baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-0167865-B1 (KR)
Inventor: UCHIDA TOSHIO
IPC: G07D3/06
Filed: 1995-05-13
Granted: 1999-03-20
Abstract: 식품 매장이나 패스트푸드 숍 등에 설치되기에 적합하고 손님과의 사이의 금전 거래를 신속하고 또 착오없이 행하는 것과 재고의 확인을 순식간에 할 수 있도록 한 경화 수용 및 배출 장치를 제공하는 것을 특징으로 한다. 
     손님에게서 받은 경화를 이 장치에 투입하면 곧바로 저장부에 선별 저장되고, 잔돈의 배출에 있어서는 레지스터에 입력한 매상 금액과 손님으로부터의 지불 금액과의 차에 의해 내어지는 배출 지령 신호에 의거해서 송출 수단이 작동하여 각 저장 부분에서 소요 금액 종류의 경화가 필요한 갯수 송출된다. 이같은 장치를 설치하므로서 상기 효과가 얻어진다.
Patent KR-0151967-B1 (KR)
Inventor: SON BONG-RAK
IPC: H03J7/00
Filed: 1995-05-31
Granted: 1998-12-15
Abstract: 튜너의 선국신호 자동검사장치 및 그 제어방법에 관한 것으로, 지그부에 튜너를 장착하고 자동입력 장치를 상기 튜너에 연결한후, 전원공급부를 제어하여 선국신호 전압을 상기 튜너에 인가하고, 상기 자동입력장치를 통해 튜너검사신호를 인가하여, 상기 지그부로 상기 튜너로 부터 IF신호를 검출하고, 그 검출된 IF신호를 계측부로 측정하여 그 계측결과를 모니터에 표시한다.
Patent KR-100356695-B1 (KR)
Title: 진동자이로
IPC: G01C19/5642
Filed: 1995-06-03
Granted: 2003-05-09
Abstract: 본 발명의 진동 자이로 10은, 정사각기둥 형상의 진동자 12를 포함한다. 진동자 12는, 두께방향으로 서로 역으로 분극된 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b를 포함한다. 제1 압전체기판 14a의 주면에는, 그의 폭방향으로 일정간격을 두고 2개의 분할전극 16, 16이 형성된다. 제2 압전체기판 14b의 주면에는, 공통전극 18이 형성된다. 제1 압전체기판 14a 및 제2 압전체기판 14b 사이에는 의사(擬似)전극(dummy electrode) 20이 형성된다. 진동자 12의 2개의 분할전극 16, 16에는, 구동수단으로서의 발진회로 30의 한쪽 출력단이, 저항 32a, 32b를 통하여 각기 접속된다. 진동자 12의 공통전극 18에는, 발진회로 30의 다른쪽 출력단이 접속된다. 진동자 12의 2개의 분할전극 16, 16은, 저항 34a, 34b를 통하여, 검출수단으로서의 차동증폭회로 36의 비반전 입력단 및 반전 입력단에 각기 접속된다.
Patent KR-100262160-B1 (KR)
Title: Structure reinforcing the pillar of vehicle
Inventor: SONG JYAE BONG
IPC: B62D25/04
Filed: 1995-06-13
Granted: 2000-07-15
Abstract: PURPOSE: Reinforcing structure of a pillar in a vehicle is provided to improve the supporting strength of a door striker and to absorb the vibration at an opening and a closing of a door. CONSTITUTION: An inner panel(11) and an outer panel(12) are combined by a flange. A striker(14) is installed in a front portion of the outer panel(12). A reinforcing plate(13) for reinforcing the striker are folded many times. A tip of the reinforcing plate(13) is installed in the front portion of the outer panel(12). A middle of the reinforcing plate(13) is stuck to a side portion of the outer panel(12) by a filling sealer(15). A rear portion of the reinforcing plate(13) is stuck to a rear portion of the inner panel(11) by inclining. Thereby, the supporting strength of the striker(14) is reinforced and the entire strength of a pillar is improved. Moreover, shock energy is absorbed by the filling sealer(14) when a door(20) is opened and closed.
Patent KR-0140564-B1 (KR)
Inventor: KANG BONG-KYU
IPC: B01J49/00
Filed: 1995-07-13
Granted: 1998-06-01
Abstract: 본 발명은 전극 사이에 이온교환막을 설치하여 이온교환 수지를 전기적으로 재생시키는 장치에 관한 것으로 특히 바이폴라 이온교환막 및 전도성물질을 이용한 이온교환수지의 전기적 재생방법 및 그 장치에 관한 것이다. 
     종래의 장치에서는 재생부의 저항의 커짐으로서 재생부와 농축부사이의 전압강하로 인하여 이온교환막의 손상이 발생하고 전류의 흐름을 감소시키는 문제가 있었으나 본 발명에서는 장치내에 전류의 흐름을 원활하게 하며 이온 교환수지의 전기적 재생효율을 높일 수 있도록 하기 위하여 이온 재생장치의 재생부와 농축부에 바이폴라 이온교환막 및 전도성 물질로 된 전도성농축부스페이서를 도입하여 이온교환수지의 전기적 재생효율을 높이도록 하는 것을 특징으로 하는 것임.
Patent KR-0175800-B1 (KR)
Inventor: KIM YONG-MIN
IPC: G06F3/153
Filed: 1995-08-23
Granted: 1999-05-15
Abstract: 본 발명은 전송망에 관한 것으로서, 특히 전송망의 버스상에서 전송되는 데이타를 수신하여 현재 망의 상태를 화면에 디스플레이시킴으로써, 현재 전송망의 상태를 유저가 용이하게 감지할 수 있는 전송망의 표시장치에 관한 것이다. 이와같은 본 발명은 콤퓨터(A)및 보조장치(B)(C)(D)가 버스(BUS)에 의해 링의 형태로 연결되고, 그 버스(BUS)의 소정위치에 데이타의 전송상태를 화면에 디스플레이시키는 표시장치(1)가 연결되어 있다.
Patent KR-100220708-B1 (KR)
Inventor: LEE HYUN JO
IPC: B60Q1/12
Filed: 1995-08-24
Granted: 1999-09-15
Abstract: 본 발명은 자동차 전조등의 회동장치에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 자동차의 전조등을 상하ㆍ좌우 회동이 가능하게 구성하고 핸들의 회전각도를 감지하는 장치를 설치하여 CPU(중앙연산처리장치)와 연결시킨 구성으로 운전중에 자동차 핸들을 회전시키면 핸들의 회전각도가 CPU에 전달되어 입력된 정보와 비교된 다음 전조등을 제어시켜 주행방향과 일체되도록 회전시킬 수 있게 하고 수동스위치를 작동시켜 상하방향으로 회동이 가능케 하여 야간운행시 전방관찰을 정확히하여 안전운행이 가능하도록 한 것이다. 
