eddmpython/dartlab-data huggingface dataset:
유진테크 분기보고서 (2021.03)
분 기 보 고 서

(제 22 기 1분기)

사업연도 2021년 01월 01일 부터
2021년 03월 31일 까지

금융위원회
한국거래소 귀중 2021년 05월 11일

제출대상법인 유형 : 주권상장법인
면제사유발생 : 해당사항 없음

회 사 명 : (주) 유진테크
대 표 이 사 : 엄 평 용
본 점 소 재 지 : 경기도 용인시 처인구 양지면 추계로 42
(전 화) 031-323-5700
(홈페이지) http://www.eugenetech.co.kr
작 성 책 임 자 : (직 책) 이사 (성 명) 고재형
(전 화) 031-323-5700
1. 회사의 개요

가. 연결대상 종속회사 개황(연결재무제표를 작성하는 주권상장법인이 사업보고서, 분기ㆍ반기보고서를 제출하는 경우에 한함)

(단위 : 백만원)

상호	설립일	주소	주요사업	최근사업연도말자산총액	지배관계 근거	주요종속회사 여부

Eugenus Inc(*)	2009.1.13	677 River Oaks Parkway, San Jose, CA 95134 USA	반도체장비 제조	54,678	100%	여

(주)이지티엠(**)	2012.3.6	경기 수원시 영통구 신원로 304, 3동 303호	반도체용 산업가스의 제조, 정제 및 판매업 반도체 전공정 소재의 제조	27,086	45%	부

유진태극무역(무석)유한공사	2013.9.17	33-2-101-16 xinda road, xinwu district, IC design building A116, 214028 WUXI Xinwu, P.R.C	반도체장비 유지보수, 반도체장비 수입, 수출	97	100%	부

※ 주요종속 회사여부 판단기준 : (1) 직전연도 자산총액이 지배회사 자산총액의 10% 이상인 종속회사

(2) 직전연도 자산총액이 750억원 이상인 종속회사

(*) Eugenus Inc는 반도체장비 사업영역확대 및 경쟁력 강화를 위하여 美 Aixtron Inc의 반도체장비 중 원자층증착장비(ALD)/화학기상증착장비(CVD) 사업부문을 양수하였습니다.(**) 당 사는 2012년 3월 반도체용 산업가스의 충전, 제조, 정제 및 판매, 화학제품의 제조 및 판매를 사업목적으로 하는 (주)유진테크 머티리얼즈 설립시 자본참여를 하였습니다. 동사에 대한 당사 및 당사의 특수관계인 지분율이 80%이므로 실질지배력을 보유하고 있다고 판단됩니다. 2020년 12월 사명을 (주)이지티엠으로 변경하였습니다.

나. 연결대상회사의 변동내용

구 분	자회사	사 유

신규연결	-	-

-	-

연결제외	-	-

-	-

※ 해당사항이 없습니다.

다. 회사의 법적, 상업적 명칭 당사의 명칭은 '주식회사 유진테크'라고 표기합니다. 또한 영문으로는 Eugene Technology Co.,Ltd.라 표기합니다. 단, 약식으로 표기할 경우에는 (주)유진테크, Eugenetech 및 Eugene Technology라고 표기 합니다. 라. 설립일자 및 존속기간 2000년 1월 5일에 당사는 반도체장비의 제조, 판매 등을 주 영업목적으로 설립되었으며, 2006년 1월 17일 코스닥시장에 상장되어 매매가 개시되었습니다.

마. 회사의 주권상장(또는 등록ㆍ지정)여부 및 특례상장에 관한 사항

주권상장(또는 등록ㆍ지정)여부	주권상장(또는 등록ㆍ지정)일자	특례상장 등여부	특례상장 등적용법규

코스닥시장	2006년 01월 17일	-	-

바. 본사의 주소, 전화번호 및 홈페이지 주 소 : 경기도 용인시 처인구 양지면 추계로 42전 화 : 031-323-5700(代)홈페이지 : http://www.eugenetech.co.kr 사. 중소기업 해당여부 당사는 본 보고서 작성기준일 현재 중소기업기본법 제2조에 의한 중소기업에 해당하지 않습니다. 다만, 중견기업 성장촉진 및 경쟁력 강화에 관한 특별법 제2조 제1호에 의한 중견기업에 해당합니다.

아. 주요사업의 내용

반도체 공정은 반도체 회로 설계, 웨이퍼 제조 등 반도체 제조를 위한 준비단계부터 웨이퍼를 가공하여 칩을 만드는 전공정, 조립을 위한 후공정, 검사를 위한 테스트공정으로 나누어 분류합니다. 이 중에서 당사는 전공정단계에서 "박막(Thin Film)형성" 공정에 필요한 장비를 개발하고 있습니다. 주력제품으로 개발 중이거나 개발이 완료된 장비는 반응가스간의 화학적반응으로 형성된 입자를 웨이퍼 표면에 증착하여 절연막이나 전도성 박막을 형성하는 장비로 Single Thermal LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition) System인 BlueJay™가 있습니다. 이 외에도 Plasma Treatment System인 Albatross™을 개발하여 국내 소자업체에 공급하였으며, Batch type ALD(Atomic Layer Deposion) System인 Harrier™을 개발하고 있습니다. 기타 자세한 사항은 동 보고서의 'II. 사업의 내용'을 참조하시기 바랍니다.

