baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent WO-2004093015-A1 (WO)
Title: 画像認識装置及び画像認識プログラム
Inventor: MIYAMORI HISASHI
IPC: G06T7/20
Filed: 2003-04-11
Abstract: ネット等の障害物で区画された領域間で対戦するスポーツを記録したコンテンツから選手の動作を認識する画像認識装置であって、前記コンテンツから選手のプレイ中の動作が映った映像情報を取得する映像情報取得部と、前記領域間を移動し得点のカウント対象となるボール等の使用用具が、所定の対象体に隠蔽される状態にあるか否かを判定する隠蔽状態判定部と、前記隠蔽状態判定部で前記使用用具が隠蔽されたと判定された隠蔽開始時刻と隠蔽解除されたと判定された隠蔽解除時刻とに基づき、前記使用用具の打撃時刻を特定する打撃時刻情報特定部と、当該スポーツのルール情報を格納するルール情報格納部と、前記映像情報取得部で取得した映像情報と前記打撃時刻情報特定部で特定した打撃時刻における使用用具の位置と前記ルール情報格納部に格納されるルール情報とに基づき、その映像情報が示す選手の動作を含む画像内容を認識する画像内容認識部とを備える。
Patent WO-2004033908-A1 (WO)
Title: 往復動ポンプおよび逆止弁
Inventor: KINUGAWA SHIGEHISA
IPC: F04B43/067
Filed: 2003-04-23
Abstract: ダイヤフラム駆動室と、駆動力供給部４０とを備えた往復動ポンプであって、駆動力供給部４０の駆動力が作動油を介してダイヤフラム駆動室内のダイヤフラム１Ａ，１Ｂに伝達されるべく構成され、駆動力供給部４０とダイヤフラム駆動室との間には作動油制限室５Ａ，５Ｂが設けられており、作動油制限室５Ａ，５Ｂ内の上方位置に設けられた第一ガス排出部と、ダイヤフラム駆動室内の上方位置に設けられた第二ガス排出部とを有し、第一ガス排出部と前記第二ガス排出部とが連通されて一のガス排出機構２０Ａ，２０Ｂが構成されており、ガス排出機構２０Ａ，２０Ｂには、第一ガス排出部から第二ガス排出部への流体の逆流を防止すべく逆流防止体が設けられた構成である。
Patent WO-03096515-A1 (WO)
Inventor: IZUMI YOSHIYUKI
IPC: H02K3/52
Filed: 2003-05-08
Abstract: Coils (14) in respective poles are all wound in the same shape. The coils are wound such that one of the winding ends in a predetermined layer, for a single turn, is passed to an adjacent layer, or single turns at the winding ends in a predetermined layer are wound to different adjacent positions, whereby the cross-sectional shape of the coils (14) is unsymmetrical. The coils (14) are wound such that part of each coil (14) crosses or contacts an intermediate line (M) bisecting the angle formed between the axes of the coils (14).
Patent WO-2004031447-A1 (WO)
Title: 無電解メッキ方法
Inventor: MARUMO YOSHINORI
IPC: C25D5/02
Filed: 2003-05-23
Abstract: 無電解メッキ液を供給し、反応促進条件を付与することでメッキ膜の形成を開始させる。無電解メッキ液を供給した段階ではメッキ膜の形成が行われないか、行われてもその膜形成の速度が小さい。このため、メッキ膜の本格的な形成が行われる以前に無電解メッキ液を基板上に行き渡らせて、無電解メッキ膜の均一性を向上できる。
Patent WO-2004021824-A1 (WO)
Title: Integrally molded surface fastener, and continuous production method and continuous production device therefor
Inventor: MINATO TSUYOSHI
IPC: A44B18/00
Filed: 2003-08-28
Abstract: A molded surface fastener (10) having a microsized engaging element (2) of thermoplastic resin molded together with a base member (1) by continuous molding, wherein the engaging element (2) has first and second engaging sections (22a, 22b) of different shapes which extend from the upper end of a pillar (21) rising from the base member (1) in such a manner as to be parallel with and orthogonal to the base member surface. The second engaging head (22b) is of ordinary hook construction, while the first engaging section (22a) is of substantially winglike thin sheet construction as seen in a plan view. Each engaging element having such arrangement secures proper engaging force, shearing force and peeling force. At the same time, the feel of the surface of the surface fastener is improved, and the engaging element is prevented from collapsing under pressure, having satisfactory durability while securing a high percentage of engagement with the mating pile piece.
