라온로보틱스 — 주주총회소집공고 (20220928)
제출인: 라온로보틱스

주주총회소집공고
2.9
(주)라온테크

주주총회소집공고

2022년 9월 28일

회 사 명 :
주식회사 라온테크

대 표 이 사 :
김 원 경

본 점 소 재 지 :
경기도 수원시 권선구 산업로 156번길 88-4(고색동 1138번지)

(전 화) 031-201-0000

(홈페이지)http://www.raonrobot.com

작 성 책 임 자 :
(직 책)이사
(성 명)김강훈

(전 화)031-201-0000

주주총회 소집공고

(제23기 임시주주총회)

주주님의 깊은 관심과 성원에 감사드립니다.

당사는 상법 제363조와 정관 제18조에 의거하여 임시주주총회를 아래와 같이 개최 하오니 참석하여 주시기 바랍니다.

(상법 제542조의 4 및 정관 제18조에 의거하여 발행주식총수의 1% 이하 소유주주에 대한 소집통지는 본 공고로 갈음하오니 양지하여 주시기 바랍니다.)

- 아 래 -

1. 일 시 : 2022년 10월 13일(목요일) 오전 10시 00분

2. 장 소 : 경기도 수원시 권선구 산업로 156번길 88-4(고색동) 당사 회의실

3. 회의 목적 사항

가. 부의안건 제 1호 의안 : 이사 선임의 건

- 사외이사 박석순 신규 선임의 건

4. 경영참고사항 비치

상법 제542조의4에 의거 경영참고사항을 우리 회사의 본점, 금융위원회, 한국거래

소 및 명의개서대행기관 국민은행증권대행부에 비치하오니 참고하시기 바랍니다.

5. 실질주주의 의결권 행사에 관한 사항

금번 당사의 주주총회에는 자본시장과 금융투자업에 관한 법률 부칙(법률 제11845호, 2013.5.28.) 제18조에 따라 동법의 종전 규정 제314조 ⑤항에 의거 한국예탁결제원이 주주님들의 의결권을 대리행사 할 수 없습니다.

따라서 주주님이 주주총회에 참석하여 의결권을 직접적으로 행사하시거나, 대리인에 위임하여 의결권을 간접적으로 행사 하실 수 있습니다.

6. 주주총회 참석시 준비물

- 직접행사 : 신분증

- 대리행사 : 위임장(주주와 대리인의 인적사항 기재, 인감 날인), 대리인의 신분증

7. 코로나바이러스 감염증(COVID-19)에 관한 안내

코로나바이러스 감염 및 전파를 예방하기 위하여 주주총회장 입장 전 열화상 카메라를 비치하여 체온을 측정할 예정이며 당일 발열, 기침 증세가 있으신주주님은 주주총회장 출입이 제한될 수 있습니다. 또한, 마스크 미착용 주주님께서도 출입이 제한될 수 있으니, 주주총회장 입장 시 반드시 마스크를 착용하여 주시기 바랍니다.

2022년 9월 28일

주식회사 라온테크

대표이사 김원경 (직인생략)

I. 사외이사 등의 활동내역과 보수에 관한 사항

1. 사외이사 등의 활동내역

가. 이사회 출석률 및 이사회 의안에 대한 찬반여부

회차
개최일자
의안내용
사외이사 등의 성명

오문성(출석률: 100%)
박영순(출석률: 100%)

찬 반 여 부

1
2022.02.03
제22기 재무제표(내부결산) 승인의 건
찬성
찬성

2
2022.02.03
제22기 내부회계관리제도 운영 및 평가 보고의 건
찬성
찬성

3
2022.03.11
제22기 정기주주총회 소집의 건
찬성
찬성

4
2022.03.23
금전대여 지급의 건
찬성
찬성

5
2022.04.04
자본준비금의 자본전입(무상증자)의 건
찬성
찬성

6
2022.08.24
유형자산 취득의 건
찬성
찬성

7
2022.09.05
임시주주총회 소집의 건
찬성
찬성

나. 이사회내 위원회에서의 사외이사 등의 활동내역

위원회명
구성원
활 동 내 역

개최일자
의안내용
가결여부

-
-
-
-
-

2. 사외이사 등의 보수현황

(단위 : 천원)

구 분
인원수
주총승인금액
지급총액
1인당 평균 지급액
비 고

사외이사
2
800,000
27,000
13,500
-

(주)주총승인금액은 제22기 정기주주총회에서 승인된 전체 이사보수한도 금액이며, 지급총액은 2022년 1월 ~ 9월까지의 지급분입니다.

