baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-100476988-B1 (KR)
Title: 회전 암을 구비한 양방향 다이 분류기
IPC: H01L21/50
Filed: 2002-10-08
Granted: 2005-03-16
Abstract: 본 발명은 입력되는 정보에 의해 자동으로 위치가 조절되는 웨이퍼 위에 위치하는 다이(die)를 진공 픽커(picker)를 통하여 픽업(pick-up)하고, 그리고 사전에 획득된 테스트 결과에 따라 상기 다이를 자동으로 복수개의 빈 블록(bin block)에 분류하는 다이 분류기(die sorter)에 있어서, 회전 암(arm) 섹션(50), 및 상기 회전 암 섹션 양측에 각각 형성되는 2개의 빈 블록(bin block) 섹션(20)으로 이루어지고, 상기 회전 암 섹션(50)은 단부에 웨이퍼 상의 다이를 픽업하기 위한 픽커(picker, 101)를 구비한 회전 암(100), 상기 회전 암(100)을 상기 각각의 빈 블록 섹션(20)으로 회전시키기 위한 회전모터(110), 및 상기 회전 암(100)을 웨이퍼 상의 다이를 픽업할 수 있도록 승강시키는 승강모터(120)로 이루어지고, 그리고 상기 각각의 빈 블록 섹션(20)은 상기 다이를 수용하는 복수개의 빈 블록(200), 및 상기 복수개의 빈 블록(200)을 소정 지점으로 위치시키기 위한 구동 수단(220)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다이 분류기를 개시한다. 아울러 본 발명의 또 다른 측면으로, 입력되는 정보에 의해 자동으로 위치가 조절되는 웨이퍼 위에 위치하는 다이(die)를 진공 픽커(picker)를 통하여 픽업(pick-up)하고, 그리고 사전에 획득된 테스트 결과에 따라 상기 다이를 자동으로 복수개의 빈 블록(bin block)에 분류하는 다이 분류기(die sorter)에 있어서, 단부에 웨이퍼 상의 다이를 픽업하기 위한 픽커(picker, 101)를 구비한 회전 암(100), 상기 회전 암(100)에 직접적으로 연결되어 상기 회전 암(100)을 회전시키기 위한 DD 모터(110), 상기 DD 모터(110)를 지지하기 위한 모터 프레임(130), 및 상기 모터 프레임을 승강시키기 위한 승강 모터(120)로 이루어지고, 상기 회전 암(100)은 특정 각을 기준으로 사전에 정해진 각도에 해당하는 지점에서 상기 웨이퍼 상의 다이를 픽업하고, 그리고 상기 특정 각을 기준으로 사전에 정해진 각도에 해당하는 지점에서 상기 다이를 빈 블록에 배열하는 것을 특징으로 하는 다이 분류기를 개시한다.
Patent KR-100516159-B1 (KR)
Title: 하나 이상의 광활성 그룹을 가지는 트리아진 고리를이용한 폴리티오에테르계 감광성 고분자 액정 배향제조성물, 이를 이용한 감광성 고분자 액정 배향막의제조방법 및 상기 액정 배향막을 포함하는 액정 소자
IPC: C09K19/56
Filed: 2002-10-21
Granted: 2005-09-23
Abstract: 본 발명에서는 하나 이상의 광활성 그룹을 가지는 트리아진 고리를 이용한 폴리티오에테르계 감광성 고분자 액정 배향제 조성물, 이를 이용한 감광성 고분자 액정 배향막(1)의 제조방법 및 상기 액정 배향막(1)을 포함하는 액정 소자가 개시된다. 본 발명에 의해 기존의 광배향제 특히 탄화수소계를 주쇄로 하는 광배향제의 문제점인 낮은 열안정성, 액정과 배향막(1)사이의 약한 물리적 결합력에 의한 낮은 배향력과 셀 제조과정에서 광안정성에 영향을 받는 문제점을 극복할 수 있고, 동시에 폴리티오에테르계 고분자가 가지는 특징인 높은 기계적 성질, 내열성, 광학적 투명성 및 내화학성을 함께 가진다. 이로써 본 발명에 따른 액정 표시 소자들은 고화질 및 고품위의 디스플레이 화질을 구현할 수 있게 된다.
Patent KR-100822980-B1 (KR)
IPC: G11C29/00
Filed: 2002-10-28
Granted: 2008-04-16
Abstract: 본 발명은 시험에 있어서 압축률을 내려 용장셀에 의한 구제 확률을 높이고, 또한, 테스터에 의한 동시 측정을 가능하게 하여 시험 시간을 단축할 수 있는 메모리 회로를 제공하는 것을 목적으로 한다. 
     다(多)비트 출력 구성의 메모리 회로에 있어서, 복수의 메모리 셀을 갖는 통상셀 어레이 및 용장셀 어레이를 갖는 메모리 코어와, 상기 메모리 코어로부터 판독된 N비트의 출력이 각각 출력되는 N개의 출력 단자와, 상기 출력 단자와 메모리 코어 사이에 설치되어, 상기 메모리 코어로부터 판독된 N비트의 출력 중 각 L비트(N=L ×M)의 출력이 일치하는지의 여부를 검출하여, 일치했을 때는 그 출력 데이터가 되고 일치하지 않을 때는 제3의 상태가 되는 압축 출력을, 상기 N개의 출력 단자 중의 제1 출력 단자에 출력하는 출력 회로를 갖는다. 그리고, 복수의 시험 명령에 각각 응답하여, 상기 M군의 L비트 출력의 압축 출력을 시분할로 출력한다. 또는, 공통의 시험 명령후의 외부 단자의 시험 제어 신호에 응답하여, 상기 M군의 L비트 출력의 압축 출력을 시분할로 출력한다. 이에 따라, 용장셀의 구제율을 높여, 시험 장치의 동시 측정률을 높일 수 있다.
Patent KR-100564565-B1 (KR)
IPC: G03F7/038
Filed: 2002-11-14
Granted: 2006-03-28
Abstract: 실리콘을 함유하는 모노머 유니트로 이루어지는 제1 반복 단위와, 상기 제1 반복 단위와 공중합되는 제2 반복 단위로서 히드록시기를 가지는 모노머 유니트를 포함하는 폴리머를 제공한다. 제1 반복 단위는 다음 구조를 가진다.  
     
       
     
     식중, R 1 은 수소 원자 또는 메틸기이고, X는 C 1  ∼ C 4 의 알킬기 또는 알콕시기이고, n은 2 내지 4의 정수이다. 또한, 본 발명의 폴리머로 이루어지는 알칼리 가용성 베이스 폴리머와, PAG와, 산의 작용에 의하여 가교될 수 있는 가교제로 이루어지는 네가티브형 레지스트 조성물을 제공한다.  
