baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-100303658-B1 (KR)
Title: 도움말 리스트를 작성하여 출력하는 방법
IPC: H04N1/00
Filed: 1999-08-16
Granted: 2001-11-01
Abstract: 본 발명은 도움말 리스트를 작성하여 출력하는 방법에 관한 것으로 본 발명의 목적은 복합기와 팩시밀리에서 발생하는 사용상의 문제점을 해결하기 위하여 출력하는 도움말 리스트를 GDI(Graphic Device Interface)와, 비트맵(Bit Map)을 사용하여 작성함으로써 다양한 폰트와 양식을 포함하는 도움말 리스트를 작성하여 출력하는 방법을 제공함에 있다. 
     이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구성은 비트 맵(Bit Map) 방식을 지원하는 팩시밀리의 도움말 리스트를 작성하여 출력하는 방법에 있어서, 소정의 응용프로그램을 사용하여 상기 팩시밀리의 도움말 리스트를 작성하는 단계; 상기 작성된 도움말 리스트를 상기 비트 맵 형식의 파일로 저장한 후, 소정 형태의 파일로 변환시키는 단계; 상기 변환된 파일에서 상기 비트 맵 파일의 헤더 정보를 제거하는 단계; 상기 헤더 정보가 제거된 상기 변환된 파일을 상기 팩시밀리의 저장부에 저장하는 단계; 및 상기 저장한 후, 상기 팩시밀리의 동작 중에 외부로부터 입력된 상기 도움말 리스트 요청신호에 따라, 상기 저장부에 저장된 상기 도움말 리스트의 시작 주소를 검색한 후, 상기 비트 맵(Bit Map) 방식을 사용하여 상기 도움말 리스트를 인쇄하는 단계를 포함한다. 
     또한, 비트 맵(Bit Map) 방식을 지원하는 팩시밀리의 도움말 리스트를 작성하여 출력하는 방법에 있어서, 소정의 응용프로그램을 사용하여 상기 팩시밀리의 도움말 리스트를 작성하는 단계; 상기 작성된 도움말 리스트를 상기 비트 맵 형식의 파일로 저장한 후, 소정 형태의 파일로 변환시키는 단계; 상기 변환된 파일에서 상기 비트 맵 파일의 헤더 정보를 제거하는 단계; 상기 헤더 정보가 제거된 상기 변환된 파일을 상기 팩시밀리의 저장부에 저장하는 단계; 및 상기 저장한 후, 상기 팩시밀리의 동작 중에 외부로부터 입력된 상기 도움말 리스트 요청신호에 따라, 상기 저장부에 저장된 상기 도움말 리스트의 시작 주소를 검색한 후, 상기 비트 맵(Bit Map) 방식을 사용하여 상기 도움말 리스트를 인쇄하는 단계를 포함한다. 
     본 발명에 따르면, GDI(Graphic Device Interface)와 Bit Map을 이용하여 도움말 리스트를 작성함으로써 각국 언어에 있는 특수문자를 구현하는 다양한 폰트와, 다양한 서체, 다양한 글자모양, 공용화에 필요한 아이콘, 그래픽 양식의 지원이 가능하다. 
     또한, 도움말 리스트 작성에 따른 개발 시간을 단축시킬 수 있으며 사용자가 제품 기능의 이해가 쉬워서 사용중에 발생하는 문제점을 용이하게 해결할 수 있다.
Patent KR-100275138-B1 (KR)
Title: Field effect transistor apparatus
Inventor: HIKA MITSUHIRO
IPC: H01L29/78
Filed: 1999-08-23
Granted: 2000-12-15
Abstract: PURPOSE: An FET(Field Effect Transistor) is provided to be capable of preventing the low frequency vibration of drain current or drain conductance, and obtaining stable transistor characteristics. CONSTITUTION: An FET includes a source region, the first gate, the second gate, a drain region, and a channel operation region(35). The FET further includes a conductive region(37). The conductive region is located near to the second electrode part(33) of the second gate. The first voltage difference between the second electrode part and the conductive region is larger than the second voltage difference between the second electrode part and the channel operation region. A plurality of electrons or hole injected into a substrate through the second electrode part are flowed into the conductive region due to high voltage difference and short distance.
Patent KR-100338442-B1 (KR)
Inventor: HONG SUK DONG
IPC: H01L33/62
Filed: 1999-08-24
Granted: 2002-05-30
Abstract: PURPOSE: A frame of a light emitting diode(LED) is provided to maintain an uniform interval between two frames by surrounding an upper portion of an anode frame and an upper portion of a cathode frame including a light emitting holding unit so that a molding part is formed by using synthetic resin and by automatically forming a cup part of a hopper type in the molding process. CONSTITUTION: The cathode frame(4) in which the anode frame(3) and the light emitting holding unit(5) are installed is connected to a lower band(1) and an upper band(2). The upper portion of the anode frame and the upper portion of the cathode frame including the light emitting holding unit are molded with synthetic resin to form the molding part(11). The cup part(12) of a hopper type whose upper diameter is greater than lower diameter is automatically formed on the light emitting holding unit of the cathode frame in fabricating the molding part. The center portion of the light emitting holding unit is exposed by the lower diameter of the cup part.
Patent KR-100611998-B1 (KR)
IPC: H04L29/06
Filed: 1999-08-27
Granted: 2006-08-11
Abstract: 상위 프로토콜과 고속 시리얼 버스의 정합 방법이 개시된다. 본 상위 프로토콜과 고속 시리얼 버스의 정합 방법은 (a) 상위 계층에서 고속 시리얼 버스의 노드로 전송되는 패킷의 길이가 소정길이 이상인지를 검사하는 단계와, (b) 상기 검사결과, 패킷의 길이가 소정의 길이 이상이면 상기 버스의 채널을 할당받아 등시성 전송 서비스에 의하여 데이터를 전송하는 단계, 및 (c) 상기 검사결과, 패킷의 길이가 소정의 길이 미만이면 비동기 전송 서비스에 의하여 데이터를 전송하는 단계를 포함한다. 
     본 발명에 따르면, 고속 시리얼 버스의 어떤 서비스를 사용할지를 명시하지 않는 기존 애플리케이션을 투명성있게 상기 고속 시리얼 버스와 정합시키면서도, 버스의 채널 자원을 효과적으로 활용할 수 있다.
