baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-100815422-B1 (KR)
IPC: H01L29/778
Filed: 2002-02-26
Granted: 2008-03-20
Abstract: 본 발명은 이종구조 전계효과 트랜지스터 제조방법에 관한 것으로, 종래 이종구조 전계효과 트랜지스터 제조방법은 기판상에 도핑되지 않은 GaN버퍼층과 AlGaN층을 순차적으로 증착하고, 그 GaN버퍼층에 채널층이 형성되도록 함으로써, 결정성 및 채널층의 전자이동도가 낮아 원하는 주파수 특성 및 고주파 출력특성이 열화되는 문제점이 있었다. 이와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 기판에 도핑되지 않은 GaN 버퍼층을 성장시키는 단계와; 상기 GaN 버퍼층의 상부에 채널층이 형성되는 Al이 도핑된 GaN층을 성장시키는 단계와; 상기 Al이 도핑된 GaN층의 상부에 도핑되지 않은 AlGaN층을 성장시키는 단계를 포함하여 구성하여, 채널이 형성되는 영역인 GaN 버퍼층에 Al로 도핑된 GaN층을 형성하여, 그 채널영역의 결정성을 향상시킴으로써, 그 채널영역에서의 전자이동도를 향상시켜, 이종구조 전계효과 트랜지스터의 고주파 특성을 향상시키고, 더 높은 고주파 출력신호를 얻을 수 있는 효과가 있다.
Patent KR-100424826-B1 (KR)
Title: 환경 친화적 집어제 예비 혼합물 및 그의 사용 방법
IPC: A01K97/04
Filed: 2002-03-12
Granted: 2004-03-27
Abstract: 본 발명은 집어제에 관한 것으로서, 좀더 구체적으로는 황토, 분쇄된 패류 껍질 및 모래로 구성된 집어제에 관한 것이다. 
     본 발명의 집어제는 집어 효과의 우수성은 물론 환경 오염이 전혀 없으며, 오히려 황토를 주원료로 사용함으로써 적조현상 방지, 수질개선 효과를 현저히 발휘한다.
Patent KR-100429659-B1 (KR)
Title: 다종 가스 분압 측정소자 및 측정방법
IPC: G01L11/00
Filed: 2002-03-25
Granted: 2004-05-03
Abstract: 본 발명은 초소형의 다종 가스 분압 측정소자 및 측정방법에 관한 것으로, PZT캐패시터를 각각 포함하고 있는 복수의 동일크기의 캔틸레버들이 지지대에 연결되어 부상되어 있고, 상기 복수의 캔틸레버들상의 각각의 단부에는 각각 특정 가스를 흡수하여 반응할 수 있는 가스 감지막이 형성되어 있도록 구성함으로서, 캔틸레버에 특정가스 반응 감지막을 형성하고, 특정가스의 감지로 발생된 휘어짐의 변위 및 공진주파수의 변화로 특정 가스의 압력을 측정하여 반도체 제조공정을 정밀히 수행할 수 있는 효과가 있을 뿐만 아니라, 초소형으로 제작이 가능하여 손으로 들고 다니거나 로봇에 의해 이동 가능하여 화학전 및 대기 환경에서 유해 가스의 분압을 측정할 수 있는 효과가 있다.
Patent KR-100458229-B1 (KR)
Title: 피스코미트렐라 파텐스(Ｐｈｙｓｃｏｍｉｔｒｅｌｌａｐａｔｅｎｓ)의 엽록체 형질전환 벡터
IPC: C12N15/82
Filed: 2002-04-12
Granted: 2004-11-26
Abstract: 본 발명은 엽록체에 삽입됨으로써 이끼를 형질전환시키는 재조합 벡터에 관한 것으로 이끼 엽록체 게놈 유래의 trnⅠ , trnA 유전자와 담배 형질전환용 pCT-V2 벡터 유래의 prrn , aadA , psbA3' 유전자를 함유하는 재조합 벡터 pMAI-X를 제조함으로써 식물세포에서 외래단백질을 대량생산 할 수 있는 뛰어난 효과를 제공한다.
Patent KR-100458878-B1 (KR)
Title: Ｆｅｃ 코딩 방식에 기초한 가변길이 패킷 송수신 방법
IPC: H04N7/24
Filed: 2002-05-03
Granted: 2004-12-03
Abstract: 본 발명은 FEC 코딩 방식에 기초한 가변길이 패킷 송수신 방법에 관한 것으로, FEC 코딩 방식에 기초한 가변길이 패킷 송신 방법은 a) 송신될 입력 데이터 패킷이 존재하는 경우 데이터 패킷을 입력받는 단계; 및 b) 상기 입력되는 데이터 패킷을 특정 저장 폭을 갖는 2차원 저장 장치에 가상적으로 연결하여 배치하면서 FEC 코딩을 수행하여 대응되는 패리티 패킷을 산출하고, 상기 산출된 패리티 패킷을 상기 2차원 저장 장치에 배치하며, 상기 데이터 패킷과 상기 데이터 패킷의 상기 2차원 저장 장치 내에서의 위치인 오프셋, 상기 데이터 패킷의 종류, 및 상기 패리티 패킷을 송신하는 단계를 포함하고, FEC 코딩 방식에 기초한 가변길이 패킷 수신 방법은 a) 수신되는 확장 패킷이 존재하는 경우 확장 패킷을 수신하여 특정 저장 폭을 갖는 2차원 저장 장치에 가상적으로 연결하여 배치하는 단계; 및 b) FEC 디코딩을 수행하여 상기 수신된 확장 패킷으로부터 데이터 패킷을 복원한 후 상위 계층으로 전달하는 단계를 포함한다.  본 발명에 따르면, 가변길이 패킷 송수신시 손실 패킷을 매우 효율적으로 복원할 수 있으며, 송신측에서 발생하는 지연을 최소화할 수 있는 효과가 달성된다.  또한, 데이터 전송 중 손실된 패킷을 복원할 수 있으므로, 우수한 품질의 서비스를 가능하게 하며, 특히 인터넷 상에서의 비디오 서비스 등에 적용되는 경우 뛰어난 화질의 서비스를 제공할 수 있다.  특히 인터넷 환경에서 비디오 전송 시 많이 사용되는 RTP와 같이 사용하면 매우 효과적이다.
