baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-100381233-B1 (KR)
Title: 스포츠 유틸리티 차량용 범퍼 커버 조립체
IPC: B60R19/00
Filed: 2000-10-18
Granted: 2003-04-26
Abstract: 본 발명은 스포츠 유틸리티 차량용 범퍼 커버 조립체에 관한 것으로, 차량용 범퍼커버의 측부를 보강하도록 범퍼커버에 일체로 구비된 측부 플레이트; 및 상기 측부 플레이트의 하단을 지지함과 동시에 범퍼커버의 내측을 지지하는 플랜지를 가지며, 이 플랜지가 측부 플레이트와 범퍼커버의 내측에 지지될 경우, 상기 플랜지로부터 범퍼커버의 하측으로 연장되어 범퍼커버의 내측에 그 끝단이 지지되는 브라켓을 포함하고, 상기 브라켓에서 플랜지는 차체 프레임에 한 개의 체결구로 고정되고, 측부 플레이트에 두 개의 체결구로 고정되는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100755563-B1 (KR)
IPC: G02F1/136
Filed: 2000-12-01
Granted: 2007-09-06
Abstract: 본 발명은 프린지 필드 구동 액정표시장치의 화소 전극 형성 방법을 개시하며, 개시된 본 발명의 프린지 필드 구동 액정표시장치의 화소 전극 형성 방법은, 130℃에서 결정화되는 비정질 산화 주석 인듐(Indium Tin Oxide, ITO) 박막 상에 포토레지스트를 도포하는 단계와, 상기 포토레지스트의 응착 고정이 일어나는 50~90℃에서 상기 포토레지스트를 1차 베이킹하는 단계와, 상기 1차 베이킹된 포토레지스트를 노광하는 단계와, 상기 노광된 포토레지스트를 현상하는 단계와, 상기 현상된 포토레지스트를 90~120℃에서 2차 베이킹하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따르면, ITO박막 증착 후, 120℃ 이하의 열에 의하여 1차 및 2차 베이킹만 두 번하여 비정질 ITO박막이 포토(Photo)공정 중에서 결정화되는 것을 방지함으로써, ITO박막층의 에칭율을 증가 및 균일한 에칭을 가능하게 하여 액정표시장치 어레이 기판의 생상율 증가와 ITO박막 하부층의 어택(attack)을 방지할 수 있으며, 그래서, 보다 우수한 박막 트랜지스터 액정표시장치 제조가 가능하도록 할 수 있다.
Patent KR-100414908-B1 (KR)
Title: 특수 섬유지 제조용 수지용액 공급장치
IPC: D21H23/00
Filed: 2000-12-04
Granted: 2004-01-13
Abstract: 본 발명은 특수섬유지를 제조함에 있어 초지과정을 거친 섬유지에 수지용액을 함침시키는 수지용액 공급장치에 관한 것으로, 수지용액을 저장조(100)의 유입챔버(130) 하단부위에 수평방향으로 유입되도록 공급관(120)을 설치함으로써 수지용액에 혼입되는 기포 발생을 최소화 하도록 하며, 저장조(100)는 유입챔버(130)와 중간챔버(131) 및 배출챔버(132)로 구획하되, 유입챔버(130)와 중간챔버(131)는 저장조(100)의 상단 수위면(B)에서 일정거리 이격 설치된 배플플레이트(140)에 의하여 그 상부가 연통된 포집공간(130a)이 형성되도록 하고, 중간챔버(131)와 배출챔버(132)는 조의 바닥면과 이격 설치되는 차단벽(141)에 의해 하부가 서로 연통되도록 하여 그 연통부위에 다공여과판(150)을 설치함으로서, 공급되는 수지용액에 혼입되어 있는 기포가 유입챔버와 중간챔버를 거치는 과정에서 부상하여 양 챔버의 상단 포집공간(130a)에서 1차 포집되도록 하며, 이어 다공여과판(150)을 거치면서 최종 여과되어 기포가 완전 제거된 상태의 수지용액만이 배출챔버(132)를 통해 저장조(100)의 넘침부(111)와 경사흐름판(112)을 거쳐 특수 섬유지에 공급 함침되므로 함침시 기포에 의해 발생되는 불량요인을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
Patent KR-100718412-B1 (KR)
IPC: C22B9/22
Filed: 2000-12-18
Granted: 2007-05-14
Abstract: 액체 금속 배스를 이용하여 용탕으로부터 제품의 방향성 응고를 가능하게 하는 주조 노와, 이러한 노를 작동시키는 방법에 있어서, 몰드를 가열 챔버내로부터 가열 챔버 바로 아래에 위치된 액체 금속 배스내로 하강시키는 수단이 제공된다.  가열 챔버 바로 아래의 비교적 일정한 위치에서 액체 금속 배스의 레벨을 자동적으로 유지하기 위한 자동화 수단이 제공되며, 배스내로의 몰드의 침적으로 인해 배스의 레벨이 상승하는 동시에, 배스가 하강되며, 이에 의해 액체 금속 배스의 레벨이 이러한 실질적으로 일정한 위치에서 유지될 수 있다.
