eddmpython/dartlab-data huggingface dataset:
에프에스티 사업보고서 (2021.12)
사 업 보 고 서

(제 35 기)

사업연도 2021년 01월 01일 부터
2021년 12월 31일 까지

금융위원회
한국거래소 귀중 2022 년 3 월 21 일

제출대상법인 유형 : 주권상장법인
면제사유발생 : 해당사항 없음

회 사 명 : 에프에스티
대 표 이 사 : 유장동
본 점 소 재 지 : 경기도 화성시 동탄면 동탄산단6길 15-23
(전 화)031-371-2400
(홈페이지) http://www.fstc.co.kr
작 성 책 임 자 : (직 책) 대표이사 (성 명) 유 장 동
(전 화) 031-371-2400
1. 회사의 개요

가. 연결대상 종속회사 현황(요약)

(단위 : 사)

구분	연결대상회사수	주요종속회사수

기초	증가	감소	기말

상장	-	-	-	-	-

비상장	4	2	-	6	-

합계	4	2	-	6	-

※상세 현황은 '상세표-1. 연결대상 종속회사 현황(상세)' 참조

나. 연결대상회사의 변동내용

구 분	자회사	사 유

신규연결	(주)에프엑스티(*1)	당기 중 신규 지분 취득

(주)이솔	당기 중 신규 지분 취득

연결제외	-	-

-	-

(*1) 당기 중 ㈜창성테크에서 ㈜에프엑스티로 상호명을 변경하였습니다. 다. 회사의 법적, 상업적 명칭당사의 명칭은 (주)에프에스티로 표기합니다. 영문으로는 FINE SEMITECH CORP.으로 표기합니다. 라. 설립일자 및 존속기간당사는 1987년에 설립되어 반도체 Photo Mask 보호막인 Pellicle, FPD Pellicle 및 반도체 제조장비의 온도를 조절하는 Chiller장비 제조업을 영위할 목적으로 설립되었으며, 경기도 오산시에 Pellicle 제조설비, 경기도 화성시에 Chiller장비 제조설비를 두고 있습니다. 마. 본사의 주소, 전화번호 및 홈페이지 1) 주소 : 경기도 화성시 동탄면 동탄산단6길 15-23 2) 전화번호 : 031-371-2400 3) 홈페이지 : http://www.fstc.co.kr

바. 중소기업 등 해당 여부

중소기업 해당 여부	미해당

벤처기업 해당 여부	미해당

중견기업 해당 여부	해당

사. 주요사업의 내용당사는 포토마스크용 보호막인 펠리클(Pellicle)과 반도체공정중 주로 Etching 식각공정에서 Process Chamber 내의 온도조건을 안정적으로 제어하는 온도조절장비인 칠러(Chiller)를 주력으로 생산하는 반도체 재료/장비 전문업체 입니다. 기타의 자세한 사항은 동 보고서의 'Ⅱ.사업의 내용'을 참조하시기 바랍니다. 아. 계열회사에 관한 사항당사는 2021년 12월 31일 현재 당사를 제외하고 6개의 계열회사를 가지고 있습니다.- (주)에스피텍펠리클용 Frame 등 생산을 주요 사업으로 2010년 3월에 설립한 법인으로 당사가 보유한 지분율은 100%입니다.- XIAN FST.CO.LTD중국 시장의 원활한 서비스 제공을 위해 2013년 10월에 설립한 중국 현지 법인으로 당사가 보유한 지분율은 100%입니다.- WUXI FST.CO.LTD중국 시장의 원활한 서비스 제공을 위해 2018년 6월에 설립한 중국 현지 법인으로 당사가 보유한 지분율은 100%입니다.- (주)화인세라텍Fine Ceramic 부품 등 생산을 주요 사업으로 2020년 7월에 설립한 법인으로 당사가 보유한 지분율은 57.17%입니다.- (주)에프엑스티반도체 부품 등 생산을 주요 사업으로 2019년 8월에 설립한 법인으로 당사가 보유한 지분율은 60.00%입니다.- (주)이솔반도체 EUV공정에 들어가는 계측, 측정, 검사장비 사업을 진행하고 있으며, 2017년 12월 19일에 설립한 법인으로 당사가 보유한 지분율은 54.25%입니다.

