baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-20060039970-A (KR)
Inventor: JEON DO YOUNG
IPC: A61H3/00
Filed: 2004-11-04
Abstract: 본 발명은 동력발생장치를 포함하는 별도의 캐스터워커와 와이어를 이용한 작동메커니즘을 채용함으로써, 보행보조기구의 부피와 무게를 줄일 수 있고, 이에 따라 착용자가 느끼는 무게와 불편함을 최소화할 수 있으며, 특히 보행보조기구의 동작에 대한 행동프로파일을 구비하여 몸이 불편한 노인이나 장애인을 보조하는 역할 뿐만 아니라 일반인이나 환자들의 근력증강을 도와주는 역할을 충실하게 수행할 수 있도록 한 근력증강을 위한 보행보조기기 및 그 제어방법에 관한 것이다.  
     본 발명은 노인성 질환 및 노화로 야기되는 하지 근력의 약화로 외부 활동이 부족한 노인들을 위하여 지능형 캐스터워커 및 착용이 간편하고 근력강화기능을 갖는 보행보조기구를 제공함으로써, 점진적으로 보행을 보조함과 동시에 하지 근력의 쇠퇴를 방지하는 재활의 기능을 가지면서 활발한 활동을 유도하여 노후의 삶의 질을 향상시킬 수 있도록 하는 한편, 보행보조기구의 동작과 관련한 행동프로파일을 포함하는 제어방식을 제공함으로써, 착용자의 행동을 파악하여 근력을 보조할 수 있고, 이에 따라 일반인은 근력증강을 통해 보다 힘든 일을 수월하게 할 수 있으며, 근력이 모자란 노인과 장애인은 자유로운 걷기, 앉기, 서기 등을 수월하게 할 수 있도록 한 보행보조기기 및 그 제어방법을 제공한다.  
       
     보행보조기기, 텐던드라이브, 근력증강장치, 캐스터워커
Patent KR-20060040337-A (KR)
Inventor: LEE HYEON HWAN
IPC: H01J9/227
Filed: 2004-11-05
Abstract: 본 발명은 음극선관용 스크린에 관한 것으로서, 특히 일정한 간격의 패턴으로 형성된 블랙 매트릭스와, 상기 블랙 매트릭스 사이에 도포되어 전자빔의 타격에 의해 발광하는 형광체를 포함하여 구성되는 음극선관용 스크린에 있어서 상기 블랙 매트릭스는 흑색도의 향상을 위해 입자가 작은 카본블랙 물질을 그 성분으로 포함하는 것을 특징으로 한다.  
     상기와 같은 구성에 따른 본 발명은 흑도가 향상된 블랙 매트릭스가 적용됨으로써 형광체의 발광 효율이 상승하고 콘트라스트 및 색 선명도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다. 
                 
       
     음극선관용 스크린, 블랙 매트릭스, 형광체, 카본 블랙
Patent KR-20050045863-A (KR)
Inventor: KARASAWA JOJI
IPC: H04N5/74
Filed: 2004-11-09
Abstract: 본 발명의 목적은 미광에 의해 화상의 열화가 발생하기 어려운 프로젝터를 제공하는 것이다.  제 2 다이크로익 미러(23b)와 액정 라이트 밸브(26b) 사이에 자세 조절 기구(33)에 의해 그 자세가 미세 조정 가능하게 되어 있는 감광 필터(31)를 배치하고 있으므로, 감광 필터(31)를 적당히 기울이는 것만으로, 필드 렌즈(23f)의 다중 통과 등에 기인하는 집광에 대응하는 미광을 광로외로 배제할 수 있다.  이로써, 스크린 전면에 걸쳐서 균일한 밝기(화이트 레벨에서의 조도)의 화상을 투사할 수 있고, 스크린 전체에 색 불균일이 없는 화상을 투사할 수 있다.
Patent KR-20060042373-A (KR)
Inventor: EOM TAE IN
IPC: C23C18/54
Filed: 2004-11-09
Abstract: 본 발명은 구리금속판에 저방사율 및 고흡수율의 무전해 도금액 및 이를 이용한 도금방법에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 증류수 1ℓ에 대하여 산화비소(AsO 4 ) 35g과 브롬칼륨(KBr)이 35%이고 수산화칼륨(KOH)이 65%인 도금물질 72g과 오산화바나듐(V 2 O 5 )과 인산나트륨(NaPO 2 ) 각각 50%씩으로 혼합한 안정제 및 환원제 3.1g으로 구성되는 무전해 도금액 및 이를 이용한 도금방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 1차로 구리금속 표면을 휘발성이 강한 삼염화에틸렌으로 세척하여 불순물을 제거한 후 황산(H 2 SO 4 ) 65g, 질산(HNO 3 ) 20g, 산화크롬(CrO 3
 ) 10g, 염산 1g 및 물 120g을 혼합한 용액으로 구리판을 탈청 및 활성화하여 2차례 수세를 한 후 80℃로 예열된 예열조에 침적하여 구리표면을 가열한 후, 온도 75∼90℃인 선택흡수박막 무전해 도금탱크에 30∼150초 동안 침적하여 구리판 표면에 0.001∼0.0015mm 두께의 선택 흡수박막을 도금하고 이 후 2차례 수세와 60℃ 정도의 온수로 탕세를 실시한 후 60∼80℃의 열풍으로 건조시켜 도금물질이 구리판의 밀착성(KS D0254)이 우수하고 태양열 흡수율 94∼98%, 방사율 7∼15%인 무전해 도금 태양열 집열판을 생산한다. 
       
