baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102019127607-B4 (DE)
Title: Fahrzeugkarosseriestruktur
Inventor: MURATA SOSHIRO
IPC: B62D21/05
Filed: 2019-10-14
Granted: 2022-11-17
Abstract: Fahrzeugkarosseriestruktur, aufweisend:ein druckgegossenes hinteres Bodenseitenbauteil (20), das sich entlang einer Front-Heck-Fahrzeugrichtung an einem Endabschnitt in einer Fahrzeugbreitenrichtung eines hinteren Fahrzeugbereichs erstreckt; undeine Hinterseite des hinteren Bodenseitenbauteils aus Metall (38), die sich entlang der Front-Heck-Fahrzeugrichtung an einer Hinterseite in der Front-Heck-Fahrzeugrichtung des hinteren Bodenseitenbauteils erstreckt, und die aus einem Plattenbauteil oder einem rohrförmigen Bauteil, das eine gleichmäßige Dicke aufweist, gebildet wird,einen Verbindungsbereich (40), an dem ein hinterer Endabschnitt in der Front-Heck-Fahrzeugrichtung des hinteren Bodenseitenbauteils und ein vorderer Endabschnitt in der Front-Heck-Fahrzeugrichtung der Hinterseite des hinteren Bodenseitenbauteils miteinander verbunden sind,dadurch gekennzeichnet, dass der Verbindungsbereich enthält:einen inneren Verbindungsbereich (46), der an einer Seite des hinteren Bodenseitenbauteils angeordnet ist, um eine Innenseite des Verbindungsbereichs auszubilden, wobei der innere Verbindungsbereich mindestens drei Verbindungsflächen enthält, die eine obere Fläche,die an einem oberen Abschnitt in einer vertikalen Fahrzeugrichtung des inneren Verbindungsbereichs angeordnet ist, und zwei Flächen (56A, 58A), die mit Ausrichtungen, die sich mit der oberen Fläche in einem Querschnittsprofil des inneren Verbindungsbereichs, das entlang der vertikalen Fahrzeugrichtung und der Fahrzeugbreitenrichtung geschnitten ist, überschneiden, enthalten, undeinen äußeren Verbindungsbereich (48), der an der Seite der Hinterseite des hinteren Bodenseitenbauteils angeordnet ist, um eine Außenseite des Verbindungsbereichs auszubilden, wobei der äußere Verbindungsbereich von einer Außenseite des inneren Verbindungsbereichs aus an die drei Verbindungsflächen des inneren Verbindungsbereichs angrenzt und mit diesen verbunden ist.
Patent DE-102019200500-B4 (DE)
Title: Radarsensor mit Linsenantenne
Inventor: HENGSTLER CLEMENS
IPC: G01F23/284
Filed: 2019-01-16
Granted: 2020-10-08
Abstract: Radarsensor (100) zur Ermittlung eines Ab standes zwischen dem Radarsensor und einem Objekt (505), der Radarsensor aufweisend:eine Antenne (110);ein Radarmodul (105), welches dazu eingerichtet ist, ein Sendesignal über die Antenne (110) abzustrahlen und einen an dem Objekt (505) reflektierten Teil des Sendesignals als Empfangssignal zu empfangen; undeine Linsenanordnung (112) mit wenigstens einer dielektrischen Linse (114) zur Fokussierung des Sendesignals und/oder des Empfangssignals, wenigstens einem Verstärkungselement (118, 118a, 118b) zur mechanischen Stabilisierung der Linse und einem Prozessanschluss (116), welcher die Linse (114) zumindest teilweise entlang eines Außenumfangs der Linse umläuft;wobei wenigstens ein Ende des Verstärkungselements (118, 118a, 118b) an dem Prozessanschluss (116) befestigt ist, sodass eine auf die Linse (114) wirkende Kraft zumindest teilweise über das wenigstens eine Verstärkungselement (118, 118a, 118b) in Richtung des Prozessanschlusses (116) ableitbar ist.