       
     네가티브형 레지스트, 실리콘, 히드록시기, 에폭시 링
Patent KR-100923471-B1 (KR)
IPC: B24B21/18
Filed: 2002-11-20
Granted: 2009-10-27
Abstract: 본 발명은 스트립 그라인더의 스트립 연마작업 중 빌리롤 표면에 부착된 부착 스와프를 제거하여 스트립 표면의 마크 발생을 방지할 수 있도록 된 빌리롤 부착 스와프 제거장치를 제공함에 있다. 
     이에 본 발명은 스트립 그라인더의 빌리롤이 지지되는 지지프레임 하부에 위치하고 상기 빌리롤 표면에 선택적으로 밀착되어 빌리롤 표면의 부착 스와프를 제거하기 위한 제거날과; 상기 제거날을 상기 빌리롤 표면에 밀착시키기 위한 구동부; 상기 제거날을 빌리롤 표면을 따라 길이방향으로 이동시키기 위한 이동부를 포함하는 스트립 그라인더의 빌리롤 부착 스와프 제거장치를 제공한다. 
       
     제거날, 이송스크류, 구동모터, 승강블럭, 베이스부재
Patent KR-100498028-B1 (KR)
Title: 자기 기록/재생장치의 클러치 장치
IPC: G11B15/44
Filed: 2002-12-02
Granted: 2005-07-01
Abstract: 개시된 본 발명에 의한 자기 기록/재생장치의 클러치 장치는, 캡스턴 모터로부터 동력을 전달받아 회전되도록 메인데크에 설치되는 제1 기어와; 상기 제1 기어의 토크에 의하여 회전되도록 상기 제1 기어와 동일 회전축상에 설치되며, 상기 아이들 기어와 기어연결되는 제2 기어와; 상기 제1 기어와 동축상에 축설되어, 상기 제2 기어를 회전가능하게 지지하는 부시; 일단이 상기 제1 기어에 고정되며, 타단이 상기 부시에 고정되어, 상기 제2 기어에 눌려 탄성변형되면서 각 기어들간에 접촉력을 제공하는 탄성지지부재; 및 상기 제1 기어의 토크가 상기 제2 기어에 일정하게 전달되도록 양 기어 사이에 개재되는 클러칭 부재를 포함한다.  
     이에 의하면, 캡스턴 모터로부터 릴테이블로 전달되는 동력을 감소시키기 위해 클러치 장치내에 고가의 마그네트가 구비될 필요가 없으므로 시스템의 제조원가가 절감될 수 있으며, 이에 따라 구비되는 부품의 수가 감소될 수 있다.
Patent KR-100553333-B1 (KR)
IPC: H01R13/20
Filed: 2002-12-05
Granted: 2006-02-20
Abstract: 본 발명에 따른 커넥터는, 웅형(male) 결합부 및 이 웅형 결합부에 대하여 이동가능한 가동부를 구비한 플러그를 삽입 및 제거 가능하다. 커넥터는, 플러그의 삽입에 의한 가동부의 플러그 삽입방향으로의 변위 시에 플러그의 웅형 결합부를 고정시키는 한편, 가동부의 플러그 제거방향으로의 변위에 의해 상기 고정을 해제하는 플러그 고정부재를 구비하고 있다. 이로써, 플러그의 가동부의 이동에 따라, 플러그에 대한 고정 및 그의 해제가 가능해진다.
Patent KR-100498387-B1 (KR)
Title: 냉장고의 급속 냉동장치
IPC: F25D17/06
Filed: 2002-12-06
Granted: 2005-07-01
Abstract: 본 발명은 냉장고의 급속 냉동장치에 관한 것으로서, 본체 내부의 냉각에 필요한 냉기를 발생시키는 증발기가 장착된 냉각실에서 발생된 냉기를 송풍하는 제1송풍팬과, 상기 제1송풍팬에 의해 송풍된 냉기를 토출구를 통해 공급받는 냉동실이 구비되어 구성된 냉장고에 있어서, 상기 냉동실의 내부에 장착되는 단열재로 형성되는 이격부재에 의해 상기 냉동실과 분리된 별도의 공간으로 구획된 급속 냉동실과, 상기 급속 냉동실과 상기 냉각실을 관통하여 형성된 급속 냉기 안내유로와, 상기 급속 냉기 안내유로의 내부에 장착되어 상기 증발기측의 냉기를 상기 급속 냉동실의 내부로 강제 송풍하는 제2송풍팬이 구비되어 구성됨으로써, 상기 급속 냉동실에 저장되는 음식물을 급속 냉동하여 음식물의 맛과 영양성분을 유지할 수 있도록 한 것이다.
Patent KR-100500131-B1 (KR)
Title: 기판에 적합한 열팽창계수를 갖는 층이 구비된 실리콘 함유 기판
IPC: C04B41/87
Filed: 2002-12-17
Granted: 2005-07-11
Abstract: 본 발명은 실리콘을 함유하는 기판; 및 상기 기판과 하나 이상의 인접층에 적합한 열팽창계수를 유지하기에 충분한 양으로 첨가되는 열팽창계수 조절용 첨가제를 함유하는 하나 이상의 층을 포함하여 이루어지는 제품에 관한 것이다.
Patent KR-100539277-B1 (KR)
Title: 가스 첨가제를 갖는 협대역 가스 방전 레이저
IPC: H01S3/08
Filed: 2000-06-29
Granted: 2005-12-27
Abstract: 본 발명은 향상된 에너지량 제어 및 재생력을 가지며, 약 500 내지 2000Hz의 범위에 있는 펄스율로 펄스를 만들 수 있는 초협대역 펄스 엑시머 레이저를 제공한다. 산소 및 무거운 불활성 가스(KrF 레이저를 위한 크세논 또는 라돈, 또는 ArF 레이저를 위한 크립톤, 크세논, 또는 라돈)로 이루어진 미소량의 안정화된 첨가제가 가스 혼합물에 첨가된다. 수행된 테스트는 약 30ppm의 크세논을 KrF 레이저에 첨가함으로써 에너지 안정도에서 본질적인 향상을 보여준다. 테스트는 약 6-10ppm의 Xe 또는 40ppm의 Kr을 첨가함으로써 ArF 레이저의 향상된 성능을 보여준다. 바람직한 실시예에서, 초협대역폭은 플루오르 부분압력을 0.10%로 줄이고, 출력커플러의 반사율을 25%보다 크게 증가시킴으로써 KrF 레이저상에서 이루어진다. 바람직한 실시예에서, 종래기술의 라인 협소화 모듈에서 사용된 종래기술의 용융된 실리카 빔 확산 프리즘은 플루오르화 칼슘 프리즘으로 대체된다(부재 번호가 없는 도면-명세서 참조).
