bluuebunny/crossref_metadata_2025 huggingface dataset:
Strahlungsofen für Kurzzeitglühungen — Aufbau, Funktionsweise und Testuntersuchungen an amorphem Fe40Ni40B20
Authors: Rank C. , Horváth J. , Werner M. , Frank W.
Published: July 2007

A radiation furnace for rapidthermal‐annealing experiments is introduced, in which infrared lamps serve as heat sources. It can be regulated fast enough in order to produce temperature profiles which involve temperature variations within the order of seconds. The furnace was tested in self‐diffusion studies of 59Fe in amorphous Fe40Ni40B20. It was found that the Fe self‐diffusion coefficient obeys an Arrhenius law even at temperatures which are too high to be realized in a conventional furnace without the onset of crystallization.
Physikalische Grundlagen des Wärmeleitungs‐Vakuummeters
Authors: Ruschitzka M. , Jitschin W.
Published: July 2007

In the common design of a thermal conductivity vacuum gauge according to Pirani, a thin wire is heated by an electric current and the heat loss from the wire by the heat transfer of the surrounding gas is used to derive the gas pressure. Other mechanisms of heat loss are the thermal conductivity of the wire, which transports heat to its cold ends, and the thermal radiation. In the present paper the various mechanisms of heat loss in an axially symmetric setup are investigated in detail and described by analytical formulae. Operation of the sensor by a regulated power supply allows to keep the electrical resistance of the wire and thus the mean wire temperature constant. However, changes in gas pressure affect the temperature profile along the wire and, concomitantly, the heat transfer by the wire towards its ends and the loss by thermal radiation. Experimental data of the heating power vs. pressure obtained with nitrogen and hydrogen in a typical setup are presented and compared with calculated values.
Industrielle Gastrenntechnik mittels selektiver Membranen
Authors: Herbst Martin
Published: July 2007

Using membrane processes at plant engineering is an operation stage especially for a high efficient separation and recovery of organic solvent vapors.

The operation of selective gas permeation in membrane modules is very flexible, so there are a lot of variations to create plants with integrated membrane stages for many different applications.

The possibility to design compact and modular structured plants opens membrane process technology various applications and operative ranges. The application examples of existing plants show competent solutions of exhaust gas cleaning.
Vakuum‐Befüllverfahren beim Automobil
Authors: Nikutta Karl‐Heinz
Published: July 2007

The use of vacuum or vacuum pumps can be found in almost every branch of manufacturing.

This is also true for the automobile industry, where the employment of vacuum as a positive solution for the problems associated with the correct and precise filling of the various fluid systems, without having any adverse effect on the environment or operating personnel.

In addition to this, the use of vacuum as a technical process in the fluid filling procedure has had a marked improvement in the vehicles safety.
Teilchenstrahlinduzierte Prozesse an dielektrischen Oberflächen
Authors: Rupertus V. , Rothhaar U. , Köpfer P. , Lorenz A. , Oechsner H.
Published: July 2007

The possibilities for surface and depth profile analysis of dielectric samples with partially modified electron and mass spectrometric methods are described. The respective techniques have been employed for the quantitative characterization of electron and ion beam induced stoichiometry effects at glass surfaces.
Trockenlaufende Vakuumpumpen
Authors: Lamprecht Robert
Published: July 2007

The demand for dry running vacuum‐pumps from industry, research and development is increased steadily over the last years. Specially the fact of not having oil or pump sealing fluids in the swept volume is important for many sensitive applications in semiconductor and chemical industry. The article describes the most common construction principles which are used frequently. The question why drypumps is discussed as well as the diaphragm pump, piston pump, dry rotary vane pump, roots pump and claw and claw/roots combinations with their advantages and disadvantages. The very new scroll pump gives a new way on dry pumping in the future.
Ein plasmagestütztes Hochfrequenzverfahren zum niederenergetischen Ionenbeschuß von Isolatorwerkstoffen, insbesondere von Gläsern
Authors: Martin D. , Oechsner H.
Published: July 2007

A novel plasma based radio frequency method for low energy charge compensated ion bombardment of dielectric surfaces is described. As a practical example, this technique is applied for a controlled removal of undefined leached surface layers on glass samples.
Konstruktion und Eigenschaften von turbinenartigen Hochvakuumpumpen
Authors: Hablanian M. H.
Published: July 2007

Turbomolekularpumpen sind im wesentlichen Axialstrom‐Kompressoren, die zum Pumpen verdünnter Gase ausgelegt ind. Die ursprünglichen Entwickler übernahmen mehr oder weniger die herkömmlichen Stufenanordnungen von Axialstrom‐Kompressoren, wobei die Molekül‐Trajektorien zwischen den abwechselnd rotierenden und stehenden Schaufelblattreihen durch mathematische Modellrechnungen untersucht wurden. Moderne Entwicklungen sind Kombinations‐ und Hybrid‐Anordnungen, die aus Turbomolekular‐ und Turbokinetik‐Stufen im gleichen Gehäuse und auf derselben Achse montiert bestehen. Diese neuen Pumpen erreichen viel höhere (10 bis 100fach) Kompressionsverhältnisse, wodurch höhere Auslaßdrücke und der Einsatz von ölfreien Vorpumpen möglich werden.

Derzeit werden vier Typen von Turbinenpumpen industriell gefertigt: mehrstufige Axialstrom‐Turbomolekularpumpen, Molekularkinetikpumpen (üblicherweise vom Holweck Typ), Hybridpumpen mit modifizierten Stufen am Auslaß aber gleicher Anzahl von Rotoren sowie Kombinationspumpen, die axiale Stufen mit zusätzlichen Kinetikpumpen im gleichen Gehäuse vereinigen. Turbinenartige Hochvakuumpumpen erlauben – im Gegensatz zu Dampfstrahlpumpen (Diffusionspumpen) und Kryopumpen – relativ einfache konstruktive Lösungen zur Erhöhung des Ausstoßdruckes, wobei selbst ein direkter Ausstoß in die Atmosphäre möglich ist.
Das Drehscheiben‐Vakuummeter als primäres Totaldruckmeßgerät im Hochvakuum
Authors: Chew A. D. , Chambers A. , Pert G. J. , Troup A. P.
Published: July 2007

