주성엔지니어링 분기보고서 (2022.03)
7. 기타 참고사항

가. 주요 지식재산권 보유 현황 보고서작성일 기준 당사는 총 3,005여건 의 지식재산권을 보유하고 있으며, 그 수치는 특허 출원, 등록 등에 따라 변동될 수 있습니다. 당사의 지식재산권은 전문인력으로 구성된 전담 조직에서 관리하고 있으며 지식재산권 개발, 출원/등록, 사후관리 및 관련 분쟁대응 등을 담당하고 있습니다.당사의 특허권 및 상표권은 각국 특허법 및 상표법에 근거하여 보호되고 있으며, 특허권과 상표권의 존속기간은 출원일로부터 각 20년, 10년 입니다. 또한, 상표권은 갱신등록절차를 통해 존속기한을 연장할 수 있습니다.

사업	구분	취득일	제목	근거법령	취득소요인력/기간	상용화 여부	내용

반도체 장비	특허권	2019/10/01	기판 처리 및 기판 처리 방법	특허법	4명/6년	상용화	전원 전극과 접지전극 사이에서 플라즈마를 형성하여 플라즈마로 인한 기판의손상을 줄이고, 박막이 균일도를 향상시키는 기술

특허권	2020/01/10	플라즈마 처리 장치	특허법	4명/6년	상용화	플라즈마에 의한 기판의 손상과 박막의막질저하를 최소화하고, 원하는 조성비를 가지는 박막을 형성하는 기술

특허권	2021/02/16	박막 형성 방법 및 이를 활용한비휘발성 메모리 소자의 제조 방법	특허법	4명/6년	상용화	ALD방법으로 박막을 증착하고, 이후 트리트먼트 공정을 복수 회 실시하여 소자의 동작 특성을 향상시키는 기술

디스플레이장비	특허권	2010/07/14	균일한 대면적 플라즈마 발생을 위한고주파전원 공급장치	특허법	2명/6년	상용화	대면적 기판 제조장치에서 고주파 공급경로를 대칭적으로 형성해 RF전력을 최소화시키고, 안정된 RF전기장을 형성하는 기술 보유

특허권	2020/01/10	기판 처리 장치	특허법	4명/6년	상용화	서셉터의 간접 가열 부재 적용을 통해 공정 가스 침투 및 서셉터 손상을 방지하는 기술

특허권	2020/05/14	기판 처리 장치	특허법	3명/3년	상용화	가스분사장치의 가스의 유속, 시간, 전자 밀도 컨트롤을 가능하게 하는 대면적 기판 제조 장치 구조

태양광장비	특허권	2015/02/06	결정질 실리콘 태양전지와그 제조방법 및 제조시스템	특허법	3명/7년	상용화	결정질 실리콘 태양전지의 제조공정을 단순화시켜 생산성을 높이는 기술

특허권	2017/09/18	태양전지 및 그 제조 방법	특허법	6명/7년	상용화	핑거라인으로 수집되는 전하 효율을 증가시켜 광전 변환효율을 증가시키는 기술

특허권	2017/12/21	태양전지 및 그 제조 방법	특허법	8명/2년	상용화	공정으로 복수의 반도체층 간에 쇼트 발생을 방지하고, 전류흐름을 개선시키는 기술

