baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent RU-2015102150-A (RU)
Title: Способ получения силиконсодержащей контактной линзы со сниженным количеством разбавителей
IPC: B29D11/00
Filed: 2013-06-14
Abstract: 1. Способ изготовления контактной линзы, включающий стадии:(i) добавления реакционноспособных компонентов с образованием реакционной смеси, причем указанные реакционноспособные компоненты содержат (a) по меньшей мере один гидроксисодержащий силиконовый компонент, имеющий средневесовую молекулярную массу от приблизительно 200 до приблизительно 15 000 г/моль, и (b) по меньшей мере один монофункциональный полиэтиленгликоль, имеющий средневесовую молекулярную массу от приблизительно 200 до приблизительно 10000 г/моль; и менее приблизительно 15 вес. % разбавителей;(ii) отверждения указанных реакционноспособных компонентов внутри указанной формы для литья с образованием указанной контактной линзы, содержащей полимер, имеющий Tg (нагревание) менее приблизительно 125°C; и(iii) сухого извлечения указанной контактной линзы из указанной формы для литья.2. Способ по п. 1, в котором указанный по меньшей мере один полиэтиленгликоль с монометакрилатной концевой группой представляет собой полиэтиленгликоль с моноэфирной и монометакрилатной концевыми группами.3. Способ по п. 2, в котором указанный по меньшей мере один полиэтиленгликоль с монометакрилатной концевой группой представляет собой mPEG 475.4. Способ по п. 1, в котором указанные реакционноспособные компоненты содержат менее пяти процентов по весу одного или более разбавителей.5. Способ по п. 3, в котором указанные реакционноспособные компоненты содержат менее пяти процентов по весу одного или более разбавителей.6. Способ по п. 1, в котором указанный полимер имеет Tg (нагревание) от приблизительно 115 до приблизительно 125ºC.7. Способ по п. 1, в котором указанная реакционная смесь содержит от приблизительно 10 до приблизительно 20 вес. % по меньшей
Patent RU-2015104818-A (RU)
Title: Тормозной диск колёсный для железнодорожного транспорта
IPC: F16D65/12
Filed: 2015-02-12
Abstract: Тормозной диск колесный для железнодорожного транспорта, состоящий из двух дисков с ребрами охлаждения, соединенных между собой и колесом крепежным комплектом, состоящим из разрезных гильз, сухарей и болтовых соединений, отличающийся тем, что каждое ребро охлаждения имеет контакт с колесом через уменьшенные овальные выступы на ребрах, крепежный комплект вынесен из фрикционной зоны на специальные площадки, причем количество площадок, исходя из условий прочности, определяется какN=D1-D2/100,где N - количество площадок;D1 - наружный диаметр диска, мм;D2 - внутренний диаметр диска, мм,а количество ребер охлаждения, исходя из условий наилучшего охлаждения, определяется какN1=D1-D2/17,3,где N1 - количество ребер охлаждения;D1 - наружный диаметр диска, мм;D2 - внутренний диаметр диска, мм.