Patent KR-100311615-B1 (KR)
Title: 현대화된 신규한 죽력의 제조방법
IPC: A61K36/899
Filed: 1999-09-03
Granted: 2001-10-18
Abstract: 본 발명은 벼과(Gramineae) 식물인 담죽( Phyllostachys nigra )의 줄기를 불에 구웠을 때 흘러나오는 즙액인 죽력의 현대화된 신규한 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 추출 탱크(1), 오일 보일러(2), 오일 탱크(3), 오일 펌프(5)로 구성되는 장치를 이용하여 모든 제조과정을 자동화함으로써 대량 생산이 가능할 뿐만 아니라 제조공정에 소요되는 시간을 상당히 단축할 수 있는 현대화된 죽력의 제조방법에 관한 것이다.
Patent KR-100304972-B1 (KR)
Title: 반도체 메모리 소자
IPC: G11C7/00
Filed: 1999-09-27
Granted: 2001-11-02
Abstract: 본 발명은 실리콘 면적의 절감과 고속화 및 전류의 집중 사용을 방지하도록 반도체 메모리 소자에 관한 것으로서, S/A 블록, S/A 풀-업 및 풀-다운 드라이버, S/A 프리 드라이버 그리고 서브 워드 드라이버 등을 포함하여 구성된 반도체 메모리 소자에 있어서, 상기 S/A 풀-업 및 풀-다운 드라이버는 상기 S/A 블록내에 분산 배치되고, 상기 S/A 프리 드라이버는 S/A 블록과 서브 워드 드라이버의 교차점인 크로스 에리어에 분산 배치되는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100517522-B1 (KR)
Title: 보간 방법 및 장치
IPC: G06F17/15
Filed: 1999-10-05
Granted: 2005-09-29
Abstract: 본 발명은 영상 표시 시스템에서 제 1 픽셀과 제 2 픽셀 사이를 보간하는 방법 및 장치를 제공하는 것이고, 상기 제 1 픽셀은 제 1 픽셀값과 제 1 축위의 제 1 좌표를 가지고, 상기 제 2 픽셀은 제 2 픽셀값과 제 1 축위의 제 2 좌표를 가진다. 발명은 제 1 축 위의 제 1, 2 좌표 사이의 제 1 중간 좌표를 제공하고, 제 1 중간 좌표에 대한 중량 인자를 결정한다. 제 1 중간 좌표가 제 1 도메인 내에 있다면 제 1 혼합 함수 내로 제 1 중간 좌표를 입력함으로서, 또는 제 1 중간 좌표가 제 2 도메인 내에 있다면 제 2 혼합 함수 내로 제 1 중간 좌표를 입력함으로서, 중량 인자가 결정된다. 중량 인자가 결정되면, 제 1 픽셀값과 제 2 픽셀값의 차와 중량 인자의 제 1 프로덕트로부터 제 1 보간값이 계산된다.
Patent KR-100318076-B1 (KR)
Title: 자동차용 헤드레스트의 목부상 방지장치
IPC: B60N2/48
Filed: 1999-11-11
Granted: 2001-12-24
Abstract: 본 발명은 자동차용 헤드레스트의 목부상 방지장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 차량의 후방 충돌시 탑승자의 상체가 시트백에 가해지는 하중을 이용하여 헤드레스트가 탑승자의 전방 상향으로 이동되도록 함으로써, 탑승자의 머리가 뒤로 젖혀지는 것을 막아주어 목부상을 방지할 수 있는 자동차용 헤드레스트의 목부상 방지장치를 제공하고자 한 것이다.
Patent KR-100333620-B1 (KR)
Title: 디스크 드라이버
IPC: G11B17/02
Filed: 1999-12-13
Granted: 2002-04-22
Abstract: 본 발명은 디스크 드라이버에 관한 것이다. 본 발명은 디스크(D)를 경사진 상태로 케이스(10)의 내외부로 이동되도록 하여 단순히 디스크(D)의 직선운동에 의해서 디스크(D)의 로딩 및 언로딩이 완성되도록 하였다. 이를 위해 디스크(D)를 이송하는 트레이(20)의 디스크안착면(21)을 경사지게 형성하고, 상기 경사에 대응하여 픽업베이스조립체(30)의 턴테이블(35)도 경사지게 설치하였다. 그리고 상기 트레이(20)의 입출동작에 연동되어 클램프(40)도 함께 동작되도록 하여 디스크(D)가 로딩되면 이를 클램핑하고 언로딩시에는 상기 트레이(20)의 동작과 연동되어 언클램핑되도록 구성하였다. 이와 같은 본 발명에 의하면 디스크(D)의 로딩동작을 위한 구성이 간단하게 되고 그 제어도 간단하게 이루어지는 이점이 있다.
Patent KR-100675733-B1 (KR)
IPC: G02F1/13
Filed: 1999-12-16
Granted: 2007-01-29
Abstract: 본 발명은 액정 표시장치의 제조공정에 있어서, 제조공정수를 줄이는 방법에 관한 것이다. 
     특히, 박막 트랜지스터의 채널을 형성하기 위해 불순물 비정질 실리콘을 식각할 때, TMAH 혼합용액을 사용한다. 
     즉, 포토 레지스트의 현상액을 불순물 비정질 실리콘의 제거에 사용함으로서, 고가의 건식 식각장비를 사용하지 않기 때문에 원가절감의 효과를 이룰 수 있다.
Patent KR-100318269-B1 (KR)
Title: 반도체 소자의 게이트 형성방법
IPC: H01L21/28
Filed: 1999-12-16
Granted: 2001-12-24
Abstract: 본 발명은 데머신 공정에 의한 게이트의 형성시 비교적 큰 선폭의 게이트에서 발생되는 디싱현상을 효과적으로 방지할 수 있는 반도체 소자의 게이트 형성방법을 제공한다. 
