엘오티베큠 분기보고서 (2020.03)
II. 사업의 내용

1. 사업의 개요

당사는 건식진공펌프 단일사업부문을 영위하고 있으며, 건식진공펌프 사업부문은 제조, 판매업 및 수리업으로 구분하고 있습니다.

[산업의 특성] 회사가 영위하고 있는 산업은 진공산업이나 고객 기준에 의한 분류 시 반도체, 태양광, 디스플레이, 일반제조용산업 등이 당사가 속해 있는 산업이라고 할 수 있습니다. 가. 진공산업 산업의 이해를 위해 펌프, 진공이라는 핵심어를 통해 당사가 속한 진공산업을 설명할 수 있습니다. 우선펌프라 함은 (1) 유체(fluid, 기체 또는 액체)를 끌어올리거나, 이동시키거나 그 압력을 증가시키는 장치 또는 (2) 기체를 제거함으로써 밀폐된 공간에 진공을 만드는 장치를 말합니다. [Pump : device to lift, transfer, or increase the pressure of a fluid (gas or liquid) or to create a vacuum in an enclosed space by the removal of gas. (Columbia Encyclopedia, Sixth Edition, Copyright(c)2005)] 전자의 펌프는 인간의 심장, 용수용 펌프, 레미콘의 펌프 등 일상생활에서 흔히 볼 수 있는 장치들이며, 후자의 펌프는 전혀 새로운 개념의 펌프로서 진공산업의 발전의 결과라고 할 수 있습니다. 진공이란, 이론적으로 물질이 전혀 존재하지 않은 공간 이지만, 완전한 진공은 아직 인공적으로 도달하지 못한 실정이며, 현재 최고진공 기록은 1㎤ 당 100,000개 이하의 기체 분자 상태입니다.[Vacuum : theoretically, space without matter in it. A perfect vacuum has never been obtained; the best man-made vacuum contain less than 100,000 gas molecules per cc, compared to about 30 billion billion (30*10^18 ) molecules for air at sea level. (Columbia Encyclopedia, Sixth Edition, Copyright(c)2005)] 참고로 대기상태에는1㎤당 약 30*10^18 의 기체분자가 있으며 현실적으로 진공을 정의하면 기체압력이 대기압보다 낮은 상태[Vacuum : the condition of a gaseous environment inwhich the gas pressure is below atmospheric pressure (AVS Dictionary of Terms, Copyright(c) 1980)]라고 설명할 수 있습니다. 진공의 상태는 공간의 절대압력, 즉 기체분자 밀도가 줄어듦에 따라 저진공, 중진공, 고진공, 초고진공 및 극고진공영역으로 표현됩니다. 오늘날 진공기술은 정밀과 청정을 요구하는 모든 산업 및 연구활동에 걸쳐 응용되어 이러한 산업의 인프라를 제공하는 산업이라고 할 수있으며, 이를 정리하면 다음과 같습니다. 분류>