II. 최대주주등과의 거래내역에 관한 사항

1. 단일 거래규모가 일정규모이상인 거래

(단위 : 억원)

거래종류
거래상대방(회사와의 관계)
거래기간
거래금액
비율(%)

-
-
-
-
-

2. 해당 사업연도중에 특정인과 해당 거래를 포함한 거래총액이 일정규모이상인 거래

(단위 : 억원)

거래상대방(회사와의 관계)
거래종류
거래기간
거래금액
비율(%)

-
-
-
-
-

III. 경영참고사항

1. 사업의 개요

가. 업계의 현황

당사는 2000년 3월 설립하여 제조업용 로봇(Robot)과 자동화 시스템(FA)을 개발 공급하고 있는 회사입니다. 당사의 주요 사업은 1) 반도체 제조라인에서 Wafer를 이송하는 반도체 로봇 및 자동화 모듈, 2) LCD와 OLED 제조라인에서 Glass를 이송하는 FPD 로봇 및 자동화, 3) 제약 및 바이오 제조라인에서 사용되는 제조업용 로봇 및 자동화 시스템입니다.

반도체 라인 웨이퍼 흐름.jpg
반도체 라인 웨이퍼 흐름

반도체 제조 라인은 실리콘 웨이퍼에 고 직접회로를 물리, 화학적으로 가공하기위한 청정 제조 라인으로 대표적인 라인 구성은 그림과 같습니다. 웨이퍼의 가공 공정은 포토 공정에서 회로를 웨이퍼 표면에 그리는 것으로 시작합니다. 이후 식각(Etching), 증착(Deposition), 이온주입(Ion Implanting) 박막 형성 (Metalizing) 등의 가공을 하여 반도체를 제조하게 됩니다. 웨이퍼가 반도체 Fab에 투입되면 수십Km 에 달하는 거리를 이동하면서 50 ~ 60일 동안 500 ~ 700개의 공정을 거처 반도체 Wafer 가 제조 됩니다. 이 반도체 제조 라인에서의 식각, 증착, 박막 등의 공정은 진공 환경 내에서 물리, 화학적으로 웨이퍼에 회로를 가공하는 핵심 공정입니다. 반도체 장비 중 식각(Etcher), 증착(Deposition), 박막(Metalizing) 등 진공 환경 내에 서 회로를 가공하는 장비가 반도체 제조와 공정 장비기술의 핵심이고, 이 진공환경 반도체장비의 비중이 제조라인 전체의 30 ~ 40%를 차지하고 있습니다.

진공 공정 장비는 대기 환경에서 EFEM을 통하여 웨이퍼를 공급받아, 진공 환경과 평형을 만들고 진공 환경 내에서 로봇이 공정 챔버에 웨이퍼를 공급하는 모듈이 있는데 이 모듈이 [반도체 웨이퍼 이송 진공로봇 과 이송 모듈] (Backbone이라고도함) 이며, 반도체 진공 공정 장비의 생산성과 성능을 좌우하는 핵심 모듈입니다.반도체 장비에 있어서 진공 로봇과 이송 모듈은 생산성과 신뢰성을 좌우하는 핵심이고, 제조 공정이 고도로 발전하면서 진공환경 웨이퍼 이송 로봇과 이송 모듈에 요구되는 기술과 성능도 한층 높은 수준이 요구되고 있습니다. 반도체 제조라인과 반도체 장비에서 이송 로봇과 이송 모듈에 요구되는 사항을 요약하면 첫째 ‘반도체 장비에서 단위 시간당 많은 Wafer를 가공하기 위한 생산성 향상’, 둘째 ‘고 비용의 제조라인을 효율적 운용을 위한 Foot Print 축소’, 셋째 ‘많은 공정 챔버 장착에 대응’이며 이러한 시장의 요구에 따라 진공 로봇 과 이송 모듈은 Cluster 형태에서 Twin 형태로 발전하였고, 향후에는 다수의 공정 챔버를 대응할 수 있는 Linear 이송 모듈이 요구 됩니다.

