baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-101073214-B1 (KR)
IPC: B02C4/02
Filed: 2004-09-14
Granted: 2011-10-12
Abstract: 본 발명은 분말형 탈지제의 괴상 분쇄장치에 관한 것으로, 탈지탱크와 저장탱크 사이에 탈지제의 괴상을 분쇄할 수 있도록 분쇄롤이 구비된 파쇄부와, 괴상의 생성을 억제할 수 있는 이송관 및 스크류 컨베이어가 구비된 이송부, 저장탱크에 내장된 교반살이 구비된 교반부가 포함되어 이루어진 분쇄장치가 설치됨으로 인해, 저장탱크의 상온에서 형성될 수 있는 괴상 역시 교반부 및 파쇄부에서 분쇄되어 하방 배출되고, 또한 이송관에서 탈지제가 탈지탱크에 유입되는 동안 습기와 탈지제의 접촉이 최소화되며, 접촉되었다 할지라도 탈지제가 지속적으로 유동되도록 하여 괴상의 생성 차단은 물론 됨으로 괴상에 의한 유통로의 폐색현상이 제거됨과 더불어 스크류 컨베이어에 의해 탈지제가 희망하는 량만큼 투입될 수 있도록 된 것이다. 
                 
       
      냉연, 탈지탱크, 분말형 탈지제, 괴상, 분쇄장치
Patent KR-100627057-B1 (KR)
IPC: H05K13/04
Filed: 2004-09-24
Granted: 2006-09-25
Abstract: 본 발명은 부품실장장치에 관한 것이다. 이는 인쇄회로기판을 이송시키는 콘베이어의 상부에서 인쇄회로기판의 이송경로에 직교하는 방향으로 수평 연장된 제 1Y축프레임과; 상기 제 1Y축프레임에 직교하며 제 1Y축프레임에 지지된 상태로 수평 연장되고 제 1Y축프레임의 길이방향을 따라 직선 이동 가능한 제 1X축프레임과; 상기 제 1Y축프레임의 측부에 위치하며 외부에서 공급된 흡착할 부품을 대기시키는 부품공급부와; 상기 제 1X축프레임에 제 1X축프레임의 길이방향으로 직선 이동 가능하게 설치되는 것으로서 그 일측에는 부품공급부를 통해 공급된 부품을 흡착하기 위한 하나 이상의 흡착노즐을 갖는 헤드유니트와; 상기 헤드유니트 및 제 1X축프레임의 동작을 제어하여 상기 헤드유니트로 하여금 부품을 흡착하고 상기 인쇄회로기판으로 이동하여 인쇄회로기판에 흡착할 부품을 실장하도록 하는 제어부와; 상기 부품공급부 상에 수평 이동 가능하게 설치되며 흡착할 부품을 촬영하고 촬영된 내용을 상기 제어부로 보내는 이동카메라를 포함하는 구성을 갖는다. 
     상기와 같이 이루어지는 본 발명의 부품실장장치는, 헤드유니트가 부품을 실장하는 동안 별도의 이동카메라가 다음 흡착할 부품을 미리 촬영하므로, 부품 촬영에 따른 시간소모가 없어 크기가 매우 작은 미소부품을 실장하는 경우라 하더라도 부품의 실장이 매우 신속 정확하다.
Patent KR-100594072-B1 (KR)
IPC: H04B10/06
Filed: 2004-10-06
Granted: 2006-06-30
Abstract: 본 발명에 따른 차등 위상 변조된 광신호 수신기는 상기 광신호를 제1 및 제2 분할된 광신호들로 세기 분할해서 상기 제2 분할된 광신호를 상기 제1 분할된 광신호에 대해서 1비트 위상 지연된 지연 광신호를 생성하며, 상기 지연 광신호와 상기 제1 분할된 광신호로부터 간섭된 광신호들을 생성하기 위한 지연 간섭계와, 상기 간섭 광신호들로부터 차등 전기 신호로 검출해내기 위한 균형 수신기와, 상기 차등 전기 신호의 교류 파워를 검출해내기 위한 파워 검출기와, 상기 파워 검출기에서 검출된 상기 교류 파워로부터 상기 지연 광신호와 상기 제1 분할된 광신호 간의 위상 지연차를 산출하고 상기 제1 분할된 광신호와 상기 지연 광신호 사이의 위상 지연차가 일정하도록 제어하기 위한 위상 제어부를 포함한다.  
       
     차등 위상 변조, 차등 주파수 변조
Patent KR-100727926-B1 (KR)
IPC: G06F1/26
Filed: 2004-10-23
Granted: 2007-06-14
Abstract: 본 발명에 따라 휴대 정보 단말장치의 전원 관리 방법 및 장치가 개시된다.  
     본 발명에 따른 휴대 정보 단말장치의 전원 관리 장치는 상기 단말장치의 저전력 소모 상태에서 웨이크업 신호가 들어오면 전원관리 화면을 표시하는 표시부와, 상기 표시부에 상기 전원관리 화면이 표시되고 나서 소정 시간 이내에 상기 전원관리 화면에 대한 반응으로 사용자 입력이 수신되지 않으면 상기 휴대 정보 단말장치를 다시 상기 저전력 소모 상태로 설정하는 처리부를 포함한다.  이상과 같은 본 발명에 의하면, 휴대 정보 단말장치의 버튼이 잘못 눌려지더라도 무용하게 배터리 전압을 소모하는 것을 방지할 수 있다.
Patent KR-100577373-B1 (KR)
IPC: A23B7/10
Filed: 2004-10-25
Granted: 2006-05-10
Abstract: 본 발명은 김치저장고의 장식패널 체결구조에 관한 것으로서, 본 발명은 소정의 컨트롤패널이 마련된 본체와; 상기 컨트롤패널에 인접한 상기 본체의 어느 일면에 착탈가능하게 결합되는 장식패널과; 상기 본체와 상기 장식패널 중 어느 일측에 마련된 후크와; 타측에 마련되어 상기 후크에 선택적으로 걸림 유지되는 후크걸림부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 
     이와 같이 생활수준이 점차 향상되고 소비자의 욕구가 증대되는 시점에 발맞추어 별도의 장식패널이 본체에 착탈되도록 함으로써 장식패널로 인한 디자인을 향상시켜 소비자의 욕구를 증대시키는 한편 장식패널 영역으로 컨트롤패널의 유지보수 작업을 할 때 사용의 편의성을 제공할 수 있게 되는 것이다. 
       
