아이씨디 분기보고서 (2026.03)
4. 지적재산권 현황(상세)

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번호	구분	내용	권리자	출원일	등록일	주무관청

1	특허권	유도안테나를 구비한 플라즈마 발생용 안테나 구조 및 유도안테나 를 이용한 플라즈마 발생장치	(주)아이씨디	2002년05월02일	2005년03월21일	특허청

2	특허권	다중 사이즈 글래스 기판 고정용 플라즈마 처리장치	(주)아이씨디	2005년06월01일	2006년10월17일	특허청

3	특허권	샤워헤드 및 이를 채용한 플라즈마 처리장치	(주)아이씨디	2005년04월19일	2006년10월26일	특허청

4	특허권	일체형 실링부재를 구비한 알루미늄 플라즈마 챔버	(주)아이씨디	2004년07월27일	2006년01월13일	특허청

5	특허권	알루미늄 플라즈마 챔버 및 그 제조방법	(주)아이씨디	2004년07월27일	2006년06월23일	특허청

6	특허권	진공 챔버용 도어 조립체	(주)아이씨디	2004년08월05일	2006년06월07일	특허청

7	특허권	플라즈마 처리장치	(주)아이씨디	2004년09월21일	2006년06월07일	특허청

8	특허권	진공처리 시스템 및 이를 이용한 대상물 이송방법	(주)아이씨디	2004년09월06일	2006년08월09일	특허청

9	특허권	평판 타입 고밀도 ICP 안테나	(주)아이씨디	2006년01월17일	2007년11월13일	특허청

10	특허권	플라즈마 챔버	(주)아이씨디	2004년9월21일	2007년01월17일	특허청

11	특허권	유도 결합형 안테나를 구비하는 플라즈마 발생 장치	(주)아이씨디	2005년11월17일	2007년05월04일	특허청

12	특허권	낮은 전자온도를 갖는 플라즈마 발생 방법 및 그 장치	(주)아이씨디	2004년02월19일	2008년03월27일	특허청

13	특허권	박막트랜지스터 어레이 제조방법1	(주)아이씨디	2007년02월28일	2008년10월13일	특허청

14	특허권	기판 손상 검출 장치 및 방법	(주)아이씨디	2007년01월04일	2008년12월12일	특허청

15	특허권	플라즈마 처리장치의 안테나	(주)아이씨디	2006년08월17일	2008년04월18일	특허청

16	특허권	플라즈마를 이용하여 기판위에 도포된 유기 배향막을 제거하고 이를 재생하는 방법	(주)아이씨디	2001년10월08일	2008년06월11일	중국 특허청

17	특허권	박막트랜지스터 어레이 제조방법	(주)아이씨디	2007년02월28일	2008년07월01일	특허청

18	특허권	알에프 차폐구조를 갖는 플라즈마 처리 장치	(주)아이씨디	2007년01월16일	2008년07월01일	특허청

19	특허권	높이 조절이 가능한 절연 부재를 갖는 플라즈마 처리장치	(주)아이씨디	2007년03월06일	2008년07월24일	특허청

20	특허권	패러데이 차폐막이 독립적으로 제어되는 유도 결합형 플라즈마처리장치	(주)아이씨디	2007년05월08일	2008년07월24일	특허청

21	특허권	박막트랜지스터 어레이 제조방법3	(주)아이씨디	2007년05월9일	2008년08월28일	특허청

22	특허권	박막트랜지스터 어레이 제조방법2	(주)아이씨디	2007년04월10일	2008년08월28일	특허청

23	특허권	플라즈마 처리장치	(주)아이씨디	2007년06월21일	2008년08월28일	특허청

24	특허권	박막트랜지스터 제조방법 및 이를 이용한 표시 장치제조방법	(주)아이씨디	2008년03월04일	2009년12월01일	특허청

25	특허권	반응종료점 검출시스템, 이를 포함하는 식각 장치 및 반응 종료점 판정방법	(주)아이씨디	2008년02월05일	2010년05월11일	특허청