나. 회사의 현황

(1) 영업개황 및 사업부문의 구분

(가) 영업개황

1) 사업의 개황

당사는 2000년 3월 14일 인천광역시에 본점을 두고 사업을 개시하였습니다. 설립자 및 창립 구성원들의 경험과 경력을 기반으로 로봇과 자동화 분야에 지속적이고 꾸준한 개발과 제품 공급을 통하여 회사의 정체성을 확립하고 시장에서 고객을 확보하고 있습니다.

당사는 자체개발한 Cluster Type 진공 로봇과 이송모듈을 2010년부터 SK하이닉스 양산라인에 공급하여 신뢰성을 평가받았고, 지금까지도 공급하고 있어 진공로봇 국산화에 성공하였습니다. 또한 Twin Type 대응 개별제어 4 Arm 진공로봇과 이송모듈은 2015년부터 SK 하이닉스 및 2020년 삼성전자 양산라인에 공급되어 해외 경쟁사 대비 차별적 기술 우위를 인정받아 적용 공정을 확대 하고 있는 중입니다.

반도체 진공 로봇의 국산화.jpg
반도체 진공 로봇과 이송모듈

2017년부터는 개별제어 4 Arm 진공 로봇 과 Cluster 형 진공로봇의 성능 과 신뢰성 평가를 받아 2018년에는 삼성 양산라인에 5개 공정 데모를 진행하였고 최근 양산인증을 받아 양산 공급을 시작하고 있어 향후 많은 시장 확대를 기대하고 있습니다. 또한 2019년에는 국내 장비회사를 통하여 중국 메모리 회사 와 미국 반도체 회사에도 당사의 진공 로봇 과 이송모듈이 공급되어 평가 중입니다.

당사는 꾸준한 기술개발을 통해 “세계 최고의 제품을 시장에 판매한다”는 모토로 기술기반 기업으로 성장하고 있습니다. 제품 개발을 위해 지속적으로 R&D투자와 기술인력을 양성하고 있으며 또한 당사의 매출액 대비 R&D 투자 비중은 최근 평균 10% 수준으로 우리나라 중소기업의 매출액 대비 R&D 평균비율 2.97%(2021년 중소기업기술통계조사 보고서 인용)를 훨씬 상회하고 있고 R&D인력도 전체 인원의 약 34%를 차지하고 있습니다.

2) 사업의 구조 및 제품 설명

당사의 주력 제품은 ① 반도체 제조라인에서 Wafer를 이송하는 로봇과 Wafer 이송 자동화 Tool인 EFEM과 Backbone으로 구성된 Platform, ② FPD 제조 라인에서 Glass와 Cassette를 이송하는 로봇과 진공환경에서 기판을 이송하는 자동화 모듈인 Cluster Tool ③ 제약 및 바이오 제조라인의 Packaging 공정에서 제품을 고속으로 이송하는 델타 로봇과 로봇을 이용한 제조라인 자동화 시스템입니다.

[반도체용 로봇 및 자동화]당사는 2007년부터 반도체 진공환경 이송 로봇과 이송 모듈을 개발하여 시장의 요구사항과 기술 발전에 따라 차별적 선도적 기술을 개발하여 왔습니다. 반도체 웨이퍼 이송 로봇은 대기환경에서 작동하는 대기환경용 로봇과 진공 내에서 로봇이 작동하는 진공환경용 로봇으로 구분됩니다. 대기환경용 로봇은 일반적인 모터와 감속기 등의 배치가 자유롭고 기술적 난이도가 높지 않아 국내 몇몇 기업이 개발하여 반도체 라인에 적용 중입니다.

진공환경용 로봇은 고온. 고진공 환경에서 파티클 발생이 없이 웨이퍼를 핸들링 하여야 하므로 진공 챔버 바깥에서 모터, 감속기 등으로 구동하고 진공환경을 파괴하지 않도록 실링 메커니즘을 통하여 진공 챔버 내부로 동력을 전달한후 다축 모션 기구를 구현하여 웨이퍼를 이송하는 로봇 Arm 구조로 되어있습니다. 따라서 고온. 진공환경에서 파티클 발생 없이 웨이퍼를 이송하는 이송로봇 메커니즘 기술, 다축으로 진공 실링을 하면서 동력을 전달하는 실링 구동 및 제어기술 이 필요합니다. 그동안 국내 몇 회사가 반도체 진공로봇의 국산화 개발을 시도하였으나 시장 진입 장벽 과 기술장벽을 넘지 못하였고, 진공로봇을 개발하여 양산 적용중인 회사는 당사가 유일합니다.

