baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent CS-256663-B1 (CS)
Inventor: PASKOVA JIRINA
IPC: C07J9/00
Filed: 1985-10-31
Abstract: Způsob zvýšení syntézy ergosterolu
založený na tom, že se do živného média,
ve kterém je aerobním způsobem kultivována
biomasa kvasinek rodu Sacchromyces,
přidá bud jednorázově na počátku kultivace
nebo v podílech během kultivačního
procesu vedlejší produkt, vznikající při
průmyslové výrobě a rafinaci jedlých
rostlinných tuků, který obsahuje fytosterolový
koncentrát s obchodním označením
CHK^ nebo směs mastných kyselin s obsahem
fytosterolů s označením 183 D^. Přítomné
fytosteroly podporují růst kvasničné
biomasy a syntézu ergosterolu, potlačují
tvorbu nežádoucího dehydroergosterolu
a v závislosti na použité dávce dodaných
fytosterolů zvyšují množství syntetizovaného
ergosterolu z jednotky fermentačního
objemu.
Patent CS-269462-B1 (CS)
Inventor: MATTAUSCH PAVEL ING
IPC: G01N30/64
Filed: 1988-11-01
Abstract: Sešení je použitelné pro programové
řízení, zdigitalisování a zpracování výsledků
velkého počtu polarografických měření,
a to pro velmi rychle probíhající
měření děje. Účelem řeěení je snadné, rychlé,
přesné a reprodukovatelné řízení procesu
analýzy vzorků, zpracování výsledků měření
a jejich archivace, možnost programové
přípravy režimu činnosti pro velký .počet
měření a v navazující řadě i zvýšení
citlivostí metody, to vše zejména s využitím
přenšsných miniaturizovaných polarografických
a voltametrických systémů v nejširší
provozní praxi. Toho je dosaženo takovým
uspořádáním zapojení polarografického
systému, kde je řízení napájeni mikroelekťrodového
systému a snímání měřené veličiny
provedeno digitální formou synchronně
a rychle z jednoho místa pomocí
programu řídícího počítače.
Patent CS-258841-B1 (CS)
Inventor: JASINSKY ZDENEK
IPC: G02F1/01
Filed: 1986-10-08
Abstract: Očelem navrženého řešeni je docílení
zviditelnění jak příčného tak i podélného
či šikmého průtokového průřezu. Uvedeného
účelu se dosáhne sestavením zapojení ze
snímací jednotky tvořené otočným zářičem.
Kolem zářiče jsou uspořádány detektory
propojené svým výstupem s převodníkem, zařízením
pro vyhodnocování dat, zařízením
pro filtraci obrazu, dále zařízením pro
sestavení obrazu a na výstupu s monitorem.
Všechna zařízení jsou připojena na řídicí
počítač.
Patent CS-235279-B1 (CS)
Inventor: PRUSEK JAROSLAV
IPC: C25D21/12
Filed: 1983-10-19
Abstract: Zařízení pro řízení a simulaci
řízení výroby na galvanických linkách
sestává z operátoru, na jehož výstup je
připojena soustava akčních členů napojených
na galvanickou linku, na kterou je
také napojena soustava identifikátorů a
terminál; mezi soustavu identifikátorů
a operátor s akčními členy je zapojen
generátor řídicího programu, mezi generátor
řídicího programu a terminál s blokem
zadání je nepojen blok pro řízení
pracovního režimu. Operátor, soustava
akčních členů a soustava identifikátorů
mohou být vytvořeny ve formě simulátoru
galvanické linky.
Patent CS-267751-B1 (CS)
Inventor: DUDAS JURAJ ING
IPC: E04C2/10
Filed: 1985-10-28
Abstract: Riešenie se týká,z loženia konstrukčně;
došky, ktorá splňa komplexně požia-.
dávky na tepelné a zvukovoizo ta čně vlastnosti,
vlhkostnú, požiarnu i biologický
odolnost. Konštrukčné doska pozostáva z
nosného rámu alebo roštu, opláštovacieho
velkoplošného materiálu na báze dřeva,
ktorý je retardačně upravený a výplně.
Podstatou riešenia je, že,medzi
oplášfovacim materiálom je aspoň jedna
vrstva výplně z tepelnoizolačněho materiálu
na báze fenolplastov s obsahom 1
až 2C " hmot. zmesného esteru kyseliny
fosforečnej na báze fenolu a izopropylfenolov
s minimálnym obsahom fosforu
7,5 ‘ί. hmot. a 5 až 25 % hmot. práškového
oxidu křemičitého, pričom % hmotnostně
su vztiahnuté na množstvo sušiny
fenol formaIdehydovej živice. Využitie
konštrukčnej došky Je možně vo výrobě
panelov pre drevostavby, v staveb
nictve, prevýrobu obkladov a podhtadov
ako aj pri výrobě dveri.