나. 법령/규제 등에 의한 규제사항회사에 영향을 미치는 주요 법률 또는 제규정은 다음과 같습니다.1. 폐기물관리법폐기물을 적정하게 처리하여 자연환경 및 생활환경을 청결히 함을 목적으로 제정된 법률로 당사의 생산시설 운영과 관련하여 영향을 받습니다.2. 대기환경보전법대기환경을 적정하게 보전하여 국민이 건강한 생활을 할 수 있도록 하기 위해 제정한법률로 당사의 생산시설 운영에 영향을 받습니다.3. 물환경보전법수질오염으로 인한 국민건강 및 환경상의 위해를 예방하고 하천, 호수 등 공공수역의수질 및 수생태계를 적정하게 관리, 보전함으로써 국민으로 하여금 그 혜택을 널리 향유할 수 있도록 하며, 폐수 배출과 관련된 기준 관리 등을 수행하고 있습니다.4. 화학물질관리법(화관법)화학물질로 인한 국민건강 및 환경상의 위해를 예방하고 유해화학물질을 적절하게 관리함으로써 모든 국민이 건강하고 쾌적한 환경에서 생활을 목적으로 하며, 유해화학물질 취급시설의 매년 정기검사 등을 수행해야 합니다.5. 연구실 안전환경 조성에 관한 법률(연구실안전법)연구기관 등에 설치된 과학기술분야 연구실의 안전을 목적으로 제정된 법률로 당사의 기업부설연구소의 안전한 연구환경 조성, 연구활동종사자의 건강을 보호하며, 매년 연구실 정기점검을 실시하여, 연구시설 운영에 관련하여 영향을 받습니다.6. 산업안전보건법산업재해를 예방하고 작업환경을 조성함으로써 근로자의 안전과 보건을 유지 증진함을 목적으로 하며, 근로자 안전보건교육 실시, 정기적 안전보건진단 등을 실시하고 있습니다.7. 독점규제 및 공정거래에 관한 법률사업자의 시장지배적지위의 남용과 과도한 경제력의 집중을 방지하고 부당한 공동행위, 불공정거래행위 규제하여 국민경제의 균형있는 발전을 도모하기 위해 제정한 법으로 연 1회 관련 기관의 준수여부 관련 요청사항에 성실히 응하고 있습니다.8. 하도급거래 공정화에 관한 법률하도급(하청)의 거래질서를 공정하게 확립하여 원사업자와 수급사업자가 대등한 지위에서 상호보완적으로 균형있게 발전할 수 있도록 하기 위해 제정한 법으로 당사가 부품을 하도급하는 경우 영향을 받습니다. 다. 환경에 관한 사항2010년 4월부터 발효된 [저탄소 녹색성장 기본법] 제42조에 의거하여 회사는 온실가스 및 에너지 관리업체로 지정되어 관련 배출량 보고, 배출목표 관리, 이행 계획서 제출 등에 관한 의무를 가지고 있습니다.또한, 당사는 환경, 안전보건을 경영의 근간으로 법적 규제보다 엄정한 관리기준 마련 및 실행, 개선과 지속적인 발전을 위해 국제표준인 ISO14001(환경), OHSAS18001(안전보건) 경영시스템 인증을 취득하여 운영하고 있습니다.(에너지 사용실적 및 온실가스 배출량)

구분	에너지사용량(TJ)	온실가스 배출량(tCO2 eq)	비고

내용	64.7	3,095.9	-

- 위 2021년 해당 기간의 온실가스/에너지 사용량은 '저탄소녹색성장기본법 제44조 제1항 및 같은 법 시행령 제34조에 따라 집계된 당사 사업장(광주 본사)의 배출량 및 사용량이며, 용인R '온실가스 에너지 목표관리 운영등에 관한 지침'에 근거하여 온실가스 명세서 작성대상에 해당되지 않아 제외하였습니다.

라. 업계의 현황1. 산업의 특성

(1) 반도체 산업반도체 산업은 전자, 정보통신, 기계, 자동차 등 국가 기간산업에 대한 기술적 파급효과가 큰 최첨단 고부가가치산업으로 Life Cycle이 짧은 기술 집약적 산업입니다. 반도체 산업은 대규모 설비투자와 연구개발 투자가 소요되는 산업이며, 전통적으로 세계 경제와 연동하면서 주기적으로 호황과 불황을 반복하는 경향을 보이고 있습니다. 그러나 최근에는 Non-PC, 모바일 기기 및 기타 Digital Consumer 등 전반적인 응용시장의 확대와 전자제품에서 차지하는 반도체 비중이 지속 증대되고 있어 예전과 같은 시장 수급의 변동성은 점차 줄어들 것으로 전망되고 있습니다.또한 반도체산업은 크게 소자산업, 장비산업, 원재료산업으로 구분할 수 있습니다. 소자산업은 PC에 사용되는 Micro Processors와 DRAM 제품뿐만 아니라 Cellular용제품, 자동차 그리고 가정용품을 포함한 모든 산업에 응용되는 기본 산업이 되었습니다. 장비산업은 전공정장비, 후공정장비 및 검사장비로 분류할 수 있으며, 이중 특히 전공정 장비는 첨단기술 집약 산업으로 미국, 일본이 중심이 되어 세계시장을 주도해왔으나, 최근 국내업체들이 후발주자로서의 이점을 최대한 활용하여 기술개발을 진행하고 있습니다.원재료 산업은 화공약품(Gas, Chemical, Sputter target)등 반도체 생산라인에서 웨이퍼 가공을 위한 물질 및 기타 반도체 생산을 위한 공장 청정도 유지를 위한 제품을 들 수 있습니다. 그간 국내 반도체산업은 소자산업의 육성정책으로 거대기업의 대단위 투자와 우수 기술 인력으로 인해 비약적 성장을 거듭해 왔으며 특히 메모리 반도체 분야에서는 초고집적소자의 개발능력과 시장점유율 양면에서 세계를 선도하고 있습니다. 반면, Logic 소자, Micro processors 등에서는 여전히 외국의 선발기업에 비해 현격한 격차를 보이고 있습니다. 최근 5G 이동통신, IoT, AI, 자율주행 자동차 등의 기술의 발전이 더욱 가속화되면서 국내 업체들 또한 비메모리 반도체에 대한 중요성을 인지하고 투자를 강화하고 있습니다.반도체 장비산업 분야는 고부가가치를 기대할 수 있음에도 불구하고 핵심공정기술력의 한계와 부품 및 Software 등 기반기술의 부족으로 인하여, 거의 모든 장비를 미국의 Applied Materials, Lam Research와 일본의 TEL, Hitachi 등으로부터 수입에 의존해 왔습니다. 반도체 장비에 대한 의존도는 특히 메모리 반도체일수록 대단위 투자를 요구하므로 한국에서는 공급자 주도의 시장이 형성되어 왔습니다. 이에 국내 장비산업 육성의 움직임이 계속되어 왔고 10여년 전부터 몇몇 업체에서 국산화에 성공하였으나 초창기의 대부분은 후공정 장비에 편중되어 기술확보, 부품사업 육성 및 수익률 측면에서 발전에 어려움이 많았습니다. 전공정장비는 기술개발비 부담이 커 국산화에 어려움이 있으나 국내 선두기업 등을 중심으로 전공정장비의 저변확대 및 기술력 확보 등에 속도를 더하고 있습니다.

