요양불승인처분취소 (일반행정, )
공포일: 0001.01.01 / 시행일:

【주문】1. 피고가 2018. 11. 28. 원고에 대하여 한 요양불승인처분을 취소한다.
2. 소송비용은 피고가 부담한다.
【청구취지】주문과 같다.
【이유】1. 처분의 경위
가. 원고(생략생)는 1997. 7. 15. ○○○○ 주식회사(이하 '○○○○'라 한다)에 입사하여 반도체 ○○○○○(이하 '이 사건 사업장'이라 한다) 3라인에서 웨이퍼 가공공정 오퍼레이터로 근무하다 2005. 8. 15. 퇴사하였다.
나. 한편 원고는 2004. 5.경 어깨 통증, 상하지 감각 이상 등의 증상이 발생하면서 '급성 횡단성 척수염' 진단을 받았고, 이후 좌측 시력 저하 등의 증상이 추가로 발생하면서 2008. 11.경 '다발성경화증'의 진단을 받았는데, 치료 및 추적관찰 중 새로운 진단 체계가 확립됨에 따라 진단병명이 '시신경척수염(이하 '이 사건 상병'이라 한다)'으로 변경되었다.
다. 원고는 2017. 9. 27. 피고에게 이 사건 상병에 관하여 요양급여신청을 하였으나, 피고는 2018. 11. 28. 아래와 같은 ○○업무상질병판정위원회 심의결과를 기초로 하여 이 사건 상병과 업무 사이에 상당인과관계가 인정되지 않는다는 사유로 요양불승인처분(이하 '이 사건 처분'이라 한다)을 하였다.

발병경위, 작업환경, 업무내용, 관련 의학자료 및 업무상 질병 여부 심의결과, 재해근로자 및 대리인의 의견진술 내용 등 제시된 자료 일체를 검토한 결과, 이 사건 상병은 희귀한 질환으로 자가면역질환이라는 것 이외에 아직 그 발병 원인이 명확히 밝혀지지 않은 점, 업무수행 중 노출된 유해 물질과 관련한 조사내용(노출 정보)도 명확하지 않아 상병과 업무 간 인과관계를 논하기 어려운 점, 역학조사 결과를 살펴보아도 업무와의 관련성이 인정되지 않았으며 달리 역학조사 결과를 부정할 만한 근거가 부족한 점 등을 종합적으로 고려할 때 이 사건 상병과 업무 간 상당인과관계가 인정되지 아니한다.