Patent RU-2015116251-A (RU)
Title: Гибридный трос
IPC: D07B1/06
Filed: 2013-10-03
Abstract: 1. Гибридный трос, содержащий элемент сердцевины, содержащий высокомодульные волокна, окруженные по меньшей мере одним наружным слоем, содержащим проволокоподобные металлические элементы, в котором элемент сердцевины покрыт полимером, выбранным из сложного сополиэфирного эластомера или термопластического полиуретана.2. Гибридный трос по п. 1, в котором элемент сердцевины покрыт сложным сополиэфирным эластомером, содержащим гибкие блоки в количестве от 10 до 70 вес. %.3. Гибридный трос по п. 2, в котором твердость по Шору D сложного сополиэфирного эластомера, измеренная согласно ISO 868, составляет больше, чем 50.4. Гибридный трос по п. 2, в котором сложный сополиэфирный эластомер представляет собой сложный сополиэфирный блок-сополимер с гибкими блоками, состоящими из сегментов сложного полиэфира, поликарбоната и/или простого полиэфира.5. Гибридный трос по п. 1, в котором высокомодульные волокна содержат высокомолекулярный полиэтилен (HMwPE), сверхвысокомолекулярный полиэтилен (HMwPE), жидкокристаллический полимер (LCP), арамид или PBO (поли(п-фенилен-2,6-бензобисоксазол).6. Гибридный трос по п. 1, в котором указанный полимер нанесен в качестве покрытия на указанный элемент сердцевины путем экструзии.7. Гибридный трос по п. 1, в котором толщина полимера составляет больше, чем 0,5 мм.8. Гибридный трос по п. 1, который имеет диаметр, составляющий от 2 до 400 мм.9. Гибридный трос по п. 1, дополнительно содержащий рубашку, окружающую металлический наружный слой, причем указанная рубашка содержит пластомер, термопласт и/или эластомер.10. Гибридный трос по п. 1, в котором проволокоподобные металлические элементы представляют собой стальные проволоки и/или пряди стальных проволок.11. Гибридный трос по п. 10, в котором
Patent RU-2015116531-A (RU)
Title: Удерживающая сетка для установки на крепёжной поверхности
IPC: B60P7/08
Filed: 2013-09-19
Abstract: 1. Удерживающая сетка для установки на крепежной поверхности, содержащая эластичную часть, ячейки которой образованы проходящими под наклоном друг к другу пучками из нескольких прядей каждый, отличающаяся тем, что ячейки в неустановленном состоянии части сетки в ее краевых зонах меньше, чем в центральных зонах, при этом ячейки в установленном состоянии части сетки одинаковы в краевых и центральных зонах.2. Сетка по п. 1, у которой в неустановленном состоянии ее части ячейки выполнены от середины наружу до ее края все меньше, а в установленном состоянии части сетки одинаковы по всей части сетки.3. Сетка по п. 1 или 2, у которой ячейки ее части выполнены ромбовидными.4. Сетка по п. 1 или 2, выполненная в виде сетки пола, рамной сетки, например синтетической или проволочной рамной сетки, планочной сетки, например синтетической планочной сетки, в виде сетки с эластичным краем, например сетки с резиновым краем, и т.п.5. Сетка по п. 3, выполненная в виде сетки пола, рамной сетки, например синтетической или проволочной рамной сетки, планочной сетки, например синтетической планочной сетки, в виде сетки с эластичным краем, например сетки с резиновым краем, и т.п.
Patent RU-2015120375-A (RU)
Title: Способ диагностирования вторичного источника питания и устройство для его осуществления
IPC: G01R19/165
Filed: 2015-05-28
Abstract: 1. Способ диагностирования вторичного источника питания, включающий опрос выходного напряжения вторичного источника питания, нормализацию напряжения к необходимому уровню для преобразования в цифровой код, преобразования в аналого-цифровом преобразователе уровня нормализованного напряжения в цифровой код и вычисления в микропроцессоре кодов уровней напряжения: максимального C, усредненного Cи минимального Cв течение 128 циклов, сравнение кода усредненного уровня напряжения Cс кодами максимального уровня напряжения Kи минимального уровня напряжения K, разницы кодов (C- C) с кодом предельного значения размаха пульсаций K, переход по результатам сравнения в режим обнаружения неисправного вторичного источника питания, отличающийся тем, что измеряемое напряжение с выхода вторичного источника питания одновременно подают на узел масштабирования напряжения и узел преобразования пульсации, с выхода узла масштабирования напряжения нормализованное и отфильтрованное напряжение подают на вход аналого-цифрового преобразователя, где значение нормализованного и отфильтрованного напряжения усредняют в течение 64-х циклов и преобразовывают в цифровой код усредненного уровня напряжения, вес которого сравнивают в микропроцессоре с весом кодов пороговых значений, и при весе кода усредненного уровня напряжения больше (меньше) веса кода максимального (минимального) порогового значения формируют сигнал признака неисправности на индикатор единичный "ВЫШЕ" ("НИЖЕ"), в узле преобразования пульсации через разделитель конденсаторный на усилитель операционный подают только переменную составляющую входного напряжения, которую после
