Patent DE-102017203853-B4 (DE)
Title: Platinenuntersuchungsvorrichtung
Inventor: UMEMURA NOBUYUKI
IPC: G01B11/25
Filed: 2017-03-08
Granted: 2021-05-27
Abstract: Platinenuntersuchungsvorrichtung (1) zur Durchführung einer Untersuchung von sowohl einer Vorderseite als auch einer Rückseite einer Platine, wobei die Platinenuntersuchungsvorrichtung (1) umfasst:wenigstens ein vorderseitiges Bestrahlungsgerät (3A, 3B) zum Bestrahlen eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf einer Vorderseite der Platine mit vorbestimmtem Licht;eine vorderseitige Abbildungseinheit (3C) zum Aufnehmen eines Bildes des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine, der mit dem vorbestimmten Licht bestrahlt wird;eine vorderseitige Bewegungseinheit (3D, 3E) zum Bewegen des vorderseitigen Bestrahlungsgeräts (3A, 3B) und der vorderseitigen Abbildungseinheit (3C) zu einer Position, die dem vorbestimmten Untersuchungsbereich auf der Vorderseite der Platine entspricht;wenigstens ein rückseitiges Bestrahlungsgerät (4A, 4B) zum Bestrahlen eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf einer Rückseite der Platine mit vorbestimmtem Licht;eine rückseitige Abbildungseinheit (4C) zum Aufnehmen eines Bildes des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine, der mit dem vorbestimmten Licht bestrahlt wird;eine rückseitige Bewegungseinheit (4D, 4E) zum Bewegen des rückseitigen Bestrahlungsgeräts (4A, 4B) und der rückseitigen Abbildungseinheit (4C) zu einer Position, die dem vorbestimmten Untersuchungsbereich auf der Rückseite der Platine entspricht; undeine Untersuchungseinheit zur Untersuchung des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine auf der Grundlage von wenigstens einen Bilddaten, die durch einen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) durchgeführten Bildermittlungsprozess des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Vorderseite der Platine gewonnen werden, und zur Untersuchung des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine auf der Grundlage von wenigstens einen Bilddaten, die durch einen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät (4A, 4B) und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) durchgeführten Bildermittlungsprozess des vorbestimmten Untersuchungsbereichs auf der Rückseite der Platine gewonnen werden, wobeider Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von mehreren auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen und der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von mehreren auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen abwechselnd durchgeführt werden,bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem rückseitigen Bestrahlungsgerät (4A, 4B) gestoppt ist, und das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) anschließend zu einer Position bewegt werden, die einem nächsten Untersuchungsbereich entspricht, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät (4A, 4B) und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem vorderseitigen Bestrahlungsgerät (3A, 3B) gestoppt ist, undbewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Rückseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das rückseitige Bestrahlungsgerät (4A, 4B) und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem vorderseitigen Bestrahlungsgerät (3A, 3B) gestoppt ist, und das Bestrahlungsgerät und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) anschließend zu einer Position bewegt werden, die einem nächsten Untersuchungsbereich entspricht, und bewirkt wird, dass der Bildermittlungsprozess des einen Untersuchungsbereichs von den mehreren, auf der Vorderseite der Platine festgelegten Untersuchungsbereichen durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) durchgeführt wird, während die Aussendung von Licht von dem rückseitigen Bestrahlungsgerät (4A, 4B) gestoppt ist,wobei der Bildermittlungsprozess durch das rückseitige Bestrahlungsgerät (4A, 4B) und die rückseitige Abbildungseinheit (4C) während einer Bewegungszeitspanne des vorderseitigen Bestrahlungsgeräts (3A, 3B) und der vorderseitigen Abbildungseinheit (3C) durchgeführt wird, undder Bildermittlungsprozess durch das vorderseitige Bestrahlungsgerät (3A, 3B) und die vorderseitige Abbildungseinheit (3C) während einer Bewegungszeitspanne des rückseitigen Bestrahlungsgeräts (4A, 4B) und der rückseitigen Abbildungseinheit (4C) durchgeführt wird.