Patent DE-112010004145-B4 (DE)
Title: Vorrichtung zur Abtastung mit einem geladenen Teilchenstrahl und Vefahren zur Korrektur der chromatischen und sphärischen Aberration in Kombination
Inventor: NAKANO TOMONORI
IPC: H01J37/28
Filed: 2010-09-29
Granted: 2019-03-21
Abstract: Vorrichtung zum Abtasten mit einem geladenen Teilchenstrahl unter Verwendung eines geladenen Teilchenstrahls miteinem Probentisch (80), auf dem eine Probe (18) angebracht wird;einem Aberrationskorrektor (10) zum Korrigieren der Aberration eines einfallenden primären Strahls geladener Teilchen; undeinem Deflektor (8), der über dem Aberrationskorrektor angebracht ist und der den primären Strahl ablenkt,wobei die Vorrichtung umfasst:ein optisches Bestrahlungssystem, das den primären Strahl über die auf dem Probentisch angebrachte Probe führt;einen Detektor (73), der die bei der Abtastung mit dem geladenen Teilchenstrahl erzeugten geladenen Sekundärteilchen erfasst;eine Anzeigeeinheit (77), die eine aus dem Ausgangssignal des Detektors erhaltene Abbildung anzeigt; undeine Steuervorrichtung (103), die eine Steuerung zu einer Messung der Größe einer chromatischen Aperturaberration dritter Ordnung durchführt, wobei für die Messung einerseits Winkel und Richtung der Bestrahlung der Probe mit dem primären Strahl mittels des Deflektors und andererseits die Beschleunigungsspannung für den primären Strahl geändert werden,wobei die Steuervorrichtung eine für eine gekippte Betrachtung der Probe relevante Steuerfunktion für die chromatische Aberration, die im nicht-gekippten Zustand proportional zur ersten Ordnung eines Aperturwinkels und zur ersten Ordnung einer Energie ist, umfasst und mittels der Steuerfunktion die chromatische Aberration so steuert, dass diese nicht bei Null bleibt, sondern positiv oder negativ ist, um dadurch die Bildverzerrung, die aufgrund einer chromatischen Aperturaberration dritter Ordnung und einer chromatischen Aberration in einer Richtung parallel zur Probenoberfläche auftritt, bei dem Kippwinkel für die Betrachtung und dem axial gegenüberliegenden Kippwinkel zu beseitigen. Es wird eine mit einem Aberrationskorrektor versehene Vorrichtung zum Abtasten mit einem geladenen Teilchenstrahl beschrieben, die dafür vorgesehen ist, eine Auflösungsverschlechterung bei einer gekippten Betrachtung aufgrund einer chromatischen Aperturaberration dritter Ordnung zu beseitigen, ohne daß dafür ein besonderes optisches System erforderlich ist. Die Steuervorrichtung der Vorrichtung zum Abtasten mit einem geladenen Teilchenstrahl führt ein für die gekippte Betrachtung einer Probe relevantes Meßverfahren für die chromatische Aperturaberration dritter Ordnung durch. Die Steuervorrichtung umfaßt dazu eine für die gekippte Betrachtung einer Probe relevante Steuerfunktion für die chromatische Aberration. Mittels der Steuerfunktion für die chromatische Aberration läßt die Steuervorrichtung die chromatische Aberration positiv oder negativ statt Null sein, um die Bildverzerrung zu beseitigen, die aufgrund der chromatischen Aperturaberration dritter Ordnung und der chromatischen Aberration bei dem Kippwinkel (t1) der Betrachtung und dem axial entgegengesetzten Kippwinkel (-t1) parallel zur Probenoberfläche auftritt.