Patent DE-102010001928-B4 (DE)
Title: Messsystem und Interferometer
Inventor: NARA MASAYUKI
IPC: G01B9/02
Filed: 2010-02-15
Granted: 2023-03-02
Abstract: Messsystem mit:- einer Industriemaschine (2), die Folgendes umfasst:ein Relativbewegungselement (21), auf dem ein Messelement, das zum Messen eines Zielobjekts geeignet ist, oder eine Bearbeitungsvorrichtung, die zum spanenden Bearbeiten des Zielobjekts geeignet ist, anbringbar ist, wobei entweder das Relativbewegungselement (21) oder das Zielobjekt relativ zu dem anderen bewegbar ist,einen Tisch, auf dem das Zielobjekt platzierbar ist,einen Bewegungsmechanismus (22), der dazu geeignet ist, entweder das Relativbewegungselement (21) relativ zu dem Zielobjekt zu bewegen oder den Tisch zu bewegen, um das Zielobjekt relativ zu dem Relativbewegungselement (21) zu bewegen, undeine Stoppeinrichtung (231); und- einem Interferometer (3), das Folgendes umfasst:eine Messeinheit (4, 42), die einen Reflektor (41), eine Lichtquelle (40) und eine Lichtempfangseinheit (421) umfasst, wobei die Lichtquelle (40) der Messeinheit (42) dazu geeignet ist, Licht zum Reflektor (41) hin zu emittieren, der an dem Relativbewegungselement (21) angebracht ist, die Lichtempfangseinheit (421) der Messeinheit (42) dazu geeignet ist, Licht, das von dem Reflektor (41) reflektiert wird, zu empfangen, die Messeinheit (42) dazu geeignet ist, ein Licht-Empfangen-Signal bei Empfang des Lichts zu erzeugen und das erzeugte Signal auszugeben, undeine Informationsverarbeitungseinheit (5), die dazu geeignet ist, einen Abstand von einem Bezugspunkt (P) innerhalb der Messeinheit (4, 42) bis zu dem Reflektor (41) auf der Grundlage des Licht-Empfangen-Signals zu berechnen, wobei die Informationsverarbeitungseinheit (5) Folgendes umfasst:eine Beurteilungseinrichtung (430, 51), undeine Stoppbefehl-Ausgabeeinrichtung (52),wobei sich das Relativbewegungselement (21) relativ zu der Messeinheit (42) in einem Fall bewegt, in dem der Bewegungsmechanismus (22) das Relativbewegungselement (21) relativ zum Zielobjekt bewegt,wohingegen die Messeinheit (42) auf dem Tisch angebracht ist und sich relativ zu dem Relativbewegungselement (21) in einem Fall bewegt, in dem der Bewegungsmechanismus (22) den Tisch bewegt, um das Zielobjekt relativ zu dem Relativbewegungselement (21) zu bewegen,wobei die Beurteilungseinrichtung (430, 51) der Informationsverarbeitungseinheit (5) dazu geeignet ist, auf der Grundlage des Licht-Empfangen-Signals zu beurteilen, ob bei der auf den Reflektor (41) gerichteten Messung irgendeine Abweichung vorliegt oder nicht,wobei die Stoppbefehl-Ausgabeeinrichtung (51) der Informationsverarbeitungseinheit (5) dazu geeignet ist, einen Stoppbefehl auszugeben, um anzuweisen, dass der Antriebsvorgang des Bewegungsmechanismus (22) gestoppt werden soll, wenn von der Beurteilungseinrichtung (51) beurteilt wird, dass bei der auf den Reflektor (41) gerichteten Messung eine Abweichung vorliegt, undwobei die Stoppeinrichtung (231) der Industriemaschine (2) dazu geeignet ist, den Antriebsvorgang des Bewegungsmechanismus (22) bei Empfang einer Eingabe des Stoppbefehls zu stoppenwobei die Beurteilungseinrichtung (430, 51) eine Empfangene-Lichtmenge-Abweichungs-Beurteilungseinrichtung (512) beinhaltet, die dazu geeignet ist, auf der Grundlage des Licht-Empfangen-Signals zu beurteilen, dass eine Abweichung bei der auf den Reflektor (41) gerichteten Messung in einem Fall vorliegt, in dem die Menge des an der Lichtempfangseinheit (421) empfangenen Lichts nicht größer als ein vorgegebener Schwellwert ist.