baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-100351890-B1 (KR)
Title: 반도체 소자의 플러그층 형성 방법
IPC: H01L27/10
Filed: 1999-05-08
Granted: 2002-09-12
Abstract: 본 발명은 플러그층의 리세스를 줄이고 오버레이 마진을 충분히 확보할 수 있도록한 반도체 소자의 플러그층 형성 방법에 관한 것으로, 반도체 기판상에 셀 트랜지스터를 형성하고 상기 셀트랜지스터의 게이트 전극상부 및 측면에 질화 측벽을 형성하는 공정;전면에 ILD 산화막층을 형성하고 플로잉 공정으로 부분적으로 평탄화하는 공정;상기 ILD 산화막을 선택적으로 식각하여 반도체 기판의 일부를 노출시키는 공정;전면에 플러그 형성용 폴리층을 형성하고 상기 플러그 형성용 폴리층 및 ILD 산화막의 일부를 동시에 제거하여 평탄화하는 공정;플러그 리버스 마스크를 사용하여 포토 공정을 진행하여 노출된 플러그 형성용 폴리층을 선택적으로 건식각하여 비트라인 플러그층,스토리지 노드 콘택 플러그층을 형성하는 공정을 포함하여 이루어진다.
Patent KR-100312222-B1 (KR)
Title: 부호분할 다중접속 방식의 이동통신 시스템에서 이동국의 페이즈 조정방법
IPC: H04B7/26
Filed: 1999-05-14
Granted: 2001-11-03
Abstract: 가. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술분야 
     본 발명은 부호분할 다중접속 방식의 이동통신 시스템의 이동국에 관한 것으로, 특히 이동국의 페이즈 조정 방법에 관한 것이다. 
     나. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제 
     부호분할 다중접속 방식의 이동통신 시스템에서 이동국이 해당 핑거의 롤오버포인트 발생시점과 동기 관련 카운터의 카운팅 동작에 따른 인터럽트 신호 발생시점을 비교하여 이동국의 PN 코드 인덱스와 슈퍼 프레임의 페이즈가 어긋난 경우등과 같은 페이즈 조정이 필요한 경우, 상기 이동국이  상기 동기 관련 카운터에 시스템 타임에 의거한 정확한 슈퍼 프레임의 페이즈를 직접 입력하여 페이즈 조정 동작에 소모되는 시간을 줄이는 방법의 제공. 
     다. 발명의 해결 방법의 요지 
     부호분할 다중접속 방식의 이동통신 시스템에서 이동국의 페이즈 조정시 동기 관련 카운터를 리셋하고 시스템 시간에 의거한 정확한 슈퍼 프레임의 페이즈를 직접 상기 동기 관련 카운터에 입력한다. 
     라. 발명의 중요한 용도 
     이동국의 전원소모를 절약 및 신속한 기지국 타이밍을 재확보.
Patent KR-100298461-B1 (KR)
Title: 반도체 소자 제조방법
IPC: H01L21/334
Filed: 1999-05-18
Granted: 2001-09-26
Abstract: 본 발명은 숏 채널 효과에 영향을 받지 않으면서 두꺼운 게이트 절연막이 형성되는 소자에서의 핫 캐리어 특성을 개선시켜 소자의 신뢰성을 향상시키는데 적당한 반도체 소자의 제조방법을 제공하기 위한 것으로, 반도체 기판상에 서로 다른 두께의 게이트 절연막을 갖는 게이트 전극들을 형성하는 공정과, 게이트 전극들 양측의 기판내에 저농도의 불순물 이온을 주입하는 공정과, 게이트 절연막들중 상대적으로 두꺼운 게이트 절연막이 형성된 영역의 저농도 불순물 이온이 주입된 부분에 질소 이온을 주입하는 공정과, 게이트 전극들의 양측면에 사이드월 스페이서들을 형성하는 공정, 기판내에 고농도의 소오스/드레인 불순물 이온주입을 실시하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100293524-B1 (KR)
Title: 비진공 공정을 이용한 결정화장치 및 방법
IPC: C30B1/02
Filed: 1999-05-28
Granted: 2001-06-15
Abstract: 본 발명은 비진공 공정을 이용하여 반도체를 결정화시키기 위한 결정화 장치 및 방법에 관한 것이다. 
     본 발명은 기판 상에 레이저빔을 조사하여 기판의 측면에서부터 일방향으로 결정을 성장시키게 된다. 
     본 발명에 의하면, 측면에서부터 일방향으로 결정을 성장시키는 결정화 방법을 이용하여 대기 상태에서도 그레인 바운더리를 최소화할 수 있으므로 비진공 상태에서 기판을 결정화시켜 생산성을 향상시킬 수 있게 된다.
Patent KR-100334835-B1 (KR)
Title: 액정표시장치
IPC: G09F9/30
Filed: 1999-06-16
Granted: 2002-05-04
Abstract: 본 발명은 액정 주입부를 수지로 밀봉하여 폐쇄하는 경우에 그 작업을 정확하고 용이하게 할 수 있도록, 또한, 액정 주입 불량도 발견할 수 있도록 한 액정표시장치의 제공을 목적으로 한다. 
     금속반사막이 형성된 일측의 기판과, 그 기판에 대향 배치된 타측의 기판과, 이들 1 쌍의 기판 사이에 끼워져 설치된 상기 기판사이에 형성된 액정 주입 공간을 기판과 함께 둘러싸는 밀봉재와, 상기 액정 주입 공간에 봉입된 액정을 구비하여 이루어지고, 상기 밀봉재에 액정의 주입부가 형성되고, 상기 액정이 봉입된 영역내의 기판면내에 표시용전극이 복수 형성되어 있고, 상기 일측의 기판에 있어서, 상기 표시용전극 형성 영역의 외측으로서, 상기 밀봉재의 상기 주입부를 포함한 부분에 상기 금속반사막의 미형성 영역이 형성되어 이루어지는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100353617-B1 (KR)
Title: 발광성 미생물을 이용한 독성물질의 분해도 및 처리공정효율평가 방법
IPC: C12Q1/18
Filed: 1999-06-21
Granted: 2002-09-26
Abstract: 본 발명은 동결건조 균주를 이용하여 독성물질의 분해에 따른 독성의 감소를 측정하는 방법에 관한 것이다. 