자. 회사의 주권상장(또는 등록ㆍ지정)여부 및 특례상장에 관한 사항

주권상장(또는 등록ㆍ지정)여부	주권상장(또는 등록ㆍ지정)일자	특례상장 등여부	특례상장 등적용법규

코스닥시장	2000년 01월 18일	해당사항 없음	해당사항 없음
2. 회사의 연혁

가. 설립 이후의 변동상황(1) (주)에프에스티

일 자	내 용

1987년 09월	화인반도체기술(주) 설립(자본금 : 50백만원)

2014년 03월	직장어린이집 개원

2014년 06~12월	신주인수권행사[추가상장(보통주 437,954주)(자본금 6,979백만원 ⇒ 7,198백만원)]

2014년 12월	펠리클 2014 세계일류상품 선정

2015년 01월	신주인수권행사[추가상장(보통주 145,983주)(자본금 7,198백만원 ⇒ 7,271백만원)]

2015년 04월	반도체유통사업부 영업양수 및 신규 반도체유통사업 개시

2015년 04~06월	신주인수권행사[추가상장(보통주 1,849,145주)(자본금 7,271백만원 ⇒ 8,196백만원)]

2015년 11월	경기도 동탄 공장 B동 준공완료

2016년 07월	ISO 27001 인증 획득

2016년 07월	전환사채 15,000백만원 발행

2017년 04월	㈜클라넷 합자법인 설립(Scrubber 사업 진출)

2017년 07~12월	전환권행사[추가상장(보통주 3,073,762주)(자본금 8,196백만원 ⇒ 9,733백만원)]

2018년 01~05월	전환권행사[추가상장(보통주 768,441주) (자본금 9,733백만원 ⇒ 10,117백만원)]

2019년 03월	(주) 에스피텍 지분인수(100%)

2019년 12월	오산 F라인 증축공장 준공

2020년 07월	(주) 화인세라텍 설립 (자본금 : 5억원)

2021년 02월	(주) 창성테크 출자 (지분율 60%, 출자금 30억원)

2021년 03월	제3자 배정 유상증자 (보통주 1,522,975주, 대상자 : 삼성전자(주))

2022년 01월	미국 해외법인 설립

(2) (주)에스피텍

일 자	내 용

2010년 03월	(주)에스피텍 설립

2010년 12월	Photo Lithography용 Mask 보호용 Pellicle용 Frame 개발

2010년 12월	반도체용 산저감 Frame(SO4 50ppb 이하) 개발 완료(krF)

2011년 03월	ISO 9001 / 2008년판 인증

2011년 05월	LCD Frame 양산 개발완료

2011년 08월	공장 확장 이전(남동공단 147B/1L→154B/1L)

2011년 12월	벤처기업등록

2011년 12월	ArF용 ECC Frame(SO4, PO4 Free) 세계 최초 개발 및 생산

2012년 09월	기술연구소 설립

2013년 06월	PID고평탄 Frame(2.55t)양산 개발 완료

2013년 11월	인천비전기업 선정

2014년 12월	뿌리산업 인증획득(국가 뿌리산업진행 센터)

2015년 12월	공장2동 증축완료

2016년 11월	Electrical Chiller용 AL Cooling Block 개발 완료

2016년 12월	ISO 9001/2015년 개정판 인증

2016년 12월	ECC Cathode GDP 개발 완료

2017년 12월	ECC Cathode GDP 양산 Launching

2018년 04월	ECC Parts 특허취득 (알루미늄을 포함하는 물품의 피막 형성 방법)

2018년 09월	PDC Frame 특허취득 (수지 증착 코팅층을 구비한 펠리클 프레임)

2019년 11월	FPD 10.5th Anodize Line Set-up

2020년 10월	AI Frame 경면화 가공 기술확보

2021년 01월	5축 MCT장비 Set up

2021년 08월	고속머시닝센터(New SIRIUS-UL + 20K) Set up

2021년 09월	EUV 관련부품 Infra 기술개발진행

2021년 11월	소재.부품.장비 전문기업 확인서 인증

(3) (주)화인세라텍

일 자	내 용

2020년 07월	(주) 화인세라텍 설립 (자본금 : 5억원)

2020년 09월	유상증자 25억 (100,000주 → 600,000주)

2020년 12월	지점설치 (수원사업장)

2020년 12월	제3자 배정 유상증자 11억 (600,000주 → 814,285주)

2021년 01월	제3자 배정 유상증자 7.4억 (814,285주 → 857,142주)

2021년 06월	제3자 배정 유상증자 4.8억(857,142주 → 952,380주)

2021년 10월	기업부설연구소 설립

(4) (주)에프엑스티

일 자	내 용

2019년 08월	(주)창성테크 설립 (자본금 : 3억원)