(2) 디스플레이 산업디스플레이 산업은 자본집약형, 기술집약형의 산업으로 아래와 같은 특성을 갖고 있습니다.첫째, 생산라인의 구축, Capa의 증가, 단가의 하락이 상대적으로 빠른 시간 내에 이루어 질 수 있어 경쟁이 치열합니다.둘째, 산업 진입장벽이 높을 뿐만 아니라 퇴출의 대가 또한 작지 않습니다.셋째, 전방 응용범위가 넓어 새로운 수요가 지속적으로 늘어나고 있습니다.이러한 산업적 특성으로 인하여 디스플레이 패널 생산 산업은 수급상황에 따른 주기적 변동을 겪어 왔습니다. '신제품 개발-> 양산 투자 및 출시-> 지속적인 투자 및 설비 증설을 통한 대량 생산-> 원가 절감 및 기술개발-> 가격하락-> 수요 증가-> 생산량 확대-> 보급률 확대-> 신제품 매력 감소’의 형태로 사이클을 형성하며 성장하고 있습니다. 디스플레이 산업의 변화를 살펴보면 과거 CRT에서 평면 브라운관, PDP, LCD, LED, 최근의 OLED까지 주력 상품 및 기술의 변화가 활발하게 이루어지며, 관련 업체들도 성장해 나가고 있습니다.당사가 영위하고 있는 사업인 디스플레이 장비산업은 전방산업인 디스플레이 산업에절대적인 영향을 받고 있습니다. 디스플레이 산업은 반도체산업에 비하여 기술 변화의 속도가 매우 빨라 생산되는 유리기판의 크기가 급격하게 커지고 있으며 이에 따라 더 높은 세대의 공장 건설이 지속적으로 이루어지고 있습니다. 디스플레이 장비 산업은 이러한 디스플레이 산업의 기술 변화속도에 대응하여 새로운 공정에 맞는 기술을 제공할 수 있어야 하므로 패널업체의 기술변화에 따라 새로운 기술개발이 지속적으로 요구됩니다.디스플레이 산업은 효율성, 수익성 경쟁(기판크기, 수율), 공정기술 개발 등이 치열한시장으로 디스플레이 패널 주요 생산국이 대부분 아시아 지역에 위치하고 있습니다. 특히, 최근 몇 년간 중국 정부의 지원에 힘입어 BOE, CSOT, HKC 등 중국 패널 업체들은 대형LCD 및 중소형OLED에 공격적으로 투자하는 등 디스플레이 산업에서 경쟁이 더욱 심화되고 있습니다.국내 디스플레이 산업의 경우, 짧은 역사에도 불구하고 90년대 중반부터 제품 생산성 및 신기술의 안정화를 바탕으로 노트북, 휴대폰 등 후방 산업군의 확대를 통한 제품의 수요가 증대되며 평판 디스플레이 시장을 주도해 나갔습니다. 현재 후발주자인 중국 패널 업체들의 공격적인 LCD 투자에 따라 LCD 패널 수익성 악화되었으며 이는 국내 LCD 라인 Shut down 일정을 앞당겼습니다.국내 패널 업체들은 차세대 디바이스 폼팩터(Foldable, Rollable 등) 제품 개발 등에 더욱 집중하고 있으며 기존 LCD의 기술적 한계를 뛰어넘는 OLED로의 전환을 지속하고 있습니다. 중소형 OLED의 경우 OLED 스마트폰 침투율 증대 및 적용 Application(프리미엄급 노트북 및 태블릿 PC) 확대에 따라 수요가 지속적으로 증가하고 있습니다. 대형 OLED의 경우 기존 LCD 라인의 OLED 전환 및 대형OLED 패널 라인 증설이 지속되고 있으며 향후 제조 단가가 하락한다면 OLED TV 대중화가 가능할 것으로 전망되고 있습니다.후방산업의 경우, 초기에는 대부분의 장비, 부품 및 소재의 국산화가 취약하였고 수입에 의존하던 상황이었으나 최근 국내업체들의 기술력 향상 및 원가 경쟁력 강화와 세계 최대인 국내 패널업체들과의 협력 관계 증대로 주요 장비 및 부품에 대한 국산화율이 증대되고 있습니다. 또한 디스플레이산업협회를 창립하여 패널업체, 설비 업체 및 기타 부품, 재료 업체들을 총 망라한 협의체를 구성하여 협력과 상생의 방향을 모색함으로써 국내 디스플레이 산업의 역량을 한층 강화하고 있습니다.(3) 태양전지 산업독일, 일본과 미국 등은 정부 주도하에 차세대 태양전지 연구개발에 매년 수천만 달러를 투자하여 태양전지 분야의 기술개발을 선도하고 있지만 선진국에서도 아직 연구개발단계에 있기 때문에 상대적으로 기술격차가 적다고 볼 수 있습니다. 특히 태양전지 제조기술은 전세계적으로 그 기술을 인정받고 있는 반도체 및 디스플레이 기술과 유사하여, 이미 기술 개발 및 산업화에 필요한 인프라를 충분히 갖추고 있으므로, 이를 충분히 활용한다면 매우 유리한 산업으로 성장할 수 있다고 판단됩니다. 또한 국내에서도 요소기술 개발을 통해 핵심 기술에 대한 기반을 가지고 있기 때문에 집중개발이 이루어지는 경우 선진국과 경쟁할 수 있는 기술로 성장할 수 있을 것으로 예상됩니다. 특히 향후 궁극적으로 추구하고 있는 태양전지 모듈의 건축 자재화가 실현될 경우 새로운 건축기술의 개발에 대한 파급효과도 클 것으로 예상됩니다.

