baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102005062469-B4 (DE)
Title: Mehrstufiges Getriebe für ein Fahrzeug
Inventor: KAMADA ATSUSHI
IPC: F16H3/66
Filed: 2005-12-27
Granted: 2016-10-13
Abstract: Mehrstufiges Getriebe für ein Fahrzeug, wobei das mehrstufige Getriebe aufweist: eine Vorschaltgruppe (144), die eine erste Koppelwelle (32), wobei die Vorschaltgruppe (144) die Drehung von einer Antriebswelle (22) verlangsamt und überträgt, und eine zweite Koppelwelle (34), wobei die Vorschaltgruppe (144) die Drehung von der Antriebswelle (22) umkehrt und überträgt, aufweist; wobei die Vorschaltgruppe (144) einen ersten vorderen Einfachplaneten-Getriebesatz (140) und einen zweiten vorderen Doppelplaneten-Getriebesatz (142) enthält, bei der ein Träger (CA1) des ersten vorderen Planeten-Getriebesatzes (140) und ein Sonnenrad (S2) des zweiten vorderen Planeten-Getriebesatzes (142) immer mit dem nicht drehenden Teil (16) verbunden sind, und ein Sonnenrad (S1) des ersten vorderen Planeten-Getriebesatzes (140) und ein Träger (CA2) des zweiten vorderen Planeten-Getriebesatzes (142) mit der Antriebswelle (22) verbunden sind, wobei ein Hohlrad (R2) des zweiten vorderen Planeten-Getriebesatzes (142) als die erste Koppelwelle (32) wirkt, während ein Hohlrad (R1) des ersten vorderen Planeten-Getriebesatzes (140) als die zweite Koppelwelle (34) wirkt; eine Hauptschaltgruppe (50); wobei die Hauptschaltgruppe (59) einen ersten hinteren Einfachplaneten-Getriebesatz (46) und einen zweiten hinteren Doppelplaneten-Getriebesatz (48) enthält, bei der das erste drehende Element (RE1) aus einem Sonnenrad (S3) des ersten hinteren Planeten-Getriebesatzes (46) besteht, das zweite drehende Element (RE2) aus einem Träger (CA3) des ersten hinteren Planeten-Getriebesatzes (46) und einem Träger (CA4) des zweiten hinteren Planeten-Getriebesatzes (48), die miteinander verbunden sind, besteht, das dritte drehende Element (RE3) aus einem Hohlrad (R3) des ersten hinteren Planeten-Getriebesatzes (46) und einem Hohlrad (R4) des zweiten hinteren Planeten-Getriebesatzes (48), die miteinander verbunden sind, besteht, und das vierte drehende Element (RE4) aus einem Sonnenrad (S4) des zweiten hinteren Planeten-Getriebesatzes (48) besteht; ein erstes Kupplungselement (C1), welches die erste Koppelwelle (32) und das vierte drehende Element (RE4) wahlweise miteinander verbindet; ...
Patent DE-102006022995-B4 (DE)
Title: Schaltung zum Betreiben eines kapazitiven Elements und Betriebsverfahren hierfür
Inventor: KLEIN MANFRED
IPC: F02D41/20
Filed: 2006-05-17
Granted: 2017-11-30
Abstract: Schaltung (100) zum Betreiben eines kapazitiven Elements, insbesondere eines piezoelektrischen Elements (120) eines Aktors eines Kraftfahrzeugs, wobei die Schaltung (100) ein mit dem piezoelektrischen Element (120) verbindbares induktives Element (110) aufweist, über das das piezoelektrische Element (120) auf- und/oder entladbar ist, und mindestens einen mit dem induktiven Element (110) verbundenen Schalter (115a, 115b) zum wahlweisen Verbinden/Trennen des induktiven Elements (110) mit/von einem ein Bezugspotential aufweisenden Schaltungsknoten (130a, 130b), dadurch gekennzeichnet, dass das induktive Element (110) eine steuerbare Induktivität aufweist.
