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Patent WO-9829712-A1 (WO)
Inventor: VON SCHAEWEN RALF
IPC: G01R33/02
Filed: 1996-12-27
Abstract: Die Erfindung betrifft einen magnetfeldempfindlichen Sensor, aus dessen Ausgangssignal gleichzeitig Informationen über den Abstand, die Rotationsgeschwindigkeit (Drehzahl) und die Drehrichtung eines Magnetfeldes gewonnen werden können. Das Magnetfeld kann durch einen Permanentmagneten oder/und die Wirkung eines elektrischen Stromes erzeugt werden. Die Erfindung hat die Zielstellung, einen Sensor zu entwickeln, dessen Arbeitsfrequenz die im Stand der Technik ausgewiesene Grenzfrequenz fGr der magnetischen Sensoren mit bistabilen magnetischen Elementen (BME) als Kern deutlich überschreitet und dessen Ausgangssignal gleichzeitig Informationen über Abstand, Drehzahl und Drehrichtung eines Magnetfeldes enthält. Da die Grenzfrequenz fGr des großen Barkhausen-Effekts (LBE) durch objektive physikalische Prozesse festgelegt ist, muß für die erfindungsgemäße Sensorfunktion ein anderes physikalisches Prinzip genutzt werden. Der magnetische Resonanzsensor unterscheidet sich in seiner Funktion von anderen magnetfeldempfindlichen Sensoren, die ebenfalls einen Schwingkreis einsetzen, durch die Nutzung eines BME als Kern der Sensorspule und die Möglichkeit, gleichzeitig Drehzahl, Abstand und Drehrichtung zu messen.
Patent WO-9805952-A1 (WO)
Title: Procede et dispositif pour supprimer les signaux emis par l'etrier transversal lors d'essais de composants en beton precontraint selon la methode de la mesure du champ magnetique residuel
Inventor: BOUSACK HERBERT
IPC: G01N33/38
Filed: 1997-07-31
Abstract: L'invention concerne un dispositif d'essai pour contrôler l'intégrité de composants, par ex. de l'armature de précontrainte de composants en béton précontraint. Ce dispositif comprend une tête de mesure qui présente une unité de magnétisation servant à produire un champ magnétique entourant le composant, et est raccordé à une unité de commande assurant la commande de la magnétisation et le traitement des signaux correspondant au champ magnétique. La tête de mesure magnétise le composant sur une section de mesure déterminée, en deux opérations successives de magnétisation à polarités opposées, et l'unité de commande coupe l'unité de magnétisation à la fin d'une opération de magnétisation d'une certaine polarité, puis mémorise et traite les signaux obtenus par l'intermédiaire de la section de mesure après la coupure. L'invention concerne également un procédé pour contrôler l'intégrité de composants, par ex. de l'armature de précontrainte de composants en béton précontraint, par magnétisation du composant. Ce procédé consiste à produire deux magnétisations de polarités différentes dans le composant; à mémoriser les signaux correspondant aux magnétisations de polarités différentes; et à traiter les signaux correspondant aux magnétisations de polarités différentes.
Patent WO-9848448-A1 (WO)
Title: Elektrische lampe
Inventor: MINDER ROLF
IPC: H01J61/067
Filed: 1997-11-11
Abstract: Die Erfindung betrifft die Befestigung von Glühwendeln an Stromzuführungsdrähten bei elektrischen Lampen. Ein Ende (41) der Stromzuführungsdrähte ist angeflacht und U-förmig ausgebildet. Der U-förmige Abschnitt (41) des Stromzuführungsdrahtes bildet eine spaltförmige Aufnahme (45) für ein gewendeltes Glühwendelende (3a), dessen Spaltbreite kleiner als der Aussendurchmesser des Glühwendelendes (3a) ist.
