baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102007038409-B4 (DE)
Inventor: MADER HEINZ B
IPC: E04B1/94
Filed: 2007-08-14
Granted: 2009-11-05
Abstract: The nail board (10) has a support board (20), and nail elements (40) attached to the support board. A fire-resistant protective board (50) is attached with the support board in a form-fit and material-fit manner. The protective board is formed of a microstructure having a binder and a granulate that includes wooden fibers, wooden fillings and/or wooden powder. The support board has openings (30, 31), where a projection of the protective board is engaged in one of the openings. The protective board is provided on an inner side and/or an outer side of the support board. An independent claim is also included for a method for producing a nail board for joining wooden parts.
Patent DE-102007041947-B4 (DE)
Title: Mobile Kommunikationsendeinrichtung und Verfahren zur Steuerung mittels Mustererkennung
Inventor: KANG DEOKHUN
IPC: G06K9/68
Filed: 2007-09-04
Granted: 2019-03-28
Abstract: Es wird ein Verfahren zum Steuern einer mobilen Endeinrichtung mittels Mustererkennung und einer mobilen Kommunikationsendeinrichtung für dasselbe vorgelegt. Das Verfahren beinhaltet ein Empfangen einer Benutzereingabe über einen Kontakt mit einem Berührbildschirm, ein Bestimmen, ob die Benutzereingabe ein funktionsanzeigendes Muster und/oder vorgangsanzeigendes Muster ist und ein Ausführen, ansprechend auf die Benutzereingabe, einer Funktion entsprechend dem funktionsanzeigenden Muster und/oder eines Vorgangs entsprechend dem vorgangsanzeigenden Muster.
Patent DE-102007048880-B4 (DE)
Title: Blutdruckmessvorrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Blutdruckmessvorrichtung
Inventor: PFEIFFER ULRICH
IPC: A61B5/0215
Filed: 2007-10-11
Granted: 2009-07-30
Abstract: Blutdruckmessvorrichtung (10) umfassend einen Strömungs-Widerstand (40), einen auf einer ersten Seite des Strömungs-Widerstands (40) vorgesehenen ersten Drucksensor (30), der zur Verbindung mit einer Spüleinrichtung eingerichtet ist, einen auf der zweiten Seite des Strömungs-Widerstandes (40) vorgesehenen zweiten Drucksensor (50), der zur Verbindung mit einem Blutkreislauf eingerichtet ist, wobei der erste Drucksensor (30), der Strömungs-Widerstand (40) und der zweite Drucksensor (50) in Reihe miteinander verbunden sind und der erste Drucksensor (30) und der zweite Drucksensor (50) mit einer Recheneinrichtung (60) verbindbar sind, durch die durch Vergleich von Messergebnissen des ersten Drucksensors (30) und des zweiten Drucksensors (50) eine Plausibilitätskontrolle durchführbar ist.
Patent DE-102007049864-B4 (DE)
Title: Sitzgestell eines Kraftfahrzeugsitzes mit einem Sitzträger, der zwei Seitenteile hat
Inventor: BECKER BURCKHARD
IPC: B60N2/16
Filed: 2007-10-18
Granted: 2017-08-03
Abstract: Sitzgestell eines Kraftfahrzeugsitzes mit einem Sitzträger, der zwei Seitenteile (26, 28) hat, die quer zu einer vorderen Achse (30) und einer hinteren Achse (32) angeordnet sind, wobei um mindestens eine dieser Achsen (30, 32) eine Schwenkbrücke (34) schwenkbar ist, die eine Traverse (36) und zwei Seitenarme (38, 40) aufweist, und mit einer ersten Verstellvorrichtung, die eine motorische Antriebseinheit (52) hat, wobei die Antriebseinheit (52) um eine Gelenkwelle (54) schwenkbar angeordnet ist, die Gelenkwelle (54) kürzer ist als der Abstand zwischen den beiden Sitzteilen (26, 28) und nicht mit den beiden Sitzteilen (26, 28), allenfalls nur mit einem Sitzteil (26, 28) in Kontakt ist, und mindestens ein Innenarm (58) vorgesehen ist, der die Traverse (36) mit der Gelenkwelle (54) verbindet und der sich in Nähe der Antriebseinheit (52) befindet, dadurch gekennzeichnet, dass die Gelenkwelle (54) im Wesentlichen zentrisch zu derjenigen der beiden Achsen (30, 32) ist, um welche die Schwenkbrücke (34) schwenkbar ist, und dass eine Verstellung der ersten Verstellvorrichtung nicht eine Verstellung der Schwenkbrücke (34) beeinflusst.
