엘오티베큠 분기보고서 (2023.03)
7. 기타 참고사항

가. 시장의 여건 및 영업의 개황 1) 산업의 특성 당사가 속한 주요 산업은 반도체, 디스플레이, 태양광, 2차 전지 등 첨단산업의 장비산업입니다. 진공기술은 인위적으로 진공상태를 만들어 그 안에서 실험과 생산이 가능하게 하는 기술로, 반도체, 디스플레이, 태양광, 2차 전지, 핵융합, 우주과학, 의약 등 첨단기술산업에 적용되고 있습니다.

반도체 장비는 전공정장비, 후공정장비 및 검사장비로 분류할 수 있습니다. 이 중 전공정장비는 대부분 진공장비로서 진공펌프를 장착하고 있으며, 공정 미세화에 따라 후공정장비 또한 진공펌프가 장착되고 있습니다. 제조공정이 반도체와 유사한 디스플레이, 태양광 산업 등에서도 전공정장비에 진공펌프를 요하고 있습니다.

진공펌프의 종류는 건식진공펌프, 터보분자펌프, 크라이오 펌프로 구분할 수 있습니다. 시장규모는 당사가 속한 건식진공펌프 시장이 전체의 약 70%로 가장 큰 시장이며, 다음으로 터보분자펌프 시장이 약 25%, 크라이오펌프 시장이 약 5%를 차지하고 있습니다.

2) 산업의 성장성

진공기술은 인위적으로 진공상태를 만들어 그 안에서 실험과 생산이 가능하게 하는 기술로, 산업과 과학기술 발전의 밑바탕을 제공하는 인프라 기술이라 할 수 있습니다. 즉, 진공기술은 나노기술, 정보통신기술, 우주기술 등 미래를 열어갈 차세대산업의 바탕 환경과 도구를 제공하는 기술로서 인류의 새로운 도전을 가능하게 하는 산업입니다.

당사의 주력 산업분야인 반도체 부문은 빅데이터, 인공지능, 사물인터넷 등 4차 산업분야의 성장에 따른 투자확대로 성장하고 있으며, 태양광 부문은 최근 전세계 각 국의 탄소중립 정책과 이에 따른 재생에너지 전환 가속화로 인해 시장규모가 큰 폭으로 성장하고 있습니다. 특히, 전세계 태양광 산업 가치사슬에서 가장 큰 비중을 차지하고 있는 중국은 태양광 설비 투자 측면에서도 가장 큰 규모를 집행하며 태양광 산업용 장비 시장의 성장을 견인하고 있습니다.

더불어 기존의 습식제품을 사용하고 있던 화학, 철강, 식품, 제약 등의 일반산업 시장으로도 당사 제품의시장이 다변화, 확대가 가능할 것으로 보고 있습니다. 최근 들어 환경오염에 대한 관심이 증대되고 탄소배출권 등의 환경규제가 잇달아 발의됨에 따라 환경오염의 우려가 있는 습식진공펌프(Oil-Pump) 대신 친환경 제품인 건식진공펌프의 수요가 증가할 것으로 예상됩니다.

3) 경기변동의 특성

반도체, 디스플레이, 태양광, 2차전지 산업용 진공펌프 시장은 전방산업의 시설투자계획에 따라 변동요인이 발생할 수 있으나, 신규라인의 증설 외에 기존 펌프의 노후화 및 진부화에 따른 교체·보완투자가 지속적으로 이루어지고 있어 경기변동에 따른 변동성이 크지 않은 시장이라고 할 수 있습니다. 또한, 반도체 소자기술의 급격한 발전으로 경기순환 주기 및 장비 교체주기가 점점 더 짧아지면서 시장의 안정성도 증가하고 있습니다.

4) 국내외시장여건

반도체를 비롯한 디스플레이, 태양광, 2차전지 산업용 진공펌프 시장은 당사를 제외하고는 모두 외국계 기업이 제품을 공급하고 있습니다. 반도체, 디스플레이 등 고난도의 공정에 투입되는 진공펌프는 영국, 프랑스, 스웨덴, 독일, 일본에서 주요 기술을 보유하고 있어 당사 이외의 국내업체는 기술의 진입장벽으로 인하여 시장에 진입하지 못하고 있는 상황입니다.