Patent KR-100368327-B1 (KR)
Title: 차량용 룸미러의 스토퍼
IPC: B60R1/04
Filed: 2000-12-19
Granted: 2003-01-24
Abstract: 본 발명은 차량의 룸미러에 관한 것으로서, 차량의 주행시 룸미러에 전달되는 진동 및 충격을 완충함과 동시에 제품생산시 윈드쉴드글래스 및 루프판넬의 품질산포를 흡수할 수 있는 차량용 룸미러의 스토퍼를 제공한다. 이를 위해 차량의 룸미러에 설치되는 설치되는 스토퍼에 있어서, 상단부 중앙에 관통홀을 구비하며 원통형상을 이루는 몸체와; 상기 몸체로 인입되어 관통홀에 끼워지며, 하단부에 이탈방지용 헤드 및 상단부에는 지지부가 삽입되는 인입구가 형성된 앤드캡 및; 상기  앤드캡의 하단부에 구비되어 외부진동에 대한 완충작용을 하는 스프링으로 구성되는 것을 특징으로 한다. 
     이와 같은 본 발명으로 룸미러에 전달되는 외부진동을 원활히 완충하여 미러의 떨림을 방지할 수 있고, 제품의 품질변동에 대한 품질산포를 효과적으로 흡수할 수 있다.
Patent KR-100467722-B1 (KR)
Title: 산성가스로부터 수분을 제거하는 장치 및 방법
IPC: B01D53/26
Filed: 2000-12-26
Granted: 2005-01-24
Abstract: 본 발명은 코크스오븐 가스를 정제하는 과정에서 탈거탑 상부로 배출되는 산성가스로부터 수분을 제거하기 위한 방법에 관한 것으로서, 상기 산성가스를 열교환기에서 열교환시켜 상대습도를 40 ~ 50%로 유지하는 단계와, 상기 열교환기를 통과한 산성가스를 멤브레인으로 구성되어 있는 수분분리장치로 통과시켜 산성가스중의 수분을 제거하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하므로, 열교환기와 멤브레인 수분분리장치를 활용하여 산성가스중의 수분을 제거함으로써, 산성가스의 온도를 최대한 유지하면서 산성가스중의 수분을 제거할 수 있고 또한 탈황공정에서의 에너지절감 효과를 얻을 수가 있다.