Ein primäres Vakuummeter wurde entwickelt, das das Phänomen der Gasreibung zwischen zwei koaxialen Scheiben ausnutzt. Das Gerät besteht aus einer Siliziumscheibe mit 92 mm Durchmesser, die von einem kalibrierten Torsionsfaden über einer Rotorscheibe von gleicher Größe gehalten wird. Diese dreht sich mit Drehzahlen bis zu 51000 min−1. Moleküle, die den Rotor verlassen, übertragen durch die Gasreibung ein Drehmoment auf die aufgehängte Scheibe. Die dadurch verursachte Auslenkung wird optisch gemessen und beträgt 2° bei 10−6 mbar. Die für eine primäre Messung relevanten Faktoren wie Geometrie, Randeffekte und Akkommodationskoeffizient werden in diesem Artikel diskutiert. Der experimentelle Vergleich mit einem kommerziellen Gasreibungs‐Vakuummeter zeigt die universelle Anwendbarkeit des Drehscheiben‐Vakuummeters für primäre Totaldruckmessung im Hochvakuum mit einer Genauigkeit ±3% im 10−6 mbar Bereich.
Trockenlaufende Vakuumpumpen in der chemischen Industrie
Authors: Füssel U.
Published: July 2007

Auch in der chemischen Industrie werden in verstärktem Maße trockenlaufende Vakuumpumpen aus Umweltschutzgründen eingesetzt, weil kontaminierte Dicht‐ und Sperrmedien vermieden werden. Der Artikel beschreibt die speziellen Bedingungen für die eingesetzten Trockenläufer und zeigt an Hand typischer Beispiele ihre Einsatzmöglichkeiten in der chemischen Industrie.
Vakuummikrowellentrocknung in der Pharmazie
Authors: Altmeyer A.
Published: July 2007

Zunächst wird die Theorie der dielektrischen Erwärmung und der Mikrowellentrocknung in Ansätzen vorgestellt. Im Anschluß daran wird eine Vakuum‐Mikrowellentrocknungsanlage aus der pharmazeutischen Industrie (Verfahrensfließbild) beispielhaft dargestellt. Ein Vergleich mit der reinen Vakuumtrocknung, der Vakuumtrocknung mit Schleppgasunterstützung und der Wirbelschichttrocknung zeigt die Vorteile der Mikrowellentechnologie. Experimentell ermittelte Trocknungszeiten dieser Alternativ‐Verfahren werden verglichen. Schließlich werden einige kritische Aspekte aus pharmazeutischer Sicht gegenüber der Mikrowellentechnologie diskutiert.
Vakuum – Wirbelschicht
Authors: Luy B. , Tondar M.
Published: July 2007

Die Vakuum‐Wirbelschicht ist ein neueres patentiertes Verfahren, das bei Verwendung organischer Lösemittel, aber auch bei Einsatz temperatur‐ und sauerstoffempfindlicher Produkte in Wirbelschichtprozessen angewandt wird. Das Verfahren wurde ausgehend von konventionellen Anlagen mit Inertisierungssystemen entwickelt. Hauptmerkmal ist die Erzeugung einer Wirbelschicht im unteren Grobvakuumbereich. Durch Erzeugen einer Wirbelschicht unterhalb des Mindestzünddrucks des jeweiligen Lösemittels können Inertgase vollständig vermieden werden. Daraus ergeben sich mehrere Vorteile: starke Reduzierung von Emissionen, Erhöhung der Rückgewinnung, Wiederverwendbarkeit des Lösemittels und Senkung von Investitions‐ und Betriebskosten. Eine Druckentlastungseinrichtung (Explosionsschutz), wie bei Frischluft‐Anlagen üblich, ist nicht erforderlich, so daß sich weitere Vorteile im Hinblick auf Anlagensicherheit und Emissionsverhalten im Havariefall ergeben (geschlossenes System).
Pervaporation – Ein Membranverfahren zur Trennung von Flüssigkeitsgemischen –
Authors: Stürken Kai
Published: July 2007

Die Pervaporation ist ein schonendes und energiesparendes Membranverfahren für schwierige Trennungen. Der Artikel beschreibt das Verfahren und das Trennprinzip. Ferner wird auf die für einen Pervaporationsprozeß erforderlichen Komponenten eingegangen, wobei insbesondere die Bedeutung des Vakuums und der Vakuumerzeugung herausgestellt wird. Anwendungsbeispiele und Entwicklungstendenzen verdeutlichen den Einsatzbereich der Pervaporation zur Trennung flüssiger Gemische.
TQM: Anspruch und Wirklichkeit
Authors: Specht G.
Published: July 2007

In diesem Beitrag wird die Strategie des Total Quality Management erläutert, wobei einerseits die Darstellung der Zielsetzung von TQM und andererseits Hinweise für die praktische Einführung im Mittelpunkt stehen werden. In engem thematischen Zusammenhang stehen ferner Aspekte der Zertifizierung nach DIN ISO 9000 bis 9004 sowie des Controllings, weshalb auch hierauf kurz eingegangen werden soll. Grundlage dieses Beitrags bilden die in der Praxis gesammelten Erfahrungen eines mittelständischen Anlagenbau‐Unternehmens.
Plasma CVD zur Herstellung funktioneller Schichten im Maschinenbau
Authors: Rie K.‐T. , Gebauer A. , Wöhle J.
Published: July 2007

In dieser Übersichtsarbeit wird von der Entwicklung der plasmagestützten CVD‐Verfahren, den Grundlagen der Gasentladung, experimentellen Einrichtungen zur PACVD‐Beschichtung und einigen Anwendungsbeispielen berichtet. Als wesentliche Punkte sind die Beschichtungen mit dem konventionellen Precursor TiCl4 und die Weiterentwicklung unter Verwendung von metallorganischen Verbindungen als Precursoren herausgegriffen. Es wird gezeigt, daß der Entwicklungsstand der PACVD‐Verfahren den industriellen Einsatz rechtfertigt.
Das Vakuumsystem der GSI‐Beschleunigeranlage
Authors: Jacoby W.
Published: July 2007

Der Artikel gibt einen Überblick über die Beschleunigeranlage der GSI. Charakteristische Bauteile und Materialien werden beschrieben. Das Pump‐ und Meßsystem für die Anlage wird dargestellt, und die Problemkreise Beheizung und Steuerung werden angesprochen. Der Bericht schließt mit einer Darstellung der ersten Betriebserfahrungen.
Charakterisierung der Oberflächenmodifikation von Edelstahlproben nach Elektronen‐ und Ionenbombardement mittels REM, AES und XPS
Authors: Garke B. , Ehrt M. , Edelmann Chr.
Published: July 2007

Das Ziel der Modifikation von Edelstahloberflächen durch Einwirken eines Inertgas‐ bzw. Reaktivgasplasmas bestand in einer Reduzierung ihrer Gasabgaberate. Diese Aufgabenstellung ist insbesondere interessant beim Einsatz des Materials in größeren UHV‐Anlagen, wo ein Ausheizen innerer Oberflächen nicht mehr ökonomisch vertretbar ist.