구 분	압력(Pa)	응용분야

저진공	100 Pa 이상	기계공학, 식품공학

중진공	100 - 0.1 Pa	전자공학, 광학, 직공야금

고진공	0.1 -10-5Pa	반도체, 레이저 광학

초고진공	10-5 - 10-8Pa	반도체, 신소재, 가속기, 우주과학, 표면과학

극고진공	10-8 Pa이하	우주과학, 차세대소자, 소립자연구

(출처 : 사단법인 한국진공연구조합, 진공산업 Journal , 2001. 6월호)주1) pascal(Pa) : 1표준기압은 101,325 Pa주2) Torr = 133.322 Pa, 1 표준기압의 760분의 1 나. 반도체, 디스플레이, 태양광 산업 당사가 속해 있는 주요 산업은 반도체 산업으로 반도체산업은 크게 소자산업, 장비산업, 원재료산업으로구분할 수 있으며 당사가 속해있는 세부산업은 장비산업으로 장비산업은 전공정장비, 후공정장비 및 검사장비로 분류할 수 있습니다. 이 중 전공정장비는 대부분 진공장비로서 진공펌프를 장착하고 있으며,공정 미세화에 따라 후공정장비 또한 진공펌프가 장착되고 있습니다.진공은 진공펌프를 통해서 얻을 수 있으므로 진공기술의 핵심은 진공펌프에 있습니다. 반도체 공정에서는 진공펌프 중 건식진공펌프와 터보분자펌프가 주로 사용되는데, 고진공펌프는 대기압에서는 작동이 되지 않으므로 중진공의 환경을 제공하는 건식진공펌프가 기초펌프(Roughing pump)로서 필요합니다. 반도체 제조공정은 대부분 진공상태에서 진행되기 때문에 반도체장비 자체가 하나의 진공시스템이라고볼 수 있으며, 공정의 특성에 맞는 진공도를 유지하는 것이 반도체의 생산성과 직결됩니다. 또한, 반도체제조라인은 그 공정이 다른 일반산업의 공정보다 복잡하고 난이도가 높으며 대규모의 자본이 투하되고 펌프의 수요도 일반산업에 비해 월등히 크므로 "반도체 제조용 진공펌프 시장"이라는 하나의 개별시장을형성하고 있습니다. 반도체 제조공정과 유사한 디스플레이, 태양광 산업 등에서도 대부분의 전공정장비가 진공장비이기 때문에 진공펌프를 요하고 있습니다. [산업의 성장성] 당사가 속해있는 산업은 진공(Vacuum)산업으로 진공기술은 인위적으로 진공상태를만들어 그 안에서 실험과 생산이 가능하게 하는 기술로, 산업과 과학기술 발전의 밑바탕을 제공하는 인프라 기술이라 할 수 있습니다. 즉, 진공 상태가 되면 대기압에서는 얻지 못하는 여러가지 유용한 환경이 만들어지는데 진공기술은 식의약 산업에서부터 광학코팅, 반도체, 디스플레이, 표면과학, 나노과학, 핵융합, 우주과학 등 첨단기술 개발도구를 제공합니다. 미래의 진공기술은 나노기술, 정보통신기술, 우주기술 등 미래를 열어갈 차세대산업의 바탕 환경과 도구를 제공하는 기술로서 인류의 새로운 도전을 가능하게 하는 산업입니다.현재 당사가 주력으로 하고 있는 산업분야는 반도체 산업으로 반도체 산업 중에서도 전공정 장비시장을주요 목표시장으로 하고 있습니다. 반도체 제조공정 중 전공정은 거의 모든 공정이 진공상태에서 이루어지므로 반도체 장비 자체가 하나의 진공시스템이라고도 볼 수 있으며 진공펌프를 전공정장비의 핵심장비라고 할 수 있는데, 이러한 이유는 공정의 특성에 맞는 진공도의 유지가 생산성과 직결되기 때문입니다. 반도체 산업에서의 펌프는 타산업보다도 월등히 많은 펌프의 수요를 요구하고 있으며 공정 또한 타산업의 공정보다 어렵고 복잡한 특성으로 반도체용 진공펌프시장이라는 차별화된 큰 개별시장을 형성하고 있습니다. 반도체 산업외에 공정특성이 유사한 TFT-LCD 산업과 차세대 디스플레이인 OLED 시장 그리고 친환경 대체에너지 시장인 Solar-Cell시장 및 LED 시장, 코팅, 가스, 철강 등 일반산업 분야도 당사의목표시장군에 속합니다. 더불어 기존의 습식제품을 사용하고 있던 화학, 철강, 식품, 제약 등의 일반산업 시장으로도 당사 제품의시장이 다변화, 확대가 가능할 것으로 보고 있습니다. 근래들어 환경오염에 대한 관심이 증대되고 탄소배출권 등의 환경규제가 잇달아 발의됨에 따라 환경오염의 우려가 있는 습식 진공펌프(Oil-Pump) 대신 친환경 제품인 건식진공펌프의 수요가 증가할 것으로 예상되기 때문입니다. [경기변동의 특성] 반도체 장비용 진공펌프 시장은 반도체 소자업체들의 시설투자 계획에 따라 변동요인이 발생할 수 있습니다. 신규라인의 증설 외에 기존 펌프의 노후화 및 진부화에 따른 교체, 보완투자가 지속적으로 이루어지고 있어 반도체용 진공펌프 시장은 소자업체들의 시설투자계획의 영향은 받지만일반적인 경기변동에 따른 변동성이 크지 않은 시장이라고 할 수 있습니다. [국내외시장여건] 반도체 산업협회, 한국무역협회, 디스플레이산업협회의 2018년 기준 통계에 따르면메모리반도체 분야에서는 국내업체인 S사와 H사가 세계 반도체시장 점유율의 63.7%를 차지하고 있으며, 평판디스플레이 분야에서도 S사와 L사 등의 국내업체가 세계시장의 40%를 차지하는 등 세계 굴지의 반도체 및 디스플레이 업체가 국내에 소재해 있습니다. 이에 전세계 유수한 동종 경쟁회사들은 모두 국내시장에 기 진출한 상황입니다. 반도체를 비롯한 디스플레이, 태양광산업용 진공펌프시장은 당사를 제외하고는 모두 외국계 기업이 제품공급을 하고 있으며, 당사를 포함한 외국계 업체들은 업체별로 진공펌프의 제품군이 차이가 있고, 동일 제품군이라도 공정별로 시장이 세분화, 차별화되어 있어 각 업체별로 특화된 제품을 가지고 시장에 진출해 있고 각 개별업체간 특화된 시장으로 구분되어 있습니다.

