baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102016105461-B4 (DE)
Title: Planetengetriebezug eines Automatikgetriebes für ein Fahrzeug
Inventor: LEE KYEONGHUN
IPC: F16H3/66
Filed: 2016-03-23
Granted: 2020-12-17
Abstract: Planetengetriebezug eines Automatikgetriebes für ein Fahrzeug, aufweisend:eine Antriebswelle (IS), die ein Drehmoment eines Motors aufnimmt;eine Abtriebswelle (OS), die ein geändertes Drehmoment abgibt;einen ersten Planetengetriebesatz (PG1), der ein erstes Sonnenrad (S1), einen ersten Planetenradträger (PC1) und ein erstes Hohlrad (R1) aufweist;einen zweiten Planetengetriebesatz (PG2), der ein zweites Sonnenrad (S2), einen zweiten Planetenradträger (PC2) und ein zweites Hohlrad (R2) aufweist;einen dritten Planetengetriebesatz (PG3), der ein drittes Sonnenrad (S3), einen dritten Planetenradträger (PC3) und ein drittes Hohlrad (R3) aufweist;einen vierten Planetengetriebesatz (PG4), der ein viertes Sonnenrad (S4), einen vierten Planetenradträger (PC4) und ein viertes Hohlrad (R4) aufweist;eine erste Welle (TM1), die das erste Sonnenrad (S1) mit dem zweiten Sonnenrad (S2) verbindet und über eine erste Bremse (B1) mit einem Getriebegehäuse (H) wahlweise verbunden ist;eine zweite Welle (TM2), die mit dem ersten Planetenradträger (PC1) verbunden ist und mit der Antriebswelle (IS) direkt verbunden ist;eine dritte Welle (TM3), die das erste Hohlrad (R1) mit dem vierten Sonnenrad (S4) verbindet;eine vierte Welle (TM4), die mit dem zweiten Planetenradträger (PC2) verbunden ist, über eine dritte Kupplung (C3) mit der zweiten Welle (TM2) wahlweise verbunden ist und über eine dritte Bremse (B3) mit dem Getriebegehäuse (H) wahlweise verbunden ist;eine fünfte Welle (TM5), die das zweite Hohlrad (R2) mit dem dritten Hohlrad (R3) verbindet und über eine zweite Kupplung (C2) mit der zweiten Welle (TM2) wahlweise verbunden ist;eine sechste Welle (TM6), die das dritte Sonnenrad (S3) mit dem vierten Hohlrad (R4) verbindet und über eine zweite Bremse (B2) mit dem Getriebegehäuse (H) wahlweise verbunden ist;eine siebte Welle (TM7), die mit dem dritten Planetenradträger (PC3) verbunden ist und über eine vierte Kupplung (C4) mit der dritten Welle (TM3) wahlweise verbunden ist; undeine achte Welle (TM8), die mit dem vierten Planetenradträger (PC4) verbunden ist, über eine erste Kupplung (C1) mit der siebten Welle (TM7) wahlweise verbunden ist und mit der Abtriebswelle (OS) direkt verbunden ist.