26	특허권	유체 분배 장치 및 유체 분배 방법	(주)아이씨디	2011년03월08일	2011년12월26일	특허청

27	특허권	박막트랜지스터 어레이 제조방법1	(주)아이씨디	2007년07월2일	2011년08월21일	대만 특허청

28	특허권	측정 패턴 구조체, 보정 구조체, 기판 처리 장치, 및 기판 처리 방법	(주)아이씨디	2009년03월06일	2012년02월14일	특허청

29	특허권	축전 결합 플라즈마 발생 장치	(주)아이씨디	2016년05월10일	2012년09월05일	특허청

30	특허권	플라즈마 발생 장치	(주)아이씨디	2011년05월19일	2012년10월25일	특허청

31	특허권	박막트랜지스터 어레이 제조방법2	(주)아이씨디	2007년06월26일	2012년08월01일	대만 특허청

32	특허권	유도결합형 플라즈마 균일도 측정장치 및 이를 이용한 측정방법	(주)아이씨디	2011년07월19일	2013년08월19일	특허청

33	특허권	전기분해 시스템	(주)아이씨디	2013년07월26일	2014년11월03일	특허청

34	특허권	몰드이송형 곡면유리제조장치	(주)아이씨디	2013년11월11일	2014년01월22일	특허청

35	특허권	전원공급전극, 상기전극을 구비한 기판홀딩부 및 상기기판홀딩부를 구비하는 열전사 장치	(주)아이씨디	2012년09월06일	2014년05월26일	특허청

36	특허권	유도결합형 플라즈마 처리 시스템	(주)아이씨디	2014년03월25일	2015년09월24일	특허청

37	특허권	곡면유리 제조용로	(주)아이씨디	2013년11월14일	2015년11월03일	특허청

38	특허권	곡면유리 몰딩 장치	(주)아이씨디	2013년11월14일	2015년11월27일	특허청

39	특허권	곡면유리 제조 장치 및 방법	(주)아이씨디	2014년02월27일	2015년11월27일	특허청

40	특허권	미세먼지 및 미생물 검출 장치	(주)아이씨디	2014년09월04일	2015년11월27일	특허청

41	특허권	전압 감쇠 장치 및 그를 이용한 플라즈마 발생 장치의 전압 계측 시스템	(주)아이씨디	2013년01월31일	2015년02월16일	특허청