Die untersuchten Proben wurden in einer Gleichstrom‐Glimmentladung bzw. Mikrowellenentladung dem Beschuß mit Argon‐ und Sauerstoffionen sowie Elektronen ausgesetzt. Im Vergleich zur unbehandelten Probe erfolgte eine Untersuchung ihrer Oberflächen hinsichtlich Topographie sowie chemischer Zusammensetzung (Tiefenprofil) mit Hilfe von Raster‐Elektronen‐Mikroskopie (REM), Auger‐Elektronen‐Spektroskopie (AES) und Röntgen‐Photoelektronen‐Spektroskopie (XPS). Die erzielten Oberflächenmodifikationen durch die verschiedenen Probenbehandlungen wurden mit den Gasabgabemessungen korreliert.
Verwendung kalter Plasmen in Schichtherstellungsprozessen
Authors: Pulker Hans K.
Published: July 2007

Plasma deposition techniques are strongly required in high‐quality thin film production. In this paper an attempt is made to describe shortly fundamental properties of cold plasmas and to inform about their technical generation. The growing industrial applications of plasma in various PVD‐ and CVD‐technologies for coating and for surface cleaning as well as for chem. modification and structuring of surfaces and films are reviewed.

Finally an example is given about plasma surface treatment of plastic car bumpers before lacquering.
Druckregelung in Vakuumsystemen
Authors: Pöcheim Norbert
Published: July 2007

In reactive processes a process gas is fed into the process chamber after evacuation. The most important precondition for a reproceable process is a stable process pressure.

Pressure control is carried out either by controlling the gas flow on the gas inlet side or by regulating the effective pumping speed on the chamber output side.

The application of the user determines, which of the two sysstms is best suited.

Plasma enhanced etching and coating processes encounter a growing importance in the semiconductor industry. At the same time applications have expanded to improvement procedures of metallic surfaces and production of computer hard discs, based on plasma processes as reactive vapour deposition and sputtering.

For many of these applications pressure control via the gas input is sufficient. But the increasing demands on the quality of the micro structures with modern surface processes can only be satisfied by independent control of the gas flow and the process pressure. Pressure control independent of the gas flow is achieved by controlling the effective pumping speed of the vacuum pump.

The presented paper starts with the general theory of pressure control, and deals with the various aspects of pressure control, including downstream pressure control with throttle valvê, adaptive controller and sensor.
Theoretical and experimental investigation of rarefied gas flow in molecular pumps
Authors: Tazioukov F. , Ossipov P. , Burmistrov A.
Published: July 2007

The article presents a theoretical model for calculating the gas flow through channels with moving walls in the molecular flow regime. The analytical equations are solved by iteration techniques. The calculated data for the pumping speed and the compression ration of a molecular pump are compared with the experimental results. The agreement between calculated and measured values is good.
Plasmapolymerisation für die Hartbeschichtung von Kunststofflinsen
Authors: Wohlrab Christian , Hofer Markus
Published: July 2007

The use of plastic as a substrate material for optical lenses has been increasing in importance due to smaller density, simpler machining and lower price. However scratches present a major problem wherever the lens surface is exposed to the environment. Various processes have thus been developed to protect the surfaces with hard coatings. The most common technique is the dipping process while spinning or spraying are other methodsto apply lacquer. Common to all these techniques are the required post treatments such as drying and heat or UV curing. Safety considerations as well as the long processing time and the handling required between the different steps, gave rise to the development of new technologies. Plasma polymerization, a technology relying on plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD), is used to deposit dense organic layers with reproducible, well defined surface properties. In contrast to dip coating, plasma polymerization even coats strongly curved structures with good uniformity. This is important for bifocal or trifocal lenses, featuring sharp edges on the surface. Due to the wide range of refraction indexes (about n = 1.5–1.8) available by using different monomers, even the latest high index materials can be coated without disturbing interference fringes. After a survey of plasma polymerization basics, some aspects of industrial equipment and processes for ophthalmic applications are presented. An outlook into the future of plasma polymerization for optical applications concludes the paper.
Neue Wege bei der Vakuumerzeugung in der chemischen Verfahrenstechnik
Authors: Jorisch Wolfgang
Published: July 2007

A new dry‐compressing vacuum pump which has been specifically developed for chemistry applications and which operates without inner compression, is presented to the engineer active in the area of chemical process engineering, as well as the users of vacuum technology in chemical plants. The economic and ecological advantages of this new vacuum pump are demonstrated on the basis of a real example.

Moreover, the potential advantages offered by dry‐compressing vacuum pump in the area of process engineering, are discussed.
Einfluß von Gasadsorbaten auf die Eigenschaften eines Glühkatoden‐ Ionisationsmanometers mit axialer Emission nach CHEN und SUEN
Authors: Merten Falk , Knapp Wolfram , Edelmann Christian
Published: July 2007

The influence of adsorbed gases on the pressure reading of the axial emission ionization gauge according to CHEN and SUEN [1] was investigated in the UHV pressure range. The anodes of the investigated gauges were made from molybdenum and platinum. After exposure to argon, nitrogen, oxygen and hydrogen the ion current versus time characteristic was determined during pumpdown. The pressure reading of the axial emission gauge was compared with the readings of a commercial Bayard‐Alpert gauge and an extractor gauge. After exposure to oxygen the gauge with the Mo‐anode showed the largest deviation of the pressure readings of the gauges, while the gauge with Pt‐anode showed strong deviations after oxygen and hydrogen exposure.
Das Saugvermögen von Pumpen: Untersuchung verschiedener Meßverfahren im Grobvakuumbereich
Authors: Jitschin W. , Bernhardt K.‐H. , Lachenmann R. , Bickert P. , Eckle F. J.
Published: July 2007

The term pumping speed of a vacuum pump denotes the volume flow rate of gas removed by the pump. In a measurement of the pumping speed it has to be taken into account that the volume of a quantity of gas depends on pressure and temperature. The present article presents a critical investigation of two different procedures for measuring the pumping speed in the rough vacuum regime: In the first procedure, gas flows continuously through the test dome and the pump under investigation. The pumping speed is obtained from the stationary values of throughput and pressure in the test dome. This procedure is well established, technical details are described in various standards. In the second procedure, a large vessel with known volume is evacuated by the pump, and the pumping speed is derived from the pressure decrease with time. In order to avoid disturbances by thermal effects, the vessel may be pumped only during short time intervals with intermediate waiting for thermal equilibrium. The second procedure offers instrumental advantages and its practices are described in a new DIN standard. The physical basis and technical aspects of both procedures including disturbing thermal and other effects are investigated. If applied correctly at inlet pressures in the rough vacuum range, both procedures are expected to yield the same values of the pumping speed. Comparative measurements at a diaphragm pump confirm this expected behaviour within the experimental uncertainty of about 3% (2σ).
Lateral Resolved XPS, a new Key to Failure Analysis
Authors: Page Simon , Schmiedel Hans
Published: July 2007