Patent DE-102006036034-B4 (DE)
Title: Antriebseinrichtung zwischen einem Nockenwellenversteller und einer Nockenwelle
Inventor: SCHÄFER JENS DIPL -ING
IPC: F01L1/344
Filed: 2006-08-02
Granted: 2018-01-04
Abstract: Antriebsverbindung zwischen einem Abtriebselement (5) eines Nockenwellenverstellers (3) und einer Nockenwelle (2) für ein Kraftfahrzeug, wobei das Abtriebselement (5) des Nockenwellenverstellers (3) mit dessen Stirnseite (14) über mindestens ein Befestigungselement mit einer Stirnseite (11) einer Nockenwelle (2) drehfest verbunden ist, wobei die Stirnseite (14) des Abtriebselements (5) und/oder die Stirnseite (11) der Nockenwelle (2) makroskopisch mit Unebenheiten versehen ist/sind und eine Übertragung eines Antriebsmoments zwischen dem Abtriebselement (5) und der Nockenwelle (2) über einen makroskopischen Formschluss erfolgt, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen die Stirnseiten (11; 14) ein Verformungselement (20) mit verringerter Plastizitätsgrenze zwischengeschaltet ist, welches mit einem Anziehen des Befestigungselements im Bereich der makroskopischen Unebenheiten der mindestens einen Stirnseite (11; 14) plastisch verformbar ist, wobei die Unebenheit eine durch ein Fertigungsverfahren hergestellte Kontur aufweist.
Patent DE-102006037280-B4 (DE)
Title: Stromzählertragplatte und Schnellmontagebausatz
Inventor: MUELLER GERHARD
IPC: H02B1/03
Filed: 2006-08-09
Granted: 2010-07-01
Abstract: Stromzählertragplatte (24), mit:  – zumindest einer Aufnahmelasche (28, 30), in die ein Haken (32) zumindest eines Zwischenstücks (36) einhängbar ist, und  – Mitteln (66, 86) zum Befestigen zweier senkrecht zueinander stehender Metallschienen (62, 64),  welche Stromzählertragplatte (24) durch einen Steg (26), in dem die Mittel (66, 86) zum Befestigen der Metallschienen (62, 64) angeordnet oder ausgebildet sind, in zwei Teileinheiten geteilt ist.
Patent DE-102006037551-B4 (DE)
Inventor: ZAHLMANN PETER DR ING
IPC: H02H5/04
Filed: 2006-08-10
Granted: 2012-03-22
Abstract: The invention relates to a surge arrester having at least one arresting element, for example a varistor and a disconnection apparatus, in order to disconnect one pole or all poles of the arresting element or elements from the power supply system, with the disconnection apparatus comprising a solder point (11) which is included in the electrical connecting path within the arrester, with a moving conductor section (12) or a moving conductive link (22) being connected via the solder point (11) to the arresting element on the one hand, and with the conductor section (12) or the link (22) being connected on the other hand to an electrical external connection of the arrester, and furthermore having a spring (15) which produces a prestressing force, with the force vector relating to them acting directly or indirectly on the conductor section (12) or the link (22) in the disconnection apparatus. According to the invention, a blocking element (17) which can be tripped thermally blocks the moving conductor section (12) or the moving conductive link (22) with regard to the prestressing force vector, so that the solder point (11) of the disconnection apparatus is not subject to any permanent load on the force side.
Patent DE-102006056788-B4 (DE)
Title: Verschlusseinrichtung für das Explosionsumformen
Inventor: FLITSCH VALENTIN
IPC: B21D26/06
Filed: 2006-12-01
Granted: 2013-10-10
Abstract: Verschlusseinrichtung (1) für das Explosionsumformen, mit welcher eine Anschlusseinheit (14) gegenüber einem Explosionsumformwerkzeug (5, 6) zwischen einer Arbeitsposition (15) an dem Werkzeug (5, 6) und einer Ruheposition (18) bewegbar ist, wobei eine Keilstruktur (10) beweglich an einer statischen Haltestruktur (9) geführt und mit der Anschlusseinheit (14) gekoppelt ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Keilstruktur (10) eine Keilführung (12) aufweist und die Keilführung (12) gegenüber der axialen Bewegungsrichtung (28) der Anschlusseinheit (14) geneigt ist.
