baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent SU-1470473-A1 (SU)
Title: Устройство управлени летучими ножницами
Inventor: BONGARD EVGENIJ V
IPC: B23D36/00
Filed: 1986-08-25
Granted: 1989-04-07
Abstract: Изобретение относитс  к области автоматизации прокатного производства и предназначено дл  управлени  летучими ножницами. Цель - повышение надежности и долговечности механооборудовани  ножниц за счет снижени  динамических нагрузок, а также уменьшение тепловых потерь в электроприводе. Существо изобретени  состоит в том, что осуществл етс  порезка проката на ходу на заданные мерные длины путем регулировани  соотношени  средней за цикл порезки скорости ножниц и скорости подачи проката с выравниванием этих скоростей к моменту реза. В промежутках между резами скорость ножниц измен етс  по косинусоидальному закону, которому соответствует симметрична  синусоидальна  диаграмма ускорени  (динамического тока) двигател . Использование косинусоидальной тахограммы существенно снижает динамические нагрузки механооборудовани  установки летучих ножниц, что способствует уменьшению износа и увеличению срока службы механооборудовани . Устройство формирует оптимальный дл  данной косинусоидальной тахограммы сигнал задани  скорости, обеспечивающий уменьшение тепловых потерь в электроприводе, снижение его нагрева, и создает предпосылки дл  увеличени  производительности участка порерзки. Формирование в предлагаемом устройстве соответствующего прин той тахограмме задани  ускорени  (динамического тока) привода способствует повышению быстродействи  системы регулировани  скорости. Высока  точность порезки мерных длин (в том числе и при технологических изменени х скорости подачи проката) достигаетс  путем устранени  ошибки, вызванной статизмом системы регулировани  скорости. 1 з.п. ф-лы, 4 ил.
Patent SU-1395545-A1 (SU)
Title: Устройство дл упаковывани изделий в пленку
Inventor: LOBANOV VYACHESLAV N
IPC: B65B9/02
Filed: 1986-05-26
Granted: 1988-05-15
Abstract: Изобретение относитс  к устройствам  дл  упаковывани  изделий в   пленку. Целью изобретени   вл етс   повышение производительности и качества  упаковывани . Устройство соЮ держит верхний 1 и нижний 2 рулоно-  держатели, нагревательные элементы 3,  4 дл  образовани  продольных и поперечных  швов, смонтированные с возможностью  перемещени  под углоМ друг  к другу, и механизмы 5, 6 их перемещени . Механизм 7 с толкател ми 8  обеспечивает подачу изделий 9 в зону  упаковывани . Фиксацию изделий обес-;  печивает механизм 10. Дл  разделени   потоков установлены разделительные  планки 20. Между рулонами установлены  втулки 21. Операции сварки швов  выполн ютс  на одной позиции. Повышение  производительности достигаетс   использованием многопоточной схемы  упаковывани  с разделительными планками . 2 шт. I (/ с о:  сс ел СП Д: О XI
Patent SU-1469940-A1 (SU)
Title: Способ разработки нефтяного месторождения, содержащего нефть средней и повышенной вязкости
IPC: E21B43/22
Filed: 1986-06-27
Granted: 1999-11-27
Abstract: Способ разработки нефтяного месторождения, содержащего нефть средней и повышенной вязкости, заключающийся в нагнетании в пласт через нагнетательные скважины оторочек двуокиси углерода и воды и отбора жидкости и газа через добывающие скважины, отличающийся тем, что, с целью повышения коэффициента нефтеотдачи неоднородных пластов за счет увеличения охвата пласта вытеснением при снижении количества поступления в продукции добывающей скважины двуокиси углерода, в качестве оторочки воды закачивают минерализованную воду с концентрацией солей не менее 350 кг/м.
Patent SU-1458413-A1 (SU)
Title: Лигатура
Inventor: GRINBERG BORIS M
IPC: C22C35/00
Filed: 1986-10-01
Granted: 1989-02-15
Abstract: Изобретение относитс  к литейному  прон тзодству, в частности к ли-   гатура: дл  серого чугуна. Цель  изобретен   - снижение потерь при  дроблении лигатуры. Лигатура содержит  фосфор, кремний, марганед, алюминий , титан, кальций, углерод, азот,  ванадий, железо при следуюс1ем соотношении  компонентов, мас.%: фосфор  15-29; кремний 0,1-15; марганед  2-25; алюминий 0,005-0,02; титан  0.2-2s5; каль1 ;ий 0,01-0, 1 ; углерод  0,02-0,5; азот 0,005-0,06; ванадий  0,2-2,5; железо - остальное. Допол-  нительньп ввод ванади , повыгаеггие  содержани  фосфора и понижение содержани  алюмини  в составе предложенной  л;1татуры обеспечивают снижение  на i2-18% потерь при ее дроблении и  эффективное модифицируюгаее действие  на чугун, i табл.
