에프에스티 분기보고서 (2022.03)
2. 회사의 연혁

가. 설립 이후의 변동상황 (1) (주)에프에스티

일 자	내 용

1987년 09월	화인반도체기술(주) 설립(자본금 : 50백만원)

2014년 03월	직장어린이집 개원

2014년 06~12월	신주인수권행사[추가상장(보통주 437,954주)(자본금 6,979백만원 ⇒ 7,198백만원)]

2014년 12월	펠리클 2014 세계일류상품 선정

2015년 01월	신주인수권행사[추가상장(보통주 145,983주)(자본금 7,198백만원 ⇒ 7,271백만원)]

2015년 04월	반도체유통사업부 영업양수 및 신규 반도체유통사업 개시

2015년 04~06월	신주인수권행사[추가상장(보통주 1,849,145주)(자본금 7,271백만원 ⇒ 8,196백만원)]

2015년 11월	경기도 동탄 공장 B동 준공완료

2016년 07월	ISO 27001 인증 획득

2016년 07월	전환사채 15,000백만원 발행

2017년 04월	㈜클라넷 합자법인 설립(Scrubber 사업 진출)

2017년 07~12월	전환권행사[추가상장(보통주 3,073,762주)(자본금 8,196백만원 ⇒ 9,733백만원)]

2018년 01~05월	전환권행사[추가상장(보통주 768,441주) (자본금 9,733백만원 ⇒ 10,117백만원)]

2019년 03월	(주) 에스피텍 지분인수(100%)

2019년 12월	오산 F라인 증축공장 준공

2020년 07월	(주) 화인세라텍 설립 (자본금 : 5억원)

2021년 02월	(주) 창성테크 출자 (지분율 60%, 출자금 30억원)

2021년 03월	제3자 배정 유상증자 (보통주 1,522,975주, 대상자 : 삼성전자(주))

2022년 01월	미국 해외법인 설립

(2) (주)에스피텍

일 자	내 용

2010년 03월	(주)에스피텍 설립

2010년 12월	Photo Lithography용 Mask 보호용 Pellicle용 Frame 개발

2010년 12월	반도체용 산저감 Frame(SO4 50ppb 이하) 개발 완료(krF)

2011년 03월	ISO 9001 / 2008년판 인증

2011년 05월	LCD Frame 양산 개발완료

2011년 08월	공장 확장 이전(남동공단 147B/1L→154B/1L)

2011년 12월	벤처기업등록

2011년 12월	ArF용 ECC Frame(SO4, PO4 Free) 세계 최초 개발 및 생산

2012년 09월	기술연구소 설립

2013년 06월	PID고평탄 Frame(2.55t)양산 개발 완료

2013년 11월	인천비전기업 선정

2014년 12월	뿌리산업 인증획득(국가 뿌리산업진행 센터)

2015년 12월	공장2동 증축완료

2016년 11월	Electrical Chiller용 AL Cooling Block 개발 완료

2016년 12월	ISO 9001/2015년 개정판 인증

2016년 12월	ECC Cathode GDP 개발 완료

2017년 12월	ECC Cathode GDP 양산 Launching

2018년 04월	ECC Parts 특허취득 (알루미늄을 포함하는 물품의 피막 형성 방법)

2018년 09월	PDC Frame 특허취득 (수지 증착 코팅층을 구비한 펠리클 프레임)

2019년 11월	FPD 10.5th Anodize Line Set-up

2020년 10월	AI Frame 경면화 가공 기술확보

2021년 01월	5축 MCT장비 Set up

2021년 08월	고속머시닝센터(New SIRIUS-UL + 20K) Set up

2021년 09월	EUVP Infra 및 EUV Dual Pod 관련 기술개발 진행

2021년 11월	소재.부품.장비 전문기업 확인서 인증

(3) (주)화인세라텍

일 자	내 용

2020년 07월	(주) 화인세라텍 설립 (자본금 : 5억원)

2020년 09월	유상증자 25억 (100,000주 → 600,000주)

2020년 12월	지점설치 (수원사업장)

2020년 12월	제3자 배정 유상증자 11억 (600,000주 → 814,285주)

2021년 01월	제3자 배정 유상증자 7.4억 (814,285주 → 857,142주)

2021년 06월	제3자 배정 유상증자 4.8억(857,142주 → 952,380주)

2021년 10월	기업부설연구소 설립

(4) (주)에프엑스티

일 자	내 용

2019년 08월	(주)창성테크 설립 (자본금 : 3억원)

2021년 02월	유상증자 30억 (30,000주 → 75,000주)

2021년 05월	본점 소재지 변경(경상북도 구미시 공단동 282-77)

2021년 08월	본점 건물 준공완료(경상북도 구미시 공단동 282-77)

2021년 11월	CVD-Sic 장비 구축 완료

2021년 11월	상호 변경(㈜창성테크→㈜에프엑스티)

2022년 01월	유상증자 13억(75,000주 → 100,000주)

(5) (주)이솔

일 자	내 용

2017년 12월	주식회사 이솔 설립 (설립자본금 1억, 20,000주)

2018년 02월	유상증자 2억 (20,000주 -> 60,000주)

2019년 06월	유상증자 3억 (60,000주 -> 120,000주)

2019년 11월	본사 이전 (동탄산단6길 15-23 -> 동탄산단 10길 45)

2020년 08월	벤처기업 인증

2020년 12월	유상증자 6억 (120,000주 -> 204,512주)

2021년 04월	유상증자 15억 (204,512주 -> 415,779주)

나. 본점 소재지 및 그 변경당사의 본점소재지는 경기도 화성시 동탄산단6길 15-23(방교동) 입니다.최근 5년간 본점소재지의 변경 사항이 없습니다.

다. 경영진 및 감사의 중요한 변동

변동일자	주총종류	선임	임기만료또는 해임

신규	재선임

2016년 03월 25일	정기주총	-	사내이사 유장동	-

2016년 12월 30일	-	-	-	사내이사 유삼태

2017년 03월 24일	정기주총	-	사내이사 장명식사외이사 정해양감사 손명호	-

2019년 03월 22일	정기주총	-	사내이사 유장동	-

2020년 03월 24일	정기주총	사외이사 이준호감사 배인탁	사내이사 장명식	-

2020년 03월 24일	-	-	-	대표이사 장명식

2022년 03월 29일	정기주총	사내이사 장경빈	-	사내이사 유장동

라. 최대주주의 변동최근 5년간 최대주주의 변동 사항이 없습니다. 마. 상호의 변경최근 5년간 상호의 변경 사항이 없습니다. 바. 합병 등에 관한 사항최근 5년간 해당사항이 없습니다. 사. 회사의 업종 또는 주된 사업의 변화최근 5년간 해당사항이 없습니다.