Patent DE-102018109512-B4 (DE)
Title: Vorrichtung und Verfahren zum Montieren von Bauelementen auf einem Substrat
Inventor: BILEWICZ NORBERT
IPC: H05K13/08
Filed: 2018-04-20
Granted: 2020-10-29
Abstract: Vorrichtung zum Montieren von Bauelementen (1; 1a) auf einem Substrat (2), umfassend einen Bondkopf (3) mit einem Bauelementgreifer (11),eine Referenzmarkierung (13) oder mehrere Referenzmarkierungen (13), die am Bondkopf (3) oder am Bauelementgreifer (11) angebracht ist/sind,eine Zuführeinheit (4) zum Bereitstellen eines Bauelements (1),eine Vorrichtung (5) zum Bereitstellen eines Substrats (2),ein erstes Antriebssystem (6) zum Bewegen eines Trägers (7),ein zweites Antriebssystem (8), das an dem Träger (7) befestigt ist, zum Bewegen des Bondkopfs (3) in einer oder mehreren verschiedenen Richtungen,einen am Bondkopf (3) befestigten Antrieb (14) zum Drehen des Bauelementgreifers (11) um eine Achse (12) oder einen Rotationsantrieb (15) zum Drehen des Substrats (2) um eine Achse,eine Substratkamera (10) oder mehrere Substratkameras (10), undeine Bauelementkamera (9) oder mehrere Bauelementkameras (9) oder wenigstens ein optisches Umlenksystem, das zusammen mit der Substratkamera (10) oder den Substratkameras (10) eine Bauelementkamera (9) oder mehrere Bauelementkameras (9) bildet,wobeidie Substratkamera (10) oder die Substratkameras (10) an dem Träger (7) befestigt ist/sind,der Träger (7) und/oder der Bondkopf (3) und/oder der Bauelementgreifer (11) heb- und senkbar ist,der Träger (7) mittels des ersten Antriebssystems (6) zu der Zuführeinheit (4) bewegbar ist, entweder der Träger (7) mittels des ersten Antriebssystems (6) zu der Bauelementkamera (9) oder den Bauelementkameras (9) bewegbar ist oder die Bauelementkamera (9) oder die Bauelementkameras (9) am Träger (7) befestigt und relativ zum Bondkopf (3) schwenkbar ist/sind, so dass die Referenzmarkierung (13) oder die Referenzmarkierungen (13) und ein von dem Bauelementgreifer (11) gehaltenes Bauelement (la) in dem Blickfeld der Bauelementkamera (9) oder den Blickfeldern der Bauelementkameras (9) sind, so dass die Ist-Position des Bauelements (la) in Bezug auf die Referenzmarkierung (13) oder die Referenzmarkierungen (13) erfassbar ist,der Träger (7) mittels des ersten Antriebssystems (6) über einen Substratplatz des Substrats (2) bewegbar und der Bondkopf (3) mittels des zweiten Antriebssystems (8) in eine Stand-by Position bewegbar ist, in der das Blickfeld der Substratkamera (10) oder jedes der Blickfelder der Substratkameras (10) wenigstens eine auf dem Substrat (2) angeordnete Substratmarkierung (23) enthält, und der Bondkopf (3) mittels des zweiten Antriebssystems (8) in eine nominale Arbeitsposition bewegbar ist, in der das Blickfeld der Substratkamera (10) die Referenzmarkierung (13) oder jedes der Blickfelder der Substratkameras (10) wenigstens eine Referenzmarkierung (13) enthält,und wobei der Träger (7) und/oder der Bondkopf (3) und/oder der Bauelementgreifer (11) soweit absenkbar ist, dass sowohl die Referenzmarkierung (13) oder die Referenzmarkierungen (13) als auch die wenigstens eine Substratmarkierung (23) im Schärfentiefebereich der Substratkamera (10) oder der Substratkameras (10) sind.