baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102011111704-B3 (DE)
Title: Erdkollektorsystem, Verfahren zur Steuerung und Verfahren zur Errichtung
Inventor: STEINHAEUSER HARRY
IPC: F24J3/08
Filed: 2011-06-21
Granted: 2012-10-11
Abstract: Erdkollektorsystem für eine Wärmepumpe (400), – mit einem ersten Kreislauf (1), wobei der erste Kreislauf (1) eine erste Erdkollektorvorrichtung (100, 100', 100'') aufweist, – mit einem zweiten Kreislauf (2), wobei der zweite Kreislauf (2) eine zweite Erdkollektorvorrichtung (200, 200', 200'') aufweist, dadurch gekennzeichnet, – dass mit dem ersten Kreislauf (1) und mit dem zweiten Kreislauf (2) ein Stellglied (500) verbunden ist, – dass die erste Erdkollektorvorrichtung (100, 100', 100'') unterhalb einer versiegelten Erdoberfläche (310) angeordnet ist, – dass die zweite Erdkollektorvorrichtung (200, 200', 200'') unterhalb einer nicht-versiegelten Erdoberfläche (320) angeordnet ist, und – dass das Stellglied (500) zum einstellbaren Einlass eines Mediums zum Wärmetransport in den ersten Kreislauf (1) und/oder den zweiten Kreislauf (2) und/oder zum einstellbaren Auslass des Mediums aus dem ersten Kreislauf (1) und/oder dem zweiten Kreislauf (2) ausgebildet ist.
Patent DE-102012007231-B3 (DE)
Title: Vorrichtung zur Verbesserung des Zwerchfelldruckes bei Bläsern,vorzugsweise Saxophonisten und Klarinettisen
Inventor: KINDILIDE AURELIAN
IPC: G09B15/00
Filed: 2012-04-07
Granted: 2013-05-23
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Verbesserung des Zwerchfelldruckes bei Bläsern, vorzugsweise Saxophonisten und Klarinettisten. Bei einer Vorrichtung, welche einfach zu nutzen ist und die trotzdem die Einstellung des richtigen Zwerchfelldruckes erlaubt, sind zwei, auf ein Mundstück eines Blasinstrumentes aufsetzbare Lippenauflagen (2, 3) über eine mechanische Verbindung (4) beabstandet miteinander verbunden.
Patent DE-102012023413-B3 (DE)
Title: Device for preventing slipping or spinning of wheel of vehicle e.g. lorry, has resilient annular element extended through hole in tab element that is provided for guide bar such that clamping device is resiliently limited at tab element
Inventor: HOLLFEDER ALFRED
IPC: B60B39/00
Filed: 2012-11-30
Granted: 2013-07-25
Abstract: The device has a more linearly movable guide cylinder housing (30) provided at a guide bar (28). The guide bar is attached at a tab element (48) by an inner-side nut element (50) and an outer-side nut (52). A resilient annular element is made of a temperature-stable duration-stable material and provided between the inner-side nut element and the outer-side nut. The resilient annular element is extended through a hole in the tab element that is provided for the guide bar such that a high-speed clamping device (20) is resiliently limited at the attached tab element.
Patent DE-102013001046-B3 (DE)
Title: Detektor für Infrarot- und/oder THz-Strahlung
Inventor: WEBER NORBERT
IPC: G01J1/42
Filed: 2013-01-22
Granted: 2014-07-17
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft einen Detektor für Infrarot- und/oder THz-Strahlung, der eine Antenne für die Infrarot- und/oder THz-Strahlung und eine gleichrichtende MIM-Tunneldiode mit einer ersten metallischen Schicht, einer zweiten metallischen Schicht und einer dazwischen liegenden dielektrischen Schicht für eine Gleichrichtung des über die Antenne empfangenen Signals aufweist. Der Detektor zeichnet sich dadurch aus, dass die erste metallische Schicht als Resonator für die Infrarot- oder THz-Strahlung dimensioniert ist. Dadurch wird bei diesem Detektor die Problematik der oberen Grenzfrequenz im THz-Bereich umgangen und der Detektor kann in einem CMOS-Prozess hergestellt werden.
