bluuebunny/crossref_metadata_2025_split huggingface dataset:
Plasma CVD zur Herstellung funktioneller Schichten im Maschinenbau
Authors: Rie K.‐T. , Gebauer A. , Wöhle J. 
Published: July 2007

AbstractIn dieser Übersichtsarbeit wird von der Entwicklung der plasmagestützten CVD‐Verfahren, den Grundlagen der Gasentladung, experimentellen Einrichtungen zur PACVD‐Beschichtung und einigen Anwendungsbeispielen berichtet. Als wesentliche Punkte sind die Beschichtungen mit dem konventionellen Precursor TiCl4 und die Weiterentwicklung unter Verwendung von metallorganischen Verbindungen als Precursoren herausgegriffen. Es wird gezeigt, daß der Entwicklungsstand der PACVD‐Verfahren den industriellen Einsatz rechtfertigt.
Das Vakuumsystem der GSI‐Beschleunigeranlage
Authors: Jacoby W. 
Published: July 2007

AbstractDer Artikel gibt einen Überblick über die Beschleunigeranlage der GSI. Charakteristische Bauteile und Materialien werden beschrieben. Das Pump‐ und Meßsystem für die Anlage wird dargestellt, und die Problemkreise Beheizung und Steuerung werden angesprochen. Der Bericht schließt mit einer Darstellung der ersten Betriebserfahrungen.
Charakterisierung der Oberflächenmodifikation von Edelstahlproben nach Elektronen‐ und Ionenbombardement mittels REM, AES und XPS
Authors: Garke B. , Ehrt M. , Edelmann Chr. 
Published: July 2007

AbstractDas Ziel der Modifikation von Edelstahloberflächen durch Einwirken eines Inertgas‐ bzw. Reaktivgasplasmas bestand in einer Reduzierung ihrer Gasabgaberate. Diese Aufgabenstellung ist insbesondere interessant beim Einsatz des Materials in größeren UHV‐Anlagen, wo ein Ausheizen innerer Oberflächen nicht mehr ökonomisch vertretbar ist.Die untersuchten Proben wurden in einer Gleichstrom‐Glimmentladung bzw. Mikrowellenentladung dem Beschuß mit Argon‐ und Sauerstoffionen sowie Elektronen ausgesetzt. Im Vergleich zur unbehandelten Probe erfolgte eine Untersuchung ihrer Oberflächen hinsichtlich Topographie sowie chemischer Zusammensetzung (Tiefenprofil) mit Hilfe von Raster‐Elektronen‐Mikroskopie (REM), Auger‐Elektronen‐Spektroskopie (AES) und Röntgen‐Photoelektronen‐Spektroskopie (XPS). Die erzielten Oberflächenmodifikationen durch die verschiedenen Probenbehandlungen wurden mit den Gasabgabemessungen korreliert.
Verwendung kalter Plasmen in Schichtherstellungsprozessen
Authors: Pulker Hans K. 
Published: July 2007

AbstractPlasma deposition techniques are strongly required in high‐quality thin film production. In this paper an attempt is made to describe shortly fundamental properties of cold plasmas and to inform about their technical generation. The growing industrial applications of plasma in various PVD‐ and CVD‐technologies for coating and for surface cleaning as well as for chem. modification and structuring of surfaces and films are reviewed.Finally an example is given about plasma surface treatment of plastic car bumpers before lacquering.
Druckregelung in Vakuumsystemen
Authors: Pöcheim Norbert 
Published: July 2007