     김치저장고, 장식패널, 후크조립, 컨트롤팬널,
Patent KR-100603526-B1 (KR)
IPC: F24C15/20
Filed: 2004-10-26
Granted: 2006-07-24
Abstract: 본 발명은 후드겸용 전자레인지의 전장부품 냉각장치에 관한 것이다. 본 발명은, 캐비티 조립체(20) 내부로 전달되는 마이크로웨이브를 생성하도록 상기 캐비티 조립체(20) 상부에 구비되는 전장실(30)에 실장된 전장부품과, 캐비티 조립체(20) 상부에 설치되어 후드기능을 위한 기류와 상기 전장부품의 방열을 위한 기류를 형성하는 벤트모터조립체(40)와, 상기 벤트모터조립체(40)의 흡입력에 의해 상기 전장실(30)로 유입되는 공기의 흐름을 일정방향으로 유도하여 상기 전장부품을 냉각하는 흡기가이드(50)를 포함하여 구성된다. 상기와 같은 본 발명에 의하면, 벤트모터조립체(40)에 의해 생성된 공기흐름을 전장부품에 집중되도록 활용함으로써 전장부품의 냉각효율이 향상되어서 전장부품의 신뢰성이 향상되는 효과가 있다. 
       
     전자레인지, 전장실, 전장부품, 고압트랜스, 마그네트론, 냉각
Patent KR-100685573-B1 (KR)
IPC: G02F1/1343
Filed: 2004-11-05
Granted: 2007-02-22
Abstract: 멀티갭 구조의 경사 영역에서의 액정 배향의 흐트러짐을 해소할 수 있는 액정 표시 장치를 제공한다.  
     한 쌍의 기판(10, 25) 사이에 유전 이방성이 부인 액정층(50)을 유지하여 이루어지고, 하나의 도트 영역 내에 투과 표시 영역 T와 반사 표시 영역 R이 마련된 액정 표시 장치로서, 기판(10)과 액정층(50) 사이에는, 반사 표시 영역 R에서의 액정층(50)의 두께를 투과 표시 영역 T에서의 액정층(50)의 두께보다도 작게 하기 위한 액정층 두께 조정층(21)이 마련되고, 기판(10)과 액정층(50) 사이에서의 투과 표시 영역 T에는 초기 배향 상태에서 액정을 경사 배향시키는 돌기(18)가 마련되며, 그 돌기(18)의 높이가 반사 표시 영역 R에 마련된 액정층 두께 조정층(21)의 높이보다 높게 형성되어 있다.
Patent KR-101033591-B1 (KR)
IPC: G06F11/00
Filed: 2004-11-09
Granted: 2011-05-11
Abstract: 본 발명은 임베디드 시스템의 디버깅 방법에 관한 것이다. 본 발명은, 모니터링 프로그램을 통해 호스트와 연계된 프로세서를 내장한 타겟 시스템의 디버깅 방법에 있어서, 상기 타겟 시스템 내부 하드웨어의 인터럽트 수행 요청에 따라 상기 프로세서를 이용하여 각 하드웨어의 동작을 수행하고 그 결과를 시스템의 메모리에 저장하는 단계와, 상기 타겟 시스템의 대기 시간동안 디버깅하여 디버깅 정보를 시스템의 메모리에 저장하는 단계와, 상기 모니터링 프로그램을 수행하여 상기 하드웨어 동작 수행 결과 및 디버깅 정보를 호스트에게 모니터링 해주는 단계를 포함하여 이루어지는 임베디드 시스템의 디버깅 방법을 제공한다. 따라서, 별도의 디버깅 환경 구현없이 시스템의 하드웨어와 소프트웨어를 타겟 시스템에서 직접 디버깅하며, 타겟 시스템이 갖는 자원 활용을 최대화함으로써 디버깅 환경 구현에 요구되는 비용절감 및 용이성 향상을 도모하는 효과가 있다. 
     
     임베디드 시스템, 모니터링 프로그램, EISC 프로세서, 디버깅
Patent KR-100706787-B1 (KR)
IPC: G06K19/073
Filed: 2004-11-29
Granted: 2007-04-11
Abstract: 여기에 개시되는 향상된 보안 기능을 갖는 스마트 카드는 연산 동작을 수행하는 코어 블럭과 연산 동작에 따라 더미 전류를 소모하도록 구성된 더미 전류 소모 블럭을 포함한다. 더미 전류 소모 블럭은 각각 상이한 더미 전류를 소모하도록 구성된 전류 소비 블록들과 연산 동작에 따라 전류 소비 블록들 전부 또는 일부를 동작시키는 컨트롤러를 포함한다. 더미 전류 소모 블럭은 연산 동작에 의해서 전류가 소모되기 전에 그리고/또는 후 그리고/또는 연산 동작 중에 더미 전류를 생성하도록 구성된다.
Patent KR-100657673-B1 (KR)
IPC: G11B7/0065
Filed: 2004-12-02
Granted: 2006-12-13
Abstract: 본 발명은 홀로그래픽 롬의 디스크/데이터마스크 기준 정렬장치에 관한 것으로서, 디스크(201)가 삽입될 수 있도록 중심부에 결합공(202)이 마련되는 디스크틀(200)과, 디스크틀(200)의 외곽과 동일한 형상을 가지며, 디스크틀(200)의 후면에 밀착 설치되고, 중심을 기준으로 디스크(201)와 동일 크기의 패턴이 미리 형성되어 있는 데이터마스크(210)와, 디스크(201)가 결합된 디스크틀(200)과 데이터마스크(210)를 고정하는 결합플레이트(220)를 포함한다. 따라서 기록 매체인 디스크와 데이터 마스크와의 중심 기준을 일정한 크기를 가지는 다각형상의 틀로 정확히 정렬시킬 수 있게 되어 제품의 불량률 감소로 신뢰성이 높아지며, 디스크의 교환이 신속히 이루어져 생산성이 향상되는 효과가 있다.
Patent KR-100624837-B1 (KR)
IPC: C04B14/20
Filed: 2004-12-13
Granted: 2006-09-18
Abstract: 본 발명은 비늘모양 또는 잎모양의 결정이 집합하여 된 운모광물의 하나로서 가열하면 팽창하는 성질이 있고 경량성, 내화성, 단열성, 흡음성등이 있는 질석을 이용하여 견고하고 일정한 두께를 유지하는 건축용 판넬을 효과적으로 제조할수 있는 건축용 판넬의 제조방법에 관한 것이다. 
     즉, 질석을 잘게 분쇄하여 알갱이 형태로 만드는 분쇄공정과, 상기 질석알갱이를 가열하여 발포시키는 발포공정과,  
     상기 발포된 질석알갱이를 무기물 접착제와 혼합하여 골고루 교반하는 혼합공정과, 
     상기 혼합물을 다수의 미세통공이 형성된 성형틀내에 투입하여 판넬을 성형하는 판넬성형공정과,  
     상기 성형틀을 마이크로웨이브건조실에 투입하여 순차적으로 투입하여 건조시키는 건조공정과,  
     상기 성형틀에서 건조된 판넬을 분리하는 탈형공정을 포함하여 제조가 이루어지는 것을 특징으로 하는 질석을 이용한 건축용 판넬 제조방법이다. 
       