Patent DE-102006058891-B4 (DE)
Title: Vorrichtung zum Verriegeln eines Fahrzeugsitzes
Inventor: SEIGEL JUERGEN
IPC: B60N2/10
Filed: 2006-12-04
Granted: 2009-04-09
Abstract: Vorrichtung
zum Verriegeln eines Fahrzeugsitzes, mit einer um eine erste Schwenkachse (26)
verschwenkbaren Sperrklinke (20), die in einer Schließstellung
mit einem ortsfesten Beschlagteil (30) in Eingriff steht und in
einer Offenstellung vom Beschlagteil (30) frei ist, wobei die Sperrklinke
(20) eine erste Spannfläche
(38) aufweist, weiterhin mit einem Verriegelungselement (22) zum
Verriegeln der Sperrklinke (20) in der Schließstellung, das um eine zweite
Schwenkachse (42) verschwenkbar ist und eine zweite Spannfläche (46)
aufweist, die in einer Verriegelungsstellung an der ersten Spannfläche (38)
anliegt und dabei die Sperrklinke (20) in der Schließstellung
hält und
in einer Entriegelungsstellung von der ersten Spannfläche (38)
frei ist, und mit einem Betätigungselement
(24), das mit dem Verriegelungselement (22) zusammenwirkt, um das
Verriegelungselement (22) in die Entriegelungsstellung zu überführen, wobei
ein Anschlag (68) für
das Betätigungselement
(24) vorgesehen ist, derart, dass das Betätigungselement (24) bei Einwirken eines
von der Sperrklinke (20) auf das Verriegelungselement (22) ausgeübten Drehmoments...
Patent DE-102007011899-B4 (DE)
Title: Floatbadvorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Flachglas
Inventor: JOCHEM KLAUS DR
IPC: C03B18/20
Filed: 2007-03-13
Granted: 2014-10-30
Abstract: Floatbadvorrichtung (10) mit einer Floatbadwanne (12) und mit einem Floatbaddach (18) sowie mit Seitenwänden (14, 20), wobei sich in der Floatbadwanne (12) ein Floatbad (16) aus flüssigem Metall befindet, zur Herstellung eines auf dem Floatbad (16) schwimmenden Glasbandes (28), mit einer Abdeckung des Floatbades (16) mit mindestens einem Abdeckelement (30, 32), dadurch gekennzeichnet, dass das Abdeckelement (30, 32) mindestens in einem Teilbereich der freien Floatbadoberfläche, die sich zwischen dem Rand (29) des Glasbandes (28) und der Seitenwand (14) befindet, mit einem Zwischenraum (36) beabstandet zum Floatbadspiegel (17) angeordnet ist und sich bis zur Seitenwand (14) erstreckt, und dass eine Einrichtung zum Absaugen einer im Innern der Vorrichtung (10) befindlichen Atmosphäre mit mindestens einer Absaugleitung (40) in der Seitenwand vorgesehen ist, wobei die Absaugöffnung (41) der Absaugleitung (40) in den Zwischenraum (36) mündet.
Patent DE-102007016438-B4 (DE)
Title: Tragbares Behältnis für ein Kleinkind
Inventor: BEGER UDO
IPC: A47D13/02
Filed: 2007-04-05
Granted: 2012-09-06
Abstract: Tragbares Behältnis für ein Kleinkind, mit einem Bodenteil (1) und mindestens einer diesen zumindest teilweise umgebenden Wandung (2) aus an den Längsseiten vorgesehenen Seitenwandteilen (3, 4) und stirnseitigen Fuß- und Kopfwandteilen (5, 6) und mit im Bodenteil (1) vorgesehenen Schlitzen (8) zum Durchführen von Gurten (9, 10, 11, 12, 13) und mit Elementen zur Fixierung an einem Kinderwagen- oder Kindersportwagengestell oder an einem gepolsterten oder ungepolsterten Einsatz in einem solchen dadurch gekennzeichnet, dass zum Fixieren des Kleinkindes in dem Behältnis dem Behältnis ein Sicherheitsgurtsystem aus mindestens zwei Schultergurten (9, 10), mindestens einem mittigen Schrittgurt (13) und/oder seitlichen Beckengurten (10, 11) zugeordnet ist und dass die Gurte (9, 10, 11, 12, 13) über dem Unterleib des Kindes zusammengeführt sind und eine abnehmbare Einheit bilden, die sowohl zum Fixieren des Kleinkindes in dem vom Kinderwagen abgenommenen als auch in diesen eingesetzten Behältnis als auch an dem Kinderwagen- oder Kindersportwagengestell...