Patent DE-102013021649-B3 (DE)
Title: Hydraulischer Abzieher für eingeschränkte Platzverhältnisse
Inventor: BIDINGER ARMIN
IPC: B25B27/06
Filed: 2013-12-19
Granted: 2015-04-02
Abstract: Abzieher, ein Querjoch, mindestens zwei Schenkel und eine hydraulische Druckeinheit aufweisend, dadurch gekennzeichnet, dass ein Querjoch in die dem Querjoch zugewandten Enden der Schenkel einlegbar ist, die vom Querjoch abgewandten Schenkelenden Passformen zur Korrespondenz mit dem abzuziehenden Bauteil aufweisen, die hydraulische Druckeinheit zwischen Querjoch und einem Wellenende positionierbar ist und ein die beiden Schenkel umschließender Haltering axial auf den Schenkeln verschiebbar ist.
Patent DE-102015220192-B3 (DE)
Title: Schutzvorrichtung für einen Laderaum eines Kraftfahrzeugs
Inventor: MAIER MATTHIAS
IPC: B60R5/04
Filed: 2015-10-16
Granted: 2017-03-09
Abstract: Eine derartige Schutzvorrichtung mit einer formstabilen Aufnahmestruktur, in der eine Wickelwelle drehbar gelagert ist, auf der ein flexibles Flächengebilde auf- und abwickelbar gehalten ist, das an einem in Abwickelrichtung vorderen Stirnendbereich mit einem formstabilen Auszugprofil versehen ist, das an seinen gegenüberliegenden Stirnseiten mit jeweils einem Mitnehmer verbunden ist, der in einem in Längsrichtung des Laderaumes erstreckten Führungsabschnitt einer laderaumfesten Führungsspur linearbeweglich geführt ist, ist bekannt. Erfindungsgemäß ist die Aufnahmestruktur in Hochrichtung des Laderaumes verlagerbar, und jede Führungsspur weist einen Umlenkbereich sowie einen in Hochrichtung des Laderaumes erstreckten Verlagerungsabschnitt auf, entlang derer der Mitnehmer umlenkbar und in Hochrichtung verfahrbar ist, und die Aufnahmestruktur weist eine Kopplungseinrichtung auf, mittels der die Aufnahmestruktur abhängig von einer Position des Mitnehmers gemeinsam mit dem Mitnehmer höhenverlagerbar ist. Einsatz bei Personenkraftwagen zur Laderaumabdeckung.
Patent DE-102016000485-B3 (DE)
Title: Verwendung eines Siloxantensids als Zusatz zu einer Öl-Herder-Zusammensetzung
Inventor: SCHUHN WINFRIED
IPC: E02B15/04
Filed: 2016-01-14
Granted: 2016-10-27
Abstract: Für eine Verwendung in einer Öl-Herder-Zusammensetzung sollen Siloxantenside vorgestellt werden, die neben einer hohen Wirksamkeit auch nachhaltig produziert werden können und gut biologisch abbaubar sind. Die Siloxantenside sind ausgewählt aus der Gruppe enthaltendwobei • A ein Monosaccharid, Disaccharid, eine Zuckersäure, ein Aminozucker oder ein Cyclitol, oder ein Ether, Ester, Amid oder Thioester dieser Verbindungen darstellt, • B eine Linkersubstruktur aus mindestens einem Atom oder eine Kette darstellt, • C ein Oligosiloxan mit maximal 12 Siliziumatomen ist.