     독성물질의 분해도 및 처리공정의 효율을 측정하기 위하여, 본 발명은 독성의 정도에 따라 빛을 감소시키는 동결 건조된 발광미생물과 특정한 독성에 대하여 빛을 방출하도록 유전공학적으로 재조합된 발광박테리아를 이용함으로써, 종래의 기기적 분석법으로는 측정하지 못하는 중간산물이 생물체에 미치는 독성까지도 측정할 수 있고 또한 이들 중간산물이 생물체에 미치는 전반적인 독성뿐만 아니라 특정부위에 작용하는 독성까지도 추적할 수 있으므로 그 물질이 생물체의 어느 부위에 특정한 손상을 주는지에 대한 정보까지도 제공할 수 있다. 
     또한, 본 발명은 동결 건조된 발광성 미생물을 이용하므로 수송이 용이하고 보관이 간편하므로 현장적용을 위한 휴대화가 가능할 뿐만 아니라, 측정방법이 간단하여 일반인에 의해서도 손쉽게 측정이 가능하고, 부수적인 장치 및 소모품을 필요로 하지 않으므로 매우 경제적인 방법이기도 하다.
Patent KR-100346848-B1 (KR)
Title: 비동기 전송모드 교환시스템에서 점대다중점 출중계호의 제공방법
IPC: H04L12/28
Filed: 1999-06-30
Granted: 2002-08-01
Abstract: 본 발명은 ATM 교환시스템에서 점대다중점 출중계호의 제공방법에 관한 것으로서, 가입자 호와 중계 호를 처리하는 ALS/가입자와 ALS/중계선으로 분류된 ATM 국부 교환 부 시스템과 ATM 중앙 교환 부 시스템의 두 부 시스템으로 이루어진 ATM 교환 시스템에서 점대다중점 출중계호의 제공을 위해 점대다중점 출중계호의 프로세스에서 첫 번째 리프를 설정하는 과정, 상기 점대다중점 출중계호의 프로세스에 리프가 하나만 있을 경우 이를 해제하는 과정, 하나의 출중계 리프를 설정한 후 다른 리프를 추가하는 과정 및 상기 점대다중점 출중계호 프로세스에 두 개 이상의 출중계 리프가 있을 경우 리프를 삭제하는 과정을 수행함으로써, 점대다중점 출중계호의 설정, 유지 그리고 해제 기능에 있어서 한 개의 점대다중점 출중계호 프로세스만 생성하여 다수의 출중계 리프를 연결할 수 있으므로 프로세서의 메모리 사용을 감소할 수 있으며, 테이블을 이용하여 출중계 리프 식별자를 생성하고 삭제하므로 리프 식별자를 관리하기가 용이하고, 또한 동일한 출중계 링크를 통과하는 다수개의 리프에 대하여 한번만 가상 채널과 대역폭을 할당하고 해제하므로 망 자원의 효율성과 호 처리 기능의 능력을 향상시킬 수 있음에 따라서 멀티캐스팅 서비스에 적용할 때 그 효과가 극대화 된다.
Patent KR-100618970-B1 (KR)
IPC: H04N7/12
Filed: 1999-07-26
Granted: 2006-09-01
Abstract: IEEE1394와 같은 디지털 인터페이스를 갖는 기기에서 채널 번호에 대한 관련 규격 사항을 만족하는 채널을 미리 확보하는 채널 관리 방법이 개시된다. 본 발명의 채널 관리 방법은 하나 이상의 출력 플러그를 구비한 디지털 기기의 채널 관리 방법으로서, 출력 플러그에 대하여 브로드캐스트 아웃 연결을 설정할 때, 상기 출력 플러그에 대해 미리 할당된 채널이 존재하는가를 검사하는 과정, 상기 과정에서 미리할당된 채널이 존재하는 경우 그 채널 번호를 사용하고, 그렇지 않는 경우 상기 기기가 구비한 출력 플러그 갯수만큼의 연속되는 번호를 갖는 채널을 새로인 할당 받아 이중에서 상기 출력 플러그에 대응하는 채널 번호를 사용하는 과정을 포함한다.
Patent KR-100351750-B1 (KR)
Title: 인삼엽을 주원료로 하는 인삼녹차의 제조방법
IPC: A23F3/20
Filed: 1999-07-26
Granted: 2002-09-11
Abstract: 본 발명은 세척공정을 거쳐 불순물을 제거한 인삼잎을 초산함량 10%의 식초를 1~2중량% 첨가시킨 88~95℃의 수중에 1,2분간 침지시킨 후, 표면에 침착된 펙틴성분을 세척 제거하고, 수분함량 6~9%로 음건시킨 후 분말화한 인삼잎 분말 2.0~2.2중량부에 갈근 분말 0.6~0.7중량부, 감초 0.2~0.4중량부를 혼합하여 용기에 충진시킨 후 110~120℃에서 20~40분간 살균처리하고 급냉시켜 주는 인삼엽을 주원료로 하는 인삼녹차의 제조방법에 관한 것이다. 
     인삼잎은 차나무 잎보다 저가로 구득할 수 있으며, 수퍼옥시드 디스무타제, 엽록소 등 인체에 유익한 성분이 다량 함유되어 있어 이를 원료로하여 녹차를 제조하게 되면 인삼 특유의 향미를 내면서 차나무 녹차보다도 유효성분을 다량 함유한 녹차를 얻을 수 있는 효과가 있다.
Patent KR-100309234-B1 (KR)
Title: 서로 다른 이동 통신 교환국에 접속된 기지국 제어기들 간의소프트 핸드오버를 수행할 수 있는 이동 통신 시스템
IPC: H04W36/12
Filed: 1999-08-26
Granted: 2001-11-01
Abstract: 이동 통신 시스템은 통신 회선인 접속 회선과 기지국 제어기들 간의 제어 신호의 송수신을 위한 제어 신호 회선을 포함한다.  기지국 제어기 내에 설치된 소프트 핸드오버 제어부에서는, 이동 단말에서 수신된 전계 강도를 참조하여 접속 회선이 각각 설정된다.  기지국 제어기 내에 설치된 스위칭부는 통신 회선, 소프트 핸드오버 제어부, 통신 기지국 제어기의 QCELP/PCM 변환부, 접속 회선, 및 제어 신호 회선 간의 경로 접속을 각각 수행한다.