Patent KR-100359208-B1 (KR)
IPC: H04N7/24
Filed: 2000-12-27
Granted: 2002-11-04
Abstract: 본 발명은 컨트롤 신호를 입력받아 디블럭킹 필터 장치내 각 부분의 동작을 제어하는 제어부; 제어부의 신호에 따라 픽셀 데이터를 입력받는 데이터 입력부; 제어부의 신호에 따라 적절한 메모리 어드레스 및 메모리 제어신호를 출력하는 어드레싱부; 데이터 입력부로부터 입력 받은 데이터를 디블럭킹 필터링하는 복수의 필터 처리부; 및 필터처리부로부터 처리된 데이터를 입력받아 외부로 출력하는 데이터 출력부를 포함하는 고속 디블럭킹 필터 장치를 제공하는 것으로, 본 발명의 디블럭킹 필터 장치는 데이터를 8비트의 짝수배로 입출력하고 디블럭킹 필터링을 복수의 필터처리부에 의해 동시에 병렬 처리함으로써 필터링 시간을 대폭 단축시켜 디블럭킹 필터 장치의 처리 속도를 향상시키는 현저한 효과가 있다.
Patent KR-100401493-B1 (KR)
IPC: H03K3/00
Filed: 2000-12-27
Granted: 2003-10-11
Abstract: 본 발명은 피크전류 감쇠회로에 관한 것으로서, 오실레이터의 출력 신호를 이용하여 내부 클럭를 생성하고 생성된 내부 클럭을 이용하여 칩을 동작시키는 도중에 사용자의 필요에 따라 하드웨어(hardware) 또는 소프트웨어(software)적으로 클럭의 발생을 정지 시킬 때, 오실레이터에서 출력되는 출력 신호의 전압레벨에 따라 발생되는 순간 피크 전류를 감쇠시켜 동작을 안정화시킬 수 있는 피크전류 감쇠회로를 제공하는 데 그 목적이 있다. 
     이를 위해, 본 발명의 피크전류 감쇠회로는 제 1노드 및 제 2노드에 결합되며, 일정 주기를 갖는 제 1사인파신호를 제 1노드로 발생하고, 상기 제 2노드에서 상기 제 1사인파신호와 소정의 위상차를 갖는 제 2사인파신호를 발생하는 오실레이터부와, 상기 제 1사인파신호를 반전시켜 상기 제 2노드로 전송하는 제 1인버터와, 상기 제 2노드의 신호를 입력받아 구형파신호를 발생하는 클럭발생부와, 발진정지신호에 응답하여 상기 클럭발생부의 구형파신호를 소정시간 지연하여 출력하는 발진제어부와, 상기 발진제어부의 출력신호에 응답하여 상기 제 1노드와 상기 제 2노드의 신호를 소정의 위상차로 유지시키는 전달게이트부와, 발진정지모드에서 상기 제 1노드가 제 1레벨에서 제 2레벨의 상태로 전환될 때 상기 발진제어부의 출력신호에 응답하여 통전되는 방전용 트랜지스터를 구비하는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100380026-B1 (KR)
IPC: A61F13/15
Filed: 2000-12-29
Granted: 2003-04-18
Abstract: 본 발명은 액체 불투과성의 배면시트가 제2고착부재의 역할을 할 수 있도록 일정 깊이 및 일정 크기로 엠보싱 가공하여 엠보싱이 형성되도록 한 일회용 흡수제품에 관한 것으로, 액체 투과성 상부시트(8), 액체 불투과성 배면시트(4), 상기 상부시트(8)와 배면시트(4) 사이에 위치하는 흡수체(1)를 포함하는 몸체부 및 제1허리영역(19)과 제2허리영역(20)이 형성되어 있으며, 또한 제1허리영역(19)에 흡수제품을 폐쇄시키기 위한 제1고착부재(15)를 포함하는 기계적 고착수단을 포함하는 일회용 흡수제품에 있어서, 상기 배면시트(4)가 제2고착부재의 역할을 수행하도록 엠보싱이 형성되어 있고, 배면시트(4)와 제1고착부재(15) 사이의 벗김강도는 100 내지 600g/25㎜이고, 옆으로 당겼을 때의 힘인 쉬어강도가 500 내지 3,000g/25㎜이 되도록 이루어진다.
