ARCHIVES HISTORIQUES
DELACOMMISSION
COLLECTION RELIEEDES
DOCUMENTS "COM"
COM(81)559
Vol.1981/0171

Disclaimer
Conformément aurèglement (CEE,Euratom) n°354/83duConseildu1erfévrier1983
concernant l'ouverture aupublicdesarchiveshistoriques delaCommunauté économique
européenne etdelaCommunauté européenne del'énergieatomique(JOL43du15.2.1983,
p.1),telquemodifiéparlerèglement (CE,Euratom) n°1700/2003 du22septembre 2003
(JOL243du27.9.2003, p.1),cedossierestouvertaupublic.Lecaséchéant,lesdocuments
classifiésprésentsdanscedossierontétédéclassifiés conformément àl'article5dudit
règlement.
Inaccordance withCouncilRegulation (EEC,Euratom) No354/83of1February 1983
concerning theopeningtothepublicofthehistoricalarchivesoftheEuropean Economic
Community andtheEuropean AtomicEnergyCommunity (OJL43,15.2.1983, p.1),as
amended byRegulation (EC,Euratom) No1700/2003 of22September 2003(OJL243,
27.9.2003, p.1),thisfileisopentothepublic.Wherenecessary, classifieddocuments inthis
filehavebeendeclassified inconformity withArticle5oftheaforementioned regulation.
InÜbereinstimmung mitderVerordnung (EWG,Euratom) Nr.354/83desRatesvom1.
Februar 1983überdieFreigabe derhistorischen Archive derEuropäischen
Wirtschaftsgemeinschaft undderEuropäischen Atomgemeinschaft (ABI.L43vom15.2.1983,
S.1),geändertdurchdieVerordnung (EG,Euratom) Nr.1700/2003 vom22.September 2003
(ABI.L243vom27.9.2003, S.1),istdieseDateiderÖffentlichkeit zugänglich. Soweit
erforderlich, wurdendieVerschlusssachen indieserDateiinÜbereinstimmung mitArtikel5
dergenannten Verordnung freigegeben.

KOMMISSIONEN FORDEEUROPÆISKE FÆLLESSKABER
KOM(81)559 endeligudg.
Bruxelles,den8.oktober1981
ÆNDRETFORSLAGTILRÅDETSFORORDNING (EØF)
OMFÆLLESSKABSAKTIONER i
INDENFORMIKROELEKTRONIK
(forelagtRådetafKommissionen under
anvendelse afartikel149,andetafsnit,
iEØF-traktaten )
•M;
-7.* ', \<- Vv\
Xe?-^\<S4-
K0M(81)559endeligudg

I
ÆNDRET FORSLAG TILR8DETS FORORDNING (EØF)-,
OMFÆLLESSKABSAKTIONER
INDEN FORMIKROELEKTRONIK -
(FORSLAG ÆENDERET IOVERENSSTEMMELSE MEDARTIKEL 149,
STK.2,ITRAKTATEN )
RaDETFORDEEUROPÆISKE FÆLLESSKABER HAR,
underhenvisning tiltraktaten omoprettelse afDeteuropæiske økonomiske •
Fælleskab,særligartikel235, ,
underhenvisning tilforslagfraKommissionen , %
^ •
underhenvisning titudtalelse fra-Europa-Par lament(1),
underhenvisning tiludtalelse fraDetøkonomiske ogsocialeUdvalg (2),
og
udfrafølgende betragtninger :
Denmikroelektroniske teknologi erafafgørende betydning forudviklingen af
Fællesskabets industri somhelhedogfordenneskonkurrenceevne ientid,hvor
deneuropæiske økonomi istigende gradmåværeistandtilatleverevarerog
tjenesteydelser medstormerværdi;artenogomfanget afdenindsats,somer
nødvendig foratståmålmedkonkurrenterne i1985,kræverimidlertid en
fællesskabspolitik ,.sommåomfatteoffentlig finansiel støttetilforsknings-
ogudviklingssamarbejde indenforindustrien ;iRådetsresolution af11..
september 1979(3)opfordres Kommissionen tilatundersøge mulighederne og',
vilkårene foratkoordinere deenkeltelandesvirksomhed pådetteområdeog
atforelægge Rådetforslagtilkonkrete projekter påfællesskabsplan med
henblik påfremmeafmikroelektronisk teknologi,
*X i
denydedestøttebørsigtemodatfremmeetafbalanceret markedogenafba-.
lanceretkonkurrencesituation iFællesskabet ogtagehensyntildeprincipper ,
dererkommettiludtrykiRådetsforordning (EØF)nr.1996/79af11.september
1979onenfællesskabsordning forstøttepådatabéhandl ingsområdet (4),ikke
mindstprincipperne omejendomsretten ogadgangentilresultater afprojekter,
somharmodtagetstøtte,ogidenneforbindelse medsærligunderstregning afbé
tydningen afenpassende udbredelse afprodukter ogresultater afdeprojekter,
derharmodtagetstøtte, .
udstedtfølgende -forordning :
(1) " ',
(2) -
(3)EFTnr.C231,13.09.1979 ,s.1
(4)EFTnr.L231,13.09.1979 ,s.1
Forelébia sdres»*:Rutd«laLoi200.8-1049Bruxelles–Teiefon :7350040/7358040–Telegrem»dr«se :"COM6UR Bruxelles' –
Telax:"21877COMEU B"