Patent DE-102016107578-B4 (DE)
Title: Betriebsschaltung und Verfahren zum Betreiben wenigstens eines Leuchtmittels
Inventor: KOLB MICHAEL
IPC: H05B45/10
Filed: 2016-04-25
Granted: 2023-06-01
Abstract: Betriebsschaltung (10) zum Betreiben wenigstens eines Leuchtmittels (20),mit einer Versorgungsschaltung (11), die einen Eingang (12) zum Anschließen an eine Versorgungsspannung (UV) und eine ansteuerbare erste Wandlerschaltung (30) aufweist,mit einem einen Energiespeicher (15) aufweisenden Zwischenkreis (14), der an einen Ausgang (13) der Versorgungsschaltung (11) angeschlossen ist und an dem eine Zwischenkreisspannung (UZ) anliegt,mit einer Leistungsstufe (16), die einen Eingang (17) aufweist, der an den Zwischenkreis (14) angeschlossen ist, die einen Ausgang (18) aufweist, an den das wenigstens eine Leuchtmittel (20) angeschlossen ist, und die eine ansteuerbare zweite Wandlerschaltung (38) aufweist,mit einer Dimmsteuereinheit (47), der ein Dimmeingangssignal (DE) übermittelt wird und die dazu eingerichtet ist, zur Einstellung der Leuchtleistung des wenigstens einen Leuchtmittels (20) auf Basis des Dimmeingangssignals (DE) ein pulsbreitenmoduliertes Dimmsteuersignal (DS) mit einer Dimmfrequenz (fd) für die Leistungsstufe (16) zu erzeugen, wobei das Dimmsteuersignal (DS) eine aktive Phase (AL) der Leistungsstufe (16) und eine passive Phase (PL) der Leistungsstufe (16) definiert,mit einer Versorgungssteuereinheit (34), der das Dimmsteuersignal (DS) übermittelt wird und die dazu eingerichtet ist, zur Einstellung der Leistungsabgabe an den Zwischenkreis (14) während einer aktiven Phase (AV) der Versorgungsschaltung (11) ein pulsbreitenmoduliertes Versorgungssteuersignal (VS) mit einer von der Dimmfrequenz (fd) unabhängigen ersten Wandlerfrequenz (f1) für die erste Wandlerschaltung (30) zu erzeugen und das Versorgungssteuersignal (VS) während einer passiven Phase (PV) der Versorgungsschaltung (11) auf einem Ruhewert zu halten, wobei die aktive Phase (AL) der Leistungsstufe (16) während der passiven Phase (PV) der Versorgungsschaltung (11) stattfindet,wobei die Versorgungssteuereinheit (34) das Versorgungssteuersignal (VS) in einem ersten Leistungsmodus abhängig von dem Dimmsteuersignal (DS) einstellt, so dass die Zwischenkreisspannung (UZ) innerhalb eines vorgegebenen Spannungsbereichs bleibt.
Patent DE-102017007891-B4 (DE)
Title: Synchronring für eine Synchronisationseinheit eines Schaltgetriebes und Verfahren zu dessen Herstellung
Inventor: ARBAK MURAT
IPC: F16D23/04
Filed: 2017-08-19
Granted: 2020-07-23
Abstract: Synchronring (1, 9) für eine Synchronisationseinheit eines Schaltgetriebes, der aus einem Blechmaterial hergestellt ist und an seiner Innenseite eine konusförmige Reibfläche (2) und an seiner Außenseite (12) Mittel zur radialen Zentrierung des Synchronrings (1, 9) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur radialen Zentrierung mehrere separate, voneinander in Umfangsrichtung beabstandete bogenförmige Zentrierbundabschnitte (3, 4, 5, 10) umfassen, welche durch einen Materialfluss an der Außenseite (12) des Synchronrings (1, 9) hergestellt sind.
Patent DE-102017101928-B4 (DE)
Title: Hydraulischer Spanner mit zwei Leckagespalten und Zugmitteltrieb mit Endloszugmittel
Inventor: KANG YONG-HEE
IPC: F16H7/08
Filed: 2017-02-01
Granted: 2022-11-17
Abstract: Hydraulischer Spanner (1) für einen Riemen- oder Kettentrieb eines Kraftfahrzeugs, mit:- einem Gehäuse (2) und einem ausfahrbar daran gelagerten Außenkolben (3), der zusammen mit dem Gehäuse (2) einen Hochdruckraum (4) ausbildet,- einem innerhalb des Außenkolbens (3) beweglich angeordneten Innenkolben (5), der ein Reservoir (6) von dem Hochdruckraum (4) abgrenzt,- einem Außenleckagespalt (7), der zwischen einer Außenfläche (14) des Außenkolbens (3) und einer Innenwand (15) des Gehäuses (2) so ausgebildet ist, dass ein Austausch von Hydraulikmittel zwischen dem Hochdruckraum (4) und der Umgebung (8) zugelassen ist,- und einem Innenleckagespalt (9), der zwischen einer Innenfläche (12) des Außenkolbens (3) und einer Außenfläche (13) des Innenkolbens (5) so ausgebildet ist, dass ein Austausch von Hydraulikmittel zwischen dem Hochdruckraum (4) und dem Reservoir (6) zugelassen ist, wobei der Außenleckagespalt (7) und der Innenleckagespalt (9) so aufeinander abgestimmt sind, dass durch den Innenleckagespalt (9) ein größerer Volumenstrom an Hydraulikmittel als durch den Außenleckagespalt (7) zugelassen ist.
