Patent DE-112019000174-B4 (DE)
Title: Aktivgas-Erzeugungsvorrichtung
Inventor: WATANABE KENSUKE
IPC: H05H1/30
Filed: 2019-02-13
Granted: 2024-02-01
Abstract: Aktivgas-Erzeugungsvorrichtung (10), die ein Aktivgas erzeugt, indem ein Quellgas aktiviert wird, welches einem Entladeraum zugeführt wird, in dem eine dielektrische Barriereentladung auftritt, wobei die Aktivgas-Erzeugungsvorrichtung aufweist:eine Elektrodeneinheit-Basis (2), die eine erste Elektrode (11) und eine zweite Elektrode (12) aufweist und die von außen eine Wechselspannung erhält;einen Elektrodeneinheit-Deckel (1), der sich an einer Vorderfläche der Elektrodeneinheit-Basis befindet;eine Elektroden-Pressplatte (3), die sich an einer Vorderfläche des Elektrodeneinheit-Deckels befindet und die den Elektrodeneinheit-Deckel mit einer von oben ausgeübten Druckkraft presst; undein Vorrichtungsgehäuse (30), das die Elektrodeneinheit-Basis, den Elektrodeneinheit-Deckel und die Elektroden-Pressplatte aufweist,wobei die Elektrodeneinheit-Basis aufweist:eine erste Elektrodennut (21) und eine zweite Elektrodennut (22), die jeweils eine vorbestimmte Ausbildungstiefe ausgehend von der Vorderfläche haben, wobei die erste Elektrode und die zweite Elektrode in die erste Elektrodennut bzw. die zweite Elektrodennut eingebettet sind und jeweils eine Leitfähigkeit haben; undeinen internen Gas-Strömungspfad (24), der sich in der Elektrodeneinheit-Basis befindet und ermöglicht, dass das Quellgas hindurch passieren kann, wobei der interne Gas-Strömungspfad in der Draufsicht spiralförmig ist und die erste Elektrode und die zweite Elektrode jeweils in der Draufsicht entlang des internen Gas-Strömungspfades spiralförmig angeordnet sind,wobei die erste Elektrode und die zweite Elektrode jeweils einen ersten Leitpunkt (P1) und einen zweiten Leitpunkt (P2) an ihren Enden haben,wobei die erste Elektrode und die zweite Elektrode an gegenüberliegenden Seiten des internen Gas-Strömungspfades angeordnet sind, um einander mit einem Teil von der Elektrodeneinheit-Basis und dem internen Gas-Strömungspfad dazwischen gegenüberzuliegen, wobei ein Bereich in dem internen Gas-Strömungspfad zwischen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode der Entladeraum ist und wobei die dielektrische Barriereentladung in dem Entladeraum nach Erhalt der Wechselspannung auftritt,wobei die Elektrodeneinheit-Basis weiterhin zumindest einen Gasstrahl (6) aufweist, der sich unterhalb des Entladeraumes befindet, um mit dem internen Gas-Strömungspfad in Verbindung zu stehen, wobei das Aktivgas, welches durch die Aktivierung des Quellgases erhalten wird, welches dem Entladeraum zugeführt wird, aus dem zumindest einen Gasstrahl ausgestrahlt wird,wobei der Elektrodeneinheit-Deckel ein Gas-Relaisloch (46), welches zu dem internen Gas-Strömungspfad in der Elektrodeneinheit-Basis führt, und ein erstes Durchgangsloch (41) und ein zweites Durchgangsloch (42) hat, die sich in einem Bereich, der sich in der Draufsicht mit dem ersten Leitpunkt überlappt, bzw. in einem Bereich, der sich in der Draufsicht mit dem zweiten Leitpunkt überlappt, befinden, undwobei die Elektroden-Pressplatte eine Öffnung (61), die das erste Durchgangsloch in der Draufsicht aufweist und die eine breitere Form als das erste Durchgangsloch hat, und ein Gas-Zufuhrloch (66) hat, das sich in einem Bereich befindet, der in der Draufsicht mit dem Gas-Relaisloch überlappt, und durch das zweite Durchgangsloch mit dem zweiten Leitpunkt elektrisch verbunden ist.