라. 원고는 이에 블북하여 재심사 청구를 하였으나, 산업재해보상보험재심사 위원회는 2019. 5. 3. 원고의 재심사 청구를 기각하였다.
[인정근거] 다툼 없는 사실, 갑 제1, 2호증, 갑 제9호증의 1 내지 3, 을 제1호증의 1 내지 4의 각 기재, 변론 전체의 취지
2. 이 사건 처분의 적법 여부
가. 원고의 주장
이 사건 상병은 원고가 이 사건 사업장에서 근무하면서 유기용제를 비롯한 유해 화학물질에 지속적으로 노출되고, 교대근무, 자외선 노출 부족 등으로 인해 면역체계가 악화되면서 발병되었거나 자연경과 이상으로 악화된 것이다. 따라서 이 사건 상병과 원고의 업무 사이에 상당인과관계가 인정된다 할 것임에도 이와 다른 전제에서 이루어진 이 사건 처분은 위법하다.
나. 인정사실
1) 이 사건 상병에 관한 의학정보 및 연구
○ 진단기준
시신경척수염은 매우 드문 중추신경계 염증성 질환으로 단안 또는 양안의 심한 시신경염과 척추 3분절 이상을 침범하는 긴 척수염을 특징으로 한다. 오랜 기간 동안 시신경척수염은 시신경과 척수를 거의 동시에 또는 잇달아 침범하는 단상질환으로 여겨왔다. 그러나 이후 대부분의 환자에서 시신경과 척수 증상이 반복하여 나타나는 재발 경과를 보인다는 것이 밝혀졌고, 이러한 특징 때문에 다발성경화증의 한 아형으로 여겨지기도 했다. 그러나 2004년 시신경척수염 환자의 혈액에서 질환특이 항체인 NMO-IgG가 발견되고, 2005년 NMO-IgG의 표적항원이 아쿠아포린-4(aquaporin-4, AQP4)라는 것이 밝혀짐에 따라서 혈액에 NMO-IgG의 존재 여부에 의한 시신경척수염의 진단 방법이 개발되었고, 2006년 개정된 진단 기준이 발표되기도 하였다. 현재 시신경척수염의 진단은 2015년 International Panel for NMO Diagnosis(IPND)에서 제시한 새로운 진단 기준에 따른다.
○ 다발성경화증과의 임상적 차이
다발성경화증은 대표적인 중추신경계 염증성 질환이며 주로 백인에서 발병빈도가 높은 반면 시신경척수염은 주로 동양인에서 발병빈도가 높다고 알려져 있다. 두 질환은 임상증상과 경과가 매우 비슷하여 시신경척수염을 아시아형 다발성경화증이라 부르기도 하였다. 그러나 여러 연구를 통하여 두 질환의 임상적 차이점이 알려지게 되었는데, 시신경척수염은 다발성경화증에 비해 여성에게 훨씬 더 빈발하고 발병연령도 높으며 일단 발병이 되면 다발성경화증은 대개 후유증 없이 회복되는데 반해 시신경척수염은 심한 장애를 남기는 경우가 빈발한다. 뇌와 척수 MRI를 두 질환에서 비교하였을 때, 다발성경화증에 비해 시신경척수염은 척수병터의 길이가 길고 뇌 MRI에서 특징적인 위치와 모양의 병터를 보인다는 것이 알려졌다. 시신경척수염의 병리 소견은 잘 알려져 있지 않았지만 다발성경화증은 탈수초 염증 병소를 보임에 반해 시신경척수염은 괴사소견을 자주 보인다는 것이 밝혀졌다. 또한 치료 면에서도 뚜렷한 차이를 보이는데, 다발성경화증의 재발과 진행을 억제하기 위한 면역치료제인 인터페론 베타를 시신경척수염에 사용했을 때 오히려 증상이 악화하는 경향을 보였다.
○ 역학
- 시신경척수염은 다발성경화증과 같이 인증에 따른 발병률의 차이가 뚜렷하며, 백인에서는 드물지만 아시아, 흑인계에서 많이 발생한다. 대부분 재발성 경과이며 여성에서 5~10배 정도 더 많이 발생한다. 인구비례 표본 추출법에 의한 연구는 시신경 척수염에서 매우 제한적인데, 2003~2004년 쿠바에서 시행된 인구비례 표본 추출법에 의한 연구에서 유병율은 10만 명당 0.51이었으며, 평균 연발생율은 10만 명당 0.053이었으며, 여성의 유별율(0.91)이 남성(0.12)보다 높았다. 반면 동양인에서의 결과는 여성이 남성보다 약 9배 많으며, 평균시작연령은 39세로 다발성경화증보다 약 10년 정도 차이가 나지만, 모든 연령대에서 발병 가능해서 소아나 노인에서도 드물지 않게 발생한다.
- 한국에서 106명의 AQP4 자가항체 양성인 환자를 대상으로 한 연구에서 97명이 여자였으며 발병 중위 연령은 32세였다. 이는 일부 환자군을 대상으로 한 연구이며 현재까지 국내에서의 유병률이나 발생률에 대한 대규모 연구가 시행된 적이 없다. 질병관리본부에서 2016년 발간한 '국내 시신경척수염 임상네트워크 구축 및 운영' 보고서에 의하면, 2016년 기준으로 이전 3개년 간 임상네트워크에 등록된 시신경척수염 환자는 370명이다. 등록 환자의 평균 나이는 41.6세이며 이 중 여성 환자가 남성 환자보다 7배 많아 여성에서 더 많이 발생하는 질병임을 확인하였다.
○ 원인 및 위힘인자
시신경척수염은 비교적 최근에 진단 및 치료법이 개발된 질병으로 이에 대한 역학 연구가 부즉하다. 또한 질병을 일으키는 기전으로 AQP4의 기능을 소실하게 만드는 자가항체의 존재가 밝혀져 해당 질병이 자가면역질환의 일부로 분류되어 있으나, 그러한 항체가 왜 생기는가에 대한 환경적 혹은 직업적 원인을 찾고자 하는 연구는 아직까지 전무하다.
2) 원고의 업무
○ 반도체 가공 공정 일반
반도체는 실리콘 웨이퍼(실리콘 원기둥을 얇게 절단한 후 한쪽 면을 거울같이 연마하여 만든 원판) 가공 공정과 조립 공정을 통해 생산된다. 웨이퍼 표면에 회로를 형성하고 전도성 등을 부여하는 가공 공정(FAB)은 아래와 같은 세부 공정으로 이루어지는데, 여러 층으로 회로를 구성하기 위하여 아래 공정이 반복적으로 이루어진다.
① 확산공정(Diffusion) : 웨이퍼 표면에 실리콘 산화막을 형성하는 공정.
② 포토공정(Photo lithography) : 반도체 웨이퍼에 감광 성질을 가지고 있는 감광액 포토레지스트(PR)룰 도포한 후 마스크 패턴을 올려놓고 자외선(UV) 등의 빛을 쬐어 회로패턴을 형성하는 공정.
③ 식각공정(Etch) : 웨이퍼 표면에 형성된 회로 이외의 부분을 부식성 가스(건식 식각) 또는 화학물질(습식 식각)을 이용하여 선택적으로 제거하는 공정.
④ 증착공정(Deposition) : 반도체 기판 상에 화학적 또는 물리적 방법으로 전도성 또는 절연성 박막을 형성시키는 공정으로, 화학반응을 통해 박막을 형성하는 화학기상증착(CVD)과 기판 상에 금속을 물리적으로 증착시키는 물리적기상증착(PVD)으로 나뉜다.
⑤ 이온주입공정(Ion Implantation) : 반도체에 전도성을 부여하기 위해 도판트(Dopant)라는 불순물을 주입하는 공정.
⑥ 연마공정(Chemical Mechanical) : 웨이퍼 가공 과정에서 생성된 웨이퍼 표면의 산화막 등을 화학적, 물리적 방법으로 연마하는 공정.
○ 원고의 구체적인 업무 형태 및 내용
- 원고는 3교대(06:00~14:00, 14:00~22:00, 22:00~06:00) 근무를 하였고, 휴게시간은 식사 및 휴식시간 50분이 부여되었다. 확인된 원고의 시간 외 근무는 1998. 6월 79시간, 1999. 3월 147시간이다.
- 원고가 근무기간 동안 담당한 세부 공정은 아래와 같다.

