Patent ES-2656554-T3 (ES)
Title: Un método para fabricar una sonda que comprende un voladizo con un conducto
Inventor: SARAJLIC EDIN
IPC: B81C1/00
Filed: 2012-01-13
Granted: 2018-02-27
Abstract: Un método para fabricar una sonda (100), dicha sonda (100) comprende - un sustrato plano (101), y - un voladizo (102) que se extiende desde dicho sustrato plano (101), dicho voladizo (102) tiene un extremo de base (103) conectado al sustrato plano (101) y un extremo distal (104), y - un conducto (105) que se extiende desde i) una primera abertura (106) en una ubicación sobre el sustrato plano alejada del voladizo (102) a ii) una segunda abertura (107) en el voladizo (102) alejada del extremo de base (103); - dicha sonda (100) comprende además una cubierta (232) que comprende un orificio de cubierta (235), dicho orificio de cubierta (235) está - opuesto al sustrato plano (101) y alejado del voladizo, y - en comunicación directa con la primera abertura (106); - el método implica grabar químicamente un semiproducto plano, dicho semiproducto plano comprende un sándwich de una primera capa (201) de un primer material, una segunda capa (202) de un segundo material, una tercera capa (203) de un tercer material sobre la parte superior de i) la segunda capa (202) y ii) un núcleo de conducto de sacrificio alargado (105) desde una cuarta capa (204) de un cuarto material, el segundo y el tercer material son diferentes del primer y el cuarto material, el semiproducto plano tiene un primer lado en el lado de la primera capa (201) y un segundo lado en el lado del tercer material, el segundo lado se proporciona con dicha cubierta (232) que tiene dicho orificio de cubierta (235), la segunda capa (202) tiene una estructura de voladizo con patrón (102) y que define un orificio (230) en contacto con la primera capa (201) que se convertirá en la segunda abertura (107), el núcleo de conducto de sacrificio alargado (105) del cuarto material se extiende desde - la primera capa (201) en la estructura con patrón de voladizo (102) en el orificio definido (230), a - el segundo lado en la ubicación del orificio de cubierta (235) en donde la tercera capa (203) está provista de una ventana de solución de ataque (299) con una forma alargada que se extiende desde el orificio de cubierta (235) hacia el voladizo (102) sobre parte de la distancia desde el orificio de cubierta (235) al extremo de base (103), dicha ventana de solución de ataque expone parte del núcleo de conducto de sacrificio alargado (105), y el método comprende la etapa de retirar el núcleo de conducto de sacrificio alargado (105) y retirar primer material de la primera capa (201) mientras deja la segunda y tercera capa (202, 203), al exponer - el primer lado, - el núcleo de conducto de sacrificio alargado (105) en el segundo lado, y - el borde del semiproducto plano con el que define el orificio (230) hacia el que apunta la estructura de voladizo (102) con una solución de ataque; retirar material de la primera capa (201) y la cuarta capa por ataque químico, para formar - un voladizo que se extiende libremente (102), y - un conducto abierto entre el orificio de cubierta (235) y la segunda abertura (107) del extremo distal (104) que se extiende entre la primera abertura (106) y dicha segunda abertura (107); - y finalizar la etapa de atacar químicamente la primera capa (201) antes de que un frente de ataque químico de la primera capa (201) alcance la segunda capa (202) en la ubicación del orificio de cubierta (235).