baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent CH-598065-A5 (CH)
Title: Pallet like goods container support
Inventor: LABORDE MICHEL
IPC: B65D71/04
Filed: 1975-10-23
Abstract: Pallet like goods container support uses reinforced corner sections, with support feet for fork:lift truck access
Patent CH-599732-A5 (CH)
Title: Multiple frequency telecommunication signalling equipment
Inventor: GOELDI MAX
IPC: H04Q1/453
Filed: 1975-10-24
Abstract: Multiple frequency telecommunication signalling equipment has line filter changed over simultaneously with transmit  and receive frequency band pass filters
Patent CH-612042-A5 (CH)
Title: Electrical safety socket
Inventor: MUNZ EMILE
IPC: H01R13/703
Filed: 1976-12-20
Abstract: The electrical safety socket comprises a relay which establishes, by means of a sliding bridge (17), an electrical connection between the socket contacts (11, 12) intended to receive the pins (14) of the male plugs and the current supplies only at the moment when the said pins are simultaneously, symmetrically and completely pushed into the corresponding socket contacts. Locking means axially lock the bridge (17) in its rest position when it is subjected to unsymmetrical actions resulting from the insertion of a single pin into a socket contact or of foreign bodies into one or more socket contacts. This electrical safety socket may replace existing sockets or be fitted to them. <IMAGE>
Patent FR-2036127-A5 (FR)
Title: Heat - treating low-carbon steel wire
IPC: C21D8/06
Filed: 1969-03-05
Granted: 1970-12-24
Abstract: Wire contains 0.15% C and is treated at rolling heat, after having been subjected to controlled cooling after rolling. The wire is kept at a const. temp of 200-400 degrees C so that the interstitial atoms, which are supersaturated are to the controlled cooling assemble on other than dislocation sites so that the dislocations are not anchored and the loss of drawability due to the cooling is obviated. The wire is then wiredrawn without later heat-treatment to a very fine final dia. to prevent the thin non-adherent film of wustite formed during controlled cooling on the wire surface being decomposed into an adherent layer of higher oxide, which is difficult to eliminate after wiredrawing.
Patent FR-2071209-A5 (FR)
Title: Lead/tin castings with brilliance - improved by aluminium additions
IPC: B22D25/04
Filed: 1969-12-22
Granted: 1971-09-17
Abstract: Addition of 0.5 to 1.5% of an aluminium alloy to Pb/Sn castings improves the surface brilliance. The aluminium alloy may be Al/Mg or Al/Cu with or without Mg and with or without traces of Ni, Ti, or Si. Reductions in polishing costs are obtained. The additions have little effect on melting points and improve mechanical properties.
Patent FR-2071405-A5 (FR)
Title: Plastics container - for beauty creams with polypropylene interior - and polystyrene exterior
IPC: A45D40/00
Filed: 1969-12-29
Granted: 1971-09-17
Abstract: Container for beauty creams comprises an inner pot, pref. of polypropylene, and an outer envelope, pref. of polystyrene, which cannot be welded or glued to the pot. The pot is fixed to the envelope using a pref. polystyrene ring, which is forced over a skirt formed from material of the pot. The ring is glued or welded to the bottom of the outer receptacle.
Patent FR-2051066-A5 (FR)
Title: Infra red radiation device
IPC: F23D14/58
Filed: 1970-06-11
Granted: 1971-04-02
Abstract: IR radiation device operated by burning a gas-air mixture at the surface of a burner with a large number of holes which has a front face comprising a series of bars of material with thermal conductivity 0.1 Kcal/mh degrees C interspersed with and mechanically supported by a series of wavy metal bars, resistant to both the flame temp. and corrosion. The low thermal conductivity material is pref. a matte of fibrous ceramic coated with an IR emitter specif. Cr2O3.