Patent KR-100652977-B1 (KR)
Title: System and method for optimization of multiple operational control-variables for a nuclear reactor
IPC: G21C5/00
Filed: 2000-12-30
Granted: 2006-11-30
Abstract: A method and system are presented for determining the best possible quantitative values for one or more operational control-variables associated with the functioning and control of a nuclear reactor core to identify an optimum fuel-cycle design and control strategy for operating a particular nuclear reactor core over one or more core refueling cycles. The system utilizes a network of independent processors for contemporaneously conducting multiple simulations of a reactor core operating under different conditions and constraints represented by virtual cases for selected core control-variables. The reactor core simulations provide output data that is indicative of selected performance parameters which reflect the operational state of the reactor throughout the duration of a core cycle. As all core simulations are completed, the simulation output data for each control-variable case is accumulated, normalized and mapped to corresponding second order polynomials which fit the simulator case data for each control-variable. Coefficients that uniquely describe each polynomial are collected by a host processor in an associated memory device as a multidimensional data array that serves as a type of virtual "response surface". In this manner, the response surface acts as a cyber-workspace and repository for resultant output data from many control-variable case simulations. The polynomials are then used to predict dependent variable values for the performance parameters over a limited range of independent control-variable values. The predicted performance parameter values from each polynomial predictor are compared using an objective function to determine which particular associated independent control-variable(s) is likely to produce the greatest improvement. Another core simulation using the identified values is then performed to provide corroboration of the polynomial predictors and to calibrate the polynomial coefficient data in the response surface with the simulation process. <IMAGE>
Patent KR-100331157-B1 (KR)
IPC: H01L21/687
Filed: 1998-07-24
Granted: 2002-04-03
Abstract: 본 발명에 의한 웨이퍼 홀딩핸드는 핑거(1)에 고정클램프(2)를 2개 설치하고, 가동크램프(6)를 하나 설치한 구성이다. 가동클램프(6)는 클램프 홀더(7)를 통해서 판스프링(8)으로 지지되어 있고 판스프링(8)은 슬라이더(9)에 고정되어 있다. 
     슬라이더(9)는 에어실린더(10)에 의해 구동된다. 또, 고정클램프(2)는 훅 형상이고, 가동클램프(6)는 북 형상이다. 
     웨이퍼(W)는 가동클램프(6) 및 2개의 고정클램프(2)에 의해 3점이 홀딩되어 가동클램프(6)는 판스프링(8)에 의해 작동되어 홀딩력을 얻는다.
Patent KR-100399645-B1 (KR)
Title: 집적 회로 레이아웃에서 다각형 표현 방법
IPC: G06F17/50
Filed: 1998-10-28
Granted: 2003-09-29
Abstract: 집적 회로(IC) 레이아웃에서 다각형을 표현하기 위한 방법이 제공된다.  다각형은 하나 이상의 와이어 세그먼트에 의해 각각 표현된 하나 이상의 와이어에 의해 표현된다.  각각의 와이어 세그먼트는 한 쌍의 방향이 설정된 라인 세그먼트에 의해 표현된다.  데이터 구조는 다각형 데이터, 와이어 데이터, 와이어 세그먼트 데이터 및 브랜치 데이터를 포함한다.  다각형 데이터는 IC 레이아웃에서 표현될 IC 장치의 세트를 나타낸다.  와이어 데이터는 다각형을 나타내고 관련된 와이어 세그먼트 및 관련된 다각형을 나타내는 와이어를 표현한다.  와이어 세그먼트 데이터는 와이어 세그먼트를 표현하고 와이어를 나타내고 와이어 데이터를 참조하는 각각의 와이어 세그먼트에 대한 관련된 방향이 설정된 라인 세그먼트를 나타낸다.  브랜치 데이터는 와이어의 연결 와이어 세그먼트를 나타냄으로써 와이어 사이의 연결을 나타낸다.  제 1 다각형 및 제 2 다각형 사이의 간격 검사는 제 1 다각형으로부터 제 2 다각형으로 표준 방향을 결정하고 다각형 사이의 두 개의 가장 가까운 면을 검사하는 것을 포함한다.  간격을 위반하지 않기 위하여, 배제 지역은 제 1 다각형 주변에 형성되고 제 2 다각형은 소정 간격 기준 세트에 의해 요구된 최소 간격이 만족되도록 배제 지역 외측 거리로 이동된다.