2. 산업의 성장성(1) 반도체 장비산업

반도체 장비산업은 2011년 글로벌 경기 불황에 따른 소자업체의 투자 부진으로 단기적 하강세를 보이기도 하였으나, 2013년 하반기 이후 메모리반도체의 가격회복세가 본격적으로 이루어짐으로써 전세계적으로 메모리반도체 중심의 성장이 이루어졌습니다. 최근 2017년과 2018년 반도체산업은 인공지능(AI), 사물인터넷(IoT) 등의 4차 산업혁명의 진전에 의한 메모리반도체(DRAM, NAND Flash)의 급격한 수요 증가에 따라 세계 장비 시장 실적은 최고치를 계속해서 경신했습니다.

2019년은 2018년 하반기부터 시작된 미중 무역분쟁으로 거시경제의 불확실성이 확산되며 모바일 및 서버용 수요가 예상보다 둔화되었고, 이로 인해 글로벌 IT기업의 데이터센터 투자가 연기되어 반도체 장비산업 규모는 전년 대비 부진하였습니다.

2020년은 COVID-19 사태로 인한 스마트폰의 수요 부진이 지속되었음에도 불구하고, 언택트 문화 확산에 따른 온라인 활동이 폭발적 증가하였으며, 이에 대한 영향으로 데이터센터 설립도 확대되었습니다. 2021년 또한 비대면 확산에 따른 IT 기기 판매 증가, 가전제품, 자동차 및 산업용, IoT 등 전 영역에서 반도체 수요가 지속적으로증가하였습니다.2022년은 언택트 문화 및 AI 확산에 따라 견조한 IT기기 수요를 바탕으로 전년대비 시장 규모가 증가할 것으로 전망됩니다. 현재 일부 파운드리 팹의 가동 중단 이슈, 코로나19 특수효과 등으로 인한 일부 비메모리 반도체 공급 부족현상 등은 파운드리 회사들의 공격적인 Capa 증설 투자로 연결되었으며, 향후에는 비메모리 공급 부족 현상에 대한 해소와 더불어 이연된 고성능 Server 및 스마트폰 교체 수요가 발생할 것으로 보입니다.메모리 반도체의 경우 선단공정으로의 전환이 지속되고 있는 가운데, 단기적으로 DDR4에서 DDR5로의 전환, EUV 도입 등으로 인한 초기 수율 악화가 더해지며 이는 보완투자의 확대로 이어지고 있습니다. 또한, 메모리 반도체 칩 제조업체는 규모의 경제 실현을 위해 필연적으로 집적도 향상에 대한 회로선폭을 줄이는 등 공정 미세화를 위한 투자가 지속되어야 하는 등 신규 투자 뿐만 아니라 기존 팹에 대한 보완투자도 적극적으로 확대하고 있습니다.

특히, DRAM의 경우, Capacitor등 구조물의 종횡비가 증가함에 따라 미세 증착이 요구되며 이에 따라 당사의 주력 제품인 ALD증착 장비에 대한 수요가 계속해서 증가할 것으로 예상합니다.

