eddmpython/dartlab-data huggingface dataset:
원익QnC 반기보고서 (2023.06)
반 기 보 고 서

(제 21 기 반기)

사업연도 2023년 01월 01일 부터
2023년 06월 30일 까지

금융위원회
한국거래소 귀중 2023년 8월 14일

제출대상법인 유형 : 주권상장법인
면제사유발생 : 해당사항 없음

회 사 명 : 주식회사 원익큐엔씨
대 표 이 사 : 백 홍 주
본 점 소 재 지 : 경북 구미시 옥계2공단로 117
(전 화)054-479-9500
(홈페이지) http://www.wonikqnc.com
작 성 책 임 자 : (직 책)경영지원실장 (성 명)김 동 우
(전 화)054-479-9500
1. 회사의 개요

가. 연결대상 종속회사 개황 가-1. 연결대상 종속회사 현황(요약)

(단위 : 사)

구분	연결대상회사수	주요종속회사수

기초	증가	감소	기말

상장	-	-	-	-	-

비상장	16	-	-	16	3

합계	16	-	-	16	3

※상세 현황은 '상세표-1. 연결대상 종속회사 현황(상세)' 참조

(*) 작성기준일 이후 Wonik (Wuxi) Semiconductor Tech. Co. Ltd. 이하 원익 우시 법인(비상장)은 매각이 완료되었습니다.

가-2. 연결대상회사의 변동내용

구 분	자회사	사 유

신규연결	-	-

-	-

연결제외	-	-

-	-

(*) 작성기준일 이후 Wonik (Wuxi) Semiconductor Tech. Co. Ltd. 이하 원익 우시 법인(비상장)은 매각이 완료되었습니다.

나. 회사의 법적, 상업적 명칭당사의 명칭은 주식회사 원익큐엔씨라고 표기합니다. 또한 영문으로 WONIK QnC Corporation 이라고 표기합니다. 단 약식으로 표기할 경우에는 (주)원익큐엔씨라고 표기합니다. 다. 설립일자 및 존속기간당사는 반도체 제조용 석영제품 및 반도체·DISPLAY 등의 세라믹제품을 전문 생산하는 업체로 성장하기 위해 주식회사 원익으로부터 2003년 11월 11일 기업분할로 설립되었습니다. 또한, 2003년 12월 12일에 코스닥시장 재상장 되었습니다. 라. 본사의 주소, 전화번호 및 홈페이지주소 : 경북 구미시 옥계2공단로 117전화번호 : 054-479-9500홈페이지 : http://www.wonikqnc.com

마. 중소기업 해당여부당사는 『중견기업 성장촉진 및 경쟁력 강화에 관한 특별법』 제2조에 의한 중견기업에 해당합니다.

중소기업 해당 여부	미해당

벤처기업 해당 여부	미해당

중견기업 해당 여부	해당

바. 주요사업의 내용

주요사업	내용

반도체 제조용 석영제품(Fabricated Quartz)제조 및 판매	반도체 소자업체 및 장비회사의 주문에 의한제품의 생산 및 판매

반도체용 용융석영(Fused Quartz) 제조 및 판매	반도체용 쿼츠제품(Fabricated quartz)제조용원재료(Base Materials) 생산 및 판매

반도체·디스플레이 제조공정용세라믹 제품의 제조 및 판매	반도체 소자업체 및 디스플레이 제조회사와장비회사의 주문에 의한 제품의 생산 및 판매

반도체 장비 및 소재부품 등의세정 및 코팅용역	반도체 소자 및 장비업체의 소재/장비부품세정 및 코팅

디스플레이 및 의료기기용엑시머램프 제품의 제조 및 판매	디스플레이 패널 제조회사 및의료기기 회사의 주문에 의한 제품의 생산 및 판매

※ 사업 부문별 자세한 사항은 동 보고서의 'Ⅱ. 사업의 내용'을 참조하여 주시기 바랍니다.

사. 신용평가에 관한 사항당사는 이크레더블로부터 신용등급 평가를 받고 있으며, 보고일 현재 당사의 신용등급은 아래와 같습니다.

