Patent WO-2020128832-A1 (WO)
Inventor: SCHIVALOCCHI NICOLA
IPC: H01L21/67
Filed: 2019-12-17
Abstract: L'invention concerne une presse de frittage (1) pour fritter des composants électroniques (10) sur un substrat (12), comprenant une unité de pressage comprenant une pluralité de tiges de pressage (112) pouvant être commandées pour appliquer une presse de frittage aux composants électroniques (10) à fritter, une pluralité d'éléments de réaction (40) formant chacun un plan de support pour un substrat respectif (12), une plaque d'élément (70) appropriée pour supporter de manière coulissante les éléments de réaction (40) et un circuit de chauffage (72) comprenant des éléments chauffants incorporés dans un corps chauffant (76) placé autour de la plaque d'élément (70) pour amener la plaque d'élément (70) à une température de frittage. Une plaque de diffusion de chaleur (80) est placée en contact avec le corps chauffant (76) et s'étend sur la plaque d'élément (70) entre les éléments de réaction (40), la plaque de diffusion de chaleur (80) étant constituée d'un matériau (par exemple, Cu) ayant une conductivité thermique supérieure à celle de la plaque d'élément (70) (par exemple, l'acier). La plaque de diffusion de chaleur (80) peut comprendre au moins deux collecteurs de chaleur d'extrémité (82), opposés l'un à l'autre et fixés, chacun chevauchant le corps chauffant (76) et la plaque d'élément (70), et une grille centrale (84) qui s'étend avec un contact sur la plaque d'élément (70) entourant les éléments de réaction (40). L'unité de pressage peut comprendre une plaque chauffante de pressage (110) supportant de manière coulissante les tiges de pressage (112), la plaque chauffante de pressage (110) comprenant une plaque interne (114) appropriée pour supporter de manière coulissante les tiges de pressage (112) et un corps chauffant de pressage (116) placé autour de la plaque interne (114) et comprenant des moyens de chauffage (118) appropriés pour chauffer la plaque interne (114) et ainsi les tiges de pressage (112), l'unité de pressage pouvant en outre comprendre une seconde plaque de diffusion (120) placée en contact avec le corps chauffant de pressage (116) et s'étendant sur la plaque interne (114), entre les tiges de pressage (112), la seconde plaque de diffusion (120) étant constituée d'un matériau (par exemple, Cu) ayant une conductivité thermique supérieure à celle de la plaque interne (114) (par exemple, l'acier). Des trous de compensation (88, 124) peuvent être réalisés dans la plaque de diffusion de chaleur (80) et/ou la seconde plaque de diffusion (120) de façon à garantir un chauffage uniforme de tous les éléments de réaction (40) et/ou toutes les tiges de pressage (112). La presse de frittage (1) peut également comprendre une pluralité de cellules de charge (50), chacune reliée fonctionnellement à un élément de réaction (40), de telle sorte que ladite cellule de charge (50) détecte, au moyen de l'élément de réaction (40), la force exercée par une ou plusieurs tiges de pressage (112), la cellule de charge (50) étant logée dans une plaque de support de cellule (52) fonctionnellement reliée à un circuit de refroidissement (54). Chaque élément de réaction (40) peut avoir une partie chauffante (40a) qui traverse la plaque d'élément (70) et qui est appropriée pour transmettre par conduction la chaleur de la plaque d'élément (70) au substrat (12), et une partie de refroidissement (40b) formée de façon à dissiper la chaleur transmise de la plaque d'élément (70) à la partie chauffante (40a). La partie de refroidissement (40b) peut comprendre une succession axiale de disques de dissipation (44) qui s'étendent coaxialement à l'axe de l'élément de réaction (40). La partie de refroidissement (40b) peut être équipée d'un écran infrarouge (46) faisant face à la cellule de charge (50).