Patent DE-102007060036-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Bestimmung von korrigierten Messwerten und/oder Modellparametern zur Steuerung des Luftpfads von Verbrennungsmotoren
Inventor: SCHWARTE ANSELM
IPC: F02D41/18
Filed: 2007-12-13
Granted: 2010-01-07
Abstract: Verfahren zur Bestimmung von korrigierten Messwerten und/oder adaptierten Modellparametern zur Steuerung des Luftpfads von Verbrennungsmotoren, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei Messwerte und/oder Modellparameter gleichzeitig korrigiert/adaptiert werden, indem mindestens eine Gesamtfehlergröße, die eine Inkonsistenz der Messwerte und Modellparameter beschreibt, in individuelle Korrekturgrößen für die zu korrigierenden Messwerte und/oder zu adaptierenden Modellparameter aufgeteilt wird und diese Korrekturgrößen auf die zu korrigierenden Messwerte und/oder zu adaptierenden Modellparameter angewendet werden, während bei der Ermittlung der individuellen Korrekturgröße eines zu korrigierenden Messwerts und/oder zu adaptierenden Modellparameters eine Gewichtung in Abhängigkeit von Betriebsparametern des Verbrennungsmotors und/oder des Alters des Verbrennungsmotors erfolgt.
Patent DE-102008014928-B4 (DE)
Title: B0-Feld-Drift-Korrektur bei einer magnetresonanztomographisch erstellten Temperaturkarte
Inventor: ROLAND JOERG
IPC: G01R33/56
Filed: 2008-03-19
Granted: 2010-01-28
Abstract: Verfahren zur Korrektur einer B0-Feld-Drift bei einer Temperaturkartenaufnahme mittels Magnetresonanz tomographie,  – bei welchem aus einer Anzahl von magnetresonanztomographischen Phasenbildern oder aus hieraus abgeleiteten Temperaturkarten (T l , T n ) eines Untersuchungsobjekts für jede Bildpunktkoordinate ein Fluktuationsmaß (D ij , D ij ') berechnet wird,  – bei welchem anhand des Fluktuationsmaßes (D ij , D ij ') Bildpunkte ((T l ) ij , (T n ) ij ) der Phasenbilder bzw. Temperaturkarten (T l , T n ) mit geringer Fluktuation bestimmt werden,  – bei welchem anhand der als geringfluktuierend bestimmten Bildpunkte ((T l ) ij , (T n ) ij ) entsprechende Bildpunkte eines zu korrigierenden Phasenbildes (P m ) oder einer zu korrigierenden Temperaturkarte (T m ) ausgewählt werden, und  – bei welchem das zu korrigierende Phasenbild (P m ) oder die zu korrigierende Temperaturkarte (T m ) derart an ein Referenzphasenbild (P 0 ) bzw. eine Referenztemperaturkarte angepasst werden, dass die ausgewählten Bildpunkte des zu korrigierenden Phasenbilds (P m ) oder der zu korrigierenden Temperaturkarte an entsprechende Bildpunkte des Referenzphasenbildes (P 0 ) bzw. der Referenztemperaturkarte hinsichtlich der Bildpunktwerte angeglichen werden.
