Patent DE-102015000972-B4 (DE)
Title: Gas-Laser-System, das ohne jeglichen Schaden innerhalb kurzer Zeit während der Wiederherstellung der Energieversorgung reaktivierbar ist
Inventor: MIYATA RYUSUKE
IPC: H01S3/097
Filed: 2015-01-23
Granted: 2018-12-13
Abstract: Gas-Laser-System, das Folgendes umfasst:eine Energiequelleneinheit (20);einen Laser-Oszillator (1), der durch von der Energiequelleneinheit zugeführte Energie betrieben wird;eine Steuereinrichtung (10; 10, 23), die dazu konfiguriert ist, den Laser-Oszillator zu steuern;eine Energieverringerungserfassungseinheit (21), die einen Spannungsmesser umfasst und die dazu konfiguriert ist, die Verringerung der von der Energiequelleneinheit zugeführten Energie zu erfassen, bei der die Energie unter einen Energiewert (Wa) gesenkt ist, der den Laser-Oszillator normal betreibt; undeine nichtflüchtige Speichereinheit (22), die dazu konfiguriert ist, Zeitdaten eines ersten Zeitpunkts (TO) zu speichern, wenn die Verringerung der zugeführten Energie von der Energieverringerungserfassungseinheit erfasst wird,wobei der Laser-Oszillator und/oder das Gas-Laser-System eine Vorrichtung (7; 6) umfasst, die durch die von der Energiequelleneinheit zugeführte Energie betrieben wird,wobei die Vorrichtung eine erste Vorrichtung (7; 24a) und eine zweite Vorrichtung (6; 24b) umfasst, wobei eine erste Bereitschaftszeit (ΔTb) erforderlich ist, bis die erste Vorrichtung einen Betrieb normal startet, nachdem die erste Vorrichtung einen Betrieb aufgrund der Verringerung der von der Energiequelleneinheit zugeführten Energie gestoppt hat, und wobei eine zweite Bereitschaftszeit (ΔTd) erforderlich ist, bis die zweite Vorrichtung einen Betrieb normal startet, nachdem die zweite Vorrichtung einen Betrieb aufgrund der Verringerung der von der Energiequelleneinheit zugeführten Energie gestoppt hat, undwobei die Steuereinrichtung (10; 10, 23):a) in dem Fall, dass die Verringerung der von der Energiequelleneinheit (20) zugeführten Energie innerhalb einer vorherbestimmen Zeit ΔTa, die deutlich kleiner ist als die erste Bereitschaftszeit (ΔTb) und die zweite Bereitschaftszeit (ΔTd), beendet und die Energiezufuhr wiederhergestellt ist, damit fortfährt, einen Systemaktivierungsbefehl auszugeben;b) in dem Fall, dass die von der Energiequelleneinheit (20) zugeführte Energie innerhalb der vorherbestimmen Zeit ΔTa nicht beendet und die Energiezufuhr nicht wiederhergestellt ist, den Systemaktivierungsbefehl abschaltet und die erste Vorrichtung und die zweite Vorrichtung stoppt; und in diesem Fall ferneraa) eine Betriebsstoppzeit (ΔTc - ΔTa) der Vorrichtung auf der Basis einer Zeit (ΔTc) von dem ersten Zeitpunkt (T0), der aus den Zeitdaten bezogen wurde, die in der nichtflüchtigen Speichereinheit gespeichert sind, bis zu einem zweiten Zeitpunkt (T3), wenn ein nächster Systemaktivierungsbefehl von der Steuereinrichtung nach Wiederherstellung der Energiezufuhr ausgegeben wird, abzüglich der vorherbestimmten Zeit ΔTa berechnet;bb) eine Wiederaufnahme des Betriebs der ersten Vorrichtung (7; 24a) verhindert, wenn die Betriebsstoppzeit (ΔTc - ΔTa) innerhalb der ersten Bereitschaftszeit (ΔTb) liegt, und die Wiederaufnahme des Betriebs der ersten Vorrichtung (7; 24a) zulässt, wenn die Betriebsstoppzeit (ΔTc - ΔTa) die erste Bereitschaftszeit überschreitet; undcc) eine Wiederaufnahme des Betriebs der zweiten Vorrichtung (6; 24b) verhindert, wenn die Betriebsstoppzeit (ΔTc - ΔTa) innerhalb der zweiten Bereitschaftszeit (ΔTd) liegt, und die Wiederaufnahme des Betriebs der zweiten Vorrichtung (6; 24b) zulässt, wenn die Betriebsstoppzeit (ΔTc - ΔTa) die zweite Bereitschaftszeit (ΔTd) überschreitet.