AbstractIn reactive processes a process gas is fed into the process chamber after evacuation. The most important precondition for a reproceable process is a stable process pressure.Pressure control is carried out either by controlling the gas flow on the gas inlet side or by regulating the effective pumping speed on the chamber output side.The application of the user determines, which of the two sysstms is best suited.Plasma enhanced etching and coating processes encounter a growing importance in the semiconductor industry. At the same time applications have expanded to improvement procedures of metallic surfaces and production of computer hard discs, based on plasma processes as reactive vapour deposition and sputtering.For many of these applications pressure control via the gas input is sufficient. But the increasing demands on the quality of the micro structures with modern surface processes can only be satisfied by independent control of the gas flow and the process pressure. Pressure control independent of the gas flow is achieved by controlling the effective pumping speed of the vacuum pump.The presented paper starts with the general theory of pressure control, and deals with the various aspects of pressure control, including downstream pressure control with throttle valvê, adaptive controller and sensor.
Theoretical and experimental investigation of rarefied gas flow in molecular pumps
Authors: Tazioukov F. , Ossipov P. , Burmistrov A. 
Published: July 2007

AbstractThe article presents a theoretical model for calculating the gas flow through channels with moving walls in the molecular flow regime. The analytical equations are solved by iteration techniques. The calculated data for the pumping speed and the compression ration of a molecular pump are compared with the experimental results. The agreement between calculated and measured values is good.
Plasmapolymerisation für die Hartbeschichtung von Kunststofflinsen
Authors: Wohlrab Christian , Hofer Markus 
Published: July 2007

AbstractThe use of plastic as a substrate material for optical lenses has been increasing in importance due to smaller density, simpler machining and lower price. However scratches present a major problem wherever the lens surface is exposed to the environment. Various processes have thus been developed to protect the surfaces with hard coatings. The most common technique is the dipping process while spinning or spraying are other methodsto apply lacquer. Common to all these techniques are the required post treatments such as drying and heat or UV curing. Safety considerations as well as the long processing time and the handling required between the different steps, gave rise to the development of new technologies. Plasma polymerization, a technology relying on plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD), is used to deposit dense organic layers with reproducible, well defined surface properties. In contrast to dip coating, plasma polymerization even coats strongly curved structures with good uniformity. This is important for bifocal or trifocal lenses, featuring sharp edges on the surface. Due to the wide range of refraction indexes (about n = 1.5–1.8) available by using different monomers, even the latest high index materials can be coated without disturbing interference fringes. After a survey of plasma polymerization basics, some aspects of industrial equipment and processes for ophthalmic applications are presented. An outlook into the future of plasma polymerization for optical applications concludes the paper.
Neue Wege bei der Vakuumerzeugung in der chemischen Verfahrenstechnik
Authors: Jorisch Wolfgang 
Published: July 2007

AbstractA new dry‐compressing vacuum pump which has been specifically developed for chemistry applications and which operates without inner compression, is presented to the engineer active in the area of chemical process engineering, as well as the users of vacuum technology in chemical plants. The economic and ecological advantages of this new vacuum pump are demonstrated on the basis of a real example.Moreover, the potential advantages offered by dry‐compressing vacuum pump in the area of process engineering, are discussed.
Einfluß von Gasadsorbaten auf die Eigenschaften eines Glühkatoden‐ Ionisationsmanometers mit axialer Emission nach CHEN und SUEN
Authors: Merten Falk , Knapp Wolfram , Edelmann Christian 
Published: July 2007

AbstractThe influence of adsorbed gases on the pressure reading of the axial emission ionization gauge according to CHEN and SUEN [1] was investigated in the UHV pressure range. The anodes of the investigated gauges were made from molybdenum and platinum. After exposure to argon, nitrogen, oxygen and hydrogen the ion current versus time characteristic was determined during pumpdown. The pressure reading of the axial emission gauge was compared with the readings of a commercial Bayard‐Alpert gauge and an extractor gauge. After exposure to oxygen the gauge with the Mo‐anode showed the largest deviation of the pressure readings of the gauges, while the gauge with Pt‐anode showed strong deviations after oxygen and hydrogen exposure.
Das Saugvermögen von Pumpen: Untersuchung verschiedener Meßverfahren im Grobvakuumbereich
Authors: Jitschin W. , Bernhardt K.‐H. , Lachenmann R. , Bickert P. , Eckle F. J. 
Published: July 2007

