超音波霧化現象自体は、19世紀末より知られており、現在では超音波加湿器、超音波霧化機(ネブライザなど)、殺虫スプレーや石油ファンヒーター、食品・肥料・塗料の噴霧乾燥、除菌、消臭、アロマテラピーなど、幅広い分野で使用される技術である。