아바코 반기보고서 (2021.06)
6. 주요계약 및 연구개발활동

가. 경영상의 주요계약 등

구 분	계약당사자	계약일자	계약기간	계약목적 및 내용

1	STION(美)	2011.12.12	-	전략적 업무 제휴(태양전지용 장비사업분야)

2	(주)아바텍	2017.11.29	-	사업다각화 및 시너지를 위한 주식취득

3	SCHMID(獨)	2018.10.12	-	SCHMID(獨)와 합작회사 슈미드아바코코리아(주) 설립

4	(주)대명ENG	2018.11.30	-	(주)DAS 소유지분 전량인수

5	velo3D(美)	2019.12.05	-	국내영업권 계약 체결

나. 연구개발활동 (1) 연구개발 담당조직당사는 연구개발 업무를 전담하는 연구소를 별도로 설립하여 다음와 같이 각 부문별로 운영중이며 진공공정장비 및 신재생에너지 등 향후 확대될 사업부문에 대한 기술개발을 진행하고 있습니다.

부 문	수행업무

전략기획부문태양광용부문진공장비부문자동화부문전용장비부문컨버팅머신부문반도체장비부문	중장기적인 신규 장비 개발 계획태양광용 Sputter 장비 개발 및 신뢰성 확보LCD OLED Sputter, 기타 진공 Process 장비 개발 및 신뢰성 확보FPD 및 이차전지 제조 물류 Line 설계, 반송 장비 개발FPD 관련 후공정 장비 및 Module 공정 장비 개발산업용소재 제조 장비 개발, 이차전지용 제조 장비 개발반도체장비 개발

(2) 연구개발비용당사의 최근 3년간 연구개발관련 비용의 내역은 다음과 같습니다.

(단위 : 천원)

과 목	제22기 반기	제21기	제20기	비 고

원 재 료 비	-	203,195	519,891	-

인 건 비	1,544,432	2,799,381	2,777,711	-

감 가 상 각 비	69,345	133,351	133,423	-

기 타	1,396,777	4,673,363	6,924,976	-

연구개발비용 계	3,010,554	7,809,290	10,356,001	-

회계처리	판매비와 관리비	3,010,554	7,809,290	10,356,001	-

제조경비	-	-	-	-

개발비(무형자산)	-	-	-	-

연구개발비 / 매출액 비율[연구개발비용계÷당기매출액×100]	5.1%	3.9%	4.6%	-

(3) 연구개발 실적당사의 최근 연구개발 실적 및 진행중인 연구개발은 다음과 같습니다.

No	연구명	연구기관	결과 및 기대효과	개발완료 및예상 연도	비고(참여기관)

1	저온 박막형 고체산화물 연료전지 제조용 장비 및 공정 개발	당사 연구소	-저온 박막형 고체산화물 연료전지(SOFC)의 전해질 및 양극기능층(AFL) 형성을 위한 대면적 장비 공정을 개발하고 최적화된 양산형 장비 형태를 제안하기 위해 2021년 하반기부터 연구 개발 시작- 박막형 SOFC 상용화에 발맞추어 전지 특성을 개선, 향상시킬 수 있는 특정 공정용(전해질, 양극기능층) 장비를 개발하고 있으며, 추후 PEMFC, 고온형 SOFC제조 장비로도 활용가능성이 높음	2025.12	한국과학기술연구원한양대학교, 서울과학기술대학교, 고려대학교, 부산 TP

2	스트레처블 디스플레이용 신축성 기판 Lamination 설비 개발	당사 연구소	- 자동차 및 웨어러블 디스플레이용 20% 연신가능한 스트레처블 디스플레이 패널 개발과제에 3세부 주관으로 참여, 연신 필름 Lamination 공정 기술 및 장비 개발 담당- 기존의 Glass to Glass Lamination 설비에 비해 기술적으로 업그레이드된 연신기판 Lamination 설비를 개발함으로써, 차세대 디스플레이 공정 및 장비개발에서 기술 우위를 점할 수 있으며 수요업체 맞춤형 장비 공급을 통해 사업화 시에도 경쟁업체 대비 유리한 측면을 기대	2023.12	LG디스플레이 공동개발

3	산화물 TFT 소자 제작용 Sputter 개발	당사 연구소	- 디스플레이용 산화물 TFT 제작 공정에서 소자 특성을 안정적으로 확보하기 위해 재현성 및 신뢰성 높은 Sputter 장비를 개발- 기판 캐리어가 진공과 대기 상태를 반복하는 기존 증착 방법에서 진공 중에서만 운용되도록 설비를 개선함으로써 공정 관리 요소를 단순화하고 TFT 소자의 품질을 향상시키는 효과기대 및 sputter 장비 경쟁 업체와의 기술차별화에 기여	2022.12	단독개발