구분	등급	세부내역

평가일	-	2023년 4월 20일

신용평가전문기관명	-	이크레더블

신용등급	A-	채무이행 능력이 양호하나, 장래경기침체 및 환경변화에 따라 채무이행 능력이 저하될 가능성이 내포되어 있음

현금흐름 등급	A	현금흐름 창출능력이 매우 양호하며 안정적

Watch 등급	정상	경제환경 변화, 기업내부 요인 등을 고려할 경우현재 신용등급이 안정적으로 유지될 가능성이 높은 기업

아. 회사의 주권상장여부 및 특례상장에 관한 사항

주권상장(또는 등록ㆍ지정)여부	주권상장(또는 등록ㆍ지정)일자	특례상장 등여부	특례상장 등적용법규

코스닥시장	2003년 12월 12일	해당사항없음	해당사항없음
2. 회사의 연혁

년도	월	내용

2003	11	(주)원익쿼츠 설립 (기업분할)

2003	12	주식 장외(KOSDAQ) 재등록

2005	09	Wonik Quartz International(미국) 설립(Saint-Gobain Ceramics Plastics, Inc QI사업부 자산인수)

2008	07	(주)VLK 액시머램프사업부 영업 양수

2010	11	(주)세라코 지분(100%) 인수 (비산화물세라믹 제조업체)

2011	01	(주)세라코 흡수합병 ((주)원익쿼츠:(주)세라코 = 1:0)

2012	03	상호변경 (원익쿼츠 → 원익큐엔씨)

2016	03	제50회 납세자의 날 모범납세자 관세청장 표창장 수상

2016	07	제2회 중견기업인의 날 국무총리 표창장 수상

2016	07	벤처 1,000억기업 선정

2018	03	나노윈(주) 지분(100%)인수(반도체/디스플레이 전문세정업체)

2018	06	2018년 고용노동부 대한민국 일자리 으뜸기업 수상

2018	12	원익(서안)반도체과기유한공사(중국) 지분 54.51%추가 인수

2019	05	MOMQ Holding Company 유상증자 참여(지분 50%)

2019	09	구미공단 50주년 기념 산업단지 활성화 공로 대통령 표창 수상

2020	01	미국 Momentive Performance Materials社 쿼츠/세라믹 사업부문 최종인수

2021	01	원익(무석)반도체과기유한회사(중국) 설립

2021	01	나노윈(주) 흡수합병

2021	06	2021 코스닥 라이징스타 선정

2022	07	노사문화 우수기업 선정

2022	08	2022 코스닥 라이징스타 선정

2022	11	코스닥 글로벌 세그먼트 지수 편입

2022	11	일본 CoorsTek Nagasaki Corporation 최종인수

2022	12	2022 노사문화대상 국무총리상 수상

2023	07	2023 코스닥 라이징스타 선정

(회사의 본점소재지 변경)최근 5사업연도 중 본점소재지의 변동 사항은 없습니다 .

(경영진 및 감사의 중요한 변동)

변동일자	주총종류	선임	임기만료또는 해임

신규	재선임

2018년 03월 27일	정기주총	-	주요주주인 임원 이용한	-

2019년 03월 27일	정기주총	-	사내이사 임창빈	-

2019년 03월 27일	정기주총	-	사외이사 김득중	-

2019년 03월 27일	정기주총	-	대표이사 임창빈	-

2020년 03월 26일	정기주총	사내이사 박영규	-	사내이사 이재헌

2020년 03월 26일	-	-	상근감사 양준철	-

2021년 03월 30일	정기주총	-	주요주주인 임원 이용한	-

2022년 03월 29일	정기주총	사내이사 백홍주	-	사내이사 박영규

2022년 03월 29일	정기주총	-	사내이사 임창빈	-

2022년 03월 29일	정기주총	사외이사 이현권	-	사외이사 김득중

2022년 03월 29일	정기주총	대표이사 백홍주	-	-

2023년 03월 29일	정기주총	상근감사 이명영	-	상근감사 양준철

(최대주주의 변동)최근 5사업연도 중 최대주주의 변동 사항은 없습니다 .

(상호의 변경)최근 5사업연도 중 상호의 변동 사항은 없습니다. (합병)2020년 11월 이사회에서 종속회사(지분율 100%) 나노윈(주)와의 합병을 결정하였으며, 2021년 1월 29일 흡수합병을 완료하였습니다. 자세한 내용은 Ⅲ. 재무에 관한 사항 중 8. 기타 재무에 관한 사항 (2) 합병, 분할, 자산양수도, 영업양수도에 관한 사항을 참고해주십시오. (그 밖에 경영활동과 관련된 중요한 사항)

년도	월	내용

2018	04	쿼츠사업부 공장증축(투자금액: 13,600백만원)

2019	02	쿼츠사업부 공장증축(투자금액: 9,700백만원)

2021	07	신규 공장부지 매입(투자금액: 17,933백만원)