시기구역(베이)공정

1998. ~ 2000.24확산

2000. ~ 2001.1, 24확산

2001. ~ 2002.1, 3습식식각

2002. ~ 2003.11, 22, 23확산, 이온주입

2003. ~ 2005.1, 22확산, 습식식각

- 원고가 담당한 공정들은 구체적으로 아래와 같이 이루어진다.
① 확산공정은 자동화 공정으로, 오퍼레이터가 런(웨이퍼 25장씩의 작업 단위)이 담긴 카세트를 장비 전면에서 로더에 올려 놓고, 카세트가 자동으로 설비 안으로 들어가 확산공정을 마치고 나오면 이를 로더에서 꺼내 다음 공정으로 보내는 작업으로 이루어진다. 원고는 위 공정에 부수되는 업무로 ㉠ 화학물질 교체{화학물질이 설비에 자동으로 공급되는 기계가 있지만 수조 안에 있는 화학물질을 빼고 채우는 작업은 수동으로 이루어지며 이 때 다루는 물질은 BOE 용액(물, 불산, 불화암묘늄, 계면활성제의 혼합물), 황산, 불산 등이다}, ㉡ 테스트웨이퍼 및 더미웨이퍼 습식식각 작업(디캡작업, 수십 번에 걸쳐 재사용하는 테스트 웨이퍼와 더미웨이퍼가 일정량 모아지면 두꺼워진 웨이퍼 막을 세척하는 것으로, 습식식각 설비에서 웨이퍼를 불산이나 황산이 담긴 수조에 직접 담갔다 빼는 방법으로 수동으로 이루어졌다)을 수행하였다.
② 원고는 3라인 3베이에서 습식식각 공정 중 세척작업을 담당하였고 당시는 자동설비와 수동설비가 같이 있었다. 자동설비에서는 오퍼레이터가 웨이퍼가 담긴 캐리어를 올려 놓고 캐리어가 자동으로 실비 안으로 들어가 세척작업을 거친 후 나오면 이를 꺼내는 작업을 하게 되고, 수동설비에서는 오퍼레이터가 웨이퍼가 담긴 캐리어를 정해진 시간 동안 과산화수소, BOE 용액 등이 담긴 수조에 직접 담갔다가 꺼내는 작업을 반복적으로 되풀이하는 방법으로 작업을 하게 된다. 이때 수조에 공급되는 세정액은 외부 공급장치에서 배판을 통해 유입된 후 수조 양 옆에 설치된 배수시설로 빠져 나가고, 수조 윗부분 양 옆으로 국소배기장치가 설치되어 세척 작업시 발생하는 기체를 외부로 배출시키게 된다.
③ 이온주입(임플란트) 공정은 식각 공정에서 형성된 패턴 위에 여러 가스들의 화학반응으로 만돈 입자를 증착시켜 표면에 절연막이나 전도성막을 형성하는 공정으로, 오퍼레이터는 웨이퍼가 담긴 카세트를 아르신, 보론 트리플로라이드, 포스핀 등이 공급되는 이온주입장비에 넣었다 빼는 방식으로 작업을 수행한다.
○ 원고의 작업환경
- 원고가 근무했던 3라인에서는 확산, 식각, 포토, 증착 공정이 함께 이루어졌는데, 각 공정별로 작업공간이 명확히 분리되어 있지 않은 Open bay 방식으로 전체적으로 공기를 순환시키는 구조를 가지고 있었고, 외부 공기가 10~20%의 비율로 유입되어 재순환 공기와 함께 작업공간으로 공급되므로 전 공정에서 발생하는 유해물질이 균질성을 가지고 계속 순환되는 특성을 가지고 있었다.
- 작업현장에서는 다양한 장비를 현장 내에서 개방하고 점검 및 정비하는 작업이 규칙·불규칙적으로 실시되었다. 3라인은 1984년경 신설되어 설비의 노후화로 인하여 가스 누출 사고 및 정전 사고가 여러 차례 발생하였다.
- 원고가 근무한 1998년 시점에는 자동화가 되어 있지 않아 케미컬 체인지 등의 업무를 수동으로 수행하는 경우도 많았고, 작업 중 수시로 IPA, 아세톤 등의 유기용제를 사용하여 작업장이나 설비에 묻은 화학물질을 닦아 내야 했다.
- 3라인에는 보안경, 내산 앞치마, 토시 및 PVC 장갑 등의 보호장구가 갖추어져 있었지만, 일부 방독면을 제외하고는 근로자들이 일반적으로 사용할 수 있는 방독마스크 등의 호흡용 보호구는 갖추어져 있지 않았다. 근로자들은 과도한 물량으로 업무효율을 높이기 위해 필요한 보호장구를 착용하지 않은 채 작업하는 경우도 있었다.
- 자동설비에는 인터락 장치가 부착되어 밀폐되어 있었으나, 개인이 해제하는 것이 가능하여 오퍼레이터들은 업무효율을 위하여 인터락을 해제하여 설비 내부를 식히는 시간 등을 단축하는 방법으로 공정을 빨리 진행하기도 하였다.
3) 유해물질의 노출 및 그 정도
○ 반도체 제조공정 근로자에 대한 건강실태 역학조사(○○○○○○연구원, 2008년) 중 한국 반도체 사업장의 작업환경측정결과(2002-2007)

· 비소의 노출수준은 반도체 가공공정의 전체 시료 전부(292개)가 노출기준치의 10% 이하였으며, 염소는 2.34% 정도(299개 중 7개)가 노출기준치의 20~50% 수준에 분포하였다.
· 반도체 가공공정에서 측정한 유기화합물은 1,2-Dichloroethane, 1,2-디클로로에틸렌, 2-Heptanone. 2-부톡시 에탄올, Cellosolve acotate, Ethanolamine. Ethylethoxypiopionate, Ethyl benzene, TCE, 노말헥산, 과산화수소, DMF 등 총 58종이었다. 대부분이 노출기준의 10% 이하에 분포하고 있으나 과산화수소는 해당 총 시료의 8.8%, 이소프로필알코올 0.1%, 초산 2.56%, 디메틸아세트 아미드 7.5%의 시료가 노출기준의 10~50%의 범위에 분포하였다. 식각공정에서는 과산화수소 외 16종, 확산공정에서는 1, 2 디클로로에틸렌 외 총 15종의 유기화합물이 측정되었으며, 산염기에는 가성소다. 불산, 수산화칼륨, 염화수소, 인산, 질산, 황산 등이 측정되었다.