Patent DE-102017131028-B4 (DE)
Title: Fahrzeugdachstruktur
Inventor: CHAKI YUTA
IPC: B62D27/02
Filed: 2017-12-21
Granted: 2021-06-02
Abstract: Fahrzeugdachstruktur, bei welcher eine Dachplatte (2) auf einem Dach (1) in einem oberen Abschnitt einer Kabine vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass eine Verstärkung (7) in einer Dachschiene (3) vorgesehen ist, die sich in einem seitlichen Abschnitt des Dachs (1) befindet und sich in Front-Heck-Richtung des Fahrzeugs erstreckt,die Verstärkung (7) einen Endabschnitt (7a) aufweist, der mittels Schweißen mit der Dachschiene (3) verbunden ist, und einen anderen Endabschnitt (7b) aufweist, der freitragend ist, wobei er sich in Fahrzeugquerrichtung nach innen erstreckt, und mittels eines Klebstoffs (8) mit der Dachplatte (2) verklebt ist;ein Seitenrandbereich (2a) der Dachplatte (2) in Fahrzeugquerrichtung außerhalb eines oberen Endabschnitts (32a) einer seitlichen Karosserieaußenplatte (32) positioniert ist und eine Schienenvertiefung (32b) in Fahrzeugquerrichtung außerhalb der seitlichen Karosserieaußenplatte (32) gebildet ist, undeine vertikale Wand (71) an einem äußeren Ende der Verstärkung (7) in Fahrzeugquerrichtung gebildet ist, die in Bezug auf das Fahrzeug nach unten gebogen ist, und die Verstärkung (7) mit einem oberen Endverbindungsabschnitt (33) einer inneren Platte (31) der hinteren Seitenwand und der seitlichen Karosserieaußenplatte (32) verbunden ist, welche die Dachschiene (3) bilden, wobei die vertikale Wand (71) damit überlappt.
Patent DE-102017206655-B4 (DE)
Title: Einrichtung zum Vulkanisieren eines Rohlings aus elastomerem Material
Inventor: LEINEMANN MARC
IPC: B29C35/02
Filed: 2017-04-20
Granted: 2020-07-09
Abstract: Einrichtung (1) zum form- oder konturgebenden Vulkanisieren einer gewebeverstärkten Gummimembran zu einem Luftfederbalg (8), bei der der Rohling mindestens endseitig zwischen einem inneren Form- und/oder Einspannwerkzeug (5, 6) und einer den Rohling umgebenden Vulkanisationsform (2) eingespannt ist und sich während der konturgebenden Vulkanisation durch Innendruck beaufschlagt an die Innenoberfläche der Vulkanisationsform (2) anlegt, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche des Einspannwerkzeugs (5) mindestens im Kontaktbereich (12) mit dem Rohling eine Oberflächenstruktur (13) mit Erhebungen und/oder Vertiefungen aufweist, die in Oberflächenrichtung einen solchen Abstand aufweisen, dass in Bezug auf die Fadenbreite bzw. den Fadendurchmesser der Gewebefäden in der Gewebeverstärkung mindestens ein Wechsel von einer Erhebung auf eine Vertiefung oder umgekehrt innerhalb einer Fadenbreite erfolgt und damit so ausgebildet und angeordnet sind, dass während der Einspannung ein durch den Druck des Einspannwerkzeugs (5) auf den Rohling erzeugtes Fließen des elastomeren Materials in nur einer Vorzugsrichtung verhindert wird, wobei die Oberfläche im Kontaktbereich (12) des Einspannwerkzeugs (5) regelmäßig verteilte Kavitäten gleicher Form und Tiefe in Form einer Golfballoberfläche aufweist.
