title: Комбинированный синтез углерод-водородных покрытий, их фазовый состав и поверхностная морфология
Creators: name: ., Д.Г. Пилипцов – к.т.н., доцент, вед. науч. сотрудник, Международная Китайско-Белорусская лаборатория вакуумно-плазменных технологий; Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины (Республика Беларусь)  E-mail: pdg_@mail.ru А.В. Рогачев – чл.-корр. НАНБ, д.х.н., профессор, директор, Научно-исследовательский физико-химический институт; Международная Китайско-Белорусская лаборатория вакуумно-плазменных технологий, Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины Беларусь E-mail: rogachevav@mail.ru А.С. Руденков – к.т.н., вед. науч. сотрудник, Международная Китайско-Белорусская лаборатория вакуумно-плазменных технологий; Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины (Республика Беларусь)  E-mail: arudenkov05@gmail.com Цзян Сяо Хун – профессор, начальник Международной Китайско-Белорусской научной лаборатории вакуумно-плазменных технологий, Нан-кинский университет науки и технологии (КНР) E-mail: jiangxh24@njust.edu.cn Е.А. Кулеш – мл. науч. сотрудник, Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины (Республика Беларусь); Международная Китайско-Белорусская научная лаборатория вакуумно-плазменных технологий (г. Гомель, Республика Беларусь)  E-mail: katrinamillers29@mail.ru П.А. Лучников ‒ науч. сотрудник, МИРЭА ‒ Российский технологический университет (Москва) Е-mail: xamdex@gmail.com
Publisher: name: Издательство Радиотехника
Year: 2019

description: Постановка проблемы. Структура углеродных покрытий определяется особенностями метода их осаждения: наличие в процессе осаждения водорода позволяет изменить характер взаимодействия между атомами углерода в покрытии и стимулирует образование областей с C–H связями. При этом условия и режимы диссоциации углеводородных соединений, энергия образующихся ионов и степень их ионизации оказывают заметное влияние на фазовый состав и поверхностную морфологию осаждаемых углеродных покрытий. Осаждение углеродных покрытий только методами химического разложения углеводородных соединений ограничивает возможность изменения их структуры и, соответственно, свойств покрытий в широких пределах. Данное обстоятельство определяет перспективность использования комбинированного метода осаждения водородсодержащих углеродных покрытий, заключающегося в осаждении углеродного слоя испарением графитовой мишени и генерации ионов водорода независимыми различными методами.
Цель ‒ исследование фазового состава и морфологии поверхностности ɑ-С:H покрытий, получаемых за счет осаждения из углеродной плазмы импульсного катодного разряда и различных методов диссоциации углеводородных соединений.
Результаты разработки. Установлены изменения фазового состава углеродных покрытий в зависимости от метода активации водородсодержащего газа. Показано, что при реализации комбинированного осаждения и в зависимости от способа диссоциации углеводородного газа в структуре углеродных покрытий наблюдается увеличение числа ароматических колец с sp2-сопряженными связями, а при высокой степени ионизации газа имеет место формирование линейных цепочных молекул 
Н–С=С–Н, а также происходят повышение дисперсности структурных образований и снижение шероховатости поверхности.
Практическая значимость. Установленные особенности осаждения позволяют формировать углеродные покрытия с про-гнозируемым фазовым составом и морфологией поверхности, что позволит направленно изменять свойства получаемых уг-леродных покрытий за счет варьирования технологических режимов осаждения.