Patent DE-102020103896-B4 (DE)
Title: Anbaugehäuse für Steckverbindungen und Steckverbindersystem
Inventor: LüTTERMANN DIETER
IPC: H01R13/627
Filed: 2020-02-14
Granted: 2021-06-17
Abstract: Anbaugehäuse für eine Steckverbindung, aufweisend eine Gehäuseseite mit zumindest einer ersten Befestigungsform und einer Steckseite mit zumindest einer Halteform, wobei zwischen der Gehäuseseite und der Steckseite ein Flansch angeordnet ist, welcher zum Anbringen des Anbaugehäuses an ein Gerätegehäuse vorgesehen ist wobei die Steckseite zumindest zwei Halteformen aufweist, zumindest einer ersten Halteform und zumindest einer zweiten Halteform.
Patent DE-102021118332-B4 (DE)
Title: Verfahren zum bonden von halbleitervorrichtungen
Inventor: CHANG KAI-TAI
IPC: H01L25/065
Filed: 2021-07-15
Granted: 2023-02-09
Abstract: Verfahren umfassend:Bestimmen eines ersten Versatzes zwischen einer ersten Ausrichtungsmarkierung auf einer ersten Seite eines ersten Wafers und einer zweiten Ausrichtungsmarkierung auf einer zweiten Seite des ersten Wafers;Ausrichten der ersten Ausrichtungsmarkierung des ersten Wafers auf eine dritte Ausrichtungsmarkierung auf einer ersten Seite eines zweiten Wafers, umfassend:- Erfassen einer Position der zweiten Ausrichtungsmarkierung des ersten Wafers;- Bestimmen einer Position der ersten Ausrichtungsmarkierung des ersten Wafers basierend auf dem ersten Versatz und der Position der zweiten Ausrichtungsmarkierung des ersten Wafers; und- basierend auf der erfassten Position der ersten Ausrichtungsmarkierung, Neupositionieren des ersten Wafers, um die erste Ausrichtungsmarkierung auf die dritte Ausrichtungsmarkierung auszurichten; undBonden der ersten Seite des ersten Wafers an die erste Seite des zweiten Wafers, um eine gebondete Struktur zu bilden.
Patent DE-112005002790-B4 (DE)
Title: Polypropylenharz, Faser und Vliesgewebe
Inventor: TAJIMA TAKEHARU
IPC: D04H1/42
Filed: 2005-10-31
Granted: 2018-02-22
Abstract: Polypropylenharz, erhalten durch Schmelzen und Kneten eines hoch kristallinen Polypropylens und eines niedrig kristallinen Polypropylens, umfassend: (1) einen Schmelzflussindex (MFR) von 8 bis 70 g/10 Minuten, (2) eine Molekulargewichtsverteilung (Mw/Mn), gemessen durch Gelpermeationschromatographie, von bis 6, und (3) einen Gehalt an bei 116°C nicht eluierten Komponenten (100-W116(%)) von 50% bis 70% und einem Gehalt an bei 90°C oder weniger eluierten Komponenten (W90) von 10 bis 30%, gemessen durch fraktionierte Chromatographie mit ansteigender Temperatur (TREF).
Patent DE-112006002957-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Herstellen eines Oberflächenwellenbauelements und Oberflächenwellenbauelement
Inventor: TAKAMINE YUICHI
IPC: H01L41/22
Filed: 2006-10-10
Granted: 2010-12-16
Abstract: Ein Verfahren zum Herstellen eines Oberflächenwellenbauelements, mit den Schritten:  Bilden einer IDT-Elektrode (7b) und eines ersten Verdrahtungsmusters (13) auf einem piezoelektrischen Substrat (2);  Bilden eines isolierenden Films (10), der die IDT-Elektrode (7b) und das erste Verdrahtungsmuster (13) auf dem piezoelektrischen Substrat (2) bedeckt, nach der Bildung der IDT-Elektrode (7b) und des ersten Verdrahtungsmusters (13);  Aufbringen eines lichtempfindlichen Harzes auf den isolierenden Film (10), um eine Schicht (21) aus lichtempfindlichem Harz zu bilden;  Strukturieren der Schicht (21) aus lichtempfindlichem Harz, so dass ein Film (11, 12) aus lichtempfindlichem Harz abschnittsweise auf dem isolierenden Film (10) verbleibt;  Aufbringen einer Positiv-Photoresist-Schicht (22) auf den Film (11, 12) aus lichtempfindlichem Harz und den isolierenden Film (10) und Strukturieren der Positiv-Photoresist-Schicht (22), um eine Öffnung (22a) durch die Positiv-Photoresist-Schicht (22) zu erzeugen;  Ätzen eines Abschnitts des isolierenden Films durch die Öffnung (22a), um den isolierenden Film auf der IDT-Elektrode...
