baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-100242373-B1 (KR)
Inventor: SEKI RYUJI
IPC: C07D307/89
Filed: 1995-02-21
Granted: 2000-02-01
Abstract: 본 발명은 테트라클로로프탈산 무수물을 염소화하여 3,3,4,5,6,7-헥사클로로-1-[3H]-이소벤조푸라논을 얻은 후, 이를 플루오르화하여 3,4,5,6-테트라플루오로프탈로일디플루오르화물 및/또는 3,3,4,5,6,7-헥사플루오로-1-[3H]-이소벤조푸라논을 얻고, 테트라플루오로프탈로일디플루오르화물 및/또는 헥사플루오로-1-[3H]-이소벤조푸라논을 무기염기 또는 유기산과 반응시켜 테트라플루오로프탈산 무수물을 얻는 것을 포함하는 테트라플루오로프탈산 무수물의 제조방법에 관한 것이다.
Patent KR-0139979-B1 (KR)
Title: 시.디.-롬 디코더의 16비트 병렬 디스크램블러
Filed: 1995-03-10
Granted: 1998-07-01
Abstract: 이 발명은 시디-롬 디코더의 16 비트 병렬 디스크램블러(Parallel Descrambler)에 관한 것으로서, 종래에 디스크램블러에서 1 비트씩 디스크램블하던 방식을 16 비트의 디스크램블하므로써, 불필요한 레지스터를 줄여 전체 회로를 간소화 하고 수행 처리 속도를 높일 수 있는 시디-롬 디코더의 16 비트 병렬 디스크램블러에 관한 것이다.
Patent KR-0154607-B1 (KR)
Inventor: PARK YONG-SUNG
IPC: G06F13/38
Filed: 1995-03-30
Granted: 1998-11-16
Abstract: 본 발명은 RS-232C전송장치와 RS-422 전송장치간에 데이터 송수신이 가능하도록 된 직렬전송신호 변환장치에 관한 것으로, 종래에는 상기 2가지 방식의 전송장치가 서로 다른 형태로 구성된 데이터를 사용하고 있으므로 RS-232C 전송장치가 설치되어 있는 시스템과 RS-422 전송장치가 설치되어 있는 시스템과는 서로 데이터를 주고 받을 수 없는 문제점이 있었다. 
     본 발명은 RS-232C 방식의 데이터는 RS-422방식의 데이터로, RS-422 방식의 데이터는 RS-232C방식의 데이터로 변활할 수 있는 변환장치를 구성하므로써 서로 다른 방식의 두 전송장치간에 데이터 송수신이 가능하도록 된 것임.
Patent KR-0137243-B1 (KR)
Inventor: JANG JAE-YOUNG
IPC: F02N11/08
Filed: 1995-04-13
Granted: 1998-04-25
Abstract: 본 발명은 차량의 과도한 전기 부하로 인한 밧데리 방전시 이를 감지하여 임의 제어로 밧데리 방전을 줄이고 재충전시켜 시동 꺼짐과 재시동 불가를 사전에 방지할 수 있도록 한 차량의 밧데리 방전으로 인한 시동 꺼짐 방지 방법에 관한 것으로 데이터를 기록하기 위한 롬(1)과, 데이터를 기록하고 읽기 위한 램(2)과, 상기 롬(1)과 램(2)에 접속되어 이들을 제어하기 위한 CPU(3)와, 상기 CPU(3)에 접속되어 입출력을 제어하기 위한 입출력 제어부(4)로 된 엔진 제어 모듈을 갖는 차량에 있어서, 
     각종 센서로부터의 데이터를 입력 받아 이를 램(2)에 저장하는 단계와, 스타트 판단 단계와, 아이들 판단 단계와, 전압 비교 및 충전장치 이상 여부 판단 단계와, 재충전을 판단하고 제어하는 단계와, 전기 부하를 제어하는 단계를 차례로 실시하여서 이루어진다.
Patent KR-0136405-B1 (KR)
Inventor: LEE SANG-MOO
IPC: F25D23/00
Filed: 1995-05-10
Granted: 1998-07-01
Abstract: 본 발명은 냉장고에 관한 것으로, 특히 냉장고의 각 실을 회전 가능토록 하여 잦은 냉장고 도어의 열림에 의한 냉기의 손실을 보상토록 한 회전 냉장고에 관한 것이다. 
     이러한 본 발명은 송풍팬에 의하여 냉각기를 스치면서 발생된 냉기가 상하로 이동할 수 있는 이동통로를 갖는 원통으로 형성된 몸체와, 이동통로를 통하여 상승된 냉기가 냉장고내를 순환하도록 형성된 냉기순환부와, 냉장고가 몸체에 결합되어 회전 할 수 있도록 형성된 회전부로 이루어 진다.
Patent KR-0152643-B1 (KR)
Inventor: KIM JONG-BOO
IPC: E04G11/06
Filed: 1995-07-25
Granted: 1998-10-15
Abstract: 본 발명은 건축물을 구축함에 있어 옹벽의 각 코너부분을 타설할 시 사용되는 코너 거푸집에 관한 것으로, 특히 옹벽을 시공함에 있어 코너부분을 효과적으로 시공하도록 함은 물론 거푸집의 설치 및 해체에 따른 사용성 및 작업성을 향상시키도록 한 것으로, 이는 얇은 판체가 직각방향으로 절곡도어 일정한 간격을 가지면서 구비되는 내,외측판(110)(120)과, 상기 내,외측판(110)(120)의 양측에 연결판(111)이 연결되어 그 양단에 구비되고 옹벽 거푸집(10)이 체결되는 체결홈(130)과, 상기 내측판(110)의 내측 상,하부에 각각 용접 고정되면서 그 전단 소정위치에 연결공(141)을 갖는 브라켓트(140)와, 상기 연결공(141)에 일정한 인장력을 갖는 스프링(150)이 각각 연결되고 이의 스프링(150)의 타측에 옹벽 거푸집(10)에 걸려져 지지되는 지지대(160)를 갖춘 구성이다.
Patent KR-100196990-B1 (KR)
Inventor: DOMITA YUKIHARU
IPC: B21D7/12
Filed: 1995-08-12
Granted: 1999-06-15
Abstract: 이미 예정 굽힘이 가해져 있는 구부러진 파이프에 수정 굽힘을 가함으로서 구부러진 파이프의 양단 위치간의 상대 위치 관계를 수정하는 방법에 있어서, 수정 굽힘을 지장없이 행함과 함께 수정 정도를 향상시킨다. 