AbstractThe term pumping speed of a vacuum pump denotes the volume flow rate of gas removed by the pump. In a measurement of the pumping speed it has to be taken into account that the volume of a quantity of gas depends on pressure and temperature. The present article presents a critical investigation of two different procedures for measuring the pumping speed in the rough vacuum regime: In the first procedure, gas flows continuously through the test dome and the pump under investigation. The pumping speed is obtained from the stationary values of throughput and pressure in the test dome. This procedure is well established, technical details are described in various standards. In the second procedure, a large vessel with known volume is evacuated by the pump, and the pumping speed is derived from the pressure decrease with time. In order to avoid disturbances by thermal effects, the vessel may be pumped only during short time intervals with intermediate waiting for thermal equilibrium. The second procedure offers instrumental advantages and its practices are described in a new DIN standard. The physical basis and technical aspects of both procedures including disturbing thermal and other effects are investigated. If applied correctly at inlet pressures in the rough vacuum range, both procedures are expected to yield the same values of the pumping speed. Comparative measurements at a diaphragm pump confirm this expected behaviour within the experimental uncertainty of about 3% (2σ).
Lateral Resolved XPS, a new Key to Failure Analysis
Authors: Page Simon , Schmiedel Hans 
Published: July 2007

AbstractXPS (Kurzform für Röntgenstrahleninduzierte Photoelektronen Spektrometrie) wird von enormer Wichtigkeit für industrielle Fertigung und Qualitätskontrolle. Zunehmende Bedeutung kommt der Methode in immer neuen Bereichen zu, nämlich im organischen und biologischen Bereich, d.h. sogar in der Polymerforschung [1], bei Untersuchungen biologischen Gewebes, im Dentalbereich und bei Humanimplantaten. Diese Entwicklung wurde einerseits ermöglicht durch die stetige Weiterentwicklung [2] der Geräte und auf der anderen Seite durch einige “Meilensteine”. “Imaging XPS” (abbildendes XPS, lateral aufgelöstes XPS) ist seit einiger Zeit bekannt und es gibt vielfache sehr unterschiedliche Ansätze zu dieser Frage. Ein Durchbruch gelang mit der Einführung von magnetischen Linsen [3] und “Magnetically Balanced Charge Compensation” [4].
Schnüffeleinrichtung für Helium in Luft
Authors: Falland C. 
Published: July 2007

AbstractEin üblicher Pumpstand mit einer Turbomolekularpumpe und einem Helium‐Massenspektrometer kann leicht zu einer Schnüffeleinrichtung für Helium in Luft erweitert werden, wenn das Gegenstromprinzip angewendet wird. Es ist dann lediglich ein Lufteinlaß über eine geeignete Kapillare zwischen Turbomolekularpumpe und Vorpumpe zu installieren.
Potenzen des Puls‐Magnetron‐Sputterns (PMS)
Authors: Schiller S. , Goedicke K. , Kirchhoff V. , Metzner Ch. 
Published: July 2007

AbstractUp to now, a pulsed plasma with pulse rates between 50 and 150 kHz has been used in PVD techniques only rarely. Recently, our activities and the efforts of various other research teams were concentrated on this field. The MF‐pulsed plasma offers facility to overcome limitations that restrict the use of DC and RF sputtering. A high motivation for further development results from the objective to coat large areas, to attain the highest possible deposition rates and to carry out a considerate plasma‐assisted surface treatment or plasma coating matched to the compatibility of the substrates. Via pulsed sputtering and plasma‐activated deposition, the application of a pulsed plasma goes from tasks of substrate pretreatment and etching to the plasma‐assisted surface treatment of layers or workpieces. Unipolar pulsed electrodes — in particular floating‐powered multi‐electrode arrangements — pave the way to stable long‐term and arc‐free reactive deposition of defect‐free and electrically insulating layers. The pulsed plasma also opens up fresh ground in the use of bias effects for the deposition of poorly conducting layers and for the coating of thin insulating substrates on an industrial scale.
The X‐ray Facility at LAX in Palermo
Authors: Celi F. , Bella L. Dalla , Ferrari S. , Re S. , Richiusa G. , Scarsi L. 
Published: July 2007