     본 발명에 따른 데머신 공정을 이용한 반도체 소자의 게이트 형성방법은 제 1 영역 및 제 2 영역이 정의된 반도체 기판 상에 게이트 산화막 및 희생막을 순차적으로 형성하는 단계; 제 1 영역의 희생막은 비교적 작은 선폭을 갖고 제 2 영역의 희생막은 비교적 큰 선폭을 갖도록 희생막 및 게이트 산화막을 게이트의 형태로 패터닝하는 단계; 기판 전면에 층간절연막을 증착한 후 전면식각하여 패터닝된 희생막의 표면을 노출시키는 단계; 노출된 희생막을 제거하여 게이트 형상의 홀을 노출시키는 단계; 노출된 홀에 매립되도록 층간절연막 상에 게이트용 금속막을 형성하는 단계; 금속층을 식각하여 층간절연막 상부의 금속층에 트렌치를 형성하는 단계; 및 금속층을 전면식각하여 제 1 영역에 비교적 작은 선폭의 게이트를 형성함과 동시에 제 2 영역에 비교적 큰 선폭의 게이트를 각각 형성하는 단계를 포함한다. 또한, 희생막은 폴리실리콘막으로 형성하고, 층간절연막 및 금속층의 전면식각은 화학기계연마로 진행한다.
Patent KR-100630377-B1 (KR)
IPC: H04L12/28
Filed: 1999-12-20
Granted: 2006-09-29
Abstract: 본 발명은 수동광 분기망에서 OLT와 상기 OLT에 연결되는 1 내지 i 개의 ONU간의 등화지연값을 설정하는 레인징 방법에 관한 것이다. 본 발명의 레인징 방법은 OLT에서 수학식 [ ]( 는 등화왕복지연,  는 레인징될 i 번째 ONU와 OLT 사이의 거리, R은 상향 프레임의 전송속도, c는 빛의 속도) 및 수학식[ ] ( 은   이상의 최소의 정수)을 이용하여 사전할당 등화지연( )과 상기 OLT와 상기 ONU간의 거리의 오차범위에 따른 윈도우 길이( )를 결정하는 단계; 상기 결정된 ( )을 상기 ONU에게 전송하는 단계; 상기 OLT에서 (j-1) 번째 PLOAM 셀의 마지막 (T W -1)/2 개의 승인 필드를 무할당 승인을 채우고, j 번째 PLOAM 셀의 첫번째 승인 필드를 레인징 승인으로 채우며, 이어서 (T W -1)/2 개의 승인 필드를 무할당 승인으로 채우는 단계; 상기 j 번째 PLOAM 셀이 하향으로 출발한 직후, 상기 ONU로부터 레인징 응답 셀이 도착될 때, 상기 OLT에서 수학식[ ](T1은 상기 j 번째 PLOAM 셀이 하향으로 출발한 시간, T2는 상기 레인징 응답 셀이 상향으로 도착하는 시점)에 의해 상기 ONU에 대한 궁극적인 등화지연( )을 계산하여 상기 ONU에게 통보하는 단계를 포함한다.
Patent KR-100323855-B1 (KR)
Title: 진공펌프 장치의 외부공기 도입용 가스밸러스트 밸브장치
IPC: F04C2/02
Filed: 1999-12-22
Granted: 2002-02-19
Abstract: 본 발명의 목적은 조작이 매우 간편하고 도입되는 공기량을 정량적으로 조절할 수 있는 진공펌프 장치의 외부공기 도입용 가스밸러스트 장치를 제공하는데 있다. 
     이를 위해 본 발명은 진공펌프장치의 실린더 내부로 신선한 외부공기를 도입하여 오염된 오일을 청소하는 가스밸러스트 장치에 있어서, 
     적어도 0과 1단을 포함하는 복수단의 회전조작 위치를 가지도록 평면상에서 회전작동되는 조절손잡이와; 
     상기 조절손잡이의 회전작동에 연동하여 평면상에서 회전하는 밸브시트판과; 
     상기 밸브시트판과 항상 밀착 접촉하며, 안쪽에 수평방향으로 길죽하게 움푹파여져 형성되어 조절손잡이의 회전조작 상태에 따라 외부와 연통하거나 또는 연통상태가 차단당하는 가스통로공간을 구비하는 밸브시트면과; 
     상기 밸브시트판을 상하로 관통하여 형성되며, 상기 조절손잡이가 0 위치에 있을 때에는 상기 밸브시트면에 의해 차단되며, 1 또는 2단 이상의 위치에서는 상기 가스통로공간에 선택적으로 연통하게 되는 적어도 1개 이상이 형성되는 구멍과; 
     상기 가스통로공간과 로터가 회전하는 실린더 내부를 연통하는 가스통로; 를 포함하여 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100433254-B1 (KR)
Title: 소결공정용 소결배합원료 제조방법
IPC: C22B1/16
Filed: 1999-12-30
Granted: 2004-05-27
Abstract: 본 발명은 철광석의 소결을 위하여 사용되는 코크스 중에 포함된 유황 성분의 산화로 발생되는 이산화황의 발생을 저감시키기 위하여 소결배합원료 중에 탄산수소암모늄을 더 포함시키는 것을 내용으로 한다.   이에 의하여 상기 탄산수소암모늄은 소결 중의 열에 의하여 열분해되어 암모니아를 발생시키며, 이 암모니아와 이산화황의 반응에 의하여 이산화황을 암모늄 설페이트로 형성시켜 통상의 집진기로 제거토록 할 수 있다.   따라서, 소결배가스에 포함되어 대기 중으로 방출되는 이산화황을 매우 간편하게 저감시킬 수 있도록 한다.
Patent KR-100489368-B1 (KR)
IPC: F16H61/30
Filed: 1997-09-26
Granted: 2005-05-12
Abstract: 가압유체장치는 복동 서보실린더같은 실린더의 실린더공간(70,72)내 유체의 소정의 압력의 발생에 의해 장치를 작동한다.  압력은 작동된 장치를 통해 방출되는 신호의 함수이다.  유체펌프(74)는 저장통(20)으로부터 유체에 제공되며 2개의 작동위치들을 갖는 각각의 자기밸브(80,82)들을 통해 유체를 실린더 공간(70,72)들에 전달한다.  컴퓨터(58)는 자기밸브(80,82)들을 제어하고 신호를 수신하기 위해 설비된다.  압력센서(92,94)들은 실린더 공간들내 유체압력을 설정하기 위해 설비되고 일치하는 전기 신호들을 컴퓨터(58)에 전송한다.  수신된 신호를 기초로 전기신호들을 자기밸브(80,82)들에 전송하기 위해 컴퓨터가 설비된다.
Patent KR-100398923-B1 (KR)
IPC: C07H19/056
Filed: 1997-10-15
Granted: 2003-09-19
Abstract: Novel monocyclic L-Nucleoside compounds have the general formula  Embodiments of these compounds are contemplated to be useful in treating a wide variety of diseases including infections, infestations, neoplasms, and autoimmune diseases. Viewed in terms of mechanism, embodiments of the novel compounds show immunomodulatory activity, and are expected to be useful in modulating the cytokine pattern, including modulation of Th1 and Th2 response.