     구부러진 파이프(W)의 양단 위치간의 상대 위치 관계를 실측하고, 그결과에 따라 실제의 상대 위치를 수정하는 수정 굽힘을 실행하는 데에 필요한 수정 정보로서, 예정 굽힘 위치와는 다른 수정 굽힘 위치와 그것의 수정 굽힘 위치에 있어서 구부러진 파이프(W)에 가해져야할 수정 굽힘량을 각각 결정하고, 구부러진 파이프(W)에, 결정된 수정 굽힘 위치에서 결정된 수정 굽힘량으로 수정 굽힘을 더한다.
Patent KR-0186081-B1 (KR)
Inventor: JEON YEONG-KWEON
IPC: H01L21/768
Filed: 1995-08-12
Granted: 1999-04-15
Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 배선 제조방법에 관한 것으로, 접속구멍이 형성된 절연막을 포함하는 단차를 갖는 기판 상에 하부 도전성막을 형성하는 공정과; 낮은 토폴로지 영역의 기판상에 절연막 패턴을 형성하는 공정과; 상기 하부 도전성막 및 절연막 패턴상에 상부 도전성막을 형성하는 공정과; 상기 하부 도전성막과 절연막 패턴 및 상부 도전성막을 식각하여 배선 패턴을 형성하는 공정을 구비하여 소자 제조를 완료함으로써, 다층구조를 갖는 평탄화된 배선 패턴을 형성할 수 있게 되어 후속공정 진행시, 단차가 개선된 평탄한 상태에서 사진식각공정을 적용할 수 있으므로 정밀하고 정확한 패턴을 형성할 수 있으며, 기존의 배선 형성 공정과 절연막 평탄화 공정을 절연막이 개재된 전도성막의 적층구조로 한꺼번에 형성할 수 있게 되어 공정 단순화를 기할 수 있고, 절연막의 CMP법에 의한 에치백 공정시 하부 도전성막이 식각 저지막으로 작용하므로 연마 종점 설정이 용이하다는 잇점을 가지게 된다.
Patent KR-0126405-B1 (KR)
Title: Automatic/manual operation transmission
Inventor: KIM JUNG-KON
Filed: 1995-08-31
Granted: 1997-12-18
Abstract: An automatic/manual transmission having a shifter establishing speed-changing step; a pulse width modulation valve; a microcomputer controlling the pulse duty value of the pulse width modulation valve; and a switch which is connected to the microcomputer to switching the speed-changing step control signal inputted from the shifter automatically or manually is disclosed. Thereby, it is possible to select the mode of the automatic or manual transmission according to the driver's choice.
Patent KR-960005804-B1 (KR)
Inventor: YOSHIHARA AKASAKA
IPC: D06F33/02
Filed: 1995-10-17
Granted: 1996-05-01
Abstract: 내용 없음.
Patent KR-0155318-B1 (KR)
Inventor: CHO HAN-JIN
IPC: H03M7/00
Filed: 1995-11-04
Granted: 1998-12-15
Abstract: 본 발명은 현장 가공형 반도체(이하, FPGA라 칭함)에서의 유연한 디코딩 회로에 관한 것으로, 특히 각 채널에서 요구되는 제어선의 수를 출력으로 갖는 지역 디코더를 FPGA의 로직 모듈의 어레이 크기에 따라 배치하도록 된 FPGA에서의 유연한 디코딩 회로에 관한 것으로, 전기적으로 프로그램이 가능한 안티퓨즈; 순차적으로 연결되어 있어 데이타 비트 스트림을 입력받아 제어신호 또는 데이타를 일시 저장하는 다수의 레지스터; 레지스터에 저장되어 있는 소정의 제어신호 및 데이타를 입력받아, 제어신호에 따라 데이타를 디코딩하는 다수의 디코더; 각각의 디코더 출력을 로직모듈 각각에 소정의 형태로 공급하도록 연결된 다수의 제어선을 구비하는 것을 특징으로 하여 FPGA 원판 크기에 따라 디코더의 재설계가 필요치 않는 효과가 있다.
Patent KR-0132914-B1 (KR)
Inventor: MIN JIN-HWA
IPC: B62D65/00
Filed: 1995-11-22
Granted: 1998-04-21
Abstract: 본 발명은 차체리프터장치에 의해 언로딩되는 자동차의 차체가 언로딩되는 과정에서 위치가 어긋남이 발생되는 것을 방지할 수 있는 자동차 조립라인의 차체 정위치결정장치를 제공하기 위하여 리프터장치의 소정위치에 횡설되는 프레임(30)의 일측에 가이드홈(31)을 형성하고, 이 가이드홈(31)에 미끄럼결합되어 슬라이딩되는 두 개의 슬라이더(32)(33)를 양단이 핀(40)에 의해 결합된 두링크(41)(42)의 각 양단을 또 다른 핀(43)(44)에 의해 결합하되 상기 프레임(30)의 일측으로 돌설되어 있는 브라켓(47)상에 설치되어 있는 가이드 핀(45)에 미끄럼결합되는 미끄럼장공(46)을 두 링크(41)(42)중 적어도 하나의 링크(41)의 중간에 형성하며, 상기 링크(41)와 프레임(30)의 사이에 유체실린더(50)의 실린더튜브(51)와 피스톤로드(52)를 설치하는 한편, 상기 각 슬라이더(32)(33)에 행거트롤리에 의해 이송되는 차체(53)에 형성되어 있는 용접플랜지부의 양측을 가압하는 조오(55)(56)를 각각 설치하여 구성한 것이다.
Patent KR-100518864-B1 (KR)
Title: 초점 조절영역 가변에 의한 초점 자동 조절방법
Inventor: KIM JIN SEO
IPC: H04N5/225
Filed: 1995-11-30
Granted: 2005-11-28
Abstract: 본 발명은 캠코더와 같은 영상 촬영기기에서 초점 자동 조절장치에 관한 것으로서, 종래의 초점 자동 조절장치는 화면의중앙부를 중심으로 초점 조절동작을 수행하기 때문에 화면의 중앙부가 아닌 다른 특정영역의 피사체에 대해서는 초점 맞지 않게 되어 전체적인 화면의 해상도가 저하되는 문제점이 있고, 또한 화면의 중앙부가 아닌 다른 영역의 특정 피사체를중심으로 초점 조절을 하기 위해서는 수동 초점 조절모드로 전환하여 사용자가 직접 초점 조절 동작을 수행해야만 하는불편함이 발생되는 문제점이 있었다. 