주요기술

당사는 고온, 진공환경에서 파티클 발생 없이 신뢰성 있는 웨이퍼 이송을 위하여 4 Bar Linkage 기구를 적용하고 관절에는 백래쉬 조절과 제어가 가능한 기어를 적용하여 진공 챔버 내로 전달된 회전 운동을 직선으로 구현한 로봇 Arm을 개발하였습니다. 신뢰성 있는 링크 와 백래쉬를 제거한 기어 전동 기구를 사용하여 로봇을 장기간 사용하여도 위치 정밀도 변화가 없으며, 700 ℃ 이상의 고온 공정에서도 열팽창에 의한 응력이 없어 신뢰성 있는 웨이퍼 이송을 할 수 있는 로봇 Arm을 개발 적용하고 있습니다.

주요기술2

최근 공정시간이 짧은 반도체 장비와 Foot Print를 작게 하면서 다수의 공정 챔버를 장착하기 위하여 두 개의 공정 챔버를 나란히 배치하고 진공 로봇이 두장의 웨이퍼를 동시에 이송하는 이송 모듈이 Twin Type 이송 모듈입니다. 이 이송 모듈은 생산성, Foot Print, 다수 챔버 장착 등 시장의 요구사항에 부합하여 적용이 확대 되고 있습니다. 그러나 하나의 진공 로봇 Arm이 두장의 웨이퍼를 공정 챔버에 공급하면서 정확한 위치에 로딩이 어렵고, 웨이퍼 틀어짐을 보정하는 AWC (Auto Wafer Centering) 기능을 적용하여도 두 스텝 보정을 하여 속도가 떨어지는 문제가 있어 반도체 소자업체에서는 두 개의 로봇 Arm 이 개별적으로 제어되는 진공 로봇 기술이 요구되고 있습니다.

주요기술

당사는 고객과 시장의 요구사항을 반영하여 4개의 Arm이 개별적으로 제어되는 세계 최고 수준의 진공로봇을 개발하여 2015년 반도체협회 양산평가 프로그램으로 반도체 양산라인에서 양산성 평가를 완료 하였고, 고온 증착 공정과 메탈 공정에 양산 적용하고 있습니다.

진공 환경에서 개별 제어되는 4 Arm 로봇을 개발 공급하고 있는 회사는 일본의 ULVAC 과 미국의 Brooks 사 와 한국의 라온테크 3사만이 양산 공급하고 있는 중이며, 최근 양산라인에서 타사 대비 성능과 신뢰성을 높게 평가 받아 외국 제품들을 급속히 국산화 대체 중에 있습니다.

[DISPLAY용 로봇 및 자동화]

LCD 제조라인은 여러 장의 Glass를 Cassette에 넣어 이송하고 Glass 이송 로봇이 기판을 Cassette에서 공정 장비로 이송하는 제조라인으로, 카세트 이송 로봇과 Glass 이송 로봇을 많이 필요로 합니다. OLED 제조 라인은 진공환경에서 증착과 봉지 공정이 많아 진공환경에서 기판을 이송하는 로봇과 Cluster Tool과 같은 진공 이송 물류 시스템이 많이 필요합니다.

당사는 소형 2세대 급 기판에서부터 대형 8세대 급 기판을 진공에서 이송할 수 있는 진공 로봇 제품 라인업이 되어 있습니다. 또한 Load Lock과 진공 챔버로 구성된 자동화 이송 모듈인 Cluster Tool도 세대별 모델을 갖추고 공급하고 있습니다

제품 라인업.jpg
제품 라인업

[패키징 공정용 로봇 및 자동화]

제약 및 바이오등 제품 (점안제, 앰플, 시린지) 생산 공정은 약품 제조후 충진, 이물검사, 공급기 등을 통한 조립공정을 수행하여 단위 제품을 생산하고, 생산된 단위 제품등을 패키징 공정에서 포장과 검사후 Boxing 출하합니다. 제품의 분류와 1차 포장기 투입, 1차 포장 제품을 포장 Box에 투입하는 Incasing 등의 공정에서 로봇을 사용하는데, 가볍고 고속이며 설치 공간이 효율적인 델타 로봇을 많이 사용합니다.