Patent KR-100301929-B1 (KR)
Title: 반도체 플라즈마 식각설비의 공정챔버
IPC: H01L21/3065
Filed: 1999-08-31
Granted: 2001-11-01
Abstract: 본  발명은,  고주파  전력의  누설로  인한  정합불량을  방지하기  위한  반도체  플라즈마  식각설비의  공정챔버에  관한  것으로서,  고주파전력이  공급되는  식각챔버에  설치되어  고주파전력이  공급되는  전극을  냉각시키는  전극냉각부가  구비된  반도체  플라즈마  식각설비의  공정챔버에  있어서,  상기  전극으로  공급되는  고주파전력이  상기  전극냉각부를  통해  누설되는  것을  막아  고용량의  고주파전력이  상기  식각챔버로  공급되도록  상기  전극과  상기  전극냉각부  사이에  정합수단이  설치되며,  상기  정합수단은  상기  전극냉각부와  상기  전극을  연결하는  냉각라인의  일부를  나선상으로  권취하여  형성시키고,  유도성분을  증가시켜  상기  고주파전력이  상기  전극에  충분히  공급되도록  복수의  권취관으로  이루어진다.
Patent KR-100338425-B1 (KR)
Title: 콤바인의 탈곡장치
IPC: A01F12/24
Filed: 1999-09-09
Granted: 2002-05-27
Abstract: 받이망의 파손등을 생기기 어렵게 함과 동시에, 비록 받이망의 일부가 파손되어도 받이망 전체의 교환을 행하지 않아도 되는 콤바인의 탈곡장치를 제공한다. 
     탈곡실(9)에 있어서 탈곡체(10)의 하측에 탈곡체 주변방향을 따라서 팽팽하게 설치된 받이망(11)을, 강판재로 처리물누하구멍(a)을 종횡으로 뚫어 설치하여 구성되어 있음과 동시에, 받이망(11)을 탈곡케이스(23)에 고정하는 지지틀(18)에 체결고정가능한 체결부(T1)와, 상기 받이망(11)의 받이면측에 활형상쇠(19,20)를 체결고정가능한 제 2체결부(T2)를 설치하고, 상기 체결부(T1) 및 제 2체결부(T2)의 각각을 상기 받이망(11)의 탈곡체축심방향 및 탈곡체폭방향에서의 중심(X)을 점대칭으로 하는 대칭위치에 설치한 콤바인의 탈곡장치.
Patent KR-100328615-B1 (KR)
Title: 메모리 시험장치
IPC: G11C29/56
Filed: 1999-09-21
Granted: 2002-03-15
Abstract: 플래쉬메모리와 같이 블록기능을 갖는 메모리를 단시간에 테스트할 수 있는 메모리 시험장치를 제공한다.   피시험메모리(MUT)의 전(全)비트 불량을 격납할 수 있는 불량해석메모리(AFM)에 더하여 피시험메모리가 갖는 블록수에 대응하는 기억용량을 갖는 제1 배드블록메모리(BBM)와 제2 배드블록메모리(CFM)를 설치한다. 제1 배드블록메모리에는 초기테스트 결과를 격납하고, 초기테스트 결과를 마스크데이터로 이용하여 초기테스트에서 불량으로 판정된 배드블록은 마스크하여 기능테스트를 생략하고, 패스블록만을 기능테스트한다.   이 기능테스트 결과를 제2 배드블록메모리에 격납하고, 이 제2 배드블록메모리에 배드블록데이터가 격납되어 있는 블록만을 구제 가능한지 여부를 판정처리한다.
Patent KR-100468106-B1 (KR)
Title: 고로의 단기 개수·건설방법 및 설비
IPC: F27D1/12
Filed: 1999-09-30
Granted: 2005-01-26
Abstract: 본 발명은 고로의 단기(短期)의 개수·건설방법에 관한 것이다. 
     특히, 링형상 블록(ring-like block)의 상가장치(上架裝置)를 사용해서 개수공사기간, 또는 건설공사기간의 현저한 단축을 실현했다. 
     이미 설치된 고로에 존재하는 주조대(鑄造臺)(토피드카 등의 선철 수용용기 등에 도입하기 위한 용융선철통 등을 설치한 작업대)을 링형상 블록의 고로기초부위로의 반송작업대로서 이용하고, 링형상 블록을 주조대 위에 안전하고, 또한 정확히 탑재시킬 수가 있는 링형상 블록의 상가장치를 개발했다. 
     상가장치는 로드식 승강 잭을 이용한 잭 시스템 및 간헐적으로 이동가능한 유압실린더를 구비한 슬라이딩 장치로 구성하고 있고, 링형상 블록을 주조대 위에 안전하고, 또한 정확히 탑재시킬 수 있다.
Patent KR-100384125-B1 (KR)
Title: 원료가스 공급노즐의 구경 가변장치
IPC: F27D13/00
Filed: 1999-10-21
Granted: 2003-05-14
Abstract: 본 발명은 원료가스 공급노즐의 구경 가변장치에 관한 것이다. 
     이를 위해 본 발명은 C.O.G의 유로인 플렉시블호스와 체결가능한 공급구를 갖고 석회소성로의 렌스노즐 전면에 고정되며 일면이 개방된 원반형의 베이스와; 상기 베이스에 회전가능하게 내장되고, 그 중심에는 사각형상의 축공을 가지며, 그 원주방향을 따라 양면을 관통하여 구경이 다른 다수의 노즐이 고정되는 노즐삽입공이 회전시 상기 공급구와 일치되도록 형성된 노즐판과; 상기 노즐판이 이탈되지 않도록 상기 베이스의 개방된 면을 폐쇄하며 고정되고, 그 일면에는 상기 공급구 및 어느하나의 노즐삽입공과 연통되며 소성로의 렌스노즐과 연결된 연결파이프가 구비되며, 그 중심에는 축공이 관통형성된 커버와; 상기 커버의 축공에 삽입되고 그 일단은 상기 노즐판의 축공에 결합되어 상기 노즐판을 회전시킬 수 있도록 구비된 조절부재로 구성함으로써 제철소의 석회소성로에서 사용하는 가스관 노즐의 구경을 조업상황에 맞게 신속하게 가변시킬 수 있도록 한 것이다.
Patent KR-100363445-B1 (KR)
Title: 손잡이 없는 부동전
IPC: F16K21/00
Filed: 1999-11-04
Granted: 2002-12-05
Abstract: 본 발명은 손잡이 없는 부동전에 관한 것으로, 좀더 구체적으로는 부동전의 상부동체를 누르거나 잡아 빼는 단순한 동작에 의해 밸브개폐가 이루어지게 하고, 더불어 배출구의 방향을 360°어느 방향으로도 회전시킬 수 있도록 하여 사용과 조작이 매우 편리하고, 외관이 단정하며, 좀 더 새로운 부동전을 제공할 수 있게 하기 위한 것이다.