Patent KR-100402632-B1 (KR)
IPC: A61K8/86
Filed: 1997-12-22
Granted: 2003-10-22
Abstract: The present invention relates to topical adhesives for attachment to the skin. In particular the present invention relates to such topical adhesives which can be employed for attachment to the skin of protective articles, clothing, prosthesis, heat wraps, pads, and/or packs, e.g. for topical relief of pain or simply to provide warmth; cold wraps, hearing aids, protective face masks, ornamental articles, or eye wear but excluding absorbent articles. The topical adhesive provides secure attachment and is pleasing to the skin upon application, yet causes no discomfort upon removal. This is achieved by selecting the chemical composition and rheological characteristics of the topical adhesives.
Patent KR-100575496-B1 (KR)
IPC: H04L29/06
Filed: 1998-04-03
Granted: 2006-05-03
Abstract: 본 발명은 개방형 시스템간 상호 접속 환경에서, 협동하는 개방형 시스템 간에 통신을 수행하기 위한 방법, 통신 네트워크 및 서비스 액세스 인터페이스에 관한 것이다. 상향 서비스 액세스 포인트(USAP)는 층 특정 파라미터, 예를 들어, 서비스 품질 파라미터를 상위층에 전송하도록 적응된다. 따라서, 실행 애플리케이션은 자신의 성능을 임의의 하나의 하위층의 전송 특성에 적응 가능하게 변화시킬 수 있다.  
       
     개방형 시스템간 상호 접속, 서비스 액세스 인터페이스, 층 특정 파라미터, 실행 애플리케이션, 층 통신 수단.
Patent KR-100574737-B1 (KR)
IPC: H04N19/115
Filed: 1998-05-09
Granted: 2006-04-28
Abstract: 본 발명에 의해 수평 흡상 시험에 따라 인공 생리혈을 약 1.5 분 미만내에 약 2.54 cm (1 인치)의 거리 만큼 흡상시키는 직물인 개인 위생용품용 분배재가 제공된다.  이 성능 기준에 부합되는 재료는 일반적으로 약 80 내지 400 미크론의 세공 직경의 백분율이 높은 (일반적으로 50% 초과하는) 세공 크기 분포 및 약 0.15 g/㏄ 미만의 밀도를 갖는다.  또한, 각 층의 요염 길이비가 0.5 이하이고 분배/보유 층의 포화 프로파일이 4 이하인 분배/보유 층 및 패드 형성층을 갖는 개인 위생용품 시스템이 제공된다.   
       
     흡수성 재료, 신체측 라이너, 분배/보유 층, 패드 형성층, 배면시트, 전달 지연층, 개인 위생용품, 세공 크기 분포, 수평 흡상 시험, 오염 길이비, 포화 프로파일
Patent KR-100373847-B1 (KR)
Filed: 2000-01-26
Granted: 2003-02-26
Abstract: 본 발명은 인터넷 상에 본사의 가상거래 사이트를 만들고, 지역적인 공간을 기초단위, 예를 들면 동, 면 단위까지 세분하여 기초단위별로 가맹점을 모집하고, 그 가맹점이 본사의 가상거래 사이트 내에 가맹점 사이트를 만들고, 관할 구역 내의 공산품 및 농산품과 같은 다양한 상품을 생산하는 개인 업소 회사 등을 회원사로 유치하여 인터넷 통신망을 이용하여 본사 사이트 내에 상품을 올릴 수 있는 회원사 사이트를 개설해 주거나 회원사가 사이트를 요구하지 않을 경우 가맹점 사이트에 상품을 직접 올려주는 가맹점 개념을 도입하여 관할구역 내의 회원사를 유치 관리하고 판매된 상품을 배달할 수 있도로 하므로써 상품의 거래시 신속 정확하게, 그리고 가맹점의 신뢰성이 상품 및 판매자의 믿음으로 이어질 수 있도록 하여 전자 상거래 질서를 크게 향상시킬 수 있는 발명이다.
Patent KR-100360936-B1 (KR)
IPC: C02F1/461
Filed: 2000-01-31
Granted: 2002-11-22
Abstract: 전기분해를 이용하여 해수 또는 전해물질을 함유한 물을 전기분해하여 산성수와 알칼리수를 생성한 후 이를 원하는 방향으로 살포하여 녹조 등을 구제할 수 있는 환경친화적이고 효과적인 대용량 전해수 제조 장치가 개시된다. 
     상기 대용량 전해수 제조 장치는 전력을 공급하는 전원과, 물을 유입하기 위한 유입관과, 상기 유입관으로부터 유입된 물을 상기 전원에 연결된 한 쌍의 극판에 의해 전기분해하는 전해조와, 상기 전해조를 양분하도록 상기 한 쌍의 극판 사이에 설치되어 전기분해에 의해 생성된 산성수와 알칼리수의 혼합을 방지하는 격막과, 상기 전해조를 통해 유출된 산성수와 알칼리수를 서로 다른 방향으로 살포하는 살포기를 포함하며, 상기 격막에 의해 양분된 상기 전해조 내에는 상기 전해조 내로 유입된 물이 상기 전해조 내를 이동하는 경로를 연장하도록 물의 흐름을 안내하는 가이드가 설치된다.
Patent KR-100669407-B1 (KR)
IPC: H01J9/02
Filed: 2000-02-14
Granted: 2007-01-15
Abstract: 본 발명은 팁 밀도가 높고 균일하며, 단위면적당 전자 방출량이 큰 카본 나노튜브 에미터를 낮은 온도에서 형성하기 위하여, 전극 금속 및/또는 금속화합물, 결정성장 시드 물질 및 유기물을 혼합하여 전극 페이스트 조성물을 제조하고, 상기 페이스트 조성물을 기판에 소정 패턴으로 도포한 다음, 및 상기 페이스트 조성물이 도포된 기판을 소성한 후, 화학기상증착 반응기에 넣고, 아세틸렌(C 2 H 2 )가스를 투입하여 결정성장 시드 물질 상에 카본나노튜브를 성장시킴으로서 전계방출디스플레이용 에미터를 제조한다. 
