Patent DE-102019210750-B4 (DE)
Title: Verfahren zur herstellung einer anordnung mit einem substrat und zwei bauelementen mit lichtwellenleitern
Inventor: OPPERMANN HANS-HERMANN
IPC: G02B6/12
Filed: 2019-07-19
Granted: 2023-12-14
Abstract: Verfahren zur Montage einer Anordnung mit wenigstens einem ersten und einem zweiten Bauelement (1, 2, 1', 2'), die jeweils mit einem gemeinsamen, planaren Substrat (3, 3') fest verbunden werden und von denen jedes wenigstens einen Lichtwellenleiter (4, 5, 6, 7) aufweist, wobei die Bauelemente auf dem Substrat unmittelbar nebeneinander und derart relativ zueinander angeordnet sind, dass zwei Koppelseiten (8, 9) der Bauelemente einander auf beiden Seiten einer gemeinsamen Koppelebene (10) gegenüberliegen und dass wenigstens zwei an den Koppelseiten endende Lichtwellenleiter der verschiedenen Bauelemente miteinander fluchtend ausgerichtet und so positioniert sind, dass sie stirnseitig optisch miteinander gekoppelt sind, wobei das erste Bauelement einen ersten Bauelement-Markierungssatz (21, 22, 23, 24, 33, 34, 35, 36) und das zweite Bauelement einen zweiten Bauelement-Markierungssatz (25, 26, 27, 28, 37, 38, 39, 40) mit jeweils wenigstens einer geraden, insbesondere wenigstens zwei geraden, zueinander parallelen und voneinander beabstandeten Linien trägt, die parallel zu den Längsachsen (29, 30, 31, 32) der zu koppelnden Lichtwellenleiter verlaufen, wobei die Bauelement-Markierungssätze (21, 22, 23, 24, 33, 34, 35, 36 25, 26, 27, 28, 37, 38, 39, 40) jeweils an einer dem Substrat (3, 3') zugewandten Seite des jeweiligen Bauelements (1, 2, 1', 2') angeordnet sind, wobei die zu koppelnden Lichtwellenleiter (4, 5, 6, 7) in beiden Bauelementen (1, 2, 1', 2') nach der Montage auf dem Substrat (3, 3') in demselben Abstand von der Substratoberfläche verlaufen, wobei die Lichtwellenleiter jeweils an der dem Substrat zugewandten Seite der Bauelemente (1, 2, 1', 2') an deren Oberfläche angeordnet sind, wobei das Substrat an seiner den Bauelementen zugewandten Oberfläche einen ersten optisch erkennbaren Substrat-Markierungssatz (11, 12, 13, 14, 15, 41, 42, 43, 44) sowie einen zweiten optisch erkennbaren Substrat-Markierungssatz (16, 17, 18, 19, 20, 45, 46, 47, 48) aufweist, wobei die Linien der Markierungssätze (21, 22, 23, 24, 33, 34, 35, 36, 25, 26, 27, 28, 37, 38, 39, 40, 11, 12, 13, 14, 15, 41, 42, 43, 44, 16, 17, 18, 19, 20, 45, 46, 47, 48) durch Ätzen auf die Bauelemente (1, 2, 1', 2') und das Substrat (3, 3') aufgebracht sind, wobei im Verlauf des Verfahrens zunächst das erste Bauelement mit den Linien seines Bauelement-Markierungssatzes an den Linien des ersten Substrat-Markierungssatzes ausgerichtet und mit dem Substrat verbunden wird und danach das zweite Bauelement mit den Linien seines Bauelement-Markierungssatzes an den Linien des zweiten Substrat-Markierungssatzes oder des ersten Bauelement-Markierungssatzes ausgerichtet und, insbesondere im geringstmöglichen Abstand zum ersten Bauelement, mit dem Substrat verbunden wird, wobei die Ausrichtung der Bauelemente anhand der Substrat-Markierungssätze und der Bauelement-Markierungssätze durch ein automatisches, kamerabasiertes Erkennungs- und Bestückungssystem erfolgt, wobei Linien verschiedener Markierungssätze (21, 22, 23, 24, 33, 34, 35, 36, 25, 26, 27, 28, 37, 38, 39, 40, 11, 12, 13, 14, 15, 41, 42, 43, 44, 16, 17, 18, 19, 20, 45, 46, 47, 48) miteinander zur Deckung gebracht oder derart ausgerichtet werden, dass eine Linie eines Substrat-Markierungssatzes eine gerade Verlängerung einer über ihr angeordneten Linie eines Bauelement-Markierungssatzes bildet.