Patent DE-102007022446-B4 (DE)
Title: Kraftfahrzeugtürscharnier für Türen und Klappen
Inventor: RICHTER FRANK DIPL ING
IPC: E05D3/02
Filed: 2007-05-10
Granted: 2014-01-02
Abstract: Kraftfahrzeugtürscharnier für Türen und Klappen mit – einer an einem Rahmenteil befestigbaren Säulenkonsole mit einer ersten Anschlagfläche, – einer an der Tür oder Klappe befestigbaren Türkonsole mit einer zweiten Anschlagfläche, – einem die Türkonsole und die Säulenkonsole drehgelenkig verbindenden Scharnierbolzen und – einem mit der ersten oder zweiten Anschlagfläche von der einen von der Türkonsole oder Säulenkonsole im Bereich der Öffnungsendlage in Eingriff bringbar an der anderen von der Türkonsole oder Säulenkonsole angeordneten Dämpfungselement, dadurch gekennzeichnet, dass das Dämpfungselement (6, 26, 46) aus einem elastischen Material gebildet ist und einen faltenbalgförmig ausgestalteten Abschnitt (14) aufweist, der derart aufgebaut ist, dass er sich zur Dämpfung zieharmonikaartig zusammenfaltet, wobei das Dämpfungselement (6, 26, 46) zumindest teilweise in einer entsprechend ausgebildeten Vertiefung (12, 32, 52) an der Türkonsole (2) oder Säulenkonsole (3, 23, 43) angeordnet ist.
Patent DE-102007027047-B4 (DE)
Title: Hochfrequenzleistungsverstärker
Inventor: GOTOU SEIKI
IPC: H03F3/60
Filed: 2007-06-12
Granted: 2011-07-07
Abstract: Hochfrequenzleistungsverstärker mit einem Transistorelement (12) mit einer Mehrzahl von Einheitstransistoren (30) auf einem ersten Halbeitersubstrat (12a), wobei jeder Einheitstransistor eine Mehrzahl von Transistoren aufweist, die in einer Mehrfingerform (30e, 30f, 30g) parallel zueinander geschaltet sind, und jeder Einheitstransistor einen Steueranschluss (30a), über den ein Eingangssignal eingegeben wird, einen ersten Anschluss (30b), der mit einem Konstantpotentialende verbunden ist, und einen zweiten Anschluss (30c), über den ein Ausgangssignal ausgegeben wird, aufweist, einer Hochfrequenzverarbeitungsschaltung (14), die auf einem zweiten Halbleitersubstrat (14a) angeordnet ist und eine Mehrzahl von ersten Serienresonanzschaltungen (32) aufweist, von denen jede zwischen den Steueranschluss des entsprechenden Einheitstransistors des Transistorelements und das Konstantpotentialende geschaltet ist, einer ersten Verbindungsleitung (16) zum Verbinden der Mehrzahl von Steueranschlüssen des Transistorelements miteinander, einer zweiten Verbindungsleitung (22) zum Verbinden der Mehrzahl von zweiten Anschlüssen des Transistorelements miteinander, einer Eingangsanpassschaltung (20), die mit der ersten Verbindungsleitung verbunden ist, und einer Ausgangsanpassschaltung...
