baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102016224414-B4 (DE)
Title: Kabelbaum
Inventor: YANAGIDA You
IPC: H01Q1/22
Filed: 2016-12-08
Granted: 2023-11-02
Abstract: Kabelbaum (1), der umfasst:einen ersten Elektrodraht, der mit einer Verbindungseinheit (3) an einem ersten Endteil des ersten Elektrodrahtes versehen ist, wobei die Verbindungseinheit (3) mit einem drahtlosen Endgerät (10) verbunden ist, und der erste Elektrodraht außerhalb des drahtlosen Endgeräts (10) liegt, wobei der erste Elektrodraht an einem zweiten Endteil mit einer zweiten Verbindungseinheit versehen ist, und die zweite Verbindungseinheit konfiguriert ist eine Batterieeinheit zu verbinden,einen zweiten Elektrodraht, der mit der Verbindungseinheit (3) an einem Endabschnitt des zweiten Elektrodrahtes versehen ist, und der zweite Elektrodraht außerhalb des drahtlosen Endgeräts (10) liegt und sich entlang des ersten Elektrodrahtes (2) erstreckt,eine erste Antenne (A1), die mit der Verbindungseinheit (3) verbunden ist und in einem drahtlosen Endgerät (10) installiert ist, undeine zweite Antenne (A2), die auf dem zweiten Elektrodraht angeordnet ist, undeine dritte Antenne (A3), die auf dem zweiten Elektrodraht an einer Position angeordnet ist, die einen Abstand gleich oder größer als 0,3λ von der zweiten Antenne (A2) in einer Erstreckungsrichtung des zweiten Elektrodrahtes von der zweiten Antenne (A2) hat, wobei das Intervall (L) zwischen der ersten Antenne (A1) und der zweiten Antenne (A2) gleich oder größer als 0,3λ ist.
Patent DE-102017001881-B4 (DE)
Title: Hilfsmittel zur Fixierung eines Statorblechpakets beim Erzeugen einer Statorwicklung und Verfahren zur Erzeugung einer Statorwicklung
Inventor: UHLMANN PHILIPP
IPC: H02K15/02
Filed: 2017-02-27
Granted: 2019-01-24
Abstract: Fertigungshilfsmittel (100) zur Fixierung eines Statorblechpakets (200) beim Erzeugen einer Statorwicklung, umfassend:- einen Träger (110); und- eine am Träger (110) befestigte Klemmhalterung (120), die einen zylindrischen, beidseitig offenen und reversibel verengbaren Aufnahmebereich (130) aufweist, in dem das Statorblechpaket (200) über seinen Umfang flächig eingespannt werden kann, dadurch gekennzeichnet, dass die Klemmhalterung (120) zwei miteinander verspannbare Teile (121, 123) aufweist, die den Aufnahmebereich (130) umschließen, wobei eines der Teile (121) fest mit dem Träger (110) verbunden und das andere Teil (123) beweglich oder lose ist.
Patent DE-102017004366-B4 (DE)
Title: Numerische Steuervorrichtung
Inventor: SHINDOU MASAAKI
IPC: G05B19/4063
Filed: 2017-05-05
Granted: 2020-06-18
Abstract: Numerische Steuervorrichtung (1), miteiner Vorausschau-/Analyseeinheit (100), die dazu eingerichtet ist, die Befehle für Blöcke eines Bearbeitungsprogramms (200) sequenziell auszulesen und zu analysieren und eine Vorausschauverarbeitung durchzuführen,eine Ausführungsdatenspeichereinheit (210), die dazu eingerichtet ist, das Ergebnis der Analyse in einem Puffer zu speichern, undeine Programmausführungseinheit (110), die dazu eingerichtet ist, die Befehle für die vorausgeschauten Blöcke basierend auf dem im Puffer gespeicherten Analyseergebnis auszuführen, um dadurch eine Maschine zu steuern,wobei die Vorausschau-/Analyseeinheit (100) dazu eingerichtet ist, die Vorausschauverarbeitung zu stoppen, wenn ein Block, in den ein Code zum Stoppen der Vorausschau eingefügt ist, aus dem Bearbeitungsprogramm (200) ausgelesen wird,wobei die numerische Steuervorrichtung ferner umfasst:- eine Neustartbedingungsbestimmungseinheit (112), die dazu eingerichtet ist, zu bestimmen, ob eine durch den Code zum Stoppen der Vorausschau angewiesene Vorausschauneustartbedingung erfüllt ist, und- eine Vorausschauvorgängerneustarteinheit (113), die dazu eingerichtet ist, die Vorausschauverarbeitung neu zu starten, wenn durch die Neustartbedingungsbestimmungseinheit (112) bestimmt wird, dass die Neustartbedingung erfüllt ist,- wobei die Neustartbedingung eine Bedingung ist, die den Zustand der Maschine betrifft.