42	특허권	플라즈마 발생 시스템의 노즐	(주)아이씨디	2014년01월03일	2015년03월31일	특허청

43	특허권	증착장비용 샤워헤드	(주)아이씨디	2014년12월03일	2016년04월12일	특허청

44	특허권	축전 결합 플라즈마용 전극 구조체 및 기판 처리 장치	(주)아이씨디	2013년05월20일	2017년05월16일	특허청

45	특허권	3차원 구조 유전격벽방전 배열을 이용한 플라즈마 발생장치	(주)아이씨디	2015년10월14일	2017년08월08일	특허청

46	특허권	축전 결합 플라즈마 발생 장치 및 기판 처리 장치	(주)아이씨디	2016년05월10일	2017년08월30일	특허청

47	특허권	전자빔과 축전결합 플라즈마를 이용한 플라즈마 처리 장치	(주)아이씨디	2016년05월10일	2018년01월12일	특허청

48	특허권	고밀도 박막증착을 위한 증착장치	(주)아이씨디	2017년06월26일	2018년09월19일	특허청

49	특허권	고밀도 박막증착을 위한 플라즈마 소스의 배기 구조	(주)아이씨디	2017년06월26일	2018년12월18일	특허청

50	특허권	고밀도 박막증착을 위한 증착장치	(주)아이씨디	2017년06월26일	2018년12월03일	특허청

51	특허권	고밀도 박막증착을 위한 플라즈마 소스	(주)아이씨디	2017년06월26일	2018년12월03일	특허청

52	특허권	플라즈마 처리장치	(주)아이씨디	2017년11월07일	2019년05월28일	특허청

53	특허권	고밀도 박막증착을 위한 선형노즐	(주)아이씨디	2017년06월26일	2019년06월11일	특허청

54	특허권	플라즈마 발생기를 포함하는 가습기	(주)아이씨디	2018년03월16일	2019년08월23일	특허청

55	특허권	플라즈마 발생기를 포함하는 족욕기	(주)아이씨디	2018년03월16일	2019년08월28일	특허청

56	특허권	플라즈마 처리장치	(주)아이씨디	2018년06월27일	2020년03월19일	특허청

57	특허권	윈도우 히팅 시스템을 갖는 기판 처리 장치	(주)아이씨디	2019년01월28일	2020년10월23일	특허청

58	특허권	컨덕턴스 조절 가능한 가스켓 유닛 및 그 가스켓 유닛을 이용한 컨덕턴스 조절방법	(주)아이씨디	2019년01월31일	2020년11월19일	특허청