Patent KR-100525793-B1 (KR)
Title: Sealing label
IPC: B65D55/06
Filed: 2000-08-14
Granted: 2005-11-03
Abstract: For sealing a container (2) consisting of a barrel portion (3) and a cap portion (4) threaded and tightened on the barrel portion, the sealing label (1) includes a lower portion (1A) for substantially wrapping the barrel portion and an upper portion (1B) for substantially wrapping the cap portion. The sealing label includes horizontal perforations (10) consisting of cut segments (11) and uncut segments (12; 13) extending along a border between the upper portion and the lower portion; a knob portion (1a) disposed at an edge of the upper portion; and inclined perforations (20) consisting of cut segments (21) and uncut segments (22) extending obliquely in the upper portion from the knob portion to the horizontal perforations. <IMAGE>
Patent KR-100779251-B1 (KR)
IPC: C03C3/085
Filed: 2000-04-24
Granted: 2007-11-27
Abstract: 본 발명은 증가된 수준의 Ni 및 Co 착색제를 갖는 기재 컬러 텔레비젼(CTV) 패널 유리 조성물을 사용하는 것을 포함하는 CTV 패널 색조 유리에 관한 것이다. 이는 투명한 CTV 무연 패널 유리에 착색하기 위한 착색제 유리로서 높은 수준의 Ni 및 Co 산화물을 갖는 무연 CTV 패널 유리 조성물을 사용한다. 니켈 산화물은 2 내지 18%이고, 코발트 산화물은 0.2 내지 2%이다. 1% 이하의 코발트 산화물 및 10% 이하의 니켈 산화물을 갖는 바람직한 범위의 조성물이 CTV 패널 착색제에 대해 매우 적절함이 확인되었다.   
     니켈, 코발트, CTV 패널 유리, 무연, 착색
Patent KR-100605069-B1 (KR)
IPC: A62B23/02
Filed: 2000-02-25
Granted: 2006-07-31
Abstract: 가요성 기판 상에 물품을 보유하기 위해 압축 요소를 사용하는 압축 요소와 보유 조립체가 개시된다.  압축 요소에 의해 기판 상에 보유된 물품을 포함하는 조립체의 제조법이 또한 개시된다.  보유 조립체, 압축 요소 및 방법은 예컨대 기계적인 스테이플을 대신한다.  보유 조립체, 압축 요소 및 방법은 기판을 관통하지 않고 가요성 기판의 표면에 탄성 물품을 부착하는데 특히 유용하다.  가요성 기판의 표면에 탄성 물품을 부착하는 것의 한 예는 호흡장치에 탄성 스트랩을 부착하는 것이다. 
       
     압축 요소, 보유 조립체, 가요성 기판, 탄성 물품, 부착, 호흡장치
Patent KR-100774492-B1 (KR)
IPC: B24D18/00
Filed: 2001-01-17
Granted: 2007-11-08
Abstract: 본 발명은, 우수한 연삭 특성을 나타내는 반면, 저렴한 연삭 숫돌에 관한 것으로, 하나는 층(14)의 중심에 가까이 놓이고 다른 영역은 그 바깥 둘레를 따라 놓인, 서로 다른 연삭 입자로 이루어진 병렬 영역(14A,14B)을 포함하는 적어도 하나의 연삭 입자층(14)을 포함하는 스택 층(12,13,14,15)으로 이루어진다. 스택의 상기 층(14)을 형성하기 위한 방법은, 제 1 타입의 연삭 입자로 이루어진 블랭크(blank)와 제 2 타입의 연삭 입자로 이루어진 링을 만드는 단계로서, 상기 블랭크의 내부와 외부 윤곽은 기하학적으로 서로 유사한, 단계와, 삽입 위치에 상기 링과 상기 블랭크를 위치시키는 단계와, 이후 다음 단계에서 상기 숫돌을 제조하기 위해 층 스택을 압착하는 단계이다. 본 발명은 절단(cutting-off) 및 표면 처리 숫돌바퀴를 제조하는데 유용하다.
Patent KR-100838980-B1 (KR)
Title: Data carrier designed for contactless communication and having detection means for detecting a temperature prevailing in the data carrier
IPC: G06K17/00
Filed: 2001-11-16
Granted: 2008-06-17
Abstract: A data carrier (1) for contactless communication with a communication station (2) has an integrated circuit (7) and has a direct voltage generation circuit (20), and has detection means (28) for detecting a temperature prevailing in the data carrier (1) and in the integrated circuit (7), with the aid of which detection means (28) a representation signal (RS) representative of the prevailing temperature can be generated, which representation signal causes an initiation of a change of the temperature in the data carrier (1) and in the integrated circuit (7).
Patent KR-100758142-B1 (KR)
IPC: C07B61/00
Filed: 2001-02-24
Granted: 2007-09-13
Abstract: 본 발명은 가수분해성 규소 화합물, 가수분해성 티탄 화합물 및 염기성 4급 암모늄 화합물을 수성 매질 속에서, 출발 화합물들을 기준으로 하여, Si/Ti의 몰 비가 30 이상이고 N/Si의 몰 비가 0.12 내지 0.20 미만으로 되도록 하는 양으로 배합하고, 가수분해시켜 합성 겔을 형성한 다음, 이를 150 내지 220℃의 온도에서 3일 미만의 기간 동안 결정화하여 티탄 함유 제올라이트를 제조하는 방법 및 이러한 방법으로 수득 가능한 티탄 함유 제올라이트에 관한 것이다.  
     규소 화합물, 가수분해성 티탄 화합물, 염기성 4급 암모늄 화합물, 티탄 함유 제올라이트, 합성 겔, pH 값, 결정화.