     질석, 판넬, 발포, 마이크로웨이브, 성형틀 ,통공
Patent KR-101087486-B1 (KR)
IPC: G08G1/0969
Filed: 2004-12-16
Granted: 2011-11-28
Abstract: 위험지역을 표시할 경우에 이동체가 주행하는 차선 또는 반대 차선의 위험지역인지의 여부를 이동체의 사용자가 정확히 확인할 수 있고, 현재 음성신호로 안내하고 있는 위험지역을 판단할 수 있도록 한다. 
     제어부가 이동체의 현재위치를 판단하여 지도데이터 저장부에 저장된 지도데이터에 매칭시키고, 표시부의 화면에 지도와 함께 표시하며, 상기 판단한 이동체의 현재위치로부터 이동체의 주행 전방의 설정범위 이내에 위험지역이 존재할 경우에 그 위험지역이 이동체의 주행 차선 또는 반대 차선에 위치하는지의 여부를 판단하여 판단한 이동체의 주행 차선에 위치하는 위험지역과 반대 차선에 위치하는 위험지역을 서로 상이한 아이콘으로 표시부의 화면에 표시하는 것으로 이동체의 사용자들은 화면의 표시상태를 보고, 위험지역이 어느 차선에 위치하는 위험지역인지의 여부를 간단하고 정확히 판단할 수 있고, 또한 위험지역을 안내할 경우에 안내위치의 위험지역 아이콘으로 표시하여 화면에 복수의 위험지역이 표시될 경우에 어느 위험지역을 안내하는 것인지를 정확히 판단한다. 
       
     GPS, 네비게이션, 위험지역, 아이콘, 주행차선,
Patent KR-100644670-B1 (KR)
IPC: B41J11/42
Filed: 2004-12-21
Granted: 2006-11-10
Abstract: 개시된 화상형성장치는, 미디어를 이송시키는 이송유닛과, 미디어에 화상을 인쇄하는 화상형성유닛과, 미디어와 접촉되는 접촉부를 구비하며 미디어에 접촉되어 승강될 수 있게 설치되는 홀더와, 접촉부로부터 홀더의 승강방향으로 센싱거리만큼 이격되도록 홀더에 설치되는 반사형 미디어센서를 포함하여, 반사형 미디어센서는 미디어와 센싱거리를 유지하도록 된 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100583601-B1 (KR)
Inventor: PARK HAENG BONG
IPC: F16H3/44
Filed: 2004-12-23
Granted: 2006-05-26
Abstract: 본 발명은 유성기어를 이용한 변속기에 관한 것이다. 
     이러한 본 발명의 변속기는 내주면에 키홈이 등간격으로 형성된 기어하우징과; 상기 기어하우징 내에 결합되며, 변속기어군과 치합되도록 내접기어가 형성된 링기어와; 상기 링기어에 내접되며, 각 속도비(i)에 따른 변속구간별로 구획 형성된 변속기어군과; 회전축의 변속을 위해 링기어를 변속기어군의 해당 변속기어 측으로 이동시키는 변속레버로 구성되되, 상기 기어하우징의 외주면에는 변속레버로부터 기어하우징의 회전이 가능하도록 회전 매개체 역할의 변속레버링이 더 구비되며, 상기 변속레버링의 외주면에는 변속레버의 이송력이 변속레버링을 거쳐 링기어에 전달될 수 있도록 이송 포크대가 더 구비되어 있다. 
     또한, 외부 충격으로부터 기어하우징을 보호하기 위해 변속기 하우징이 상기 기어하우징을 감싸도록 설치되는데, 이 때 상기 변속기 하우징의 일측면에는 변속레버의 이동조절을 위한 변속레버 조절홈과 함께, 상기 변속레버 이동조절홈의 양측에 변속구간별 해당 유성기어측과 대응되는 위치에 각각의 변속구간을 인식할 수 있도록 하는 변속구분대가 각각 설치되어 있다. 
     따라서 본 발명에 의하면, 회전축의 변속시 변속기어군 중 해당 유성기어 측으로 링기어를 이동시켜 상기 해당 유성기어와 링기어와의 치합을 통해 목적한 회전축의 변속이 이루어지도록 함과 아울러, 상기 변속기어군의 회전상태에서도 회전축 변속을 위한 링기어의 이동 결합이 원활함에 따른 변속이 자유롭게 이루어질 수  있는 등의 탁월한 효과가 있다. 
       
     변속기, 유성기어, 기어하우징, 링기어, 변속기어군, 변속레버링, 이송 포크대, 변속레버, 변속구분대, 레버회동 제한부재, 와이어
Patent KR-100571419-B1 (KR)
Inventor: JEONG DAE HO
IPC: H01L21/76
Filed: 2004-12-23
Granted: 2006-04-14
Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 소자 분리를 위한 얕은 트렌치 소자 분리막(STI) 및 그 제조 방법에 관한 것이다.  본 발명에 따른 얕은 트렌치 분리막 형성 방법은, 반도체 소자의 얕은 트렌치 분리막 형성 방법에 있어서, a) 반도체 기판 상에 패드 산화막을 형성하는 단계; b) 패드 산화막 상에 식각 마스크로 사용될 패드 질화막을 형성하는 단계; c) 패드 산화막 및 패드 질화막의 소정 부분에 모트 패턴을 형성하고, 반도체 기판의 소정 부분까지 식각을 실시하여 제1 STI 트렌치 영역을 형성하는 단계; d) 노출된 전면에 제1 STI 충진 산화를 실시하여 상기 식각된 제1 STI 트렌치 영역의 갭을 충진하는 단계; e) 반도체 기판의 액티브 영역 상에 에피택셜 필름을 증착하는 단계; 및 f) 에피택셜 필름 사이에 형성된 제2 STI 트렌치 영역에 제2 STI 갭 충진 산화를 실시하는 단계를 포함한다.  본 발명에 따르면, STI CD(Critical Dimension)가 작아짐으로써 발생할 수 있는 불완전한 갭 충진 특성을 강화할 수 있고, 또한, 에피택셜 막을 이용하여 CD를 정확히 제어할 수 있으며, 종래의 STI 실리콘 식각 시에 발생할 수 있는 STI 에지 코너 라운딩(Edge Corner Rounding)의 특성을 강화할 수 있다. 
       