Patent DE-102007040081-B4 (DE)
Title: Vorrichtung zum Regeln eines mechanischen Bewegungsverhaltens eines bewegbaren Elements eines Hausgeräts und entsprechendes Verfahren
Inventor: STRAUB STEPHAN
IPC: D06F34/08
Filed: 2007-08-24
Granted: 2010-04-08
Abstract: Vorrichtung zum Regeln eines mechanischen Bewegungsverhaltens einer Trommel eines Waschgeräts, bei dem als elektrischer Verbraucher ein Trommelmotor die Trommel antreibt, wobei das mechanische Bewegungsverhalten der Trommel durch eine Störgröße beeinflussbar ist, und eine Reglereinrichtung (RE) an den elektrischen Verbraucher gekoppelt ist, dadurch gekennzeichnet, dass ein Beladungssensor (BS) vorgesehen ist, mittels welchem ein Beladungszustand der Trommel ermittelbar ist und/oder dass ein Wassermenge-Sensor (WM) vorgesehen ist, mittels welchem ein Wassermenge-Zustand in der Trommel ermittelbar ist, dass eine mit der Reglereinrichtung (RE) verbundene Steuereinheit (RP) vorgesehen ist, der ein dem Beladungszustand der Trommel und/oder dem Wassermenge-Zustand in der Trommel entsprechendes Zustands-Signal zuführbar ist, auf dessen Grundlage mindestens ein Reglerparameter (Kp, Ki, Kd) berechenbar ist, welcher der Reglereinrichtung (RE) von der Steuereinheit (RP) übermittelbar ist, so dass der Regelparameter (Kp, Ki, Kd) im Betrieb des Waschgeräts anhand des Zustands-Signals dynamisch anpassbar ist.
Patent DE-102007045893-B4 (DE)
Title: Trainingsgerät für zumindest Teile der Rückenmuskulatur des menschlichen Körpers
Inventor: WOLFF HARTMUT DR
IPC: A63B21/062
Filed: 2007-09-25
Granted: 2013-09-26
Abstract: Trainingsgerät für zumindest Teile der Rückenmuskulatur des menschlichen Körpers, umfassend – eine Sitzfläche (12), auf der ein Benutzer (9) des Trainingsgeräts während des Trainings sitzen kann, – eine Rückenlehne (13), an der der Benutzer (9) während des Trainings zumindest einen Teil seines Rückens anlehnen kann, – Fixiermittel, die während des Trainings an der Vorderseite des Unterschenkels und/oder des Knies des Benutzers (9) anliegen können, sowie – Angriffmittel (7), die der Benutzer (9) während des Trainings greifen kann, wobei die Angriffmittel (7) derart von dem Benutzer (9) gegen eine Rückstellkraft bewegt oder gehalten werden können, dass eine Beckenaufrichtung und/oder Beckenkippung des Benutzers (9) zumindest teilweise gegen die Rückstellkraft erfolgt, dadurch gekennzeichnet, dass die Rückenlehne (13) für das Training festgelegt werden kann oder festgelegt ist, so dass sie sich während der Beckenaufrichtung und/oder der Beckenkippung des Benutzers (9) nicht bewegt, dass die Vorrichtung Messmittel mit einem Polster (15) umfasst, das während der Messung an dem Lendenwirbelbereich des Benutzers anliegen kann und durch die Beckenaufrichtung und/oder Beckenkippung des Benutzers (9) mit bewegt wird, dass die Angriffmittel (7) derart gestaltet und/oder in dem Trainingsgerät angeordnet sind, dass die Rückstellkraft in Richtung der in Schulter- oder in Hüfthöhe nach vorne ausgestreckten Arme des Benutzers (9) wirken kann, und dass eine Bewegung der Angriffmittel (7) unabhängig von einer Bewegung des Polsters (15) erfolgen kann.
Patent DE-102007053799-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Betreiben eines Anilox-Druckwerks
Inventor: BINDER GISELA
IPC: B41F31/06
Filed: 2007-11-12
Granted: 2014-12-04
Abstract: Verfahren zum Betreiben eines Anilox-Druckwerks (2) mit sich an einer Zuführrakel (6) ansammelnder und davon ablösender Farbe (8), wobei diese nach ihrem Ablösen von der Zuführrakel (6) Farbanhäufungen (10) auf einer Rasterwalze (3) bildet und wobei ein Spalt (9) zwischen der Rasterwalze (3) und einer weiteren Walze (4) gebildet wird, den die Farbanhäufungen (10) ohne Kontakt mit der weiteren Walze (4) passieren, dadurch gekennzeichnet, dass der Spalt (9) durch eine Achsverlagerung der weiteren Walze (4) gebildet wird, und dass die Farbanhäufungen (10) auf der Rasterwalze (3) so stark eingeebnet werden, dass die eingeebneten Farbanhäufungen (10) den Spalt (9) ohne Kontakt mit der weiteren Walze (4) passieren.
