Patent DE-202019101794-U9 (DE)
Title: Vorrichtungen zum mindestens einen aus Substrat-Handhabung, Substrat-Lagerung, Substrat-Behandlung und Substrat-Verarbeitung
IPC: H01L21/673
Filed: 2019-03-29
Abstract: Substratträgerstapel, umfassend:
 eine Mehrzahl von Substratträgern (12, 12'; 112), welche in einer vertikalen Richtung gestapelt angeordnet sind, sodass für jedes Paar von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels (10; 110) ein jeweiliger unterer Substratträger einen jeweiligen oberen Substratträger stützt, wobei jeder Substratträger einen äußeren Trägerrahmen (40; 140) aufweist, welcher sich in einer horizontalen Rahmenebene um eine innere Zone (62; 162) erstreckt, welche eine innere Öffnung (64; 164) umfasst, und mit einem Substratsitz zum Aufnehmen und Tragen eines plattenartigen Substrats (30; 130) innerhalb eines inneren Aufnahmeraums des Substratträgerstapels bereitgestellt ist, wobei der innere Aufnahmeraum oder Teile davon durch die inneren Öffnungen der Substratträger (12, 12'; 112) des Substratträgerstapels definiert sind;
 wobei jeder Substratträger an seinem äußeren Trägerrahmen mindestens ein oberes Stützgebilde und mindestens ein unteres Stützgebilde aufweist, sodass ein unterer Substratträger eines jeweiligen Paars von vertikal benachbarten Substratträgern des Substratträgerstapels mit seinem mindestens einen oberen Stützgebilde den oberen Substratträger von diesem Paar von vertikal benachbarten Substratträgern an seinem mindestens einen unteren Stützgebilde stützt;
 wobei jeder Substratträger (12; 12'; 112) des Substratträgerstapels (10; 110) ferner die folgenden Merkmale verwirklicht:
 - der äußere Trägerrahmen umfasst: einen ersten Rahmensteg (42a; 142a), welcher sich entlang einer ersten Rahmenstegachse erstreckt, einen zweiten Rahmensteg (42b; 142b), welcher sich entlang einer zweiten Rahmenstegachse erstreckt, einen dritten Rahmensteg (42c; 142c), welcher sich entlang einer dritten Rahmenstegachse erstreckt, und einen vierten Rahmensteg (42d; 142d), welcher sich entlang einer vierten Rahmenstegachse erstreckt, 
 - die erste Rahmenstegachse schneidet die vierte Rahmenstegachse unter einem rechten Winkel an einer ersten Ecke, welche dem ersten Rahmensteg und dem vierten Rahmensteg und einer ersten Rahmeneckenregion (44a; 144a) des äußeren Trägerrahmens zugeordnet ist, an welcher der erste Rahmensteg und der vierte Rahmensteg einstückig/integral verbunden sind,
 die erste Rahmenstegachse schneidet die zweite Rahmenstegachse unter einem rechten Winkel an einer zweiten Ecke, welche dem ersten Rahmensteg und dem zweiten Rahmensteg und einer zweiten Rahmeneckenregion (42b; 142b) des äußeren Trägerrahmens zugeordnet ist, an welcher der erste Rahmensteg und der zweite Rahmensteg einstückig/integral verbunden sind,
 - die dritte Rahmenstegachse schneidet die vierte Rahmenstegachse unter einem rechten Winkel an einer vierten Ecke, welche dem dritten Rahmensteg und dem vierten Rahmensteg und einer vierten Rahmeneckenregion (42d; 142d) des äußeren Trägerrahmens zugeordnet ist, an welcher der dritte Rahmensteg und der vierte Rahmensteg einstückig/integral verbunden sind,
 - die dritte Rahmenstegachse schneidet die zweite Rahmenstegachse unter einem rechten Winkel an einer dritten Ecke, welche dem dritten Rahmensteg und dem zweiten Rahmensteg und einer dritten Rahmeneckenregion (44c; 144c) des äußeren Trägerrahmens zugeordnet ist, an welcher der dritte Rahmensteg und der zweite Rahmensteg einstückig/integral verbunden sind,