     무전해도금, 비소, 브롬칼륨, 수산화칼륨, 구리, 황산, 질산, 산화크롬
Patent KR-20050046626-A (KR)
Inventor: BARTRAY PETRUS RUTGERUS
IPC: G03B27/42
Filed: 2004-11-12
Abstract: 본 발명에서는, 기판(W)을 잡아주는 기판테이블(WT), 패터닝된 빔을 기판(W)의 타겟부상으로 투영하는 투영시스템(PL), 및 그에 대하여 상기 기판이 측정되는 기준면을 제공하는 고립된 기준 프레임(MF)을 포함하되, 상기 기준 프레임(MF)이 높은 열팽창계수를 갖는 재료를 포함하는 리소그래피 장치가 제공된다.
Patent KR-20060055633-A (KR)
Inventor: JEONG TAE HWA
IPC: H01L21/68
Filed: 2004-11-18
Abstract: 반도체 기판을 육안으로 검사하기 위하여 상기 기판을 안정적으로 핸들링하기 위한 기판 핸들링 장치에서, 반도체 기판과 면접하는 면접 부재에는 개구부가 형성되어 있다. 상기 면접 부재와 연결되는 본체는 상기 개구부에 반도체 기판을 흡착하기 위한 진공압을 제공하는 진공 라인을 구비한다. 상기 본체의 일단에 상기 면접 부재와 이격되어 설치되는 파지 부재는 상기 면접 부재에 면접된 상기 기판의 위치를 고정시키기 위하여 상기 기판의 가장자리를 파지한다. 따라서, 상기 파지 부재에 의하여 반도체 기판을 안정적으로 파지할수 있으므로 상기 기판을 용이하게 핸들링할 수 있다.
Patent KR-20060056749-A (KR)
Inventor: LEE JEONG NO
IPC: G09G3/30
Filed: 2004-11-22
Abstract: 본 발명은 다이나믹한 화면 구현이 가능하고, 소면적 발광시 고휘도의 상이 구현되도록 하여 야외 시인성을 향상시킨, 능동 구동형 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치 및 이를 구비한 모바일 기기를 위하여, 복수개의 제 1 박막 트랜지스터들에 전기적으로 연결된 복수개의 유기 발광 다이오드 소자들, 그리고 상기 제 1 박막 트랜지스터들의 각 소스 전극에 공통으로 연결된 저항을 구비하는 것을 특징으로 하는 능동 구동형 유기 발광 다이오드 디스플레이 장치를 제공한다.
Patent KR-20060057043-A (KR)
Inventor: CHOI KYONG HEE
IPC: H01J9/24
Filed: 2004-11-23
Abstract: 본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널 이송카트에 관한 것으로, 얼라이닝 및 클리핑된 전면패널과 배면패널로 이루어진 하나 이상의 플라즈마 디스플레이 패널을 거치할 수 있도록 된 프레임을 포함하여 이루어지고 상기 플라즈마 디스플레이 패널을 진공분위기에서 합착할 수 있도록 진공챔버로 이송하기 위한 플라즈마 디스플레이 패널 이송카트에 있어서, 상기 이송카트의 프레임을 길이방향으로 리브가 형성된 판부재로 구비하고 상기 판부재에 다수개의 관통공을 형성함으로써 상기 진공챔버내에서 히터에 의해 발생되는 복사열로 가열되는 상기 패널과 이송카트의 온도편차를 최소화하여 상기 패널에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다. 
       
     플라즈마 디스플레이 패널, 프레임, 진공챔버, 이송카트, 판부재, 관통공
Patent KR-20060058933-A (KR)
Inventor: AHN TAEK
IPC: H01L29/786
Filed: 2004-11-26
Abstract: 본 발명은 후속공정이 용이하도록 수직의 단차가 형성되지 않게 물체의 표면을 식각하는 레이저 어블레이션 기술을 이용하여 경사면을 형성하는 방법, 요홈부를 형성하는 방법, 유기 박막 트랜지스터를 제조하는 방법 및 그 방법에 의해 제조된 유기 박막 트랜지스터를 위하여, 물체의 표면의 적어도 일부의 영역에 레이저빔을 조사하여 상기 물체를 식각하되, 상기 영역에 도달하는 레이저빔의 세기가 점진적으로 변하도록 하여, 형성된 표면이 경사면이 되도록 하는 것을 특징으로 하는 레이저 어블레이션 기술을 이용하여 경사면을 형성하는 방법 및 요홈부를 형성하는 방법을 형성하는 방법을 제공한다.
Patent KR-20060060451-A (KR)
Inventor: LEE WOOK YONG
IPC: F25C5/02
Filed: 2004-11-30
Abstract: 본 발명은 제빙기의 얼음 분리 방법 및 제빙 트레이에 관한 것으로, 이 제빙 트레이(1)는 얼음을 추출하기 위한 이젝터(2)의 하부에 설치되어 그 내부에 물이 투입되어 얼음을 얼릴 수 있는 제빙 공간을 갖는 트레이 몸체(3)와, 상기 제빙 공간을 복수개의 제빙 공간으로 구획하도록 상기 트레이 몸체(3) 내부에 형성된 복수개의 구획벽(4) 및, 이 구획벽(4)을 통해 상기 트레이 몸체(3) 내부에서 각각의 얼음셀(I)이 얼려지는 공간을 이룸과 더불어 이 공간이 상기 이젝터(2)의 이젝터 축(2a)을 중심으로 엇갈리게 배치되어 형성된 다수의 셀 몰드(5)를 포함하여 구성된 것으로서, 상기 제빙 트레이를 통해 이빙시 서로 인접된 얼음셀간에 상대운동을 발생시켜 얼음셀의 접촉부가 떨어져 나간 상태로 아이스뱅크에 얼음을 효과적으로 공급할 수 있고, 제빙된 얼음이 각각의 얼음셀로 분리되기 때문에 얼음추출성능의 신뢰성 및 제빙장치의 신뢰성을 확보할 수 있으며, 제빙 트레이로부터 이빙되는 각각의 얼음셀이 서로 붙은 상태로 이빙되는 것을 막아줄 수 있기 때문에 제빙기를 이루는 이젝터나 아이스뱅크의 파손을 미연에 방지할 수 있는 것이다. 
       