자. 회사가 영위하는 목적사업

목 적 사 업	비 고

1. 반도체장비, 부품제조, 판매 및 수출입업2. 반도체장비, 부품유지보수업3. 부동산 임대업4. 위 각 호에 관련된 부대 사업 일체5. 반도체용 산업가스 제조, 판매6. 화학제품의 제조, 판매	현재 회사가 영위하고 있는 사업

차. 종속회사에 관한 사항

상장 여부	종속기업명	소재지	주요영업활동

비상장	Eugenus Inc	미국	반도체장비 제조

비상장	(주)이지티엠	한국	반도체용 산업가스의 제조, 정제 및 판매업 반도체 전공정 소재의 제조

비상장	유진태극무역(무석)유한공사	중국	반도체 장비 유지보수, 판매

카. 신용평가에 관한 사항(평가기관 : 이크레더블)

결산기준일	정기평가

평가일	신용등급

2020.12.31	2021. 04.25	A+

2019.12.31	2020. 04.11	A+

2018.12.31	2019. 04.22	A+
2. 회사의 연혁

공시대상기간(최근5사업연도) 중 회사의 주된 변동내용은 다음과 같습니다. 가. 회사의 연혁

2016년 3월	서울사무소 개소

2016년 5월	삼성전자와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2016년 7월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2016년 9월	Winbond Electronics Corporation과 반도체 제조장비 공급계약 체결

2016년 10월	삼성전자, Samsung Austin Semiconductor와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2017년 2월	2016년 코스닥시장 공시우수법인 선정

2017년 5월	종속회사인 Eugene Technology Inc가 美 Aixtron Inc의 반도체용 장비 중 원자층증착장비(ALD)/화학기상증착장비(CVD) 사업부문 영업양수 계약

2017년 6월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2017년 8월	지식재산 경영인증 (유효기간 2017.08.07~2020.08.07 특허청장)

2017년 8월	삼성전자와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2017년 9월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2017년 10월	산업통상자원부 '제10회 반도체의 날' 반도체 산업발전 정부포상 - 동탑산업훈장 수상

2017년 11월	종속회사인 Eugenus Inc(변경전: Eugene Technology Inc.)가 美 Aixtron Inc의 원자층증착장비(ALD)/화학기상증착장비(CVD) 사업부문 영업양수

2018년 1월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2018년 3월	2018년 경기도 성실납세자 선정

2018년 4월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2018년 4월	삼성전자와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2018년 5월	SK하이닉스중국법인과 반도체 제조장비 공급계약 체결

2018년 6월	삼성전자와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2018년 8월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2018년 9월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2018년 10월	호법사업장 보세공장 특허취득

2018년 11월	호법사업장 신관동 신축 완료 (건축면적 9,842.9㎡)

2018년 11월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2018년 12월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2019년 2월	대만 Macronix International와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2019년 3월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2019년 4월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2019년 4월	본관동 증축 2,072.65㎡ (경기도 이천시 호법면 이섭대천로 28)

2019년 6월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2019년 7월	대만 Micron Memory Taiwan Co.,Ltd.와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2019년 8월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2019년 10월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2019년 12월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2020년 2월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2020년 3월	일본 Micron Memory Japan, G.K 와 반도체 제조장비 공급계약 체결 대만 Micron Memory Taiwan Co.,Ltd.와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2020년 5월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2020년 5월	삼성전자와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2020년 6월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2020년 9월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2020년 11월	삼성전자와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2020년 11월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2020년 12월	삼성전자와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2020년 12월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2021년 1월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2021년 2월	삼성전자와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2021년 3월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2021년 4월	삼성전자와 반도체 제조장비 공급계약 체결

2021년 4월	SK하이닉스와 반도체 제조장비 공급계약 체결

나. 회사의 본점소재지 및 그 변경 (1) 본점소재지의 변동

변동일	본점 소재지

2000년 01월	경기도 군포시 당동 39-3 신라테크노빌 602호

2002년 05월	충남 천안시 차암동 4-3

2005년 08월	경기도 용인시 처인구 양지면 추계로 42

(2) 생산설비의 변동

변동일	내용

2005년 08월	경기도 용인시 처인구 양지면 추계리에 본사 및 공장 신축-토지면적 (13,583㎡), 건평 (3,262.78㎡)

2010년 07월	공장 증축 181.76㎡ (연면적 4,062㎡)

2011년 05월	사무동 신축 (양지면 추계리 공장 內)*연면적 2,532㎡로 지하1층/지상2층 규모로 준공(누적연면적 6,804㎡)

2014년 03월	제조시설 이전-경기도 이천시 호법면 이섭대천로 28-토지면적 (41,175㎡), 건평 (3,574.22㎡)-연면적 7,350.69㎡, 지하1층/지상2층 규모로 준공

2015년 1월	양지면 추계리 공장 內
창고동 일부 멸실 209㎡ → 105.94㎡
위험물저장 및 처리시설 신축 91.8㎡

2017년 7월	양지면 추계리 공장 內
창고동 일부 멸실 105.94㎡ → 81.74㎡

2018년 11월	신관동 신축 (경기도 이천시 호법면 이섭대천로 28)- 건평 (3,612.14㎡), 연면적 9,842.90㎡, 지하1층/지상3층 규모로 준공

2019년 4월	본관동 증축 2,072.65㎡ (경기도 이천시 호법면 이섭대천로 28)

다. 경영진의 중요한 변동(대표이사를 포함한 1/3이상 변동) 당사는 2000년 1월 현 엄평용 대표이사가 취임한 이후 대표이사의 변동은 없습니다. 라. 최대주주의 변동 해당사항 없습니다. 마. 상호의 변경 해당사항 없습니다.

바. 회사가 화의, 회사정리절차 그 밖에 이에 준하는 절차를 밟은 적이 있거나 현재 진행중인 경우 그 내용과 결과 해당사항 없습니다.