진공펌프시장 중 당사가 속해있는 건식진공펌프시장은 전체의 약 70%로 가장 큰 시장이며, 다음으로 터보분자펌프시장이 약 25%, 크라이오펌프시장이 약 5%의 시장크기를 가지고 있습니다. [회사의 경쟁우위요소] 반도체, 디스플레이 등 고난이도의 공정에 투입되는 진공펌프의 기술은 스웨덴, 독일, 일본에서 주요기술을 보유하고 있어 당사 이외의 국내업체는 기술력 등의 진입장벽으로 인하여 진입하지 못하고 있습니다. 당사는 170년의 이상 역사를 가진 세계최초의 진공펌프회사인 독일 라이볼트베큠사의 건식진공펌프사업부문(미국 피츠버그 소재)을 2002년 인수 당시 10여년의 업무경험이 있는 라이볼트베큠 코리아의 직원들과 같이 설립하여 기술력을 확보하였으며 2007년도부터는 삼성전자를 통한 SIX SIGMA 품질개선 시스템의 도입과 독일 올리콘 라이볼트베큠사로 태양광셀제조공정용 건식진공펌프를 OEM납품하면서 독일의 체계화된 품질 및 서비스를 습득하여 국제적인 경쟁력을 진일보 시켰습니다.특히 당사는 세계 건식진공펌프 분야의 기술을 선도하는 Split flow screw 타입의 건식진공펌프에 관한 제작 기술을 보유하고 있으며, 기 보유하고 있는 Multi-Type의 Hybrid Screw 메커니즘에 대한 특허를 확보하여 세계의 유수한 외국 선두업체들과 대등한 경쟁을 하고 있고, 반도체 산업에서 가장 미세하고 공정의 난이도가 어려운 Harsh한 공정에서는 검증된 기술력과 제품력으로 당사가 기술우위에 있습니다또한 당사가 판매하는 제품의 시장(고객)은 판매 후 메인 장비와의 어플리케이션과 기술지원이 반드시 필요하므로 사후관리가 매우 중요하다고 할 수 있습니다. 이에 당사는 24시간 Full 대응 서비스 지원체제를 유지하여 타사와는 차별화된 서비스 경쟁력을 유지하고 있습니다. [향후 추진하려는 신규사업] 1) 반도체 산업 최근 반도체시장은 메모리 및 비메모리 반도체가 동반 성장하면서 지속적인 성장이 예상되고 있습니다.메모리 반도체시장은 스마트폰 업황회복과 서버용 등 고용량 메모리 수요가 지속되고 있으며, 비메모리 반도체시장도 자율주행차, 사물인터넷 등 신성장산업이 확대되고 있습니다. 또한 기존과 다른 양적 중심에서 질적 중심의 성장으로 프리미엄 스마폰 및 서버 제품의 고성능, 고용량와 자동차, 가전 등 기존산업과 정보통신기술의 융합 트랜드에 따른 사물인터넷용 반도체가 향후 반도체시장을 견인할 것으로 전망되고 있습니다. 당사는 급변하는 시장의 요구와 다양한 고객의 Need를 반영한 제품을 개발하여 시장을 확대하였으며, 지속적인 수주를 바탕으로 견조한 성장을 이룩할 것으로 기대하고 있습니다. 2) 디스플레이 산업 디스플레이시장의 대형패널시장은 해외업체의 산업발전을 위한 정부지원 정책하에 신규 설비투자 및 기술개발이 지속되고 있으며, 중소형 패널시장도 국내 외 업체의 스마트폰용 OLED의 수요확대 및 자동차용 디스플레이가 꾸준한 성장세가 이어지고 있습니다. 당사는 급변하는 시장의 요구에 대한 탄력적인 대응과 미래의 시장에 대한 한 발 앞선 대비를 위하여 지속적이고 공격적인 투자가 진행되어 다양한 고객의 Needs를 반영한 당사의 차세대 제품이 시장에 출 시 되고 있으며, 성공적으로 진행 될 경우 디스플레이 부분에서 향후 매출 및 이익 증대에 큰 기여를 할 것으로 기대하고 있습니다. 3) 태양광 산업 태양광 산업은 국내 일부업체에서 Solar cell 생산을 하기 위해서 투자진행을 하고 있으나 현재까지는 활성화 되지 않고 있습니다. 하지만 미래에 대한 친환경 대체에너지로 많은 관심을 받고 있고, 또한 정부에서 적극적으로 지원을 하고 있어 앞으로 태양광 시장의 큰 폭의 성장을 예상하고 있습니다. Solar cell 제조기술은 전세계적으로 그 기술을 인정받고 있는 반도체 및 디스플레이 기술과 유사하여, 이미 기술 개발 및 산업화에 필요한 인프라를 충분히 갖추고 있으므로, 이를 충분히 활용한다면 매우 유리한 산업으로 성장할 수 있다고 판단됩니다. 당 사는 시장의 요구와 다양한 고객의 Need를 반영한 제품을 개발하여 시장을 확대하고 있으며, 성공적으로 진행 될 경우 태양광 산업부분에서 향후 매출 및 이익 증대에 큰기여를 할 것으로 기대하고 있습니다.반도체 및 디스플레이의 수요확대 대비한 대규모 투자는 지속될 것으로 보이며, 그간 진행된 투자의 영향으로 산업현장에 설치된 부품 및 장비대수가 증가하여 관련된 교체수요도 늘어날 것으로 예상됩니다. 반도체, 디스플레이 공정과 관련하여 생산성 향상을 위한 선폭의 미세화 등으로 인한 세부공정투자의 증가로 시장 확대되고 있는 추세입니다. 당사는 다양한 산업시장에 고객의 Need를 반영한 제품을 끊임없이 연구개발하고 있 으며, 우수한 성능과 신뢰성을 인정 받아 향후 해외시장 진출을 위해 제품 다양화를 준비하고 있습니다. 하기에 작성된 개발제품은 주요 특징이 변동됨에 따라 신규사업명은 변경 될 수 있습니다. [신규개발 제품내역]

가) XD1200 (사업 분야 및 진출 목적) 현재 반도체 등 진공 시장에서 요청 되어지는 저소비 전력형 조합펌프 2단 30,000L/min 과 2단 20,000L/min급으로 Etch 시장 진입

(주요 특징) 1000㎥/h배기량과 저소비전력을 목표로 개발이 진행되었으며, 주요 부품을 기존 양산품과 공유하여 비용을 절감할 수 있습니다.

(향후 추진 일정) 120㎥/hr 급 저소비전력제품으로 개발완료, 동일 모듈을 사용하여 극저소비전력 소형펌프를 개발할 예정입니다.

나) RD700(사업 분야 및 진출 목적) 현재 디스플레이 진공 시장에서 요청 되어지는 Load Lock용 펌프 시장 대응이며, 다단 펌프를 이용하여 저소비 전력을 달성하고, 35,000L/min급 시장까지 진입을 목적으로 함.

(주요 특징) 700㎥/h 배기량과 배기 기체 압축효율을 향상시켜 저소비 전력을 목표로 개발이 진행 되었으며, 기존 당사 주력 제품인 스크류형태의 제품과 다른 다단형 펌프입니다.

(향후 추진 일정) ) 700㎥/h 급 저 소비 전력제품으로 개발완료 후, 동일 모듈과 설계기술을 사용하여 저 소비전력 대형펌프 개발에 활용할 예정이며, 2018년 내에 데모 등 제품화를 수행함.

다) RD900(사업 분야 및 진출 목적) 디스플레이 진공 시장에서 요청 되어지는 대용량Load Lock용 펌프 시장 대응이며, 다단 펌프를 이용하여 저소비 전력을 달성하고, 60,000L/min급 시장까지 진입을 목적으로 함.