Patent DE-102017208383-B4 (DE)
Title: Dynamisches Einparken mittels Parkassistenzsystem
Inventor: STEFAN FREDERIC
IPC: B60W30/06
Filed: 2017-05-18
Granted: 2022-02-24
Abstract: Verfahren zum Einparken mittels eines Parkassistenzsystems eines ersten Fahrzeugs in eine durch mindestens ein zweites Fahrzeug begrenzte Parklücke, wobei mittels des Systems eine Vermessung von potentiellen Parklücken während einer Vorbeifahrt des ersten Kraftfahrzeugs erfolgt, eine für einen Einparkvorgang günstige Parklücke ermittelt wird, eine ausgehend von einer zum Einparken günstigen Ausgangsposition erste Trajektorie für einen Einparkvorgang in die Parklücke ermittelt wird und ein assistierter Einparkvorgang des ersten Fahrzeugs in die Parklücke gestartet wird,wobei erfasst wird, ob sich während des Einparkvorgangs die durch das zweite Fahrzeug gebildete Begrenzung der Parklücke verändert,dadurch gekennzeichnet,dass bei Erweiterung der Parklücke die ursprünglich vorgesehene Parkposition in Richtung der Erweiterung verschoben wird.
Patent DE-102017216048-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Betreiben eines Kraftfahrzeugs sowie System zum Betreiben eines Kraftfahrzeugs
Inventor: AL HAKIM HUSAM
IPC: B60R16/02
Filed: 2017-09-12
Granted: 2019-11-14
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines Kraftfahrzeugs, bei welchem ein Aktivierungssignal (5) mittels einer fahrzeugexternen Recheneinrichtung (1) an eine Steuereinrichtung (2) des Kraftfahrzeugs gesendet wird, sobald eine vorgegebene Benutzereingabe (6) an der fahrzeugexternen Recheneinrichtung (1) mittels dieser erfasst worden ist. Des Weiteren wird mittels der Steuereinrichtung(2) ein Zeitgeber (3) aktiviert, sobald diese das Aktivierungssignal (5) empfangen hat. Überdies wird die Steuereinrichtung (2) in einem Aktivmodus (A) betrieben, solange mittels des Zeitgebers (3) erfasst wird, dass eine verstrichene Zeitspanne (Tv) kleiner als ein vorgegebenes Zeitintervall (Tmax) ist, wobei im Aktivmodus (A) eine Übertragung von vorgegebenen Fahrzeugdaten (4) an die fahrzeugexterne Recheneinrichtung (1) erfolgt Des Weiteren wird der Aktivmodus (A) beendet und die Steuereinrichtung (2) in einem Inaktivmodus (S) betrieben, sobald die verstrichene Zeitspanne (Tv) zumindest dem vorgegebenen Zeitintervall (Tmax) entspricht, wobei im Inaktivmodus (S) die Übertragung der vorgegebenen Fahrzeugdaten (4) an die fahrzeugexterne Recheneinrichtung (1) unterbunden wird.