Patent KR-100644149-B1 (KR)
Title: An evacuant
IPC: A61K35/745
Filed: 1999-11-25
Granted: 2006-11-13
Abstract: Disclosed is an evacuant possessing a sufficient evacuating effect in a small dose substantially without accompanying any irritation to bowel, irrespective of whether its preparations are in the form of tablets, liquids or elixirs, and having a suppressing action to odor of feces. This evacuant is characterized by containing an active magnesium oxide which has a BET value (surface area in terms of m<2>/g) of at least 21, preferably 21-50, more preferably 30-40 and is excellent in acid reactivity, and may preferably be incorporated with lactic acid bacteria, a mixture of sporolactobacteria and yeast extracts and/or oligosaccharides. The preparations are preferably in the form of liquids, granules, tablets and capsules.
Patent KR-100643012-B1 (KR)
IPC: C08J7/046
Filed: 1999-12-02
Granted: 2006-11-13
Abstract: 쌍극성 비양자성 용매에 용해되는 내열수지를 함유하는 적층필름은 이축배향 열가소성 필름에 적층되고, 이축배향 열가소성 필름과 내열수지층이 서로 직접 접착하고, 내열수지는 도포 후에, 적어도 한 방향으로 연신되는 특징을 가지는 적층필름이며, 접착층이 사이에 개재되지 않고, 생성된 적층필름은 접착성과 평면성이 우수하고, 평면성 및 생산성이 우수한 내열 수지 적층필름을 제공한다.
Patent KR-100373642-B1 (KR)
Title: 자동차용 도어
IPC: B60J5/04
Filed: 1999-12-11
Granted: 2003-02-26
Abstract: 본 발명은 자동차용 도어에 관한 것으로서, 기둥(P)의 외측면에 접하는 접촉부(11a)가 내측판넬(11)의 일측부에 다중으로 절곡되어 형성되고, 상기 접촉부(11a)가 형성된 내측판넬(11)의 단부에는 내측판넬(11)과 소정의 간격을 두고 설치되는 외측판넬(12)의 단부가 감싸며 용착되는 것에 있어서, 상기 외측판넬(12)의 단부에 프로텍터(20)를 설치하여, 도어(10)를 개폐시, 상기 도어(10)의 외측판넬(12)의 단부에 설치된 프로텍터(20)가 도로와 인도를 구분하도록 설치된 경계석이나 건물 벽체등과 같은 외부물에 부딪히게 됨으로서, 도어(10)의 외측판넬(12)에 도포되어 있는 도장등이 손상되지 않게 됨은 물론, 상기 도어(10)를 개폐시 외츠측판넬이 외부물과 접하여 쉽게 변형되는 것이 억제됨으로서, 차량의 외관미가 향상되도록 하는 것이다.
Patent KR-100320151-B1 (KR)
Title: 다중 영상신호저장 제어장치
IPC: H04N7/12
Filed: 1999-12-15
Granted: 2002-01-17
Abstract: 본 발명은 영상신호저장 제어장치에 관한 것으로, 제어신호를 입력으로 받아들여 변환하는 입력 제어부; 상기 입력 제어부의 출력 제어신호를 복수개의 제어신호로 변환하고 제어신호에 대한 회로를 컨트롤하는 중앙 제어부; 버퍼에 저장된 데이터를 독출하여 인터페이스 부를 통해 아날로그 영상저장장치를 제어하는 출력 제어부; 중앙 제어부를 통하여 버퍼에 저장된 데이터를 독출하여 영상 캡쳐 신호를 제어하는 신호 제어부; 신호 제어부와 연결되고 신호 입력부를 통하여 복합영상신호를 입력으로 받아 정지영상을 캡쳐하여 영상 표준 모드로 변환하는 디코더 부; 캡쳐된 정지영상을 영상 프레임으로 변환하는 영상데이터 포맷부; 호스트 버스를 통하여 소정의 디지털 정지영상을 출력하도록 메모리를 제어하는 메모리 제어부로 구성된 것이다. 
     이러한 구성을 가진 다중 영상신호저장 제어장치는 동영상을 저장하면서 특정제어신호에 의하여 소정의 디지털 정지영상을 획득하고 하드웨어의 부담을 줄이며 신호의 왜곡을 방지하는 효과가 있다.
Patent KR-100878175-B1 (KR)
IPC: C09J7/10
Filed: 1999-12-17
Granted: 2009-01-12
Abstract: 산화막이 형성된 미소피치의 접속전극에 대해 높은 접속신뢰성을 유지할 수 있는 이방도전성 접착필름을 제공한다. 
     본 발명의 이방도전성 접착필름 (1) 은, 절연성 접착제 수지 (6) 중에 도전입자 (7) 가 분산되어 구성된다.     도전입자 (7) 는, 스티렌계의 수지입자 (71) 의 표면에 니켈, 금 등의 도금을 실시함으로써 금속박막 (72) 이 형성되어 있다.     도전입자 (7) 의 금속박막 (72) 의 표면에는, 복수의 돌출부 (72a) 가 형성되어 있다. 
       
     이방도전성 접착필름
Patent KR-100435480-B1 (KR)
Title: 자성이 우수한 세미프로세스 무방향성 전기강판의 제조방법
IPC: C21D8/12
Filed: 1999-12-27
Granted: 2004-06-10
Abstract: 본 발명은 세미프로세스 무방향성 전기강판의 제조방법에 관한 것으로,  결정립계에 Sn, Cr을 첨가하여 N의 침입을 막고, Ti을 첨가해 O,S 및 N와의 결합에 의한 조대한 석출물을 생성시켜 강을 청정하게 함으로써, 낮은 철손과 우수한 투자율을 갖는 세미프로세스 무방향성 전기강판의 제조방법을 제공하고자 하는데, 그 목적이 있다. 