Patent CS-268961-B1 (CS)
Inventor: HLAVACEK IVO ING
IPC: C23G5/02
Filed: 1987-11-13
Abstract: Uvolňovač rzi obsahuje 26 až 70 %
hmotnostních rafinovaného petroleje
s obsahem siry do 0,08 % hmotnostních,
24 až 50 % hmotnostních oleje s obsahem
nafténových kyselin, 2 až 12 %
hmotnostních lehkého nevysychavého
nízkotuhnoucího minerálního oleje,
4-až 12 % hmotnostních mýdla žíravých
zemin s obsahem volné kyseliny olejové
a 0,3 až 6 % hmotnostních derivátů
imidazolínu s obsahem basického dusíku
alespoň 1 %.
Patent CS-230880-B1 (CS)
Inventor: TESI STEFAN
IPC: A47C17/32
Filed: 1982-11-25
Abstract: Predmetom vynálezu je nová konštrukcie
rozkladacieho gauča dvojložkového, ktorý
sa upraví do lóžkovej polohy odložením volných
eped a sklápaním žádného opěradla,
čím sa súčastne vysúva periňák s čalouněným
sedákom, sklápa zadné opěradlo a vyrovnává
podhlavník.
Rozkládací gauč dvojložkový pozostáva z
pevnej časti, rozkladacej časti a periňáka.
Na bočné operadlá sú namontované vodiace
lišty, ktoré sú valivo spojené s vodiacimi koliečkami
podhlavníka a s vodiacimi koliečkami
opěradla. Podhlavník má na konci dalšie
vodiace koliečko. Opačným koncom je
spojený dvojitým kl'bom s operadlom, ktoré
je spojené s výsuvným periňákom vodiacou
týčou.
Patent CS-262292-B1 (CS)
Inventor: SMEJC MILAN
IPC: C03B5/02
Filed: 1987-11-26
Abstract: Pec, vytvořená čelními stěnami, boční­
mi stěnami, dnem s tryskami a homogenizač-
ní přepážkou, má v příčném řezu tvar
dvou, delěími a stejně dlouhými základnami
se dotýkajících nad sebou umístěných
lichoběžníků, je na bočních stěnách
opatřena přívody ve tvaru čtyřramennéno
kříže, jehož přívodním ramenem se do
pece přivádí elektrický proud, který
se dále dvěma vodorovnými rameny a svislým
ramenem rovnoměrně rozvádí do čelních
stěn a dna.
Patent CS-212145-B1 (CS)
Inventor: STAHLAVSKY ZDENEK
IPC: G06F13/00
Filed: 1980-12-05
Abstract: Vynález se týká automatizovaného řízení
a řeSí přenos povelů a adres z počítače
a z dispečerského pracoviště do telemechanizačního
zařízení, a to přepínatelně v závislosti
na rozhodnutí dispečera.
Povely a adresy od dispečerského pracoviště
se v galvanickém oddělovači galvanicky
oddělí a úrovňově upraví a přivedou
na jeden vstup přepínače. Na jeho druhý
vstup se přivádějí povely a adresy z počítače.
Vybrané povely a adresy přecházejí do
derivačního bloku, do registru a do řídicího
obvodu. V derivačním bloku se zpracuji
a vystupují z něj jako odměřené povely a
adresy. V registru jsou k disposici počítače
jako regulační povely. Činnost všech
obvodů se řídí a synchronizuje řídicím obvodem.
Patent CS-214371-B1 (CS)
Inventor: HOLUB JOSEF
IPC: G01B5/08
Filed: 1980-12-09
Abstract: Účelem vynálezu je měření průměru kuliček
se zvýšenou stabilitou měření zejména
u třídicích automatů, kde je důsledně
řešeno omezení kolísání teplotního rozdílu
mezi snímačem délek a hmotou měřicího
třmenu a vyloučena chybná funkce cejchovácího
zařízení v důsledku nadměrného opotřebení
etanolu v místě měření a tím i změny
jeho jmenovitého rozměru. Účele se dosahuje
tím, že snímač délek je pevně začleněn
do přestavitelně části měřicího třmenu
uchycené svěrně v tělese vodorovného měřicího
třmenu s výškově přestavitelnou polohou
a geometricky přesný etalon, v klidové
poloze volně uložený v jímce sklopného
vkládacího zařízení umístěného mimo prostor
podávacího zařízení, je do místa měření přiveden
podávacím kotoučem po dráze kruhového
vedení, přičemž je etalon při každém průchodu
měřičím místem jinak orientován.