Patent DE-102016118933-B3 (DE)
Title: Gleichspannungsaufwärtswandler
Inventor: WAGENKNECHT CHRISTIAN
IPC: H02M3/156
Filed: 2016-10-06
Granted: 2017-02-09
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Gleichspannungswandlerregelung mit einem Spannungseingang (Vin) und einem Spannungsausgang (Vout) nach einem Konstant-Ein- oder Konstant-Aus-Zeit-Verfahren, der zur Wandlung der Spannung mindestens einen Schalter (S1) aufweist und wobei die Zeitpunkte des periodischen Öffnens und Schließens des Schalters (S1) mittels eines Schaltsignal (SS1). von dem Potenzialverlauf an seinem Spannungsausgang (Vout) abhängen. Die Dauer (TE) der Ein-Zeit (TE) ist im Falle eines Konstant-Ein-Zeit-Verfahrens konstant bzw. die Dauer (TA) der Aus-Zeit (TA) im Falle eines Konstant-Aus-Zeit-Verfahrens. Das Potenzial eines internen Spannungssignals (Vi), dessen Potenzial von der Ausgangsspannung am Spannungsausgang (Vout) abhängt, wird durch einen Komparator (COMP) erfasst und mit einer Referenzspannung (Ref) verglichen. Dieser erzeugt ein Komparatorausgangssignal (Cs). Die Zeit, in der das Komparatorausgangssignal (Cs) sich im Zustand („AN”) befindet wird auf eine Mindestzeit zur Erzeugung des Schaltsignals (SS1) im Falle eines Konstant-Ein-Zeit-Verfahrens verlängert. Die Zeit, in der das Komparatorausgangssignal (Cs) sich im Zustand („AUS”) befindet wird auf eine Mindestzeit zur Erzeugung des Schaltsignals (SS1) im Falle eines Konstant-Aus-Zeit-Verfahrens verlängert. Eine Offsetspannung (Voff) wird in Abhängigkeit von dem Schaltsignal (SS1) zwischen dem Potenzial am Spannungsausgang (Vout) und dem internen Spannungssignal (Vi) zur Erzeugung dieses internen Spannungssignals (Vi) erzeugt.
Patent DE-102016210798-B3 (DE)
Title: Leistungshalbleiterschaltung
Inventor: KURING CARSTEN
IPC: H03K17/082
Filed: 2016-06-16
Granted: 2017-11-23
Abstract: Die Erfindung ist eine Leistungshalbleiterschaltung (30) mit einem zum Schalten einer Last (12) bestimmten Leistungshalbleiter (10) und mit einem mit einem ersten Eingang mittelbar oder unmittelbar an einen Anschlusspunkt der Last (12) am Leistungshalbleiter (10) angeschlossenen Komparator (32), dem an einem zweiten Eingang eine vorgegebene oder vorgebbare Referenzspannung zuführbar ist, wobei mittels eines Ausgangs des Komparators (32) eine Aktivierung des Leistungshalbleiters (10) bewirkbar ist.
Patent DE-102017126956-B3 (DE)
Title: Verfahren zum personenpositionsabhängigen Ansteuern wenigstens eines in ein Gebäudeautomatisierungssystem eingebundenen Aktors
Inventor: GROLL ROLAND
IPC: G05B15/02
Filed: 2017-11-16
Granted: 2018-12-13
Abstract: Verfahren zum personenpositionsabhängigen Ansteuern wenigstens eines in ein Gebäudeautomatisierungssystem eingebundenen Aktors, bei welchem Verfahren für die personenbezogene Positionsbestimmung die Ergebnisse von zumindest zwei unterschiedlichen Ortungsverfahren verwendet werden und welches Verfahren mit folgenden Schritten durchgeführt wird:
 - Gewichten der Ortungsergebnisse jedes Ortungsverfahrens in Abhängigkeit von seiner personenbezogenen Trefferwahrscheinlichkeit und Positionserfassungsgenauigkeit,
 - Ermitteln der aktuellen Position der Person auf Grundlage der gewichteten Ergebnisse der Ortungsverfahren,
 - Vergleichen der ermittelten Position mit in einer Datenbank hinterlegten, als Aktor auslösend definierten Positionen,
 - bei hinreichender Übereinstimmung der ermittelten Position mit einer als Aktor auslösend definierten Position Ansteuern des wenigstens einen der Position zugeordneten Aktors mit den für diese Position vorgesehenen Steuerdaten über das Gebäudeautomatisierungssystem und
 - Durchführen einer Situationsbewertung bezüglich der Trefferwahrscheinlichkeit und der Erfassungsgenauigkeit der ermittelten Position der Person, wobei in die Situationsbewertung die aktuellen Ergebnisse der Ortungsverfahren, in einer Datenbank hinterlegte, der ermittelten Position entsprechende Referenzdatensätze dieser Ortungsverfahren und eine, wenn vorliegend, personenseitig als Reaktion auf die Aktoransteuerung vorgenommene Korrekturansteuerung vorgenommene Aktion einfließen und wobei bei negativer Situationsbewertung eine Adaption des Gewichtungsfaktors zumindest eines der Ortungsverfahren zum Korrigieren der ermittelten Position vorgenommen wird.
