baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-100479662-B1 (KR)
Title: 착유기 유두컵용 백색 라이너 고무조성물
IPC: A61M1/06
Filed: 2002-07-24
Granted: 2005-03-30
Abstract: 본 발명은 착유기 유두컵용 백색 라이너 고무조성물에 관한 것이다. 
     본 발명은 천연고무(NR), 에틸렌프로필렌디엔고무(EPDM) 및 부틸고무(Butyl rubber)로 이루어진 원료고무에 실리카를 사용하여 종래 라이너와 동등 수준 이상의 물성과 수명을 가지는 한편 라이너의 색상을 순백색으로 하여 라이너에 이물질이 묻거나 오염이 되었을 때 이를 쉽게 확인할 수 있는 백색 라이너 고무조성물의 제공을 목적으로 한다. 
     본 발명의 착유기 유두컵용 백색 라이너 고무조성물은 공지의 착유기 유두컵용 라이너 고무조성물에 있어서, 천연고무(NR) 40∼50 중량부, 합성고무 50∼60 중량부가 혼합된 원료고무 100 중량부에 대하여 실리카 40∼45 중량부 포함하는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100472531-B1 (KR)
Title: 연속주조설비중 구동롤의 압하 제어방법
IPC: B22D11/16
Filed: 2002-08-29
Granted: 2005-03-08
Abstract: 본 발명은 주조중에 세그먼트의 상부프레임에 작용하는 압력을 이용하여 구동롤의 압하력을 산출할 수 있는 연속주조설비중 구동롤의 압하 제어방법에 관한 것으로, 세그먼트 압하실린더로 세그먼트 상부프레임을 동작시켜 주조중 롤갭을 조정할 수 있는 연속주조기에서 스트랜드 세그먼트 구동롤의 압하력을 제어하는 방법에 있어서, 상기 세그먼트 압하실린더에 작용하는 압력을 주기적으로 측정하는 단계와; 구동롤에 압하력을 가하는 구동롤 압하실린더를 통해 작용하는 압력을 주기적으로 측정하는 단계와; 상기 각 단계에서 측정된 세그먼트 압력정보와 구동롤 압력정보 및 세그먼트 롤개수를 이용하여 현재 작용되는 전체압력을 롤개수로 나누어 구해진 새로운 압력값을 산출하는 단계와; 산출된 압력값을 이전 주기의 것과 비교하여 그 차이만큼을 가감하여 구동롤을 압하제어하는 단계를 포함하여 구성된다. 
     본 발명에 따르면, 세그먼트 상부프레임에 작용하는 압력과 구동롤에 작용하는 압력을 이용하여 정확한 구동롤의 압하력을 산출, 제어할 수 있음으로써 주편의 품위향상은 물론 보다 정확한 주조속도를 제어할 수 있는 커다란 효과를 제공한다.
Patent KR-100477189-B1 (KR)
Title: 슬림플로어용 래티스보
IPC: E04C5/06
Filed: 2002-09-04
Granted: 2005-03-17
Abstract: 본 발명은 슬림플로어용 보에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 종래 철골 구조에서 사용되던 H형강 대신 스틸 플레이트 등을 사용하여 제작함으로써 경제적으로 슬림플로어 시스템을 구현할 수 있는 슬림플로어용 래티스보에 관한 것이다. 
     본 발명에 따른 슬림플로어용 래티스보의 구성은 하부플레이트; 상기 하부플레이트의 상방으로 설치된 상부철골; 상기 하부플레이트와 상기 상부철골을 연결하도록 설치된 전단연결재; 및 상기 하부플레이트의 상부에 설치되고, 상기 상부철골 및 상기 전단연결재를 감싸면서 보의 외형을 형성하는 피복콘크리트를 포함하여 이루어지며, 상기 하부플레이트는 상기 피복콘크리트의 측면 외부로 돌출되어 바닥판을 지지하는 거치단부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다. 
     상기와 같이 구성된 본 발명에 의하면, 종래의 H형강이 가지고 있던 플랜지, 웨브 구조가 구조적인 면에서 더욱 합리적으로 구성됨으로써 경제적으로 슬림플로어 시스템을 구현할 수 있는 슬림플로어용 래티스보가 제공되며, 스틸 플레이트, 채널형 형강 및 철근 등 비교적 자재의 조달이 용이한 강재를 사용하여 구성됨으로써 제작이 용이하고, 공장에서뿐 아니라 현장에서도 직접 제작이 가능한 슬림플로어용 래티스보가 제공된다.
Patent KR-100510263-B1 (KR)
Title: 추진축 지지구조
IPC: B60K17/24
Filed: 2002-09-05
Granted: 2005-08-26
Abstract: 본 발명은 종래의 추진축 지지구조는 프런트 프로펠러 샤프트와 리어 프로펠러 샤프트가 소정의 각도를 이루도록 연결하는 이음부를 회전 가능하게 지지하는 센터 베어링과, 변속기의 출력축과 상기 프런트 프로펠러 샤프트를 연결하는 프런트 유니버셜 조인트와, 상기 리어 프로펠러 샤프트와 리어 액슬을 연결하는 리어 유니버셜 조인트와, 차량의 플로어 패널에 상하 이동 가능하게 설치되어 상기 센터 베어링을 지지하는 센터 베어링 브라켓과, 상기 센터베어링 하측에 설치되어 상기 센터베어링과 접촉되는 종동 피스톤로드와, 상기 종동 피스톤로드의 일단이 삽입되고, 유체의 유압에 의해 상기 종동 피스톤로드를 상하 이동시키는 종동실린더와, 내부에 유체가 충진되고, 유압관로를 통해 상기 종동실린더와 연결되는 가동실린더와, 상기 가동실린더 내부에 일단이 설치되고, 타단은 상기 리어 액슬에 접촉되며, 상기 리어 액슬의 진동에 따라 상하로 이동되어 상기 가동실린더 내부의 유체에 압력을 가함으로서 상기 종동 피스톤로드가 상하 이동되게 하는 가동 피스톤로드를 포함하여 구성되어, 리어 액슬이 상하 진동될 때 센터 베어링 부분이 연동되어 상하로 이동됨으로써 프런트 프로펠러 샤프트와 리어 프로펠러 샤프트가 이루는 각도가 일정 수준으로 유지되어 진동이나 소음이 감소되고 변속기의 내구성도 좋아지게 되는 추진축 지지구조에 관한 것이다.
Patent KR-100755764-B1 (KR)
IPC: C10L1/22
Filed: 2002-09-13
Granted: 2007-09-05
Abstract: 직접 분사 가솔린 엔진에서 분사기 침전물이 하기 식 (1) 을 갖는 연료-용해성 화합물을 포함하는 연료 조성물을 상기 직접 분사 엔진의 조작을 위한 연료로서 제공함으로써 감소된다: 
     [화학식 1] 
     