Patent DE-102017122037-B4 (DE)
Title: Landwirtschaftliche Verteileinrichtung
Inventor: HARTMANN HANS
IPC: A01F29/00
Filed: 2017-09-22
Granted: 2020-03-19
Abstract: Landwirtschaftliche Verteileinrichtung zum Verteilen von Verteilgut, insbesondere von Einstreu, mit einer Zuführvorrichtung zum Zuführen des Verteilguts in einen Trennbereich der eingerichtet ist, einen Luftstrom bereitzustellen, der zumindest teilweise entgegen der Schwerkraftrichtung ausgerichtet ist, um auf Basis der spezifischen Dichte Störkörper, wie insbesondere Holz, Steine oder Metall, von dem Verteilgut abzutrennen; und mit einer dem Trennbereich nachgelagerten Gebläseeinheit (40), insbesondere einer Strohmühle (40), die eingerichtet ist, das Verteilgut auszugeben,wobei in dem Trennbereich für das Verteilgut eingangsseitig eine Bewegungsrichtung vorgesehen ist, die einen in Schwerkraftrichtung gerichteten Bewegungsanteil aufweist, wobei eine als eine Schnecke ausgeführte Weiterführeinrichtung (20) einen senkrecht zur Schwerkraftrichtung gerichteten Bewegungsanteil aufweist, um über die Weiterführeinrichtung (20) das Verteilgut zur Gebläseeinheit (40) zu fördern.
Patent DE-102017122447-B4 (DE)
Title: Verfahren und Computerprogrammprodukt zur Herstellung eines Werkstücks mit einem nicht umlaufenden Profil mittels einer Drehmaschine
Inventor: ORT HANS
IPC: B23Q15/00
Filed: 2017-09-27
Granted: 2020-09-03
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Werkstücks (14) mit einem nicht umlaufenden Profil (P1, P2) mittels einer Drehmaschine, mit einer mit einem Hauptspindelmotor (1) angetriebenen Hauptspindel (3) mit daran angebrachtem Spannfutter, einem auf einem Maschinenbett (4) in einer z-Richtung verschiebbar abgestützten und manuell zustellbaren Bettschlitten (5), einem auf dem Bettschlitten (5) in einer zur z-Richtung senkrecht verlaufenden x-Richtung manuell zustellbaren Planschlitten (6), welcher wahlweise antriebsmäßig mit einer mit einem Servomotor (9) angetriebenen Zugspindel (10) kuppelbar ist, und einem auf dem Planschlitten (6) abgestützten manuell zustellbaren Oberschlitten (7) sowie einer Steuerung (13) zum Steuern des Hauptspindel (1)- und des Servomotors (9), wobei zum Herstellen des Profils (P1, P2) folgende Schritte ausgeführt werden:a) Breitstellen eines auf dem Plan (6)- oder Oberschlitten (7) montierten Fräswerkzeugs (11, 12),b) Wahl eines in der Steuerung (13) vorgesehenen Antriebsprogramms und Einstellen eines zum Profil (P1, P2) korrespondierenden Drehwinkels (α) für die Hauptspindel (3),c) manuelles Zustellen des Plan (6)- oder Oberschlittens (7) in z- oder x-Richtung undd) Start des Antriebsprogramms, wodurch die Hauptspindel (3) ausschließlich über den Drehwinkel (α) rotiert wird, so dass mittels des Fräswerkzeugs (11, 12) das Profil (P1, P2) zumindest abschnittsweise im Werkstück (14) hergestellt wird.
