Patent DE-102008001896-B4 (DE)
Title: Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil
Inventor: PINTER STEFAN
IPC: H01F3/00
Filed: 2008-05-21
Granted: 2023-02-02
Abstract: Mikromechanisches Bauteil (400) miteinem Magnetjoch (200,250,300) umfassendeinen Jochkern mit einem Magneten (202), an welchem ein erster Jocharm (210) und ein zweiter Jocharm (210) so ausgebildet sind, dass der Magnet (202) und die beiden Jocharme (210) eine Jochöffnung aufspannen;ein erstes Paar Polstücke (212), welche in die Jochöffnung hineinragen und in einer ersten Richtung (38a) so zueinander beabstandet angeordnet sind, dass ein erster Spalt (214) zwischen dem ersten Paar Polstücke (212) ausgebildet ist; undein zweites Paar Polstücke (254,360), welche in die Jochöffnung hineinragen und in einer senkrecht zu der ersten Richtung (38a) ausgerichteten zweiten Richtung (22a) so zueinander beabstandet angeordnet sind, dass ein zweiter Spalt (256) zwischen dem zweiten Paar Polstücke (254,360) ausgebildet ist; ein Stellelement (12), wobei an zwei gegenüberliegenden Seiten des Stellelements (12) je eine Torsionsfeder (14) ausgebildet ist, wobei die Torsionsfedern (14) entlang einer ersten Drehachse (16) des Stellelements (12) verlaufen und die beiden Torsionsfedern (14) mit einem inneren Rahmen (18) verbunden sind, wobei der innere Rahmen (18) zwei Seitenplatten (26) umfasst, welche mittels zweier Verbindungsstege (28) miteinander verbunden sind, und wobei das Stellelement (12) in einem Zwischenraum zwischen den beiden Verbindungsstegen (28) angeordnet ist;wobei jede der Seitenplatten (26) ein äußeres Spulensystem mit jeweils einem ersten Strompfad (36a, 36b) umfasst, welcher so in dem ersten Spalt (214) des Magnetjochs (200,250,300) angeordnet ist, dass das äußere Spulensystem mit dem ersten Strompfad (36a, 36b) bei einem Strom durch wirksame Strompfade (36a) des ersten Strompfads (36a, 36b) aufgrund der Lorenzkraft um eine zweite Drehachse (32) gedreht wird, wobei die wirksamen Strompfade (36a) des ersten Strompfads (36a, 36b) parallel zu der zweiten Drehachse (32) verlaufen und unwirksame Strompfade (36b) des ersten Strompfads (36a, 36b) senkrecht zu der zweiten Drehachse (32) gerichtet sind, wobei die äußeren Spulensysteme über eine Verbindungsleitung (34), welche über einen Verbindungssteg (28) geführt ist, miteinander verbunden sind;wobei auf dem Stellelement (12) ein inneres Spulensystem ausgebildet ist, mit einem zweiten Strompfad (20a, 20b), welcher so in dem zweiten Spalt (256) des Magnetjochs (200,250,300) angeordnet ist, dass das innere Spulensystem mit dem zweite Strompfad (20a, 20b) bei einem Strom durch wirksame Strompfade (20a) des zweiten Strompfads (20a) aufgrund der Lorenzkraft um eine erste Drehachse (16) gedreht wird, wobei die wirksamen Strompfade (20a) parallel zu der ersten Drehachse (16) verlaufen und unwirksame Strompfaden (20b) senkrecht zu der ersten Drehachse (16) gerichtet sind; undwobei das Stellelement (12) so an den ersten Strompfand (36a,36b) und an den zweiten Strompfad (20a,20b) gekoppelt ist, dass das Stellelement (12) bei dem Strom durch den ersten Strompfad (36a,20b) um die zweite Drehachse (32) gedreht wird und bei dem Strom durch den zweiten Strompfad (20a,20b) um die erste Drehachse (16) gedreht wird.