baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent RU-2015105756-A (RU)
Title: Способ для управления парком ветроустановок
IPC: H02J3/16
Filed: 2013-07-02
Abstract: 1. Способ управления парком (200) ветроустановок, содержащим несколько ветросиловых установок (202), чтобы подавать электроэнергию в электросеть (206) переменного тока в точке (204) общего присоединения (PCC), содержащий этапы, на которых:- подают трехфазный ток в точке (204) общего присоединения,- идентифицируют напряжение (U) электросети в точке общего присоединения,- сравнивают напряжение (U) электросети, которое идентифицировано в точке (204) общего присоединения, с, по меньшей мере, одним предварительно определенным заданным значением,- определяют заданные значения для ветросиловых установок (202) в зависимости от сравнения, выполняемого для того, чтобы удовлетворять критерию стабильности в точке (204) общего присоединения,- передают упомянутые определенные заданные значения в модули (212) управления станций отдельных ветросиловых установок (202), и- генерируют электрический токв каждой из ветросиловых установок (202) в зависимости от предварительно определенных заданных значений для объединенной подачи в точке (204) общего присоединения.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что:- ток (I), подаваемый в точке (204) общего присоединения, идентифицируется и измеряется, в частности, в точке (204) общего присоединения,- идентификация подаваемого тока (I), идентификация напряжения (U) электросети в точке (204) общего присоединения, сравнение напряжения (U) электросети, идентифицированного в точке (204) общего присоединения, по меньшей мере, с одним предварительно определенным заданным значением, и/или определение заданных значений выполняется посредствомцентрального модуля (208) управления,- заданные значения определяются в зависимости, по меньшей мере, от одного переменного критерия стабильности, при этом критерий
Patent RU-2015107266-A (RU)
Title: Элемент вставного соединения
IPC: A61M39/10
Filed: 2015-03-03
Abstract: 1. Элемент (1) вставного соединения, содержащий основной корпус (2), который имеет соединительный геометрический элемент (3) для трубопровода (4) для текучей среды и приемное отверстие (5), в области которого расположено захватное устройство (6), содержащее несколько захватов (7), расположенных в окружном направлении на расстоянии друг от друга и имеющих возможность наклона в радиальном направлении внутрь,отличающийся тем, что захваты (7) расположены на кольце (10), закрепленном на основном корпусе (2), причем основной корпус (2) имеет открытый в радиальном направлении наружу окружной паз (11), в котором установлено указанное кольцо (10).2. Элемент вставного соединения по п. 1, отличающийся тем, что захваты (7) закреплены на основном корпусе (2) с предварительным напряжением в радиальном направлении наружу.3. Элемент вставного соединения по п. 1, отличающийся тем, что толщина кольца (10) в осевом направлении приемного отверстия (5) меньше ширины окружного паза (11).4. Элемент вставного соединения по п. 1, отличающийся тем, что предусмотрена подвижная втулка (17), которая установлена с возможностью перемещения относительно основного корпуса (2) и в первом положении воздействует на захваты (7) в радиальном направлении внутрь, а во втором положении освобождает пространство для наклона захватов (7) в радиальном направлении наружу.5. Элемент вставного соединения по п. 4, отличающийся тем, что подвижная втулка (17) установлена с возможностью перемещения с компонентой в осевом направлении приемного отверстия (5).6. Элемент вставного соединения по п. 4 или 5, отличающийся тем, что подвижная втулка (17) установлена с возможностью перемещения с компонентой в окружном направлении приемного отверстия (5).7. Элемент вставного
Patent RU-2015110639-A (RU)
Title: Теплообменная цепь с эллиптическими проволочными звеньями с повышенной износостойкостью и улучшенной теплопередачей
IPC: F27B7/16
Filed: 2013-08-28
Abstract: 1. Теплообменная цепь, отличающаяся тем, что содержит кольцевые звенья эллиптического поперечного сечения.2. Цепь по п. 1, отличающаяся тем, что большая ось эллиптического поперечного сечения проходит в диаметральном направлении кольцевого звена.3. Цепь по п. 1, отличающаяся тем, что звенья выполнены из стальных сплавов или углеродистой стали.4. Цепь по п. 1, отличающаяся тем, что отношение большей оси эллипса к меньшей оси эллипса больше 1,5 и меньше 3.5. Цепь по п. 4, отличающаяся тем, что отношение большей оси эллипса к меньшей оси эллипса равно 2.