     즉, 반사경(11)이 장착된 상하 회전륜체(1) 양측의 축봉(101)이 좌우회전판(2)의 지지프레임(201)에 장착되고 회전륜체(1)의 지지대(102)에 센서감지판(1a)이 부착된 조명부(A)와, 조명부(A)의 지지대(102)에 연결된 승강나사봉(61)의 일측 단부에 승강기어(603)가 축설되고 상기 승강기어(603)와 치합된 구동기어(602)의 중앙연결축(604) 상에 센서감지판(605)을 부착하여 일측의 회전각 감지센서(606)에 의해 상하회전각을 감지하되 상기 연결축(604)을 상하 구동모터(6)로 회동되게한 상하회동 작동부와; 좌우구동모터(4)에 회동되는 중앙연결축(404)에 구동기어(402)가 부착되고 상기 중앙연결축(404)상에 센서감지판(405)이 축설되어 일측의 회전각 감지센서(406)에 의해 좌우회전각을 감지하되 상기 구동기어(402)와 치합된 좌우회전기어(403)의 하부전달기어(403')에는 감지센서(503)(503')가 설치된 센서감지편(502)(502')을 가진 회전감지구(5)의 기어(501)와 받침판(3)에서 입설된 지지축(301)상에 설치된 가이드기어(302)가 치합된 좌우회동 작동부와; 좌우회전판(2)의 중심축(21)을 받침판(3)의 지지축(301) 내부에 끼워 설치한 받침부와; 지지대(102)에 부착된 센서감지판(1a)은 일측의 감지센서(1b)에 의해 조명부의 상하회동범위를 감지하고 구동기어(602) 중간지점에 부착된 센서감지판(605)은 감지센서(606)에 의해 동작위치를 감지하며 회전감지구(5)에 부착된 센서감지편(502)(502')은 감지센서(503)(503')에 의해 조명부의 좌우회전 범위를 감지하고 구동기어(402)의 중간지점에 부착된 센서감지판(405)은 감지센서(406)에 의해 조명부의 좌우회전 위치를 감지하게 되는 전조등 회동감지부와; 케이스(E) 내부의 회전판(72) 외주에 테이프(73)가 권착되어, 핸들 회전축(74)에 고정된 회동판(75)에 연결되고, 회전판(72)의 회전축(721)에는 전달기어(722)가 부착되어 회전축(76)에 형성된 연동기어(77)와 치합되고 연동기어(77)에 부착된 센서판(78)의 외주에는 두 개의 센서(79)(80)가 부착된 핸들의 회전각 감지장치와; 상기에 의해 감지된 신호 또는 수동스위치(S)의 감지신호를 CPU에 전달되어 전조 등을 제어하게 됨을 특징으로 하는 자동차 전조등의 회동장치.
Patent KR-0162568-B1 (KR)
Inventor: AHN SUNG-IK
IPC: G11B15/43
Filed: 1995-08-31
Granted: 1999-01-15
Abstract: 본 발명은 브이씨알의 테이프 가이드 핀에 관한 것으로, 특히 하부 플랜지(21)을 갖는 가이드 핀(20)에 상부 플랜지(41)를 갖는 조절구(40)를 나사식으로 결합하여 상ㆍ하부 플랜지(21)(41)의 높이를 조절할 수 있게하고, 테이프(10)가 상부 플랜지(41)에 무리하게 접촉되는 경우에는 상기 조절구(40)를 돌려서 상ㆍ하부 플랜지(21)(41)의 높이를 각각 조절함으로써 테이프(10)의 장력이 가이드 핀(20)에 균일하게 작용하는 상태에서 테이프(10)가 주행될 수 있게 하는 동시에 상ㆍ하부 플랜지(21)(41)에 테이프(10)가 무리하게 접촉되지 않게 상ㆍ하부 플랜지(21)(41)의 높이를 각각 조절 함으로서 테이프(10)가 손상되는 것을 방지할 수 있게 한 브이씨알의 테이프 가이드 핀에 관한 것이다.
Patent KR-100216904-B1 (KR)
Inventor: LEE HEE-JUNG
IPC: H04N5/74
Filed: 1995-09-27
Granted: 1999-09-01
Abstract: 본 발명은 AMA 패널 조정장치에 조정수단을 일체로 연결설치하여 자동으로 AMA 패널의 위치를 조정할 수 있도록 된 AMA(Actuated Mirrors Array) 패널 자동조정장치에 관한 것으로, 그 구성은 AMA패널(30)이 홀더(12)안착되어 제 1, 2, 3 및 4 조절나사부(20, 24, 26, 28)을 회전시켜 AMA패널(30)을 조정하도록 된 AMA 패널조정장치에 있어서, 상기 제 1, 2, 3 및 4 조절나사부(20, 24, 26, 28)와 결합되는 제 1, 2, 3 및 4 조정수단(72, 74, 76, 78)과, 상기 조정수단(72, 74, 76, 78)과 전기적으로 연결된 신호입력부(82)로 구성된 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100197512-B1 (KR)
Inventor: KIM YOUNG-HOON
IPC: B30B15/00
Filed: 1995-09-28
Granted: 1999-06-15
Abstract: 본 발명은 더블엑션(Double action)프레스의 슬라이드 간섭방지회로에 관한 것으로서, 특히 슬라이드 간섭발생 상태를 기억하는 회로를 구성하여 더블엑션프레스에서 내, 외측 슬라이드의 조정 잘못으로 인하여 인칭 동작이나 마이크로 인칭 동작에서 슬라이드 충돌을 사전에 방지하여 설비를 보호하는 것에 관한 장치이다. 
     슬라이드간섭 방지용 릴레이 리미트스위치(CRIN1)와 슬라이드 간섭발생 기억 릴레이스위치(CRIN2)를 구비하는 회로로 슬라이드 간섭발생 상태를 기억시키며 간섭이 일어난 상태에서 리미트스위치(LSIN)이 온 되어야 해제 동작이 이루어지도록 구성하여 슬라이드 간섭 발생 감지용 리미트스위치가 한번 온(ON)하게 되면 정상이 되기까지 해제되지 않으며 간섭 발생 상태에서는 인칭과 마이크로 인칭 동작이 불가능하게 되므로 설비를 2차로 보호하고, 간섭이 발생하게 되면 그 상태가 유지해 주어야만 해제동작이 이루어지는 효과를 얻는 발명이다.