○ 반도체 사업장 위험성 평가(○○○학교 산학협력단, 2009년) 중 이 사건 사업장 5라인의 노출평가 부분

· 화학물질 사용
- 모두 99종(확산 13종, 감광 28종, 식각 21종, 세척 10종, 화학증착 10종, 이온주입 7종, 금속배선 5종, 평탄화 5종 등)의 화학제품이 사용되고 있음.
- 위 99종 중 성분 확인 결과 단일 화학물질은 83종인데 그 중 성분 미확인 물질은 10종으로 납품업체 영업비밀로 되어 있는 물질임.
- 83종 중 24종만이 작업환경 측정을 통해 관리되고 있는데, 측정을 통해 관리되지 않은 물질들이 모두 안전한 물질은 아니고 세척 공정에서 사용되고 있는 카테콜, 수산화암모늄 등은 근로자 건강 보호를 위해 측정할 필요성이 있는 물질임.
· 작업환경 측정 결과
- 이 사건 사업장 전체에 대한 2007년 작업환경 측정 결과에 의하면 오퍼레이터와 엔지니어에 대하여 노출지수(-노출농도/노출기준)가 가장 높게 나타난 물질은 이온주입 공정에서 측정된 과산화수소로 노출기준의 29% 수준이었음. 즉, 모든 측정 결과는 노출기준의 29% 미만이라고 할 수 있음.
- 그 중 확산 공정에서는 아르신, 염소, 과산화수소, 황산, 인산, 염산, 불산, 질산, 이소프로필알코올(IPA), 포스핀 등이 검출되었고, 세척 공정에서는 초산, 아세톤, 과산화수소, 황산, 인산, 염산, 불산, 질산, IPA, 암모니아 등이 검출되었다.
- 정비작업시 노출지수가 가장 높게 나타난 물질은 화학증착 공정에서 측정한 황산으로 노출기준의 56% 수준이었음. 평탄화 공정에서는 수산화칼륨, 혼합유기용제, IPA 등이 검출되었음.
- 한편, 반도체 사업장에서는 다양한 장비를 현장 내에서 개방하고 점검 및 정비하는 작업이 규칙적 혹은 불규칙적으로 실시되므로 이러한 작업시 장비 내 오염물질이 공정 내로 유입될 가능성이 있어 작업자의 노출에 큰 영향을 줄 수 있는데, 현재의 측정방식은 상하반기중 일정한 시기를 정하여 해당 기간 동안 각 공정, 작업장소별로 1회 측정하는 방법을 활용하고 잇으므로 작업환경 측정 결과에는 한계가 있음.
· 가스검지기 작동 현황
- 5라인 확산공정 등 6개 공정에는 장비에 323개, 장비 외부(작업장)에 28개의 가스검지기가 설치되어 있는데, 2009. 2. ~ 2009. 7.까지 모두 46회의 경보가 발령되었음.
- 경보 발령의 원인은 표준작업절차를 준수하면서 유지·보수(Prerantive Maintenance. PM) 작업을 하던 중 잔류가스의 영향으로 인한 경우 25건, 검지기 오동작 11건, PM 작업 중 표준작업절차 미준수로 인한 경우 3건, 정상적으로 공정이 가동되고 있는 상황에서 누출된 경우 3건, 원인 미파악 4건 등으로 나타났음.
- 누출된 물질은 아르신, 삼염화붕소, 염소, 브롬화수소, 염산, 포스핀, 실란 등이었는데, 그 중 2009. 7. 20. 누출된 브롬화수소는 5.729초간 고노동로 실제 누출되어 매우 위험한 상황이었음에도 현장 근로자의 대피 등 적절한 조치가 없었음.
- 정상적인 조건에서는 근로자가 화학물질에 거의 노출되지 않으나, 설비 안에서 기계나 물질 교체, 세척 등의 PM 직무를 수행할 때 경보가 발령되고 있으므로 PM 직무에 대한 노출평가 및 관리가 중요함.

