에프엔에스테크 반기보고서 (2024.06)
6. 주요계약 및 연구개발활동

6.1 주요계약본 보고서 작성기준일 현재 회사의 일상적인 영업활동 이외에 회사의 재무상태에 영향을 미치는 비경상적인 중요계약은 존재하지 않습니다.

6.2 연구개발활동가. 연구개발 담당조직

조 직	인원	담당업무

연구소	장비개발	3	-. 장비 디자인 및 기구설계-. PC/PLC 프로그램 개발

부품소재개발	6	-. CMP PAD 개발-. LAMP 부품 개발-. OLED MASK 개발

나. 연구개발 비용

(기준일 : 2024년 06월 30일) (단위 : 천원)

과 목	제23기 반기	제22기 반기	제22기	제21기

원 재 료 비	169,165	48,706	101,596	389,335

인 건 비 등	412,941	332,428	685,817	1,135,351

감 가 상 각 비	-	-	-	416,180

연구개발비용 계	582,106	381,134	787,413	1,940,866

회계처리	판매비와 관리비	582,106	381,134	787,413	1,940,866

제조경비	-	-	-	-

개발비(무형자산)	-	-	-	-

연구개발비 / 매출액 비율 [연구개발비용계÷당반기매출액× 100]	3.12%	2.58%	2.03%	2.87%

다. 연구개발 실적 1) 연구개발 실적

연구과제	연구기관	연구결과 및 기대효과	상품화여부

Stripper	단독개발	1) 유기설비 구성 기술
유기물에 견딜수 있는 재질 선정 및 구성 기술
2) Strip 후 중화기술
TMAH 공정을 적용한 약액 중화 기술
3) 경사 반송 기술
공정Uniformity를 위한 경사 반송Process기술	사업화 완료

Cleaner	단독개발	1) Glass 수평 반송 기술
구동부 구성 및 Glass 접촉부 defect 최소화 기술
2) Roll Brush 세정 기술
Roll Brush의 고속회전을 통한 Glass 세정 기술
3) 고압 세정 기술
세정액을 고압Nozzle을 통해 분사하여 Glass표면의 파티클을 제거하는 기술
4) 건조기술 세정을 마친 Glass표면을 건조시켜주는 장치 및 방법	사업화 완료

Etcher	단독개발	1) Glass Etch Rate 제어 기술
약액 농도 및 온도 제어 및 공급 기술
2) 대면적 Glass 대응 기술
대용량 Tank 구성 및 시스템 제어 기술
3) 생산성 관리 기술
고객의 생산성을 위한 효율적인Glass 물류 기술	사업화 완료

RTR D.E.S	단독개발	1) Laminate 기술
Film형 기판에 보호Film을 부착하는 기술
2) Flexible Film 장력 조절장치
Film 공정의 uniformity를 위한 일정한 장력조절 장치 및 방법
3) 약액 농도 및 온도 제어장치
Film 연속공정을 위한 정밀 농도 및 온도 제어 장치 및 방법	사업화 완료

Glass Back면 세정기	단독개발	Glass back면에 유기물 제거를 위한 세정장비 개발	사업화 완료

TOC 산화장치	단독개발	1) TOC 제거 기술
Photo Science 제품과 동등한 수준의 제거 효율
2) 안전성 강화 기술
이상 발생 시 담당자 조작 전 조치 기능.	사업화 완료

살균용 자외선 램프 모듈	단독개발	1) 살균용 300W금 아말감 UV 램프 개발.
Lamp 제작 기술 및 부품 개발 완료.
2) 살균용 Housing 개발
하수처리장에 즉시 적용 가능한 제품 개발완료.	사업화 완료

무전극 전계방식 자외선 램프	한양대학교	1) Excimer Lamp 국산화 완료.
FPD 제조용 건식세정기에 사용되는 Excimer Lamp 국산화
2) FPD 제조용 건식세정기 개발 완료.
Hight thru-put (2,200*2,500이상) 건식세정기 개발 완료.	사업화 완료

유기물 분해용 고효율 램프	단독개발	1) TOC UV Lamp개발 완료.
초순수를 제조하기 위한 TOC UV Lamp 개발 완료
2) 제품 품질 확인
경쟁사 비교시 제품 성능 우수 확인.	사업화 완료

디스플레이보호용 수지 커버 하드 코팅시스템	단독개발	강화유리 대체품으로 Plastic재질의 필요성	사업화 완료

Micro Pore 구조를 가지는 ILD CMP 용 Polyurethane Polishing Pad 개발	협력개발	1) 다공성 Pore 형성 기술
경쟁사 특허를 피하기 위한 Micro Channel 형태의 Pore 형성.
2) Polymer를 이용한 PAD 제작 기술
Polymer, MOCA, MAT를 혼합하여 압축한 PAD 제작.
3) Micro Channel 기술
Polymer 내의 잔여물이 존재 하지 않아Low Defect 발생 기술.	사업화 완료

M마이크로버블 오존수와 스팀젯활용 화학증폭형 PR 제거 시스템개발	단독개발	1) PR 잔사 1개 이하
2) PR Removal Rate 1.2㎛/분
3) Steam Jet Nozzle 분사 Uniformiy 10% 이내
4) 분무 입경 10㎛ 이내.	사업화 완료

CMP 공정용 Polishing Pad 재활용 기술 개발	협력개발	1) CMP Pad 가공 기술 개발2) CMP Pad 재성형 기술 개발3) 접착제 및 Sub Pad 개발	사업화 완료

수용성 Micro Capsules을 사용한 Oxide CMP용 Non-MOCA Polishing Pad 개발	단독개발	1) 신규 기공 형성 기술 개발
2) Urethane Pre-polymer 개발
3) 기공 형성 소재 가공 및 분급 기술 개발
4) Urethane Pre-polymer, Sub Pad, 접착 소재의 다양화.	개발 완료

OLED 세정장비용 엑시머램프 및 광원장치 개발	협력개발	1) Display 건식 세정기용 엑시머진공자외선 램프 하우징 반송 장치 개발2) Housing의 CDA 및 N2 Purge에 따른 기능성 확인3) Housing의 배기 및 처리 후 배기 장치의 개발4) Housing의 VUV용 처리 Conveyor 개발	개발 완료

재사용 CMP Pad의 양산 기술 개발	협력개발	1) 제품 간의 Removal Rate, Pad Cut Rate, Hardness, Porosity, Thickness, Total Thickness Variation의 개선
2) 양산 제조 공정 개선을 통한 양산 수율 개선 및 시장 확대	사업화 완료

2) 연구개발 진행과제

연구과제	진행형태	연구개발

OLEDoS용 식각 장치 개발	단독개발	1) T win Scan Nozzle 의 정밀한 압력 제어 , Motion 제어 기술
2) Wafer Spray 전용 노즐 개발
3) Wafer 회전체 중심 균일 배기 확보
4) Bowl Stage 별 서로 다른 화학약품 분사 , 회수 구조
5) Spindle System 개발
6) Chemical Injection System 개발
7) 약액 분배 공급 장치 개발