Patent DE-112007001320-B4 (DE)
Title: Welle
Inventor: DOMBOS LISA
IPC: F02B67/04
Filed: 2007-07-03
Granted: 2019-09-12
Abstract: Welle, insbesondere Ausgleichswelle (13) einer Vorrichtung (14) zum Ausgleich von Massenkräften und/oder Massenmomenten einer Hubkolben-Brennkraftmaschine (15), welche Welle (1a, 1b, 1c, 1d) an einem oder mehreren Lagerzapfen (2) in einem mit Schmierölnebel beaufschlagten Gehäuse (4) drehbar gelagert ist, wobei wenigstens einer der Lagerzapfen (2) einen oder beide an diesen angrenzende Wellenabschnitte (5a, 5b) zumindest innerhalb eines Teilumfangs (20) radial überragt und wobei innerhalb des Teilumfangs (20) zwischen dem wenigstens einen Lagerzapfen (2) und dem einen oder den beiden angrenzenden Wellenabschnitten (5a, 5b) jeweils eine oder mehrere, sich radial auswärts erstreckende Rippen (6) verlaufen, die die Welle (1a, 1b, 1c, 1d) versteifen, dadurch gekennzeichnet, dass die Welle (1a, 1b, 1c, 1d) an dem wenigstens einen Lagerzapfen (2) über ein lediglich durch den Schmierölnebel geschmiertes Wälzlager (3) im Gehäuse (4) gelagert ist, wobei zumindest eine der zu dem wenigstens einen Lagerzapfen (2) zugehörigen Rippen (6) unter einem Anstellwinkel (11, 12) geneigt zur Drehachse der Welle (1a, 1b, 1c, 1d) verläuft und als Schaufel zur Förderung des Schmierölnebels in das Wälzlager (3) dient.
Patent DE-112008000684-B4 (DE)
Title: Anwenderprogrammierbare Hörtonerkennung
Inventor: FLETCHER RONALD LEE
IPC: H04M3/51
Filed: 2008-03-11
Granted: 2015-10-22
Abstract: Verfahren, umfassend: Empfang eines ersten Tonmusters und eines zweiten Tonmusters über zumindest einen einer Mehrzahl von zweiseitigen Telekommunikations-Ports eines Schalters; Speichern des ersten Tonmusters in einem Speicher; Speichern des zweiten Tonmusters in einem Speicher; Empfang einer Telekommunikationsverbindung an einem dem Mehrzahl von zweiseitigen Telekommunikations-Ports; Übertragen der Telekommunikationsverbindung an einen Verkaufsagenten, weil ein Fall des ersten Tonmusters während oder nach dem Aufbau der Telekommunikationsverbindung auftritt; und Beendigung der Telekommunikationsverbindung, weil ein Fall des zweiten Tonmusters während oder nach dem Aufbau der Telekommunikationsverbindung auftritt.
Patent DE-112011101850-B4 (DE)
Title: Fahrzeug-Klimaanlage
Inventor: CHIKAGAWA NORIYUKI
IPC: B60H1/32
Filed: 2011-05-25
Granted: 2019-05-29
Abstract: Eine Fahrzeug-Klimaanlage (1) mit:einer Klimatisierungseinheit (2), die einen Verdampfer (12) und einen Heizkern (16) umfasst und zum Regulieren von Temperatur von Luft, die von einer Gebläseeinheit (3) zugeführt wird, und zum Ausblasen der Luft in eine Kammer eingerichtet ist, wobei eine Gehäuseeinheit (10) der Klimatisierungseinheit (2) aus mindestens einer Vielzahl von oberen und unteren Teilgehäusen (23,24,25) gebildet ist, wobei die Teilgehäuse (23,24,25) integral miteinander über einen Fügeabschnitt (34) verbunden sind, der an Teilungs- bzw. Trennendflächen (30A,30B,32) der Teilgehäuse (23,24,25) vorgesehen ist und der gestaltet ist, indem ein konvexer Abschnitt und ein konkaver Abschnitt ineinander eingesetzt werden,einem Raum (35), der zwischen einer inneren Trennendfläche (32) eines Teilgehäuses (24,25) und einer inneren Trennendfläche (30B) eines anderen Teilgehäuses (23), welche den Fügeabschnitt (34) bilden, ausgebildet ist, wobei die Trennendflächen (30B,32) in vertikaler Richtung voneinander beabstandet sind, so dass der Raum (35) eine vorgegebene Höhe in der vertikalen Richtung und eine vorgegebene Weite besitzt, undeine erweiterte Wandfläche (37) sich von einer Position der inneren Trennendfläche (32) des einen Teilgehäuses (24,25) zu einer Position in Kontakt mit einer Innenseitenfläche (36) des anderen Teilgehäuses (23) erstreckt und den Raum (35) abschließt,wobei der Raum (35) in der vertikalen Richtung unter dem Fügeabschnitt (34) angeordnet ist und die vorgegebene Höhe und die vorgegebene Weite des Raums (35) groß genug sind, um Wasser daran zu hindern, aufgrund einer Kapillarwirkung in den Fügeabschnitt (34) selbst dann einzutreten, wenn eine vorgegebene Menge an Wasser in dem Raum (35) gehalten ist.