Patent DE-102017216971-B4 (DE)
Title: Sitzgleitvorrichtung für ein fahrzeug
Inventor: KUME SHO
IPC: B60N2/07
Filed: 2017-09-25
Granted: 2020-10-29
Abstract: Sitzgleitvorrichtung (1) für ein Transportmittel, das einen Sitz gleiten lässt, wobei die Sitzgleitvorrichtung (1) aufweist:eine feste Schiene (3), die auf einem Boden des Transportmittels angeordnet ist;eine bewegliche Schiene (5), die gleitend in die feste Schiene (3) eingreift und an dem Sitz angebracht ist;ein Rollelement (49, 51);eine Rollelementhalterung (31), die an der beweglichen Schiene (5) derart angebracht ist, dass sie um eine Drehwelle (33) drehbar ist, die an der beweglichen Schiene (5) angeordnet ist, und das Rollelement (49, 51) drehbar und gleitend in einer Längsrichtung der beweglichen Schiene (5) hält;eine Vorspannungseinheit (43), die die Rollelementhalterung (31) vorspannt, sodass sich das Rollelement (49, 51) um die Drehwelle (33) in einer Richtung dreht, in der sich eine Außenumfangsfläche des Rollelementes (49, 51) einer ersten Fläche (13) der festen Schiene (3) annähert; undeine Vorstehung (47), die an der Rollelementhalterung (31) angeordnet ist und zu einer zweiten Fläche (19), die aus der Sicht der Rollelementhalterung (31) entgegengesetzt zu der ersten Fläche (13) der festen Schiene (3) ist, zeigt,wobei die Rollelementhalterung (31) derart ausgebildet ist, dass ein Abstand in einer Aufwärts-abwärts-Richtung von einem Kontaktpunkt zwischen dem Rollelement (49, 51) und der ersten Fläche (13) zu einem Endabschnitt der Vorstehung (47) auf der Seite der zweiten Fläche (19) größer wird, wenn sich das Rollelement (49, 51) einem Ende eines Gleitbereichs des Rollelementes (49, 51) in der Rollenelementhalterung (31) annähert, und dass die Vorstehung (47) mindestens in Kontakt mit der zweiten Fläche (19) gebracht wird, wenn sich das Rollelement (49, 51) an diesem Ende befindet.
Patent DE-102018009996-B4 (DE)
Title: Elektronische Vorrichtung
Inventor: MIURA DAISUKE
IPC: H05K5/00
Filed: 2018-12-19
Granted: 2021-03-18
Abstract: Elektronische Vorrichtung (10), umfassend:ein Gehäuse (20), in dem ein Schlitz (38) vorgesehen ist;eine Schaltungsplatine (44), die konfiguriert ist, um in den Schlitz (38) eingeschoben zu werden;einen ersten Verbinder (50), der bei einem Ende der Schaltungsplatine (44) in einer Einschubrichtung vorgesehen ist;eine Stirnplatte (54), bei einem Ende der Schaltungsplatine (44) in einer Entnahmerichtung vorgesehen ist, die der Einschubrichtung entgegengerichtet ist, und konfiguriert ist, um die Schaltungsplatine (44) zu lagern;einen zweiten Verbinder (52), der in dem Gehäuse (20) vorgesehen ist und konfiguriert ist, um in den ersten Verbinder (50) gepasst zu werden, wenn die Schaltungsplatine (44) in den Schlitz (38) eingeschoben wird;Paare von Führungsschienen (48), die in dem Schlitz (38) vorgesehen sind und die sich in der Einschubrichtung jeweils auf den Seiten beider Enden der Schaltungsplatine (44) erstrecken, die in einer Richtung beabstandet sind, die die Einschubrichtung schneidet, um den Einschub der Schaltungsplatine (44) in den Schlitz (38) zu führen, wobei die Führungsschienen (48) von jedem Paar mit einem ersten Abstand (d1) auf den jeweiligen Seiten beider Oberflächen der Schaltungsplatine (44) angelegt sind;Paare von Fixierungslehren (62), die auf der Stirnplatte (54) vorgesehen sind und sich in der Einschubrichtung jeweils auf den Seiten beider Enden der Schaltungsplatine (44) erstrecken, um die Schaltungsplatine (44) in dem Schlitz (38) zu fixieren, wobei die Fixierungslehren (62) von jedem Paar mit einem zweiten Abstand (d2), der größer als der erste Abstand (d1) ist, auf den jeweiligen Seiten beider Oberflächen der Schaltungsplatine (44) angelegt sind; undPaare von Lehrenführungsabschnitten (80), die auf einer Entnahmeseite der Paare von Führungsschienen (48) vorgesehen sind und sich in der Entnahmerichtung jeweils auf den Seiten beider Enden der Schaltungsplatine (44) erstrecken, um die Paare von Fixierungslehren (62) elastisch zu verformen, um wiederum die Schaltungsplatine (44) zu fixieren, wenn die Schaltungsplatine (44) in den Schlitz (38) vollständig eingeschoben ist, wobei die Lehrenführungsabschnitte (80) von jedem Paar auf den jeweiligen Seiten beider Oberflächen der Schaltungsplatine (44) derart angelegt sind, dass distale Enden der Lehrenführungsabschnitte (80) von jedem Paar mit einem dritten Abstand (d3) angelegt sind, der größer als eine Summe des zweiten Abstands (d2) und der Dicken von distalen Enden der Fixierungslehren (62) von jedem Paar ist.