Patent CS-229496-B1 (CS)
Inventor: DRAZAN VACLAV
IPC: B60R99/00
Filed: 1982-12-30
Abstract: Uzavírání schránek cestovních motocyklů
podle vynálezu má schránku nejen uzavřít,
ale i po uzamčení sedla motocyklu ji zajistit
proti přístupu a otevření nepovolanými
osobami. Uzavírání schránky je
' provedeno čepem přetlačovaným pružinou
do ozubu spojeného ae schránkou, přičemž
- na hlavě zajiěiovací páčky je vytvořen
odpružený výstupek, který jejím pootočením
zapadne do vybrání ze žebrem vytvořeným
na tlumiči sání.
Patent DK-171126-B1 (DK)
Inventor: CHAPMAN MICHAEL WILLIAM
IPC: A61B17/78
Filed: 1992-09-07
Granted: 1996-06-24
Abstract: An instrument (27) for use in inserting a surgical implant into a cavity in a patient's bone characterized in that said instrument (27) comprises:an elongated rod (21) having a first end and a second end, said rod (21) having an externally threaded portion (23) adjacent said first end and an externally smooth portion (29) extending from said externally threaded portion (23) towards said second end, and said rod (21) being axially cannulated over at least a portion of its length so as to be capable of fitting over a surgical guide wire;a hollow sleeve (31) receiving said elongated rod (21), said sleeve (31) being capable of sliding movement upon said externally smooth portion (29) of the rod (21); andmeans (35) for advancing the hollow sleeve (31) along the externally smooth portion (29) of the rod (21) towards said externally threaded portion (23),said advancing means (35) positively preventing movement of the sleeve (31) along the rod (21) in a direction away from said externally threaded portion (23) while it is engaged with the sleeve (31), whereby advancement of the sleeve (31) can be stopped without relaxing the force being placed upon it by said advancing means (35).
Patent DK-172170-B1 (DK)
Title: Detector for boiling condition, and method of detecting boiling condition
Inventor: STULEN FOSTER B
IPC: F24C3/12
Filed: 1990-05-30
Granted: 1997-12-08
Abstract: Apparatus and methods are disclosed for acoustically detecting different conditions of boiling occurring within a liquid and developing useful control signals correlated to the detected boiling condition. Distinctions are made between no-boiling, sub-cooled boiling, and full or rolling boiling conditions.
Patent IE-60584-B1 (IE)
Title: Adhesive wound dressing
IPC: A61F13/02
Filed: 1987-04-16
Abstract: A wound dressing comprises an alginate layer fixed to a plastics backing layer, such as a polyurethane film. The backing layer extends beyond the edges of the alginate layer to provide a marginal portion which is coated with adhesive. Such a dressing may be formed by providing an adhesive-coated plastics film having a lamella releasably attached to its adhesive surface, cutting the lamella into an inner and an outer portion, such that the outer portion surrounds the inner portion, removing the inner portion to expose a region of the adhesive-coated plastics film, and attaching the alginate layer to the exposed region of film.
Patent IE-51565-B1 (IE)
Title: Arylethanolamine derivatives,their preparation and use in pharmaceutical compositions
IPC: C07C237/30
Filed: 1981-05-21
Abstract: Compounds of formula (II): or a pharmaceutically acceptable salt, lower alkyl or aralkyl ester or amide thereof, wherein R1 and R2, which may be the same or different, are each a hydrogen atom or a methyl group, n is 1, 2 or 3, and Z is a C1-6 alkyl or C1-6 alkoxy group, or a halogen or hydrogen atom, are useful in treating obesity and/or hyperglycaemia and/or inflammation in mammals.
Patent IE-33590-B1 (IE)
Title: Improvements in or relating to the manufacture of footwear
IPC: A43B13/28
Filed: 1969-09-30
Abstract: When hot injection molding thermoplastic soles onto textile components the sole portion of the last is heated to achieve better bonding. In order to markedly increase production, only the peripheral part of the sole portion of the last is heated, the middle (remaining) part is maintained at an effectively lower temperature. This is accomplished by providing a last having either an insulating layer between the middle and peripheral parts thereof, or, marking the middle part entirely of insulating material.