Patent KR-100758922-B1 (KR)
IPC: H01R25/00
Filed: 2001-05-07
Granted: 2007-09-14
Abstract: 본 발명은 빌딩의 전기 시스템에서 나오는 전기 와이어가 배선함 하우징 상에 장착되고 배선함 하우징에 연결되는 전기 콘센트 장치 상에서 직접 연결되기보다는 배선함 하우징의 안전한 영역 내에서 한 세트의 단자 스트립과 러그에 연결되는 개량형 전기 배선함을 제공한다. 본 발명에 따라, 개량형 전기 배선함은 별도의 견고한 배선, 케이블 껍질 벗기기, 접속용 구리줄 설치 등을 필요로 함이 없이 전기 콘센트 장치가 직접 플러그 접속되는 적어도 한 세트의 플러그 앤드 플레이 전기 단자를 제공한다. 본 발명의 바람직한 실시예에 있어서, 모든 전기 와이어는 배선함의 제한되지 않는 안전한 영역 내에서 연결됨으로써, 전기적인 충격의 위험 및 전기 화재의 위험이 감소된다.
Patent KR-100490011-B1 (KR)
Title: 주사위의 숫자인식장치
IPC: G01B11/00
Filed: 2003-01-03
Granted: 2005-05-17
Abstract: 본 발명은 주사위의 표면에 표시된 각 점을 숫자로 인식하여 게임을 즐기는 숫자인식 장치에 관한 것으로서, 각 표면에 숫자표시점이 정육면체에 상이하게 표시되어 있고 그 표면이 주사위 안착부에 배치되면 접촉된 면의 숫자를 표시하는 점에 따라 9개의 스위치중 점에 해당하는 스위치가 작동하게 되어 그에 대향하는 면을 인식하는 것과 안착 면의 직각 면이자 게임사용자의 전면에 가시 되는 한 면의 숫자를 4개의 위치판단부에 의하여 함께 얻어내는 것을 특징으로 하는 주사위의 숫자인식장치.
Patent KR-100513496-B1 (KR)
Title: 과급유 방지 밸브
IPC: B60K15/077
Filed: 2003-01-07
Granted: 2005-09-09
Abstract: (과제) 만탱크에 도달하는 분량의 급유가 이루어진 단계에서 정확하게 급유노즐측의 센서가 만탱크를 검지하도록 한다. 
     (해결 수단) 캐니스터로의 통기로(P)에 연통시킨 상부공간(1)과, 연료탱크(T) 내에 배치되는 하부실(2)과, 상부공간(1)과 하부실(2)을 연통시키는 연통부(3)와, 상기 하부실(2) 내로의 연료의 유입에 의해서 상승하여 상기 하부실(2)측에서 연통부(3)를 폐색하도록 상기 하부실(2)에 수납된 플로트체(4)를 가지는 밸브이다. 
     하부실(2)은, 그 바닥부(2b)에 하부실(2)측으로부터의 연료의 유출만을 허용하는 원웨이 밸브(5)를 가짐과 아울러, 그 측부(2a)에만 연료의 유입부(2c)를 구비하고 있다. 연료탱크 내의 연료의 액면레벨이 유입부(2c)에 도달한 후의 하부실(2)로의 연료의 유입에 의해서 연료탱크(T)의 내압을 상승시켜, 급유노즐측의 센서가 만탱크를 검지하도록 되어 있다.
Patent KR-100463549-B1 (KR)
Title: 냉난방 동시형 멀티공기조화기용 응축액 제거장치
IPC: F24F11/02
Filed: 2003-01-13
Granted: 2004-12-29
Abstract: 본 발명은 난방운전과 냉방운전이 동시에 수행되는 냉난방 동시형 멀티공기조화기 및 냉난방 동시형 멀티공기조화기용 응축액 제거장치에 관한 것이다. 
     이를 위하여, 본 발명은, 실외에 설치되며 내부에 압축기와 실외열교환기를 갖는 실외기와, 실내의 각 룸에 각각 설치되며 내부에 전자팽창밸브와 실내열교환기를 각각 갖는 다수대의 실내기와, 상기 실외기와 상기 실내기 사이에 구비되어 상기 실외기로부터 유입된 냉매를 냉방전실ㆍ난방전실ㆍ냉방주체동시ㆍ난방주체동시 운전조건에 따라 상기 다수대의 실내기에 선택적으로 안내하는 분배기와, 상기 운전조건에 따라 냉매의 흐름을 절환하기 위해 상기 실외기에 구비되며 난방주체동시 또는 난방전실 운전시 저압기상냉매가 흐르는 길로와 고압기상냉매가 차단되는 길로를 갖는 사방밸브와, 상기 난방주체동시 또는 난방전실 운전시 상기 사방밸브내의 저압기상냉매가 유입되는 길로와 고압기상냉매가 차단되는 길로와의 열교환에 의해 생성되는 응축액를 고압액상냉매관으로 안내하는 응축액제거수단이 포함되어 이루어진 냉난방 동시형 멀티공기조화기를 제공한다.
Patent KR-100516296-B1 (KR)
Title: 스위칭 기능을 이용한 인터페이스 장치
IPC: H04M1/72409
Filed: 2003-01-21
Granted: 2005-09-21
Abstract: 본 발명의 스위칭 기능을 이용한 인터페이스 장치는, 외부 기기 인터페이스 단자의 USB_D+ 및 USB_D-의 라인(또는 RS232C 데이터 라인)을 다중 스위칭함으로써 휴대용 단말기 상에서 다양한 애플리케이션(Application)을 가능케 하고, 특히, 휴대용 단말기를 이용한 PC 카메라로의 응용으로 발전시킬 수 있는 스위칭 기능을 이용한 인터페이스 장치를 제공하는데 그 목적이 있다. 
     상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 외부 기기와의 통신 라인에 연결되고, 일반 선택 신호 및 디지털 선택 신호에 의하여 다중 스위칭 동작을 수행하는 이중 인터페이스부; 외부의 영상 및 음성을 획득하며, 획득된 음성 데이터 및 영상 데이터를 디지털화하고, 디지털화된 데이터를 상기 이중 인터페이스부로 출력하는 영상/오디오 처리부; 상기 디지털 선택 신호 또는 상기 일반 선택 신호를 활성화하고, 상기 이중 인터페이스부를 통하여 상기 외부 기기와 데이터를 주고받으며, 주고받는 데이터를 처리하는 신호 처리부; 및 상기 영상/오디오 처리부 또는 상기 신호 처리부의 제어에 따라 데이터를 저장하거나 출력하는 메모리를 포함한다.
