baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-112007000691-T5 (DE)
Title: Verfahren und System zum Reduzieren von Kriechgeräuschen bei Fahrzeugbremsen
Inventor: SCHIMITT OTTO
IPC: B60T8/32
Filed: 2007-03-20
Abstract: Ein
Verfahren zum Verringern von Knarzgeräuschen, die von Bremsen eines
Fahrzeugs ausgehen, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist:  Bestimmen
einer Fahrzeuggeschwindigkeit;  Bestimmen eines Bremsdrucks;  Bestimmen,
ob die Fahrzeuggeschwindigkeit niedriger als eine Geschwindigkeitsschwelle
ist;  Bestimmen, ob der Bremsdruck niedriger als eine Druckschwelle
ist; und dadurch gekennzeichnet, dass der Bremsdruck in wenigstens
einer aber weniger als allen der Bremsen angepasst wird um dadurch
das Knarzgeräusch zu
verringern, falls die Fahrzeuggeschwindigkeit niedriger ist als
die Geschwindigkeitsschwelle und der Bremsdruck niedriger ist als
die Druckschwelle.
Patent DE-112007003488-T5 (DE)
Title: Vorrichtung zum Bilden von Filmen auf Substraten
Inventor: LAMBERT STEPHEN MARK
IPC: B05D1/00
Filed: 2007-05-07
Abstract: Vorrichtung zum Bilden von Filmen auf Substraten  mit einer Rakelanordnung,  mit einem programmierbaren Roboter zum Bewegen der Rakelanordnung entlang von X-, Y- und Z-Achsen, wobei die X- und Y-Achsen etwa horizontal und die Z-Achse etwa vertikal liegen,  bei der die Rakelanordnung Folgendes enthält:  eine Rakel, die zur Befestigung auf dem Roboter ausgebildet ist und einen Körper mit einer Bodenfläche enthält, und  Abstandelemente an entgegengesetzten Enden des Körpers der Rakel, die sich über eine vorbestimmte Entfernung bis unter die Bodenfläche des Körpers zur Berührung des Substrats und zur Abstandbildung der Bodenfläche von dem Substrat erstrecken, wobei die Abstandelemente gegenüber dem Körpers der Rakel einstellbar sind, um die vorbestimmte Entfernung entsprechend der Dicke des auf dem Substrat zu bildenden Films einzustellen.
Patent DE-112008001362-T5 (DE)
Title: Rotoranordnung
Inventor: PURVINES STEPHEN H
IPC: H02K21/12
Filed: 2008-05-16
Abstract: Rotoranordnung, mit:  einem ersten Rotor mit einer ersten Grenzoberfläche; und  einem zweiten Rotor mit einer zweiten Grenzoberfläche, die der ersten Grenzoberfläche entspricht, wobei der erste Rotor mit der ersten Grenzoberfläche in direktem physikalischem Kontakt mit der zweiten Grenzoberfläche des zweiten Rotors angeordnet ist.
Patent DE-112008002712-T5 (DE)
Title: Ventilbrücke in einem Verbrennungsmotor
Inventor: HALLDIN MORGAN
IPC: F01L1/26
Filed: 2008-10-02
Abstract: Ventilaufsatz (8) für einen Verbrennungsmotor, der dazu ausgebildet ist, Steuerbewegungen von einer Nockenwelle (1) zu zwei Ventilen (9) für einen Brennraum (10) zu übertragen, wobei der Ventilaufsatz (8) aufweist:  einen ersten Kontaktbereich (8a), umfassend eine erste Kontaktfläche (8a 1 ), die dazu ausgebildet ist, mit einem Kipphebel (6) in Verbindung zu stehen,  zwei zweite Kontaktflächen (8b 1 ), wovon jede dazu ausgestaltet ist, mit einem der beiden Ventile (9) in Verbindung zu stehen,  einen Steuerbereich (8e), umfassend einen Steuerkanal (12), welcher eine erste Öffnung (12a) zum Aufnehmen eines Steuerelements (13) aufweist, und  eine Armstruktur (8c, d) umfasst, die den ersten Kontaktbereich (8a) mit dem Steuerbereich (8e) verbindet,  dadurch gekennzeichnet, dass der Ventilaufsatz (8) eine äußere Oberfläche umfasst, welche mindestens einen Schmierungspfad (14a, d) ausbildet, der sich von einem Bereich aus, der in oder nahe der ersten Kontaktfläche (8a 1 ) des Ventilaufsatzes gelegen ist, wo Schmiermittel verfügbar ist, zu einer zweiten...