AbstractA description is given of the X‐ray facility installed at LAX (Laboratorio per Sperimentazioni con Radiazioni X), jointly operated in Palermo by the DEAF (Department of Energy and Physics Applications) of the University of Palermo and the IFCAT (Institute of Cosmic Physics and Informatics) of the Italian National Research Council. The X‐rays are produced by bombarding a target with energized electrons up to 60 keV.Depending on the material of the target, characteristic fluorescence lines as well as continuous bremsstrahlung is emitted.The X‐ray beam has an operational energy range of 0,1–25 keV with a flux of 1010–1012 photons/sr · s; the beam, collimated on a length of 10,5 m, has a diameter at full aperture of 200 mm with a divergence of 1°.The beam line consists of:

the X‐ray generator
the Beam Channel
the Sample Chamber with a table capable of translation along the X, Y and Z axes and rotation around Y and Z
the Detector Chamber with translation movements along the X and Y axes and rotation around Y.
The X‐ray generator chamber operates at 10−9 hPa, whereas the other parts operate at 10−6 hPa.The beam line has been developed by RIAL Vacuum S.p.A. following the specifications of DEAF and IFCAI.
Chancen und Möglichkeiten der Plasmatechnologie: Eine Bestandsaufnahme
Authors: Engemann J. 
Published: July 2007

AbstractNach einer vergleichsweise langen Latenzzeit gewinnt der technologische Einsatz von Nichtgleichgewichts‐ und Niedertemperaturplasmen zunehmend an Dynamik. In den Jahren zuvor wurde zwar die Eignung derartiger Plasmen als eine attraktive Option auf materialtechnologische Zukunftsfelder im Grundsatz aufgezeigt, jedoch waren beispielhafte und erfolgreiche Demonstratoren eher selten.Durch erhebliche Fortschritte im Grundlagenbereich, der Verfügbarkeit von leistungsfähigen Simulationswerkzeugen und Plasmaquellen einschließlich ihrer zugehörigen Diagnostiken konnte in sehr unterschiedlichen industriellen Anwendungsfeldern der prinzipielle Nachweis der „Tauglichkeit”︁ von plasmabasierten Verfahren erbracht werden. Dies erfolgte insbesondere auch unter Berücksichtigung von zum Teil sehr stringenten ökonomischen und ökologischen Randbedingungen. Ein erfolgreicher Transfer dieser Technologie in die industrielle Praxis erfordert jedoch mehr. Diese Aussage bezieht sich auf die Akzeptanz, Risikobereitschaft und Langzeitstrategie von Unternehmen, die in diesem Bereich im Interesse einer Stärkung ihrer Wettbewerbsfähigkeit tätig werden wollen.In diesem Beitrag werden nach einigen einleitenden grundlegenden Überlegungen der Querschnitts‐ und Schlüsselcharakter der Plasmatechnologie in sehr unterschiedlichen Bereichen an Beispielen aufgezeigt, sowie Ansätze zum Übertrag in die Industrie erläutert.
Eine Thermovakuumkammer für die Weltraumsimulation
Authors: Bergner U. , Liebscher R. , Engel K.‐H. 
Published: July 2007