     제빙기, 제빙 트레이, 셀 몰드, 얼음셀
Patent KR-20050054842-A (KR)
Inventor: NANBU AKINORI
IPC: F25B41/06
Filed: 2004-12-03
Abstract: 본 발명은 팽창밸브의 제조에 있어서, 종래의 기능을 유지하면서 구성이 간단하고, 부품·조립공정수의 저감과 조립비용의 삭감을 도모하는 것이다. 
     에버포레이터(2)를 향하는 냉매가 통과하는 제 1 통로(11)와, 에버포레이터(2)로부터 컴프레서(3)를 향하는 냉매가 통과하는 제 2 통로(12)가 밸브 본체(10) 내에 형성된다.  제 2 통로(12)의 냉매의 온도에 따라 밸브체 구동부재(40')에 의하여 밸브본체(10) 내의 밸브체(20)를 구동하여 에버포레이터(2)에 유입하는 냉매유량을 제어한다.  제 1과 제 2 통로(11, 12) 사이를 시일하는 시일부재(50)가, 밸브 본체(10)와 밸브체 구동부재(40')와의 사이에 배치되어 있다.  시일부재(50)의 고정부(44)가 미리 밸브체 구동부재(40')에 일체 성형되어 있다.
Patent KR-20050059420-A (KR)
Inventor: CHOI JAE KWANG
IPC: B24B37/00
Filed: 2004-12-03
Abstract: 본 발명의 전형적인 실시예는 폴리실리콘층의 화학기계적연마를 포함하는 공정에 사용할 수 있는 새로운 슬러리 조성물을 제공한다. 슬러리 조성물은 실리콘 산화물 및 실리콘 질화물에 대해 폴리실리콘 제거 속도를 감소하고 연마된 표면의 평탄도를 개선하기 위해서 노출된 폴리실리콘 표면 상에 패시베이션층을 선택적으로 형성할 수 있는 하나 또는 그 이상의 비이온성 폴리머 계면활성제를 포함한다. 전형적인 계면활성제는 에틸렌 산화물(EO)-프로필렌 산화물(PO) 블록 폴리머로 이루어진 알킬 및 아릴 알콜을 포함하고, 상기 계면활성제는 보다 작은 양이면 효과적이지만 5Wt%까지의 양으로 슬러리 조성물에 존재할 수 있다. 다른 슬러리 첨가제는 점도 조절제, pH 조절제, 분산제, 칠레이팅제, 및 아민 또는 이민 계면활성제를 포함하여 실리콘 질화물 및 실리콘 산화물의 상대적인 제거 속도를 조절한다.
Patent KR-20060062554-A (KR)
Inventor: KIM MIN CHUL
IPC: H01L27/115
Filed: 2004-12-03
Abstract: 요철구조 활성영역을 갖는 낸드 플래시메모리소자가 제공된다. 상기 낸드 플래시메모리소자는 소자분리막을 갖는 반도체기판을 구비한다. 상기 반도체기판 내에 제 1 표면을 갖는 제 1 활성영역이 배치된다. 상기 제 1 활성영역의 일 측면에 상기 제 1 표면 보다 낮은 제 2 표면을 갖는 제 2 활성영역이 배치된다. 상기 제 1 및  제 2 활성영역들 상에 각각 셀 트랜지스터들이 배치된다. 상기 셀 트랜지스터는 차례로 적층된 터널 유전막, 부유게이트, 제어게이트 유전막 및 제어게이트전극을 구비할 수 있다.
Patent KR-20060064990-A (KR)
Inventor: KIM SEONG HYUN
IPC: H05B33/10
Filed: 2004-12-09
Abstract: 본 발명은 유기 전기발광소자와 유기 전계효과 트랜지스터의 집적방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 제1 기판 상에 적어도 하나의 제1 전극 및 유기 반도체가 포함된 유기 전계효과 트랜지스터를 마련하는 단계와, 제2 기판 상에 적어도 하나의 제2 전극 및 유기 발광층이 포함된 유기 전기발광소자를 마련하는 단계와, 상기 제1 전극과 상기 제2 전극이 서로 대향되도록 상기 유기 전계효과 트랜지스터와 상기 유기 전기발광소자를 배치시키는 단계와, 상기 유기 전계효과 트랜지스터와 상기 유기 전기발광소자의 사이에 상기 제1 전극과 상기 제2 전극을 전기적으로 연결하기 위한 소정의 금속 접촉선이 고정 결합된 절연층을 삽입하는 단계와, 상기 유기 전계효과 트랜지스터와 상기 유기 전기발광소자가 하나의 소자로 집적되도록 접합하는 단계를 포함함으로써, 능동 구동을 효과적으로 할 수 있으며, 개구율이 높아 수명을 더욱 연장시킬 뿐만 아니라 공정이 간단하여 저가격으로 생산할 수 있는 효과가 있다. 
       
     라미네이션, 유기 전기발광소자(OLED), 유기 전계효과 트랜지스터(OFET), 집적, 절연층, 금속 접촉선
Patent KR-20060065273-A (KR)
Inventor: LEE DONG GEUN
IPC: H02M3/28
Filed: 2004-12-10
Abstract: 본 발명에 의한 오디오 기기의 전원 제공 장치는, 외부로부터의 교류전원을 직류전원으로 변환하는 정류부와; 상기 정류부에서 출력되는 직류전원을 오디오 기기의 각 장치에 소요되는 출력전원으로 변환하는 스위칭 트랜스와; 상기 스위칭 트랜스의 출력 전원에 소정의 변화를 제공하는 간섭 제거부가 포함되어 구성됨을 특징으로 한다. 
     이와 같은 본 발명에 의하면, QRC(Qusai-Resonant Converter) 방식으로 구동되는 SMPS를 통해 노이즈 발생시 인위적으로 SMPS의 스위칭 주파수를 변경하여 간섭 현상을 극복함으로써, 스위칭의 체배 주파수가 AM 주파수와 일치하는 대역에서 튜너의 감도를 향상시킬 수 있다는 장점이 있다.
Patent KR-20060066306-A (KR)
Inventor: KIM KI WON
IPC: H04M1/72403
Filed: 2004-12-13
Abstract: 본 발명은 이동통신 단말기에 구비되어, 일정 시간마다 차량에 대한 주행속도 데이터를 획득하는 속도 검출부와, 주행속도에 따라 기어 변속을 지시하는 음성 데이터와 상기 음성 데이터에 대한 매핑 정보를 저장한 이동통신 단말기의 메모리부와, 상기 주행속도 데이터를 입력받아, 상기 주행속도 데이터가 상기 음성 데이터에 대한 매핑 정보와 일치하면, 상기 음성 데이터를 출력하는 이동통신 단말기의 제어부와, 상기 음성 데이터를 입력받아, 가청음 상태로 출력하는 출력부를 포함하여 이루어 지는 이동통신 단말기를 이용한 자동차 기어 변속 알림 제공장치 및 제공방법에 관한 것으로, 자동차 주행 속도에 따른 기어 변속 정보를 음성으로 제공하여 보다 안전하고, 효율적인 기어 변속을 제공하는 효과가 있다. 
       
