bluuebunny/crossref_metadata_2025_split huggingface dataset:
LASMA: Laser‐Massenanalysator
Authors: Schmitt Christoph , Schmiedel Hans 
Published: July 2007

AbstractDie Stärken der Laser‐Massenspektrometrie liegen in ihrer Schnelligkeit und Mobilität. Als typische Multielementmethode erlaubt sie eine einfache Elementübersicht einer Probe bei recht einfacher Probenvorbereitung.Basierend auf dieser Methode ist LASMA (LASer Mass Analyser) ein robustes Gerät welches zudem für den Betrieb nur elektrische Energie in der Größenordnung von 1 kW benötigt. Damit ist es ideal für den Vor‐Ort‐Einsatz. In der Umweltanalytik hat das Gerät seine Stärken im Bereich der Screening‐Untersuchungen. Selbst organische Verunreinigungen lassen sich anhand des Kohlenstoff‐, Sauerstoff‐oder Chlornachweises verfolgen bzw. eingrenzen. Die einzigartige Kombination von Mikroskop und Massenspektrometer ermöglicht eine breite Palette von Anwendungen insbesondere im Bereich der Fehlstellenanalytik. Selbst chemischen Methoden schwer zugängliche Matrices wie Keramiken oder Gläser lassen sich mit dem Gerät ohne große Probleme analysieren.Ist damit das LASMA‐Gerät ein Universalgerät oder der Stein der Weisen? Sicher nicht, es hat ‐wie jedes andere Gerät‐ seine ganz speziellen Anwendungsbereiche. LASMA analysiert ortsaufgelöst, d.h. es wird ein Volumen von ca. 30 μm Durchmesser und einer Dicke von ca. 0.1 μm analysiert. LASMA kann und will nicht wie bei der Atomabsorbtionsspektrometrie (AAS) den Anteil eines Elementes in einer großvolumigen Probe von mehreren Gramm feststellen, wobei dort natürlich ein Mittelwert über die gesamte Probe gemessen wird. Gerade durch die Ortsauflösung des LASMA wird die phantastische Möglichkeit eröffnet, Inhomogenitäten in einer Probe aufzuspüren. LASMA ersetzt nicht bewährte Methoden, sondern ergänzt sie.
Plasmaunterstütztes Aufdampfverfahren eröffnet neue Perspektiven in der Brillen‐ und Feinoptik
Authors: Zöller Alfons 
Published: July 2007

AbstractEin plasmaunterstütztes Aufdampfverfahren zur Herstellung optisch wirksamer dünner Schichten führt bereits bei niederen Substrattemperaturen zu hervorragenden Schichteigenschaften. Anhand der Untersuchungen von Einzelschichten im Vergleich zum konventionellen Verfahren wird der physikalische Effekt, welcher zur Verbesserung der Schichteigenschaften führt, verdeutlicht. Bei der Beschichtung von Kunststoff‐Brillengläsern wird die Durchlaufzeit bei Sicherstellung einer hohen Qualität des Endproduktes drastisch reduziert. Die Herstellung extrem temperaturstabiler Interferenzfilter für die Glasfaserübertragungstechnik demonstriert die Leistungsfähigkeit dieser noch relativ neuen Technik.
Optisch dünne Schichten aus Sicht eines Anwenders
Authors: Terhürne Jörg 
Published: July 2007

AbstractOptisch dünne Schichten finden u.a. in der Feinoptik Anwendung. Insbesondere ist ihre Wirkung bei mehrlinsigen optischen Systemen wichtig. In speziellen Anlagen werden Materialien verdampft, die auf Substraten zu dünnen Schichten kondensieren. Aber auch die Arbeitsschritte Reinigen vor und Glätten nach dem Aufdampfen gehören zum Ablauf einer Dünnschichtfertigung. Die Vorteile der ionenunterstützten Beschichtung führen dazu, daß dieses Aufdampfverfahren zunehmend die konventionelle Bedampfung von geheizten Substraten ablöst (siehe auch [1]).
Meßmethoden der modernen Oberflächen‐ und Dünnschichtanalytik
Authors: Bartella Joachim 
Published: July 2007