59	특허권	반도체 설비에 사용되는 가스라인 연결장치	(주)아이씨디	2019년01월31일	2020년11월19일	특허청

60	특허권	장축 마스크 얼라이너용 레벨링장치	(주)아이씨디	2020년03월31일	2021년06월01일	특허청

61	특허권	하이브리드 플라즈마 처리 장치	(주)아이씨디	2020년04월24일	2021년09월01일	특허청

62	특허권	정전척을 이용한 메탈 파티클 제거 모듈	(주)아이씨디	2020년04월07일	2021년10월05일	특허청

63	특허권	마스크 시트 푸시 모듈	(주)아이씨디	2020년04월07일	2021년10월26일	특허청

64	특허권	릴 타입의 롤링 마스크 모듈을 이용한 증착 시스템	(주)아이씨디	2020년04월07일	2022년01월11일	특허청

65	특허권	대면적 건식 식각처리 장치	(주)아이씨디	2020년05월14일	2022년01월27일	특허청

66	특허권	릴 타입의 롤링 마스크 모듈	(주)아이씨디	2020년04월07일	2022년03월07일	특허청

67	특허권	플라즈마 라디칼 용액 및 이의 제조방법	(주)아이씨디	2020년11월16일	2022년09월01일	특허청

68	특허권	플라즈마 처리장치	(주)아이씨디	2021년02월25일	2022년12월29일	특허청

69	특허권	에어워셔용 플라즈마 가습기	(주)아이씨디	2020년11월19일	2023년02월15일	특허청

70	특허권	에어워셔	(주)아이씨디	2020년11월19일	2023년03월08일	특허청

71	특허권	플라즈마 처리 장치	(주)아이씨디	2021년07월06일	2023년08월24일	특허청

72	특허권	플라즈마 기판 처리장치	(주)아이씨디	2021년10월20일	2023년10월16일	특허청

73	특허권	축전 결합 플라즈마 기판 처리 장치	(주)아이씨디	2021년10월20일	2023년10월16일	특허청

74	특허권	플라즈마 라디칼 용액이 함유된 항균제 조성물 및 이의 제조방법	(주)아이씨디	2020년11월19일	2024년03월19일	특허청

75	특허권	플라즈마 처리 장치	(주)아이씨디	2020년11월19일	2024년06월24일	특허청

76	특허권	플라즈마 처리 장치	(주)아이씨디	2020년11월19일	2024년06월24일	특허청

77	특허권	금속체 표면파 통신을 이용한 플라즈마 진공 챔버 내 모니터링 시스템	(주)아이씨디	2022년01월07일	2024년06월20일	특허청

78	특허권	정전 장치 및 그 동작 방법	(주)아이씨디	2022년02월08일	2024년07월23일	특허청

79	특허권	정전 장치 및 그 동작 방법	(주)아이씨디	2022년02월08일	2024년08월19일	특허청

80	특허권	정전 장치 및 그 동작 방법	(주)아이씨디	2022년02월08일	2024년07월26일	특허청

81	특허권	정전 장치 및 그 동작 방법	(주)아이씨디	2022년02월08일	2024년08월19일	특허청

82	특허권	정전 장치 및 그 동작 방법	(주)아이씨디	2022년02월08일	2024년08월19일	특허청

83	특허권	정전 장치 및 그 동작 방법	(주)아이씨디	2022년02월08일	2024년08월19일	특허청

84	특허권	플라즈마 라디칼 용액과 천연 유래 추출물이 함유된 항균제 조성물	(주)아이씨디	2022년06월24일	2024년10월07일	특허청

85	특허권	정전 장치 및 그 동작 방법	(주)아이씨디	2022년02월08일	2024년11월14일	특허청

86	특허권	정전 장치 및 그 동작 방법	(주)아이씨디	2022년02월08일	2024년11월14일	특허청

87	특허권	DC 펄스 플라즈마 기판 처리 장치	(주)아이씨디	2021년10월20일	2024년12월02일	특허청

88	특허권	에어로졸 검출 장치	(주)아이씨디	2021년10월20일	2025년02월05일	특허청

89	특허권	플라즈마 기판 처리 장치	(주)아이씨디	2023년10월16일	2025년02월20일	특허청

90	특허권	축전 결합 플라즈마 기판 처리 장치	(주)아이씨디	2023년10월16일	2025년02월24일	특허청

91	특허권	플라즈마 진공 챔버 내의 RF 전력을 회수하는 플라즈마 발생 장치 및 이를 이용한 플라즈마균일도 측정 방법	(주)아이씨디	2022년08월08일	2025년04월09일	특허청

92	특허권	자화된 유도 결합 플라즈마 처리 장치	(주)아이씨디	2023년04월03일	2025년04월21일	특허청

93	특허권	고밀도 플라즈마 환경에서 압력 측정 정확도를 개선하기 위한 데이터 처리 장치 및 처리 방법	(주)아이씨디	2021년11월19일	2025년05월07일	특허청

94	특허권	건식 식각 처리장치	(주)아이씨디	2023년10월18일	2025년05월07일	특허청

95	특허권	건식 식각 처리장치	(주)아이씨디	2023년10월18일	2025년05월07일	특허청

96	특허권	수증기를 이용한 부식 방지 진공 장치	(주)아이씨디	2023년10월06일	2025년06월13일	특허청

97	특허권	플라즈마 처리 시스템 및 이의 반송 방법	(주)아이씨디	2023년11월17일	2025년06월19일	특허청

98	특허권	수증기를 이용한 부식 방지 진공 장치	(주)아이씨디	2024년05월20일	2025년06월26일	특허청

99	특허권	라디칼수를 이용한 플라즈마 처리 시스템 및 처리 방법	(주)아이씨디	2024년02월27일	2025년07월03일	특허청

100	특허권	의료용 핸드피스의 오존감소형 플라즈마 소스	(주)아이씨디	2022년11월23일	2025년07월22일	특허청

101	특허권	반사광학계를 이용한 바이오입자 및 미세먼지 검출 장치	(주)아이씨디	2023년09월22일	2025년09월22일	특허청

102	특허권	다중연결 구조의 초고주파 파워회로	(주)아이씨디	2025년07월10일	2026년01월23일	특허청

103	특허권	정전 장치 및 그 동작 방법	(주)아이씨디	2022년02월08일	2026년01월19일	특허청

104	특허권	건식 식각 처리장치	(주)아이씨디	2025년04월25일	2026년02월27일	특허청

105	특허권	진공 가변 커패시터 제어 모듈	(주)아이씨디	2025년07월11일	2026년03월24일	특허청

106	특허권	다중연결 구조의 초고주파 파워회로	(주)아이씨디	2025년10월02일	2026년03월25일	특허청

107	특허권	플라즈마를 이용한 마스크 건식 세정 장치	(주)아이씨디	2025년04월03일	2026년03월31일	특허청

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