Patent DE-102019201791-B4 (DE)
Title: Teilungsvorrichtung und Teilungsverfahren
Inventor: UEKI ATSUSHI
IPC: H01L21/68
Filed: 2019-02-12
Granted: 2021-10-07
Abstract: Teilungsvorrichtung (1) zum Aufweiten eines Bandes (T), das eine Wärmeschrumpfeigenschaft aufweist, in einer Werkstückanordnung, in der ein Wafer (W), der mit Startpunkten für eine Teilung ausgebildet ist, vom Band (T) in einer Öffnung eines Ringrahmens (F) durch ein Anhaften des Bandes (T) am Ringrahmen (F) getragen wird, sodass es die Öffnung des Ringrahmens (F) schließt, und zum Teilen des Wafers (W) an den Startpunkten für eine Teilung, wobei die Teilungsvorrichtung (1) aufweist:einen Tisch (10), der eine Ansaugoberfläche zum Halten der Werkstückanordnung unter Ansaugung aufweist;einen Ringrahmenhalteabschnitt (20), der eingerichtet ist, um den Ringrahmen (F) in der Werkstückanordnung zu halten;ein Anhebemittel, das eingerichtet ist, um den Tisch (10) und den Ringrahmenhalteabschnitt (20) in einer zur Ansaugoberfläche orthogonalen Richtung relativ aufeinander zu/voneinander weg zu bewegen;eine Heizung, die eingerichtet ist, um das ringartige Band (T1) zwischen einem äußeren Umfang des Wafers (W) und einem inneren Umfang des Ringrahmens (F) in der Werkstückanordnung zu erwärmen; undein Steuerungsmittel, das eingerichtet ist, um mindestens einen Ansaugbetrieb des Tischs (10), einen Anhebebetrieb des Ringrahmenhalteabschnitts (20) und einen Erwärmungsbetrieb der Heizung zu steuern,wobei der Tisch (10) beinhaltet:einen ersten Ansaugabschnitt (11), der eine erste Ansaugoberfläche mit einem Durchmesser, der gleich oder größer als ein äußerer Durchmesser des Wafers (W), bevor er geteilt wird, und kleiner als ein äußerer Durchmesser des Wafers (W) ist, nachdem er durch ein Aufweiten des Bandes (T) geteilt worden ist, aufweist, und der eingerichtet ist, um eine Mitte des Bandes (T) in der Werkstückanordnung unter Ansaugung zu halten,einen nicht ansaugenden Abschnitt (13), der eine äußere Seitenoberfläche des ersten Ansaugabschnitts (11) umgibt und eine Nicht-Ansaugoberfläche in der ringartigen Form aufweist, die mit der ersten Ansaugoberfläche (11a) ausgerichtet ist, undeinen zweiten Ansaugabschnitt (12), der eine äußere Seitenoberfläche des nicht ansaugenden Abschnitts (13) umgibt und eine zweite Ansaugoberfläche (12a) in der ringartigen Form aufweist, die mit der ersten Ansaugoberfläche (11a) und der Nicht-Ansaugoberfläche ausgerichtet ist, unddas Steuerungsmittel beinhaltet:einen ersten Steuerungsabschnitt, der eingerichtet ist, um das Anhebemittel zu steuern, um zu bewirken, dass der Tisch (10) und der Ringrahmenhalteabschnitt (20) relativ voneinander auf eine solche Art um einen ersten Abstand getrennt werden, dass sich der Tisch (10) in der Richtung nach oben bewegt und der Ringrahmenhalteabschnitt (20) in der Richtung nach unten bewegt, und das Band (T) aufweitet, sodass er den Wafer (W) an den Startpunkten für eine Teilung teilt,einen zweiten Steuerungsabschnitt, der eingerichtet ist, um zu bewirken, dass die erste Ansaugoberfläche (11a) nach einem Teilen des Wafers (W) mit einer Ansaugquelle in Verbindung steht,einen dritten Steuerungsabschnitt, der eingerichtet ist, um das Anhebemittel zu steuern, um das ringartige Band (T1) zwischen dem äußeren Umfang der ersten Ansaugoberfläche (11a) und dem inneren Umfang des Ringrahmens (F) aufzuweiten, wobei das ringartige Band (T1) an der ersten Ansaugoberfläche (11a) nicht unter Ansaugung gehalten wird, indem der Tisch (10) und der Ringrahmenhalteabschnitt (20) relativ zueinander um einen Abstand voneinander getrennt werden, der größer ist als der erste Abstand,einen vierten Steuerungsabschnitt, der eingerichtet ist, um zu bewirken, dass die zweite Ansaugoberfläche (12a) nach einem Aufweiten des ringartigen Bandes (T1) mit der Ansaugquelle in Verbindung steht, undeinen fünften Steuerungsabschnitt, der eingerichtet ist, um nach der Steuerung des vierten Steuerungsabschnitts zu bewirken, dass das Anhebemittel den Tisch (10) und den Ringrahmenhalteabschnitt (20) näher aufeinander zu bewegt, um dadurch das ringartige Band (T1) dazu zu bringen, durchzuhägen, und um zu bewirken, dass die Heizung das ringartige Band (T1), was dazu gebracht worden ist, durchzuhängen, erwärmt, sodass es schrumpft.