       
     
     (식 중, R 1  및 R 2  는 독립적으로 C 1-4  알킬이고, R 3  은 식 C m H 2m  (식 중, m 은 2 내지 6 의 정수임)의 라디칼이며, R 4  및 R 5  는 각각 독립적으로 (i) 수소, (ii) C 1-4  알킬,  
     (iii) 
     
       
     
     (식 중, R 6  은 수소 및 C 1-4  알킬로 이루어지는 군으로부터 선택되고, R 7  은 수소 및 C 1-30  알킬로 이루어지는 군으로부터 선택됨), 
     (iv) 
     
       
     
     (식 중, R 8  은 포화 또는 불포화, 선형, 분지형 또는 시클릭, C 7-23  히드로카르빌기임) 이거나, 또는  
     (v) R 4  및 R 5  가 그들이 결합된 질소 원자와 함께 추가적인 헤테로 원자에서 시클릭 환을 형성함.).
Patent KR-100471855-B1 (KR)
Title: 차량 핸즈프리시스템의 성능향상장치 및 방법
IPC: H04B1/10
Filed: 2002-09-13
Granted: 2005-03-10
Abstract: 본 발명은 차량 핸즈프리시스템의 성능향상장치 및 방법에 관한 것으로, 차량내 무지향성 마이크와 지향성 마이크를 함께 설치한 후 무지향성 마이크로부터 음성소스가 수신된 경우 지향성 마이크를 음성소스 방향으로 설정함으로써 핸즈프리 마이크의 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
Patent KR-100473099-B1 (KR)
Title: 수직형 자카드식 직조기
IPC: D03C3/00
Filed: 2002-10-11
Granted: 2005-03-10
Abstract: 본 발명은 수직형 자카드식(Jacquard) 직조기에 관한 것으로, 경량형 자카드식 직조기이며, 기계 받침대 상측에는 중공인 수직 로드를 설치하고, 주 전동벨트를 상기 수직 로드 내에 설치하고, 상기 수직 로드 상단에는 헤드부와 동력 전달 장치를 설치하고, 씨실 전동 장치를 상기 수직 로드 양측에 대칭되도록 설치함으로써 상기 수직 로드의 설계를 간소화하여 원가를 절감하고 안정성을 제고하는 동시에 전동 장치를 기계 받침대 중앙부에 위치시켜 양호한 전동 기능을 제공하며, 또한 양측에 빈 공간을 형성하여 조작자가 편리하게 실을 꿰거나 유지 보수를 할 수 있다.
Patent KR-100507891-B1 (KR)
Title: 이중척식 샤프펜슬
IPC: B43K29/02
Filed: 2002-10-15
Granted: 2005-08-11
Abstract: 본 발명에 따른 이중척식 샤프펜슬은 앞쪽외통(1)과, 이 앞쪽외통(1)의 앞끝에 분리할 수 있게 부착된 선구(3), 상기 앞쪽외통(1) 내에 미끄럼이동할 수 있게 설치된 필심탱크(4), 필심을 공급하기 위해 상기 필심탱크(4)에 연결된 필심조출척(5), 상기 선구(3)와 필심조출척(5) 사이에 끼워지도록 설치된 슬리브(7), 이 슬리브(7)의 앞끝에 접촉하도록 설치된 슬리브받침(9) 및, 이 슬리브 받침(9)의 앞끝에 고정되어 연결된 선단척(10)으로 구성되되, 상기 선단척(10)과 슬리브받침(9)을 포함하는 선단척유니트와, 상기 필심조출척(5)과 슬리브(7)를 포함하는 필심조출척유니트가 선구(3) 내에서 서로 접촉하도록 구성되어 있다.
Patent KR-100493183-B1 (KR)
Title: 테이프 이송수단 및 이를 구비한 캐리어테이프 피더
IPC: H05K13/00
Filed: 2002-10-22
Granted: 2005-06-02
Abstract: 본 발명은 테이프의 슬립과 나풀거림을 방지하여 고장이 적고 또한 집적회로칩의 공급을 보다 안정적으로 수행할 수 있는 테이프 이송수단 및 이를 구비한 캐리어테이프 피더를 제공하는 것을 목적으로 한다. 
     상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은: 프레임; 링 형상의 측부 및 상기 측부의 원주단부로부터 수직해서 연장되고 테이프와 접촉하는 원주부를 구비한 이송기어, 상기 이송기어의 원주부 내측에 상기 이송기어의 회전축을 따라 이동할 수 있도록 수용되며 상기 이송기어에 대한 회전을 방지하는 회전방지부를 구비한 링 형상의 접촉플레이트, 상기 이송기어와 접촉 플레이트 사이에 압축된 상태로 개재된 제 1 탄성부재, 상기 이송기어와 동일한 회전축을 가지며 이송기어에 대한 상대회전이 가능하고 동력원으로부터 토크를 받는 구동부재, 및 상기 이송기어 및 접촉 플레이트를 사이에 두고 구동부재의 맞은편에 배치되며 상기 구동부재에 축방향 및 회전방향으로 고정된 슬립부시를 구비하고, 상기 프레임에 회전가능하게 지지된 제 1 기어유니트; 및 상기 이송기어의 원주부에 형성된 치와 맞물리는 치가 형성된 대응기어를 구비하고, 상기 프레임에 회전가능하게 지지된 제 2 기어유니트;를 구비한 테이프 이송수단을 제공한다.
Patent KR-100499886-B1 (KR)
Title: 고무시편용 이축 인장시험기
IPC: G01N3/08
Filed: 2002-11-06
Granted: 2005-07-05
Abstract: 본 발명은 고무재료의 이축인장시험기에 관한 것으로, 특히 고무시편의 방사방향에 따른 이축 인장시험기 및 시편그립에 관한 것이다.  
