baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-10010674-A1 (DE)
Title: Handle for two-armed tool has front end and free end, inside and outside, and marking
Inventor: DIEROLF ANDREAS
IPC: G09F3/00
Filed: 2000-03-04
Abstract: The plastic handle (3) is positioned around one end of a tool's arm (1) and has a front end and an opposite free end (10). The outside (9) of the handle facing away from the other arm has a softer surface at least in parts. The inside (11) facing the other side of the handle has a harder surface. The softer surface has at least one marking (14).
Patent DE-10014367-A1 (DE)
Title: Skeleton structure for motor vehicles uses internal high pressure shaped profiles each having differently designed cross-sections with moulded connecting sockets for reinforcements
Inventor: NALBACH JOERG
IPC: B62D29/00
Filed: 2000-03-23
Abstract: The structure comprises a vehicle frame comprised of different profiles each having differently designed cross-sections with moulded connecting sockets to hold reinforcement profiles and outside skin panels and attachments.  the rear skeleton comprises a two part frame support (2) with horizontal web parts and downwardly aligned pillars and a V-shaped reinforcement tube (5) and roof frame support.
Patent DE-10020215-A1 (DE)
Inventor: EHMER NORBERT
IPC: B60T8/70
Filed: 2000-04-25
Abstract: The invention relates to a method for controlling a vehicle in which the rotation behaviour of the individual wheels is measured and evaluated in order to determine the control values that are to be used for calculating and/or modulating the brake pressure in the wheel brakes of the wheels being controlled and/or for an intervention in the engine management. According to the invention, the vibration behaviour of the individual wheels, especially the wheels on the driven axle, is detected and evaluated in order to identify a gravel road or a similar road with a higher slip requirement. The driving situation of a gravel road is considered to have been identified, and/or a corresponding control function of the vehicle control system is activated only when the wheel acceleration exceeds a predetermined wheel acceleration limit value on at least two wheels and when the at least two wheels exhibit a certain vibration behaviour.
Patent DE-10023642-A1 (DE)
Title: Mud flap for bicycle or motor cycle; has holder that can be fitted over wheel, where at least part of mud flap that partly covers wheel in use position can be collapsed into transport position
Inventor: HAUSER SANDRA
IPC: B62J15/00
Filed: 2000-05-13
Abstract: The mud flap has a holder that can be fitted over the front or rear wheel. At least part of the mud flap that partly covers the wheel in the use position can be collapsed into a transport position. Preferably, the mud flap and its holder can be removed from the bicycle. Preferably, the mud flap has a support part and a cover part, which can be separated from each other and collapsed in the transport position.
Patent DE-10025407-A1 (DE)
Title: Overlapping connection for fitments in windows uses plate-like parts where one is angled Z-shaped away from the other which has a recessed step which is longer than non-angled area
IPC: E05C9/06
Filed: 2000-05-24
Abstract: The overlapping connection is between two plate-like parts (2, 3) of which one is angled in one area (6) Z-shaped away from the other part which has a recessed step (11) which is longer than the non-angled area (7) of the first part.  The step can be formed by a section of reduced material thickness.
Patent DE-10032110-A1 (DE)
Inventor: DOELKER ARMIN
IPC: F02D41/22
Filed: 2000-07-01
Abstract: The invention relates to a diagnostic function for an internal combustion engine (1), whose power is adjusted using a power determination signal (ve). In said internal combustion engine (1) a first signal is determined using a determination device. A second signal is determined from the motor torque using a torque regulator. A selection device defines the determination device or the torque regulator as the dominant device for the power determination signal (ve). The diagnostic function allows an error mode to be set if the motor torque values are not plausible. When the error mode is set, the dominance is maintained if the determination device has been set as dominant and the dominance is changed if the torque regulator has been set as dominant.
Patent DE-10033367-A1 (DE)
Title: Brennkraftmaschine, insbesondere für Motorräder
Inventor: SCHNEIDER ANDREAS
IPC: B62M7/02
Filed: 2000-07-08
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Brennkraftmaschine für ein Motorrad mit einem Kurbelgehäuse (2) und mit mindestens einem Zylinder und Zylinderkopf (4, 6) sowie mit einer im Kurbelgehäuse angeordneten Kurbelwelle, über die im Zylinderkopf (4, 6) angeordnete Nockenwellen angetrieben bzw. gesteuert sind, sowie mit einem Zylinderkopfdeckel (8, 10), der den Zylinderkopf endseitig abschließt. Es wird vorgeschlagen, dass der Zylinderkopfdeckel (8, 10) zur erleichterten Montage bzw. Demontage im eingebauten Zustand der Brennkraftmaschine mehrteilig ausgebildet ist. Damit wird trotz enger Bauraumverhältnisse zwischen Brennkraftmaschine und dem Motorradrahmen eine Montage bzw Demontage des Zylinderkopfdeckels ermöglicht.