Patent KR-0156886-B1 (KR)
Inventor: KIM KI-CHUL
IPC: G11B5/53
Filed: 1995-10-28
Granted: 1998-12-15
Abstract: 본 발명은 브이시알 시스템의 엑스 포지션 조정수단에 관한 것으로서, 종래에는 이러한 조정수단을 일일이 수작업으로 행하여야 함으로써 그 처리작업의 번거로움과 생산성 향상을 저하시키는 것이었으며, 한편으로는 생산된 기기의 품질을 양호히 하는데 문제가 있는 것이었다. 
     본 발명은 이러한 문제점을 개선할 수 있도록 자동조정키(13a)를 포함한 키부(13)와, 오토 트래킹 완료시 스위칭 펄스와 제어펄스의 위상차 데이터를 자동조정 데이터 기억 프로그램(2)에 의하여 메모리(12)에 저장 처리하는 마이크로 프로세서(11)와, 이 마이크로 프로세서(11)의 제어하에 스위칭 펄스와 위상차 데이터를 저장하는 메모리(12)와, 마이크로 프로세서(11)의 제어하에 시스템의 재생/녹화시에 메모리(12)내의 위상차 데이터를 근거로 재생 및 녹화작업을 진행처리하는 재생/녹화제어 프로그램(3A, 3B)을 구비하고 있는 방법의 브이시알 시스템의 엑스 포지션 자동조정 시스템을 제공하는데 있다.
Patent KR-0167028-B1 (KR)
Inventor: KANG DAE-IM
IPC: G01G23/00
Filed: 1995-11-01
Granted: 1999-03-30
Abstract: 본 발명은 힘표준기의 초기하중을 무게중심을 가지며 발생시키는 실하중 힘표준기의 자체중량틀 부하장치에 관한 것으로서, 자체중량틀의 하측에 위치하고 자체중량틀 받침쇠를 장착하여 지지하며 상하이동하는 이동플레이트와; 상기 이동플레이트 하측에 위치하며 지지하는 지지플레이트와; 상기 지지플레이트에 위를 향하여 장착되며 상기 이동플레이트를 상하이동시키는 동력원으로 구성된 것을 특징으로하는 실하중 힘표준기의 자체 중량틀 부하장치이다.
Patent KR-100347622-B1 (KR)
Title: 최적화조정방법및최적화조정장치
IPC: G06Q10/00
Filed: 1995-11-24
Granted: 2002-11-18
Abstract: 프로세스의 시작에서, 정보제시부는 해벡터로 표현된 정보를 제시하지만, 보조정보제시부는 동시에 제시되는 복수개의 정보를 비교평가하는데 쓰이는 정보를 제시한다. 이런 정보들에 기초하여 사용자는 각 해벡터를 평가한다. 모델추정 실행부는 사용자평가이력에서 조정프로세스용 평가모델을 생성하고, 그 후에 모델평가 산출부는 평가모델을 사용하여 평가를 실행한다. 적응도 산출부는 사용자나 모델에 의한 평가에서 적응도를 산출하고, 상기 산출된 적응도에 따라 재조합 연산부는 산술적 재조합 연산을 실행한다. 상기 프로세스는 해벡터의 최적 조정을 달성하도록 반복하여 실행된다.
Patent KR-100189779-B1 (KR)
Inventor: NAM CHANG-HYUN
IPC: H01L21/304
Filed: 1995-12-04
Granted: 1999-06-01
Abstract: 본 발명은 웨이퍼의 세정 후 그 웨이퍼를 건조하는 웨이퍼건조장치에 관한 것으로서, 그 구성은 상기 IPA증기를 발생하는 제1챔버(20)를 구비한 IPA증기발생부와 ; 상기 IPA증기발생수단과는 IPA공급라인을 통하여 연결되고, 상기 IPA증기를 공급받아 웨이퍼를 건조하는 제2챔버(40)를 구비한 웨이퍼건조부를 구비한다. 상술한 웨이퍼건조장치에 의하면, 두 개의 챔버(20, 40)에 의해서 IPA증기발생공정과 건조공정을 별도로 실행시킬 수 있기 때문에, 하나의 챔버내에서 IPA용액공급-가열-IPA증기발생-건조-응축 냉각하는 순환에 의해서 발생될 수 있는 파티클의 발생을 완전히 제거할 수 있다. 또한, 제2챔버에서의 웨이퍼의 건조공정이 온도변화없이 실행되기 때문에 웨이퍼에 여러 형태의 결함을 유발시키는 문제점을 방지할 수 있다. 따라서, 양호한 웨이퍼의 건조에 의해서 반도체장치의 수율을  향상시킬 수 있다.
Patent KR-0175871-B1 (KR)
Inventor: KIM DONG-JIN
IPC: F24F1/02
Filed: 1995-12-12
Granted: 1999-10-01
Abstract: 본 발명에 의한 공기조화기용 셔터이송장치는, 캐비넷의 전면에는 전면판넬이 설치되고, 상기 전면판넬의 상하측에는 토출구 및 흡입구가 형성되며, 상기 전면판넬의 후측에는 일정간격을 두고 지지판이 설치된 공기조화기에 있어서, 상기 지지판의 전측면에 고정된 고정축과, 상기 고정축에 좌우 회동자유롭게 고정된 모터고정판과, 상기 모터고정판의 상단에 고정된 구동수단과, 상기 구동수단의 축에 연결되어 연동되는 구동기어와, 상기 구동기어와 기어물림되어 상하이동되는 승하강부재와, 상기 승하강부재의 전측면에 고착되어 연동되면서 상기 토출구를 개폐하는 셔터판으로 이루어져 있으므로, 공기조화기의 비사용시 실내기의 토출구를 모터의 구동에 따라 상하이동되는 셔터판에 의해 차단하여 실내의 공기중에 부유하는 이물질이 유입되지 않게 할 수 있고, 실내기의 내부를 항상 청결하게 유지할 수 있는 것이다.
Patent KR-0181905-B1 (KR)
Inventor: LEE YONG-WOO
IPC: H01L21/31
Filed: 1995-12-14
Granted: 1999-04-15
Abstract: 본 발명은 에치백공정후 스크러버공정을 도입함으로서 에치백공정후 발생하는 파티클을 제거하는 반도체소자의 제조방법이 개시되어 있다. 