(주요 특징) 900㎥/h 배기량과 배기 기체 압축효율을 향상시켜 저소비 전력을 목표로 개발이 진행 되었으며, 기존 당사 주력 제품인 스크류형태의 제품과 다른 다단형 펌프입니다.

(향후 추진 일정) ) 900㎥/h 급 저 소비 전력제품으로 개발완료 후, 2단 조합 Pump로 60,000L/min급 시장까지 데모 등 제품화를 위한 행위를 수행함.

2. 주요제품 및 서비스 등 회사는 반도체, 디스플레이, 태양광셀 제조 등에 사용되는 Fore Vacuum용 건식진공펌프를 생산, 판매하고 있습니다. 제품 및 상품의 판매 후 A/S제품에 대하여는 수선보수매출이 발생하고 있습니다. 당분기말까지 총 매출액에서 제품, 상품, 수선보수매출 등이 차지하는 비율은 다음과 같습니다. - 연결 매출액

구체적용도	매출액(억원)	비율(%)

Fore Vacuum용 (SEMI, OLED, SOLAR, 일반산업제조용) 건식진공펌프	369	67.2

PLASMA 장비 외	28	5.1

수선보수 외	152	27.7

계	549	100.0

- 매출액

구체적용도	매출액(억원)	비율(%)

Fore Vacuum용 (SEMI, OLED, SOLAR, 일반산업제조용) 건식진공펌프	373	70.5

PLASMA 장비 외	31	5.9

수선보수 외	125	23.6

계	529	100.0

3. 주요 원재료 등에 관한 사항 당사는 제품생산에 필요한 주요 원재료를 국내에서 조달하고 있으며, 독일, 미국 등 해외에서도 원재료를 수입조달하고 있습니다. 2020년 당분기말에 매입한 원재료는 다음과 같습니다.

사업 부문	매입유형	품 목	구체적 용도	매입액 (천원)	비율(%)	비 고

건식진공펌프	원재료	가압펌프외	원재료	21,768	91.2%	-

상품	PPS외	-	1,419	6.0%	-

저장품	-	-	674	2.8%	-

합 계 (천원)	23,861	100%	-

해외에서 조달하는 원재료의 주요한 가격변동 요인은 환율변동이며, 가압펌프 및 기타 원재료 등에 대한개별단가는 연간 총매입수량 등과 연계되어 매년 가격조정이 이루어지고 있습니다. 4. 생산 및 설비에 관한 사항 가. 생산능력 및 생산능력의 산출근거 당 사 제품의 생산능력은 1일 8시간, 월 22일을 기준으로 하여, 제조 숙련공의 인원을 곱한 수치를 표준작업시간으로 나누어 산출하였습니다. 이에 따르는 연간 생산능력은 2,523대입니다. 수선보수의 경우 1일 8시간, 월22일을 기준으로 수리 숙련공의 인원을 곱한 수치를 표준작업시간으로 나누어 산정하였습니다. 이에 따르는 연간 수리능력은 9,768 대입니다. 당사의 총 생산능력은 연간 12, 291입니 다. 나. 생산실적 및 가동률 당분기말의 제품생산실적 은 840대이며, 수선보수실적은 1, 966 대입니다. 상기의 제품 및 수선보수의 평균가동률은 1일 8시간, 월 22일을 기준으로 할 경우 각각 133.2%와 80.5%입니다. 다. 생산설비의 현황 당사는 경기도 오산에 공장(본사) 및 서비스센터를 보유하고 있습니다. 공장부지 토지면적은 총 48,970㎡이며, 건물 총 면적은 30,699.03㎡입니다.

당사는 반도체, 디스플레이, 태양광, 일반산업용 생산, 수리, 연구개발을 위한 기계장치를 보유하고 있으며, 보고서 제출일 현재 기계장치의 장부가액은 5,166백 만 원 입니다. 또한 당사가 보유한 토지와 건물은 보고서 제출일 현재 장부가액 기준으로 각각 19,881백만원, 50,162백만원 입니다 . 세부 내역은 다음과 같습니다.

(단위:천원)

구 분	당분기말	전기말

취득원가	상각누계액	정부보조금	장부금액	취득원가	상각누계액	정부보조금	장부금액

토지	19,881,749	-	-	19,881,749	19,880,623	-	-	19,880,623

건물	52,755,897	(2,593,528)	-	50,162,369	51,372,841	(2,172,345)	-	49,200,496

구축물	1,191,492	(303,006)	-	888,486	1,153,262	(274,166)	-	879,096

기계장치	16,280,977	(11,085,425)	(29,459)	5,166,093	16,364,772	(10,679,970)	(31,119)	5,653,683

집기비품	11,079,896	(6,805,046)	(1,266)	4,273,584	10,754,941	(6,396,399)	(1,519)	4,357,023

기타유형자산	9,243,646	(6,236,867)	(40,570)	2,966,209	8,942,389	(5,889,492)	(47,416)	3,005,481

건설중인자산	1,010,031	-	-	1,010,031	767,557	-	-	767,557

합 계	111,443,688	(27,023,872)	(71,295)	84,348,521	109,236,385	(25,412,372)	(80,054)	83,743,959

라. 설비의 신설 매입 계획 등 보고서 작성기준일 현재 이사회 결의 등으로 결정된 생산설비의 신설·매입 계획등은 없으나, 추후에 생산능력 확대 계획을 고려하고 있습니다. 5 . 매출에 관한 사항 가. 매출실적 당사의 매출은 제품, 상품, 수선보수(기타)로 구분되어지며, 그 세부내역은 다음과 같습니다. - 연결 매출실적

(단위 : 백만원 )