(2) 디스플레이 장비산업

지난 2017년, 중소형 디스플레이 성장의 축이 LCD에서 OLED로 이동하였으나 대형디스플레이 시장은 여전히 LCD 중심의 구조를 유지하였습니다. 2018년 및 2019년은 중국업체들 중심의 공격적 증설로 LCD 패널 공급과잉으로 패널 가격이 가파르게 하락, 수익성 악화로 국내 디스플레이 패널 업체들이 LCD에서 OLED로 구조적 전환을 진행하는 계기가 되었습니다.

2020년은 COVID-19로 인한 재택근무, 온라인 수업 등 비대면 생활이 일상화되며 대형 TV 중심의 수요가 폭발적으로 증가하였고, 이로 인해 대형 LCD 패널의 공급 부족 현상이 일어나 패널 단가가 급증하였습니다. 이에 따라 국내 주요 패널 제조업체들은 연초 계획했던 LCD 라인의 셧다운을 연기하여 수익성을 확보하는 전략을 취하였습니다. 하지만 중장기적으로는 중국 업체들의 Capa 확장이 지속되어 패널 가격이 하락한다면 당초 계획대로 LCD 라인 셧다운을 진행하고 자연스럽게 OLED로의 전환을 이어갈 것으로 전망됩니다.

2021년은 그동안 모바일 중심으로 커오던 OLED 시장이 코로나 이후 대면적 프리미엄 TV 시장에서 점유율을 확대해 나가는 발판이 되었습니다. 또한, 코로나19로 인한 비대면 문화 확산으로 IT기기, TV 등 급속한 수요 증가, LCD 판매가격 상승 등에 힘입어 2020년에 이어 디스플레이 시장 규모가 증가되었습니다.

2022년은 TV 및 휴대용 LCD패널 비중이 감소되고 OLED 패널 비중이 더욱 증가할 전망입니다. 중소형 OLED시장은 폼팩터의 변화에 따라 TFT, Encapsulation의 차세대 기술이 요구되고 있으며 스마트폰을 중심으로 IT용 패널 등 신규 어플리케이션 확대가 되어 더욱 성장할 것으로 전망됩니다. 대형 OLED 시장의 경우도 프리미엄 가전 수요가 증가하는 만큼 OLED TV의 본격화가 지속될 것으로 전망하고 있습니다.(3) 태양전지 장비산업

글로벌 태양광 산업은 2011년까지 강력한 FIT(발전차액지원) 정책을 기반으로 유럽 중심의 초기 성장을 이루었으며, 현재는 美 바이든 정부가 파리기후협약에 다시 가입하는 등 전세계적으로 기후변화 문제에 공감대를 형성, 주요국의 탄소중립 선언 및 그린 뉴딜 정책 시행으로 에너지원의 주축이 신재생에너지로 이동할 것으로 예상됩니다. 그 중에서도 태양광 산업은 1) 설치의 용이성 2) 화석연료 수준의 LCOE(Levelized Cost of Electricity, 균등화발전원가) 도달로 인한 저렴한 발전원가로 신재생에너지 중에서도 2050년까지 설치용량의 연평균상승률이 약 8.3%를 달성, 가장 높을 전망입니다. (Source: BNEF 2020)

2018년과 2019년은 최대시장인 중국의 수요 부진에도 불구하고, 미국 및 유럽, 개도국시장의 견조한 성장세로 글로벌 수요 성장이 지속되었으며, 2020년은 COVID-19 영향에도 불구하고 미국의 발전소 중심의 대규모 수요 발생, 중국의 빠른 경제회복 등에 힘입어 전년대비 약 3% 증가한 121GW 수요를 기록했습니다. 2021년은 중국의 신재생에너지 확대 보급 정책에 힘입어 중국의 설치량 증가로 200GW를 넘어선 수요를 기록할 것으로 전망합니다. 2022년도의 경우, 태양광 시장은 기후변화와 ESG 이슈의 본격적인 등장으로 인해 수요 증가 속도가 더욱 빨라질 것으로 보입니다. (Source: 한국수출입은행)향후 태양광 산업의 주요 이슈는 1) 기업 간 증설경쟁 2) 태양전지의 고효율화 등으로요약할 수 있습니다. 그리드패리티(Grid Parity: 태양광 발전단가가 화석원료와 같아지는 지점) 도달로 수요층이 개도국 및 B2C로 확산되고 기업 간 규모의 경제를 통한 원가경쟁력 확보를 위한 증설 경쟁 및 기술 경쟁도 보다 치열하게 지속될 전망입니다

3. 경기변동의 특성(1) 반도체 장비산업전세계 반도체 시장은 PC 등 컴퓨터 산업의 주기적 위축에 따른 수급불균형으로 비교적 큰 경기변동성을 갖고 있으며, 반도체 장비 산업의 경기변동은 주로 소자업체들의 설비투자계획에 민감하게 반응하는 경향이 있습니다. 일반적으로 반도체 소자업체의 경기변동은 일정한 주기로 호황기와 침체기를 반복하는 양상을 보이고 있으며, 이러한 경기 사이클은 반도체 장비업체에도 적용되고 있습니다.