Patent WO-2004045702-A1 (WO)
Inventor: YOKOYAMA SHINICHIRO
IPC: A61F2/958
Filed: 2003-10-08
Abstract: 患部以外の部位を浸襲することなく目的の箇所に効果的に薬剤などを経管的に到達可能なカテーテル及び注入療法用装置を提供する。１本のカテーテル本体１内に軸方向に沿って延びる４個のルーメンが形成されると共に２つのバルーン２，３が軸方向に並んで配設された、血管内挿入用のバルーンカテーテルである。上記複数のルーメンは、上記２つのバルーン２，３の間の注入口１１に連通する注入用ルーメン５と、上記２つのバルーン内部連通して当該バルーン２，３の拡張するためのバルーン用ルーメン６，７と、カテーテル本体１の先端部１ａに対し上記２つのバルーン２，３群の位置よりも遠位及び近位の位置でそれぞれカテーテル本体１外部に連通して、２つのバルーン２，３で形成される閉塞空間をバイパスして血液の流通を可能とするバイパス用ルーメンを兼ねるガイド用ルーメン４と、を備える。
Patent WO-8000099-A1 (WO)
Title: Methode et appareil de detection supersonique de defauts sans contact
Inventor: FUJISAWA K
IPC: G01N29/04
Filed: 1979-06-13
Abstract: La detection supersonique des defauts sans contact s'effectue de la maniere suivante: mise au point d'un rayon laser pulse ayant une longueur d'onde situee dans la zone des infrarouges par l'intermediaire d'une lentille (3), projection du rayon sur un specimen (4), propagation a travers le specimen (4) des ondes ultrasoniques produites par l'impact du rayon incident, et detection des ondes ultrasoniques par une sonde ultrasonique electromagnetique (5) pour ainsi detecter les defectuosites (6) dans le specimen.
Patent WO-8601429-A1 (WO)
Inventor: NAGAYAMA TAKASHI
IPC: B01D33/04
Filed: 1984-08-27
Abstract: Un appareil de séparation entre un solide et un liquide comprend une toile sans fin de filtrage susceptible de se déplacer et de tourner dans une direction, pourvu à sa surface d'une couche floconneuse de filtrage; un dispositif d'alimentation de solides et de liquides à l'endroit de la toile de filtrage; un dispositif d'aspiration sous vide à l'endroit de la toile de filtrage, opposé au dispositif d'alimentation de solides et de liquides; un dispositif collecteur des éléments non-filtrés agencé en aval du dispositif d'alimentation de solides et de liquides et du dispositif d'aspiration sous vide par rapport au sens de déplacement de la toile de filtrage; et un dispositif de lavage de la toile de filtrage agencé en aval du dispositif collecteur des éléments non filtrés par rapport au sens de déplacement de la toile de filtrage, entre le dispositif collecteur des éléments non filtrés et le dispositif d'alimentation de solides et de liquides d'un côté et le dispositif d'aspiration sous vide de l'autre. Le dispositif d'aspiration sous vide comprend une conduite d'aspiration, agencée à l'opposé de l'envers de la toile de filtrage et divergente par rapport au sens de déplacement de celle-ci. La conduite d'aspiration comprend au moins un groupe de rouleaux de guidage de la toile de filtrage des côtés droit et gauche par rapport au sens de déplacement de la toile de filtrage. Chaque rouleau des groupes de rouleaux de filtrage à droite et à gauche est orienté vers l'extérieur, dans le sens de déplacement de la toile de filtrage. Cet appareil de séparation entre un solide et un liquide permet de réduire au maximum les dommages causés à la toile de filtrage par le dispositif d'aspiration sans réduire la performance du dispositif ni son débit, de sorte qu'il est possible d'augmenter considérablement la durée d'utilisation de la toile de filtrage.
Patent WO-9314498-A1 (WO)
Inventor: OKA SYOUSUKE
IPC: G11B15/61
Filed: 1988-02-26
Abstract: Mécanisme de chargement de bande pour un appareil d'enregistrement/reproduction magnétique. Afin de positionner avec une précision suffisante un guide-bande aussi bien au chargement qu'au déchargement, on déplace un bras de guide-bande (58) en combinaison avec la rotation de bras rotatifs (41, 42) servant à déplacer une parie de montants de guidage (7, 8); le mouvement du bras de guide-bande (58) est arrêté par un élément de contrôle (60) dans une position prédéterminée sur un chemin de défilement de la bande magnétique, et un élément de sollicitation (54) presse le bras de guide-bande (58) contre l'élément de contrôle (60). L'invention permet de positionner avec une grande précision un guide-bande (17) monté sur le bras de guide-bande (58), et peut être utilisée dans un enregistreur audionumérique ou un magnétoscope.