Patent KR-100462110-B1 (KR)
Title: 몰드내의 기포발생 방지장치
IPC: B29C33/10
Filed: 2002-05-14
Granted: 2004-12-17
Abstract: 본 발명은 몰드내의 기포발생 방지장치에 관한 것으로, 몰드 성형이 이루어지는 동안 몰드가 안착된 몰드 베이스판 저부에 진동에 의한 상하 방향의 힘이 부가되도록 함으로써 주입되는 액상재료의 미충진으로 인한 기포발생을 방지하여 성형 부품의 장착성을 향상시키고, 외관상의 결점 발생을 방지할 수 있도록 하는 장치로서, 그 구성은 본 발명의 몰드내의 기포발생 방지장치는 상판과 하판 및 상기 상판과 하판의 사이를 연결하는 다수의 지지보로 이루어져 장치의 전체 골격을 형성하는 프레임부와; 상기 프레임부 하판에서 상부로 일정 높이 이격된 위치에 놓이고, 상기 프레임부 상판과의 사이에 다수의 스프링이 개재되어 상부면에 안착되는 몰드의 상하 방향 운동을 유도하는 몰드 안착부와; 상기 몰드 안착부의 하부에 위치하여 몰드 안착부에 상,하 방향의 진동을 부가하는 진동 발생부로 된다.
Patent KR-100530153-B1 (KR)
Title: 광조사 장치
IPC: G01J1/00
Filed: 2002-05-17
Granted: 2005-11-21
Abstract: 복수의 봉상(棒狀) 램프를 내장한 광조사 장치에 있어서, 조사 영역을 소망의 방사조도 및 조도분포로 조사할 수 있도록 하는 것이다. 
     복수의 램프(L1, L2)로부터 광이 피조사면상에 설정된 조사 영역에 서로 중첩되어 조사되는 광조사 장치(1)에 있어서, 램프(L1, L2)의 개수에 대응하는 수만큼의 광 센서(S1, S2)를 준비하며, 각 광 센서(S1, S2)를 대응하는 램프(L1, L2)의 광만이 조사되도록 배치한다.  그리고, 광 센서(S1, S2)로부터의 신호를 제어부(도시하지 않음)에 입력하며, 각 램프(L1, L2)에 대응한 각각의 광 센서(S1, S2)로부터의 신호에 기초하여, 램프 전원으로부터 대응하는 램프에 공급하는 전력을 제어한다.
Patent KR-100536706-B1 (KR)
Title: 외장형단국을 이용한 가입자망
IPC: H04L12/28
Filed: 2002-06-03
Granted: 2005-12-14
Abstract: 본 발명은 외장형단국을 이용한 가입자망에 관한 것으로서, 가입자망으로 연결된 다수의 가입자 단말로 인터넷 접속 서비스를 제공하되, 인터넷망에 연결되어 전송할 신호에 포함된 수신처로 신호를 전송하는 라우터; 상기 라우터로부터 수신한 신호를 광케이블을 통해 외장형단국으로 전송하는 광장비; 및 상기 광장비로부터 수신한 신호를 광케이블을 통해 상기 다수의 가입자 단말로 전송하는 외장형단국을 포함하여 구축되고, 상기 외장형단국은, 상기 광장비로부터 수신한 신호를 분배하는 광분배기; 상기 광분배기로부터 분배된 신호를 동시에 상기 다수의 가입자 단말로 교환할 수 있도록 처리하는 스위칭 허브; 및 상기 스위칭 허브로부터 처리된 신호를 전송매체의 상호변환을 통해 상기 다수의 가입자 단말로 전송하는 미디어 컨버터를 포함한 것을 특징으로 한다. 
     본 발명에 따르면, 기간통신사업자의 광케이블 및 여러 광장비를 이용하지 않고 후발통신사업자가 자체 개발한 외장형단국장치를 이용하여 가입자 중심의 소형 셀 방식으로 접속점을 최소화하여 통신망을 구축함으로써 회선품질을 향상시키고 원가를 절감하여 경쟁력을 확보할 수 있다.
Patent KR-100567457-B1 (KR)
IPC: H04B1/38
Filed: 2002-06-18
Granted: 2006-04-04
Abstract: 본 발명은 블루투스 기술을 이용하는 핸즈프리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 블루투스 처리부를 구비한 헤드셋을 수용가능하며, 상기 헤드셋의 결합시 상기 휴대폰과 핸즈프리로 무선통화가능한 핸즈프리 본체 및 이를 포함하는 핸즈프리 장치에 관한 것으로, 이를 위해 블루투스 처리부를 구비한 휴대폰을 이용하는 핸즈프리 장치에 있어서, 블루투스 처리부가 구비되어 있으며 상기 휴대폰과 핸즈프리로 무선통화가능한 헤드셋, 그리고 상기 헤드셋을 수용가능하며, 상기 헤드셋의 결합시 상기 휴대폰과 핸즈프리로 무선통화가능한 핸즈프리 본체로 구성되는 것을 특징으로 하는 신규의 핸즈프리 장치 및 블루투스 처리부를 구비한 휴대폰과 무선통신이 가능한 블루투스 처리부를 구비한 헤드셋을 탈착가능하게 수용하는 핸즈프리 본체에 있어서, 상기 헤드셋 결합시 상기 헤드셋의 특정 기능소자를 작동정지시키기 위한 소자와 상기 핸즈프리 본체의 특정 기능소자가 작동가능하도록 상기 헤드셋과 연결하는 접점을 포함하는 헤드셋 수용부, 통화/종료를 제어하는 통화/종료 스위치, 스피커, 상기 스피커의 볼륨을 조절하기 위한 볼륨제어 스위치; 그리고 음성 입력을 위한 마이크로폰을 포함하는 신규의 핸즈프리 본체를 제공한다. 
       
     핸즈프리, 블루투스, 헤드셋, 핸즈프리 본체, 이어폰, 마이크로폰
Patent KR-100441824-B1 (KR)
Title: 형태안정성이 우수한 중공사의 제조방법 및 중공사 제조용방사구금
IPC: D01D5/24
Filed: 2002-06-24
Granted: 2004-07-27
Abstract: 본 발명은 폴리에스터 폴리머를 직접방사 연신 공법으로 중공단면 폴리에스터 연신사를 제조할 때, 장시간의 방사로 인한 중공부 파괴를 없이 함으로써 형태 안정성이 우수한 중공단면 연신사의 제조에 관한 것으로, 그 기술구성은 직접방사 연신 공정을 이용하여 폴리에스터 중공사를 제조함에 있어서, 폴리머 토출 부분인 슬릿부(SLIT)의 길이를 적정하게 조절하여 슬릿의 단위 면적당 토출 폴리머의 양을 일정 수준으로 제어함으로써 장시간 방사시 연신사의 중공부 파괴가 없도록 하는 폴리에스터 중공 단면사의 제조방법과 본 발명 중공사 제조에 사용되는 중공사용 방사구금에 관한 것이다.