     고무재료의 압축시험은 일반적인 금속시험과는 달리 재료의 높은 마찰계수와 변형특성 때문에 정확한 압축시험결과(압축변형률, 압축응력)를 얻을 수 없다. 그러나 고무판의 이축 인장시험(방사형 인장시험)을 통해 두께가 얇아지는 현상을 이용하면 압축시 발생되는 재료의 변형특성과 동일하게 고려할 수 있다. 이러한 변형특성은 재료의 마찰에 대한 영향이 없는 것으로 실제적인 압축변형률과 압축응력을 계산할 수 있다. 그러나 실제적인 압축실험결과와 이축 인장시험결과를 보정하기 위해 환산식을 사용한다. 
     본 발명에서 제시하는 이축 인장시험기의 역할은 원판형 고무시편을 방사 방향으로 인장 시키는 것이다. 이축 인장시험기는 도 2(a)와 같이 원주방향으로 작용하는 하중과 변형량을 동일하게 유지하는 것이 중요하다. 고무판은 그립에 의해 체결되며, 그립은 와이어(11b)와 연결되어 무빙플레이트(13)에 장착된다. 풀리(11a)의 역할은 무빙플레이트의 상하 운동방향을 원판형 고무시편에 방사방향으로 변환시키는 것이다. 무빙플레이트(13)의 원활한 상하운동과 운동중의 마찰저항을 최소화하기 위해 볼부시(12a)를 장착하였다. 볼부시(12a)는 지지대(12)를 통해 정확한 수직운동을 안내하는 역할을 한다. 원판형 고무시편에 16개의 그립이 체결되며, 시편과 그립이 체결된 부분에서 미끄럼이 발생되지 않아야 된다. 원판형 고무시편의 인장 시험시 높은 포와송 비 때문에 그립부분의 두께가 얇아진다. 그러므로 그립과 고무시편의 체결부위에서 미끄럼이 발생될 수 있다. 그립(20)은 일측에 피봇축(21)을 중심으로 두개의 니퍼(20a)(20b)의 끝단이 서로 맞물리도록 하되, 그 접하는 면에 톱니형 이빨을 형성하고 두 니퍼간에 스프링(22)을 설치하여 서로 맞물리는 탄성력이 일정하게 작용하도록 함으로서 고무시편을 체결하여 인장 시키는 과정에 고무시편의 두께가 얇아지더라도 그립(20)은 스프링(22)의 탄성력에 의해 16개의 그립들의 동일한 체결력을 연속적으로 유지할 수 있어 고무시편의 압축하중과 변형률을 신뢰할 수 있는 측정치를 얻을 수 있다.
Patent KR-100498564-B1 (KR)
Title: 마그네트론장치
IPC: H01J25/587
Filed: 2002-11-06
Granted: 2005-07-01
Abstract: 본 발명의 마그네트론장치에 있어서는, 양극 원통(6)의 안쪽에 방사상으로 배치된 양극베인(15)에 제 1 절개부(17)와 제 2 절개부(19)와 제 3 절개부(20)를 형성하여, 인접한 2개의 양극 베인(15)과 양극 원통(6)과 균압 고리(9,10)에 의해 구성되는 공진체가 흐르는 고주파전류의 통로를 가늘고, 그리고 길게 형성하고 있다.
Patent KR-100533020-B1 (KR)
Title: 통화 모드 변경 방법
IPC: H04W76/02
Filed: 2002-11-12
Granted: 2005-12-02
Abstract: 본 발명은 통화 모드 변경 방법에 관한 것으로 특히, 음성 통화 또는 화상 통화 중에 통화 모드를 변경하려는 경우 3GPP 규격의 하나인 in-call modification 기능을 이용하여 전환하고자 하는 통화 모드로 전환 가능하도록 함에 목적이 있다. 이러한 목적의 본 발명은 이동통신 단말기(110)(120) 간의 통화를 지원하는 통신 시스템에 있어서, 상기 이동통신 단말기(110)로부터 음성 또는 화상 통화로 전환하기 위한 통화모드 변경 요청이 있는지 판단하는 제1 단계와, 상기 이동통신 단말기(110)에 할당 가능한 해당 통화모드의 채널이 있는지 확인하는 제2 단계와, 상기 제2 단계에서 할당 가능한 채널이 있으면 상기 이동통신 단말기(110)로 채널을 할당하는 제3 단계와, 상기 이동통신 단말기(110)로부터의 통화 모드 변경 요청 메시지를 상기 이동통신 단말기(120)로 전송하고 그에 대한 응답 메시지를 점검하여 통화 모드 변경이 가능한지 확인하는 제4 단계와, 상기 이동통신 단말기(120)가 상기 요청된 통화 모드로 변경 가능하면 그 이동통신 단말기(120)로 할당 가능한 해당 통화모드의 채널이 있는지 확인하는 제5 단계와, 상기 제5 단계에서 할당 가능한 채널이 있으면 상기 이동통신 단말기(120)로 채널을 할당하는 제6 단계와, 상기 이동통신 단말기(110)(120)로의 채널 할당이 종료되면 현재 할당된 채널을 연결하여 변경된 통화 모드로 통화를 진행시키는 제7 단계를 수행함을 특징으로 한다.
Patent KR-100943607-B1 (KR)
IPC: H04B1/69
Filed: 2002-12-13
Granted: 2010-02-24
Abstract: 파일롯 채널 신호를 검출하는 CDMA 수신기는 다수의 이미 알고 있는 로직 1칩들과 다수의 이미 알고 있는 로직 0칩들로 구성된 이미 알고 있는 의사-랜덤 노이즈 (PN)를 가진다. 상기 CDMA 수신기는 CDMA 수신기는 메모리부와 의사-신호 생성기와 제1 정합 필터와 결정회로로 구성된다. 상기 메모리부는 칩 샘플들의 제1 원시 시퀀스로서 상기 파일롯 채널 신호의 샘플들을 저장한다. 상기 의사-신호 생성기는 상기 칩 샘플들의 제1 원시 시퀀스 중 선택된 하나를 재정렬하며, 그로 인해 칩 샘플들의 제1 재정렬된 시퀀스를 생성한다. 그리고 상기 의사-신호 생성기는 칩 샘플들의 상기 원시 시퀀스와 칩 샘플들의 상기 제1 재정렬된 시퀀스를 결합시키고, 그로 인해 결합된 칩 샘플들의 제1 의사-신호 시퀀스를 생성한다. 상기 제1 정합 필터는 상기 결합된 칩 샘플들의 제1 의사-신호 시퀀스와 상기 이미 알고 있는 PN 칩 시퀀스 사이의 상대적 상관관계를 나타내는 제1 상관 값을 계산한다. 상기 결정회로는 상기 파일롯 채널 신호가 검출되었는지의 여부를 상기 제1 상관 값으로부터 결정한다.    
     
