eddmpython/dartlab-data huggingface dataset:
에프에스티 분기보고서 (2023.09)
분 기 보 고 서

(제 37 기)

사업연도 2023년 01월 01일 부터
2023년 09월 30일 까지

금융위원회
한국거래소 귀중 2023 년 11 월 13 일

제출대상법인 유형 : 주권상장법인
면제사유발생 : 해당사항 없음

회 사 명 : 에프에스티
대 표 이 사 : 장 경 빈
본 점 소 재 지 : 경기도 화성시 동탄면 동탄산단6길 15-23
(전 화) 031-371-2400
(홈페이지) http://www.fstc.co.kr
작 성 책 임 자 : (직 책) 대표이사 (성 명) 장 경 빈
(전 화) 031-371-2400
1. 회사의 개요

가. 연결대상 종속회사 현황(요약)

(단위 : 사)

구분	연결대상회사수	주요종속회사수

기초	증가	감소	기말

상장	-	-	-	-	-

비상장	7	-	1	6	-

합계	7	-	1	6	-

※상세 현황은 '상세표-1. 연결대상 종속회사 현황(상세)' 참조

나. 연결대상회사의 변동내용

구 분	자회사	사 유

신규연결	-	-

-	-

연결제외	클라넷	지배기업의 흡수합병

-	-

다. 회사의 법적, 상업적 명칭당사의 명칭은 (주)에프에스티로 표기합니다. 영문으로는 FINE SEMITECH CORP.으로 표기합니다. 라. 설립일자 및 존속기간당사는 1987년에 설립되어 반도체 및 디스플레이 공정 중 포토마스크 보호막인 펠리클(Pellicle) 및 반도체 제조장비의 온도를 조절하는 칠러(Chiller)장비 제조업을 영위할 목적으로 설립되었으며, 경기도 오산시에 펠리클 제조설비, 경기도 화성시에 칠러장비 제조설비를 두고 있습니다. 마. 본사의 주소, 전화번호 및 홈페이지 1) 주소 : 경기도 화성시 동탄면 동탄산단6길 15-23 2) 전화번호 : 031-371-2400 3) 홈페이지 : http://www.fstc.co.kr

바. 중소기업 등 해당 여부

중소기업 해당 여부	미해당

벤처기업 해당 여부	미해당

중견기업 해당 여부	해당

사. 주요사업의 내용당사는 반도체 및 디스플레이 공정에서 포토마스크용 보호막인 펠리클과 공정 중 온도조건을 안정적으로 제어하는 온도조절장비인 칠러를 주력으로 생산하는 반도체 재료/장비 전문업체 입니다. 기타의 자세한 사항은 동 보고서의 'Ⅱ.사업의 내용'을 참조하시기 바랍니다. 아. 계열회사에 관한 사항당사는 2023년 09월 30일 현재 당사를 제외하고 6개의 계열회사를 가지고 있습니다.- XIAN FST.CO.LTD중국 시장의 원활한 서비스 제공을 위해 2013년 10월에 설립한 중국 현지 법인으로 당사가 보유한 지분율은 100%입니다.- WUXI FST.CO.LTD중국 시장의 원활한 서비스 제공을 위해 2018년 6월에 설립한 중국 현지 법인으로 당사가 보유한 지분율은 100%입니다.- FINE SEMITECH USA CORPORATION미국 시장 고객사에 대한 서비스 제공을 위해 2022년 1월에 설립한 미국 현지 법인으로 당사가 보유한 지분율은 100%입니다.- (주)에스피텍펠리클용 프레임 등의 생산을 주요 사업으로 2010년 3월에 설립한 법인으로 당사가 보유한 지분율은 100%입니다.- (주)화인세라텍Fine Ceramic 부품 등의 생산을 주요 사업으로 2020년 7월에 설립한 법인으로 당사가 보유한 지분율은 57.17%입니다.- (주)에프엑스티실리콘 카바이드 소재의 반도체 부품 생산을 주요 사업으로 2019년 8월에 설립한 법인으로 당사가 보유한 지분율은 70.00%입니다. ※ 연결제외회사- (주) 클라넷 반도체/디스플레이 생산공정에서 발생하는 산성 및 독성가스를 처리하는 스크러버( Scrubber)를 제조 판매하는 기업이며, 2023년 3월 지배기업 에프에스티로 흡수합병되었습니다.