Patent RU-2015113501-A (RU)
Title: Продукт из оксида хрома
IPC: C04B35/105
Filed: 2013-10-15
Abstract: 1. Спеченный огнеупорный продукт, имеющий заполнитель, связанный матриксом, и содержащий в процентном соотношении по массе оксидов:- более 40 масс. % оксида хрома CrO,- менее 50 масс. % оксида алюминия АlO,- 1 масс. % или более оксида циркония ZrO, по меньшей мере 20 масс. % которого стабилизировано в кубической и/или тетрагональной форме,- 0,1 масс. % или более оксида иттрия YO, действующего в качестве стабилизатора оксида циркония ZrO,- менее 1,9% оксида гафния HfO,причем общее содержание оксида хрома, оксида алюминия и оксида циркония CrO+AlO+ZrOсоставляет более 70 масс. %.2. Продукт по п. 1, в котором:- содержание оксида хрома CrOсоставляет более 65 масс. % и/или- содержание оксида алюминия АlOсоставляет менее 35 масс. %, и/или- содержание оксида циркония ZrOсоставляет более 3 масс. %, и/или- содержание оксида иттрия YOсоставляет более 0,2 масс. %, и/или- общее содержание оксида хрома, оксида алюминия и оксида циркония CrO+AlO+ΖrOсоставляет более 80 масс. %,в процентном соотношении по массе оксидов.3. Продукт по п. 2, в котором:- содержание оксида хрома CrOсоставляет более 75 масс. %, и/или- содержание оксида алюминия АlOсоставляет менее 10 масс. %, и/или- содержание оксида циркония ZrOсоставляет более 4,5 масс. %, и/или- содержание оксида иттрия YOсоставляет более 0,3 масс. %, и/или- общее содержание оксида хрома, оксида алюминия и оксида циркония CrO+AlO+ZrOсоставляет более 90 масс. %, и/или- суммарное содержание оксида хрома CrО, оксида, алюминия AlO, оксида циркония ZrO, оксида иттрия YO, оксида кальция СаО, оксида кремния SiO, оксида магния MgO, оксида титана ТiOи оксида гафния HfOсоставляет более 95 масс. %,в процентном соотношении по массе оксидов.4. Продукт по п. 3, в котором:- содержание оксида хрома CrOсоставляет более 80 масс. %, и/или- содержание оксида алюминия АlOсоставляет менее 5 масс. %, и/или- содержание оксида циркония
Patent RU-2015118807-A (RU)
Title: Виброизолятор сетчатый шайбовый
IPC: F16F15/00
Filed: 2015-05-20
Abstract: 1. Виброизолятор сетчатый шайбовый, содержащий основание, упругий сетчатый элемент и шайбы, взаимодействующие со втулками, отличающийся тем, что основание выполнено в виде пластины с крепежными отверстиями, сетчатый упругий элемент своей нижней частью опирается на основание и фиксируется нижней шайбой, жестко соединенной с основанием, а верхней частью фиксируется верхней нажимной шайбой, жестко соединенной с центрально расположенным кольцом, охватываемым соосно расположенным кольцом, жестко соединенным с основанием, а между нажимной шайбой и основанием расположен упругий элемент, выполненный в виде цилиндрической равночастотной пружины, имеющей переменный шаг t, обеспечивающий постоянство собственной частоты системы при любых нагрузках Р из заданного диапазона P≤Р≤Р, за счет своей осадки δгде Pи P- соответственно минимальная и максимальная нагрузки, при которых сохраняются условия равночастотности; P - нагрузка, удовлетворяющая условию P≤Р≤Р;δ- заданная начальная осадка пружины, отвечающая минимальной нагрузке Pи условию равночастотности: постоянству частоты собственных колебаний виброизолируемой системы при изменении массы этой системы в заданных пределах.2. Виброизолятор сетчатый шайбовый по п. 1, отличающийся тем, что плотность сетчатой структуры упругого сетчатого элемента находится в оптимальном интервале величин 1,2-2,0 г/см, причем материал проволоки упругих сетчатых элементов - сталь марки ЭИ-708, а диаметр ее находится в оптимальном интервале величин 0,09-0,15 мм.3. Виброизолятор сетчатый шайбовый по п. 1, отличающийся тем, что плотность сетчатой структуры внешних слоев упругого сетчатого элемента в 1,5 раза больше плотности
Patent SV-2005002008-A (SV)
Title: " sales de o-desmetilvenlafaxina de multiples particulas y sus usos " ref. am-101556salvo
Inventor: DIORIO CHISTIPHER RICHARD
IPC: A61K9/50
Filed: 2005-02-04
Abstract: SE DESCRIBE UNA O-DESMETILVENLAFAXINA (ODC) SUCCIONATO O FORMIATO DE MULTIPLES PARTICULAS, ADEMAS SE DESCRIBEN METODOS PARA TRATAR LA DEPRESION Y REDUCIR EFECTOS COLATERALES GASTROINTESTINALES DE LA ODV.