사. 회사가 합병등을 한 경우 그 내용 해당사항 없습니다.

아. 회사의 업종 또는 주된 사업의 변화 해당사항 없습니다.

자. 그 밖에 경영활동과 관련된 중요한 사항의 발생내용

해당사항 없습니다.
3. 자본금 변동사항

2021년 3월 31일 기준 자본금은 11,458,021,000원으로 발행주식총수는 22,916,042주이며 액면가는 500원 입니다.

증자(감자)현황

(기준일 : 2021년 03월 31일 ) (단위 : 원, 주)

주식발행(감소)일자	발행(감소)형태	발행(감소)한 주식의 내용

주식의 종류	수량	주당액면가액	주당발행(감소)가액	비고

2009.03.20	주식배당	보통주	222,929	500	500	주식배당 3%

2009.12.28	무상증자	보통주	4,033,766	500	-	무상증자 50%

2010.03.19	주식배당	보통주	605,042	500	500	주식배당 5%

2011.01.01	무상증자	보통주	383,392	500	-	무상증자 3%

2012.01.01	무상증자	보통주	393,383	500	-	무상증자 3%

2012.05.11	무상증자	보통주	6,828,925	500	-	무상증자 50%

2013.01.01	무상증자	보통주	609,003	500	-	무상증자 3%

2014.01.01	무상증자	보통주	627,619	500	-	무상증자 3%

2015.01.01	무상증자	보통주	647,281	500	-	무상증자 3%

2016.01.01	무상증자	보통주	543,615	500	-	무상증자 2.5%

## 미상환 전환사채 발행현황

(기준일 : 2021년 03월 31일 ) (단위 : 원, 주)

종류＼구분	회차	발행일	만기일	권면(전자등록)총액	전환대상주식의 종류	전환청구가능기간	전환조건	미상환사채	비고

전환비율(%)	전환가액	권면(전자등록)총액	전환가능주식수

-	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-

합 계	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-

※해당사항 없습니다.

## 미상환 신주인수권부사채 등 발행현황

(기준일 : 2021년 03월 31일 ) (단위 : 원, 주)

종류＼구분	회차	발행일	만기일	권면(전자등록)총액	행사대상주식의 종류	신주인수권 행사가능기간	행사조건	미상환사채	미행사신주인수권	비고

행사비율(%)	행사가액	권면(전자등록)총액	행사가능주식수

-	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-

합 계	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-

※해당사항 없습니다.

## 미상환 전환형 조건부자본증권 발행현황

(기준일 : 2021년 03월 31일 ) (단위 : 원, 주)

구분	회차	발행일	만기일	권면(전자등록)총액	주식전환의사유	주식전환의범위	전환가액	주식전환으로인하여 발행할 주식	비고

종류	수

-	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-

합 계	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-

※해당사항 없습니다.
4. 주식의 총수 등

가. 주식의 총수 2021년 3월 31일 본 보고서 작성기준일 현재 당사의 정관에 의한 발행할 주식의 총수는 100,000,000주이며, 발행한 주식의 총수는 보통주 22,916,042주 입니다. 당분기말 현재 유통주식수는 자기주식 513,669주를 제외한 22,402,373주 입니다. 당사는 보통주 외의 주식은 발행하지 않았습니다.

주식의 총수 현황

(기준일 : 2021년 03월 31일 ) (단위 : 주)

구 분	주식의 종류	비고

보통주	우선주	합계

Ⅰ. 발행할 주식의 총수	100,000,000	-	100,000,000	-

Ⅱ. 현재까지 발행한 주식의 총수	22,916,042	-	22,916,042	-

Ⅲ. 현재까지 감소한 주식의 총수	-	-	-	-

1. 감자	-	-	-	-

2. 이익소각	-	-	-	-

3. 상환주식의 상환	-	-	-	-

4. 기타	-	-	-	-

Ⅳ. 발행주식의 총수 (Ⅱ-Ⅲ)	22,916,042	-	22,916,042	-

Ⅴ. 자기주식수	513,669	-	513,669	-

Ⅵ. 유통주식수 (Ⅳ-Ⅴ)	22,402,373	-	22,402,373	-

나. 자기주식 취득 및 처분 현황 당분기말 현재 자기주식 513,669 주를 보유하고 있습니다.

자기주식 취득 및 처분 현황

(기준일 : 2021년 03월 31일 ) (단위 : 주)

취득방법	주식의 종류	기초수량	변동 수량	기말수량	비고

취득(+)	처분(-)	소각(-)

배당가능이익범위이내취득	직접취득	장내 직접 취득	보통주	543,669	-	30,000	-	513,669	-

우선주	-	-	-	-	-	-

장외직접 취득	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

공개매수	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

소계(a)	보통주	543,669	-	30,000	-	513,669	-

우선주	-	-	-	-	-	-

신탁계약에 의한취득	수탁자 보유물량	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

현물보유물량	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

소계(b)	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

기타 취득(c)	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

총 계(a+b+c)	보통주	543,669	-	30,000	-	513,669	-

우선주	-	-	-	-	-	-

다. 종류주식 발행현황종류주식(명칭) 발행현황

(단위 : 원)

발행일자	-

주당 발행가액(액면가액)	-	-

발행총액(발행주식수)	-	-

현재 잔액(현재 주식수)	-	-

주식의내용	이익배당에 관한 사항	-

잔여재산분배에 관한 사항	-

상환에관한 사항	상환조건	-

상환방법	-

상환기간	-

주당 상환가액	-

1년 이내상환 예정인 경우	-

전환에관한 사항	전환조건(전환비율 변동여부 포함)	-

전환청구기간	-

전환으로 발행할주식의 종류	-

전환으로발행할 주식수	-

의결권에 관한 사항	-

기타 투자 판단에 참고할 사항(주주간 약정 및 재무약정 사항 등)	-

※ 해당사항 없습니다.
5. 의결권 현황

2021년 3월 31일 본 보고서 작성기준일 현재 주식과 관련된 의결권 현황은 다음과 같습니다.