AbstractOberflächen‐ und Dünnschichttechnologie benötigen Meßverfahren, um die Zusammensetzungen nur nanometerdicker Bereiche mit höchster Genauigkeit bestimmen zu können. Moderne kommerziell erhältliche Verfahren erlauben Stöchiometriebestimmungen mit ppb‐Empfindlichkeit, Bestimmung des chemischen Bindungszustandes oder Messung von Elementverteilungen. Die Tiefenprofilanalytik ermittelt den Aufbau komplexer Vielschichtsysteme auch bei analytisch schwierigen Proben wie elektrischen Isolatoren oder thermisch empfindlichen Kunststoffen.
Die Flüssigkeitsring‐Vakuumpumpe als verfahrenstechnische Maschine
Authors: Teifke Jürgen 
Published: July 2007

AbstractFlüssigkeitsring‐Vakuumpumpen werden in der verfahrenstechnischen Industrie sehr vielfältig eingesetzt. Hierbei stehen zunächst die Förderung von Gasen und Dämpfen sowie die damit verbundene Herstellung einer Druckdifferenz im Vordergrund des Interesses. Selbstverständlich findet in Flüssigkeitsring‐Vakuumpumpen aber auch ein Wärme‐ und Stoffaustausch zwischen den zu fördernden Gasen und Dämpfen auf der einen und der Betriebsflüssigkeit auf der anderen Seite statt. Dieser Wärme‐ und Stoffaustausch kann gezielt für verfahrenstechnische Grundoperationen eingesetzt werden. So können in diesem Pumpentyp neben den Hauptaufgaben Fördern und Verdichten auch gezielt Wärmeaustausch, Kondensation/Verdampfung, Absorption/Desorption sowie chemische Reaktionen durchgeführt werden.
Sicherheitnorm DIN EN 1012 – 2 für Vakuumpumpen und VBG 16
Authors: Henning H. 
Published: July 2007

AbstractIm Juli 1996 hat der Normenausschuß Maschinenbau die Norm DIN EN 1012 Kompressoren und Vakuumpumpen – Sicherheitsanforderungen Teil 2: Vakuumpumpen veröffentlicht [1] als Umsetzung der Europäischen Norm EN 1012 – 2 in eine nationale. Der deutsche Text von EN 1012 – 2 erschien nur 3 Monate früher. Er ist ohne Änderung in die nationale Norm übernommen. Teil 1 behandelt die Kompressoren zur Verdichtung von Gasen auf Drücke über 1bar. DIN EN 1012 – 2 ist eine Sicherheitsnorm, eine Umsetzung der allgemeinen Richtlinie des Rates der Europäischen Gemeinschaft zur Sicherheit von Maschinen 89/392/EWG vom 14.6.89 mit Änderung 91/368/EWG vom 20.6.91, der sogenannten Maschinenrichtlinie (MR) [2], in eine Norm zur Anwendung auf eine bestimmte Maschinengruppe, in diesem Fall auf die Vakuumpumpen. Damit steht diese Norm in Konkurrenz zur Unfallverhütungsvorschrift Verdichter (VBG 16) [3], in der ebenfalls Gefährdungen und Sicherheitsmaßnahmen behandelt werden.Es ist deshalb nötig, zunächst kurz auf die MR einzugehen und dann ihren Zusammenhang mit DIN EN 1012 – 2 zu erläutern. Danach wird die Position der VBG 16 erklärt, und schließlich werden Aufbau und Inhalt der Norm DIN EN 1012 – 2 behandelt.
Geräuschberechnungen zur Gestaltung kavitationsarmer Flüssigkeitsringpumpen
Authors: Dittmar R. 
Published: July 2007

AbstractEs wird eine Berechnungsmöglichkeit für Kavitationsgeräusche vorgestellt und für Wasserringpumpen angewandt.Der Einfluß von hydraulischen und konstruktiven Parametern wird deutlich. Auftretende Konstanten werden für jeweils geometrisch ähnliche Maschinen experimentell bestimmt. Die Beziehungen gestatten eine Berechnung der Schallpegel bei anderen Betriebszuständen und geometrisch ähnlichen Pumpentypen. Sie geben Hinweise auf eine Reduzierung des Kavitationsgeräusches.Durch geeignete konstruktive Maßnahmen ist es möglich, Kavitation und kavitationsbedingte Geräusche beträchtlich zu vermindern.
Gasflußmessung mit Blenden und Düsen
Authors: Jitschin W. , Ronzheimer M. 
Published: July 2007