     이동통신 단말기, 기어 변속 알림
Patent KR-20060066495-A (KR)
Inventor: LIM BYOUNG KWAN
IPC: C02F1/44
Filed: 2004-12-13
Abstract: 본 발명은 미생물 배양, 화학 실험, 실험 기구 최종 세척, 일반 시약 및 배지 조제, 및 반도체 세척 등 다양한 용도로 사용되는 순수 및 초순수를 제조, 저장하여 사용하기 위한 순수탱크 및 이를 이용한 초순수 제조장치에 관한 것으로, 
     일측에 개방부를 형성하고 내측벽의 일측에 돌기가 일체로 형성된 상부 커버 및 이 상부 커버에 조립되어 내부에 공간을 형성하는 하부 커버와, 상기 상부 커버의 일측 개방부에 끼워져 설치된 스위치와, 상기 상부 커버 및 하부 커버의 공간부에 내삽되되 하우징 내부의 공간부에 내장된 실리콘과 이 실리콘의 안에 삽설되어 외부로 돌출된 레버 및 하우징 상단 양측의 내측으로부터 상부 및 하부 커버의 공간부를 지나 커버 외측으로 연장되어 설치된 한 쌍의 관로와 하부에 형성된 돌출 나사부를 포함하는 출구 개폐장치와, 상기 스위치와 출구 개폐장치 하우징 상면의 사이에 설치된 스프링, 및 상기 레버와 하부 커버의 사이에 설치된 스프링을 포함하는 순환형 디스펜서와; 상기 출구 개폐장치의 돌출 나사부에 나합되어 체결되고 내부에 출구를 가지는 콕과; 초순수 제조장치의 일측면에 끼워 둘 수 있고 하면이 상기 순환형 디스펜서의 하면과 콕의 상면 사이에 끼워져 순환형 디스펜서를 지지할 수 있는 홀더를 포함하고;  
     상기 스위치의 승강으로 레버 및 실리콘을 상하 이동시킴으로써 콕의 출구를 개폐할 수 있는 것을 특징으로 한다. 
       
     초순수, 순환, 디스펜서, 오염 방지, 순도 저하 방지
Patent KR-20050122170-A (KR)
Title: 공·수압 복합 수직형 관고정식 튜브 반전 삽입장치와 uv 경화성 수지액을 함침한 pe필름 폴리 에스텔 부직포 튜브를 이용한 상수도 노후관 갱생공법.
Inventor: JUNG SONG OK
IPC: E03F3/04
Filed: 2004-12-17
Abstract: 본 발명은 노후화 된 지하매설 상수도관을 보수 갱생하고자 할 때, 매설 되어 있는 관로를 전면 굴착 교체하지 않고, 관로 일부분을 굴착하여 수도관을 절단하고 노후관 내부의 스케일을 제거하여 세관한 후에 건조하여 자외선 경화성 수지액(이하 'UV 경화성 수지액'이라 칭함.)을 함침한 PE필름 폴리 에스텔 부직포 보강 튜브(이하 'PE 튜브'라 칭함.)를 공·수압 복합 수직형 관고정식 반전삽입장치로 노후관 내부에 반전 삽입 시킨 후 튜브 내부에 자외선램프 또는 전자선을 조사하여 튜브에 함침되어 있는 수지액을 경화시키는 상수도 노후관 갱생공법에 관한 것이다. 
     UV 경화성 수지는 자외선의 조사에 의해서 수 초 또는 수 분 내에 경화되는 초속경화 포토 포리머 시스템(Photo Polymer System)이다. UV 경화성 수지의 경화물은 접착성과 내약품성, 내수성, 경도 등이 우수하며, 특히 UV 경화성 수지의 경화전의 다기능성 아크릴레이트와 경화후의 수지 경화물은 독성이 매우 낮아서 상수도용 라이닝 재료로 적합하다. 
     또한 UV 경화성 수지는 튜브에 함침한 후에도 온도에 전혀 영향을 받지 않으므로 직사 일광만 차단하면 저장 안정성이 매우 길어서 수지액 함침 튜브의 보관과 수송이 용이하여 공사현장에 적응성이 우수하다. 
     이와같은 UV 경화성 수지액 함침 튜브를 노후관 내 반전 삽입하여 UV 램프로 경화시킴으로 인하여 공정시간이 단축되고, 함침 수지의 경화 공정에 소비되는 에너지 소모량이 낮아서 에너지 효율이 높은 친환경적 공법이며, 관내 반전 삽입된 튜브의 경화는 상온에서 이루어지므로 경화시 튜브의 수축이 거의 없어서 튜브가 관벽과의 들뜸이 없게 되고, 공·수압 복합 수직형 관고정식 반전 삽입장치가 소형화 되어 있으므로 공사중 교통장애를 최소화하게 되므로 상수도 노후관 갱생공사의 공정을 개선하게 되어 경제성과 공사의 효율을 상승시킬 수 있도록 한 것이다.
Patent KR-20060069760-A (KR)
Inventor: KIM YONG WOO
IPC: F01M1/06
Filed: 2004-12-18
Abstract: 본 발명은 오링을 형성하는 물질에 대한 화학적 조성의 변화없이 오링이 설치되는 안착홈에 대한 구조적 형상의 변경을 매개로, 오링을 통해 누설되는 오일이 직접적으로 외부로 누출되지 않고 회수될 수 있도록 함으로써, 오일의 누설에 따른 문제를 해소할 수 있도록 하는 데 그 목적이 있다. 
     전술한 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 엔진의 내부에 오일의 유동 통로를 이루는 오일 통로가 엔진을 관통하여 형성되고, 상기 오일 통로의 둘레에 오링의 안착을 도모하는 안착홈이 동심원상으로 형성되며, 상기 안착홈의 둘레를 따라 드레인 홈이 형성되는 한편, 상기 드레인 홈의 일측에 오일 드레인 통로와 교통되는 연통 통로가 형성된 것을 특징으로 한다.
Patent KR-20060078928-A (KR)
Inventor: NAM SANG WOO
IPC: H01L21/68
Filed: 2004-12-30
Abstract: 플라즈마 에칭 공정에서 웨이퍼를 냉각하기 위한 냉매 순환 라인이 설치된 웨이퍼 냉각 척(Chuck) 및 이를 포함하는 플라즈마 에칭 장치를 개시한다.  본 웨이퍼 냉각 척은, 웨이퍼의 중심 영역 및 가장자리 영역을 각각 독립하여 냉각시키기 위한 복수개의 냉매 순환 라인을 포함한다.  본 웨이퍼 냉각 척을 포함하는 플라즈마 에칭 장치에 의하면, 웨이퍼의 중심 영역과 가장자리 영역에서의 온도 불균형을 해소할 수 있다.  그에 따라 웨이퍼 중심 영역과 가장자리 영역에서의 온도 차이로 인한 로딩 효과를 최소화하여 공정의 재현성을 향상시킬 수 있다.
Patent KR-20060078355-A (KR)
Inventor: KIM JONG GYUN
IPC: C12N1/20
Filed: 2004-12-31
Abstract: 본 발명은 신규의 미생물 스트렙토마이세스 YA1766 균주 및 그로부터 생산되는 화합물의 용도에 관한 것으로서, 본 발명의 신규의 미생물 스트렙토마이세스 속 YA1766 균주는 캔디다 알비칸스(Candida albicans)의 이형전환(yeast-to-hypha morphological transition) 및 병원성(virulence)에 관련된 신규 타겟인 CaMop2p 단백질의 활성을 저해하는 물질을 생산한다.  
       