2021년 02월	유상증자 30억 (30,000주 → 75,000주)

2021년 05월	본점 소재지 변경(경상북도 구미시 공단동 282-77)

2021년 08월	본점 건물 준공완료(경상북도 구미시 공단동 282-77)

2021년 11월	CVD-Sic 장비 구축 완료

2021년 11월	상호 변경(㈜창성테크→㈜에프엑스티)

(5) (주)이솔

일 자	내 용

2017년 12월	주식회사 이솔 설립 (설립자본금 1억, 20,000주)

2018년 02월	유상증자 2억 (20,000주 -> 60,000주)

2019년 06월	유상증자 3억 (60,000주 -> 120,000주)

2019년 11월	본사 이전 (동탄산단6길 15-23 -> 동탄산단 10길 45)

2020년 08월	벤처기업 인증

2020년 12월	유상증자 6억 (120,000주 -> 204,512주)

2021년 04월	유상증자 15억 (204,512주 -> 415,779주)

나. 본점 소재지 및 그 변경당사의 본점소재지는 경기도 화성시 동탄산단6길 15-23(방교동) 입니다.최근 5년간 본점소재지의 변경 사항이 없습니다.

다. 경영진 및 감사의 중요한 변동

변동일자	주총종류	선임	임기만료또는 해임

신규	재선임

2016년 03월 25일	정기주총	-	사내이사 유장동	-

2016년 12월 30일	-	-	-	사내이사 유삼태

2017년 03월 24일	정기주총	-	사내이사 장명식사외이사 정해양감사 손명호	-

2019년 03월 22일	정기주총	-	사내이사 유장동	-

2020년 03월 24일	정기주총	사외이사 이준호감사 배인탁	사내이사 장명식	-

2020년 03월 24일	-	-	-	대표이사 장명식

2022년 03월 29일	정기주총	사내이사 장경빈	-	사내이사 유장동

※ 2022년 03월 29일 35기 정기주주총회 안건 결의에 변동될 수 있음.
3. 자본금 변동사항

(기준일 : 2021년 12월 31일) (단위 : 천원, 주)

종류	구분	제35기(2021년말)	제34기(2020년말)	제33기(2019년말)

보통주	발행주식총수	21,756,789	20,233,814	20,233,814

액면금액	500	500	500

자본금	10,878,395	10,116,907	10,116,907

우선주	발행주식총수	-	-	-

액면금액	-	-	-

자본금	-	-	-

합계	자본금	10,878,395	10,116,907	10,116,907
4. 주식의 총수 등

가. 주식의 총수 현황

(기준일 : 2021년 12월 31일 ) (단위 : 주)

구 분	주식의 종류	비고

보통주	우선주	합계

Ⅰ. 발행할 주식의 총수	500,000,000	-	500,000,000	-

Ⅱ. 현재까지 발행한 주식의 총수	21,756,789	-	21,756,789	-

Ⅲ. 현재까지 감소한 주식의 총수	-	-	-	-

1. 감자	-	-	-	-

2. 이익소각	-	-	-	-

3. 상환주식의 상환	-	-	-	-

4. 기타	-	-	-	-

Ⅳ. 발행주식의 총수 (Ⅱ-Ⅲ)	21,756,789	-	21,756,789	-

Ⅴ. 자기주식수	2,043,483	-	2,043,483	-

Ⅵ. 유통주식수 (Ⅳ-Ⅴ)	19,713,306	-	19,713,306	-

나. 자기주식 취득 및 처분 현황

(기준일 : 2021년 12월 31일 ) (단위 : 주)

취득방법	주식의 종류	기초수량	변동 수량	기말수량	비고

취득(+)	처분(-)	소각(-)

배당가능이익범위이내취득	직접취득	장내 직접 취득	보통주	957,198	-	-	-	957,198	-

우선주	-	-	-	-	-	-

장외직접 취득	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

공개매수	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

소계(a)	보통주	957,198	-	-	-	957,198	-

우선주	-	-	-	-	-	-

신탁계약에 의한취득	수탁자 보유물량	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

현물보유물량	보통주	1,086,285	-	-	-	1,086,285	-

우선주	-	-	-	-	-	-

소계(b)	보통주	1,086,285	-	-	-	1,086,285	-

우선주	-	-	-	-	-	-

기타 취득(c)	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

총 계(a+b+c)	보통주	2,043,483	-	-	-	2,043,483	-

우선주	-	-	-	-	-	-

다. 우선주 등 종류주식 발행현황 - 해당사항 없습니다.
5. 정관에 관한 사항

가. 정관 변경 이력

정관변경일	해당주총명	주요변경사항	변경이유

2020년 03월 24일	제33기 정기주주총회	- 이사의 보수와 퇴직금(퇴직보상액 신설)- 주주명부폐쇄기간 변경(1월 1일 ~ 1월 7일)	- 적대적 M 방지 조항 신설을 통한 경영 안정화- 주주명부 조기 확정