     CDMA 수신기, 신호대 잡음비, 파일롯 채널 신호, 의사 랜덤 노이즈
Patent KR-100488677-B1 (KR)
Title: 엘시디 백라이트용 필름 인쇄장치
IPC: G02F1/13
Filed: 2002-12-20
Granted: 2005-05-16
Abstract: 본 발명은 액정표시장치의 백라이트에 사용되는 필름 인쇄장치에 관한 것으로, 필름이 공급릴에 권취되어 회전하면서 필름을 공급하는 필름공급장치와; 모터에 의해 회전하면서 필름공급장치로부터 공급된 필름의 이물질을 제거하는 세척롤러가 다수 구비된 세척장치와; 모터에 의해 전후좌우로 이동되고 하단에 실린더에 의해 상하승강되는 스퀴지를 구비한 이동구와, 이동구가 설치되는 가이더와, 스퀴지 하부의 본체상에 설치되어 필름을 진공으로 흡착하는 진공흡착테이블과, 진공흡착테이블의 상부에 필름이 통과하는 일정한 간격으로 이격설치되어 잉크를 충전하는 스크린으로 구성된 인쇄장치와; 필름을 일정한 길이만큼 간헐적으로 공급하는 피치이송롤러와, 피치이송롤러에 의해 공급된 필름을 절단하는 컷터와, 컷팅된 필름을 다음 공정장치로 이송하는 컨베이어로 구성된 절단장치로 구성하므로서, 
     필름과 테이블, 스크린의 간격을 일정하게 유지하여 직접적인 간섭을 피하여 작업에 소요되는 인력 및 시간을 최소화하고 생산성을 극대화함은 물론, 필름의 손상을 방지하고, 정확성을 향상시켜 제품의 불량율을 최소화 할 수 있는 것이다.
Patent KR-100468989-B1 (KR)
Title: 차속 제어 시스템 및 방법
IPC: B60W10/18
Filed: 2001-05-14
Granted: 2005-02-02
Abstract: 엔진 및 자동 변속기가 설비된 차량을 위한 차속 제어 시스템은 설정 차속을 감소시키기 위한 타력 주행 스위치와, 타력 주행 스위치에 연결된 제어기를 포함한다.  상기 제어기는 엔진의 스로틀 및 자동 변속기를 제어함으로써 차속을 설정 차속으로 제어하고, 설정 차속을 감소시키도록 타력 주행 스위치가 조작된 때 자동 변속기의 기어비를 설정 차속을 감소시키기 이전의 시점에서 설정된 기어비로 유지한다.  따라서, 차량을 가속하기 위하여 스로틀 개도가 개방될지라도, 엔진 회전 속도는 이러한 변속 조건 하에서 결코 급격하게 증가되지 않는다.  이는 엔진이 소음을 과도하게 발생시키는 것을 방지한다.
Patent KR-100505336-B1 (KR)
IPC: C12N1/21
Filed: 2000-10-05
Granted: 2005-07-29
Abstract: The invention relates to a method for production of l-cysteine or l-cysteine derivatives by means of a fermentation with micro-organisms and micro-organisms suitable for said method. The micro-organism strain adapted to fermentative production of l-cysteine or l-cysteine derivatives comprises a deregulated cysteine metabolism which is not dependent upon an altered cysB activity. Said micro-organism strain is furthermore characterized by an elevated cysB activity, whereby the cysB activity comprises a regulation pattern typical for a wild type cysB.
Patent KR-100691092-B1 (KR)
IPC: H04L27/26
Filed: 2000-11-10
Granted: 2007-03-09
Abstract: 디지털 오디오 방송 시스템에서 데이터의 전송 방법은 복수의 직교 주파수 분할 다중화된 서브캐리어에 데이터 서브캐리어와 기준 서브캐리어를 포함하는 서브캐리어를 제공하는 단계와 데이터 서브캐리어를 전송될 정보를 표현하는 디지털 신호와 변조하는 단계를 포함한다. 기준 서브캐리어는 타이밍 비트 시퀀스로 변조되고 여기서 타이밍 비트 시퀀스는 모호하지 않은 블럭 동기화 워드를 포함하고 있다. 그리고 블럭 동기화 워드를 구성하는 비트의 수는 상기 타이밍 시퀀스의 비트 수의 절반보다 적다. 그 후, 직교 주파수 분할 다중화 서브캐리어가 전송된다. 블럭 동기화 워드를 차동 검출해내고, 그 블럭 동기화 워드를 사용하여 전송될 정보를 표현하는 디지털 신호를 코히어런트하게 검출해내는 수신기 역시 포함되어 있다.
Patent KR-100889698-B1 (KR)
IPC: C03C25/50
Filed: 2002-02-20
Granted: 2009-03-24
Abstract: 본 발명은, 석영계 유리 광섬유에 n층(n은 2 이상의 정수)의 자외선 경화 수지층을 피복하여 이루어진 피복 광섬유에 있어서, 상기 n층의 자외선 경화 수지층 각각에서 수학식 1로 정의되는 수축 응력 지표 FI의 총합이 3[N] 이하인 피복 광섬유에 관한 것이다.  본 발명에 따르면, 저온 환경하에서 전송 특성의 악화를 충분하게 방지할 수 있다.     
     수학식 1 
     FI[N]= (-40℃에서의 자외선 경화 수지층의 영률[MPa])  
             ×(상기 자외선 경화 수지층의 단면적[mm 2 ]) 
             ×(실효 선팽창계수[10 -6 /℃]÷10 6 ) 
             ×(온도차 190[℃]) 
       