     따라서, 상기 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 사용자가 초점 조절영역을 설정할 수 있도록 하여 초점 조절동작을 수행하고, 설정된 초점 조절영역에서의 초점 조절정보가 충분치 못하여 초점 조절이 안될 경우 자동으로 인접 초점 조절영역으로 확장하여 초점 조절동작을 수행함으로서, 사용자의 초점 조절영역 선택 오류에 대한 초점 조절동작의 오동작을 방지할 수 있는 초점 조절영역 가변에 의한 초점 자동 조절방법이다.
Patent KR-0166270-B1 (KR)
Inventor: LEE CHANG-EUI
IPC: H04L27/01
Filed: 1995-11-30
Granted: 1999-02-01
Abstract: 본 발명은 QAM 신호 결정 궤환 등화기에 관한 것으로, 본 발명의 등화기는 피드포워드 필터부(150)와; 피드백 필터부(152); 감산부(154); 복소수 곱셈부(156); 신호 판별부(158); 탭계수 연산부(160); 및 디지탈 위상 동기 루프(162)로 구성되어 있으며, 본 발명에 따르면 변형된 복소 필터링 알고리즘을 사용하여 피드포워드 필터부와 피드백 필터부를 구현함으로써 유한 충격 응답 필터의 수를 1/4 정도 줄일 수 있게 되어 하드웨어 내의 칩 사이즈를 감소시킬 수 있다.
Patent KR-0182872-B1 (KR)
Inventor: SHIM HYEON-SU
IPC: G11C17/00
Filed: 1995-12-01
Granted: 1999-04-15
Abstract: 본 발명은 플래쉬 메모리 장치(Flash Memory device)에 관한 것으로서, 낸드구조의 플래쉬 메모리셀의 프로그램 확인동작시 프로그램 동작시의 환경을 가능한 그대로 적용하여 프로그램 확인동작을 시행하도록 한 플래쉬 메모리 장치에 관한 것이다.
Patent KR-100228938-B1 (KR)
Inventor: RICHARD BERRY
IPC: G06F9/44
Filed: 1995-12-04
Granted: 1999-11-01
Abstract: 본 발명은 그래픽 사용자 인터페이스를 사용하여 객체 지향 환경에서 프로그램을 효율적으로 생성하는 데이타 프로세싱 시스템 및 프로그램 생성 방법에 관한 것이다.  객체는 그래픽 사용자 인터페이스내에서 그래픽적으로 디스플레이되며, 여기서 객체는 객체 지향 언어로 작성된 방법을 포함한다.  이 방법은 다수의 파라미터를 갖는다. 각각의 파라미터는 GUI 내에서 그래픽적으로 디스플레이된다. 
     이러한 디스플레이는 그래픽적으로 디스플레이된 객채의 선택에 응답할 수 있다.  각각의 파라미터는 그래픽적으로 디스플레이된 객체와 시각적으로 연관된다. 파라미터 선택에 응답하여 다수의 파라미터에서 하나의 파라미터에 대한 선택 리스트가 디스플레이된다. 
     사용자에 의해 선택 리스트를 사용한 파라미터의 지정이 허용되며, 여기서 선택 리스트를 사용하여 지정된 파라미터는 객체를 생성하기 위해 사용된 객체 지향 언어로 상기 방법으로 전파된다.  파라미터와 디스플레이된 객체사이의 관계를 디스플레이하기 위해 트리 구조가 사용될 수 있다.
Patent KR-0176872-B1 (KR)
Inventor: AN SU-JEONG
IPC: H04N9/28
Filed: 1995-12-09
Granted: 1999-05-01
Abstract: 본 발명은 프로젝션 티브이의 컨버젼 보상장치에 관한 것으로, 종래에는 씨피티에서 방출된 빛이 거울을 통해 스크린위에 표시될 때, 같은 영상이라도 씨피티로부터 스크린까지의 거리가 다르게 되어 광학적인 구조상 스크린상에서 R과 B의 컨버젼이 틀어지는 문제점이 있었다. 본 발명은 이러한 종래의 문제점을 해결하기 위해 디지탈 변환된 R.G.B신호를 라이트신호 및 리드신호에 따라 각기 저장 및 출력하는 제1내지 제3메모리로 이루어진 메모리부와; 수평동기긴호의 위상을 검출하여 저역필터링 한 전압과 각기 다른 파형의 입력전압에 의해 각기 다른 라이트신호를 상기 메모리부에 인가하는 제1내지 제3라이트신호발생부로 이루어진 라이트신호발생부와; 상기 메모리부의 각 R.G.B출력신호를 입력받아 이를 화면비 변환 등의 필요한 처리를 하여 씨알티를 통해 출력하는 디지탈신호처리부로 구성한 프로젝션 티브이의 컨버젼 보상장치를 창안한 것으로 이의 작용을 통해 즉, 톱니파전압을 이용하여 라이트신호를 출력하는 전압제어발진기의 출력전압을 3가지종류로 출력되게 하여 프로젝션 광학계에 의해 컨버젼 틀어짐이 발생하는 것을 미리 보상해 줌으로서 균일한 비의 영상이 나타나게 할 수 있는 효과가 있다.
Patent KR-0186202-B1 (KR)
Inventor: PARK YONG-SEUNG
IPC: G06F11/22
Filed: 1995-12-12
Granted: 1999-05-15
Abstract: 본 발명은 마이크로 컴퓨터에 관한 것으로서, 특히 원칩 마이크로 컴퓨터에 대한 기본 테스트를 용이하게 할 수 있도록 한 원칩 마이크로 컴퓨터에 관한 것이다. 
     상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 원칩 마이크로 컴퓨터는 외부로 부터 테스팅데이타를 받아들이거나 특정수행결과를 외부로 출력하는 복수개의 포트와, 상기 포트들 각각의 출력에 해당하는 복수개의 버스라인을 테스팅신호에 의해 절환시키는 복수개의 스위칭부와, 상기 스위칭부에 의해 선택된 버스라인을 통해 상기 테스팅데이타를 받아들여 이 버스라인을 통해 시스템 전체를 제어하는 중앙제어부와, 상기 스위칭부에 의해 선택된 버스라인을 통해 전달된 사용자 테스팅데이타에 대응되는 램어드레스를 저장하여 필요시 상기 중앙제어부로 출력하는 램어드레스 지정부와, 상기 중앙제어부의 출력신호에 의해 구동되는 주변기능부와, 상기 중앙제어부의 출력신호를 저장하거나 필요시 출력시키는 램저장부와, 상기 중앙제어부가 동작하도록 제어프로그램이 저장된 롬저장부로 이루어짐을 특징으로 한다. 