Patent UA-48636-A (UA)
Title: Device for indicating blow of a fuse
Filed: 2001-10-29
Abstract: The proposed device for indicating blow of a fuse contains a loading resistor, a light indicator, two capacitors, two resistors, two diode bridge circuits, an optocoupler with a light emitting diode and a photothyristor, and a power supply.
Patent UA-48739-A (UA)
Title: Low-alcohol beverage
Filed: 2001-11-27
Abstract: Low-alcohol beverage includes water, substance with sweet taste, ethyl alcohol – rectificate and flavouring with the taste and odour of southern fruits. As a flavouring with the taste and odour of southern fruits it includes flavouring with the peach taste and odour.
Patent UA-57585-A (UA)
Title: Cover for cans
Inventor: OSCHYPOK IHOR MYKOLAIOVYCH
Filed: 2002-10-24
Abstract: A cover for cans is composed of a cover casing, a sealing gasket and fastening elements. It also contains reinforcing plate with lugs and insertion part which contains a I-shaped crosspiece with lugs and ribs.
Patent UA-64178-A (UA)
Title: Utilizer of natural gas outbursts
Inventor: KOZAK LIUBOMYR YURIIOVYCH
IPC: F02C3/00
Filed: 2003-03-11
Abstract: A utilizer of natural gas outbursts has a shaft with an axial channel and a rotor of a jet-stream turbine. The rotor is placed on the shaft of the generator-electromotor, and to the rotor there are in diameter positions attached two jet stream propellers.
Patent UA-67522-A (UA)
Title: Device for measuring parameters of free-flowing bulk material
Inventor: LEKHTSIER OLEG LEONIDOVYCH
IPC: G01N9/24
Filed: 2003-10-10
Abstract: The proposed device for measuring parameters of free-flowing bulk material contains a measuring transducer, a unit for setting measurement period, a displacement-to-electric signal converter, a control unit, and additionally, a correction unit. The input of the correction unit is connected to the output of the displacement converter, and the output is connected to the input of the control unit.
Patent DK-201100965-A (DK)
Title: Indretning og fremgangsmåde til filetering af hovedkappede og for indvolde befriede fisk
Inventor: MICHAEL JUERS
IPC: A22C25/16
Filed: 2011-12-13
Abstract: Opfindelsen angår en indretning (10) til filetering af hovedkappede og for indvolde befriede fisk, omfattende et skæreaggregat (11) til filetering af fiskene, hvor skæreaggregatet (11) udviser mindst et rundknivpar (15, 16), en endeløst cirkulerende transportør (12) med mindst et saddelformet støttelegeme (13) til modtagelse af fiskene og transport af samme gennem skæreaggregaret (11) med halen forrest, hvor hvert støttelegeme (13) udviser en støttekant (21) til etablering af en formsluttende forbindelse med midterbenet (22) i den fisk, der skal forarbejdes, samt en indretning (14) til centrering af midterbenet (22) i forhold til støttelegemet (13), hvilken indretning udmærker sig ved, at der er tilvejebragt et organ til nedløftning af fiskenes midterben (22) fra støttelegemets (13) støttekant (21), som er placeret i området af indretningen (14) til centrering af midterbenet (22). Endvidere angår opfindelsen en tilsvarende fremgangsmåde.
Patent EC-SP20044715-A (EC)
Title: Una composición farmacéutica para la anemia
Inventor: MISHRA VEDPRAKASH
IPC: A61P25/00
Filed: 2020-07-31
Abstract: La presente invención está relacionada con una composición/formulación farmacéutica para su uso en el tratamiento de la Anemia por Deficiencia de Hierro (IDA), Anemia de Inflamación (AOI) y los trastornos neurodegenerativos. De modo más específico, la invención está relacionada con una composición/formulación farmacéutica que comprende una combinación sinérgica de lactoferrina y nucleótidos de guanosina naturales o una sal farmacéuticamente aceptable de estos. La aplicación también brinda diversas formulaciones y métodos para su preparación.