Patent RU-2016133365-A (RU)
Title: Способ и система семантической обработки текстовых документов
IPC: G06F40/205
Filed: 2016-08-12
Abstract: 1. Способ семантической обработки текстовых документов, заключающийся в том, что:морфологически и синтаксически анализируют содержание текстового документа и запроса пользователя;сегментируют текст на клаузы;формируют функционально-ролевые структуры клауз;выявляют референциальную связность между игроками функционально-ролевых структур клауз;кореферент с наибольшей степенью общности заменяют кореферентом с более конкретным значением;определяют риторические отношения между клаузами и более крупными текстовыми элементами;связывают функционально-ролевые структуры клауз риторическими отношениями для получения дискурсного графа текстового документа и запроса пользователя;сформированный дискурсный граф текстового документа дописывают к метаинформации текстового документа;индексируют текстовый документ по игрокам функционально-ролевых структур клауз;для каждой функционально-ролевой структуры клауз запроса пользователя производят оценку соответствия функционально-ролевым структурам клауз текстового документа;производят оценку соответствия риторических отношений между функционально-ролевыми структурами клауз текстового документа и запроса;производят оценку расстояния от пересечения дискурсных графов запроса пользователя и текстового документа до ядра дискурсного графа текстового документа;определяют значение функции соответствия текстового документа запросу пользователя (ценность текстового документа);ранжируют по ценности текстовые документы с учетом семантических признаков;отсекают текстовые документы, ценность которых ниже порога, заданного
Patent SV-2011003821-A (SV)
Title: Compuestos de fenantrenona, composiciones y metodos
Inventor: RUCKER PAUL VICENT
IPC: A61K31/44
Filed: 2011-01-28
Abstract: COMPUESTOS DE FORMULA I: (VER FORMULA); O SUS SALES, QUE SON MODULADORES DEL RECEPTOR GLUCOCORTICOIDE. LOS COMPUESTOS Y SALES DE LA INVENCIÓN SON ÚTILES EN EL TRATAMIENTO DE AFECCIONES MEDIADAS POR LA ACTIVIDAD DEL RECEPTOR GLUCOCORTICOIDE.
Patent UA-40205-A (UA)
Title: winder of hot flat bar
Inventor: OSOKIN ANATOLII ANDRIIOVYCH
Filed: 2000-10-09
Abstract: The invention relates to the industry of treatment of metal by pressure, namely – to the equipment for winding of rolled flat bars in hot condition. A winder of hot flat bar contains a drum with the forming rolls and facilities located round it for adjusting of effort of clamping of shaping rolls. The facilities for adjusting of effort of clamping of each of shaping rolls are executed as a control device. The sensor of displacement of the rod is fastened on the cylinder of drive and connected with the input of detector of diameter of roll. The output of detector is connected with the first input of the pressure unit. The second input of the pressure unit is connected with the output of counting device The output of pressure unit is connected with the first input of the comparison device. The second input of the comparison device is connected with the output of pressure sensor, and the output – with the input of the pressure regulator. The output of pressure regulator is connected with the input of the control valve. The output of valve is connected with the cylinder of drive of the roll holder, and the pressure sensor by its input is connected with the cylinder of drive.
Patent UA-40337-A (UA)
Title: Індукційно-динамічний електродвигун
Inventor: BOLIUKH VOLODYMYR FEDOROVYCH
Filed: 2000-12-14
Abstract: Реферат Індукційно-динамічний електродвигун містить джерело імпульсного живлення, нерухомо закріплену обмотку збудження та рухомий електропровідний якір із ізоляційним проміжком, що проходить від однієї до іншої торцевої поверхні якоря. Обмотка збудження та електропровідний якір виконані у формі дисків, які встановлені на одній осі один навпроти одного. Ізоляційний проміжок якоря із контактними боковими поверхнями та розміщений у порожнині проміжку рухомий електропровідний стержень із аналогічними боковими контактними поверхнями направлені радіально від внутрішньої до зовнішньої бокових сторін дискового якоря. Рухомий електропровідний стержень взаємопов`язаний із пружинним пусковим пристроєм, який забезпечений датчиком напряму.