     따라서, 본 발명에 따른 원칩 마이크로 컴퓨터는 테스트를 위한 하드웨어의 부담이 적고, 사용자 모드로 테스팅이 가능하며, 정확한 테스트를 할 수 있는 효과가 있다.
Patent KR-100214466-B1 (KR)
Inventor: KIM SANG-SU
IPC: G11C11/413
Filed: 1995-12-26
Granted: 1999-08-02
Abstract: 본 발명은 번인 테스트 동작에 필요한 각종 제어 신호 및 테스트 데이타등이 칩내부에서 발생되도록 하여 인가되는 외부 전압이 소정의 레벨을 넘어서고 외부로부터 정상적인 번인 테스트를 알리는 신호가 입력되지 않으면 스스로 번인 동작이 수행되도록 한 반도체 메모리의 셀프 번인 회로에 관한 것으로, 소정의 셀프 번인 테스트 조건이 만족되면 번인 테스트를 위한 소정의 제어 신호, 어드레스 신호 및 테스트 데이타를 발생하는 번인 감지부와 상기 제어 신호의 제어에 따라 상기 어드레스 신호에 의해 선택되는 메모리 셀에 상기 테스트 데이타가 라이트/리드됨으로써 번인 테스트가 수행되는 메모리 셀 어레이를 포함하여 구성된다.
Patent KR-0157788-B1 (KR)
Inventor: CHOE DONG-KWON
IPC: B60J3/02
Filed: 1995-12-29
Granted: 1998-10-15
Abstract: 선 블라인드를 자동으로 펼치고 감을 수 있게 하여 선 블라인드의 차양시에 편의를 제공할 수 있도록 하는 차량의 선 블라인드 장치를 제공하는 것이다. 
     본 발명은 차량의 필러 일측에 선 블라인드를 권취하기 위해 권치 스프링을 내장한 권취롤러를 설치하고, 글라스의 상부와 하부에 레일을 설치하여 상기 레일의 내부에 구름되는 롤러를 상기 선 블라인드의 단부 지지봉에 연결된 로프 1과 연결하며, 상기 롤러로부터 연결되는 로프 2는 상기 필러의 반대측에 설치되는 모터의 축과 연결하여 상기 모터와 연결된 전원스위치의 조작에 따라 모터가 회전하여 상기 로프 1과 2를 매개로 연결된 선 블라인드를 견인하여 글라스의 차양이 완료되는 시점에서 상기 레일 단부에 설치된 록 스위치에 의해 모터작동이 정지되고, 이와 동시에 상기 롤러가 록 스위치에 잠금되어 선 블라인드의 차양이 이루어지게 하고, 상기 전원스위치의 오프(OFF)동작에 따라 상기 롤러가 록 스위치에서 잠금이 해제되어 선 블라인드의 권취롤러가 권취스프링의 회전력을 받아 회전하여 차양된 선 블라인드를 권취할 수 있도록 한 것이다.
Patent KR-100454088-B1 (KR)
Title: Polyester composition for extrusion blow molding comprising polyethylene terephthalate resin, and copolymer of alpha-olefin and glycidyl ester of alpha, beta-unsaturated acid
Inventor: PARK HUI JONG
IPC: C08L67/00
Filed: 1995-12-29
Granted: 2005-01-31
Abstract: PURPOSE: Provided is a polyester resin composition for forming a bottle by extrusion blow molding which is remarkably improved in dart impact strength, has a high melt strength and is excellent in impact resistance by compounding a copolymer of an α-olefin and a glycidyl ester of an α,β-unsaturated acid to a PET resin having a high molecular weight. CONSTITUTION: The polyester resin composition comprises 85-99 wt% of a polyethylene terephthalate resin having an intrinsic viscosity of 1.00-1.30 dl/g (30 deg.C, phenol/tetrachloroethane = 60/40 vol%); and 1-15 wt% of a copolymer of an α-olefin and a glycidyl ester of an α,β-unsaturated acid. Preferably the copolymer of an α-olefin and a glycidyl ester of an α,β-unsaturated acid is an ethylene-glycidyl methacrylate copolymer.
Patent KR-0164521-B1 (KR)
Inventor: YU SEUNG-KYUNG
IPC: H01L21/331
Filed: 1995-12-30
Granted: 1999-02-01
Abstract: 신규한 바이폴라 트랜지스터의 제조방법이 개시되어 있다.  반도체기판 상에 매몰절연층 및 실리콘층을 차례로 형성하여 실리콘-온 인슐레이터(SOI) 기판을 준비한 후, 그 위에 산화막, 식각저지층 및 제1물질층을 차례로 형성한다.  제1 물질층을 식각하여 베이스영역을 정의하고 제1 도전형 불순물을 이온주입한다.  노출된 식각저지층 및 산화막을 식각한다.  제1 도전형으로 도핑된 도전물질을 침적하고 이를 에치백하여 제1 도전형 베이스전극을 형성한다.  제1 물질층을 제거한다.  절연물질을 침적하고 이를 식각하여 제1 도전형 베이스전극의 측벽에 절연성 스페이서를 형성한다.  제2 도전형 불순물을 이온주입하여, 제1 도전형 베이스전극에 셀프-얼라인되는 제2 도전형 에미터 및 콜렉터를 형성한다.  SOI 기술을 사용하는 CMOS 공정에 쉽게 삽입할 수 있으므로, 고속·저소비 전력·고집적의 BiCMOS 소자를 구현할 수 있다.