Patent DE-102008025520-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Betreiben einer Abgasnachbehandlungsanordnung, sowie Abgasnachbehandlungsanordnung
Inventor: YACOUB YASSER
IPC: F01N9/00
Filed: 2008-05-28
Granted: 2011-06-09
Abstract: Verfahren zum Betreiben einer Abgasnachbehandlungsanordnung, welche einen NO x -Speicherkatalysator (10) zum Speichern von Stickoxiden aus einem von einem Verbrennungsmotor zugeführten Abgas (5) und einen stromabwärts des NO x -Speicherkatalysators (10) angeordneten SCR-Katalysator (20) zur selektiven katalytischen, Reduktion von Stickoxiden im dem SCR-Katalysator (20) zugeführten Abgas aufweist, wobei wenigstens eine Regenerationsphase zur Regeneration des NO x -Speicherkatalysators (10) in Abhängigkeit vom Wert einer für den Zustand der Abgasnachbehandlungsanordnung charakteristischen Zustandsgröße ausgelöst wird,  dadurch gekennzeichnet, dass  die für das Kriterium zur Auslösung der Regenerationsphase herangezogene Zustandsgröße in Abhängigkeit vom Alterungszustand des NO x -Speicherkatalysators (10) ausgewählt wird, wobei mit fortschreitender Alterung des NO x -Speicherkatalysators (10) eine Umstellung von einem ersten Modus, in welchem der NO x -Beladungszustand des NO x -Speicherkatalysators (10) als für das Kriterium zur Auslösung der Regenerationsphase herangezogene Zustandsgröße verwendet wird, auf einen zweiten Modus, in welchem die NH 3 -Beladung des SCR-Katalysators (20) als für das Kriterium zur Auslösung der Regenerationsphase herangezogene Zustandsgröße verwendet wird, erfolgt,  wobei im zweiten...
Patent DE-102008029920-B4 (DE)
Title: Trepanbohrer
Inventor: NEUMEYER STEFAN DR
IPC: A61B17/16
Filed: 2008-06-24
Granted: 2013-02-21
Abstract: Chirurgischer Trepanbohrer mit einem einen Einspannbereich (1) aufweisenden Schaft (2) sowie mit einem Kopf (3), welcher einen im Wesentlichen zylindermantelförmigen Kernbohrer (4) umfasst, an dessen distalem Endbereich jeweils mit einer Schneide (5) versehene Zähne (6, 7, 8) ausgebildet sind, wobei in Umfangsrichtung alternierend Zähne (6, 7, 8) mit unterschiedlicher axialer Zahnhöhe angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Zähne eine Gruppenverzahnung von jeweils drei Zähnen (6, 7, 8) bilden, wobei ein erster, in Schnittrichtung vorne liegender Zahn (6) in Axialrichtung größer ausgebildet ist und wobei zwei in Schnittrichtung nachfolgende zweite und dritte Zähne (7, 8) gleich ausgebildet sind und dass der Kernbohrer (4) mit fensterartigen Ausnehmungen (9) versehen ist, wobei die Kanten der Ausnehmungen im Außenbereich nicht-schneidend ausgeführt sind.
Patent DE-102008033179-B4 (DE)
Title: Verstärker und Verfahren zum Betreiben desselben
Inventor: LIN CHIH-I
IPC: H03F3/42
Filed: 2008-07-15
Granted: 2015-04-09
Abstract: Verstärker (11; 51), der folgende Merkmale umfasst: einen Eingangsanschluss (13; 53); einen Ausgangsanschluss (15; 54); eine Kaskodenschaltung (17; 55), die einen ersten Transistor (29; 65) und einen zweiten Transistor (27; 67) umfasst, die seriell gekoppelt sind zwischen den Ausgangsanschluss (15; 54) und einen Anschluss eines vordefinierten Potentials (23; 61), wobei ein Steueranschluss des ersten Transistors (29; 67) mit dem Eingangsanschluss (13; 53) gekoppelt ist; einen ersten Bipolartransistor (19; 57) mit einem Kollektor/Emitter-Weg, der zusammen mit dem ersten Transistor (29; 65) eine Reihenschaltung bildet, die mit dem Anschluss des vordefinierten Potentials (23; 61) gekoppelt ist; eine Leistungsversorgungsschaltung (25; 63, 75, 79, 81) zum Liefern von Leistungsversorgungsspannungen an die Kaskodenschaltung (17; 55) und die Reihenschaltung; und einen zweiten Bipolartransistor (21; 59), der zwischen den Ausgangsanschluss (15; 54) und den Anschluss des vordefinierten Potentials gekoppelt ist, wobei Basen des ersten Bipolartransistors (19; 57) und des zweiten Bipolartransistors (21; 59) miteinander und einer Stromquelle (26; 60) gekoppelt sind, wobei der Verstärker (11; 51) ferner eine Steuerschaltung umfasst, die angepasst ist, um den zweiten Transistor (27; 67) der Kaskodenschaltung (17; 55) einzuschalten und den ersten und zweiten Bipolartransistor (19, 21; 57, 59) auszuschalten, in dem Fall, in dem der Verstärker (11; 51) in einem ersten Modus ist, und den zweiten Transistor (27; 67) der Kaskodenschaltung (17; 55) auszuschalten und den ersten Bipolartransistor (19; 57) und den zweiten Bipolartransistor (21; 59) einzuschalten, in dem Fall, in dem der Verstärker (11) in einem zweiten Modus ist.