Patent DE-10035039-A1 (DE)
Inventor: NEUBAUER ACHIM
IPC: B60S1/26
Filed: 2000-07-19
Abstract: The invention relates to a windscreen wiper system (10) comprising a tubular bearing rod (12), which bears at least one electromotor, in particular, an electronically commutated, reversible electromotor (22) with a drive shaft (24) and at least one bearing (20) that supports a wiper shaft (30). Said wiper shaft (30) can be driven by the electromotor (22). A toothed structure (28) is connected to the wiper shaft(s) (30), said structure being in contact with a helicoidal structure (26) of the drive shaft (24).
Patent DE-10038764-A1 (DE)
Inventor: HERRMANN MATTHIAS
IPC: G06K17/00
Filed: 2000-08-09
Abstract: The invention relates to a remote diagnosis and central fault evaluation method of decentralized electronic devices (1) comprising an integrated telecommunications device (3). The inventive method comprises the following steps: a) storing information about malfunctions of a decentralized electronic device (1) in a diagnostic memory (6) of the electronic device (1); b) setting up a telecommunications link between the electronic device (1) and a central fault evaluation station (7), operated by the user of the electronic device (1); c) transmitting fault data from the diagnostic memory (6) to the central fault evaluation station (7); and d) evaluating the fault data in the central fault evaluation station (7).
Patent DE-10046456-A1 (DE)
Title: Durch feinverteilte, kleine Teilchen aus Unedelmetalloxid dispersionsverfestigter, goldfreier Platin-Werkstoff
Inventor: MANHARDT HARALD
IPC: C22C5/04
Filed: 2000-09-18
Abstract: Es wird u. a. ein durch feinverteilte, kleine Teilchen aus Unedelmetalloxid dispersionsverfestigter, goldfreier Platin-Werkstoff bereitgestellt, wobei das Unedelmetall entweder Sc mit 0,01-0,5 Gewichts-% oder ein Gemisch/eine Legierung aus Sc und mindestens einem Metall aus der Gruppe Zr, Y, Ce mit einem Unedelmetallgesamtgehalt von 0,05 bis 0,5 Gewichts-% ist.
Patent DE-10056864-A1 (DE)
Title: Theft protection system for motor vehicle automatically generates release signal if portable code signal generator position is detected as being in vehicle's trunk
Inventor: HOFBECK KLAUS
IPC: G07C9/00
Filed: 2000-11-16
Abstract: The system has a portable code signal generator(s) that sends a response on receiving a request, a transmit and receive unit in the vehicle that transmits a request when triggered and waits for the response and a control/evaluation unit that evaluates response validity, determines the code signal generator position and emits a release signal if appropriate. The release signal is automatically generated if the code signal generator is in the trunk. The system has at least one portable code signal generator that transmits a response signal on receiving a request signal, a transmit and receive unit in the vehicle that transmits a request signal when triggered and waits for the response and a control and evaluation unit that evaluates response validity, determines the position of the code signal generator and emits a release signal if appropriate. The release signal is automatically generated if the code signal generator position is detected as being in the trunk.