Patent KR-100532615-B1 (KR)
Title: 디지털 방송 수신장치 및 그 채널 변경 방법
IPC: H04N5/44
Filed: 2003-01-23
Granted: 2005-12-01
Abstract: 디지털 방송 수신장치 및 그 채널 변경 방법이 개시된다. 본 발명에 따른 방송신호를 표시하는 방송모드 또는 메뉴화면을 표시하는 사용자 메뉴모드로의 동작모드 전환이 가능한 디지털 방송 수신장치는, 다수의 방송채널 중 사용자에 의해 선택된 방송채널을 선국하는 튜너부와, 상기 방송채널 및 상기 메뉴화면을 변경시키기 위한 키가 마련된 입력부 및 상기 입력부를 통해 상기 키 신호가 수신되면 상기 동작모드가 상기 방송모드인지 상기 사용자 메뉴모드인지를 판단하고, 상기 동작모드가 상기 방송모드인 것으로 판단되면 현재 시청중인 방송채널이 변경되도록 상기 튜너부를 제어하고, 상기 동작모드가 상기 사용자 메뉴모드인 것으로 판단되면, 상기 메뉴화면이 변동되도록 제어하는 제어부를 구비한다. 이에 의해, 현재 시청중인 방송채널을 설정된 채널이동폭 만큼씩 이동시킬 수 있어 다른 방송채널로의 변경이 용이하여 사용자에게 조작상의 편리성을 제공할 수 있다.
Patent KR-100650902-B1 (KR)
IPC: H01L21/28
Filed: 2003-01-30
Granted: 2006-11-27
Abstract: 본 발명은 종래의 이중 대머신(Dual Damascene) 기술에서 문제가 되는 것들 중에 제품의 수율이나 신뢰성에 치명적인 영향을 주는 포토 레지스트 프로파일 (Photo Resist Profile)의 불균일 및 잔류물(Residue)의 해결에 의한 제품의 수율 향상과 신뢰성 향상의 제공에 관한 것이다.  
     본 발명의 반도체 금속 배선 제조방법은 금속관 유전체(IMD) 1을 화학 기계적 연마하는 제1공정; 상기 화학 기계적 연마된 IMD 위에 금속 패턴을 형성하는 제2공정; 산화물을 식각하는 제3공정; 산화물이 식각이 된 부분에 막질을 증착 및 화학 기계적 연마하는 제4공정; 비아 식각을 위해 산화물이 식각된 부분과 막질 위에 비아 패턴을 형성하는 제5공정; 막질을 건식 식각하고, 다시 산화물을 금속 아래부분까지 식각하는 제6공정 및 증착되어 있던 막질을 습식 식각을 이용하여 제거해 줌으로써 이중 다마신 구조를 형성하는 제7공정으로 이루어짐에 기술적 특징이 있다. 
     따라서, 본 발명의 반도체 금속 배선 및 그 제조방법은 금속 패턴 프로파일과 비아 홀내부의 포토 레지스트 잔류물을 제거할 수 있으므로 정확한 금속 패턴의 윤곽과 포토 레지스트 잔류물을 감소시켜 이로 인하여 발생할 수 있었던 현상에 의한 수율 및 신뢰성 저하를 막는 효과가 있다. 
       
     반도체 금속 배선, 이중 대머신
Patent KR-100505439-B1 (KR)
Title: 고체 촬상 장치 및 그 제조 방법
IPC: H01L27/148
Filed: 2003-02-28
Granted: 2005-07-29
Abstract: 본 발명의 고체 촬상 장치는, 수직 전하 전송부와, 상기 수직 전하 전송부의 적어도 한쪽의 단부에 접속된 수평 전하 전송부를 구비한다.  상기 수직 전하 전송부는 수직 전송 채널 영역과, 상기 수직 전송 채널 영역 상에 형성된 다수의 수직 전송 전극을 구비하고 있다.  상기 수평 전하 전송부는 수평 전송 채널 영역과, 상기 수평 전송 채널 영역 상에 형성된 다수의 제1 수평 전송 전극과, 상기 제1 수평 전송 전극끼리의 사이에 배치된 다수의 제2 수평 전송 전극을 구비하고, 상기 제1 수평 전송 전극 하의 전위가 이 전극과 인접하고, 또한 이 전극보다 전송 방향에 대해 뒤쪽에 배치된 제2 수평 전송 전극 하의 전위보다 높아지도록 구성되어 있다.  본 발명의 고체 촬상 장치에서는 상기 수직 전하 전송부와 상기 수평 전하 전송부와의 접속부에 있어서, 상기 수직 전하 전송부의 종단에 배치된 최종 수직 전송 전극과, 상기 수평 전하 전송부의 상기 제1 수평 전송 전극 사이의 거리가 상기 수평 전하 전송부에 있어서의 상기 제1 수평 전송 전극끼리의 사이의 거리와 동등하거나, 또는 그것보다 짧다.
Patent KR-100496034-B1 (KR)
Title: 기본골격으로 이노신을 포함하는 인산지방질
IPC: C07H19/16
Filed: 2003-02-28
Granted: 2005-06-16
Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1의 인산지방질 및 이의 제조방법에 관한 것이다: 
     
       
         
       
     
     상기 식에서,  
     n은 4 내지 12의   정수이다. 
     또한 본 발명은 약물 전달 시스템, 리포좀간의 분자 인지 및 접착에 이용할 수 있는 상기 화학식 1의 인산지방질로 만들어지는 리포좀에 관한 것이다.
Patent KR-100455180-B1 (KR)
Title: 발신자별 목소리 착신벨 신호 설정방법
IPC: H04B1/40
Filed: 2003-03-17
Granted: 2004-11-06
Abstract: 본 발명은 휴대단말기의 발신자의 목소리를 착신벨 소리 신호로 사용하여 착신벨 신호에 의하여 각 발신자를 구별하는 것이며, 휴대단말기에 의하여 일반 착신벨 소리 신호를 재설정하는 것으로 판단하는 경우에 내장된 것을 검색하거나 다운로드에 의하여 선택된 음원신호를 착신벨 신호로 새로이 설정하는 설정과정과; 상기 휴대단말기는 피호출되었다고 판단되는 경우 현재 설정된 착신벨 신호를 발생하는 링발생과정과; 상기 과정에서 발생된 착신벨 신호를 확인하고 후크오프하여 호접속된 상태로 통신을 진행하는 통신과정과; 상기 과정의 통신 진행 중에 상대방 목소리를 발신자별 목소리 착신벨 신호로 설정하는 것으로 판단하는 경우 소정 구간의 발신자 목소리를 샘플링하여 기록저장하는 녹음과정과; 상기 과정의 통신 진행이 종료되고 상기 샘플링된 목소리 신호를 폰북에 연계 저장하는 경우, 상기 샘플링된 신호를 웨이브 파일로 변환하며 폰북의 발신자 정보와 연계 기록저장하여 착신벨 신호로 설정하는 폰북과정을 특징으로 하여, 착신벨 소리 신호만으로 발신자의 신원을 확인하고, 앞을 보지 못하는 맹인도 발신자의 신원을 확인하는 효과가 있다.