Patent KR-0182829-B1 (KR)
Inventor: LEE JIN-WOO
IPC: A23L11/00
Filed: 1996-03-04
Granted: 1999-03-20
Abstract: 본 발명은 생콩을 영양소의 파괴없이 대략 150-900mesh 정도로 미세분쇄하는 전지활성 생대두 미세분말을 제조 방법에 관한것으로서 생콩을 수분함유율 9-11%가 되도록 건조한 다음 탈피하고 탈피한 생콩을 약 65~85℃의 온도로 15초-35초간 가열하여 생콩의 비린내를 제거하고 소화흡수율과 저장성을 높게하고 가열한 생콩을 다시 약 30℃정도로 냉각되게 하고 냉각된 생콩을 내부온도가 55℃-85℃로 유지되는 충격식 분쇄기로 약 80mesh정도 크기로 1차 조분쇄하고 조분쇄된 생콩입자를 수분함유 3-5%가 되도록 건조시키고 건조된 생콩입자를 1차 조분쇄시와 같은 방법으로 2차 미분쇄하되 분쇄기의 햄머단부와 분쇄판간의 간격(공차)을 1차 조분쇄시보다 좁게하여 분쇄하고 2차미분쇄된 생콩가루를 분급화하고 입자가 큰 생콩가루는 다시 2차미분쇄기에 투입하여 재분쇄하는 방법으로 분쇄하여 영양소의 파괴가 거의 없으며 비린내가 나지않고 소화흡수율이 높으며 저장성이 뛰어난 전지활성 생대두미세분말이 제조된다.
Patent KR-100204322-B1 (KR)
Inventor: HATA AKIHIRO
IPC: H01L21/336
Filed: 1996-03-30
Granted: 1999-07-01
Abstract: 절연성표면을 갖는 기판과, 기판상에 형성된 박막트랜지스터를 갖는 반도체장치로서, 상기 박막트랜지스터는, 채널영역과 소스/드레인영역을 포함하는 반도체섬과, 반도체섬상에 형성된 게이트절연막과, 게이트절연막을 통해 반도체섬의  채널영역을 덮는 게이트전극을 구비하고, 반도체섬의 채널영역의 에지부와 게이트전극간의 간극은, 반도체섬의 채널영역의 중앙부와 게이트전극간의 간극보다 큰, 반도체장치
Patent KR-100192133-B1 (KR)
Inventor: LEE KWAN-CHUL
IPC: G11B7/08
Filed: 1996-05-31
Granted: 1999-06-15
Abstract: 본 발명은 광픽업 액츄에이터의 베이스 플레이트에 관한 것으로서, 대물렌즈(100)가 상부면에 안착되는 대물렌즈홀더(90)와, 상기 대물렌즈홀더(90)를 포커싱 조정방향 및 트랙킹 조정방향으로 동작시키는 광픽업 액츄에이터(120)에 있어서, 상기 광픽업 액츄에이터(120)의 요오크 플레이트(115)가 상부면에 안치되고, 요오크 플레이트(115)를 수평으로 이동시키는 수평 이동부재(60)와, 상기 수평 이동부재(60)의 저면에 설치되어 수평 이동부재(60)의 이동을 안내하고, 지지해주는 받침부재(70)와, 상기 수평 이동부재(60)의 일측면에 연결 설치되어 수평 이동부재(60)에 수평 이동력을 제공하는 동력 전달부재(80)와, 상기 동력 전달부재(80)의 동력을 전달 받아 상기 대물렌즈(100)를 수평 이동부재(60)에 안치된 광픽업 액츄에이터(120)의 대물렌즈홀더(110)상에 안치시키도록 상,하로 이동하는 상,하 이동부재(90)로 구성된 것을 특징으로 하는 광픽업 액츄에이터의 대물렌즈 자동 삽입장치인 바, 대물렌즈홀더의 안치공에 대물렌즈를 자동으로 신속하고, 정확하게 삽설시키므로써 광픽업 액츄에이터의 조립성 및 생산성을 향상시키는 효과를 갖는 발명인 것이다.
Patent KR-100205746-B1 (KR)
Inventor: AHN BYUNG-SUN
IPC: B41J2/05
Filed: 1996-06-12
Granted: 1999-07-01
Abstract: 본 발명은 잉크젯 프린터의 분사 장치 및 분사 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 서로 다른 층(Layer)의 두 전극 사이에 전압을 인가시켜서 도전성 잉크내에서 줄(JOULE) 열에 의해 잉크내에 버블을 발생시켜 그 증기압으로 잉크를 개구부로 분사시켜 주는 잉크젯 프린터의 분사장치 및 분사방법에 관한 것이다. 
     종래의 헤드의 구조가 전극과 저항으로 형성된 히터부에서 잉크를 가열하는 구조로 되어 있는 반면에, 서로 다른 레이어(Layer)로 개별 전극과 공통전극으로 분리시켜 주어 두 전극에 서로 다른 극성의 전압을 인가시켜 버블생성을 위한 전류밀도 차에 의한 전류의 흐름을 이용하여 잉크내의 내부전류와 저항성분에 의해 발생되는 열을 이용하도록 구성되어 종래의 기술에 의한 헤드의 구조에서 내부의 전극을 보호하기 위한 프로텍션 레이어(Protection Layer)가 불필요한 점이 다르며, 이는 종래기술에 따라 히팅부(Heater)에서 발생되는 열에 의해 표면이 손상되는 문제점을 갖지 않는다.
Patent KR-100231410-B1 (KR)
Inventor: LEE NAM HO
IPC: A47L11/20
Filed: 1996-06-26
Granted: 1999-11-15
Abstract: 본 발명은 벨로우즈 탱크를 공급물통으로 한 물분사 진공 청소기에 관한 것이다. 
     진공 청소기 본체에 공급물통과 회수물통을 구성시킴에 있어서, 하부본체를 회수물통으로 하고, 상기 회수물통내에 벨로우즈 탱크를 내설하여 공급물통의 기능을 이루게 하며, 벨로우즈 탱크의 하단에는 튜브를 부착시켜 회수물통내의 수위에 따라 공급물통인 벨로우즈 탱크가 수축 및 팽창되는 구성을 특징으로 한다. 
     이에 따라서, 공급물통과 회수물통의 설치공간을 공급물통과 회수물통의 공간으로 동시에 활용할 수 있게 되어 진공 청소기 본체의 크기를 대폭 줄일 수 있게 되며, 제작 및 취급이 용이하게 되며, 물공급 및 물제거를 동시에 이룰 수 있어 사용의 편리성이 증대되는 효과가 있다.
Patent KR-0159904-B1 (KR)
Inventor: JEON KYU-SHIK
IPC: G01N33/22
Filed: 1996-06-27
Granted: 1999-03-30
Abstract: 구조물의 균열이 진행되면 균열부위에 부착시킨 센서가 파괴되면서 색상을 급속히 변화시킴으로써 일반인들도 쉽게 구조물의 진행상태를 인식할수 있도록 하는 구조물의 균열진행 측정용 센서에 관한 것으로 기존에 특수장비를 사용하여 전문가만 알 수 있었던 균열 정도를 쉽게 인식할 수 있도록 한다. 
