English: In reality, the vast majority of NF3 is broken down during the cleaning processes. two earlier studies found that only 2 to 3% of the gas escapes destruction after its use.
Telugu: నిజానికి, NF3 యొక్క గాఢత శుభ్రపరుస్తున్న విధానాల్లో క్షీణిస్తుంది. రెండు ప్రారంభ అధ్యయనాల్లో దీనిని ఉపయోగించిన తర్వాత 2% నుండి 3% వాయువు మాత్రమే బయటికి వస్తుందని తేలింది.