Patent SG-11201408430W-A (SG)
Title: Method for producing solar cells with local back surface field (lbsf)
Inventor: STOCKUM WERNER
IPC: H01L31/18
Filed: 2013-05-24
Abstract: (12) NACH DEM VERTRAG UBER DIE INTERNATIONALE ZUSAMMENARBEIT AUF DEM GEBIET DES PATENTWESENS (PCT) VEROFFENTLICHTE INTERNATIONALE ANMELDUNG (19) Weltorganisation fiir geistiges Eigentum Internationales Biiro (43) Internationales Veroffentlichungsdatum 3. Januar 2014 (03.01.2014) WIPOIPCT (10) Internationale Veroffentlichungsnummer WO 2014/000845 A1 (51) Internationale Patentklassiflkation: H01L 31/18 (2006.01) (21) Internationales Aktenzeichen: PCT/EP2013/001544 (22) Internationales Anmeldedatum: 24. Mai 2013 (24.05.2013) (25) Einreichungssprache: Deutsch (26) Veroffentlichungssprache: Deutsch (30) Angaben zur Prioritat: 12004763.4 25. Juni 2012 (25.06.2012) EP (71) Anmelder: MERCK PATENT GMBH [DE/DE]; Frankfurter Strasse 250, 64293 Darmstadt (DE). (72) Erflnder: STOCKUM, Werner; Waldstrasse 59, 64354 Reinheim (DE). DOLL, Oliver; Nibelungenstrasse 113, 63128 Dietzenbach (DE). KOEHLER, Ingo; Dilshoferstrasse 29, 64354 Reinheim (DE). MATUSCHEK, Christian; Huswertstrasse 26, 60435 Frankfurt am Main (DE). (81) Bestimmungsstaaten (soweit nicht anders angegeben, fiir jede verfiigbare nationale Schutzrechtsart): AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW. (84) Bestimmungsstaaten (soweit nicht anders angegeben, fiir jede verfiigbare regionale Schutzrechtsart)'. ARIPO (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW), eurasisches (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM), europaisches (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR), OAPI (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG). [Fortsetzung auf der nachsten Seite] (54) Title: METHOD FOR PRODUCING SOLAR CELLS WITH LOCAL BACK SURFACE FIELD (LBSF) (54) Bezeichnung : VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SOLARZELLEN MIT LOCAL BACK SURFACE FIELD (LBSF) Abb. 4 I.Texturierung 2.650/sq Diffusion (POCI3) 3. Ruckseitenpoliturund Kantenisoiation (in einem Prozeftschriftmit Atzpaste) undPSGatzen (57) Abstract: The present invention relates to a method for producing solar cells with local back surface field (LBSF) using an alkaline etching paste which allows the back surface to be polished and the back surface edges to be insulated in a single process step. (57) Zusammenfassung: Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung von Solarzellen mit Local Back Surface Field (LBSF) unter Verwendung einer alkalischen Atzpaste, welche die Riickseitenpolitur und die Ruckseitenkantenisolation in einem Verfahrensschritt ermoglicht. 4. Abscheidung der Passivierungsschicht (Si0 2 oderAI 0 ) 2 3 und PECVDSiNx 5. Offnen der Passivierungsschicht (Si0 /SiNx oderAI 0 /SiNx) 2 2 3 mit SofarEtch®AQS 6. Siebdruckder Vorder- und RGckseite Co-Feuerung oo o o o o CJ O & 1. Texturisation 2. 65Q/sq diffusion (POCI3) 3. Back surface polishing and edge insulation (in single process a step using etching paste) and PSG etching 4. Separation of the passivation layer (Si0 2 or Al 0 ) 2 3 and PECVD SiNx 5. Opening the passivation layer (Si0 2 or A^O^/SiNx) using SolarEtch® AQS 6. Co-firing the front and rear screen printing WO 2014/000845 A11 lllll llllllll II llllll III III lllll llll lllll lllll III III lllll mil nil nil mil lllllll nil nil Veroffentlicht: — mit internationalem Recherchenbericht (Artikel 21 Absatz V