AbstractEin Gasstrom durch eine Rohrleitung kann dadurch gemessen werden, daß in die Leitung eine Engstelle (Drosselelement) eingebaut wird und der entstehende Druckabfall (Wirkdruck) erfaßt wird. Für den Fall idealer Bedingungen kann der Zusammenhang zwischen Gasdurchfluß und Wirkdruck exakt ausgerechnet werden. In der praktischen Anwendung treten allerdings störende Effekte auf. Die verschiedenen Drosselelemente (Blende, Düse, Staurohr) zeigen unterschiedliches Verhalten. Im Labor für Vakuumtechnik der Fachhochschule in Gießen wurden Meßstrecken zur Durchflußmessung nach dem Wirkdruckprinzip aufgebaut. Deren Charakteristik wurde durch Kalibrierung mit primären Verfahren bestimmt. Es stehen Meßmöglichkeiten für Durchflüssee im Bereich von 10−7 bis 105 mbar · l/s zur Verfügung.
Mechanische Druckbestimmungen mit Turbopumpen
Authors: Reimer P. , Schittko F. J. , Vorzepf J. , Zettelmeyer Th. 
Published: July 2007

AbstractBei Untersuchungen an einer TMP 340 M haben sich einige nützliche sehr einfache Zusammenhänge herausgestellt. Bei abgeschaltetem Antrieb fällt die Rotordrehfrequenz f proportional zur Zeit t: f(t) = f0 − αt. Dabei ist α abhängig vom Gasdurchsatz Q und vom Vorvakuumdruck pvv. Eine lineare Beziehung gilt auch für die Vorvakuumabhängigkeit von

.Die Konstante m hängt exponentiell vom Verhältnis der Tangentialgeschwindigkeit ut des Pumpenrotors zur wahrscheinlichsten thermischen Geschwindigkeit cw der Moleküle ab. Die Gleichung

bringt die Linearisierung des Zusammenhangs mit dem gleichen Argument, von dem auch das Kompressionsvermögen der Turbopumpen allgemein abhängt. Dabei enthält die Konstante Γ u. a. den Einfluß von Geometriefaktoren der Turbopumpe. Diese Beziehung gilt für den Bereich der relativen Molekülmassen: 2 ⩽ M ⩽ 130. Mit Hilfe von – Δf/Δt und m lassen sich Pumpenleistungen berechnen sowie einfache Beziehungen zwischen den Drücken und dem Gasfluß herstellen.
Herstellung von Niedertemperaturoxiden (SiO2) im Ultrahochvakuum mit plasma‐ bzw. ozongestütztem Aufdampfverfahren
Authors: Neubecker A. , Strass A. , Hansch W. , Eisele I. 
Published: July 2007

AbstractDünne SiO2‐Filme wurden bei Raumtemperatur auf Si mit plasma‐ und ozon‐unterstützter Verdampfung in einer UHV‐Kammer abgeschieden und mittels Ellipsometrie, Augerelektronenspektroskopie und elektrischen Messungen charakterisiert. Während die elektrischen und stöchiometrischen Eigenschaften gut mit thermisch gewachsenem SiO2 übereinstimmen, müssen die elektrischen Eigenschaften im Hinblick auf geringere mobile Ladungsträgerdichte und geringere Grenzflächenzustandsdichte optimiert werden.
Bestimmung der Gasabgabe von nichtmetallischen Werkstoffen für den Einsatz im Ultrahochvakuum (UHV)
Authors: Pauly Fred , Schröder Gerald , Filho João da Cruz Payão 
Published: July 2007