       
     카본나노튜브, 전계방출디스플레이, 에미터, 화학기상증착, 결정성장
Patent KR-100698351-B1 (KR)
IPC: F16K31/06
Filed: 2000-02-14
Granted: 2007-03-23
Abstract: 본 발명은 전기적인 기자력과 영구자석의 자력에 의해 자기적으로 작동되는 솔레노이드밸브 어셈블리에 관한 것으로, 본 발명은 일측벽을 관통하여 개구가 형성된 밸브 체임버와 상기 밸브 체임버를 각각 연결하는 입/출구 통로를 갖는 비금속 재질로 이루어진 대략 정방형상의 밸브본체수단; 상기 밸브 체임버내로 상기 출구통로를 한정하는 밸브시트수단; 상기 밸브 시트상에서 개구위치와 밀폐위치사이를 왕복하는 강자성체 아마추어수단; 상기 체임버 안으로 삽입되는 아마추어수단과 함께 상기 아마추어 수단의 움직임을 가이드하기 위한 표면을 한정하는 개구부를 갖는 비자성체 재질로 이루어진 아마추어 가이드수단; 상기 밸브 체임버와 상기 밸브본체의 사이에 개재되어 수밀상태를 유지하는 수밀수단; 상기 아마추어수단을 조여 상기 밸브시트를 폐쇄하기 위해 작동하며, 상기 아마추어 가이드수단의 개구에 배열되는 스프링수단; 상기 밸브시트를 개구하기 위해 상기 아마추어 수단의 움직임을 위해 전기적인 힘으로 동작하는 기자력 수단; 상기 아마추어 수단이 움직이는 일정한 이동범위 내에서 물리적으로 흡자력이 발생하면서 상기 아마추어수단과 반대방향으로 움직이는 영구자력수단; 및 상기 기자력 수단 및 영구자력수단을 수용하고 밸브본체에 체결되는 강자성체 프레임수단;을 포함한다.
Patent KR-100363468-B1 (KR)
Title: 푸시 스위치
IPC: H01H13/14
Filed: 2000-02-24
Granted: 2002-11-30
Abstract: 스템의 후크부의 두께가 균등하지 않아도, 후크부의 걸어맞춤강도를 확보할 수 있음과 동시에, 스템 전체의 소형화가 가능한 스템의 구조를 제공한다. 
     상자형상의 하우징 (1) 과, 이 하우징 (1) 내에 고착된 1 쌍의 고정단자 (2) 와, 상기 하우징 (1) 의 내측면에 접동(슬라이딩)가능하게 지지된 스템 (5) 과, 이 스템 (5) 의 이동과 연동하여 동작이 가능하도록 상기 고정단자 (2) 상에 배치된 가동접점 (3) 과, 이 가동접점 (3) 을 상기 고정단자 (2) 에 접속분리시킴과 동시에 상기 스템 (5) 을 복귀시키는 러버스프링 (4) 을 구비하고, 상기 스템 (5) 에는 상기 하우징 (1) 의 내측면의 걸림 홈부 (1a) 에 걸리는 걸림 돌기부 (5c) 를 갖는 후크부 (5d) 가 형성되어, 이 후크부 (5d) 의 상기 러버스프링 (4) 과 대향하는 면에, 상기 러버스프링 (4) 의 굴곡부 (4d) 를 받아들이는 릴리프부 (5e) 를 형성하였다.
Patent KR-100325873-B1 (KR)
IPC: H01M10/0525
Filed: 2000-04-12
Granted: 2002-03-07
Abstract: 본 발명은 전해액의 누출을 효과적으로 방지할 수 있는 리튬 이온 폴리머 전지를 개시한다. 본 발명에 의한 리튬 이온 폴리머전지는 양극, 음극 및 세퍼레이터가 적층되어 있는 구조의 전지 몸체, 상기 전지 몸체에서 생성된 전류를 외부로 유도하기 위하여 상기 전지 몸체에 결합되어 있는 양극 단자와 음극 단자로서 그 소정영역의 표면에 빈 공간이 없도록 중량 평균분자량이 10만 이하인 폴리프로필렌 또는 폴리에틸렌 함량이 50 내지 80중량%인 폴리에틸렌과 폴리프로필렌의 혼합물로 이루어진 피복층이 형성되어 있는 양극 단자와 음극 단자, 및 상기 양극 단자와 음극 단자의 일부를 노출시킨 상태로 상기 전지 몸체, 양극 단자 및 음극 단자를 밀봉하며 내부 표면이 열접착성 물질로 피복되어 있는 절연성 외장재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100404352-B1 (KR)
IPC: G02F1/1335
Filed: 2000-05-30
Granted: 2003-11-01
Abstract: 반사재가 투명 도광체에 확실히 고정될 수 있고 장치의 제조 비용이 줄어들 수 있는 면발광 장치가 제공된다.     투명 도광체의 이면에 반사재가 배치되고 또한, 투명 도광체의 측면에 광원이 배치됨과 동시에, 광원으로부터 출사되는 광으로 투명 도광체를 조명함으로써 반사재로부터의 반사광을 투명 도광체의 표면에 출사시키는 면발광 장치에 있어서, 투명 도광체의 표면에 광원으로부터 출사되는 광을 투명 도광체의 표면측에 반사시키기 위한 반사 패턴을 형성할 때, 투명 도광체의 표면과 반사재를 반사 패턴을 통하여 녹여붙임하여 고정한다.
Patent KR-100353318-B1 (KR)
Title: 냉장육 절단기
Filed: 2000-06-14
Granted: 2002-09-27
Abstract: 본 발명은 육류품을 절단하는 육류 절단기에 관한 것으로서, 특히, 절단칼이 직선형으로 이루어지고 상하 진동방식으로 작동되어, 냉장육도 용이하게 절단하도록 함으로써, 육류의 신선한 풍미를 제대로 즐길 수 있도록 하는 냉장육 절단기에 관한 것이다. 
     본 발명은 직선형 절단칼과, 상기 직선형 절단칼 양단을 고정하기 위한 칼 고정대를 포함하여 이루어지는 절단수단과; 상기 절단수단을 직선방향으로 왕복구동시키기 위하여, 상기 절단수단의 칼 고정대에 연결되는 크랭크판과 모터를 포함하는 절단칼 구동수단과; 상기 절단수단측으로 육을 이동지지하기 위한 육 이송판과, 상기 육 이송판 하부에 부여되는 다수의 베어링과, 상기 베어링이 삽지 습동되고 후술하는 테이블에 고정되는 가이드레일을 포함하여 이루어지는 육 이송수단과; 상기 절단수단에 인접 설치되는 육 지지판과, 육 유동방지 누름자와, 배출대를 포함하여 이루어지는 육 절단 가이드부재와; 상기 구성요소들을 지지하 테이블과, 모터 재치대 및 높낮이 조절수단을 구비하는 프레임을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 것임.