Patent KR-100446965-B1 (KR)
Title: 전자식 통행 요금 징수 시스템
IPC: G08G1/00
Filed: 2002-07-09
Granted: 2004-09-01
Abstract: 본 발명은 전자식 통행 요금 징수 시스템에 관한 것으로, 종래에는 차선제어기의 계산 부하량이 많아 위반판정의 신뢰성이 저하되는 문제점이 있었다. 이와 같은 문제점을 감안한 본 발명은 제1겐트리에 위치하여 통과하는 차량의 종류를 검출하는 제1차종분류장치와; 상기 제1차종분류장치의 차종검출결과를 인가받아 전송하는 제1무선통신장치와; 상기 제1무선통신장치로 부터 차종검출결과를 인가받아 저장된 차종과 비교하여 위반 여부를 판정함과 아울러 요금을 정산하고, 요금의 정산이 불가능한 경우 위반으로 판정하여 그 판정결과를 전송하는 차량무선통신단말장치와; 제2겐트리에 위치하여 차량의 진출을 감지하는 제2차종분류장치와; 상기 제2겐트리에 위치하여 상기 차량무선통신단말장치에서 전송되는 위반판정 결과를 인가받아 위반인 경우 트리거 신호를 출력하는 제2무선통신장치와; 상기 트리거 신호에 따라 위반 차량을 촬영하는 촬영장치와; 상기 촬영된 위반 차량의 영상을 인가받아 영업소 서버로 전송하는 통신장치로 구성되어, 위반차량을 판단하기 위한 별도의 장치를 구비하지 않고, 차량에 탑재된 차량무선통신단말장치를 이용하여 차량의 위반여부를 판단할 수 있도록 구성함으로써, 시스템의 구성을 단순화하고, 비용을 절감하는 효과와 아울러 위반판정 계산을 분산시켜 위반판정시간을 단축하여 보다 신뢰성있는 시스템의 구축이 가능한 효과가 있다.
Patent KR-100486868-B1 (KR)
Title: 증폭기를 내장한 콘덴서 마이크로폰
IPC: H04R19/04
Filed: 2002-07-30
Granted: 2005-05-03
Abstract: 본 발명은 콘덴서 마이크로폰에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 증폭기를 내장한 콘덴서 마이크로폰에 관한 것이다. 
     이러한 본 발명의 마이크로폰은,  음향부와 상기 음향부의 신호를 입력받아 증폭하기 위한 회로부로 이루어진 콘덴서 마이크로폰에 있어서,  상기 회로부가   상기 음향부의 신호를 입력받아 증폭하는 증폭기와, 상기 증폭기의 후단에 연결되는 적어도 하나 이상의 다층 칩 커패시터로 구성된다. 또한, 상기 콘덴서 마이크로폰은,  증폭기의 출력단에 저항이 추가되거나 증폭기의 접지단에 저항이 추가되고, 상기 저항은 저항값이 대략 10Ω~100GΩ 정도인 것을 특징으로 한다.  그리고, 상기 다층 칩 커패시터는 용량값이 대략 1㎊~100㎋ 정도이다. 
     따라서, 본 발명에 따르면 콘덴서 마이크로폰에서 신호를 버퍼링하기 위한 회로소자로서 종래의 FET 대신에 빌트-인-게인 내장형 증폭기를 사용함으로써 마이크 감도가 크게 개선되어 응용 장치에 별도의 증폭기를 설치할 필요가 없고, 노이즈 특성이 향상되는 이점이 있다.
Patent KR-100481616-B1 (KR)
Title: 바이오 세라믹을 이용한 기능성 가축사료의 제조방법
IPC: A23K1/00
Filed: 2002-08-09
Granted: 2005-04-08
Abstract: 본 발명은 천연 광물질인 자옥산 맥반석과 자옥석 바이오를 이용하여 축산농가의 분 냄새를 제거하고 콜레스테롤 수치를 현저하게 낮추는 바이오 세라믹을 이용한 기능성 가축사료의 제조방법에 관한 것이다. 
     이러한 본 발명은 자옥산 맥반석을 분쇄하여 325메쉬 이하로 가공한 자옥산 맥반석 미분말 30 중량%와, 
     자옥석 바이오를 325메쉬 이하로 가공한 자옥석 바이오 미분말 50 중량%와,  
     패화석(폐분)을 8∼12mm의 크기로 가공한 20 중량%를 혼합하여 혼합물을 만들어 20kg단위로 포장하고, 포장된 20kg단위의 혼합물을 5ton의 일반 가축사료와 혼합하여 기능성 사료를 제조함으로써 계분의 악취제거, 내병성증가, 소화 흡수율의 개선으로 사료의 절약, 산란율 증가, 육질향상, 성장촉진 등에 탁월한 효과를 발휘하는 것이다.
Patent KR-100489067-B1 (KR)
Title: 브레이크 페달의 상해방지장치
IPC: B60T7/06
Filed: 2002-08-13
Granted: 2005-05-12
Abstract: 본 발명은 브레이크 페달의 상해방지장치에 관한 것으로, 차량의 충돌사고시 이를 감지하는 충돌감지센서(500)와, 이 충돌감지센서(500)로부터 감지된 충돌신호의해 충돌상황임을 판단하고 제어신호를 출력하는 제어부(400)와, 이 제어부(400)의 신호에 따라 제 1,2,3아암부(110,120,130)로 신축자재하게 구성된 하부페달아암(100)의 길이를 축소시키는 길이축소수단과, 그 길이축소수단의 작동이 완료된 후에 제어신호에 의해 하부페달아암(100)을 상방으로 회동시키는 회동수단으로 구성된다. 
     따라서, 충돌사고시 브레이크 페달의 길이를 축소시킴과 동시에 상방향으로 회동시킴으로써, 브레이크 페달이 운전자의 다리에 충돌하지 않도록 함으로써 운전자가 상해를 방지할 수 있게 된다.