AbstractWird ein Festkörper in einen evakuierten Raum gebracht, gibt er mehr oder weniger viel Gas in unterschiedlicher Zusammensetzung ab. Literaturdaten für Gasabgaberaten sind für etablierte Werkstoffe zwar vorhanden aber aufgrund der verschiedenen Meßverfahren und ‐aufbauten nur bedingt miteinander vergleichbar. Selten findet man neben quantitativen Daten auch eine qualitative Untersuchung der desorbierenden Stoffe. Für neue Produkte sind diese Daten in vielen Fällen noch nicht verfügbar. Deshalb wurde zur Untersuchung des Ausgasungsverhaltens von nichtmetallischen Werkstoffen und Sonderbauteilen unter Ultrahochvakuum‐Bedingungen eine rechnergesteuerte Experimentier und Meßeinrichtung im Forschungszentrum Jülich erstellt.Nachfolgend werden die Funktionsweise und der Aufbau dieser Apparatur kurz vorgestellt. An einem Beispiel werden, stellvertretend für die bisher durchgeführten Messungen, die gewonnen Ergebnisse diskutiert.
Vakuumpumpenöle für Dreh‐/Sperrschieberpumpen und Wälzkolbengebläse im Vergleich
Authors: Willuweit Klaus B. 
Published: July 2007

AbstractNeue Prozesse, veränderte, teilweise erschwerte Betriebsbedingungen, schärfere Umweltauflagen usw. stellen an die Vakuumpumpe immer höhere Anforderungen. Sieht man einmal von Anwendungen mit ölfreien Anlagen ab, so ist die Auswahl des richtigen Schmierstoffs für den jeweiligen Prozeß von größter Wichtigkeit im Hinblick auf einen störungsfreien Betrieb und die Werterhaltung der Maschinen. Die nachfolgende Betrachtung vergleicht Vakuumpumpenöle auf Basis unterschiedlicher Grundöle miteinander und schildert die Lösung einiger Anwendungsfälle mit Hilfe von Ester‐ und Polyalphaolefin‐Ölen.
Pharmazeutische Gefriertrocknungsanlagen
Authors: Heldner Manfred 
Published: July 2007

AbstractEs wird ein Überblick über die physikalischen und prozeßtechnologischen Belange während des Gefriertrocknungsprozesses gegeben.Unter Gefriertrocknung versteht man die schonende Trocknung von gefrorenem Produkt unter Vakuum bei Temperaturen unterhalb des Gefrierpunktes.Entscheidend für die Qualität des getrockneten Endproduktes ist, auch unter Beachtung wirtschaftlicher Gesichtspunkte, immer die Auslegung und Abstimmung der individuellen Anlagenkomponenten unter Beachtung der für den Produktionsablauf erforderlichen Peripherieprozesse. So beeinflussen die in den letzten Jahren stetig wachsenden Forderungen nationaler und internationaler Gesundheits‐ und Aufsichtsbehörden in bezug auf Sterilität und Sicherheit gegen Kontamination den Produktfluß auch im Umfeld von Gefriertrocknungsanlagen. Hier gilt es, das Kontaminationsrisiko „Mensch”︁ im Sterilbereich u. a. durch Einsatz von automatischen Be‐ und Entladesystemen zu reduzieren. Eine aseptische Produktherstellung setzt die Einhaltung von Reinraumbedingungen „Klasse 100”︁ voraus.Anhand des Überblickes wird gezeigt, daß die Gefriertrocknung – und hier vor allem die den Produktionsablauf stark beeinflussende Peripherietechnologie – einem stetigen Verbesserungsprozeß unterliegt.Eine Substitution der Gefriertrocknungstechnologie durch andere Verfahren ist auch in Zukunft nicht zu erwarten.
Sekundärneutralteilchen‐Massenspektrometrie SNMS – derzeitiger Stand und weitere Entwicklungen
Authors: Bock W. , Kopnarski M. , Oechsner H. 
Published: July 2007