Patent DE-112013001493-B4 (DE)
Title: Abgabeventil
Inventor: HATTON JASON D
IPC: B65D47/20
Filed: 2013-03-01
Granted: 2021-06-10
Abstract: [0088] Schlitzventil (10) zum selektiven Begrenzen des Durchflusses einer fließfähigen Substanz zwischen einer inneren Umgebung (17) und einer äußeren Umgebung (15) und Verfahren zum Ausbilden des Ventils (10), wobei das Verfahren die Schritte des Bereitstellens wenigstens einer Schicht aus Folienmaterial und des dauerhaften Verformens des Folienmaterials, um ein Ventil (10) zum selektiven Begrenzen des Durchflusses einer fließfähigen Substanz zwischen einer inneren Umgebung (17) und einer äußeren Umgebung (15) zu definieren, umfasst.
Patent DE-112014001323-B4 (DE)
Title: Verfahren und Vorrichtung zur Verbreitung von die öffentliche Sicherheit betreffenden Multicast- und Broadcast-Diensten unter Sicherheitskräften
Inventor: PANDEY APARNA
IPC: G08B25/14
Filed: 2014-03-04
Granted: 2022-09-15
Abstract: Verfahren (300), das umfasst:bei einer ersten Anwenderausrüstung (14, 24),Empfang (320) mindestens einer Multimedia Multicast- oder Broadcast-Dienst-Nachricht von mindestens einer Multimedia Multicast- oder Broadcast-Dienst-Managemententität (50) über einen ersten drahtlosen Kommunikationskanal eines primären Netzwerkes (10, 20);Extraktion (330) von Daten, die in der Multimedia Multicast- oder Broadcast-Dienst-Nachricht enthalten sind, und Speicherung der Daten in einen lokalen Cache (14c, 24c) der ersten Anwenderausrüstung (14, 24);Empfang (340) einer Anforderung von einer oder mehreren Anwenderausrüstungen (26, 36, 46), die sich außerhalb eines Versorgungsbereichs des primären Netzwerkes (10, 20) befinden, über einen oder mehrere alternative drahtlose Kommunikationskanäle eines oder mehrerer alternativer drahtloser Netzwerke (30, 40, 70);Übertragung (350) der in dem lokalen Cache (14c, 24c) der ersten Anwenderausrüstung (14, 24) gespeicherten Daten an die eine oder die mehreren Anwenderausrüstungen (26, 36, 46) über den einen oder die mehreren alternativen drahtlosen Kommunikationskanäle; undwobei das Verfahren weiterhin umfasst:periodische Übertragung von Standortdaten und Netzwerkverbindungsdaten an die mindestens eine Multimedia Multicast- oder Broadcast-Dienst-Managemententität (50); oderEmpfang einer Cache-Bezeichnungsnachricht, die den lokalen Cache (14c, 24c) als einen Zwischencache, oder Peer-Cache, oder Endpunktcache zuweist undperiodische Übertragung einer Cache-Aktualisierungsnachricht an die mindestens eine Multimedia Multicast- oder Broadcast-Dienst-Managemententität (50), wobei die Cache-Aktualisierungsnachricht eine Identität einer jeden Anwenderausrüstung (14, 24) anzeigt, die die Daten in dem lokalen Cache (14c, 24c) empfängt, und die Standortdaten und Breitbandnetzwerkverbindungsdaten, die zu jeder Anwenderausrüstung (14, 24) gehören, anzeigt.