     본 발명은, 특정물질층 및 금속배선층이 순차적으로 형성된 반도체 기판상에 제1층간절연막을 형성하는 단계와 상기 제1층간절연막상에  SOG막층 형성하는 단계와 상기 SOG막을 에치백하여 표면을 평탄화하는 단계와 상기 에치백된 SOG막상에 제2층간절연막을 형성하는 단계를 구비하는 반도체소자의 제조방법에 있어서, 상기 에치백하여 SOG막을 평탄화한 후, 상기 SOG막 표면에 순수를 공급하며, 브러쉬를 브러싱함으로서 상기 SOG막상에 존재하는 파티클을 제거하는 스크러버공정이 더 수행되는 것을 특징으로 한다. 
     따라서, SOG막상의 파티클이 제거되어 반도체소자의 수율 및 품질이 향상되는 효과가 있다.
Patent KR-0183777-B1 (KR)
Inventor: HONG SOON-YANG
IPC: G11B20/02
Filed: 1995-12-16
Granted: 1999-04-15
Abstract: 본 발명은 칼라벌스트(color burst) 신호의 위상이 틀어졌을 때 원래의 정상적인 위상으로 복원해 주기 위한 칼라벌스트의 위상틀어짐 검출장치에 관한 것으로, 수평동기신호를 클럭으로 입력받아 칼라벌스트의 위상틀어짐의 검출구간을 설정하기 위한 소정의펄스를 발생하기 위한 카운터수단; 상기 카운터수단의 출력신호 및 아날로그 신호처리부에서 발생된 칼라벌스트 위상의 틀어짐 유무에 따라 발생되는 제어신호를 입력받아 상기 카운터수단을 클리어하기 위한 래치수단; 및 상기 카운터수단의 출력신호 및 상기 칼라벌스트 위상의 틀어짐 유무에 따라 발생되는 제어신호에 따라 칼라벌스트의 위상틀어짐을 검출하기 위한 검출수단을 포함함을 특징으로 한다. 
     본 발명에 의하면, 칼라벌스트 신호의 위상을 보정하기 위하여 종래의 아날로그회로에서 디지탈회로를 이용하여 구현함으로써, 더욱 안정된 칼라시스템을 구현할 수 있다.
Patent KR-0175361-B1 (KR)
Title: 물의 추가공급시 예열기능을 갖는 인산용액 웨트 스테이션
IPC: H01L21/304
Filed: 1995-12-20
Granted: 1999-04-01
Abstract: 인산용액을 담아두기 위한 내부 화학용기(21)와, 내부 화학용기의 내부 저면에 설치되어 있으며 외부의 전원선과 연결되는 경우에 발열되는 히터(22)와, 내부 화학용기의 외부에 설치되어 있는 외부 화학용기(25)와, 인산용액의 수분함량을 검출한 뒤에 이를 전기적인 신호로 변환하여 출력하는 수분센서(27)와, 외부 화학용기에 담겨있는 용액의 수위를 뒤에 이를 전기적인 신호로 변환하여 출력하는 레벨센서(28)와, 수분센서로부터 입력되는 신호를 이용하여 내부 화학용기에 있는 인산용액의 수분함량이 저하되는 것을 판단하여 이에따라 수분을 보충시켜주기 위한 제1모터 구동신호를 출력하고, 레벨센서로부터 입력되는 신호를 이용하여 외부 호학용기에 있는 용액의 수위가 저하되는 것을 판단하여 이에따라 용액을 보충시켜주기 위한 제2모터 구동신호를 출력하는 제어부(29)와, 상기한 제어부의 제1모터 구동신호에 의해서 구동되는 벨로우즈 모터(30)와, 벨로우즈 모터에 의해 형성된 유압을 이용하여 상기한 외부 화학용기에 담겨 있는 용액을 내부 화학용기의 내부에 추가적으로 공급해주기 위한 용액공급라인(26)과, 외부 화학용기에 물을 공급하기 위한 물공급라인(25)을 포함하여 이루어지며, 수분함량의 변화로 인해서 인산용액의 끓는점이 변화되는 것을 방지하기 위해서 수분함량이 일정하게 유지될 수 있도록 물을 추가로 공급하는 경우에, 물이 미리 예열되어 공급하도록 함으로써 인산용액과 물이 안정되면서도 충분하게 섞일 수 있도록 하는 물의 추가공급시 예열기능을 갖는 인산용액 웨트 스테이션을 제공한다.
Patent KR-0162769-B1 (KR)
Inventor: AHN DONG-SIK
IPC: H01F19/00
Filed: 1995-12-22
Granted: 1999-01-15
Abstract: 본 발명은 사각맴돌이 인덕터의 등가회로 구성방법에 관한 것으로 특히, 인덕터 선로 간에 발생하는 결합 커패시턴스를 고려하여 임의의 유전체 기판과 임의의 조건에서 사용될 수 있는 사각맴돌이 인덕터의 등가회로 구성방법에 관한 것으로, (식1)에 의해 입력측 및 출력측 인덕턴스를 구하는 제1과정; (식2)을 이용하여 사각맴돌이 인덕터가 가지는 내부저항을 입력측과 출력측에 배분하여 구하는 제2과정; (식3)을 이용하여 입력측과 출력측에 배분되는 병렬 커패시턴스 값을 구하는 제3과정; (식4)를 이용하여 등가회로상의 궤환(feedback) 커패시턴스를 구하는 4과정; (식5)을 이용하여 사각맴돌이 인덕터의 선로들간에 발생하는 위상 지연 효과를 고려하는 소자로서 50Ω의 특성임피던스를 가지는 전송선로의 길이를 구하는 제5과정; 및 (식6)을 이용하여 Tline을 등가의 병렬 커패시턴스로 변환하게 하는 제6과정으로 수행되는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100228330-B1 (KR)
Inventor: KIM CHUN-SOO
IPC: H01L21/336
Filed: 1995-12-29
Granted: 1999-11-01
Abstract: 본 발명은 반도체소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 숏채널 효과를 억제하고 면저항을 감소시키기 위한 것이다. 
     이를 위해 본 발명은 반도체기판상에 에피택시층을 형성하는 단계와, 상기 에피택시층상에 게이트산화막과 게이트 형성용 도전층을 차례로 형성하는 단계, 상기 도전층과 게이트산화막 및 에피택시층을 소정의 게이트패턴으로 패터닝하여 게이트를 형성하는 단계, 및 기판에 기판과 반대도전형의 불순물을 이온주입하고 RTA처리를 행하여 소오스 및 드레인영역을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체소자 제조방법을 제공한다.