Patent WO-8810453-A1 (WO)
Title: Apparatus for controlling industrial robot
Inventor: MIZUNO TORU
IPC: G05B19/18
Filed: 1988-06-20
Abstract: An apparatus for controlling an industrial robot in a shared manner using a plurality of operation controllers so that the robot automatically works under the optimum load condition. When power is turned on, the operation controllers (5) to (7) connected via a common bus (1) run their respective initial loaders to read control data (TCB) from an external memory (3) into their respective memories (RAM) and any one of the operation controllers (5) to (7) loads the control data (TCB) and synchronization control data in a shared memory (4). While synchronized with each other, the operation controllers (5) to (7) load the tasks from the external memory (3) in their memories (RAM) depending upon their capabilities determined by the control data (TCB) and upon their shares of the task. The industrial robot is controlled in a shared manner depending upon the task that is loaded.
Patent WO-9008355-A1 (WO)
Title: Microprocessor
Inventor: YOSHITAKE AKIHIRO
IPC: G06F9/32
Filed: 1990-01-12
Abstract: This invention relates to a microprocessor for executing a variable-length instruction, which includes a basic unit which has instruction code and operand designation units and an extension unit that is added responsive to the designation of the basic unit to extend the operand designation unit. The microprocessor comprises a basic unit decoder which is adapted to discriminate the presence or absence of subsequent basic unit and extension unit and which produces a basic unit transition request or an extension unit transition request, and extension unit decoder which is adapted to discriminate the presence or absence of the succesion of the extension unit and which produces an extension unit succession request, and a decode sequencer which controls the basic unit decoder and the extension unit decoder according to a predetermined sequence. The decode sequencer is constituted of a first control circuit which generates a control signal for the basic unit decoder in response to the basic unit transition request, a second control circuit which generates a control signal for the extension unit decoder in response to the extension unit transition request or the extension unit succession request, and a third control circuit which is connected to the first and second control circuits and which suspends the operation of the first control circuit for the basic unit transition request when there is the extension unit transition request or the extension unit succession request. Thus, the decode stage transition and the circuit are simplified, and the decoding operation is effected at high speeds.
Patent WO-9312941-A1 (WO)
Title: Materiau de base de feuille pour film d'impression par transfert metallique et feuille ainsi composee
Inventor: KAWAKAMI KENICHI
IPC: B32B15/08
Filed: 1991-12-25
Abstract: L'invention se rapporte à un matériau de base de feuille pour film d'impression par transfert métallique, qu'on peut traiter pour lui donner la forme d'une feuille pour film d'impression par transfert métallique, afin de produire un film d'impression par transfert métallique lisse et de bel aspect extérieur ayant des marques de ponçage réduites et des performances d'impression par transfert élevées. Le matériau de base se compose d'un film de résine de polypropylène ayant une capacité électrique fixée à 5 kV au plus, une rugosité de la surface d'impression par transfert fixée à 0,1 mum au plus, ainsi qu'un rapport de composition atomique entre le nombre des atomes d'oxygène et le nombre des atomes de carbone, dans le sens de la profondeur sur une distance ne dépassant pas 10 nm à partir de la même surface, fixé entre 0 et 0,03, tandis que ce même rapport est fixé entre 0,01 et 0,5 dans le sens de la profondeur sur une distance de dépassant pas 10 nm à partir de l'autre surface.
Patent WO-9301644-A1 (WO)
Title: Flat coreless dc motor
Inventor: BAHN ITSUKI
IPC: H02K23/54
Filed: 1992-02-13
Abstract: A flat coreless DC motor having a large output torque and high efficiency at high speeds. The three-phase flat coreless DC motor comprises flat armature coils, and a disc-like rotary armature, or a fixed armature. The flat armature coils are formed by regular winding into sectors. The angle included by the coil parts effective in the torque is larger than 180 degrees in electric angle. In the disc-like rotary armature, the sector armature coils are arranged radially in a plane at equal pitches, with their sides adjacent to each other, and are burried fixedly in a plastic. The fixed armature additionally has on one side face a magnetic material to be a magnetic path, whose iron loss is very small.