2022	08	쿼츠사업부 공장증축(투자금액 : 95,500백만원)
3. 자본금 변동사항

자본금 변동추이(단위 : 백만원, 주)

종류	구분	당반기말(2023년 반기말)	제20기(2022년말)	제19기(2021년말)	제18기(2020년말)	제17기(2019년말)

보통주	발행주식총수	26,288,000	26,288,000	26,288,000	26,288,000	26,288,000

액면금액(원)	500	500	500	500	500

자본금	13,144	13,144	13,144	13,144	13,144

우선주	발행주식총수	-	-	-	-	-

액면금액(원)	-	-	-	-	-

자본금	-	-	-	-	-

기타	발행주식총수	-	-	-	-	-

액면금액(원)	-	-	-	-	-

자본금	-	-	-	-	-

합계	자본금	13,144	13,144	13,144	13,144	13,144
4. 주식의 총수 등

가. 주식의 총수 현황

(기준일 : 2023년 06월 30일 ) (단위 : 주)

구 분	주식의 종류	비고

보통주	우선주	합계

Ⅰ. 발행할 주식의 총수	60,000,000	-	60,000,000	-

Ⅱ. 현재까지 발행한 주식의 총수	26,288,000	-	26,288,000	-

Ⅲ. 현재까지 감소한 주식의 총수	-	-	-	-

1. 감자	-	-	-	-

2. 이익소각	-	-	-	-

3. 상환주식의 상환	-	-	-	-

4. 기타	-	-	-	-

Ⅳ. 발행주식의 총수 (Ⅱ-Ⅲ)	26,288,000	-	26,288,000	-

Ⅴ. 자기주식수	-	-	-	-

Ⅵ. 유통주식수 (Ⅳ-Ⅴ)	26,288,000	-	26,288,000	-

나. 자기주식 취득 및 처분 현황공시서류작성기준일 현재 해당사항이 없습니다. 다. 다양한 종류의 주식공시서류작성기준일 현재 해당사항이 없습니다.
5. 정관에 관한 사항

가.정관 변경 이력

정관변경일	해당주총명	주요변경사항	변경이유

2021년 03월 30일	제18기정기주주총회	1. 감사의 선임 해임 - 이사와 감사의 선임해임안건을 각각 별도의 안건으로 상정의결하여야 함을 명문화 - 전자투표 도입시 감사선임 정족수가 부족할 경우 출석한 주주의 의결권 과반수로 선임2. 재무제표 작성 - 재무제표 등의 제출 기한 조정 - 감사보고서 제출기한 조정3. 외부감사인 선임 - 외부감사인 선임보고, 통지 또는 공고규정 조정	개정상법 반영에 따른 조문 개정개정외감법 반영에 따른 조문 변경

2020년 03월 26일	제17기정기주주총회	1. 전자증권법 도입 반영 - 사채의 전자등록 조항 추가	전자증권법 반영한조문 신설

*1) 제18회 정기주주총회 관련 주요변경사항의 상세 내용은 본 공시시스템(dart.fss.or.kr)에 2021년 3월 15일에 공시된 주주총회 소집공고를 참고하여 주시기 바랍니다.
*2) 제17회 정기주주총회 관련 주요변경사항의 상세 내용은 본 공시시스템(dart.fss.or.kr)에 2020년 3월 11일에 공시된 주주총회 소집공고를 참고하여 주시기 바랍니다.
*3) 2022년 3월 29일에 개최된 제19기 정기주주총회에 상정된 정관변경의 건은 없습니다.
*4) 2023년 3월 29일에 개최된 제20기 정기주주총회에 상정된 정관변경의 건은 없습니다.