Patent KR-0163321-B1 (KR)
Inventor: LEE KWAN-CHOL
IPC: G11B21/02
Filed: 1995-12-30
Granted: 1999-01-15
Abstract: 본 발명은 광픽업 액츄에이터의 서스펜션와이어 조립장치에 관한 것으로써, 요오크플레이트를 조립지그상으로 눌러서 고정시키는 유동누름편과, 상기 유동누름편의 상하,관통공에 끼워져서 요오크플레이트의 내측요오크 사이에 설치된 대물렌즈홀더의 상부면을 눌러 고정시키고, 상부 외주면에 나사부가 형성되며 중심부에 상하로 관통된 회전공이 형성된 몸체와, 상기 몸체의 외주부에 끼워져 설치되어 상기 유동누름편에 탄성력을 제공해주는 스프링과, 상기 스프링을 고정시키기 위해 상기 몸체의 나사부에 체결되는 나사공에 의해 몸체에 고정되는 고정편과, 상기 몸체의 회전공에 끼워져서 회전하여서 일측 끝단부에 형성된 하부 나사산이 조립지그의 나사공에 체결 혹은 분리되므로써 유동누름편과 몸체를 상,하로 이동시키는 회전축으로 구성된 것을 특징으로 하는 광픽업 액츄에이터의 서스펜션와이어 조립장치인바, 요오크플레이트와 대물렌즈홀더의 평행도를 매우 좋도록 해준다.
Patent KR-100210670-B1 (KR)
Inventor: LEE WON-JUN
IPC: F02D28/00
Filed: 1995-12-30
Granted: 1999-07-15
Abstract: 본 발명은 ECU에 리셋(RESET) 신호가 인가되어, ECU가 초기화되면 상기 리셋 신호 발생 시 엔진의 상태와, 현재 상태의 엔진 회전수를 파악하여, 엔진이 정상 상태에서 상기 리셋 신호가 인가되었고 현재의 엔진 회전수가 일정 수준 이상인 경우에는 엔진을 상기 초기화 상태에서 정상 상태로 강제 천이시키도록 하는 ECU 제어 방법을 제공함으로써, 자동차의 주행이 보다 안정성 있게 이루어질 수 있도록 하는 효과가 있다.
Patent KR-0173577-B1 (KR)
Inventor: WON HA-YEUN
IPC: F04C18/02
Filed: 1996-02-09
Granted: 1999-03-20
Abstract: 본 발명은 흡입포트와 토출포트의 위치를 서로 반대로 배치하여 각종 부품의 내구성 향상 및 냉동 효율을 높이고, 볼트등의 체결기구를 사용하지 않으므로 운전시 스크롤 내압에 의한 고정 스크롤 상부면의 상하 방향 이동을 억제하는 효과를 내는 압축기 상부에 흡입포트를 구비한 스크롤형 유체기계에 관한 것으로, 종래의 냉동 효율 저하와 스크롤 내압에 의한 고정 스크롤 상부면의 상하 방향 이동을 억제하기 위하여 흡입포트와 토출포트의 배치 및 구성을 다르게 하여 새로운 흡입 유체가 가열된 압축기 내부의 부품들과 직접적인 접촉등을 억제하는 동시에 포켓부 중앙부의 체적을 확대하여 다량의 유체를 압축하는 효과가 있다.
Patent KR-100216323-B1 (KR)
Inventor: YOSI GINYA
IPC: F16H57/04
Filed: 1996-03-05
Granted: 1999-08-16
Abstract: 본 발명에 따른 자동차용 동력 전달 장치는 모든 회전 요소가 자동차의 정지하에 멈추며, 윤활유를 저장하기 위한 오일통 및 오일통으로부터 수용된 윤활유를 가압하고 상기 가압된 윤활유를 동력 전달 장치내의 예정 윤활 포인트로 전달하기 위한 회전 요소중 하나에 의해 구동되는 기계 작동식 오일 펌프를 구비하는 윤활 장치를 포함하는 것을 특징으로 하고 있다. 상기 윤활 장치는 윤활 포인트가 구성되고, 기계 작동식 오일 펌프에 의해 가압되거나 그로부터 전달되는 다량의 윤활유를 견고한 기밀 방식으로 저장하는 견고한 기밀 봉입부를 갖는다.
Patent KR-0177361-B1 (KR)
Inventor: LEE JAE-HEE
IPC: H04M1/24
Filed: 1996-03-20
Granted: 1999-05-15
Abstract: 본 발명은 차동증폭기를 이용한 전화선로 시험장치에 관한 것으로, 특히 측정용 정전압 전원(VP)에 접속되어 있는 내부기준저항(R R )과, 상기 내부기준저항(R R )의 인입단에 접속되어 있는 제1분압회로부(20)와, 상기 제1분압회로부(20)의 출력단에 접속되어 있는 제1연산증폭기(OP1)와, 상기 내부기준저항(R R )의 출력단에 접속되어 있는 제2분압회로부(30)와, 상기 제2분압회로부(30)의 출력단에 접속되어 있는 제2연산증폭기(OP2)와, 상기 제1 및 제2연산증폭기(OP1,OP2)의 출력전압의 차에 비례한 증폭된 전압신호를 출력하는 차동증폭회로부(10)를 구비하여, 내부기준전압 양단의 전압차를 측정하고 이를통해 선로저항을 검출함에 따라 종래의 전화선로 시험장치에 비해 내부기준저항과 내부분압저항의 크기가 작아도 선로고저항을 측정할 수 있으며, 또한 선로시험시간을 단축시킬 수 있다.
Patent KR-0184480-B1 (KR)
Inventor: CHO HO-YEOL
IPC: G11C11/409
Filed: 1996-05-08
Granted: 1999-04-15
Abstract: 1. 청구 범위에 기재된 발명이 속한 기술분야: 
     고속 동작 모드를 갖는 반도체 메모리 장치의 데이타 출력을 제어하는 회로에 관한 것이다. 
     2. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제: 
     반도체 메모리 장치에서 무효 데이타의 출력에 의해 발생되는 전원 노이즈 및 동작 속도 저하를 방지하기 데이타 출력 버퍼 제어 회로를 제공함. 