Patent KR-100600651-B1 (KR)
IPC: C08F10/00
Filed: 1998-10-16
Granted: 2006-07-13
Abstract: 본 발명은 다수의 랜덤 배향 카본 피브릴 및 상호침투성 유기 중합체 매스로 이루어진 경질의 3차원성 거시적 조립체를 포함하는, 카본 피브릴과 중합체의 상호침투 네트워크에 관한 것이다. 본 발명은 또한 이러한 상호침투 네트워크의 제조방법 및 사용법에 관한 것이다. 
     상호침투 네트워크, 카본 피브릴
Patent KR-100583262-B1 (KR)
Title: 플라즈마 붕화 처리 방법 및 장치
IPC: C23C8/36
Filed: 1998-12-11
Granted: 2006-05-25
Abstract: 본 발명은 붕소 분배제를 함유한 가스 매체를 반응기(10)에 공급하여 그 반응기(10) 중에서 글로 방전을 일으키는 방식으로 플라즈마 붕화 처리에 의해 표면 상에 붕화물 층을 형성하는 방법 및 그 장치에 관한 것이다.  예컨대 금속 표면을 그 대상으로 하는 공지의 플라즈마 붕화 처리 방법은 세공이 없는 붕화물 층을 유도하지 못하여 공업적인 대량 생산 용도에 적합하지 않다는 단점을 수반한다.  본 발명에 따른 방법은 반응기(10)의 처리실(11) 중에 발생되는 플라즈마의 생성 파라미터를 플라즈마 중에 높은 비율의 여기 붕소 입자가 얻어지도록 선택해야 한다는 인식을 기초로 하고 있다.  그와 같이 함으로써 세공이 없는 붕화물 층이 유도된다.  본 발명에 따른 방법은 예컨대 기어, 캠샤프트 등과 같이 높은 응력에 노출됨으로 인해 내마모성이 높은 표면을 구비해야 하는 부품을 코팅하는 데 적합하다.  붕화물 층의 형성에 영향을 미칠 수 있는 방법 파라미터는 예컨대 전압, 펄스 점유율, 주파수, 온도, 플라즈마 생성 시의 압력 및 반응기(10)에 공급되는 가스 매체의 붕소 분배제와 잔여 성분의 함량을 포함할 수 있다.
Patent KR-100564376-B1 (KR)
IPC: A61K38/00
Filed: 1999-02-10
Granted: 2006-03-27
Abstract: 출원인은 gp39와 CD40간의 상호작용을 차단하는 새로운 키메릭 및 사람화 항-사람 CD40항체을 발견하였다. 본발명의 항-CD40 항체는 T세포-의존성 항원에 대한 체액성 면역반응을 조절하는데 효과적이며, 또한 항-면역원성 특성에 유용하다.
Patent KR-100607376-B1 (KR)
IPC: G06F7/58
Filed: 1999-02-09
Granted: 2006-08-02
Abstract: 본 발명은 의사-랜덤 수 시퀀스를 발생하는 방법과 관련장치에 관한 것이다. 선택된 윈드밀 다항식에 대해 윈드밀 발생기(100)의 호환성 구성들의 결정이 이루어진다. 윈드밀 발생기(100)의 구현은 워드-지향 메모리(104)의 사용을 통해 이루어진다. 메모리소자(104)에 저장된 워드들은 선택적으로 출력되어 의사-랜덤 수 시퀀스를 형성한다. 
       
     의사-랜덤 수 시퀀스, 윈드밀 발생기, 윈드밀 다항식, 차수, 메모리소자
Patent KR-100580138-B1 (KR)
Title: A cartridge for an air drier
IPC: B01D53/04
Filed: 1999-03-16
Granted: 2006-05-16
Abstract: An air drier comprises a base member with means for supplying and carrying away air to and from the air drier, respectively, a cylindrical, dome-shaped container releasably attached to the base member, and in the container a replaceable cartridge for desiccant. The cartridge is divided by a cylindrical dividing wall into a central compartment containing desiccant and an outer annular compartment. The top wall of the cartridge is provided with holes or passages for allowing air communication inside the container between the two compartments.