Patent DE-102017219725-B4 (DE)
Title: Radlageranordnung für ein Kraftfahrzeug
Inventor: ALBL JOHANNES
IPC: B60B27/02
Filed: 2017-11-07
Granted: 2023-09-14
Abstract: Radlageranordnung (1) für ein Kraftfahrzeug, mit einem Radträger (2) und einer mittels eines Radlagers (4) an dem Radträger (2) um eine Drehachse (5) drehbar gelagerten Radnabe (3) zur Befestigung eines Rads, wobei eine Radlagerdichtung (11) einerseits an einem der Radnabe (3) zugeordneten Innenring (7) und andererseits an einem dem Radträger (2) zugeordneten Außenring (8) des Radlagers (4) dichtend anliegt, und wobei ein Dichtkörper (19) einer Zusatzdichtung in einem Dichtungsaufnahmeraum (18) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass ein Dichtungsvorsprung (17) drehfest mit dem Innenring (7) verbunden ist und/oder sich in den Dichtungsaufnahmeraum (18) hinein erstreckt, wobei der Abstand zwischen einer Axialringstirnseite (20) des Innenrings (7) und einer durch eine Stufung einer Welle (6) ausgebildeten Axialwellenstirnseite (21) geringer ist als die Abmessungen des Dichtkörpers (19) in axialer Richtung in entspanntem Zustand, sodass der Dichtkörper (19) in axialer Richtung gesehen zwischen der Axialringstirnseite (20) und der Axialwellenstirnseite (21) klemmend gehalten ist.
Patent DE-102018111464-B4 (DE)
Title: Industrieroboter
Inventor: INOUE TOSHIHIKO
IPC: B25J18/00
Filed: 2018-05-14
Granted: 2020-08-06
Abstract: Industrieroboter (1), umfassend:einen zweiten Arm (5), der am Distalende eines ersten Arms (4), welcher um eine erste Achse (B)schwenkbar ist, auf eine um eine zur ersten Achse (B) parallele zweite Achse (C) schwenkbare Weise bereitgestellt ist, undein Handgelenk (6), das am Distalende des zweiten Arms (5) angeordnet ist und das mehrere Handgelenkelemente (10, 11, 12) aufweist, die ein erstes Handgelenkelement (10) umfassen, das auf eine um die Längsachse (D) des zweiten Arms (5), die an einer in Bezug auf die zweite Achse (C) versetzten Position angeordnet ist, drehbare Weise bereitgestellt ist,wobei ein Motor (17, 18), der das von dem ersten Handgelenkelement (10) des Handgelenks (6) verschiedene Handgelenkelement (11, 12) antreibt, in einem Raum im Inneren des ersten Handgelenkelements (10) beherbergt ist,der zweite Arm (5), in der Nähe der zweiten Achse (C) , mit einem Hohlabschnitt (20) bereitgestellt ist, der mit dem Raum in Verbindung steht, undein Kabel (24), das zu dem Motor (17, 18) zu verlegen ist, in den Hohlabschnitt (20) von der Außenseite des zweiten Arms (5) über ein Durchgangsloch (23), das durch einen Wandabschnitt (22) des zweiten Arms (5) hindurchführt, verlegt wird und durch einen Verbinder (25, 29), der an dem Wandabschnitt (22) an der Position des Durchgangslochs (23) befestigt ist, weitergeleitet wird, wobei der Verbinder (25, 29) in einem konkaven Abschnitt (27) beherbergt ist, der zwischen Rippen (28) ausgebildet ist, die auf einer Außenfläche des zweiten Arms (5) mit einem Spalt dazwischen in Richtung entlang der zweiten Achse (C) angeordnet sind.
