Patent DE-102019103871-B4 (DE)
Title: Formmesseinrichtung und Formmessverfahren
Inventor: TAHARA KAZUHIKO
IPC: G01B11/06
Filed: 2019-02-15
Granted: 2022-04-21
Abstract: Formmesseinrichtung, umfassend:eine Lichtquelleneinheit, die ein Messlicht erzeugt;eine optische Verzweigungsvorrichtung zum Verzweigen des Messlichtes, das von der Lichtquelleneinheit erzeugt wird, in ein A-Oberflächen-Messlicht und ein B-Oberflächen-Messlicht;eine A-Oberflächen-Interferenzeinheit, die ein A-Oberflächen-Messinterferenzlicht und ein A-Oberflächen-Referenzinterferenzlicht erzeugt, wobei das A-Oberflächen-Messinterferenzlicht erzeugt wird, indem das A-Oberflächen-Messlicht, das von der optischen Verzweigungsvorrichtung verzweigt wird, in ein erstes A-Oberflächen-Messlicht und ein zweites A-Oberflächen-Messlicht weiter verzweigt wird und indem veranlasst wird, dass ein Post-Emissions-A-Oberflächen-Messlicht, das zu einem Abschnitt einer ersten Messposition auf einer Oberfläche eines Messobjektes in dem ersten A-Oberflächen-Messlicht emittiert und von dort reflektiert wird, mit dem zweiten A-Oberflächen-Messlicht durch eine optische heterodyne Interferenz interferiert, wobei das A-Oberflächen-Referenzinterferenzlicht erzeugt wird, indem veranlasst wird, dass ein Prä-Emissions-A-Oberflächen-Messlicht vor einer Emission zu dem Abschnitt der ersten Messposition in dem ersten A-Oberflächen-Messlicht mit dem zweiten A-Oberflächen-Messlicht durch die optische heterodyne Interferenz interferiert;eine B-Oberflächen-Interferenzeinheit, die ein B-Oberflächen-Messinterferenzlicht und ein B-Oberflächen-Referenzinterferenzlicht erzeugt, wobei das B-Oberflächen-Messinterferenzlicht erzeugt wird, indem das B-Oberflächen-Messlicht, das von der optischen Verzweigungsvorrichtung verzweigt wird, in ein erstes B-Oberflächen-Messlicht und ein zweites B-Oberflächen-Messlicht weiter verzweigt wird und indem veranlasst wird, dass ein Post-Emissions-B-Oberflächen-Messlicht, das zu einem Abschnitt einer zweiten Messposition gegenüber dem Abschnitt der ersten Messposition auf der anderen Oberfläche des Messobjektes in dem ersten B-Oberflächen-Messlicht emittiert und von dort reflektiert wird, mit dem zweiten B-Oberflächen-Messlicht durch die optische heterodyne Interferenz interferiert, wobei das B-Oberflächen-Referenzinterferenzlicht erzeugt wird, indem veranlasst wird,dass ein Prä-Emissions-B-Oberflächen-Messlicht vor einer Emission zu dem Abschnitt der zweiten Messposition in dem ersten B-Oberflächen-Messlicht mit dem zweiten B-Oberflächen-Messlicht durch die optische heterodyne Interferenz interferiert; undeine Formmessvorrichtung zum Beziehen einer Veränderung einer Dicke des Messobjektes auf Grundlage einer ersten Phase, die durch Detektieren von Phasen des A-Oberflächen-Messinterferenzlichtes und des A-Oberflächen-Referenzinterferenzlichtes, die von der A-Oberflächen-Interferenzeinheit erzeugt werden, bezogen wird, und einer zweiten Phase, die durch Detektieren von Phasen des B-Oberflächen-Messinterferenzlichtes und des B-Oberflächen-Referenzinterferenzlichtes, die von der B-Oberflächen-Interferenzeinheit erzeugt werden, bezogen wird,wobei dann, wenn die optische heterodyne Interferenz durchgeführt wird, die A-Oberflächen-Interferenzeinheit und die B-Oberflächen-Interferenzeinheit das erste A-Oberflächen-Messlicht und das zweite B-Oberflächen-Messlicht frequenzgleich machen und das erste B-Oberflächen-Messlicht und das zweite A-Oberflächen-Messlicht frequenzgleich machen.