Patent SU-1467386-A1 (SU)
Title: Волоконно-оптический преобразователь перемещений
Inventor: KOSHKADAEV VLADIMIR V
IPC: G01B11/00
Filed: 1986-10-02
Granted: 1989-03-23
Abstract: Изо&ретение относитс  к измерительной  технике и предназначено дл   бесконтактного преобразовани  статических  и динамических перемещений в  электрический сигнал. Целью изобретени   вл етс  повышение точности измерений  и расширение динамического  диапазона измер емых перемещений.  Излучение от источника 1 излучени ,  распростран  сь по световоду 2 оптической  системы освещени  объекта, излучаетс  светопровод щей трубкой 3 с  прорезью 11 в виде расход щегос  пучка  лучей. Часть этого потока, отраг   зившись от поверхности объекта измерений , попадает в прорезь 11 свето-  провод щей трубки приемной оптичес-  кой системы и через световоды 2 передаетс  на фотоприемники 6,7. Далее  сигнал с фотоприемников поступает на  делитель напр жений, логарифмирующий  усилитель и регистратор 10. 2 ил.
Patent SU-1409420-A1 (SU)
Title: Насадка сопла
Inventor: BELYAEV SERGEJ V
IPC: B23D31/00
Filed: 1986-08-15
Granted: 1988-07-15
Abstract: Изобретение относитс  к устройствам  дл  разделени  материалов высоконапорной  струей жидкости. Цель  изобретени  - повьппение надежности и эксплуатационных характеристик насадки  сопла. Вкладьш дл  получени  режущей  струи жидкости устанавливаетс  в  держателе 5 с помощью трубки 11 из  высокоэластичного материала. Это позвол ет  примен ть вкладыши с необработанной  наружной цилиндрической поверхностью . Посадочное место 6 вкла-  дьппа 9 выполнено так, что  вл етс   продолжением подвод щего канала 2,  чем обеспечиваетс  плавность течени   жидкости к вкладышу 9. Сопр жение  держател  5 и корпуса 3 по конусу с  углом конусности с/ 55-65&deg; обеспечивает  легкость извлечени  держател   5 из корпуса 3 при замене вкладыша 9о Q 5Р.
Patent SU-1449293-A1 (SU)
Title: Состав термостойкого покрыти
Inventor: PILIPENKO NATALYA V
IPC: B23K35/36
Filed: 1986-07-09
Granted: 1989-01-07
Abstract: Изобретение .касаатс  сварки и  относитс  к покрыти гм мундштуков дл   сварки и узкой разделки толстостенных  сварных конструкций. Цель изобретени  - улучшение качества покрыти , повьшение его термо- и износостойкости . Предлагаемый состав покрыти  содержит, мае. %: кремнийор-  ганический лак 60-64; глинозем спеченный  7-10;.эпоксидный клей 18-20;  двуокись титана 4-10; феррованадий  2-5, Введенные в состав двуокись  титана и феррованадий снижают теплопроводность  покрыти  и повывают его  износостойкость, эпоксидный клей  повышает сцепление покрыти  с поверхностью  мундштука, глинозем спеченный  повьшает термостойкость покрыти .  1 табл.
Patent SU-1425466-A1 (SU)
Title: Измеритель скорости звука
Inventor: SLINKO SERGEJ L
IPC: G01H5/00
Filed: 1987-11-12
Granted: 1988-09-23
Abstract: Изобретение относитс  к измерительной  технике и может быть использовано в  гидроакустике и при контроле технологических  параметров сред дл  измерени   скорости звука в жидкост х. Цель изобретени  - расширение применени  за счет обеспечени  возможности измерений в  натурных услови х. Измеритель содержит  генератор 1 импульсов, акустическнй преобразователь  2, отражатель 3, аналоговый  ключ 4, усилитель 5, электронный ключ 6,  мультивибратор 7, счетчик 8 импульсов,  триггер 9 со счетным входом, коммутатор  10 врем задающих цепей и частотомер  11. Частотомер измер ет значени  частоты  следовани  импульсов в цепи автоциркул ции  при двух различных посто нных  времени мультивибратора, по этим значени м  частоты рассчитываетс  скорость  звука. 2 ил.