Patent DE-102017131062-B3 (DE)
Title: Steckdose
Inventor: RITTINGHAUS HENDRIK
IPC: H01R25/00
Filed: 2017-12-22
Granted: 2019-02-14
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Steckdose, bestehend aus einer Steckeraufnahme (1), an der ein Zwischenisolator (2), Erdungsbügel (3) und Kontakte (4) angeordnet sind, wobei die Kontakte (4) mit Schneidklemmen (6) zusammenwirken, die mit Einschneidelementen (7) korrespondieren. Die Schneidklemmen (6) fassen mit ihren der Steckeraufnahme (1) zugewandten Enden derart in Öffnungen (43) in den Kontakten (4), dass die Schneidklemmen (6) drehbar sind
Patent DE-102018007248-B3 (DE)
Title: Verfahren und Einrichtung zur Bestimmung des Zustands elektrischer Betriebsmittel der Hochspannungstechnik und der Leistungselektronik
Inventor: KITTAN STEFAN
IPC: G01R31/00
Filed: 2018-09-07
Granted: 2019-10-24
Abstract: Die Erfindung betrifft Verfahren und Einrichtungen zur Bestimmung des Zustands elektrischer Betriebsmittel der Hochspannungstechnik und der Leistungselektronik mit einer Überwachungseinrichtung mit Sensoren und wenigstens einem Datenverarbeitungssystem.
 Die Verfahren und Einrichtungen zeichnen sich insbesondere dadurch aus, dass der Zustand eines elektrischen Betriebsmittels der Hochspannungstechnik und der Leistungselektronik überwachbar und einschätzbar ist.
 Dazu ist eine Überwachungseinrichtung mit Sensoren zur Erfassung von Messwerten und wenigstens einem Datenverarbeitungssystem zur Bestimmung der Entropie ermittelter Einflussparameter aus Messwerten, zur Ableitung von Wichtungsfaktoren und zur Ermittlung des entropiegewichteten Zustands des elektrischen Betriebsmittels, so ausgebildet, dass vor Bestimmung der Entropie der ermittelten Einflussparameter die Minimalwerte und die Maximalwerte der Messwerte von Zeitintervallen jedes Einflussparameters ermittelt werden, dass die Messwerte auf einen vorgegebenen Wertebereich normiert werden, dass die Minimalwerte mit einem vorgegebenen minimalen Grenzwert des jeweiligen Einflussparameters verglichen werden und dass bei Erreichen eines Bereiches über den Grenzwert oder bei Überschreiten des Grenzwertes eine Signalisierung erfolgt.
