eddmpython/dartlab-data huggingface dataset:
에프에스티 분기보고서 (2021.09)
분 기 보 고 서

(제 35 기 3 분기)

사업연도 2021년 01월 01일 부터
2021년 09월 30일 까지

금융위원회
한국거래소 귀중 2021 년 11 월 12 일

제출대상법인 유형 : 주권상장법인
면제사유발생 : 해당사항 없음

회 사 명 : 에프에스티
대 표 이 사 : 유장동
본 점 소 재 지 : 경기도 화성시 동탄면 동탄산단6길 15-23
(전 화)031-371-2400
(홈페이지) http://www.fstc.co.kr
작 성 책 임 자 : (직 책) 대표이사 (성 명) 유 장 동
(전 화) 031-371-2400
1. 회사의 개요

가. 연결대상 종속회사 현황(요약)

(단위 : 사)

구분	연결대상회사수	주요종속회사수

기초	증가	감소	기말

상장	-	-	-	-	-

비상장	4	2	-	6	-

합계	4	2	-	6	-

※상세 현황은 '상세표-1. 연결대상 종속회사 현황(상세)' 참조

※ 주요종속회사 판단 여부 기준 : ① 직전연도 자산총액이 지배회사 자산총액의 10% 이상인 종속회사

② 직전연도 자산총액이 750억원 이상인 종속회사

나. 연결대상회사의 변동내용

구 분	자회사	사 유

신규연결	(주)창성테크	당기 중 신규 지분 취득

(주)이솔	당기 중 신규 지분 취득

연결제외	-	-

-	-

다. 회사의 법적, 상업적 명칭당사의 명칭은 (주)에프에스티로 표기합니다. 영문으로는 FINE SEMITECH CORP.으로 표기합니다. 라. 설립일자 및 존속기간당사는 1987년에 설립되어 반도체 Photo Mask 보호막인 Pellicle, FPD Pellicle 및 반도체 제조장비의 온도를 조절하는 Chiller장비 제조업을 영위할 목적으로 설립되었으며, 경기도 오산시에 Pellicle 제조설비, 경기도 화성시에 Chiller장비 제조설비를 두고 있습니다. 마. 본사의 주소, 전화번호 및 홈페이지 1) 주소 : 경기도 화성시 동탄면 동탄산단6길 15-23 2) 전화번호 : 031-371-2400 3) 홈페이지 : http://www.fstc.co.kr 바. 중소기업 등 해당 여부

중소기업 해당 여부	미해당

벤처기업 해당 여부	미해당

중견기업 해당 여부	해당

사. 주요사업의 내용당사는 포토마스크용 보호막인 펠리클(Pellicle)과 반도체공정중 주로 Etching 식각공정에서 Process Chamber 내의 온도조건을 안정적으로 제어하는 온도조절장비인 칠러(Chiller)를 주력으로 생산하는 반도체 재료/장비 전문업체 입니다. 기타의 자세한 사항은 동 보고서의 'Ⅱ.사업의 내용'을 참조하시기 바랍니다. 아. 계열회사에 관한 사항당사는 2021년 09월 30일 현재 당사를 제외하고 6개의 계열회사를 가지고 있습니다.- (주)에스피텍펠리클용 Frame 등 생산을 주요 사업으로 2010년 3월에 설립한 법인으로 당사가 보유한 지분율은 100%입니다.- XIAN FST.CO.LTD중국 시장의 원활한 서비스 제공을 위해 2013년 10월에 설립한 중국 현지 법인으로 당사가 보유한 지분율은 100%입니다.- WUXI FST.CO.LTD중국 시장의 원활한 서비스 제공을 위해 2018년 6월에 설립한 중국 현지 법인으로 당사가 보유한 지분율은 100%입니다.- (주)화인세라텍 Fine Ceramic 부품 등 생산을 주요 사업으로 2020년 7월 에 설립한 법인으로 당사가 보유한 지분율은 57.17%입니다. - (주)창성테크 반도체 부품 등 생산을 주요 사업으로 2019년 8월 에 설립한 법인으로 당사가 보유한 지분율은 60.00%입니다.- (주)이솔반도체 EUV공정에 들어가는 계측, 측정, 검사장비 사업을 진행하고 있으며, 2017년 12월 19일에 설립한 법인으로 당사가 보유한 지분율은 54.25%입니다. 자 . 회사의 주권상장(또는 등록ㆍ지정)여부 및 특례상장에 관한 사항