ARTIKEL 1
Koordinering påfællesskabsplan afaktiviteter ,someriværksat imedlemsstat
ternemedhenblikp8atfremmeFællesskabets målsætninger p8områdetmikro­
elektronisk teknologi,samtiværksættelse affællesprojektertilsupplering
ogudbygning derafskalsikrespådeidenneforordning fastlagte betingelser .
AFSNIT 1 .
Information ogkonsultation'
ARTIKEL 2
Deretableres hervedmellemmedlemsstaterne ogKommissionen etsystemfor
information ogkonsultation vedrørende initiativer tilfremmeafudbredelse
ogudvikling afmikroelektronik oganvendelse heraf.
ARTIKEL 3 -
1.Foratsikreeffektiviteten afdeidenneforordning fastsatte konsultationer
givermedlemsstaterne ,uafhængigt afderesforpligtelser imedførafkonkur-.
rencereglerne ,forud ,ogigodtidpåegetinitiativ ellerpåKommissionens
begæring denneajourførte videnskabelige ,økonomiske ogfinansielle informa­
tionervedrørende deaktionertilfremmeafmikroelektronisk teknologi,som
henhører underderesmyndighed ogerigangpådatoenfordenneforordnings
ikrafttræden ellerplanlagtefterdennedato,medsigtepå:
a)atfremme'industriel forskning ogudvikling vedrørende udstyr,processer ,
instrumenter ,ogteknikker,bådeindenforprogrammel ogmateriel,bestemt
tilkonstruktion ,industriel produktion ogafprøvning afavancerede inte­
greredekredsløb ;
b)atucfbredegrundlæggende videnogtræningoguddannelse afledendeog.
:underordnet personale,dererspecialiseret ikonstruktion ,anvendelse og
afprøvning afavancerede integrerede kredsløb ;
Medlemsstaterne forsyner endvidere Kommissionen medenvurdering afresul­
taterne afalledisseaktiviteter .
Information vedrørende projekter,derudelukkende tilhører virksomheder ,omfattes
ikkeafdenneartikel. \
2.Foratkoordinere indsatsen ideenkeltemedlemsstater sikrerKommissionen ,
atdissemodtageroplysninger vedrørende deaktiviteter ,deromtalesistk.
•1

i3■
3.Efterhøringafdetiartikel 6omhandlede udvalgfastsætter -Kommissionen ,
hvordetaljeret deninformation ,skalvære,sommedlemsstaterne fortroligt
stillertilrådighed forKommissionen ,forandremedlemsstaters statslige
styrelser ellertilalmindelig udbredelse foralle,ogdennesudbredelse ,
samtfastsætter :fremgangsmåder ogforanstaltninger tilatgøredisse =
~oplysinger tilgængelige formedlemsstaterne .
AFSNITII.
Fællesprojekter
ARTIKEL 4
1.Følgende nøgleprojekter indenforforskning ogudvikling,somdirektefalder ,
underdeiartikel 3definerede sektorer,ogsomanses-forathavehøjeste
prioritet,kanmodtagefællesskabsstøtte pådeiartikel 5fastsatte be­
tingelser .
(I)OptiskStepping påskiver
.(II)Elektronstråle tildirektetegning påskiver
(III)Plasmaætsning ogpådampning • .
(IV)Afprøvningsudstyr
(V)Datamatstøttet konstruktion (CAD)til-højtintegrerede kredsløb (VLSI)
;indenfor1.arkitektur :
• 2.sprogogdatastruktur -
3.afprøvning
4.modelopstilling *-.
2.Detekniskespecifikationer fordeunderstk.1ovenforanførteprojekter er
-fastsat ibilaget. \
3.Isamrådmeddetiartikel 6omhandlede udvalgajourfører Kommissionen de
tekniske specifikationer idenudstrækning ,dererbehovherfor. *
.ARTIKEL 4A -*'••
' ■>
Vedtildeling afnationaloffentlig støttetilprojekter iforbindelse meddeiv
artikel3definerede sektorerprioriterer medlemsstaterne sig-altandetlige-atprioritere deprojekter,hvisgennemførelse indebærer enbetydelig deltagelse
aforganisationer ,fratoellerflerefællesskabslande .
0*