Patent SU-1501236-A1 (SU)
Inventor: FROLOV ANDREJ N
IPC: H02M7/537
Filed: 1986-12-04
Granted: 1989-08-15
Abstract: Изобретение относитс  к электротехнике и может быть использовано при проектировании вторичных источников питани . Цель - упрощение путем использовани  конденсатора RC-цепи как дл  пуска блока управлени , так и дл  фильтрации входного напр жени . Преобразователь содержит усилитель мощности 5 с выходным трансформатором 6, подсоединенный к блоку управлени  7. При подключении преобразовател  к сети начинает зар жатьс  конденсатор 8 RC-цепи. По достижении заданного напр жени  на конденсаторе блок управлени  отпирает двунаправленный ключ 11, шунтирующий резистор 9 RC-цепи. Питание блока управлени  7 и фильтраци  входного напр жени  осуществлены от одного и того же конденсатора 8. 1 ил.
Patent SU-1408106-A1 (SU)
Title: Насос перистальтического типа
Inventor: VEJNBERG VENIAMIN YA
IPC: F04B43/12
Filed: 1986-12-02
Granted: 1988-07-07
Abstract: Изобретение позвол ет повысить  надежность, производительность и  расширить функциональные возможности  насоса. Эластична  тороидальна  оболочка  в установлена в корпусе 1 кон-  центрично цилиндрическому эластичному  рабочему элементу (РЭ) 2 и охватывает  его с зазором. РЭ закреплен по  торцам на корпусе и заглушен. Полости  7 и 8 оболочки  и РЭ снабжены измерител ми  13 и 14, регул торами 16 13 и 15 давлени  и штуцерами. 9 и 10 дл    подвода - отвода текучей среды с запорными  вентил ми 11, 12. Электрические  приводные элементы 3 установлены  на поверхности РЭ и вьтолнены в виде  электромагнитных катушек. Катушки  размещены равномерно по концентрическим  окружност м в полост х на их  взаимодействующих между собой стенках . Такое вьтолнение позвол ет повысить  амплитуду перистальтической  деформации оболочки и РЭ и обеспечить  самоблокировку рабочего канала РЭ  после сн ти  напр жений с катушек,  что позвол ет использовать насос дл   вакуумной откачки и в др. случа х,  когда требуетс  предотвратить противоток  перекачиваемой среды. 2 з.п,  ф-лы, 4 ил. 74fff J /5  X о  а,  с  00
Patent SU-1443966-A1 (SU)
Title: Установка дл сортировани сем н
Inventor: ULRIKH NIKOLAJ N
IPC: B03B5/28
Filed: 1986-12-08
Granted: 1988-12-15
Abstract: Изобретение относитс  к сельскому  хоз йству и может быть использовано  при сортировании сем н в жидкой  среде по всхожести. Цель изобретенич-  повьшение качества сортировани  сети  по всхожести. Перегородка 2 раздел ет  герметичную сортировальную камеру (К)  1 на отсеки 3 и 4 соответственно дл   разгрузки материала и выделени  легкой  фракции и установлена с зазором  относительно верхней стенки 14 К 1,
Patent SU-1406044-A1 (SU)
Title: Устройство дл дозированной загрузки штучных изделий
Inventor: BALABAEV PETR E
IPC: B65B35/30
Filed: 1986-09-18
Granted: 1988-06-30
Abstract: Изобретение относитс  к станкостроению  и предназначено дл  автоматической  дозировки и отсчета парти ми  изделий и может быть использовано  в приборостроении. Цель изобретени  -  поБЬшение точности дозировани . Устройство  дл  дозированной загрузки сыпучих  изделий содержит загрузочный  бункер 1, наклонный выходной лоток  2, приемный конус 3, механизм поштучной  подачи изделий, выполненный в виде  двух заслонок 4 и 5, соединенных  между содой пружиной 6, фотодатчик  11, св занный с блоком 12 управлени   и приспособление дл  подачи тары 13.  Издели  по лотку 2 подают в приемный-  конус 3 и оттуда в вертикальный канал  фотодатчика 11. При проходе заданного  числа изделий блок 12 управлени  выдает команду на запирание   лотка 2 заслонкой 5 и включение,  злектропривода 17 приспособлени  дл   подачи тары. 1 ил. с S (Л
Patent SU-1440622-A1 (SU)
Title: Способ обработки деталей
Inventor: TASHLITSKIJ NERON I
IPC: B23C3/00
Filed: 1986-12-11
Granted: 1988-11-30