(기준일 : 2021년 03월 31일 ) (단위 : 주)

구 분	주식의 종류	주식수	비고

발행주식총수(A)	보통주	22,916,042	-

우선주	-	-

의결권없는 주식수(B)	보통주	513,669	자기주식

우선주	-	-

정관에 의하여 의결권 행사가 배제된 주식수(C)	보통주	-	-

우선주	-	-

기타 법률에 의하여의결권 행사가 제한된 주식수(D)	보통주	-	-

우선주	-	-

의결권이 부활된 주식수(E)	보통주	-	-

우선주	-	-

의결권을 행사할 수 있는 주식수(F = A - B - C - D + E)	보통주	22,402,373	-

우선주	-	-
6. 배당에 관한 사항 등

가. 배당정책, 배당제한에 관한 사항

당사는 정관에 의거하여 이사회 결의 및 주주총회 승인을 통하여 배당을 실시할 수 있으며연간 발생하는 이익에 대한 일정수준의 주주환원이 이루어질 수 있도록 지속적인 현금배당 정책을 추진하고 있습니다. 합리적인 수준의 이익이 주주에게 환원 될 수 있도록 회사이익의 일정부분을 주주에게 환원하는 주요수단으로 배당을 실시합니다.

당사의 현금배당 규모는 향후 회사의 지속적인 성장을 위한 투자, 재무구조, 주식의 시장가치, 동종업체의 배당규모, 배당안정성, 경영실적 및 Cashflow 상황 등을 종합적으로 고려하여 적정한 배당이 이루어질 수 있도록 노력하고 있습니다.

배당은 정관에 의거 이사회 결의 및 주주총회의 결의를 통해 실시되고 있습니다. 당사는 2020년도(제21기)에 현금배당(46%)을 실시함으로써 지난 17년간(2004~2020) 연속배당을 이어가고 있습니다.

나. 배당에 관한 사항

(1) 배당의 근거당사 정관은 배당에 관한 사항에 대하여 다음과 같이 정하고 있습니다.

조항	내용

정관 제 45조(이익배당)	① 이익의 배당은 금전과 주식으로 할 수 있다.② 이익의 배당을 주식으로 하는 경우 회사가 수종의 주식을 발 행한 때에는 주주총회의 결의로 그와 다른 종류의 주식으로 할 수 있다.③ 이익배당은 주주총회의 결의로 정한다. 다만 정관 제43조제7 항에 따라 재무제표를 이사회가 승인하는 경우 이사회 결의로 이익배당을 정한다.

제45조의2(분기배당)	① 회사는 이사회의 결의로 사업연도 개시일부터 3월, 6월 및 9월의 말일(이하”분기배당 기준일”이라 한다)의 주주에게 「자본시장과 금융투자업에 관한 법률」 제165조의12에 따라 분기배당을 할 수 있다.
② 제1항의 이사회 결의는 분기배당 기준일 이후 45일 내에 하여야 한다.
③ 분기배당은 직전결산기의 대차대조표상의 순자산액에서 다음 각호의 금액을 공제한 액을 한도로 한다.
1.직전결산기의 자본금의 액
2.직전결산기까지 적립된 자본준비금과 이익준비금의 합계액
3.직전결산기의 정기주주총회에서 이익배당하기로 정한 금액
4.직전결산기까지 정관의 규정 또는 주주총회의 결의에 의하여 특정목적을 위해 적립한 임의준비금
5.「상법 시행령」 제19조에서 정한 미실현이익
6. 분기배당에 따라 당해 결산기에 적립하여야 할 이익준비금의 합계액
④ 사업연도 개시일 이후 분기배당 기준일 이전에 신주를 발행한 경우(준비금의 자본전입, 주식배당, 전환사채의 전환청구, 신주인수권부사채의 신주인수권 행사에 의한 경우를 포함한다)에는 분기배당에 관해서는 당해 신주는 직전사업연도 말에 발행된 것으로 본다. 다만, 분기배당 기준일 후에 발행된 신주에 대하여는 최근 분기배당 기준일 직후에 발행된 것으로 본다.

정관 제46조(배당금지급청구권의 소멸시효)	① 배당금의 지급청구권은 5년간 이를 행사하지 아니하면 소멸 시효가 완성된다.② 제1항의 시효의 완성으로 인한 배당금은 이 회사에 귀속한다.

(2) 주요배당지표

구 분	주식의 종류	당기	전기	전전기

제22기('21.1.1~3.31)	제21기('20.1.1~12.31)	제20기('19.1.1~12.31)

주당액면가액(원)	500	500	500

(연결)당기순이익(백만원)	25,349	3,486	5,767

(별도)당기순이익(백만원)	29,540	2,616	32,817

(연결)주당순이익(원)	1,131	155	257

현금배당금총액(백만원)	-	5,146	5,146

주식배당금총액(백만원)	-	-	-

(연결)현금배당성향(%)	-	147.6	89.2

현금배당수익률(%)	보통주	-	0.72	1.46

우선주	-	-	-

주식배당수익률(%)	보통주	-	-	-

우선주	-	-	-

주당 현금배당금(원)	보통주	-	230	230

우선주	-	-	-

주당 주식배당(주)	보통주	-	-	-

우선주	-	-	-

※(연결)현금배당성향은 연결당기순이익의 지배기업 소유주지분 귀속분에 대한 현금배당총액의 백분율입니다.