자. 회사의 주권상장(또는 등록ㆍ지정)여부 및 특례상장에 관한 사항

주권상장(또는 등록ㆍ지정)여부	주권상장(또는 등록ㆍ지정)일자	특례상장 등여부	특례상장 등적용법규

코스닥시장	2000년 01월 18일	해당사항 없음	해당사항 없음
3. 자본금 변동사항

(기준일 : 2023년 09월 30일) (단위 : 천원, 주)

종류	구분	제37기 3분기	제36기	제35기

보통주	발행주식총수	21,756,789	21,756,789	21,756,789

액면금액	500	500	500

자본금	10,878,395	10,878,395	10,878,395

우선주	발행주식총수	-	-	-

액면금액	-	-	-

자본금	-	-	-

합계	발행주식총수	21,756,789	21,756,789	21,756,789

액면금액	500	500	500

자본금	10,878,395	10,878,395	10,878,395
4. 주식의 총수 등

가. 주식의 총수 현황

(기준일 : 2023년 09월 30일 ) (단위 : 주)

구 분	주식의 종류	비고

보통주	우선주	합계

Ⅰ. 발행할 주식의 총수	500,000,000	-	500,000,000	-

Ⅱ. 현재까지 발행한 주식의 총수	21,756,789	-	21,756,789	-

Ⅲ. 현재까지 감소한 주식의 총수	-	-	-	-

1. 감자	-	-	-	-

2. 이익소각	-	-	-	-

3. 상환주식의 상환	-	-	-	-

4. 기타	-	-	-	-

Ⅳ. 발행주식의 총수 (Ⅱ-Ⅲ)	21,756,789	-	21,756,789	-

Ⅴ. 자기주식수	2,160,337	-	2,160,337	-

Ⅵ. 유통주식수 (Ⅳ-Ⅴ)	19,596,452	-	19,596,452	-

나. 자기주식 취득 및 처분 현황

(기준일 : 2023년 09월 30일 ) (단위 : 주)

취득방법	주식의 종류	기초수량	변동 수량	기말수량	비고

취득(+)	처분(-)	소각(-)

배당가능이익범위이내취득	직접취득	장내 직접 취득	보통주	957,198	-	-	-	957,198	-

우선주	-	-	-	-	-	-

장외직접 취득	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

공개매수	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

소계(a)	보통주	957,198	-	-	-	957,198	-

우선주	-	-	-	-	-	-

신탁계약에 의한취득	수탁자 보유물량	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

현물보유물량	보통주	1,203,139	-	-	-	1,203,139	-

우선주	-	-	-	-	-	-

소계(b)	보통주	1,203,139	-	-	-	1,203,139	-

우선주	-	-	-	-	-	-

기타 취득(c)	보통주	-	-	-	-	-	-

우선주	-	-	-	-	-	-

총 계(a+b+c)	보통주	2,160,337	-	-	-	2,160,337	-

우선주	-	-	-	-	-	-

※ 상기 자기주식수에는 2023년 04월 03일에 당사가 발행한 교환사채의 교환대상 자기주식 591,715주가 포함되어 있습니다. 본 교환대상 자기주식은 교환권 행사시점에 처분이 확정되며, 현재 한국예탁결제원에 예탁되어 있습니다. 다. 우선주 등 종류주식 발행현황- 해당사항 없습니다.