Patent WO-9302403-A1 (WO)
Inventor: YASUDA SHIN-ICHIRO
IPC: G03G5/08
Filed: 1992-07-22
Abstract: Procédé de formation d'images fixes comprenant les étapes suivantes: chargement d'un photoconducteur (1); exposition du photoconducteur (1) à la lumière; développement d'une image latente électrostatique par application d'un toner (10) à l'image latente électrostatique formée sur un film de transfert (17) se déplaçant en partie en contact étroit avec le photoconducteur (1), afin de former une image visible; transfert de l'image visible ainsi obtenue sur un support d'enregistrement (6) tel qu'un papier d'enregistrement; et fixage de l'image visible transférée sur le support d'enregistrement (6). Ledit toner (10) est un toner encapsulé, ledit photoconducteur (1) est un photoconducteur résistant à la chaleur, et le processus de transfert et de fixage s'effectuent simultanément à la surface du photoconducteur résistant à la chaleur (1) revêtu du film de transfert (17) sur le support d'enregistrement préchauffé (6).
Patent WO-9306834-A1 (WO)
Inventor: AOI SHOZO
IPC: A23L1/305
Filed: 1992-09-30
Abstract: An enteral preparation for cancer therapy containing amino acid, fat and sugar in a specified composition. This preparation allows smooth oral or enteral administration to thereby achieve alimentation for patients with cancer and inhibition of the growth of cancer cells. When used together with a carcinostatic agent, it can potentiate the antitumor effect of the carcinostatic agent synergistically.
Patent WO-9313041-A1 (WO)
Inventor: AOYAMA HIROKAZU
IPC: C07B61/00
Filed: 1992-12-15
Abstract: Procédé d'extraction du chloroforme contenu dans un 1,1,1,2,2-pentafluoro-3,3-dichloropropane (R-225ca), 1,1,2,2,3-pentafluoro-1,3-di-chloropropane (R-225cb), ou une combinaison de ces substances par réaction du chloroforme avec le chlorotrifluoroéthylène et le difluorométhane en présence d'un chlorure d'aluminium anhydre ou d'un fluoro-chlorure d'aluminium anhydre. Ce procédé facilite l'extraction du chloroforme en tant qu'impureté présente dans R-225ca et/ou R-225cb par réaction et réduit autant que possible la perte de R-225ca et/ou R-224cb qu'entraîne la rectification effectuée pour élaborer du R-225's pur.
Patent WO-9313058-A1 (WO)
Title: Substituted benzoic ester and production thereof
Inventor: INOUE TSUTOMU
IPC: C07C323/62
Filed: 1992-12-24
Abstract: Compounds represented by general formulae (II), (III) and (IV), and a process for producing the same, wherein R1 represents hydrogen or lower alkyl, and R2 to R4 may be the same or different from one another and each represents lower alkyl.
Patent WO-9424985-A1 (WO)
Inventor: MASUHARA EIICHI
IPC: A61K6/00
Filed: 1993-04-28
Abstract: L'invention se rapporte à une composition de pâte pour ciments dentaires, qui comprend: (a) un copolymère méthacrylate de méthyle/styrène/butadiène, (b) un monomère acide, (c) un mélange de monomères constitué par des monomères polyfonctionnels et monofonctionnels, et (d) de fines particules inorganiques, ainsi qu'à un ciment dentaire comprenant cette composition et un initiateur de polymérisation. Ce ciment possède des propriétés physiques améliorées et un plus grand pouvoir adhésif contre les substances constituant les dents, en particulier la dentine et le cément, propriétés qui sont pour le ciment dentaire des exigences essentielles. Le ciment dentaire décrit possède en outre l'avantage notable de ne pas endommager la pulpe dentaire, de sorte qu'il peut être appliqué sur les dents vivantes. On peut utiliser un tel ciment pour sceller des parties défectueuses d'une substance de constitution des dents, sans qu'aucun défaut de scellement n'apparaisse, tout en préservant durablement les dents vivantes.
