Patent DE-102010002035-B4 (DE)
Title: Nachführtyp-Laserinterferometer
Inventor: HARA SHINICHI
IPC: G01S11/12
Filed: 2010-02-17
Granted: 2019-10-17
Abstract: Nachführtyp-Laserinterferometer mit:einer Lichtquelle (411);einem Retroreflektor (11), der an einem Bewegungselement (2) angebracht ist und sich von der Lichtquelle (411) ausbreitendes Licht reflektiert;einer Bezugsebene, die von der Lichtquelle (411) kommendes Licht reflektiert; einem ersten Lichtempfangsabschnitt (413), der aus Rückkehrlicht und Bezugslicht umgewandeltes Interferenzlicht empfängt, wobei sich das Rückkehrlicht von dem Retroreflektor (11) zurück ausbreitet, das Bezugslicht von der Bezugsebene reflektiert wird, der erste Lichtempfangsabschnitt (413) ein Licht-Empfangen-Signal in Abhängigkeit von der Lichtempfangsmenge und einer Änderung des Abstands zum Retroreflektor (11) bei Empfang des Interferenzlichts ausgibt;einem zweiten Lichtempfangsabschnitt (422), der das Rückkehrlicht empfängt, um ein Licht-Empfangen-Signal in Abhängigkeit von der Lichtempfangsmenge und des Verschiebungsbetrags des Rückkehrlichts auszugeben;einem Änderungsmechanismus (121), der eine Emissionsrichtung des sich von der Lichtquelle (411) ausbreitenden Lichts ändert;einem Änderungsmechanismus-Steuerungsabschnitt (5), der den Änderungsmechanismus (121) auf der Grundlage des von dem zweiten Lichtempfangsabschnitt (422) ausgegebenen Licht-Empfangen-Signals auf eine solche Weise steuert, dass der Verschiebungsbetrag in einen vorgegebenen Bereich fallen sollte, um den Änderungsmechanismus (121) zu veranlassen, dem Retroreflektor (11) weiter nachzufolgen, wobei der Änderungsmechanismus-Steuerungsabschnitt (5) Folgendes umfasst:einen ersten Beurteilungsabschnitt (521),einen zweiten Beurteilungsabschnitt (522),einen Musteremissions-Steuerungsabschnitt (54), undeinen Nachführ-Steuerungsabschnitt (51); undeinem Abstandsberechnungsabschnitt (31), der den Abstand von einem vorgegebenen Bezugspunkt zu dem Retroreflektor (11) mittels des von dem ersten Lichtempfangsabschnitt (413) ausgegebenen Licht-Empfangen-Signals berechnet,wobei der erste Beurteilungsabschnitt (521) beurteilt, ob zumindest eine von der Lichtempfangsmenge an dem ersten Lichtempfangsabschnitt (413) und der Lichtempfangsmenge an dem zweiten Lichtempfangsabschnitt (422) nicht größer als ein vorgegebener erster Schwellwert ist oder nicht, der für jeden von dem ersten und zweiten Lichtempfangsabschnitt (413, 422) einzeln eingestellt wird,wobei der Musteremissions-Steuerungsabschnitt (54) den Änderungsmechanismus (121) auf eine solche Weise steuert, dass das sich von der Lichtquelle (411) ausbreitende Licht entlang eines vorgegebenen Musters in einem Fall emittiert werden sollte, in dem von dem ersten Beurteilungsabschnitt (521) beurteilt wurde, dass zumindest eine von der Lichtempfangsmenge an dem ersten Lichtempfangsabschnitt (413) und der Lichtempfangsmenge an dem zweiten Lichtempfangsabschnitt (422) nicht größer als der vorgegebene erste Schwellwert ist,wobei der zweite Beurteilungsabschnitt (522) beurteilt, ob die Lichtempfangsmenge an dem ersten Lichtempfangsabschnitt (413) und die Lichtempfangsmenge am zweiten Lichtempfangsabschnitt (422) beide größer als oder nicht weniger als vorgegebene zweite Schwellwerte sind oder nicht, die jeweils für den ersten und zweiten Lichtempfangsabschnitt (413, 422) eingestellt werden, undwobei der Nachführ-Steuerungsabschnitt (51) den Änderungsmechanismus (121) auf eine solche Weise steuert, dass der Verschiebungsbetrag in den vorgegebenen Bereich fallen sollte, um den Änderungsmechanismus (121) zu veranlassen, den Retroreflektor (11) in einem Fall weiter zu verfolgen, in dem von dem zweiten Beurteilungsabschnitt (522) beurteilt worden ist, dass die Lichtempfangsmenge an dem ersten Lichtempfangsabschnitt (413) und die Lichtempfangsmenge an dem zweiten Lichtempfangsabschnitt (422) beide größer als oder nicht weniger als die vorgegebenen zweiten Schwellwerte sind.