bluuebunny/crossref_metadata_2025_split huggingface dataset:
Robust crossfeed design for hovering rotorcraft
Authors: Catapang David R. , Tischler Mark B. , Biezad Daniel J. 
Published: July 2007

AbstractControl law design for rotorcraft fly‐by‐wire systems normally attempts to decouple the angular responses using fixed‐gain crossfeeds. This approach can lead to poor decoupling over the frequency range of pilot inputs and increase the load on the feedback loops. In order to improve the decoupling performance, dynamic crossfeeds should be adopted. Moreover, because of the large changes that occur in the aircraft dynamics due to small changes about the nominal design condition, especially for near‐hovering flight, the crossfeed design must be ‘robust’. A new low‐order matching method is presented here to design robust crossfeed compensators for multi‐input, multi‐output (MIMO) systems. The technique minimizes cross‐coupling given an anticipated set of parameter variations for the range of flight conditions of concern. Results are presented in this paper of an analysis of the pitch/roll coupling of the UH‐60 Black Hawk helicopter in near‐hovering flight. A robust crossfeed is designed that shows significant improvement in decoupling perfomance and robustness over the fixed‐gain or single point dynamic compensators. The design method and results are presented in an easily used graphical format that lends significant physical insight to the design procedure. This plant precompensation technique is an appropriate preliminary step to the design of robust feedback control laws for rotorcraft.
Loop transfer recovery designs with an unknown input reduced‐order observer‐based controller
Authors: Zasadzinski M. , Darouach M. , Hayar M. 
Published: July 2007

AbstractThis paper presents a new approach to the loop transfer recovery (LTR) in linear multivariable control systems, based on the unknown input reduced‐order observer‐based controller. Two parametrization methods for all unknown input observers are presented; the first one is based on the matrix fraction description (MFD) and the second one is developed in ℋ︁ℋ︁∞. The LTR for both minimum and non‐minimum phase systems are considered. An exact recovery, based on the unknown input observer, is provided for minimum phase systems. For non‐minimum phase systems, an approximate recovery is obtained by minimizing the ℋ︁∞ norm of the recovery matrix.
Vakuumgerechte Werkstoffe und Verbindungstechnik
Authors: Henning Hinrich 
Published: July 2007

AbstractVakuumtechnik beginnt mit der Auswahl der richtigen Werkstoffe. Neben physikalischen Eigenschaften — Gasabgabe, Gasdurchlässigkeit, Dampfdruck — sind auch Bearbeitungs‐ und Verbindungsmöglichkeiten zu beachten. Wo findet der Vakuum‐Techniker genaue Angaben über Stahl‐ und Aluminiumlegierungen, über Oxid, Keramik oder Sonderwerkstoffe? Diese Übersicht soll dem Interessierten helfen, bei Bedarf weitere umfassende Informationen aufzusuchen. Bearbeitungs‐, Reinigungs‐ und Fügeverfahren, Verbindungen der Werkstoffe untereinander sowie Konstruktionsprinzipien für Vakuumbauteile werden in Folgeartikeln behandelt.
Perfluorierte Polyäther Arbeitsflüssigkeiten für Extrembedingungen in der Vakuumtechnik
Authors: Staudacher Werner 
Published: July 2007

AbstractPerfluorierte Polyäther (PFPE) haben sich aufgrund ihrer außergewöhnlichen chemisch‐physikalischen Daten einen festen Platz im Spektrum neuer Technologien gesichert. Moderne Vakuumverfahren bieten PFPE überdurchschnittlich viele Einsatzchancen. Es werden die wichtigsten Eigenschaften und Einsätze erläutert und Hinweise auf die zukünftige Entwicklung gegeben.
Test der molekularen Geschwindigkeitsverteilung im molekularen Bereich durch Vergleich verschiedener primärer Drucknormale
Authors: Jitschin Wolfgang 
Published: July 2007