사업부문	매출유형	품 목	제19기 1분기	제18기	제17기

건식진공펌프	제품	DD, HD, LD GHD, RD- series	수 출	13,253	46,881	14,321

내 수	23,647	44,933	91,417

합 계	36,900	91,814	105,738

상품	플라즈마전처리시스템 등	수 출	584	179	1,304

내 수	2,169	6,443	5,316

합 계	2,753	6,622	6,620

수선보수/기타	Dura Dry,DryVac 수리 등	수 출	2,878	11,185	16,607

내 수	12,321	40,625	40,349

합 계	15,199	51,810	56,956

합 계	수 출	16,715	58,245	32,232

내 수	38,137	92,001	137,082

합 계	54,852	150,246	169,314

- 매출실적(단위 : 백만원 )

사업부문	매출유형	품 목	제19기 1분기	제18기	제17기

건식진공펌프	제품	DD, HD, LDGHD, RD- series	수 출	13,668	49,890	18,098

내 수	23,583	44,677	90,714

합 계	37,251	94,567	108,812

상품	플라즈마전처리시스템 등	수 출	947	4,998	5,255

내 수	2,169	6,444	5,317

합 계	3,116	11,442	10,572

수선보수/기타	Dura Dry,DryVac 수리등	수 출	214	671	114

내 수	12,278	40,724	40,178

합 계	12,492	41,395	40,292

합 계	수 출	14,829	55,559	23,467

내 수	38,030	91,845	136,209

합 계	52,859	147,404	159,676

나. 판매경로와 방법 및 조건 당사는 제품 및 상품 등의 경우 직접판매 방식으로 각각 납품처 및 수요산업별로 특화되어 구분된 해당팀(사업1팀, 사업2팀, 사업3팀, 사업4팀(국내, 해외))에서 사전활동으로 마케팅 및 견적 그리고 수주활동을, CS에서는 사후활동으로 제품의 납품 및 설치, 유지보수 및 기술지원 등의 활동을 하고 있습니다. 제품 등의 판매는 견적, 수주, 납품의 방식을 취하고 있습니다. 판매 후 결제조건은 세금계산서 발행 후 10일 (전체 매출액 중 70% 내외), 30일, 60일 전자어음 또는 30일(전체 매출액 중 20% 내외), 60일 현금으로 이루어지고 있습니다. 6. 수주현황 당사가 영위하는 장비산업은 양사간 협의 후 PO를 통해 주문과 생산을 진행하기 때문에 수주 현황을 객관적수치로 표현하기 곤란합니다. 또한 수주상황에 세부내역(발주처. 납기, 수량 등)을 기재시 회사의 영업활동에 지장을 초래할 수 있고 고객의 투자정보등이 노출될 수 있어 해당 사항을 기재하지 않음을 당사의 감사에게 보고 하였습니다. 당사는 수주 후 납품 기일이 짧아 특정일 기준에 의한 수주잔고가 크지 않으며, 아래의 세부내역에는 수리매출 등은 제외한 금액이며, 수주현황 금액은 수주 후 잔여분에 있는 수주에 대한 현황입니다. 보고서 제출일 현재 수주잔고는 다음과 같습니다.

(단위 : 백만원)

품목	수주일자	납기	수주총액	기납품액	수주잔고

수량	금액	수량	금액	수량	금액

제품	원화	-	-	-	47,009	-	17,897	-	29,112

외화	-	-	-	2,655	-	31	-	2,624

합계	-	49,664	-	17,928	-	31,736

7. 시장위험과 위험관리

당사는 여러 활동으로 인하여 시장위험(외환위험), 신용위험 및 유동성 위험과 같은 다양한 금융 위험에노출되어 있습니다. 당사의 전반적인 위험관리프로그램은 금융시장의 예측불가능성에 초점을 맞추고 있으며 재무성과에 잠재적으로 불리할 수 있는 효과를 최소화하는데 중점을 두고 있습니다. 위험관리는 이사회에서 승인한 정책에 따라 재무부서에 의해 이루어지고 있습니다. 재무부서는 사업부서와 긴밀히 협력하여 재무위험을 식별, 평가 및 회피하고 있습니다. 이사회는 외환위험, 신용위험 및 유동성을 초과하는 투자와 같은 특정 분야에 관한 문서화된 정책 뿐 아니라 전반적인 위험관리에 대한 문서화된 정책을 제공합니다.

1) 시장위험 - 외환위험 당사는 국제적으로 영업활동을 영위하고 있어 시장위험 중 외환위험, 특히 주로 달러화 및 유로화와 관련된 환율변동위험에 노출되어 있습니다. 당사의 외환위험 관리의 목표는 환율 변동으로 인한 불확실성과 손익 변동을 최소화함으로써 기업의 가치를 극대화하는데 있습니다. 보고기간 종료일 현재의 주요 외화자산, 부채의 내역의 다음과 같습니다 . 가. 외화자산.부채내역(연결기준)

(단위:천원)