나.사업목적 현황

구 분	사업목적	사업영위 여부

1	반도체 생산에 필요한 석영(QUARTZ)제품 제조 및 판매	영위

2	기타 석영제품의 제조 및 판매	영위

3	전자부품 조립, 생산	영위

4	레이져(LASER) 가공 관련 사업	영위

5	기계 전기 및 전자기기 제조 및 매매업	영위

6	요업재료에 의한 각종기기 부속품 및 독립상품의 제조 및 판매업	영위

7	전기 전자용 요업부품 및 원재료, 반도체소자의 제조 및 판매업	영위

8	램프 관련 자재 및 기기 제조 및 판매업	영위

9	기계류의 제조 및 수출입 판매업	영위

10	수출입 대행업	영위

11	부동산 임대 및 매매업	영위

12	반도체 ,디스플레이 및 태양광 관련 부품 정밀 세정업 및 재생업	영위

13	위 각 호에 관련된 수출입업 및 부대사업 일체	영위

나-1. 정관상 사업목적 변경 내용공시기간 내에 사업목적 변경과 관련하여 해당 사항 없습니다.
1. 사업의 개요

당사는 쿼츠, 세라믹, 램프, 세정 및 쿼츠원재료 부문의 5개 부문으로 나뉘어져 있습니다. 쿼츠부문은 당기말 기준 해외 5개(미국1, 대만1, 독일1, 중국1, 태국1)의 종속기업을 포함하고 있으며, 쿼츠원재료 부문은 당기말 기준 해외 9개(미국2, 대만1, 독일1, 일본2, 중국2, 한국1), 세정부문은 2개(미국1, 중국1)의 종속기업을 포함하고 있습니다.[사업 부문별 주요제품]

부문	영업 분야	주요 제품

쿼 츠	반도체	Tube, Boat, Pedestal, SWP, Ring, Bath, Robot Chuck GuideIngot, Crucible, Boule

디스플레이	Upper Dome, Susceptor support shaft

태양광	Solar Boat, Bath, Torch Chamber, Horizontal Tube

기타	Fiber Optics

세라믹	반도체	ROBOT ARM, 웨이퍼 장착 RING,절연 INSULATOR

디스플레이	고강도 PLATE 및 SHAFT, 절연 INSULATOR PLATE

발전소	LINER, BOAT, CRUCIBLE, SETTER, SAGGER

램 프	디스플레이	Excimer UV Lamp

세 정	반도체세정	Diffusion: Quartz, SiCIon Implantation : Source head,Manipulator,Bushing,Photolithography: BowlEtch: Upper liner,Lower liner,Electrode

반도체코팅	APS - Etch Liner kit / Electrode
PVD - Etch Top Parts
Anodizing - Etch Liner kit / Diffusion 가스 공급 부품

(*)부문별 사업에 관한 자세한 사항은 '7. 기타 참고사항'의 '나. 사업부문별 현황' 및 '다. 사업부문별 요약재무현황' 항목을 참조하시기 바랍니다.
2. 주요 제품 및 서비스

가. 주요 제품 매출

2023년 반기 제품별 매출액 및 매출 비중은 다음과 같습니다.

(단위 : 백만원)

사업부문	매출 유형	소재지	품 목	구체적 용도	매출액	매출비율

쿼 츠	원재료제품 및 기타 매출	한국	QUARTZ WARE	반도체용 석영유리	100,459	23.70%

대만	QUARTZ WARE	반도체용 석영유리	23,994	5.70%

미국	QUARTZ WARE	반도체용 석영유리	7,482	1.80%

독일	QUARTZ WARE	SOLAR 등 석영유리	13,200	3.10%

미국	QUARTZ BASE MATERIALS	반도체용 석영원재료 등	247,875	58.40%

세라믹스	제품 및 기타 매출	한국	세라믹스외	LCD 등 부품	11,324	2.70%

세 정	세정 및 상품 매출	한국	세정	세정	38,585	9.10%

중국	세정	세정	6,246	1.50%

기 타	제품 매출	한국	기타	기타	2,489	0.40%

내부매출액 제거 금액	(27,077)	(6.40%)

합 계	424,577	100.00%

나. 주요 제품 등의 가격 변동 현황당사 및 주요 종속회사의 제품은 고객사의 발주에 따라 제품을 생산하는 수주산업으로 제품의 종류가 고객사에 따라 상이하여 가격변동추이를 산출하는 것이 부적합하여 기재를 생략하였습니다.
4. 매출 및 수주상황

가. 매출실적(단위: 백만원)

사업부문	매출유형	품목	매출구분	제21기반기	제 20기	제19기

쿼츠	제품 및기타 매출	반도체용석영유리	수출	255,381	405,327	324,677

내수	137,621	305,216	225,362

합계	393,002	710,543	550,039

세라믹스	제품 및기타 매출	LCD 등세라믹스제품	수출	1,503	2,512	8,046

내수	9,821	25,078	17,206

합계	11,324	27,590	25,252

세정	제품 및기타 매출	반도체/디스플레이소재 및 장비부품 등세정	수출	550	3,226	10,187

내수	44,288	87,878	64,922

합계	44,838	91,104	75,109

기타	제품 및기타 매출	기타	수출	1,002	1,356	1,923

내수	1,489	2,802	882

합계	2,490	4,158	2,805

합 계	수출	258,437	412,422	344,833

내수	193,219	420,974	308,372

합계	451,655	833,396	653,205

내부 매출 제거금액	(27,077)	(50,217)	(29,086)