라. 자기주식 신탁계약 체결ㆍ해지 이행현황

(기준일 : 2023년 09월 30일 ) (단위 : 백만원, %, 회)

구 분	계약기간	계약금액(A)	취득금액(B)	이행률(B/A)	매매방향 변경	결과보고일

시작일	종료일	횟수	일자

신탁 해지	2022년 05월 23일	2022년 11월 23일	2,000	1,911	96	-	-	2022년 11월 24일
5. 정관에 관한 사항

가. 정관 변경 이력

정관변경일	해당주총명	주요변경사항	변경이유

2019년 03월 22일	제32기 정기주주총회	- 사업목적의 추가(산업용 냉장 및 냉동장비 제조업)- 전자증권제도 도입에 따른 변경	- 관련 인,허가 취득 등- 주권 전자등록의무화

2020년 03월 24일	제33기 정기주주총회	- 이사의 보수와 퇴직금(퇴직보상액 신설)- 주주명부폐쇄기간 변경(1월 1일 ~ 1월 7일)	- 적대적 M 방지 조항 신설을 통한 경영 안정화- 주주명부 조기 확정

2022년 03월 29일	제35기 정기주주총회	- 감사선임 요건 완화 상법 제368조의4제1항에 따라 전자적 방법으로 의결권을 행사할 수 있도록 한 경우에는 출석한 주주의 의결권의 과반수로써 감사의 선임을 결의할 수 있다.	- 코스닥상장법인 표준정관 개정에 따른 내용 반영

2023년 03월 29일	제36기 정기주주총회	- 사업목적의 추가(폐가스 처리장치와 기타오염물질 회수장치 제조 및 판매, 서비스업)	- 사업영역확대

나. 사업목적 현황

구 분	사업목적	사업영위 여부

1	반도체 관련 제품의 개발, 제조 및 판매	영위

2	전자기기 기술용역업	영위

3	수출입업 및 동대행업	영위

4	전자전기기계기구 및 관련기기와 그 부품의 제작, 판매, 수금대행 및 임대, 서비스업	영위

5	통신기계기구 및 관련기기와 그 부품의 제작, 판매, 수금대행 및 임대, 서비스업	영위

6	저작물, 컴퓨터프로그램 등의 제작, 판매, 임대업	영위

7	부동산 업	영위

8	소방방재 관련제품의 개발, 제조 및 판매, 임대, 서비스업	영위

9	전기,전자통신 관련 부품 및 기기등의 오퍼, 서비스 및 수출입업	영위

10	전기,전자통신 및 기타 무역관련 서비스 및 도소매업	영위

11	반도체 장비 제조 및 개발	영위

12	신재생에너지업	영위

13	태양광발전업	영위

14	산업용 냉장 및 냉동장비 제조업	영위

15	폐가스 처리장치와 기타오염물질 회수장치 제조 및 판매, 서비스업	영위

다. 사업목적 변경 내용

구분	변경일	사업목적

변경 전	변경 후

추가	2023년 03월 29일	-	폐가스 처리장치와 기타오염물질 회수장치 제조 및 판매, 서비스업

라. 변경 사유기존 사업부문과의 시너지 효과를 위한 사업다각화

마. 정관상 사업목적 추가 현황표

구 분	사업목적	추가일자

1	폐가스 처리장치와 기타오염물질 회수장치 제조 및 판매, 서비스업	2023년 03월 29일

1) 그 사업 분야(업종, 제품 및 서비스의 내용 등) 및 진출 목적

ESG의 경영 철학 반영과 함께 기존 사업부분과 연계된 시너지 효과를 위해 진출.

환경 친화적 기술의 내재화 및 인프라 구축과 함께 더 높은 수준의 Value Engineering을 제공할 수 있음.

2) 시장의 주요 특성ㆍ규모 및 성장성 폐가스 처리/제거 시장은 전세계적으로 지속적 성장 국면에 있으며 2022년 기준 1.5조원, 2029년에 5조까지 성장할것으로 예측됨.(Global Gas Scrubber for semiconductor market research report 2023, QY Research)

이 외 수소 및 온실 가스 회수와 관련된 시장은 형성전단계로 미리 선대응 하는 것을 목표로 함.

3) 신규사업과 관련된 투자 및 예상 자금소요액(총 소요액, 연도별 소요액), 투자자금 조달원천, 예상투자회수기간 등

본 사업을 위한 투자 및 예상 자금 소요액은 정부지원과 양산 제품의 매출 및 회사 보유 자금으로 진행하며, 투자 액은 아직 비 확정이나 단기적 투자 부분은 약 3년 이내에 투자 비용을 회수 할 수 있을 것으로 판단하고 있음.