Patent DE-112009003579-T5 (DE)
Title: Verstellbare  Sitzschiene mit  verbesserter Schienen-Eingriffsstruktur
Inventor: WOJATZKI MICHAEL
IPC: B60N2/07
Filed: 2009-12-18
Abstract: Eine Sitz-Verstellvorrichtung umfasst eine erste Schiene (24) und eine zweite Schiene (26), die jeweils eine Vielzahl von Öffnungen haben, die entlang einer Längsachse verlaufen, wobei die Öffnungen durch beabstandete Arretierflächen gebildet werden. Ein Arretiermechanismus mit einem ersten (56) und einem zweiten (58) Arretierabschnitt ist so eingerichtet, dass er mit der ersten und der zweiten Schiene in Eingriff kommt. Der erste (56) und der zweite (58) Arretierabschnitt können selektiv zwischen einer gelösten Position und einer arretierten Position gedreht werden. Der erste und der zweite Arretierabschnitt sind so eingerichtet, dass sie sich in der arretierten Position axial relativ entlang der Längsachse bewegen, so dass die Wechselwirkung des ersten und des zweiten Arretierabschnitts des Arretiermechanismus mit den beabstandeten Arretierflächen der Öffnungen der ersten und der zweiten Schiene Spiel in Längsrichtung zwischen ihnen verringert.
Patent DE-112010000761-T5 (DE)
Title: Mit Rippen versehener, zylindrischer Wärmetauscher
Inventor: GERGES IHAB EDWARD
IPC: F28D7/10
Filed: 2010-01-15
Abstract: Ein zylindrischer Wärmetauscher zur Verwendung als ein Gaskühler in einer thermischen regenerativen Maschine wie einer Stirling-Maschine enthält eine nicht perforierte Mittelwand von ausreichender Festigkeit und Dicke, um dem von dem Arbeitsfluid ausgeübten Druck zu widerstehen. Der Wärmetauscher enthält eine innere gewellte Wand, die sich innerhalb eines axialen Gasströmungsdurchgangs auf der Innenseite der Mittelwand befindet, und eine äußere gewellte Wand, die einen axialen Kältemittel-Strömungsdurchgang entlang der äußeren Oberfläche der Migang enthält vorzugsweise eine gewellte Zwischenwand.
Patent DE-112011103065-T5 (DE)
Title: Sperrschicht-Feldeffekttransistor für den Spannungsschutz
Inventor: MODICA ERIC
IPC: H01L27/02
Filed: 2011-08-15
Abstract: Offenbart werden Geräte und Verfahren, etwa solche, die einen Sperrschicht-Feldeffekttransistor für den Spannungsschutz beinhalten. Ein solches Gerät weist einen Schutzschaltkreis mit einem Eingang, einem Ausgang und einem JFET (300/600) auf. Der JFET weist eine Source (340/640) auf, die elektrisch an den Eingang gekoppelt ist, und ein Drain (360/660), das elektrisch an den Ausgang gekoppelt ist, wobei der JFET eine Abschnürspannung (Vp) in einer Größe von mehr als 2 V aufweist. Das Gerät weist ferner einen internen Schaltkreis mit einem Eingang auf, der dazu konfiguriert ist, ein Signal vom Ausgang des Schutzschaltkreises zu empfangen. Der Schutzschaltkreis stellt Schutz für den internen Schaltkreis vor Überspannungs- und/oder Unterspannungszuständen bereit und weist dabei eine reduzierte Größe im Vergleich zu einem JFET mit einer Vp in einer Größe von weniger als 2 V auf.