Patent WO-9852110-A1 (WO)
Title: Wassersteuervorrichtung
Inventor: MUELLER ROLAND
IPC: G05D23/13
Filed: 1998-05-13
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Wassersteuervorrichtung mit einem Anschluß an eine Kaltwasserleitung und einem Anschluß an eine Warmwasserleitung, einem Warmwasserauslaß und einem Kaltwasserauslaß sowie einer steuerbaren Wasserumleitvorrichtung zum Umleiten von Warmwasser in die Kaltwasserleitung bei Unterschreitung einer vorgegebenen Grenztemperatur. Bei bekannten Wassermischventilen ergibt sich das Problem, daß während des Umpumpens von kaltgewordenem Warmwasser in die Kaltwasserleitung bereits Kaltwasser aus dem Wassermischventil austritt. Es wird somit zwar Energie gespart, jedoch nur ein Teil der erreichbaren Wassereinsparung erzielt. Im Rahmen der Erfindung wird vorgeschlagen, daß bei Betätigung der Vorrichtung und Vorliegen einer Warmwassertempertur unterhalb einer wählbaren Minimaltemperatur des Mischwassers sowohl der Warmwasserauslaß als auch der Kaltwasserauslaß gesperrt sind.
Patent WO-9902836-A1 (WO)
Title: Verfahren zum betreiben einer brennkraftmaschine insbesondere eines kraftfahrzeugs
Inventor: LANGER WINFRIED
IPC: F02D41/30
Filed: 1998-07-01
Abstract: Es wird ein Verfahren zum Betreiben einer Brennkraftmaschine (1) insbesondere eines Kraftfahrzeugs beschrieben, bei dem Kraftstoff entweder in einer ersten Betriebsart während einer Verdichtungsphase oder in einer zweiten Betriebsart während einer Ansaugphase direkt in einen Brennraum eingespritzt wird. Die in den Brennraum eingespritzte Kraftstoffmasse wird dabei in den beiden Betriebsarten unter anderem in Abhängigkeit von einem berechneten, von der Brennkraftmaschine abzugebendem Sollmoment gesteuert und/oder geregelt. Es wird ein von der Brennkraftmaschine (1) abgegebenes Istmoment (Mist) und ein zulässiges Moment (zM) ermittelt (18 bzw. 19, 20), und es wird das Istmoment (Mist) mit dem zulässigen Moment (zM) verglichen (21).
Patent WO-9938690-A1 (WO)
Title: Antrieb für ein rotierendes bauteil einer druckmaschine
Inventor: GERNER ERICH MAX
IPC: B41F13/008
Filed: 1999-01-29
Abstract: Bei einem Antrieb für ein rotierendes Bauteil einer Druckmaschine wird ein Motor zum Entkuppeln des Bauteils axial versetzt angeordnet.
Patent WO-0007744-A1 (WO)
Title: Verfahren und vorrichtung zum abzug flacher sendungen von einem stapel
Inventor: GERSTENBERG FRANK
IPC: B07C1/02
Filed: 1999-08-02
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Abzug flacher Sendungen von einem Stapel mittels einer Abzugsvorrichtung mit steuerbarer Abzugsgeschwindigkeit, die die Sendungen mit der Geschwindigkeit v0 angetriebenen Förderriemen zuführt. Dabei werden den Differenzen zwischen Ist- und Sollücken bestimmte Geschwindigkeitssollwertverläufe zugeordnet. Da die Kurvenformen wählbar sind, können die Antriebsverhältnisse berücksichtigt werden. Die Zuordnung der Geschwindigkeitssollwertkurven des Antriebs zu den Ist-Lücken, um an der Übernahmestelle der Förderriemen bei der Geschwindigkeit v0 die Sollücke zu erreichen, erfolgt in vorherigen Messungen. Die Nichtlinearitäten der Übertragungsfunktion des Antriebes werden durch tabellarische Zuordnung der Geschwindigkeitsverläufe auf der Basis der Messungen erfaßt.
Patent WO-0017986-A1 (WO)
Title: Elektromotor
Inventor: PAWELLEK JUERGEN
IPC: H02K15/12
Filed: 1999-09-13
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Herstellverfahren eines Blechpakets eines Stators eines Elektromotors, mit mindestens einem durch aufeinander geschichtete Blechlamellen gebildetes Blechpaket eines Stators, aus mechanischen einzelnen Polen und in Umfangsrichtung des Stators zusammenhängenden Polen bestehende Blechlamellen, mit mindestens einem Polschaft und wenigstens einem einen Rotor zugewandten Polschuh, Eindrükckungen der Blechlamellen derart, daß die entgegengesetzten Seiten der Blechlamellen Vorsprünge aufweisen und dadurch die Blechlamellen durch Ineinandergreifen ihrer Eindrücke und Vorsprünge als Blechpaket des Stators bilden, Wicklungen der mechanischen Pole des Blechpakets des Stators, Stege zwischen den Polen, die die zusammenhängenden mechanischen Pole in Umfangsrichtung verbinden. Die axiale Zusammensetzung der Blechlamellen des Blechpakets des Stators weist ein vorgebbaren Wechsel von Polen mit Verbindungssteg und Polen ohne Verbindungssteg auf.