-4-
AFSNITIII
Finansiering
ARTIKEL5-*
1.Fra1981stillerDeteuropæiske Fællesskabfinansielstøttetilrådighedfor
deiartikel4,stk.1,omhandledeprojekteriformaftilskudpåoptil50%
afomkostningerne vedderesgennemførelse .
2.Denødvendigebevillingertildetteformål,,somnuanslåstil52mioECU,
opførespåDeteuropæiske Fællesskabs budget.
3.Projekter,somkankommeibetragtningtilopnåelseafstøtte,skalopfylde
følgendekrav:
-deresformålskalværeioverensstemmelse meddetekniskespecifikationer ,
derergengivetidetiartikel4,stk.3,nævntebilag;
-projekterne skalgennemføres indenforFællesskabet ;
endvideregælder:' -
a)"foroeiartikel4,stk.1,nr.I-IVnævnteprojekter,
-ansøgereskalværefabrikanterellerindustrielle brugere,dereretab­
leretindenforFællesskabet ;
' !
-ettilstrækkeligt antalfirmaerframindsttofællesskabslande ,som
ikkeståriøkonomiskforbindelse medfabrikanter,derdeltagerisamme
"projekt,skalhavetilkendegivet deresinteresseiendeltagelseipro­
jektetmedegnemidler.DetteantalfastsættesafKommissionen forhvert
»projektefterhøringafdetiartikel6omhandlede udvalg.
b)forprojekterhenhørende underartikel4,stk.1,nr.V,
-ansøgereskalværeuniversiteter ,forskningscentre ellerfirmaer,der
eretableretindenforFællesskabet ;
ν
v-ertilstrækkeligt antalfirmaerframindsttofællesskabslande ,somikke
,stårifinansielforbindelse medhiinanden,skalhavetillkendegivet deres
interesseiendeltagelseiprojektet medegnemidler.'
DetteantalfastsættesafKommissionen efterhøringafdetiartikel6
omhandlede udvalg. -
4.Nåretprojektsberettigelsetilatmodtagestøtteerblevetfastslåetunder
anvendelseafbestemmelserne istk.3,litraa)ellerlitrab),
kanallekvalificerede firmaer,someretablerede indenforFællesskabet,
deltageiprojektetogansøgeomdentilsvarende finansielle støtteuanset
deresmuligefinansielle forbindelser medandredeltagereisammeprojekt.
* • ' '

-5-
5éAnsøgninger sendestilKommissionen -afdepågældende organisationer efter
indkaldelse afforslagoffentliggjort iDeEuropæiske Fællesskabers Tidende.
Detskalfremgåafansøgningerne ,atdeopfylder deistk.3krævede
betingelser samtindeholder alleøvrigerelevante oplysninger .Kommissionen -kan'stille kravomyderligere dokumenter ogoplysninger ,somernødvendige
foransøgninqernés bedømmelse . .'
6.Kommissionen træfferafgørelse omdeindsendte ansøgninger inden "■
på,seksmåneder 'efter deniartikel 8fastsatte frem-
gangsmSde . -.
-7.Udenatdetteindskrænker Revisionsrettens beføjelser imedførafEØF-trak-
tatensartikel 206a,stk.,3,kanKommissionen gennemføre undersøgelser på
stedetellenstillespørgsmål ,.omdefinansierede operationer .
■■AFSNITIV : ,-r■..:■
Generelle bestmmelser
* ARTIKEL 6
1.Dernedsættes etudvalgtilkoordinering afprojekterne tilfremmeafmikro­
elektronisk teknologi,herefter benævnt "udvalget",bestående afrepræsentanter
formedlemsstaterne ,somkanladesigbiståafeksperter ellerrådgivere alt
efterartenafdebehandlede projekter ,ogmedenrepræsentant forKommissionen
somformand.Udvalget mødesmindsttogangeomåret.
2.Udvalgets arbejdeerfortroligt .
3.Udvalget fastsætter selvsinforretningsorden ., '"
4.Udvalgets sekretariatsarbejde varetages afKommissionens tjenestegrene .
- '■ -ARTIKEL 7
Kommissionen kanhøreudvalget iethvertspørgsmål,derfalderindenfor
denneforordnings anvendelsesområde ,herunder,menikkebegrænsettil:
-hvordetaljerede deoplysninger ,somleveresvedrørende nationale aktiviteter
somfastsat iartikel 3,skalvære - '..'
-hvordetaljerede deoplysninger ,derstillestilrådighed entenoffentligt
ellerformedlemsstaternes statslige organer
-fremgangsmåder ogforanstaltninger tiltilvejebringelse afsådanneoplysninger
-ajourføring aftekniskespecifikationer forpotentielt støtteberettigede
projekter - - /
-detminimaleantalfirmaer,somkrævesforatgøreetprojektstøtteberettiget
-vurdering afanmodninger omogydelseaffinansiel støtte.