AbstractNach einem Rückblick auf die Entstehungsgeschichte der auf der Nachionisation in einem heißen Elektronengas basierenden Methode der Sekundärneutralteilchen‐Massenspektrometrie SNMS werden deren prinzipielle Eigenschaften erläutert und denen anderer Verfahren der modernen Oberflächenanalytik gegenübergestellt. Die einfache und zuverlässige Quantifizierbarkeit der SNMS‐Signale, die niedrigen Nachweisgrenzen und die hohe Tiefenauflösung der Methode werden von den Grundlagen her beschrieben und anhand ausgewählter Anwendungsbeispiele aufgezeigt. Bei den neueren methodischen Entwicklungen wird vor allem auf den Hochfrequenzmodus HFM eingegangen, mit dem die vorteilhaften Eigenschaften der konventionellen direkten Beschußmethode von SNMS auch auf die Analyse nichtleitender Probenstrukturen übertragen werden. Eine neue Generation von SNMS‐Geräten soll als Option die in situ‐Anwendung der röntgenstrahlinduzierten Photoelektronenspektroskopie XPS ermöglichen.
Aktuelle Applikationsfelder der Hochleistungs‐Elektronenstrahltechnik
Authors: Lenk P. 
Published: July 2007

AbstractHochleistungs‐Elektronenstrahlen für industrielle Vakuumprozesse sind seit den sechziger Jahren bis in den MW‐Bereich verfügbar. In der Metallurgie der reaktiven und refraktären Metalle haben sie heute ihren festen Platz. Neue Applikationsfelder sind das Großflächenbeschichten von Metallbändern mit optischen Schichtsystemen sowie das Herstellen von Thermo‐Barriere‐Schichten für Gasturbinenkomponenten durch EB‐PVD‐Technologien (Electron Beam‐Physical Vapor Deposition). An der Vormachtstellung des Elektronenstrahls auf diesen Gebieten hat auch die Lasertechnik nichts ändern können.
Neuere Entwicklungen auf dem Gebiet der Vakuumbogenbeschichtung
Authors: Schultrich B. , Siemroth P. , Vetter J. , Zimmer O. 
Published: July 2007

AbstractSchätzungsweise mehrere Millionen Werkzeuge und Bauteile werden monatlich mit Hartstoffen mittels kathodischer Vakuumbogenverdampfung beschichtet. Zumeist steht dabei der Verschleißschutz im Vordergrund, aber auch dekorative‐ und Oxydationsschutzbeschichtungen haben einen beachtlichen Stellenwert erlangt. Neben dem klassischen TiN kommt mittlerweile eine ganze Palette von Schichtsystemen für verschiedene Anwendungsfälle zum Einsatz. Jüngste Entwicklungen zielen sowohl auf die bessere Anpassung der Schicht‐Substrat‐Verbünde an die entsprechenden Einsatzbedingungen, als auch auf die Beschichtung von Substratmaterialien, die in der Vergangenheit nicht beschichtet werden konnten. Das betrifft vor allem Stoffe, die thermisch nur wenig belastet werden können. Diese Entwicklung geht einher mit der ständigen Vervollkommnung der Anlagentechnik. Beschichtungsanlagen von Tischgröße bis hin zu mehreren Metern Bearbeitungslänge mit vollautomatischer Prozeßführung stehen zur Verfügung.
Das Quadrupol‐Massenspektrometer als Prozeßmonitor
Authors: Lohe Christoph 
Published: July 2007

AbstractProzeßmonitore sind eine Weiterentwicklung von Quadrupol‐Massenspektrometern für den Einsatz bei technologischen Prozessen bis hin zu Atmosphärendruck. Neben den klassischen Anwendungen wie der Restgasanalyse und Lecksuche ist der Prozeßmonitor in der Lage, eine Produktionsanlage zu qualifizieren und Fehlerquellen schon während der Prozessierung aufzudecken. Durch den Einsatz der differentiellen Pumptechnik in Verbindung mit geschlossenen Ionenquellen erreicht der Prozeßmonitor eine Empfindlichkeit bis in den sub‐ppm Bereich, eine wichtige Voraussetzung für z. B. die Kontaminationskontrolle bei kritischen Halbleiterprozessen. Moderne Prozeßmonitore zeichnen sich durch einen hohen Automatisierungsgrad aus, die ein aktives Eingreifen in den Produktionsablauf erlaubt. Eine integrierte statistische Auswertung, eine Vernetzung zu Produktions‐ und Anlagencomputern bei sehr einfacher Bedienung über Meßrezepte sind weitere Voraussetzungen, die den erfolgreichen Einsatz von Prozeßmonitoren zur Erhöhung der Produktionsausbeute ermöglicht.
Nutzen des Einsatzes von modernen Refrigerator‐Kryopumpen in industriellen Prozessen sowie in der Forschung
Authors: Müller D. , Voss G. 
Published: July 2007