Abstract: Изобретение относитс  к обработке  металлов резанием и может быть  использовано при попутном фрезеровании  в услови х высокой податливости  системы СПИД. Цель изобретени  - повышение  надежности за счет предотвращени  поломок фрезы. При фрезеровании  заготовки 1 фасонной фрезой 2 глубину  резани  выбирают  из услови   t -. 0,5D (1 - Cos ),где t - глу-. .  бина резани ;D - диаметр фрезы; Z -  число зубьев фрезы. При выполнении  зтого услови  каждый последующий  зуб входит в зону резани  пос-  -. ле выхода лз нее предьдущего зуба  у, когда зазор й и деформаци  оправки  4 г успели уменьшитьс . Зуб Ь  срезает заданную режимом величину  сло . При превьш1ении глубины резани   величины, рассчитанной по зависимости , фактическа  подача на зуб возрастает  и увеличиваетс  риск поломки §  инструмента. 1 ил,
Patent SU-1449329-A1 (SU)
Title: Приспособление дл обработки плоских поверхностей
Inventor: BEKETOV GENNADIJ V
IPC: B24B37/04
Filed: 1986-12-15
Granted: 1989-01-07
Abstract: Изобретение относитс  к оптико-  механической промьюшеннос и и может  быть использовано дл  обработки поверхностей  плоских деталей. Целью  изобретени   вл етс  повышение качества  обработки за счет ликвидации  вли ни  сил трени  в приспособлении Фиг./ на процесс изготовлени  деталей.  Приспособление содержит основание ,  держатель 2 детали, упругий элемент  3, регулировочную гайку 4, два блока  плоских пружин 5 и 6, распорки  7, вставку 8 держател  2, четыре  вставки 9 корпуса основани  1, шток  10 с резьбой, накладки 12. При перемещении  приспособлени  с деталью  по полировальнику происходит сохранение  взаимной параллельности рабочей  поверхности 13 и опорной плоскости  14, так как плоские пружины  5 и 6 работают как двойные параллелограммы . Силы трени  между держателем  2 детали и основанием 1 отсутствуют . Держатель 2 подвешен на внутренних  част х плоских пружшг 5 и 6.  4 ил. с  (Л 4:;  4  Х  СО ГС со
Patent SU-1455298-A1 (SU)
Title: Устройство дл определени активности воды в колбасных издели х
Inventor: ROGOV IOSIF A
IPC: G01N33/12
Filed: 1986-12-29
Granted: 1989-01-30
Abstract: Изобретение относитс  к м сной  промьшшенности, может найти применение  при определении активности воды непосредственно на поверхности колбасных  батонов во врем  технологического  процесса. Целью изобретени    вл етс  сокращение времени. Цилиндрическа  камера 1 оснащена кольцевыми  перегородками 2,3,4 и 5, дел щими  ее на три кольцевые секции (КС) 6,7  и 8. Крайние КС 6 и 8 снабжены тор-,  роидальными эластичными баллонами  9 и 10, подключенными к источнику  сжатого газа. Вовнутрь средней КС-7  вмонтированы вентил тор 17 и датчик  влажности 18, Конструкци  камеры 1  обеспечивает герметизацию зоны контрол  над поверхностью продукта в КС 7  при подаче сжатого газа в оба -баллона . Интенсификаци  процесса влагооб-   мена в зоне контрол  ускор ет процесс  определени . 3 ил. G  (Л
Patent SU-1397706-A1 (SU)
Title: Автогенераторный дифференциально-трансформаторный преобразователь перемещений
Inventor: KIRYUSHIN GENNADIJ N
IPC: G01B7/00
Filed: 1986-12-30
Granted: 1988-06-15
Abstract: Изобретение относитс  к измерительной  технике и автоматике и может  использоватьс  в машиностроении и  приборостроении. Цель изобретени  -  повышение температурной стабильности  вьгходных параметров автогенерат-орно-  го преобразовател  перемещений, котора  достигаетс  благодар  стабилизации  эмиттерных токов транзисторов  преобразовател . Преобразователь,  имеющий четыре последовательные цепи  4-7, состо щие кажда  из резистора , транзистора и стабилитрона, снабжен  четырьм  усилител ми 22-25, которые  более чем на пор док уменьшают  вли ние температуры окружающей среды  на вьпсодной параметр,  вл ющийс   функцией перемещени  подвижной части  магнитопровода 26. 1 ил. i СЛ
Patent SU-1414593-A1 (SU)
Title: Самонастраивающа с система управлени рабочим циклом поперечной подачи при врезном шлифовании
Inventor: RESHETOV ANATOLIJ G
IPC: B24B51/00
Filed: 1987-01-08
Granted: 1988-08-07