4) 사업 추진현황(조직 및 인력구성 현황, 연구개발활동 내역, 제품 및 서비스 개발 진척도 및 상용화 여부, 매출 발생여부 등) 연구개발 인력 10여명, 영업,고객지원 인원 10여명으로 구성된 전담 사업 조직이 존재하며, 국내/외 주요 고객사에 공동 연구개발 및 제품 판매를 통해 적극적인 상용화를 진행하여 현재 일부 매출이 발생하고 있음.

5) 기존 사업과의 연관성

기존 사업군인 칠러/장비 사업과 매우 높은 연관성을 지님. 또한, 동일 고객을 대상으로 영업활동이 가능하기 때문에 영업/매출상 시너지 효과가 있음.

6) 주요 위험

고객의 투자 계획에 좌우되는 관계로, 고객 투자 순연시 목표 매출 달성 지연 가능성 있음.

7) 향후 추진계획 국내외 주 고객을 대상으로 지속적인 영업/마케팅 활동을 진행하고 있으며, 국가 R 지원 사업 진행 등을 통해 추가적인 연구/개발 활동을 계획하고 있음.

8) 미추진 사유 해당사항 없습니다.
1. 사업의 개요

* 공시대상 사업부문의 구분 - 펠리클사업부＊반도체 펠리클 - 반도체 제조시 노광(Photolithography) 공정에서 포토마스크 (Ph otomask)를 이물질로부터 보호하기 위해 사용되는 부품의 제조 및 판매를 주요 사업으로 영위하고 있습니다.＊ FPD 펠리클 - TFT-LCD, OLED 나 Color Filter기판의 제조시 마스크위에 그려 져 있는 패턴을 외부의 이물질로 부터 보호하기 위해 사용되는 부품의 제조 및 판매를 주요 사업으로 영위하고 있습니다.- TCU사업부 반도체, 디스플레이 공정에서 필요로 하는 챔버 내의 온도와 웨이퍼의 주변 온도를 일정하게 유지함으로써 공정효율을 개선하는 장비를 제조 및 판매 하고 있으며, 장비제품의 품질보증기간 경과후의 수리 용역 등을 주요 사업으로 영위하고 있습니다.- 솔루션사업부솔루션 사업부의 사업 영역은 미국, 유럽, 아시아의 다수의 반도체 부품회사들과 전략적 제휴를 통하여, 센서반도체, 전력전자반도체, LED 등을 관련 산업(휴대폰, FPD TV, FPD패널, 모니터, 셋탑박스, 가전제품, Computer, 통신 Network, 자동차 등) 에 공급 및 기술지원 등을 주요 사업으로 영위하고 있습니다.- 종속회사 XIAN FST.CO.LTD, WUXI FST.CO.LTD, FINE SEMITECH USA CORPORATION은 칠러장비 품질보증 및 수리 용역을 주사업으로 영위함에 따라 TCU 사업부와 포괄적으로 적용하여 기입하였습니다.- 종속회사 (주)에스피텍은 2010년 3월 25일 설립되어 반도체 펠리클용 프레임 및 FPD 펠리클용 프레임 제조와 판매를 주요 사업으로 하고 있으며 축적된 ECC Coating 기술과 특수정밀가공 기술로 반도체 장비 부품 사업을 선도하고 있습니다. ArF용 ECC 프레임 (SO4, PO4 Free) 을 세계 최초로 개발 및 양산에 성공 및 PID 고평탄 - 13 - 프레임 (2.55t)양산 개발 완료, PDC 프레임, ECC 부품 등 세계적으로 유일한 독자기술을 확보한 기업입니다 - 종속회사 (주)화인세라텍은 2020년 7월 21일 설립되어 반도체 장비에 들어가는 세라믹 소재의 다양한 반도체 관련 부품을 제조, 판매하는 기업입니다. - 종속회사 (주)에프엑스티는 2019년 8월 21일 설립되어 반도체 핵심공정에 들어가는 실리콘 카바이드 소재의 반도체 부품을 제조 및 연구개발하고 있습니다. ※ 연결제외종속회사 ㈜클라넷은 반도체/디스플레이 생산공정에서 발생하는 산성 및 독성가스를 처리하는 스크러버 제조 판매하는 기업이며, 2023년 3월 지배기업 에프에스티로 흡수합병되었습니다.
2. 주요 제품 및 서비스