Patent FR-2098692-A5 (FR)
Title: Urea-aldehyde resin adhesives
IPC: C08L91/08
Filed: 1970-07-24
Granted: 1972-03-10
Abstract: A process of bonding together water-penetrable cellulosic substrate with a urea-aldehyde resin adhesive soln. comprises replacing about 1% -35% by wt. of the urea-aldehyde resin solids in the adhesive by a water-dispersible salt of the gp. consisting of alkali halides, alkaline earth halides, of mixtures thereof.
Patent FR-2128990-A5 (FR)
Title: Detergent soap - from marine algae reacted with sodium peroxide for derusting cleaning and disinfecting
IPC: A61Q17/00
Filed: 1971-03-10
Granted: 1972-10-27
Abstract: Detergent soap is prepd. by mixing marine algae flour from the laminar family with Na peroxide to produce Na peralginate without fats, having Mg salts soluble in sea water. Additives are Na borate (antiseptic) Na silicate (bleach) Na 15-16 C aryl/alkyl, sulphonate (dispersant) quat ammonium cpd. cetylpyramidon (fungicide) and 20-80 % bentonite as thixotrope.
Patent FR-2126757-A5 (FR)
Title: Liquid treatment of textile webs - by passage on waterproof conveyor beneath liquid applicator
IPC: D06B21/00
Filed: 1972-02-07
Granted: 1972-10-06
Abstract: The web passes on a water-proof endless belt conveyor (pref. of rubber) beneath a pref. cylindrical metal mesh screen in the interior of which are located a suction chamber and liquid treatment chamber. The web passes firstly under a pref. elongate vent of the suction chamber and then under the outlet of the treatment chamber so that treatment fluid passes through the screen and impregnates the web. Excess liquid is sucked through the vent into the suction chamber from where it may be recirculated back to the liquid treatment chamber. The appts. is used for dyeing, bleaching, finishing etc. A complete and uniform impregnation is achieved using less treatment fluid and in reduced processing periods.
Patent FR-2159050-A5 (FR)
Title: Urea particles prodn - in a fluidized bed utilizing heat of crystallization to evaporate water
IPC: C07C239/00
Filed: 1972-10-27
Granted: 1973-06-15
Abstract: Urea particles are produced by continuously dispersing a finely divided concentrated urea soln in a fluidized bed of urea nuclei substantially having a size of is not 150 micron and immediately introducing into the bed a stream of medium, the gas introduced into the bed, the temp of the urea soln and amount of urea soln are so chosen that the temp of the bed remains 132 degrees C (advantageously 60-100 degrees C) and the amount of water introduced with the urea soln. evaporates (with removal of a gas having a relative humidity of 20%) to form urea particles which are continuously separated off, and the quantity of urea nuclei in the bed is held constant by the introduction of fresh urea nuclei. An apparatus for carrying out the above process, in which the urea nuclei are produced by comminution of recycled urea particles, is claimed. The new process utilizes the heat of crystallization of the urea to evaporate the water from the urea soln. High temps. are avoided, thus minimizing the formation of biuret.
Patent DD-141669-A5 (DD)
Title: Glasformmaschine mit einem detektor
Inventor: PETERS HOMER D F
IPC: C03B7/00
Filed: 1979-02-23
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Glasformmaschine mit einem Detektor
für den Nachweis von Tropfen schmelzflüssigen Glases beim Eintritt
in die Form der Glasformmaschine. Ziel der Erfindung ist es, den
Wirkungsgrad einer Glasformmaschine durch eine zuverlässige
Steuerung des Formzyklus zu erhöhen. Der Erfindung liegt die Aufgabe
zugrunde, für eine Glasformmaschine einen Detektor anzugeben, der
eine Überwachung des Formzyklus ermöglicht. Erfindungsgemäß ist der
Detektor einer Form der Glasformmaschine zugeordnet und besteht aus
einem Fototransistorsensor und einer Schaltungsanordnung für die
Erzeugung eines Signals. Es können mehrere Detektoren kombiniert
werden und somit den Beginn des Formprozesses in den einzelnen Formen
überwachen. Das erzeugte Detektor-Signal wird zur Steuerung der
Glasformmaschine verwendet.