AbstractDie molekulare Geschwindigkeitsverteilung folgt bekanntlich im viskosen Bereich einer Maxwell‐Boltzmann‐Verteilung. Dagegen kann die Geschwindigkeitsverteilung im molekularen Bereich nicht a priori vorhergesagt werden. Es wird daher die Anwendbarkeit der Maxwell‐Verteilung bei Druckkalibrierungen im molekularen Bereich untersucht. Zu diesem Zweck werden die durch statische und dynamische Expansion von Gasen in Kalibriergefäßen erzeugten Drücke berechnet, wobei eine beliebige Geschwindigkeitsverteilung der Gasmoleküle nach der Expansion angenommen wird. Der durch statische Expansion erzeugte Druck ist proportional zum Erwartungswert (V), der dynamisch erzeugte Druck proportional zum Quotienten (V)/(|Vz|); Vz kennzeichnet die eindimensionale Geschwindigkeitskomponente.Experimentell mit üblichen Kalibriergasen durch statische und dynamische Expansion erzeugte Vakua werden untereinander und mit direkt mit einem Flüssigkeitsmanometer gemessenen Vakua verglichen. Die Meßdaten bieten einen Test für die Erwartungswerte (V) und (|Vz|) im molekularen Bereich. Es ergibt sich innerhalb der Unsicherheiten von weniger als 1% ausgezeichnete Übereinstimmung mit den Werten, die unter Annahme einer Maxwellschen Geschwindigkeitsverteilung berechnet wurden. Hieraus folgt, daß die Maxwellsche Geschwindigkeitsverteilung diese Erwartungswerte auch im molekularen Bereich mit hoher Genauigkeit vorhersagt.
Vakuumpumpen für das Chemielabor
Authors: Gottschlich Uwe 
Published: July 2007

AbstractThe choice of a vacuum pump for the chemical laboratory depends more and more on economical and ecological qualifications. The water jet pump, widespread because of its simple and robust design, can satisfactorily fulfil these qualifications only in a few applications. Rotary vane and diaphragm vacuum pumps are of much more complicated design; the most outstanding assets, however, are that they work without contamination of water; further, they provide a large pumping speed also at low suction pressures.
Kryopumpen im Vergleich zu anderen Hochvakuumpumpen
Authors: Müller Dieter , Sydow Marlis 
Published: July 2007

AbstractWithin the last 10 years, the cryopump was added to the range of the pumps used in the high vacuum and ultra high vacuum fields. The choice of the right pump often turns out to be difficult. One of the reasons could surely be that the user is not often familiar with the properties of the cryopumps. The article is meant to make the reader aware of all possible criteria, which in turn will make it easier for him to make a decision concerning the pump required for the application.The refigerator cryopumps can be used in any application for which hydrocarbonfree vacuum is required as well as a high pumping speed for almost all gases.
New design considerations for vacuum‐systems in thin film processes
Authors: Johnsson Anders , Reichow Jens 
Published: July 2007

AbstractWe can see clear indications that the traditional HV‐Thin Film processes today, to a greater extent than earlier, are conducted in UHV reactors. The reduced background‐pressure makes it possible to produce better layers with less impurities and with sharp interfaces. UHV conditions also bring possibilities of in‐situ analysis. We acknowledge that the advantages are mainly those concerning inorganic device issues. There are also numerous other possibilities for growing organic materials, however this field of science is in an initial stage. In order to exchange practical experience in the field of Vacuum System Design, more contact is needed between the Thin Film Research community and the Nuclear Physics and Surface Analysis Groups.
Abtrennung und Rückgewinnung von organischen Dämpfen aus Abluft mit Hilfe von Membranen Grundlagen über Membranen, Module und Verfahrensauslegung
Authors: Ohlrogge K. , Peinemann K.‐V. , Wind J. 
Published: July 2007

AbstractMembrane technology is finding increasing acceptance in the chemical, petrochemical and pharmaceutical industry to separate gases and vapors. A new development is the separation of organic vapors from off‐gas or process streams. The paper deals with the principle of selective gas permeation, membrane structure, modules and fundamentals of process engineering.
Herstellung von Diamantfilmen aus der Gasphase
Authors: Beckmann R. , Rau Chr. , Schilling U. , Schultheiß E. 
Published: July 2007