○ 반도체 사업장 근로자의 작업환경 및 유해요인 노출특성 연구(○○○○○○연구원, 2012년) 중 웨이퍼 가공 라인 부분 연구결과

〈공정에서 발생 가능한 2차 생성물질〉
· 감광공정(감광액에 대한 열분해실험을 통해 열분해산물을 파악함)
- 감광액의 구성성분은 영업비밀에 해당하여 정확히 할 수 없었으나, ○○○○ 사업장에서 주로 노보락 수지가 포함된 감광액을 사용하는 것으로 파악되어 노보락 수지가 포함된 감광액을 대상으로 실험함.
- 열분해실험 결과 벤젠, 톨루엔, 크실렌, 페놀 등의 물질이 발생함.
- 다만 열에 의해 에너지를 전달하는 방식으로 실험했기 때문에 감광공정에서와 같이 UV 등 빛에너지를 이용하여 에너지를 전달하는 방식과는 차이가 있고, 사용된 에너지 양에도 차이가 있음.
- 한편, 미국의 특허자료에 의하면 UV를 이용한 노광 과정에서 감광액 성분이 분해되어 벤젠과 같은 2차 생성물질이 발생될 수 있다고 하는데, 그러한 내용이 위 실험을 통해 확인되었다고 할 수 있음.
- 식각, 확산, 증착, 이온주입 공정(문헌 검토를 통해 발생 가능한 물질을 파악함)
- 식각공정은 강산과 강염기를 사용하거나(습식식각), 이온화한 물질과의 충돌 및 반응을 거치기 때문에(건식식각) 그 과정에서 PR 성분이 분해되면서 휘발성 유기물질과 각종 부산물 등이 발생할 수 있음.
- 확산 및 증착 공정은 화학적 반응을 통해 웨이퍼 표면에 박막을 형성시키는 과정에서 다양한 부산물(수소, 염소, 불산 등)이 발생할 수 있음.
- 이온주입 공정은 장비에 아르신, 삼영화붕소, 포스핀 등을 공급한 후 이온화시키는 과정에서 다양한 형태의 부산물(아르신의 경우 아르신 이온, 비소 이온, 중성의 비소 등)이 발생할 수 있음.
〈유해물질 노출농도〉
· 근로자 작업 위치와 가공 라인 외부 공기 유입구 등에서 시료 재취하여 분석함.
· 휘발성 유기화합물(포름알데히드 제외)
- 아세톤, 벤젠, IPA, PGME, 톨루엔, 크실렌 등 10여 종의 휘발성 유기화합물이 검출됨.
- 다만, 아센톤, IPA, PGME, 크실렌을 제외하고는 0.1ppm 이상 검출된 물질은 없었고, 아세톤 등의 경우에도 노출기준의 1/100이상 검출된 시료는 없었음.
- 벤젠의 경우 작업장 내 농도는 ND(검출한계 미만) ~ 0.0038ppm으로 노출기준(1ppm)에 비해 매우 낮았고, 옥외 외부공기 유입구에서 측정한 농도인 ND ~ 0.00030ppm 수준과 별다른 차이를 보이지 않았음. 한편 환경부에서 2006년경 측정한 결과에 의하면 수도권 4개 지역(서울, 강화, 인천, 경기)의 대기 중 평균 벤젠농도는 0.00033 ~ 0.00048ppm이었음.
· 포름알데히드
- 웨이퍼 가공 라인에서 포름알데히드가 직접 사용되지는 않지만 노보락 수지 등 유기화합물을 많이 사용하는 감광 공정의 노광 과정에서 2차적으로 발생 가능함.
- 가공라인 공기 중 농도는 0.0014 ~ 0.0038ppm(○○○○ 8인치 라인의 경우 0.0016 ~ 0.0022ppm)으로 노출기준(0.5ppm)의 1/100 미만 수준이었음. 한편 경기 지역에서 2009. 8. 측정된 대기 중 포름알데히드 농도는 0.0010 ~ 0.0110ppm(평균 0.0045ppm)이었음.
· 무기산 및 무기산 가스
- 가공 라인 전반에 걸쳐 오퍼레이 작업 위치 및 챔버 인근에서 무기산(불산, 염산, 질산, 황산) 노출정도를 평가한 결과 모두 노출기준의 3/100 이하로 낮았음.
· 아르신, 비소 및 그 무기화합물(이온주입 공정을 대상으로 평가함)
- 오퍼레이터 작업환경에서 아르신이 검출한계(0.01ppb) 이상 검출된 경우는 없었음.
- 장비 분해를 포함한 PM 작업시의 아르신 농도는 ○○○○ 8인치 가공 라인의 경우 4.17ppb(다만 전체 작업시간 372분에 대한 것으로 대상 근로자가 실제로 PM 작업을 한 30분 동안의 농도는 4.17ppb의 수배 이상이 될 것으로 판단됨), 8시간 가중평균농도는 3.23ppb로 노출기준(5ppb)을 초과하지는 않았음. 전체 사업장의 비소 및 그 무기화합물의 8시간 가중평균농도는 0.0013mg/㎡ ~ 0.0613mg/㎡로 8건의 시료 중 4건(○○○○의 경우 0.0110mg/㎡)이 노출기준(0.01mg/㎡)을 초과하였음.
- 장비 분해를 포함하지 않은 PM 작업시의 아르신 농도는 3개시 모두 노출기준의 0.2~3%에 해당하는 수준이고, 비소 및 그 무기화합물은 노출기준의 1~7% 정도임.
〈사업장 자체 유해가스 모니터링〉
· ○○○○ 8인치 웨이퍼 가공 라인의 2009. 1. ~ 2009. 12.까지의 유해가스 모니터링 결과 알람 발령 건수는 모두 38건임.
· 그 중 아르신은 4건의 알림이 발령되었는데 최고농도 550ppb에 달한 경우(○○○○는 이온주입 설비의 잔유물질 제거 효율을 평가하기 위해 강제로 아르신을 누출시킨 후 검지기 작동을 테스트하는 과정에서 알람이 발령된 것이라고 설명함)도 있었음.
· 브롬화수소는 모두 11건의 알람이 발령되었는데, 농도수준 0.3 ~ 23.3ppm으로 최고농도수준은 ceiling 기준(어느 한 순간이라도 그 수준 이상으로 노출되지 않도록 권고하는 수준)의 12배에 달하였음.
· 알람은 PM 작업시 잔유물의 영향으로 발령된 경우도 있었지만 실제 누출로 인하여 발령된 경우도 있었음.
〈환기 실태〉
· 반도체 사업장은 대부분 클린룸 설비 내에서 생산활동이 이루어지고 있는데, 공기를 재순환하는 클린룸 설비의 생산과장에서 발생하여 국소환기장치를 통해 배출되지 않은 유해물질은 공정 내로 재유입될 수 있고 인근 공정에까지 영향을 줄 수 있음.
· ○○○○ 8인치 가공 라인은 외부 공기(20~30%)가 내부 순환공기(70~80%)와 혼합되어 필터를 거쳐 각 공정 천정에서 하부로 흐르도록 설계되어 있는데, 가공 라인 내부의 휘발성 유기화합물 농도가 전반적으로 낮아 공정간 공기 혼합 여부를 판단하기 어려움. 다만 IPA가 이온주입 공정을 제외하고는 모든 공정에서 검출되었고 근로자들이 작업복을 갈아입는 SMOCK room에서도 검출된 것을 보면 공정간 혼합을 배제할 수 없다고 판단됨.

4) 원고의 개인적 소인 및 가족력
원고는 이 사건 상병과 관련한 증상이 발생하기 전 감염성 질환이나 자가면역성 질환의 과거력이 없었으며. 흡연력, 음주력도 없다. 또한 이 사건 상병과 연관된 질환의 가족력도 확인되지 않는다.
5) ○○○○○○○위원회 통합회의 심의결과

원고는 1997. 7월 ○○○○ ○○○○에 입사하여 약 8년간 3라인 확산공정에서 오퍼레이터로 주로 웨이퍼 로딩/언로딩 작업을 하였고, 보조업무로 화학물질 교체, 폴리막 제거, 정전 이후 세척작업 등을 하였다.
시신경척수염은 동양인, 여성, EBV 감염 과거력이 있는자, 비흡연자에서 상대적으로 발병율이 높은 것으로 알려져 있으나, 현재까지 시신경척수염의 직업환경요인에 관한 연구는 알려진바 없다. 단, 시신경척수염이 진단명으로 별도로 분류된 것이 최근이며, 매우 희귀한 질환이기 때문에 직업, 환경적 요인에 대한 역학적 유의미하게 나타나기 어렵다는 한계가 있다.
원고가 확산공정에서 작업하는 동안 여러 금속 및 유기용제에 노출되었을 것으로 추정하나, 질병 발생 이전의 작업환경 측정에 대한 자료가 불충분하기 때문에 정확한 노출정보를 얻을 수 없었다.
따라서 원고의 상병은 업무관련성의 과학적 근거가 거의 없다고 판단한다.