구 분	계정과목	외 화 금 액	원 화 금 액

당분기말	전기말	당분기말	전기말

외화자산	현금및현금성자산	USD	10,125,869	USD	10,630,178	12,379,888	12,307,620

EUR	16	EUR	16	22	21

GBP	4	GBP	4	6	7

VND	180,249,543	VND	2,687,494,870	9,319	134,375

CNY	17,703,200	CNY	12,241,399	3,052,563	2,028,889

TWD	142	TWD	-	6	-

매출채권	USD	3,398,352	USD	3,107,296	4,154,825	3,597,628

CNY	45,176,478	CNY	20,567,092	7,789,780	3,408,790

EUR	1,355	EUR	1,355	1,828	1,758

미수금	USD	3,495	USD	51,982	4,272	60,185

EUR	882	EUR	882	1,190	1,144

CNY	316,129	CNY	370,285	54,510	61,371

VND	285,121	VND	-	15	-

외화부채	매입채무	USD	31,138	USD	-	38,069	-

EUR	437,050	EUR	437,050	589,428	567,029

VND	22,336,845	VND	7,735,194,040	1,155	386,760

CNY	25,516,998	CNY	12,623,740	4,399,896	2,092,259

JPY	186,000	JPY	186,000	2,103	1,978

미지급비용	USD	111,831	USD	150,055	136,725	173,733

EUR	8,498	EUR	8,498	11,461	11,026

VND	154,414,128	VND	206,875,160	7,983	10,344

CNY	21,293,337	CNY	204,790	3,671,610	33,942

나. 환율변동위험 (연결기준) 당분기말과 전기말 현재 원화의 USD, CNY 등 외화 대비 환율이 높았다면, 연결회사의 자본과 손익은 증가하였을 것입니다. 이와 같은 분석은 연결회사가 각 기말에 합리적으로 가능하다고 판단하는 정도의 변동을 가정한 것입니다. 또한, 민감도 분석 시에는 이자율과 같은 다른 변수는 변동하지 않는다고 가정하였습니다. 전기에도 동일한 방법으로 분석하였으나, 합리적으로 가능하다고 판단되는 환율변동의 정도는 다릅니다. 구체적인 자본 및 손익의 세후 변동금액은 다음과 같습니다.

(단위:천원)

구 분	당분기말	전기말

10% 상승시	10% 하락시	10% 상승시	10% 하락시

USD	1,276,407	(1,276,407)	1,231,753	(1,231,753)

EUR	(46,632)	46,632	(44,860)	44,860

CNY	220,377	(220,377)	263,082	(263,082)

VND	15	(15)	(20,493)	20,493

JPY	(164)	164	(154)	154

GBP	1	(1)	1	(1)

TWD	1	(1)	-	-

2) 신용 위험(연 결기준) 신용위험은 보유하고 있는 수취채권 및 확정계약을 포함한 도소매 거래처에 대한 신용위험뿐 아니라 현금 및 현금성자산, 은행 및 금융기관 예치금으로부터 발생하고 있습니다. 당사의 경영진은 신용위험을 관리하기 위하여 신용도가 일정 수준 이상인 거래처와 거래하고 있으며, 금융자산의 신용보강을 위한 정책과 절차를 마련하여 운영하고 있습니다. 당사는 신규 거래처와 계약시 공개된 재무정보와 신용평가기관에 의하여 제공된 정보 등을 이용하여 거래처의 신용도를 평가하고 이를 근거로 신용거래한도를 결정하고 있으며, 담보 또는 지급보증을 제공받고 있습니다. 또한, 당사는 주기적으로 거래처의 신용도를 재평가하여 신용거래한도를 재검토하고 담보수준을 재조정하고 있으며, 회수가 지연되는 금융자산에 대하여는 분기 단위로 회수지연 현황 및 회수대책이 보고되고 있으며, 지연사유에 따라 적절한 조치를 취하고 있습니다.

당분기말과 전기말 현재 신용위험에 대한 최대 노출 정도는 다음과 같습니다.

(단위:천원)

구 분	당분기말	전기말

현금및현금성자산	54,456,389	36,539,142

단기금융자산	13,889	1,263,090

당기손익-공정가치금융자산	2,995,424	7,011,250

매출채권	25,588,622	27,827,274

단기대여금	940,057	751,301

기타수취채권	851,436	940,321

기타포괄손익-공정가치금융자산	1,969,602	1,922,613

장기매출채권	1,544,273	1,462,800

장기대여금	1,389,816	1,605,875

기타비유동수취채권	520,181	509,688

합 계	90,269,689	79,833,354

보유현금 및 지분증권은 신용위험에 노출되어 있지 않으므로 제외하였습니다. 3) 유동성 위험(연결기준) 유동성 위험은 당사의 경영환경 또는 금융시장의 악화로 인해 회사가 부담하고 있는 단기 채무를 적기에이행하지 못할 위험으로 정의합니다. 당사는 유동성 위험을 선제적으로 관리하기 위해 현금흐름 및 유동성 계획 등에 대해 주기적으로 예측하고 이에 따른 대응방안을 수립하고 있습니다. 또한 적정규모의 예금을 보유함으로써 향후 발생 가능한 자금경색에 따른 유동성 위험에 대처하고 있습니다. 회사의 유동성위험 분석내역은 다음과 같습니다 .

당분기말과 전기말 현재 금융부채의 계약상 만기는 다음과 같습니다. 금액은 이자지급액을 포함하고, 상계약정의 효과는 포함하지 않았습니다.

① 당분기말

(단위:천원)

구 분	장부금액	계약상 현금흐름	3개월 미만	3개월 ~ 1년 이하	1년 초과

매입채무	14,342,551	14,342,551	14,342,551	-	-

단기차입금	18,000,000	18,013,143	10,986	18,002,157	-

유동성장기차입금	4,800,000	4,838,492	18,285	4,820,207	-

장기차입금	3,200,000	3,289,726	12,605	37,816	3,239,305

기타금융부채(*1)	8,924,557	8,924,557	8,383,688	540,869	-

금융리스부채(유동)	878,234	838,332	255,033	583,299	-

금융리스부채(비유동)	1,255,638	1,692,665	-	-	1,692,665

전환사채(*2)	25,901,939	27,500,000	7,500,000	-	20,000,000

합 계	77,302,919	79,439,466	30,523,148	23,984,348	24,931,970

(*1) 종업원 관련 부채를 제외하였습니다.(*2) 현재 전환사채와 관련된 파생상품부채는 현금 유출이 없는 조기상환청구권으로 유동성위험에 노출되어 있지 않습니다.② 전기말