Patent DE-10059717-A1 (DE)
Title: Preparation of main group III element mono- or di-organo-compound, e.g. halogenated diorgano-hydroxyborane used as precursor for cocatalyst in olefin polymerization with metallocene, uses one-stage reaction
Inventor: KRATZER ROLAND
IPC: C07F5/06
Filed: 2000-11-30
Abstract: Preparation of main group III element mono- and di-organo-compounds (I) comprises reacting a halogen, organic and hydride compound (II) of the group III element with an organo-alkaline earth halide (III), an organic compound (IV) of an alkali metal and a hydride, halide or organic compound (V) of a sub-group II element.  Preparation of main group III element mono- and di-organo-compounds (I) comprises reacting a halogen, organic and hydride compound (II) of the group III element with an organo-alkaline earth halide (III), an organic compound (IV) of an alkali metal and a hydride, halide or organic compound (V) of a sub-group II element of the given formulae: (C6R<1>5)l+1M(XR<9>)p)2-l (I) (Hal)kM(XR9p)3-k-mHm (II) MR<2>R<15>R<16> (III) M<3>R<17> (IV) MR<18>R<19> (V) R<1>  = hydrogen (H), halogen, 1-20 carbon (C) alkyl (optionally containing oxygen (O), sulfur (S) or nitrogen (N) atoms), 6-14C aryl, 2-10 C alkenyl, 7-20C arylalkyl, 7-20C alkylaryl, 1-10C haloalkyl, 6-10C haloaryl, 2-10C alkynyl or 3-20 C alkylsilyl; or  C(R<1>)2  = a carbocycle or heterocycle;  R<9>  = H, 1-20C alkyl (optionally containing O, S or N) or 6-14C aryl;  R<15>  = 1-20C alkyl, 6-14C aryl, 1-10C alkoxy, 2-10C alkenyl, 7-20C arylalkyl, 7-20C alkylaryl, 6-10C aryloxy, 1-10C haloalkyl, 6-10C haloaryl, 2-10C alkynyl or 3-20C alkylsilyl;  R<16>, Hal  = halogen;  R<17>  = 1-20C alkyl, 6-14C aryl, 2-10C alkenyl, 7-20C arylalkyl, 7-20C alkylaryl, 1-10C haloalkyl, 6-10C haloaryl, 2-10C alkynyl or 3-20C alkylsilyl;  R<18>, R<19>  = H, halogen, 1-20C alkyl, 6-14C aryl, 2-10C alkenyl, 7-20C arylalkyl, 7-20C alkylaryl, 1-10C haloalkyl, 6-10C haloaryl, 2-10C alkynyl or 3-20C alkylsilyl; M  = a main group III element;  M<2>  = a main group II element; M<3>  = a main group I element;  M<4>  = a sub-group II element;  X = a main group V or VI element;  p  = 1 or 2;  l  = 0 or 1;  k  = 0, 1, 2 or 3;  m  = 0, 1 or 2;  (k + m)  = 3 or less.
Patent DE-10061402-A1 (DE)
Title: Wiederverschließbare, quaderförmige Faltschachtel
Inventor: SCHULTZ GUENTHER
IPC: B65D5/43
Filed: 2000-12-09
Abstract: Wiederverschließbare, quaderförmige Faltschachtel 1 mit einer vorderen Seitenwand 11, einer rückwärtigen Seitenwand 12, einer die vordere Seitenwand 11 und die rückwärtige Seitenwand 12 verbindenden, rechten Seitenwand 13 sowie einer linken Seitenwand 14, einem von insbesondere vier Bodenverschlußlappen 21, 22, 23, 24 gebildeten Bodenverschluß 20, einem oberen Verschluß 30, wobei zwei Bodenverschlußlappen 21, 22 miteinander verklebt sein können, mit einer in der rückwärtigen Seitenwand 12 integrierten Aufreißlasche 40, die vermittels einer Schwächungs- oder Sollbruchlinie 41 in der rückwärtigen Seitenwand 12 gehalten ist, wobei an der vorderen Seitenwand 11 ein oberer Verschlußlappen 31 angelenkt ist, bestehend aus DOLLAR A a) einem Deckelabschnitt 311, der über eine Falzlinie 301 an der vorderen Seitenwand 11 angelenkt ist, DOLLAR A b) einer Lasche 314, die über die Falzlinie 302 an dem Deckelabschnitt 311 angelenkt ist, DOLLAR A c) wobei die Lasche 314 bei konfektionierter Faltschachtel 1 die Aufreißlasche 40 in der rückwärtigen Seitenwand 12 außenwärts übergreift und auf der Aufreißlasche 40 verklebt ist.