Patent DE-112011103297-T5 (DE)
Title: Aus mehreren Schichten bestehende Manschette
Inventor: SILVA COMPAGNET SEBASTIAN
IPC: B22C9/08
Filed: 2011-09-23
Abstract: Die Erfindung beschreibt eine Manschette aus zusammengesetzten Schichten, welche als Speiser zusätzlichen Metalls in einem Schmelzgussverfahren eingesetzt wird und die es ermöglicht Wärmeverluste zwischen ihren Wänden und dem Formsand zu reduzieren. Diese besteht aus zwei, einer äußeren exothermen und einer inneren isolierenden, konzentrischen Schichten, wobei diese vorbenannten Schichten einen oberen Hohlzylinderbereich und einem unteren Manschettenbodenbereich formen.
Patent DE-112011104474-T5 (DE)
Title: Säulen-Kontaktanlage und Verfahren für ihren Betrieb
Inventor: SAKUMA YASUMITSU
IPC: B01J10/00
Filed: 2011-12-19
Abstract: Diese Erfindung betrifft eine Säulen-Kontaktanlage zum Kontaktieren eines Gases mit einer Flüssigkeit in einem Aufwärtsfluß in einem Säulenbehälter, umfassend zwei oder mehr Stufen von strukturellen Wabenkörpern in dem Säulenbehälter in einer vertikalen Richtung, einen Raumbereich, gebildet zwischen den jeweiligen Stufen der strukturellen Wabenkörper, und einen Fluß-abgleichenden Bereich als Rückfluß-Verhinderungsmittel, vorgesehen in dem Raumbereich zwischen den jeweiligen Stufen, so daß der Fluß-abgleichende Bereich nicht mit den strukturellen Wabenkörpern in Kontakt gebracht wird, wobei der Fluß-abgleichende Bereich eine Vielzahl von Löchern mit Lochdurchmessern von 0,5 bis 8 mm umfaßt.
Patent DE-112012001520-T5 (DE)
Title: Fahrzeugsteuervorrichtung und -steuerverfahren
Inventor: FURUKAWA AKIHIRO
IPC: H02P25/22
Filed: 2012-02-03
Abstract: Ein Fahrzeugfahrmotor (4) ist mittels eines Wechselrichters (44) mit einer Batterie (42) elektrisch verbunden und so vorgesehen, dass ein gekoppelter Zustand bezüglich Antriebsrädern (36, 38) immer beibehalten wird. Unter einer Bedingung, dass ein aktueller Schaltbereich ein Fahrbereich ist, wird ein Stromleitungsmodus des Motors (4) auf einen Modus niedriger Drehzahl gesetzt, in dem ein Strom durch eine erste Wicklung (61) und eine zweite Wicklung (62) geleitet wird, wenn eine Drehzahl des Motors (4) kleiner als ein vorgegebener Schwellenwert (n) ist, und wird auf einen Modus hoher Drehzahl gesetzt, in dem ein Strom nur durch die erste Wicklung (61) geleitet wird, wenn die Drehzahl des Motors (4) größer oder gleich dem Schwellenwert (n) ist. Unter einer Bedingung, dass der aktuelle Schaltbereich ein neutraler Bereich ist, wird dagegen eine Steuerung des Wechselrichters (44) gestoppt und es wird eine Regenerationsunterbindungssteuerung ausgeführt, um den Stromleitungsmodus nicht nur in einem Drehzahlbereich der höheren Seite, in dem die Drehzahl des Motors (4) größer oder gleich dem Schwellenwert (n) ist, sondern auch mindestens in einem Teil eines Drehzahlbereichs der niedrigeren Seite, in dem die Drehzahl des Motors (4) kleiner als der Schwellenwert (n) ist, zu dem Modus hoher Drehzahl umzuschalten.