(단위:천원)

구 분	장부금액	계약상 현금흐름	3개월 미만	3개월 ~ 1년 이하	1년 초과

매입채무	11,331,087	11,331,087	11,331,087	-	-

단기차입금	18,000,000	18,114,212	15,931	18,098,280	-

유동성장기차입금	3,600,000	3,640,778	14,181	3,626,597	-

장기차입금	4,400,000	4,516,149	17,331	52,189	4,446,629

기타금융부채(*1)	7,401,673	7,401,673	6,964,383	437,290	-

금융리스부채(유동)	893,090	893,090	235,883	657,206	-

금융리스부채(비유동)	1,451,322	1,451,322	-	-	1,451,322

전환사채(*2)	25,639,151	27,500,000	7,500,000	-	20,000,000

합 계	72,716,323	74,848,311	26,078,796	22,871,562	25,897,951

(*1) 종업원 관련 부채를 제외하였습니다.(*2) 전환사채와 관련된 파생상품부채는 현금 유출이 없는 조기상환청구권으로 유동성위험에 노출되어 있지 않습니다.

8. 파생상품거래현황 파생상품은 파생상품 계약 체결 시점에 공정가치로 최초 인식되며 이후 공정가치로 재측정됩니다. 위험회피회계의 적용 요건을 충족하지 않는 파생상품의 공정가치변동은 거래의 성격에 따라 '기타영업외 수익(비용)' 또는 '금융수익(비용)'으로 포괄손익계산서에 인식됩니다. 9. 경영상의 주요 계약 당사는 보고서 작성기준일 현재 해당사항이 없습니다. 10 . 연구개발활동 가. 연구활동의 개요

당사의 연구개발 조직은 반도체, 디스플레이, 태양광, 2차전지 산업분야 및 기타 산업분야와 연구분야 등에서 사용되는 건식진공펌프 제품과 이와 관련한 기술 개발 담당하고 있으며 보다 우수한 성능과 제품 품질을 확보할 수 있는 차세대 진공펌프 개발에 주력하고 있습니다. Screw Rotor 설계개발, Vacuum System Simulation, Dry Vacuum Pump(건식 진공펌프) System 설계개발, 공정 부산물 처리분야 기술개발이 주된 연구분야이며, 다음과 같은 주요 목표를 달성하기 위한 역할을 수행해 나가고 있습니다.

- 시장 및 산업환경에 적합한 신제품의 지속적 개발

- 반도체 산업 분야 등의 소자 제조장비의 신공정 및 신기술에 대한 대응기술 개발

- 신제품 및 기존제품의 설계변경, 국산화 등을 통한 원가절감

- 제품 사용 중 발생하는 다양한 품질문제의 대응

- 신기술 및 기술 역량 강화를 위한 국책과제 수행

- 진공 전문 교육 실시를 통한 저변확대

나. 연구개발 담당조직

당사는 연구개발 업무를 전담하기 위한 R 두고 있으며 효율적이고 유기적인 연구개발 수행을 위해 기술분야 별로 체계적인 개발을 위해 업무 분야별로 5개의 팀으로 구성되어 있으며 각각 다음과 같은 역할을 전담 수행하고 있습니다.

- 선행개발팀 : 1) 국가 기술개발 사업 및 산학연 개발 발굴 및 수행 지원

2) IP 전략 수립 및 관리 등 지식재산권 확보 전략 수립 및 관리

3) 신제품 개발 계획 및 기술적 타당성 검토

4) 일정 계획 수립, 선행기술 및 제품 사항/디자인 계획

- 기구설계팀 : 1) Dry Vacuum Pump 및 Booster Pump 제품군에 대한 설계 및 개발 2) 개발 기획부터 제품화/양산까지 전주기 개발 관리 및 진행

3) 개발 제품에 대한 시작품 제작

4) 개발품의 제품화를 위한 생산 품질 확보 및 지원

- 전장설계팀 : 1) 진공펌프에 필요한 전기, 전장 부품 설계 및 개발

2) 모터 설계/개발, 제어시스템, 통신부품 및 소프트웨어

- 개발인프라팀: 1) 개발에 관련된 DATA와 APP을 통합 관리할 수 있는 PDM(PLM) 구축

2) 효과적이고 효율적인 연구개발 활동 수행을 위한 지원 업무

- 양산기술팀 : 1) 제품 Application개발, ECR/ECO 개발

2) 개발, 양산 제품에 대한 성능 및 제품 품질 신뢰성 확보를 위한 시험 3) 양산 제품에 대한 기술적 지원 수행

4) 개발 제품군에 대한 시제작, 시험 평가 등을 통한 개발제품 신뢰성 확보

5) 제품 및 고객에 대한 기술 지원

다. 연구개발비용 당사의 최근 3년간 연구개발비용은 다음과 같습니다.

(단위 : 천원)

과 목	제19기 1분기	제18기	제17기	비 고

원 재 료 비	711,768	3,974,327	3,181,647	-

인 건 비	865,604	3,525,445	3,641,058	-

감 가 상 각 비	590,491	2,429,621	2,492,246	-

위 탁 용 역 비	152,000	403,400	406,000	-

기 타	300,098	1,425,059	1,570,864	-

연구개발비용 계	2,619,962	11,757,852	11,291,815	-

회계처리	판매비와 관리비	2,165,003	9,172,215	9,057,584	-

제조경비	454,959	1,832,756	1,758,478	-

개발비 (무형자산)	-	752,881	475,753	-

연구개발비 / 매출액 비율[연구개발비용계÷당기매출액×100]	4.96%	7.98%	7.07%	-

* 상기 연구개발비용은 국고보조금이 포함된 금액임 * 당사의 최근 3년간 국고보조금은 다음과 같습니다. (단위 : 천원)

과 목	제19기 1분기	제18기	제17기	비고

국고보조금	83,325	778,881	964,388	-

라. 연구개발실적 당사의 최근 3년간 연구개발실적 및 현재 진행중인 연구개발제품은 다음과 같습니다.

