DEVELOPMENT OF SOFTWARE FOR AUTOMATED PHOTORESIST APPLICATION UNIT
Authors: Анненков А.Н. , Белоусова О.В. 
Published: August 2022

Уровень технологий фотолитографии и оборудования для их реализации является определяющим критерием достижения требуемых проектных норм в микроэлектронике, радиоэлектронике, оптике и микроэлектромеханических системах. Работа связана с разработкой аппаратного состава системы управления автоматизированной технологической установкой нанесения фоторезиста, выполненной в кластерном конструктивном исполнении с контролируемой газовой средой, а также созданием пакета её программного обеспечения. В соответствии с разработанными алгоритмами управления, разрядными сетками обработки команд и сигналов датчиков, а также циклограммами работы на каждый модуль и установку в целом был создан пакет программного обеспечения, предназначенный для управления узлами и модулями автоматизированной установки нанесения фоторезиста УНФ -200А, логирования в базу технических характеристик узлов и модулей, а также показателей технологического процесса для мониторинга этих значений на экране. Программа состоит из нескольких главных модулей, а именно: модулей транспорта, термообработки, термостабилизации, загрузчика, приёмника, нанесения, а также вспомогательных модулей: работа с базой данных, вывод показателей, логирование, взаимодействие с промышленными логическими контроллерами и обработка ошибок. Разработанное программное обеспечение отрабатывает ряд блокировок, введённых во избежание не предусмотренной регламентом обработки подложек, а также для выхода из строя модулей установки или причинения вреда здоровью обслуживающего персонала. Интерфейс программного обеспечения имеет средства вывода сообщения о срабатывании блокировок, а также способы снятия блокировок

The level of photolithography technologies and equipment for their implementation is a determining criterion for achieving the required design standards in microelectronics, radioelectronics, optics and microelectromechanical systems. The work is related to the development of the hardware composition of the control system of the automated technological installation for applying photoresist, made in a cluster design with a controlled gas medium, as well as the creation of a package of its software. In accordance with the developed control algorithms, command and sensor signal processing bit grids, as well as operation cyclograms for each module and installation as a whole, a software package was created to control the units and modules of the automated installation of application of the UNF photoresist -200A, logic to the database of technical characteristics of units and modules, as well as process indicators for monitoring these values on the screen. The program consists of several main modules, namely: transport, heat treatment, thermal stabilization, loader, receiver, application, as well as auxiliary modules: database operation, indicator output, logic, interaction with industrial logic controllers and error processing. The developed software works out a number of interlocks introduced to avoid non-scheduled processing of substrates, as well as to fail the installation modules or harm the health of maintenance personnel. The software interface has means of displaying a message about the interlock actuation, as well as methods of unlocking