ARTIKEL 8
1.Såfremt denfremgangsmade ,der erfastsat idenne artikel ,skal benyttes ,
indbringer formanden sagen forudvalget enten påeget initiativ eller på
begæring afenmedlemsstats repræsentant .
2.I .udvalget tildeles medlemsstaternes stemmer vægt ihenhold tiltraktatens
artikel 148,stk .2.Formanden deltager ikke iafstemningen .
3.Kommissionens repræsentant forelægger udvalget etudkast til deforanstalt­
ninger ,der skal træffes ,vedlagt enoversigt over beslutningens vigtigste
bestanddele .Udvalget afgiver udtalelse omdisse foranstaltninger inden for
enfrist ,som'formanden kanfastsætte under hensyntagen til,hvor meget det
forelagte spørgsmål haster .Udtalelsen vedtages med etflertal på45stemmer .
4.Kommissionen træffer afgørelser ,somgælder umiddelbart .Såfremt disse
afgørelser ikke er ioverensstemmelse medudvalgets udtalelse ,skal
Kommissionen straks underrette Rådet herom .Isåfald udsætter Kommissio­
nengennemførelsen afdeafden trufne afgørelser ihøjst tomåneder at
regne fradenne underretning .Rådet kanmedkvalificeret flertal træffe
anden afgørelse inden for fristen påtomåneder .
ARTIKEL 9
Kommissionen tilsender hvert årParlamentet ogRådet enberetning omforløbet af
deaktioner inden forFællesskabet ,somhenhører under denne forordnings anven­
delsesområde . . -
ARTIKEL 10
Kommissionen træffer efter ,høring afudvalget alle øvrige foranstaltninger ,
somernødvendige tilgennemførelse afdenne forordning .
ARTIKEL 11
Denne forordning træder ikraft den 1981 - /
Den anvendes •indtil 1985 .
Denne forordning erbindende ialle enkeltheder oggælder umiddelbart rhver
medlemsstat .
Udfærdiget iBruxelles ,
PSR8DETS VE6NE
F0RMAND

TEKNISK BILAGTILFORSLAG
TILR8DETS FORORDNING (EØF)
OMFÆLLESSKABSAKTIONER INDENFORMIKROELEKTRONIK ->
I
Skitsering afdentekniskespecifikation afprojekter ogaktiviteter ,hvortil
derforeslås finansiel støttei.medførafudkastettilforordning :
I)STEP-REPEAT AUTOMATER "_■
.Teknologi vedrørende direkteoptiskStepping
Maskiner fordirekteStepping børværetil.rådighed iproduktionen med
nedenstående karakteristika vedslutningen af1982,ogennulserieudgave
børværefærdigvedslutningen af1981. '
-skivest0rrelse 1indtil,6inches
-størrelse afprægeplade ,.1/cm ,#-
-minimumlinjebredde .V påskiven (1,1påresist),
-automatisk registrering i'''0,1m ^-kapacitet 50x4.inchsk-rvef -pr1,tiriieved1cmfeltmedindsættelse af=
5afprøvningsforløb -ogaut;om^tiskregistrering påhverchip;tilføjelse
afetreticlemagasin . !t' ' -''
1Individuelle tiderbøranføres ibeskrivelsen afudstyret,herunder dentid,
dettageratindsætteafprøvningsforløb .Registreringen børværeprogrammel–
*bar(pr.individuel eksponering -pr.blok-pr«ski\/e).Mindstetilladelige
-størrelse afindstiIIingsmærker børanføres.
Detvilleværeønskeligt,ommaskinerne kunneleveres i1983medenforbedret
kapacitet på5Dx6inchskiverpr.timeogforbedret opløsning på1,0^m
minimumLinjebredde påskiven.
II)ELEKTRONSTRÅLE TILDIREKTE SKRIVNING "PSSKIVEN T-.-.V
Direkteskriveudstyr medelektronstråle
Elektronstrålemaskiner medfølgendekapacitet :
-skivest0rrelse 6inch
-kapacitet .15-20lag/hvedlyfm
--størrelse afprægeplade ingenbegrænsning .
-minimumdimension V y0,5,4m
-spotst0rrelse variabel
-registreringsnøjagtighed 0,ly/m -'
Detteudstyrskulleogsåv^ereegnettilfremstilling afreticleogmask.
Prototypemaskiner ,deropfylderalledissekrav,bortsetfrahastigheden ,
måværedisponible senest1983.