Patent DE-10062588-A1 (DE)
Title: Stromanschlussstecker für Gleichstrom-Mikrowellenofen
Inventor: HAN YONG-WOON
IPC: H01R4/46
Filed: 2000-12-15
Abstract: Es wird ein Stromanschlußstecker für einen Gleichstrom-Mikrowellenofen offenbart, der sich zum Verbinden von Stromleitungen (50A, 50B), die von einer Gleichstromquelle zugeführt werden und eine positive bzw. negative Polarität aufweisen, mit einer Komponente, die in einer Vorrichtungskammer angeordnet ist, welche in einem Körper des Gleichstrom-Mikrowellenofens festgelegt ist, eignet. Der Stromanschlußstecker umfaßt einen Anschlußsteckerkörper (10), der starr an einer hinteren Platte des Körpers des Gleichstrom-Mikrowellenofens befestigt ist; Stromanschlüsse (16A, 16B) für eine positive und eine negative Polarität, wobei die Stromanschlüsse in die Vorrichtungskammer von einer hinteren Oberfläche des Anschlußsteckerkörpers hervorstehen; und ein Stromleitungs-Anschlußmittel (14A, 14B, 20A, 20B), das von einer vorderen Oberfläche des Anschlußsteckerkörpers (10) hervorsteht, um zu ermöglichen, daß die Stromquelle zugeführt werden und eine positive und eine negative Polarität aufweisen, jeweils mit diesem verbunden werden.
Patent DE-10062928-A1 (DE)
Title: Röntgenstrahler mit Flüssigmetall-Target
Inventor: HARDING GEOFFREY
IPC: H01J35/08
Filed: 2000-12-16
Abstract: Es wird ein Röntgenstrahler mit einem Flüssigmetall-Target und einer Elektronenquelle (3) zur Emission eines Elektronenstrahls (4) in ein Fenster (23) eines Leitungsteils (51), durch das im Betriebszustand das Flüssigmetall-Target fließt, beschrieben, der sich insbesondere dadurch auszeichnet, dass das Leitungsteil (51) durch einen ersten Leitungsabschnitt (10, 20), der das Fenster (23) aufweist und durch den das Flüssigmetall-Target fließt, sowie einen zweiten Leitungsabschnitt (30, 40) gebildet ist, durch den ein Kühlmittel strömt und der so an dem ersten Leitungsabschnitt befestigt ist, dass der Bereich der Einwirkung des Elektronenstrahls auf den ersten Leitungsabschnitt gekühlt wird.
Patent DE-10064012-A1 (DE)
Title: Tool used for processing wafers has a thermally sprayed coating on its surface
Inventor: HEINRICH PETER
IPC: C30B33/00
Filed: 2000-12-21
Abstract: Processing tool has a thermally sprayed coating on its surface. Preferred Features: The coating is an oxide, ceramic, plastic, boride and/or carbide. The coating contains group III or IV metals. The coating is especially Al2O3 and/or TiO2.
Patent DE-10065460-A1 (DE)
Title: System und Verfahren zur Steuerung des Feuchtigkeitsniveaus einer Brennstoffzelle
Inventor: MATHIAS MARK F
IPC: H01M8/04
Filed: 2000-12-28
Abstract: Es ist ein System zur Steuerung des Feuchtigkeitsniveaus einer Brennstoffzelle vorgesehen. Das System umfaßt eine Brennstoffzelle, eine Befeuchtungseinrichtung zur Befeuchtung der Brennstoffzelle und eine Steuerung zur Bestimmung des Feuchtigkeitsniveaus der Brennstoffzelle und zur Steuerung der Befeuchtungseinrichtung in Ansprechen auf das bestimmte Feuchtigkeitsniveau. Der Widerstand der Brennstoffzelle variiert als Funktion des Feuchtigkeitsniveaus der Brennstoffzelle. Somit berechnet bei einem bevorzugten System die Steuerung den Widerstand der Brennstoffzelle, um das Feuchtigkeitsniveau der Brennstoffzelle zu bestimmen. Ein Verfahren zur Steuerung des Feuchtigkeitsniveaus einer Brennstoffzelle ist auch vorgesehen. Die Schritte des Verfahrens umfassen: Bestimmen des Feuchtigkeitsniveaus der Brennstoffzelle und Befeuchtung der Brennstoffzelle in Ansprechen auf das bestimmte Feuchtigkeitsniveau. Bei einem bevorzugten Verfahren umfaßt der Schritt zur Bestimmung des Feuchtigkeitsniveaus der Brennstoffzelle die Berechnung des Widerstandes der Brennstoffzelle.