[인정근거] 갑 제3, 8, 9, 10호증, 갑17호증의 3, 4, 갑 제25, 26, 27, 29호증, 을 제2, 4호증(가지번호를 특정하지 않은 것은 가지번호 모두 포함)의 각 기재, 변론 전체의 취지
다. 판단
1) 산업재해보상보험법 제5조 제1호가 정하는 업무상의 사유에 따른 질병으로 인정하려면 업무와 질병 사이에 인과관계가 있어야 하고 그 증명책임은 원칙적으로 근로자 측에 있다. 여기에서 말하는 인과관계는 반드시 의학적·자연과학적으로 명백히 증명되어야 하는 것은 아니고 법적·규범적 관점에서 상당인과관계가 인정되면 그 증명이 있다고 보아야 한다. 산업재해의 발생원인에 관한 직접적인 증거가 없더라도 근로자의 취업 당시 건강상태. 질병의 원인, 작업장에 발병원인이 될 만한 물질이 있었는지 여부, 발병원인물질이 있는 작업장에서 근무한 기간 등의 여러 사정을 고려하여 경험칙과 사회통념에 따라 합리적인 추론을 통하여 인과관계를 인정할 수 있다. 이때 업무와 질병 사이의 인과관계는 사회 평균인이 아니라 질병이 생긴 근로자의 건강과 신체조건을 기준으로 판단하여야 한다(대법원 2004. 4. 9. 선고 2003두12530 판결, 대법원 2008. 5. 15. 선고 2008두3821 판결 등 참조).
한편 첨단산업분야에서 유해화학물질로 인한 질병에 대해 산업재해보상보험으로 근로자를 보호할 현실적·규범적 이유가 있는 점, 산업재해보상보험제도의 목적과 기능 등을 종합적으로 고려할 때, 근로자에게 발병한 질병이 이른바 '희귀질환' 또는 첨단산업현장에서 새롭게 발생하는 유형의 질환에 해당하고 그에 관한 연구결과가 충분하지 않아 발병원인으로 의심되는 요소들과 근로자의 질병 사이에 인과관계를 명확하게 규명하는 것이 현재의 의학과 자연과학 수준에서 곤란하더라도 그것만으로 인과관계를 쉽사리 부정할 수 없다. 특히, 희귀질환의 평균 유병률이나 연령별 평균 유병률에 비해 특정 산업 종사자 군이나 특정 사업장에서 그 질환의 발병률 또눈 일정 연령대의 발병률이 높거나, 사업주의 협조 거부 또는 관련 행정청의 조사 거부나 지연 등으로 그 질환에 영향을 미칠 수 있는 작업환경상 유해요소들의 종류와 노출 정도를 구체적으로 특정할 수 없었다는 등의 특별한 사정이 인정된다면, 이는 상당인과관계를 인정하는 단계에서 근로자에게 유리한 간접사실로 고려할 수 있다. 나아가 작업환경에 여러 유해물질이나 유해요소가 존재하는 경우 개별 유해요인들이 특정 질환의 발병이나 악화에 복합적·누적적으로 작용할 가능성을 간과해서는 안 된다(대법원 2017. 8. 29. 선고 2015두3867 판결 참조).
2) 이 사건 상병은 다발성경화증과 구분되어 진단명으로 별도로 분류된 것이 비교적 최근이고, 매우 희귀한 질환이기 때문에 직업적·환경적 요인에 대한 역학적 연구가 유의미하게 나타나기 어렵다는 한계가 있고, 아직 그와 같은 시도도 전무한 상황이다.
원고는 시신경척수염은 다발성경화증의 유형으로 분류되다가 최근 특이항체가 규명되면서 진단명이 분리되었고, 임상증상에 유사점이 인정되는 점에 비추어 보면, 이 사건 상병의 경우에도 기존에 다발성경화증에 관한 연구에서 관련성이 인정된 교대근무, 자외선 노출 부족 등의 직업적 요인과의 관련성을 인정함이 타당하다고 주장한다.
그러나 앞서 인정한 사실관계 및 갑 제8호증의 기재, 이 법원의 ○○○○○○○○○○○병원장에 대한 사실조회결과에 변론 전체의 취지를 종합하면 인정되는 사정들, 즉 ① 2004년경 시신경척수염의 발병 원인이 되는 특이한 자가항체가 발견되었고, 이후 이 사건 상병에 관한 새로운 진단기준도 제시·정립된 점, ② 여러 연구를 통하여 두 질환 사이에 뚜렷한 임상적 차이점이 발견되었고, 치료 면에서도 뚜렷한 차이를 보이는 점, ③ 이 법원의 ○○○○○○○○○○○병원장에 대한 사실조회에서도 '2016년 기준 다발성경화증 국내 환자 수는 2,600명 정도이고 시신경척수염 환자 수는 370명 정도로, 두 질환을 하나의 질환군으로 본다면 다발성경화증 환자들 중 12.4% 정도가 시신경척수염이었다 볼 것인바, 다발성경화증 질환군에 비교적 소수의 이질적 질환이 섞여 있었던 것이므로 다발성경화증에 대한 기존 연구에서 밝혀진 직업적 요인을 시신경척수염에서도 동일하게 적용하기에는 오류 가능성이 높다고 보인다'는 의학적 소견이 제시된 점 등에 비추어 보면, 원고 주장의 사정들 및 제출 증거들만으로는 이 사건 상병의 직업적·환경적 요인을 다발성경화증의 경우와 동일하게 볼 수는 없으므로, 원고의 이 부분 주장은 받아들이기 어렵다.
3) 그러나 앞서 본 법리에 비추어 이 사건에 관하여 보건대, 앞서 인정한 사실관계 및 갑 제3호증, 갑 제10호증의 2, 갑 제18, 22, 26호증, 을 제4호증의 3의 각 기재에 변론 전체의 취지를 종합하면 인정되는 다음의 사정들에 비추어 보면, 이 사건 상병이 원고의 업무로 인하여 발병하였거나 자연경과적인 진행 속도 이상으로 악화되었다고 추단함이 합리적이라 할 것이므로, 이 사건 상병과 원고의 업무 사이에 상당인과관계가 인정된다고 봄이 타당하다.