Patent DE-102007053958-B4 (DE)
Title: Fahrzeugsitz
Inventor: LINDLEY MILES
IPC: B60N2/30
Filed: 2007-11-09
Granted: 2016-04-28
Abstract: Fahrzeugsitz (1) mit mindestens einem ersten Segment (3, 3') mit einem Sitzteil (6) und einem zweiten Segment (2) mit einem Sitzteil (5) sowie einer Rückenlehne (4), wobei das zweite Segment (2) unter dem Sitzteil (6) verstaubar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Rückenlehne (4) kollabierbar ausgeführt ist, das zweite Sitzsegment (2) nur mit einem ersten Sitzsegment (3, 3') schwenkbar verbunden ist und eine Verbindung zwischen dem ersten Sitzsegment (3, 3') und dem zweiten Sitzsegment (2) beim Vorklappen des Sitzteils (6) entriegelt.
Patent DE-102007056573-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Durchführung von Crash-Schlitten-Versuchen mit vor dem Aufprall auftretender Gierbewegung
Inventor: HAGEMANN FRANZ-MICHAEL
IPC: G01M17/007
Filed: 2007-11-23
Granted: 2017-09-28
Abstract: Verfahren zur Durchführung von Crash-Schlitten-Versuchen, wobei der Aufprall eines Fahrzeuges auf ein Hindernis entsprechend realer Verzögerungswerte durch mindestens eine vor dem Aufprall auftretende Gierbewegung des Fahrzeugs durch eine Rotation des Versuchsobjekts um eine vertikale Achse (Z-Achse) simuliert wird, dadurch gekennzeichnet, dass das Versuchsobjekt durch unabhängig voneinander steuerbare Translationsbewegungen im vorderen und rückwärtigen Bereich vor dem Aufprall zur Seite hin bewegt und um eine zwischen den Translationsbewegungen frei wählbare und sich im Versuchsablauf ändernde vertikale Achse (Z-Achse) gedreht wird.
Patent DE-102008002978-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Differenzierung von verschiedenen Spezies der Gattung Methylobacterium
Inventor: KROLCZYK SABINE
IPC: C12Q1/02
Filed: 2008-07-31
Granted: 2012-01-05
Abstract: Verfahren zur Identifizierung von verschiedenen Spezies der Gattung Methylobacterium, umfassend die folgenden Reaktionsschritte: • Herstellung eines Rohextraktes (RE) aus einer Suspension von Methylobakterien (Rs1 bis Rs8); • Amplifikation des 16S rRNA Gens mittels PCR unter Verwendung von Rohextrakt (RE) als DNA Matrize und den Oligonucleotiden pA und pH als Primer (Rs9, Rs10); • Durchführung von mindestens zwei Restriktionsverdauen des PCR Produktes (PCR-RE) in parallelen Reaktionsansätzen (Rs12 bis RS16a/b) mit jeweils einem 6-Basen-Cutter Restriktionsenzym oder MboII oder EcoO109I; • Auftrennung und Analyse der Restriktionsfragmente der mindestens zwei Restriktionsverdaue mittels Gelelektrophorese (Rs17); • Detektion der mindestens zwei Restriktionsmuster der parallel angesetzten Restriktionsverdaue; und • Vergleich der Restriktionsmuster und der DNA Fragmentlängen mit den bekannten Restriktionsmustern von Referenzstämmen von Methylobacterium zur Identifizierung des Methylobakterienstammes im Rohextrakt (RE).