가. 주요 제품 등의 현황(단위 : 백만원)

사업부문	매출유형	품 목	구체적용도	주요상표등	매출액(*)
(비율)

재료	제품	펠리클	반도체 및 TFT-LCD, OLED, Color Filter기판 제조시 포토마스크를 이물질로부터 보호하기 위해 사용되는 소재성 부품	FST	63,302(40.43%)

펠리클 프레임 외	반도체 및 FPD 펠리클 제조용 프레임 외 소모부품	에스피텍 외	6,602(4.22%)

Mask Box 외	기타 부품 매출	-	136(0.09%)

재료 계	-	70,040(44.74%)

장비	제품	칠러, 반도체공정장비	반도체 및 디스플레이 공정에서 챔버 내의 온도조건을 안정적으로 제어하는 온도조절장비 및 반도체 공정 장비	FST	76,131(48.62%)

상품	Parts	-	FST	3,083(1.97%)

기타	제품 수리 외	장비제품의 품질보증기간 경과후의 수리 용역등	-	2,980(1.90%)

장비 계	-	82,194(52.49%)

기타	기타	임대수입 등	임대수입 등	-	796(0.51%)

임대 계	-	796(0.51%)

유통	상품	반도체칩	반도체칩 관련 상품	-	3,544(2.26%)

유통 계	-	3,544(2.26%)

매출액 합계	-	156,574(100%)

(*) 연결기준매출나. 주요 제품 등의 가격변동추이

(단위 : 천원)

품 목	분 류	제37기 3분기	제36기	제35기

펠리클	내 수	434	464	435

수 출	201	222	242

칠러	내 수	49,202	32,430	26,925

수 출	69,227	63,445	42,267

반도체 칩(단위 : 원)	내 수	22	68	125

수 출	14	12	11

* 펠리클/칠러/반도체 칩은 내수품과 수출품의 수요처 요구사양 및 환율에 따라 차이가 있음.

(1) 산출기준

당사의 주력제품(판매량 기준)별 연평균기준 판매단가를 근거로 함.

(2) 주요 가격변동원인

펠리클의 판매가격은 환율, 원재료가격, 품질 등을 고려하여 고객과의 단가계약에 의해 1년 단위로 변동하며, 칠러 및 반도체 칩은 주문생산의 특성상 사양조건에 따라 가격이 상이하고 수요업체의 니즈에 부합하는 품질 및 안정성이 가격결정의 주요인으로 대개 프로젝트별로 협의 결정됨.
3. 원재료 및 생산설비

가. 주요 원재료 등의 현황(단위 : 백만원)

사업부문	매입유형	품 목	구체적용도	매입액(비율)	비고

재료	외상매입	Cytop등 화학원료	펠리클 제조물질	4,145(6.8%)	-

프레임, 케이스외	펠리클의 지지대와 보호 박스	14,578(24%).	-

저장품	펠리클 제조를 위한 소모재료	5,847(9.6%)	-

장비	펌프 외	반도체장비제조를 위한 원재료	29,638(48.8%)	-

주름관외	반도체장비제조를 위한 부재료	6,563(10.8%)	-

총매입액	60,771(100%)	-

* 상기 매입비율은 원재료,부재료, 저장품 총매입액에 대한 비율입니다.* 원재료의 타계정 대체등과 관련한 사항은 제외하였습니다.

나. 생산능력 및 생산능력의 산출근거(1) 생산능력

(단위 : 개/대)

사업부문	품 목	사업소	제37기 3분기	제36기	제35기

재료	펠리클	전사	400,000	400,000	400,000

소 계	400,000	400,000	400,000

장비	칠러외	전사	2,500	2,500	2,500

소 계	2,500	2,500	2,500

합 계	402,500	402,500	402,500

(2) 생산능력의 산출근거(가) 산출방법 등

① 산출기준 : Clean Room 등 작업공간과 투입가능 제조인원 고려

② 산출방법 : 추정* 제품군에 따라 작업시간 및 수율상 많은 차이를 보이므로 해당기간에 어느 제품군의 작업이 많았는가에 따라 생산능력은 상당한 차이를 보일 수 있습니다.본 보고서에서 제시한 생산능력은 과거 연평균 생산량 등에 비추어 제품군의 수요에 급격한 차이가 없음을 가정하여 생산능력을 산출한 것입니다.

