Patent DE-112013005243-B4 (DE)
Title: Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung und Programm
Inventor: YAMASHITA MITSUGU
IPC: H01J37/24
Filed: 2013-11-20
Granted: 2022-06-02
Abstract: Mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung zum Bestrahlen einer Probe (17) mit einem Strahl geladener Teilchen (4), um ein Bild der Probe (17) zu erzeugen, wobei die mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung Folgendes umfasst:eine Anzeigevorrichtung (16), welche wenigstens einen Bildanzeigeteil (201) zum Anzeigen des Bilds der Probe (17) anzeigt,eine Zeigevorrichtung (19), die einen auf einer Bildschirmdarstellung der Anzeigevorrichtung (16) angezeigten Zeiger (220) betätigt, um ein auf der Bildschirmdarstellung angeordnetes Objekt auszuwählen und zu bewegen,einen ersten Einstellwert-Einstellachsen-Anzeigeteil (202), der entlang dem Bildanzeigeteil (201) auf der Bildschirmdarstellung der Anzeigevorrichtung (16) angeordnet ist und teilweise eine Einstellwert-Einstellachse (203) zum Anzeigen zumindest eines Einstellwerts, der zum Steuern der mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitenden Vorrichtung verwendet wird, anzeigt, wobei der zumindest eine Einstellwert den Fokus, die Vergrößerung, die Helligkeit, den Kontrast, den Astigmatismus in einer X-Achsenrichtung und den Astigmatismus in einer Y-Achsenrichtung umfasst,einen ersten Einstellungsschieber (205), der auf der Einstellwert-Einstellachse (203) angeordnet ist und dafür eingerichtet ist, durch den mit der Zeigevorrichtung (19) betätigten Zeiger (220) entlang der Einstellwert-Einstellachse (203) bewegt zu werden,einen zweiten Einstellungsschieber (204), der auf der Einstellwert-Einstellachse (203) angeordnet ist und darauf positioniert wird, um den Einstellwert zu bestimmen, so dass die mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung dazu steuerbar ist, ein gewünschtes Bild durch Einstellen des Einstellwerts zu erhalten, undeine Steuervorrichtung (100), um den zweiten Einstellungsschieber (204) zu veranlassen, sich in einer fest gekoppelten Beziehung mit der Betätigung des Zeigers (220) zur Bewegung des ersten Einstellungsschiebers (205) entlang der Einstellwert-Einstellachse (203) zu bewegen,wobei die Steuervorrichtung (100) die Bewegungsstrecke des zweiten Einstellungsschiebers (204) kürzer macht als jene des ersten Einstellungsschiebers (205), falls der erste Einstellungsschieber (205) in einem angezeigten Bereich (209) der Einstellwert-Einstellachse (203) im ersten Einstellwert-Einstellachsen-Anzeigeteil (202) mit Ausnahme seiner beiden Enden positioniert ist,wobei die Steuervorrichtung (100) den ersten Einstellungsschieber (205) unbewegt hält, während der zweite Einstellungsschieber (204) allein in Richtung eines der beiden Enden des angezeigten Bereichs (209) bewegt wird, falls der erste Einstellungsschieber (205) zumindest am einen der beiden Enden des angezeigten Bereichs (209) der Einstellwert-Einstellachse (203) im ersten Einstellwert-Einstellachsen-Anzeigeteil (202) positioniert ist, falls der zweite Einstellungsschieber (204) auch im angezeigten Bereich (209) mit Ausnahme seiner beiden Enden positioniert ist und falls der erste Einstellungsschieber (205) durch den Zeiger (220) selektiv zu betätigen ist.