Patent RU-2225684-C2 (RU)
Title: Свч-плазмохимический реактор
Inventor: LEONT EV I A
IPC: H05B7/18
Filed: 2000-03-06
Granted: 2004-03-10
Abstract: Изобретение относится к микроволновым СВЧ-плазменным реакторам с увеличенным объемом плазмы и может быть использовано при производстве изделий электронной техники и др. Технический результат - увеличение вкладываемой в разряд СВЧ-мощности, рабочего давления в разрядной камере, диаметра обрабатываемой детали, а также повышение надежности и производительности устройства. Узел ввода СВЧ-энергии в разрядную камеру подсоединен к верхнему днищу разрядной камеры и выполнен в виде двух коаксиальных металлических труб, внешняя из которых соединена с боковой стенкой разрядной камеры, имеющей диаметр, значительно превышающий диаметр внешней трубы узла ввода СВЧ-энергии с помощью переходного узла, состоящего из металлического тела и металлического кожуха, при этом металлическое тело расположено вокруг внутренней трубы узла ввода СВЧ-энергии и имеет форму усеченного конуса, большое основание которого является частью верхнего днища разрядной камеры, а металлический кожух расположен вокруг металлического тела коаксиально ему, в зазоре между кожухом и телом установлено в плоскости верхнего днища разрядной камеры диэлектрическое кольцо, а во внутреннем отверстии тела установлено второе диэлектрическое кольцо, в которое входит с возможностью осевого перемещения внутренняя труба узла ввода СВЧ-энергии, в стенке внешней трубы узла ввода СВЧ-энергии выполнены два или четыре окна, к которым подсоединены прямоугольные волноводы, широкие стенки которых параллельны оси трубы, а к верхнему днищу узла ввода СВЧ-энергии подсоединен коаксиально-волноводный переход таким образом, что его центральный проводник соединен плавным переходом с торцом внутренней трубы узла ввода СВЧ-энергии, при этом центральный проводник изолирован от корпуса коаксиально-волноводного перехода, а внешний проводник - кожух - подсоединен к верхнему днищу узла ввода СВЧ-энергии, вокруг отверстия в верхнем днище между ним и внутренней трубой узла ввода СВЧ-энергии установлен диэлектрический цилиндр, внутри внутренней трубы расположен элемент СВЧ-настройки, выполненный, например, в виде подвижного закорачивающего поршня, на нижнем днище разрядной камеры установлена платформа для размещения обрабатываемой детали с возможностью перемещения относительно днища, в боковой стенке разрядной камеры у ее нижнего днища расположены тангенциально к боковой стенке сопла для ввода рабочего газа, а у края внутренней трубы узла ввода СВЧ-энергии со стороны разрядной камеры на внутренней стенке внутренней трубы расположен формирователь дополнительного вихревого газового потока в разрядной камере, выполненный в виде сопел завихрителя, расположенного в зазоре между стенкой внутренней трубы и элементом СВЧ-настройки, к которому подсоединено металлическое тело конусной формы, вершина которого направлена вдоль оси трубы наружу и выходит из внутренней трубы на расстояние, равное 1-2 величины радиуса внутренней трубы, а сопла ввода рабочего газа, расположенные в боковой стенке разрядной камеры, могут быть заключены внутри полости, образованной нижним днищем разрядной камеры и металлическим или диэлектрическим цилиндром, соосным с разрядной камерой и образующим между своей внешней поверхностью и стенкой разрядной камеры зазор, размер которого равен 1-5 величины диаметра выходного отверстия сопел, при этом отверстие этой полости расположено вблизи плоскости нижнего рабочего положения платформы, на которой размещена обрабатываемая деталь. 1 з.п. ф-лы, 5 ил.