露光方法としては、フォトマスクの像をレンズないしプロジェクションミラーによって転写するプロジェクション方式、及び光学系を使わず、フォトマスクと被転写基板を数十〜数百μmの間隔で近接させて転写するプロキシミティ方式の両方が用いられる。