Patent SU-1075333-A1 (SU)
Title: Устройство дл измерени концентрации легирующих примесей в полупроводниках
Inventor: USIK VIKTOR I
IPC: H01L21/66
Filed: 1981-12-23
Granted: 1984-02-23
Abstract: УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ  КОНЦЕНТРАЦИИ ЛЕГИРУЮЩИХ  ПРИМЕСЕЙ В ПОЛУПРОВОДНИКАХ, содержащее  первый и второй генераторы высокой  частоты, сумматор; шины дл  подключени  испытуемой структуры, перва  из которых  присоединена к выходу блока компенсации , переключателю и входу первого селективного  усилител ,соединенного выходом  с одним из входов первого фазового детектора , другой вход которого подключен к  первому выходу первого генератора высокой  частоты, а выход фазового детектора через  последовательно-соединенные усилитель посто нного  тока и первый фильтр нижних частот  присоединен к управл ющим входам  первого и второго регулируемых усилителей,  источник опорного напр жени , подключенный  к управл ющему входу усилител  посто нного  тока, блок смещени , второй фазовый  детектор, второй селективный усилитель , соединенный выходом через последовательно  включенные второй регулируемый  усилитель и третий фазовый детектор с  первой выходной клеммой устройства и с  входом логарифмического усилител , присоединенного  выходом к второй выходной  клемме устройства, четвертый детектор, подключенный  к третьей выходной клемме устройства , и четвертую выходную клемму устройства , отличающеес  тем, что, с целью  расширени  функциональных возможностей,  в него введены третий генератор высокой  частотьг, второй и третий фильтры нижних частот, корректирующий усилитель, два  смесител , нуль-орган, третий регулируемый  усилитель, блок управлени  частотой, управл емый  фазовращатель, фазоинверсный  каскад, блок стабилизации амплитуды и  преобразователь частоты в напр жение,  причем второй выход первого фазового детектора  через последовательно включенные  второй фильтр нижних частот, корректирующий  усилитель и первый смеситель подключен  к входу второго селективного усилител ,  блок управлени  частотой через последовательнно  включенные третий генератор, второй  смеситель, блок стабилизации амплитуды  и преобразователь частоты в напр жение  соединен с четвертой выходной клеммой устройства , второй выход третьего генератора  присоединен к второму входу первого сме (О сител , первый выход второго генератора  (Л подключен к сигнальному входу управл емого  фазовращател , управл ющий вход которого  соединен через последовательно включенные  третий фильтр нижних частот, нульорган  и второй фазовый детектор с вторым  выходом второго генератора и опорным входом  третьего фазового детектора, соединенного  сигнальным входом с сигнальным вхо  дом второго фазового детектора, выходы  СП управл емого фазовращател  и блока стабилизации  амплитуды подключены соответстсо  оо со венно к входам второго смесител  и третьего  регулируемого усилител , соединенно,го  своим управл ющим входом с выходом первого  фильтра нижних частот, а выходом -  с первым входом сумматора, второй в.ход  которого подключен к выходу блока смещени , а третий через последовательно включенные  (|)азоинверсный каскад и первый регулируемый  усилитель - к второму выходу  первого генератора, выход сумматора присоединен  к второй щине дл  подключени   испытуемой структуры, а выходы фазоинверсного  каскада соединены соответственно  с входом блока компенсации и с входом четвертого  детектора, который выполнен в виде  амплитудного детектора.