Patent DE-102018112405-B3 (DE)
Title: Antriebsvorrichtung mit einer elektrischen Maschine
Inventor: KURTH FRANZ
IPC: B60K17/08
Filed: 2018-05-24
Granted: 2019-03-28
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Antriebsvorrichtung für ein Kraftfahrzeug, umfassend eine elektrische Antriebsmaschine (1), die über eine Antriebswelle (2) mit einer Getriebevorrichtung (3) wirkverbunden ist, wobei die Getriebevorrichtung (3) mindestens eine erste und zweite Planetenstufe (4, 5) sowie eine Differentialstufe (6) aufweist, wobei die erste Planetenstufe (4) einen erste Planetensatz mit mehreren Planetenrädern (7a) aufweist, wobei die Planetenräder (7a) des ersten Planetensatzes drehbar an einem ersten Planetenträger (8a) angeordnet sind und mit einem ersten Sonnenrad (9a) sowie mit einem ersten Hohlrad (10a) im Zahneingriff stehen, wobei die zweite Planetenstufe (5) einen zweiten Planetensatz mit mehreren Planetenrädern (7b) aufweist, wobei die Planetenräder (7b) des zweiten Planetensatzes drehbar an einem zweiten Planetenträger (8b) angeordnet sind und mit einem zweiten Sonnenrad (9b) sowie mit einem zweiten Hohlrad (10b) im Zahneingriff stehen, wobei die Antriebswelle (2) drehfest mit dem ersten Sonnenrad (9a) verbunden ist, wobei das erste Hohlrad (10a) stationär an einem Gehäuse (16) der Getriebevorrichtung (3) festgelegt ist, wobei zwischen der ersten und zweiten Planetenstufe (4, 5) eine Doppelkupplungsvorrichtung (11) mit einer ersten und zweiten lastschaltbaren Kupplung (12a, 12b) angeordnet ist, wobei der erste Planetenträger (8a) über die erste Kupplung (12a) mit dem zweiten Hohlrad (10b) verbindbar ist, und wobei der erste Planetenträger (8a) über die zweite Kupplung (12b) mit dem zweiten Planetenträger (8b) verbindbar ist, wobei der zweite Planetenträger (8b) mit der Differentialstufe (6) wirkverbunden ist, und wobei die Differentialstufe (6) axial zwischen der ersten und zweiten Planetenstufe (4, 5) angeordnet ist.
Patent DE-102018216468-B3 (DE)
Title: Verfahren zum Synchronisieren von Messpulssignalen zumindest zweier Teilnehmer eines Fahrzeugpositionierungssystems
Inventor: DIETZ SEBASTIAN
IPC: H04L7/00
Filed: 2018-09-26
Granted: 2019-12-24
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Synchronisieren von Messpulssignalen (SP; SP, MP1, MP2, MP3, MP4) zumindest zweier Teilnehmer eines Fahrzeugpositionierungssystems, bei dem ein Messpulssignal (SP; SP, MP1, MP2, MP3, MP4) einen Startpuls (SP) mit zumindest einem Identifikationsdatum einer Teilnehmereinheit und systematisch aufeinanderfolgende Messpulse (MP1, MP2, MP3, MP4) aufweist, wobei durch Erkennung eines durch benachbarte Teilnehmer gestörten Startpulses (SP) oder eines gestörten Messpulses (MP1, MP2, MP3, MP4) eine definierte zeitliche Verschiebung des Sendens des Messpulssignals innerhalb einer Periodendauer einer Wiederholrate in jedem Teilnehmer initiiert wird. Hierdurch ordnen sich die (SP, MP1, MP2, MP3, MP4) der einzelnen Teilnehmer hintereinander in einer Periodendauer an und können synchronisiert gesendet werden.
Patent DE-102019009216-B3 (DE)
Title: System und Verfahren zum Steuern einer Ladungspumpe
Inventor: CREMOUX GUILLAUME DE
IPC: H03L1/00
Filed: 2019-02-14
Granted: 2022-07-28
Abstract: Offenbart ist ein Verfahren zum Steuern einer Ladungspumpe zum Umsetzen einer Eingangsspannung in eine Ausgangsspannung mit einem Umsetzungsverhältnis, wobei die Ladungspumpe in mehreren Betriebsarten betrieben werden kann, die unterschiedlichen Umsetzungsverhältnissen entsprechen, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: Identifizieren (410) eines Zielwerts der Ausgangsspannung; Berechnen (430) eines Produkts aus dem Umsetzungsverhältnis und der Eingangsspannung; Vergleichen (440, 445) des Produkts mit dem Zielwert; und Auswählen einer Betriebsart der Ladungspumpe durch Erhöhen (450) oder Verringern des Umsetzungsverhältnisses basierend auf dem Vergleich; und Beibehalten (460) des der ausgewählten Betriebsart zugeordneten Umsetzungsverhältnisses für eine Zeitdauer, bevor das Umsetzungsverhältnis verringert (480) wird.