Patent DE-102008035270-B4 (DE)
Title: Verfahren und Einrichtung zur Verarbeitung von Abgasen (Ottomotor)
Inventor: KOLTUN MYKHAYLO
IPC: F01N3/28
Filed: 2008-07-29
Granted: 2023-08-03
Abstract: Einrichtung zum Verarbeiten von Abgasen für Ottomotoren, wobei Teile einer Verbrennungskammer des Dieselmotors mit einem katalytisch aktiven Stoff beschichtet sind oder sich aus einem solchen Stoff zusammensetzen,wobei die verschiedenen Teile der Abgasabführungsbahn weitere katalytisch aktive Stoffe aufweisen,wobei die weiteren katalytisch aktiven Stoffe eine von dem in der Verbrennungskammer vorgesehenen katalytisch aktiven Stoff abweichende chemische Zusammensetzung aufweisen, die Abgasabführungsbahn mehrere Turbolader oder mehrere Abgasturbinen aufweist,wobei verschiedene Turboladerstufen der Turbolader oder der Abgasturbinen die weiteren katalytisch aktiven Stoffe aufweisen,wobei die verschiedenen Turboladerstufen der verschiedenen Turbolader mit voneinander verschiedenen katalytisch wirksamen Stoffen beschichtet sind.
Patent DE-102008037677-B4 (DE)
Title: POD-Antrieb
Inventor: WELZ DIERK
IPC: B63H25/42
Filed: 2008-08-14
Granted: 2018-10-11
Abstract: Propellergondelantrieb für ein Fahrzeug, aufweisend:
 eine Antriebswelle (12) zum Antreiben eines Propellers (12)
 eine Radiallagereinrichtung zur Aufnahme von radialen Kräften der Antriebswelle;
 eine Axiallagereinrichtung zur Aufnahme von axialen Kräften der Antriebswelle (12), wobei sich ein Druckbund (36) der Antriebswelle (12) auf wenigstens einer Stirnseite in axialer Richtung an einer Führungseinrichtung abstützt; und
 eine Tragstruktur (22) zum Anbringen der wenigstens einen Radiallagereinrichtung und der Axiallagereinrichtung, dadurch gekennzeichnet, dass
 die Führungseinrichtung wenigstens drei Axialgleitsegmente (56) aufweist, die in einer Segmentführung (54) geführt sind und jeweils eine Gleitfläche (132) aufweisen, die mit dem in Kontakt steht, wobei
 die Segmentführung (54) eine Laufnut (58, 58') zur Aufnahme der Axialgleitsegmente (56) aufweist,
 wenigstens zwei Axialgleitsegmente (56) über eine Verbindungsanordnung miteinander verbunden und in Umfangsrichtung innerhalb der Laufnut (58, 58') beweglich sind und
 die Segmenfführung (54) einen Segmentträger (54, 54') aufweist, der in einem Lagergehäuse (30, 30', 30", 38, 42) an wenigstens drei auf dem Umfang verteilten Stellen axial nachgiebig abgestützt ist.