합 계	424,577	783,179	624,119

나. 판매경로 및 판매방법 등(1) 판매조직

23년 영업부 조직도.jpg 23년 영업부 조직도

(2) 판매경로(가) 내수

원익큐엔씨	▶▶▶▶▶▶판 매◀◀◀◀◀◀어음 및 현금 결제	국내 반도체 생산업체

(나) 수출

원익큐엔씨	▶▶▶▶▶▶판매 (선적)◀◀◀◀◀◀현금(T/T송금)	국외 반도체 생산업체

다. 판매방법 및 조건(1) 내수 : 현금 및 외상 판매(현금 : 99.5%, 어음 : 0.5%)(2) 수출 : 현금 및 외상 판매( T/T송금) 라. 판매전략(1) 수출 및 OEM Business를 통한 매출 성장(2) 대량 생산체제를 통한 경쟁력 제고 및 수익성 개선(3) 국내시장 12인치 매출 비중 확대(4) 해외사업장과의 시너지 효과 및 협력체제 강화(5) R 통한 기존사업 기반확대 및 신사업 개발 마. 수주상황전자부품업계는 제품 특성상 정기적 수주에 의하여 공급하는 것이 아니라 수요처로부터 기본거래계약만을 체결한 후 수시 발주물량을 수주 받습니다. 당사도 삼성전자,SK하이닉스, 램리서치(LAM Research), 도쿄일렉트론(Tokyo Electron Limited), 실트론, 매그나칩반도체, 동부하이텍 등과 기본거래계약서만을 체결한 후 수시로 수주물량을 받고 있습니다.
5. 위험관리 및 파생거래

가. 시장위험과 위험관리 가-1. 주요시장위험 내용당사는 외화표시 자산 및 부채의 환율변동에 의한 리스크를 최소화하여 재무구조의 건전성 및 예측 가능 경영을 통한 경영의 안정성 실현을 목표로 환리스크 관리에 만전을 기하고 있습니다. 당사는 외환포지션에 따른 환위험을 최소화하기 위하여 외환위험 관리기법 중 주로 내부적 관리기법에 해당하는 매칭(Matching)과 래깅(Lagging)을 사용하고 있습니다. 가-2. 위험관리정책 내용(1) 위험관리방식[환율변동에 따른 위험]내부적 관리 기법인 매칭(Matching)은 외화자금의 유입과 지급을 통화별 및 만기별로 일치시킴으로서 외화자금 흐름의 불일치에서 발생할 수 있는 환리스크를 원천적으로 제거시키는 전략이며, 래깅(Lagging)은 외화자금 흐름이 결제시기를 의도적으로 지연시키는 단기적인 환위험 관리 전략입니다.[시장금리변동에 따른 위험]당사의 차입금 중 변동금리부 차입금의 위험관리에 대한 별도의 정책은 실시하지 않고 있습니다.(2) 위험관리조직당사는 시장위험의 예측과 위험자산의 환변동 등에 따른 실적분석 등을 통해 위험을관리하고 있습니다. 국내외 투자은행 및 금융기관에서 제공하는 시장 정보 등을 이용하여 시장위험에 대한 예측, 관리, 분석, 보고 등의 업무를 수행하고 있습니다. 나. 파생상품 및 풋백옵션 등 거래 현황 나-1. 파생상품계약 체결 현황①통화파생상품공시서류작성기준일 현재 해당사항이 없습니다..

②TRS(Total Return Swap)당사는 2020년 중 관계기업인 주식회사 원익홀딩스에 대한 지분(8.02%)을 NH투자증권에 전액 매각함과 동시에 매각가격과 정산시점 정산가격과의 차액을 정산하기로 하는 총수익스왑(TRS) 계약을 체결하였습니다. 동 약정과 관련하여 당반기 중 파생상품평가이익 665,792천원, 기타의 금융비용 409,600천원과 파생상품부채 2,481,260 천원을 계상하였습니다. 동계약과 관련한 주요 내용은 다음과 같습니다.

구 분	내 용

대상주식	원익홀딩스 보통주

수량(*1)	6,195,306주 (잔량 : 2,176,517주)

기준가격	2019년 4월 12일 종가(주당 5,000원)

계약기간	계약일(2022년 11월 17일)로부터 1년

스왑비용	명목금액 x 7.59%

주요 내용	- 배당금은 NH투자증권이 수취- 연결실체는 상황에 따라, 만기시 정산금액과 기준가격과의 차액을 NH투자증권에 지급(정산금액)하거나, 지급받음(정산금액>기준가격

(*1)전기까지 총 4,018,789 주 청산되었습니다.