패키징 및 검사 공정에서 생산현장 맞춤형 설계 및 공정 Layout의 최적화된 자동화 시스템은 품질 및 원가 경쟁력을 갖습니다.당사는 패키징 공정 자동화 시스템을 모듈화된 Unit 개념으로 구성하고 필요에 따라 모듈을 가감하는 형태의 시스템을 제공하여 가격 및 품질 경쟁력을 갖춘 로봇 및 모듈을 제공하고 있습니다.

당사 공급아이템으로 점안제, 앰플, 시린지등의 패키징자동화 및 검사자동화등이 있고 신규 아이템으로 신속성과 기술력이 세계적인 주목 받고 있는 의료용 진단부문 제조공정중 수작업으로 생산하는 공정등의 Full Automation화을 추진하고 있습니다.

패키징 공정용 로봇 및 자동화.jpg
패키징 공정용 로봇 및 자동화

(나) 공시대상 사업부문의 구분

한국표준산업분류 기준상 분류로는 산업용로봇 제조업(분류코드:C29280)으로 구분하고 있습니다.

(2) 시장점유율

경쟁사비교

국내시장에서 로봇과 이송모듈 관련 경쟁사는 미국의 Brooks, 일본의 ULVAC, 한국의 싸이맥스가 있습니다. 당사는 자체 개발한 진공로봇을 적용한 진공 이송모듈을 공급하고 있으며 검증된 국산 로봇으로 시장 점유를 늘려 나가고 있습니다.

(3) 시장의 특성

최근5G 이동통신 서비스가 시작되면서4차 산업혁명 시대가 본격적으로 도래하고 있으며, 코로나19의 대유행으로 비대면과 네트워크로 대변되는 디지털 혁명이 더욱 빠르게 진행될 것으로 전망하고 있습니다. 반도체는4차 산업혁명(Digital Transformation) 기본 인프라입니다. 사물인터넷, 클라우드, 빅데이터, 인공지능에 필요한 모든 정보는 디지털화 되어야 하므로 반도체의 수요는 지속적이고 폭발적으로 늘어나 현재의10배 이상의 반도체가 필요할 전망입니다.

시장의 특성.jpg
시장의 특성

(4) 신규사업 등의 내용 및 전망

4차 산업 혁명에 의하여 모든 것이 연결되고 지능화되면서 반도체 수요는 꾸준히 지속적으로 성장하고 있으며, 규모가 크고 성장하는 시장에서의 기술 개발과 시장 경쟁은 치열합니다. 현재 개발된 반도체 웨이퍼 이송 진공 로봇과 이송 모듈을 기반으로, 차세대 시장에서 요구되는 기술 과 제품을 꾸준히 개발하고 있습니다. 진공 로봇 분야에서는 다수 진공 챔버를 로봇 한 대로 대응하기 위한 로봇과 Direct Drive 등에 대응하기 위한 차세대 제어기 개발을 진행중에 있습니다.

진공 이송 모듈은 새로운 기능을 탑재한 핵심 콤포넌트들의 개발이 필수적이고, 이에 따라 차세대 시장에서 요구하는 다수 챔버 대응 이송 모듈을 개발하여 시장 출시할 예정입니다.

linear형 진공로봇과 이송모듈.jpg
linear형 진공로봇과 이송모듈

특히 Linear 형 진공로봇과 이송 모듈은 차세대 기술 선도와 기술 선점을 위하여 중점 개발 중입니다. 경쟁사들은 2 Arm 진공 로봇을 챔버 내에 설치하고 주행 축으로 이동하는 구조로 개발 중이나 라온테크는 4 개 Arm 이 개별 제어되는 로봇을 3 Link Arm 으로 주행 시키는 차별적 구조로 (특허 출원중) 개발하고 있습니다. 설치면적이 작으면서 공정 챔버를 12개까지 대응하며 4 Arm 으로 생산성 향상이 가능한 제품으로 Linear 형 이송 모듈에서 기술을 선도하고자 합니다.