(나) 평균가동시간

- 반도체 재료 : 1일 평균 16시간(근무일 기준)- 반도체 장비 : 1일 평균 8시간(근무일 기준)

다. 생산실적(단위 : 개/대)

사업부문	품 목	사업소	제37기 3분기	제36기	제35기

재료	펠리클	전사	173,599	195,458	185,464

소 계	173,599	195,458	185,464

장비	칠러 및 장비	전사	1,964	3,105	3,579

소 계	1,964	3,105	3,579

합 계	175,563	198,563	189,043

라. 생산설비의 현황(연결)[자산항목 : 유형자산]

(단위: 천원)

구분	기초	취득	처분	감가상각비	기타	대체(주1)	기말

토 지	58,643,544	-	-	-	-	(69,017)	58,574,527

건 물	42,722,014	2,178	-	(953,200)	-	12,441	41,783,433

구 축 물	465,985	-	-	(10,874)	-	-	455,111

시 설 장 치	24,990,038	437,056	(97,019)	(2,891,557)	22,254	3,088,360	25,549,132

기 계 장 치	32,925,328	365,544	(1,584)	(3,756,097)	41,376	8,150,360	37,724,928

국고보조금	(699)	-	-	72	-	-	(627)

연 구 용 자 산	14,203,807	292,950	(23,917)	(2,819,703)	-	1,570,620	13,223,757

국고보조금	(236,867)	-	-	59,397	-	-	(177,470)

차 량 운 반 구	273,858	45,643	-	(58,432)	2,932	-	264,002

공 구 와 기 구	1,764,893	249,070	(1)	(455,980)	-	218,118	1,776,101

국고보조금	(14,184)	-	-	4,766	-	-	(9,419)

집 기 비 품	1,701,725	417,014	(559)	(458,678)	1,047	259,533	1,920,081

국고보조금	(27,676)	-	-	5,742	-	-	(21,934)

사 용 권 자 산	2,947,627	2,164,563	(71,413)	(1,029,600)	77,235	-	4,088,412

건설중인자산	10,689,608	18,246,056	-	-	22,609	(13,432,141)	15,526,133

국고보조금	-	(32,395)	-	-	-	-	(32,395)

합계	191,049,000	22,187,679	(194,493)	(12,364,144)	167,454	(201,726)	200,643,771

(주1) 건설중인자산에서 본계정으로 대체된 금액과 유형자산에서 투자부동산으로 대체된 금액이 포함되어 있습니다. 대체차액 201,726천원은 투자부동산으로 137,376천원, 기타의무형자산으로 64,350천원이 각각 대체되었습니다.
4. 매출 및 수주상황

가. 매출실적(연결기준)

(단위 : 백만원)

구 분	판매구분	제37기 3분기	제36기	제35기

재료	내수	41,425	59,282	57,619

수출	28,615	37,711	24,241

계	70,040	96,993	81,860

장 비	내수	58,710	84,200	75,410

수출	23,484	37,646	48,982

계	82,194	121,846	124,392

Solutions	내수	2,393	2,356	2,291

수출	1,151	1,414	4,319

계	3,544	3,770	6,610

기 타	내수	796	785	797

계	796	785	797

합계	내수	103,324	146,623	136,117

수출	53,250	76,771	77,542

계	156,574	223,394	213,659

나. 판매경로 및 판매방법 등(1) 판매조직

- 4개 사업본부 및 각 영업팀(펠리클,칠러,솔루션,APS사업부)