     이러한 본 발명은 플라스틱 또는 유리재질을 밴드형태로 제작한 캡슐과 캡슐내측에 충진되어 공기 접촉시 변색되는 화학 충진재와, 캡슐의 표면에 도포되어 시간이 경과됨에 따라 변색되는 도료와, 캡슐 저면의 양측면에시 구조물에 부착시키는 접착면을 구비시킴으로써 이루어 진다.
Patent KR-100426247-B1 (KR)
IPC: A23L27/30
Filed: 1996-06-29
Granted: 2004-06-30
Abstract: Improved method for crystallization of  alpha -L-aspartyl-L-phenylalanine methyl ester (aspartame) from an aqueous solution by conductive cooling while avoiding turbulence in the crystallizing system wherein crystallization is carried out with cooling to a temperature level not lower than 10 DEG C in the presence of at least 0.1% by weight of a C3-8 ketone, the amount of ketone and the temperature level being chosen for each individual ketone so that a homogeneous solvent system is present at the start of crystallization and an open drainable network of aspartame crystals is obtained.
Patent KR-100211498-B1 (KR)
Inventor: KIM SONG-HWAN
IPC: H02K5/14
Filed: 1996-07-09
Granted: 1999-08-02
Abstract: 본 발명은 브러쉬(Brush)에 가해지는 하중의 변화를 일정하게 하면서 힘을 골고루 분산시켜 브러쉬의 깨짐방지 및 균일하게 마모될 수 있도록 한 시동전동기의 브러쉬홀더아세이 구조에 관한 것이다. 
     본 발명은 정류자의 외주면에 위치한 브러쉬홀더아세이의 일정위치에 크랭크형상의 가이드홈을 형성한 브러쉬홀더를 고정하여 이 브러쉬홀더 내부에 사각압축스프링과, 가이드돌기를 갖는 스프링판과 브러쉬를 순차적으로 조립하도록 하므로서 조립성을 향상시킬 수 있도록 하는 한편, 스프링하중 및 힘을 골고루 분산시켜 깨지는 것을 방지하고 브러쉬의 마모를 고르게 하고자 하려는 것이 그 특징이다.
Patent KR-100202399-B1 (KR)
Inventor: KWON BYOUNG-MOK
IPC: C07C13/26
Filed: 1996-07-30
Granted: 1999-06-15
Abstract: 본 발명은 오미자(Schizandra chinensis Baillon)로부터 아실-코에이:콜레스테롤 아실트랜스퍼라제(Acyl-CoA:Cholesterol Acyltransferase: ACAT)의 활성을 특이적으로 저해하는 리그난계 화합물의 제조방법 및 이를 함유하는 조성물에 관한 것으로, 오미자를 유기용매로 추출하고, 정제하여 얻은 하기 화학식 1을 갖는 리그난계 화합물은 고콜레스테롤 혈증에 기인한 심혈관 질환의 예방 및 치료에 유용하게 사용될 수 있다: 
     
       
     
     (여기서, R는 수소, 히드록실, 알킬 또는 아릴기이고, R 1 은 수소 또는 히드록실기이다.)
Patent KR-100420887-B1 (KR)
IPC: H03G11/00
Filed: 1996-08-28
Granted: 2004-05-07
Abstract: 최대 출력 전력치를 가변으로 하는데는, 공급 전원 전압을 가변으로 할 필요가 있었다. 이로 인하여, 최대 출력 전력치에 상관없이 전력손실이 크게 되는 경우가 있고, 최대 출력 전력치가 작은 경우, 필요한 만큼 방열기를 작게 할 수 없었다. 
     입력 제한회로(3)는 입력단자(2)를 통해 신호원(1)으로부터 공급된 입력신호 전압의 최대신호 전압치를 제한한다. 입력신호 제한치 설정회로(4)는 상기 최대신호 전압치의 제한을 설정한다. D급 증폭회로(5)는 입력제한 회로(3)를 통과한 신호 전압을 PWM 변조한 후, 이 변조출력을 이용하여 스위칭 회로의 기본 스위칭 주파수를 변화하고, 전력을 증폭한다. 음성신호 복조회로(6)는, D급 증폭회로(5)의 출력신호에 포함되는 스위칭 주파수를 제거하고, 원래의 신호원의 신호와 유사한 신호로 복조한다. 음성신호 복조회로(6)의 복조신호는 스피커 재생장치(7)에 공급되고, 상기 스피커 재생장치(7)를 구동한다.
Patent KR-100195946-B1 (KR)
Inventor: SONG WOO-HYUN
IPC: F04B17/00
Filed: 1996-08-31
Granted: 1999-06-15
Abstract: 본 발명은 선형압축기의 적층철심의 형상에 관한 것으로 특히 인너라미네이션의 위치를 변경시키고 인접한 철심과 철심사이를 없애므로서 자기적인 손실을 감소시켜 특성을 개선하는데 있다. 
     또한 적층철심의 내경면과 인너라미네이션의 외경면이 유사하게 되게 인너라미네이션의 각각의 가장자리부 철심의 길이를 짧게 구성하여 방사형상이 되게 한다.
Patent KR-0178937-B1 (KR)
Inventor: MYUNG SUNG-HUN
IPC: B60J5/06
Filed: 1996-09-05
Granted: 1999-04-01
Abstract: 본 발명은 자동차의 슬라이드도어에 관한 것으로, 종래의 자동차에 설치된 슬라이드도어는 경사진 곳에 주차할 경우 도어를 열었을 때 도로의 경사면에 의해 저절로 문이 닫히게 되어 운동이 둔한 어린이나 노약자 등이 승하차 할 때 충돌하여 다칠수 있게 되는 문제점이 있었다. 
     이에 본 발명은 첨부된 예시도면 도 2와 도 3에 도시된 바와 같이 슬라이드도어(10)의 인너패널과 아웃패널 사이에 인너핸들(12)과 아웃핸들(14)을 설치하고, 상기 인너핸들(12) 및 아웃핸들(14)과 이격하여 케이블장착부(24) , 지지부(26), 고정부(32)를 설치 고정하며, 고정부(32)에는 연결부(34)를 설치 결합하되 연결부(34)는 좌우 회전되도록 설치하고, 슬라이드도어(10)의 내측 하부에는 롤러장착대(42)를 설치하며, 롤러장착대(42)와 케이블장착부(24) 사이에 케이블(40)을 설치한 자동차의 슬라이드도어이다. 