     반도체 소자, 소자 분리막, 트렌치, STI, 에피택셜 필름
Patent KR-100675817-B1 (KR)
IPC: C09J133/04
Filed: 2004-12-24
Granted: 2007-01-29
Abstract: 본 발명은 폴리올레핀용 수성 에멀젼 점착제에 관한 것으로, 소수성 아크릴산에스테르, 소수성 메타크릴산에스테르 또는 이들의 혼합물 60∼90중량%, 불포화 카본산 1∼10중량%, 고분자 엘라스토머 라텍스 1∼20중량%, 및 점착부여 수지 1∼10중량%를 유화중합하여 제조된 것을 특징으로 한다. 
     본 발명에 따른 폴리올레핀용 수성 에멀젼 점착제는 접착성이 약한 폴리올레핀에 대한 상온 및 저온 접착성이 우수하고, 상온과 저온 및 고온의 유지력과 점착력(tack)이 우수하다. 
     수성 에멀젼, 점착제, 접착성, 폴리올레핀, 점착력
Patent KR-100587089-B1 (KR)
Inventor: CHOI NAK HEON
IPC: H01L27/04
Filed: 2004-12-28
Granted: 2006-06-08
Abstract: 본 발명은 반도체 집적회로를 정전기 방전(electrostatic discharge: ESD)에 의한 손상으로부터 보호하는 반도체 장치용 정전기 보호장치에 관한 것이다.  본 발명은, 입출력 단자로 유입되는 정전기로부터 반도체 장치의 내부회로를 보호하기 위한 반도체 장치용 정전기 보호장치를 제공하며: 이 보호장치는, 상기 입출력 단자로 유입된 정전기를 외부전압 라인으로 유도하는 전달수단; 상기 외부전압 라인으로 유도된 정전기를 감지하며, 상기 외부전압 라인으로 유도된 정전기에 응답하여 검출전압을 출력하는 검출수단; 및 상기 검출전압에 의해 구동되며, 상기 외부전압 라인으로 유도된 정전기에 응답하여 정전기 방전수단을 구동시키는 드라이버;를 구비한다.
Patent KR-100652163-B1 (KR)
IPC: B60G11/18
Filed: 2004-12-29
Granted: 2006-12-01
Abstract: 본 발명은 전기관 전륜 구동방식(FF: Front-engine, Front-drive) 자동차가 도로의 단차나 요철을 통과할 때 진동흡수를 용이하게 하면서 차량의 선회시 횡력에 대하여 토-아웃의 크기를 감소시키기 위하여 내부 금속 스톱퍼(Stopper)를 적용함으로써, 차량의 선회성능을 향상시킬 수 있는 리어 CTBA(Coupled Torsion Beam Axle)  토 코렉트 부쉬(Toe Correct Bush)에 관한 것이다.  
     본 발명은 반 원 또는 반 타원(half ellipse) 모양의 스톱퍼를 부착한 외측 파이프(outer pipe), 진동흡수 및 횡강성 확보를 위하여 기하학적인 형상을 하고 있는 고무체(rubber), 횡력에 대한 토-아웃의 크기를 감소시키는 평판이 부착된 내측 파이프(inner pipe)으로 구성되며, 차량에 대하여 부쉬의 상하방향은 완전 대칭이지만 차량의 전후 방향은 비대칭의 기하형상으로 구성되어 부쉬의 전체적인 형상이 단순한 원통형 형상이 되도록 함으로써, 형상의 단순화로 스웨징 문제를 완화시켜주고, 제작비용의 절감 및 금형설계를 용이하게 할 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있는 차량용 CTBA의 토 코렉트 부시를 제공한다.  
       
     차량 후륜 서스펜션, CTBA, 토 코렉트 부시(Toe Correct Bush)
Patent KR-100630567-B1 (KR)
IPC: H01L21/28
Filed: 2004-12-29
Granted: 2006-09-29
Abstract: 본 발명은 퓨즈 산화막 제거 방법에 관한 것으로, 포토레지스트를 도포하는 단계; 마스크를 이용하여 상기 포토레지스트를 노광 현상함으로써, 패턴을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트 패턴을 마스크로 퓨즈 금속막과 패드 부분을 동시에 식각한 후, 상기 포토레지스트를 제거하는 단계; 상기 포토레지스트 제거 후, 황산 처리와 탈이온수로 세척하는 단계 및 솔벤트로 세척하는 단계를 포함하여 이루어짐에 기술적 특징이 있고, 절연막 식각시 퓨즈 금속막과 패드 부분을 동시에 식각하고, 포토 공정을 한 후, 황산을 이용함으로써 수율이 향상하고, 웨이퍼의 신뢰성이 향상하는 효과가 있다. 
       
     퓨즈, 산화막
Patent KR-100611007-B1 (KR)
IPC: H01L21/336
Filed: 2004-12-30
Granted: 2006-08-10
Abstract: 본 발명은 비결정질 규소를 사용한 반도체 소자의 게이트 라인 형성 방법에 에 관한 것으로, 보다 자세하게는 게이트 측벽 스페이서와 얕은 트렌치 절연영역이 형성된 반도체 기판 상에 이온을 주입하는 단계; 상기 이온이 주입된 기판 상에 질화막을 증착하는 단계; 상기 질화막 상부에 포토레지스트를 도포하고 패터닝하여 SAB 패턴을 형성하는 단계 및 상기 포토레지스트로하여 질화막을 식각하는 단계로 이루어짐에 기술적 특징이 있다. 
     따라서, 본 발명의 비결정질 규소를 사용한 반도체 소자의 게이트 라인 형성 방법은 공정 단순화가 가능하며, 질화막을 건식이 아닌 습식으로 제거하므로 선택비가 우수하여 트렌치 영역에 형성된 산화막의 손실을 방지하며, 완벽한 살리사이드 블로킹이 가능한 장점이 있다. 
       