주권상장(또는 등록ㆍ지정)여부	주권상장(또는 등록ㆍ지정)일자	특례상장 등여부	특례상장 등적용법규

코스닥시장	2000년 01월 18일	해당사항 없음	해당사항 없음
2. 회사의 연혁

가. 설립 이후의 변동상황(1) (주)에프에스티

일 자	내 용

1987년 09월	화인반도체기술(주) 설립(자본금 : 50백만원)

2014년 03월	직장어린이집 개원

2014년 06~12월	신주인수권행사[추가상장(보통주 437,954주)(자본금 6,979백만원 ⇒ 7,198백만원)]

2014년 12월	펠리클 2014 세계일류상품 선정

2015년 01월	신주인수권행사[추가상장(보통주 145,983주)(자본금 7,198백만원 ⇒ 7,271백만원)]

2015년 04월	반도체유통사업부 영업양수 및 신규 반도체유통사업 개시

2015년 04~06월	신주인수권행사[추가상장(보통주 1,849,145주)(자본금 7,271백만원 ⇒ 8,196백만원)]

2015년 11월	경기도 동탄 공장 B동 준공완료

2016년 07월	ISO 27001 인증 획득

2016년 07월	전환사채 15,000백만원 발행

2017년 04월	㈜클라넷 합자법인 설립(Scrubber 사업 진출)

2017년 07~12월	전환권행사[추가상장(보통주 3,073,762주)(자본금 8,196백만원 ⇒ 9,733백만원)]

2018년 01~05월	전환권행사[추가상장(보통주 768,441주) (자본금 9,733백만원 ⇒ 10,117백만원)]

2019년 03월	(주) 에스피텍 지분인수(100%)

2019년 12월	오산 F라인 증축공장 준공

2020년 07월	(주) 화인세라텍 설립 (자본금 : 5억원)

2021년 02월	(주) 창성테크 출자 (지분율 60%, 출자금 30억원)

2021년 03월	제3자 배정 유상증자 (보통주 1,522,975주, 대상자 : 삼성전자(주))

(2) (주)에스피텍

일 자	내 용

2010년 03월	(주)에스피텍 설립

2010년 12월	Photo Lithography용 Mask 보호용 Pellicle용 Frame 개발

2010년 12월	반도체용 산저감 Frame(SO4 50ppb 이하) 개발 완료(krF)

2011년 03월	ISO 9001 / 2008년판 인증

2011년 05월	LCD Frame 양산 개발완료

2011년 08월	공장 확장 이전(남동공단 147B/1L→154B/1L)

2011년 12월	벤처기업등록

2011년 12월	ArF용 ECC Frame(SO4, PO4 Free) 세계 최초 개발 및 생산

2012년 09월	기술연구소 설립

2013년 06월	PID고평탄 Frame(2.55t)양산 개발 완료

2013년 11월	인천비전기업 선정

2014년 12월	뿌리산업 인증획득(국가 뿌리산업진행 센터)

2015년 12월	공장2동 증축완료

2016년 11월	Electrical Chiller용 AL Cooling Block 개발 완료

2016년 12월	ISO 9001/2015년 개정판 인증

2016년 12월	ECC Cathode GDP 개발 완료

2017년 12월	ECC Cathode GDP 양산 Launching

2018년 04월	ECC Parts 특허취득 (알루미늄을 포함하는 물품의 피막 형성 방법)

2018년 09월	PDC Frame 특허취득 (수지 증착 코팅층을 구비한 펠리클 프레임)

2019년 11월	FPD 10.5th Anodize Line Set-up

2020년 10월	AI Frame 경면화 가공 기술확보

2021년 01월	5축 MCT장비 Set up

2021년 08월	고속머시닝센터(New SIRIUS-UL + 20K) Set up

(3) (주)화인세라텍

일 자	내 용

2020년 07월	(주) 화인세라텍 설립 (자본금 : 5억원)

2020년 09월	유상증자 25억 (100,000주 → 600,000주)

2020년 12월	지점설치 (수원사업장)

2020년 12월	제3자 배정 유상증자 11억 (600,000주 → 814,285주)

2021년 01월	제3자 배정 유상증자 7.4억 (814,285주 → 857,142주)

2021년 06월	제3자 배정 유상증자 4.8억(857,142주 → 952,380주)

2021년 10월	기업부설연구소 설립

(4) (주)창성테크

일 자	내 용

2019년 08월	(주) 창성테크 설립 (자본금 : 3억원)