AbstractFür die Prüfung von Baugruppen und Komponenten unter weltraumähnlichen Bedingungen wird eine Thermovakuumkammer genutzt. Die ölfreie und schwingungsarme Vakuumerzeugung bis zu einem Enddruck von 3.10−6 mbar wird mittels Kryopumpe und LN2‐gekühltem Kryobaffle realisiert. Die Umgebungstemperatur wird durch rechnergesteuerte Shrouds im Bereich von 83 K bis 373 K realisiert. Temperierflächen simulieren den unmittelbaren thermischen Einfluß eigener oder fremder Wärmequellen auf den Prüfling. Ein optisches Fenster (auf der Bedienseite des Rezipienten) gestattet Messungen des Einflusses von Vakuum und Temperatur auf optische Parameter von Prüflingen. Für die Montage von Prüflingen bzw. Meßeinrichtungen zur optischen Messung dienen beidseitig von der Rezipiententür angebrachte optische Bänke.Die Montage der Prüflinge erfolgt von einem Reinraumlabor aus. Umfangreiche modular einsetzbare Meßtechnik zur optischen Prüfung und Simulierung sowie Temperatur‐ und Kontaminationsmeßtechnik stehen zur Verfügung. Die Möglichkeit des Anschlusses verschiedener elektrischer und Fluiddurchführungen gestatten die Anpassung an unterschiedlich Aufgabenstellungen. An Beispielen wir der bisherige Einsatz der Thermovakuumkammer demonstriert.
Rückgewinnung von Vinylchloridmonomer
Authors: Stürken Kai 
Published: July 2007

AbstractBei der Produktion des Polymerisats Polyvinylchorid (PVC) fallen erhebliche Mengen Abluft an. Die Rückgewinnung der anhängenden Dämpfe des Ausgangsproduktes Vinylchloridmonomer (VC) ist ein wichtiger Aspekt für die Wirtschaftlichkeit des Gesamtverfahrens. Durch den Einsatz von Membran‐ und Vakuumtechnik können die Effizienz und die Wirtschaftlichkeit der Rückgewinnung deutlich verbessert werden.
Destillation im Fein‐ und Hochvakuum
Authors: Bethge Daniel 
Published: July 2007

AbstractDie Destillation im Fein‐ und Hochvakuum erfordert neben geeigneten Vakuumpumpen besondere Apparate und Maschinen. Das physikalische Prinzip und die technische Ausführung der Labor‐ und Industrieanlagen werden erläutert. Neue mathematische Berechnungsmethoden unterstützen die Labor‐ und Pilotversuche zur Verfahrensentwicklung und Anlagenauslegung. Das Ganze wird anhand eines Beispiels vorgestellt.
Surface Migration of Oil in Vacuum Systems
Authors: Tazioukov F. , Garifoullin F. , Norden P. , Ossipov P. , Karibullina F. 
Published: July 2007

AbstractA comprehensive investigation of the phenomenon of surface migration of oil in vacuum systems with oil diffusion pumps was made. The migration is caused by the temperature gradient along the wall. Theoretical calculations were performed which are based on the film flow approximation taking the conditions at the moving contact line into account. In order to prove the theoretical results, experiments with different vacuum working fluids on metallic surfaces, often used in vacuum technology, were carried out. The results obtained provide a better understanding of the surface migration process and allow to control oil film displacement.
Ionenstrahltechnologien – Werkzeug für das 21. Jahrhundert
Authors: Wolf G. K. 
Published: July 2007

AbstractEnergiereiche Ionen sind Werkzeuge, die sich in Materialforschung, Biologie, Medizin, Mikrosystemtechnik, Optik und Analytik vielfältig anwenden lassen. Wegen seiner Fokussierbarkeit, Energieschärfe und extremen Variabilität ist der Ionenstrahl häufig Strahlenmethoden überlegen. Im folgenden Beitrag werden die Ergebnisse einer vom BMBF geförderten Untersuchung über „Stand und Zukunftsperspektiven der Ionentechnologie”︁ vorgestellt.Insbesondere wird auf den Stand der Forschung und Anwendung in Deutschland im Vergleich zum Ausland eingegangen, und auf Grund von Gesprächen mit in‐ und ausländischen Experten das generelle Verwendungspotential bewertet. Darüber hinaus werden Anwendungsdefizite diskutiert und auf Kostenfragen eingegangen. Schließlich werden Maßnahmen empfohlen, um die Entwicklung in Deutschland dem internationalen Spitzenniveau anzunähern, und geeignete Verbundforschungsthemen für eine gemeinsame Bearbeitung durch Industrie und Forschungsinstitute definiert.
Stabilität von Hochvakuum‐Meßröhren
Authors: Schmidt Karl , Bergner Ute 
Published: July 2007