Abstract: Изобретение относитс  к станкостроению  и предназначено дл  автома-  тического управлени  размерами шлифуемых  деталей и рабочими циклами  поперечной подачи на врезных шлифовальных  станках. Цель изобретени  -  повышение точности и производительности , а также стабилизации качественных  показателей обработки деталей  за счет свойств самонастройки к изменению  режущей способности шлифовального  круга и к вариации жесткости  упругой системы. Система содержит  датчик 1 припуска, задатчики 12,13 и 14 скоростей соответственно чистовой  и черновой лодачи быстрого отвода  суппорта, задатчики 7 и 8 припусков  соответственно на чистовую  обработку и выхаживание, исполнительные  элементы 9, 10 и 11 соответственно  привода черновой подачи,  чистовой подачи и быстрого отвода  суппорта, датчик 20 измерени  хода  пшифовального суппорта, нуль-органы,  два преобразовател  3 и 22. В систему  введены два дифференцирующих уст-  ро йства 17 и 23, вычитающее устройство  16, блок 18 вычислени , блок 19  измерени  интервалов времени и блок  24 пам ти. При обработке детали сигналы  с датчика 1 припуска и датчика  20 измерени  хода шлифовального суппорта  передаютс  через преобразователи  3 и 22 в вычитакадеё устройство  16, на выходе которого получаетс   сигнал, пропорциональный величине  радиальной составл ющей упругой деформации  системы СПИД. Текуща  величина  упругой деформации используетс  дл  определени  посто нной времени , автоматическа  корректировка режима  обработки производитс  в зависимости  от величины посто нной времени . 2 ил. (О ел со со
Patent SU-1424100-A1 (SU)
Title: Способ диагностики состо ни прессовки сердечника статора электрической машины
Inventor: AVRUKH VLADIMIR YU
IPC: H02K15/02
Filed: 1987-01-19
Granted: 1988-09-15
Abstract: Изобретение относитс  к электромашиностроению . Цель изобретени  состоит  в повышении точности. Способ  диагностики состо ни  прессовки сердечника  статора включает измерение  величины взаимного перемещени  элементов  и определение давлени  прессовки . Благодар  тому, что измер ют  величину перемещени  упругих элементов  при предварительном сжатии с определением  среднего значени  этой  величины и величину аксиального перемещени  торцов нажимных плит после  установки упругих элементов в электрическую  машину в рабочее положение ГЛ  и определ ют из соотношени  давление  прессовки, обеспечиваетс  достижение  поставленной цели. 1 з.п. ф-лы, 4 ил.
Patent SU-1416433-A1 (SU)
Title: Выносна опора подъемно-транспортного средства
Inventor: BRAZHNIKOV VYACHESLAV I
IPC: B66C23/78
Filed: 1987-01-19
Granted: 1988-08-15
Abstract: Изобретение относитс  к подъемно-транспортному  машиностроению, а  именно к выносным опорам. Цепь изобретени  - повышение надежности работы . Использование изобретени  позво- .  л ет получить сигнал о контакте опорной  плиты с грунтом благодар  нали- ;  чию паза 9, посредством которого  упруга  деформаци  поворотной балки  3 передаетс  непосредственно испол-   нительному элементу 13 электрического  датчика 12. Паз 9 выполнен на  верхней поверхности поворотной балки  3 и снабжен упорами 10 и 11, которые  взаимодействуют друг с другом в рабочем  положении опорных плит. 5 ил.
Patent SU-1428718-A1 (SU)
Title: Метантенк дл раздельного сбраживани твердых и жидких отходов
Inventor: GVOZDEV NIKOLAJ V
IPC: C02F11/04
Filed: 1987-02-02
Granted: 1988-10-07
Abstract: Изобретение относитс  к анаэробной  обработке твердых и жидких отходов  сточных вод. Цель изобретени  -  увеличение производительности за  счет ускорени  процесса биохимического  окислени  твердых и жидких отходов , улучшение качества стабилизиро-  ванньпс продуктов и повышение надежно  сти работы метантенка. Метантенк  включает емкости 2 и 8 дл  сбражива
Patent SU-1426556-A1 (SU)
Title: Способ лечени заболеваний височно-нижнечелюстного сустава
Inventor: MALANCHUK VLADISLAV A
IPC: A61B17/00
Filed: 1987-02-11
Granted: 1988-09-30
Abstract: Изобретение относитс  к медицине. Дл   воссоздани  полноценного сустава обнажают  ветвь челюсти в области анкилоза  и провод т остеотомию ветви в наивысшей  точке. В височной кости формируют  воспринимающую костную нишу, куда поме-  ш,ают метатарзальную кость в блоке с прилежащим  к ней плюснефаланговым суставом .