Patent DD-148190-A5 (DD)
Title: Aufgaberost
Inventor: MITTER ERNST
IPC: B07B1/50
Filed: 1979-12-21
Abstract: Die Erfindung betrifft einen Aufgaberost fuer die Sondierung von Haufwerk mit unterschiedlicher Stueckgroesze. Ziel der Erfindung ist es, die Entfernung von im Rost verklemmten Stuecken zu erleichtern und ohne Beschaedigung durchzufuehren. Die Aufgabe der Erfindung, einen Aufgaberost zu schaffen, der entsprechend der jeweiligen Groesze der Stuecke veraendert werden kann, wird dadurch geloest, dasz der Rost um eine senkrecht zu den Roststaeben im tiefer liegenden Bereich des Rostes liegende Achse hochschwenkbar gelagert ist und die Roststaebe in der hochgeschwenkten Lage des Rostes seitlich bewegbar sind.
Patent DD-209587-A5 (DD)
Title: Sicherheitsabschaltvorrichtung fuer eine zahnradschleifmaschine
Inventor: MISCHLER EDUARD
IPC: B23F19/00
Filed: 1983-03-28
Abstract: DIE SICHERHEITSABSCHALTVORRICHTUNG ENTHAELT EIN ABSCHALTSTEUERSYSTEM (12) UND EIN ABSCHALTVENTILSYSTEM (V2, V3, 11), DIE MIT DEM IN DER ZAHNRADSCHLEIFMASCHINE ZUM TOPOLOGISCHEN FLANKENKORREKTURSCHLEIFEN OHNEHIN VORHANDENEN LAGEREGELKREIS (6) BZW. DEM STELLZYLINDER (9) SO VERBUNDEN WERDEN, DASS BEI EINEM STROM- UND/ODER DRUCKAUSFALL- ODER -ABFALL ODER JEDER ANDEREN STOERUNG ODER FEHLFUNKTION DIE SCHLEIFSCHEIBE (1) VON DER ZAHNRADFLANKE (2), DIE GERADE GESCHLIFFEN WIRD, ABGEHOBEN WIRD, INDEM EINE SEITE DES STELLZYLINDERS (9) MIT EINER RUECKFLUSSVERBINDUNG (RV) VERBUNDEN UND DER SCHLEIFSCHEIBENTRAEGER (3) DURCH EINEN KRAFTSPEICHER (13 ODER 14) GEGEN EINEN FESTEN ANSCHLAG (K) VERFAHREN WIRD.
Patent DD-251132-A5 (DD)
Title: Verfahren zu herstellung von aminoniederalkyl-penem-verbindungen
Inventor: LANG MARC
IPC: A61P31/04
Filed: 1984-05-03
Abstract: 2-Aminoniederalkyl-2-penem-Verbindungen der Formel (I), worin R1 durch Hydroxy oder geschuetztes Hydroxy substituiertes Niederalkyl ist, R2 Carboxyl oder geschuetztes Carboxyl R 2 darstellt, R3 Amino, durch Niederalkyl substituiertes Amino, substituiertes Methylenamino oder geschuetztes Amino bedeutet und A durch Niederalkyl substituiertes geradkettiges Niederalkylen ist, mit der Massgabe, dass R1 von 1-Hydroxyaethyl oder geschuetztem 1-Hydroxyaethyl verschieden ist, wenn A durch zwei Methylgruppen geminal substituiertes geradkettiges Niederalkylen ist, R2 obige Bedeutung hat und R3 Amino oder geschuetztes Amino darstellt, Salze von solchen Verbindungen der Formel I, die eine salzbildende Gruppe aufweisen, optische Isomere von Verbindungen der Formel I und Mischungen dieser optischen Isomere besitzen antibiotische Eigenschaften. Die neuen Verbindungen koennen z. B. in Form von antibiotisch wirksamen Praeparaten zur Behandlung von Infektionskrankheiten verwendet werden. Die neuen Verbindungen koennen in an sich bekannter Weise hergestellt werden. Formel (I)
