Patent DE-102020102779-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Betreiben eines Teilchenstrahlgeräts
Inventor: KAUFMANN NICOLAS
IPC: H01J37/26
Filed: 2020-02-04
Granted: 2021-11-25
Abstract: Verfahren zum Betreiben eines Teilchenstrahlgeräts (1), umfassend:Rastern eines Teilchenstrahls (5) über einen Bereich (19) eines Objekts (13), wobei das Rastern über den Bereich (19) ein Rastern über eine Vielzahl einander benachbarter Zeilen (53) an dem Objekt (13) umfasst, und wobei das Rastern über eine jede der Vielzahl von Zeilen (53) ein Richten des Teilchenstrahls (5) auf eine Vielzahl von einander benachbarten Orten (55) in der Zeile (53) umfasst, wobei das Rastern mit einer vorbestimmten Zeilengeschwindigkeit erfolgt, wobei die Zeilengeschwindigkeit die Anzahl der Zeilen (53) repräsentiert, über die der Teilchenstrahl (5) pro Zeiteinheit gerastert wird;Detektieren von Signalen, die durch den auf das Objekt (13) treffenden Teilchenstrahl erzeugt werden;Wandeln der detektierten Signale in digitale Signale mit einer vorbestimmten Abtastrate;Übertragen der digitalen Signale in einen Signalspeicher (41), wobei der Signalspeicher (41) eine vorbestimmte Anzahl von Speicherplätzen (63) aufweist, die nach Zeilen (65) und Spalten adressierbar sind, wobei die durch das Rastern des Teilchenstrahls (5) über wenigstens einen Teil einer Zeile (52) erzeugten digitalen Signale nacheinander in Speicherplätze (63) mit aufeinanderfolgenden Spaltenadressen und einer gleichen Zeilenadresse gespeichert werden; undErzeugen eines teilchenmikroskopischen Bildes aus den in dem Signalspeicher (41) gespeicherten digitalen Signalen, wobei das Bild eine Vielzahl von Pixeln aufweist, die nach Zeilen und Spalten adressierbar sind, wobei ein jedes Pixel des Bildes basierend auf den digitalen Signalen bestimmt wird, die in einer Anzahl von Speicherplätzen (63) gespeichert sind, wobei die Anzahl gleich Eins oder größer ist;wobei das Verfahren einen ersten Betriebsmodus und einen zweiten und/oder dritten Betriebsmodus aufweist;wobei der erste Betriebsmodus umfasst:Rastern des Teilchenstrahls (5) über einen Bereich (19) des Objekts (13) mit einer ersten Zeilengeschwindigkeit und Erzeugen des teilchenmikroskopischen Bildes unter Verwendung einer ersten Anzahl von Speicherplätzen (63) pro Pixel;wobei der zweite Betriebsmodus umfasst:Rastern des Teilchenstrahls (5) über einen Bereich (19) des Objekts (13) mit einer zweiten Zeilengeschwindigkeit, die gleich einem 0,5-fachen der ersten Zeilengeschwindigkeit ist, und Erzeugen des teilchenmikroskopischen Bildes unter Verwendung einer zweiten Anzahl von Speicherplätzen (63) pro Pixel, die gleich dem Zweifachen der ersten Anzahl von Speicherplätzen (63) pro Pixel ist;wobei der dritte Betriebsmodus umfasst:Rastern des Teilchenstrahls (5) über einen Bereich (19) des Objekts (13) mit der ersten Zeilengeschwindigkeit, wobei eine jede Zeile zweimal gerastert wird, undErzeugen des teilchenmikroskopischen Bildes unter Verwendung einer zweiten Anzahl von Speicherplätzen (63) pro Pixel, die gleich dem Zweifachen der ersten Anzahl von Speicherplätzen (63) pro Pixel ist;dadurch gekennzeichnet, dass das Richten des Teilchenstrahls (5) auf die Vielzahl von einander benachbarten Orten (55) in der Zeile (53) ein Bewegen des Ortes (9), auf den der Teilchenstrahl (5) gerichtet ist, mit einer konstanten Geschwindigkeit umfasst.