Patent DE-102018108200-B4 (DE)
Title: Systeme und Verfahren zur Verringerung von Aufmerksamkeitsverminderung während die Bereitschaft beibehalten wird mittels Augmented Reality in einem Fahrzeug
Inventor: KUFFNER JUN JAMES J
IPC: B60R1/22
Filed: 2018-04-06
Granted: 2023-01-19
Abstract: Aufmerksamkeitssystem zur Verringerung von Aufmerksamkeitsverminderung eines Bedieners in einem Fahrzeug aufweisend:einen oder mehrere Prozessoren;einen Speicher, der kommunikationsfähig mit dem einem Prozessor oder den mehreren Prozessoren verbunden ist, und der Folgendes speichert:ein Überwachungsmodul, das Anweisungen umfasst, die, wenn sie von dem einen oder den mehreren Prozessoren ausgeführt werden, den einen oder die mehreren Prozessoren veranlassen, den Bediener zu überwachen, indem Bedienerzustandsinformationen unter Verwendung von mindestens einem Sensor des Fahrzeugs gesammelt werden;ein Aufmerksamkeitsmodul, das Anweisungen umfasst, die, wenn sie von dem einen oder den mehreren Prozessoren ausgeführt werden, den einen oder die mehreren Prozessoren veranlassen, ein Konzentrationsniveau des Bedieners gemäß einem Aufmerksamkeitsmodell und den Bedienerzustandsinformationen zu berechnen, um das Maß an Aufmerksamkeitsverminderung, das der Bediener aktuell erlebt, zu charakterisieren; undein Rendermodul, das Anweisungen umfasst, die, wenn sie von dem einen oder den mehreren Prozessoren ausgeführt werden, den einen oder die mehreren Prozessoren veranlassen, auf einer Augmented-Reality-Anzeige (AR-Anzeige) in dem Fahrzeug mindestens ein grafisches Element in Abhängigkeit des Konzentrationsniveaus zu rendern, um den Bediener dazu zu bringen, bezüglich einem autonomen Betrieb des Fahrzeugs und einer aktuellen Betriebsumgebung des Fahrzeugs aufmerksam zu bleiben.
Patent DE-102018119158-B4 (DE)
Title: Anzeigevorrichtung mit Erfassungseinheit und Erfassungsverfahren, die sie verwendet
Inventor: LEE SOYOUNG
IPC: G06F3/042
Filed: 2018-08-07
Granted: 2022-03-03
Abstract: Anzeigevorrichtung, die umfasst:ein Anzeigefeld (110) mit mehreren Pixeln;eine erste Erfassungseinheit (TE), die dazu konfiguriert ist, eine Berührung des Anzeigefeldes (110) zu detektieren und ein erstes Erfassungssignal auszugeben;eine zweite Erfassungseinheit (PTa, PTb), die dazu konfiguriert ist, Licht zu detektieren und ein zweites Erfassungssignal auszugeben;eine Erfassungstreiber-IC (130), die dazu konfiguriert ist, das erste Erfassungssignal und das zweite Erfassungssignal, die von der ersten Erfassungseinheit (TE) und der zweiten Erfassungseinheit (PTa, PTb) empfangen werden, als Erfassungsspannungen auszugeben; undeinen Controller (140, 150), der dazu konfiguriert ist, durch die von der Erfassungstreiber-IC (130) empfangenen Erfassungsspannungen zwischen dem ersten Erfassungssignal und dem zweiten Erfassungssignal zu unterscheiden,wobei der Controller (150) konfiguriert ist, eine Verzögerungszeit der Erfassungsspannung zu messen und zu bestimmen, ob die Erfassungsspannung dem ersten Erfassungssignal oder dem zweiten Erfassungssignal entspricht, und/oder der Controller (150) konfiguriert ist, eine Zeit zu messen, während der die Erfassungsspannung ansteigt, und zu bestimmen, ob die Erfassungsspannung dem ersten Erfassungssignal oder dem zweiten Erfassungssignal entspricht.