가) 유기용제가 신경계 질환의 발병에 영향을 미친다는 것은 의학적으로 확립된 견해로 보이고, 유기용제는 휘발성이고 지질 친화성이 커서 체내에 흡수되면 중추신경계 등 중요 기관을 쉽게 침범하여 그 영향이 매우 강력하다. 원고는 확산, 식각 및 이온주입 공정을 담당하며 설비에 웨이퍼를 투입하고 가공된 웨이퍼를 회수하는 일련의 과정에서 아래와 같은 유기용제 등의 유해물질에 노출되었을 것으로 보인다(원고가 근무하였던 1998년부터 2005년까지 기간 동안의 작업환경, 즉 유해인자의 종류 및 노출 수준 등에 관하여 이를 객관적으로 확인할 수 있는 자료는 없다. ○○○학교 산학협력단의 2009년도 반도체 사업장 위험성 평가 당시 ○○○○에서 2001년부터 2006년까지의 작업환경측정결과를 제출하기는 하였으나, 이를 뒷받침할 객관적·구체적 자료는 제출되지 않은 것으로 보이고, 달리 위 결과의 신빙성에 관하여도 별다른 검토가 이루어지지 않은 것으로 보인다. 따라서 원고의 유해인자 노출에 관하여는 앞서 본 나.의3)항과 같은 원고의 근무기간 이후의 것들로서 남아있는 측정자료와 연구자료에 의하여 추정할 수 밖에 없다. 그리고 위 측정자료들과 연구자료들은 원고의 근무기간과 사이에 상당한 시간적 간격이 존재하는바, 변화와 발전의 속도가 빠른 첨단산업인 반도체 산업의 특성과 그와 더불어 유해화학물질의 문제점에 관한 인식이 점차 높아지고 작업환경의 관리가 강화되어 온 점, 원고가 근무한 1990년대 후반경에는 설비의 자동화가 이루어지지 않은 부분들이 비교적 많았을 것으로 보여 케미컬 체인지 등의 업무를 수동으로 수행하는 빈도도 높았율 것으로 보이는 점 등을 고려할 때, 원고의 근무기간 동안의 유해화학물질의 노출 및 그 정도는 관련 연구들에 의하여 확인되는 정도보다 중대하였을 것으로 추단함이 상당하다).
① ○○○학교 산학협력단의 2009년 보고서에 의하면, 확산공정에서는 아르신, 염소, 과산화수소, 황산, 인산, 염산, 불산, 질산, IPA, 포스핀 등이 검출되었고, 식각 세척 공정에서는 초산, 아세톤, 과산화수소, 황산, 인산, 염산, 불산, 질산, IPA, 암모니아 등이 검출되었다. 또한 원고가 확산 및 식각 공정에 사용한 것으로 보이는 BOE 용액의 구성성분 중 TRITOM X-100은 물질안전보건자료상 미량이지만 산화에틸렌이 포함될 수 있기 때문에 적절한 환기상태에서 취급하도록 주의하고 있는데, 산화에틸렌은 ○○○연구소가 그룹1의 발암물질로 지정하고 있는 물질이다. 원고는 작업 중 수시로 IPA. 아세톤, 시너 등의 유기용제를 사용하여 작업장이나 설비에 묻은 화학물질을 닦아 내며 상시적으로 유기용제에 노출되기도 하였다.
② ○○○○○○연구원의 2012년도 연구결과에 의하면, 포토공정에서 사용되는 감광액(PR)이 열이나 빛에 의하여 분해되면서 벤젠, 톨루엔, 크실렌, 페놀 등의 유기용제가 발생할 수 있는데, 식각공정 중에는 감광액이 모두 제거되지 않은 상태로 세척작업에 전달된 웨이퍼도 있었을 것으로 보이며, 이러한 감광액 성분이 강산 등에 분해되면서 벤젠 등의 휘발성 유기물질과 유해 부산물이 발생할 수 있다. 특히 원고는 수동설비에서도 세척작업을 한 것으로 보이는바, 직접 웨이퍼를 넣고 꺼내면서 웨이퍼에 잔류한 유해물질에 직접적으로 노출되었을 것으로 보인다.
③ 확산공정에서 화학적 반응을 통해 웨이퍼 표면에 박막을 형성시키는 과정에서 수소, 염산, 불산 등 다양한 부산물이 발생할 수 있다.
④ 이온주입 공정에서는 아르신, 삼염화붕소, 포스핀 등을 공급한 후 이온화시키는 과정에서 다양한 형태의 부산물(아르신의 경우 아르신 이온, 비소 이온, 중성의 비소 등)이 발생할 수 있다.
⑤ ○○○○○○연구원의 2012년도 보고서에는 ○○○○ 웨이퍼 가공 라인에서 포름알데히드, 아르신, 불산, 염산, 질산, 황산 등이 검출되었다는 결과가 있는데, 이 중 포름알데히드, 아르신, 황산은 ○○○연구소에서 인간에게 암을 일으킨다는 증거가 충분한 물질(그룹1)로 분류하고 있고, 나머지 물질도 피부나 호흡기 등에 자극성이 있는 물질이다.
나) 원고가 근무한 3라인은 Open bay 방식 공조로 공정 간 구분이 없이 전체적으로 공기를 순환시키는 구조였고, 좁은 공간에 여러 공정의 설비가 붙어 있었으며, 오퍼레이터들은 자신의 담당 베이에만 머물면서 작업하는 것이 아니라 작업 물량을 확보 하거나 자신의 담당 공정이 완료된 물량을 다음 공정에 제공하기 위하여 웨이퍼를 가지고 수시로 다른 베이도 왕래하였던 것으로 보인다. 여기에 외부 공기의 유입은 제한하고 내부적으로 공기를 재순환 시키는 클린룸 시스템으로 작업장 내에서 발생한 유해화학물질이 외부로 빠져 나가기 어려운 특성이 있었던 점을 더하여 보면, 원고 등 근로자들은 다른 공정에서 발생하는 유해화학물질에도 항시 노출되었을 것으로 보인다.