Patent UA-48658-A (UA)
Title: Method for alundum ceramics metallizing
Filed: 2001-11-02
Abstract: Method for metallizing alundum ceramics includes preliminary annealing of ceramics in reducing medium, applying a metallizing layer of paste, firing-on a metallizing layer into ceramics. Alundum ceramics is preliminarily heat-treated in fine-dyspersated manganous oxide (Мn3O4 ) powder at temperature 1070-1100°С within 15-20 hours before applying a metallizing layer of paste, whereupon ceramics is metallized by ordinary way.
Patent UA-49395-A (UA)
Title: Process for producing thermoexpanding graphite
Inventor: YAROSHENKO OLEKSANDR PAVLOVYCH
Filed: 2001-11-29
Abstract: A process for producing thermoexpanding graphite consists in consecutive treating the powder of natural flaky graphite by concentrated aqueous solution of chromic anhydride, concentrated sulphuric acid, subsequent treating the oxidated graphite by water under stationary and then dynamic conditions and drying the oxidated, washed by water graphite. The dry product is additionally treated by sugar in the quantity of 10 to 45 parts by weight per 100 parts by weight of the dried, washed by water and oxidated product.
Patent UA-48783-A (UA)
Title: Electric power unit
Inventor: TESLENKO VIKTOR PETROVYCH
Filed: 2001-12-07
Abstract: The proposed electric power unit contains a driving gas-fuel engine with the equipment for preparation of gas fuel, an electric generator connected with the engine, and a control panel. The equipment for preparation of gas fuel contains a row fuel mill with a hopper, a metering unit, a gas generator, a gas pressure reducer, and a gas carburetor.
Patent UA-48834-A (UA)
Title: Method for assessing the state of cerebral hemodynamics in children with purulent meningitis
Inventor: KRAMARIEV SERHII OLEKSANDROVYCH
Filed: 2001-12-18
Abstract: The method for assessing the state of the cerebral hemodynamics in children with purulent meningitis consists in estimating filling the vessels with the blood, the vascular vessels, and the venous return. The ultrasound dopplerography is performed, the blood flow in several cerebral vessels is assessed and the indices of peripheral vascular resistance are calculated. The changes in these parameters are indicative of the character of the disturbances in cerebral circulation.
Patent UA-59056-A (UA)
Title: Method for treating severe hypoxic lesion of myocardium in newborns
Inventor: TRETIAKOVA OLHA STEPANIVNA
Filed: 2002-12-11
Abstract: The method for treating the severe hypoxic lesion of the myocardium in the newborns comprises the drug therapy aimed at improving the energy metabolism in myocardium. In addition the membrane-stabilizing drug such as liposomal preparation Lipin is injected intravenously at a dose of 10-15 mg/kg of body weight twice a day for 7-10 days.
Patent UA-63451-A (UA)
Title: Device for determining the electrization degree of explosive
IPC: F42D3/00
Filed: 2003-04-21
Abstract: The proposed device for determining the electrization degree of explosive contains a chamber designed for filling with explosive and made from dielectric material, a friction-producing unit with a drive, and a voltmeter. The friction-producing unit is installed in the chamber and contains a rotary metallic disk coated with semiconductor material. The disc is coupled with the drive shaft by a coupling made from insulating material.
Patent UA-64339-A (UA)
Title: Unloading system of power gyroscopic complex of a spacecraft
Inventor: USPENSKYI VALERII BORYSOVYCH
IPC: B64G1/24
Filed: 2003-05-15
Abstract: A system of unloading the power gyroscopic complex of a spacecraft, comprising the gauge of absolute angular velocity, the gauge of the kinetic moment of power gyroscopic complex, the unit of fixation of permissible total cinematic moment of spacecraft, the control block of actuating mechanisms of orientation, the jet engines of orientation. It also has a unit of determining the direction of total cinematic moment of spacecraft, the unit of fixation of permissible total cinematic moment of spacecraft, the block of selection of effective jet engines of orientation, the block of formation of the parameters of three-dimensional programmed turn, at that, the control block of actuating mechanisms of orientation is connected with the power gyroscopic complex. Invention ensures the reduction of cost of actuating fluid.