(2) 판매경로

- 국내는 직접판매, 수출은 직접판매 또는 위탁판매

(3) 판매방법 및 조건

- 판매방법 : 반도체펠리클의 경우 당사 상표 부착 방식, 반도체장비는 당사 상표 부착 방식 또는 OEM방식- 판매조건 : 국내의 경우 대금회수 조건은 어음(구매카드포함) 또는 현금결제조건,수출의 경우 TT방식에 의해 회수함

(4) 판매전략

- 내수시장의 높은 점유율을 계속 유지하면서 수출시장을 확대하는 전략

다. 수주상황- 회사 매출 제품 특성상 별도 기재하지 않음.
6. 주요계약 및 연구개발활동

가. 경영상의 주요계약 등- 해당사항 없음 나. 연구개발 담당조직연구 개발 담당 조직은 에프에스티 기업 부설 연구소와, 각 사업부 별 연구 개발 조직으로 펠리클 사업부 연구개발팀, TCU 사업부 연구개발팀, APS(Advanced product Solution) 사업부 연구개발팀으로 구성되어 있습니다. - 기업 부설 연구소 : EUV 펠리클 개발

- 펠리클사업부 연구개발팀 : 펠리클 공정 개발, 펠리클 생산장비 개발

- TCU 사업부 연구개발팀 : 차세대 칠러 개발, 설계 및 공정업무

- APS 사업부 연구개발팀 : EUV 관련 검사 및 자동화 장비 개발, EUV Source 개발

다. 연구개발비용(단위 : 백만원)

과 목	제37기 3분기	제36기	제35기	비 고

원 재 료 비	2,573	3,452	3,126	-

인 건 비	8,287	12,832	12,021	-

위 탁 용 역 비	542	937	161	-

기 타	3,493	2,949	2,121	-

연구개발비용 계	14,895	20,170	17,429	-

회계처리	판매비와 관리비	14,895	20,170	17,429	경상연구비

제조경비	-	-	-	-

개발비(무형자산)	-	-	-	-

연구개발비 / 매출액 비율[연구개발비용계÷당기매출액×100]	9.51%	9.03%	8.16%	-

라. 연구개발 실적

구분	연구기관	연구과제명	연구결과 및 기대효과

펠리클	당사 기술연구소	EUV 펠리클 개발	- 1세대 EUVP 양산 공정 준비 중

- MeSi-based EUV Pellicle 400W/500W 공정 확보 완료 및 수율 개선 진행 중- MeSi-based EUV Pellicle 600W 공정 개발 중

- 차세대 Frame 구조/소재 자체 IP 확보 및 제작 완료. - 고객 평가 준비 중

- 2세대 EUV Pellicle 소재 및 공정 개발 중

당사 기술연구소	차세대 펠리클 개발	- 차세대 Membrane 소재 품질 신뢰성 평가 및 재현성 평가 완료- 양산 설비 Setup 진행 중

FPD용 DUV광원 펠리클 개발	- 신규 Membrane용 코팅 소재 개발 및 품질 신뢰성 평가완료

- 신규 Membrane 성막 평가 및 막 접착제 개발 진행 중

칠러	당사 기술연구소	극저온형 칠러 개발	- 고집적화 반도체용 초저온 Chiller 개발 중

친환경 냉매 칠러 개발"	- 지구온난화 저감 친환경 냉매 Chiller 시제품 평가중

광원	당사 기술연구소	EUV Source개발	- 차세대 MI장비용 EUV 광원 개발 진행

장비	EUV Pellicle 검사장비	- 2세대 Pellicle용 검사 장비 개발 진행

EUV Pellicle Mount 장비	- 2세대 Pellicle용 Mounting / Demounting 장비 개발 진행
1. 요약재무정보

가. 요약연결재무정보※ 제37기 3분기 연결재무정보는 외부감사인의 감사 또는 검토를 받지 않은 재무제표이며, 비교 표시된 제36기 및 제35기 연결재무제표는 외부감사인의 감사를 받은 재무제표입니다.