Patent DE-112014003289-B4 (DE)
Title: Säulenverkleidung
Inventor: SAKURAI HIDEYUKI
IPC: B60R13/02
Filed: 2014-06-18
Granted: 2022-11-17
Abstract: Säulenverkleidung mit:einem Säulenverkleidungs-Hauptkörper (32), der zwischen dem Säulenverkleidungs-Hauptkörper (32) und einem Karosserieteil (10) einen Stauraum (72) bildet, der ausgelegt ist, um einen Vorhang-Airbag (78) in einem gefalteten Zustand aufzunehmen;wobei der Säulenverkleidungs-Hauptkörper (32) auf einer Seite, auf der sich der Vorhang-Airbag (78) ausdehnt, einen ersten Endabschnitt (32C) aufweist undwobei der Säulenverkleidungs-Hauptkörper (32) auf einer Seite des Säulenverkleidungs-Hauptkörpers (32), die dem ersten Endabschnitt (32C) gegenüberliegt, einen zweiten Endabschnitt (33A) aufweist;einem Ausdehnungsabschnitt (50), der über ein Filmscharnier (35) einteilig mit dem zweiten Endabschnitt (33A) verbunden und in Richtung des Stauraums (72) nach hinten gebogen ist;einem Fixierabschnitt (62), der den Ausdehnungsabschnitt (50) an dem Karosserieteil (10) fixiert;einem Befestigungsabschnitt (40), der auf einer Rückseite des Säulenverkleidungs-Hauptkörpers (32) angeordnet ist; undeinem Eingreifabschnitt (64), der den Befestigungsabschnitt (40) lösbar mit dem Karosserieteil (10) verbindet und den Befestigungsabschnitt (40) an dem Karosserieteil (10) befestigt,wobei der Fixierabschnitt (62) und der Eingreifabschnitt (64) einteilig mit dem Ausdehnungsabschnitt (50) ausgebildet sind.
Patent DE-112015000094-B4 (DE)
Title: Rotierende elektrische Maschine
Inventor: HISAMATSU YOSHIYUKI
IPC: H02K5/16
Filed: 2015-03-03
Granted: 2019-09-05
Abstract: Rotierende elektrische Maschine, umfassend:
 eine Drehwelle;
 ein Lager, welches die Drehwelle hält;
 eine elektromagnetische Bremse, welche an einer äußeren peripheren Seite der Drehwelle vorgesehen ist und zwischen dem Lager und einem Rotor angeordnet ist, wobei die elektromagnetische Bremse die Drehwelle während der Nicht-Erregung sperrt und die Sperrung während der Erregung löst;
 eine Magnetflussschildeinheit, welche an einer äußeren peripheren Seite der elektromagnetischen Bremse vorgesehen ist; und
 eine Gleitkontakteinheit, welche so vorgesehen ist, dass die Gleitkontakteinheit in Kontakt mit der Magnetflussschildeinheit und der Drehwelle ist und mit der Magnetflussschildeinheit und der Drehwelle mindestens an zwei Orten auf der Seite des Lagers und auf der Seite des Rotors in Kontakt kommt, wobei ein von der elektromagnetischen Bremse erzeugtes magnetisches Feld einen geschlossenen Kreis durch die Drehwelle, die Magnetflussschildeinheit und die Gleitkontakteinheit bildet.
