*****

KOMMISSIONENS FORORDNING (EOEF) Nr. 397/83

af 17. februar 1983

om aendring af Raadets forordning (EOEF) nr. 3744/81 for saa vidt angaar listen over projekter, hvortil der ydes faellesskabsstoette, samt bilaget

KOMMISSIONEN FOR DE EUROPAEISKE

FAELLESSKABER HAR -

under henvisning til traktaten om oprettelse af Det europaeiske oekonomiske Faellesskab,

under henvisning til Raadets forordning (EOEF) nr. 3744/81 af 7. december 1981 om faellesskabsaktioner inden for mikroelektronik (1), saerlig artikel 4, stk. 4, og

ud fra foelgende betragtninger:

Paa grund af den tekniske udvikling siden forordning (EOEF) nr. 3744/81 blev vedtaget er der er behov for udvidet indsats inden for forskning og udvikling, hvis Faellesskabets mikroelektronikindustri skal opnaa en velafbalanceret konstruktions- og produktionskapacitet;

efter tildelingen af stoette til projekter i 1982 er der fortsat tilstraekkelige finansielle ressourcer til raadighed til stoette til nye aktiviteter;

Det raadgivende udvalg for faellesskabsaktioner inden for mikroelektronik har afgivet positiv udtalelse -

UDSTEDT FOELGENDE FORORDNING:

Artikel 1

I forordning (EOEF) nr. 3744/81 foretages foelgende aendringer:

1. I artikel 4, stk. 1, affattes listen over projekter, hvortil der ydes faellesskabsstoette, saaledes:

»I. Udstyr til avanceret litografi

II. Udstyr til toer kemisk forarbejdning og fysisk behandling af silicium og III-V (tre-fem) materialer

III. Udstyr til afproevning, haandtering, samling og indkapsling af integrerede kredsloeb

IV. Datamatstoettet konstruktion (CAD) af hoejtintegrerede kredsloeb (VLSI) inden for

1. arkitektur

2. sprog og datastruktur

3. afproevning

4. komponentmodelopstilling.«.

2. Foelgende indsaettes som tillaeg til bilaget:

»TILLAEG

Foelgende angivelser er retningslinjer for forslagsstillerne og skal ikke betragtes som en afgraensning af deres valgfrihed med hensyn til projekter.

Hvor der er anfoert tekniske karakteristika eller funktionskrav, skal disse betragtes som mindstekrav.

Udstyr, som allerede modtager udviklingsstoette, tages kun undtagelsesvis i betragtning.

I. Udstyr til avanceret litografi

Projekter paa dette omraade omfatter de projekter, der allerede er specificeret under nr. I og II i bilaget.

II. Udstyr til toer kemisk forarbejdning og fysisk behandling af silicium og III-V (tre-fem) materialer

Projekter paa dette omraade omfatter de projekter, der allerede er specificeret under nr. III i bilaget samt projekter i foelgende litra a) og b):

a) Paalaegning ved katodeforstoevning

Paalaegning af aluminiumslegeringer og hoejtemperaturbestandige metaller og silicider

Enkeltlags- og/eller flerlagsmulighed

Mulighed for samtidig katodeforstoevning

Forstoevningsaetsning, substratforspaending

Skivestoerrelse indtil 6 inches

Kassette til kassette, enkeltskive

Gennemloeb: 100 skiver pr. time (beregnet som 1 um aluminiumspaalaegning)

b) Kemisk paadampning (CVD) af isolerende, ledende og hoejtemperaturbestandige materialer, herunder plasmapaalaegning, fotopaalaegning og molekylestraalepaalaegning. Saerlig plasmaforstaerket lavtryks-CVD.

Materialer:

- phosphor- og bordoteret kvartsglas

- siliciumnitrid

- hoejtemperaturbestandige materialer (paa polysilicium)

- aluminium eller aluminiumslegeringer

III. Udstyr til afproevning, haandtering, samling og indkapsling af integrerede kredsloeb

Projekter, paa dette omraade omfatter de projekter, der allerede er specificeret under nr. IV i bilaget samt projekter i foelgende litra a) og b):

a) Elektronstraaleafproevning (SEM plus tilbehoer og graenseflade til kredsloebsafproevningssystemet)

b) Indbraendingssystemer, som muliggoer statisk og dynamisk indbraending med graenseflade til VLSI-afproevningsenhed.

IV. Datamatstoettet konstruktion (CAD) af hoejtindegrerede kredsloeb (VLSI)

Dette projektomraade omfatter punkt V i bilaget.«.

Artikel 2

Denne forordning traeder i kraft paa dagen for offenliggoerelsen i De Europaeiske Faellesskabers Tidende.

Denne forordning er bindende i alle enkeltheder og gaelder umiddelbart i hver medlemsstat.

Udfaerdiget i Bruxelles, den 17. februar 1983.

Paa Kommissionens vegne

Étienne DAVIGNON

Naestformand

(1) EFT nr. L 376 af 30. 12. 1981, s. 38.