Ilï,PItÂSMÂST§NÎN §
A.Mindstekrav tiludstyrets ydeevne
-Materialer ,somskalkunneætses
*SiOp*doteretogudoteret
*Polysilicium,doteret ogudoteret ^
*Silicider ogpolycider .
*Aluminium ogaluminiumlegeringer
*Andremetaller'ti lkontakter ogforbindelser
*Organiske polymerertilmultiniveauresists ogmultiniveau -.
metallisering .
-Strukturer ,somskalkunneætsespSproduktionsplan
*Deling (pitch):(linjepluslinjemellemrum ):3/rm
*Mmimumlinjebredde :1-1,5/fm
*Præcision :+10%aflinjebredden fordekritiskestrukturer
-Selektivitet oganisotropi
y
Selektiviteten skalværepassende ogforhvert,lagbørdetvære
muligtatætsefuldstændig anisotropt .
-Gennemløb
Detminimale gennemløb børvære50skiver/timefordenlangsomste
proces.Denlangsomste procesvilsandsynligvis væregennemætsningen
af0,8//termiskSiOgmedenselektivitet på10:1oversiliciumog
.medendeling (pitch)på3/tm..Ætsningen afandrelagsomf.eks
0,4/fmudoteretpolysilicium overSiO?skullekunnegåmegethurtigere .
B.Konstruktion afudstyret
Vipåtænker enreaktor medparallelle pladerogmedfølgende
karakteristika :
-Konstruktionsform
1 « "
Afstørstebetydning eranvendelsen afenmodulærkonstruktionsform ,
såledesatudstyret kantilpasses optimalttilenhveranvendelse .

-3-
Fyldesluse
Uønskedestoffer (f.eks.vanddamp )børudelukkers frareaktionskamme -
ret,ogvirkninger ,somindtræder efterætsningen,måundgås.Dette
kanopnåsmedenvacumsluse ,somindeholder kassetterne ;Stripning
affotoresiat itømmeslusen børovervejes somvalgmulighed .
Elektrode-ogkammerkonstruktion
Individuelt styredetermostater forøverste ognederste elektrode
ogforreaktionskammeret .Temperaturregulere ngsområdet er-15-100°C
istandardudførelsen ogoptil150°Csomvalgmulighed .
Elektrodeafstanden indstillelig :5-70mm(batch-orienteret system)
5-70mm(enkeltski vesystem )
Elektroderne skalva?remonteret påensådanmåde,atudstyret er
egnettildriftvedhøjefrekvenser (indtil27,12MHz),f.eks.
foratundgåparasitplasma nogetsteds ireaktoren .'
Derskalværemulighed forbådeparalleUplasmaætsning (PE)og
reaktivjonætsning (RIE)isystemet (anode-ogkatodekobling )._
Vacumkonstruktion .
Detområde,derharinteresse,liggermellem10mTorrog10Torr
Regulerbar pumpehastighed .
Automatisk 06manueltrykregulering medsimpelomskiftning mellem
'detoformer.
'·'. - · ''ν"'·
Anvendelse afikke-korrosive tætningsmaterialer (fitt.ings ,-0-ringe)
ogrør.
Gaskabinet i
Fleksibel håndtering af.1-3gassermed1-3massestrømningskontroller ,
somhelstmåkunneudvidestil5gasser(antalgassererenvalgmu­
lighed). ,

-A-
-Reguleringer
*Følgende|arametre måkunnereguleres :
•i ■■
den(de)ibrugværendegastiIførs(el )(ler)
strømningshastigheden
procestiden ..,
;stabiliseringstiden .
overætsnings tiden-
HF-energien . '
temperaturen afbeggeelektroder
elektrodespændingen .
*Detelektriske signalfra,følefne (trykføler,...)måværelettil­
gængeligt (f.eks.pljetstandardstik )medhenblikpåprocesovervågning .
*Derbørværemindst ,é,tvinduetilobservation afplasmaet ogfindes
ekstrastudsertilanbringelse afanalytiske instrumenter tilproces-
overvågning .
-Programmel forautomati skætsning
*Ettastatur ogdetnødvendige lagerforentrinvisbeherskelse af
processen ellervedligfeholdelsessekvensen .
» • *
*Enbrugerprogrammeret ,udskiftelig PROMtilautomatisk ætsning.
-Håndtering afskiver -.•
.Automatisk håndteri ng■éfskiver,fytdning ogtømningafkassetter uden
beskadigelse ellerforurening afskiverne.
'Systemet børkunnehåndtereskiverpåfra3tommeroptill150mn*
diameter .
-Vedligeholdelse ogsikkerhed / -
*Udstyret skalværeletatadskille medhenblikpårengøring og
reparation . „
*Standardisering afflanger,tætninger,stikosv.samtreservedele .
IV)TESTUDSTYR '
Derbørudvikles europæisk testudstyr forintegrerede kredsemed
folgende karakteristika :
« ' ,•-afdenintegrale analog/digitale type,
-imoduludformning foratkunnetilpassestilbådeudviklings -og
produktionstestopgaver ,•,.
4