     본 발명은 중량%로 C: 0.01%이하, Si: 1.5%이하, Mn: 0.7%이하, P: 0.15%이하, S: 0.012%이하, Al: 0.5%이하, N: 0.005%이하, Sn: 0.03~0.3%, Cr: 0.05~0.5%, Ti: 0.005~0.01%, O: 0.006%이하, Cu: 0.02%이하, V: 0.005%이하, Zr: 0.005%이하, 잔부 Fe 및 기타 불가피한 불순물로 조성되는 슬라브를 1120~1250℃의 온도로 재가열하고, 열간압연한 후 600℃이상의 온도로 권취한 후 필요에 따라 800~1050℃의 온도범위에서 열연판소둔을 실시하거나, 또는 750℃ 이상에서 권취한 후 자기소둔을 실시한 다음 산세하고, 냉간압연한 후 650~900℃의 온도에서 냉연판소둔을 실시하고 1.5~15%로 스킨패스압연하는 것을 특징으로 하는 자성이 우수한 세미프로세스 무방향성 전기강판의 제조방법을, 그 기술적 요지로 한다.
Patent KR-100361210-B1 (KR)
Title: 반도체 소자의 콘택홀 형성방법
IPC: H01L21/77
Filed: 1999-12-28
Granted: 2002-11-18
Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 콘택홀 형성방법에 관한 것으로, 자기정렬 콘택(Self Align Contact; SAC) 식각 공정을 콘택홀을 형성하는 경우 콘택 사이즈가 증가하고 식각 장벽층의 손실로 인해 소자간 단락이 발생하는 문제점을 해결하기 위하여, SAC 식각 공정시 식각 선택비가 우수한 폴리실리콘을 식각 장벽층으로 활용하므로써, 식각 장벽층의 손실을 최소화하여 콘택과 하부 도전층과의 단락을 방지할 수 있고 더욱 미세한 콘택을 안정적으로 형성할 수 있도록 한 반도체 소자의 콘택홀 형성방법이 개시된다.
Patent KR-100398728-B1 (KR)
Title: 이동 교환 시스템과 아이 더블유 에프 간 채널 상태 관리방법
IPC: H04W92/14
Filed: 1999-12-29
Granted: 2003-09-19
Abstract: 데이터 호 서비스를 위해 이동 통신망에서 연동하는 교환 시스템과 IWF간의 채널 상태 관리 정보를 상호 교환하여 신뢰성 있는 데이터 호를 형성하도록 한 것으로, 독립된 각각의 시스템은 채널 상태 변경이 요구되는 이벤트가 발생되는지를 검출하는 과정과, 이벤트의 발생이 검출되면 해당 채널에 대하여 가용 및 비가용의 상태로 처리한 다음 관련 정보를 테이블에 등록하는 과정과, 처리된 관련 정보를 상대 시스템에 전송한 다음 설정된 시간 이내에 상대 시스템으로부터 응답이 검출되는지를 판단하는 과정 및, 설정된 시간 이내에 응답이 검출되지 않으면 상기 이벤트의 발생에 따라 처리된 채널 관련 정보를 상대 시스템에 재전송하고, 설정된 시간 이내에 응답이 검출되면 상대 시스템 역시 동일한 채널 관리 정보를 등록하였음을 인증하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100688721-B1 (KR)
IPC: H01L21/66
Filed: 1999-12-30
Granted: 2007-02-28
Abstract: 본 발명은 반도체 장치의 리소그래피 공정시 EGA 방식을 이용한 오버레이 측정 과정에서 계측되는 데이터 갯수를 유동적으로 지정하므로써, 오버레이 측정에 따른 효율성 및 정밀도를 향상시킬 수 있는 반도체 제조 공정에서의 오버레이 측정 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 오버레이 측정을 위해 웨이퍼로부터 기설정된 최소 계측수 만큼의 EGA 데이터를 계측하는 제1단계와, 상기 최소 계측수의 EGA 데이터로 오버레이 측정 제1결과값을 산출하는 제2단계와, 상기 제1결과값에 의거하여 상기 웨이퍼가 탑재된 스테이지를 이동시켜 EGA 데이터를 다시 계측하는 제3단계와, 상기 스테이지 이동 후, 계측된 EGA 데이터로 오버레이 측정 제2결과값을 다시 산출하는 제4단계와, 상기 제2결과값이 노광공정을 위한 허용 범위내 포함되는지 여부를 검사하는 제5단계와, 상기 제2결과값이 상기 허용 범위내 포함되는 경우 상기 웨이퍼에 대한 노광공정을 수행하는 제6단계와, 상기 제2결과값이 상기 허용범위내 포함되지 않을 시 상기 제2결과값에 의거하여 상기 웨이퍼가 탑재된 스테이지를 다시 이동시킨 후, 기설정된 최대 계측수 만큼 EGA 데이터를 다시 계측하여 오버레이 측정 결과값을 갱신하는 제7단계와, 상기 최대 계측수의 EGA 데이터를 통해 최종 갱신된 상기 오버레이 측정 결과값이 상기 허용범위내 포함되지 않는 경우 에러 메시지를 출력하는 제8단계를 포함하여, EGA 데이터 계측수를 유동적으로 설정하여 오버레이 측정을 수행하므로써, 오버레이 마진의 크기에 따라 적응적으로 오버레이 측정을 수행할 수 있는 효과가 있으며, 그에 따라 전반적인 오버레이 공정 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.
Patent KR-100584334-B1 (KR)
IPC: H04B7/26
Filed: 1999-12-31
Granted: 2006-05-26
Abstract: 가. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야 
     이동통신 단말기의 상태 천이 방법 및 이동통신 시스템에서 이동통신 단말기의 상태에 따른 호출 방법에 관한 것이다. 
     나. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제 
     이동통신 단말기가 공공장소 등에 위치할 경우 착신되는 호를 타인에게 불쾌감을 주지 않으면서 메시지를 수신할 수 있는 방법을 제공한다. 
     다. 발명의 해결방법의 요지 
     본 발명은 이동통신 단말기의 상태 천이시 호 착신에 따른 제어 방법으로, 이동통신 단말기가 에티켓 상태인 경우에 이동통신 시스템으로부터 호가 착신되면 이에 응답하여 에티켓 상태임을 상기 이동통신 시스템으로 알리고, 이동통신 시스템으로부터 메시지의 저장에 따른 신호가 수신될 경우 가청음을 제외한 방법으로 이를 사용자에게 알림을 특징으로 한다. 
     라. 발명의 중요한 용도 
     이동통신 단말기 및 이동통신 시스템에 적용하여 사용한다. 
       
     이동통신 시스템, 이동통신 단말기, 에티켓, 공공장소, 호의 착신.