     따라서, 본 발명은 경사진 곳에 자동차를 주차할 때도 도어를 열게 되면 슬라이드도어 잠금 장치가 연결하여 도어가 열어질 때 레일에 잠그게 되어 경사진 곳에서도 사람이 작동을 하지 않는 한 도어가 저절로 닫히는 일이 없도록 하고, 슬라이드도어를 완전하게 잠그게 되어 승차 또는 하차시 안전성을 확보시켜 주며 특히 어린이나 노약자의 승, 하차시 사용이 간편하게 되는 효과가 있다.
Patent KR-100245363-B1 (KR)
Inventor: IGA KANAME
IPC: B41J2/325
Filed: 1996-09-24
Granted: 2000-03-02
Abstract: 습식 레이저 프린터의 접지장치에 관하여 개시된다. 개시된 프린터의 접지장치는 레이저 프린터의 감광벨트에 전기적으로 접촉되어 감광벨트를 전기적으로 접지시키는 것으로 상기 감광벨트의 일측부에 접촉되어 구름운동하는 도전성 로울러와, 상기 도전성 접지로울러를 회전가능하게 지지하는 지지부와, 상기 도전성 접지 로울러에 전기적으로 접속되는 접지부와, 상기 감광벨트를 중심으로 상기 도전성 로울러의 반대편에 마련되어 상기 감광벨트를 상기 도전성 로울러에 대해 떠 받쳐주는 백업로울러를 포함한다. 따라서, 도전성 로울러의 구름운동에 의해 감광벨트에 대한 손상을 최소화할 수 있고, 또한 접촉압력의 일정성 및 낮은 저항에 의해 효과적으로 감광벨트를 접지시킬 수 있게 된다.
Patent KR-100198522-B1 (KR)
Inventor: CHOI HONG
IPC: H02P6/08
Filed: 1996-10-01
Granted: 1999-06-15
Abstract: 본 발명은 컨버터의 위상 파워 스위칭 소자 게이트 신호로는 반사광 센서에서 출력되는 신호를 인가하고 아래상 파워 스위칭 소자 게이트 신호로 펄스폭 변조(PWM) 아이씨(IC)로서 제어함으로써 모터의 상전류를 초핑(chopping)하여 속도를 제어하도록 한 에스알(SR) 모터의 속도 조절 장치에 관한 것이다. 
     이것을 위한 발명은 현재의 DC LINK단(AC220V→DC) 전압을 감지하게 되면 AC전원 전압이 변화 하더라도 마이컴 출력을 조정함으로써, 모터 출력의 보상을 용이하게 함과 동시에 초기 DC LINK단의 전원 전압 형성 실패를 미연에 방지하고 또한 어떠한 운전 악조건 하에서도 단일의 마이컴 출력포트만 구비되어 있어면 PWM IC의 입력단 전압을 바이패스 시켜 보다 안전하게 모터를 운전시킬 수 있도록 한 것이다.
Patent KR-100194838-B1 (KR)
Title: 주차 기능을 개선한 4륜조향 시스템
Filed: 1996-10-02
Granted: 1999-06-15
Abstract: 4륜조향시스템 차량에서 후진 시에 후륜이 전륜에 역상으로 동작되지 않도록 하므로 써 좁은 주차공간에도 효율적으로 주차할 수 있도록 해주며, 자동차의 전륜조향각과 속도에 따라 후륜의 목표조향각을 산출하기 위한 4륜조향 연산기, 자동차의 후진기어 상태를 감지하기 위한 후진 감지구, 자동차가 후진시 후륜의 목표조향각을 0으로 세팅하기 위한 후륜조향각 세팅기 및 4륜조향 연산기와 후진감지구에서의 출력신호에 따라 후륜조향기구의 동작을 제어하기 위한 제어기를 포함하는 구성으로 이루어진 4륜조향시스템에 관한 발명.
Patent KR-100197138-B1 (KR)
Inventor: KU BON-SANG
IPC: B60R21/16
Filed: 1996-10-25
Granted: 1999-06-15
Abstract: 본 발명은 차량 에어백 시스템의 제어장치에 관한 것으로, 종래 에어백은 운전석이나 조수석이나 그 전개각도, 전개범위 등이 성인의 표준체격을 기준으로 설계 장착되어 있는바, 체형이 작은 어린이나 이에 준하는 체격을 가지는 조수석 탑승자는 상기 에어백에 의해 오히려 더 큰 부상을 입게되는 문제점이 있었다. 
     이에 본 발명은 예시도면 제4도 내지 제7도에서와 같이 통상 어린이등 상체가 적은 자가 조수석에 탑승하게 되면 시트벨트레버(28)를 하방으로 조정하여 시트벨트(9)가 상체에 충분히 밀착될 수 있도록 하는바, 상기 시트벨트레버(28)의 이동위치에 어린이 등이 탑승할 경우 조정시키는 범위 L을 설정하고, 이로부터 컨트롤유니트(20)가 탑승자가 시트벨트(9)를 착용하고 상기 시트벨트레버(28)가 상기 L 범위에 위치하여 있는 경우 조수석을 에어백(2)이 작동되지 않도록 한 것이다. 
     따라서, 어린이 등이 조수석에 탑승할 경우 차량충격시에도 조수석측의 에어백 전개를 방지하여 더 큰 부상의 유발이 방지되는 것이다.
Patent KR-100198388-B1 (KR)
Inventor: LEE NAM-JAE
IPC: B01D53/00
Filed: 1996-10-28
Granted: 1999-06-15
Abstract: 본 발명은 가정에서 폐기되는 음식물 처리시 발생하는 악취를 완전히 제거하는 기능을 부여하는 공기청정기를 지닌 가정용 음식물처리기에 관한 것이다. 
     본 발명은 잔반의 수분감량 및 발효감량시 발생하는 악취 및 세균 등을 제거하여 배기팬(15)으로 배출시키는 음식물처리기에 있어서: 상기 배기팬(15)의 후방으로 설치되고, 양단이 개방되는 절연재질의 덕트구조로 형성되는 본체; 가장 상류측에 설치되고, 방충성 약품이 처리된 방충매트(21); 상기 방충매트(21)의 하류에 설치되고, 작은 먼지를 거르는 집진판(22); 상기 집진판(22)의 하류에 설치되고, 각종 세균을 제거하는 오존을 발생 및 환원시키는 오존발생기(23) 및 오존환원필터(25); 상기 오존발생기(23) 및 오존환원필터(25); 상기 오존발생기(23) 및 오존환원필터(25)의 사이에 설치되고, 다공질의 활성탄을 사용하는 활성필터(24); 그리고 상기 오존환원필터(25)의 하류에 설치되고, 음이온을 발생하는 음이온발생기(26)를 포함한다. 