2019년 03월 22일	제32기 정기주주총회	- 사업목적의 추가(산업용 냉장 및 냉동장비 제조업)- 전자증권제도 도입에 따른 변경	- 관련 인,허가 취득 등- 주권 전자등록의무화

2022년 03월 29일	제35기 정기주주총회
(예정)	- 감사선임 요건 완화상법 제368조의4제1항에 따라 전자적 방법으로 의결권을 행사할 수 있도록 한 경우에는 출석한 주주의 의결권의 과반수로써 감사의 선임을 결의할 수 있다.	- 코스닥 상장법인 표준정관 개정에 따른 내용 반영
1. 사업의 개요

* 공시대상 사업부문의 구분

- 펠리클사업부＊반도체 펠리클 - 반도체 Device 제조시 Photolithography(노광식각)공정에서 Photomask(반도체설계회로도)를 이물질로부터 보호하기 위해 사용되는 부품.＊ FPD 펠리클 - TFT-FPD나 Color Filter기판의 제조시 마스크위에 그려져 있는 패턴을 외부의 이물질(파티클)로 부터 보호하기 위해 사용되는 부품.- TCU사업부 반도체공정 중 주로 Etching(식각)공정에서 Process Chamber 내의 온도조건을 안정적으로 제어하는 온도조절장비 및 반도체 공정장비.장비제품의 품질보증기간 경과후의 AS용역등.- 솔루션사업부Solutions 사업부의 사업 영역은 미국, 유럽, 아시아의 20여개 다국적 반도체 회사와 전략적 제휴를 통하여, 센서반도체, 전력전자반도체, LED 등을 관련 산업(휴대폰, FPD TV, FPD패널, 모니터, 셋탑박스, 가전제품, Computer, 통신 Network, 자동차 등)에 기술지원, 영업 및 마케팅을 주요 사업임.- 종속회사 XIAN FST.CO.LTD 및 WUXI FST.CO.LTD는 칠러장비 품질보증 및 AS용역을 주사업으로 영위함에 따라 TCU 사업부와 포괄적으로 적용하여 기입함- 종속회사 (주)에스피텍은 2010년 3월 25일 설립되어 반도체 펠리클용 Frame 및 FPD 펠리클용 Frame 생산과 판매를 주요 사업으로 하고 있으며 축적된 ECC Coating 기술과 특수정밀가공 기술로 반도체 장비 Parts 사업을 선도하고 있습니다. ArF용 ECC Frame(SO4, PO4 Free) 를 세계 최초로 개발 및 양산에 성공 및 PID 고평탄 Frame(2.55t)양산 개발 완료, PDC Frame, ECC Parts 등 세계적으로 유일한 독자기술을 확보한 기업입니다. - 종속회사 (주)화인세라텍(Fine Ceramic Tech)은 2020년 7월 21일 설립되어 반도체 장비에 들어가는 정밀 세라믹부품 반도체에 사용하는 구조 Ceramic Parts 등 다양한 반도체 관련 부품을 제조, 판매하는 기업입니다. - 종속회사 (주)에프엑스티는 2019년 8월 21일 설립되어 반도체 핵심공정에 들어가는 정밀부품을 제조 및 연구개발하고 있습니다. - 종속회사 ㈜이솔은 2017년 12월 19일 설립되어 반도체 EUV공정에 들어가는 계측, 측정, 검사장비를 연구개발하고 있습니다.
2. 주요 제품 및 서비스

가. 주요 제품 등의 현황(단위 : 백만원)

사업부문	매출유형	품 목	구체적용도	주요상표등	매출액(*)
(비율)

재료	제품	반도체Pellicle	반도체Device 제조시 Photolithography(노광식각)공정에서Photomask(반도체설계회로도)를 이물질로부터 보호하기 위해 사용되는 부품	FST	47,980(22.4%)

LCDPellicle	TFT-LCD나 Color Filter기판의 제조시 마스크위에 그려져 있는 패턴을 외부의 이물질(파티클)로 부터 보호해주는 역할을 하는 것	FST	25,536(12.0%)