(2) 디스플레이 장비 산업

디스플레이가 많이 사용되고 있는 TV, 컴퓨터용 모니터, 휴대전화 등은 경기에 민감한 산업으로, 디스플레이 업체들의 실적 역시 소비자의 수요에 따라 실적 변동이 상당히 큰 산업입니다. 디스플레이 장비 산업 역시 경기에 다소 후행하는 특성을 가지며, 경기에 민감하게 적용되고 있습니다.

(3) 태양전지 장비산업

태양광 산업은 정부 주도형 산업이며, 국가의 보급정책 및 국가 정부보조가 주를 이루고 있기 때문에 전반적인 시장의 분위기는 경기변동에 크게 민감하지 않습니다. 다만, 2021년부터 본격 시행된 신기후체계인 파리기후협약에 따라 주요국의 탄소중립 선언 등의 전세계적 차원에서의 대응은 향후 전체 태양광산업에 활력을 불어넣는 기회를 제공할 수 있으며 에너지에 대한 국가의 정책결정에 영향을 받을 수 있습니다.

4. 경쟁요소

반도체, 디스플레이, 태양전지 장비산업은 세계화가 이루어진 상태이며 각 장비당 경쟁사는 2~4개로 압축되고 있으며, 국내에서도 설비 선정 시에 국산 여부의 의미보다생산성 및 신뢰성의 평가에 주안점을 두고 있습니다. 신규업체의 경우 기존 업체들에비해 현장에서의 입증된 신뢰성 확보가 어렵기 때문에 시장진입에 어려움을 겪고 있습니다.

또한 장비시장은 제품의 품질, 가격, 납기 등이 장비 선정의 중요한 결정요소로서 고객의 요구사항에 적절하게 대응 가능한 장비업체가 최종 공급자로 선정되는 완전자유 경쟁체제이면서도 현실적으로는 공정 보안문제, 이전 세대에서의 양산검증 여부, 패널업체로부터의 신뢰성, 공정 간의 연계성 등의 이유로 인해 초기 시장에 진입한 업체가 계속 차세대 장비 시장에 참여할 가능성이 높습니다.

반도체, 디스플레이, 태양전지 장비산업은 주문제작산업이며 산업을 둘러싼 국내외적 환경 변화가 극심한 산업으로써 상황 변화에 보다 융통성 있게 대처할 수 있는중소기업에 적합한 산업특성을 지니고 있는 반면, 최첨단 장비 개발에 있어서는 막대한 연구개발비가 투입되고 다수의 인력동원이 요구되는 대기업형 산업으로서의 앙면적 성격을 갖고 있습니다. 그래서 국내 반도체 산업의 경우 개별 장비에 대한 대기업과 중소기업의 효율적인 역할분담을 통해 대기업을 중심으로 최첨단 기술의 조기확보를 도모하고, 동시에 중소기업을 육성함으로써 산업의 체질을 강화하는 지혜가 요구됩니다.

시장진입을 위한 경쟁요소는 다음의 3가지로 요약할 수 있습니다.

① 소자업체의 시스템에 맞는 장비 개발

② 지속적인 R 투자

③ 경기순환에 대처할 수 있는 다양한 제품구성

5. 시장점유율 당사의 반도체 전공정 장비인 ALD의 경우 2021년 기준 약 11%의 점유율을 가지고 있으며(Source: Gartner), 반도체 High-k Layer의 경우에는 훨씬 더 높은 시장점유율을 보유하고 있습니다. 대형 디스플레이 Oxide TFT 장비(8G~10.5G)의 경우 전 세계적으로 그 기술력을 인정받고 있으며 세계 시장 점유율은 약 42% 이상입니다. 향후에도 당사는 차별화된 기술력과 원가경쟁력으로 전세계 시장에서 높은 점유율을 유지하고자 노력할 것 입니다.

6. 당사 경쟁력 등

(1) 반도체 장비당사의 주력 제품인 CVD장비 시장은 미국의 Applied Materials가 CVD 각 공정 전반에 걸쳐 높은 시장점유율을 보이고 있으며, Lam Research는 플라즈마 CVD 시장에서 Applied Materials와 경쟁, 일본의 TEL과 Hitachi Kokusai가 LP CVD 시장에서경쟁하고 있습니다. 또한, 반도체 소자가 고집적화, 미세화 됨에 따라 주성의 SD CVD(ALD)의 수요가 지속적으로 증가하였습니다. 2007년 처음으로 고객사로부터 검증및 수주가 완료되었던 HDP CVD 및 Poly Etcher는 2010년도 반복수주로 이어졌습니다. 본 장비는 DRAM, NAND Flash 뿐만 아니라 비메모리 영역인 Logic 영역에도 사용 가능한 범용 장비로 제품군을 다변화하는데 큰 역할을 하고 있습니다.