-5-
-ucMkUng 1'tofuserfer§1vidt«nglrelfltåledel.Førifitrin-bør vær?
entestenhed forclockfrekvenser på10-20MHz,medensandettrinsigtermod
50-100 MHz.Dennetrinvise udvikling hardenfordel,atdenteknologiske
know-how >dereropbygget iførstefase,kananvendestilatgåilagmedde
problemer,dermåløsesiandenudviklingsrunde .Endvidere kanhighspeed
testudviklingen såledestilpasses devoksendekrav..ideneuropæiske
IC-industri indenforhighspeedbipolære kredse;
-afprøvning afkomponenter medetstigendeantalben(fra64-128);
-væsentlige deCeaftestsystemet måvære"ECL-specifikke";
-afprøvning aflagerkomponenter aleneerblevetudelukket,men"on-the-chip"~
lagrefårstørreogstørrebetydning,ogafprøvningen herafmåderforogså
væreomfattet ; -
-deforskellige afprøvningskonf igurationer børværedækketafetenkelt
højniveauafprøvningssprog . •••
V)CADAFVLSI
1.Arkitektur . . ..■y
Deproblemer,somskalløses,verdrører specifikation ,simulering og
afprøvning underdenarkitektoniske designfase samtdearkitektoniske
strategier somfejlstyring ogstruktureret logik._ -
-Forbedring af,VLSI-konstru!<;tørers kendskabtiledb-teknik ved(a)over­
førselafknow-howfraedb-fabri kanter,(b)bedreintegrering afuddan–
nelsenidatalogi' ogielektronik påuniversiteter oghøjerelærean-'
stalter . .• *'
-Forskning vedrørende : ,
<a)sammenkædning affunktionel ogstrukturel konstruktion vedudvik­
lingafegnedesprogogsimulatorer
(b)logiksyntese fraRTL-beskri velse
-y (c)forvaltning affejl,herunderfejltolerante aspekter af.VLSI-J arkitektur
/<d)struktureret logik,herunder minimisering forPLAs(Programable .
LogicArrays)ogautomatisk programmeri ngafPLAsogROMs(Read
OnlyMemories )
(e)firmware-generi ngs--ogsimuleringsh jælpemidler ,
(f)parallelle behandlingsmaskiner tilsignalbehandling .

-6-
2.Sprogogdatastruktur
1.DesignDataManagement
Konventionelle grafiske IC-designsystemer erbaseret påenbottomup-
repræsentation afdetkredsløb,somskalkonstrueres .Detteansesfor
utilstrækkeligt tilatklareproblemerne iforbindelse medVLSI-design ,
ogistedetmåderformuleres enspecifikation afetfil-forvaltnings -
ellerdesignmanagement-system efterfølgende formål:
1)athjælpemedtilforvaltningen afetstortantalfilerrepræsenterende
alternative repræsentationer afmangemodulerafetsystem.
2)atbeskytteintegriteten afenkonstruktion ,somindebærer hold­
arbejde. 1
3)atstyrekonstruktionsmodi fikationer .
4)athjælpeomopdelingenafenkonstruktion .
5)atstyretilvejebringelsen afkonstruktionsdokufnentation .
Dermåigangsættes forskningsprojekter ,som.viludvidedetnormale
filsystem elleroperativsystem tilogsåatbydepåovennævnte facili­
teter.Denmindstedataenhed ientransaktion vil.væreenfuldstændig
fil,hvorforkonventionelle databaser eruegnede.Implementeringen
mågennemføres medhenblik påportabilitet.Dermåbenyttes etstan-
dardsprog medveldefinerede grænseflader tilstandardfilsystemer .
Detteprojektbørværeetfællesprojekt mellemIC-konstruktører ,
CAD-værktøjsspec ialisterogdataloger .
2.Berøringsflade tilbrugerne
i
Nogl-edesignaktiviteter erihøjgradinteraktive ogkræveren
garanteret hurtigreaktion fradatamaten,undenatdetdoger
nødvendigt medenmegetkraftigmaskine.Eteksempel herpåer 'v
konstruktionsspeci fikationen underanvendelse afgrafiske teknik­
ker.Sådanneaktiviteter kanstøttes påenlilledatamat be­
stemtforenenkeltbruger.Andreaktiviteter erikkeprimært •
interaktive ,menkrævermegetstordatakapacitet .Eteksempel er
simulering .Sådanneaktiviteter krævertidsdelingssystemer med
stordatakapacitet .
Deterafstorbetydning,atdatamatertilstøttefordissé
beslægtede aktiviteter ermegettætforbundne .Teknikkertilkon­
trolafopgavers fordeling påtoellerfleredatamaskiner ,ogsom
tillader ensmidigbevægelse afdatamellemdisseopgaver,bør
nærmereundersøges ;Derbøropstilles generelle principper ,som
kananvendes påmateriel afvidtforskellig art.