[US3676542A]
Patent IE-34650-B1 (IE)
Title: Method of making an abrasive tool
IPC: C09K3/14
Filed: 1970-10-27
Abstract: An improved resinoid grinding wheel particularly useful for the wet or dry grinding of hardened steels and steel alloys utilizes nickel-coated cubic boron nitride particles as the abrasive medium.
[US3645706A]
Patent IE-33336-B1 (IE)
Title: Coating compositions
IPC: C09D127/12
Filed: 1969-10-09
Abstract: 1,244,399. Fluorine-containing polymer coatings. E.I. DU PONT DE NEMOURS & CO. 31 Oct., 1969 [25 Nov., 1968], No. 53477/69. Heading B2E. [Also in Division C3] Substrates are coated with a primer composition comprising (a) from 10% to 75%, by weight of the total of (a) and (b) solids of lithium polysilicate containing from 15% to 35% by weight, of silica (determined as SiO 2 ), having an SiO 2 Li 2 O mol ratio of 4-25/1, and being free of alkali metals (other than lithium and those which cannot be removed by ion exchange), (b) from 25 to 90%, by weight of the total of (a) and (b) solids, of a particulate polymer of a hydrocarbon monomer completely substituted with fluorine atoms with or without chlorine atoms; the lithium polysilicate and the polymer being dispersed in a liquid carrier. In the Examples an aluminium frying pan was coated with the primer and top coated with a further P.T.F.E. dispersion.
[GB1244399A]
Patent IE-66269-B1 (IE)
Title: Heterocyclic diones as pesticides and plant growth regulators
Inventor: LEE SHY-FUH
IPC: A01N43/72
Filed: 1990-04-23
Abstract: Compounds of the general formula I   A - @ - B      I  wherein  A represents the group (i) <CHEM> in which any free hydrogen may be replaced by an agriculturally acceptable substituent; and B represents an optionally substituted aryl or heteroaryl group are disclosed, as well as methods of producing such compounds, intermediates therefore, and their use as herbicides and acaricides.
Patent IE-49299-B1 (IE)
Title: Aminoglycoside derivatives of desoxystreptamine,processes for preparing them and pharmaceutical compositions containing them
IPC: C07H15/22
Filed: 1979-09-05
Abstract: Novel aminoglycoside derivatives of desoxystreptamines of the formula <IMAGE>  I  wherein R1 and R2 are selected from the group consisting of hydrogen and hydroxyl with at least one of them being hydrogen and their non-toxic, pharmaceutically acceptable acid addition salts having antibiotic properties and their preparation.
Patent IE-53152-B1 (IE)
Title: Method of feeding an additive into a stream of reaction gas
IPC: C10L1/12
Filed: 1982-07-21
Abstract: A method of continuously introducing additive, which is conveyed by gaseous and/or liquid carriers, into a turbulent reaction gas flow in the combustion chamber of a steam generator having dry ash withdrawal for selective removal, in a dry manner, of environmentally harmful gaseous noxious materials, such as sulfur, chlorine, and chlorine compounds, which are contained in a hot reaction gas flow which results after a complete or incomplete flame combustion of solid, liquid, or gaseous fuels. Depending upon the additive introduced, heat is stored and/or used for decomposition reactions. The additive, is first introduced at one or more input locations, due to locally different pressure conditions in the combustion chamber, into one or more recirculation flows which are within the system and are closed. The additive is subsequently withdrawn from these recirculation flows and is introduced into the reaction gas flow.
Patent IE-60219-B1 (IE)
Title: 1-hydroxy-3-(n-methyl-n-propylamino)-1,1-diphosphonic acid, process for the preparation thereof and pharmaceutical compositions containing it
IPC: C07F9/38
Filed: 1987-07-10
Abstract: The present invention provides disphosphonates of the general formula:   <IMAGE> (I)  wherein R1 is a straight-chain or branched, saturated or unsaturated aliphatic hydrocarbon radical of 1-9 carbon atoms which is optionally substituted by phenyl or cyclohexyl, R2 is cyclohexyl or cyclohexylmethyl, benzyl or a straight-chained or branched, saturated or unsaturated aliphatic hydrocarbon of 4 to 18 carbon atoms which is optionally substituted by phenyl or oxygen wherein the oxygen can be esterified or etherified, R3 is hydrogen or a straight-chain or branched alkyl of 1-4 carbon atoms, X is a straight-chain or branched alkylene chain of 1-6 carbon atoms and Y is hydrogen, hydroxyl or an amino group optionally substituted by alkyl radicals of 1-6 carbon atoms; as well as the pharmacologically acceptable salts thereof. The present invention also provides processes for the preparation of these diphosphonic acid derivatives and pharmaceutical compositions containing them for the prophyllaxis treatment of diseases or disturbances of calcium metabolism such as osteoporsis, Pagets disease, Bechterew's disease, bone metastases, urolithiasis, heterotropic ossifications, rheumatoid arthritis, osteoarthritis and degenerative arthrosis.