Pellicle 프레임	반도체 및 LCD pellicle 제조용 프레임	에스피텍	2,053(1.0%)

Mask Box 외	-	FST	1(0.0%)

재료 계	-	75,570(35.4%)

장비	제품	Chiller, 반도체공정장비, Laser drill	반도체공정 중 주로 Etching(식각)공정에서 Process Chamber 내의 온도조건을 안정적으로 제어하는 온도조절장비 및 반도체 공정장비전문가공 분야중 CO2 Laser drill 장비	FST	121,903(57.0%)

상품	Parts	-	FST	4,978(2.3%)

기타	제품AS 외	장비제품의 품질보증기간 경과후의 AS용역등	-	2,981(1.4%)

장비 계	-	129,862(60.7%)

기타	기타	임대수입 등	임대수입 등	-	6,609(3.1%)

임대 계	-	6,609(3.1%)

유통	상품	반도체칩	반도체칩 관련 상품	-	1,617(0.8%)

유통 계	-	1,617(0.8%)

매출액 합계	-	213,658(100%)

(*) 연결기준매출나. 주요 제품 등의 가격변동추이

(단위 : 천원)

품 목	분 류	제35기	제34기	제33기

Deep-UV Pellicle	내 수	435	509	482

수 출	242	201	184

Chiller	내 수	26,925	28,626	25,651

수 출	42,267	32,762	33,348

반도체 칩(단위 : 원)	내 수	125	244	133

수 출	11	317	15

* 펠리클/칠러/반도체 칩은 내수품과 수출품의 수요처 요구사양 및 환율에 따라 차이가 있음.

(1) 산출기준

당사의 주력제품(판매량 기준)별 연평균기준 판매단가를 근거로 함.

(2) 주요 가격변동원인

Pellicle의 판매가격은 환율, 원재료가격, 품질 등을 고려하여 고객과의 단가계약에 의해 1년 단위로 변동하며, Chiller 및 반도체 칩은 주문생산의 특성상 사양조건에 따라 가격이 상이하고 수요업체의 Needs에 부합하는 품질 및 안정성이 가격결정의 주요인으로 대개 프로젝트별로 협의 결정됨.
3. 원재료 및 생산설비

가. 주요 원재료 등의 현황(단위 : 백만원)

사업부문	매입유형	품 목	구체적용도	매입액(비율)	비고

재료	외상매입	Cytop등 화학원료	Pellicle 제조물질	3,742(3.8%)	-

Frame, Case외	Pellicle의 지지대와 보호Box	16,141(16.3%)	-

저장품	Pellicle 제조위한 소모재료	5,186(5.3%)	-

장비	Pump외	반도체장비제조를 위한 원재료	61,888(62.6%)	-

주름관외	반도체장비제조를 위한 부재료	11,856(12%)	-

총매입액	98,813(100%)	-

* 상기 매입비율은 원재료,부재료, 저장품 총매입액에 대한 비율입니다.* 원재료의 타계정 대체등과 관련한 사항은 제외하였습니다.

나. 생산능력 및 생산능력의 산출근거(1) 생산능력

(단위 : 개/대)

사업부문	품 목	사업소	제 35기	제 34기	제 33기

재료	펠리클	전사	400,000	400,000	370,000

소 계	400,000	400,000	370,000

장비	칠러외	전사	2,500	2,500	2,500

소 계	2,500	2,500	2,500

합 계	402,500	402,500	372,500

(2) 생산능력의 산출근거(가) 산출방법 등

① 산출기준 : Clean Room 등 작업공간과 투입가능 제조인원 고려

② 산출방법 : 추정* 제품군에 따라 작업시간 및 수율상 많은 차이를 보이므로 해당기간에 어느 제품군의 작업이 많았는가에 따라 생산능력은 상당한 차이를 보일 수 있습니다.본 보고서에서 제시한 생산능력은 과거 연평균 생산량 등에 비추어 제품군의 수요에 급격한 차이가 없음을 가정하여 생산능력을 산출한 것입니다.