다) 비록 원고와 같은 오퍼레이터의 경우 유해인자 발생설비 등이 통상 밀폐되어 있어 설비의 정상 운전에서는 높은 노출이 일어나지 않고 이들을 대상으로 한 유해인자의 노출 수준이 노출기준에 크게 미치지 못하는 것으로 보이기는 한다. 그러나 근로자가 저농도의 유해물질이더라도 지속적으로 장기간 노출될 경우 건강상 장애를 초래할 개연성이 있고, 노출기준은 단일물질의 노출을 전제로 설정된 것인데 여러 유해물질에 복합적으로 노출될 경우 유해요소들이 서로 상승작용을 일으켜 질병 발생 위험이 높아질 가능성 또한 존재한다. 특히 원고는 17세의 어린 나이부터 유기용제 등 화학물질 노출에 대한 보호구가 갖추어지지 못한 상황에서 앞서 본 바와 같은 여러 유해화학물질에 지속적으로 노출되었다.
라) 특히 앞서 본 유해물질의 낮은 노출수준은 설비의 정상 작동을 전제로 한 것이고, 통상의 작업환경 측정은 상·하반기 중 일정한 시기를 정하여 해당 기간 동안 각 공정, 작업장소별로 1회 측정하는 방법으로 이루어지며, 일부 물질들을 대상으로만 노출 여부가 측정되므로 작업환경 측정 결과는 실제 노출기준을 반영하는데 한계가 있다. 또한 반도체 사업장에서는 아래와 같은 여러 가지 설비의 비정상적 운용 상황이 발생하고, 그 과정에서 작업자들은 고농도의 유해화학물질에 급성으로 노출될 우려가 크다.
① 반도체 사업장에서는 다양한 장비를 현장 내에서 개방하고 점검 및 정비하는 작업이 규칙·불규칙적으로 실시된다. 이러한 작업시 장비 내 세척액, 잔류가스, 부산물 등이 공정 내로 유입될 가능성이 있고, 이는 작업자의 노출에 상당히 큰 영향을 준다. ○○○○○○연구원의 2012년 보고서에서도 '장비 분해를 포함한 PM 작업시의 아르신 농도가 ○○○○ 8인치 가공 라인의 경우 4.17ppb이고, 다만 이는 전체 작업시간 372분에 대한 것으로 대상 근로자가 실제로 PM 작업을 한 30분 동안의 농도는 4.17ppb의 수배 이상이 될 것으로 판단된다'는 점을 지적하고 있기도 하다.
② 설비에서의 가스누출로 인한 노출 또한 중대한 요소에 혜당한다. 3라인은 1984년경 신설되어 원고가 근무를 시작하였을 당시 이미 13년 이상 경과하여 노후화가 많이 진행되었던 설비로 잦은 가스누출사고가 있었을 것으로 보이고, 누출사고 후에는 근로자들이 누출된 화학물질을 아세톤, IPA 등의 유기용제를 이용하여 직접 닦아 내야 했다. 또한 라인 정전시에도 공조시스템이 멈추기 때문에 particle이 발생할 수 있어 정전 사고 이후 근로자들은 아세톤, IPA 등을 이용하여 웨이퍼에서 particle이 검출되지 않을 때까지 반복적으로 장비들을 닦아야 했다.
③ ○○○○ 반도체 공장의 유해화학물질 누출관리는 2007년경에야 실시되었고, 그 이전에는 유해물질 누출관리가 이루어지지 않았던 것으로 보이는데, 2009년 2월부터 같은 해 7월까지 6개월 동안 발령된 가스 감지기 경보만 하더라도 46건에 이르고, 누출 물질, 시간 및 농도 수준이 위험한 정도에 이르는 경우도 존재하였다.
④ 자동설비에는 인터락 장치가 부착·밀폐되어 있었으나, 원고를 비롯한 오퍼레이터들은 업무효율을 위하여 인터락을 해제하고 설비 내부를 식히는 시간 등을 단축하는 방법으로 공정을 빨리 진행하기도 하였다.
마) 국내에서 2016년 기준 이전 3년 간 질병관리본부 임상네트워크에 등록된 시신경척수염 환자 370명의 평균 나이는 41.6세이고, 해외 연구에 나타난 시신경척수염의 평균시작연령은 39세인데, 원고는 이보다 훨씬 어린 24세의 나이에 이 사건 상병이 발병하였다. 또한 원고는 입사 전 건강에 별다른 이상이 없었고, 이 사건 상병과 관련한 병력이나 가족력도 없었던 것으로 보인다.
바) 원고는 8년 가량의 근무기간 동안 계속하여 교대근무를 수행하였고, 초과근무수당의 지급 내역에 비추어 볼 때 상당한 초과근무를 수행한 시기도 확인된다. 위와 같은 근무 형태가 이 사건 상병을 유발하는 직접적인 원인이 되었다고 볼 만한 근거는 없으나, 불규칙한 수면과 생체리듬의 혼란, 업무상 과로나 스트레스가 원고의 면역력 약화에 영향을 미침으로써 이 사건 상병의 발병이나 진행을 촉진하는 하나의 원인으로 작용하였을 가능성을 배제할 수 없다.
사) 앞서 본 바와 같이 희귀질환인 이 사건 상병의 특성상 발병 원인에 관한 환경적 또는 직업적 원인을 찾고자 하는 연구가 전무한 실정이기는 하다. 그러나 근로 현장에서 발생할 수 있는 ○○○○○○상의 위험을 사업주나 근로자 어느 일반에게 전가하는 것이 아니라 공적 보험을 통해 산업과 사회 전체가 이를 분담하도록 하는 산업재해보상보험제도의 목적을 고려하여 보면, 근로자에게 책임 없는 사유로 사실관계나 상병의 발병원인 등이 제대로 규명되지 않은 사정에 관하여 증명책임에 있어 열악한 지위에 있는 근로자에게 불리하게 인정하는 것은 타당하지 않다.
3) 따라서 이와 다른 전제에서 이루어진 이 사건 처분은 위법하다.
3. 결론
그렇다면, 원고의 이 사건 청구는 이유 있으므로 이를 인용하기로 하여, 주문과 같이 판결한다.
판사 판사1