     비결정질 규소, 질화막, SAB, 산화막 손실
Patent KR-100898446-B1 (KR)
IPC: H04H20/00
Filed: 2002-07-12
Granted: 2009-05-21
Abstract: 복수의 무선 모바일 통신 디바이스에 대해 정보를 제공하는 방법이 개시된다.  상기한 방법은 복수의 확산 스펙트럼 데이터 채널(306) 중 적어도 하나의 채널(306 1 )을 브로드캐스트 채널로서 전용화하는 단계를 포함한다.  상기한 적어도 하나의 채널의 칩레이트 클록(206)과 캐리어 신호의 주파수 및 위상은 복수의 개별 기지국(136)의 복수의 셀 송신기(204) 각각에 대해 동기화되어 있다.  멀티미디어 정보는 각 기지국으로부터 적어도 하나의 전용 채널을 통하여 브로드캐스트된다. 
     
     전용 채널, 멀티미디어, 브로드캐스트, 셀룰러 통신, 셀 타워
Patent KR-100940958-B1 (KR)
IPC: H01L21/68
Filed: 2002-07-12
Granted: 2010-02-05
Abstract: 로드록 체임버 어셈블리는 로드록 체임버, 상기 로드록 체임버에 제거가능하게 부착된 서브-체임버 및 상기 처리 체임버내에 제 1 피벗 축을 구비한 제 1 로봇 아암을 포함하며, 여기서 상기 제 1 로봇 아암은 대략 상기 로드록 체임버 중심 위치에서 로드록 체임버 외부 위치까지 기판을 이동시킬 수 있다. 
       
     처리 체임버, 로드록 체임버, 서브-체임버, 로드록 체임버 어셈블리, 로봇 아암 어셈블리, 웨이퍼 트랜스포트 장치
Patent KR-100887429-B1 (KR)
Title: Supercritical Fluids Processing: Preparation of Protein Microparticles and Their Stabilisation
IPC: C07K1/32
Filed: 2002-10-21
Granted: 2009-03-09
Abstract: A coprecipitate of protein or polypeptide and stabiliser obtained by a process for the co-precipitation of a substance with a stabiliser therefor, by a gas anti solvent process comprising introducing into a particle formation vessel a supercritical fluid pure or mixed with a modifier; and a solution comprising said substance and said stabiliser dissolved in a solvent; so as said solvent is extracted from the solution by said supercritical fluid and co-precipitation of the substance and stabiliser occurs. The process may be carried out using an apparatus comprising a particle formation vessel and a nozzle having a central orifice serving to introduce a solution of the substance and a plurality of outer orifices serving to carry a flow of supercritical fluid into the particle formation vessel, such that the solvent is extracted from the solution by the supercritical fluid and precipitation of micron sized particles of the substance/stabiliser occurs.
Patent KR-100824099-B1 (KR)
Title: Trenching method and apparatus
IPC: E02F3/10
Filed: 2001-11-13
Granted: 2008-04-21
Abstract: Trenching apparatus comprises a cutting device (23), preferably an endless chain cutter, mounted on a prime mover (21) for positioning the cutting device in a trench (18) with the prime mover movable on the ground surface (22) above the level of the trench. Where the cutting device is a chain cutter, the boom projects forwardly and downwardly relative to the direction of cutting the trench, and drive means are arranged to drive the chain in a direction to carry the cutting elements upwardly around the distal end of the boom and rearwardly along the upper run (30) of the endless chain cutter (23). In operation the distal end of the chain cutter (23) is positioned against the end face of the trench at the bottom of the trench (18); the prime mover (21) moves the chain cutter forwardly in the trench while operating the chain cutter, so as to produce an undercut (55) in the end face (54) of the trench; and the lifting means (25) lifts the cutting device (23) upwardly from the undercut through the material of the end face so as to cut material from the end face of the trench.
Patent KR-100946838-B1 (KR)
Title: Method of forming a hose
IPC: B29C53/08
Filed: 2003-01-14
Granted: 2010-03-09
Abstract: A polymeric hose pre-form is inserted into a pre-shaped tube and formed into a desired shape. A vacuum endcap is positioned on one end of the tube, and a vacuum is applied at the vacuum endcap to draw the hose pre-form through the tube. After inserting of the hose pre-form into the tube, the hose contacts the inner surface of the tube. A loading endcap is positioned on the other end of the tube. The hose is then cured to maintain the hose in the shape defined by the tube. During curing, the pair of endcaps are flush against the ends of the hose, eliminating the need for a finishing operation. The cured hose is then removed from the tube. The ends of the hose can also be flared.
Patent KR-100716884-B1 (KR)
IPC: C07D319/14
Filed: 2002-02-01
Granted: 2007-05-09
Abstract: 본 발명은 에틸 2,3-디히드로벤조[1,4]디옥신-2-카르복실레이트의 향상된 제조방법에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 염기 및 촉매량의 상전달 촉매 존재하의 탄화수소 용매중에서 에틸 2,3-디히드로벤조[1,4]디옥신-2-카르복실레이트의 제조방법을 제공한다. 
     
       
     
     에틸 2,3-디히드로벤조[1,4]디옥신-2-카르복실레이트, 염기, 탄화수소 용매, 알칼리 금속 카보네이트
Patent KR-101018983-B1 (KR)
IPC: C07C213/00
Filed: 2003-04-09
Granted: 2011-03-07
Abstract: 본 발명은 니트로메톡시벤즈알데하이드와 트리메톡시벤질 포스포늄 염 또는 반대로 니트로메톡시벤질 포스포늄 염과 트리메톡시벤질알데하이드 사이의 비티히 축합에 의하거나, 추가로 이의 동일한 유도체상에서 니트로 작용기가 아미노 그룹으로 환원되는 비티히 반응에 의해 콤브레타스타틴을 제조하는 신규한 방법에 관한 것이다.  
     콤브레타스타틴, 스틸벤 유도체, 비티히 축합, CMR 생성물
Patent KR-100743784-B1 (KR)
IPC: B41J3/407
Filed: 2003-04-28
Granted: 2007-07-30
Abstract: 단측을 위로 하는 케이스(101) 내에 트레이(121)가 실질적으로 수직으로 배치되고, 광디스크(170)는 트레이(121) 위에 실질적으로 수직으로 지지되며, 프린터부(135)가 트레이(121)와 대향되게 배치된다. 프린터부(135)에는 서멀헤드(142)가 장착된 캐리지(141)가 트레이(121)를 따라 수직으로 이동가능하게 구성된다. 캐리지(141)가 수직하방으로 이동되면, 광디스크(170)에 기록되는 데이터 내용을 나타내는 타이틀 등을 잉크 리본(162)을 통해 광디스크 표면에 열전사 인쇄하도록 서멀헤드(142)가 구동된다. 
       