     캔디다 알비칸스, CaMOB2, 스트렙토마이세스, 항진균제
Patent KR-20060078833-A (KR)
Inventor: KIM HYUN JUNG
IPC: H04W4/02
Filed: 2004-12-31
Abstract: 본 발명은 이동통신단말기 분실시 최종위치 확인시스템 및 확인방법에 관한 것으로 이동통신단말기의 전원이 꺼지기 직전 사용자의 위치정보를 산출하는 이동통신단말기와, 상기 산출된 위치정보를 이동통신단말기로부터 수신/저장하여 이동통신단말기 분실시 최종 위치정보를 검색하는 관리서버와, 상기 검색된 최종 위치정보가 상기 관리서버로부터 전송되어 저장되는 수신함을 포함하여 구성됨에 따라 이동통신단말기 사용자가 이동통신단말기를 분실한 경우 이동통신단말기의 전원이 꺼진 경우에도 이동통신단말기의 전원이 꺼진 최종위치를 확인 가능하고 습득자가 습득후 전원을 켰다가 끄기만 해도 이동통신단말기의 위치가 파악되므로 분실한 이동통신단말기를 되찾는데 도움이 되는 효과가 있다. 
       
     이동통신단말기, 이동통신, 단말기, 위치확인, 위치추적, 분실
Patent KR-20040018511-A (KR)
Title: Ｉｐ-기반 ｃｄｍａ 네트워크에서 프레임 선택을 위한시스템 및 방법
IPC: H04L12/66
Filed: 2002-07-25
Abstract: IP 커패빌러티 (capability) 를 갖지 않는 무선 전화 (12) 는 그럼에도 불구하고 IP를 이용하는 인프라스트럭쳐 (14) 와 통신한다.     기지국 (BTS) (16, 18) 과 같은 가상 IP 엔드포인트는 IP 를 이용하는 인프라스트럭쳐 (14) 및 CDMA 와 같은 OTA (over-the-air) 프로토콜을 이용하는 전화 (12) 와 통신을 할 뿐만 아니라, 상기 엔드포인트들 중의 하나는 인프라스트럭쳐 (14) 내의 기지국 제어기 (BSC) 에 대한 필요를 경감시키며, 다중의 엔드포인트에 의해 수신된 호 (call) 에 대한 최적의 프레임을 선택한다.     핸드오프 보조 엔터티는 핸드오프 알고리즘에 따라서 프레임 선택이 제 2 기지국 (BTS) (16, 18) 에 전송되도록 한다.
Patent KR-20040023813-A (KR)
Title: 엘라스토머 혼합물의 연속제조 공정 및 장치
IPC: B29C48/38
Filed: 2002-07-22
Abstract: 본 발명은 적어도 하나의 압출기에 의해 엘라스토머 혼합물을 연속적으로 제조하는 공정 및 장치에 관한 것이다.  본 발명에서 부차적인 성분들은 세분된 제품의 형태로 사용되고, 상기 제품은 열가소성 결합제에 분산된 적어도 하나의 부차적인 성분을 포함한다.  상기 제품은 공압 이송라인에 의해 투입장치로 이송되고, 따라서 정확하게 계량되어 연속적으로 압출기 내로 공급될 수 있다.  열가소성 결합제는 공압 이송라인에서 발생하는 것과 같은 격렬한 압축 및/또는 마찰 응력 하에서도 세분된 제품이 자유유동특성과 고차원적 규칙성 및 안정성을 갖도록 보장한다.
Patent KR-20040052240-A (KR)
Title: 전자 발광 디바이스
IPC: H05B33/06
Filed: 2002-10-14
Abstract: 유기 전자 발광 디바이스(1)는 투명 기판(6) 상에 지지된 EL 소자(2)를 포함한다.  금속 밀봉 수단(10)에 의해 투명 기판에 대해 밀봉되는 세라믹 또는 유리-세라믹 재료의 커버판(7)이 제공되어, 이에 의해 EL 소자용 기밀 포위체가 형성된다.  커버판은 드라이버 IC(15)를 지지한다.  커버판은 EL 소자(2)에 접속되는 제1 접촉 패드들(13a, 13b, 13c)과 드라이버 IC(15)에 접속되는 제2 접촉 패드(14a, 14b, 14c)들을 접속하는 내부 도전체들(12a, 12b, 12c)을 구비하고, 적어도 하나의 제1 접촉 패드 및 이에 접속되는 제2 접촉 패드는 상호 정렬되지 않는다.
Patent KR-20040058203-A (KR)
IPC: G10L25/51
Filed: 2002-10-16
Abstract: The invention relates to methods and corresponding systems for embedding a host signal (1) with auxiliary information (6) comprising the steps of filtering the host signal using appropriate filter(s) (2,10) to produce a modified signal and encoding the auxiliary information within the modified signal in an encoder (5) using a cross-correlation technique. In order to improve the performance of the encoding process with respect to the correlation delay, the present invention uses the appropriate filters to remove dominant tonal components by flattening the power spectrum of a host signal and/or also to remove low frequency components. The removal of dominant tonal components and/or to low frequency components prior to the encoding or decoding process improves the performance of the encoding/decoding process. The removed components are subsequently re-introduced by filtering (21) and/or summing (8) to ensure the encoded signal (9) is not perceptibly different to the unencoded signal (1).