Patent DE-112015002127-B4 (DE)
Title: Herstellungsverfahren für eine Aufnahmestruktur für Gitterelemente
Inventor: ASAI KEIICHIRO
IPC: G02B6/136
Filed: 2015-04-22
Granted: 2022-01-13
Abstract: Verfahren zur Herstellung einer Aufnahmestruktur, die ein Aufnahmesubstrat (3) und eine Mehrzahl von Gitterelementen (1), die auf dem Aufnahmesubstrat (3) bereitgestellt sind, umfasst, wobei das Verfahren die Schritte umfasst:Bilden einer Mehrzahl von Bragg-Gittern (9) an vorgegebenen Stellen eines Laminats, welches das Aufnahmesubstrat (3), eine Beschichtungsschicht (4), die auf dem Aufnahmesubstrat (3) bereitgestellt ist, und eine optische Materialschicht (8), die auf der Beschichtungsschicht (4) bereitgestellt ist, umfasst,Bilden von Lichtwellenleitern, die jeweils mindestens jedes der Bragg-Gitter (9) umfassen,Bilden von Masken (18), die jeweils einen Bereich bedecken, der jedem der Gitterelemente (1) auf der optischen Materialschicht (8) entspricht,Ätzen der optischen Materialschicht (8) und der Beschichtungsschicht (4) zum Formen einer Endfläche jedes der Gitterelemente (1), undBilden einer Beschichtungsschicht (25) der Oberseite auf der optischen Materialschicht (8) und eines Einschichtfilms (26A, 26B) auf der Endfläche des Gitterelements (1) aus einer Atmosphäre durch ein Filmbildungsverfahren, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus Sputtern, Gasphasenabscheidung, chemischer Gasphasenabscheidung und metallorganischer chemischer Gasphasenabscheidung, nach dem Formen der Endfläche von jedem der Gitterelemente (1) durch Ätzen.
Patent DE-112016004215-B4 (DE)
Title: Treibstoffeinspritzventil
Inventor: TAMURA EIJI
IPC: H01F7/06
Filed: 2016-08-03
Granted: 2019-10-31
Abstract: Treibstoffeinspritzventil (1), das umfasst:
 einen Ventilsitz (15b) und einen Ventilkörper (17), die zusammenwirkend einen Treibstoffdurchgang öffnen und schließen; und
 einen elektromagnetischen Antriebsteil (9), der einen feststehenden Eisenkern (25), einen beweglichen Eisenkern (27a) und eine Spulenvorrichtung (200, 600) einschließt, welcher konfiguriert ist, den Ventilkörper (17) anzutreiben,
 wobei die Spulenvorrichtung (200, 600) einschließt:
 einen Spulenkörper (31) mit einem Windungsteil (31a), um den eine Spulenwindung (300) gewunden ist;
 einen Anschluss (43), von dem ein Endteil (43ab, 43bb) in dem Spulenkörper (31) eingebettet ist, und von dem sich das andere Endteil (43ac, 43bc) von dem Spulenkörper (31) in einer axialen Richtung (31j) des Spulenkörpers (31) erstreckt; und
 einen Wickelteil (43aa, 43ba), der an dem Anschluss (43) bereitgestellt ist, und in dem ein Anschlussleitungsdraht (300a, 300b) gewickelt und verschmolzen ist, wobei der Anschlussleitungsdraht aus einem Spulenteil (300c), der um den Windungsteil (31a) gewunden ist, herausgezogen ist,
 wobei der Anschlussleitungsdraht (300a, 300b) zwischen dem Spulenkörper (31) und dem Wickelteil (43aa, 43ba) in einem Zustand verdrahtet ist, dass er in Kontakt mit einer Oberfläche des Anschlusses (43) steht, und
 wobei Randbereiche des Spulenkörpers (31), ein Verdrahtungsteil des Anschlussleitungsdrahtes (300a, 300b) und der Wickelteil (43aa, 43ba) mit einem Harz (610) bedeckt sind,
 dadurch gekennzeichnet, dass 
 der Endteil (43ab, 43bb) des Anschlusses (43), der näher an einer Seite des Spulenkörpers (31) als an dem Wickelteil (43aa, 43ba) liegt, in einem Harz (31c), das den Spulenkörper (31) bildet, eingebettet ist,
 wobei ein Seitenkantenteil (43aw, 43bw) an dem Endteil (43ab, 43bb) des Anschlusses (43), welcher in dem Harz (31c) eingebettet ist, von dem Harz (31c), das den Spulenkörper (31) bildet, freigelegt ist, und
 wobei der Anschlussleitungsdraht (300a, 300b) in einem Zustand verdrahtet ist, in dem er in Kontakt mit dem Seitenkantenteil (43aw, 43bw) ist, der von dem Harz (31c) freigelegt ist.
