Patent PL-417083-A1 (PL)
Inventor: KOBAYASHI KEISUKE
IPC: H01J49/00
Filed: 2016-05-02
Abstract: Niniejszy wynalazek ma na celu rozwiązania tego problemu, że zespół kryształu monochromatorowego promieniowania rentgenowskiego jest ograniczony, a próżni źródła promieniowania rentgenowskiego i próżni komory do analizy nie można rozdzielić. Aparat do spektroskopii fotoelektronów twardego promieniowania rentgenowskiego zawiera źródło promieniowania rentgenowskiego, analizator, manipulator próbki, komorę do analizy i próżniowe systemy usuwające, przy czym w trójwymiarowej przestrzeni wyznaczonej przez prostokątny układ osi współrzędnych (XYZ) próbka w kształcie płytki jest rozmieszczona tak, aby mogła być obracana wokół osi (Z) za pomocą wymienionego manipulatora (2) próbki, przy czym źródło promieniowania rentgenowskiego zawiera działo elektronowe (3b), która przyspiesza i ogniskuje elektrony, tarcza, która jest napromieniowywana elektronami przyspieszanymi i ogniskowanymi przez działo elektronowe, aby generować promieniowanie rentgenowskie, zespół kryształu monochromatorowego, przy czym zespół kryształu monochromatorowego spełnia warunek Bragga dyfrakcji rentgenowskiej w płaszczyźnie (X-Y), aby załamywać/odbijać i monochromatyzować promieniowanie rentgenowskie wygenerowane w wymienionym obiekcie i ekstrahować jedynie charakterystyczne promienie rentgenowskie, a z drugiej strony pozycja napromieniowywania wiązką elektronów na środku tarczy środka zespołu kryształu monochromatorowego próbki jest rozmieszczona na okręgu Rowlanda, aby minimalizować aberrację ogniskowania na próbce, zespół kryształu monochromatorowego znajduje się na okręgu o promieniu dwa razy większym od promienia okręgu Rowlanda w płaszczyźnie (X-Y) korzystnie pozycja napromieniowywania wiązką elektronów na wymienionej tarczy i środek próbki znajdują się na każdym z dwóch ognisk elipsy stykającej się z wymienionym okręgiem Rowlanda w środku zespołu kryształu monochromatorowego, wymieniony zespół kryształu monochromatorowego ma toroidalną powierzchnię w kierunku osi Z uzyskaną przez obrót wymienionej elipsy stykającej się z wymienionym okręgiem Rowlanda wokół linii prostej łączącej pozycję napromieniowywania wiązką elektronów na wymienionej tarczy i środek próbki, i zbiornik próżniowy do instalacji tych komponentów, przy czym zespół kryształu monochromatorowego stosowany do monochromatyzacji z dyfrakcją i odbiciem wymienionego źródła promieniowania rentgenowskiego znajduje się w okręgu Rowlanda wraz z wymienioną tarczą i wymienioną próbką, spełniając taki warunek, że rozproszona wiązka promieniowania rentgenowskiego koncentruje się na powierzchni próbki przy minimalnej aberracji, przy czym okręg Rowlanda jest umieszczony ortogonalnie do powierzchni próbki, przy czym oś optyczna wymienionego analizatora jest umieszczona prostopadle (w kierunku osi X) do kierunku padania (w kierunku osi Y) promieniowania rentgenowskiego lub w zakresie kąta ±36 stopni w płaszczyźnie (X-Y) i w zakresie kąta ±49 stopni w płaszczyźnie (X-Z), przy czym próbka jest umieszczona tak, że wymienione promieniowanie rentgenowskie załamane i odbite przez powierzchnię odbicia znajduje się w pozycjach ogniskowania na powierzchni wymienionej próbki i ukośnie pada na powierzchnię wymienionej próbki tak, że plamka wymienionego promieniowania rentgenowskiego podłużnie rozciąga się wzdłuż linii zasadniczo równolegle do osi (Y) (zasadniczo prostopadle do osi X), i przy czym otwór szczeliny zapewnionej przy wejściu wymienionego analizatora jest rozmieszczony równolegle do kierunku, w którym wymieniona plamka promieniowania rentgenowskiego podłużnie rozciąga się na powierzchni próbki.