③Drag-Along(공동매각요구권)

2019년 3월 8일 당사는 MOM USA Limited Partnership (이하, "SJL") 과 MOMQ Holding Company (이하, "MOMQ") 를 공동 인수하는 계약을 체결하고, SJL 에게 공동매각요구권을 부여하였습니다. SJL 은 당사에게 공동매각요구권을 행사할 수 있으며, 당사는 이에 응하거나 매도청구권을 행사할 수 있습니다. 당사는 파생상품부채 434,535천원을 인식하였습니다. 동 계약과 관련된 주요 내용은 다음과 같습니다.

대 상	구 분	내 용

공동매각요구권	권리자	SJL

의무자	연결실체

내 용	인수 완료일부터 만 5 년이 되는 날까지 MOMQ("MOMQ Holding Company")가 적격 상장되지 못하는 경우, SJL 은 그 익일부터 6 개월 이내에 연결실체에 대하여 연결실체가 보유하고 있는 지분의 전부 또는 일부와 SJL 이 보유하고 있는 지분의 전부를 일괄 매도할 것을 요구하는 권리(공동매각요구권)를 보유하게 됨.

나-2. 리스크 관리에 관한 사항공시서류작성기준일 현재 해당사항이 없습니다.
6. 주요계약 및 연구개발활동

가. 경영상의 주요계약 등공시서류작성기준일 현재 해당사항이 없습니다.

나. 연구개발활동 등 나-1. 연구개발활동의 개요당사는 차세대 반도체/디스플레이 공정부품 및 신소재 개발과 기존제품의 공정혁신을 통한 원가경쟁력 향상을 위하여 연구개발을 추진하고 있습니다. 또한, 고기능성 반도체 모듈부품 및 태양전지, OLED용 부품 등 신사업을 검토하여 향후 확대될 사업부문에 대한 기술개발을 중장기적으로 추진할 예정입니다.(1) 연구개발 담당조직

23년 연구소 조직도.jpg 23년 연구소 조직도

(2) 연구개발비용(단위 : 천원, %)

과 목	제21기 반기	제20기	제19기	비 고

연구개발비용 계	4,778,778	9,282,805	6,382,639	-

연구개발비 / 매출액 비율[연구개발비÷당기매출액X 100]	3.13%	2.62%	2.04%	-

나-2. 연구개발 실적

사업부	연도	주요실적

쿼츠	1995	1M DRAM 용 6" Q'TZ WARE 개발

1996	4M DRAM 용 8" Q'TZ WARE 개발

1997	16M DRAM 용 8" Q'TZ WARE 개발

1998	256M DRAM 용 12" Q'TZ WARE 개발

2001	1G DRAM 용 Q'TZ WARE 개발

2007	Q'TZ SANDWICH FINS 제품

2014	반도체용 파티클 저감 표면처리기술개발

세라믹	2006	알루미나 분말 성형체의 제조방법

2006	알루미나 분말의 졸-겔 성형체 제조방법

2014	압력 조절 부재 및 그 제조방법, 그를 포함하는 압력 조절 유닛 및 진공 증착 장치

2014	건식 식각 챔버용 절연판

2015	세라믹 소재 및 그의 제조방법

2016	세라믹 모재의 이트리아 코팅 장치 및 코팅 방법

2016	상압소결방식을 이용한 저저항 탄화규소 세라믹 소재 및 그의 제조 방법

2018	세라믹 히터용 코디어라이트계 세라믹 조성물

2020	질화 알루미늄 세라믹스 조성물 및 그의 제조방법

2021	세라믹 히터용 코디어라이트계 세라믹 조성물

2022	반도체 전공정용 PEB 히터용 AlM 소재개발

세정	2014	ECO 세정기술 개발

2017	PVD 코팅기술 개발

2020	2D ECO 1.0 세정기술 양산화

2020	PVD 코팅기술 양산화

램프	2008	디스플레이용 엑시머 램프 및 광조사장치 개발

2010	프린터롤러 처리장치 개발

2018	임플란트 표면처리 램프 및 장치 개발

2020	디스플레이용 사각 엑시머 램프 개발

2020	어플리케이터 개발

2021	자외선 살균램프 및 공간살균장치 개발

2021	임플란트 표면처리기 양산

2022	어플리케이터 양산