 - eine Mehrzahl von Substrathalterungsarmen (32a, 32b, 32c, 32d; 132a, 132b, 132c, 132d) erstreckt sich nach innen und nach oben von dem äußeren Trägerrahmen (40; 140), welche mit der inneren Zone (62; 162) überlappen und den Substratsitz ausbilden, welcher in einem Abstand oberhalb der vertikalen Erstreckung des Trägerrahmens platziert ist und eingerichtet ist, um ein plattenartiges Substrat (30; 130) zu tragen, welches einen kreisförmigen Umfang und einen Durchmesser aufweist, welcher einem vorher festgelegten zulässigen Durchmesser entspricht, oder einen Durchmesser innerhalb eines vorher festgelegten zulässigen Durchmesserbereichs aufweist, welcher durch einen vorher festgelegten zulässigen minimalen Durchmesser und einen vorher festgelegten zulässigen maximalen Durchmesser gegeben ist;
 - der Substratsitz definiert eine horizontale Trageebene, welche in dem Fall, dass ein plattenartiges Substrat (30; 130), welches einen kreisförmigen Umfang und einen Durchmesser entsprechend dem vorher festgelegten zulässigen Durchmesser oder dem vorher festgelegten zulässigen maximalen Durchmesser aufweist, durch den Substratsitz getragen und horizontal gehalten ist, koplanar mit einer unteren Fläche dieses plattenartigen Substrats ist,
 - eine Mehrzahl von Unterteilungsstegen (60a, 60b; 160a, 160b) erstreckt sich von dem äußeren Trägerrahmen durch die innere Zone (62; 162), welche die innere Öffnung (64; 164) und mindestens zwei Hilfs-/Zusatzöffnungen (66a, 66b, 68a, 68b; 166a, 166b, 168a, 168b) der inneren Zone definieren, wobei die innere Öffnung und der Substratsitz angeordnet und dimensioniert sind, sodass ein plattenartiges Substrat, welches durch den Substratsitz getragen wird und einen kreisförmigen Umfang und einen Durchmesser aufweist, welcher dem vorher festgelegten Durchmesser entspricht oder innerhalb des vorher festgelegten Durchmesserbereichs liegt, mit keinem Teil der Unterteilungsstege überlappt,
 - mindestens ein erster bogenförmiger Teil (202a) der Unterteilungsstege erstreckt sich in einem Raum zwischen dem vierten Rahmensteg (42d; 142d) und der inneren Öffnung, definierend mindestens eine erste Hilfs-/Zusatzöffnung (66a, 66b; 166a, 166b),
 - mindestens ein zweiter bogenförmiger Teil (202b) der Unterteilungsstege erstreckt sich in einem Raum zwischen dem zweiten Rahmensteg (42b; 142b) und der inneren Öffnung, definierend mindestens eine zweite Hilfs-/Zusatzöffnung (68a, 68b; 168a, 168b),
 - die bogenförmigen Teile weisen einen Krümmungsradius auf, welcher an den vorher festgelegten Durchmesser oder den vorher festgelegten Durchmesserbereich angepasst ist;
 wobei die bogenförmigen Teile (202a, 202b) der Unterteilungsstege (60a, 60b; 160a, 160b) der Substratträger (12; 112) des Substratträgerstapels (10; 110) den inneren Aufnahmeraum des Substratträgerstapels mindestens in einer Richtung parallel zu einer ersten horizontalen Achse des Stapels von Trägern beschränken, welche parallel zu den ersten und dritten Stegrahmenachsen der Substratträger ist;
 wobei die ersten Hilfs-/Zusatzöffnungen und die zweiten Hilfs-/Zusatzöffnungen der inneren Zonen der Substratträger des Substratträgerstapels mindestens einen ersten Spülkanal (70; 70a, 70b; 170a, 170b) und mindestens einen zweiten Spülkanal (72; 72a, 72b; 172a, 172b) des Substratträgerstapels ausbilden, welche sich vertikal parallel zu dem inneren Aufnahmeraum an entgegengesetzten Seiten davon erstrecken;
 wobei der Substratträgerstapel (10; 110) mit Spülstrukturen bereitgestellt ist, welche horizontale Spülströmungen innerhalb des Substratträgerstapels durch Zwischenräume zwischen Substraten ermöglichen, welche durch die Substratsitze der Substratträger gehalten sind.