Patent DE-102008003610-B4 (DE)
Title: Gasspeichersystem basierend auf Gasadsorption an Materialien mit hoher Oberfläche
Inventor: ARNOLD GERD
IPC: F17C11/00
Filed: 2008-01-09
Granted: 2010-11-18
Abstract: Gasspeichersystem, das ein Gas durch Kryoadsorption an Materialien mit hoher Oberfläche speichert. Das Gasspeichersystem weist einen Außenbehälter, der isolierte Wände besitzt, und eine Vielzahl von darin angeordneten Druckgefäßen auf. Jedes der Druckgefäße weist ein Material mit hoher Oberfläche auf. Eine Verteileranordnung verteilt das Gas unter Druck an die Druckgefäße, wo das Gas durch Kryoadsorption unter Verwendung der Materialien mit hoher Oberfläche adsorbiert wird. In Hohlräumen zwischen den Druckgefäßen ist ein Kühlfluid vorgesehen, um Wärme zu entfernen, wenn die Druckgefäße mit dem Gas gefüllt werden.
Patent DE-102008013229-B4 (DE)
Title: Beleuchtungsoptik für die Mikrolithographie
Inventor: ENDRES MARTIN
IPC: G03F7/20
Filed: 2008-03-07
Granted: 2015-04-09
Abstract: Beleuchtungsoptik (26) für die Mikrolithographie – mit einer optischen Baugruppe (26a) zur Führung von Beleuchtungslicht hin zu einem auszuleuchtenden Objektfeld (19) in einer Objektebene (17), – wobei die Beleuchtungsoptik (26) ein Beleuchtungslicht-Strahlbündel (3) in eine Mehrzahl von Strahlbüschel (28 bis 30) zerlegt, die verschiedenen Beleuchtungswinkeln der Objektfeldbeleuchtung zugeordnet sind, wobei die Beleuchtungsoptik (26) derart ausgeführt ist, dass zumindest einige der Strahlbüschel (28 bis 30) in einer Überlagerungsebene (16), die von der Objektebene (17) beabstandet ist und die nicht in die Objektebene (17) abgebildet ist, so überlagert werden, dass Ränder (32) der überlagerten Strahlbüschel (28 bis 30) zumindest abschnittsweise zusammenfallen, gekennzeichnet durch eine in der Überlagerungsebene (16), die dann eine Intensitätsvorgabeebene darstellt, angeordnete Feldintensitäts-Vorgabeeinrichtung (24) zur Einstellung einer Intensitätsverteilung des Beleuchtungslichts über das Objektfeld (19), wobei die Ränder (32) der überlagerten Strahlbüschel (28 bis 30) dort, wo sie von der Feldintensitäts-Vorgabeeinrichtung (24) beeinflussbar sind, zusammenfallen.
Patent DE-102008021207-B4 (DE)
Title: Schwingungstilger mit einer Elastomerfeder
Inventor: SCHWEINSBERG STEFAN
IPC: F16F1/36
Filed: 2008-04-28
Granted: 2019-04-11
Abstract: Schwingungstilger (17) mit einer über eine Elastomerfeder (9) elastisch an eine Basis (19) angekoppelten metallenen Tilgermasse (18), wobei die Elastomerfeder (9) Teil eines einstückig durchgängigen Formkörper (3) aus Elastomerwerkstoff (4) ist, der sich darüber hinaus als Korrosionsschutzüberzug (20) über die der Elastomerfeder (9) abgewandten Metalloberflächen der Tilgermasse (18) erstreckt, wobei sich der Formkörper (3) im Betrieb des Schwingungstilgers (17) in unterschiedlichen Bereichen (8, 20, 21) unterschiedlich stark dynamisch verformt und wobei der Elastomerwerkstoff (4) unterschiedliche Zusammensetzungen aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der Elastomerwerkstoff (4) in dem Bereich (8), in dem der Formkörper (3) die Elastomerfeder (9) zwischen der Basis (19) und der Tigermasse (18) ausbildet und in dem sich der Formkörper (3) im Betrieb des Schwingungstilgers (17) stärker dynamisch verformt, eine andere Zusammensetzungen aufweist als in dem Bereich, in dem der Formkörper (3) den Korrosionsschutzüberzug (20) über die der Elastomerfeder (9) abgewandten Metalloberflächen der Tilgermasse (18) ausbildet und in dem sich der Formkörper im Betrieb des Schwingungstilgers nicht dynamisch verformt, wobei Übergänge zwischen den unterschiedlichen Zusammensetzungen des Elastomerwerkstoffs (4) in den unterschiedlichen Bereichen (8, 20, 21) des Formkörpers (3) stetig sind.