     인쇄장치, CD-R, 서멀헤드, 광디스크, 종이재료, 트레이, 캐리지
Patent KR-100846816-B1 (KR)
IPC: A47G9/06
Filed: 2002-12-04
Granted: 2008-07-16
Abstract: 종래의 침대용 덮개(1)는 경량의 보온재로 만들어진 적어도 하나의 유연층(2)을 포함한다.  본 발명의 덮개는 상기 유연층(2)이 침대의 보온을 유지하도록 구성된다.  본 발명의 목적은 습도 조절, 및 초과 열과 신체로부터 배출되는 수분의 배출을 개선하기 위한 것이다.  상기 목적은  통풍구(3)를 구비한 상기 유연층(2)에 의해 달성된다. 
       
     덮개, 통풍구, 수분, 보온재, 그물구조, 투과성, 스트립
Patent KR-100961923-B1 (KR)
IPC: A61F13/72
Filed: 2003-06-10
Granted: 2010-06-10
Abstract: 생리용 쇼츠는 패션성을 높이 유지하면서, 또한 흡수성 물품을 넓은 범위에서 감쌀 수 있다. 생리용 쇼츠는 본체부(11)를 갖고 있다. 장식용 천(25)은 다리 구멍부(16)를 따라 부착된다. 흡수성 물품의 장착부는 다리 구멍부 사이에 위치하는 크로치부의 내면에 형성된다. 장식용 천은 크로치 경계(12)에서 웨이스트 톱을 향해, 본체부의 양 가장자리에 형성되어 있다. 장식용 천의 바깥쪽 가장자리(25a)가 다리 구멍부에 나타나고, 안쪽 가장자리(25b)가 본체부의 외면에 겹치도록 부착되고 있다. 본체부의 제1 가장자리(22b)는 장식용 천의 안쪽 가장자리를 따라서 연장되고 있다. 제2 가장자리(22c)는 제1 가장자리의 하단에서 크로치 경계를 향해 뻗어 나가고 있다.
Patent KR-100658751-B1 (KR)
IPC: H01J11/24
Filed: 2005-01-13
Granted: 2006-12-15
Abstract: 본 발명의 PDP는 서로 대향 배치되는 전면기판과 배면기판 사이로 적(R), 청(B), 녹색(G)의  형광체층이 각각 형성된 방전셀과, 상기 방전셀 각각에 대응하게 배열되는 표시전극을 이용해서 가스 방전에 의한 화상을 표시하는 플라즈마 디스플레이 패널에서, 상기 표시전극 각각은, 상기 방전셀의 가장자리를 지나도록 일 방향으로 길게 이어져 형성되는 버스전극과, 상기 버스전극으로부터 상기 방전셀 중심으로 확장되는 투명전극과, 상기 투명전극 상에 상기 버스전극과 이격되어 형성되며, 상기 방전셀에 도포되는 형광체층의 색상별로 서로 다른 면적을 갖는 조각 전극을 포함해서 구성된다. 
       
     플라즈마, 디스플레이, 색온도, 버스전극, 면적
Patent KR-101132425-B1 (KR)
IPC: A47C7/74
Filed: 2005-01-26
Granted: 2012-03-30
Abstract: 본 발명은 요실금과 치핵의 물리치료를 위한 온열안마방석과 적외선 치료기에 관한것으로써, 전원컨트롤러부와 적외선조사부와 쿠션부와 진동모타부와 회음부온열진동자극기와 송풍휀모타와 커버로 구성되는데,   
     세부 구성으로서는 쿠션의 중앙 앞뒤로 통기구 요철이 형성되고 통기구의 내측에 다수의 적외선램프세트()가 쿠션의 통기구 바닦에 삽착되는 적외선조사부와, 
     쿠션의 앞쪽 내측에 송풍구를 형성하고 내측에 송풍휀이 삽착되는 송풍부와, 
     쿠션의 통기구를 주심으로 좌우측 쿠션 상측에 요철 홈을 형성한 곳에 진동모타세트를 내설하되 휄트로 양측의 진동모타세트를 연결한 진동안마부와, 
     쿠션 중앙의 일측의 홈에 회음부온열진동자극기를 삽입 또는 분리 할 수 있도록 장치한 회음부온열자극기와, 
     상기의 장치들에 전원을 공급하고 조절하는 컨트롤러부와 커버로 구성되는 것을 특징으로  
     생활속에서 일상적으로 편리하게 사용하면서 요실금 치료와 각종 부인성 질환의 예방 및 치핵의 물리치료효과를 얻을 수 있는 다용도 방석을 공급하기 위한, 요실금과 치핵 치료를 위한 적외선 안마 쿠션 
       
     안마 방석,적외선 치료기,치질,치핵,요실금, 회음부 자극기
Patent KR-100706239-B1 (KR)
IPC: G11C5/14
Filed: 2005-01-28
Granted: 2007-04-11
Abstract: 본 발명은 대기모드에서 외부에 일정한 전압을 공급하면서도 소비 전력은 감소된 전압 레귤레이터 회로에 관한 것이다.  
     본 발명에 따른 전압 레귤레이터는 입력 전압으로부터 일정한 타겟 전압을 발생하는 것으로, 상기 입력 전압과 상기 타겟 전압 사이에 연결되며, 대기모드 신호 및 제어 전압에 응답하여 동작하는 드라이버부와 상기 타겟 전압을 분배하여 분배 전압을 발생하는 제 1 전압 분배부와 상기 분배 전압이 기준 전압보다 낮은지의 여부에 따라 가변되는 상기 제어 전압을 발생하는 비교부와 그리고 상기 제 1 전압 분배부와의 결합에 의해 상기 타겟 전압을 발생하는 제 2 전압 분배부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 
       