(나) 평균가동시간

- 반도체 재료 : 1일 평균 16시간(근무일 기준)- 반도체 장비 : 1일 평균 8시간(근무일 기준)

다. 생산실적(단위 : 개/대)

사업부문	품 목	사업소	제35기	제34기	제33기

재료	펠리클	전사	185,464	162,638	160,834

소 계	185,464	162,638	160,834

장비	칠러 및 장비	전사	3,579	2,476	1,624

소 계	3,579	2,476	1,624

합 계	189,043	165,114	162,458

라. 생산설비의 현황(연결)[자산항목 : 유형자산]

(단위 : 천원)

구분	기초	연결범위 조정	취득	처분	감가상각비	기타	대체(주1)	기말

토 지	20,372,655	-	20,136,708	-	-	-	17,218,670	57,728,033

건 물	36,269,949	-	8,323	-	(1,234,343)	-	8,118,568	43,162,497

구 축 물	465,502	-	29,300	-	(14,319)	-	-	480,484

시 설 장 치	13,209,308	21,374	1,852,016	(24,846)	(3,108,309)	-	12,324,261	24,273,805

기 계 장 치	14,578,395	-	806,224	(70,266)	(3,274,035)	-	18,383,518	30,423,835

국고보조금	(844)	-	-	-	48	-	-	(796)

연 구 용 자 산	-	3,866,667	41,500	-	(837,665)	-	2,318,873	5,389,374

국고보조금	-	-	-	-	78,956	-	(394,778)	(315,822)

차 량 운 반 구	225,560	-	33,968	(1)	(82,876)	-	-	176,651

공 구 와 기 구	989,413	49,024	329,896	(4)	(364,028)	-	399,311	1,403,611

국고보조금	(34,533)	-	-	-	11,054	-	-	(23,479)

집 기 비 품	1,080,677	81,703	1,006,392	(19,237)	(602,649)	6,245	59,915	1,613,046

국고보조금	-	-	(1,932)	-	3,564	-	(30,000)	(28,367)

사 용 권 자 산	621,625	132,594	894,790	(29,780)	(401,963)	2,176	-	1,219,442

건설중인자산	11,220,301	199,544	58,003,243	-	-	-	(59,050,268)	10,372,821

국고보조금	(394,778)	-	(88,050)	-	-	-	440,528	(42,300)

합계	98,603,232	4,350,906	83,052,378	(144,135)	(9,826,563)	8,421	(211,401)	175,832,836

(주1) 건설중인자산에서 본계정으로 대체된 금액과 투자부동산에서 유형자산으로 대체된 금액이 포함되어 있 습니다. 차액 중 4,303,831천원은 투자부동산에서 유형자산으로 대체된 금액이며, 881,899천원은 건설중인자산에서 기타의무형자산으로 대체된 금액입니다. 또한 3,633,333천원은 유형자산에서 재고자산으로 대체된 금액입니다.
4. 매출 및 수주상황

가. 매출실적(연결기준)

(단위 : 백만원)

구 분	판매구분	제35기	제34기	제33기

재료	내수	57,619	48,691	46,539

수출	24,241	19,195	18,667

계	81,860	67,886	65,206

장 비	내수	75,410	64,723	34,550

수출	48,982	25,179	18,896

계	124,392	89,902	53,446

Solutions	내수	2,291	1,440	1,074

수출	4,319	6,118	5,018

계	6,610	7,558	6,092

기 타	내수	797	812	986

계	797	812	986

합계	내수	136,117	115,667	83,148

수출	77,542	50,491	42,582

계	213,659	166,158	125,730

나. 판매경로 및 판매방법 등(1) 판매조직

- 3개 사업본부(펠리클,장비,솔루션사업부), 각 1개의 영업팀(펠리클영업팀,장비영업팀,솔루션사업부 영업팀)

(2) 판매경로

- 국내는 직접판매, 수출은 직접판매 또는 위탁판매

(3) 판매방법 및 조건

- 판매방법 : 반도체펠리클의 경우 당사 상표 부착 방식, 반도체장비는 당사 상표 부착 방식 또는 OEM방식- 판매조건 : 국내의 경우 대금회수 조건은 어음(구매카드포함) 또는 현금결제조건,수출의 경우 TT방식에 의해 회수함

(4) 판매전략

- 내수시장의 높은 점유율을 계속 유지하면서 수출시장을 확대하는 전략

다. 수주상황- 해당사항 없습니다.
6. 주요계약 및 연구개발활동

가. 경영상의 주요계약 등- 해당사항 없음 나 . 연구개발 담당조직연구개발담당조직은 에프에스티 기업부설연구소이며, 동연구소의 조직은 연구소장, 신제품개발사업부(연구개발팀), 펠리클사업부(연구개발팀), TCU사업부(연구개발팀)으로 구성되어 있습니다- 신제품개발사업부(연구개발팀) : 신제품 개발, PROJECT 개발, EUV (Extreme Ultra-Violet) Source 개발- 펠리클사업부(연구개발팀) : 펠리클 공정 개발, 펠리클 생산장비 개발 및 설계, EUV (Extreme Ultra-Violet) 펠리클 개발- TCU사업부(연구개발팀) : 차세대 CHILLER 설계, 공정업무