Patent WO-0175334-A1 (WO)
Title: Verin
Inventor: ABRAHAMSEN JOHN
IPC: F16H1/16
Filed: 2001-03-28
Abstract: L'invention concerne un vérin pourvu d'un moteur électrique permettant d'actionner un élément, tel qu'un bras rotatif ou une tige à déplacement longitudinal, au moyen d'une transmission. La transmission comprend au moins deux paliers, le premier palier consiste en un entraînement par vis sans fin, le second consistant en des roues de différentiel et conique (5, 4a, 4b). La roue de différentiel (4a, 4b) est entraînée par la roue à vis sans fin (3a, 3b) et la roue plate (5) comprend une prise de force (15). La transmission peut être rapidement formée de sorte que l'axe de la roue de différentiel (5) se trouve dans l'allongement direct de la vis (2). On peut ainsi obtenir une transmission relativement compact avec un engrenage montant, et avec une roue à vis sans fin ainsi qu'avec des roues de différentiel et coniques en plastique. La transmission est également comparativement moins bruyante.
Patent WO-9105839-A1 (WO)
Inventor: DAMHUS TURE
IPC: C12R1/07
Filed: 1990-10-12
Abstract: The transfer of a textile dye from a dyed fabric to another fabric during washing or rinsing is inhibited by adding an enzyme exhibiting peroxidase activity or an enzyme exhibiting a suitable oxidase activity to the wash liquor in which said fabrics are washed and/or rinsed.
Patent WO-9941358-A1 (WO)
Title: Cellule procaryote comprenant deux copies d'un gene transcrites dans des directions differentes
Inventor: JOERGENSEN STEEN TROELS
IPC: C12N15/74
Filed: 1999-02-10
Abstract: Cette invention se rapporte à une cellule procaryote exprimant un gène recherché et comprenant au moins deux copies d'un gène sur le chromosome. Ces copies sont transcrites dans des directions différentes, ce qui évite les croisements homologues. Le segment d'ADN entre les deux copies ne comprend aucune des informations essentielles à la croissance cellulaire, par exemple un gène de résistance antibiotique.
Patent WO-0053271-A1 (WO)
Title: Golfnavigationsgerät
Inventor: TALKENBERG ANDREA
IPC: G01S5/14
Filed: 2000-03-06
Abstract: Golfnavigationsgerät zum Bestimmen und Anzeigen der Position eines Golfspielers auf einem Golfplatz, das portabel ist und eine Navigationseinrichtung, eine Speichereinrichtung (5), eine Eingabeeinrichtung (7) sowie eine Anzeigeeinrichtung (6) aufweist, die mit einer Recheneinrichtung (3) verbunden sind, wobei die Navigationseinrichtung eine Relativ-Positions-Bestimmungseinrichtung umfasst, die einen Bewegungssensor aufweist und zum Schätzen einer von dem Golfspieler zu Fuss zurückgelegten Strecke ausgebildet ist. Die Erfindung erstreckt sich auch auf ein Verfahren zum Navigieren mittels einer Relativ-Positions-Bestimmungseinrichtung, mit den Schritten: Messen (111) von Beschleunigungswerten mittels eines an einem Benutzer, insbesondere Golfspieler, angeordneten Bewegungssensors; Speichern (103, 104) der Beschleunigungswerte über einen Zeitraum; und Berechnen (157) von Gehgeschwindigkeit und/oder Gehstrecke des Benutzers mittels eines Schätz-Modells. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Navigieren bei einem Golfspiel mit Auslesen und Anzeigen eines Muster-Spielverlaufs.