Patent DE-112012001618-T5 (DE)
Title: Gestapelter Halbleiterkörper, Verfahren zum Herstellen desselben und Halbleiterelement
Inventor: SATO SHINKURO
IPC: C23C16/34
Filed: 2012-04-03
Abstract: Problem: einen gestapelten Halbleiterkörper mit einem niedrigen elektrischen Widerstand in der Dickenrichtung, ein Verfahren zum Herstellen des gestapelten Halbleiterkörpers, und ein Halbleiterelement mit dem gestapelten Halbleiterkörper bereitzustellen. Lösung: ein gestapelter Halbleiterkörper (1) ist bereitgestellt, der ein Ga2O3-Substrat (2), das als eine Hauptebene eine Ebene hat, auf der Sauerstoffatome in einem hexagonalen Gitter angeordnet sind, eine AIN-Pufferschicht (3), die auf dem Ga2O3-Substrat (2) gebildet ist, und eine Nitridhalbleiterschicht (4), die auf der AIN-Pufferschicht gebildet ist, enthält.
Patent DE-112013000242-T5 (DE)
Title: Betrieb mit verschiedenen Zeitgebern in einem drahtlosen Kommunikationssystem
Inventor: YI SEUNGJUNE
IPC: H04B7/26
Filed: 2013-10-16
Abstract: Ein Betrieb eines Benutzergeräts (UE) mit mehreren Zeitgebern wird offenbart. Nach diesem Schema überwacht das Benutzergerät, wenn das Benutzergerät Werte für jeden von Zeitgebern, die in Beziehung stehen zu einem Betrieb mit diskontinuierlichem Empfang, von einem Netzwerk empfängt, einen physikalischen Abwärts-Steuerkanal (PDCCH) von einem Unterrahmen n + 1 bis zu einem Unterrahmen n + X auf der Grundlage eines ersten Zeitgebers aus den oben genannten Zeitgebern, wenn ein erstes Ereignis zum Starten des ersten Zeitgebers in dem Unterrahmen n auftritt, und überwacht den PDCCH von einem Unterrahmen n bis zu einem Unterrahmen n + X – 1 auf der Grundlage eines zweiten Zeitgebers aus den Zeitgebern, wenn ein zweites Ereignis zum Starten des zweiten Zeitgebers in dem Unterrahmen n auftritt.
Patent DE-112013000745-T5 (DE)
Title: Verbindung von mobilen Einheiten, um Transaktionen für mobilen Handel zu ermöglichen
Inventor: JONES ANGELA R
IPC: H04W84/20
Filed: 2013-03-21
Abstract: Beim Herstellen einer Verbindung zwischen mobilen Einheiten, um eine Mobile-Commerce-Transaktion (mCommerce-Transaktion) zu ermöglichen, erzeugt eine primäre mobile Einheit eine Aufforderung, eine Verbindung mit einem mCommerce-Konto der primären mobilen Einheit mit einem mCommerce-Bezahlsystem herzustellen, und sendet die Aufforderung an eine sekundäre mobile Einheit. Die sekundäre mobile Einheit empfängt die Aufforderung von der primären mobilen Einheit und sendet eine Zustimmung zum Herstellen einer Verbindung mit dem mCommerce-Konto an die primäre mobile Einheit. Die primäre mobile Einheit empfängt die Zustimmung von der sekundären mobilen Einheit und sendet einen Berechtigungsnachweis zum Herstellen einer Verbindung mit dem mCommerce-Konto an die sekundäre mobile Einheit. Die sekundäre mobile Einheit empfängt den Berechtigungsnachweis von der primären mobilen Einheit und erhält Daten, um unter Verwendung des Berechtigungsnachweises die Verbindung mit dem mCommerce-Konto zu ermöglichen. Die sekundäre mobile Einheit stellt unter Verwendung der Daten eine Verbindung mit dem mCommerce-Konto her.
Patent DE-112013002074-T5 (DE)
Title: Systeme und Methoden zur Behandlung einer Opioid-induzierten unerwünschten pharmakodynamischen Reaktion
Inventor: LAUTERMILCH NATHAN
IPC: A61P25/04
Filed: 2013-04-17
Abstract: In bestimmten Ausführungsformen wird eine Methode offenbart, eine Opioid-induzierte unerwünschte pharmakodynamische Reaktion zu behandeln oder dieser vorzubeugen, einschließlich der Verabreichung einer effektiven Menge an Buprenorphin an einen Patienten, der dies benötigt.
