しかしながら有毒な有機スズ化合物の代替品になりえるともされており、テトラメチルゲルマニウムやテトラエチルゲルマニウムは酸化ゲルマニウム(iv)による化学気相成長(cvd)法を用いたマイクロエレクトロニクス工業において、前駆体として用いられる。