Patent KR-100667607-B1 (KR)
IPC: G06T9/00
Filed: 1998-06-25
Granted: 2007-01-15
Abstract: 본 발명에 따른 가변 비트레이트 코딩 방법은 제 1 분석 경로 및 제 2 예측 경로를 포함하는 통합형 처리를 포함한다.  분석 경로는 일정한 양자화 스텝사이즈(및 품질)에 따라 시퀀스의 화상 코딩을 가능하게 하며 예측 경로는 원하는 목표 비트레이트에 스텝사이즈를 매칭할 수 있도록 한다.  몇몇 반복들 후에, 최종 단계는 상기 목표 비트레이트에 대해 상기 스텝사이즈의 미세한 조정을 가능하게 한다. 
     응용 : 제한된 용량을 갖는 저장 매체용의 MPEG2 인코더들 
       
     가변 비트레이트, 양자화 스텝사이즈, 목표 비트레이트, 누적 예측 비트레이트, 스텝사이즈 추정
Patent KR-100293765-B1 (KR)
Inventor: CHANG EUNG SOON
IPC: H01Q1/20
Filed: 1999-04-06
Granted: 2001-04-06
Abstract: PURPOSE: An antenna for radio equipment is provided to transmit/receive electric wave in an efficient manner, while allowing manufacturing procedures to be easily performed and reducing cost. CONSTITUTION: An antenna comprises a support portion(11) having a circular groove(10) formed at an end of the support unit; and a connection piece(15) having a circular insertion portion(13) and an elongated hole(14). The insertion portion of the connecting piece is elastically coupled to the circular groove of the support portion, in such a manner that the insertion portion is attachable/detachable to/from the circular groove of the support portion. The connection piece is rotatable by 360 degrees within the circular groove of the support portion.
Patent KR-100583379-B1 (KR)
IPC: H01S5/30
Filed: 1998-09-21
Granted: 2006-05-25
Abstract: 본 발명은 역치 전류 및 효율의 온도 의존성이 작고, 고출력으로 발진 가능한 반도체 레이저의 제공을 목적으로 한 것이다. 
     종래의 GaInAs/GaInAsP 계 반도체 레이저는 유지 온도가 낮은 만큼 슬로프 효율이 높고 역치 전류는 크며, 온도 상승과 함께 손실 계수가 증대하여, 외부 전자 효율이 저하하여 출력이 저하되었다.  따라서, 광범위한 기술 분야에서 이용 가능하도록 역치 전류 및 효율의 온도 의존성이 작고 고출력으로 발진하는 레이저가 요망되고 있다. 
     본 발명은 이를 위하여 GaInAs/GaInAsP 재료를 이용한 압축 변형 양자 웰 반도체 레이저에 있어서, p형 도파층 3 및 n형 도파층 9 중에 당해 도파층의 밴드 갭 Egb 보다 큰 밴드 갭 Egc를 갖고, 당해 도파층의 굴절율 보다 작은 재료로 구성되는 캐리어 블록층 11, 14를 설치한 것을 특징으로 하는 것이다. 
       
     반도체 레이저, InGaAs/InGaAsP, 도파층, 밴드 갭, 캐리어 블록층.
Patent KR-100526216-B1 (KR)
Title: 대화형 장치
IPC: G10L17/00
Filed: 1997-11-26
Granted: 2005-11-04
Abstract: 본 발명은 종래의 대화형 장치, 특히 통신네트워크에 연결된 장치에 있어서 출력되는 프롬프트의 에코와 그 프롬프트에 대한 장치 및 사용자의 응답을 구별하기가 어려운 문제를 해결하는 대화형 장치에 관한 것으로서, 사용자가 출력되는 프롬프트를 중단시키고, 사용자의 응답(예를 들어 주파수 대역)에서 정상적으로 발견되는 성분을 출력되는 프롬프트로부터 제거하는 대화형 장치가 개시되어 있고, 상기 장치에서 입력 신호 분석기(21)는 출력되는 프롬프트에서 결핍되는 성분을 유무를 표시함으로써 사용자의 응답을 검출할 수 있고, 출력되는 프롬프트에서 주파수 대역을 제거하는 대신 장치는 출력되는 신호의 이격 타임슬롯을 강제로 무언으로 할 수 있고, 그 경우 입력 신호 분석유닛은 소정의 시각 동안 입력신호에서 무언 기간이 관찰되지 않았다고 결정하여 사용자 응답이 있음을 검출할 수 있으며, 본 발명은 프롬프트/응답 대화에 사용자를 끌어들이는 장치에 응용 가능할 뿐만 아니라 음성 제어 가능 응답전화기 등에 의해 재생되는 메시지의 인터럽션과 관련하여 유용하다.
Patent KR-100604702-B1 (KR)
IPC: H04N19/147
Filed: 1998-02-11
Granted: 2006-07-28
Abstract: 코딩 속도를 최적화하기 위하여 각 프레임에 대한 양자화 스케일을 선택하기 위한 장치 및 방법(100,300)에 관한 것이다.  양자화 스케일이 각 프레임에 대하여 선택되어, 전체 프레임들의 시퀀스에 걸쳐 일정한 화질을 유지하면서 상기 프레임에 대한 목표 비트 속도가 달성된다.