Patent DE-10066054-A1 (DE)
Title: Hubventilsteuerung für Kraftmaschinen
Inventor: NAUMANN HERBERT
IPC: F02B75/02
Filed: 2000-07-18
Abstract: Hubventilsteuerung für eine stufenlose Veränderung der Ventilhublänge, die Einstellung eines kontinuierlichen Schließens und einer kontinuierlichen Öffnung der Ventile sowie für die stufenlose Herstellung einer Phasenverschiebung der Ventilbetätigung während des Betriebes einer Kraftmaschine, wobei die Hubventilsteuerung ein in einer Steuerwelle schwenkbares Ventilspiel-Ausgleichselement aufweist, auf dessen Gelenkpunkt ein über eine Nockenrolle von einem Nocken angetriebener Schwinghebel gelagert ist, der eine Kontaktfläche aufweist, in welche die Rolle eines die Ventile betätigenden Kipphebels eingreift.
Patent DE-10103418-A1 (DE)
Title: Schraubverbindung mit Senkschraube
Inventor: SCHENK MANFRED
IPC: F16B35/06
Filed: 2001-01-26
Abstract: Bei Schraubverbindungen mit Senkschrauben sind für die Auflageflächen des Schraubenkopfes wie auch der Senkbohrung gewisse Toleranzen üblich. Um eine genau definierte Vorspannung in der Schraubverbindung erreichen zu können, sind die bisher bekannten Verfahren nicht ausreichend, da durch die üblichen Toleranzen eine zu große Streuung der Vorspannung auftritt. In dieser Erfindung wird eine in Umfangsrichtung nahezu linienförmige Berührfläche (17) wie z. B. zwischen der Senkschraube (1) und der Senkbohrung (7) vorgeschlagen. Dadurch wird die Abweichung des Wirkradius der Schraubenkopfreibung sowie die Schraubenkopfverformung auch bei den in der Serienfertigung üblichen Fertigungstoleranzen in möglichst engen Grenzen gehalten. Damit ist es möglich, mit den bekannten Anzugsmethoden eine genau definierte Vorspannung in der Schraubverbindung zu garantieren.
Patent DE-10103609-A1 (DE)
Title: Freisprecheinrichtung für den Betrieb von Mobiltelefonen in Kraftfahrzeugen
Inventor: SCHLEGEL THOMAS
IPC: H04B1/3877
Filed: 2001-01-28
Abstract: Es wird eine Weiterentwicklung einer Freisprecheinrichtung, die für den Betrieb von unterschiedlichen Mobiltelefonen universell einsetzbar ist, beschrieben. Sie weist zum Betrieb im Privatmodus einen über eine drahtlose Audioverbindung anschließbares Headset (25b) auf.
Patent DE-10107730-A1 (DE)
Inventor: SIKKEN DIRK
IPC: A21D10/00
Filed: 2001-02-16
Abstract: The invention relates to starter preparations suitable for all types of cereal and the use of the same for producing bread and bakery products based on leaven or using leaven, especially for producing gluten-free bakery products for people with coeliac disease.
Patent DE-10108153-A1 (DE)
Title: Muldentabletten und Verfahren zu ihrer Herstellung
Inventor: NITSCH CHRISTIAN
IPC: C11D3/37
Filed: 2001-02-20
Abstract: "3 in 1"-Produkte, die die herkömmlichen Mittel Reiniger, Klarspüler und Regeneriersalz in einem Mittel vereinen, sind gegebenenfalls mehrphasige Wasch- oder Reinigungsmitteltabletten, umfassend mindestens eine Kavität, wobei der Gehalt der Phase, die die Kavität aufweist, an nichtionischen Tensiden 5 bis 25 Gew.-% beträgt und die Mittel weiterhin 0,1 bis 70 Gew.-% an Copolymeren aus DOLLAR A i) ungesättigten Carbonsäuren DOLLAR A ii) Sulfonsäuregruppen-haltigen Monomeren DOLLAR A iii) gegebenenfalls weiteren ionischen oder nichtionogenen Monomeren DOLLAR A enthalten.
Patent DE-10108862-A1 (DE)
Title: Arrangement for support and self-treatment of ill persons, especially diabetics, ensures that persons take the correct doses and take measurements such as blood sugar level at the correct times, for entry into a computer
Inventor: WOEDTKE THOMAS VON
IPC: G16H20/17
Filed: 2001-02-15
Abstract: Device comprises an electronic timer and elements for input and output of data as well as a processor and memory. The arrangement ensures that the user takes any insulin at prescribed times as well as ensuring that any measurements such as blood pressure or blood sugar content are measured and the results input into the support device at the correct time. Measured values are compared with expected values and adjustments made as necessary.