Patent EC-SP21028556-A (EC)
Title: Métodos y composiciones para terapia con células oculares
Inventor: MURRAY BRADLEY ANDREW
IPC: C12N5/0797
Filed: 2021-04-22
Abstract: La presente invención provee células oculares, genéticamente modificadas por un sistema CRISPR dirigido a la expresión de B2M para terapia celular ocular. La invención provee además métodos para generar una población expandida de células oculares genéticamente modificadas, por ejemplo, células madre limbares (LSC) o células endoteliales corneales (CEC), en donde las células se expanden con el uso de un inhibidor de LATS y la expresión de B2M en las células se ha reducido o eliminado. La presente invención además provee poblaciones celulares, preparaciones, usos y métodos de terapia que comprenden dichas células.
Patent GR-20190100086-A (GR)
Title: Bread loaf-shaped parizaki ham - preparation method thereof
Inventor: YFANTIS CHARALAMPOS KONSTANTINOU
IPC: A23L13/60
Filed: 2019-02-12
Abstract: The present invention relates to meat-based food products and, more particularly, to a bread loaf-shaped parizaki ham based on thermally-treated minced meat or pieces of meat; said products exhibit improved taste, consistency / texture and appearance; a method of making these products is also disclosed herein.
Patent IN-2015DN01220-A (IN)
Inventor: WANG XIAOLI
IPC: C08F220/04
Filed: 2015-02-16
Abstract: The present invention relates to a cleaning composition preferably a granular detergent product comprising a carboxyl group containing polymer which is useful in improving whiteness and/or anti soil redeposition. Processes for making and methods of using the cleaning composition are also encompassed by the present invention.
Patent IN-2014MN01940-A (IN)
Inventor: BERGMANN ANDREAS
IPC: G01N33/577
Filed: 2013-03-08
Abstract: Subject of the present invention is a method for predicting the risk of getting a cardiovascular event in a female subject comprising determining the level of pro neurotensin or fragments thereof of at least 5 amino acids in a bodily fluid obtained from said female subject; and correlating said level of pro neurotensin or fragments thereof with the a risk for getting a cardiovascular event wherein an elevated level is predictive for an enhanced risk of getting a cardiovascular event.
Patent IN-2014MN02007-A (IN)
Inventor: FRENNE MATTIAS
IPC: H04L5/00
Filed: 2013-03-19
Abstract: Time frequency resources in a single PRB pair are used for both frequency localized transmissions as well as distributed transmissions. A first control message is transmitted (2710) to a first user equipment (UE) using a first PRB pair using first subsets of resource elements that are aggregated in a frequency localizedmanner and that are transmitted using a single antenna port. A second control message to a second UE is simultaneously transmitted (2710) also using the first PRB pair using second subsets of resources that are aggregated in a frequency distributed manner across the first PRB pair and one or more additional PRB pairs and that are transmitted using at least two antenna ports including the single antenna port used to transmit the symbols in the first non overlapping subsets of resource elements.
Patent IN-2014MN02290-A (IN)
Inventor: TADA MASAKI
IPC: C22C38/00
Filed: 2013-06-03
Abstract: Provided are a three piece can having particularly high strength and a method for producing the same. The three piece can has a can shell section in which a steel sheet is molded so that the circularity of the can is 0.34 mm or less the steel sheet containing in mass% C: 0.020% 0.100% Si: 0.10% or less Mn: 0.10% 0.80% P: 0.001% 0.100% S: 0.001% 0.020% Al: 0.005% 0.100% and N: 0.0130% 0.0200% the remainder being composed of Fe and unavoidable impurities; the yield strength of the steel sheet being 440 MPa or greater and the total elongation of the steel sheet being 12% or more.
Patent IN-2012DN02344-A (IN)
Inventor: SCOTT ELIJAH LA
IPC: G01N21/15
Filed: 2010-08-27
Abstract: An anti-fouling submersible liquid sensor (100) is provided according to the invention. The anti-fouling submersible liquid sensor (100) includes a measurement chamber (102) including one or more liquid measurement sensors (121) and at least one chamber aperture (104), at least one gate (107), a gate actuator (128) configured to selectively move the at least one gate (107) between open and closed positions with regard to the at least one chamber aperture (104), and a radiation source (124) configured to inactivate at least a portion of a liquid sample in the measurement chamber (102). The anti-fouling submersible liquid sensor (100) is configured to admit the liquid sample into the measurement chamber (102), perform one or more measurements on the liquid sample, substantially inactivate biological material within the liquid sample with radiation from the radiation source (124), and hold the inactivated liquid sample until a next sample time.