     광섬유, 광통신, 피복 광섬유, 석영계 유리 섬유, 자외선 경화 수지
Patent KR-100786437-B1 (KR)
IPC: B08B1/00
Filed: 2001-05-08
Granted: 2007-12-17
Abstract: 기판 처리 장치의 내부로부터 이물질을 클리닝하기 위한 클리닝 시트가 제공된다.  상기 클리닝 시트는, JIS K7127에 따라 측정하는 경우 0.98N/㎟ 이상의 인장 탄성률을 가지며 실질적으로 비점착성인 클리닝층을 포함한다.  다르게는, 클리닝 시트는 10 이상의 비커스 경도(Vickers hardness)를 갖는 클리닝층을 포함한다.
Patent KR-100709311-B1 (KR)
IPC: B32B5/22
Filed: 2001-06-22
Granted: 2007-04-20
Abstract: 표면에서 입자를 세척하여 제거하기 위한 클리닝 시트가 개시된다. 시트는 입자를 모아서 보유하기 위해 일렉트릿 물질을 포함하는 입자 보유층을 포함한다. 시트는 또한 입자 보유층 중 적어도 일부분을 덮는 외부층을 포함한다. 외부층은 낮은 먼지 보유층을 포함하고 그것을 관통하도록 형성된 다수의 구멍을 갖는 표면을 포함한다.
Patent KR-100514090-B1 (KR)
Title: Ｎｃｘ2 단백질의 활성을 억제함으로써 학습능력 및기억력을 증진시키는 방법
IPC: C12N9/00
Filed: 2003-01-17
Granted: 2005-09-13
Abstract: 본 발명은 학습능력 및 기억력을 증진시키는 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 시냅스 전달을 억제하고 신경물질 분비를 억제하는 NCX2 단백질의 활성을 억제함으로써 학습능력 및 기억력을 향상시키는 방법에 관한 것이다.  본 발명에 따르면, NCX2 유전자가 적중된 유전자변이 생쥐는 정상생쥐보다 학습능력 및 기억력이 현저히 증진되는 것을 나타내므로 NCX2 단백질의 활성을 억제하는 물질은 학습능력 및 기억력 조절제로 유용하게 사용될 수 있으며, 또한 NCX2 유전자 또는 단백질을 이용하여 학습능력 및 기억력을 향상시키는 물질을 스크리닝할 수 있다.
Patent KR-100943272-B1 (KR)
IPC: H04L25/02
Filed: 2003-02-18
Granted: 2010-02-23
Abstract: 디지털 통신 시스템의 채널 추정 장치는, 수신신호와 기준신호인 PN 시퀀스 간의 상관관계를 이용하여 제1수신신호의 상관함수 및 PN시퀀스 간의 상관관계를 이용하여 PN시퀀스의 상관함수를 구하는 상관부와, 제1수신신호의 상관함수에 제1문턱값을 적용하여 제1다중경로를 추정하는 제1추정부와, 제1다중경로를 이용하여 제1수신신호의 상관함수에 포함된 상관노이즈를 제거하여 제3수신신호의 상관함수를 출력하는 상관노이즈제거부와, 상관노이즈가 제거된 제3수신신호의 상관함수에 제2문턱값을 적용하여 제2다중경로를 추정하는 제2추정부를 갖는다. 따라서, 채널 추정 장치의 성능 열화 요인 중 종래에 해결하지 못했던 상관노이즈를 제거할 수 있으며, 이에 의해 채널 추정 오차를 줄일 수 있다.  
     
     상관노이즈, 다중경로, 채널 응답 함수, PN 시퀀스, 채널 추정 장치
Patent KR-100492203-B1 (KR)
IPC: G07D9/00
Filed: 2003-03-29
Granted: 2005-06-02
Abstract: Provided is a banknote receipt and payout apparatus which handles several denominations, having a banknote loading and collecting function, and which is capable of handling several denominations. A banknote receipt and payout apparatus comprising a receipt and payout opening (2) for paying out banknotes introduced thereinto by a user, and for stacking therein banknotes to be delivered to a user, a banknote checking part (3) for checking banknotes, a banknote storage and discharge bin (7) for carrying one or both of storing and discharging of banknote notes, a loading and collecting bin 8 for loading and collecting banknotes, and a transfer path for transferring banknotes, wherein the banknote storage and discharge bin is of a vertical type in which banknotes are stacked in a horizontal posture, and the loading and collecting bin is of a horizontal type in which banknotes are stacked in a standing posture. <IMAGE>
Patent KR-100478424-B1 (KR)
Title: 샘플용 포장봉지
IPC: B65D75/36
Filed: 2003-04-01
Granted: 2005-03-25
Abstract: 본 발명은 샘플용 포장봉지에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 알루미늄지로 이루어진 포장봉지의 전면이 돌출되게 성형되어지고 이 전면부에 충진된 내용물을 인식할 수 있도록 색상을 표현하여 물품의 디자인을 인쇄함으로 심미감을 높일 수 있으며 소비자에게 신뢰감을 줄 수 있는 포장봉지에 관한 것이다. 
     본 발명은 전,후면판(11,12)이 얇은 알루미늄지로 형성되어지고, 이 전,후면판(11,12)의 외곽 둘레가 서로 압착되게 구비되어지되 내부에 화장품 내용물이 충진되어질 수 있도록 충진부(13)가 형성되어지고, 상기 전면판(11)의 전면이 정품과 동일한 형상으로 하여 돌출되게 모양편(11a)이 형성되어지며, 상기 모양편(11a) 표면에 품명 및 디자인을 다양하게 인쇄한 디자인층(14)으로 구성되어진 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100571747-B1 (KR)
IPC: B65D51/28
Filed: 2003-04-12
Granted: 2006-04-17
Abstract: 개시된 내용은, '용기본체(13)' 주둥이 부위로부터 '캡부재(100F)'가 오르내려지게 될 때 '밸브콕(C)'이 연동하여 여닫히도록 하기 위한 것이다. 
     이의 실현을 위하여 본 발명에서는, 첨가물을 수용하게 되도록 형성된 첨가물 캡부재(100F)가 구비되되, 그 상면 일측에 통공(H)이 뚫리도록 형성되고 또 용기본체(13)의 주둥이 부위와 외접 상태로 나사 결합되도록 형성되며, 상기 첨가물 캡부재(100F)의 중앙 하측으로 연장 형성된 첨가물 배출단(52)을 막도록 이에 파열성 막(32)이 부착되고, 상기 통공(H)을 여닫을 수 있는 밸브콕(C)이 구비되고, 이 밸브콕(C)이 밀려 열리도록 상기한 용기본체(13) 주둥이 부위 일측 상단에 돌출되게 돌기(10)가 형성되고, 액체의 관통이 가능한 구조로 형성되며 상기한 첨가물 캡부재(100F)가 하강될 때 상기 파열성 막(32)을 천공 파열시킬 수 있도록 용기본체(13) 주둥이부 내측에 원뿔밸브형 파열수단(12)이 위치 고정되게 결합된 구조로 이루어짐을 특징으로 하는 용기의 마개가 제공된다. 
       