AbstractOne of the most growing and spreading application of thin film techniques are the hard coatings. The Institute of microstructure‐technology and optoelectronics (IMO) in Wetzlar as technology service institution is active also in the development of coating processes. Investigations of the surface coating of polymers by SiO2‐like films as well as the development of problem‐oriented TiN coatings have been performed. Recently, the diamond coating from the gas phase has attracted high interest. The article describes the status of diamand coating know‐how in the IMO.
Die Membranpumpe ‐ Entwicklung und technischer Stand
Authors: Bickert Peter , Eckle Franz Josef , Lachenmann Rudolf , Ruster Gerhard 
Published: July 2007

AbstractThe modern diaphragm pump has become a proven device for generating coarse and fine vacuum. The article describes disigns and functions of various construction types as well as state‐of‐the art development and manufacturing. Physical and technical demands have resulted in diaphragm pumps with typical ultimate pressures of 70 to 0,1 mbar and a pumping speed of several m3/h. As an almost chemically resistant pump, the diaphragm pump is used in the chemical laboratory. Combining a diaphragm pump with an oil‐free, not against atmosphere compressing pump, a contamination‐free pump assembly for (ultra‐)high vacuum is obtained which is well suited for coating technology, vacuum metallurgy and semiconductor industry due to its oilfree operation.
Hochskalieren von Plasmaprozessen
Authors: Reuschling R. 
Published: July 2007

AbstractPlasmaverfahren werden meist im kleinen Maßstab erprobt. Zur industriellen Anwendung muß die Prozeßführung hochskaliert werden. Es wird eine Vorgehensweise beschrieben, die auf Theorie‐ und Erfahrungswerten basiert und geplante Experimente mit in‐situ Datenerfassung einsetzt. Als Beispiel dient die plasmaunterstützte Abscheidung aus der Gasphase (PE‐CVD) von amorphem Silizium.
Betriebsanleitungen nach der EG‐Richtlinie „Maschinen”︁
Authors: Ulferts W.‐D 
Published: July 2007

AbstractEuropa nimmt Gestalt an. Nationale Interessen müssen immer mehr europäischen Interessen weichen. Gesetze, Normen und andere Regeln der Technik müssen auf einen gemeinsamen Nenner, einem europäischen Standard gebracht werden. Die EG‐Richtlinie Maschinen ist bereits in einige nationale Richtlinien übernommen worden. Anfang 1995 soll sie die nationalen Richtlinien ersetzen. Spätestens dann müssen auch die technischen Dokumentationen angepaßt werden.
Einsatz des Differenzverfahrens zur Gasabgabemessung kleiner metallischer Proben
Authors: Schindler N. , Schleußner D. , Edelmann Chr. 
Published: July 2007

AbstractA system for the measurement of the outgassing rate using the modified throughput method, the so‐called difference method, was completed by a sample heater to measure the outgassing of small metal samples at elevated temperatures. It was shown that by this modification the limitation of measuring range can be diminished up to two decades. The problems in similar measurement systems using hot filament ionization gauges are discussed in comparison to data acquired with partial pressure gauges.
Neues und umweltfreundliches Entölungsverfahren durch Niederdruck‐Verdampfung
Authors: Lämmermann H. , Weisweiler H. 
Published: July 2007

AbstractEcologically beneficial processes for deoiling metallic or plastic parts to be coated or brazzed gain more and more importance. Especially the low‐pressure evaporation process shows recognizable advantages. The oily parts or devices are cleaned at medium temperature and at process‐pressures of less than 0.1 mbar from the adhered machine oil. In opposite to liquid deoiling procedures also complete assembled devices can be treated in one process step only. Joined plasma processes activate or modify the surfaces for decoration or functional coatings. In the following contribution the process‐technology and machine design is explained and as an example a vacuum‐deoiling plant for automotive heat exchangers is presented.
Ausrüstung einer Labor‐Aufdampfanlage für die Halbleitertechnik
Authors: Reuschling R. 
Published: July 2007