(3) 과거 배당 이력(단위: 회, %)

연속 배당횟수	평균 배당수익률

분기(중간)배당	결산배당	최근 3년간	최근 5년간

-	17	1.4	1.3

※ 당사는 분기(중간)배당을 지급하지 않았으며, 제5기부터 제21기까지 17회 연속으로 결산배당을 진행해왔습니다.※ 평균배당수익률은 최근 3년 배당수익률은 제19기~제21기 배당수익율의 평균이며, 최근 5년 배당수익율은 제17기~제21기 배당수익률의 평균입니다.
7. 정관에 관한 사항

가. 정관 최근 개정일 분기보고서에 첨부된 정관의 최근 개정일은 2019년 3월 29일이며, 제21기 정기주주총회(2021년 3월 26일 개최) 안건 중 정관 변경 안건은 포함되어 있지 않습니다

나. 정관 변경 이력

정관변경일	해당주총명	주요변경사항	변경이유

2019년 03월 29일	제19기 정기주주총회	- 주식 전자등록에 따른 사무처리 방법 변경 (주권종류 삭제, 주식사무처리방법 개정 등)	주식 등의 전자등록에 따른 변경내용 반영

2019년 03월 29일	제19기 정기주주총회	- 주식회사등의 외부감사에 관한 법률 시행으로 외부감사인 선정권한의 개정 내용 반영	주식회사 등의 외부감사에 관한 법률 개정
IV. 이사의 경영진단 및 분석의견

기업공시서식 작성기준에 따라 당사는 분ㆍ반기보고서의 본 항목을 기재하지 않습니다.
V. 감사인의 감사의견 등

1. 감사인(공인회계사)의 감사의견 등 가 . 회계감사인의 명칭

제 22 기(2021년)	제 21 기(2020년)	제 20 기(2019년)	제 19 기(2018년)

신한회계법인	신한회계법인	신한회계법인	신한회계법인

당사는 2018년 4월 17일 개최된 감사인선임위원회에서 제19기부터 제21기까지 3개 회계년도의 외부감사인으로 신한회계법인을 선임하였습니다.또한, 당사는 2021년 2월 3일 감사인선임위원회를 개최하였고, 그 결과 신한회계법인이 2021년부터 2023년도 외부감사인으로 선정되었습니다.

나. 회계감사인의 감사의견

사업연도	감사인	감사의견	강조사항 등	핵심감사사항

제22기(2021년 3월말)	신한회계법인	해당사항 없음	-	-

제21기(2020년)	신한회계법인	적정	-	1) 제품매출의 적정성2) 수익인식 기간귀속의 적정성

제20기(2019년)	신한회계법인	적정	-	1) 제품매출의 적정성2) 수익인식 기간귀속의 적정성

다. 감사용역 체결현황 (단위:천원,시간)

사업연도	감사인	내 용	감사계약내역	실제수행내역

보수	시간	보수	시간

제22기(2021년)	신한회계법인	반기검토, 기말감사	77,000	-	77,000	-

제21기(2020년)	신한회계법인	반기검토, 기말감사	65,000	-	65,000	857

제20기(2019년)	신한회계법인	반기검토, 기말감사	65,000	-	65,000	740

라. 외부감사인과의 비감사용역계약 체결현황 (단위:천원)