Patent KR-100613799-B1 (KR)
Title: Solid Electrolytic Secondary Battery
IPC: H01M10/0525
Filed: 1999-04-22
Granted: 2006-08-22
Abstract: A solid-electrolyte secondary battery is provided which comprises a positive electrode, negative electrode and a solid electrolyte provided between the electrodes. The solid electrolyte contains as a matrix polymer a vinylidene fluoride/hexafluoropropylene block copolymer. The film of the block copolymer has a high mechanical toughness and solvent retaining capability. Use of this block copolymer film as the matrix polymer of the solid electrolyte greatly improves the adhesive strength, load characteristic and low-temperature performance. In the block copolymer, the proportion of hexafluoropropylene should preferably 3 to 7.5 % by weight. The molecular weight should preferably be of over 550,000. A block copolymer of over 300,000 in Mw and under 550,000 in Mw may be used in combination with the above one. <IMAGE>
Patent KR-100358083-B1 (KR)
Inventor: CHA HUN
IPC: A61P9/00
Filed: 2000-02-17
Granted: 2002-10-25
Abstract: The invention relates to a series of pyrrolopyrimidinone derivatives of the formula ( 1 ): wherein R<SUP>1 </SUP>is H; C<SUB>1</SUB>-C<SUB>3 </SUB>alkyl optionally substituted with one or more fluoro atoms; or C<SUB>3</SUB>-C<SUB>6 </SUB>cycloalkyl; R<SUP>2 </SUP>is H; a halogen atom; C<SUB>1</SUB>-C<SUB>6 </SUB>alkyl optionally substituted with OH, C<SUB>1</SUB>-C<SUB>3 </SUB>alkoxy, C<SUB>3</SUB>-C<SUB>6 </SUB>cycloalkyl, or with one or more fluoro atoms; C<SUB>3</SUB>-C<SUB>6 </SUB>cycloalkyl; C<SUB>2</SUB>-C<SUB>6 </SUB>alkenyl; or C<SUB>2</SUB>-C<SUB>6 </SUB>alkynyl; R<SUP>3 </SUP>is H; C<SUB>1</SUB>-C<SUB>6 </SUB>alkyl optionally substituted with OH, C<SUB>1</SUB>-C<SUB>3 </SUB>alkoxy, C<SUB>3</SUB>-C<SUB>6 </SUB>cycloalkyl, or with one or more fluoro atoms; C<SUB>3</SUB>-C<SUB>6 </SUB>cycloalkyl; C<SUB>2</SUB>-C<SUB>6 </SUB>alkenyl; or C<SUB>2</SUB>-C<SUB>6 </SUB>alkynyl; R<SUP>4 </SUP>is C<SUB>1</SUB>-C<SUB>6 </SUB>alkyl optionally substituted with C<SUB>3</SUB>-C<SUB>6 </SUB>cycloalkyl or with one or more fluoro atoms; C<SUB>2</SUB>-C<SUB>6 </SUB>alkenyl; C<SUB>2</SUB>-C<SUB>6 </SUB>alkynyl; or C<SUB>3</SUB>-C<SUB>6 </SUB>cycloalkyl; and R<SUP>5 </SUP>is SO<SUB>2</SUB>NR<SUP>6</SUP>R<SUP>7</SUP>; NHSO<SUB>2</SUB>NR<SUP>6</SUP>R<SUP>7</SUP>; NHCOCONR<SUP>6</SUP>R<SUP>7</SUP>; NHSO<SUB>2</SUB>R<SUP>8; </SUP>NHCOR<SUP>8; </SUP>or phenyl or heterocyclyl either of which is optionally substituted with one or more fluoro atoms or C<SUB>1</SUB>-C<SUB>3 </SUB>alkyl.
Patent KR-100343940-B1 (KR)
IPC: G06F12/10
Filed: 2000-02-26
Granted: 2002-07-20
Abstract: 세트 어소시어티브 캐쉬를 가지는 데이터 프로세서에서, 가상 주소는 중앙 처리 장치에서 발생된다. 가상 주소는 가상 페이지 번호와 가상 오프셋을 구비한다. 가상 페이지 번호는 물리 페이지 번호로 변환된다. 변환된 비트들 중의 적어도 한 비트는 쓰여질 캐쉬 세트에 관한 정보를 포함한다. 가상 페이지 번호는 변환된 캐쉬 세트 비트에 의해 수정된다. 그 다음, 수정된 가상 페이지 번호를 이용하여 캐쉬에 엑세스 한다. 이러한 방법으로, 캐쉬 쓰기 동작 동안의 얼리어싱 가능성을 제거하면서, 캐쉬 성능이 향상되고, 정확한 세그먼트 예측이 유지된다.
Patent KR-100366544-B1 (KR)
IPC: B65D19/18
Filed: 2000-03-22
Granted: 2002-12-31
Abstract: 본 발명은 화물 수송용 팔렛트 상자에 관한 것으로, 본체에 호퍼형 지지판이 형성되고, 상기 본체의 주벽에 리프트홈이 형성됨과 아울러 상기 지지판에 배출구가 형성된 팔렛트의 상부에 접철식 주벽요소가 화물이 포장된 비닐백을 담기 위한 공간부가 내측에 구비되도록 착탈 가능하게 결합되고, 상기 팔렛트에는 상기 지지판의 배출구를 통하여 하부로 돌출되는 비닐백의 묶음부를 압착하여 내용물이 배출되지 못하도록  차단하는 개폐수단이 구비되어 구성되어 있다. 
     이러한 본 발명은 팔렛트에 접철식 주벽요소를 결합하여 상자를 형성하고, 그 내부에 비닐백을 담아 화물을 운송하도록 되어 있으므로 화물을 간편하게 운반취급할 수 있으며, 필요에 따라 다단으로 적층하여 운반취급할 수 있는 이점이 있다. 특히, 팔렛트에 호퍼형 지지판이 형성되고 호퍼형 지지판의 하부에 배출 차단판이 설치되어 있어, 화물을 배출시킬 때에 비닐백의 묶음부를 간편하게 풀어 개방시킬 수 있을 뿐아니라 비닐백이 개포되면 내용 화물이 호퍼형 지지판에 의해 원활하게 배출되므로 비닐백의 개포 및 화물의 배출작업이 매우 간편한 이점이 있다.
Patent KR-100623594-B1 (KR)
IPC: H01L21/28
Filed: 2000-05-31
Granted: 2006-09-12
Abstract: 본 발명은 Al 배선 형성 공정에서 콘택홀을 양호하게 매립할 수 있는 고융점 금속 라이너를 이용한 알루미늄 배선 형성 방법에 관한 것으로, 콘택홀 형성이 완료된 전체 구조 상에 라이너(liner) 또는 씨드(seed)로서 역할하는 제1 Al막 및 고융점 금속 라이너를 적층하고, 350 ℃ 내지 450 ℃ 온도까지 웨이퍼의 온도를 증가시킨 후, 제2 Al막을 증착하여 콘택홀 내부를 매립하는데 특징이 있다. 한편, 상기 고융점 금속 라이너를 Ti로 형성할 경우 350 ℃ 내지 450 ℃ 온도에서 실시되는 상기 제2 Al막 증착과정에서 상기 Ti와 제1 Al막 및 제2 Al막 각각의 반응에 의해 계면에 TiAl 3 층이 형성된다. TiAl 3 는 결정학적으로 정방정계 구조로서 Al(111)면과 TiAl 3 (112)면의 면간 거리가 같아 Al(111)면과 TiAl 3 (112)면이 정합 관계를 갖게 되어, TiAl 3 층은 제1 Al막과 제2 Al막 각각과 정합 관계를 가지고 형성되면서 Al 배선의 결정성을 향상시키며 콘택홀 내의 Al 매립 공정 안정화 및 배선 신뢰성을 크게 향상시킬 수 있다. 