Patent KR-100451034-B1 (KR)
Title: 반도체 소자 제조방법
IPC: H01L21/3065
Filed: 2002-08-27
Granted: 2004-10-02
Abstract: 반응기 외부에서 공정가스의 라디칼을 형성하고 이를 반응기에 도입하여 애싱(ashing) 공정 및 식각 공정을 진행함으로써 반도체 소자를 제조하는 방법에 관하여 개시하고 있다. 본 발명의 방법에서 가장 큰 특징은, 반응기의 외부에 마련된 라디칼 공급장치에 공정가스를 넣고, 주파수 400㎑ ∼ 2㎒로 공급되는 RF 파워를 가하여 상기 공정가스의 라디칼을 형성한다는 것이다. 본 발명에 따르면, 반도체 소자의 배선재료로 최근 사용이 늘어나고 있는 구리층과 그에 대한 저유전 절연막에 적용되는 공정 중에서 포토 레지스트 제거공정 및 폴리머 잔류물 제거공정에서 저유전 절연막의 유전율 상승을 유발하지 않고 공정을 수행할 수 있다. 따라서, 우수한 특성을 가진 반도체 소자를 제공할 수 있다. 또한, 일반적인 식각 공정에도 본 발명의 방법을 적용하면, 반도체 기판에 가하는 손상을 줄이면서 저가의 장비로 식각공정을 수행할 수 있다.
Patent KR-100878665-B1 (KR)
IPC: C04B18/04
Filed: 2002-08-30
Granted: 2009-01-13
Abstract: 본 발명은 폐콘크리트를 이용한 유해 폐기물 고화용 시멘트 제조방법에 관한 것으로, 
     폐콘크리트를 분쇄하고 600-900℃로 하소하는 단계, 및 하소된 폐콘크리트 미분말을 40-45중량%, 고로슬래그 미분말을 40-45중량%, 반수석고 및/또는 무수석고를 5-10중량% 그리고 포틀랜드 시멘트를 5-10중량%로 혼합하는 단계로 이루어짐을 특징으로 하는 폐콘크리트를 이용한 유해 폐기물 고화용 시멘트 제조방법 및 이로부터 제조된 시멘트가 제공된다. 
     본 발명에 의하면, 폐콘크리트를 제철 발생 부산물인 고로슬래그와 함께 사용하여 시멘트로 재생산하기때문에 경제적으로 시멘트를 제조할 수 있으며, 폐콘크리트로인한 환경오염을 방지할 수 있는 효과가 있다.  
     폐콘크리트, 고로슬래그, 시멘트, 하소, 폐기물
Patent KR-100795077-B1 (KR)
IPC: F27B17/00
Filed: 2002-09-11
Granted: 2008-01-24
Abstract: 본 발명은 전기가마 수분 송풍장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 전기가마의 상부와 측부에 형성된 삽입홀내로 알루미나 또는 뮬라이트 재질의 송풍구를 삽입되게 하므로 수분의 원활한 송풍이 이루어지게 되며 또한 내구성이 향상되게 되는 수분 송풍장치에 관한 것이다. 
     본 발명은 전기가마(10)의 몸체(20) 일측 하단부와 커버(40)상에 각각 복수의 삽입홀(24,24a,44,44a)이 형성되어지고 이 각각의 삽입홀(24,24a,44,44a)에 알루미나 재질의 송풍구(50)가 체결된 구성으로 되어진 것이다. 
     상기, 송풍구(50)는 삽입홀(24,24a,44,44a)에 삽입되어지게 송풍홀(51a)이 형성되어진 원통형의 몸통(51)과, 상기 몸통(51)을 커버(40)에 고정시키게 되는 고정부재(52)와, 상기 몸통(51)의 송풍홀(51a)을 개폐시킬 수 있는 마개(53)로 구성되어지되 상기, 몸통(51) 상·하에 숫나사산(51b)이 형성되어지고 고정부재(52) 내주연에 숫나사산(51b)과 맞물리게 암나사산(52a)이 형성되어진 것을 특징으로 한다. 
       
     전기가마, 몸체, 커버, 송풍구, 몸통, 고정부재, 마개
Patent KR-100856978-B1 (KR)
IPC: H01J11/36
Filed: 2002-09-19
Granted: 2008-09-04
Abstract: 본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널용 배면기판의 격벽 형성장치에 관한 것으로, 본 발명에서는 롤러의 직경을 격벽 형성대상 배면기판의 사이즈에 따라 조절함과 아울러, 롤러에 성형되는 패턴요부 및 패턴철부의 형상을 그 위치에 따라 변형하고, 이를 통해 롤러에 의해 가해지는 압력이 배면기판의 전 영역에 걸쳐 고르게 작용할 수 있도록 유도함으로써, 해당 배면기판 상에 최종 형성되는 격벽의 균일도를 향상시킬 수 있다. 
     또한, 본 발명에서는 롤러의 직경을 격벽 형성대상 배면기판의 사이즈에 따라 조절하여, 롤러가 단지 한번의 회전과정 만으로도 배면기판의 필요영역에 일련의 격벽들을 정상적으로 형성시킬 수 있도록 유도함으로써, 패턴요부와 격벽재료와의 잦은 접촉에 따른 불필요한 이물질 전이를 차단시킬 수 있다. 
     이와 함께, 본 발명에서는 롤러 자체에 성형되어 있던 패턴요부 및 패턴철부를 별도의 체인지 키트형(Change kit type) 스페어 평판(Spare plate)에 형성시키고, 이를 통해 제조대상 플라즈마 디스플레이 패널의 표시형식이 바뀌어 격벽의 구조를 새롭게 변경시켜야 하는 상황에서도, 롤러 전체를 전격 교체할 필요 없이, 단지 스페어 평판을 다른 스페어 평판으로 바꾸는 간단한 작업만으로 격벽의 구조변경 상황에 탄력적으로 대응할 수 있도록 유도할 수 있다.
Patent KR-100452380-B1 (KR)
Title: 동기 릴럭턴스 모터
IPC: H02K1/22
Filed: 2002-10-10
Granted: 2004-10-12
Abstract: 본 발명에 따른 동기 릴럭턴스 모터는 슬롯에 브리지가 최소의 폭을 갖도록 형성됨으로써 회전자에 회전축을 열박음할 때, 슬롯의 변형 및 회전자의 리브부위의 응력 집중을 최소화할 수 있기 때문에 상기 브리지로 인한 돌극비 감소율이 모터의 효율이 크게 영향을 미치지 않도록 함과 더불어 열변형을 방지할 수 있다.
