Patent DE-102012103744-B4 (DE)
Title: Verlagerungsdetektionsvorrichtung
Inventor: KURODA AKIHIRO
IPC: G01B11/02
Filed: 2012-04-27
Granted: 2021-03-18
Abstract: Verlagerungsdetektionsvorrichtung (200), die umfasst:ein Beugungsgitter (1) mit einer trapezförmigen oder rechteckigen Reliefform;ein optisches Bestrahlungssystem (10) mit einem Lichtquellenabschnitt (2) zum Emittieren von kohärentem Licht und einem Strahlteiler (4) zum Aufteilen des vom Lichtquellenabschnitt (2) emittierten Lichts in zwei Strahlen, das dazu ausgelegt ist, die zwei Strahlen auf das Beugungsgitter (1) als p-polarisiertes Licht abzustrahlen;ein optisches Reflexionssystem (20) mit zwei Linsen (7, 9), wobei Brennpunkte der zwei Linsen auf der Seite des Beugungsgitters (1) auf dem Beugungsgitter (1) angeordnet sind, und zwei Spiegeln (8, 11), die so angeordnet sind, dass zwei erste gebeugte Lichtbündel, die von zwei Strahlen durch Beugung an dem Beugungsgitter (1) erhalten werden, senkrecht darauf einfallen, wobei das optisches Reflexionssystem (20) dazu ausgelegt ist, die zwei ersten gebeugte Lichtbündel, die von den zwei Strahlen durch Beugung durch das Beugungsgitter (1) erhalten werden, jeweils zu reflektieren und zu bewirken, dass die zwei ersten gebeugten Lichtbündel wieder auf das Beugungsgitter (1) als p-polarisiertes Licht einfallen;ein optisches Interferenzsystem (30), das dazu ausgelegt ist zu bewirken, dass zwei zweite gebeugte Lichtbündel, die von den zwei ersten gebeugten Lichtbündeln, die wieder auf das Beugungsgitter (1) einfallen, durch Beugung durch das Beugungsgitter (1) erhalten werden, miteinander interferieren, um Interferenzlicht zu erhalten;einen Lichtempfangsabschnitt (40), der dazu ausgelegt ist, das Interferenzlicht zu empfangen, das im optischen Interferenzsystem erhalten wird; undeinen Positionsinformations-Detektionsabschnitt (60), der dazu ausgelegt ist, Positionsinformationen des Beugungsgitters (1) auf der Basis eines Interferenzsignals, das im optischen Interferenzsystem (30) erhalten wird, zu detektieren,wobei die Periode des Reliefs des Beugungsgitters (1) nicht mehr als 1,5-mal die Wellenlänge des kohärenten Lichts ist, das auf das Beugungsgitter (1) einfällt,wobei die periodische Struktur des Reliefs zweidimensional ausgebildet ist;wobei das optische Bestrahlungssystem (10), das optische Reflexionssystem (20), das optische Interferenzsystem (30), der Lichtempfangsabschnitt (40) und der Positionsinformations-Detektionsabschnitt (60) für jede Richtung der zweidimensionalen Richtung vorgesehen sind;wobei das optische Reflexionssystem (20) bewirkt, dass die ersten gebeugten Lichtbündel, die durch das Beugungsgitter (1) gebeugt werden, wieder einfallen, um ein Bild in einer ersten Position zu erzeugen, die von der zweiten Position verschieden ist, in der die zwei Strahlen auf das Beugungsgitter (1) einfallen;wobei das optische Bestrahlungssystem (10), das optische Reflexionssystem (20), das optische Interferenzsystem (30), der Lichtempfangsabschnitt (40) und der Positionsinformations-Detektionsabschnitt (60), die für jede Richtung der zweidimensionalen Richtung vorgesehen sind, so ausgelegt sind, dass eine Linie, die zwei Punkte verbindet, die in einer Richtung der zwei Dimensionen verschieden sind und an die das Licht durch einen ersten Signalerfassungsabschnitt abgestrahlt wird, und eine Linie, die zwei Punkte verbindet, die in der anderen Richtung der zwei Dimensionen verschieden sind und an die das Licht durch einen zweiten Signalerfassungsabschnitt 70b abgestrahlt wird, sich kreuzen.