Patent DE-102018114306-B4 (DE)
Title: Gitterträgervorrichtung für optische Gitter, insbesondere zum reproduzierbaren Gitterwechsel zur Durchstimmbarkeit des Dye Lasers, und Laservorrichtung mit einer derartigen Gitterträgervorrichtung
IPC: G02B7/00
Filed: 2018-06-14
Granted: 2021-07-01
Abstract: Gitterträgervorrichtung (1) für optische Gitter, umfassend einen auf einem Grundkörper (3) gelagerten Gitterhalter (2), wobei der Gitterhalter (2) zur Aufnahme eines optischen Gitters ausgebildet ist und Grundkörper (3) und Gitterhalter (2) entlang einer zentralen Montageachse (M) aufeinander aufbauend montiert werden, wobei der Grundkörper (3) in einer Laservorrichtung montiert wird und der Gitterhalter (2) relativ zu einer Oberflächenebene (A), die sich in eine x- und eine y-Richtung erstreckt, des Grundkörpers (3) mit einer ersten (5), einer zweiten (6) und einer dritten (7) Lagerstelle auf dem Grundkörper (3) gelagert ist, wobei der Gitterhalter (2) mit einer magnetischen Verbindung mit dem Grundkörper (3) verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass die relative Lage des Gitterhalters (2) zu der Oberflächenebene (A) des Grundkörpers (3) am Gitterhalter (2) einstellbar ist.
Patent DE-102018127019-B4 (DE)
Title: Elektrisches Verbindungssystem für einen Sitz
Inventor: HAHN DENNIS
IPC: B60N2/90
Filed: 2018-10-30
Granted: 2024-01-18
Abstract: Elektrisches Verbindungssystem (14) für einen Sitz, insbesondere einen Passagiersitz in einem Transportmittel (58), aufweisend eine zumindest bereichsweise mit Leiterbahnen (22) versehene, längliche Trägerfolie (20), die einen ersten Abschnitt (26) zur Anordnung an einem Sitzgestell (4), einen zweiten Abschnitt (28) zur Anordnung an einer schwenkbaren Rückenlehne (10) und einen dazwischenliegenden Übergangsabschnitt (24) aufweist, wobei der Übergangsabschnitt (24) V-förmig ausgebildet ist.
Patent DE-102018127809-B4 (DE)
Title: Turbolader-wastegate-stellgliedanordnung
Inventor: LI ZHE
IPC: F02B37/18
Filed: 2018-11-07
Granted: 2023-01-12
Abstract: Wastegate-Stellgliedanordnung (10, 110), umfassend:eine Regulierstange (12) mit einem benachbarten Endbereich (13) und einem distalen Endbereich (14), wobei der benachbarte Endbereich (13) der Regulierstange (12) mit einem Stellglied verbunden ist; undeinen Arm (16) mit einem ersten Endbereich (19) und einem zweiten Endbereich (21), wobei der erste Endbereich (19) schwenkbar mit dem distalen Endbereich (14) der Regulierstange (12) über einen Kurbelzapfen (15), eine erste Tellerfeder (32) und eine zweite Tellerfeder (34) gekoppelt ist, die einen Festschmierstoff im Wesentlichen um den Kurbelzapfen (15) halten; undeine Welle (9), die zum Drehen um eine Wellenachse (D) ausgelegt ist, die im Turbinengehäuse angeordnet und drehbar am zweiten Endbereich (21) des Arms (16) befestigt ist;worin die Regulierstange (12) zum linearen Bewegen in Bezug auf das Stellglied ausgelegt ist, wodurch sich der Arm (16) und die Welle (9) um die Wellenachse (D) benachbart zum zweiten Endbereich (21) des Arms (16) drehen, um so eine mit der Welle (9) verbundene Wastegate-Abdeckung (7) in Richtung und weg von einem Wastegate-Kanal (22) zu bewegen,worin der Kurbelzapfen (15), die ersten Tellerfedern (32) und zweiten Tellerfedern (34) und der Arm (16) eine Kammer (42) definieren, die zum Zurückhalten des Festschmierstoffs ausgelegt ist, undworin die Kammer (42) vollständig geschlossen ist.