Patent DE-102019128372-B3 (DE)
Title: Injektoranordnung für ein Einführen einer Intraokularlinse
Inventor: RATHERT BRIAN
IPC: A61F2/16
Filed: 2019-10-21
Granted: 2020-12-17
Abstract: Injektoranordnung mit einem Einsetzbauteil (2) und einem Injektor (1), der einen ersten Anschlag (14) und eine Aufnahme (3) aufweist, die eine erste Wand (4) und eine zweite Wand (5) aufweist, die beabstandet zueinander angeordnet sind, und eingerichtet ist, zwischen der ersten Wand (4) und der zweiten Wand (5) das Einsetzbauteil (2) gleitend aufzunehmen, das eine Aufbewahrungsflüssigkeit und eine Intraokularlinse, die in einem Inneren des Einsetzbauteils (2) umgeben von der Aufbewahrungsflüssigkeit angeordnet ist, sowie eine erste Dichtung (6) aufweist, die außen an dem Einsetzbauteil (2) angeordnet ist und das Innere des Einsetzbauteils (2) abdichtet, wobei das Einsetzbauteil (2) einen ersten Halter (12) aufweist, der an der ersten Dichtung (6) befestigt ist und von dieser nach außen absteht sowie eingerichtet ist, bei einem Einführen des Einsetzbauteils (2) in die Aufnahme (3) an den ersten Anschlag (14) anzustoßen und bei einem weiteren Einführen des Einsetzbauteils (2) in die Aufnahme (3) die erste Dichtung (6) zu entfernen und somit das Innere des Einsetzbauteils (2) freizulegen.
Patent DE-102019206028-B3 (DE)
Title: Grafiksystem für ein Fahrzeug
Inventor: LERZER JÜRGEN
IPC: B60K35/00
Filed: 2019-04-26
Granted: 2020-08-06
Abstract: Verfahren zum Steuern von Anzeigemodulen eines Fahrzeugs, Ein-Chip-System zum Steuern von Anzeigemodulen eines Fahrzeugs, Grafiksystem für ein Fahrzeug sowie Fahrzeug.
Patent DE-102019206190-B3 (DE)
Title: Verfahren und System zum zeitlich gesteuerten Ausgeben eines optischen Kopplungssignals sowie Kraftfahrzeug mit einem Kopplungssystem
Inventor: BELZ KARSTEN
IPC: H04W4/40
Filed: 2019-04-30
Granted: 2020-08-20
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren und ein Kopplungssystem (12) zum zeitlich gesteuerten Ausgeben eines optischen Kopplungssignals. In dem Verfahren wird eine bestehende Kopplung eines mobilen Endgeräts (14) mit einem Kraftfahrzeug (10) angezeigt, wobei durch eine Steuereinheit (16) bei Erkennen (S10) der des mobilen Endgeräts mit dem Kraftfahrzeug (10) ein Steuersignal erzeugt wird, welches an zumindest zwei Leuchteinrichtungen (18, 20, 28) gesendet (S12) wird, wobei durch die zumindest zwei Leuchteinrichtungen (18, 20, 28) das optische Kopplungssignal auf dem Steuersignal basierend zeitlich koordiniert ausgegeben wird (S14).
Patent DE-102020201305-B3 (DE)
Title: Verfahren zum Herstellen eines Bremselementes, Bremselement
Inventor: RAAB ROLAND
IPC: C21D1/20
Filed: 2020-02-04
Granted: 2021-08-05
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Bremselementes, insbesondere Bremsscheibe oder Bremstrommel, das einen Reibabschnitt (2) und einen Befestigungsabschnitt (4) aufweist, wobei ein Rohling für zumindest den Reibabschnitt (2) in einem Gießverfahren aus Grauguss mit Lamellengraphit hergestellt wird, wobei der Rohling bei einer vorgegebenen Austenitisierungstemperatur austenitisiert wird, und wobei der austenitisierte Rohling bei einer vorgegebenen Bainitisierungstemperatur bainitisiert wird. Es ist vorgesehen, dass der Rohling einstückig für den Reibabschnitt (2) und den Befestigungsabschnitt (4) hergestellt wird, und dass der Befestigungsabschnitt (4) mit einer Wandstärke von mindestens 1,5 und maximal 4,5 mm hergestellt wird.