또한, ULTOSiO 및 TiN 등 NAND Flash용 장비와 비메모리용 SEG(Epi 성장)장비를개발하여 고객사에 납품하는 등 시장의 Trend에 맞는 신제품 개발에도 박차를 가하고 있습니다.

최근 세계 반도체 생산업체는 지속적으로 차세대 소자 개발을 추진하고 있지만 기존 장비로는 700도 이하의 낮은 온도에서 고품질의 막을 제공할 수 없는 어려운 점이 있습니다.

그러나 2012년 당사가 개발한 신개념 반도체 전공정 증착장비인 SDP CVD(Space Divided Plasma CVD ; 공간분할플라즈마증착기)는 300도 이하의 낮은 온도에서 우수한 막질과 높은 생산성을 가진 세계 최초의 혁신적인 장비로서 PE CVD (플라즈마화학증착), LP CVD (저압화학기상증착), ALD (원자층증착) 등 다양한 공정 대응이 가능하고, 높은 생산성을 가진 장비로서 차세대 소자 개발, 양산 및 장비 유지 관리 면에서 획기적인 장비입니다.

특히 20nm 이하 반도체 미세 공정에서 실리콘 산화막, 실리콘 질화막, 금속막 및 High-K 공정의 모든 CVD 및 ALD 공정 장비를 대체할 수 있어 차세대 미세화공정에 가장 적합한 장비로 국내외 주요 소자업체에 납품하고 있으며 당사 매출에 상당한 기여를 하고 있습니다.(2) 디스플레이 장비

당사가 4년여에 걸쳐 개발하여 진입에 성공한 LCD용 PE CVD 장비시장은 미국의 Applied Materials가 전세계시장을 거의 독점하고 있으며 대형화로 발전하면서 그 시장점유율은 80%이상에 이르고 있습니다. 현재 LCD 장비업체들의 주력제품인 6~7세대 장비에 이어, 8세대 제품 양산 공급을 완료한 상태입니다. LCD 장비 산업은 완성품을 생산하는 LCD업체의 수요와 공정에 맞는 제품을 개발, 생산하여 신뢰성을 확보하는 것이 중요합니다. 따라서 자체 개발한 공정 외에도 국내외 LCD업체와의 공동개발 역시 시장 점유율에 적지 않은 영향을 끼칩니다.차세대 디스플레이는 높은 전자 이동속도를 가진 Oxide TFT의 필요에 따라 PVD 방식의 IGZO를 사용하고 있으나, 이동속도 증대의 한계, 높은 생산 비용, 안정성 문제 그리고 공정의 복잡성 등으로 아직 개발에 어려움을 겪고 있습니다.최근 당사는 세계 최초로 Oxide TFT 용 TSD CVD(ALD) 장비를 개발하였으며 PVD대비 3배 이상 높은 전자 이동속도와 20% 이상 전력 소모량이 저감되는 효과를 구현하였습니다. 또한 낮은 생산 비용, 공정 단순화 그리고 안정성을 확보한 장비를 개발함으로써 향후 차세대 디스플레이 Oxide TFT 시장에서 경쟁우위를 차지함으로써 향후 미래 성장동력으로 자리매김할 예정입니다.

(3) 태양전지 장비

당사는 웨이퍼를 원료로 하는 결정질 태양전지 생산공정의 Key process인 PE CVD,MO CVD, RIE 장비를 개발하였으며, 수주 및 출하된 박막형 태양전지 제조장비는 저렴한 Glass 사용이 가능하며, 넓은 면적의 글래스 사용으로 생산성을 향상 시킬 수있는 것이 특징입니다. 당사는 이미 5세대 이상의 대면적 Glass용 PE CVD 장비 관련 기술 경쟁력과 강력한 인프라를 TFT-LCD 분야에서 이미 확보한 바 있어, 유사한하드웨어를 사용하는 태양전지 장비분야로의 진입에 매우 용이한 기반을 갖추고 있습니다. 2007년 12월부터는 결정질과 박막형의 장점을 살린 하이브리드 태양전지를 프랑스 CEA와 공동개발하여 2011년 관련 장비의 납품이 완료되었으며, 효율과 비용절감을 실현하기 위해 노력하고 있습니다.또한 2008년에 첫 양산 턴키 라인을 한국철강에 공급하였고, 2009년에는 중국의 합작법인인 Jiangsu Zone PV에 턴키 라인을 공급하였으며, Greenland New Energy와 HISUN과도 공급계약을 체결하였습니다. 2010년에는 중국 최대 전력회사인 GUODIAN 자회사인 GD Solar(Jiangsu)에 박막 및 결정질의 대규모 턴키 라인을 공급하는 등 국제시장에서 그 입지를 확고히 하였습니다.현재는 박막형 태양전지 장비 뿐만 아니라 결정질 태양전지 장비까지도 공급할 수 있는 능력을 갖춘 국내 유일의 회사로 결정질 태양전지 장비를 미국과 프랑스의 태양전지 회사에 공급 완료하여 더욱 본격적인 시장 개척이 진행되고 있습니다. 이에 당사는 고객 및 합작사에게 가장 경쟁력 있는 기술을 지속적으로 개발, 공급할 계획입니다.