Patent WO-0076269-A1 (WO)
Title: Verfahren zur herstellung von membranen für elektroakustische wandler sowie membranen
Inventor: ROOSEN DIRK
IPC: H04R31/00
Filed: 2000-05-24
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft Verfahren zur Herstellung einer Membran für elektroakustische Wandler, die eine Poly(meth)acrylimidschaum aufweisende Kernschicht (3) und mindestens eine Deckschicht (4) umfasst, wobei man die Deckschicht (4) mit der Kernschicht (3) unter Anwendung eines Druckes von ≥ 0,4 MPa und einer Temperatur ≥ 160 °C laminiert, zugleich mindestens die mit der Deckschicht (4) in Kontakt befindliche Seite der Kernschicht (3) verdichtet und anschliessend den erhaltenen Verbund auf eine Temperatur unterhalb von 80 °C abkühlt, bevor man den Druck auf Umgebungsdruck erniedrigt. Das Verfahren ist als Einschrittverfahren durchführbar. Die erfindungsgemäss hergestellten Membranen zeigen eine hervorragende Festigkeit, wobei insbesondere die Deckschichten eine sehr hohe Schälfestigkeit aufweisen.
Patent WO-0104669-A1 (WO)
Inventor: DANIELZIK BURKHARD
IPC: C23C16/515
Filed: 2000-07-10
Abstract: L'invention concerne un filtre optique interférentiel à bande étroite pour une longueur d'onde μ0 comportant de nombreuses couches diélectriques. Les couches diélectriques présentent en alternance un indice de réfraction élevé (nH) et faible (nL) et l'épaisseur optique des couches diélectriques s'élève à μ/4, à μ/2 ou à un multiple entier de ces valeurs. L'invention est caractérisée en ce qu'au moins une couche μ/4 ou μ/2 du système de couches présente un indice de réfraction différent de l'indice de réfraction élevé (nH) ou faible (nL) des autres couches du système de couches, de sorte que l'apparition de « cassures » dans la bande de transmission du filtre diminue.
Patent WO-0181782-A1 (WO)
Title: Kupplungsscheibe für schaltbare reibkupplungen
Inventor: TSCHEPLAK THOMAS
IPC: F16D13/64
Filed: 2000-12-20
Abstract: Die Kupplungsscheibe (1) für - sowohl trocken laufende oder auch naß laufende - Reibkupplungen mit aufeinander drückbaren Reibbelägen aus Reibmaterial, wobei wenigstens ein Belagring oder wenigstens ein Reibbelagträger (11) mit aufgebrachtem Reibbelag (18) bzw. zwei gegenseitig verriegel- oder verklemmbare Belagringe oder Reibbelagträger mit aufgebrachten Reibbelägen mittels einer Führung (15, 20) axial verschiebbar mit einem Kupplungsscheibengrundkörper (7) formschlüssig und drehfest mit diesem verbunden angeordnet ist oder sind, ist dadurch gekennzeichnet, dass die Führung (15, 20) außerhalb des oder der Belagringe oder außerhalb des oder der Reibbelagträger (11) vorgesehen ist. Daher kann die Führung weiter entfernt von der Rotationsachse erfolgen, als bei herkömmlichen bekannten Kupplungsscheiben, die auf dem Grundkörper verschiebbar angeordnet sind. Dadurch sind bei gleichem übertragenem Drehmoment die zum Schalten der Kupplung notwendigen aufzubringenden Verschiebekräfte geringer, wodurch der Wirkungsgrad der Kupplung erhöht wird.
Patent WO-0175280-A1 (WO)
Inventor: STEFFEN MICHAEL
IPC: F01M3/02
Filed: 2001-02-14
Abstract: The invention relates to an internal combustion engine with an ignition unit (5) coupled to a crankshaft (3), for the production of a high voltage for the ignition of a combustion mixture. Furthermore, the ignition unit (5) produces energy to operate an oil pump (8), which supplies oil for lubrication of the internal combustion engine. The oil pump (8) and the ignition unit (5) can be combined in a structural unit (9).
Patent WO-0173776-A1 (WO)
Title: Systeme de lentille optique comportant deux lentilles spheriques superieures a la moitie
Inventor: BAARTMAN JAN P
IPC: G02B7/02
Filed: 2001-02-26
Abstract: L'invention concerne un système de lentille optique (39) adapté pour servir dans un appareil de lecture optique (15) pour un lecteur de disque optique. Le système à lentilles (39) comprend une première lentille ou lentille objective (45) et une seconde lentille ou lentille auxiliaire (47), montées en positions fixes sur un porte-lentille (61). La lentille objective comporte plus d'une moitié d'un premier corps de lentille sphérique (67) possédant un premier diamètre (D1?) et la lentille auxiliaire comportant plus d'une moitié d'un second corps de lentille sphérique (69) possédant un second diamètre (DE2?) inférieur à celui du premier. La lentille objective et la lentille auxiliaire sont entourées par, une première paroi interne cylindrique circulaire (83) et une seconde paroi interne cylindrique circulaire (85),respectivement, du porte-lentille, dont le diamètre est quasiment égal à celui du premier et du second diamètre, respectivement. Lesdites parois internes peuvent être placées dans le porte-lentille dans des positions coaxiales très précises au moyen d'outils classiques. Ainsi, on peut centrer très précisément la lentille objective et la lentille auxiliaire, dans le porte-lentille, de manière très simple comparativement.