Patent DD-290905-A5 (DD)
Title: Stabilisatoren fuer hochpolymere, niedermolekulare organische verbindungen und oele
Inventor: GOERMAR GERHARD
IPC: C08G8/28
Filed: 1985-07-01
Abstract: Stabilisatoren fuer Hochpolymere, niedermolekulare organische Verbindungen und OEle gegen den Abbau durch Oxidation und Waerme. Es wird die Bestaendigkeit von organischen Materialien bei ihrer Herstellung und Verwendung erhoeht. Dabei ist das Ziel, Stabilisatoren mit hoher Wirksamkeit, hoher Waermestabilitaet und geringer Verfaerbbarkeit einzusetzen. Erfindungsgemaesz verwendet werden Stabilisatoren aus der Verbindungsgruppe "cyclischer Mehrkernmethylenphenolverbindungen" Calix-n-arene der allgemeinen Formel, die den Substraten waehrend der Verarbeitung oder waehrend der Herstellung von Formstoffen zugesetzt werden. Die Stabilisatoren werden in einer Konzentration von 0,01 bis 1 * eingesetzt und eignen sich insbesondere zur Stabilisierung von Polyolefinen und Olefincopolymeren, ABS, Polyamide, Polyester und fluessigen Kohlenwasserstoffen. Formel
Patent DD-252412-A5 (DD)
Title: Verfahren und vorrichtung zum steuern der bewegung einer allseitig schwenkbaren schraemarmes einer teilschnittschraemmaschine
Inventor: SCHELLENBERG EDUARD
IPC: E21D9/10
Filed: 1986-11-03
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren und Vorrichtung zum Steuern der Bewegung eines allseitig schwenkbaren Schraemarmes einer Teilschnittschraemmaschine. Das Verfahren ist so ausgebildet, dass die fuer die Beaufschlagung eines der bei den als Zylinderkolbenaggregate ausgebildeten Antriebe des Schraemarmes verstrichene Zeit und/oder das dem jeweiligen Antrieb zugefuehrte Druckmittelvolumen gemessen wird und in Abhaengigkeit von der gewuenschten Spanvorgabe nach Erreichen der fuer die Spanvorgabe erforderliche Zeit der Beaufschlagung eines Antriebes oder des Volumens fuer die Verstellung in die Richtung der Spanvorgabe die Druckmittelzufuhr zu diesem Antrieb geschlossen und lediglich die Druckmittelzufuhr zum Vorschubantrieb freigegeben wird. In der Vorrichtung zum Steuern der Bewegung des Schraemarmes sind in die Druckmittelleitungen zu den Antrieben elektrisch steuerbare Ventile eingeschaltet und eine elektrische bzw. elektronische Steuereinrichtung mit den Ventilen verbunden. Die elektrische bzw. elektronische Steuereinrichtung enthaelt von einstellbaren Zeitgliedern und/oder von Volumenmesseinrichtungen in den Druckmittelleitungen und/oder Wegaufnehmern an den Zylinderkolbenaggregaten gesteuerte Schalter zur Betaetigung der elektrisch steuerbaren Ventile. Fig. 4
Patent DD-260500-A5 (DD)
Title: Verfahren zur herstellung von durch schwefelhaltige gruppen substituierten 5-amino-4-hydroxy-valerylderivaten
Inventor: BUEHLMAYER PETER
IPC: A61K31/22
Filed: 1987-02-06
