Patent DE-102012007030-C5 (DE)
Title: Vorrichtung und Verfahren zur schnellen Aufnahme eines Absorptionsspektrums eines Fluids
Inventor: BUCHTAL RALF
IPC: G01N21/25
Filed: 2012-04-05
Granted: 2019-01-10
Abstract: Vorrichtung zur Aufnahme eines Absorptionsspektrums eines Fluids mit einer ersten Strahlungsquelle (1), die entlang eines ersten Strahlengangs (11) eine Strahlung in einem ersten Spektralbereich emittiert, mit einer in dem ersten Strahlengang (11) angeordnetenersten Messstrecke (5), entlang derer die Strahlung durch das Fluid tritt, mit einem in dem ersten Strahlengang (11) angeordneten durchstimmbaren Fabry-Perot Interferometer (7), das als ein verschiebbarer Bandpassfilter Strahlung in dem ersten Spektralbereich transmittieren kann, und mit einem ersten Detektor (9, 35) zur Messung der Intensität der Strahlung in dem ersten Spektralbereich,dadurch gekennzeichnet,dass die Vorrichtung ein erstes Etalon (3), in Form eines Fabry-Perot Interferometers bei dem der Abstand der Spiegeloberflächen nicht verändert werden kann, zur spektralen Modulation der Strahlung aufweist, das in dem ersten Strahlengang (11) angeordnet ist und das in dem ersten Spektralbereich eine Mehrzahl von Transmissionsmaxima (17) aufweist, und dass das Fabry-Perot (7) dazu eingerichtet ist, dass das von dem Fabry-Perot Interferometer (7) gebildete Bandpassfilter derart über den ersten Spektralbereich verschoben werden kann, dass die spektrale Modulation der Strahlung durch das erste Etalon in eine zeitliche Intensitätsmodulation der Strahlung übertragen wird, so dass die spektrale Modulation der Strahlung durch das erste Etalon (3) als eine zeitliche Modulation der Intensität der Strahlung von dem ersten Detektor (9,35) gemessen werden kann, wobei eine zweite Strahlungsquelle (39) entlang eines zweiten Strahlengangs (45) eine Strahlung in einem zweiten Spektralbereich emittiert,wobei der zweite Spektralbereich andere Wellenlängen umfasst als der erste Spektralbereich, wobei weiter die Vorrichtung einen zweiten Detektor zur Messung der Intensität der Strahlung in dem zweiten Spektralbereich aufweist, dass in dem zweiten Strahlengang (45) eine zweite Messstrecke (5') angeordnet ist, entlang derer die von der zweiten Strahlungsquelle (39) emittierte Strahlungen durch das Fluid tritt, dass der erste und der zweite Strahlengang (11, 45) derart ausgebildet sind, dass das Fabry-Perot Interferometer (7) in dem ersten und dem zweiten Strahlengang (11, 45) angeordnet ist, dass das Fabry-Perot Interferometer (7) als verschiebbares Bandpassfilter Strahlung in dem zweiten Spektralbereich transmittieren kann, dass die Vorrichtung ein zweites Etalon (47), in Form eines Fabry-Perot Interferometers bei dem der Abstand der Spiegeloberflächen nicht verändert werden kann, zur spektralen Modulation der Strahlung aufweist, das in dem zweiten Strahlengang (45) angeordnet ist und das in dem zweiten Spektralbereich eine Mehrzahl von Transmissionsmaxima (17) aufweist, und dass das Fabry-Perot Interferometer (7) dazu eingerichtet ist, dass das von dem Fabry-Perot Interferometer (7) gebildete Bandpassfilter derart über den zweiten Spektralbereich verschoben werden kann, dass die spektrale Modulation der Strahlung durch das zweite Etalon in eine zeitliche Intensitätsmodulation der Strahlung übertragen wird, so dass die spektrale Modulation der Strahlung durch das zweite Etalon (47) als eine zeitliche Modulation der Intensität der Strahlung von dem zweiten Detektor gemessen werden kann.