ウェーハ検査工程のテスト装置における主検査装置で、プログラミングに依りlsiチップをテストするための電気的信号(テストパターン)を任意に作り出してlsiチップに印加し、lsiチップからの出力応答を受けて良品の場合の期待値と比較判断し、良否判定やクラス分けを行う機能を持つ測定装置。