Patent WO-0179669-A1 (WO)
Title: Gehäuse mit passivierungsschicht und verfahren zur herstellung eines katalysator-trägerkörpers mit einem solchen gehäuse
Inventor: BRUECK ROLF
IPC: F01N3/24
Filed: 2001-04-12
Abstract: Gehäuse für einen Wabenkörper (4) umfassend ein Mantelrohr (1) mit Innenwandung (2), wobei das Mantelrohr (1) zur gezielten Veränderung einer fügetechnischen Verbindung mit dem Wabenkörper (4) in mindestens einem Abschnitt der Innenwandung (2) eine Passivierungsschicht (3) aufweist. Weiterhin wird ein Verfahren zur Herstellung eines Katalysator-Trägerkörpers mit einem Wabenkörper (4) sowie einem erfindungsgemäßen Gehäuse angegeben. Ein derartig hergestellter Katalysator-Trägerkörper baut thermische Spannungen zwischen Wabenkörper (4) und Mantelrohr (1) ab und gewährleistet bei der Herstellung insbesondere einen sicheren Lötprozeß auch im Vakuum.
Patent WO-0186726-A1 (WO)
Title: Dispositif semiconducteur
Inventor: HUETING RAYMOND J E
IPC: H01L29/786
Filed: 2001-04-19
Abstract: La présente invention concerne un dispositif semiconducteur qui comprend un ou plusieurs dispositifs à effet de champ (FD) possédant des régions source et drain (5 et 6) espacées par une région corps (3a). une structure porte (7a, 7b), de préférence dans une tranchée (4), commande un canal de conduction dans une partie (3b) de la région corps (3a) entre les régions source et drain. Ce dispositif possède une ou plusieurs structures mesa (100), qui possèdent des parois d'extrémité et des parois latérales (100a à 100d). La région corps (3a) est située entre les parois latérales (100c et 100d) de cette structure mesa et les touche. La structure porte (7a, 7b) est située le long de ces parois latérales et entre ces dernières de façon que la partie (3b) adaptée au canal de conduction soit située le long de ces parois latérales (100c et 100d) et entre ces dernières. Les régions source et drain (5 et 6) touchent les parois d'extrémité respectives (100a et 100b) de la structure mesa et/ou ses parois latérales (100c et 100d). Au niveau des parois mesa, une électrode source (S) est en contact avec la région source (5) et une électrode drain (D) est en contact avec la région drain (6).
Patent WO-0185682-A1 (WO)
Title: Verfahren zur aufbereitung von pyrrolidon- und n-vinylpyrrolidon-rückständen
Inventor: HELFERT HERBERT
IPC: B01D3/14
Filed: 2001-05-10
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Aufbereitung von Rückständen aus der Herstellung von Pyrrolidon und/oder N-Vinylpyrrolidon, bei dem man die Rückstände einer Thermolyse unterwirft.
Patent WO-0202483-A1 (WO)
Inventor: SCHNEIDER DETLEF
IPC: C05G5/12
Filed: 2001-05-10
Abstract: The invention relates to a method for producing a fertiliser granulate comprising methylene urea. A particularly economical metho d is achieved by introducing the methylene urea, on its own or together with other fertilising components, as a base for said fertiliser, into an extruder, at an ambient temperature. Said base m aterial is heated in the extruder, water is added, a plastic material is formed at high temperature. Said plastic material is sha ped to form a granulate and is cooled to an ambient temperature.