Patent KR-100440263-B1 (KR)
Title: 반도체 소자의 트랜지스터 및 그 제조 방법
IPC: H01L21/8234
Filed: 2002-10-29
Granted: 2004-07-15
Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 트랜지스터 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 저전압 소자 영역에는 질화 산화막으로 게이트 산화막을 형성하고, 고전압 소자 영역에는 질화 산화막/산화막/질화 산화막의 적층 구조로 게이트 산화막을 형성함으로써, 게이트 산화막의 물리적인 두께는 증가하여도 유전 상수의 증가에 의한 전기적인 두께는 감소시킬 수 있으며, 누설 전류 및 게이트 산화막 또는 채널 영역으로의 불순물 확산 및 침투를 방지하고 누설 전류를 감소시켜 소자의 전기적 특성을 향상시킬 수 있는 반도체 소자의 트랜지스터 및 그 제조 방법이 개시된다.
Patent KR-100519423-B1 (KR)
Title: 유전체 세라믹 원료 분말의 제조방법 및 유전체 세라믹 원료 분말
IPC: H01G4/30
Filed: 2002-12-09
Granted: 2005-10-07
Abstract: 본 발명은 적층 세라믹 커패시터의 정전용량의 온도 안정성을 양호하게 하는데 유효한 코어쉘(core shell) 구조를, 유전체 세라믹층을 구성하는 소결체에 있어서 보다 확실하게 실현할 수 있는 유전체 세라믹 원료 분말의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.  
     본 발명의 구성에 따르면, 티탄산 바륨 등의 기본 조성물로 이루어지는 기본 조성물 분말의 표면층에, 이트륨 등의 제 1 첨가 성분을 우선 확산시키고, 그 후, 온도 특성의 조정에 효과가 있는 바륨, 마그네슘, 망간 및 규소 등의 제 2 첨가 성분을 첨가하여, 유전체 세라믹 원료 분말을 얻는다. 이 유전체 세라믹 원료 분말을 소성했을 때, 기본 조성물 분말의 표면층에 확산된 제 1 첨가 성분은 제 2 첨가 성분의 고용(固溶)을 억제하도록 작용하여, 얻어진 소결체의 개개의 입자에 있어서, 제 2 첨가 성분이 확산하고 있지 않은 코어부와 제 2 첨가 성분이 확산하고 있는 쉘부로 이루어지는 코어쉘 구조를 확실하게 실현할 수 있다.
Patent KR-100533023-B1 (KR)
Title: 이동통신 시스템의 도플러주파수 추정장치
IPC: H04B17/00
Filed: 2002-12-27
Granted: 2005-12-02
Abstract: 본 발명은 이동통신 시스템에서 파일롯 심벌의 신호대잡음비를 이용하여 도플러주파수를 정확하게 추정하는 것에 관한 것이며, 수신되는 파일롯 심벌 신호의 잡음신호를 차단하여 대역폭을 줄이는 프리필터와; 상기 프리필터의 신호를 입력하고 설정된 비율로 다운샘플링하여 출력하는 다운샘플러와; 상기 다운샘플러의 신호를 입력하여 도플러주파수를 추정하는 도플러주파수 추정기와; 상기 프리필터의 신호를 입력 처리하여 신호대잡음비를 추정하는 신호대잡음비 추정기와; 상기 도플러주파수 추정기로부터 인가되는 추정 도플러주파수 신호와 상기 신호대잡음비 추정기로부터 인가되는 신호대잡음비 신호를 각각 입력하고 소정 함수 처리하여 잡음에 의한 바이어스를 제거하는 바이어스제거부로 이루어지는 특징 등에 의하여, 휴대단말기의 이동속도를 정확하게 추정하고, 이동통신 시스템의 기능을 정확하게 제어하여 신뢰도를 제고하는 효과가 있다.
Patent KR-100832713-B1 (KR)
IPC: H01L21/205
Filed: 2002-12-30
Granted: 2008-05-28
Abstract: 본 발명은 페데스탈의 사용주기를 확장시키고 장비의 안정적인 운용이 가능토록 한 수직형 퍼니스의 페데스탈 보호장치에 관한 것으로서, 본 발명의 수직형 퍼니스의 페데스탈 보호장치는 웨이퍼 보트를 장착하여 수직형 퍼니스 내부로 장입시키며 상기 수직형 퍼니스 내부의 공정 가스의 영향 유무에 따라 상단부와 하단부로 정의되는 페데스탈에 있어서, 상기 페데스탈의 상부에 형성되어 있는 원판형의 상부 받침대에 안착되어 상기 페데스탈의 상단부 둘레를 감싸는 원통형의 제 1 보호재;와, 상기 페데스탈의 하부에 형성되어 있는 원판형의 하부 받침대에 일단이 지지되며 다른 일단은 상기 제 1 보호재를 안착 지지하는 원통형의 제 2 보호재를 포함하여 이루어지는 수직형 퍼니스의 페데스탈 보호장치에 관한 것이다. 
       
     페데스탈, 보호
Patent KR-100408605-B1 (KR)
Title: 반도체소자의 제조방법
IPC: H01L21/68
Filed: 2002-12-30
Granted: 2003-12-03
Abstract: 본 발명은 분리장치에 기판을 수납하고, 분리장치로부터 기판을 이송하는 경우에 기판이 낙하하는 것을 방지하는 데 있다.   기판유지부(22, 23)의 지지면은 수평으로 되고, 또한 분리될 적층접착기판(21)은 수평상태에서 기판유지부(22)에 장착된다(2A). 기판유지부(22,23)는 각각 회전축(26,27)의 주위에 각각 선회하고, 기판이 기판유지부(22, 23)에 의하여 샌드위치되도록 기판유지부(22,23)의 지지면은 수직으로 된다(2B). 기판유지부(22, 23)는 각각 회전축(24, 25)을 중심으로 회전하고, 동시에, 고압, 고속의 물이 분사노즐(28)로부터 분사되어 적층접착기판(21)을 두 개의 기판(21a, 21c)으로 분리한다. 기판유지부(22, 23)는 각각 회전축(26, 27)을 중심으로 선회하여 지지면을 수평으로 한다(2C). 상기 구성에 의하여, 기판은 낮은 측으로부터 지지되어 수평상태로 이송될 수 있다.