2021년 02월	유상증자 30억 (30,000주 → 75,000주)

2021년 05월	본점 소재지 변경(경상북도 구미시 공단동 282-77)

2021년 08월	본점 건물 준공완료(경상북도 구미시 공단동 282-77)

(5) (주)이솔

일 자	내 용

2017년 12월	주식회사 이솔 설립 (설립자본금 1억, 20,000주)

2018년 02월	유상증자 2억 (20,000주 -> 60,000주)

2019년 06월	유상증자 3억 (60,000주 -> 120,000주)

2019년 11월	본사 이전 (동탄산단6길 15-23 -> 동탄산단 10길 45)

2020년 08월	벤처기업 인증

2020년 12월	유상증자 6억 (120,000주 -> 204,512주)

2021년 04월	유상증자 15억 (204,512주 -> 415,779주)

나. 본점 소재지 및 그 변경당사의 본점소재지는 경기도 화성시 동탄산단6길 15-23(방교동) 입니다.최근 5년간 본점소재지의 변경 사항이 없습니다.

다. 경영진의 중요한 변동

변동일자	주총종류	선임	임기만료또는 해임

신규	재선임

2016년 03월 25일	정기주총	-	사내이사 유장동	-

2016년 12월 30일	-	-	-	사내이사 유삼태

2017년 03월 24일	정기주총	-	사내이사 장명식사외이사 정해양감사 손명호	-

2019년 03월 22일	정기주총	-	사내이사 유장동	-

2020년 03월 24일	정기주총	사외이사 이준호감사 배인탁	사내이사 장명식	-

2020년 03월 24일	-	-	-	대표이사 장명식

라. 최대주주의 변동최근 5년간 최대주주의 변동 사항이 없습니다. 마. 상호의 변경최근 5년간 상호의 변경 사항이 없습니다. 바. 합병 등에 관한 사항최근 5년간 해당사항이 없습니다. 사. 회사의 업종 또는 주된 사업의 변화 최근 5년간 해당사항이 없습니다.
3. 자본금 변동사항

(기준일 : 2021년 09월 30일 (단위 : 천원, 주)

종 류	구 분	제35기 3분기말	제34기	제33기

보통주	발행주식총수	21,756,789	20,233,814	20,233,814

액면금액	500	500	500

자본금	10,878,395	10,116,907	10,116,907

우선주	발행주식총수	-	-	-

액면금액	-	-	-

자본금	-	-	-

합계	자본금	10,878,395	10,116,907	10,116,907
4. 주식의 총수 등

가. 주식의 총수 현황

(기준일 : 2021년 09월 30일 ) (단위 : 주)

구 분	주식의 종류	비고

보통주	우선주	합계

Ⅰ. 발행할 주식의 총수	500,000,000	-	500,000,000	-

Ⅱ. 현재까지 발행한 주식의 총수	21,756,789	-	21,756,789	-

Ⅲ. 현재까지 감소한 주식의 총수	-	-	-	-

1. 감자	-	-	-	-

2. 이익소각	-	-	-	-

3. 상환주식의 상환	-	-	-	-

4. 기타	-	-	-	-

Ⅳ. 발행주식의 총수 (Ⅱ-Ⅲ)	21,756,789	-	21,756,789	-

Ⅴ. 자기주식수	2,043,483	-	2,043,483	-

Ⅵ. 유통주식수 (Ⅳ-Ⅴ)	19,713,306	-	19,713,306	-

나. 자기주식 취득 및 처분 현황

(기준일 : 2021년 09월 30일 ) (단위 : 주)

취득방법	주식의 종류	기초수량	변동 수량	기말수량	비고

취득(+)	처분(-)	소각(-)

배당가능이익범위이내취득	직접취득	장내 직접 취득	보통주	957,198	-	-	-	957,198	-

우선주	-	-	-	-	-	-

장외직접 취득	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

공개매수	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

소계(a)	보통주	957,198	-	-	-	957,198	-

우선주	-	-	-	-	-	-

신탁계약에 의한취득	수탁자 보유물량	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

현물보유물량	보통주	1,086,285	-	-	-	1,086,285	-

우선주	-	-	-	-	-	-

소계(b)	보통주	1,086,285	-	-	-	1,086,285	-

우선주	-	-	-	-	-	-

기타 취득(c)	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

총 계(a+b+c)	보통주	2,043,483	-	-	-	2,043,483	-

우선주	-	-	-	-	-	-

다. 우선주 등 종류주식 발행현황 - 해당사항 없습니다.
5. 정관에 관한 사항

가. 정관 변경 이력

정관변경일	해당주총명	주요변경사항	변경이유

2020년 03월 24일	제33기 정기주주총회	- 이사의 보수와 퇴직금(퇴직보상액 신설)- 주주명부폐쇄기간 변경(1월 1일 ~ 1월 7일)	- 적대적 M 방지 조항 신설을 통한 경영 안정화- 주주명부 조기 확정