AbstractModerne Verfahren der Halbleitertechnik stellen an herkömmliche Aufdampfanlagen besondere Anforderungen. Außer prozeßrelevanten Zusatzfunktionen wie z. B. Substrat‐Bias und Heizung, muß auch das Vakuumsystem — z. B. hinsichtlich Partikelminimierung — ergänzt werden. Eine solche Komplettlösung wird exemplarisch beschrieben.Standard‐Laborsysteme, wie sie von allen großen Vakuumfirmen angeboten werden, sind zumeist modular ausrüstbar und umfassen ein Spektrum an üblichem Zubehör wie Widerstandsverdampfer, Elektronenstrahlverdampfer, Schwingquarze, Heizer usw.Beim Einsatz einer solchen Anlage im Umfeld einer Halbleiterfertigung sind siagnifikante Umrüstungen erforderlich.Im folgenden wird anhand eines Beispiels beschrieben, wie eine klare Spezifikation des Anwenders und die Kompetenz des Anlagenbauers zu einem adäquaten Produkt, führen.
Diamantähnliche Kohlenstoffschichten: Herstellung, Eigenschaften und Anwendungen
Authors: Schürer Christian 
Published: July 2007

AbstractDas wissenschaftliche und technische Interesse an verschleiß‐ und reibungsmindernden amorphen Kohlenstoffschichten zur Oberflächenveredlung von Werkzeugen und Verschleißteilen ist in den letzten Jahren ständig gewachsen. Dieses Material wird in der Fachliteratur als „DLC (diamond‐like carbon)”︁, „a‐C:H”︁ oder „i‐Kohlenstoff”︁ bezeichnet. In der vorliegenden Arbeit wurden DLC‐Schichten in einer unselbständigen Kohlenwasserstoff‐Gleichstromentladung, die mittels einer Glühkatoden‐Anodengitter‐Anordnung bei Drücken von 0,005 bis 0,05 Pa erzeugt werden kann, auf negativ vorgespannten, gekühlten Umformwerkzeugen (Hartmetall‐Rohrzugdorne, ‐Drahtziehsteine, ‐Tiefziehstempel und ‐Abstreckringe) und weiteren Maschinen‐ und Geräteteilen für Praxisuntersuchungen sowie auf ebenen, polierten Hartmetall‐ und Stahlproben für Schichteigenschaftsbestimmungen abgeschieden. Neben der Beschreibung des Schichtsyntheseverfahrens wird eine Übersicht über die damit erzielbaren Schichteigenschaften wie Härte, Reibungskoeffizienten, kritische Lasten u. a. gegeben. Die Schichteigenschaften sind überaus sensibel von den äußeren Prozeßparametern abhängig und somit über diese einstellbar. Auf dieser Basis wurde in der Gesellschaft für Fertigungstechnik und Entwicklung e.V. Schmalkalden (GFE e.V.) für den gesamten DLC‐Prozeß (Pumpregime — Ionenätzen — Gaswechsel — Beschichten — Chargenwechsel) eine automatische Steuerung entwikkelt und in einer technischen Versuchsanlage mit einem Plasmareaktorvolumen von 65 Litern und einer homogen beschichtbaren, ebenen Fläche von 1600 cm2 eingesetzt und erfolgreich erprobt. Die für eine nochmalige Skalierung der Verfahrenstechnik notwendige Plasmadiagnostik erfolgt durch Langmuir‐Sondenmessungen. Erste dabei erzielte Ergebnisse werden vorgestellt. Die Kenntnis der Plasmaeigenschaften ist des weiteren Voraussetzung für eine gezielte räumliche Anpassung des Plasmas an die zu beschichtende Werkstückgeometrie.
Thin Film Technology for Data Storage Disks
Authors: Strasser G. 
Published: July 2007

AbstractThin film processing is a key technology for the production of all types of data storage disks. Planar magnetron technology, DC‐, DC‐reactive‐ and RF sputter processes are today industrially available for an economical mass production of all these formats.Data storage disks such as the CDs, the CD‐ROMs, CD‐Rs, MO disks or hard disks have found many applications in our information technology society. Thin‐film deposition is a key technology for the production of all these media. This article discusses the markets for the different formats, the structure of these disks, the challenges for thin film processing and presents the current state of front‐end production technology.
Entwicklungstendenzen von Seitenkanalverdichtern
Authors: Surek D. 
Published: July 2007

