Patent DE-102016103295-A1 (DE)
Title: Dreidimensionales Interferometer und Verfahren zur Bestimmung einer Phase eines elektrischen Feldes
Inventor: BERZ MARTIN
IPC: G01J11/00
Filed: 2016-02-24
Abstract: Die Erfindung betrifft ein dreidimensionales Interferometer (100) zur Vermessung eines von einem Objekt (110) erzeugten Lichtfeldes, insbesondere Bestimmung eines elektrischen Feldes (E1ij, E2ij), insbesondere der Phase (Φ1ij, Φ2ij) oder der Phase (Φ1ij, Φ2ij) und der Intensität oder des Betrages des elektrischen Feldes (E1ij, E2ij), aufweisend einen ersten Interferometerarm (150), welcher so einrichtbar oder justierbar, insbesondere eingerichtet, ist, dass durch ihn ein erstes Strahlenbündel verläuft, einen zweiten Interferometerarm (152), welcher so einrichtbar oder justierbar, insbesondere eingerichtet, ist, dass durch ihn ein zweites Strahlenbündel verläuft, einen zwischen einem Objektpunkt (112) des Objekts (110) einerseits und dem ersten Interferometerarm (150) und dem zweiten Interferometerarm (152) andererseits angeordneten Strahlteiler (101), welcher eingerichtet ist, ein von dem Objektpunkt (112) ausgehendes Strahlenbündel am Strahlteiler (101) in das erste Strahlenbündel und das zweite Strahlenbündel aufzuspalten, eine Detektionsebene (131) oder Detektionsfläche, welche nach dem ersten Interferometerarm (150) und dem zweiten Interferometerarm (152) angeordnet ist und welche eingerichtet ist, dass auf ihr das erste Strahlenbündel und das zweite Strahlenbündel in einem Interferenzbereich (132) zur Interferenz gebracht werden, und eine zwischen der Detektionsebene (131) einerseits und dem ersten Interferometerarm (150) und dem zweiten Interferometerarm (152) andererseits angeordnete Überlappungseinrichtung (106), wobei der Strahlteiler (101), der erste Interferometerarm (150), der zweite Interferometerarm (152), die Überlappungseinrichtung (106) und die Detektionsebene (131) so einrichtbar oder justierbar, insbesondere eingerichtet, sind, dass es zu einem Objektpunkt (112) des Objektes (110) genau einen von dem Objektpunkt (112) ausgehenden Zentralstrahl (114) gibt, welcher an dem Strahlteiler (101) in einen ersten Zentralstrahl (120) und einen zweiten Zentralstrahl (121) aufgespalten wird, wobei der Zentralstrahl (114) Teil des Strahlenbündels ist, der erste Zentralstrahl (120) Teil des ersten Strahlenbündels ist und den ersten Interferometerarm (150) durchläuft und der zweite Zentralstrahl (121) Teil des zweiten Strahlenbündels ist und den zweiten Interferometerarm (152) durchläuft, und wobei der erste Zentralstrahl (120) und der zweite Zentralstrahl (121) auf der Detektionsebene (131) in dem Interferenzbereich (132) in einem zentralen Bildpunkt (133) überlappen; und dass es für jeden Lichtstrahl (115), welcher von dem Objektpunkt (112) des Objektes (110) ausgeht und Teil des Strahlenbündels ist, jedoch nicht der Zentralstrahl (114) ist, einen ersten den ersten Interferometerarm (150) durchlaufenden Lichtstrahl (125) und einen zweiten den zweiten Interferometerarm (152) durchlaufenden Lichtstrahl (126) gibt, welche an dem Strahlteiler (101) aus dem Lichtstrahl (115) aufgespalten werden und welche die Detektionsebene (131) an unterschiedlichen Punkten (134, 135) treffen, und dass es zu jedem Bildpunkt (134) des Interferenzbereichs (132), welcher nicht der zentrale Bildpunkt (133) ist, genau einen dritten Lichtstrahl (116) gibt, welcher von dem Objektpunkt (112) ausgeht, nicht der Zentralstrahl (114) ist, den ersten Interferometerarm (150) durchläuft und den Bildpunkt (134) auf der Detektionsebene (131) trifft, und genau einen vierten Lichtstrahl (117) gibt, welcher von dem Objektpunkt (112) ausgeht, vor dem Strahlteiler nicht der dritte ...