Patent DE-212018000128-U1 (DE)
Title: Zweistrahlinterferenz-Kalibrierungsvorrichtung für ein Laservibrometer
IPC: G01H9/00
Filed: 2018-01-15
Abstract: Zweistrahlinterferenz-Kalibrierungsvorrichtung für ein Laservibrometer, wobei ihre Objektvorrichtung ein zu prüfendes Laservibrometer (16) ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Zweistrahlinterferenz-Kalibrierungsvorrichtung eine Standardlaserquelle (1), einen ersten optischen Isolator (2), einen ersten Polarisationsstrahlteiler (3), einen zweiten Polarisationsstrahlteiler (12), eine Linse (4), eine A/4-Wellenplatte (5), einen piezoelektrischen Ausleger (6) , ein erstes Umlenkprisma (7), ein zweites Umlenkprisma (8), ein drittes Umlenkprisma (9), ein viertes Umlenkprisma (10), ein fünftes Umlenkprisma (14), eine erste λ/2-Wellenplatte (11), eine zweite A/2-Wellenplatte (13), einen zweiten optischen Isolator (15), eine Antriebsstromquelle (17), eine Signalerzeugungseinrichtung (18) und ein Datenerfassungssystem (19) umfasst, wobei die Antriebsstromquelle (17) für den piezoelektrischen Ausleger (6) verwendet und mit diesem verbunden ist, wobei ein Ausgang der Signalerzeugungseinrichtung (18) mit einem Eingang der Antriebsstromquelle verbunden ist, ein Ausgang der Antriebsstromquelle (17) mit einer positiven Elektrode und einer negativen Elektrode des piezoelektrischen Auslegers (6) verbunden ist, wobei der piezoelektrische Ausleger (6) an einem präzisen Stellungseinstell-Mechanismus befestigt ist;
 wobei die Signalerzeugungseinrichtung (18) dafür vorgesehen ist, ein Schwingungserregungssignal zu erzeugen und das Schwingungserregungssignal an die Antriebsstromquelle (17) zu übermitteln,
 wobei die Antriebsstromquelle (17) dafür vorgesehen ist, das von der Signalerzeugungseinrichtung übermittelte Schwingungserregungssignal zu empfangen und nach der Verstärkung des Schwingungserregungssignals es in den piezoelektrischen Ausleger (6) einzugeben, um den Ausleger schwingen zu lassen;
 wobei die Zweistrahlinterferenz-Kalibrierungsvorrichtung so konfiguriert ist, dass ein linear polarisiertes Licht, das von der Standardlaserquelle (1) ausgesendet ist, durch den ersten optischen Isolator (2) läuft und dann an den ersten Polarisationsstrahlteiler (3) gelangt, wobei der senkrecht zur Horizontalebene geschwungene Lichtanteil des linear polarisierten Lichts, das an den ersten Polarisationsstrahlteiler gelangt, zum ersten Umlenkprisma (7) reflektiert ist und ein Referenzlicht bildet, während der parallel zur Horizontalebene geschwungene Lichtanteil des linear polarisierten Lichts, das an den ersten Polarisationsstrahlteiler gelangt, durch den ersten Polarisationsstrahlteiler (3) und die Linse (4) nacheinander durchtritt und von der Linse fokussiert ist, wobei dieser Lichtanteil dann durch die λ/4-Wellenplatte (5) läuft und auf die Oberfläche des piezoelektrischen Auslegers (6) eintritt, um ein Detektionslicht zu bilden, wobei das Detektionslicht nach Reflektion an der Oberfläche des piezoelektrischen Auslegers (6) wieder durch die λ/4-Wellenplatte (5) hindurch läuft, so dass die Polarisationsrichtung des Detektionslichts um 90° gedreht ist, so dass das Detektionslicht eine senkrecht zur horizontalen Richtung laufende Schwingung darstellt, wodurch das Detektionslicht am ersten Polarisationsstrahlteiler (3) reflektiert ist und dann nach dem Durchtritt durch das zweite Umlenkprisma (8), das dritte Umlenkprisma (9), das vierte Umlenkprisma (10) und die erste λ/2-Wellenplatte (11) nacheinander an den zweiten Polarisationsstrahlteiler (12) gelangt, wobei das Referenzlicht nach dem Durchtritt durch das erste Umlenkprisma (7), die zweite λ/2-Wellenplatte (13) und das fünfte Umlenkprisma (14) nacheinander an den zweiten Polarisationsstrahlteiler (12) gelangt, wobei das Detektionslicht und das Referenzlicht am zweiten Polarisationsstrahlteiler (12) zusammengeführt sind, um miteinander zu interferenzieren, wobei das mit der Interferenz gebildete Licht nach Durchtritt durch den zweiten optischen Isolator (15) für die Eingabe in das zu prüfende Laservibrometer (16) zur Verfügung steht,
 wobei das zu prüfende Laservibrometer für die Umwandlung der Frequenz des durch die Interferenz gebildeten Lichts in ein Spannungssignal geeignet ist, wenn es das durch die Interferenz gebildete Licht empfängt;
 wobei das Datenerfassungssystem (19) dafür vorgesehen ist, das Spannungssignal von dem zu prüfenden Laservibrometer zu empfangen und das empfangene Spannungssignal mit einem bestimmten analogen Standardspannungssignal zu vergleichen.