Patent UA-66577-A (UA)
Title: Method for determining real value of optical density of intensively colored solutions with colloid particles
Inventor: FEDIN OLEKSANDR VOLODYMYROVYCH
IPC: F23C5/00
Filed: 2003-07-28
Abstract: A method for determining a real value of optical density of intensively colored solutions with colloid particles in which one makes monochromatic light to go through the solution. The optical density is measured in pans with different liquid layer thickness, at that the light is used with wavelength corresponding to the maximum of absorption of the solution, and the real value of the optical density is determined from the system of equations: where l - thickness of the liquid layer; Ç and Ç' - the real optical density and the one deing measured, respectively; max -the limiting value of the optical density of the CC solution at measurement in a pan with large liquid layer thickness; a -calculated parameter of linear dependence.
Patent UA-70486-A (UA)
Title: Method to make a barrier preventiing motion of vehmethod to make a barrier preventiing motion of vehicles                                             icles
Inventor: MNUKHIN ANATOLII GRYGOROVYCH M
IPC: E01F13/04
Filed: 2003-10-24
Abstract: Method to make a barrier preventing motion of vehicles in which at non-operating position the barrier is suspended over the place for installation of the barrier by means of quick-split nodes for connection, those are separated on command. The barrier falls and takes the working position at the way of the vehicle.
Patent DK-200300355-A (DK)
Title: Flow restrictor has several orifices and involves member in which are orifices with predetermined combined cross-sectional area
IPC: A61M5/168
Filed: 2003-03-10
Abstract: Flow restrictor (120) has several orifices (125) and involves a member in which are orifices with a predetermined combined cross-sectional area. Based on the difference between the predetermined and determined cross-sectional areas, at least one further ''adjustment'' orifice is formed in the area to provide a combined number of orifices.
Patent EC-SP22045787-A (EC)
Title: Carboxamidas de tiofeno sustituidas y derivados de estas
Inventor: LAMPRECHT SYBILLE
IPC: C07D409/12
Filed: 2022-06-08
Abstract: La presente descripci?n se refiere a derivados de tiofenocarboxamidas sustituidos, a su uso para el control de microorganismos fitopat?genos y a composiciones que los comprenden.
Patent IN-2015DN01322-A (IN)
Inventor: BAKEEV KIRILL N
IPC: C09D7/65
Filed: 2013-07-26
Abstract: Aqueous multiphase compositions are stabilized using a blend of cellulose ether and nanocrystalline cellulose. The multiphase compositions can include particulates dispersed in water oil in water emulsions foams and combinations of these systems. The blend can be used to stabilize aqueous paint systems personal care products such as shampoos and detergents formed as oil in water emulsions and foaming products such as detergents shampoos other personal care products and edible compositions such as whip cream substitutes. Further this blend can reduce or eliminate the need for surfactants in many of these multiphase compositions.
Patent IN-2014KN02683-A (IN)
Inventor: BERCOT ERIC A
Filed: 2013-05-17
Abstract: The present invention relates to processes for preparing protected glyceraldehydes, such as (hydroxy)methanesulfonates. In addition, the invention relates to thiadiazoles, particularly 3-diooxolanyl-thiadiazoles.
Patent IN-2013CN08724-A (IN)
Inventor: LUND THORE
IPC: F16C19/00
Filed: 2012-03-28
Abstract: The present invention related to a method and an apparatus arrangement for determining a fatigue limit for rolling contact initiated fatigue of a rolling bearing. The method comprises running a rolling bearing while being exerted to a load which generates sub surface transformations in a rolling element contact zone of the outer or inner ring. Furthermore a set of sub surface transformations in the contact zone along a raceway portion of the rolling bearing is identified and measured and used for generation of a parameter data set wherein a fatigue parameter value representative of a predicted fatigue limit for the rolling bearing is determined based on the generated data set of sub surface transformations.