Patent KR-20040052249-A (KR)
Title: 열 교환기용 핀이 있는 튜브, 열 교환기, 열 교환기의핀이 있는 튜브 제조 방법 및 열 교환기 제조 방법
IPC: F28F9/26
Filed: 2002-10-22
Abstract: 본 발명은 탄화수소 냉매가 사용되는 냉장고 등을 위한 증발기로서 유용한 열 교환기(1)를 제조하는데 사용되는 열 교환기의 핀이 있는 튜브(10)에 관한 것이다.  서로로부터 이격된 2개의 튜브 삽입 구멍이 각각의 판 핀(12) 내에 형성되고, 헤어핀 튜브(11)의 2개의 직선형 튜브부(11a)가 길이 방향으로 직선형 튜브부(11a) 상에 이격된 복수개의 핀 그룹(13) 내로 병렬로 판 핀(12)을 배열하도록 각각의 판 핀의 각각의 구멍을 통해 삽입된다.  헤어핀 튜브(11)는 확장된 튜브부(14) 주위의 각각의 핀 그룹(13)의 판 핀(12)을 견고하게 끼우고 각각의 직선형 튜브부(11a) 상의 각각의 쌍의 인접한 핀 그룹(13) 사이에 핀이 없는 부분(19)을 제공하도록 유체의 사용으로 확장된다.  구속된 작은 직경부(15)는 각각의 직선형 튜브부(11a)의 각각의 핀이 없는 부분(19) 내에 제공된다.  핀이 있는 튜브(10)를 사용하여 제조된 열 교환기(1)는 감소된 냉매의 누출로 원하는 냉동 성능을 나타낸다.
Patent KR-20040081738-A (KR)
Title: 외부 고강도 집적 초음파 치료의 소스를 위한 전도성매질을 수용하는 구조
IPC: A61B8/00
Filed: 2002-03-15
Abstract: 본 발명은 외부 고강도 집적 초음파 치료에 사용되는 전동성 매질을 수용하는 용기를 제공하며, 상기 용기는 반구형 글루 필름(glue film)으로서 상기 글루 필름의 상부 출입구(hatch)는 깍지 구조(scaling structure)를 가져 상기 용기가 소스(source)를 밀봉함으로써 상기 방출구의 위치는 상기 글루 필름으로 밀봉된다. 상기 글루 필름은 물의 것과 실질적으로 동일한 음향 임피던스를 가지며 라텍스, 카우트초우(caoutchoue), 실리카 겔 등과 같이 음향 전도성 손실이 작고 열전도율이 좋으며 우수한 엘라스토머(elastomer)인 물질로 제작될 수 있다. 본 발명은 외부 고강도 집적 초음파 치료에 있어 상방에 위치한 소스를 제공할 수 있다. 또한, 본 발명은 상기 소스를 회전시키고 경사지게 할 수 있어 편리하며, 상기 소스의 경사각은 다양한 요건들에 적응되도록 하기 위해 실제 필요에 맞춰 조정될 수 있다.
Patent KR-20040071132-A (KR)
Title: 구동장치, 상기 구동장치를 이용한 디스플레이 장치, 및이를 위한 구동방법
IPC: G09G3/32
Filed: 2003-07-08
Abstract: 광소자들을 구동하기 위하여 복수개의 전류-구동광소자들(Ep)에 전류를 제공하는 구동장치는, 소정의 기간동안 구동전류를 각각의 광소자에 제공하는 구동전류  제공회로(133)와, 구동전류를 제공하기 전에, 구동전류를 이용하여 각 광소자에 인가되는 전압에 대응되는 전압값을 갖는 충전전압을 인가하는 제어전압 인가회로(132)를 포함한다. 구동전류제공회로(133)는, 구동전류와 동일한 전류값을 갖는 정전류를 출력하는 단일정전류 생성회로(10A, 10B,10C)와, 정전류를 순차적으로 입력받아 보존하고 정전류를 기초로 구동전류를 출력하는 복수개의 전류저장회로들(30A, 30B, 30C)을 포함한다.
Patent KR-20040083074-A (KR)
Title: 조직 확장기를 위한 분배장치
IPC: B65H5/28
Filed: 2002-12-27
Abstract: 본 발명은 확장기 분배장치 및 부착장치 및 코 확장기 제공하여 외부 조직을 확장하고 부착하는 방법에 관한 것이다. 장치는 긴 확장기(10)를 포함한 다양한 형태 및 크기의 확장기(10)에 이용된다. 본 발명의 목적은 컴팩트하고, 휴대 가능한 확장기 분배장치(55)를 제공하여 사용자가 확장기(10)에 쉽게 접근하여 사용할 수 있게 하는 것을 포함한다. 목적은 사용 중의 손상으로부터 확장기(10)를 물리적으로 보호하는 확장기 분배장치(55)를 제공하는 것을 포함하다.
Patent KR-20040099312-A (KR)
Title: 비디오 영상의 디지털 디스플레이를 위한 디바이스
IPC: G09G3/34
Filed: 2003-03-10
Abstract: 본 발명은 시-분할 변조방식을 사용하여 비디오 영상의 디지털 디스플레이를 위한 디바이스에 관한 것이다. 본 디바이스는 적어도 2개의 분리된 동일 시간 세그먼트 내에 분산된 복수의 연속적인 서브필드를 포함하는 비디오 프레임 동안 비디오 영상을 디스플레이하는 목적을 가진다. 본 발명에 따라, 비디오 영상의 픽셀들은 각 시간 세그먼트 동안 기껏해야 한번 상태를 변경하고, 디스플레이될 비디오 영상은, 각 서브필드에 대하여, 상태를 변경하는 픽셀들을 식별하는 정보의 형태로 영상 메모리 내에 저장된다.
Patent KR-20040099441-A (KR)
Title: 트리사이클릭 트롬빈 수용체 길항제
IPC: C07D405/14
Filed: 2003-04-14
Abstract: 본 발명은 화학식 I의 헤테로사이클릭 치환된 트리사이클릭스 또는 약제학적으로 허용되는 이의 염 뿐만 아니라, 이들을 함유하는 약제학적 조성물, 및 상기  화합물을 투여함에 의해 혈전증과 관련된 질병, 죽상경화증, 재협착, 고혈압, 협심증, 부정맥, 심부전 및 암을 치료하는 방법에 관한 것이다. 
     화학식 I 
     
       
     