     전압 레귤레이터, 대기모드, 소비 전력
Patent KR-100691765-B1 (KR)
IPC: B60R16/00
Filed: 2005-01-31
Granted: 2007-03-12
Abstract: 개시된 내용은 회전방식의 로터리스위치 중앙에 누름방식의 푸쉬버튼을 배치하여 공조패널상의 공간을 축소시킬 수 있으며, 이러한 로터리스위치의 회전단계별 기능과 위치를 나타내는 표시부 및 푸쉬버튼의 작동상태를 나타내는 표시부를 형성하고, 이러한 표시부의 배면에 발광소자를 배치하여 점등되게 함으로써 인식률을 향상시킨 자동차용 공조패널의 중공스위치에 관한 것이다. 
     이러한 자동차용 공조패널의 중공스위치는 자동차용 공조패널의 중공스위치에 있어서, 푸쉬스위치(111)를 형성한 인쇄회로기판(110)과, 중공부(121)내에 푸쉬스위치가 위치하도록 인쇄회로기판상에 고정되며 외측에 형성된 회전부(123)가 회전함에 따라 단계별 저항값을 출력하여 각 기능을 선택하는 로터리스위치(120)와, 외측에 손잡이(132)를 형성하고 선단 일측에 위치표시부(141)를 형성하여 상기 로터리스위치의 회전부에 고정되는 노브부재(130) 및, 전면에 기능표시부(161) 및 작동표시부(162)를 형성하고 상기 인쇄회로기판의 푸쉬스위치를 작동하도록 상기 로터리스위치의 중공부에 삽입되어 상하동하는 푸쉬버튼(150)을 포함하여 달성된다. 
       
     로터리스위치, 푸쉬버튼, 발광소자, 표시부,
Patent KR-100664616-B1 (KR)
IPC: F16K1/226
Filed: 2005-02-01
Granted: 2007-01-04
Abstract: 본 발명은 버터플라이 밸브에 관한 것으로, 그 구성은 정면관통공과 측면관통공을 가지는 몸체부와, 상기 몸체부의 측면관통공에 끼워지며 회전되어 상기 몸체부의 정면관통공을 개폐하는 개폐부를 포함하는 버터플라이 밸브에 있어서, 상기 몸체부는, 테프론 재질로 구성되는 제1판 및 상기 제1판의 일면에 접착되며, 고무 재질로 구성되는 제2판을 포함하는 것을 특징으로 하는 것으로서, 내약품성이 강하며, 내마모성이 양호하며, 그 제조단가가 저렴한 효과가 있다.
Patent KR-100616674-B1 (KR)
IPC: H01P1/203
Filed: 2005-02-16
Granted: 2006-08-28
Abstract: 본 발명은 통신 시스템 또는/ 및 방송 시스템 등과 같이 고주파를 이용하는 장치에 적용되는 적층형 필터를 제공하는데 그 목적이 있다. 
     	본 발명의 저지대역 감쇄특성을 개선한 적층형 필터는, 통신 시스템 또는/ 및 방송 시스템 등과 같이 고주파를 이용하는 장치에 적용되며, 입력단 또는/및 출력단의 피딩라인이 공진기 패턴과 크로스 커패시티브 커플링(Cross Capacitive Coupling)을 형성하도록 하여, 저지대역의 감쇄특성을 더욱 개선시킬 수 있으며, 또한 입력단 및 출력단의 피딩라인을 서로 다른 층에 배치시키는 경우, 더욱 소형화가 가능하고, 피딩라인의 길이 조절을 통한 감쇄극(Attenuation Pole)의 위치를 용이하게 조절할 수 있다. 
       
     적층형 필터, 저지대역 감쇄특성, 피딩라인, 크로스 커플링, 감쇄극
Patent KR-100682071-B1 (KR)
IPC: H04N13/00
Filed: 2005-02-17
Granted: 2007-02-12
Abstract: 본 발명은 화상데이터의 입체영상 변환장치 및 방법에 관한 것으로, 본 발명의 목적은 아날로그 또는 디지털 화상데이터로부터 광도 및 채도 영상을 추출하는 과정, 추출된 광도 및 채도영상에서 각각의 히스토그램을 생성하는 과정, 히스토그램으로부터 각 광도영상 및 채도영상에 대한 대비값을 산출하는 과정, 각 광도 및 채도 대비값으로부터 하나의 영상을 결정하는 과정, 결정된 영상으로부터 입체시차를 산출하는 과정, 입체시차값으로부터 좌화상과 우화상의 입체영상을 생성하는 과정, 생성된 좌우 입체영상에 발생된 빈 화소에 대하여 주변 화소색으로 채우는 과정, 채워진 좌영상 및 우영상의 입체영상을 아날로그 영상신호로 변환하여 출력하는 과정으로 이루어진 것을 특징으로 한다. 
       
     화상, 영상, 광도, 채도, 입체영상, 변환, 히스토그램, 대비, 입체시차
Patent KR-100671307-B1 (KR)
IPC: H04L12/66
Filed: 2005-02-24
Granted: 2007-01-19
Abstract: 본 발명은 간단한 구조를 가진 IP전화기 및 이 간단 구조 IP전화기를 위한 게이트웨이 시스템에 관한 것이다. 
     본 발명은, 간단 구조 IP전화기(30)와 이 간단 구조 IP전화기를 위한 게이트웨이(33)로 구성된 IP 전화 시스템에 있어서, 
     상기 간단 구조 IP전화기(30)는 제1 패킷 헤더 처리부(22)와 마이크/스피커 샘플기(21)를 포함하고, 
     상기 제1 패킷 헤더 처리부(22)는 IP망(31)을 통해 입력되는 비압축 음성 패킷에서 헤더를 분리하여 순수 비압축 음성 패킷을 스피커(24)로 송신하고, 상기 마이크/스피커 샘플기(21)로부터의 출력에 헤더를 부가하여 상기 IP망(31)으로 송신하며; 
     상기 마이크/스피커 샘플기(21)는 마이크(25)로부터의 음성신호와 상기 스피커(24)로부터의 음성신호를 하나의 음성 패킷형태로 형성하며; 
     상기 게이트웨이(33)는 제2 패킷 헤더 처리부(32), 마이크/스피커  패킷 분리기(34), 반향 제거기(35) 및 보코더(37)를 포함하고; 
     상기 제2 패킷 헤더 처리부(32)는 상기 간단 구조 IP전화기(39)로부터 IP망(31)을 통해 입력되는 비압축 음성 패킷에서 헤더를 분리하여 순수 비압축 음성 패킷을 마이크/스피커 패킷 분리기(34)로 송신하고, 상기 보코더(37)로부터 출력되는 비압축 음성 신호에 IP망(31)으로의 전송을 위한 헤더를 부가하며, 
     상기 마이크/스피커 패킷 분리기(34)는 상기 제2 패킷 헤더 처리부(32)로부터의 상기 순수 비압축 음성 패킷에서 스피커 신호와 마이크 신호를 분리하며; 
     상기 반향 제거기(35)는 상기 마이크/스피커 분리기(34)를 통해 분리된 스피커 신호와 마이크 신호를 통해 반향을 제거하며; 
     상기 보코더(37)는 상기 반향 제거기(35)로부터의 출력을 IP망(38)을 통해 일반 IP 전화기(39)로 송신하기 위한 압축을 실행하고, 상기 일반 IP 전화기(39)로부터 압축 음성 신호를 상기 IP망(38)을 통해 수신하여 비압축 음성신호로 변환하는 것을 특징으로 한다. 
     이상과 같은 본 발명의 간단 구조 IP전화기를 이용하면, IP전화기의 구조가 간단하게 되면서 기존 IP전화기에 사용하던 고가의 DSP가 필요하지 않게 되어 제조 원가가 줄어든다. 또한 구조가 간단해 지면서 고장을 유발시키는 부품이 줄어들게 되어서 사후 관리 비용이 줄어든다. 그리고, 본 발명의 간단 구조 IP 전화기는 내부에서 동작하는 알고리듬이 간단해 지면서 제품의 업그레이드 비용이 줄어든다. 
       