Patent KR-940020669-A (KR)
Title: 바이어스 회로(bias circuit)
IPC: H03F3/343
Filed: 1994-02-01
Abstract: 본 발명은 다음-단(next-stage)회로에 소정의 전류를 공급하는 바이어스회로에 관한 것이다. 상기 바이어스 회로는 제1의 전위를 갖는 제1노드, 제2의 전위를 갖는 제2노드, 다음-단 회로와 전기적으로 접속된 출력노드, 소정의 전류를 제1노드에서 출력노드에 공급하기 위하여 제1노드와 제2노드에 전기적으로 접속된 주 바이어스 회로 및, 제1노드에서 출력노도로 흐르는 전류값과, 출력노드에서 제2노드로 흐르는 전류값을 동일하게 하기 위하여 제1노드 및 제2노드에 전기적으로 접속된 보조 바이어스 회로를 포함한다.
Patent KR-940021426-A (KR)
Title: 로듐 화합물을 안정화하는 방법
IPC: C07C51/573
Filed: 1994-02-14
Abstract: 아세트산 메틸 또는 디메틸에테가 로듐 화합물과 알칼리 금속 요오드화물로 이루어진 촉매계의 존재하에서 일산화탄소와 화학적으로 결합하여 아세트산 무수물을 생성하는 카르보닐화 반응에 제공된 농축촉매용액을 촉매용액중에 함유된 타르를 분리하는 공정에 사용하기 전에 일산화탄소 또는 일산화탄소와 수소의 혼합물로 카르보밀화 처리하여 촉매용액의 요오드화 이온함량을 증가시켜 따라서 로듐 화합물을 안정화시킬 수 있다. 
     농축촉매용액중의 요오드화 이온의 농도를 이 방법에 의해서 증가시킬 때, 재처리되어진 촉매용액이 카르보닐화 반응계로 되돌아올 때에도 카르보닐화 반응의 로듐 농도와 알칼리 금속 농도 및 요오드 농도간의 균형이 방해받을 가능성은 없다. 게다가, 농축촉매용액의 요오드화 이온 농도의 증가는 농축촉매용액중에 함유된 로듐 화합물을 안정화할 수 있는데, 이것은 농축촉매용액으로부터 타르를 분리 및 제거하는 공정전에 촉매용액중에 함유된 낮은 비등점을 각각 가지는 성분을 제거할 목적으로 행해진 열처리동안에도 촉매용액으로부터 로듐 화합물이 침전하는 것을 방지하여, 따라서 매우 값비싼 로듐 화합물의 손실을 최소화할 수 있다.
Patent KR-950010082-A (KR)
Title: 반도체 기억장치
Filed: 1994-03-02
Abstract: 커패시터 용량을 높이고, 또한 스토레이지노드의 가공정도를 높이게 할 수 있도록 개량된 반도체 기억장치를 얻는 일이다. 
     비트선(15)이 뻗는 방향으로 소정의 피치로 형성된 복수개의 제1의 필드영역 2a(a)를 구비한다. 
     복수개의 제1의 필드영역 2a(a)로 형성된 열에 인접하고, 또한 이 열에 평행하게 상기 피치와 같은 피치로 형성된 복수개의 제2의 필드영역 2a(b)가 설치되어 있다. 
     제1의 필드영역 2a(a)와 제2의 필드영역 2a(b)는 비트선(15)이 뻗는 방향으로 서로 ¼피치 어긋나게 형성되어 있다. 
     제1의 필드영역 2a(a)와 제2의 필드영역 2a(b)내에는, 비트선(15)이 셀 플레이트 전극(11)항에 메꾸어진 구조를 가진다. 
     스택트 타이프의 커패시터가 설치되어 있다.
Patent KR-940021358-A (KR)
Title: 선박의 선체 외표면 작업장치 및 방법
IPC: B24C3/00
Filed: 1994-03-07
Abstract: 선체의 외표면 작업(연마 및 페인팅)을 수행하기 위하여 캔틸레버식으로 조절되는 작업대(40)를 지지하기 위한 슈라우딩된 타워(32)가, 컨테이너 선박의 이동을 위해 현재 사용되는 기술과 장비를 이용하여 모듈을 이동시킬 수 있다는 점을 포함하여 경제성 및 효율성을 위하여 모듈화되었다. 