Patent WO-0192772-A1 (WO)
Title: Schnellverbinder für röhrenartige leitungen
Inventor: BIERMANN MARTIN
IPC: F16L33/22
Filed: 2001-05-23
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Verbinden mit einem Ende einer röhrenartigen Leitung (2), insbesondere Schlauch-Schnellverbinder (1), mit einem eine Anlage (6) für eine Stirnfläche (5) des Endes der röhrenartigen Leitung (2) aufweisenden Anschlussstück (3) und einer Klemmmittel zum Klemmen der röhrenartigen Leitung (2) aufweisenden Betätigungseinrichtung, die beim verbindenden Betätigen gegenüber dem Anschlussstück (3) bewegbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass durch das Klemmmittel beim verbindenden Betätigen die röhrenartige Leitung (2) axial in Richtung auf das Anschlussstück (3) zubewegbar ist und dabei die Stirnfläche (5) des Endes der röhrenartigen Leitung (2) dicht und totraumfrei an die Anlage (6) des Anschlussstücks (3) bringbar und mit axialer Vorspannung haltbar ist.
Patent WO-03018894-A1 (WO)
Inventor: BRAND UDO
IPC: D04B35/34
Filed: 2001-08-21
Abstract: L'invention concerne un dispositif de fixation et de coupage de tricot confectionné sur métier circulaire, dans lequel le tricot (5) après avoir quitté le métier à tricoter circulaire (2) dans la zone de maintien de largeur de tricot (7) où il passe d'une forme de tuyau souple à une forme de couche doublée appliquée à plat, est fixé au moyen d'un dispositif de fixation (3) et est coupé par un dispositif de coupage (4) disposé en arrière. Du fait de la fixation, laquelle peut se faire notamment par chauffage, on empêche l'enroulement des bords de coupe (6). Grâce à l'agencement du dispositif de fixation (3) et du dispositif de coupage (4) à la sortie du métier à tricoter circulaire, il est possible de séparer en continu le tricot (5) et de procéder aux opérations suivantes, par exemple, à son enroulement directement sur un rouleau support (9).
Patent WO-0220148-A1 (WO)
Inventor: DREJA MICHAEL
IPC: A61Q13/00
Filed: 2001-08-30
Abstract: L'invention concerne un procédé pour produire des conditionnements polymères transparents ou en grande partie transparents, contenant un agent actif et se présentant sous forme de capsules, de perles ou de gouttelettes, par polycondensation de composés organiques à base de silicium. La présente invention concerne également l'utilisation de ces capsules, perles ou gouttelettes transparentes ainsi produites pour l'administration d'agents actifs, notamment pour des produits cosmétiques, des compositions pharmaceutiques, des colles, des lessives et des agents nettoyants, et autres produits similaires.
Patent WO-0222827-A1 (WO)
Inventor: MOECKEL BETTINA
IPC: C12P13/04
Filed: 2001-08-31
Abstract: The invention relates to the phosphotransferase system enzyme I of C. glutamicum and a process for the fermentative preparation of L-amino acids using coryneform bacteria in which at least the ptsI gene is present in enhanced form, and the use of polynucleotides which comprise the sequences according to the invention as hybridization probes.
Patent WO-0232822-A1 (WO)
Inventor: TONDER FLEMMING WEISS
IPC: C03B37/05
Filed: 2001-10-08
Abstract: A spinner assembly for making man-made vitreous fibres comprises centrifugal fiberising rotors (5, 6, 7, 8) driven by motors (42) and air supply outlets (9) supplied with air through air supply passages (15). The air is supplied to these passages by an axial compressor comprising an air inlet zone (22), a compressor portion(25) and an annular diffuser (33) which leads into the passages (15). The compressor portion (25) includes a prime mover (28) which drives compressor rotor blades (27).
Patent WO-0238839-A1 (WO)
Title: Cvd-reaktor mit von einem gasstrom drehgelagerten und -angetriebenen substrathalter
Inventor: KAEPPELER JOHANNES
IPC: C30B25/14
Filed: 2001-10-25
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Abscheiden insbesondere kristalliner Schichten auf insbesondere kristallinen Substraten, mit einer in einem Reaktorgehäuse (1) angeordneten Prozesskammer (2), deren Boden (3) mindestens einen in einer Lagerausnehmung (4) auf einem Gaspolster getragenen, durch den das Gaspolster aufrechterhalten, durch eine dem Boden zugeordneten Zuleitung (5) strömenden Gasstrom drehangetrieben Substrathalter (6) trägt, und schlägt zur technologischen Weiterbildung des Konzeptes des auf einem Gasstrom drehgelagerten Substrathalters insbesondere in einer lineardurchströmten Prozesskammer vor, dass die Lagerausnehmung (4) einem über der Austrittsöffnung (7) der Zuleitung (5) angeordneten Tablett (8) zugeordnet ist.