Patent DE-112015000642-B4 (DE)
Title: Vorrichtung für elastische Wellen
Inventor: TANIGUCHI YASUMASA
IPC: H03H9/145
Filed: 2015-01-29
Granted: 2019-10-02
Abstract: Vorrichtung für elastische Wellen (10), die mehrere Resonatoreinheiten für elastische Wellen enthält, die durch Reihenteilen eines Resonators für elastische Wellen in mehrere Stufen gebildet werden, wobei die Vorrichtung für elastische Wellen umfasst:ein piezoelektrisches Substrat (10A),eine erste IDT-Elektrode (11), die auf dem piezoelektrischen Substrat ausgebildet ist und eine erste Resonatoreinheit für elastische Wellen bildet,eine zweite IDT-Elektrode (12), die auf dem piezoelektrischen Substrat ausgebildet ist und eine zweite Resonatoreinheit für elastische Wellen bildet, die mit der ersten Resonatoreinheit für elastische Wellen in Reihe geschaltet ist, undeinen Zwischenstufenverbindungsabschnitt (17), der die erste Resonatoreinheit für elastische Wellen und die zweite Resonatoreinheit für elastische Wellen verbindet,wobei die erste IDT-Elektrode (11) enthält:eine erste Sammelschiene (11a),eine zweite Sammelschiene (11b), die so angeordnet ist, dass sie von der ersten Sammelschiene getrennt ist,mehrere erste Elektrodenfinger (11c), die elektrisch mit der ersten Sammelschiene (11a) an deren Basis-Endabschnitten verbunden sind und sich in Richtung einer Seite der zweiten Sammelschiene erstrecken, undmehrere zweite Elektrodenfinger (11d), die mit der zweiten Sammelschiene (11b) an deren Basis-Endabschnitten verbunden sind und sich in Richtung einer Seite der ersten Sammelschiene erstrecken,wobei die zweite IDT-Elektrode (12) enthält:eine dritte Sammelschiene (12b),eine vierte Sammelschiene (12a), die angeordnet ist, dass sie von der dritten Sammelschiene getrennt ist,mehrere dritte Elektrodenfinger (12c), die elektrisch mit der dritten Sammelschiene (12b) an deren Basis-Endabschnitten verbunden sind und sich in Richtung einer Seite der vierten Sammelschiene erstrecken, undmehrere vierte Elektrodenfinger (12d), die mit der vierten Sammelschiene (12a) an deren Basis-Endabschnitten verbunden sind und sich in Richtung einer Seite der dritten Sammelschiene erstrecken,wobei die erste IDT-Elektrode (11) und die zweite IDT-Elektrode (12) in einer Richtung aneinandergereiht sind, entlang der sich die Elektrodenfinger - mit dem Zwischenstufenverbindungsabschnitt (17) dazwischen angeordnet - erstrecken,wobei in jeder der ersten IDT-Elektrode (11) und der zweiten IDT-Elektrode (12) eine mittlere Region in einer Mitte in der Richtung ausgebildet ist, entlang der sich die Elektrodenfinger erstrecken, Regionen mit niedriger Schallgeschwindigkeit, deren Ausbreitungsgeschwindigkeiten von elastischen Wellen niedriger sind als die der mittleren Region, an beiden Außenseiten der mittleren Region in der Richtung ausgebildet sind, entlang der sich die Elektrodenfinger erstrecken, und Regionen mit hoher Schallgeschwindigkeit (11a3, 11a4; 17, 17a, 17b; 12a3, 12a4), deren Ausbreitungsgeschwindigkeiten von elastischen Wellen höher sind als die der mittleren Region, auf beiden Außenseiten der Regionen mit niedriger Schallgeschwindigkeit in der Richtung ausgebildet sind, entlang der sich die Elektrodenfinger erstrecken,wobei die zweite Sammelschiene (11b) und die dritte Sammelschiene (12b) sich eine gemeinsame Sammelschiene (17) teilen,mehrere Öffnungen (17b) in der gemeinsamen Sammelschiene ausgebildet und entlang der Ausbreitungsrichtung der elastischen Wellen angeordnet sind,die Region, wo die Öffnungen (17b) ausgebildet sind, eine der Regionen mit hoher Schallgeschwindigkeit bildet, wo die Ausbreitungsgeschwindigkeit elastischer Wellen höher ist als die der mittleren Region, und,innerhalb der gemeinsamen Sammelschiene, die Regionen mit niedriger Schallgeschwindigkeit auf beiden Außenseiten der mehreren Öffnungen (17b) in der Richtung ausgebildet sind, entlang der sich die Elektrodenfinger erstrecken, undwobei Wc < (Wa+Wb) gilt, wobei Wa eine Abmessung einer in der Richtung, in der sich die Elektrodenfinger (11a3, 11a4) erstrecken, äußersten Region mit hoher Schallgeschwindigkeit unter den Regionen mit hoher Schallgeschwindigkeit ist, die in der ersten IDT-Elektrode (11) auf der Seite der ersten Sammelschiene in der Richtung ausgebildet ist, entlang der sich die Elektrodenfinger erstrecken, Wb eine Abmessung einer in der Richtung, in der sich die Elektrodenfinger (12a3, 12a4) erstrecken, äußersten Region mit hoher Schallgeschwindigkeit unter den Regionen mit hoher Schallgeschwindigkeit ist, die in der zweiten IDT-Elektrode (12) auf der Seite der vierten Sammelschiene in der Richtung ausgebildet ist, entlang der sich die Elektrodenfinger erstrecken, und Wc eine Abmessung der Öffnungen (17b) in der Richtung ist, entlang der sich die Elektrodenfinger erstrecken.