AbstractIm Bereich der Grobvakuumtechnik bis zu Drücken von ps = 10 kPa werden zunehmend Seitenkanalverdichter eingesetzt, da sie einen stetigen pulsationsfreien Gasvolumenstrom fördern, einfach aufgebaut sind und infolge der hohen Druckzahlen gegenüber anderen Vakuumerzeugern geringe Bauabmessungen besitzen. Sie erreichen gegenwärtig in einstufiger Bauausführung absolute Saugdrücke von ps = 40 kPa (400 mbar) und in mehrstufiger Bauweise absolute Saugdrücke bis ps = 10 kPa, wobei die Grenzdrücke noch nicht erreicht sind. Das Druckverhältnis einstufiger Verdichter und besonders das von mehrstufigen Verdichtern kann durch Erhöhung der gegenwärtig realisierten Umfangsgeschwindigkeiten beträchtlich gesteigert werden, so daß Druckverhältnisse im Vakuumbereich bis π = 50 mit absoluten Saugdrücken von ps = 2 kPa erreichbar sind. Diese Entwicklungstendenzen werden dargestellt und begründet.
Optische Schichten für UV‐Hochleistungsoptiken
Authors: Kaiser N. 
Published: July 2007

AbstractDünne Schichten sind durch ihre geringe Strahlungsfestigkeit eine Schwachstelle in optischen Systemen für ultraviolette Strahlung. Durch die Hochvakuumverdampfung von Oxid‐ und Fluoridschichten unter extremen Reinheitsbedingungen gelingt jetzt die Herstellung von optischen Schichten höchster Strahlungsfestigkeit.
Oberflächenpräzisionsbearbeitung mit Ionenstrahlen
Authors: Bigl Frieder , Hänsel Thomas , Schindler Axel 
Published: July 2007

AbstractUm den steigenden Genauigkeitsanforderungen bei der Herstellung von „high end”︁‐Produkten der Optik und der Präzisionsmechanik gerecht zu werden, müssen konventionelle Polierverfahren zunehmend durch Ionenstrahlverfahren zur Endbearbeitung ergänzt werden. Der Beitrag gibt einen Überblick zu speziellen Ionenstrahlbearbeitungstechniken und demonstriert an praktischen Beispielen ihre Leistungsfähigkeit.
Kostengünstige Kreislaufwirtschaft mit PFPE‐Ölen
Authors: Noack Rüdiger , Schöneich Eike 
Published: July 2007

AbstractÖle auf der Basis von perfluorlerten Polyethern (PFPE) haben sich, bedingt durch außerordentliche Eigenschaften, einen festen Platz in der Vakuumtechnik erobert.Ein Problem stellen die PFPE‐Öle jedoch nach der Nutzung dar, da diese als „Sonderabfall”︁ entsorgt werden müssen.Mit der Regenerierung der PFPE‐Öle bietet sich eine umweltschonende und kostengünstige Alternative zur Entsorgung an.Durch das in dem folgenden Beitrag beschriebene Verfahren lassen sich gebrauchte und verunreinigte PFPE‐Öle schonend regenerieren. Das Regenerat weist dieselben technischen Einsatzparameter auf wie das Neuprodukt, so daß keine Einschränkungen im Einsatz bekannt sind. Auch wiederholte Regenerationen sind möglich. Die Ausbeute des Regenerationsverfahrens liegt bei über 90%.Durch die ständige Überwachung des Prozesses wird eine stabile und gleichbleibende Qualität der abgegebenen regenerierten PFPE‐Öle gewährleistet.
Vakuumtechnik in der Blechverarbeitung
Authors: Grundler E. , Hesse S. 
Published: July 2007

AbstractVakummsauger haben sich als wirtschaftliche und vor allem auch betriebssichere Elemente für das Handling von Werkstücken aller Art längst durchgesetzt. Doch es bleiben noch viele Betätigungsfelder unberücksichtigt, weil der Vakuumtechnik immer noch etwas „Exotisches”︁ anhaftet. Wer jedoch die Vorteile der Vakuumtechnik zu nutzen weiß, der findet immer wieder neue Ansätze für die kostengünstige Rationalisierung beim Teilehandling.
Weitbereich‐Turbomolekularpumpen und Membranvorvakuumpumpen als trockene HV‐ und UHV‐Pumpsysteme
Authors: Breitenbach J. B. , Bickert P. , Eckle F. J. , Lachenmann R. 
Published: July 2007