Patent WO-9411363-A1 (WO)
Inventor: WATANABE HIDEYUKI
IPC: C07D401/12
Filed: 1993-11-04
Abstract: L'invention concerne un composé représenté par la formule générale (1), ou bien un sel non toxique de ce composé, un procédé de production de ce composé, ainsi qu'un remède contre les maladies associées au système neuronal sérotoninergique, contenant ledit composé comme ingrédient actif. Dans ladite formule, R1 représente hydrogène ou alkyle inférieur; R2 représente pyridyle pouvant être substitué par 1-3 atomes d'halogène, alkyle inférieur, trifluorométhyle, alcoxy inférieur, carbamoyle ou cyano, ou bien pyrimidinyle pouvant être substitué par 1-2 groupes alkyle inférieur ou alcoxy inférieur; et n représente un nombre entier compris entre 2 et 5. Le composé (1) et ses sels non toxiques ont une grande affinité pour les récepteurs de la sérotonine 1A et peuvent être utilisés en tant que remèdes contre les maladies associées au système neuronal sérotoninergique, tels que remède contre le mal des transports, remède contre le mal de l'espace, antiémétique, remède contre le vertige, antidépresseur, anxiolytique, et remède contre les troubles de l'appétit.
Patent WO-9425153-A1 (WO)
Inventor: HARADA NOBUYUKI
IPC: B01J20/28
Filed: 1994-04-27
Abstract: Matériau compact absorbant les liquides et se gonflant en absorbant rapidement un liquide tel que de l'eau ou du pétrole. Ce matériau est produit à partir d'une substance poreuse moulée pourvue d'une couche de barrage en polymère réticulé et de pores communicants, dont la masse volumique est comprise entre 0,2 et 1,0 g/cm3. En outre, ce matériau est soit du type présentant un degré de gonflement de 2 à 10 de la barrière avec du kérosène, ainsi qu'un rapport d'absorption par unité de volume vis-à-vis, séparément, de l'eau, de l'éthanol, du toluène et du kérosène, d'au moins 4 cm3/cm3, soit du type présentant un rapport d'aborption par unité de poids vis-à-vis, séparément, de l'eau, de l'éthanol, du toluène et du kérosène, de 10 g/g, à une température supérieure au point de ramollissement du polymère réticulé.
Patent WO-9428472-A1 (WO)
Title: Procede de commande de vitesse pour dispositif de commande numerique
Inventor: OTSUKI TOSHIAKI
IPC: G05B19/41
Filed: 1994-05-16
Abstract: Selon l'invention, on part de l'hypothèse selon laquelle l'extrémité distale d'un outil se trouvant, au moment présent, à un point P, devrait atteindre un point Q du cycle suivant, à condition que l'outil se déplace sans changer d'attitude. Par contre, si l'attitude de l'outil change pendant son déplacement, son extrémité distale n'atteint pas le point Q mais un point R se trouvant, dans une certaine direction, à une distance ΔA du point Q. Cette direction et cette distance dépendent de l'attitude actuelle de l'outil et d'une grandeur d'interpolation d'attitude établie lors du déplacement de l'outil jusqu'au cycle suivant. En conséquence, l'extrémité distale de l'outil peut être amenée du point P au point Q même lorsqu'il y a un changement d'attitude pendant son déplacement, cela grâce au fait que, dans la valeur de la distance de déplacement par rapport à un axe de déplacement dans une direction linéaire, est comprise une valeur de direction permettant de compenser de telles erreurs de distance et de direction.
Patent WO-9601618-A1 (WO)
Inventor: MAEDA NORIHISA
IPC: A61K8/00
Filed: 1995-07-07
Abstract: A dermatologic preparation comprising at least either an escinol represented by general formula (1) or a salt thereof and having an excellent skin-lightening effect and a high safety in virtue of characteristic effects of the escinol, wherein R1 represents hydrogen or hydroxy; and R2 represents a pyranose residue.
Patent WO-9605258-A1 (WO)
Title: Peinture maritime antisalissure
Inventor: SAEKI KAZUMI
IPC: C09D5/16
Filed: 1995-08-04
Abstract: Une composition de peinture maritime antisalissure contient 2-thiocyanopyridine 1-oxyde; une autre composition de peinture maritime antisalissure contient 2-thiocyanopyridine 1-oxyde et un hypoxyde de cuivre; et une autre composition de peinture maritime antisalissure contient 2-thiocyanopyridine 1-oxyde, un hypoxyde de cuivre et 2-pyridinethiol 1-oxyde. Ces compositions présentent d'excellentes caractéristiques antisalissure, sont faiblement toxiques, ne gèlent pas et présentent une stabilité en stockage prolongée. Elles peuvent être appliquées sur diverses structures telles que des bateaux, des installations portuaires, des bouées, des bases sous-marines et des tubes conducteurs d'usines génératrices.