Patent KR-100795253-B1 (KR)
IPC: G02F1/1335
Filed: 2000-07-27
Granted: 2008-01-15
Abstract: 이미지 영상 시스템은 시스템에서 편광자와 분석자의 역할을 같이 하는 와이어 그리드 편광 광선 분할기(40)를 갖는다. 광원(20)은 하나의 편광을 반사하고 나머지를 투과하는 광선 분할기(14)로 향하는 광선을 발생시킨다. 액정 어레이(26)는 반사 혹은 투과광선 중 하나에 배열된다. 어레이는 광선의 편광을 변조하고, 그 위의 이미지 정보를 인코딩하며 변조된 광선을 광선 분할기로 되돌린다. 광선 분할기는 인코딩된 이미지가 스크린(25)에 투과 혹은 반사되도록 또다시 하나의 편광을 반사하고 나머지를 투과한다. 와이어 그리드 편광 광선 분할기는 광선 광원 및 변조광선에 대해 여러 가지의 각도로 향할 수 있고, 상대적으로 발산광을 수용한다.
Patent KR-100689176-B1 (KR)
IPC: H04L1/00
Filed: 2000-07-28
Granted: 2007-03-08
Abstract: 유닛이 상이한 변조 체계를 사용하여 데이터를 생성할 수 있도록 수신 유닛에 다운링크 타임 슬롯을 할당하는 방법이 제공된다.  상기 방법은 바람직하게는 유닛에 의해 사용되는 변조 체계의 복잡도의 함수로서 다운링크 타임 슬롯을 할당한다.  또한, 상기 방법은 바람직하게 가장 덜 복잡한 변조 체계에서 최대 복잡한 체계의 타임 슬롯을 할당한다.  상기 방법은 또한 전송 유닛이 상이한 변조 체계를 사용하여 데이터를 생성할 수 있도록 전송 유닛에 업링크 타임 슬롯을 할당한다.  상기 방법은 바람직하게는 업링크 유닛에 의해 이용되는 변조 체계의 복잡도의 함수로서 업링크 타임 슬롯을 할당한다.  또한, 상기 방법은 바람직하게는 가장 덜 복잡한 변조 체계에서 최대 복잡한 체계로 업링크 타임 슬롯을 할당한다.  다른 실시예에서, 다운링크 타임 슬롯은 수신 유닛에 의해 이용되는 기호당 비트 레이트에 따라 할당되며, 바람직하게는 최저 기호당 비트 레이트에서 최고 기호당 비트 레이트로 할당한다.  또한, 업링크 타임 슬롯은 전송 유닛에 의해 이용되는 기호당 비트 레이트의 함수로서 할당되며, 바람직하게는 최저 기호당 비트 레이트에서 최고 기호당 비트 레이트로 할당된다.  본 발명은 또한 프레임 내의 소정 데이터의 비트의 인코딩을 단순화하는 방법을 제공한다.  상기 방법은 프레임의 길이 곱하기 프레임의 보드 레이트 곱하기 데이터의 비트 패킹의 비를 데이터의 총비트로 나는 비가 항상 정수이도록 오류 코딩 비트를 부가한다.  상기 방법은 또한 상기 방정식이 항상 정수이도록 데이터의 비트를 컨벌루션하게 인코딩할 수 있다.  본 발명은 또한 필터가 가변 변조 레이트를 갖는 기호를 처리하도록 FIR 필터의 가중치를 업데이트하는 방법을 제공한다.  입력 기호의 변조 레이트가 변할 때, 새로운 변조 레이트를 갖는 제1 기호에 상응하는 가중치는 필터를 통하여 기호가 전달됨에 기초하여 변하게 된다.   
       
     적응형 변조, 변조 체계, 프레임 구조, 복잡도
Patent KR-100504641-B1 (KR)
Title: 화상 부호화 장치 및 화상 부호화 방법
IPC: G06T9/00
Filed: 2000-06-28
Granted: 2005-08-01
Abstract: 입력 화상 제어기(1)는, 전처리로서 동화상 신호의 프레임 레이트를 저감하여, 스킵한 프레임이나 필드를 나타내는 처리 정보를 화상 부호화기(2)에 공급하고, 화상 부호화기(2)는 MPEG2 방식으로 프레임 레이트를 저감한 동화상 신호를 부호화하여, 그 처리 정보에 기초하여 오버헤드 정보를 포함하는 MPEG2 방식에 적합한 부호화 후의 데이터를 출력한다.
Patent KR-100726235-B1 (KR)
Title: Rigid carton of cigarettes partially openable for display
IPC: B65D5/52
Filed: 2000-10-13
Granted: 2007-06-08
Abstract: A rigid parallelepiped-shaped carton (1) for packets (3) of cigarettes is disclosed. The carton has a cup-shaped bottom container (8) and a substantially cup-shaped top lid (9) connected to the bottom container (8) along at least one preweakened tear line (10) running along two parallel, facing vertical lateral walls (11, 12), and along a vertical front wall (13), so as to divide each vertical wall (11, 12, 13) into a respective bottom portion (11a, 12a, 13a) forming part of the container (8), and a respective remaining top portion (11b, 12b, 13b) forming part of the lid (9); each packet (3) of cigarettes being housed inside the carton (1) with a major lateral wall (5) of the packet parallel to the front wall (13); and the preweakened tear line (10) being located at a first height (H1) along the vertical lateral walls (11, 12) and dropping to a second height (H2), lower than the first height (H1), along the vertical front wall (13).
Patent KR-100480318-B1 (KR)
Title: 적층 성형체 및 그 제조방법
IPC: B32B27/08
Filed: 2000-11-21
Granted: 2005-04-07
Abstract: 적층 성형체는 연질층(2), 제1의 연질 플라스틱층(3) 및 제2의 경질 플라스틱층(4)를 가지고 있다.  연질층(2)는 2개의 면을 지니고, 연질층의 한 쪽 면에는 제2의 경질 플라스틱층(3)이 접착되며, 연질층의 다른 쪽 면에는 제2의 경질 플라스틱층(4)이 박리가능하게 붙여져 있다.
