Patent WO-2005104313-A2 (WO)
Title: Ameliorations apportees a une chambre laser a decharge de gaz
Inventor: PARTLO WILLIAM N
IPC: H01S3/041
Filed: 2005-03-03
Abstract: La présente invention concerne un procédé et un dispositif qui font intervenir une source de lumière U.V. laser à décharge de gaz à vitesse de répétition élevée et puissance élevée, qui peut comprendre: une chambre de décharge de gaz comprenant une paroi intérieure qui comprend une paroi verticale et une paroi de fond adjacente; un ventilateur de circulation de gaz qui produit un passage de flux de gaz adjacent à la paroi verticale intérieure et à la paroi de fond adjacente; un élément de captage de poussière intra-chambre, positionné dans une zone de flux de gaz inférieur qui peut être située le long de la paroi intérieure et peut comprendre au moins un filtre maillé, par exemple une pluralité des filtres maillés, qui peut comprendre au moins deux filtres maillés de calibre différent. L'élément de captage de poussière peut s'étendre le long de la paroi intérieure de fond de la chambre et/ou le long d'une partie verticale de la paroi intérieure. L'élément de captage de poussière peut comprendre un premier filtre maillé ayant un premier calibre et un second filtre maillé ayant un second calibre inférieur au premier calibre, le second filtre maillé étant situé entre le premier filtre maillé et la paroi intérieure. La chambre peut comprendre une pluralité d'éléments en retrait d'accumulation de poussière dans la paroi intérieure verticale et/ou la paroi de fond de la chambre qui peuvent être sélectionnées parmi un groupe comprenant un élément en retrait en une seule partie et un élément en retrait en plusieurs parties, qui peuvent comprendre deux sections qui forment un angle l'une par rapport à l'autre. L'élément de captage de poussière peut comprendre un élément de captage à compression disposé entre une partie d'un isolateur principal et une paroi intérieure de la chambre. La chambre peut comprendre un ventilateur de circulation de gaz qui comprend un ventilateur à flux croisés avec coupure de ventilateur qui peut comprendre une poche de régulation de vortex. La chambre peut comprendre un mécanisme de préionisation comprenant un tube de préionisation contenant une barre de base à l'intérieur d'une ouverture allongée dans le tube de préionisation qui peut comprendre un élément flexible, un mécanisme d'extinction de préionisation automatique, un mécanisme de régulation de l'apparition de préionisation et/ou un élément de focalisation. La chambre peut comprendre une plaque de déflexion allongée qui peut comprendre une pluralité de structures pyramidales comprenant un nombre variable d'éléments généralement pyramidaux qui sont orientés en groupes de nombres variables d'éléments généralement pyramidaux et orientés le long et transversalement à l'axe longitudinal. Des résonances acoustiques à l'intérieur de la chambre, peuvent également être réduites par introduction d'un effet de gigue artificielle dans la temporisation des décharges laser, faisant varier la période inter-impulsions de façon aléatoire ou selon un motif de répétition d'impulsion en impulsion à l'intérieur d'une salve.