XPS (Kurzform für Röntgenstrahleninduzierte Photoelektronen Spektrometrie) wird von enormer Wichtigkeit für industrielle Fertigung und Qualitätskontrolle. Zunehmende Bedeutung kommt der Methode in immer neuen Bereichen zu, nämlich im organischen und biologischen Bereich, d.h. sogar in der Polymerforschung [1], bei Untersuchungen biologischen Gewebes, im Dentalbereich und bei Humanimplantaten. Diese Entwicklung wurde einerseits ermöglicht durch die stetige Weiterentwicklung [2] der Geräte und auf der anderen Seite durch einige “Meilensteine”. “Imaging XPS” (abbildendes XPS, lateral aufgelöstes XPS) ist seit einiger Zeit bekannt und es gibt vielfache sehr unterschiedliche Ansätze zu dieser Frage. Ein Durchbruch gelang mit der Einführung von magnetischen Linsen [3] und “Magnetically Balanced Charge Compensation” [4].
Schnüffeleinrichtung für Helium in Luft
Authors: Falland C.
Published: July 2007

Ein üblicher Pumpstand mit einer Turbomolekularpumpe und einem Helium‐Massenspektrometer kann leicht zu einer Schnüffeleinrichtung für Helium in Luft erweitert werden, wenn das Gegenstromprinzip angewendet wird. Es ist dann lediglich ein Lufteinlaß über eine geeignete Kapillare zwischen Turbomolekularpumpe und Vorpumpe zu installieren.
Potenzen des Puls‐Magnetron‐Sputterns (PMS)
Authors: Schiller S. , Goedicke K. , Kirchhoff V. , Metzner Ch.
Published: July 2007

Up to now, a pulsed plasma with pulse rates between 50 and 150 kHz has been used in PVD techniques only rarely. Recently, our activities and the efforts of various other research teams were concentrated on this field. The MF‐pulsed plasma offers facility to overcome limitations that restrict the use of DC and RF sputtering. A high motivation for further development results from the objective to coat large areas, to attain the highest possible deposition rates and to carry out a considerate plasma‐assisted surface treatment or plasma coating matched to the compatibility of the substrates. Via pulsed sputtering and plasma‐activated deposition, the application of a pulsed plasma goes from tasks of substrate pretreatment and etching to the plasma‐assisted surface treatment of layers or workpieces. Unipolar pulsed electrodes — in particular floating‐powered multi‐electrode arrangements — pave the way to stable long‐term and arc‐free reactive deposition of defect‐free and electrically insulating layers. The pulsed plasma also opens up fresh ground in the use of bias effects for the deposition of poorly conducting layers and for the coating of thin insulating substrates on an industrial scale.
The X‐ray Facility at LAX in Palermo
Authors: Celi F. , Bella L. Dalla , Ferrari S. , Re S. , Richiusa G. , Scarsi L.
Published: July 2007

A description is given of the X‐ray facility installed at LAX (Laboratorio per Sperimentazioni con Radiazioni X), jointly operated in Palermo by the DEAF (Department of Energy and Physics Applications) of the University of Palermo and the IFCAT (Institute of Cosmic Physics and Informatics) of the Italian National Research Council. The X‐rays are produced by bombarding a target with energized electrons up to 60 keV.

Depending on the material of the target, characteristic fluorescence lines as well as continuous bremsstrahlung is emitted.

The X‐ray beam has an operational energy range of 0,1–25 keV with a flux of 1010–1012 photons/sr · s; the beam, collimated on a length of 10,5 m, has a diameter at full aperture of 200 mm with a divergence of 1°.

The beam line consists of:

the X‐ray generator

the Beam Channel

the Sample Chamber with a table capable of translation along the X, Y and Z axes and rotation around Y and Z

the Detector Chamber with translation movements along the X and Y axes and rotation around Y.

The X‐ray generator chamber operates at 10−9 hPa, whereas the other parts operate at 10−6 hPa.

The beam line has been developed by RIAL Vacuum S.p.A. following the specifications of DEAF and IFCAI.
Chancen und Möglichkeiten der Plasmatechnologie: Eine Bestandsaufnahme
Authors: Engemann J.
Published: July 2007

Nach einer vergleichsweise langen Latenzzeit gewinnt der technologische Einsatz von Nichtgleichgewichts‐ und Niedertemperaturplasmen zunehmend an Dynamik. In den Jahren zuvor wurde zwar die Eignung derartiger Plasmen als eine attraktive Option auf materialtechnologische Zukunftsfelder im Grundsatz aufgezeigt, jedoch waren beispielhafte und erfolgreiche Demonstratoren eher selten.

Durch erhebliche Fortschritte im Grundlagenbereich, der Verfügbarkeit von leistungsfähigen Simulationswerkzeugen und Plasmaquellen einschließlich ihrer zugehörigen Diagnostiken konnte in sehr unterschiedlichen industriellen Anwendungsfeldern der prinzipielle Nachweis der „Tauglichkeit”︁ von plasmabasierten Verfahren erbracht werden. Dies erfolgte insbesondere auch unter Berücksichtigung von zum Teil sehr stringenten ökonomischen und ökologischen Randbedingungen. Ein erfolgreicher Transfer dieser Technologie in die industrielle Praxis erfordert jedoch mehr. Diese Aussage bezieht sich auf die Akzeptanz, Risikobereitschaft und Langzeitstrategie von Unternehmen, die in diesem Bereich im Interesse einer Stärkung ihrer Wettbewerbsfähigkeit tätig werden wollen.