Patent SU-1456777-A1 (SU)
Title: Устройство дл контрол шероховатости поверхности
Inventor: GOLDBERG GEORG R
IPC: G01B11/30
Filed: 1987-02-18
Granted: 1989-02-07
Abstract: Изобретение относитс  к измерительной  технике, а более конкретно к устройствам бесконтактного оптического  контрол  шероховатости поверх-  ности внутренних полостей. Цель изобретени  - расширение информативности  контрол  за счет возможности контрол  шероховатости внутренних полостей , а также за счет как интегрального , так и локального контрол  шероховатости  поверхности. Устройство  содержит источник 1 излучени , оптическую  систему, вкпк)чающую последовательно  установленные по ходу излучени  конденсор 2,. световод 3,  объектив, выполненный не менее чем  из двух компонентов 4 и 5, и светоделитель  6 со светоделительной плоскостью  7, зеркальный отражатель 8,  объектив, выполненньй не менее чем  из двух компонентов 9 и 10, световод  11, фотоприемник 12 дл  регистрации  зеркально отражаемого излучени  от  поверхности 16 и фотоприемник 13  сравнени . Объективы установлены с  возможностью совместного перемещени   вдоль оптической оси системы в диапазоне  от одного до двух их фокусных  рассто ний и с возможностью автономного  перемещени  ближнего к светоделителю  6 компонента каждого объектива  вдоль оптической оси системы в нап-   влении к светоделителю 6. 3 ил. SB взиА  1 01  СП)  «к  (ffue.1
Patent SU-1432711-A1 (SU)
Title: Электропривод переменного тока
Inventor: VOLOSHINOVSKIJ IVAN I
IPC: H02P21/12
Filed: 1987-02-27
Granted: 1988-10-23
Abstract: Изобретение относитс  к электротехнике  и может быть использовано в  горно-рудной и металлургической отрасл х  промышленности и на транспорте . Целью изобретени   вл етс  повышение  надежности электропривода переменного  тока. Дл  этого в электропривод  переменного тока введены сумматоры  24-27. Первые входы сумматоров 24  и 25 соединены с выходом регул тора J  частоты, а сумматоров 26 и 27 - с выходом  блока 21. Вторые входы сумматоров  25 и 27 соединены с выходами сумматоров  24 и 26 соответственно, а вторые  входь ; сумматоров 24 и 26 - с выходами  интеграторов 17 и 18. Выходы  сумматоров 25 и 27 подключены к вто  рым входам блоков 16  и 15 произведений , а выходы сумматоров 24 и 26 -  соответственно к входам элементов 1 СЛ сравнени  Ws установленных на  л/ « 00 ьо  Фа9.1
Patent SU-1436775-A1 (SU)
Title: Способ жидкостного травлени полупроводниковых пластин
Inventor: GONCHAROV V I
IPC: H01L21/306
Filed: 1987-03-02
Granted: 1990-12-30
Abstract: Изобретение относитс  к полупроводниковой  технологии, а именно к  планерной (групповой) технологии  изготовлени  интегральных схем на  подложках - полупроводниковых пластинах , и может быть использовано дл  ;t  уменьшени  толщин полупроводниковых .  пластин путем травлени  их нерабочих сторон. Цель - повышение процента  выхода годных кристаллов интегральных  схем за счет исключени  подтрав-  ливани  рабочих сторон пластин. В  данном способе полупроводниковые  пластины совмещают попарно рабочи-   ми поверхност ми, на которых сформированы  интегральные схемы. Зазор:а  между пластинами заполн ют деионизо-  ванной водой и охлаждают пластины до  температурызамерзани  воды. Обработку  пластин производ т в жидком трави-  теле, температура которого ниже .  Наличие сло  льда между совмещенные  ми попарно пластинами преп тствует  проникновению в зазоры жидкого трави-  тел  в процессе обработки, в результате  чего исключаетс  подтравливание  рабочих сторон пластин, увеличиваетс  процент выхода годных кристаллов  .интегральных схем. (Л