Patent DE-102008045840-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Betreiben einer Prozess-Messstelle
Inventor: ALBER THOMAS
IPC: G01D18/00
Filed: 2008-09-05
Granted: 2023-11-02
Abstract: Verfahren zum Betreiben einer Prozess-Messstelle (1, 2, 3) zum Bestimmen mindestens eines Prozessparameters in einem chemischen oder verfahrenstechnischen Prozess,wobei die Prozess-Messstelle (1, 2, 3) mindestens einen im Betrieb auf den mindestens einen Prozessparameter reagierenden Messaufnehmer (21, 22, 23) und mindestens eine im Betrieb mit dem Messaufnehmer kommunizierende Datenverarbeitungseinheit (243, 112, 30) umfasst,umfassend die Schritte:Erzeugen mindestens eines Messsignals mittels des Messaufnehmers (21, 22, 23);Ermitteln eines dem mindestens einen Messsignal entsprechenden Messwerts des Prozessparameters;Erzeugen eines Identifikationsparametersatzes, der eine Prozessklasse des chemischen oder verfahrenstechnischen Prozesses enthält, anhand des mindestens einen Messignals oder des mindestens einen Messwerts des Prozessparameters unter Verwendung mindestens eines Klassifikators aus der Gruppe enthaltend Hidden Markov Modelle.
Patent DE-102008048493-B4 (DE)
Title: Verfahren zur selektiven sauren Entzinkung von Stahlschrotten
Inventor: GOCK EBERHARD
IPC: C22B3/08
Filed: 2008-09-23
Granted: 2011-04-28
Abstract: Verfahren zur Entzinkung von Stahlschrotten in saurer Lösung, dadurch gekennzeichnet, dass die Entzinkung in Gegenwart eines Öls erfolgt.
Patent DE-102008051166-B4 (DE)
Title: Halbleitervorrichtung mit einer Diode
Inventor: YOSHIURA YASUHIRO
IPC: H01L29/861
Filed: 2008-10-10
Granted: 2012-11-29
Abstract: Halbleitervorrichtung mit einer Diode, mit: einem Halbleitersubstrat (1) eines ersten Leitungstyps mit einer ersten Hauptoberfläche und einer zweiten Hauptoberfläche, die einander gegenüber sind; einer Anode (2, 3) eines zweiten Leitungstyps, die auf der ersten Hauptoberflächenseite des Halbleitersubstrats (1) gebildet ist; einem Schutzring (6), der in einem Abstand von der Anode (2, 3) gebildet ist und die Anode (2, 3) umgibt; einer Kathode (11, 12) des ersten Leitungstyps, die auf der zweiten Hauptoberflächenseite des Halbleitersubstrats (1) gebildet ist; und einem kathodenseitigen Dotierungsbereich (14) des zweiten Leitungstyps, der in einem Bereich gebildet ist, der in der Kathode (11, 12) und gegenüber dem Schutzring (6) angeordnet ist, wobei der kathodenseitige Dotierungsbereich (14) elektrisch in Bezug auf eine Kathodenelektrode (13) schwebt.
Patent DE-102008051504-B4 (DE)
Title: Stegabdeckungsstruktur für einen Klappsitz
Inventor: KUROKI YOHEI
IPC: B60N2/90
Filed: 2008-10-14
Granted: 2011-02-10
Abstract: Stegabdeckungsstruktur für einen Klappsitz (1), wobei der Sitz (1) mit einem Steg (4) versehen ist, wobei der Steg (4) an seinem unteren Ende einen bewegbaren Scharnierabschnitt (42a) aufweist, wobei der bewegbare Scharnierabschnitt (42a) verschwenkbar mit einem festen Scharnierabschnitt (61) an dem Fahrzeugaufbauboden (5) verbunden ist, so dass der Steg (4) vorwärts nach unten verkippen kann, um den Sitz (1) auf einen Fahrzeugaufbauboden (5) zu klappen, wobei die Struktur umfasst:  eine an dem Steg (4) angebrachte Stegabdeckung (7), um die vordere Fläche des Stegs (4) und den bewegbaren Scharnierabschnitt (42a) abzudecken; und  eine an dem Fahrzeugaufbauboden (5) angebrachte Scharnierabdeckung (8), um den festen Scharnierabschnitt (61) abzudecken;  wobei die Scharnierabdeckung (8) eine Eingriffsvertiefung (82) aufweist, die mit einem bewegbaren Scharnierabdeckungsabschnitt (72) der Stegabdeckung (7) in Eingriff steht, um ein Verschwenken des bewegbaren Scharnierabdeckungsabschnitts (72) zu erlauben, und der bewegbare Scharnierabdeckungsabschnitt (72) an seinem Seitenabschnitt mit einer Eingriffskante (72a) versehen...