       
     알루미늄, 티타늄, 단선, 라이너, 씨드, 매립
Patent KR-100756901-B1 (KR)
IPC: G09F9/35
Filed: 2000-06-07
Granted: 2007-09-07
Abstract: 본 발명의 액정표시장치는, 어레이 기판으로서의 제1절연기판과, 제1절연기판 상에 전기적으로 서로 접속된 화소전극들을 갖되, 어레이형으로 형성된 표시 화소들과, 제2절연기판 상에 공통전극들이 형성된 대향기판과, 서로 접합되는 제1절연기판과 제2절연기판 사이에 삽입된 액정층과, 도전성 재료를 통해 제2절연기판의 공통전극들에 공통 전위를 공급하는 트랜스퍼전극을 구비하되, 이 트랜스퍼전극은 제1절연기판의 최후의 도전막 형성 공정에 의해서 형성된 도전성 박막을 패터닝하여 형성되고, 제2도전성 금속막은, 제1절연기판의 그 제2도전막 형성 공정에서 형성되고, 공통전극 전위에 접속되고, 트랜스퍼전극의 주변부 위에 콘택홀 또는 직접 콘택을 통해 서로 접속되고, 트랜스퍼전극의 개구 중앙부의 일부에서 제1절연기판 위에 직접 형성되어 있다. 
       
     액정표시, 트랜스퍼전극, 도전성 박막, 도전성 금속막,전극 패턴.
Patent KR-100399502-B1 (KR)
Title: 대용량 서지정보 검색 서비스 시스템
IPC: G06F17/30
Filed: 2000-06-08
Granted: 2003-09-26
Abstract: 1. 발명의 기술분야 
     본 발명은 범용 운영체제 환경 하에서 대용량 서지정보 검색에 적합한 유연성 있는 실시간 주기억장치 상주형 요약정보검색시스템을 포함한 대용량 서지정보 검색 서비스 시스템에 관한 것이다. 
     2. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제 
     본 발명은 기존의 디스크 기반 서지 정보 검색에서 발생하는 대부분의 지연현상-데이터 처리 병목 현상 및 사용자에 대한 시스템 반응시간 지연-을 해결함으로써 상대적으로 빠른 데이터 접근 시간과 균일한 성능 분포가 가능케 하여 대용량 서지정보를 바탕으로 하는 국가 도서관 네트워크나 디지털 라이브러리 시스템 구축시 관건이 되고 있는 정보 처리 및 검색 속도의 향상과 대규모 이용자 그룹에 대한 동시 다수 이용 규모의 증가라는 두가지 목표를 동시에 얻을 수 있는 핵심 기술을 제공하며, 유닉스(UNIX)와 같은 범용 운영체제 및 범용 데이터베이스관리시스템 (DBMS) 하에서 운영될 수 있고, 대용량 서지정보 운영을 근간으로 하는 정보관리 시스템에서 시스템 독립적으로 운영 가능한  개방형 서지요약정보 서비스 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다. 
     3. 기술적 과제의 해결 방법 및 효과 
     본 발명은 서지정보 검색 서비스를 위한 실시간 응용 데이터베이스시스템에서 실시간 서지정보 처리를 위하여 서지 요약 정보를 주기억장치에 항상 상주시킴으로써 기존의 데이터베이스시스템에서의 서지 요약 정보를 운영하는 것과 똑같은 시스템을 운영하고 빠른 서비스를 가능하도록 한다. 이것은 주기억장치에 하나의 데이터베이스시스템을 유지시키기 위한 주기억장치 상주형 메모리 관리자를 필요로 하며, 이러한 요약 정보 관리자에 저장된 요약 정보를 검색 엔진을 통하여 운영되도록 구현한다. 궁극적으로, 실시간 응용형 주기억장치 상주 데이터베이스 기법을 이용한 대용량 서지정보 검색 엔진 및 관리 시스템의 제공이 가능해 진다.
Patent KR-100517103-B1 (KR)
Title: 질소 원자 함유 폴리실록산, 그의 제조 방법 및 섬유처리제 조성물
IPC: C08L83/04
Filed: 2000-06-24
Granted: 2005-09-27
Abstract: 잔기로서 알콕시기를 갖는 신규한 질소 원자 함유 폴리실록산이 제공된다.  이 질소 원자 함유 폴리실록산을 포함하는 조성물은 섬유 또는 섬유 제품에 유연성 및 내세탁성을 부여하고 그의 황변을 방지하는데 효과적이다.
Patent KR-100385820-B1 (KR)
Title: 내연기관의 배기 정화 장치
IPC: F01N13/02
Filed: 2000-06-30
Granted: 2003-06-02
Abstract: 본 발명의 내연기관 배기 정화 장치에 있어서, 효율 좋게 촉매 장치로부터 유황 성분을 이탈시키는 것으로 연비의 악화를 제어하면서 촉매 장치의 재생을 가능하게 하기 위해서 흡장형 NOx 촉매의 촉매 온도가 설정 온도 이상으로 된 경우에, 흡장형 NOx 촉매를 승온하여 SOx을 방출시킨다. 
     이때, 설정 온도는 SOx 이탈 처리의 빈도에 의거하여 설정되면 좋고, 또한 흡장형 NOx 촉매는 예를 들면 점화 시기 리타드(retard)에 의해 승온할 수 있다.
Patent KR-100732737-B1 (KR)
IPC: H01L21/76
Filed: 2000-06-30
Granted: 2007-06-27
Abstract: 본 발명은 반도체 소자분리막의 형성방법에 관한 것으로써, 특히 반도체기판 내에 트렌치부를 형성하고, 상기 트렌치부를 제 1 HDP산화막으로 채운 후, 상기 결과물에 제 2 HDP산화막을 증착할 때, 증착률보다 식각률이 커지도록 공정조건을 조절하여 증착된 제 2 HDP산화막의 일부가 식각되고, 식각된 산화막이 상기 트렌치부의 상부에 재증착되어 상기 트렌치부의 상부에 비정상적인 산화막이 형성되도록 함으로써, 이에 화학적 기계적 연마공정을 이용한 평탄화공정을 시행할 때, 상기 비정상적인 산화막이 디싱방지막의 역할을 하여 디싱현상이 방지되어 반도체소자의 특성 및 신뢰도를 향상시킬 수 있도록 한 반도체 소자분리막의 형성방법에 관한 것이다. 
                 
       
     소자분리막, 디싱, 디싱방지막, 식각가스, 재증착