Patent KR-100532553-B1 (KR)
Title: 반도체 웨이퍼 표면연마공정의 엔드포인트 검출방법 및 그장치
IPC: H01L21/304
Filed: 2003-03-25
Granted: 2005-12-01
Abstract: 본 발명은 반도체 웨이퍼 표면연마공정의 엔드포인트 검출방법 및 그 장치에 관한 것으로, 그 방법은, 웨이퍼 표면 막층에 백색광을 조사하여 반사된 분광간섭신호를 측정하는 단계와, 기 설정된 기준분광신호와 반사된 분광간섭신호 간의 광량을 비교연산 처리하여 조정된 분광간섭신호를 추출하는 단계와, 상기 분광간섭신호를 중앙처리장치부의 논리회로에 의해 로직연산 처리하여 잡음을 제거한 분광간섭신호를 추출하는 단계와, 상기 분광간섭신호의 특정기준점에 대한 파장 값을 추출하는 단계와, 막층 두께 계산식에 의해 상기 분광간섭신호 파형의 특정기준점에 대한 두께 변화 값을 연산 처리하는 단계와, 산출된 두께 변화 값이 상기 분광간섭신호 파형의 특정 추적 시작점의 두께에 도달하였는가를 비교하는 단계와, 상기 두께 변화 값이 설정 두께 값에 도달한 경우에 상기 분광간섭신호의 파장값을 검출하는 단계와, 기 설정된 추적 종료점의 파장 값과 검출된 파장값이 상기 설정 파장 값에 도달하였는가를 비교하는 단계와, 상기 검출된 파장값이 상기 설정 파장 값에 도달한 경우에 엔드포인트를 감지하고 웨이퍼 연마공정을 종료하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100482659-B1 (KR)
Title: 리튬 이차 전지의 극판 코팅의 제조방법 및 그 장치
IPC: H01M2/10
Filed: 2003-04-07
Granted: 2005-04-14
Abstract: 본 발명은 리튬 이차 전지의 극판 코팅의 제조 방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 특히 코팅 노즐에 주입전에 슬러리를 고속 교반시켜 활물질과 도전재의 분산도를 높여 극판에 코팅하는 방법을 사용하여 전지의 성능을 향상시킨 리튬 이차 전지의 극판 코팅의 제조 방법 및 그 장치에 관한 것이다. 
     본 발명에 따른 리튬 이차 전지의 극판 코팅의 제조 방법 및 그 장치는 활물질과 도전재의 분산도를 높혀 전해약과의 반응성 및 반응효율이 우수한 전극을 제작할 수 있어 리튬 이차 전지에 적용 시 고율 방전 특성과 장기간의 충방전 과정에서 용량 유지율이 높게 나타나므로 리튬 이차 전지의 전지 수명적 특성을 향상시키는 효과가 있다.
Patent KR-100586326-B1 (KR)
IPC: A01G1/04
Filed: 2003-04-03
Granted: 2006-06-07
Abstract: 본 발명은 제주자생식물의 일종인 손바닥 선인장( Opuntia ficus-indica var. saboten )의 열매와 줄기 등을 배지로 이용하여 대량의 버섯 균사체를 생산하며, 또한 배양된 균사체 및 배양액으로부터 유용한 성분을 수득할 수 있는 버섯 균사체의 배양방법에 관한 것이다. 
     본 발명은 제주산 손바닥 선인장의 열매와 줄기 등을 배지로 하여 버섯 균사체를 배양하는 방법으로서, 더욱 상세하게는 제주산 손바닥 선인장의 열매, 줄기 뿐만 아니라 동결건조에 의해 제조된 각 분말 등을 배지로 하여 고온고압습윤 멸균시킨 후 여기에 버섯 균사체를 접종하여 배양한다. 배양된 버섯 균사체 배양물은 버섯 균사체가 갖는 원래의 생리활성 효과 이외에 손바닥 선인장의 항산화 효과, 노화억제 효과, 호흡기 천식의 예방효과 등의 기능성을 추가적으로 갖게되어 버섯 균사체 배양물의 기능성을 개선시킬 수 있다. 
       
     제주자생식물, 손바닥 선인장(Opuntia ficus-indica var. saboten), 버섯 균사체 배양, 생리활성
Patent KR-100511792-B1 (KR)
Title: 플라즈마 디스플레이 패널의 에너지 회수장치 및 회수방법
IPC: G09G3/296
Filed: 2003-04-16
Granted: 2005-09-02
Abstract: 본 발명은 스위치 소자에 의한 전류의 도통손실을 최소화시키고 회로구성을 간소화시킬 수 있도록 한 플라즈마 디스플레이 패널의 에너지 회수장치 및 회수방법에 관한 것이다. 
     본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널과, 서스테인전압을 발생하는 전원과, 상기 전원에 의해 상기 패널의 전압이 상기 서스테인 전압으로 유지되는 동안 상기 전원으로부터의 에너지를 충전하는 인덕터와, 상기 인덕터에 에너지가 충전된 상태에서 상기 패널과 상기 전원 사이의 패스를 차단하여 상기 인덕터에 역전압이 유기되게하고 상기 역전압이 상기 패널에 공급되게 하는 스위치 소자들을 구비한다.
Patent KR-100491553-B1 (KR)
Title: 오폐수 정화 장치 및 방법
IPC: C02F3/12
Filed: 2003-04-18
Granted: 2005-05-27
Abstract: 본 발명은 하나 이상의 미생물 군집을 갖는 활성 슬러지조, 활성 슬러지조를 폭기하는 폭기 장치, 활성 슬러지조 중의 산소 농도를 측정하는 측정 장치, 및 제어 장치를 구비하고, 제어 장치에는 측정 장치에 의해 탐지된 측정치를 저장하는 저장 유닛 및 저장 유닛에 저장된 측정치로부터 활성 슬러지조 중의 산소의 감소 속도를 계산하고 그 계산된 산소 감소 속도에 입각하여 폭기 장치를 작동시키는 지속 시간을 계산해낼 수 있도록 형성된 연산 유닛이 마련되는 오폐수 정화 장치에 관한 것이다.  또한, 본 발명은 그 장치를 작동시키는 방법에 관한 것이기도 하다.
