Patent DE-102014008105-B4 (DE)
Title: Mehrstrahl-Teilchenmikroskop
Inventor: LANG UWE
IPC: H01J37/28
Filed: 2014-05-30
Granted: 2021-11-11
Abstract: Mehrstrahl-Teilchenmikroskop, umfassend:eine Mehrstrahlquelle (300), die dazu konfiguriert ist, ein erstes Feld (327) von mehreren ersten Teilchenstrahlen (3) zu erzeugen;eine erste Teilchenoptik, welche dazu konfiguriert ist, die ersten Teilchenstrahlen so auf ein Objekt (7) zu richten, dass die ersten Teilchenstrahlen an Auftrefforten (5) auf das Objekt treffen, welche ein zweites Feld (103) bilden;einen Detektor (209), welcher mehrere Detektionsbereiche aufweist, oder mehrere Detektoren, die jeweils einen Detektionsbereich aufweisen, wobei die Detektionsbereiche in einem dritten Feld (217) angeordnet sind;wobei der Detektor oder die Detektoren mehrere Wandler (241, 507) umfassen,wobei jedem Detektionsbereich ein Wandler zugeordnet ist und dazu konfiguriert ist, ein elektrisches Signal zu erzeugen, welches eine Teilchenintensität repräsentiert, die auf den Detektionsbereich trifft; undein Datenerfassungssystem (500), welches ein Steuerungscomputersystem (503), und ein oder mehrere Bildaufnahmecomputersysteme (505) aufweist;wobei das oder die Bildaufnahmecomputersysteme (505) dazu konfiguriert ist/sind, die elektrischen Signale von wenigstens einem der Wandler (507) zu empfangen, dadurch gekennzeichnet, dassdas Datenerfassungssystem (500) einen Bildschirm (509) aufweist, unddas oder die Bildaufnahmecomputersysteme (505) dazu konfiguriert ist/sind,- aus den empfangenen elektrischen Signalen eine erste Datei zu erzeugen, welche ein erstes teilchenmikroskopisches Bild eines Bereichs des Objekts repräsentiert, welcher von einem der mehreren ersten Teilchenstrahlen abgerastert wurde, wobei das durch die erste Datei repräsentierte Bild ein Bild mit großer Bildauflösung ist und die erste Datei eine Dateigröße aufweist, die größer ist als ein erster Wert,- aus den empfangenen elektrischen Signalen eine zweite Datei zu erzeugen, welche ein zweites teilchenmikroskopisches Bild des Bereichs des Objekts repräsentiert, wobei das durch die zweite Datei repräsentierte Bild ein Bild mit niedriger Bildauflösung ist und die zweite Datei eine Dateigröße aufweist, die kleiner ist als ein zweiter Wert, wobei der zweite Wert kleiner als der erste Wert ist, und- die zweite Datei an das Steuerungscomputersystem (503) zu übergeben;wobei das Steuerungscomputersystem (503) dazu konfiguriert ist,- von dem einen oder den mehreren Bildaufnahmecomputersystemen (505) die zweiten Bilder zu empfangen,- eine Datenstruktur zu unterhalten, welche eine Zuordnung von Wandlern (507) zu zweidimensionalen Ortsvektoren (519) repräsentiert,- die von den Wandlern (507) empfangenen Bilder auf dem Bildschirm (509) darzustellen, wobei ein Referenzpunkt (521) in einem jeden Bild (521) auf dem Bildschirm (509) in einem Koordinatensystem des Bildschirms an einem Ort angeordnet ist, der durch eine Summe aus einem Hinführungsvektor (517), der für sämtliche Bilder (515) gleich ist, und dem Ortsvektor (519) definierbar ist, der dem Wandler (507) zugeordnet ist, von dem das Bildaufnahmecomputersystem die elektrischen Signale empfangen hat, um das Bild zu erzeugen.