さらに1943年6月、第5・第7・第9の各陸軍技術研究所および、第4陸軍航空技術研究所(陸軍航空本部隷下)の各「電波兵器部門」を統合し独立研究機関とした多摩陸軍技術研究所を新設、陸軍大臣直属とした(1945年4月、陸軍航空本部直属に変更)。