     용기, 마개, 첨가물, 이종물질, 실시간 혼합, 첨가물 캡부재, 파열성 막, 원뿔밸브형 파열수단
Patent KR-100513200-B1 (KR)
Title: 이동 통신망에서의 멀티미디어 메시징 서비스 방법과 그시스템
IPC: H04W4/12
Filed: 2003-04-18
Granted: 2005-09-08
Abstract: 본 발명은 멀티미디어 메시징 서비스(MMS) 기능을 갖춘 이동통신 단말기에서 발신하는 동영상/음성 메시지의 영상과 음성을 분리하여 포토메일과 음성쪽지 메시지로서 멀티미디어 메시징 서비스(MMS) 기능을 갖추지 못한 이동통신 단말기에 제공할 수 있도록 하는 이동 통신망에서의 멀티미디어 메시징 서비스 방법과 그 시스템을 제공한다. 이를 위해 본 발명은 멀티미디어 메시징 서비스(MMS) 기능을 갖춘 이동통신 단말기에서 상대방 착신측 이동통신 단말기로의 메시지 발신을 위해 동영상과 음성이 합성된 멀티미디어 메시지를 전송하는 단계와, 이동 통신망의 멀티미디어 메시징 서비스 서버에서 멀티미디어 메시지를 수신할 착신측 이동통신 단말기의 멀티미디어 메시징 서비스 기능 보유 여부를 판정하는 단계, 상기 착신측 이동통신 단말기가 멀티미디어 메시징 서비스 기능을 보유하지 않은 것으로 판명되면, 멀티미디어 메시지의 동영상과 음성을 각각 분리하는 단계 및, 상기 분리된 동영상에서 정지화상을 추출하고, 분리된 음성을 음성메시지로 생성하여 상대방의 착신측 이동통신 단말기에 전송하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100542403-B1 (KR)
IPC: H04L12/28
Filed: 2003-06-12
Granted: 2006-01-11
Abstract: 본 발명은 EPON(Ethernet Passive Optical Network) 망을 통해서 고속 데이타 통신 서비스 및 기존의 음성 서비스를 제공할 수 있도록 함으로서 가입자 접속망을 일원화시켜 설치 및 운용을 용이하게 하는 EPON 망에서의 VDSL(Very high speed subscriber line) 가입자 정합 방법 및 장치에 관한 것으로서, EPON망의 광망종단장치에서 VDSL 가입자의 VDSL 데이타 및 POTS 신호를 분리하고, POTS 신호는 디지탈 신호(PCM 신호)로 코딩하고 다수의 POTS신호를 모아 이더넷 프레임으로 패킷화하여 EPON망으로 전달함으로서, VDSL의 데이타 트래픽 및 POTS 트래픽을 서비스할 수 있도록 함으로서, VDSL 가입자 접속망을 일원화시키고, 그 결과 가입자 접속망의 설치 및 운용 비용을 절감시키는 효과를 제공한다. 
       
     EPON(Ethernet Passive Optical Network), VDSL(Very high speed subscriber line), POTS(Plain Old Telephone Service), 광 네트워크 유닛(optical network unit), 광 선로 종단장치(optical line terminator), 로컬교환기(local exchage)
Patent KR-100585091-B1 (KR)
IPC: F04B51/00
Filed: 2003-06-12
Granted: 2006-05-30
Abstract: 펌프의 이상을 미연에 예측하여, 세정 중 펌프가 돌발적으로 정지되는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 세정 장치 및 방법을 개시한다. 개시된 본 발명의 웨이퍼 세정 장치는, 약액이 수용되어 있으며, 웨이퍼가 침지되어 약액에 의해 세정이 진행되는 세정조와, 상기 세정조에서 오버플로우된 약액을 흡입하는 펌프와, 상기 펌프에 의해 흡입된 약액내의 불순물을 여과시키는 필터부와, 상기 필터부에 의해 여과된 약액을 일정 온도로 승온시켜 상기 세정조에 공급하는 히터부, 및 상기 펌프 구동시 동작되며 상기 펌프에 흡입되는 약액의 유량을 연산하여 상기 약액의 유량에 따라 펌프의 이상을 예측하도록 프로그램된 펌프 이상 예측부를 구비한 프로그램이 가능한 로직 제어부 포함한다. 
       
     펌프, PLC, 프로그램, 모니터링
Patent KR-100549218-B1 (KR)
IPC: H02G11/02
Filed: 2003-06-16
Granted: 2006-02-02
Abstract: 본 발명은 전원공급원으로 부터 멀리 떨어진 장소에서 전원을 끌어당겨 작업할 수 있도록 사용되는 휴대용 전선릴에 있어서 전원플러그가 단부에 설치된 전선이 회전가능한 릴에 감긴상태에서 작업시 또는 운반도중 릴의 회전으로 인해 전선이 풀리는 것을 방지할 수 있도록 한 것으로, 
     받침대와, 받침대에 회전가능하게 고정되며 전원플러그가 단부에 형성된 전선이 권선되는 회전드럼과, 회전드럼 좌우측에 형성되며 콘센트가 장착된 고정판을 구비하는 휴대용 전선릴에 있어서, 전술한 고정판 가장자리에 입구부가 개방되도록 형성되며 전술한 전선이 착탈가능하게 고정되는 고정홈을 구비한다. 
       
     전선 릴, 전원플러그, 감전
Patent KR-100547228-B1 (KR)
Title: 표시 장치 및 이를 구비한 전자 기기
IPC: G02F1/13
Filed: 2003-06-21
Granted: 2006-01-31
Abstract: 표시 모드와 미러 모드를 전환하여 실현할 수 있는 표시 장치에 있어서, 표시 품위의 향상 및 박형화 및 경량화를 도모할 수 있는 표시 장치의 신규 구성을 제공한다.   
     표시 장치(100)에는 관찰측으로부터 순서대로, 반사 편광판(110), 편광판(120), 위상차판(130), 액정 패널(140), 편광판(150), 백 라이트(160)가 배치되어 있다.  액정 패널(140)을 광차단 상태로 하든지, 혹은 백 라이트(160)를 비점등 상태로 하면, 외광(O)의 반사에 의해서 표시 화면이 미러 상태가 된다.  백 라이트(160)를 점등 상태로 하여 액정 패널(140)을 구동하면, 투과광(T)에 의해서 소정의 표시 화면을 시인할 수 있다.
Patent KR-100960781-B1 (KR)
Title: Integrated design for omni-directional camera and microphone array
IPC: H04R1/00
Filed: 2003-06-21
Granted: 2010-06-01
Abstract: An omni-directional camera (a 360 degree camera) is proposed with an integrated microphone array. The primary application for such a camera is videoconferencing and meeting recording, and the device is designed to be placed on a meeting room table. The microphone array is in a planar configuration, and the microphones are located as close to the desktop as possible to eliminate sound reflections from the table. The camera is connected to the microphone array base with a thin cylindrical rod, which is acoustically invisible to the microphone array for the frequency range Ä50-4000Ü Hz. This provides a direct path from the person talking to all of the microphones in the array, and can therefore be used for sound source localization (determining the location of the talker) and beam-forming (improving the sound quality of the talker by filtering only sound from a particular direction). The camera array is elevated from the table to provide a near frontal viewpoint of the meeting participants. <IMAGE>
Patent KR-100941752-B1 (KR)
IPC: H04L12/66
Filed: 2003-06-25
Granted: 2010-02-11
Abstract: 본 발명은 통신 장비와 관련한 다수의 업무 로직들을 각각의 프로세스로 분산시키는 시스템 및 그 방법에 관한 것이다. 
     본 발명에서는, 통신 장비별 설치 노드를 포함하는 상세 정보와 동일한 구성 정보를 적어도 하나 이상 가지고 있는 게이트웨이로 통신 장비를 각각 분배시킨 후, 분배한 통신 장비와 관련한 업무 로직을 분산하기 위해 게이트웨이(Gateway)별 프로세스 개수와 게이트웨이 총 개수를 고려한 연산 과정을 수행한다. 이후, 수행한 연산 결과에 따라 다수의 업무 로직을 해당 프로세스로 각각 분산시킨다. 
     이를 통하여, 효율적이면서도 용이한 업무 로직 분산과 그로 인한 시스템 성능 향상을 이룰 수 있다. 
       