Abstract: Durch schwefelhaltige Gruppen substituierte 5-Amino-4-hydroxy-valerylderivate Verbindungen der Formel (I), worin R1 durch eine Thio-, Sulfinyl- oder Sulfonylgruppe substituiertes Acyl, A einen gegebenenfalls N-alkylierten a-Aminosaeurerest, der N-terminal mit R1 und C-terminal mit der Gruppe -NR2- verbunden ist, R2 Wasserstoff oder Niederalkyl, R3 Wasserstoff, Niederalkyl, gegebenenfalls veraethertes oder verestertes Hydroxyniederalkyl, Cycloalkyl, Cycloalkylniederalkyl, Bicycloalkylniederalkyl, Tricycloalkylniederalkyl, Aryl oder Arylniederalkyl, R4 Hydroxy, veraethertes oder verestertes Hydroxy, R5 Niederalkyl, gegebenenfalls veraethertes oder verestertes Hydroxyniederalkyl, Cycloalkyl, Cycloalkylniederalkyl, Bicycloalkyl, Bicycloalkylniederalkyl, Tricycloalkyl, Tricycloalkylniederalkyl, Aryl, Arylniederalkyl, gegebenenfalls substituiertes Carbomyl, gegebenenfalls substituiertes Amino, gegebenenfalls substituiertes Hydroxy oder gegebenenfalls substituiertes Mercapto, Sulfinyl oder Sulfonyl und R6 substituiertes Amino darstellen, und Salze von solchen Verbindungen mit salzbildenden Gruppen hemmen die blutdrucksteigernde Wirkung des Enzyms Renin und koennen als Antihypertensiva verwendet werden. Formel (I)
Patent DD-256894-A5 (DD)
Title: Kolben-verbrennungsmotoren
Inventor: VALENTINE RONALD E
IPC: F01B9/04
Filed: 1987-04-02
Abstract: Die Erfindung betrifft einen Verbrennungskolbenmotor, insbesondere einen Dreizylinder-Viertakt-Kolbenmotor mit sternfoermig zueinander angeordneten Zylindern, wobei zwei Zylinder (A; C) einander gegenueberliegend und die Achse des dritten Zylinders (B) im rechten Winkel zu Achsen der beiden gegenueberliegenden Zylinder stehend angeordnet ist. Der erste und der dritte Kolben (4A; 4C) bewegen sich im rechten Winkel zu dem zweiten Kolben (4B) und dem Gegengewicht 31 hin und her, so dass die kombinierte Leistung der sich hin- und herbewegenden Massen eine Masse darstellt, die an der Achse des Kurbelzapfens (11) konzentriert ist und damit durch das Kurbelwellengegengewicht ohne weiteres ausgeglichen wird. Fig. 1
Patent DD-268553-A5 (DD)
Inventor: GERKE DIETER
IPC: H01R4/24
Filed: 1988-04-05
Abstract: The invention relates to a wire connector for cable wires, in particular for telecommunications. A device is provided in a wire connector, which can be used for generating a connecting splice as well as for generating a branching splice, without special tools for cutting the cable wires off being necessary. Guide channels (4) are provided having a separating knife (6) for the cable wires (7,8). Furthermore, the upper part of housing (2) includes separating pieces on its underside. The upper part of housing (2) is latchable with the lower part of housing (1) in two different positions, the separating pieces cooperating in one position only with the separating knives (6).
