Patent DE-112013000846-B4 (DE)
Title: Klebeverfahren und Klebeklemmvorrichtung für eine Erfassungsplattengruppe
Inventor: GU YAPING
IPC: H01L21/00
Filed: 2013-07-01
Granted: 2023-06-22
Abstract: Klebeverfahren für eine Erfassungsplattengruppe für eine schrittweise funktionierende Fotolithographie-Maschine, wobei die Erfassungsplattengruppe zur Ausrichtung eines Erfassungskennzeichens der Fotolithographie-Maschine dient, in der ein Siliziumwafer automatisch zu einem Phasengitter auszurichten ist, wobei die Erfassungsplattengruppe ein Schutzglas (6) zum Schutz einer Bezugsplatte (5) einer Klebeklemmvorrichtung, eine Erfassungsbezugsplatte (7) und einen Schutzfilm (8) umfasst, gekennzeichnet dadurch, dass das Verfahren folgende Schritte beinhaltet:
 ① Einrichtung eines ultrasauberen Arbeitszimmers und eines ultrasauberen Tisches, wobei die Innentemperatur (20°C - 26°C) ± 0,1 °C und die Luftfeuchtigkeit 50% bis 70% beträgt, und wobei bei Standardluftdruck die Erfassungsplattengruppe und der Schutzfilm (8) auf dem ultrasauberen Tisch geklebt werden;
 ② wobei die Mitarbeiter antistatische Handschuhe und Mundschutz tragen und auf dem ultrasauberen Tisch mit einem in Alkohol getauchten antistatischen Wischtuch, welches für zum Wischen optischer Gläser geeignet ist, das Schutzglas (6) wischen, und wobei während des Wischprozesses die Erfassungsbezugsplatte (7) und das Schutzglas (6) unter Licht von 100 W gelegt werden und der Staub auf ihren Oberflächen gut beobachtet wird, bis kein Staub sichtbar für die Augen ist, und wobei die Erfassungsbezugsplatte (7) und das gewischte Schutzglas (6) in einen Glasbehälter gelegt werden, um die nochmalige Kontamination zu verhindern;
 ③ wobei die Erfassungsbezugsplatte (7) aus dem Glasbehälter herausgenommen und auf die Tischebene horizontal gelegt wird, und wobei eine Beschichtungsfläche der Erfassungsbezugsplatte (7) sich nach oben richtet, und wobei der Schutzfilm (8) auf die Beschichtungsfläche der Erfassungsbezugsplatte (7) geklebt wird, wobei der Schutzfilm (8) als geprüft gilt, wenn bei Beobachtung mit den Augen keine Luftblase sichtbar ist, wobei beim Vorhandensein einer Luftblase der Schutzfilm (8) nochmals geklebt wird, bis er als geprüft gilt, und wobei in Übereinstimmung mit der Abmessung der Erfassungsbezugsplatte (7) überschüssiger Schutzfilm (8) mit einer Klinge weg geschnitten wird;
 ④ wobei das Schutzglas (6) aus dem Glasbehälter herausgenommen und horizontal auf die Bezugsplatte (5) der Klebeklemmvorrichtung gelegt wird, so dass zwei Seitenkanten des Schutzglases (6) eng an zwei Seitenbezugskanten (1) der Klebeklemmvorrichtung anliegen, und wobei die anderen zwei Seitenkanten des Schutzglases (6) über elastische Pressblöcke (4) fest gepresst werden;
 ⑤ wobei die im Schritt ③ mit dem Schutzfilm (8) fertig geklebte Erfassungsbezugsplatte (7) horizontal an die mittlere Position des Schutzglases (6) gelegt wird, so dass die Seite mit dem Schutzfilm (8) sich nach unten richtet, und wobei zwei Seiten der Erfassungsbezugsplatte (7) eng an einen oberen Anschlag (2) der Klebeklemmvorrichtung anliegen, und wobei die anderen zwei Seiten der Erfassungsbezugsplatte (7) durch die elastischen Pressblöcke (4) fest gepresst werden;
 ⑥ wobei oberhalb der Erfassungsbezugsplatte (7) Gewichte (3) horizontal platziert werden, und wobei eine Schwerkraft von 5 bis 8 kg gleichmäßig ausgeübt wird, und wobei vier einander berührende Umfangskanten der Erfassungsbezugsplatte (7) und des Schutzglases (6) mit einem Zwei-Komponenten-Epoxidharzklebstoff klebend behandelt werden, so dass die Breite und die Höhe des Klebstoffs zwischen 1,5 mm und 3 mm betragen, und wobei die Platzierung 20 bis 24 Stunden kontinuierlich dauert, um die Erfassungsplattengruppe zu formen.