사업연도	계약체결일	용역내용	용역수행기간	용역보수	비고

제22기(2021년)	2021.04.06	세무조정	2021/4/1~2022/3/31	8,000	-

제21기(2020년)	2020.02.14	세무조정	2020/4/1~2021/3/31	8,000	-

제20기(2019년)	2019.02.14	세무조정	2019/4/1~2020/3/31	8,000	-

마. 재무제표 중 이해관계자의 판단에 상당한 영향을 미칠 수 있는 사항에 대해 내부감사기구가 회계감사인과 논의한 결과

구분	일자	참석자	방식	주요 논의 내용

1	2021년 01월 15일	회사: 감사, 회계팀감사인: 감사 참여 공인회계사	서면보고	감사계획 및 감사일정

2	2021년 03월 10일	회사: 감사, 회계팀감사인: 감사 참여 공인회계사	서면보고	핵심감사사항 및 외부감사결과 보고

바. 종속회사의 감사인

구분	2021년	2020년	2019년

(주)이지티엠	신한회계법인	신한회계법인	신한회계법인

Eugenus Inc	신한회계법인	신한회계법인	신한회계법인

※회계감사인으로부터 '적정'의견 이외의 감사의견을 받은 종속회사는 없습니다. 2. 회계감사인의 변경 당 사는 2018년 4월17일 개최된 감사인선임위원회에서 제19기부터 제21기까지 3개 회계년도의 외부감사인으로 신한회계법인을 선임하였습니다. 또한, 당사는 2021년 2월 3일 감사인선임위원회를 개최하였고, 그 결과 신한회계법인이 2021년부터 2023년도 외부감사인으로 선정되었습니다. 3. 내부통제에 관한 사항 가. 내부회계관리제도에 대한 문제점 또는 개선방안 당사의 내부회계관리제도에 대한 평가는 년 1회(기말) 실시하고 있으며, 제22기 1분기에 대한 평가는 실시하지 않았습니다. 나. 회계감사인의 내부회계관리제도에 대한 의견표명 회사의 내부회계관리제도는 신뢰할 수 있는 회계정보의 작성 및 공시를 위하여 한국채택국제회계기준에 따라 작성한 재무제표의 신뢰성에 대한 합리적인 확신을 줄 수 있도록 제정한 내부회계관리규정과 이를 관리ㆍ운영하는 조직을 의미합니다. 그러나 내부회계관리제도는 내부회계관리제도의 본질적인 한계로 인하여 재무제표에 대한 중요한 왜곡표시를 적발하거나 예방하지 못할 수 있습니다. 또한, 내부회계관리제도의 운영실태보고 내용을 기초로 미래기간의 내용을 추정시에는 상황의 변화 혹은 절차나 정책이 준수되지 않음으로써 내부회계관리제도가 부적절하게 되어 미래기간에 대한 평가 및 추정내용이 달라질 위험에 처할 수 있다는 점을 고려하여야 합니다.제22기 1분기에 대한 내부회계관리제도의 평가는 실시하지 않았으며, 회계감사인의 의견표명은 없습니다. 다. 내부통제구조의 평가 본 보고서 작성기준일 현재 내부회계관리제도 이외에 내부통제구조를 평가받은 사실은 없습 니다.
1. 이사회에 관한 사항

가. 이사회 구성 개요 (1) 이사회의 구성이사회는 법령 또는 회사 정관에서 정한 사항, 주주총회로부터 위임받은 사항, 회사경영의기본방침 및 업무집행에 관한 중요사항을 심의, 결정하며 이사의 직무의 집행을 감독합니다. 관계법령에 의거 이사후보 인적사항을 주총전 통지 및 공시하고 있으며, 이사후보는 대주주 및 이사회의 추천을 받고 있습니다. 보고서 작성기준일 현재 당사의 이사회는 3명의 상근이사, 1인의 비상근 사외이사등 4인의 이사로 구성되어 있으며, 이사회내에 별도의 위원회를 운영하고 있지 않습니다.(2) 이사후보의 인적사항에 관한 주총 전 공시여부 및 주주의 추천여부관계법령에 의거 이사후보 인적사항을 주총전 통지 및 공시하고 있으며, 이사후보는 대주주 및 이사회의 추천을 받고 있습니다.(3) 사외이사

성 명	주 요 경 력	최대주주등과의 이해관계	비 고

남기만	한국반도체산업협회 상근부회장산업통상자원부 무역정책관동국대 대학원 박사과정 수료	해당사항 없음	-

나. 중요의결사항

회차	개최일자	의안내용	의결현황	이사의 성명	비고

엄평용(출석률:100%)	김진웅(출석률:67%)	신승우(출석률:100%)	김제완(출석률: 67%)	남기만(출석률: 100%)

찬 반 여 부	찬 반 여 부	찬 반 여 부	찬 반 여 부	찬 반 여 부

1	2021.02.19	내부회계관리규정 개정의 건	가결	찬성	찬성	찬성	찬성	선임전 이사회	-

2	2021.02.23	제21기 정기주주총회 소집일정 및 회의목적사항 결정의 건	가결	찬성	찬성	찬성	찬성	선임전 이사회	-

2020년 재무제표 승인의 건	가결	찬성	찬성	찬성	찬성	선임전 이사회	-

내부회계관리제도 운영실태 보고의 건	가결	찬성	찬성	찬성	찬성	선임전 이사회	-

전자투표 도입의 건	가결	찬성	찬성	찬성	찬성	선임전 이사회	-

3	2021.03.26	대표이사 선임의 건	가결	찬성	-	찬성	-	찬성	-

다. 이사회내 위원회 -해당사항 없습니다. 라. 이사의 독립성 당사의 이사회는 사내이사 3명(대표이사 포함)과 사외이사 1명으로 구성되어 있으며, 회사 경영의 중요한 의사결정과 업무집행은 이사회의 심의 및 결정을 통하여 이루어지고 있습니다. 독립성과 전문성을 갖춘 감사를 선임하여 기업경영에 대한 견제의 제도적 장치를 보완하였습니다. ※ 보고서 작성기준일 현재 이사의 현황

직명	성명	추천인	활동분야(담당업무)	회사와의거래	최대주주 등과의 관계	임기	연임여부(연임횟수)

사내이사	엄평용	이사회	대표이사 / 회장	해당없음	본인	2021.03.26 ~ 2024.03.26	연임(7회)

사내이사	김진웅	이사회	GM	해당없음	해당없음	2019.03.29 ~ 2022.03.29	-

사내이사	신승우	이사회	COO 兼)CTO	해당없음	해당없음	2020.03.27 ~ 2023.03.27	-

사외이사	남기만	이사회	전사 경영전반에 대한 업무	해당없음	해당없음	2021.03.26 ~ 2024.03.26	-

※ 2021.03.26 정기주주총회에서 사외이사 남기만 신규선임하였습니다 마. 사외이사의 전문성 회사 내 지원조직은 사외이사가 이사회 및 이사회내 위원회에서 전문적인 직무수행이 가능하도록 보조하고 있습니다. 이사회 및 위원회 개최 전에 해당 안건 내용을 충분히 검토할 수 있도록 사전에 자료를 제공하고 필요시 별도의 설명회를 개최하고 있으며, 기타 사내 주요 현안에 대해서도 수시 로 정보를 제공하고 있습니다.

사외이사 및 그 변동현황(단위 : 명)

이사의 수	사외이사 수	사외이사 변동현황

선임	해임	중도퇴임

4	1	1	-	-

※ 이사의 수 및 사외이사 수는 본 보고서 작성기준일(2021.03.31) 시점이며, 사외이사 변동 현황은 2021년 사업연도 개시일부터 보고서 제출일까지 변동된 사항을 바탕으로 작성되었습니다.