Patent DE-102018128990-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Kalibrieren sowie Verfahren und Vorrichtung zur Vermessung
Inventor: MEISTER SEBASTIAN
IPC: G01B11/25
Filed: 2018-11-19
Granted: 2021-11-18
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Kalibrieren einer Sensoranordnung, die zum Ermitteln von fusionierten Messdaten einer Fasermaterialoberfläche eines Fasermaterial eines Faserverbundwerkstoffes, aus dem ein Faserverbundbauteil herstellbar ist, vorgesehen ist, wobei die Sensoranordnung einen ersten Sensor einer ersten Sensorart zum Erfassen einer ersten Merkmalsart der Fasermaterialoberfläche und wenigstens einen zweiten Sensor einer zweiten Sensorart zum Erfassen einer von der ersten Merkmalsart verschiedenen zweiten Merkmalsart der Fasermaterialoberfläche hat, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst:- Bereitstellen eines Kalibrierkörpers, der Merkmale der ersten Merkmalsart und Merkmale der zweiten Merkmalsart aufweist;- Ermitteln von ersten Messdaten durch Vermessen des Kalibrierkörpers mittels des ersten Sensors der Sensoranordnung und Ermitteln von zweiten Messdaten durch Vermessen des Kalibrierkörpers mittels des zweiten Sensors der Sensoranordnung;- Erkennen von ersten Merkmalen der ersten Merkmalsart aus den ersten Messdaten und Erkennen von zweiten Merkmalen der zweiten Merkmalsart aus den zweiten Messdaten mittels einer Auswerteeinheit;- Vergleich der erkannten ersten Merkmale mit den erkannten zweiten Merkmalen bezogen auf die relative Position, Orientierung und/oder Form der Merkmale; und- Ermitteln einer Übertragungsfunktion in Abhängigkeit von dem Vergleich der erkannten Merkmale, um einen jeweiligen Messwert der ersten Messdaten mit einem entsprechenden Messwert der zweiten Messdaten zu korrelieren.
Patent DE-102018131689-B4 (DE)
Title: Mit einem wasserhaltigen Schmierstoff geschmierte Brennkraftmaschine
Inventor: KOERBER MARTIN
IPC: F01M9/00
Filed: 2018-12-11
Granted: 2023-10-26
Abstract: Brennkraftmaschine (1) mit einem Brennkraftmaschineninnenraum (2), in dem, zur Schmierung wenigstens einer in diesem Brennkraftmaschineninnenraum angeordneten Komponente (10, 11, 12), ein Schmierstoff aufgenommen ist,wobei dieser Schmierstoff ein wasserhaltiger Schmierstoff (3) ist und wobei die Brennkraftmaschine eine Wassereinspritzung zum planmä-ßigen Einbringen von Wasser in wenigstens einen Brennraum der Brennkraftmaschine aufweist,und wobeidem wasserhaltigen Schmierstoff Wasser aus der Wassereinspritzung zuführbar ist,dadurch gekennzeichnet, dassdie Brennkraftmaschine einen Kurbelwellen-Starter-Generator aufweist unddass der Kurbelwellen-Starter-Generator und die Brennkraftmaschine einen gemeinsamen Schmierstoffhaushalt aufweisen und so durch denselben wasserhaltigen Schmierstoff versorgbar sind.
Patent DE-102019104130-B4 (DE)
Title: Batteriegehäuse zum Aufbau einer Fahrzeugbatterie
Inventor: JESKO THOMASS
IPC: B60L50/64
Filed: 2019-02-19
Granted: 2022-11-24
Abstract: Batteriegehäuse (1) zum Aufbau einer Fahrzeugbatterie, umfassend eine Gehäusewand (10, 12, 14,16) zur Begrenzung eines Gehäuseinnenraumes (18) zur Aufnahme von Batteriekomponenten (20), wobei die Gehäusewand (10, 12, 14, 16) einen doppelwandig ausgebildeten Gehäusewandabschnitt (3) aufweist, welcher eine Innenwand (30) und eine Außenwand (32) aufweist, wobei der Gehäusewandabschnitt (3) eine einstellbare Wärmeleitfähigkeit aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Wärmeleitfähigkeit des Gehäusewandabschnitts (3) durch eine Veränderung der Dimensionierung (d) des zwischen der Innenwand (30) und der Außenwand (32) ausgebildeten Luftspalts (34) derart einstellbar ist, dass durch die Einstellung des unterschiedlich breiten Luftspaltes (34) die Wärmeleitfähigkeit so eingestellt wird, dass die Eigenschaften des Gehäusewandabschnitts (3) zwischen einer hohen Wärmeleitfähigkeit und einer geringen Wärmeleitfähigkeit variiert werden.