AbstractDie Entwicklung neuer Turbomolekularpumpen mit erhöhter Vorvakuumbeständigkeit ermöglicht bei Auslaßdrücken von bis zu 30 mbar den Einsatz von bis zu 30 mbar den Einsatz von ölfreien Membranpumpen als Vorvakuumpumpen. Die Kombination von Weitbereich‐Turbomolekularpumpe und Membranpumpe stellt ein preiswertes, kompaktes und technisch trockenes HV‐ und UHV‐Pumpensystem dar. Das Zusammenwirken von Weitbereich‐Turbomolekularpumpen mit verschiedenen Membranpumpen wird im Hinblick auf Gasdurchsatz, Kompressionsverhältnis, Enddruck und Leistungsaufnahme diskutiert und Auswahlkriterien für die Vorpumpe werden aufgezeigt.
Strömungsleitwert der dünnen Blende
Authors: Jitschin W. , Khodabakhshi S. , Szwemin P. J. 
Published: July 2007

AbstractDer Strömungsleitwert einer dünnen Kreisblende mit 1,2 mm Nenndurchmesser wurde für 8 Gase bei Eingangsdrücken von 10−3 bis 103 mbar und vernachlässigbar kleinen Ausgangsdrücken vermessen. Die Meßwerte umfassen somit die verschiedenen Strömungsbereiche von molekular bis viskos. Zum Vergleich der Daten für verschiedene Gase wurden diese skaliert: der Druck nach der inversen Knudsenzahl und der Leitwert nach dem Leitwert bei Molekularströmung. Es zeigt sich, daß der Übergang von molekularer zu viskoser Strömung lediglich näherungsweise mit der inversen Knudsenzahl skaliert. Die Daten im viskosen Bereich entsprechen den Vorhersagen für gasdynamische Strömung, wenn die Kontraktion des Strömungsquerschnitts berücksichtigt wird. Bei Knudsenzahlen Kn ≈ 1/100 ergibt sich ein Maximum des Strömungsleitwerts, dessen Verlauf von der Gasart abhängt.
Mechanische, chemo‐mechanische und optische Oberflächenprüfung
Authors: Weinhold Wolfgang P. 
Published: July 2007

AbstractEvery surface will experience some kind of wear which is caused by abrasion. Depending on the use of the surface this damage can affect only the optical appearance or even affect the function. It depends on the use of product whether abrasion of the surface is relevant or not. In any case there are many different methods and instruments for measuring and evaluating the mechanic, chemo‐mechanic and optic degree of abrasion.
Photoemissionselektronenmikroskopie
Authors: Hoffmann Patrick , Mikalo Ricardo Pablo , Schmeißer Dieter 
Published: July 2007

AbstractEin PEEM wurde in eine bestehende UHV‐Apparatur so integriert, daß spektromikroskopische Messungen sowohl am Synchrotron als auch im Labor möglich sind. An dem Probensystem Polypyrrol konnte mit dieser Anlage die Fähigkeit des PEEM demonstriert werden, auch rauhe und unebene Proben untersuchen zu können. Mit der spektromikroskopischen Möglichkeit, Photoelektronen‐Spektren auf bestimmten Probenstellen messen zu können, wurde die Bedeutung des Sekundärelektronenausbeute‐Kontrastes auf Molybdänditellurid‐Proben gezeigt.Mit den zukünftig bereitstehenden Lichtquellen, die auf den spektromikroskopischen Einsatz des PEEM optimiert sind, erschließen sich für die Photoelektronenmikroskopie neue Bereiche. Gleichzeitig wird das PEEM immer mehr zu einem Standardwerkzeug werden.
Plasma Cleaning in the Capacitor Production
Authors: Krüger P. 
Published: July 2007

AbstractDie Entfernung organischer Verunreinigungen von Metall‐ oder Polymeroberflächen mit Hilfe eines Sauerstoffplasmas ist seit längerem bekannt und in der Industrie als Verfahren etabliert. Dennoch stellen die sehr unterschiedlichen technischen Umsetzungsbedingungen den Anlagenhersteller vor Probleme, die in manchen Industriezweigen eine Einführung erschwert. Am Beispiel der Reinigung von Kondensatoren sollen einige dieser Aspekte kurz diskutiert werden.