Patent KR-100358675-B1 (KR)
IPC: D06M13/00
Filed: 2000-06-26
Granted: 2002-10-30
Abstract: 본 발명의 의마면사는 (1) 정련제, 금속이온 봉쇄제, 셀룰로오스 분해제, 및 가성소다를 용해시킨 수용액 내에서 행크 상태의 면사를 90 ℃ 이상의 온도에서 전처리하고, (2) 상기 전처리된 면사를 수축되지 않도록 고정시키고 저온의 알카리 수용액 내에서 처리하고, 그리고 (3) 상기 저온 알카리 처리된 면사를 유연제가 용해된 욕에서 유연처리하는 단계로 이루어지는 방법에 의하여 제조된다.
Patent KR-100367785-B1 (KR)
Title: 조절가능한 조정전극을 구비한 3극 전극특성의 고전압임펄스 방전기
IPC: H01H9/14
Filed: 2000-06-27
Granted: 2003-01-10
Abstract: 본 발명은 고전압 임펄스를 발생하기 위한 주파수 동작방식의 조절가능한 스파크-갭 스위치(방전기)에 관한 것으로, 본 발명의 장치는 절연물로 만든 밀폐함 본체(1)와, 내부에 공기의 배출 및 전극간의 간극을 조절하기 위한 관 형태의 조정지지대(2)와, 적정간극을 유지하고 두 개의 쌍으로 배치되는 조정지지대(2)에 연결된 실린더 형상의 축 방향으로 이동 가능한 4개의 전극(3∼6)과, 전극간 불꽃방전에 의한 물리-화학적 변화를 방지하기 위해 자외선을 방사하고 전극간 방전여기상태를 형성시키는 2개의 보조전극 P yФ (9,10)와, 조정지지대(2)의 미세한 조정을 가능하게 하는 플랜지(7)와, 본체(1) 내부로 공기공급을 위하여 연결되는 공기공급관(8)과, 본체(1)의 내벽을 자외선 방사로부터 보호하기 위한 금속보호막(11)과, 본체(1) 내부에 공급되는 공기의 흐름을 전극 간극으로 유도하는 공기유도로(12)를 구비하고 있다. 이 방전기의 적정 동작조건을 제어하기 위하여, 본체(1) 외부에 전기적으로 연결된 간단한 구성의 방전회로가 제공된다. 본 발명의 장치는 외부에 별도의 동기회로와 별도의 트리거 회로를 필요로 하지 않고 독립적인 동작조건에 의하여 조종전극Э 2 (4, 5)의 조절만 가지고 주파수 변환 동작 및 방전기의 스위칭 동작전압 등의 제반 특성을 조절할 수 있기 때문에 신뢰성과 안정성을 바탕으로 효율을 높일 수 있다.
Patent KR-100583121-B1 (KR)
IPC: H01L21/768
Filed: 2000-06-29
Granted: 2006-05-24
Abstract: 본 발명은 반도체소자의 금속배선 콘택홀 제조방법에 관한 것으로서, 반도체기판 상부에 모스전계효과 트랜지스터를 형성하고, 전체표면 상부에 질화막을 형성한 다음, 층간절연막, 하드마스크용 다결정실리콘층 및 금속배선 콘택으로 예정되는 부분을 노출시키는 감광막패턴을 형성하고, 상기 감광막패턴을 식각마스크로 상기 다결정실리콘층을 식각한 후 계속해서 상기 층간절연막을 제거한 다음, 상기 감광막패턴 및 상기 다결정실리콘층을 상기 질화막과의 식각선택비 차이를 이용하한 후 상기 질화막을 제거함으로써 상기 다결정실리콘층 제거공정 시 상기 반도체기판이 손상되는 것을 방지하고, 그에 따른 반도체소자의 특성 및 수율을 향상시키는 기술이다.
Patent KR-100415292-B1 (KR)
Title: 전자 뜸 기기가 구비된 매트 및 장판 조절장치
IPC: A61H39/06
Filed: 2000-06-30
Granted: 2004-01-16
Abstract: 본 발명은 음전위매트, 황토매트, 장판등에 사용되는 조절기에다가 전자 뜸 치료기를 첨가시켜 단일의 제품으로 구성함으로써 기존의 전기를 조절하여 온도등만 제어하는데 비하여 전자 뜸 치료기를 추가하여 기존의 단순한 조절기 기능 뿐만아니라 전자 뜸 치료기로서의 기능을 가지게 하는 것이다.
Patent KR-100383430-B1 (KR)
Title: 댐수면 결빙 방지장치
IPC: E02B15/02
Filed: 2000-07-07
Granted: 2003-05-14
Abstract: 본 발명은 지열 또는 댐저수위의 내열을 이용하여 댐수면의 결빙을 방지함으로써, 댐의 붕괴를 예방할 수 있는 댐수면 결빙 방지장치에 관한 것으로, 이것의 구조를 보면, 내부에 열전달 매체가 유동하는 중공부(14)가 형성되어 있는 본체(12)와, 상기 중공부(14)를 통해서 가열된 열전달 매체가 유입되어 방열되는 방열부(18)가 구비되고, 상기 본체(12)의 상부에 일체적으로 형성된 다수의 방열핀(16)으로 이루어져 있다. 또한, 상기 방열핀(16)의 상부에는 댐수면과 외기와의 열전달을 차단하기 위한 차단판(32)이 추가로 설치되어 있다.
Patent KR-100338624-B1 (KR)
Title: 망관리 시스템에서 알람 관리 장치 및 방법
IPC: H04L12/24
Filed: 2000-07-13
Granted: 2002-05-30
Abstract: 가. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야 
     알람을 처리하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. 
     나. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제 
     비규격화된 알람 정보를 사용하는 광전송 시스템에서 망관리 시스템으로 알람을 정상적으로 전달하기 위한 장치 및 방법을 제공한다. 
