1955年(昭和30年)から1971年(昭和46年)にかけて三菱重工業、川崎車輛、汽車製造、造機車輌、新潟鐵工所、日本車輌製造、富士重工業、日立製作所にて62両(タキ5000-タキ5049、タキ5160-タキ5171)が製作及び改造編入された。