AbstractZusammenfassung Ionisationsmanometer mit Glükathode und Kaltkathode werden in großer Zahl in Industrie und Forschung zur Druckmessung im Hoch‐ und Ultrahoch‐Vakuum eingestzt. Wichtige Einsatzgebiete sind z. B. Sputter‐ und Bedampfungsanlagen. Stillschweigend wird dabei seit langem akzeptiert, daß in diesen tiefen Druckbereichen Meßfehler zwischen 10% und 100% mit herkömmlichen lonisationsmanometern keine Seltenheit sind. Ursache ist die mangelnde Langzeitstabilität konventioneller Ionisationsmanometer.Zusammenfassung Wenn es bei der Druckmessung auf Genauigkeit und Reproduzierbarkeit ankommt, spielt die zeitliche Stabilität der Meßröhre eine entscheidende Rolle. Nur eine stabile Meßröhre gewährleistet eine sichere Steuerung von Prozeßabläfen. Auch soll ein Austausch einzelner Meßröhren zu keiner Änderung bei der Druckmessung führen, da sonst langwierige und kostenintensive Neukalibrierungen nötig werden.In diesem Artikel wird über Messungen an Bayard‐Alpert‐ und Penning‐ Röhren berichtet, die das Stabilitätsverhalten dieser Röhren über Zeiträume von mehreren Monaten untersuchen. Ursachen für die beobachteten zeitlichen Änderungen werden diskutiert. Eine speziell für hohe Stabilität entwickelte Bayard‐Alpert‐Meßröhre (STBILION) vermeidet bzw. reduziert diese Ursachen. Als Folge ergibt sich eine wesentlich bessere Langzeitstabilität verglichen mit herkömmlichen Meßröhren.
Grundlagenuntersuchungen zum Betriebsverhalten eines „Stabil Ion Gauge”︁
Authors: Biehl Steffen , Knapp Wolfram , Edelmann Christian 
Published: July 2007

AbstractZusammenfassung Für ein kommerzielles Glühkatodenionisationsmanometer „Stabil Ion Gauge”︁ [1] wurden die grundlegenden Kennlinien bestimmt und ausgewertet, wobei sich ein recht eigentümlicher Verlauf der Diodenkennlinien zeigte. Durch zweidimensionale Berechnungen des elektrischen Feldes mit dem Programm „SIMION”︁ [2] konnte eine Elektronenemission von der Rückseite der Katode als Ursache gefunden werden. Die Übereinstimmung der Feldberechnungen und der experimentellen Ergebnisse beweist nahezu zweifelsfrei, daß es sich tatsächlich um diesen Effekt handelt. Die Kennlinie von Empfindlichkeit gegen Elektronenstrom weist eine leicht fallende Tendenz auf, was sich mit der Ausbildung einer Elektronenraumladung im Gitter mit steigendem Elektronenstrom erklären läßt. Dieser Effekt wird durch den gerichteten Elektronenstrahl noch verstärkt. Die Röntgengrenze wurde mit der Alpertmethode zu 1,9.10−10 mbar und mit der Vergleichsmethode zu 1,8.10−10 mbar bestimmt. Das „Stabil Ion Gauge”︁ weist deutlich stärkere Desorptionseffekte als die beim Vergleich benutzte Meßröhre IE 414 auf. Dies war wegen der Verwendung einer massiven Abschirmelektrode auch nicht anders zu erwarten. Der Effekt ist — in Übereinstimmung mit der Erfahrung — für Sauerstoff am größten und für Argon und Stickstoff am kleinsten. Somit erscheinen die im Hinblick auf Stabilität und Reproduzierbarkeit der Empfindlichkeit günstigen konstanten Potentialverhältnisse mit einem recht störenden Einfluß von Desorbaten an der unteren Meßgrenze sowie einer erhöhten Röntgengrenze erkauft.