연도	연구 과제명	기대효과

2017년	RD200(200㎥/h급 펌프)	극저소비 전력형 소형 펌프 및 스크류 펌프에만 머물렀던 라인업을 다단펌프로 확장

2018년	RD700(700㎥/h급 펌프)	대용량Load Lock개발 디스플레이 시장 진입

2019년	RD3009(3000㎥/h급 펌프)	대용량Load Lock개발 디스플레이 시장 진입

RD900(900㎥/h급 펌프)	대용량Load Lock개발 디스플레이 시장 진입

11. 그 밖에 투자의사결정에 필요한 사항 가. 회사의 상표, 품질, 기술인증 사항 당사 주요제품군의 상표명은 Dura Dry로 2003년 12월 8일 특허청으로부터 상표등록증을 보유하고 있습니다. 이 외에 2008년 6월 EcoSL, EcoScrew 라는 브랜드로 국내 및 해외(유럽, 미국, 중국, 대만 등) 출원하였습니다. 또한, 회사는 제품의 품질 및 기술과 관련된 각종 인증을 보유하고 있으며, 특히 당사에서 개발, 생산, 판매하는 모든 제품에 미국 제품 안전 인증인 SEMI-S2, 유럽 제품안전 인증인 CE(European Communities)의 인증을 받았습니다. 나. 지적재산권 보유현황 회사가 영위하는 사업과 관련하여 다수의 특허권을 취득하여 보유하고 있으며, 주요 특허권에 대한 사항은 다음과 같습니다.

종류	취득일	내 용	근거법령	상용화여부 및 매출기여도

건식진공펌프	2005.06.20	루츠로터와 스크류 로터를 지닌 복합건식진공펌프	특허법	상용화 및 매출실현

2006.06.12	루츠로터와 스크류로터 복합건식 진공펌프	특허법	상용화 및 매출실현

2006.09.11	복수 단의 루츠형 로터와 스큐류형 로터를 지닌 복합드라이 진공펌프	특허법	상용화 및 매출실현

2006.11.10	루츠로터와 스크류 로터 복합건식진공펌프	특허법	상용화 및 매출실현

2007.06.07	Al-CVD공정으로부터 공정부산물을 트래핑하기 위한 방법 및 장치	특허법	상용화 단계

2007.08.14	원자층(Al2O3 ALD) 공정 시스템의 배기경로에서의 공정부산물을 포집할 수 있는 트랩장치	특허법	상용화 단계

2008.02.27	일체형 진공발생장치	특허법	상용화 준비단계

2008.08.25	루츠로터와 스크루로터 복합건식진공펌프	특허법	상용화 및 매출실현

2009.07.17	가장자리 자속을 이용한 전동기 위치 측정 방법 및 시스템, 이를 위한 홀센서 지지구조	특허법	상용화 및 매출실현

2009.09.22	Composite dry vacuum pump having roots and screw rotor	미국 특허법	상용화 및 매출실현

2010.05.25	Composite dry vacuum pump having roots rotor and screw rotor	미국 특허법	상용화 및 매출실현

2012.09.13	플라즈마 반응기	특허법	상용화 및 매출실현

2012.11.28	Complex dry vacuum pump having Roots and screw rotor	유럽 특허법	상용화 및 매출실현

2013.01.31	배기 유체 처리장치	특허법	상용화 및 매출실현

2013.05.16	트랩장치	특허법	상용화 준비

2016.11.15	APPARATUS FOR PROCESSING EXHAUST FLUID	미국
특허법	상용화 및 매출실현

2016.12.07	APPARATUS FOR PROCESSING EXHAUST FLUID	중국
특허법	상용화 및 매출실현

2018.03.07	고유량의 퍼플루오르화합물(PFCs) 가스 저감을 위한 나선형 플라즈마 챔버	특허법	상용화 단계

2019.02.01	유해가스 처리용 마이크로웨이브 플라즈마 반응기 및 이를 구비하는 유해가스 처리 장치	특허법	상용화 단계

2019.03.06	플라즈마 반응을 이용한 유해가스 처리기를 구비하는 배관 장치 및 이를 포함하는 유해가스 처리설비	특허법	상용화 단계

다. 법률/규정 등에 의한 규제사항 법률, 규정 등에 의하여 정부나 지방자치단체 등으로부터 직접적인 규제를 받는 사항은 없으며 정부는 반도체 장비산업과 같이 고부가가치 산업의 육성을 추진하고 있는 바, 정부로부터의 일부 세제혜택을 받고 있습니다.특히, 관세법에 의거하여 반도체협회가 추천하는 주요 원부자재에 대하여 관세를 감면해주고 있는데 그주요 사항은 관세법 제95조에 의거하여 도달진공도가 9×10­³torr(토르)이상의 제품 생산을 위한 공장자동화 시설재 수입의 경우 대기업 40%, 중소기업 50%의 관세감면을 받을 수 있습니다. 그리고 당사의 경우 세율불균형 관세감면을 받고 있는데 이는 관세법 제 89조에 의거하여 진공펌프의 제조 및 수리용부분품 중 세율불균형이 발생하는 원부자재에 대하여 100% 관세감면을 받고 있습니다. 라. 조직도 당사는 조직간 소통과 신뢰를 통한 조직 효율성을 극대화 하고 사업의 중장기 회사 성장을 위해 전략적 조직운영을 하고 있습니다. 다음은 당사의 조직현황입니다.