Patent DD-281998-A5 (DD)
Title: Verfahren und anordnung zum foerdern, auf- oder umwickeln elastischer materialbahnen oder -straenge
Inventor: BOEHM BERND
IPC: B65H23/04
Filed: 1989-02-16
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zum Wickeln und Foerdern hochelastischer Materialbahnen, die besonderen Forderungen bezueglich einer dehnungsgenauen Behandlung unterliegen. Die Erfindung findet Anwendung an bahn- oder fadenerzeugenden, -verarbeitenden oder -bearbeitenden oder wickelnden Maschinen. Erfindungsgemaesz werden von den Materialbahnen oder -straengen bekannte oder zu ermittelnde optimale Dehnungswerte durch ein Programm verarbeitet, welches auf die Drehzahlwerte der materialliefernden Maschine und auf Aufwicklung zurueckgreift und diese so beeinfluszt, dasz staendig eine vorgegebene Dehnung eingehalten wird. An der Welle einer bahn- oder strangliefernden Maschine sind ein Sensor zur Drehzahlermittlung sowie am Wickel einer Aufwickeleinrichtung ein anliegender Tastarm mit einem Sensor zur Winkelbestimmung angeordnet, deren Signale einer elektronischen Verarbeitungseinheit zugefuehrt und zu einem Ausgangssignal verarbeitet werden, welches ueber ein Stellglied die Geschwindigkeit des Aufwickelmotors steuert. Ein an der Aufwickelwelle angeordneter Sensor ueberprueft die eingestellte Drehzahl und fuehrt diesen Wert zum Soll/Ist-Vergleich der elektronischen Verarbeitungseinheit zu. Fig. 1{Foerdern; Aufwickeln; Umwickeln; Materialbahnen; Materialstraenge, elastisch; Dehnungswerte; Drehzahlwerte; Sensor; Tastarm; Signale; Stellglied}
Patent DD-285195-A5 (DD)
Title: Quecksilberelektrode mit steuerbarer durchflussstaerke des quecksilbers
Inventor: STEINERT GERHARD
IPC: G01N27/34
Filed: 1989-06-19
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Quecksilberelektrode mit steuerbarer Durchfluszstaerke des Quecksilbers und findet Verwendung auf dem Gebiet der Elektrochemie. Ziel der Erfindung ist es, eine traegheitslose Spaltsteuerung der Durchfluszstaerke von Quecksilber beim Gebrauch von Quecksilberelektroden zu schaffen. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, mittels eines Nadelventils, dessen OEffnung definiert kontinuierlich veraendert werden kann, die Durchfluszstaerke von Quecksilber zu steuern. Erfindungsgemaesz wird das dadurch erreicht, dasz zwischen dem Eisenkern, der das obere Ende der Ventilnadel bildet und der elastischen Membran mit Schlieszfeder eine Blattfeder angeordnet ist, die zwischen ihren Auflagepunkten fest mit der Ventilnadel verbunden ist. Die Erfindung kann bei elektrochemischen Untersuchungen als tropfende Elektrode mit variabler Tropfzeit, als stationaere Elektrode und als Mikroelektrode verwendet werden.{Quecksilberelektrode; Spaltsteuerung; traegheitslos; Durchfluszstaerke; Quecksilber; Nadelventil}
Patent DD-286288-A5 (DD)
Title: Moebelaufsatz
Inventor: HERING ULLRICH
IPC: A47B47/00
Filed: 1989-07-19
Abstract: Die Erfindung betrifft einen Moebelaufsatz, insbesondere fuer Selbstbedienungsgeraete, bei welchem eine Hoehenverstellbarkeit sowie Zerlegbarkeit und einfache durch den Kunden ausfuehrbare Montage ermoeglicht wird. Ziel der Erfindung ist es, eine kostenguenstigere Herstellung zu ermoeglichen und eine Verringerung des Transportvolumens zu erreichen. Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein gutes Design zu ermoeglichen, eine gute Stabilitaet und Hoehenverstellbarkeit zu erreichen und eine einfache durch den Kunden ausfuehrbare Montage zu gewaehrleisten. Das Wesen der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dasz die die Tragplatten haltenden Staender aus einem Zuganker, einer oder mehreren Zentrierscheiben, einem oder mehreren den Zuganker umschlieszenden Tragrohren und einer Justierscheibe bestehen. Fig. 1{Moebelaufsatz; Tragplatten; Tragrohre; Zentrierscheiben; Justierscheiben; Staender; Verstrebungen; Auflageplatten}