국내 진공펌프 시장에서는 당사와 영국계 1개사, 프랑스계 1개사, 일본계 2개사가 서로 경쟁하고 있습니다. 당사는 이 중 매출점유율 2위를 차지하고 있으며, 5개사 중 가장 큰 매출성장률을 기록하고 있습니다. 또한, 지속적인 연구개발과 고객요구에 최적화된 제품개발로 시장점유율을 계속해서 확대해 나가고 있습니다.

5) 회사의 경쟁우위요소

당사는 건식진공펌프의 성능과 제품신뢰성을 확보하기 위한 핵심기술중 하나인 Screw 및 다양한 회전체 형상설계 기술을 포함한 다수의 핵심기술을 자체적으로 보유하고 있습니다. 기 보유하고 있는 Multi-Type의 Hybrid Screw 메커니즘에 대한 특허를 통해 세계의 유수한 외국 선두업체들과 대등한 경쟁을 하고 있으며, 반도체 산업에서 가장 미세하고 공정의 난이도가 어려운 Harsh한 공정에서는 검증된 기술력과 제품력으로 당사가 기술우위에 있습니다

또한 당사가 판매하는 제품의 시장(고객)은 판매 후 메인 장비와의 어플리케이션과 기술지원이 반드시 필요하므로 사후관리가 매우 중요하다고 할 수 있습니다. 이에 당사는 24시간 Full 대응 서비스 지원체제를 유지하여 타사와는 차별화된 서비스 경쟁력을 유지하고 있습니다.

나. 그 밖에 투자의사결정에 필요한 사항

1) 회사의 상표, 품질, 기술인증 사항 당사 주요 제품군의 상표명은 Dura Dry로 2003년 12월 8일 특허청으로부터 상표등록증을 보유하고 있습니다. 이 외에 2008년 6월 EcoSL, EcoScrew 라는 브랜드로 국내 및 해외(유럽, 미국, 중국, 대만 등) 출원하였습니다. 또한, 회사는 제품의 품질 및 기술과 관련된 각종 인증을 보유하고 있으며, 특히 당사에서 개발, 생산, 판매하는 모든 제품에 미국 제품 안전 인증인 SEMI-S2, 유럽 제품안전 인증인 CE(European Communities)의 인증을 받았습니다. 2) 지적재산권 보유현황 회사가 영위하는 사업과 관련하여 다수의 특허권을 취득하여 보유하고 있으며, 주요 특허권에 대한 사항은 다음과 같습니다.

순번	구분	취득일자	내용	상용화 여부

1	특허권	2005.06.20	루츠형 로터와 스크루형 로터를 지닌 복합 드라이 진공펌프	상용화

2	특허권	2006.06.12	루츠로터와 스크류로터 복합건식 진공펌프	상용화

3	특허권	2006.09.11	복수 단의 루츠형 로터와 스크루형 로터를 지닌 복합드라이 진공 펌프	상용화

4	특허권	2006.11.10	루츠 로터와 스크루 로터 복합건식진공펌프	상용화

5	특허권	2007.06.07	Al-CVD 공정으로부터의 공정부산물을 트래핑하기 위한방법 및 장치	상용화

6	특허권	2007.08.14	Al₂O₃ ALD 공정 시스템의 배기 경로에서의공정부산물을 포집할 수 있는 트랩장치	상용화

7	특허권	2008.02.27	일체형 진공발생장치	상용화

8	특허권	2008.05.14	Composite dry vacuum pump having roots rotor and screw rotor	상용화

9	특허권	2008.08.25	루츠 로터와 스크루 로터 복합건식진공펌프	상용화

10	특허권	2009.03.04	Composite dry vacuum pump having roots rotor and screw rotor	상용화