Patent DE-102008052846-B4 (DE)
Title: Abgasklappenantrieb für ein Kraftfahrzeug
Inventor: GUTIERREZ CARMELO
IPC: F02D9/04
Filed: 2008-10-23
Granted: 2013-01-24
Abstract: Abgasklappenantrieb für ein Kraftfahrzeug, mit einem Antriebsgehäuse (14) und einem in dem Antriebsgehäuse (14) angeordneten Antriebsmotor (32) für eine Abgasklappe (8) des Kraftfahrzeuges, wobei der Antriebsmotor (32) mit einer Abtriebswelle (44) zur Betätigung der Abgasklappe (8) wirkverbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Abtriebswelle (44) in wenigstens zwei unterschiedlichen Richtungen relativ zum Antriebsgehäuse (14) mit der Abgasklappe (8) wirkverbindbar ist, dass die Abtriebswelle (44) einerseits über eine Formschlußmittel aufweisende Kupplung drehfest mit der Abgasklappenwelle (10) verbindbar ist sowie andererseits zur Herstellung einer Wirkverbindung mit einem Seilzug (52) eine Antriebsscheibe (54) drehfest auf der Abtriebswelle (44) anordnenbar ist.
Patent DE-102009008350-B4 (DE)
Title: Reifenüberwachungseinrichtung mit einem im Fahrzeugreifen mittels eines weich-elastischen Körpers gehaltenen Sensormodul
Inventor: STÖHR MARKUS
IPC: B29C45/14
Filed: 2009-02-11
Granted: 2017-02-09
Abstract: Fahrzeugrad (1) mit einer Vorrichtung zur Erfassung und Übertragung wenigstens eines den Zustand des Fahrzeugreifens (4) charakterisierenden Messsignals wie Reifenluftdruck und/oder der Reifenlufttemperatur, mit wenigstens einem von einer Energieversorgungseinrichtung (14) mit elektrischer Energie versorgten, wenigstens einen Reifenluftdrucksensor (8) und/oder wenigstens einen Reifenlufttemperatursensor (10) beinhaltenden Sensormodul (12), wobei wenigstens der Reifenluftdrucksensor (8) und/oder der Reifenlufttemperatursensor (10) des Sensormoduls (12) im Inneren eines vom Fahrzeugreifen (4) getragenen, weich-elastischen Körpers (16) aufgenommen ist, welcher unter elastischer Verformung zwischen Innenwandungen (18) des Fahrzeugreifens (4) positioniert und dann unter elastischer Aufweitung zwischen den Innenwandungen (18) des Fahrzeugreifens (4) wenigstens reibschlüssig gehalten ist, dadurch gekennzeichnet, dass der weich-elastische Körper (16) von einem Felgenbett (22) der Radfelge (2) des Fahrzeugreifens (4) sowie von einer der Lauffläche (24) abgewandten Innenwandung (26) des Fahrzeugreifens (4) radial beabstandet angeordnet ist.