Patent DD-283945-A5 (DD)
Title: Verfahren und vorrichtung zum abtrennen unerwuenschter bestandteile aus einem fluid, insbesondere einem abgas
Inventor: BRUEGGENDICK HERMANN
IPC: B01J8/12
Filed: 1989-07-24
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Abtrennen unerwuenschter Bestandteile aus einem Fluid, insbesondere einem Abgas. Das stueckige oder koernige Adsorptionsmittel wird durch mehrere getrennte Aufgabe- und Abzugstrichter (18 und 20) rasterfoermig verteilt in den Reaktionsraum (14) eingefuehrt und aus diesem (14) abgezogen. Das Rohgas wird zum ueberwiegenden Teil ueber die gesamte Einlaszseite quer zum Reaktionsraum und zu einem geringeren Teil von oben durch die Schuettgut-Verteilkegel (17) in den Reaktionsraum eingefuehrt und durchstroemt letzteren (14) in einer solchen Verteilung, dasz das Reaktionsmittel in praktisch allen Zonen des Reaktionsraums gleichmaeszig an der Adsorption teilnimmt. Mehrere Reaktionskammern mit mehreren Reaktionsschichten sind im Fluidweg hintereinander angeordnet. Nach Verlassen der ersten Reaktionsstufe (14) wird das teilweise gereinigte Fluid unter dem Abzugsboden (9) derart zurueckgefuehrt, dasz es die Abzugstrichter (20) und deren Abzugsrohre (21, 22) umspuelt und beheizt und dadurch eine Kondensatbildung verhindert. Der Adsorber (1) kann zur Rauchgasreinigung in Muellverbrennungsanlagen eingesetzt werden, wobei verschiedene unerwuenschte Fluidbestandteile in unterschiedlichen Adsorptionsschichten getrennt abgezogen (25, 27 bzw. 26, 28) und weiterverarbeitet werden koennen. Fig. 1{Abgasreinigung; Adsorptionsmittel, koernig, stueckig; Reaktionsraum, verteilt; Rohgas durchstroemt Reaktionsraum; Abtrennen Fluidbestandteile; unerwuenscht}
Patent DD-287784-A5 (DD)
Title: Verfahren zur bestimmung von verteilungsprofilen der konzentration freier ladungstraeger in halbleiterscheiben
Inventor: KALLENOWSKY THOMAS
IPC: G01N21/62
Filed: 1989-09-05
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung von Verteilungsprofilen der Konzentration freier Ladungstraeger in Halbleiterscheiben. Sie beinhaltet das Gebiet der Untersuchung von Halbleitermaterialien und ist fuer die Bestimmung der Ladungstraegerverteilung in Halbleiterscheiben fuer die Bauelementeindustrie anwendbar. Erfindungsgemaesz wird mit einem diskret im Wellenlaengenbereich 9 mml11 mm kontinuierlich emittierenden CO2-Laser ein Parallelstrahl erzeugt, der mechanisch gechoppert und in Mesz- und Referenzstrahl aufgespalten wird. Der Meszstrahl wird ueber ein Spiegelsystem auf die Probe fokussiert. Die durch die Probe dringende Strahlung wird mit Hilfe einer Linse auf die empfindliche Oberflaeche eines pyroelektrischen IR-Detektors fokussiert und erzeugt ein Wechselspannungssignal. Der ausgekoppelte Referenzstrahl ist ungestoert und bringt damit Aussagen ueber Intensitaetsschwankungen des Lasers, die korrigierend in das Meszergebnis eingerechnet werden. Die laterale Aufloesung der Messung wird durch schrittweise Verschiebung der Probe durch den Meszstrahlfokus, horizontal und senkrecht zur Strahlenachse, erreicht. Diese definierte Bewegung der Probe erfolgt durch den mit der Probenhalterung gekoppelten schrittmotorgesteuerten Feintrieb. Fuer das vorliegende Verfahren werden die Intensitaetsschwankungen durch die Referenzstrahlmethode eliminiert. Durch die hohe spektrale Strahlungsleistung des Lasers wird die Messung an staerker absorbierenden Proben moeglich. Es wird eine lokale Aufloesung von 50 mm erreicht.{Ladungstraeger, freie; Verteilungsprofile; Halbleiterscheiben; CO2-Laser; Detektor, pyroelektrisch; Referenzstrahl; Linse; Feintrieb, schrittmotorgesteuert}