In diesem Beitrag werden nach einigen einleitenden grundlegenden Überlegungen der Querschnitts‐ und Schlüsselcharakter der Plasmatechnologie in sehr unterschiedlichen Bereichen an Beispielen aufgezeigt, sowie Ansätze zum Übertrag in die Industrie erläutert.
Eine Thermovakuumkammer für die Weltraumsimulation
Authors: Bergner U. , Liebscher R. , Engel K.‐H.
Published: July 2007

Für die Prüfung von Baugruppen und Komponenten unter weltraumähnlichen Bedingungen wird eine Thermovakuumkammer genutzt. Die ölfreie und schwingungsarme Vakuumerzeugung bis zu einem Enddruck von 3.10−6 mbar wird mittels Kryopumpe und LN2‐gekühltem Kryobaffle realisiert. Die Umgebungstemperatur wird durch rechnergesteuerte Shrouds im Bereich von 83 K bis 373 K realisiert. Temperierflächen simulieren den unmittelbaren thermischen Einfluß eigener oder fremder Wärmequellen auf den Prüfling. Ein optisches Fenster (auf der Bedienseite des Rezipienten) gestattet Messungen des Einflusses von Vakuum und Temperatur auf optische Parameter von Prüflingen. Für die Montage von Prüflingen bzw. Meßeinrichtungen zur optischen Messung dienen beidseitig von der Rezipiententür angebrachte optische Bänke.

Die Montage der Prüflinge erfolgt von einem Reinraumlabor aus. Umfangreiche modular einsetzbare Meßtechnik zur optischen Prüfung und Simulierung sowie Temperatur‐ und Kontaminationsmeßtechnik stehen zur Verfügung. Die Möglichkeit des Anschlusses verschiedener elektrischer und Fluiddurchführungen gestatten die Anpassung an unterschiedlich Aufgabenstellungen. An Beispielen wir der bisherige Einsatz der Thermovakuumkammer demonstriert.
Rückgewinnung von Vinylchloridmonomer
Authors: Stürken Kai
Published: July 2007

Bei der Produktion des Polymerisats Polyvinylchorid (PVC) fallen erhebliche Mengen Abluft an. Die Rückgewinnung der anhängenden Dämpfe des Ausgangsproduktes Vinylchloridmonomer (VC) ist ein wichtiger Aspekt für die Wirtschaftlichkeit des Gesamtverfahrens. Durch den Einsatz von Membran‐ und Vakuumtechnik können die Effizienz und die Wirtschaftlichkeit der Rückgewinnung deutlich verbessert werden.
Destillation im Fein‐ und Hochvakuum
Authors: Bethge Daniel
Published: July 2007

Die Destillation im Fein‐ und Hochvakuum erfordert neben geeigneten Vakuumpumpen besondere Apparate und Maschinen. Das physikalische Prinzip und die technische Ausführung der Labor‐ und Industrieanlagen werden erläutert. Neue mathematische Berechnungsmethoden unterstützen die Labor‐ und Pilotversuche zur Verfahrensentwicklung und Anlagenauslegung. Das Ganze wird anhand eines Beispiels vorgestellt.
Surface Migration of Oil in Vacuum Systems
Authors: Tazioukov F. , Garifoullin F. , Norden P. , Ossipov P. , Karibullina F.
Published: July 2007

A comprehensive investigation of the phenomenon of surface migration of oil in vacuum systems with oil diffusion pumps was made. The migration is caused by the temperature gradient along the wall. Theoretical calculations were performed which are based on the film flow approximation taking the conditions at the moving contact line into account. In order to prove the theoretical results, experiments with different vacuum working fluids on metallic surfaces, often used in vacuum technology, were carried out. The results obtained provide a better understanding of the surface migration process and allow to control oil film displacement.
Ionenstrahltechnologien – Werkzeug für das 21. Jahrhundert
Authors: Wolf G. K.
Published: July 2007

Energiereiche Ionen sind Werkzeuge, die sich in Materialforschung, Biologie, Medizin, Mikrosystemtechnik, Optik und Analytik vielfältig anwenden lassen. Wegen seiner Fokussierbarkeit, Energieschärfe und extremen Variabilität ist der Ionenstrahl häufig Strahlenmethoden überlegen. Im folgenden Beitrag werden die Ergebnisse einer vom BMBF geförderten Untersuchung über „Stand und Zukunftsperspektiven der Ionentechnologie”︁ vorgestellt.

Insbesondere wird auf den Stand der Forschung und Anwendung in Deutschland im Vergleich zum Ausland eingegangen, und auf Grund von Gesprächen mit in‐ und ausländischen Experten das generelle Verwendungspotential bewertet. Darüber hinaus werden Anwendungsdefizite diskutiert und auf Kostenfragen eingegangen. Schließlich werden Maßnahmen empfohlen, um die Entwicklung in Deutschland dem internationalen Spitzenniveau anzunähern, und geeignete Verbundforschungsthemen für eine gemeinsame Bearbeitung durch Industrie und Forschungsinstitute definiert.
Stabilität von Hochvakuum‐Meßröhren
Authors: Schmidt Karl , Bergner Ute
Published: July 2007

Zusammenfassung Ionisationsmanometer mit Glükathode und Kaltkathode werden in großer Zahl in Industrie und Forschung zur Druckmessung im Hoch‐ und Ultrahoch‐Vakuum eingestzt. Wichtige Einsatzgebiete sind z. B. Sputter‐ und Bedampfungsanlagen. Stillschweigend wird dabei seit langem akzeptiert, daß in diesen tiefen Druckbereichen Meßfehler zwischen 10% und 100% mit herkömmlichen lonisationsmanometern keine Seltenheit sind. Ursache ist die mangelnde Langzeitstabilität konventioneller Ionisationsmanometer.

Zusammenfassung Wenn es bei der Druckmessung auf Genauigkeit und Reproduzierbarkeit ankommt, spielt die zeitliche Stabilität der Meßröhre eine entscheidende Rolle. Nur eine stabile Meßröhre gewährleistet eine sichere Steuerung von Prozeßabläfen. Auch soll ein Austausch einzelner Meßröhren zu keiner Änderung bei der Druckmessung führen, da sonst langwierige und kostenintensive Neukalibrierungen nötig werden.