Patent DE-102019111279-B4 (DE)
Title: Temperaturabhängiger Schalter
Inventor: HOFSAESS MARCEL P
IPC: H01H37/52
Filed: 2019-05-02
Granted: 2020-11-12
Abstract: Ein temperaturabhängiger Schalter mit einem Gehäuse (11), das ein nichtmetallisches Deckelteil (15) mit einer Oberseite (27) und ein Unterteil (14) mit einem umlaufenden Rand (17) aufweist, der auf die Oberseite (27) umgebogen ist und dadurch das Deckelteil (15) an dem Unterteil (14) hält, ist mit einem in dem Gehäuse (11) angeordneten temperaturabhängigen Schaltwerk (18) versehen, das in Abhängigkeit von seiner Temperatur eine elektrisch leitende Verbindung zwischen zwei außen an dem Gehäuse (11) vorgesehenen Kontaktflächen (31,32, 33, 34) herstellt oder öffnet. Auf der Oberseite (27) ist eine Lackschicht (36) angeordnet (Fig. 1).
Patent DE-102019122079-B4 (DE)
Title: Verfahren zur bestimmung von nanopolymerpartikeln
Inventor: ZIMMERER CORDELIA
IPC: G01N21/65
Filed: 2019-08-16
Granted: 2021-04-08
Abstract: Verfahren zur Bestimmung von Nanopolymerpartikeln, bei dem- aus Fluiden mit mindestens Nanopolymerpartikeln aus Kunststoffen nach dem Entfernen aller anderen Bestandteile, die biologische und anorganische Bestandteile sind, und mindestens auch aller Makro- und Mikropolymerpartikel aus Kunststoffen,- die Nanopolymerpartikel vom Fluid im Wesentlichen vollständig abgetrennt werden,- danach die Nanopolymerpartikel auf die Oberfläche von metallischen Nanostrukturen, die sich auf der Oberfläche eines Trägers befinden, aufgebracht und angereichert werden, und- die Nanopolymerpartikel einer optischen Resonanzspektroskopie oder einem anderen Verfahren der nichtlinearen Molekülspektroskopie ausgesetzt werden.
Patent DE-102019200526-B4 (DE)
Title: Lagervorrichtung und Verfahren
Inventor: STOCKER MARCO
IPC: F16C32/04
Filed: 2019-01-17
Granted: 2023-02-02
Abstract: Lagervorrichtung (10), umfassend
 eine erste Lagerkomponente (1),
 eine zweite Lagerkomponente (2), die durch eine Supraleiterlagereinrichtung (3) schwebend gegenüber der ersten Lagerkomponente (1) gelagert ist, so dass sich in Axialrichtung (z) zwischen der ersten Lagerkomponente (1) und der zweiten Lagerkomponente (2) ein Schwebespalt (4) ergibt,
 ferner umfassend:
 eine Schwebespalt-Manipulationseinrichtung (5), die ausgebildet ist, die Axialerstreckung (6) des Schwebespalts (4) durch Bereitstellung einer zwischen den beiden Lagerkomponenten (1, 2) wirkenden Magnetkraft (34) zu verändern, wobei die Schwebespalt-Manipulationseinrichtung (5) ausgebildet ist, die Magnetkraft (34) durch Bewegung einer an einer der Lagerkomponenten (1, 2) angeordneten Magnetanordnung (12, 15) bereitzustellen, dadurch gekennzeichnet, dass die Schwebespalt-Manipulationseinrichtung (5) ausgebildet ist, zur Bereitstellung der Magnetkraft (34) die Magnetanordnung (12, 15) in einer normal zur Axialrichtung (z) ausgerichteten Bewegungsebene zu bewegen.