     	업무 로직, 게이트웨이, 통신 장비, 아이피 주소 길이, 프로세스 수
Patent KR-100548892-B1 (KR)
IPC: B41F35/00
Filed: 2003-07-04
Granted: 2006-02-02
Abstract: 본 발명은 세척 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 직물이나 실에 염료 또는 안료를 날염하는 스크린의 사용 후 염료액이 묻어있는 다수의 스크린을 용이하게 세척할 수 있는 날염 스크린 세척 장치에 관한 것이다. 
     본 발명의 목적은, 염료액이 묻어있는 스크린(S)의 세척을 용이하게 함과 아울러 스크린(S)의 세척 작업을 편리하게 하고 다수의 스크린(S)을 한번에 세척할 수 있도록 구성된 날염 스크린 세척 장치를 제공함에 있다. 
     상기한 목적을 실현하기 위하여 본 발명은 상면이 개방되어 있으며 일측면에 기울어짐을 지지하도록 지지 플레이트(1)가 설치되어 있는 물을 저장하는 탱크(2)와, 상기한 탱크(2)의 상면에 비교적 높게 설치되어 있는 사각 박스 형상의 프레임(3)과, 상기한 프레임(3)의 중간 부분에 수직 방향으로 다수가 일렬 배치되어 스크린(S)을 수직 상태에서 안착시킬 수 있도록 설치된 안착봉(4)과, 상기한 프레임(3)의 상단과 하단에 서로 대응되도록 가로 방향으로 설치된 레일(5)과, 상기한 레일(5)에 구동 수단으로 결합되어 좌우 방향으로 이동 자재함과 아울러 내측면에 노즐(6)이 다수 배치되어 상기한 안착봉(4)에 배치된 스크린(S)을 세척하는 직립 판상의 세척 유니트(7)와, 상기한 세척 유니트(7)와 함께 이동하면서 탱크(2)의 물을 공급하여 노즐(6)에서 물을 분사하도록 하는 공급 수단으로 구성함을 특징으로 한다. 
       
     	날염 스크린 세척 장치, 날염 스크린
Patent KR-100959893-B1 (KR)
IPC: H02P9/30
Filed: 2003-07-14
Granted: 2010-05-27
Abstract: 본 발명은 발전기 여자 제어 시스템에서 발전기 전압 변환기로부터 삼상선간의 전압을 이용하여 발전기 전압 변환기의 고장을 검출하도록 한 발전기 여자 제어 시스템의 발전기 전압 변환기 고장 검출 방법에 관한 것으로, 발전기 전압 변환기로부터 제1선과 제2선간의 전압과, 제2선과 제3선간의 전압을 입력받아 해당 두 전압의 실효치를 각각 구하는 과정과, 상기 두 실효치의 차이에 대한 절대 값을 구하여 기설정된 두 선간 전압 차이 계수와 비교하는 과정과, 상기 절대 값이 상기 전압 차이 계수보다 큰 경우, 소정 시간 동안 지속되면 발전기 전압 변환기의 고장으로 인식하여 운용자에게 통보하는 과정을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 함으로써, 전압 변환기가 1대만 설치되더라도 고장 검출이 가능하다.
Patent KR-100513704-B1 (KR)
Title: 식재용 인공매트
IPC: A01G1/00
Filed: 2003-07-21
Granted: 2005-09-13
Abstract: 본 발명은 식재용 인공매트에 관한 것으로서, 이는 하천의 침식을 방지하고 수질을 정화하여 하천 호안을 친환경적으로 복원할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.  
     이러한 본 발명의 식재용 인공매트는 식물재배용 매트에 있어서, 650~850℃의 고온에서 발포 성형한 다공질의 세라믹 경량체를 파쇄하여 이루어진 인공토양; 상기 인공토양을 감싸되 상기 인공토양의 입자가 외부로 토출되지 않으면서 식재되는 식물의 뿌리가 생장하여 관통되도록 형성된 망체로 구성되는 것을 특징으로 한다. 그리고, 상기 망체는 코코넛파이버 또는 폴리에틸렌사로 형성될 수 있으며, 상기 매트의 형상은 카페트형 또는 긴 원통형으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100713039-B1 (KR)
IPC: B24B9/06
Filed: 2003-08-05
Granted: 2007-05-02
Abstract: 원형 GaN 자립 웨이퍼가 가까스로 제조 가능하게 되었다.  엣지부를 회전 지석으로 비스듬히 연삭하지만(베벨링) 엣지부의 면조도가 나빠(Ra 10 ㎛ 내지 6 ㎛), 웨이퍼의 이지러짐, 깨짐, 균열 등이 생기는 원인이 되고 있었다.   
     원형 자립 GaN 웨이퍼 엣지부의 면조도를 Ra 10 ㎚ 내지 Ra 5 ㎛로 한다.  바람직하게는 Ra 10 ㎚ 내지 Ra 1 ㎛로 한다.  보다 바람직하게는 Ra 10 ㎚ 내지 0.1 ㎛로 한다.  지석 테이프를 이용하여 웨이퍼의 측 주위를 약하고 균일한 압박력으로 억제하면서 웨이퍼를 회전시켜 지석 테이프를 바꾸어 가공한다.  지석 테이프는 끊임없이 변하므로 입자가 미세한 것을 사용해도 막히는 일은 없다.  미세한 입자의 지석 테이프에 의해 웨이퍼 엣지부를 우수한 평활도로 마무리할 수 있다.  또한, GaN뿐만 아니라 다른 질화물 반도체 기판에도 이 수단은 적용할 수 있다.   
       