11	특허권	2009.08.21	가장자리 자속을 이용한 전동기 회전자 위치 측정 방법 및 시스템, 이를 위한 홀센서 지지 구조	상용화

12	특허권	2009.11.03	Complex dry vacuum pump having Roots and screw rotors	상용화

13	특허권	2010.05.25	Composite dry vacuum pump having roots rotor and screw rotor	상용화

14	특허권	2011.03.30	Complex dry vacuum pump having Roots and screw rotors	상용화

15	특허권	2012.09.13	플라즈마 반응기	상용화

16	특허권	2012.11.14	INTEGRATED APPARATUS FOR VACUUM PRODUCING	상용화

17	특허권	2012.11.28	Complex dry vacuum pump having Roots and screw rotors	상용화

18	특허권	2013.01.31	배기 유체 처리 장치	상용화

19	특허권	2013.05.16	트랩 장치	상용화

20	특허권	2013.08.23	트랩 장치	상용화

21	특허권	2013.09.01	Composite dry vacuum pump having roots rotor and screw rotor	상용화

22	특허권	2014.01.08	금속성 부산물의 제거를 위한 방법 및 진공 시스템	상용화

23	특허권	2014.05.21	Complex dry vacuum pump having Roots and screw rotors	상용화

24	특허권	2014.12.31	입자 포집용 트랩장치	상용화

25	특허권	2015.07.29	공정설비에서 발생되는 배기가스 처리 플라즈마 반응기	상용화

26	특허권	2015.07.29	공정설비에서 발생되는 배기가스 처리 플라즈마 반응기	상용화

27	특허권	2015.10.20	공정설비에서 발생되는 배기가스 처리 플라즈마 반응기	상용화

28	특허권	2015.10.27	공정설비에서 발생되는 배기가스 처리설비	상용화

29	특허권	2015.11.03	공정설비에서 발생되는 배기가스 처리 플라즈마 반응기	상용화

30	특허권	2015.11.27	공정설비에서 발생되는 배기가스 처리 플라즈마 반응기	상용화

31	특허권	2016.04.06	공정설비에서 발생되는 배기가스 처리 플라즈마 반응기	상용화

32	특허권	2016.10.26	Method and vacuum system for removing metallic by-products	상용화

33	특허권	2016.11.15	APPARATUS FOR PROCESSING EXHAUST FLUID	상용화

34	특허권	2016.12.07	APPARATUS FOR PROCESSING EXHAUST FLUID	상용화

35	특허권	2017.01.01	Plasma reactor for purifying exhaust gas of the process facility	상용화

36	특허권	2017.04.25	공정설비에서 발생되는 배기가스 처리 플라즈마 반응기	상용화

37	특허권	2017.09.01	공정설비에서 발생되는 배기가스 처리 플라즈마 반응기	상용화

38	특허권	2018.03.07	고유량의 퍼플루오르화합물(PFCs) 가스 저감을 위한 나선형 플라즈마 챔버	상용화

39	특허권	2018.03.21	LOW-PRESSURE PLASMA REACTION DEVICE FOR TREATING EXHAUST FLUID	상용화

40	특허권	2018.07.01	Facility for purifying exhaust gas which is generated in processing plasma reactor	상용화