In diesem Artikel wird über Messungen an Bayard‐Alpert‐ und Penning‐ Röhren berichtet, die das Stabilitätsverhalten dieser Röhren über Zeiträume von mehreren Monaten untersuchen. Ursachen für die beobachteten zeitlichen Änderungen werden diskutiert. Eine speziell für hohe Stabilität entwickelte Bayard‐Alpert‐Meßröhre (STBILION) vermeidet bzw. reduziert diese Ursachen. Als Folge ergibt sich eine wesentlich bessere Langzeitstabilität verglichen mit herkömmlichen Meßröhren.
Grundlagenuntersuchungen zum Betriebsverhalten eines „Stabil Ion Gauge”︁
Authors: Biehl Steffen , Knapp Wolfram , Edelmann Christian
Published: July 2007

Zusammenfassung Für ein kommerzielles Glühkatodenionisationsmanometer „Stabil Ion Gauge”︁ [1] wurden die grundlegenden Kennlinien bestimmt und ausgewertet, wobei sich ein recht eigentümlicher Verlauf der Diodenkennlinien zeigte. Durch zweidimensionale Berechnungen des elektrischen Feldes mit dem Programm „SIMION”︁ [2] konnte eine Elektronenemission von der Rückseite der Katode als Ursache gefunden werden. Die Übereinstimmung der Feldberechnungen und der experimentellen Ergebnisse beweist nahezu zweifelsfrei, daß es sich tatsächlich um diesen Effekt handelt. Die Kennlinie von Empfindlichkeit gegen Elektronenstrom weist eine leicht fallende Tendenz auf, was sich mit der Ausbildung einer Elektronenraumladung im Gitter mit steigendem Elektronenstrom erklären läßt. Dieser Effekt wird durch den gerichteten Elektronenstrahl noch verstärkt. Die Röntgengrenze wurde mit der Alpertmethode zu 1,9.10−10 mbar und mit der Vergleichsmethode zu 1,8.10−10 mbar bestimmt. Das „Stabil Ion Gauge”︁ weist deutlich stärkere Desorptionseffekte als die beim Vergleich benutzte Meßröhre IE 414 auf. Dies war wegen der Verwendung einer massiven Abschirmelektrode auch nicht anders zu erwarten. Der Effekt ist — in Übereinstimmung mit der Erfahrung — für Sauerstoff am größten und für Argon und Stickstoff am kleinsten. Somit erscheinen die im Hinblick auf Stabilität und Reproduzierbarkeit der Empfindlichkeit günstigen konstanten Potentialverhältnisse mit einem recht störenden Einfluß von Desorbaten an der unteren Meßgrenze sowie einer erhöhten Röntgengrenze erkauft.
LASMA: Laser‐Massenanalysator
Authors: Schmitt Christoph , Schmiedel Hans
Published: July 2007

Die Stärken der Laser‐Massenspektrometrie liegen in ihrer Schnelligkeit und Mobilität. Als typische Multielementmethode erlaubt sie eine einfache Elementübersicht einer Probe bei recht einfacher Probenvorbereitung.

Basierend auf dieser Methode ist LASMA (LASer Mass Analyser) ein robustes Gerät welches zudem für den Betrieb nur elektrische Energie in der Größenordnung von 1 kW benötigt. Damit ist es ideal für den Vor‐Ort‐Einsatz. In der Umweltanalytik hat das Gerät seine Stärken im Bereich der Screening‐Untersuchungen. Selbst organische Verunreinigungen lassen sich anhand des Kohlenstoff‐, Sauerstoff‐oder Chlornachweises verfolgen bzw. eingrenzen. Die einzigartige Kombination von Mikroskop und Massenspektrometer ermöglicht eine breite Palette von Anwendungen insbesondere im Bereich der Fehlstellenanalytik. Selbst chemischen Methoden schwer zugängliche Matrices wie Keramiken oder Gläser lassen sich mit dem Gerät ohne große Probleme analysieren.

Ist damit das LASMA‐Gerät ein Universalgerät oder der Stein der Weisen? Sicher nicht, es hat ‐wie jedes andere Gerät‐ seine ganz speziellen Anwendungsbereiche. LASMA analysiert ortsaufgelöst, d.h. es wird ein Volumen von ca. 30 μm Durchmesser und einer Dicke von ca. 0.1 μm analysiert. LASMA kann und will nicht wie bei der Atomabsorbtionsspektrometrie (AAS) den Anteil eines Elementes in einer großvolumigen Probe von mehreren Gramm feststellen, wobei dort natürlich ein Mittelwert über die gesamte Probe gemessen wird. Gerade durch die Ortsauflösung des LASMA wird die phantastische Möglichkeit eröffnet, Inhomogenitäten in einer Probe aufzuspüren. LASMA ersetzt nicht bewährte Methoden, sondern ergänzt sie.
Plasmaunterstütztes Aufdampfverfahren eröffnet neue Perspektiven in der Brillen‐ und Feinoptik
Authors: Zöller Alfons
Published: July 2007

Ein plasmaunterstütztes Aufdampfverfahren zur Herstellung optisch wirksamer dünner Schichten führt bereits bei niederen Substrattemperaturen zu hervorragenden Schichteigenschaften. Anhand der Untersuchungen von Einzelschichten im Vergleich zum konventionellen Verfahren wird der physikalische Effekt, welcher zur Verbesserung der Schichteigenschaften führt, verdeutlicht. Bei der Beschichtung von Kunststoff‐Brillengläsern wird die Durchlaufzeit bei Sicherstellung einer hohen Qualität des Endproduktes drastisch reduziert. Die Herstellung extrem temperaturstabiler Interferenzfilter für die Glasfaserübertragungstechnik demonstriert die Leistungsfähigkeit dieser noch relativ neuen Technik.
Optisch dünne Schichten aus Sicht eines Anwenders
Authors: Terhürne Jörg
Published: July 2007

Optisch dünne Schichten finden u.a. in der Feinoptik Anwendung. Insbesondere ist ihre Wirkung bei mehrlinsigen optischen Systemen wichtig. In speziellen Anlagen werden Materialien verdampft, die auf Substraten zu dünnen Schichten kondensieren. Aber auch die Arbeitsschritte Reinigen vor und Glätten nach dem Aufdampfen gehören zum Ablauf einer Dünnschichtfertigung. Die Vorteile der ionenunterstützten Beschichtung führen dazu, daß dieses Aufdampfverfahren zunehmend die konventionelle Bedampfung von geheizten Substraten ablöst (siehe auch [1]).
Meßmethoden der modernen Oberflächen‐ und Dünnschichtanalytik
Authors: Bartella Joachim
Published: July 2007

Oberflächen‐ und Dünnschichttechnologie benötigen Meßverfahren, um die Zusammensetzungen nur nanometerdicker Bereiche mit höchster Genauigkeit bestimmen zu können. Moderne kommerziell erhältliche Verfahren erlauben Stöchiometriebestimmungen mit ppb‐Empfindlichkeit, Bestimmung des chemischen Bindungszustandes oder Messung von Elementverteilungen. Die Tiefenprofilanalytik ermittelt den Aufbau komplexer Vielschichtsysteme auch bei analytisch schwierigen Proben wie elektrischen Isolatoren oder thermisch empfindlichen Kunststoffen.
Die Flüssigkeitsring‐Vakuumpumpe als verfahrenstechnische Maschine
Authors: Teifke Jürgen
Published: July 2007