Patent KR-100791193-B1 (KR)
IPC: C08K5/09
Filed: 2001-11-01
Granted: 2008-01-02
Abstract: 본 발명은, 첨가제의 논더스트, 원팩화에 대응한 강도 및 기능을 갖는 폴리올레핀의 가공성 개선을 위한 과립상 복합첨가제를 제공하는 것으로, 방향족 모노카르복실산의 알칼리금속염 또는 히드록시알루미늄염 또는 산성방향족 인산에스테르화합물의 알칼리금속염 또는 히드록시알루미늄염으로 된 결정핵제 10질량부, 페놀계 항산화제 1~50질량부, 폴리프로필렌 5~50질량부 및 수의성분으로서 1종류 이상의 다른 첨가제성분 0~500질량부를 함유하여 된 폴리올레핀의 가공성 개선을 위한 과립상 복합첨가제이다. 
       
     폴리올레핀, 과립상 복합첨가제, 항산화제, 결정핵제
Patent KR-100870304-B1 (KR)
IPC: F04B45/047
Filed: 2002-02-21
Granted: 2008-11-25
Abstract: 상대하는 두 개의 다이어프램(8, 9)과, 각 다이어프램(8, 9)의 면상에 부착한 보이스 코일(6, 7)과, 폴 피스(3, 4)와 일체의 마그넷(2)과, 폴 피스(3, 4)와 상대하는 요크(5)와, 다이어프램(8, 9)의 상대 간격을 기밀하게 유지하는 하우징(1)을 구비하고, 다이어프램(8, 9)의 상대 간격에 통과하는 공기의 취입구(16) 및 공기의 취출구(17)를 설치하고, 공기의 취입구(16)에 맞추어 개폐 밸브(18)를 내측에 장착하여, 공기의 취출구(17)에 맞추어 개폐 밸브(19)를 외측에 장착하여, 두 개의 계속적으로 반복하여 진폭 운동하는 다이어프램(8, 9)에 의한 공기 펌프로 구성한다.
Patent KR-100619285-B1 (KR)
IPC: H04W4/02
Filed: 2001-04-10
Granted: 2006-08-31
Abstract: 긴급 통화가 IP 기반 패킷 교환 무선 통신 네트워크에서 지원되고 공공 안전 응답 지점(PSAP: Public Safety Answering Point)으로 라우팅된다. PDP 콘텍스트 활성화 요청은 사용자 장치로부터 상기 네트워크로 송신된다. 상기 PDP 콘텍스트 활성화 요청내의 매개 변수는 상기 PDP 콘텍스트가 긴급 통화를 전송하는데 사용될 것임을 나타낸다. PDP 콘텍스트 활성화 수락 메시지는 지원 노드로부터 상기 사용자 장치로 반환된다. 상기 PDP 콘텍스트 활성화 수락 메시지는 상기 PDP 콘텍스트 활성화 요청 메시지에 대해 긍정응답하고 통화 상태 제어 기능의 어드레스를 제공한다. 상기 통화 상태 제어 기능으로 전송된 통화 설정 요청은 서비스 지역 ID(SAI: Service Area Identity)를 포함한다. 상기 통화 상태 제어 기능은 적어도 부분적으로 상기 통화 설정 요청에 포함된 SAI에 기초하여 PSAP를 선택하고 상기 긴급 통화를 상기 선택된 PSAP로 전송한다. 
       
     위치, 기반, 전화, 서비스, 이동, IP, 네트워크, 통신, 긴급
Patent KR-100500805-B1 (KR)
Title: Halo-free non-rectifying contact on chip with halo source/drain diffusion
IPC: H01L27/085
Filed: 2001-05-23
Granted: 2005-07-12
Abstract: A semiconductor chip includes a semiconductor substrate having a rectifying contact diffusion and a non-rectifying contact diffusion. A halo diffusion is adjacent the rectifying contact diffusion and no halo diffusion is adjacent the non-rectifying contact diffusion. The rectifying contact diffusion can be a source/drain diffusion of an FET to improve resistance to punch-through. The non-rectifying contact diffusion may be an FET body contact, a lateral diode contact, or a resistor or capacitor contact. Avoiding a halo for non-rectifying contacts reduces series resistance and improves device characteristics. In another embodiment on a chip having devices with halos adjacent diffusions, no halo diffusion is adjacent a rectifying contact diffusion of a lateral diode, significantly improving ideality of the diode and increasing breakdown voltage.
Patent KR-100785212-B1 (KR)
IPC: C08J5/00
Filed: 2001-06-05
Granted: 2007-12-11
Abstract: 폴리아세탈 및 비교적 다량의 폴리우레탄으로부터 제조한 폴리아세탈 마스터배치 성분을 폴리아세탈 희석 성분과 혼합하여 열가소성 폴리우레탄의 함량이 블렌드 조성물의 총중량의 약 1 내지 약 15 중량인 블렌드 조성물을 제조함으로써 제공되는 강화 폴리아세탈 수지 조성물 및 그의 제조 방법이 개시되어 있다. 
     강화 폴리아세탈 수지, 폴리아세탈, 폴리우레탄, 사출 성형
Patent KR-100752539-B1 (KR)
Title: Mobile communications device and method for connecting to an internet site
IPC: H04L12/56
Filed: 2001-06-28
Granted: 2007-08-29
Abstract: A method of connecting a mobile communications device 2,4,6 to an internet site, wherein a call from the mobile communications device 2,4,6 to the internet site is routed automatically via a local service provider. Hence, as the mobile communications device 2,4,6 roams from country to country, the call to the internet site is routed automatically via the service provider situated in the country in which the mobile communications device is currently located. This results in only a local call being required, since the local service provider provides access to its internet gateway. This avoids the need for an international call back to the user's home internet service provider.
Patent KR-100501529-B1 (KR)
Title: 휴대폰용 키패드 및 이의 제조 방법
IPC: H01H13/70
Filed: 2003-01-03
Granted: 2005-07-25
Abstract: 본 발명은 발광 시트를 포함하는 휴대폰용 키패드 및 이의 제조 방법에 관한 것이다. 상기 휴대폰용 키패드는, 표면에 인식 부호가 인쇄된 인쇄면을 갖는 발광 시트와, 상기 발광 시트의 양면에 도포된 액상 실리콘 및 상기 발광 시트의 인쇄면이 위치하는 액상 실리콘 상에 접착된 사출키를 포함한다. 상기 휴대폰용 키패드의 제조 방법은, 아이티오 처리된 발광 시트를 마련하는 단계와, 상기 발광 시트의 일면에 인식 부호를 인쇄하는 단계와, 상기 인식 부호가 인쇄된 발광 시트를 1차 커팅 처리하여 클릭감을 개선시키는 단계와, 상기 1차 커팅 처리한 발광 시트의 양면에 액상 실리콘을 도포하는 단계와, 상기 액상 실리콘을 성형하는 단계와, 상기 성형된 액상 실리콘을 갖는 발광 시트를 2차 커팅 처리하여 외곽 형태를 성형하는 단계와, 상기 발광 시트의 인쇄면이 위치하는 액상 실리콘 상에 사출키를 접착시키는 단계를 포함한다. 따라서, 상기 휴대폰용 키패드는 최근의 보다 얇은 구조를 요구하는 휴대폰에 적극적으로 적용할 수 있다.