Patent DE-112013005744-T5 (DE)
Title: Solarzellenmodul
Inventor: ISHII YOSUKE
IPC: H01L31/05
Filed: 2013-11-12
Abstract: Bereitgestellt wird ein Solarzellenmodul, das eine verbesserte Zuverlässigkeit aufweist. Das Solarzellenmodul (1) ist mit einer Anzahl an Solarzellen (20) und einem blattförmigen Verdrahtungselement (30) versehen. Die Anzahl an Solarzellen (20) sind in einer ersten Richtung mit einem Abstand dazwischen angeordnet. Jede Solarzelle (20) weist eine erste und eine zweite Elektrode (21 und 22) auf einer ersten Hauptoberflächenseite auf. Das Verdrahtungsmaterial (30) verbindet die erste Elektrode (21) einer ersten Solarzelle und die zweite Elektrode (22) einer zweiten Solarzelle elektrisch miteinander, wobei die erste und die zweite Solarzelle aneinander angrenzend sind. Das Verdrahtungselement (30) erstreckt sich von einem Teil der ersten Solarzelle zu einem Teil der zweiten Solarzelle und bedeckt mindestens einen Teil des Raumes zwischen der ersten und zweiten Solarzelle. Eine Öffnung (33) ist in dem Bereich des Verdrahtungsmaterials (30), das den Raum bedeckt, gebildet.
Patent DE-112014001543-T5 (DE)
Title: Beschichteter Korpus, wobei das Beschichtungsschema eine Beschichtungsschicht aus  TiAL2O3 aufweist, und Verfahren zu dessen Herstellung
Inventor: LIU ZHENYU
IPC: C23C16/44
Filed: 2014-03-18
Abstract: Eine beschichtete Schneidplatte (20) und ein Verfahren zu deren Herstellung. Die beschichtete Schneidplatte (20) weist ein Substrat (22) mit einer Substratoberfläche (24, 26) auf. Es bestehen ein Trägerbeschichtungsschema auf der Substratoberfläche (24, 26) und eine TiAl2O3-Beschichtungsschicht, wobei die TiAl2O3-Beschichtungsschicht mit chemischer Gasphasenabscheidung aus einer gasförmigen Zusammensetzung abgeschieden wird, die AlCl3, H2, TiCl4, C02 und HCl aufweist.
Patent DE-112014003792-T5 (DE)
Title: Verfahren zum Bewerten von Poliertüchern und Verfahren zum Polieren  von Wafern
Inventor: TANAKA YUKI
IPC: H01L21/304
Filed: 2014-08-22
Abstract: Die vorliegende Erfindung liefert ein Verfahren zum Bewerten eines Poliertuchs, mit dem eine Lebensdauer eines Poliertuchs zum Polieren eines Wafers bewertet wird, wobei das Verfahren dadurch gekennzeichnet ist, dass eine Menge von auf dem Poliertuch abgelagerten Polierresten gemessen wird und die Lebensdauer des Poliertuchs auf Basis eines von der Messung gelieferten Messwerts bewertet wird. Somit kann das Verfahren zum Bewerten eines Poliertuchs und das Verfahren zum Polieren eines Wafers, das unmittelbar eine Lebensdauer eines Poliertuchs bewerten und ein Senken der Produktivität und der Ausbeuterate beim Polieren eines Wafers verhindern kann, bereitgestellt werden.
Patent DE-112014003825-T5 (DE)
Title: Verbindung von Solarzellen in einem Solarzellenmodul
Inventor: RIM SEUNG
IPC: H01L31/042
Filed: 2014-08-07
Abstract: Ein Solarzellenmodul umfasst in Reihe geschaltete Solarzellen (200). Eine Solarzelle (200) umfasst einen Träger (107), der an der Rückseite der Solarzelle (200) befestigt wird. Solarzellen (200) werden an einer Deckplatte (301) befestigt, und durch die Träger (107) der Solarzellen (200) werden Durchkontaktierungen gebildet. Eine Solarzelle (200) wird mit einer benachbarten Solarzelle (200) im Solarzellenmodul mit Metallverbindungen (304) in den Durchkontaktierungen elektrisch verbunden.