Patent DE-112018002924-B4 (DE)
Title: Plasmaabstreifwerkzeug mit einheitlichkeitssteuerung
Inventor: MA SHAWMING
IPC: H01J37/32
Filed: 2018-02-28
Granted: 2022-10-06
Abstract: Plasmabearbeitungsvorrichtung, umfassend:eine Bearbeitungskammer (110),einen ersten Sockel (212) in der Bearbeitungskammer (110), der zum Tragen eines Werkstücks (214) betreibbar ist, wobei der erste Sockel (212) eine erste Bearbeitungsstation definiert;einen zweiten Sockel (222) in der Bearbeitungskammer (110), der zum Tragen eines Werkstücks (214) betreibbar ist, wobei der zweite Sockel (222) eine zweite Bearbeitungsstation definiert;eine erste Plasmakammer (120), die über der ersten Bearbeitungsstation angeordnet ist, wobei die erste Plasmakammer (120) einer ersten induktiven Plasmaquelle (135) zugeordnet ist, wobei die erste Plasmakammer (120) von der Bearbeitungskammer (110) durch ein erstes Trenngitter (116) getrennt ist;eine zweite Plasmakammer (140), die über der zweiten Bearbeitungsstation angeordnet ist, wobei die zweite Plasmakammer (140) einer zweiten induktiven Plasmaquelle (155) zugeordnet ist, wobei die zweite Plasmakammer (140) von der Bearbeitungskammer (110) durch ein zweites Trenngitter (166) getrennt ist; undeine Deckplatte (124), die über der ersten Plasmakammer (120) und der zweiten Plasmakammer (140) angeordnet ist, wobei die Deckplatte (124) ein symmetrisches Temperaturregelsystem umfassend einen Kühlkanal (530) mit einem ersten Zweig (538), der sich um die erste Plasmakammer (120) erstreckt, und einem zweiten Zweig (539), der sich um die zweite Plasmakammer (140) erstreckt, aufweist, wobeider Kühlkanal (530) einen Einlass (536) für den ersten Zweig (538) und den zweiten Zweig (539), einen ersten Auslass (542) für den ersten Zweig (538) und einen zweiten Auslass (544) für den zweiten Zweig (539) aufweist, wobei der Einlass (536) zwischen der ersten Plasmakammer (120) und der zweiten Plasmakammer (140) angeordnet ist wenn die Deckplatte (124) auf der Plasmabearbeitungsvorrichtung positioniert ist
Patent DE-112018003316-B4 (DE)
Title: Linseneinheit
Inventor: KANZAKI YOSUKE
IPC: G02B7/02
Filed: 2018-06-11
Granted: 2023-09-21
Abstract: Linseneinheit (1), umfassend:eine erste Linse (21), die am nächsten an einer Objektseite (L1) angeordnet ist, eine Vielzahl von Linsen (22, 23, 24, 25, 26), die näher an einer Bildseite (L2) angeordnet sind als die erste Linse (21), und einen Objektivtubus (3), der die erste Linse (21) und die Vielzahl von Linsen (22, 23, 24, 25, 26) hält, wobei von der Vielzahl von Linsen (22a, 23, 24, 25, 26), eine am nächsten an der Objektseite (L1) angeordnete zweite Linse (22a), eine Kunststofflinse ist,die zweite Linse (22a) einen Flanschabschnitt (52) aufweist, der eine Linsenoberfläche der zweiten Linse (22a) umgibt,eine bildseitige Flanschoberfläche (54) des Flanschabschnitts (52) eine Positionierungsfläche (63), die an einer Außenumfangsseite ausgebildet ist und in Richtung einer optischen Achse (L) vorsteht, und einen ersten Stufenabschnitt (61) aufweist, der näher an einer Innenumfangsseite liegt als die Positionierungsfläche (63) und in Richtung der optischen Achse (L) zur Objektseite (L1) mehr vertieft ist als die Positionierungsfläche (63), undder erste Stufenabschnitt (61) schwarz beschichtet ist, wobei die Linseneinheit (1) dadurch gekennzeichnet ist, dasseine Vielzahl der Positionierungsflächen (63) entlang eines Außenumfangs des Flanschabschnitts (52) ausgebildet sind,ein zweiter Stufenabschnitt (62a), der niedriger als die Positionierungsflächen (63) ist, zwischen den Positionierungsflächen (63) ausgebildet ist und, dassin dem Grenzabschnitt zwischen der bildseitigen Linsenoberfläche und dem ersten Stufenabschnitt (61) ein in der Richtung der optischen Achse (L) zur Objektseite (L1) vertiefter dritter Stufenabschnitt (65) ausgebildet ist.