2019년 03월 22일	제32기 정기주주총회	- 사업목적의 추가(산업용 냉장 및 냉동장비 제조업)- 전자증권제도 도입에 따른 변경	- 관련 인,허가 취득 등- 주권 전자등록의무화
1. 사업의 개요

* 공시대상 사업부문의 구분

- 펠리클사업부＊반도체 펠리클 - 반도체 Device 제조시 Photolithography(노광식각)공정에서 Photomask(반도체설계회로도)를 이물질로부터 보호하기 위해 사용되는 부품.＊ FPD 펠리클 - TFT-FPD나 Color Filter기판의 제조시 마스크위에 그려져 있는 패턴을 외부의 이물질(파티클)로 부터 보호하기 위해 사용되는 부품.- TCU사업부 반도체공정 중 주로 Etching(식각)공정에서 Process Chamber 내의 온도조건을 안정적으로 제어하는 온도조절장비 및 반도체 공정장비.장비제품의 품질보증기간 경과후의 AS용역등.- 솔루션사업부Solutions 사업부의 사업 영역은 미국, 유럽, 아시아의 20여개 다국적 반도체 회사와 전략적 제휴를 통하여, 센서반도체, 전력전자반도체, LED 등을 관련 산업(휴대폰, FPD TV, FPD패널, 모니터, 셋탑박스, 가전제품, Computer, 통신 Network, 자동차 등)에 기술지원, 영업 및 마케팅을 주요 사업임.- 종속회사 XIAN FST.CO.LTD 및 WUXI FST.CO.LTD는 칠러장비 품질보증 및 AS용역을 주사업으로 영위함에 따라 TCU 사업부와 포괄적으로 적용하여 기입함- 종속회사 (주)에스피텍은 2010년 3월 25일 설립되어 반도체 펠리클용 Frame 및 FPD 펠리클용 Frame 생산과 판매를 주요 사업으로 하고 있으며 축적된 ECC Coating 기술과 특수정밀가공 기술로 반도체 장비 Parts 사업을 선도하고 있습니다. ArF용 ECC Frame(SO4, PO4 Free) 를 세계 최초로 개발 및 양산에 성공 및 PID 고평탄 Frame(2.55t)양산 개발 완료, PDC Frame, ECC Parts 등 세계적으로 유일한 독자기술을 확보한 기업입니다. - 종속회사 (주)화인세라텍(Fine Ceramic Tech)은 2020년 7월 21일 설립되어 반도체 장비에 들어가는 정밀 세라믹부품 반도체에 사용하는 구조 Ceramic Parts 등 다양한 반도체 관련 부품을 제조, 판매하는 기업입니다. - 종속회사 (주)창성테크는 2019년 8월 21일 설립되어 반도체 핵심공정에 들어가는 정밀부품을 제조 및 연구개발하고 있습니다. - 종속회사 ㈜이솔은 2017년 12월 19일 설립되어 반도체 EUV공정에 들어가는 계측, 측정, 검사장비를 연구개발하고 있습니다.
2. 주요 제품 및 서비스

가. 주요 제품 등의 현황(단위 : 백만원)

사업부문	매출유형	품 목	구체적용도	주요상표등	매출액(*)
(비율)

재료	제품	반도체Pellicle	반도체Device 제조시 Photolithography(노광식각)공정에서Photomask(반도체설계회로도)를 이물질로부터 보호하기 위해 사용되는 부품	FST	34,980(22%)

LCDPellicle	TFT-LCD나 Color Filter기판의 제조시 마스크위에 그려져 있는 패턴을 외부의 이물질(파티클)로 부터 보호해주는 역할을 하는 것	FST	18,407(11.6%)

Pellicle 프레임	반도체 및 LCD pellicle 제조용 프레임	에스피텍	1,460(0.9%)

재료 계	-	54,847(34.5%)