Patent KR-100547440-B1 (KR)
Title: 기판 이송용 축을 구비하는 기판 처리 장치
IPC: G02F1/133
Filed: 2003-01-27
Granted: 2006-01-31
Abstract: 구동축의 처짐을 방지하여, 기판 처리 장치의 공정 균일도를 향상시킬 수 있는 기판 이송용 축을 구비하는 기판 처리 장치를 개시된다. 개시된 본 발명의 기판 처리 장치는 기판에 소정의 공정이 진행되는 작업 공간, 상기 작업 공간내에 설치되며, 상기 기판을 지지 및 운송하는 다수의 구동 축, 상기 구동축을 회전시키기 위하여 각각의 구동축에 일정 등간격으로 배치되는 구동 로울러를 포함하며, 상기 구동축 하단의 적어도 한 곳에 처짐 방지 수단이 설치된다. 이때, 처짐 방지 수단으로는 유체 분사구 또는 구동축 지지 로울러를 포함하는 지지대가 이용될 수 있다. 
       
     구동 축, 처짐, 유체 분사구, 로울러
Patent KR-100896896-B1 (KR)
IPC: F28F9/00
Filed: 2003-02-03
Granted: 2009-05-14
Abstract: 본 발명은 자동차 공조장치용 라디에이터의 헤더탱크와 서포트 결합구조에 관한 것으로, 그 기술적 구성은, 몸체의 좌·우 양측에 고정편이 구비된 헤더와 컵형상의 탱크로 이루어지는 한 쌍의 헤더탱크와; 상기 한 쌍의 헤더탱크에 양단부가 고정되고 내부에 냉매 유동경로를 형성하는 다수의 튜브와; 상기 튜브들 사이에 구비되는 주름진 방열핀과; 상기 한 쌍의 헤더탱크와 양단부가 연결되는 서포트를 포함하는 라디에이터에 있어서, 상기 서포트는, 폭방향 양단부가 상향 절곡 형성된 서포트 바디와, 상기 서포트 바디의 길이방향 양단부에 형성되어 상기 헤더의 고정편에 결합되는 지지편과, 상기 서포트 바디의 길이방향 양단부에서 폭방향으로 펼쳐져 상기 서포트 바디와 상기 지지편을 연결하는 지지턱을 포함하는 것을 특징으로 한다.  
     본 발명에 의한 자동차 공조장치용 라디에이터의 헤더탱크와 서포트 결합구조에 의하면, 한 쌍을 이루는 헤더탱크에 양단부가 고정되는 서포트 몸체의 양측부에 폭방향으로 펼쳐져 연장 형성된 지지턱과 지지편을 구비하여 헤더탱크와의 브레이징 접합 효과를 극대화할 수 있고, 기울어진 서포트를 교정하는 작업을 생략함으써 생산성을 향상시키고, 교정작업시 발생할 수 있는 라디에이터의 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다. 
       
     라디에이터, 헤더탱크, 헤더, 서포트, 지지편, 지지턱
Patent KR-101051573-B1 (KR)
Title: 유기 ｅｌ 표시 장치 및 그 제어 방법
IPC: H01L51/50
Filed: 2003-02-04
Granted: 2011-07-22
Abstract: 발광 화소가 제공됨에 따라서 매트릭스로 배치된 유기 EL 소자를 갖는 유기 EL 디스플레이는, 각 발광 화소를 구동하기 위한 각각의 오리지널 소스 신호의 합 신호 레벨을 검출하기 위한 합 데이터 검출 유닛, 및 1 필드(1 프레임)에 EOMDD하는 힙 신호 레벨(디지털로, 합 데이터)에 따라서 각각의 발광 화소의 발광 주기를 제어하는 패널 제어 유닛으로 구성된다.  1 필드의 합 데이터를 발광주기로 변환하기 위한 내장형 룩업 테이블(built-in lookup table)을 갖는 패널 제어 유닛은, 룩업 테이블을 참조함으로써 1 필드에 대응하는 합 데이터에 응답하는 각각의 유기 EL 소자들의 발광 주기를 결정한다.  그로 인해, 콘트라스트를 개선하고 전력 소비를 줄이기 위한 모순되는 조건들은 유기 EL 소자들의 특성에 의존하지 않고 동시에 만족될 수 있다. 
     
     유기 EL 패널, RGB 매트릭스 회로, 해상도 변환 회로, 패널 제어 회로, 신호 합성 회로
Patent KR-100485388-B1 (KR)
Title: 트렌치 형성 방법 및 이를 이용한 반도체 장치의 제조 방법
IPC: H01L21/334
Filed: 2003-02-28
Granted: 2005-04-27
Abstract: 원하는 치수의 트렌치를 용이하게 형성할 수 있는 트렌치 형성 방법 및 이를 이용한 반도체 장치의 제조 방법이 개시된다. 기판 상에 절연막을 형성하고, 절연막 상에 포토레지스트 패턴을 형성한 후, 포토레지스트 패턴을 마스크로 이용하는 제1 식각 공정을 통해 절연막에 제1 치수를 가지는 트렌치를 형성하고, 트렌치를 포함하는 절연막을 제2 식각 공정을 통해 식각하여 제2 치수를 갖는 확장된 트렌치를 형성한다. 제1 식각 공정을 통하여 마스크인 포토레지스트 패턴의 구조적인 안정성을 유지하면서 제1 치수를 가지는 트렌치를 형성한 다음, 반도체 기판 또는 절연막의 종류에 따라 상이한 조성을 가지는 식각 용액을 사용하는 제2 식각 공정을 통하여 트렌치의 치수를 확장시킬 수 있다. 따라서, 확장된 구조를 가지는 트렌치 내에 요구되는 사이즈의 금속 배선이나 소자 분리막 또는 콘택 등을 정확하게 형성할 수 있다.