     상기 화학식 I에서, 
     점선은 임의의 단일 결합을 나타내고; 
     (a)는 임의의 이중 결합을 나타내며; 
     n은 0 내지 2이고; 
     Q는 R 13 및 R 14 에 의해 임의 치환된 사이클로알킬이고; 
     각각의 R 13 은 H, (C 1 -C 6 )알킬, (C 3 -C 8 )사이클로알킬, -(CH 2 ) n6 NHC(O)OR 16b , -(CH 1 ) n6 NHC(O)R 16b , -(CH 2 ) n6 NHC(O)NR 4 R 5 , -(CH 2 ) n6 NHSO 2 R 16 , -(CH 2 ) n6 NHSO 2 NR 4 R 5 및-(CH 2 ) n6 C(O)NR 28 R 29 (여기서, n6은 0 내지 4이다), 할로알킬, 및 할로겐중에서 독립적으로 선택되며; 
     각각의 R 14 는 H, (C 1 -C 6 )알킬, -OH, (C 1 -C 6 )알콕시, R 27 -아릴, (C 1 -C 6 )알킬, 헤테로아릴, 헤테로아릴알킬, 헤테로사이클릴, 헤테로사이클릴알킬, -(CH 2 ) n6 NHC(O)OR 16b , -(CH 2 ) n6 NHC(O)R 16b , -(CH 2 ) n6 NHC(O)NR 4 R 5 , -(CH 2 ) n6 NHSO 2 R 16 , -(CH 2 ) n6 NHSO 2 NR 4 R 5 및 -(CH 2 ) n6 C(O)NR 28 R 29 (여기서, n6은 0 내지 4이다), 할로겐, 및 할로알킬중에서 독립적으로 선택되거나; 
     R 13 및 R 14 는 함께 3 내지 6원의 스피로사이클릭 또는 헤테로스피로사이클릭 환을 형성하고, 여기서, 하나 이상의 R 13 또는 R 14 가 -(CH 2 ) n6 NHC(O)OR 16b , -(CH 2 ) n6 NHC(O)R 16b , -(CH 2 ) n6 NHC(O)NR 4 R 5 , -(CH 2 ) n6 NHSO 2 R 16 , -(CH 2 ) n6 NHSO 2 NR 4 R 5 및 -(CH 2 ) n6 C(O)NR 28 R 29 (여기서, n6은 0 내지 4이다)로 이루어진 그룹중에서 선택되며; 
     Het가 헤테로아릴 그룹으로 임의 치환된 모노- 또는 비-사이클릭이고; 
     B가 결합, 알킬렌, 또는 임의 치환된 알케닐렌 또는 알키닐렌이며; 
     나머지 치환체들은 명세서에서 정의된 바와 같다. 
     다른 심혈관제와의 배합 치료요법도 또한 청구되어 있다.
Patent KR-20050004172-A (KR)
Title: 커먼 전이 재료, 액정 패널 및 액정 패널의 제조 방법
IPC: G02F1/1345
Filed: 2003-04-17
Abstract: 마주 대하는 한 쌍의 기판(105, 106) 각각의 내측에 인접하여 형성된 전극(107, 108 ; 207, 208 ; 307, 308)의 사이에 설치되는 커먼 전이 전극(101 ; 201 ; 301)에 이용되는 커먼 전이 재료로서, 해당 커먼 전이 재료는 수지(102)와 도전성 입자(103 ; 203 ; 303)를 포함하고, 비도전성 필러의 함유량이 수지(102)의 100질량부에 대하여 0질량부 이상 1질량부 이하인 커먼 전이 재료인 것을 특징으로 한다.  또한, 상기 커먼 전이 재료를 이용한 액정 패널 및 액정 패널의 제조 방법이다.  이에 의해, 액정 패널의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 커먼 전이 재료 및 그것을 이용한 액정 패널 및 그 액정 패널의 제조 방법을 제공할 수 있다.
Patent KR-20060082166-A (KR)
Inventor: DOH WOO JIN
IPC: G06Q50/30
Filed: 2005-01-11
Abstract: 본 발명은 버스정류장 단말기, 중앙서버 및 버스 단말기를 포함하는 요금 결제 시스템에 관한 것이다. 본 고안은 교통요금의 지급수단으로 널리 이용되는 교통카드를 사용함에 있어 상기한 문제를 해결하여 보다 효율적이고 교통체증해소에도 도움이 되는 방법을 모색하고자 한 것이다.
Patent KR-20060084880-A (KR)
Inventor: KIM SANG YONG
IPC: H02G3/04
Filed: 2005-01-21
Abstract: 본 발명은 배전버스가 적용된 새로운 구조의 배전버스 덕트를 제공하는 것을 목적으로 하며, 
     상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 배전버스 덕트는, 일정한 길이의 양측벽부와, 상기 양측벽부의 하단과 일체로 연결되는 바닥부로 이루어지며, 상기 양측벽부 및 바닥부에 의해 내부 공간(S)이 형성된 덕트 본체와; 상기 덕트 본체의 양측벽부 상단에 결합/분리 가능하게 고정 설치되는 덮개와; 상기 덕트 본체의 내부 공간(S)내에 길이 방향으로 다수열이 일정 간격 이격되게 고정수단에 의해 설치되는 배전버스를 포함하는 것을 특징으로 한다. 
       
     배전버스 덕트, 본체, 덮개, 배전버스
Patent KR-20050018858-A (KR)
Inventor: YANG HO JOON
IPC: A61M5/168
Filed: 2005-01-22
Abstract: PURPOSE: A system for sensing and notifying of residual amount of Ringer' solution is provided to signal time for changing Ringer's solution with buzz by use of an independent circuit. CONSTITUTION: The system for sensing and notifying of residual amount of Ringer's solution includes a hook(9), a spring(8), a cam shaft(7), a limit switch(13), a horizontal axis(1), a female socket(2), a vertical axis(3), a buzzer(4), a switch(5), an electric bulb(6), a hose for injecting Ringer's solution(12), and a battery(16). When a new Ringer's solution bag is hung on the hook(9), the spring is compressed or expands by the weight of the Ringer's solution(14). Then, the cam shaft(7) connected to the axis of the hook goes down or up and, thereby, connects or disconnects circuit of the limit switch(13) to notify of and control the residual amount of Ringer's solution by the central controlled room or independently.
Patent KR-20060086594-A (KR)
Inventor: YOO MI YOUNG
IPC: H04N7/08
Filed: 2005-01-27
Abstract: 디스플레이 장치 및 디스플레이 방법이 개시된다. 본 발명에 의한 디스플레이 장치는 입력된 영상신호를 받아 디지털로 변환된 캡션 데이터를 출력하는 캡션 처리부, 캡션 데이터의 저장 여부를 선택하기 위한 저장 모드 선택창을 디스플레이하는 디스플레이부, 저장 모드 선택창에서 저장 모드의 선택이 확인된 경우, 캡션 데이터를 저장하는 제어부를 포함한다. 이에 따라, 사용자의 편리성이 향상될 수 있다. 
       