다. 연구개발비용(단위 : 백만원)

과 목	제35기	제34기	제33기	비 고

원 재 료 비	3,126	1,613	1,393	-

인 건 비	12,021	4,909	4,244	-

위 탁 용 역 비	161	168	124	-

기 타	2,121	1,129	79	-

연구개발비용 계	17,429	7,819	5,841	-

회계처리	판매비와 관리비	17,429	7,819	5,841	경상연구비

제조경비	-	-	-	-

개발비(무형자산)	-	-	-	-

연구개발비 / 매출액 비율[연구개발비용계÷당기매출액×100]	8.16%	4.71%	4.65%	-

라. 연구개발 실적

구분	연구과제명	연구기관	연구결과 및 기대효과

펠리클	EUV Pellicle 개발	당사 기술연구소	- EUV Pellicle Pilot 생산을 위한 크린룸 및 1 path 설비 투자 완료 후 운영 중- 장비 추가 개선 작업 진행 중

- MeSi 소재 및 구조 개선 통한 350W+ 급 EUVP 공정 개발 중 (23년 양산 목표)- Core 및 Capping 소재 평가 및 최적화 작업 진행 중

- EUV Pellicle 용 Frame 의 당사 고유 구조 및 재료 확보를 위한 R 진행 중

- 차세대 EUVP (600W+, high NA) 소재 가능성이 예상되는 차새대 소재 자체 개발 및 및 국내외 연구소와 공동 협업 진행 중

- EUV 광원에서 발생하는 particle 제어용 filter 연구 개발 진행 중

차세대 Pellicle 개발	당사 기술연구소	- 국내외 연구소와 내광성 향상 소재 처리 공법 공동 개발 진행 중

- 무기 ion과 휘발성 유기 Gas 개선용 Frame 코팅 소재 연구 개발 진행 중

FPD用 DUV광원 Pellicle 개발	당사 기술 연구소	- 고 내광성 Membrane 확보를 위한 신규 고분자불소 물질 Search 및 합성 연구

- 고분자불소 소재를 이용한 단일 막 Membrane Coating 기술, 박리 기술, 부착기술 개발

- 고분자불소 물질別 투과율 및 내광성 등 신뢰성 평가

칠러	하이브리드 전기 CHILLER 개발	당사 기술연구소	- 전기칠러의 장점인 온도제어성능을 유지하고, Compressor 칠러의 장점인 대용량을 결합한 하이브리드 전기 system 개발

- Capacity Up Lower Temp 제품 개발

고온 Heatexchager개발	당사 기술연구소	- 친환경 및 제어안정화 설계기술을 접목 250도 고온용 HeatExchanger 개발 및 제안

: Platform 다양화에 따른 고객사 확대

챔버통합형 Chiller 개발	당사 기술연구소	- Slim Size 챔버통합형 제품 개발 완료

: 설치공간 축소에 따른 운용수량 증가 (고객사 Demo평가 진행 중)

극저온형 Chiller 개발	당사 기술연구소	- -80℃ 대역의 저온 냉동 Chiller 기술을 바탕으로 -100℃ 대역에 최적화 된 혼합냉매 냉동 System 개발

: -100℃ 냉동 능력 확보 완료

EUV	EUV Source개발	당사 기술연구소	- EUV 광원을 EUV 펠리클 투과율 측정 설비에 셋업 완료 및 평가 시작 (22년 1분기 평가 완료)

장비	EUV Pellicle 검사장비	당사 기술연구소	- 개발 완료 및 고객 납품 예정

EUV Pod 검사장비	당사 기술연구소	- 고객 납품 및 setup 완료

EUV Pellicle Mount 장비	당사 기술연구소	- 개발 완료 및 고객 납품 예정
1. 요약재무정보

가. 요약연결재무정보(단위 : 백만원)

구 분	제35기	제34기	제33기

[유동자산]	109,161	77,417	62,139

현금및현금성자산	44,391	23,542	12,740

매출채권 및 기타채권	24,502	22,620	20,820

재고자산	36,091	24,924	22,605

기타	4,177	6,331	5,974

[비유동자산]	236,716	146,809	118,996

매출채권 및 기타채권	519	2,102	-

공정가치측정금융자산	7,974	8,035	3,584

관계기업 및 공동기업 투자	22,436	10,407	10,158

투자부동산	15,572	19,976	-

유형자산	175,833	98,603	98,658

무형자산	5,972	2,577	1,968

기타	8,410	5,109	4,628

자산총계	345,877	224,226	181,134

[유동부채]	74,029	52,081	46,710

[비유동부채]	63,154	38,270	21,270

부채총계	137,183	90,351	67,980

자본금	10,878	10,117	10,117

자본잉여금	82,097	39,175	38,112

자본조정	(5,460)	(5,460)	(5,190)