Patent DE-112014004781-T5 (DE)
Title: Umgruppieren und Überspringen von Zyklen in einem nichtflüchtigen Speicher
Inventor: BALAKRISHNAN GONIPATH
IPC: G11C7/10
Filed: 2014-10-16
Abstract: Ein nichtflüchtiger Speicher verwendet mehrere Programmierzyklen zum Schreiben von Dateneinheiten wie beispielsweise eine logische Seite von Daten in ein nichtflüchtiges Speicher-Array. Die Anwenderdaten werden vor dem Schreiben ausgewertet, um zu bestimmen, ob ein Programmieren für Buchtadressen übersprungen werden kann. Ob das Programmieren für einen anfänglichen Satz von Buchtgruppen übersprungen werden kann, wird bestimmt. Wenn eine Buchtgruppe nicht übersprungen werden kann, bestimmt das System, ob die Buchtgruppe einzelne Buchten umfasst, die übersprungen werden können. Buchten werden in neue Buchtgruppen umgruppiert, um die Anzahl von BAD-Zyklen während des Programmierens zu reduzieren. Unabhängige Spaltenadressierung für mehrere Buchten innerhalb einer Buchtgruppe ist vorgesehen. Während eines Spaltenadresszyklus wird eine separate Spaltenadresse für die Buchten bereitgestellt, um verschiedene Spalten innerhalb jeder Bucht zum Programmieren auszuwählen. Durch gleichzeitiges Programmieren mehrerer Spaltenadressen während eines einzigen Spaltenadresszyklus kann das System das Programmieren für einige Spaltenadresszyklen überspringen.
Patent DE-112014006231-T5 (DE)
Title: Gurtschlossbringer
Inventor: MOON CHAN KI
IPC: B60R22/20
Filed: 2014-11-21
Abstract: Ein Gurtschlossbringer, umfassend: Ein Gehäuse, das fest an einer vorbestimmten Position installiert ist; mindestens ein Kabel, das so installiert ist, dass es das Gehäuse durchdringt und sich in Längsrichtung des Gehäuses vor und zurück bewegen kann und an dessen vorderen Ende ein Gurtschloss angeschlossen ist; einen Schieber, der mit einem hinteren Ende des Kabels verbunden ist und der im Inneren des Gehäuses verschiebbar ist; eine Antriebseinheit, die mit dem Schieber verbunden ist und die Vor- und Zurückbewegung des Schiebers erzeugt; einen Motor mit Antriebswelle, der Energie zum Antreiben der Antriebseinheit bereitstellt; eine Umleitungseinheit, die an einem vorderen Ende des Gehäuses installiert ist und die Bewegungsrichtung des Kabels verändert; ein elastisches Rohr, das zwischen der Umleitungseinheit und dem Gurtschloss angeschlossen ist und das sich entlang der Bewegungsrichtung des Kabels streckt oder staucht; sowie eine Kabelhalteeinheit, die zwischen dem elastischen Rohr und dem Gurtschloss mit dem Äußeren des Kabels gekoppelt ist.
Patent DE-112015000019-T5 (DE)
Title: Kraftübertragungsvorrichtung mit mehr als zwei Kolben, und Verfahren zum Bestimmen einer Rückstellfederkraft in Derselben
Inventor: PARK DONG-HOON
IPC: F16D25/0638
Filed: 2015-06-12
Abstract: Es wird ein Verfahren zum Bestimmen einer Rückstellfederkraft in einer Kraftübertragungsvorrichtung mit einem oder mehr Kolben offenbart. Die Kraftübertragungsvorrichtung kann Folgendes aufweisen: ein Gehäuse, das zum Bilden eines Montageraums ausgebildet ist; ein Kupplungspaket, die mit mehreren separaten Scheiben, die mit dem Gehäuse verkeilt sind, und mehreren Reibscheiben, die abwechslungsweise mit den separaten Scheiben angeordnet sind, ausgebildet ist, wobei die separaten Scheiben und die Reibscheiben gezielt durch Reibung aneinander gekoppelt werden; eine Kraftübertragungsnabe die mit den Reibscheiben verkeilt ausgebildet ist; zwei oder mehr Kolben, von denen jeder mit einer Kolbenkammer ausgebildet ist und die das Gehäuse mit der Kraftübertragungsnabe in Wirkverbindung bringen, indem eine axiale Kraft, die durch einen hydraulischen Betriebsdruck in die Kolbenkammern zugeführt wird, gezielt auf die Kupplungspaket aufgebracht wird; sowie mindestens eine Rückstellfeder, die zum Bereitstellen einer Rückstellfederkraft, die einer axial Kraft, die durch den hydraulischen Betriebsdruck verursacht wird, entgegenwirkt, ausgebildet ist.