     캡션 데이터, 저장 모드
Patent KR-20050112063-A (KR)
Inventor: TAKEDA ARIHIRO
IPC: G02F1/1343
Filed: 2005-01-31
Abstract: 본 발명은, 대향하는 한쌍의 기판 사이에 주형상 스페이서를 가지며, 또한 상기 기판 각각에 액정 분자를 배향 규제하는 제1 및 제2 구조물을 설치한 액정 표시 장치에서, 상기 주형상 스페이서에 의한 액정 분자의 배향의 불균일을 억제하는 것을 목적으로 한다.  이를 위해, 상기 주형상 스페이서를 액정 분자의 배향 규제 수단의 하나로서 이용한다.
Patent KR-20060042911-A (KR)
Inventor: HAYASHI KENJI
IPC: H05B33/26
Filed: 2005-02-01
Abstract: 본 발명은 제조 프로세스 중에 일어나는 발광층의 열화(劣化)를 방지할 수 있는 전기 광학 장치의 제조 방법, 전기 광학 장치 및 전자기기를 제공하는 것을 목적으로 한다. 
     기체(200) 위에 제 1 전극(23)과, 제 2 전극(50)과, 제 1 전극(23)과 제 2 전극(50) 사이에 협지(挾持)되는 전기 광학층(110)을 갖는 전기 광학 장치(1)의 제조 방법에 있어서, 제 2 전극(50)을 덮는 발광 재료 보호층(65)을 진공 증착법에 의해 형성하는 공정과, 발광 재료 보호층(65)을 덮는 전극 보호층(55)을 플라즈마 성막법에 의해 형성하는 공정을 갖는다. 
       
     전기 광학층, 발광 재료 보호층, 전극 보호층, 가스 배리어층, EL 표시 장치, 화소 전극, 유기 발광층, 정공 수송층
Patent KR-20060091556-A (KR)
Inventor: LEE JEUNG SIK
IPC: H02H3/04
Filed: 2005-02-15
Abstract: 도로에 설치되는 교통신호 등 및 가로등 등의 전기구조물에 설정 전압 이상의 누설전압이 발생될 경우에 교류전원을 차단하여 안전사고의 발생을 미연에 방지한다.  
     본 발명은 전원라인의 N상과 철주 간에 검출되는 전압을 누설전압 감지부가 누설전압을 감지하며, 상기 누설전압 감지부가 설정레벨 이상의 누설전압을 감지할 경우에 전원차단신호 발생부가 지락전류를 발생함과 아울러 설정시간이 경과될 경우에 교류전원을 합선시키며, 상기 전원차단신호 발생부가 발생하는 지락전류를 영상변류기가 검출하고, 상기 영상변류기가 지락전류를 검출할 경우에 누전영상 검출기가 배선용 차단기 및 마그네트 스위치를 제어하여 교류전원을 차단시킨다.  
       
     전기구조물, 도로, 감전사고, 침수, 과전류, 차단, 누설전압, 철주
Patent KR-20060092650-A (KR)
Inventor: MOON WON GI
IPC: B60L15/40
Filed: 2005-02-18
Abstract: 고장에 따른 시간 지연이 없이 전동차를 운행하는 것이 가능하도록, 운전실의 제어반에 설치되는 복수의 온/오프(on/off) 선택스위치와, 운전실의 온/오프 선택스위치와 각 동력차의 팬터그래프 제어용 계전기를 연결하는 복수의 제어신호선을 포함하고, 온/오프 선택스위치는 동력차 전체의 팬터그래프 제어용 계전기를 동시에 온/오프 시키는 전체스위치와, 각 동력차의 팬터그래프 제어용 계전기를 각각 온/오프 시키도록 동력차에 대응하여 설치되는 복수의 개별스위치로 이루어지는 전동차용 부동전환 시스템을 제공한다. 
       
     전동차, 부동, 동력차, 팬터그래프, 스위치, 전환, 고장, 운전실, 리모콘, 원격제어
Patent KR-20060042208-A (KR)
Inventor: RAINER WALTER
IPC: F16K31/10
Filed: 2005-02-25
Abstract: 공지된 밸브는 밸브 시트와 협동하는, 액추에이터에 의해 조절 가능한 밸브 폐쇄체를 갖는다. 하우징은 액추에이터 챔버 및 압력 챔버를 포함하고, 상기 두 챔버는 가이드 채널에 의해 서로 연결된다. 밸브 폐쇄체는 가이드 채널에 지지되고, 상기 가이드 채널과 밸브 폐쇄체 사이에 좁은 가이드갭이 제공된다. 상기 밸브에서 밸브 시트, 가이드 채널 및 밸브 폐쇄체는 위치와 형태에 있어서 정확하게 서로 일치해야 한다. 위치와 형태 오차에 대한 엄격한 조건에 의해 상기 밸브는 공정이 복잡하고 제조 비용이 많이 든다. 
     본 발명에 따른 장치에서 밸브가 간단해짐으로써 제조 비용이 감소된다. 
     본 발명에 따라 밸브 폐쇄체(3)는 제 1 폐쇄체 부분(3.1) 및 제 2 폐쇄체 부분(3.2)에 의해 이체형으로 형성되고, 제 2 폐쇄체 부분(3.2)은 밸브 폐쇄체(3)의 개방 방향(25)에 대해 횡으로 이동 가능하다. 
       
     밸브 시트, 밸브 폐쇄체, 가이드 채널, 개구 방향
Patent KR-20060043305-A (KR)
Inventor: SYTSMA JOOST
IPC: G03F7/20
Filed: 2005-03-02
Abstract: 본 발명은, 방사선 시스템으로부터 각각, 기판상으로 순차적으로 투영되는 방사선 빔들을 패터닝하기 위한 개별적으로 제어가능한 요소들의 2이상의 어레이로 방사선을 분배하는 방사선 분배시스템과 함께 사용하기 위한 디텍터, 피드백 및 보상 시스템에 관한 것이다. 상기 디텍터는 방사선 분배 시스템에서의 방사선의 손실을 판정하고 그 정보를 보상시스템으로 피드백하여 상기 손실을 보상하고 상기 기판상으로 투영되는 방사선을 균일하게 유지시킨다.