(5) 조직도

조직도

2. 주주총회 목적사항별 기재사항

□ 이사의 선임

가. 후보자의 성명ㆍ생년월일ㆍ추천인ㆍ최대주주와의 관계ㆍ사외이사후보자 등 여부

후보자성명
생년월일
사외이사후보자여부

감사위원회 위원인

이사 분리선출 여부

최대주주와의 관계
추천인

박석순
1960.10.9
여
부
-
이사회

총 ( 1 ) 명

나. 후보자의 주된직업ㆍ세부경력ㆍ해당법인과의 최근3년간 거래내역

후보자성명
주된직업
세부경력
해당법인과의최근3년간 거래내역

기간
내용

박석순
기업인
1987.01 ~ 2009.012009.02 ~ 2014.122015.10 ~ 2021.072021.07 ~ 현재
(주)삼성전자 상무(주)스테코 상무(주)ISC 대표이사(주)ISC 부회장(고문)
해당사항없음

다. 후보자의 체납사실 여부ㆍ부실기업 경영진 여부ㆍ법령상 결격 사유 유무

후보자성명
체납사실 여부
부실기업 경영진 여부
법령상 결격 사유 유무

박석순
해당사항없음
해당사항없음
해당사항없음

라. 후보자의 직무수행계획(사외이사 선임의 경우에 한함)

<후보자 : 박석순>1. 전문성 :본 후보자는 상장회사의 사외이사 후보자로서 엄중한 책임을 느끼고, 회사의 경영에 관한 의사결정기구인 이사회의 구성원으로 이사회의 모든 의사결정이 기업가치 및 주주의 이익 제고를 위한 최선의 방향으로 이루어지도록 전문성 및 최대한의 역량을 발휘하도록 노력하겠습니다.2. 독립성 :본 후보자는 사외이사로서 상법 제382조 제3항 및 제542조의8 제2항을 기초로 독립적인 위치에 있어야 함을 정확하게 이해하고 있습니다. 이를 바탕으로 회사의 업무집행에 있어 경영진과 대주주로부터 독립적으로 의사결정할 것입니다.

3. 책임과 의무에 대한 인식 및 준수 :

본 후보자는 선관주의와 충실 의무, 보고 의무, 감시 의무, 상호 업무집행 감시 의무, 기업비밀 준수의무 등 상법상 사외이사의 의무를 인지하고 있으며 이를 엄수할 것입니다

마. 후보자에 대한 이사회의 추천 사유

해당 후보자는 타회사의 대표이사로 재직한 경력을 바탕으로 사외이사의 직무를 충분히 이해하고 있으며, 대주주 등과의 독립된 지위에서 회사의 주요 의사결정에 참여함으로써 주주 이익을 극대화 할 것으로 판단되어 사외이사 후보자로 추천함.

확인서

확인서_210928

※ 기타 참고사항

해당사항없음

IV. 사업보고서 및 감사보고서 첨부

가. 제출 개요

제출(예정)일
사업보고서 등 통지 등 방식

-
-

※ 임시주주총회로 해당사항이 없습니다.

나. 사업보고서 및 감사보고서 첨부

금번 주주총회는 임시주주총회로 사업보고서 및 감사보고서 첨부 사항은 없으나, 당사는 제22기 사업보고서 및 감사보고서를 전자공시시스템(http://dart.fss.or.kr)에 공시하였습니다.제출한 사업보고서는 향후 변동사항이나 오기 등이 있는 경우 수정될 수 있으며, 이 경우 전자공시시스템 (http://dart.fss.or.kr)에 정정보고서를 공시할 예정이므로 이를 참고하시기 바랍니다.

※ 참고사항

□ 코로나바이러스감염증-19 (COVID-19)에 관한 안내- 코로나19의 감염 및 전파를 예방하기 위하여 주주총회 개최 시 총회장 입구에서 총회 참석 주주님들의 체온을 측정할 수 있으며, 발열이 감지되는 경우 부득이하게 주주총회 장소에의 출입을 제한할 수 있음을 안내드립니다. 또한 질병예방을 위해 주주총회 참석 시 반드시 마스크 착용을 요청 드립니다.- 주주총회 개최 전 코로나19 확산에 따른 불가피한 장소 변경이 있는 경우 지체없이 재공시하여 안내드릴 예정입니다.