-7-
Dennuværende tendensindenforfijater1&lken9truktiensspe§1fikatien
eratbenyttetekstbaserede sproglige beskrivelser,somegnersig
tilatudtrykke denhierarkiske struktur,modulopbygning ogrepe-
titivekarakter,somerUundgåelig iforbindelse medVLSI.Kon­
struktører harimidlertid fortsatentendenstilattænkeidia--
grammer,oggrafiskehjælpemidler -vilfortsatværeværdifulde i
konstruktionsprocessen .Derbørlanceresetprojekttilundersøgelseafmetodertilkombination aftekstmæssig oggrafiskrepræsentation ,
hvordetvilværemuligtautomatisk atkonvertere fradeneneti-lden
anåen,såledesatdenmestvelegnede græseflade fritkanvælges
underhvert'enkelttrinafkonstruktionsprocessen . -
.Simulering .'
Programmelværktøjer tilsimulering ,afprøvning ogkontrol m§spænde
overheledesignspektret fraRTL-Snedtiltransistorniveau*Aktivi­
tetenbørrettesmodudvikling afetsmidigtflerniveau strukturelt
beskrivelsessprog forNMOSogCMOSVLSf.Deter-nødvendigt atunder­
søgeautomatisk compiler-generering udfrasyntaksen afdefortiden
anvendteenkeltniveauværktøjer og,endridvigtigere,direkteudfra
datastrukturen afmixedmodesimulatorer .-Dermåofresbetydelig ,
opmærksomhed påmixedmodesimulering påområderne datastrukturer ,~.
algoritmer ogmodeller . '
Detanbefales stærkt,atderrettesspeciel opmærksomhed modVLSI-
netværksanalyse snarereendrensimulering foratmindskekonstruk-
tionstid ogsikrekorrektkonstruktion .Detteeretheltnytforsk­
ningsområde ,somsynesfuldtgennemførligt baseret pådatastrukturer
ogalgoritmer fradenuværende mixedmodesimulatorer .
.Efterpr0vni ng '
Istedetforenintensiv efterprøvning afmanueltudførteeller
*interaktive konstruktionstrin børmåletværeatautomatisere så
megetsommuligt(silicium kompilering ,standardcel letekni kosv.)
,foratgøreefterprøvning overflødig .Foratfindeetsolidt <
grundlag foranvendelsen ellerskabelsen afsådanneværktøjer
børderindledes enundersøgelse tilsammenligning afdeforskellige
metodersåvelsomforskellige-håndlavede udlægninger foratfinde
objektive kriterier fordefundamentale principper ieneffektiv ud-'
lægning. - .
Denhierarkiske udformning afVLSIerindlysende .Efterprøvningen
mellemdeforskellige hierarkimiveauer eretproblem,menkanund­
gås.Tittrodsforhierarkiet erdatakompleksiteten og-mængden .
enormogførermeddeværktøjer,derbenyttes idag,tiluøkonomiske
datamattider .Derforerdenæstekandidater tilforskning ogudvik­
lingformålsbestemte materielmoduler (f.eks.designrulecheckers,
mønsterhukommelse plustællere ogskifteregistre ellermateriel i
formafsprogprocessorer ,somproducerer egnededatastrukturer )..

Indflydelsen franyedatamatarkitekturer
Udfradenantagelse,at:
-programmel nuerdyrtogbøroptimeres ,mensmateriel erbilligere
ogkananvendes merefrit
-deridesenesteårerudviklet ogimplementeret enrskkehøjtydende,
parallelle processorer
-enmaskines arkitektur børpassetildetproblem,denskalløse,
foreslås enundersøgelse affølgende toområder.
1.Udvikling afnyeparallelalgori tmerognyedatastrukturer
indenforenhvilken somhelstCAO-gren foratudnytte ogimplementere
maksimal parallelisme . •
2.Undersøgelse afennyformålsbestemt materielprocessor ,somkansammen­
koblesmedeksisterende edb-systemer ogforbedre endelafdisses
ydeevne medmindstenstørrelsesorden .

AFPRØVNING :RESUME APANBEFALINGER
Holdetvedrørende afprøvning anbefaler attilrettelægge detfremtidige
arbejdeved.atfølgedenedenforanførtetrehovedområder ogbeslægtede
emner:
/ * • .
VIGTIGSTE AKTIVITETS CMRADE
FORSKNING SPECIFIKATION UDVIKLING
. OGEVALUERING
l)GENERERING AFFORSØGSDATA
-afprøvning affunktionsniveau
(metoderogstrategier ) x .
-βίβιηβηΐηινβ&τι ΑΤΡΟ χ
ATPGforLSIceller, - -
regulärlogikosv» ■> x
-fejltyper ogmodeller x
–Γ6;)ΐ3ΪΠΐνΐ1βΓΪη£38-Ι;Γ3.1;6£Ϊ6Γ χ ·
-ποάη1ορ"βν§5β-1 ;ΑΤΡΟ-δνεΐβιη χ χ
–sprogforMTPG x. x-integreret ATDG-system •x-",'x*
\ ''■ '
2)EDFOHKNING MEDHENBLIK PÅAFPRØVNING
. ' - . '* I
.-opdeling x'
-RAM-design medhenblikpå -
afprøvning . x ' "
-mikroprogrammerede enheder x- .
–udformning medhenblikpå
afprøvning ,generelle teknikker x A
–materielimplementeret selvkontrol "x'
–materiel/firmwareselvkontrol x
3)DATAFANGST OGDATAFORVALTNING -
■-ΏΑΚίί-εγ3ΐ;θπι χ' χ
-programudvikl ingsvœrkt0jer n. •x x