Patent DE-102020108846-B4 (DE)
Title: Chip-zu-chip-verbindung in der verkapselung eines vergossenen halbleitergehäuses und verfahren zu dessen herstellung
Inventor: SAW KHAY CHWAN ANDREW
IPC: H01L21/60
Filed: 2020-03-31
Granted: 2023-04-27
Abstract: Gehäuste Halbleitervorrichtung, umfassend:einen elektrisch isolierenden Verkapselungskörper (128) mit einer oberen Oberfläche (130);einen ersten Halbleiterchip (108), der innerhalb des Verkapselungskörpers (128) eingekapselt ist, wobei der erste Halbleiterchip (108) eine Hauptoberfläche (112) mit einem ersten leitenden Pad (118) aufweist, das der oberen Oberfläche (130) des Verkapselungskörpers (128) zugewandt ist;einen zweiten Halbleiterchip (110), der innerhalb des Verkapselungskörpers (128) eingekapselt ist und seitlich neben dem ersten Halbleiterchip (108) angeordnet ist, wobei der zweite Halbleiterchip (110) eine Hauptoberfläche (112) mit einem zweiten leitenden Pad (120) aufweist, das der oberen Oberfläche (130) des Verkapselungskörpers (128) zugewandt ist;eine erste Leiterbahn (138), die in der oberen Oberfläche (130) des Verkapselungskörpers (128) ausgebildet ist und das erste leitende Pad (118) mit dem zweiten leitenden Pad (120) elektrisch verbindet,wobei der Verkapselungskörper (128) eine laseraktivierbare Vergussmasse umfasst;wobei die erste Leiterbahn (138) in einem ersten laseraktivierten Bereich (134) der laseraktivierbaren Vergussmasse ausgebildet ist;eine erste vertikale Verbindungsstruktur (126), die auf dem ersten leitenden Pad (118) angeordnet ist; undeine zweite vertikale Verbindungsstruktur (126), die auf dem zweiten leitenden Pad (120) angeordnet ist,wobei die ersten und zweiten leitenden Pads (118, 120) mit Material des Verkapselungskörpers (128) bedeckt sind, undwobei die ersten und zweiten vertikalen Verbindungsstrukturen (126) jeweils äu-ßere Enden (132) aufweisen, die an der oberen Oberfläche (130) vom Verkapselungskörper (128) freiliegen.
Patent DE-102020119156-B4 (DE)
Title: Verfahren zur herstellung einer halbleitervorrichtung mit nadelkissenförmigem gate
Inventor: SHEN YAN-TING
IPC: H01L21/336
Filed: 2020-07-21
Granted: 2023-07-20
Abstract: Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung, umfassend:Bilden einer Finnenstruktur (20, 25), die von einer isolierenden Isolationsschicht (30) vorsteht, die über einem Substrat (10) angeordnet ist;Bilden einer Opfergatedielektrikumsschicht (42) über der Finnenstruktur (20, 25);Bilden einer Polysiliziumschicht (44) über der Opfergatedielektrikumsschicht (42);Bilden einer Maskenstruktur (46, 48, 140, 146, 147, 148, 210, 220, 230) über der Polysiliziumschicht (44); undStrukturieren der Polysiliziumschicht (44) zu einer Opfergateelektrode unter Verwendung der Maskenstruktur (46, 48, 140, 146, 147, 148, 210, 220, 230) als eine Ätzmaske, wobei:das Strukturieren der Polysiliziumschicht (44) Folgendes umfasst:Bilden einer Beschichtungsmaterialschicht (380) auf einer inneren Wand einer Ätzkammer (300);Laden des Substrats (10) mit der Polysiliziumschicht (44) in die Ätzkammer (300);Ätzen der Polysiliziumschicht (44) durch Plasmatrockenätzen;Entladen des Substrats (10) nach dem Plasmatrockenätzen aus der Ätzkammer (300); und Entfernen der restlichen Beschichtungsmaterialschicht (380) von der inneren Wand der Ätzkammer (30), wobeidie Opfergateelektrode (40, 44, 54) einen unteren Abschnitt (FH) unterhalb einer Ebene einer Oberseite der Finnenstruktur (20, 25) und oberhalb einer oberen Fläche der isolierenden Isolationsschicht (30) und einen oberen Abschnitt (GH) oberhalb des unteren Abschnitts (FH) aufweist, undder untere Abschnitt (FH) eine Nadelkissenform aufweist.