Patent DE-102018203678-B4 (DE)
Title: Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück
Inventor: TANAKA HIDEAKI
IPC: H01L21/301
Filed: 2018-03-12
Granted: 2024-01-25
Abstract: Bearbeitungsverfahren für ein Werkstück (11), wobei das Werkstück ein flaches plattenförmiges Basismaterial und eine an dem Basismaterial ausgebildete Funktionsschicht aufweist, das Werkstück (11) durch eine Vielzahl von Trennlinien (13), die sich in einer ersten Richtung (D1) erstrecken, und einer Vielzahl von Trennlinien (13), die sich in einer die erste Richtung kreuzenden zweiten Richtung (D2) erstrecken, in eine Vielzahl von Bereichen unterteilt ist und das Bearbeitungsverfahren zum Schneiden des Werkstücks entlang der Trennlinien durch Verwenden einer Schneidvorrichtung (2) ist, wobei die Schneidvorrichtung (2) aufweist:einen Spanntisch (14) mit einer Haltefläche (14a), auf der das Werkstück (11) zu halten ist,eine Schneideinheit (22), die eine erste Spindel (44a), an der eine erste Schneidklinge (46a) zu montieren ist, und eine zweite Spindel (44b) aufweist, an der eine zweite Schneidklinge (46b) zu montieren ist, und die das an dem Spanntisch (14) gehaltene Werkstück (11) durch die erste Schneidklinge und die zweite Schneidklinge schneidet,eine Bearbeitungszuführeinheit (10), die den Spanntisch (14) in einer Bearbeitungszuführrichtung parallel zu der Haltefläche (14a) bewegt, undeine Einteilungszuführeinheit (26), welche die Schneideinheit (22) in einer Einteilungszuführrichtung parallel zu der Haltefläche (14a) und die Bearbeitungszuführrichtung kreuzend bewegt,wobei die erste Spindel (44a) und die zweite Spindel (44b) jeweils eine Achse parallel zu der Einteilungszuführrichtung aufweisen und die erste Schneidklinge (46a) und die zweite Schneidklinge (46b) auf so eine Weise angeordnet sind, dass sie einander zugewandt sind,wobei das Bearbeitungsverfahren umfasst:einen Halteschritt mit einem Halten des Werkstücks (11) durch den Spanntisch (14), sodass die Funktionsschicht exponiert ist;einen Nutausbildungsschritt mit einem Bewegen des Spanntischs (14) in der Bearbeitungszuführrichtung mit einer ersten Geschwindigkeit und einem nacheinander Schneiden der Vielzahl von Trennlinien (13), die sich in der ersten Richtung (D1) erstrecken, durch die erste Schneidklinge (46a), um das Werkstück (11) mit Nuten (11c) entlang der Trennlinien auszubilden, wodurch die sich mit den Trennlinien überlappende Funktionsschicht entfernt wird;einen ersten tiefen Schneideschritt mit einem weiteren Schneiden der entlang der Trennlinien (13) ausgebildeten Nuten (11c), die sich in der ersten Richtung (D1) erstrecken, durch die zweite Schneidklinge (46b), um dadurch die Nuten tief zu schneiden, während der Nutausbildungsschritt ausgeführt wird; undeinen zweiten tiefen Schneideschritt mit einem Bewegen des Spanntischs (14) in der Bearbeitungszuführrichtung mit einer zweiten Geschwindigkeit, die höher ist als die erste Geschwindigkeit, und mit einem weiteren Schneiden der Nuten (11c) durch die zweite Schneidklinge (46b) entlang der sich in der ersten Richtung (D1) erstreckenden Trennlinien (13), die während des ersten tiefen Schneideschritts nicht tief geschnitten worden sind, um dadurch nach dem Nutausbildungsschritt diese Nuten tief zu schneiden.