Patent WO-9619949-A1 (WO)
Title: Implant dentaire
Inventor: SHIMODA TSUNEHISA
IPC: A61B17/66
Filed: 1995-12-26
Abstract: Implant dentaire qu'on peut fixer fermement à l'os dans la cavité orale, même quand l'os manque de la quantité nécessaire à l'implantation, au moyen de la constitution de nouveaux os, ce qui permet de disposer de ladite quantité. Ce dispositif comprend une combinaison de plusieurs éléments présentant des longueurs librement réglables. Plus particulièrement, on préfère un ensemble composé d'un élément extérieur tubulaire pourvu d'un taraudage, dans lequel est vissé, de façon à être solidaire de l'ensemble, un élément intérieur en forme de tige filetée. On constitue de nouveaux os autour de l'implant par stimulation continue de la membrane muqueuse au moyen de l'insertion de l'implant dans l'os et du soulèvement de la membrane par élongation des éléments.
Patent WO-9711943-A1 (WO)
Title: Composes de pyrazole, procede de preparation et bactericide agrohorticole
Inventor: HAGIWARA KENJI
IPC: C07D417/04
Filed: 1996-09-26
Abstract: La présente invention concerne des composés de pyrazole représentés par la formule générale (I-1) ou des sels de ces composés. R1 représente un groupe haloalkyle C¿1-6? ou cyano; R?2¿ un atome d'hydrogène, de métal ou analogue; X un atome d'hydrogène, d'halogène, un groupe alkyle C¿1-6? ou analogue; Ar un groupe 2-pyridyle, 2-pyrazyle, 2-pyrimidyle ou 2-thiazolyle, ces groupes pouvant, en variante, être substitués avec un atome d'halogène, un alkyle C1-6, un alkényle C1-6, un alkynyle C1-6, un cycloalkyle C3-5, un alcoxy C1-6, un groupe haloalkyle C1-6 ou analogue, à l'exclusion du cas où R?1¿ représente CF¿3?, Ar représente 2-pyridyle et X et R?2¿ représentent chacun un atome d'hydrogène. Etant donné que ces composés ont d'excellentes propriétés bactéricides, les préparations qui les contiennent sont utiles en agriculture et en horticulture.
Patent WO-9723209-A1 (WO)
Inventor: TANIKAWA KEIZO
IPC: A61K31/4025
Filed: 1996-12-24
Abstract: A therapeutic agent for cardiac failure comprising as the active ingredient either a benzopyran derivative represented by general formula (I) or a pharmacologically acceptable salt thereof, wherein R?1 and R2¿ each independently represent hydrogen, halogeno, nitro, cyano, amino, C¿1-6? alkylcarbonylamino, etc.; R?3 and R4¿ each independently represents hydrogen, C¿1-6? alkyl, or phenyl, or R?3 and R4¿ are bonded together to form C¿3-6? cycloalkyl in cooperation with the carbon atom bonded thereto; R?5¿ represents hydroxy, C¿1-6? alkoxy, or C1-6 alkylcarbonyloxy, or R?5¿ is bonded to R6 to form a bond; R6 represents hydrogen, or R6 is bonded to R5 to form a bond; and R?7 and R8¿ each independently represent hydrogen or C¿1-6? alkyl, or R?7 and R8¿ are bonded together to form pyrrolidinyl, imidazolidinyl, pyrazolidinyl, piperidyl, piperazinyl, etc. in cooperation with the nitrogen atom bonded thereto, or R?7 and R8¿ are bonded together to form, in cooperation with the nitrogen atom bonded thereto, pyrrole ring optionally substituted with R9 (where R9 has the same meaning as R1).
Patent WO-9727622-A1 (WO)
Inventor: IMAI SHINICHI
IPC: H01L21/00
Filed: 1997-01-23
Abstract: A semiconductor manufacturing apparatus comprising a silicon ring (12), as a halogen scavenger, having an average surface roughness of 1-1,000 νm around a silicon substrate (6) on a lower electrode (3) in a reaction chamber (7); and an upper silicon element (5), as another halogen scavenger, having an average surface roughness of 1-1,000 νm above the substrate (6), wherein C2F6 gas is used in the chamber (7). In this apparatus, fluorine is effectively removed in the initial phase of operation, and semiconductor devices can be aged in a relatively short time.