장비	제품	Chiller, 반도체공정장비, Laser drill	반도체공정 중 주로 Etching(식각)공정에서 Process Chamber 내의 온도조건을 안정적으로 제어하는 온도조절장비 및 반도체 공정장비전문가공 분야중 CO2 Laser drill 장비	FST	92,195(57.9%)

상품	Parts	-	FST	3,437(2.2%)

기타	제품AS 외	장비제품의 품질보증기간 경과후의 AS용역등	-	2,984(1.9%)

장비 계	-	98,616(62%)

기타	기타	임대수입 등	임대수입 등	-	621(0.4%)

임대 계	-	621(0.4%)

유통	상품	반도체칩	반도체칩 관련 상품	-	5,087(3.2%)

유통 계	-	5,087(3.2%)

매출액 합계	-	159,171(100%)

(*) 연결기준매출나. 주요 제품 등의 가격변동추이

(단위 : 천원)

품 목	분 류	제35기 3분기	제34기	제33기

Deep-UV Pellicle	내 수	442	509	482

수 출	215	201	184

Chiller	내 수	32,212	28,626	25,651

수 출	33,650	32,762	33,348

반도체 칩(단위 : 원)	내 수	123	244	133

수 출	12	317	15

* 펠리클/칠러/반도체 칩은 내수품과 수출품의 수요처 요구사양 및 환율에 따라 차이가 있음.

(1) 산출기준

당사의 주력제품(판매량 기준)별 연평균기준 판매단가를 근거로 함.

(2) 주요 가격변동원인

Pellicle의 판매가격은 환율, 원재료가격, 품질 등을 고려하여 고객과의 단가계약에 의해 1년 단위로 변동하며, Chiller 및 반도체 칩은 주문생산의 특성상 사양조건에 따라 가격이 상이하고 수요업체의 Needs에 부합하는 품질 및 안정성이 가격결정의 주요인으로 대개 프로젝트별로 협의 결정됨.
3. 원재료 및 생산설비

가. 주요 원재료 등의 현황(단위 : 백만원)

사업부문	매입유형	품 목	구체적용도	매입액(비율)	비고

재료	외상매입	Cytop등 화학원료	Pellicle 제조물질	2,881(3.9%)	-

Frame, Case외	Pellicle의 지지대와 보호Box	11,524(15.4%)	-

저장품	Pellicle 제조위한 소모재료	3,756(5%)	-

장비	Pump외	반도체장비제조를 위한 원재료	47,243(63.2%)	-

주름관외	반도체장비제조를 위한 부재료	9,301(12.5%)	-

총매입액	74,705(100%)	-

* 상기 매입비율은 원재료,부재료, 저장품 총매입액에 대한 비율입니다.* 원재료의 타계정 대체등과 관련한 사항은 제외하였습니다.

나. 생산능력 및 생산능력의 산출근거(1) 생산능력

(단위 : 개/대)

사업부문	품 목	사업소	제 35기 3분기	제 34기	제 33기

재료	펠리클	전사	400,000	400,000	370,000

소 계	400,000	400,000	370,000

장비	칠러외	전사	2,500	2,500	2,500

소 계	2,500	2,500	2,500

합 계	402,500	402,500	372,500

(2) 생산능력의 산출근거(가) 산출방법 등

① 산출기준 : Clean Room 등 작업공간과 투입가능 제조인원 고려

② 산출방법 : 추정* 제품군에 따라 작업시간 및 수율상 많은 차이를 보이므로 해당기간에 어느 제품군의 작업이 많았는가에 따라 생산능력은 상당한 차이를 보일 수 있습니다.본 보고서에서 제시한 생산능력은 과거 연평균 생산량 등에 비추어 제품군의 수요에 급격한 차이가 없음을 가정하여 생산능력을 산출한 것입니다.

(나) 평균가동시간

- 반도체 재료 : 1일 평균 16시간(근무일 기준)- 반도체 장비 : 1일 평균 8시간(근무일 기준)

다. 생산실적(단위 : 개/대)

사업부문	품 목	사업소	제35기 3분기	제34기	제33기

재료	펠리클	전사	134,084	162,638	160,834

소 계	134,084	162,638	160,834

장비	칠러 및 장비	전사	2,881	2,476	1,624

소 계	2,881	2,476	1,624

합 계	136,965	165,114	162,458

라. 생산설비의 현황(연결)[자산항목 : 유형자산]

(단위 : 백만원)