Patent KR-100564780-B1 (KR)
Title: Substrate treating apparatus
IPC: B05C9/14
Filed: 2003-04-26
Granted: 2006-03-27
Abstract: A substrate treating apparatus disclosed herein realizes improved throughput. The substrate treating apparatus according to this invention includes an antireflection film forming block, a resist film forming block and a developing block arranged in juxtaposition. Each block includes chemical treating modules, heat-treating modules and a single main transport mechanism. The main transport mechanism transports substrates within each block. Transfer of the substrates between adjacent blocks is carried out through substrate rests. The main transport mechanism of each block is not affected by movement of the main transport mechanisms of the adjoining blocks. Consequently, the substrates may be transported efficiently to improve the throughput of the substrate treating apparatus.
Patent KR-100939188-B1 (KR)
IPC: H05B44/00
Filed: 2003-05-06
Granted: 2010-01-28
Abstract: 액티브 매트릭스 기판의  단계에서  점결함,  선결함  또는  휘도불량을  검사할  수  있는  액티브 매트릭스 기판의  검사방법을  제공한다. 
     검사대상은,  복수의  신호선14,  복수의  주사선10  및  복수의  전압공급선16의  각  1개에  각각  접속되는  복수의  화소20을  구비하고,  복수의  화소20  각각은  신호선  및  주사선에  접속되는  화소선택 트랜지스터Q1과  동작 트랜지스터Q2를  포함하고,  동작 트랜지스터Q2는,  게이트G2가  화소선택 트랜지스터Q1에  접속되고,  드레인D2에  전압공급선이  접속되고,  소스S2가  오픈 상태인  액티브 매트릭스 기판이다.  이  검사방법은,  검사장치에서  전위를  공급하여  동작 트랜지스터Q2의  게이트-드레인  사이의  기생용량Cdgo를  충전하고,  기생용량Cdgo에  축적된  전하를  방전시켜서  그  기생용량Cdgo에  의거한  방전전류를  검사장치에서  계측하고,  그  방전전류치에  의거하여  복수의  화소20의  결함을  검사장치에서  판정한다.
Patent KR-100993130-B1 (KR)
IPC: H01L29/786
Filed: 2003-05-16
Granted: 2010-11-10
Abstract: 본 발명의 목적은 적층체(laminate) 내의 피박리체(object to be peeled)에 손상을 주지 않고 단시간에 피박리체를 전사체(transferring member)에 전사하는 방법을 제공하는 것이다. 또한, 본 발명의 다른 목적은 기판 상에 제작한 반도체 소자를 전사체, 대표적으로 플라스틱 기판에 전사하는 반도체 장치 제작 방법을 제공하는 것이다. 상기 방법은, 기판 상에 박리층(peeling layer)과 피박리체를 형성하는 단계와; 양면 테이프를 통해 상기 피박리체와 지지체를 접착하는 단계와; 상기 박리층으로부터 상기 피박리체를 물리적인 방법으로 박리한 후 상기 피박리체를 전사체에 접착하는 단계와; 상기 피박리체로부터 상기 지지체와 상기 양면 테이프를 박리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 
       
     적층체, 피박리체, 전사체, 반도체 소자, 박리층, 양면 테이프, 지지체
Patent KR-100519309-B1 (KR)
Title: 신선공기 공급장치를 구비한 공조시스템
IPC: F24F1/0071
Filed: 2003-06-03
Granted: 2005-10-10
Abstract: 본 발명은 천장형 에어컨 및 환기시스템의 설치를 간편하게 한 환기일체형 공조시스템을 제공함과 더불어, 단순한 환기가 아닌 인체에 좋은 영향을 주는 신선공기를 제공할 수 있도록 한 공조시스템을 제공하기 위한 것이다. 
     이를 위해, 본 발명은 실내 천장에 설치되는 실내기(50a)와 실외에 설치되는 실외기(50b) 및, 상기 실내기(50a)와 실외기(50b)를 연결하는 냉매배관(7)을 포함하여 이루어진 천장형 공기조화기; 상기 실외기(50b)측에 설치되어 실내기(50a)를 통해 실내로 신선공기를 공급하는 신선공기 공급수단(FASM; Fresh Air Supply Means)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 공조시스템이 제공된다.
Patent KR-100524649-B1 (KR)
Title: 정보 자산의 위험 분석 시스템
Filed: 2003-06-04
Granted: 2005-10-31
Abstract: 본 발명은 하드웨어, 소프트웨어 등을 포함하는 정보 자산에 대한 물리적, 인위적, 사회적인 위협들에 대한 위험도를 분석하는 정보 자산의 위험 분석 시스템에 관한 것이다.  
     본 발명에 따른 위험 분석 시스템은 자산에 영향을 미치는 위협을 선택하고 평가하는 위협분석부(100)와, 파악된 위협에 노출된 자산들을 목록화하고 개별자산에 대해 평가하는 자산분석부(200)와, 진단대상에 대해 물리적, 관리적, 기술적 취약성 진단을 실행하는 취약성 분석부(300)와, 위험분석부(400)는 위협도와 자산의 가치 및 취약도로부터 위험도를 산출하고, 각각의 위험별로 발생가능성을 평가하는 위험분석부(400)를 포함한다.   
     본 발명의 특징적인 양상에 따라 위험 분석은 위험 모델에 기초하여 이루어진다. 위험 분석 모델은 위협과 취약성과의 매핑 관계의 유무에 따라 , 추가적으로 위협과 단일 자산군과의 매핑 관계의 유무에 따라 정해진다.
Patent KR-100492355-B1 (KR)
Title: 내부 타이머 가변기능을 갖는 전기밥솥 및 그 제어방법
IPC: A47J27/00
Filed: 2003-06-16
Granted: 2005-05-30
Abstract: 내부 타이머 가변기능을 갖는 전기밥솥 및 그 제어방법에 관한 것으로, 다수개의 내부 타이머를 구비한 전기밥솥에서, 사용자가 원하는 각종 동작모드 설정 및 요구명령을 입력하기 위한 키 입력부와, 상기 키 입력부를 통해 소정 명령이 입력되면 기 장착된 다수개의 내부 타이머중 어느 하나의 인터럽트 주기를 가변 시켜 이상발생 예상 시간을 카운팅 하고, 그에 따라 이상발생 여부를 파악하여 제어신호를 출력하는 마이컴과, 상기 마이컴의 제어신호에 따라 이상발생 여부를 표시하기 위한 디스플레이부를 포함하여 구성되며, 전기 보온밥솥 사용시 보온 또는 예약 도중에 발생되는 불량 여부를 파악하는데 있어서 내부 타이머의 인터럽트 주기를 가변 시킴에 따라 보다 빠른 시간에 불량 여부를 파악할 수 있으므로 테스팅 시간을 단축시킬 수 있으며, 불량 여부를 파악하는데 소요되는 테스팅 시간을 단축시킴에 따라 불량에 따른 대응이 보다 신속하게 이루어질 수 있으므로 제품의 신뢰성을 높일 수 있는 효과가 있다.