     다. 발명의 해결방법의 요지 
     본 발명은 표준 규격을 사용하는 망관리 시스템에서 광전송 시스템의 알람을 처리하기 위한 장치로서, 광전송 시스템과 연결되어 인터페이스를 수행하는 인터페이스부와, 이벤트의 발생에 따른 데이터를 표준규격에 따른 데이터로 변환하여 처리하기 위한 이벤트 판별장치 관리테이블과, 광전송 시스템으로부터 수신되어 상기 인터페이스부로부터 수신된 알람 정보를 구분하여 처리하기 위한 대리동작 관리기와, 상기 대리동작 관리기로부터 수신되는 알람 데이터를 상기 이벤트 판별장치 관리테이블을 통해 매칭하여 처리하며, 상기 매칭된 데이터를 운용자의 관리 시스템으로 전달을 제어하는 하나 이상의 대리 동작기로 구성됨을 특징으로 한다. 
     라. 발명의 중요한 용도 
     광전송 시스템의 알람을 처리할 경우 사용한다.
Patent KR-100340153-B1 (KR)
IPC: G08G1/0968
Filed: 2000-07-26
Granted: 2002-06-12
Abstract: 본 발명은 사이버 네비게이션 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 인터넷상에서 사용자가 입력한 출발지와 목적지 사이의 최적의 경로를 탐색하고, 상기 탐색된 경로에 대해 모의주행을 실시하여 실제 도로상을 주행하는 것과 같은 상황을 제시하므로써 초보자에게 운전의 편리함을 제공하는 잇점이 있고, 또한 상기 모의주행시 경로상에 설치된 시설물들에 대해 리스트를 제공하므로 찾아가는 길에 어떤 시설물이 있는지 사전에 알 수 있게하는 잇점이 있으며, 상기 시설물주들에게는 자신들의 시설물을 자연스럽게 광고할 수 있도록 하는 잇점을 제공한다.
Patent KR-100619351-B1 (KR)
IPC: B05D5/00
Filed: 2000-07-26
Granted: 2006-09-06
Abstract: 본 발명은 탄화수소 열분해 반응기 튜브 내벽에 코크 저감을 위한 코팅방법에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 알칼리금속 실리케이트 또는 알칼리토금속 실리케이트 단독 또는 무기화합물과의 혼합물을 수용액상으로 제조하여 탄화수소 열분해 반응튜브 내벽에 상온 내지 100℃에서 도포하고, 이를 80∼120℃로 유지시켜 건조한 다음, 시간당 50∼300℃로 승온시켜 400∼600℃에서 열처리하여 코팅막을 형성시키는 탄화수소 열분해 반응기 튜브 내벽에 코크 저감을 위한 코팅방법에 관한 것이다.   본 발명의 코팅방법은 탄화수소 열분해 반응기 튜브 내벽에 금속산화 및 코크 생성의 촉매작용을 차단하기 위해 균일한 코팅막을 형성할 수 있고, 형성된 막이 유체흐름의 침식과정에서 기계적 강도를 유지할 수 있으며, 고온에서 열화되지 않고 안정성을 확보할 수 있는 효과가 있다. 
       
     탄화수소, 열분해, 튜브, 코팅, 코크
Patent KR-100477172-B1 (KR)
Title: 음용수용 배관연결구의 납용출 방지방법
IPC: C23C16/00
Filed: 2000-07-28
Granted: 2005-03-18
Abstract: 본 발명은 음용수용 배관연결구의 납용출 방지방법에 관한 것으로, (1) 황동 재질의 배관연결구를 아세톤으로 세척한 후, 0.01N-0.2N 질산 수용액에 60초간 함침시킨 다음 꺼내어 세척하고 건조하는 단계와; (2) 상기 건조된 배관연결구를 0.005wt%의 비스무스 질산염 5수화물(Bismuth nitrate pentahydrate)과 0.5M의 염화나트륨 수용액에 50-70℃에서 20-40분간 함침시키는 단계와; (3) 함침된 상기 배관연결구를 꺼내어 초순수에 2-5회 정도 세척한 다음, 건조시키는 단계를 포함하여 배관연결구로 부터 NSF61에서 규정하고 있는 납용출 기준치 이하로 납이 검출되기 때문에 음용수 배관에 적극적으로 사용될 수 있는 장점이 있다.
Patent KR-100359708-B1 (KR)
IPC: B44C1/175
Filed: 2000-08-16
Granted: 2002-11-07
Abstract: 본 발명은 자동차용 스티어링휠림의 수압전사장치에 관한 것으로, 그 구성은, 스티어링휠림을 파지하여 그 스티어링휠림을 패턴층이 형성된 전사필름상에 어느 한쪽 단부로부터 점진적으로 침강시켜 일련의 수압전사공정을 수행하기 위한 액츄에이터와, 상기 액츄에이터에 동력원을 공급하여 상기 액츄에이터가 순차적으로 작동 가능하도록 구동시켜주는 구동부와, 상기 스티어링휠림이 상기 액츄에이터에 장착된 후 상기 구동부에 동작신호를 전송하여 상기 액츄에이터가 순차적으로 작동되도록 제어하는 제어부를 포함하여 이루어진다. 따라서, 본 발명의 수압전사장치에 의하면 공정의 자동화를 실현할 수 있으므로 수작업에 의존하던 종전의 방식에 비해 생산소요시간을 1/5 이상 단축할 수 있어 대량 생산이 가능하고, 정확한 수치 제어에 의해 제품 정밀도가 향상되어 품질 균일화를 도모할 수 있으며, 비숙련자도 쉽게 작업할 수 있는 환경을 제공하게 된다.
Patent KR-100624181-B1 (KR)
IPC: F16D65/853
Filed: 2000-08-17
Granted: 2006-09-13
Abstract: 본 발명의 마찰 장치는 구동부(12)와 피동부(14)를 연결 및 분리시켜 토크를 전달 및 차단하는 클러치 팩(20)을 포함하여 구성된다. 피스톤 조립체(42)가 클러치 하우징 내에 수용되어 제 1 팽창실(44)을 형성한다. 상기 피스톤은 왕복운동으로 상기 클러치 팩을 작동시킬 수 있도록 상기 팽창실의 압축 유체에 반응한다. 외부링(60)이 제 2 팽창실(65)을 형성할 수 있도록 상기 하우징 내부에 슬라이딩 운동할 수 있도록 수용된다. 상기 피스톤은 구동부와 피동부가 분리될 때 외부링의 오리피스를 클로즈하고, 오리피스가 오픈될 때 제 2 위치를 가진다. 윤활 압축유의 제 2 공급원(67)은 피스톤 작동유와 구별되는데, 제 2 팽창실을 거쳐 오리피스를 통하여 유입되어, 팩의 냉각을 위하여 클러치 팩의 외경으로부터 인접한 플레이트와 디스크를 거쳐 클러치 팩의 내경으로 흐른다.