Patent DE-112015001057-T5 (DE)
Title: Schwingungsdämpfender elektromagnetischer Aktuator, aktive fluidgefüllte Schwingungsdämpfungsvorrichtung und aktive Schwingungsdämpfungsvorrichtung, bei denen dieser verwendet wird
Inventor: YASUDA TAKAYOSHI
IPC: H02K33/16
Filed: 2015-11-02
Abstract: Dieser schwingungsdämpfende elektromagnetische Aktuator (10) für eine Schwingungsisolation ist mit einem Stator (68) und einem bewegbaren Element (70) ausgestattet, wobei eines davon mit Spulen (74) versehen ist, und ist so ausgebildet, dass das bewegbare Element (70) in Bezug auf den Stator (68) als Ergebnis der Wirkung eines Magnetfelds, das durch Leiten eines Stroms durch die Spulen (74) erzeugt wird, verschoben wird. Das bewegbare Element (70) ist innerhalb des Stators (68) oder um den Stator (68) herum angeordnet. Eine zylindrische Führungshülse (116) ist zwischen dem Stator (68) und dem bewegbaren Element (70) angeordnet und das bewegbare Element (70) ist so ausgebildet, dass es entlang der Führungshülse (116) gleiten kann. Ferner ist ein elastischer Trägerkörper (122) an der Führungshülse (116) angebracht. Der elastische Trägerkörper (122) ist sandwichartig zwischen dem Stator (68) und einem Teil entfernt von der Führungshülse (116) angeordnet und die Führungshülse (116) ist elastisch auf dem Stator (68) gestützt.
Patent DE-112015003423-T5 (DE)
Title: Substratvorratsbehälter
Inventor: OGAWA OSAMU
IPC: H01L21/673
Filed: 2015-07-21
Abstract: Zur Schaffung eines Substratvorratsbehälter, der den effektiven Austausch von Luft im Inneren des Behälterhauptkörpers durch ein Substratschutzgas erlaubt. Der Substratvorratsbehälter umfasst: einen Behälterhauptkörper 1, der zur Aufnahme einer Mehrzahl von Halbleiterwafern W geeignet ist; ein Belüftungsventil für die Zufuhr von einem Spülgas in den Behälterhauptkörper; eine Luftaustauscheinheit 40, die das Spülgas von dem Belüftungsventil in das Innere des Behälterhauptkörpers 1 ausbläst. Der Behälterhauptkörper 1 ist in der Form eines an der Vorderseite offenen Kastens ausgebildet, wobei das Belüftungsventil an der Rückseite der Bodenplatte 6 angeordnet ist. Die Luftaustauscheinheit 40 umfasst ein Gehäuse 41 zum Rückhalten des Spülgases von dem Belüftungsventil und eine die offene Vorderseite 42 abdeckende Abdeckung. Der Boden des Gehäuses 41 ist derart mit dem Belüftungsventil verbunden, dass Spülgas strömen kann, während das Gehäuse 41 an dessen oberen Teil durch eine Rückwand 18 des Behälterhauptkörpers 1 befestigt ist. Entweder das Gehäuse 41 oder die Abdeckung 52 sind mit einer Mehrzahl von Blaslöchern 55 zum Blasen des Substratschutzgases in das Gehäuseteil zu der Vorderseite des Behälterhauptkörpers 1 ausgebildet.