사외이사 교육 미실시 내역

사외이사 교육 실시여부	사외이사 교육 미실시 사유

미실시	남기만 사외이사는 한국반도체산업협회 상근부회장, 동국대학교 대학원 박사과정 수료 등 충분한 자격요건으로 교육을 미실시하였습니다.
2. 감사제도에 관한 사항

가. 감사위원회 당사는 감사 위원회를 별도로 설치하고 있지 않으며, 주주총회 결의에 의하여 선임된 상근감사 1명이 감사 업무를 수행하고 있습니다. 나. 감사 (1) 감사의 인적사항

성명	주요경력	비고

강석진	-서울대학교 대학원 정치학과-서울신문 정치부 사회부 국제부 -서울신문 편집국장-서울신문 미디어 전략실장-서울신문 경영기획실장	-

(2) 감사의 독립성당사는 상법 제542조의10에 의하여 상근감사를 선임하여야 하므로, 2020년 3월 27일에 개최된 정기주주총회에서 강석진 감사를 선임하였습니다. 당사의 감사 강석진은 감사로서의 요건을 갖추고 있으며 당사의 주식도 소유하고 있지 않습니다. 또한 감사는 회계와 업무를 감사하며 이사회 및 타부서로부터 독립된 위치에서 업무를 수행하고 있습니다. 감사는 필요시 회사로부터 영업에 관한 사항을 보고 받을 수 있으며 감사인의 독립성을 충분히 확보하고 있다고 판단됩니다.(3) 감사의 주요 활동 내역보고서 작성기준일 현재 감사의 주요 활동내용은 다음과 같습니다.

회차	개최일자	의안내용	의결현황	비고

1	2021.02.19	내부회계관리규정 개정의 건	가결	-

2	2021.02.23	내부회계관리제도 운영실태 평가결과 보고의 건	가결	-

3	2021.03.26	제21기 회계연도 영업보고, 감사보고의 건	가결	-

(4) 감사 교육 미실시 내역

감사 교육 실시여부	감사 교육 미실시 사유

미실시	-

(5) 감사 지원조직 현황

부서(팀)명	직원수(명)	직위(근속연수)	주요 활동내역

회계팀, 재무팀	4	(7년 4개월)	회계정보 작성

(6) 준법지원인 지원조직 현황당사는 본 보고서 작성일 현재 선임된 준법지원인이 없습니다.
3. 주주의 의결권 행사에 관한 사항

가.투표제도 보고서 작성기준일 현재 당사는 집중투표제를 채택하고 있지 않으며, "정관 제27조 주주총회의 결의방법"에 따라 주주총회의 결의는 법령에 다른 정함이 있는 경우를 제외하고는 출석한 주주의 의결권의 과반수로 하되 발행주식 총수의 4분의1 이상의 수로 합니다. 나. 소수주주권 -해당사항 없습니다. 다. 경영권 경쟁 -해당사항 없습니다.
2. 임원의 보수 등

보수현황>가. 이사ㆍ감사 전체의 보수현황

1. 주주총회 승인금액(단위 : 백만원)

구 분	인원수	주주총회 승인금액	비고

이사	4	3,000	-

감사	1	50	-

2. 보수지급금액2-1. 이사ㆍ감사 전체

(단위 : 백만원)

인원수	보수총액	1인당 평균보수액	비고

5	513	103	-

2-2. 유형별(단위 : 백만원)

구 분	인원수	보수총액	1인당평균보수액	비고

등기이사(사외이사, 감사위원회 위원 제외)	3	498	166	-

사외이사(감사위원회 위원 제외)	1	5	5	-

감사위원회 위원	-	-	-	-

감사	1	11	11	-

나.이사ㆍ감사의 개인별 보수현황 개인별 보수지급금액은 2016년 3월 자본시장과 금융투자업에 관한 법률 개정으로 연 2회 공시(반기보고서 및 사업보고서)하고 있습니다.

다. 주식매수선택권의 부여 및 행사현황

(단위 : 백만원)

구 분	인원수	주식매수선택권의 공정가치 총액	비고

등기이사	3	-	-

사외이사	1	-	-

감사위원회 위원 또는 감사	1	-	-

계	5	-	-

※해당사항 없습니다.

(기준일 : 2021년 03월 31일 ) (단위 : 백만원, 주)

부여받은자	관 계	부여일	부여방법	주식의종류	최초부여수량	당기변동수량	총변동수량	기말미행사수량	행사기간	행사가격

행사	취소	행사	취소

-	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-	-

※해당사항 없습니다.
IX. 계열회사 등에 관한 사항

1. 타법인출자 현황타법인출자 현황

(기준일 : 2021년 03월 31일 ) (단위 : 천원, 천주, %)

법인명	최초취득일자	출자목적	최초취득금액	기초잔액	증가(감소)	기말잔액	최근사업연도재무현황

수량	지분율	장부가액	취득(처분)	평가손익	수량	지분율	장부가액	총자산	당기순손익

수량	금액

Eugenus Inc(비상장)	2009.01.03	투자	-	123,838	100.00	79,279,865	-	-	-	123,838	100.00	79,279,865	54,677,597	-26,881,272

(주)이지티엠(비상장)	2012.03.06	투자	-	36	45.00	3,450,000	-	-	-	36	45.00	3,450,000	27,085,874	11,584,906

유진태극무역(무석)유한공사(비상장)	2013.09.17	투자	-	-	100.00	43,420	-	-	-	-	100.00	43,420	96,877	-11,944