기타포괄손익누계액	(359)	(737)	(609)

이익잉여금	117,315	87,873	70,725

[지배기업 소유주지분]	204,472	130,968	113,154

[비지배지분]	4,222	2,907	-

자본총계	208,694	133,876	113,154

구분	2021년 1월~12월	2020년 1월~12월	2019년 1월~12월

매출액	213,658	166,158	125,730

영업이익	22,636	24,842	18,873

법인세차감전순이익	35,372	23,324	22,178

당기순이익	28,216	18,687	18,279

주당순이익(원)	1,657	1,026	1,002

희석주당이익(원)	1,657	1,026	1,002

연결에 포함된 회사수	6	4	2

※ 상기 요약연결재무정보는 한국채택국제회계기준(K-IFRS) 작성 기준에 따라 작성된 연결재무제표에 근거하여 작성되었습니다.※ 제35기(당기)는 주주총회 승인 전 연결재무제표입니다. 향후 정기주주총회에서 재무제표 승인 관련 건이 부결되거나 수정이 발생한 경우 정정보고서를 통해 그 내용 및 사유 등을 반영할 예정입니다.

※ 연결에 포함된 회사는 아래와 같습니다.

상호	소재지	설립일	주요사업

(주)에스피텍	한국	2010.03.25	전자부품 제조업

XIAN FST.CO.LTD	중국	2013.10.23	반도체 장비 AS서비스

WUXI FST.CO.LTD	중국	2018.06.07	반도체 장비 AS서비스

(주)화인세라텍	한국	2020.07.21	전기전자부품 제조업

(주)에프엑스티(구,창성테크)(주1)	한국	2019.08.21	반도체 관련 부품 제조업

(주)이솔	한국	2017.12.19	EUV용 마스크 측정,계측,검사 장비개발

(주1) 당기 중 (주)창성테크에서 (주)에프엑스티로 상호가 변경되었습니다. 가. 요약별도재무정보

(단위 : 백만원)

구 분	제35기	제34기	제33기

[유동자산]	99,527	65,874	58,349

현금및현금성자산	40,193	14,202	10,340

매출채권 및 기타채권	26,024	22,189	20,473

재고자산	28,893	23,612	21,616

기타	4,417	5,871	5,920

[비유동자산]	182,499	139,526	108,490

매출채권 및 기타채권	800	1,459	-

공정가치측정금융자산	7,974	8,035	3,584

종속기업, 관계기업 및 공동기업 투자	21,454	18,307	10,280

투자부동산	23,272	19,976	-

유형자산	118,405	85,509	88,344

무형자산	2,676	2,475	1,968

기타	7,918	3,765	4,314

자산총계	282,026	205,400	166,839

[유동부채]	58,800	46,037	39,719

[비유동부채]	35,607	36,859	19,547

부채총계	94,407	82,896	59,267

[자본금]	10,878	10,117	10,117

[자본잉여금]	80,337	38,112	38,112

[자본조정]	(5,460)	(5,460)	(5,074)

[기타포괄손익누계액]	(373)	(839)	(533)

[이익잉여금]	102,236	80,574	64,951

자본총계	187,619	122,504	107,572

종속ㆍ관계ㆍ공동기업투자주식의 평가방법	원가법	원가법	원가법

구분	2021년 1월~12월	2020년 1월~12월	2019년 1월~12월

매출액	209,076	162,731	121,655

영업이익	30,048	23,449	18,936

법인세차감전순이익	29,902	21,771	19,668

당기순이익	24,493	17,418	15,733

주당순이익(원)	1,263	957	863

희석주당이익(원)	1,263	957	863

※ 상기 요약별도재무정보는 한국채택국제회계기준(K-IFRS) 작성 기준에 따라 작성된 연결재무제표에 근거하여 작성되었습니다.

※ 제35기(당기)는 주주총회 승인 전 연결재무제표입니다. 향후 정기주주총회에서 재무제표 승인 관련 건이 부결되거나 수정이 발생한 경우 정정보고서를 통해 그 내용 및 사유 등을 반영할 예정입니다.