구분	기초	연결범위 조정	취득	처분	감가상각비	기타	대체(주1)	기말

토 지	20,373	-	1,224	-	-	-	17,342	38,939

건 물	36,270	-	8	-	(889)	-	11,374	46,763

구 축 물	466	-	29	-	(11)	-	-	484

시 설 장 치	13,209	21	1,120	(25)	(2,238)	-	8,452	20,539

기 계 장 치	14,578	-	605	(62)	(2,422)	-	14,548	27,247

국고보조금 기계장치	(1)	-	-	-	30	-	(395)	(366)

연 구 용 자 산	-	3,867	9	-	(300)	-	1,755	5,331

차 량 운 반 구	226	-	34	-	(69)	-	-	191

공 구 와 기 구	989	49	228	-	(259)	-	207	1,214

국고보조금 공구와기구	(35)	-	-	-	8	-	-	(27)

집 기 비 품	1,080	82	723	(18)	(437)	5	56	1,491

국고보조금 비품	-	-	-	-	2	-	(30)	(28)

사 용 권 자 산	622	133	404	(22)	(239)	-	-	898

건설중인자산	11,220	4	49,903	-	-	-	(44,731)	16,396

국고보조금 건설중인자산	(395)	-	(46)	-	-	-	441	-

합계	98,602	4,156	54,241	(127)	(6,824)	5	9,019	159,072

(주1) 건설중인자산에서 본계정으로 대체된 금액과 투자부동산에서 유형자산으로 대체된 금액이 포함되어 있 습니다. 차액 중 9,836,386천원은 투자부동산에서 토지 및 건물로 대체된 금액이며, 817,549천원은 건설중인자산에서 기타의무형자산으로 대체된 금액입니다.
4. 매출 및 수주상황

가. 매출실적(연결기준)

(단위 : 백만원)

구 분	판매구분	제35기 3분기	제34기	제33기

재료	내수	41,077	48,691	46,539

수출	16,800	19,195	18,667

계	57,877	67,886	65,206

장 비	내수	56,428	64,723	34,550

수출	39,159	25,179	18,896

계	95,587	89,902	53,446

Solutions	내수	1,491	1,440	1,074

수출	3,595	6,118	5,018

계	5,086	7,558	6,092

기 타	내수	621	812	986

계	621	812	986

합계	내수	99,617	115,667	83,148

수출	59,554	50,491	42,582

계	159,171	166,158	125,730

나. 판매경로 및 판매방법 등(1) 판매조직

- 3개 사업본부(펠리클,장비,솔루션사업부), 각 1개의 영업팀(펠리클영업팀,장비영업팀,솔루션사업부 영업팀)

(2) 판매경로

- 국내는 직접판매, 수출은 직접판매 또는 위탁판매

(3) 판매방법 및 조건

- 판매방법 : 반도체펠리클의 경우 당사 상표 부착 방식, 반도체장비는 당사 상표 부착 방식 또는 OEM방식- 판매조건 : 국내의 경우 대금회수 조건은 어음(구매카드포함) 또는 현금결제조건,수출의 경우 TT방식에 의해 회수함

(4) 판매전략

- 내수시장의 높은 점유율을 계속 유지하면서 수출시장을 확대하는 전략

다. 수주상황- 해당사항 없습니다.
6. 주요계약 및 연구개발활동

가. 경영상의 주요계약 등- 해당사항 없음 나 . 연구개발 담당조직연구개발담당조직은 에프에스티 기업부설연구소이며, 동연구소의 조직은 연구소장, 신제품개발사업부(연구개발팀), 펠리클사업부(연구개발팀), TCU사업부(연구개발팀)으로 구성되어 있습니다- 신제품개발사업부(연구개발팀) : 신제품 개발, PROJECT 개발, EUV (Extreme Ultra-Violet) Source 개발- 펠리클사업부(연구개발팀) : 펠리클 공정 개발, 펠리클 생산장비 개발 및 설계, EUV (Extreme Ultra-Violet) 펠리클 개발- TCU사업부(연구개발팀) : 차세대 CHILLER 설계, 공정업무

다. 연구개발비용(단위 : 백만원)