DEVICE MODELOPSTILLING :RESUME APANBEPALlNGER '
Dennerapport omdevicemodelopstilling omfattertrehovedområder :
–numerisk devicesimulering
–analytiske modeller
–tabelmodeller
Forhvertområdegengives devigtigste anbefalinger iresuménedenfor .
1.Humerisk devicesimulering
Hovedformalet meddettedelprojekt eratstimulere europæiske forsknings­
centreoglaboratorier tilatudvikleavancerede devicesimuleringspro -
grammelpakker ogstilledeitttilrådighedforeuropæiske fabrikanter af
integrerede kredsløb.Detteskullegøredetmuligtatopnåuafhængighed
afamerikanske ogjapanskefabrikanter .Behovetforensådanaktivitet
stammerfradetfaktum,atsomfølgeafdeto-ogendog^Pre-dimensionelle
virkninger udgørnumerisk devicesimulering detenesteværktøj,somkari
påregnesipraksisatbliveanvendttildeviceudformning .Detanbefales
derfor,atderudvikles mindst4simuleringsprogrammelpakker ,nemlig:
-ento-dimensional MOSFETsimulator
-ento-dimensional simulator forbipolare devices
-entre-dimensional MOSFETsimulator -'
-entre-dimens ionalsimulator forbipolare devices ..
Forhverafdisseprogrammelpakker erdefineret detaljerede specifika-
,tionervedrørende defysiskefænomener ,somskalindlemmesiprogrammet ,
denfysiskeoggeometriske devicestruktur samti/tfegenskaber pådet
grafiske område. -.
2.Analytiske modeller (kunMOSFET'er )
Enalctivitet pådetteområdeervæsentlig aftogrunde:pådeneneside
eranalytiske modeller medenvisnøjagtighed ogenkelhedfordetmeste
velegnede fofrkredsløbskonstruktører iforbindelse medCADkredsløbssimu -
leringsprogrammer ;pådénandensideidentificeres relevante elektriske
parametres funktionelle afhængighed afdengeometriske ogfysiskedevice-
strukturlettestianalytiske modeller ,somderforkangiveenindsigti
defysiskefænomener ,somfinderstedindenidevicen.-10-

Følgendeanalytiske modellerbørudvikles :
(Langkanal,lavspænding (niveaul)'
SUHFACE CHANNEL (Langkanal,højspænding (niveau2)
MOSFET's -(Kortkanal,lavspænding (niveau3)"
(Kortkanal,højspænding (niveau4)
BURIEDCHÄMEL (Langkanal,(niveaul)
HOSFET 1s (Kortkanal,(niveau2)
Fysiskmodel
Ogsåhererdergivetdetaljerede specifikationer forhverafoven­
nævntemodeller .Udoverudviklingen afmodellerne børproblemet med
paraxoeteridentifikat ionensøgesløst,navnligforsåvidtangårlad­
ninger(ellerkapacitanser ).
Tabelmodeller
.Behovetfortabelmodeller erbleveterkendt medhensyntiltiming
simuleringsformål .Isådannesimulatorer behandles kapacitanserne
temmeligutilfredsstillende ,idetdeantagesatværekonstante ;akti
vitetenpådetteområdebørderforsigtemodatudvikletabellerfor
både'strømmeogkapacitanser .
Detvigtigste problem,sommåløses,ertilvejebringelsen afskale-
ringsregler underopretholdelse afé.enberegningsmæssige enkelthed ,
somernødvendig foratnedbringe CFU-tiden kraftigtiforholdtil,
hvaddererbehovformedanalytiske modeller.

OVERSLAG OVER UDGI FTEH
«
Forudsætninger :–4–5arslevetid forudstyret
-8-10 nulserieanheder leveret afævenkelt fabrikant
-enprøveperiode (lejet udstyr )ogtilbagespil mellem
fabrikant ogbrugere i18til24måneder
medregnet direkte udgifter tilpersonale ,somerinvolveret iprojektet
ikke medregnet igeneral omkostninger ,omkostningerne vedhjelpefaciliteter
omkring detudstyr ,somertinder udvikling (rent rum,up-streao ogdown-stream
udstyr osv.)samt oplåring afpersonale .•
Groft skøn (imioECU)t
* ■SAMLEDE PROJEKT -
OMKOSTNINGER 'OFFENTLIG STØTTE
Projekt li Skiveeteppere 8 4
Projekt II tElektronstråle 40 20
Projekt III ιPlasma 8 -4
Projekt IV *Afprøvning .16 8
Projekt V sCAD 32 16