Patent KR-100564089-B1 (KR)
IPC: C01G19/02
Filed: 2003-06-19
Granted: 2006-03-24
Abstract: 주석산화물 분말을 제조하는 방법에 관한 것으로, 그 목적은 작업자에게 안전하고 환경친화적이며 간단하고도 저렴한 공정으로 고순도의 나노미터 크기의 극미립 주석산화물 분말을 제조하는 데 있다. 이를 위해 본 발명에서는 베타상의 주석괴 또는 주석합금괴를 13℃ 이하의 온도로 저온상태를 유지하여 알파상으로 상변태시키는 제1단계; 상변태된 주석괴 또는 주석합금괴에 기계적 충격을 가하여 미세분말로 만드는 제2단계; 및 주석 또는 주석합금 미세분말을 산화시켜 주석산화물 분말을 얻는 제3단계를 포함하여 주석산화물 분말을 제조하며, 이 때, 제3단계 이후에 주석산화물 분말을 파쇄하여 나노미터 크기의 극미립 주석산화물 분말을 얻을 수 있고, 제1단계 이전에는, 주석괴 또는 주석합금괴에 대해 압연, 단조 또는 스크래치 가공 등, 기계적 가공을 수행하여 주석의 저온 변태를 촉진시킬 수 있다. 
       
     주석산화물, 상변태, 산화
Patent KR-100525098-B1 (KR)
Title: 반도체 메모리 소자의 셀 제조방법
IPC: H01L21/8242
Filed: 2003-06-28
Granted: 2005-11-01
Abstract: 본 발명은 반도체 메모리 소자의 컨택 플러그 이온주입시 발생되는 채널링(Channeling) 현상을 방지하는 반도체 메모리 소자의 셀 제조방법을 개시한다. 개시된 본 발명은 반도체 기판에 소자분리막을 형성하여 액티브 영역을 정의하는 단계; 상기 반도체 기판상의 액티브 영역에 복수의 게이트 패턴을 형성하는 단계와, 상기 결과물의 상부에 스페이서용 절연막을 증착하는 단계와, 상기 결과물의 상부에 층간절연막을 증착하는 단계와, 상기 반도체 기판상의 액티브 영역에 셀 컨택 영역을 정의하고, 상기 스페이서용 절연막과 상기 층간절연막을 식각하여 상기 셀 컨택 영역의 반도체 기판이 노출되도록 컨택홀을 형성하는 단계와, 상기 노출된 반도체 기판에 불순물을 소정의 각도로 경사이온주입하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100537928-B1 (KR)
Title: 반도체소자의 패턴 두께 정보 공유 시스템 및 방법
IPC: H01L21/00
Filed: 2003-07-01
Granted: 2005-12-20
Abstract: 본 발명은 소정의 증착공정을 통해 반도체 기판 상에 물질층 패턴이 증착되고 상기 물질층 패턴을 연마 대상물으로 하는 화학기계적 연마 공정이 진행되는 과정에서 상기 연마 대상물의 두께 측정 과정을 간소화시킬 수 있는 반도체 소자의 패턴 두께 정보 공유 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 
     본 발명에 따른 반도체소자의 패턴 두께 정보 공유 시스템은 증착 설비, CMP 설비 및 계측 설비와 소정의 통신연결관계를 맺은 상태에서, 상기 증착 설비에서의 증착 공정으로 형성된 패턴에 대하여 상기 계측 설비에 의해 측정된 두께 정보를 분류하여 자체 내의 해당 영역에 선택적으로 저장하는 패턴 두께 정보 DB와, 상기 패턴 두께 정보를 상기 패턴 두께 정보 DB의 필요 영역에 선택적으로 저장하거나 출력하는 DB 관리모듈과, 상기 DB 관리모듈과 소정의 통신관계를 형성하며, 상기 계측 설비에 의해 측정된 패턴 두께 정보를 상기 DB 관리모듈을 매개로 상기 패턴 두께 정보 DB에 선택적으로 저장하거나 저장된 패턴 두께 정보를 추출하여 상기 CMP 설비로 전달하는 역할을 수행하는 패턴 두께 정보 제어모듈을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100558903-B1 (KR)
IPC: H05K3/40
Filed: 2003-07-01
Granted: 2006-03-10
Abstract: 다층 기판 형성용 소자판(素板)의 검사 장치는, 보호 필름(81)을 부착한 다층 기판형성용 소자판(21)에 빛을 조사하고, 보호 필름(81)의 부착면의 화상을 카메라(2)로 촬영하고, 비아홀(24)의 부분과 보호 필름(81)의 빛의 반사율이 서로 다른 것에 기초하여 비아홀(24)의 양호상태를 검사한다. 보호 필름(81)에는 빛의 반사율을 저감하도록 착색을 하고, 비아홀(24)에 있어서의 반사율과 보호 필름(81)에 있어서의 반사율에 명확한 차이를 발생시킨다. 따라서, 카메라(2)에 의해 촬영된 화상에 기초하여, 그 크기나 먼지의 부착의 유무 등, 비아홀(24)의 양호상태를 고정밀도로 검사할 수 있다. 
       
     다층 기판,소자판, 보호 필름, 검사 장치, 검사 방법
Patent KR-100567230-B1 (KR)
IPC: C09K3/14
Filed: 2003-07-14
Granted: 2006-04-03
Abstract: 본 발명은 화학 및 기계적 연마용 슬러리에 첨가되는 화학제에 관한 것으로, 보다 상세하게는 폴리옥시에틸렌과 폴리옥시프로필렌의 화합물과 인산알킬화합물로 이루어진 화학 첨가제에 관한 것이다. 
     본 발명은 폴리옥시에틸렌과 폴리옥시프로필렌의 화합물 50∼100 중량%와 인산알킬화합물 0∼50 중량%로 이루어진 화학 첨가제를 종래 화학적 기계적 연마용 슬러리에 첨가하여 CMP 슬러리에서 컨디셔너의 부식을 억제하고 포스트-크리닝 시 세정성을 대폭 개선하였다. 
       
     폴리옥시에틸렌, 폴리옥시프로필렌, CMP, 컨디셔너, 세정성