AbstractDem Leser wird die Funktionsweise moderner Kryopumpen erläutert inklusive der Pumpprozesse und der verschiedenen Regenerier‐Verfahren. Anhand charakteristischer Eigenschaften von Kryopumpen erhält der potentielle Anwender einen Leitfaden zur Bewertung, ob diese Pumpen in seinem speziellen Vakuum‐Prozess nutzbringend eingesetzt werden können.
Vakuumbeschichtung – Heutiger Stand und zukünftige Trends
Authors: Bräuer G. , Eckhardt M. 
Published: July 2007

AbstractDünne Schichten haben unsre Welt verändert. Viele Produkte unseres modernen Lebens, wie z. B. Personal Computer, Compakt Disks oder energiesparende Architekturglasbeschichtungen gäbe es ohne die Vakuumbeschichtungstechnologie nicht.Während der letzten 20 Jahre haben sich PVD‐ und PECVD‐Verfahren zur Erzeugung dünner Schichten in einer riesigen Vielzahl verschiedener Anwendungen etabliert. Neben der Mikroelektronik gehören in der nahen Zukunft die flachen Bildschirme, Datenspeicher Optik/Glas‐Beschichtung zu ihren Hauptfeldern.Der folgende Beitrag zeigt die augenblickliche Marktsituation auf und versucht den derzeitigen Stand und zukünftige Trends der Vakuumbeschichtungstechnologie an hand einiger ausgewählter Beispiele zu charakterisieren.
Moderne Aufdampfmaterialien für optische Anwendungen
Authors: König Friedrich 
Published: July 2007

AbstractDas Verfahren der physikalischen Dampfabscheidung (PVD) hat sich in den letzten 60 Jahren von seinen Ursprüngen zu einer breit eingesetzten Beschichtungstechnik entwickelt. Dabei ist die ursprüngliche Methode, das Aufdampfen, auch die bevorzugte Methode für das ursprüngliche Anwendungsgebiet, die Optik, geblieben. Mit der technischen Entwicklung und der Zunahme der Anwendungen wuchsen auch die Forderungen nach einer größeren Auswahl an Beschichtungsmaterialien. Gleichzeitig mußte die Qualität der Materialien mit den Veränderungen der Verfahrenstechnik und mit der wachsenden Produktivität der Anlagen schritthalten. Obwohl die Auswahl an geeigneten Aufdampfsubstanzen vergleichsweise gering ist, können die Labors der Materiallieferanten auch heute nicht über einen Mangel an Arbeit klagen. Neue Anwendungen der Aufdampftechnik auch außerhalb der Optik und die bisher nur an wenigen Beispielen aufgezeigten Möglichkeiten organischer Verbindungen lassen im Gegenteil die Anzahl der Entwicklungsthemen ansteigen. Der folgende Aufsatz beschreibt Anforderungen, Entwicklung und Trends für Aufdampfsubstanzen aus der Sicht eines Materialherstellers.
Das Vakuumsystem der TOSKA‐Spulentestanlage
Authors: Herz W. , Jitschin W. 
Published: July 2007