     GaN 웨이퍼, 지석 테이프, 엣지부, 고정 지석 입자, 회전 지석
Patent KR-100529553-B1 (KR)
IPC: C08F2/04
Filed: 2003-08-08
Granted: 2005-11-17
Abstract: 본 발명은 전도성 고분자 합성방법 및 그 장치에 관한 것으로서 더욱 구체적으로는 다양한 특성을 갖는 전도성 고분자 피막을 제조할 수 있을 뿐만 아니라 공정의 제어가 용이하고 또 제조공정의 재현성이 있음은 물론 도펀트의 사용이 용이하여 특성이 서로 다른 여러가지의 전도성 고분자를 제조할 수 있도록 하며, 한편 미세 분무가 가능토록 하여 전도성 고분자의 피막층을 갖는 샘플의 대량생산이 용이하도록 한 중합법 및 그 장치를 얻을 수 있도록 한 것이다. 
     즉, APS, 염화철등과 같은 산화제를 증류수에 녹여 만든 산화제 용액과 특성이 서로 다른 하나 이상의 전도성 고분자 모노머를 폴리비닐알코올과 함께 일정량의 증류수에 각기 녹여 만든 하나 이상의 고분자 모노머 용액을 각각의 챔버에 저수하고, 상기 산화제 용액과 모노머 용액이 저수된 챔버내에 공기를 주입함과 동시에 챔버 전체를 진동시켜 챔버내에서 산화제 용액 및 모노머 용액의 증기가 발생되도록 하며, 발생된 증기를 일정한 배출경로에 의거 중합챔버에 토출되도록 하여 중합반응과 동시에 하나 이상의 전도성 고분자가 합성될 수 있도록 하는 방법과 이를 실현시키기 위한 장치를 제공토록 한 것이다.
Patent KR-100499039-B1 (KR)
Title: 디지털 티브이 및 그 채널설정방법
IPC: H04N5/50
Filed: 2003-08-11
Granted: 2005-07-01
Abstract: 아날로그 방송이 존재하는 채널에 대해서는 디지털 방송채널 탐색시 스킵(Skip) 될 수 있도록 한 디지털 티브이 및 그 채널설정방법에 관한 것으로, 아날로그 튜너 및 디지털 튜너를 구비한 영상표시기기에서, 자동채널 탐색명령 및 각종 사용자 요구명령을 입력하기 위한 키 입력부와, 상기 키 입력부를 통해 자동채널 탐색명령이 입력되면 상기 아날로그 튜너를 통해 아날로그 채널을 탐색하고, 탐색된 아날로그 채널 개수가 일정개수 이상인지 여부에 따라 디지털 채널 탐색방식을 결정하여 해당 탐색방식에 따라 상기 디지털 튜너를 통해 디지털 채널이 탐색되도록 제어하는 제어부와, 상기 자동채널 탐색 결과인 아날로그 채널/디지털 채널 등을 저장하기 위한 메모리를 포함하여 구성되며, 자동채널 탐색기능 수행시 아날로그 채널로 기억되어 있는 채널에 대해서 디지털 채널 검색작업을 하지 않도록 함으로써 채널탐색 시간을 단축킬 수 있으며, 그에 따라 유선채널이나 케이블 채널 등과 같이 채널개수가 많은 방송환경에서 보다 유용하게 이용될 수 있어 사용자 만족도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
Patent KR-100566054-B1 (KR)
IPC: G11B7/1353
Filed: 2003-08-14
Granted: 2006-03-31
Abstract: 본 발명은, 유리기판과, 상기 유리기판 상에 형성되는 격자패턴을 갖는 광픽업 회절격자 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 상기 격자패턴은 상기 유리기판 상에 UV경화성폴리머를 드롭핑(Dropping)방법으로 박막 코팅하고, 상기 격자패턴에 대응하는 성형패턴이 형성되어 있는 스템퍼를 상기 박막층에 가압한 후, 상기 박막층에 자외선을 조사하여 경화시켜 형성되는 것을 특징으로 한다.  
     이에 의하여, 회절격자의 품질 및 성능이 균일하게 생산되며, 대량 생산에 적합하고 제작비용과 제품단가를 절감할 수 있는 광픽업 회절격자 및 그 제조방법이 제공된다.   
       
     회절격자, 유리기판, 박막층, 격자패턴, UV경화성폴리머
Patent KR-100499642-B1 (KR)
Title: 반도체 소자의 소자 분리막 제조 방법
IPC: H01L21/762
Filed: 2003-09-05
Granted: 2005-07-05
Abstract: 본 발명은 인산 계열의 화합물을 포함하는 고선택성 슬러리를 이용하여 질화막을 연마함으로써, 모트(moat)의 발생을 방지하고 소자의 특성을 향상시키는 반도체 소자의 소자 분리막 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 반도체 소자의 소자 분리막 제조 방법은 반도체 기판 상부에 패드 산화막 및 패드 질화막을 순차적으로 형성하는 단계와, 상기 패드 질화막, 패드 산화막 및 반도체 기판을 식각하여 트렌치를 형성하는 단계와, 트렌치를 포함하는 전체 표면 상부에 라이너 질화막을 형성하는 단계와, 전체 표면 상부에 상기 트렌치를 매립하는 소자 분리용 산화막을 형성하는 단계와, 저선택성 슬러리를 사용하여 상기 소자 분리용 산화막을 일정 두께 연마하는 단계와, 고선택성 슬러리를 사용하여 상기 라이너 질화막이 노출되도록 상기 소자 분리용 산화막을 연마하는 단계와, M x P y O z 를 함유하는 고선택성 슬러리를 사용하여 상기 패드 질화막이 노출되도록 상기 라이너 질화막을 연마하는 단계 및 상기 패드 질화막을 제거하는 단계(단, M은 금속, 수소 또는 NH 4 
 + , x는 0 내지 3, y는 1 내지 3 및 z는 2 내지 5의 정수)를 포함한다.