Patent DE-10109692-A1 (DE)
Title: Sealing tape for gaps between walls and door or window frames, has release layer to prevent adhesive sticking to foam
IPC: E06B1/58
Filed: 2001-02-28
Abstract: The adhesive tape (4a-4c) has a release layer (1) that prevents foam from forming a permanent bond with the pressure-sensitive adhesive layer.
Patent DE-10114361-A1 (DE)
Title: Rotary nipple connection for detachably connecting two window frame parts has cylindrical head part on nipple with at least one rib on non-flattened sleeve face to cut and engage in side walls of groove
Inventor: TIETZE FRITZ
IPC: E06B3/30
Filed: 2001-03-22
Abstract: The rotary nipple (4) is fixed rotatable on a first frame part (1) which has a groove (2). The nipple has at its plate-shaped end key flanks for a rotary tool and a head part (6) for insertion in the groove. The head part is cylindrical and at least one rib (7) is provided on the non-flattened sleeve face for easier engagement into the side walls of the groove.  The opposite inner faces of the groove are notched or ribbed to enable easier insertion of rib.
Patent DE-10114572-A1 (DE)
IPC: H05K1/05
Filed: 2001-03-24
Abstract: An electric circuit consists of electric and/or electronic components (4), conducting paths (6) for connecting the components, and a carrier substrate (5). The components and the conductors are located on the substrate, which consists of a metal section (7). An electrically insulating layer is located on the substrate, and the components and/or conductors are located on top.
Patent DE-10115792-A1 (DE)
Title: Mounting system for car seat comprises retainer for seat rail, swivel system made up of front and rear levers and lock comprising hook which fits over bolt on seat and can be unfastened by release lever
Inventor: BRUHN ARNE
IPC: B60N2/10
Filed: 2001-03-29
Abstract: The mounting system for a car seat comprises a retainer (8) for the seat rail, a swivel system and a lock. The lock comprises a hook (4) which fits over a bolt (5) on the seat and which can be unfastened by a release lever (11). The swivel system comprises a short front lever (6) and a longer rear lever (7), both of which connect the seat to the seat rail and which allow the seat to be inclined forwards.
Patent DE-10117587-A1 (DE)
Title: Pendelstütze für ein Aggregat in einem Kraftfahrzeug
Inventor: SCHULZE CARSTEN
IPC: B60K5/12
Filed: 2001-04-07
Abstract: Es wird eine Pendelstütze vorgeschlagen für ein Aggregat in einem Kraftfahrzeug mit einem Stützarm (2) und einem ersten Lager (3) zur aggregateseitigen Anbindung des Stützarms (2) sowie einem zweiten Lager (4) zur karosserie- oder rahmenseitigen Anbindung des Stützarms (2), wobei zwischen einem jeweiligen Lagerkern (10) und einem Lageraußenring (9, 14) der Lager (3, 4) ein Schwingungsdämpfungsbauteil (11) vorgesehen ist, wobei das zweite Lager (4) als geteiltes Lager mit zwei Lagerkernen (10) und mindestens einem Lageraußenring (9, 14) ausgebildet ist.
Patent DE-10119218-A1 (DE)
Title: Water-based adhesive, especially useful for bonding paper and cardboard without bowing, includes boric acid and glycerol
Inventor: SIMMLER EMIL
IPC: C08K5/053
Filed: 2001-04-19
Abstract: Water-based adhesive comprises (on a dry basis) at least 0.01 wt.% boric acid and at least 0.5 wt.% glycerol.  An Independent claim is also included for production of the adhesive by dissolving 1 part by weight (pbw) boric acid in 4-200 pbw glycerol at a temperature above 50  deg C, optionally adding glycerol to a total of 200 pbw at ambient temperature, and adding the mixture to 2-60 pbw of a water-based adhesive.
Patent DE-10120074-A1 (DE)
Title: Measuring system for wafer inspection during processing has one handling module transferring wafers to measuring modules
IPC: H01L21/00
Filed: 2001-04-24
Abstract: The system has several units that can be coupled together, including a single handling module (1) for handling wafers, and at least one measuring module (2,3) coupled to the handling module. The handling module can be used to transfer wafers to each measuring module. Wafer transfer channels are provided for coupling the modules in the wafer-conveying section. Interfaces (5) are provided for data exchange.  An Independent claim is also included for a method of transferring wafers.