AbstractFusionsreaktoren verwenden zum Einschluß des Plasmas hohe Magnetfelder, die durch supraleitende Spulen erzeugt werden. Die für den zukünftigen Reaktor ITER benötigten Spulen haben eine Größe von ca. 18 m × 10 m. Ihre Konstruktion ist eine technische Herausforderung: der Spulenkörper unterliegt einer großen mechanischen Beanspruchung infolge der magnetischen Kräfte und erheblichen thermischen Spannungen infolge der Abkühlung auf 4,2 K. Dennoch muß die Spule absolut dicht sein, und es darf kein Kältemittel Helium austreten. Im Forschungszentrum Karlsruhe werden Prototypen der Spulen im Betrieb unter Hochvakuum getestet. Der Prüfbehälter hat ein Volumen von 170 m3. Er wird von einer Öl‐Diffusionspumpe mit einem Nennsaugvermögen von 16 000 l/s gepumpt. Zum Vorpumpen und Evakuieren des Behälters dient ein Pumpstand mit einer Wälzkolben‐ und einer Drehschieberpumpe. Das verfügbare effektive Saugvermögen der Diffusionspumpe wurde mit zwei Verfahren gemessen: mittels des sich einstellenden Gleichgewichtsdrucks bei Einspeisung eines beständigen Gasstroms und mittels der zeitlichen Abnahme des Drucks beim Abpumpen. Die Meßwerte ergeben ein effektives Saugvermögen von ca. 2 000 l/s. Hauptgrund für das verglichen zum Nennsaugvermögen kleine effektive Saugvermögen sind die hohen Strömungsverluste in den zwischengeschalteten Anschlußbauteilen und Dampfsperren. Wird die Heizleistung der Diffusionspumpe halbiert, nimmt das effektive Saugvermögen nur geringfügig ab, während die maximale Saugleistung auf ein Drittel fällt.
Großflächige Beschichtungen mit der mikrowellenangeregten Plasmapolymerisation
Authors: Michaeli W. , Fonteiner I. , Dahlmann R. 
Published: July 2007

AbstractDie Bedeutung moderner Dünnschichttechnologie zur Veredelung der Oberfläche klassischer Werkstoffe hat in den letzten Jahren ständig zugenommen. Dünnschichttechnologien nutzen vorwiegend vakuum‐, plasma‐ und ionentechnische Prinzipien zur Schichtabscheidung beziehungsweise Oberflächenmodifikation. Im Bereich der Dünnschichttechnologie wird mit der Plasmapolymerisation zukünftig ein Verfahren eine wichtige Rolle spielen, an dem im IKV bereits seit Jahren intensiv gearbeitet wird.Die Plasmapolymerisation, ein Vakuumbeschichtungsverfahren auf Niedertemperaturbasis, eignet sich besonders zum Beschichten von Kunststoffen. Spezieller Vorteil ist, daß sich die abgeschiedenen Polymerschichten durch eine gezielte Prozeßführung in ihren Eigenschaften verändern und auf verschiedenste Anforderungen einstellen lassen [1].Hauptmerkmale plasmapolymerisierter Schichten sind:

‐ hoher Vernetzungsgrad,
‐ hohe chemische und mechanische Belastbarkeit,
‐ hohe Dichte,
‐ Mikroporenfreiheit,
‐ amorphe Schichtstruktur,
‐ glatte Schichtoberfläche und
‐ gute Haftung selbst auf unpolaren Oberflächen.
Derartige Schichteigenschaften machen die Plasmapolymerisation für vielfältige Anwendungsgebiete interessant, weil sie eine gezielte Einstellung gewünschter Oberflächeneigenschaften erlaubt.
Vakuumwärmebehandlung im Zweikammerofen
Authors: Wägner Martina , Zieger Björn 
Published: July 2007

AbstractEin Ziel neuester Entwicklungsarbeiten auf dem Gebiet der Vakuumwärmebehandlung ist die Realisierung höherer Abschreckintensitäten. Die Steigerung der Abschreckgeschwindigkeit ermöglicht es, die Palette der im Vakuum härtbaren Werkstoffe auf niedriglegierte Stähle wie Kugellagerstähle, Vergütungsstähle und Einsatzstähle auszudehnen und die Durchärtbarkeit auf größere Querschnitte zu erweitern. Hier bietet die Vakuumtechnik modernster Bauart eine Alternative zu anderen Wärmebehandlungsverfahren wie z.B. der Salzbadhärtung.
Neue Einsatzmöglichkeiten für Strahlpumpen
Authors: Hansen Wolfgang 
Published: July 2007

AbstractStrahlpumpen sind „Pumpen ohne bewegte Teile”︁ zum Fördern, Verdichten oder Mischen von Gasen, Dämpfen, Flüssigkeiten oder Feststoffen. Die Suche nach neuen Anwendungsbereichen sowie die Optimierung von Strahlpumpen erfordern detaillierte Untersuchungen sowohl theoretischer als auch experimenteller Art.Neue Berechnungsprogramme und die praktische Erprobung am Prüfstand bilden die Grundlage für die Weiterentwicklung von Strahlpumpen.