Patent DE-102018119795-B4 (DE)
Title: Spannungsmodulation für dielektrische Schichten
Inventor: KO CHUNG-TING
IPC: H01L21/205
Filed: 2018-08-15
Granted: 2022-10-13
Abstract: Verfahren (200) mit den folgenden Schritten:Ätzen eines ersten Teils und eines zweiten Teils eines Dummy-Gate-Stapels (30), um eine erste Öffnung (54) bzw. eine zweite Öffnung (54) zu erzeugen;Abscheiden einer ersten Siliziumnitridschicht (56), um die erste Öffnung (54) und die zweite Öffnung (54) zu füllen, wobei das Abscheiden der ersten Siliziumnitridschicht (56) einen ersten Prozess (100A) umfasst, der in einer Prozesskammer (101A) durchgeführt wird und aus den Prozessen Behandeln (110) der ersten Siliziumnitridschicht (56) mit Wasserstoffradikalen, Implantieren (118) der ersten Siliziumnitridschicht und Kombinationen davon gewählt ist, wobei während des Behandelns (110) der ersten Siliziumnitridschicht (56) mit Wasserstoffradikalen kein siliziumhaltiges Prozessgas und keine Siliziumradikale sowie kein stickstoffhaltiges Prozessgas und keine Stickstoffradikale in die Prozesskammer (101A) eingeleitet werden;Ätzen eines dritten Teils des Dummy-Gate-Stapels (30), um einen Graben (62) zu erzeugen;Ätzen einer Halbleiterfinne (24'), die sich unter dem dritten Teil befindet, um den Graben (62) in einen massiven Teil eines Halbleitersubstrats (20) hinein zu verlängern, der sich unter dem Dummy-Gate-Stapel (30) befindet; undAbscheiden einer zweiten Siliziumnitridschicht (64) in den Graben, wobei der erste Prozess (100A) das Implantieren (118) der ersten Siliziumnitridschicht (56) umfasst und/oder wobei das Abscheiden der ersten Siliziumnitridschicht (56) eine Atomlagenabscheidung, ALD, umfasst und das Behandeln (110) ein Mal pro einer Mehrzahl von ALD-Zyklen erfolgt.
Patent DE-102018129143-B4 (DE)
Title: Variabler messobjektabhängiger Kameraaufbau und Kalibrierung davon
Inventor: MAYER THOMAS
IPC: G01C11/04
Filed: 2018-11-20
Granted: 2021-06-17
Abstract: Verfahren zum Bestimmen einer 6-DOF-Stellung eines Objekts (12) im Raum, wobei die 6-DOF-Stellung eine 3D-Position und eine 3D-Orientierung des Objekts (12) im Raum definiert, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist:Anordnen (32) mehrerer Kameras (16) mit individuellen 6-DOF-Stellungen im Raum, wobei jede Kamera (16) einen individuellen Blickwinkel aufweist, wobei die individuellen Blickwinkel zu einem gemeinsamen Messraum CMS gerichtet sind, wobei wenigstens eine der Kameras (16a) beweglich ist;Anbringen (35) einer Markerformation (14) an dem Objekt (12);Positionieren (36) des Objekts (12) mit der Markerformation (14) innerhalb des CMS;Anpassen (38) des CMS mit Bezug auf das Objekt (12) durch Ändern der 6-DOF-Stellung wenigstens einer beweglichen Kamera (16a) im Raum;Erfassen (42) eines jeweiligen Bildes der Markerformation (14), die an dem Objekt (12) angebracht ist, durch wenigstens eine der Kameras (16);Bestimmen (44) räumlicher Parameter der Markerformation (14) basierend auf dem erfassten Bild; undBestimmen (46) einer 6-DOF-Stellung des Objekts (12) im Raum basierend auf den räumlichen Parametern der Markerformation (14),wobei das Objekt (12) eine Messvorrichtung (68) ist, die einen 3D-Sensor (70) zum Messen eines Messobjekts (72) aufweist.