Flüssigkeitsring‐Vakuumpumpen werden in der verfahrenstechnischen Industrie sehr vielfältig eingesetzt. Hierbei stehen zunächst die Förderung von Gasen und Dämpfen sowie die damit verbundene Herstellung einer Druckdifferenz im Vordergrund des Interesses. Selbstverständlich findet in Flüssigkeitsring‐Vakuumpumpen aber auch ein Wärme‐ und Stoffaustausch zwischen den zu fördernden Gasen und Dämpfen auf der einen und der Betriebsflüssigkeit auf der anderen Seite statt. Dieser Wärme‐ und Stoffaustausch kann gezielt für verfahrenstechnische Grundoperationen eingesetzt werden. So können in diesem Pumpentyp neben den Hauptaufgaben Fördern und Verdichten auch gezielt Wärmeaustausch, Kondensation/Verdampfung, Absorption/Desorption sowie chemische Reaktionen durchgeführt werden.
Sicherheitnorm DIN EN 1012 – 2 für Vakuumpumpen und VBG 16
Authors: Henning H.
Published: July 2007

Im Juli 1996 hat der Normenausschuß Maschinenbau die Norm DIN EN 1012 Kompressoren und Vakuumpumpen – Sicherheitsanforderungen Teil 2: Vakuumpumpen veröffentlicht [1] als Umsetzung der Europäischen Norm EN 1012 – 2 in eine nationale. Der deutsche Text von EN 1012 – 2 erschien nur 3 Monate früher. Er ist ohne Änderung in die nationale Norm übernommen. Teil 1 behandelt die Kompressoren zur Verdichtung von Gasen auf Drücke über 1bar. DIN EN 1012 – 2 ist eine Sicherheitsnorm, eine Umsetzung der allgemeinen Richtlinie des Rates der Europäischen Gemeinschaft zur Sicherheit von Maschinen 89/392/EWG vom 14.6.89 mit Änderung 91/368/EWG vom 20.6.91, der sogenannten Maschinenrichtlinie (MR) [2], in eine Norm zur Anwendung auf eine bestimmte Maschinengruppe, in diesem Fall auf die Vakuumpumpen. Damit steht diese Norm in Konkurrenz zur Unfallverhütungsvorschrift Verdichter (VBG 16) [3], in der ebenfalls Gefährdungen und Sicherheitsmaßnahmen behandelt werden.

Es ist deshalb nötig, zunächst kurz auf die MR einzugehen und dann ihren Zusammenhang mit DIN EN 1012 – 2 zu erläutern. Danach wird die Position der VBG 16 erklärt, und schließlich werden Aufbau und Inhalt der Norm DIN EN 1012 – 2 behandelt.
Geräuschberechnungen zur Gestaltung kavitationsarmer Flüssigkeitsringpumpen
Authors: Dittmar R.
Published: July 2007

Es wird eine Berechnungsmöglichkeit für Kavitationsgeräusche vorgestellt und für Wasserringpumpen angewandt.

Der Einfluß von hydraulischen und konstruktiven Parametern wird deutlich. Auftretende Konstanten werden für jeweils geometrisch ähnliche Maschinen experimentell bestimmt. Die Beziehungen gestatten eine Berechnung der Schallpegel bei anderen Betriebszuständen und geometrisch ähnlichen Pumpentypen. Sie geben Hinweise auf eine Reduzierung des Kavitationsgeräusches.

Durch geeignete konstruktive Maßnahmen ist es möglich, Kavitation und kavitationsbedingte Geräusche beträchtlich zu vermindern.
Gasflußmessung mit Blenden und Düsen
Authors: Jitschin W. , Ronzheimer M.
Published: July 2007

Ein Gasstrom durch eine Rohrleitung kann dadurch gemessen werden, daß in die Leitung eine Engstelle (Drosselelement) eingebaut wird und der entstehende Druckabfall (Wirkdruck) erfaßt wird. Für den Fall idealer Bedingungen kann der Zusammenhang zwischen Gasdurchfluß und Wirkdruck exakt ausgerechnet werden. In der praktischen Anwendung treten allerdings störende Effekte auf. Die verschiedenen Drosselelemente (Blende, Düse, Staurohr) zeigen unterschiedliches Verhalten. Im Labor für Vakuumtechnik der Fachhochschule in Gießen wurden Meßstrecken zur Durchflußmessung nach dem Wirkdruckprinzip aufgebaut. Deren Charakteristik wurde durch Kalibrierung mit primären Verfahren bestimmt. Es stehen Meßmöglichkeiten für Durchflüssee im Bereich von 10−7 bis 105 mbar · l/s zur Verfügung.
Mechanische Druckbestimmungen mit Turbopumpen
Authors: Reimer P. , Schittko F. J. , Vorzepf J. , Zettelmeyer Th.
Published: July 2007

Bei Untersuchungen an einer TMP 340 M haben sich einige nützliche sehr einfache Zusammenhänge herausgestellt. Bei abgeschaltetem Antrieb fällt die Rotordrehfrequenz f proportional zur Zeit t: f(t) = f0 − αt. Dabei ist α abhängig vom Gasdurchsatz Q und vom Vorvakuumdruck pvv. Eine lineare Beziehung gilt auch für die Vorvakuumabhängigkeit von

.

Die Konstante m hängt exponentiell vom Verhältnis der Tangentialgeschwindigkeit ut des Pumpenrotors zur wahrscheinlichsten thermischen Geschwindigkeit cw der Moleküle ab. Die Gleichung

bringt die Linearisierung des Zusammenhangs mit dem gleichen Argument, von dem auch das Kompressionsvermögen der Turbopumpen allgemein abhängt. Dabei enthält die Konstante Γ u. a. den Einfluß von Geometriefaktoren der Turbopumpe. Diese Beziehung gilt für den Bereich der relativen Molekülmassen: 2 ⩽ M ⩽ 130. Mit Hilfe von – Δf/Δt und m lassen sich Pumpenleistungen berechnen sowie einfache Beziehungen zwischen den Drücken und dem Gasfluß herstellen.
Herstellung von Niedertemperaturoxiden (SiO2) im Ultrahochvakuum mit plasma‐ bzw. ozongestütztem Aufdampfverfahren
Authors: Neubecker A. , Strass A. , Hansch W. , Eisele I.
Published: July 2007