     3. 발명의 해결 방법의 요지: 
     메모리 셀 어레이를 가지는 반도체 메모리 장치의 데이타 출력 제어회로에 있어서, 센싱 인에이블 신호의 활성화에 응답하여 상기 입출력라인상의 데이타 레벨을 감지하여 증폭출력하는 입출력 센스 앰프와, 어드레스 정보의 입력을 검출하여 이에 대응하는 위치의 메모리 셀로부터 출력되는 데이타를 입력하는 입출력 센스 앰프의 센싱 인에이블 신호를 활성화하는 센스 앰프 제어회로와, 제어단자로 입력되는 출력제어신호의 활성화에 응답하여 상기 입출력 센스 앰프로부터 출력되는 데이타를 출력단자로 버퍼링하는 데이타 출력 버퍼와, 로우 및 컬럼 어드레스의 입력을 허용하는 제어신호들의 활성화에 의해 인에이블되며 상기 센싱 인에이블 신호의 활성화에 응답하여 상기 출력제어신호를 활성화 시키는 버퍼제어회로를 구비하는 반도체 메모리 장치의 데이타 출력 제어회로. 
     4. 발명의 중요한 용도: 
     반도체 메모리 장치의 데이타 출력 버퍼
Patent KR-100198616-B1 (KR)
Inventor: KIM SUNG-TAE
IPC: G11B15/02
Filed: 1996-06-26
Granted: 1999-06-15
Abstract: 본 발명은 브이씨알의 모드스위치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 테이프 및 테이프카세트의 로딩을 이룸과 동시에 각종 브레이크 장치의 구동력을 제공하는 캠기어의 회전각을 감지하여 각각의 모드에 대한 위치를 감지하는 브이씨알의 모드스위치에 관한 것으로서, 메인베이스(1)에 대해 지지되는 브라켓(52)에 고정되는 것으로, 캠기어(60)와 연동하며 설정된 모드를 감지하여 감지신호를 주제어부로 출력하는 모드스위치를 구성함에 있어서, 일측에 컨넥터핀(212a)이 제공되는 터미널(212)이 일체로 구성되는 본체(211)와, 일단은 컨넥터핀(212a)에 연결되고 타단은 본체(211)의 일면에 고정되는 감지단자(213)와, 본체(211)에 고정되며 감지단자(213)와 소정의 갭을 유지하는 탄성을 보유하는 접속단자(215)를 구비한 고정체(210)와; 일면에 캠기어와 치합하는 모드설정기어(221)가 형성되고, 타측면에 본체(211)에 회전가능하게 결합되며 접속단자를 예정된 위치에서 가압하여 접속단자(215)와 감지단자(213)를 접속시키는 가압돌기(222)를 갖는 회전체(220)로 이루어진 브이씨알의 모드스위치를 특징으로 한다.
Patent KR-100196453-B1 (KR)
Inventor: SEZUKI DACHUO
IPC: B28B1/08
Filed: 1996-06-27
Granted: 1999-06-15
Abstract: 내용없음.
Patent KR-100239691-B1 (KR)
Inventor: SONN SANG-SOO
IPC: H01L21/20
Filed: 1996-07-08
Granted: 2000-01-15
Abstract: 본 발명은 반도체 증착장비의 배기장치에 관한 것으로, 종래에는 2차절곡된 배기라인과 배기트랩에 반응부산물이 쌓여 잦은 장비고장이 발생하고, 따라서 생산성이 저하되는 문제점이 있었다. 본 발명 반도체 증착장비의 배기장치는 배기라인을 일자형으로 하고, 배기트랩을 벤추리관형식으로 하여 반응부산물이 배기라인이나 배기트랩에 쌓이지 않고, 배출되도록 함으로서, 장비의 수리 횟수가 줄어들게 되어 생산성이 향상되는 효과가 있다.
Patent KR-100213897-B1 (KR)
Inventor: KWON BYOUNG-MOG
IPC: C07C69/608
Filed: 1996-08-01
Granted: 1999-08-02
Abstract: 본 발명은 계피(Cinnamomum cassia Blume)유래의 신남알데하이드 유도체, 이의 제조방법 및 이를 함유하는 조성물에 관한 것으로, 계피를 클로로포름과 아세톤의 혼액으로 추출하고, 상기 추출액을 농축하여 수산화나트륨 용액으로 추출하고, 염기층을 산성화시킨 후 메틸렌클로라이드로 재추출하고, 상기 메틸렌클로라이드 추출액을 농축하여 실리카겔 크로마토그래피 및 고속 액체 크로마토그래피로 정제하여 수득된 2 - 하이드록시 신남알데하이드 및 이로부터 합성된 2 - O - 벤조일 신남알데하이드는 신생혈관유도를 저해하므로 암전이 억제제로서, 및 당뇨병 망막증 또는 각막이식시 발생되는 신생혈관형성에 의한 실명을 예방 및 치료하기 위한 약제로 유용하게 사용될 수 있다.
Patent KR-100198720-B1 (KR)
Inventor: KAPOOR AKHILESH
IPC: C01B32/50
Filed: 1996-08-22
Granted: 1999-06-15
Abstract: 식품 등급의 이산화탄소는, 폐기체를 수성 급냉 액체로 급냉시키고, 이 기체로부터 황염을 건조-여과시키고, 여과된 기체를 수성 카보네이트로 세정하여 잔류 이산화황을 수성 아황산염 현탁액으로 전환시키고 이 현탁액을 상기 언급한 수성 급냉 액체의 일부 또는 전부로서 사용하고, 이산화황-비함유 폐기체를, 질소 산화물을 질소로 선택적으로 전환시킴으로써 상기 폐기체로부터 모든 질소 산화물을 실질적으로 제거하는 촉매의 존재하에서 암모니아와 접촉시키고, 생성된 폐기체 스트림을 증류시킴으로써 고순도 액체 이산화탄소 및 방출기체를 생성시키고, 상기 기체를 연료로서 산소연료 연소된 유리제조로(爐)로 재순환시킴을 포함하는 일련의 단계에 의해 상기 로로부터 제조된다.
Patent KR-100242949-B1 (KR)
Title: 폴리머의 증착방지가 가능한 건식 식각장치
Inventor: KIM IK JOO
IPC: H01L21/3065
Filed: 1996-10-22
Granted: 2000-02-01
Abstract: 플라즈마 가스의 유입에 의해 챔버 저면에 폴리머가 증착되는 것을 방지할 수 있는 식각장치가 개시된다. 절연 링과 결합된 베이스 링의 하부면과 챔버의 저면 사이에 형성되는 이격공간으로 플라즈마 가스가 유입되어 폴리머가 증착되는 것을 방지하기 위한 베이스 링 커버가 설치되며, 베이스 링 커버는 베이스 링의 측면과 접촉하는 상부링과 상부링의 하측에지를 따라 연장되어 챔버의 저면과 접촉하는 하부링으로 구성된다. 본 발명에 따르면, 이격공간으로 플라즈마 가스가 유입되는 것을 방지함으로써 원자재비를 절감할 수 있고, 노동력을 절감할 수 있으며, 웨이퍼 수율을 향상시킬 수 있다.
