Patent DE-102012201779-B4 (DE)
Title: Laserstrahlanwendungsmechanismus und Laserbearbeitungsvorrichtung
Inventor: NOMARU KEIJI
IPC: H01L21/301
Filed: 2012-02-07
Granted: 2022-10-06
Abstract: Laserstrahlanwendungsmechanismus (6), umfassend:einen Laserstrahloszillator (611) zum Oszillieren eines Laserstrahls;eine Fokussierlinse (622) zum Fokussieren des Laserstrahls, der von dem Laserstrahloszillator (611) oszilliert wurde; undeine Leistungseinstelleinrichtung (63), die zwischen dem Laserstrahloszillator (611) und der Fokussierlinse (622) vorgesehen ist, um die Leistung des Laserstrahls einzustellen, der von dem Laserstrahloszillator (611) oszilliert wurde;wobei die Leistungseinstelleinrichtung (63) umfassteine Halbwellenplatte (631) zum Rotieren der Polarisierungsebene des Laserstrahls des linear polarisierten Lichts, der von dem Laserstrahloszillator (611) oszilliert wurde, um 45°,ein Prisma (632), das an der Austrittsseite der Halbwellenplatte (631) vorgesehen ist und eine erste Polarisierungsstrahlteilerfolie (632a) und eine zweite Polarisierungsstrahlteilerfolie (632b) aufweist, die jeweils eine S-polarisierte Lichtkomponente des einfallenden Laserstrahls reflektieren und eine P-polarisierte Lichtkomponente des einfallenden Laserstrahls übertragen,eine Strahlenganglängeneinstelleinrichtung (633), umfassend einen ersten Spiegel (634) mit einer Spiegeloberfläche (634a), die der ersten Polarisierungsstrahlteilerfolie (632a) zum Reflektieren der P-polarisierten Lichtkomponente, die durch die erste Polarisierungsstrahlteilerfolie (632a) übertragen wurde, gegenüberliegt, und einen piezoelektrischen Aktuator (635), der an dem ersten Spiegel (634) zum Einstellen des Abstands (d0) zwischen der Spiegeloberfläche (634a) des ersten Spiegels (634) und der ersten Polarisierungsstrahlteilerfolie (632a) gemäß einer angelegten Spannung vorgesehen ist, wodurch ein erster Phasenunterschied (α) zwischen der S-polarisierten Lichtkomponente, die an der ersten Polarisierungsstrahlteilerfolie (632a) reflektiert wurde, und der P-polarisierten Lichtkomponente, die an der Spiegeloberfläche (634a) des ersten Spiegels (634) reflektiert wurde, erzeugt wird,eine Synthetisierungseinrichtung (636) für polarisierte Lichtkomponenten, umfassend einen zweiten Spiegel (637), der eine Spiegeloberfläche (637a) gegenüber der zweiten Polarisierungsstrahlteilerfolie (632b) mit einem vorgegebenen dazwischenliegenden Abstand (d1) zum Reflektieren der P-polarisierten Lichtkomponente, die an der Spiegeloberfläche (634a) des ersten Spiegels (634) reflektiert wurde und anschließend durch die zweite Polarisierungsstrahlteilerfolie (632b) übertragen wurde, aufweist, wodurch ein zweiter Phasenunterschied (β) zwischen der S-polarisierten Lichtkomponente, die an der ersten Polarisierungsstrahlteilerfolie (632a) reflektiert wurde und anschließend an der zweiten Polarisierungsstrahlteilerfolie (632b) reflektiert wurde, und der P-polarisierten Lichtkomponente, die durch die zweite Polarisierungsstrahlteilerfolie (632b) übertragen wurde und anschließend an der Spiegeloberfläche (637a) des zweiten Spiegels (637) reflektiert wurde, erzeugt wird,eine Strahlteileinrichtung (639), die eine dritte Polarisierungsstrahlteilerfolie zum Teilen des Laserstrahls, der von der Synthetisierungseinrichtung (636) für polarisierte Lichtkomponenten erhalten wird, in einen Strahlengang, der auf die Fokussierlinse (622) gerichtet ist, und einen Strahlengang, der auf einen Strahldämpfer (64) gerichtet ist, aufweist, undeine Steuereinrichtung (8) zum Steuern der Spannung, die an den piezoelektrischen Aktuator (635) der Strahlenganglängeneinstelleinrichtung (633) angelegt wird, um dadurch den Abstand (d0) zwischen der Spiegeloberfläche (634a) des ersten Spiegels (634) und der ersten Polarisierungsstrahlteilerfolie (632a) einzustellen, wodurch ein dritter Phasenunterschied (α + β) zwischen der S-polarisierten Lichtkomponente und der P-polarisierten Lichtkomponente des Laserstrahls, der von der Synthetisierungseinrichtung (636) für polarisierte Lichtkomponenten erhalten wird, in dem Bereich von 0° bis 180° gesteuert wird.