인 증착 시스템 및 인라인 증착 방법	2014-10-24

특허	기판처짐 방지 장치	2014-10-24

특허	다중 분사판이 구비된 도가니	2014-12-05