     이에 따라, 본 발명은 가정용 음식물처리기에 다중의 공기청정장치를 설치함으로써, 폐기 음식물의 처리시 발생하는 악취, 세균 등을 완전히 제거하여 실내에서 쾌적하게 이용할 수 있도록 하는 효과가 있다.
Patent KR-100466681-B1 (KR)
Title: 개선된새도우마스크프레임어셈블리지지체를구비한컬러수상관
IPC: H01J/
Filed: 1996-11-04
Granted: 2005-06-08
Abstract: 컬러 수상관(8)은 면판(18)과 주변 측벽(20)으로 이루어진 직사각형 패널(12)을 구비하는 진공 상태의 유리 엔벨로프(10)를 포함한다. 상기 패널은 이 패널의 모서리에 위치하는 지지 수단(34)에 의해 탑재된 마스크 프레임 어셈블리(30)를 포함한다. 마스크 프레임 어셈블리는 주변 프레임(32)에 부착된 새도우 마스크(24)를 포함한다. 각 모서리의 지지 수단은 프레임에 부착된 플레이트(48)와, 리프 스프링(46, 70)을 포함한다. 리프 스프링에 있어서, 그 제1 단부는 플레이트에 부착되고 상기 패널에 부착된 스터드(stud)(44)와 맞물리는 자유 제2 단부에는 구멍(50, 76)이 형성된다. 적어도 한 개의 모서리에서 리프 스프링(70)은 그 내부에 확대형 구멍(76)을 가지고 있고, 그 위에 와셔를 포함하고 있다. 와셔는 그 내부에 스터드와 맞물리는 구멍(82)을 가지고 있다. 확대형 구멍은 원형부(78)와 테이퍼부(80)를 가지고 있다. 테이퍼부는 플레이트에 부착되는 스프링의 제1 단부 쪽으로 연장된다.
Patent KR-100201068-B1 (KR)
Inventor: CHOI YEONG-MO
IPC: B60N2/90
Filed: 1996-11-25
Granted: 1999-06-15
Abstract: 본 발명은 자동차의 시트 편의 장치와 제어 방법에 관한 것으로, 시트의 위치를 감지하는 시트 위치 감지 센서, 등받이의 각도를 감지하는 등받이 각도 감지 센서, 상기 시트의 위치와 등받이의 각도를 조절하기 위해 이를 전기적 신호로 변환하여 출력하는 조작 스위치, 상기 시트 위치 감지 센서, 등받이 각도 감지 센서, 조작 스위치로 부터의 모든 신호를 입력받아 이를 처리하고 그 결과를 출력하는 전자 제어 장치, 상기 전자 제어 장치의 출력 신호에 따라 시트를 전/후 이동시키는 시트 전/후진 모터와, 등받이의 경사 각도를 조절하는 각도 조절 모터로 이루어져, 투 도어 자동차의 조수석을 간단한 조작에 의해 용이하게 앞쪽으로 접이가 가능하게 하고 또한 예전에 기억된 위치로 용이하게 복귀할수 있수 있게 함으로서 용이한 승차 및 상품성의 향상을 제공하도록 한 자동차의 시트 편의 장치와 그 제어 방법.
Patent KR-100378348-B1 (KR)
Title: Network polymer, method for producing the same, and solid polyelectrolyte comprising the same
Inventor: CHO MYEONG DONG
IPC: H01M10/058
Filed: 1996-12-13
Granted: 2003-06-12
Abstract: PURPOSE: Provided are a polymer used for polymer matrix of solid polyelectrolyte in Li secondary battery, which has a flexible structure allowing Li ion to smoothly transfer, a method for producing the same, and a solid polyelectrolyte comprising the same. CONSTITUTION: The net polymer is a poly(vinylidene fluoride-hexafluoropropylene)(PVDF-HFP) crosslinked by poly(ethylene oxide)dimethacrylate(PEODM) which is a crosslinking agent. A weight ratio of the poly(vinylidene fluoride-hexafluoropropylene) copolymer and the crosslinking agent is 10:1-2:1. The PVDF-HFP copolymer has a weight average molecular weight of 60,000-80,000.
Patent KR-0184142-B1 (KR)
Inventor: KIM SEONG-SU
IPC: G01R19/00
Filed: 1996-12-19
Granted: 1999-04-15
Abstract: 본 발명은 전압 레벨 검출 회로에 관한 것으로, 기준 전압을 결정하는 제2스위칭 소자와 다른 저항값을 갖고, 상기 제2스위칭 소자와 병렬 연결되어 상기 제2스위칭 소자를 포함하는 복수개의 기준 전압을 제공하기 위한 제3스위칭 소자와, 상기 제2스위칭 소자 또는 상기 제3스위칭 소자와 상기 제1스위칭 소자 사이에 연결되어, 상기 제1스위칭 소자로부터 상기 제2스위칭 소자 또는 제3스위칭 소자에 공급되는 전압의 전달 경로를 스위칭 제어하는 제4스위칭 소자와, 상기 제4스위칭 소자의 온·오프 동작을 제어하는 제어 수단을 포함하여 이루어져, 기준 전압을 발생시키는 스위칭 소자를 다수개 구비하고, 구비된 스위칭 소자의 임계 전압의 오차를 소프트웨어적으로 보상하여 정확한 전압 레벨의 검출이 이루어지도록 하는 효과를 제공한다.
Patent KR-100248342-B1 (KR)
Inventor: LEE SEUNG-WOOK
IPC: H01L21/3065
Filed: 1996-12-20
Granted: 2000-03-15
Abstract: 본 발명은 반도체소자의 금속배선 형성 방법에 관한것으로, 텅스텐 배선을 형성할때 감광막에 대하여 고 식각선택비를 갖도록 하기 위해 식각 파라메타중에 소스 전력의 증가, 바이어스 전력의 감소 및 식각 가스의 비율을 변화시켜 식각선택비를 향상시키는 기술이다. 또한, 상기와 같은방법으로 감광막에 대한 식각선택비를 높일 경우 금속 배선의 내측벽으로 라운드된 요부가 발생되는 문제점을 해결하기 위하여 식각 공정을 저온에서 진행한다. 그로인하여 수직한 측벽 프로파일을 갖는 금속 배선을 형성할 수 가 있다.