Patent ES-2699694-T3 (ES)
Title: Dispositivo óptico de medición de posición
Inventor: HOLZAPFEL WOLFGANG
IPC: G01D5/38
Filed: 2011-05-04
Granted: 2019-02-12
Abstract: Dispositivo óptico de medición de posición para detectar la posición relativa de una unidad de exploración (20; 220; 320; 420; 520; 520'; 620; 2000) y un estándar de medición (10; 210; 310; 410; 510; 510'; 610; 1000), en donde la unidad de exploración (20; 220; 320; 420; 520; 520'; 620; 2000) y el estándar de medición (10; 210; 310; 410; 510; 510'; 610; 1000) se pueden mover uno respecto del otro a lo largo de un dispositivo de medición curvilíneo (x) y en donde - la unidad de exploración (20; 220; 320; 420; 520; 520'; 620; 2000) presenta al menos una unidad reflectora (2000) y una unidad de detección y la unidad reflectora (2000) está compuesta por un primer corrector frontal de onda (2100), un inversor de la dirección de los haces (2300) y un segundo corrector frontal de onda (2200) y - la unidad reflectora (2000) en la unidad de exploración (20; 220; 320; 420; 520; 520'; 620; 2000) está dispuesta y/o configurada de modo tal que el haz de rayos pasan primero por una primera combinación de estándar de medición (10; 210; 310; 410; 510; 510'; 610; 1000) y un primer corrector frontal de onda (2100), luego a través del inversor de la dirección de los haces (2300) se produce una retrorreflexión de haces de rayos parciales en la dirección del estándar de medición (10; 210; 310; 410; 510; 510'; 610) y los haces de rayos parciales pasan luego por una segunda combinación de estándar de medición (10; 210; 310; 410; 510; 510'; 610; 1000) y un segundo corrector frontal de onda (2200), antes de que los haces de rayos parciales incidan luego sobre la unidad de detección, en donde - a través de la unidad reflectora (2000) se asegura que las deformaciones del frente de onda de los haces de rayos parciales, que resultan a través de la primera difracción en el estándar de medición (10; 210; 310; 410; 510; 510'; 610; 1000), se convierten en deformaciones del frente de onda, que compensan las deformaciones del frente de onda resultantes de los haces de rayos parciales en la segunda difracción en el estándar de medición (10; 210; 310; 410; 510; 510'; 610), donde - a través del primer corrector frontal de onda (2100) se produce una conversión de los frentes de onda que salen de la primera combinación de estándar de medición (10; 210; 310; 410; 510; 510'; 610) y un primer corrector frontal de onda (2100) en haces de rayos parciales colimados con frentes de onda planos y - a través del segundo corrector frontal de onda (2200) se produce una conversión de los frentes de onda que salen de la segunda combinación de estándar de medición (10; 210; 310; 410; 510; 510'; 610) y segundo corrector frontal de onda (2200) en haces de rayos parciales colimados con frentes de onda planos, de modo que los frentes de onda de los haces de rayos parciales que se superponen después de la segunda difracción en el estándar de medición (10; 210; 310; 410; 510; 510'; 610) son iguales en el lugar de la superposición y en donde ya sea - la primera combinación de estándar de medición (10; 210; 310; 410; 510; 510'; 610) y primer corrector frontal de onda (2100) está dispuesta en el orden de estándar de medición (10; 210; 310; 410; 510; 510'; 610) de primer corrector frontal de onda (2100) en la dirección de propagación de los rayos y - la segunda combinación de estándar de medición (10; 210; 310; 410; 510; 510'; 610) y segundo corrector frontal de onda (2200) está dispuesta en el orden de segundo corrector frontal de onda (2200) - estándar de medición (10; 210; 310; 410; 510; 510'; 610) en la dirección de propagación de los rayos o - la primera combinación de estándar de medición (10; 210; 310; 410; 510; 510'; 610) y primer corrector frontal de onda (2100) está dispuesta en el orden de primer corrector frontal de onda (2100) - estándar de medición (10; 210; 310; 410; 510; 510'; 610) en la dirección de propagación de los rayos y - la segunda combinación de estándar de medición (10; 210; 310; 410; 510; 510'; 610) y segundo corrector frontal de onda (2200) está dispuesta en el orden de estándar de medición (10; 210; 310; 410; 510; 510'; 610) - segundo corrector frontal de onda (2200) en la dirección de propagación de los rayos.