     장비가 장착된 지지바아지, 부유건도크 및 작업기기가 장착된 작업대 사이의 공급 및 회수라인 연결이 일부의 고정장치와 이들 사이의 플렉시블 연결체에 의해 용이하게 이루어진다. 수직이동성의 트롤리에 작업대를 장착하기 위한 다른 캔틸레버식으로 조절되는 구조가 개시된다. 바람직하게는 압축공기 대신에 회전휠(316)이 선체 표면에 대하여 연마그리트를 추진시키기 위해 사용되며, 사용된 그리트의 자동회수를 위한 연마제 공급시스템이 개시되었다.
Patent KR-940022423-A (KR)
Title: 정보 처리 장치
IPC: G06F15/02
Filed: 1994-03-30
Abstract: 필적 데이타를 여러 가지 형태로 재생할 수 있게 한다. 
     CPU(14)는 타블렛(10)으로부터 필적 데이타가 입력될 때마다 타이머(19)로부터 출력된 시간 정보를 해당 필적 데이타와 함께 RAM(18)에 기억시키고, 광자기 기록 재생 장치(8)는 RAM(18)에 기억된 시간 정보와 필적 데이타를 광자기 디스크(804)에 기록한다.
Patent KR-950034451-A (KR)
Title: 자기 정렬 구조 쌍극자 트랜지스터 장치의 제조 방법
IPC: H01L21/328
Filed: 1994-05-14
Abstract: 본 발명은 콜렉터 영역에 베이스와 에미터 모두가 자기 정렬되는 구조의 쌍극자 트랜지스터를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 p형 실리콘기판(1)에 실리콘산화막(2)과 다결정 실리콘층(3)을 도포하고, 콜렉터함몰층(5)을 정의해서 형성하고, 다결정 실리콘층의 측벽(6) 형성공정과 실리콘산화막(7)과 실리콘질화막(8), 평탄화 감광막(9)을 순차 도포하고, 평탄화공정으로 함몰층의 홈에는 실리콘질화막(8)을 남기고, 실리콘산화막(7)위의 표면 실리콘질화막만을 식각해내며, 열산화공정으로 다결정 실리콘층(3)위에만 실리콘산화막(10)을 더욱 두껍게 형성하고, 비등방성 건식식각법으로 함몰층의 실리콘질화막(8)과 실리콘산화막(7)을 순차적으로 식각해서, 실리콘질화막과 실리콘산화막의 이증측벽을 형성하며, 선택적 실리콘에피층(12)을 성장시키고, 표면의 실리콘산화막(10)을 연마정지층으로 사용하여, 실리콘에피층(12)을 평탄화연마하며, 실리콘산화막(10)의 일부 식각공정, 실리콘질화막 도포 및 비등방성 건식식각법으로 실리콘에피층의 주위(13)에 측벽 실리콘질화막(14)을 형성하며, 측벽실리콘질화막(14)을 마스크로 실리콘산화막(15)을 실리콘에피층(12)위에 형성하고, 동시에 콜렉터 다결정 실리콘층(3)위의 실리콘산화막(10)을 더욱 두껍게 형성하며 측벽실리콘질화막(14)을 제거하고, p형 다결정 실리콘층(16)을 도포하고, 실리콘에피층(12)위의 실리콘산화막(15)을 연마정지층으로 이용해서 p형 다결정 실리콘층(16)을 기계적-화학적 연마법으로 평탄화하며, 실리콘산화막(15)을 제거하고, 외인성 베이스(16)를 형성하고, 실리콘에피층(12)과 외인성 베이스(16)의 불순물 농도 차이에 의한 산화속도 차이를 이용해서 서로 다른 두께의 실리콘산화막(17,18)을 동시에 열산화방법으로 형성하며, 진성 베이스의 형성을 위해 이온주입(19)을 하고, 베이스와 에미터를 분리하기 위한 측벽 실리콘산화막(21)을 형성하며, 에미터 다결정 실리콘층을 도포하고, 에미터 형상으로 정의하고 식각하여, 에미터(22)를 형성하고, 실리콘산화막(23)을 도포하고, 열처리로 접합을 형성하고 불순물을 활성화시킨 후, 접속구멍을 형성하고 금속전극(25, 26, 27)을 형성한다.