과 목	제35기 3분기	제34기	제33기	비 고

원 재 료 비	1,476	1,613	1,393	-

인 건 비	6,171	4,909	4,244	-

위 탁 용 역 비	159	168	124	-

기 타	1,368	1,129	79	-

연구개발비용 계	9,174	7,819	5,841	-

회계처리	판매비와 관리비	9,174	7,819	5,841	경상연구비

제조경비	-	-	-	-

개발비(무형자산)	-	-	-	-

연구개발비 / 매출액 비율[연구개발비용계÷당기매출액×100]	5.76%	4.71%	4.65%	-

라. 연구개발 실적

구분	연구과제명	연구기관	연구결과 및 기대효과

펠리클	EUV Pellicle 개발	당사 기술연구소	- EUV Pellicle 자체 막 연구를 위한 신규 클린룸 및 설비 투자 진행중

- 다양한 소재의 차세대 EUVP 막질 개발을 위해 자체 및 국내외 유수 연구 기관들과 협업 개발 중

- 자체 Frame 확보를 위한 IP 확보 및 다양한 재료 및 제작방법의 개발 진행 중

- 3세대 EUV Pellicle 재료로 주목되는 그래핀 재료 및 hybrid 박막 연구를 국내 연구소와 공동 연구 및 개발 진행 중

- EUV 광원에서 발생하는 contamination 및 particle 제어하기 위한 응용 제품 개발 중

차세대 Pellicle 개발	당사 기술 연구소	- ArF 광원(193nm 파장)에서 수명을 향상할 수 있는 Pellicle Membrane용 재료 개발 중

- 반도체 노광 공정 중 Haze 유발 가능성이 있는 무기 Ion과 휘발성 유기 Gas를 저감한 Pellicle 개발 중

10.5G 펠리클 개발	당사 기술 연구소	- 대형 COATER 개발(1600 × 1800 Size)을 통해 차세대 10.5G 8.5G+ Pellicle 양산 완료

- 단위 공정 자동화 생산을 통한 생산성 향상

- 공정 최적화를 통한 양산 안정화

칠러	하이브리드 전기 CHILLER 개발	당사 기술연구소	- 전기칠러의 장점인 온도제어성능을 유지하고, Compressor 칠러의 장점인 대용량을 결합한 하이브리드 전기 system 개발

: 반도체 Etch공정용 개발 완료 및 고객사 확대 적용 (성능Upgrade)

고온 Heatexchager개발	당사 기술연구소	- 고온공정의 확산으로 +100℃ 대역에서 +200℃~250℃ 대역으로 공정온도 변경에 따른 Needs 발생

- 친환경 및 제어안정화 설계기술을 접목 250도 고온용 HeatExchanger 개발 및 제안

챔버통합형 Chiller 개발	당사 기술연구소	- Slim Size 냉동 Capa Up을 통한 BTM공정 및 Top공정 통합형 Chiller 개발

- Etch 주요장비사 Target 고객 Demo평가 예정

극저온형 Chiller 개발	당사 기술연구소	- -80℃ 대역의 저온 냉동 Chiller 기술을 바탕으로 -100℃ 대역에 최적화 된 혼합냉매 냉동 System 개발

: -100℃ 냉동 능력 확보 완료

EUV	EUV Source 개발	당사 기술연구소	- EUV 펠리클 투과율 측정장치용 광원 제작 완료 ( 4분기 ESOL EPTR 설비에 셋업 예정) "

장비	LSM(Laser Scanning Microscope) 장비	당사 기술연구소	- 고객사 장비 셋업 완료, 성분분석 upgrade 중

TP(Total Pitch) 측정 장비	당사 기술연구소	- 구매조건부 과제 평가 완료

펠리클/마스크 광학 검사 장비	당사 기술연구소	- Sub um급 검출성능 검사설비 국내 양산라인 진출 중- 차세대 반도체 공정용 검사 설비 연구개발 진행 중

EUV Pellicle 검사장비	당사 기술연구소	- 개발 완료 및 고객 데모 진행

EUV Pod 검사장비	당사 기술연구소	- 개발 완료 및 고객 데모 진행

EUV Pellicle Mount 장비	당사 기술연구소	- 개발 완료 및 고객 데모 진행
1. 요약재무정보

가. 요약연결재무정보 ※ 제35기 3분기 연결재무정보는 외부감사인의 감사 또는 검토를 받지 않은 재무제표이며, 비교 표시된 제34기 및 제33기 연결재무제표는 외부감사인의 감사를 받은 재무제표입니다.