Patent DE-102021116851-B3 (DE)
Title: Anschlussblock
Inventor: WU SHANG-TSAI
IPC: H01R12/72
Filed: 2021-06-30
Granted: 2022-11-10
Abstract: Ein Anschlussblock enthält eine isolierende Aufnahme (100), eine Verriegelung (200) mit flexiblem Arm und ein Gleitelement (300). Die isolierende Aufnahme (100) weist einen Schlitz (101) und eine Gleitrinne (102) auf. Eine Längsrichtung der Gleitrinne (102) ist zu einer Tiefenrichtung des Schlitzes (101) parallel. Die Verriegelung (200) mit flexiblem Arm ist auf der isolierenden Aufnahme (100) angeordnet. Eine Längsrichtung der Verriegelung (200) mit flexiblem Arm ist zu der Tiefenrichtung des Schlitzes (101) parallel. Die Verriegelung (200) mit flexiblem Arm weist einen ersten Eingriffsabschnitt (210) und einen Haken (220) auf. Das Gleitelement (300) ist in der Gleitrinne (102) angeordnet und in Längsrichtung entlang der Gleitrinne (102) beweglich. Das Gleitelement (300) weist einen zweiten Eingriffsabschnitt (320) auf. Entweder der erste Eingriffsabschnitt (210) oder der zweite Eingriffsabschnitt (320) ist eine Schräge. Der erste und der zweite Eingriffsabschnitt (210, 320) liegen aneinander an, derart, dass die Schräge derart geschoben wird, dass die Verriegelung (200) mit flexiblem Arm ausgelenkt wird, um zu bewirken, dass sich der Haken (220) zurückzieht, wenn sich das Gleitelement (300) in Richtung des Schlitzes (101) bewegt.
Patent DE-102021116969-B3 (DE)
Title: Verfahren zur bereichsweisen Probeninspektion mittels eines Vielstrahl-Teilchenmikroskopes, Computerprogrammprodukt und Vielstrahl-Teilchenmikroskop zur Halbleiterprobeninspektion
Inventor: ZEIDLER DIRK
IPC: H01J37/28
Filed: 2021-07-01
Granted: 2022-09-22
Abstract: Verfahren zur bereichsweisen Probeninspektion mittels eines Vielstrahl-Teilchenmikroskopes, das mit einer Vielzahl von geladenen Einzel-Teilchenstrahlen arbeitet, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: Bereitstellen von Positionsdaten für eine Vielzahl von zu inspizierenden Bereichen auf der Probe; Bereitstellen einer ersten Rasteranordnung der Vielzahl von Einzel-Teilchenstrahlen, wobei jedem Einzel-Teilchenstrahl ein Einzelbildfeld (sFOV) auf der Probe zugeordnet ist; Festlegen der Position eines nominellen Scanbereiches in jedem Einzelbildfeld (sFOV) bezogen auf die erste Rasteranordnung, wobei die Abmessungen des nominellen Scanbereiches kleiner sind als das vollständige Einzelbildfeld (sFOV); Zuordnen eines nominellen Scanbereiches zu einem zu inspizierenden Bereich für mindestens einen Einzel-Teilchenstrahl; Ermitteln einer individuellen Positionsabweichung zwischen dem nominellen Scanbereich und dem diesem zugeordneten zu inspizierenden Bereich für den mindestens einen Einzel-Teilchenstrahl; Verändern der ersten Rasteranordnung gemäß der jeweils ermittelten individuellen Positionsabweichung und dadurch Erzeugen einer zweiten Rasteranordnung der Vielzahl von Einzel-Teilchenstrahlen, so dass die zugeordneten zu inspizierenden Bereiche gezielt abgerastert werden können; und bereichsweises Abrastern der Probe mit der Vielzahl der Einzel-Teilchenstrahlen in der zweiten Rasteranordnung.