(단위 : 백만원)

구 분	제37기 3분기	제36기	제35기

[유동자산]	112,360	102,141	109,161

현금및현금성자산	38,760	18,754	44,391

매출채권 및 기타채권	25,750	37,003	24,502

재고자산	39,611	39,588	36,091

기타	8,239	6,796	4,177

[비유동자산]	296,266	292,617	236,716

매출채권 및 기타채권	393	393	519

공정가치측정금융자산	5,370	7,196	7,974

관계기업 및 공동기업 투자	53,758	58,832	22,436

투자부동산	20,557	20,491	15,572

유형자산	200,644	191,049	175,833

무형자산	6,054	6,596	5,972

기타	9,490	8,060	8,410

자산총계	408,626	394,758	345,877

[유동부채]	95,093	90,073	74,029

[비유동부채]	70,839	58,933	63,154

부채총계	165,932	149,006	137,183

자본금	10,878	10,878	10,878

자본잉여금	86,782	82,029	82,097

자본조정	(7,279)	(7,371)	(5,460)

기타포괄손익누계액	(1,570)	(1,505)	(359)

이익잉여금	152,069	160,139	117,315

[지배기업 소유주지분]	240,880	244,170	204,472

[비지배지분]	1,814	1,583	4,222

자본총계	242,694	245,753	208,694

구분	2023년 1월~9월	2022년 1월~12월	2021년 1월~12월

매출액	156,575	223,394	213,658

영업이익	759	6,180	22,636

법인세차감전순이익	(7,389)	41,157	35,372

당기순이익	(9,358)	40,839	28,216

주당순이익(원)	(358)	2,242	1,657

희석주당이익(원)	(358)	2,242	1,657

연결에 포함된 회사수	6	7	6

※ 상기 요약연결재무정보는 한국채택국제회계기준(K-IFRS) 작성 기준에 따라 작성된 연결재무제표에 근거하여 작성되었습니다.※ 연결에 포함된 회사는 아래와 같습니다.

상호	소재지	설립일	주요사업

XIAN FST.CO.LTD	중국	2013.10.23	반도체 장비 AS서비스

WUXI FST.CO.LTD	중국	2018.06.07	반도체 장비 AS서비스

Fine SemitechUSA Corporation	미국	2022.01.12	반도체 AS 서비스

(주)에스피텍	한국	2010.03.25	전자부품 제조업

(주)화인세라텍	한국	2020.07.21	전기전자부품 제조업

(주)에프엑스티	한국	2019.08.21	반도체 관련 부품 제조업

나. 요약별도재무정보(단위 : 백만원)

구 분	제37기 3분기	제36기	제35기

[유동자산]	98,321	94,233	99,527

현금및현금성자산	30,825	15,503	40,193

매출채권 및 기타채권	26,264	36,142	26,024

재고자산	27,289	33,463	28,893

기타	13,943	9,126	4,417

[비유동자산]	207,513	199,945	182,499

매출채권 및 기타채권	685	1,026	800

공정가치측정금융자산	5,370	7,196	7,974

종속기업, 관계기업 및 공동기업 투자	29,312	24,034	21,454

투자부동산	28,104	28,104	23,272

유형자산	129,749	126,234	118,405

무형자산	3,748	4,077	2,676

기타	10,545	9,274	7,918

자산총계	305,834	294,178	282,026

[유동부채]	72,901	75,763	58,800

[비유동부채]	36,853	26,324	35,607

부채총계	109,754	102,087	94,407

자본금	10,878	10,878	10,878

자본잉여금	85,090	80,337	80,337

자본조정	(7,398)	(7,371)	(5,460)

기타포괄손익누계액	(1,721)	(1,488)	(373)

이익잉여금	109,231	109,735	102,236

자본총계	196,080	192,092	187,619

종속ㆍ관계ㆍ공동기업투자주식의 평가방법	원가법	원가법	원가법

구분	2023년 1월~9월	2022년 1월~12월	2021년 1월~12월

매출액	149,839	213,552	209,076

영업이익	3,576	9,689	30,048

법인세차감전순이익	2,606	8,559	29,902

당기순이익	534	8,807	24,493

주당순이익(원)	27	448	1,263

희석주당이익(원)	27	448	1,263

※ 상기 요약별도재무정보는 한국채택국제회계기준(K-IFRS) 작성 기준에 따라 작성된 별도재무제표에 근거하여 작성되었습니다.