Patent KR-100393380-B1 (KR)
Title: 화산회 토양에 고정된 인산염을 가용화하는 새로운 미생물
IPC: C12N1/20
Filed: 2000-08-30
Granted: 2003-07-31
Abstract: 화산회토 감귤원 토양에 고정된 인산염을 가용화하는 미생물 균주 및 이 미생물 균주를 사용하여 화산회토 감귤원 토양에 고정된 인산염을 활용하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 균주는 토양에 고정된 인산염을 가용화하는 능력이 우수하다. 또한, 대부분의 토양미생물 제제는 토양정착이 어렵고 또한 사용후 효과검정이 어려우나, 본 발명의 미생물 균주는 화산회 토양 환경에 맞는 토착 균주로서 정착능력이 우수하며 pH 4-7, 4~70℃의 온도에서 생장할 수 있는 폭넓은 생장범위를 가지고 있어 감귤원 토양환경에 적합하다. 또한, 토양의 산성화로 인하여 토양의 완충력 증진차원에서 유기질 비료의 사용이 증가함에 따라 유기질과 혼합 후 사용할 수 있어 사용이 편리하고 사용후 효과도 지속될 수 있다.
Patent KR-100697890-B1 (KR)
IPC: G09G3/293
Filed: 2000-09-04
Granted: 2007-03-21
Abstract: 본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널 구동방법을 개시한다. 이에 의하면, 고해상도 PDP를 고휘도로 구동하기 위해 플라즈마 방전특성중 유지방전전압을 이용하여 어드레스신호의 신호폭을 획기적으로 줄였으며 어드레스시간 범위를 늘리는 방안으로 X전극을 어드레스방전에 이용하고 스캔신호의 위상을 다르게 인가하여 어드레스사이의 시간을 효율적으로 이용하여 데이터구동 LSI의 수를 증가하지 않고 4개의 블록까지 구동하는 효과가 있기 때문에 라인수 2048개 이하의 플라즈마 디스플레이 패널 구동이 가능하다. 또한 구동 LSI 수를 증가시키지 않는 고해상도 구현 가능성, 외부 바이어스전압이 필요없는 간단한 구동회로, 낮은 유지방전 구동전압에 의해 회로부분 생산비용이 감소하는 효과가 있다. 또한 유지방전 사이에 어드레스방전을 하기 때문에 휘도가 높고 고해상도 패널을 구동할 경우, 저해상도 패널을 구동할 경우에 보다 휘도가 떨어지지 않는다. 그리고 동일한 유지방전신호를 인가하는 경우 낮은 유지방전전압에 의한 저전력 구동도 가능하다.
Patent KR-100335851-B1 (KR)
IPC: G06F15/00
Filed: 2000-09-15
Granted: 2002-05-08
Abstract: 본 발명은 지문데이터의 특징데이터 뿐만 아니라 접근할 컴퓨터 시스템의 고유 ID도 확인하여 보안성을 강화시킬 수 있는 컴퓨터 시스템 지문인증 처리장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 정당한 사용자(접근권한이 있는 자)의 지문을 등록할 때에는 지문입력부를 통해 입력된 지문의 특징데이터에 사용중인 시스템의 고유ID(시스템ID)를 부가하여 하나의 지문데이터 파일로 저장한다. 다음에 사용자가 시스템에 접근하기 위해서 지문입력부를 통해서 지문을 입력하면 현재 접근하고자 하는 시스템의 시스템ID를 확인하고, 현재 시스템의 ID와 미리 저장되어 있는 지문데이터 파일에 포함되어 있는 시스템ID를 비교하여 불일치할 경우 더 이상의 절차는 진행되지 않고 시스템으로의 접근이 거부되고, 일치하게 되면 입력된 지문의 특징데이터와 상기 지문데이터 파일의 특징데이터를 비교하여, 일치할 경우에만 시스템으로의 접근이 허용된다.
Patent KR-100377752-B1 (KR)
Title: 직냉식 냉장고의 열교환사이클
IPC: F25D11/00
Filed: 2000-10-12
Granted: 2003-03-29
Abstract: 본 발명은 직냉식 냉장고에 관한 것이다. 본 발명은 소형의 직냉식 냉장고의 열교환사이클에서 발생할 수 있는 어큐물레이터(60)의 소음을 줄여주는 것이다. 이를 위해 증발기(50)보다 하방에 설치되는 어큐물레이터(60)의 입구부에 상기 증발기(50) 쪽과 연통되는 루핑파이프(62)를 설치함에 있어, 다수구간의 직선구간(L)을 형성하고 있다. 그리고 상기 루핑파이프(62)의 직선구간(L)은 상기 어큐물레이터(60)의 하부에 위치되고, 그 내부의 체적은 적어도 상기 어큐물레이터(60)의 내부 체적과 동일하게 형성된다. 이와 같은 본 발명에 의하면 증발기(50)보다 낮은 위치에 어큐물레이터(60)가 설치되어야 하는 소형의 직냉식 냉장고에서 어큐물레이터(60)의 소음을 최소화할 수 있게 되는 이점이 있다.
Patent KR-100359173-B1 (KR)
IPC: H04M1/00
Filed: 2000-10-20
Granted: 2002-10-31
Abstract: 본 발명의 음향 생성 장치는 케이스에 장착되는 전기 음향 변환기를 구비한다.  음향 방출 노즐이 케이스로부터 돌출되어 전기 음향 변환기 위의 상부 챔버와 연통한다.
Patent KR-100684013-B1 (KR)
IPC: H01L21/00
Filed: 2000-11-01
Granted: 2007-02-20
Abstract: 도포막을 가진 기판을 노광처리한 후 해당 기판을 가열처리할 때에, 처리중에 적어도 1회, 상기 기판표면의 도포막 막두께의 단차를 측정한다.  단차와 최종패턴의 선폭과의 사이에는 상관관계가 있다.  따라서 가열처리의 도중에 단차를 측정하여, 그 결과에 기초하여 가열온도나 가열시간을 보정하면, 패턴의 선폭을 소정 값으로 하는 것이 가능해진다.