      IP전화기, 게이트웨이, DSP, 보코더
Patent KR-100899472-B1 (KR)
IPC: G01S7/00
Filed: 2005-03-02
Granted: 2009-05-27
Abstract: 종래 위치파악 시스템으로부터 유도된 위치파악 추정치들의 정확성과 신뢰성은, 잡음, 반향(reflection), 또는 기타 간섭을 포함할 수 있는 환경에서도, 초기 위치파악 데이터의 후처리를 위한 시스템 및 방법을 통해 향상된다.  이러한 위치파악 시스템은 마이크로폰 어레이 입력들에 기초하는 종래 사운드 소스 위치파악(SSL) 시스템들, 지향성 안테나 어레이 입력들에 기초하는 무선 소스 위치파악 시스템들 등을 포함한다.  일반적으로, 이 후처리 시스템 및 방법은 초기 위치파악 추정치들에 통계적 실시간 클러스터링을 적용하고, 그 다음, 다단계 처리로 이 실시간 클러스터링을 사용하여 초기 위치파악 추정치들에 비하여 향상된 정확성과 신뢰성을 갖는 새로운 위치파악 추정치들을 생성한다.     
       
     위치파악 시스템, 통계적 실시간 클러스터링
Patent KR-100722570-B1 (KR)
IPC: G06K9/20
Filed: 2005-03-25
Granted: 2007-05-28
Abstract: 본 발명은 화상판독장치 및 화상판독장치를 구비하는 화상판독시스템에 관한 것이고, 특히 피사체화상의 판독을 양호하게 실행할 수 있는 동시에, 휴대형의 전자기기 등에 양호하게 탑재 가능한 화상판독장치 및 화상판독시스템에 관한 것으로서, 복수의 표시화소가 형성된 화상표시영역으로부터 표시신호에 따른 표시광을 시야측에 방사하여 화상을 표시하는 표시패널과, 표시패널의 시야측에 설치되어 판독영역을 갖는 투명기판과, 상기 투명기판상의 판독영역에 형성된 복수의 포토센서와, 판독영역의 외측에 포토센서와 일체적으로 형성된 구동회로부와, 복수의 포토센서 및 구동회로부의 상부에 설치된 정전기보호용의 투명도전막을 갖고, 화상표시영역으로부터 방사되는 표시광의 적어도 일부를 투과하여 판독영역에 재치된 피사체의 화상을 판독하는 포토센서패널을 구비하는 화상판독시스템을 특징으로 한다. 
       
     화상판독장치, 화상판독시스템, 유리기판, 판독영역, 구동회로부, 투명절연막, 투명도전막, 외부접속단자, 박막트랜지스터
Patent KR-100802110-B1 (KR)
IPC: G06Q99/00
Filed: 2005-04-23
Granted: 2008-02-11
Abstract: 본 발명은 디지털 컨텐츠의 유통 방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 본 발명의 방법은 디지털 컨텐츠를 제공하는 서버를 통한 디지털 컨텐츠의 유통 방법에 있어서, 특정 디지털 컨텐츠에 대한 제1 단말의 구매 요청에 응답하여 상기 서버가 상기 디지털 컨텐츠 및 그에 대한 제1 단말의 사용권한을 포함한 컨텐츠 정보를 상기 제1 단말에게 전달하는 제1 과정과, 상기 제1 단말이 상기 컨텐츠 정보를 제2 단말에게 전달하는 제2 과정과, 상기 디지털 컨텐츠에 대한 상기 제2 단말의 실행 명령에 응답하여 상기 제2 단말에게 그 디지털 컨텐츠의 구매확인을 요청하는 제3 과정과, 상기 제2 단말의 구매 승인에 응답하여 상기 디지털 컨텐츠에 대한 제2 단말의 사용권한을 생성하는 제4 과정과, 상기 디지털 컨텐츠에 대한 제2 단말의 사용권한을 상기 제2 단말에게 전달하는 제5 과정을 포함하고 본 발명의 장치는 상기 방법에 개시된 바와 같이 동작하는 서버 및 단말을 포함한다. 이와 같은 본 발명은 디지털 컨텐츠를 효율적으로 유통할 수 있도록 하는 효과가 있다. 
       
     디지털 컨텐츠, 유통, DRM, 이동통신, 오프라인
Patent KR-101108894-B1 (KR)
IPC: H01J37/30
Filed: 2005-04-27
Granted: 2012-01-31
Abstract: [과제] 종래 기술에 의한 타겟을 스퍼터링 장치에 장착하고, 타겟 주위에 어스쉴드를 마련하면, 플라즈마를 발생시켰을 때, 타겟으로부터 어스쉴드로 전류가 흐르기 때문에, 타겟의 바깥둘레 가장자리부의 표면에서는 플라즈마가 형성되지 않아, 타겟의 바깥 둘레 가장자리부가 스퍼터 되지 않는 비침식 영역으로서 남는다. 
     [해결 수단] 소정의 외형을 가지는 스퍼터링용 타겟(T)에 있어서, 스퍼터면과 둘레의 벽면이 교차하는 부분에, 그 전체 둘레에 걸쳐 경사면(T2)을 형성한다. 
       
     플라즈마, 스퍼터링, 타겟, 어스쉴드(earth shield), 경사면