Patent KR-100232997-B1 (KR)
Title: 습식 웨이퍼 세정장치
Inventor: LEE JUNG-SEOK
IPC: H01L21/304
Filed: 1996-10-30
Granted: 1999-12-01
Abstract: 본 발명은 웨이퍼를 세정 처리하기 위한 세정조의 상측면과 일측면에 설치되는 제 1 및 제 2 세정수단이 각각 수평방향과 상하방향으로 왕복 이송되면서 웨이퍼에 세정액을 분사시킴으로 웨이퍼 세정효율을 향상시키는 습식 웨이퍼 세정장치에 관한 것으로, 웨이퍼가 세정 처리되는 세정조와, 상기 세정조의 상측면에서 제 1 방향으로 왕복 이송되면서 상기 웨이퍼에 세정액을 분사시키는 제 1 세정수단과, 상기 세정조의 일측면에서 제 2 방향으로 왕복 이송되면서 상기 웨이퍼에 세정액을 분사시키는 제 2 세정수단과, 상기 제 1 및 제 2 세정수단을 왕복 이송시키는 이송수단과, 상기 제 1 및 제 2 세정수단의 왕복 이송범위가 제한되도록 상기 이송사단을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-0176352-B1 (KR)
Inventor: KWAN SUK-HO
IPC: B62D65/00
Filed: 1996-10-31
Granted: 1999-04-15
Abstract: 본 발명은 다차종 이송용 행거 조절장치에 관한 것으로서, 행거(1) 암부(3)의 일측에 고정형성된 가이드부(11)와, 상기 가이드부(11)를 밀어 상기 행거(1)가 부품에 밀착되도록 하는 롤러(35)와, 상기 롤러(35)가 일단에 회동가능하게 힌지된 로드(30)와, 상기 로드(30)를 전,후방향으로 이동가능하게 하는 공압실린더(25)와, 상기 공압실린더(25)에 공압을 제어하여 공급하는 솔레노이드 밸브(50)와, 상기 솔레노이드 밸브(50)에 공압을 공급하는 공압공급부(55)와, 상기 로드(30)의 위치에 따라 이를 감지하여 그에 대응한 신호를 출력하는 리미트 스위치(40,45)와, 상기 리미트 스위치(40,45)로부터 인가된 신호를 받아 상기 솔레노이드 밸브(50)를 제어하는 콘트롤 유닛(60)을 포함하여 이루어진 행거 조절장치(20)를 구성함으로써 부품의 이송시에 부품의 추락을 방지하고, 안전하게 이송하도록 하여 안전성을 향상시킨 유용한 것이다.
Patent KR-100225373-B1 (KR)
Inventor: GERD FAULBECKER
IPC: B60K17/22
Filed: 1996-11-05
Granted: 1999-10-15
Abstract: 본 발명은 2개 각각이 공통 종축(7)을 갖는 4개의 아암(17)과 함께 가로 부재(6)를 갖는 유니버설 조인트용 가로 부재 유니트에 관한 것이다.  또한 아암(17)을 덮는 베어링 부쉬(9)가 아암(17)마다 제공된다. 베어링 부쉬(9)의 케이싱(25) 및 아암(17)의 원통형 주행면(19) 사이의 공간에 림 형태의 구름 접촉 부재(32)가 배열된다. 베어링 부쉬(9)의 개방 단부(30)를 향해 예비 시일(44) 및 주 시일(37)이 아암(17) 및 케이싱(25) 사이에 배열된다. 높은 주행 성능 및 무보수 조립체를 얻기 위해, 윤활 그리스를 저장할 목적으로 아암(17)이 단부면(18)을 향해 개방되고 그외에는 닫혀있으며 단부면(18)로부터 시작하는 테이퍼 형상인 저장 챔버(20)를 포함하는 것이 제안된다. 또한 주 시일(37)은 베어링 부쉬(9)의 개방 단부를 넘어 돌출하는 외부 위치 캐리어(39)에 의해 베어링 부쉬(9)에 고정된다. 그 외부면은 예비 시일(44)의 2개의 시일(51,52)들중 하나에 접촉하는 역할을 한다. 다른 밀봉 립은 베어링 부쉬(9)의 개방 단부(30)에서 정지면(31)에 접촉하는 역할을 한다. 주 시일은 또한 밀봉 목적으로 2개의 연속 밀봉 립(38,38')을 포함한다.
Patent KR-100231852-B1 (KR)
Inventor: SONG YOON-SEOK
IPC: G06F9/30
Filed: 1996-11-06
Granted: 1999-12-01
Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야 
     듀얼 파이프라인 프로세서. 
     2. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제 
     듀얼 파이프라인 프로세서에서 교환 명령과 더불어 로드 명령까지도 병렬적으로 수행할 수 있도록 함. 
     3. 발명의 해결 방법의 요지 
     스택 구조의 레지스터 파일을 갖는 듀얼(v-파이프, u-파이프) 파이프라인 프로세서에서 교환 명령과 메모리로 부터의 로드 명령을 다른 명령과 병렬적으로 처리. 
     4. 발명의 중요한 용도 
     듀얼 파이프라인 프로세서.
Patent KR-0176049-B1 (KR)
Inventor: LEE JANG-WOO
IPC: A47L9/28
Filed: 1996-11-27
Granted: 1999-02-01
Abstract: 본 발명은 필터의 오염정도를 감지하고 교체시기를 자동으로 경보하여 교체할 수 있도록 함으로써 청소기의 사용수명을 연장하고 흡입력을 향상시켜 효과적인 청소가 가능한 진공청소기 필터교체 경보장치에 관한 것으로, 먼지를 포집하는 집진실과 흡입력을 발생하는 구동실 사이와, 상기 구동실 후면에 필터가 착탈가능하게 설치된 진공청소기에 있어서, 상기 필터의 오염을 감지하는 오염감지수단과, 상기 오염감지수단으로부터 입력된 신호를 근거로 기 설정된 기준값과 비교하여 필터교체시기로 판단될 경우 소정의 제어신호를 하는 마이컴과, 상기 마이컴의 출력레벨신호에 따라 제어되는 경보구동부와, 상기 경보구동부의 신호에 의해 외부에 필터교체를 알리는 경보수단으로 구성됨을 특징으로 한다.