(단위 : 백만원)

구 분	제35기 3분기	제34기	제33기

[유동자산]	106,087	77,417	62,138

현금및현금성자산	30,995	23,542	12,740

매출채권 및 기타채권	22,417	22,620	20,820

재고자산	35,228	24,924	22,605

기타	17,447	6,331	5,973

[비유동자산]	214,467	146,809	118,996

매출채권 및 기타채권	643	2,102	1,944

기타포괄손익-공정가치측정금융자산	7,836	8,035	3,584

관계기업투자 및 공동기업 투자	24,416	10,407	10,158

투자부동산	10,108	19,976	-

유형자산	159,071	98,603	98,658

무형자산	5,636	2,577	1,968

기타	6,757	5,109	2,684

자산총계	320,554	224,226	181,134

[유동부채]	66,979	52,081	46,710

[비유동부채]	42,831	38,270	21,270

부채총계	109,810	90,351	67,980

자본금	10,878	10,117	10,117

자본잉여금	82,114	39,175	38,111

기타포괄손익누계액	339	(737)	(609)

자본조정	(5,460)	(5,460)	(5,190)

이익잉여금	117,180	87,873	70,725

[지배기업 소유주지분]	205,051	130,968	113,154

[비지배지분]	5,692	2,907	-

자본총계	210,743	133,876	113,154

구분	2021년 1월~9월	2020년 1월~12월	2019년 1월~12월

매출액	159,171	166,158	125,730

영업이익	23,852	24,842	18,873

법인세차감전순이익	38,495	23,324	22,178

당기순이익	29,669	18,687	18,279

주당순이익(원)	1,538	1,026	1,002

희석주당이익(원)	1,538	1,026	1,002

연결에 포함된 회사수	6	4	2

※ 상기 요약연결재무정보는 한국채택국제회계기준(K-IFRS) 작성 기준에 따라 작성된 연결재무제표에 근거하여 작성되었습니다.

※ 연결에 포함된 회사는 아래와 같습니다.

상호	소재지	설립일	주요사업

(주)에스피텍	한국	2010.03.25	전자부품 제조업

XIAN FST.CO.LTD	중국	2013.10.23	반도체 장비 AS서비스

WUXI FST.CO.LTD	중국	2018.06.07	반도체 장비 AS서비스

(주)화인세라텍	한국	2020.07.21	전기전자부품 제조업

(주)창성테크	한국	2019.08.21	반도체 관련 부품 제조업

(주)이솔	한국	2017.12.19	EUV용 마스크 측정,계측,검사 장비개발

가. 요약별도재무정보 ※ 제35기 3분기 재무정보는 외부감사인의 감사 또는 검토를 받지 않은 재무제표이며, 비교 표시된 제34기 및 제33기 연결재무제표는 외부감사인의 감사를 받은 재무제표입니다.

(단위 : 백만원)

구 분	제35기 3분기	제34기	제33기

[유동자산]	100,140	65,874	58,349

현금및현금성자산	28,242	14,202	10,340

매출채권 및 기타채권	24,489	22,189	20,473

재고자산	29,032	23,612	21,616

기타	18,377	5,871	5,920

[비유동자산]	175,054	139,526	108,490

매출채권 및 기타채권	376	1,459	1,920

기타포괄손익-공정가치측정금융자산	7,836	8,035	3,584

투자부동산	20,876	19,976	-

관계기업투자 및 공동기업 투자	22,133	18,307	10,280

유형자산	115,506	85,509	88,344

무형자산	2,656	2,475	1,968

기타	5,671	3,765	2,394

자산총계	275,194	205,400	166,839

[유동부채]	55,315	46,037	39,720

[비유동부채]	34,503	36,859	19,547

부채총계	89,818	82,896	59,267

[자본금]	10,878	10,117	10,117

[자본잉여금]	80,337	38,111	38,111

[기타포괄손익누계액]	(247)	(839)	(533)

[자본조정]	(5,459)	(5,459)	(5,074)

[이익잉여금]	99,867	80,574	64,951

자본총계	185,376	122,504	107,572

종속ㆍ관계ㆍ공동기업투자주식의 평가방법	원가법	원가법	원가법

구분	2021년 1월~9월	2020년 1월~12월	2019년 1월~12월

매출액	157,193	162,731	121,655

영업이익	27,381	23,449	18,936

법인세차감전순이익	28,294	21,771	19,668

당기순이익	21,560	17,418	15,733

주당순이익(원)	1,118	957	863

희석주당이익(원)	1,118	957	863

※ 상기 요약별도재무정보는 한국채택국제회계기준(K-IFRS) 작성 기준에 따라 작성된 연결재무제표에 근거하여 작성되었습니다.