(4) 조직도마. 회사의 현황1. 영업개황

2022년 1분기 당 사는 주요 고객사의 설비투자 증가 및 고객 다변화 등에 따라 실적이 향상되었으며, 동시에 경영혁신을 통한 원가절감으로 수익성을 극대화시켰습니다. 당사의 2022년 1분기 연결기준 매출액은 약 1,070억원으로 2021년 1분기 대비 42.1% 증가했습니다. 영업이익은 약 306억원으로 약 90.1% 증가했으며 영업이익률은 28.6%를 기록하였습니다. 당기순이익의 경우 246억원으로 전년동기 대비 54.7% 증가하였으며 당기순이익률은 23.0%입니다.

당사가 속한 반도체 산업은 초미세공정화를 통한 원가 경쟁력을 확보하기 위해 기술 난이도가 빠르게 진화하고 있습니다. 즉, 선폭이 더욱 좁아지고 패턴의 종횡비가 증가함에 따라 박막 증착 공정의 단차피복성(Step Coverage)을 더욱 향상시켜야 하며, 고품질 박막 구현을 위해서 증착막뿐 아니라 하지막의 계면 특성의 미세한 컨트롤도 요구되기 때문에 차별화된 ALD 기술의 중요성이 더욱 강조되고 있습니다.현재 회사는 Tech-Migration이 더욱 가속화되는 반도체 산업에서 차별화된 ALD 기술을 기반으로 메모리뿐 아니라 비메모리의 다양한 Application의 수요를 충족시킬 수 있는 반도체 양산 장비를 지속해서 개발하는 등 세계 최고 수준의 경쟁력을 확보하고 있습니다. 디스플레이 사업부문의 경우에는 TFT Layer 확대 및 Encapsulation, TSP(Touch Screen Panel), MOCVD/ALD 등 중소형과 대형 패널 장비의 다각화를 통하여 디스플레이 사업부문의 매출 확대를 기대하고 있습니다. 마지막으로 태양광 사업부문의 경우에는 양산 가능한 세계 최고 HJT 태양전지 발전전환효율을 계속해서 기록하고 있으며 향후 반도체 초미세 공정기술과 OLED 디스플레이 대면적 증착기술을 융복합한 기술을 바탕으로 35% 이상 효율 구현이 가능한 차세대 태양전지(Tandem) 장비를 시장에 최초로 선보여 태양전지의 새로운 패러다임을 제시할 것 입니다.

(1) 제조장비별 매출 현황(단위 : 백만원)

구 분	제28기 1분기	제27기	제26기

반도체 장비	98,489	315,812	72,463

디스플레이 장비	8,410	61,174	45,793

Solar Cell 장비	90	309	290

합 계	106,989	377,295	118,546

(2) 지역별 매출 현황(단위 : 백만원)

구 분	제28기 1분기	제27기	제26기

국 내	59,486	175,176	62,498

중 국	47,036	195,722	52,700

대 만	425	6,071	3,140

기 타	42	326	208

합 계	106,989	377,295	118,546

(3) 공시대상 사업부문의 구분(단위 : 백만원, %)

제조장비	주요 제품	매출액 (비율)

반도체 장비	SD CVD(CVD), HDP CVD, Dry Etch, MO CVD, UHV CVD,SDP System(CVD), TSD System(CVD)	98,489(92.1%)

디스플레이 장비	LCD : PE-CVD장비(2G~8.5G 양산 장비 출하)
OLED : TSD-CVD(ALD)장비(2G~10.5G 양산 장비 출하)(Encapsul ation, LTPS TFT, Oxide TFT, TSP)	8,410(7.8%)

태양전지 장비	박막형(Thin film Si) 태양전지(단접합/다중접합(Tandem), 5G Plus),결정형(c-Si) 태양전지, 고효율 태양전지 장비	90(0.1%)

합계	106,989(100.0%)

- 당사는 현재 반도체 제조장비, 디스플레이 제조장비, 태양전지 제조장비, LED 및 OLED 제조장비 사업을 영위하고 있습니다. 당사의 장비사업은 제조공정상 동일의 원자재 및 용역, 관련 기계장치를 이용하여 하나의 제조공장에서 제품이 생산되는 사업의 특성상 사업부문의 구분이 사실상 어려워 단일 사업부문으로 기재하되 생산되는 제품을 산업 및 고객, 제조공정의 특징 등을 고려하여 총 3개 부문으로 나누어 그 현황을 기재하였습니다.