Patent IE-58364-B1 (IE)
Title: 1,6-Naphthyridine derivatives, process for their preparation and medicaments containing them
IPC: C07D213/80
Filed: 1985-08-23
Abstract: The present invention describes 1,6-naphthyridine derivatives of the general formula:   <IMAGE>   wherein R1 is an unsubstituted or substituted aromtic or heteroaromatic ring, R2 is a straight-chained or branched alkyl radical containing up to four carbon atoms or a benzyl radical, R3 is a hydrogen atom, a straight-chained or branched alkyl radical or an alkoxycarbonyl radical containing up to four carbon atoms, R4 is a straight-chained or branched alkyl radical containing up to four carbons and R5 is a carbonyl group or a straight-chained, branched or cyclic alkoxycarbonyl radical which contains up to 17 carbon atoms and optionally also contains an oxygen, sulphur or nitrogen atom; as well as the pharamacologically acceptable salts thereof, which are useful for treating diseases of the blood vessels.
Patent IE-40916-B1 (IE)
Title: A device for supporting and training plants
IPC: A01G9/12
Filed: 1977-10-18
Abstract: The invention relates to a device for supporting and training plants and in particular for layering tomato plants. It comprises a longitudinal stem portion (1) formed with an integral hook (5) which is adapted to grip and slide along a support wire (6) which is mounted above and parallel to the plant row, and a spool (8) rotatable about a cylindrical bearing surface of the stem portion (3). The spool (8) carries a support cord (9) which passes upwardly from the spool, through an aperture in the top of the stem portion (1) and down through the hollow interior of the stem portion (1) to where it is tied to the stem of the tomato plant. When it is desired to layer the plant the stem portion (1) is moved along the wire (6) and simultaneously the spool (3) is rotated to pay out sufficient cord (9) to layer the plant. Rotation of the spool is controlled by means of ribs (14) on a flange (12) of the spool which engage with the horizontal support wire.
[EP0001703A1]
Patent IE-48146-B1 (IE)
Title: Filter bag holder
IPC: A47J31/02
Filed: 1978-11-13
Abstract: An elastic material holder, particularly a synthetic material holder, for holding a filtering bag for the preparation of a beverage such as tea or coffee. The holder (1) has a tubular sleeve (3) of which the bottom extremity narrows down and forms a groove (4) extending axially in both directions. Two opposite faces (8, 9) of the sleeve make up a wedge-shaped ending part (10).
Patent IE-51945-B1 (IE)
Title: Pharmaceutical compositions
IPC: A61K9/52
Filed: 1981-11-27
Abstract: Polymers formed by incomplete esterification of the hydroxy groups of a water-soluble polymer such as polyvinyl alcohol, amylose or dextran with a pharmacologically acceptable mono-or di-carboxylic acid to an extent sufficient to render the polymer water-insoluble although still water-swellable, are biodegradable. They are useful for the formulation of pharmaceutical compositions for parenteral administration, particularly in the form of injectable fine particles in which a drug is intimately mixed with or encapsulated by the polymer.
Patent IE-69039-B1 (IE)
Title: Guide catheter and guidewires for effecting rapid catheter exchange
Inventor: COEHLO DONALD A
IPC: A61M25/01
Filed: 1990-08-08
Abstract: A system and method for effecting rapid exchange of catheters (29) over a guidewire (14). A gripping mechanism (28) is provided on one of a guide catheter (20) and a guidewire (14) to grip the other of the guide catheter (20) and guidewire (14) proximate to the distal end of the guide catheter (20). When engaged, the gripping mechanism (28) inhibits movement between the guidewire (14) and the guide catheter (20) when a first catheter is exchanged with a second catheter over the guidewire (14).