Patent IN-2015DN02518-A (IN)
Inventor: WALDMANN THOMAS;
IPC: B21K13/00
Filed: 2013-09-05
Abstract: The invention relates to a method for producing a one- piece lock striker and to a lock striker produced according to said method. The lock striker (1) comprises a base plate (1) and a lock bracket (3). A metal starter blank (11) is formed into a lock striker by cold forming , in particular by cold upsetting. The starter blank (11) is substantially block -shaped or cylindrical and is formed in such a way that the lock striker (1) becomes strain -hardened.
Patent IN-2015DN03071-A (IN)
Inventor: ZAJACZKOWSKI MICHAEL
IPC: C09J133/00
Filed: 2013-10-10
Abstract: Cure in place pressure sensitive adhesive compositions are described that comprise one or more of a bodying component, a structural diluent, a radical diluent as well as additives such as crosslinkers ,external catalysts ,photoinitiators and stabilizers/ process aids. The bodying component can be acrylic or non -acrylic.
Patent IN-2014CN03318-A (IN)
Inventor: ITO YOSHITAKA
IPC: H01R4/18
Filed: 2012-09-28
Abstract: A conductor crimp section (13) has an approximately U shape in cross section and is connected in a crimped state to a conductor (Wa) of a wire terminal. The conductor crimp section (13) comprises a bottom plate (15) and a pair of conductor caulking pieces (13a) extending upwards from both left and right side edges of the bottom plate (15) for caulking to cover the conductor (Wa) disposed at an inner surface of the bottom plate (15). A concave shaped serration is disposed at an inner surface of the conductor crimp section (13). A plurality of circular concavities (20) are scattered separately as the concave shaped serration at the inner surface of the conductor crimp section (13). A diameter (d) of an inner bottom surface (21) of each of the circular concavities (20) is set within a range of from 0.15 mm (error range ±0.04 mm) to 0.8 mm (error range ±0.04 mm). A serration angle (?) is set within a range of from 60° to 90° which is formed by an inner side surface (22) and an extension surface (21a) of the inner bottom surface of each of the circular concavities (20). A minimum distance (b) of a planar section between circumferential edges of the circular concavities (20) adjoining each other is set at 0.17 mm (error range ±0.09 mm).
Patent IN-2012DN05164-A (IN)
Inventor: ARORA PANKAJ
IPC: H01M50/414
Filed: 2010-12-14
Abstract: The invention provides a method for enhancing the properties of polyimide nanowebs, the method comprising subjecting a nanoweb consisting essentially of a plurality of nanofibers of an aromatic polyimide to a temperature at least 50°C higher than the imidization temperature thereof for a period of time in the range of 5 seconds to 20 minutes, thereby preparing an enhanced nanoweb. Also provided is a multi-layer article comprising the enhanced nanoweb, and an electrochemical cell comprising the multilayer article.
Patent IN-2012DN05214-A (IN)
Inventor: LINDBOM LARS
IPC: H04W72/04
Filed: 2011-03-31
Abstract: A method and an arrangement (800) in a user equipment (420) for reporting Channel State Information, CSI, and a method and an arrangement (1000) in a base station (410) for obtaining CSI are provided. The user equipment (420) is in connection with the base station (410) in a cellular communication network (400). After receiving a receiving (702) a grant in a subframe n to be used for CSI reporting, from the base station, the user equipment determines (703) subfiame type of a subframe n+p. The user equipment then reports (704) to the base station, CSI reflecting channel conditions in the subfiame type of subfiame n+p. p is a variable value.
Patent IN-2014DN06862-A (IN)
Inventor: LUNTTILA TIMO ERKKI
IPC: H04W72/06
Filed: 2012-03-02
Abstract: The disclosure relates to allocation of resources for wireless communications. An index for a uplink control resource is determined in accordance with a predefined rule. The determining takes into account an index associated with a physical downlink resource and the amount of downlink resources to be mapped on the uplink control resource.
