Patent EP-3342260-A1 (EP)
Title: Source lumineuse compacte pour applications de métrologie dans la plage de rayonnement ultraviolet extrême
Inventor: EKINCI YASIN
IPC: H05H7/10
Filed: 2016-08-22
Abstract: La présente invention vise à fournir une source lumineuse compacte et économique basée sur un anneau de stockage qui peut assurer une puissance suffisante, une stabilité supérieure, et une cohérence élevée pour des procédés de métrologie dans la plage de rayonnement ultraviolet extrême utilisant des procédés de diffusion cohérente. À cet effet, la présente invention concerne une source lumineuse compacte (LS) sur la basée sur la technologie d'accélérateur de faisceau d'électrons, comportant un anneau de stockage (SR), un anneau accélérateur (BR), des accélérateurs linéaires et un onduleur (UN) pour fournir de la lumière ayant les caractéristiques pour l'inspection de masque actinique à 13,5 nm: a) l'intensité du faisceau d'électrons étant maintenue jusqu'à un niveau de 10 -3 ; b) une structure d'aimant multi-courbure compacte étant utilisée pour l'anneau de stockage (SR) pour la génération d'une faible émittance permettant d'obtenir une brillance élevée et un large contenu cohérent de la lumière; c) l'anneau accélérateur (BR) et l'anneau de stockage (SR) étant situés à des niveaux différents en un agencement concentrique vu du dessus afin de maintenir le faible encombrement nécessaire et de réduire les effets d'interférence; d) une injection quasi-continue, respectivement une injection d'appoint améliorée étant exécutée pour atteindre la stabilité de haute intensité et pour contrer des réductions de la durée de vie dus à la diffusion élastique de déviation par choc de faisceau et de dispersion par effet Touschek; e) l'injection dans l'anneau de stockage (SR) et l'extraction à partir de l'anneau accélérateur (BR) étant effectuées en diagonale dans le plan qui est défini par les orbites des sections droites parallèles de l'anneau accélérateur (BR) et de l'anneau de stockage (SR); et f) pour l'injection d'appoint depuis la bague accélérateur (BR) dans l'anneau de stockage (SR) deux aimants à septa Lambertson disposés de manière asymétrique étant utilisés. Ces mesures permettent d'obtenir une source très compacte qui s'adapte dans des laboratoires classiques ou leurs zones d'entretien et présente de faibles exigences d'entretien et un faible coût de propriété. La longueur d'onde de la lumière émise par l'onduleur est comprise entre 6 et 30 nm. Le faisceau lumineux possède une extrême stabilité de l'intensité dans une plage de 10 -3 , une puissance suffisante sur le masque supérieure à 10 mW et une luminosité élevée supérieure à 10 kW/mm 2 /sr. L'espace paramétrique de l'énergie du faisceau d'électrons, la longueur de période d'onduleur, le nombre de périodes d'onduleurs sont optimisés pour obtenir la longueur d'onde requise, le flux photonique et la cohérence pour des applications de métrologie sans lentille et procédés de diffusion cohérente. Le concept d'anneaux concentriques permet un encombrement minimal de la source. Une combinaison d'une injection d'appoint améliorée dans l'anneau de stockage avec un onduleur à entrefer de faible épaisseur fournit une très grande stabilité de l'intensité et satisfait l'exigence de cohérence pour l'application spécifique de procédés de diffusion cohérente.