Patent DE-102009009510-B4 (DE)
Title: Mehrganggetriebe für ein Fahrzeug mit Vorderradantrieb
Inventor: CAREY CLINTON E
IPC: F16H3/66
Filed: 2009-02-18
Granted: 2016-01-14
Abstract: Mehrganggetriebe für Vorderradantrieb (10), umfassend: ein Antriebselement (12); ein Abtriebselement (13); ein Gehäuse (11), das eine erste Wand (102), eine zweite Wand (104) und eine sich zwischen der ersten und zweiten Wand erstreckende dritte Wand (106) aufweist; einen ersten, zweiten, dritten und vierten Planetenradsatz (14, 16, 18, 20), die in dem Gehäuse (11) angeordnet sind, wobei der vierte Planetenradsatz (20) sich benachbart zu der ersten Wand (102) befindet, der erste Planetenradsatz (14) sich benachbart zu der zweiten Wand (104) befindet, der dritte Planetenradsatz (18) sich benachbart zu dem vierten Planetenradsatz (20) befindet, und der zweite Planetenradsatz (16) sich zwischen dem ersten und dritten Planetenradsatz (14, 18) befindet, wobei jeder Planetenradsatz (14, 16, 18, 20) ein Sonnenrad (14C, 16C, 18C, 20C), ein Hohlrad (14A, 16A, 18A, 20A) und einen Planetenträger (14B, 16B, 18B, 20B) aufweist, der mehrere Planetenräder (14D, 16D, 18D, 20D) lagert, die jeweils konfiguriert sind, um mit sowohl dem Sonnenrad als auch dem Hohlrad zu kämmen, und wobei das Hohlrad (14A) des ersten Planetenradsatzes (14) permanent mit dem Sonnenrad (16C) des zweiten Planetenradsatzes (16) gekoppelt ist, das Hohlrad (16A) des zweiten Planetenradsatzes (16) permanent mit dem Planetenträger (18B) des dritten Planetenradsatzes (18) gekoppelt ist, das Hohlrad (18A) des dritten Planetenradsatzes (18) permanent mit dem Planetenträger (20B) des vierten Planetenradsatzes (20) gekoppelt ist, das Sonnenrad (18C) des dritten Planetenradsatzes (18) permanent mit dem Sonnenrad (20C) des vierten Planetenradsatzes (20) gekoppelt ist, das Abtriebselement (13) permanent mit dem Träger (20B) des vierten Planetenradsatzes (20) gekoppelt ist, das Antriebselement (12) permanent mit dem Träger (14B) des ersten Planetenradsatzes (14) gekoppelt ist, und das Sonnenrad (14C) des ersten Planetenradsatzes (14) permanent mit dem Gehäuse (11) gekoppelt ist, und wobei das Gehäuse (11) einen ersten Bereich (A) aufweist, der radial innen von einem Außenumfang (M) der Planetenradsätze definiert ist und axial durch die erste Wand (102) und den vierten Planetenradsatz (20) begrenzt ist, einen ...
Patent DE-102009011622-B4 (DE)
Title: Epitaxierte Siliciumscheibe und Verfahren zur Herstellung einer epitaxierten Siliciumscheibe
Inventor: PASSEK FRIEDRICH DR
IPC: C30B33/08
Filed: 2009-03-04
Granted: 2018-10-25
Abstract: Verfahren zur Herstellung einer epitaxierten Siliciumscheibe, umfassend folgenden Prozessablauf: (a) Bereitstellen einer Gruppe von Siliciumscheiben mit verrundeten Kanten; (b) Politur der Kanten der Siliciumscheiben; (c) Reinigung der Siliciumscheiben; (d) Untersuchung der Kantenbereiche der Gruppe von Siliciumscheiben hinsichtlich Defekten und Kantenrauigkeit sowie Auswahl einer Siliciumscheibe aus der Gruppe von Siliciumscheiben, die eine Oberflächenrauigkeit von weniger als 1 nm RMS bezogen auf einen Ortswellenlängenbereich von 10-80 µm aufweist; (e) Vorbehandlung der ausgewählten Siliciumscheibe in einem Einzelscheiben-Epitaxiereaktor, wobei in einem ersten Schritt eine Behandlung in Wasserstoffatmosphäre bei einem Wasserstoff-Fluss von 1-100 slm erfolgt und zusätzlich in einem zweiten Schritt als Ätzmedium Chlorwasserstoff mit einem Fluss von 1,5-5 slm der Wasserstoffatmosphäre zugegeben und mittels einer Gasverteilungvorrichtung in der Reaktorkammer verteilt wird, wobei die durch Injektoren in ie Reaktorkammer eingebrachten Gasflüsse mittels Ventilen in eine äußere und eine innere Zone der Reaktorkammer verteilt werden, so dass der Gasfluss in der inneren Zone auf einen Bereich um das Zentrum der Siliciumscheibe und der Gasfluss in der äußeren Zone auf einen Randbereich der Siliciumscheibe wirkt, wobei beim zweiten Vorbehandlungsschritt unter Zugabe eines Ätzmediums zur Wasserstoffatmosphäre die Verteilung des Ätzmediums in innerer und äußerer Zone I/O = 0 - 0,5 und die Dauer der Vorbehandlung 10-120 s beträgt; (f) Epitaktische Beschichtung der Siliciumscheibe.