Patent IE-57943-B1 (IE)
Title: Improvements in fibre reinforced plastics structures
IPC: B29C67/20
Filed: 1984-12-21
Abstract: An air permeable sheet-like structure comprising 20 to 60% by weight of reinforcing fibres having a high modulus of elasticity (as herein defined), and being between about 7 and about 50 millimetres long, and 40 to 80% by weight of wholly or substantially unconsolidated particulate plastics material, and in which the fibrous and plastics components are bonded into an air permeable structure.
Patent IE-66909-B1 (IE)
Title: New thiophene derivatives the process for the preparation thereof and the pharmaceutical compositions containing them
Inventor: REGNIER GILBERT
IPC: A61K31/4433
Filed: 1990-12-10
Abstract: New piperidine derivatives capable of being employed as medication and corresponding to the formula: 
<IMAGE>
 in which
 one of the substituents R or R' is: 
<IMAGE>
 [m being 1, 2 or 3 and R1 = (C1-C5) alkyl],
 the other of the substituents R or R' is either: 
<IMAGE>
 
 
  [A being a hydrocarbon chain optionally containing a double bond, an oxygen or a sulphur and optionally substituted by OH or CH3], 
  m being 1 or 2 
  R2, R'2, R''2 and R"'2 being hydrogen, halogen, (C1-C5) alkyl or alkoxy or hydroxyl
 or: 
<IMAGE>
 
 
  - [Z being: oxygen or sulphur; 
  - R": hydrogen or methyl; 
  - p: zero or one; 
  - and A, R2, R'2, R''2 and R"'2 as they are defined above]. 
 
 
<??>These derivatives and their physiologically tolerable salts can be employed in therapeutics, especially in the treatment of pathology related to tissue ischaemia and of peripheral vascular pathology, or the treatment of pathology in which a lipid peroxidation plays an initiating and/or aggravating part.
Patent IE-77167-B1 (IE)
Title: Megestrol acetate formulation
Inventor: ATZINGER ANNE E
IPC: A61K47/10
Filed: 1992-07-01
Abstract: The present invention relates to a novel oral pharmaceutical composition of micronized megestrol acetate at a concentration of 15 to 150 mg/mL comprising polysorbate at a concentration of 0.005% to 0.015% weight/volume and polyethylene glycol at a concentration of 5-30% weight/volume which composition forms a stable flocculated suspension in water. The invention further comprises the micronized megestrol acetate formulation described above with added preservatives, buffers, sweeteners and flavoring agents.
Patent IE-76717-B1 (IE)
Title: A process for making pelletised animal feed
Inventor: CONNOLLY JOSEPH
IPC: A23N17/00
Filed: 1994-10-04
Abstract: A pelletised animal feed is prepared by grinding raw materials in a grinder (203), mixing the ground raw material in a mixer (301) and delivering the mixed material to a pressure cooker (303). The mixed material is cooked and then extruded and pelletised to form pellets which are delivered onto a top bed (403) of a dryer (401). An initial active drying operation is carried out by forcing hot air up through the top bed (403). The pellets are then dropped onto a lower intermediate bed (404) where they are retained for the drying time in a static drying operation before being dropped onto a bottom bed (405). A final active drying operation is carried out by forcing hot air up through the bottom bed (405) for the drying time and extracting the hot air from the dryer (401) above the bottom bed (405) and below the lower intermediate bed (404). The dried pellets are cooled in a cooler (407) and delivered to bulk storage bins (501). A pelletised animal feed produced by the above process is also disclosed.
Patent JP-2993504-B1 (JP)
Title: 電子ビ―ム描画装置およびそれにより描画されたパタ―ンを有する半導体デバイス
IPC: H01L21/027
Filed: 1999-01-11
Granted: 1999-12-20
Abstract: 【要約】
【課題】クリーンルーム内の金属メッシュ床等の構造物 に流れているノイズ源の一部が、電子ビーム描画装置の アースに流れ、直接的、間接的に電子ビームに対し予期 せぬ偏向作用を与え、描画精度を低下させるので、これ を低減させる。
【解決手段】電子ビーム描画装置２，４の据え付けに際 して、電子ビーム描画装置２，３を絶縁材料８を介して 金属メッシュ床５上に設置し、かつ絶縁材料６を介して 側面より固定金具７を設置する。制御部２と電子光学鏡 体４との間に共通アースを接続し、描画装置の代表一ヶ 所のアース個所を、アース線９により大地アースおよび ／または専用大地アースに接続する。これにより電子ビ ース描画装置のアースを据付け場所の導電体構造物と電 気的に絶縁する。絶縁材料は、ゴム、樹脂、液体あるい は気体を用いて、金属メッシュ床５から電気的に分離す る。