Patent KR-100243587-B1 (KR)
Inventor: SEO YOO-CHAN
IPC: B60T17/00
Filed: 1996-11-29
Granted: 2000-03-02
Abstract: 본 발명은 자동차에 적용되는 브레이크 장치의 브레이크 액 교환 장치에 관한 것으로서, 한명의 작업자만으로 공기 빼기 작업을 용이하게 할 수 있는 브레이크 액 교환 장치를 제공함에 있다. 
     본 발명은 휠 실린더(W)의 블리더 스크류 설치 위치인 블리더 포트(P)에 일단이 삽입되는 배관(1)과, 상기한 배관(1)의 타단이 삽입됨과 아울러 격막(9)으로 새로운 브레이크액과 사용된 브레이크액이 구분되는 탱크(2)와, 상기한 탱크(2)에서 일단이 인출되고 펌프(3)를 개재한 상태로 리저버 탱크(R)에 타단이 삽입된 리턴 배관(4)과 , 상기한 배관(1) 및 리턴 배관(4)을 통한 유체의 압력을 측정함과 아울러 이를 통한 유체의 이동을 제한하도록 설치된 제어 수단으로 구성한다.
Patent KR-100194624-B1 (KR)
Inventor: CHAI SANG-HOON
IPC: H04L7/033
Filed: 1996-12-02
Granted: 1999-06-15
Abstract: 본 발명은 PLL의 전압제어발진기(VCO)에서 발생한 여러개의 클럭을 사용하여 외부에서 입력된 데이타를 리타이밍(retiming)하는 회로에 관한 것으로서, 종래의 일반적으로 데이타 리타이밍 회로가 대부분 디지털 논리회로에 의해 구성됨에 따라 회로가 복잡하고 이를 집적회로로 구현하기 위해 많은 수의 게이트가 필요했던 단점을 해결하기 위해, 본 발명은 다수개의 서로 다른 위상을 갖는 클럭을 발생하는 클럭발생부를 구비하여, 외부로 입력된 데이타를 상기 입력된 클럭에 따라 래칭하는 제1래치부와; 이 제1래치부에 래칭된 데이타의 논리상태를 결정하는 데이타 래치 상태 결정부와; 이 결정된 데이타와 상기 입력된 클럭을 NAND게이트 및 AND 게이트를 이용하여 논리연산하여 하나의 리타이밍 클럭을 선택하여 클럭선택부와; 상기 입력되는 데이타를 지연시키는 제1, 제2지연부와; 상기 제2지연부를 통해 출력된 데이타를 선택된 클럭에 따라 래칭하여 리타이밍시키는 제2래치부로 구성되어, 구조가 간단하고, 집적회로 제작시에도 게이트 수를 대폭 줄일 수 있는 것이다.
Patent KR-100416678-B1 (KR)
IPC: H04N5/74
Filed: 1996-12-14
Granted: 2004-05-24
Abstract: 본 발명은 스프링 팁(60)을 갖는 마이크로미케니컬 디바이스(50) 및 그 제조방법에 관한 것이다. 랜딩 스톱(34a)이 있는 저부(bottom)에서, 적어도 1개의 힌지(24a)에 의해 현수된 편향 가능 소자(36)가 에어 갭 상에 존재하도록 마이크로미케니컬 디바이스(50)가 형성된다. 소자(36)는 상기 힌지 상에서 편향되고, 적어도 1개의 작은 금속 돌출부(60) 또는 스프링 팁을 통하여 랜딩 스톱(34a)에 접촉하게 된다. 스프링 팁은 더 많은 힘의 분포 및 적은 내구력 및 접착력을 허용하며 접촉에 의해 구부려진다. 스프링 팁은 금속층(64)의 패터닝에 부가하여 표준 반도체 처리 단계에서 형성되며, 이 금속층으로 부터, 분리된 금속 소자를 생성하기 위해 힌지가 형성된다. 편향 가능 소자가 형성될 때, 그 소자를 형성하는 금속은 팁에서, 분리된 금속 소자에 고정되어, 스프링 팁을 형성하게 된다.
Patent KR-0181635-B1 (KR)
Inventor: SONN BYUNG-KI
IPC: C07D333/64
Filed: 1996-12-20
Granted: 1999-05-01
Abstract: 본 발명은 하기 화학식 4 의 화합물을 비교적 고온에서 설폰화제인 묽은 올레움과 반응시킴을 특징으로 하여, 소수성 섬유, 특히 폴리에스테르 섬유 또는 폴리에스테르-면 혼방섬유를 침염, 날염 및 연속 염색하는데 적합한 분산염료의 제조용 중간화합물로서 유용한 하기 화학식 1 의 1-티아나프텐-3-온 1,1-디옥사이드를 제조하는 방법에 관한 것이다. 
     
       
         
       
     
     
       
         
       
     
     상기식에서, 
     R 은 C 1-5 의 직쇄 또는 측쇄 알킬을 나타낸다.
Patent KR-100267609-B1 (KR)
Title: Direct junction soi substrates by induced heating from high frequency wave and method of manufacturing the substrates
Inventor: CHUNG WOOK JIN
IPC: H01L21/20
Filed: 1996-12-23
Granted: 2000-10-16
Abstract: PURPOSE: An RF inductively heated and directly bonded SOI(Silicon On Insulator) substrate and a fabrication method thereof are provided to enable to form an accurate thin film by maintaining a uniform temperature distribution in a wafer easily and minimizing an impurity contamination from an inner wall of a reaction chamber by heating only the semiconductor wafer and at the same time by reducing the total calorie permitted to the wafer during a process of forming the thin film. CONSTITUTION: The first oxide(4) is formed on a silicon substrate(3), and a conductive thin film(5) which has a high melting point and can be inductively heated by an RF power is formed on the first oxide. And, then the second oxide(6) is formed on the conductive thin film and a SOI thin film(7) is formed on the second oxide. The conductive thin film can be formed using a method of forming a graphite member having an electrical conductivity several hundreds times as high as the silicon substrate and having a higher melting point than the silicon substrate, or can be formed using a method of forming an amorphous carbon film having a low melting point. Therefore, if the RF power is supplied from the external of the substrate by the conductive thin film, the movement of electrons in the conductive thin film becomes more active, and thus the conductive thin film heats the silicon substrate and the SOI substrate and the first and the second oxide rapidly.