Dünne SiO2‐Filme wurden bei Raumtemperatur auf Si mit plasma‐ und ozon‐unterstützter Verdampfung in einer UHV‐Kammer abgeschieden und mittels Ellipsometrie, Augerelektronenspektroskopie und elektrischen Messungen charakterisiert. Während die elektrischen und stöchiometrischen Eigenschaften gut mit thermisch gewachsenem SiO2 übereinstimmen, müssen die elektrischen Eigenschaften im Hinblick auf geringere mobile Ladungsträgerdichte und geringere Grenzflächenzustandsdichte optimiert werden.
Bestimmung der Gasabgabe von nichtmetallischen Werkstoffen für den Einsatz im Ultrahochvakuum (UHV)
Authors: Pauly Fred , Schröder Gerald , Filho João da Cruz Payão
Published: July 2007

Wird ein Festkörper in einen evakuierten Raum gebracht, gibt er mehr oder weniger viel Gas in unterschiedlicher Zusammensetzung ab. Literaturdaten für Gasabgaberaten sind für etablierte Werkstoffe zwar vorhanden aber aufgrund der verschiedenen Meßverfahren und ‐aufbauten nur bedingt miteinander vergleichbar. Selten findet man neben quantitativen Daten auch eine qualitative Untersuchung der desorbierenden Stoffe. Für neue Produkte sind diese Daten in vielen Fällen noch nicht verfügbar. Deshalb wurde zur Untersuchung des Ausgasungsverhaltens von nichtmetallischen Werkstoffen und Sonderbauteilen unter Ultrahochvakuum‐Bedingungen eine rechnergesteuerte Experimentier und Meßeinrichtung im Forschungszentrum Jülich erstellt.

Nachfolgend werden die Funktionsweise und der Aufbau dieser Apparatur kurz vorgestellt. An einem Beispiel werden, stellvertretend für die bisher durchgeführten Messungen, die gewonnen Ergebnisse diskutiert.
Vakuumpumpenöle für Dreh‐/Sperrschieberpumpen und Wälzkolbengebläse im Vergleich
Authors: Willuweit Klaus B.
Published: July 2007

Neue Prozesse, veränderte, teilweise erschwerte Betriebsbedingungen, schärfere Umweltauflagen usw. stellen an die Vakuumpumpe immer höhere Anforderungen. Sieht man einmal von Anwendungen mit ölfreien Anlagen ab, so ist die Auswahl des richtigen Schmierstoffs für den jeweiligen Prozeß von größter Wichtigkeit im Hinblick auf einen störungsfreien Betrieb und die Werterhaltung der Maschinen. Die nachfolgende Betrachtung vergleicht Vakuumpumpenöle auf Basis unterschiedlicher Grundöle miteinander und schildert die Lösung einiger Anwendungsfälle mit Hilfe von Ester‐ und Polyalphaolefin‐Ölen.
Pharmazeutische Gefriertrocknungsanlagen
Authors: Heldner Manfred
Published: July 2007

Es wird ein Überblick über die physikalischen und prozeßtechnologischen Belange während des Gefriertrocknungsprozesses gegeben.

Unter Gefriertrocknung versteht man die schonende Trocknung von gefrorenem Produkt unter Vakuum bei Temperaturen unterhalb des Gefrierpunktes.

Entscheidend für die Qualität des getrockneten Endproduktes ist, auch unter Beachtung wirtschaftlicher Gesichtspunkte, immer die Auslegung und Abstimmung der individuellen Anlagenkomponenten unter Beachtung der für den Produktionsablauf erforderlichen Peripherieprozesse. So beeinflussen die in den letzten Jahren stetig wachsenden Forderungen nationaler und internationaler Gesundheits‐ und Aufsichtsbehörden in bezug auf Sterilität und Sicherheit gegen Kontamination den Produktfluß auch im Umfeld von Gefriertrocknungsanlagen. Hier gilt es, das Kontaminationsrisiko „Mensch”︁ im Sterilbereich u. a. durch Einsatz von automatischen Be‐ und Entladesystemen zu reduzieren. Eine aseptische Produktherstellung setzt die Einhaltung von Reinraumbedingungen „Klasse 100”︁ voraus.

Anhand des Überblickes wird gezeigt, daß die Gefriertrocknung – und hier vor allem die den Produktionsablauf stark beeinflussende Peripherietechnologie – einem stetigen Verbesserungsprozeß unterliegt.

Eine Substitution der Gefriertrocknungstechnologie durch andere Verfahren ist auch in Zukunft nicht zu erwarten.
Sekundärneutralteilchen‐Massenspektrometrie SNMS – derzeitiger Stand und weitere Entwicklungen
Authors: Bock W. , Kopnarski M. , Oechsner H.
Published: July 2007

Nach einem Rückblick auf die Entstehungsgeschichte der auf der Nachionisation in einem heißen Elektronengas basierenden Methode der Sekundärneutralteilchen‐Massenspektrometrie SNMS werden deren prinzipielle Eigenschaften erläutert und denen anderer Verfahren der modernen Oberflächenanalytik gegenübergestellt. Die einfache und zuverlässige Quantifizierbarkeit der SNMS‐Signale, die niedrigen Nachweisgrenzen und die hohe Tiefenauflösung der Methode werden von den Grundlagen her beschrieben und anhand ausgewählter Anwendungsbeispiele aufgezeigt. Bei den neueren methodischen Entwicklungen wird vor allem auf den Hochfrequenzmodus HFM eingegangen, mit dem die vorteilhaften Eigenschaften der konventionellen direkten Beschußmethode von SNMS auch auf die Analyse nichtleitender Probenstrukturen übertragen werden. Eine neue Generation von SNMS‐Geräten soll als Option die in situ‐Anwendung der röntgenstrahlinduzierten Photoelektronenspektroskopie XPS ermöglichen.
Aktuelle Applikationsfelder der Hochleistungs‐Elektronenstrahltechnik
Authors: Lenk P.
Published: July 2007

Hochleistungs‐Elektronenstrahlen für industrielle Vakuumprozesse sind seit den sechziger Jahren bis in den MW‐Bereich verfügbar. In der Metallurgie der reaktiven und refraktären Metalle haben sie heute ihren festen Platz. Neue Applikationsfelder sind das Großflächenbeschichten von Metallbändern mit optischen Schichtsystemen sowie das Herstellen von Thermo‐Barriere‐Schichten für Gasturbinenkomponenten durch EB‐PVD‐Technologien (Electron Beam‐Physical Vapor Deposition). An der Vormachtstellung des Elektronenstrahls auf diesen Gebieten hat auch die Lasertechnik nichts ändern können.