에콜라이트(비상장)	2009.12.21	투자	-	57	44.46	-	-	-	-	-	-	-	-	-1,534,300

합 계	-	-	82,773,285	-	-	-	-	-	82,773,285	81,860,348	-16,842,610

※ 당사는 해외시장개척을 위하여 2009년 3월에 미국현지법인 Eugenus Inc (변경전 Eugene Technology Inc)를 설립하였습니다. 당사는 Eugenus Inc 가 美 Aixtron Inc 영업양수를 위한 2017년 11월 유상증자에 참여하였습니다.당사는 Eugenus Inc의 재무구조 개선 및 운영자금 활용을 위하여 2019년 5월, 12월 및 2020년 12월 유상증자에 참여하였습니다.상기 Eugenus Inc 잔액에는 영업권에 대한 손상평가 수행결과로 영업권 손상차손 누적액이 반영되어 있습니다. ※ 2009년 12월에 인공경량골재 제조 및 판매를 사업목적으로 하는 (주)에콜라이트 설립시 자본참여를 하였습니다. 2020년 10월 21일 임시주주총회에서 (주)에콜라이트 해산 및 청산을 결의하였으며, 2021년 2월 청산종결되었습니다. ※ 2012년 3월에 반도체용 산업가스의 충전, 제조, 정제 및 판매를 사업목적으로 하는 ㈜유진테크 머티리얼즈 설립시 자본참여를 하였습니다. 동사는 2017년 4월에 유상증자를 실시하였으며, 동사에 대한 당사 및 당사의 특수관계인 지분율이 80%이므로 실질지배력을 보유하고 있다 고 판단됩니다. 2020년 12월 사명을 (주)이지티엠으로 변경하였습니다. ※ 당사는 2013년 9월에 반도체 장비 유지보수업을 사업목적으로 하는 유진태극무역(무석)유한공사를 설립하였습니다.

2. 관계기업 및 자회사의 지분현황(단위 : % )

출자회사명	피출자회사명	지분율

Eugenus Inc	Eugenus Japan	100.0

※ 미국현지법인 Eugenus Inc 는 일본지역 반도체 장비 유지보수를 사업목적으로 하는 Eugenus Japan 를 지분 100%로 설립하였습니다.
X. 이해관계자와의 거래내용

1. 대주주등에 대한 신용공여 등 가. 특수관계자와의 거래내용

1. 특수관계자와의 매출, 매입거래 등 ① 당분기

(단위:천원)

특수관계자의 명칭	매출	원재료매입	경상연구개발비	지급수수료	기타(수입임대료)

Eugenus Inc	4,333,637	1,011,995	42,501	-	-

(주)이지티엠	-	-	-	-	1,500

유진태극무역(무석)유한공사	-	-	-	132,569	-

Eugenus Japan	-	-	-	-	-

합 계	4,333,637	1,011,995	42,501	132,569	1,500

② 전분기(단위:천원)

특수관계자의 명칭	매출	원재료매입	경상연구개발비	지급수수료

Eugenus Inc	553,714	708,162	-	-

(주)유진테크 머티리얼즈	-	-	-	(-)2,500

유진태극무역(무석)유한공사	-	-	-	106,941

합 계	553,714	708,162	-	104,441

2. 특수관계자와의 자금거래, 지분취득

① 당분기(단위:천원)

특수관계자의 명칭	자금거래	지분취득(처분)

대 여	회 수	현금출자	현물출자

Eugenus Inc	2,223,340	-	-	-

(주)이지티엠	-	-	-	-

유진태극무역(무석)유한공사	-	-	-	-

(주)에콜라이트	-	-	-	-

합 계	2,223,340	-	-	-

② 전분기(단위:천원)

특수관계자의 명칭	자금거래	지분취득(처분)

대 여	회 수	현금출자	현물출자

Eugenus Inc	-	-	-	-

(주)에콜라이트	-	-	-	-

합 계	-	-	-	-

※ Ⅲ.재무에 관한 사항 5.재무제표 주석의 30.특수관계자의 거래내역을 참조하시기 바랍니다. 2. 대주주와의 자산양수도 등- 해당사항 없습니다. 3. 대주주와의 영업거래- 해당사항 없습니다. 4. 대주주 이외의 이해관계자와의 거래 당분기말과 전기말 현재 특수관계자와의 채권, 채무의 잔액은 다음과 같습니다.

① 당분기말(단위:천원)

특수관계자의 명칭	채 권	채 무

매출채권	대여금	선급금	미수이자	매입채무	미지급금	기타

Eugenus Inc	15,819,866	23,803,500	26,839	175,001	1,342,841	-	-

(주)이지티엠	-	-	-	-	-	-	-

유진태극무역(무석)유한공사	-	-	-	-	-	-	-

Eugenus Japan	-	-	-	-	-	-	-

합 계	15,819,866	23,803,500	26,839	175,001	1,342,841	-	-

② 전기 말(단위:천원)

특수관계자의 명칭	채 권	채 무

매출채권	대여금	선급금	미수이자	매입채무	미지급금	기타

Eugenus Inc	9,899,284	20,672,000	26,839	98,835	2,477,891	-	-

(주)이지티엠	-	-	-	-	-	-	-

유진태극무역(무석)유한공사	-	-	-	-	-	68,864	-

Eugenus Japan	-	-	-	-	-	197,385	-

합 계	9,899,284	20,672,000	26,839	98,835	2,477,891	266,249	-
1. 전문가의 확인

-해당사항 없습니다.
2. 전문가와의 이해관계

-해당사항 없습니다.