4	반도체용 Ti/Cu Sputter 생산성 향상을 위한 추가 개발	당사 연구소	- Wafer Level Packaging(WLP) 공정에 사용되는 Metal 증착용 Sputter를 2019년10월 개발 완료하였으나, step coverage 생산성 향상 등을 목표로 장비 및 공정 업그레이드 진행 중임.- 국내 OAST(Outsourced Semiconductor Assembly and Test) 업체인 Amkor, NEPES 등과 Demo평가를 진행하면서 시장 진출을 준비 중이며, 반도체 후공정 PVD 설비 및 Desmear 설비 에 응용될 것으로 예상.	2022.03	단독개발

5	동위원소기반 외부환경 독립형 반영구 독립전원 시스템 개발	당사 연구소	- 단위셀 접합장비와 단위모듈 접합장비 개발을 완료하고 방사성 동위 원소 Ni-63에서 나오는 베타선을 이용한 전지를 제조하는 설비를 개발하고 있음. - 향후 동위원소 전지 제작/판매나 동위원소전지를 사용한 원자력 분야 안전 감시 시스템 사업 분야에서 사용될 수 있을 것으로 예상하며우주공간이나 심해, 극지, 오지 등 극한 환경에 사용하는 다양한 기기 전원으로 활용하여 의료용 인공심장, 맥박조정기 등의 반영구적인 전원의 사용, 군사용의 대기전력원 등으로 활용가능성이 높음.	2022.02	한국원자력연구원
한국전자통신연구원대구 TP
엔텍코아

6	SINGLE ROLL PRESS MACHINE	당사 연구소	- 배터리 제조 프로세스 중 초기 공정에 해당하는 전극공정에 필요한 설비이며 코팅된 전극을 눌러주는 작업이며, 코팅 후 프레스로 열을 가해 눌러주어 동박의 두께감소 및 밀도를 높임.- 품질 및 기술을 검증하고 신뢰성과 자체 보유기술을 습득하여 글로벌 전기차 배터리 수요 증가에 따른 시장진입 교두보로 활용, 이차전지 극판 장비 시장 진입을 위함.	2021.09	단독개발

7	MLCC 컷팅기	당사 연구소	- 적층기에서 압착 완료된 Ceramic Capacitor를 Blade를 이용하여, 정해진 Size로 절단하는장비 개발	2021.05	단독개발

8	MLCC 외관 검사기(전장)	당사 연구소	- FPGA 정밀 동기 제어 기술 보유- Ethernet 통신기술 확보- PC 기반 장비 제어 및 Vision 검사 기술 보유- 유사 검사 분야 장비 개발 가능	2021.03	단독개발

9	MLCC 적층기	당사 연구소	- 내부 전극이 프린트된 Sheet를 Feeding하여일정한 크기로 자르고 진공압으로 박리한 뒤가압 위치에서 위치 보정 후 반복적으로 쌓는장비 개발	2021.02	단독개발

10	EDR(Etching and Deposition R) 설비개발	당사 연구소	- PCB 기판에 박막을 코팅하기 위해Etching과 증착을 연속으로 수행하는 기능이 탑재된 시스템. 현재 R 완료되어 Field Test 중임.- 완료 시 반도체 후 공정 장비로 판매될 예정	2020.12	아바코SCHMID(獨)

11	CVTs-H 개발	당사 연구소	- 기구 조립 시 효율성 및 정확성 확보
- Top Guide 감자 현상 관리로 선행 정비
- Carrier 이동 시 물리적 진동 및 충격 감지하여 이물질 발생 요인 예측	2020.09	단독개발

12	모듈을 이용한 고효율 (≥17%) 화합물박막 광흡수층 제조용 대면적 (300x300mm2) 급속열처리 장치 개발	당사 연구소	- NFS(Nozzle Free Shower)가 적용된 CIGS 태양전지 제조용 RTP 설비 개발 완료. 소면적 셀 평가에서 효율 16.29% 달성 (한국에너지기술연구원 인증) - 국내 CIGS 패널 제조 업체와 중국 CIGS 패널 제작 업체에서 수요가 있을 것으로 예상.	2020.09	영남대학교
인천대학교

13	MTO In-Line Sputter Plasma Monitoring 및 Gas Control System 개발(PIPD 6CH O2 Control)	당사 연구소	- 디스플레이 산화물 반도체 제조용 Sputter 장비에 장착되어 플라즈마 상태를 모니터링한 후 제어프로그램과 연계하여 공정 제어를 수행하는 시스템, PIPD 1CH O2 Control 개발완료.- PIPD 6CH O2 Control 과제 완료 후 양산장비에 적용하여 매출에 기여예상.	2020.08	단독개발(LG디스플레이 연구소 검증)

14	PIPD 1CH O2 Control	당사 연구소	- 스퍼터 성능향상 시스템 부품으로 Magnet Control 특허 출원4건 단독개발완료, 양산 검증 완료, 판매 완료	2020.08(양산 검증완료)	단독개발(LG디스플레이 연구소 검증)

15	OSTECA-LIPD (2G)
(산화물반도체 IGZO SPUTTER 단층막 전기적 특성 검사 장비)	당사 연구소	- IGZO 단층막 전기도도 측정 세계 최초 성공, 특허출원 3건 완료- 대면적 검사장비 적용 매출기여 예상.	2G급 개발완료	단독개발(LG디스플레이 검증 진행 중)