Patent IN-2014DN07195-A (IN)
Inventor: JARRIAULT MARINE
IPC: A24D3/17
Filed: 2012-12-28
Abstract: An aerosol generating article (10) comprises a plurality of elements assembled in the form of a rod (11). The plurality of elements includes an aerosol forming substrate (20) and a mouthpiece filter (50) located downstream from the aerosol forming substrate (20) within the rod (11). The aerosol generating article (10) further comprises a volatile flavour generating component (45) disposed between the aerosol forming substrate (20) and the mouthpiece filter (50) within the rod (11). In some embodiments the volatile flavour generating component (45) is supported by a low resistance support element (40) located between the aerosol forming substrate (20) and the mouthpiece filter (50). In some embodiments the volatile flavour generating component (45) is menthol.
Patent IN-2014DN07261-A (IN)
Inventor: LIM MOK KEUN
IPC: D01F8/12
Filed: 2013-03-07
Abstract: The present invention concerns a method of preparing a hybrid fiber including polyamide and polyester. Particularly the method of preparing a hybrid fiber comprises forming a blend by melting a) 4.99 to 95 % by weight of a thermoplastic polyamide resin b) 4.99 to 95 % by weight of a thermoplastic polyester resin and c) 0.01 to 10 % by weight of an epoxy resin at 250 to 300? and blend spinning and elongating 10 to 90 % by weight of the blend with 90 to 10 % by weight of a polyester resin. The hybrid fiber shows highly improved compatibility of the polyamide resin and the thermoplastic polyester resin and shows excellent strength and elongation.
Patent KR-950023495-A (KR)
Title: 볏짚을 이용한 내장재 제조방법
IPC: B27N3/00
Filed: 1994-01-31
Abstract: 본 발명은 볏짚을 이용한 내장재의 제조방법에 관한 것으로, 가성소다등과같은 수산화나트륨(21) 약 1KG과 가열조(2)에 물 약 30∼25ℓ(22)를 혼합 용해한 용융액(Q)에 세척한 볏짚(A)을 넣고 끓여 100℃ 이상으로 약 7∼12분간 삶는조(3)에서 삶아 용융액에서 가송소다액을 추출(4)하여 세척조(5)에서 약 1∼3회 세척시켜 미량의 가성소다만 잔존하도록 탈수조(6)에서 수분함량 10∼25%로 탈수하여 부드러워진 볏짚을 제조형틀(7)에서 압압강도를 조절하여 스치로폴과 같이 소프트한 쿳숀상태와 화이바와같이 견고한 상태로 성형후 건조하여 필요크기로 절단 사용할 수 있는 완제품을 얻으므로서 농촌에는 볏짚판매에 의한 이익을 추가적으로 얻개 하였으며, 제품의 원재료를 국내 농가에서 충당할 수 있어 외화를 낭비하지 않으며 원재료가 볏짚이므로 종래의 스치로폴이나 합성판재의 사용시 문제화됐던 산업쓰레기생성이 발생되지 않고 재활용할수도 있고 폐품처리시에는 식물성이므로 토지를 비옥하게 하는 비료의 역할을 겸할 수 있는 것이다.
Patent KR-940019406-A (KR)
Title: 연삭방법
IPC: B24B5/00
Filed: 1994-02-23
Abstract: 워크의 외주를 연삭할 때에, 진동마크가 발생하지 않도록 한다. 
     지석(砥石) G을 워크 W에 대하여 워크회전축선방향으로 상대이동시키고, 워크 W의 외주의 일부 연삭이 완료된 시점에서 슈(71)를 전진시키고, 이 슈(71)를 워크 W의 외주의 일부 연삭된 개소에 접촉시키고, 이러한 상태에서 워크 W의 외주의 나머지 부분을 연삭하도록 하였다.
Patent KR-950027978-A (KR)
Title: 이온주입장비의 웨이퍼 가열 시스템
IPC: H01L21/304
Filed: 1994-03-31
Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 제조에 사용되는 이온주입장비(lon Implantor)의 웨이퍼 가열 시스템(Wafer Heating System)에 관한 것으로, 에피-웨이퍼(Epi-Wafer)를 가열하면서 이온주입하기 위하여, 가열원(Heating Source)으로 텅스텐 할로겐 램프(Tungstem Haiogen Lamp)를 사용하고 온도측정용으로 5㎛파장을 검출하는 파이로메타(Pyrometer)를 이용하며, 반사효율을 극대화하면서 냉각(Cooling)기능을 할 수 있도록 수냉식 거울(Water-coold Mirror)벽을 사용하여, 빠른 가열 및 냉각(Heating & Cooling)이 가능하고 온도측정의 신뢰성을 증가시킬 수 있는 웨이퍼 가열 시스템에 관해 기술된다.