41	특허권	2018.08.15	APPARATUS FOR PROCESSING EXHAUST FLUID	상용화

42	특허권	2019.03.06	플라즈마 반응을 이용한 유해가스 처리기를 구비하는 배관 장치 및 이를 포함하는 유해가스 처리설비	상용화

43	특허권	2019.10.16	유해가스 처리기를 구비하는 배관 장치 및 이를 포함하는 유해가스 처리설비	상용화

44	특허권	2019.10.24	유해가스 처리기를 구비하는 배관 장치와 이의 설계 방법	상용화

45	특허권	2019.10.30	플라즈마 반응기의 전극 구조물 및 이를 구비하는 유해가스 처리용 플라즈마 반응기	상용화

46	특허권	2020.01.14	플라즈마 반응과 촉매를 이용한 유해가서 처리장치	상용화

47	특허권	2020.02.10	반도체 제조설비용 배기 장비 및 이를 이용한 배기관 내 파우더 침적 방지 방법	상용화

48	특허권	2020.02.20	반도체 제조 장비의 파우더 포집 장치	상용화

49	특허권	2020.03.26	하이브리드 시일을 사용한 배관 장치 및 이를 포함하는 유해가스 처리 설비	상용화

50	특허권	2020.05.29	마모 발생을 방지하는 진공펌프	상용화

51	특허권	2020.09.08	배기가스 처리용 유도결합 플라즈마 발생장치 및 이를 위한 점화 시스템	상용화

52	특허권	2020.09.21	반도체 제조설비용 배기라인 파우더 퇴적 상태 모니터링 장치	상용화

53	특허권	2020.11.06	사이클론 분산장치	상용화

54	특허권	2020.11.06	과 압축 발생을 방지하는 진공펌프 하우징 및 이를 포함한 진공 펌프	상용화

55	특허권	2020.11.06	마모 발생을 방지하는 진공펌프	상용화

56	특허권	2021.01.12	반도체 제조설비용 배기관 세정을 위한 배기장비의 운영방법	상용화

57	특허권	2021.04.21	PIPING APPARATUS HAVING HARMFUL GAS TREATMENT DEVICE, DESIGN METHOD THEREFOR, AND HARMFUL GAS TREATMENT FACILITY COMPRISING SAME	상용화

58	특허권	2021.05.20	반도체 제조설비용 배기 장비 및 이를 이용한 배기관 내 파우더 침적 방지 방법	상용화

59	특허권	2021.05.31	반도체 제조설비용 보조 배기가스 정화장치	상용화

60	특허권	2021.06.10	반도체 제조설비용 배기가스 처리 장비	상용화

61	특허권	2021.09.01	반도체 제조설비용 배기관 세정을 위한 배기장비의 운영방법	상용화

62	특허권	2021.09.08	사이클로덱스트린계 분지형 고분자 및 이를 포함하는 생분해성 수지 조성물	상용화

63	특허권	2021.11.16	유도결합 플라즈마용 플라즈마 반응기 및 이의 조립 방법	상용화

64	특허권	2022.03.28	유도결합 플라즈마 반응기 및 유도결합 플라즈마 반응기의 안테나 코일용 와이어 구조물	상용화

65	특허권	2022.03.31	과 압축 발생을 방지하는 진공펌프 하우징 및 이를 포함한 진공 펌프	상용화

66	특허권	2022.08.26	배기가스 플라즈마 처리 장비용 가스 공급 장치 및 이를 구비하는 배기가스 플라즈마 처리 장비	상용화

67	특허권	2022.08.26	반도체 제조설비 및 이의 운영방법	상용화

3) 법률/규정 등에 의한 규제사항 법률, 규정 등에 의하여 정부나 지방자치단체 등으로부터 직접적인 규제를 받는 사항은 없으며 정부는 반도체 장비산업과 같이 고부가가치 산업의 육성을 추진하고 있는 바, 정부로부터의 일부 세제혜택을 받고 있습니다. 특히, 관세법에 의거하여 반도체협회가 추천하는 주요 원부자재에 대하여 관세를 감면해주고 있는데 그주요 사항은 관세법 제95조에 의거하여 도달진공도가 9×10­³torr(토르)이상의 제품 생산을 위한 공장자동화 시설재 수입의 경우 대기업 40%, 중소기업 50%의 관세감면을 받을 수 있습니다. 그리고 당사의 경우 세율불균형 관세감면을 받고 있는데 이는 관세법 제 89조에 의거하여 진공펌프의 제조 및 수리용부분품 중 세율불균형이 발생하는 원부자재에 대하여 FTA 관세감면을 받고 있습니다. 4) 조직도 당사는 조직간 소통과 신뢰를 통한 조직 효율성을 극대화 하고 사업의 중장기 회사 성장을 위해 전략적 조직운영을 하고 있습니다. 다음은 당사의 조직현황입니다.