Patent KR-100574735-B1 (KR)
IPC: C08G18/48
Filed: 1999-03-31
Granted: 2006-04-28
Abstract: 염기-기재된 유사 공중합체 및 염기-촉매 유사 단독폴리옥시프로필렌과 비슷한 가공 특성을 갖는 DMC-촉매 폴리옥시프로필렌 공중합체 폴리올을 한정된 산화에틸렌 함량이 옥시알킬화 반응의 가장 실질적인 기간 동안 옥시알킬화 반응기 내에 유지되는 정도로 산화프로필렌 및 산화에틸렌의 혼합물을 옥시알킬화시켜 제조할 수 있으며, 폴리옥시프로필렌 폴리올은 폴리올 생성물의 1.5 중량% 이상을 구성하는 랜덤 분포된 옥시에틸렌 잔기를 갖는다 
     성형 및 슬라브 폴리우레탄 발포체, DMC-촉매, 폴리옥시프로필렌 공중합체 폴리올
Patent KR-100590670-B1 (KR)
IPC: H01L21/76
Filed: 2000-02-08
Granted: 2006-06-19
Abstract: (1) N-히드록시프탈이미드 등의 이미드 화합물로 이루어지는 산화 촉매, 또는 (2) 이러한 이미드 화합물과 전이 금속 화합물 (예를 들면, 산화물, 할로겐화물, 착체, 헤테로폴리산염 등) 등의 공산화제로 구성된 산화 촉매의 존재하에서 탄화수소류, 알코올류, 알데히드류, 케톤류 등의 기질과 분자상 산소를 접촉시킴으로써 산화한다.  상기 산화 방법에 있어서, 산화 반응계 중의 수분 함량은 이미드 화합물 1 몰에 대하여 200 몰 이하이다.  이러한 산화 방법에 의해 온화한 조건하에서 분자상 산소에 의해 기질을 효율적으로 산화하여 고품질의 목적 화합물을 얻을 수 있다.    
     N-히드록시프탈이미드, 이미드 화합물, 공산화제, 산화 촉매, 산화, 분자상 산소, 수분 함량
Patent KR-100633755-B1 (KR)
IPC: H04L45/60
Filed: 1999-05-07
Granted: 2006-10-16
Abstract: 본 발명은, 일반적으로 데이터 스트림, 특별히는 패킷 스트림을 처리하는데 이용하기 위한 집적회로(203)에 관한 것이다. 집적회로는 다수의 패킷 프로세서(307, 313, 303), 테이블 룩업 엔진(301), 큐 관리 엔진(305) 및 버퍼 관리 엔진(315)을 포함한다. 패킷 프로세서는 수신 프로세서(421), 송신 프로세서(427) 및 risc 코어(core) 프로세서(401)를 포함하며, 이들 프로세서는 모두 프로그래밍 가능하다. 상기 수신 프로세서 및 상기 코어 프로세서는 수신되는 패킷을 수신하여 경로지정하도록 협력하며, 상기 코어 프로세서 및 상기 송신 프로세서는 패킷을 송신하도록 협력한다. 경로지정은, 상기 수신된 패킷의 페이로드(payload)를 설명하는 설명자(217)를 수신하는 큐 관리 엔진에서 큐(215)를 결정하기 위해서 상기 테이블 룩업 엔진으로부터 정보를 이용함으로써 이루어진다. 송신 프로세서는 큐로부터 설명자를 판독하여, 이 설명자에서 설명된 페이로드를 송신한다. 코어 프로세서, 송신 프로세서 및 수신 프로세서는 병렬로 동작한다. 패킷 프로세서의 로컬 메모리 및 레지스터, 큐 관리 엔진(queue management engine) 및 버퍼 관리 엔진은 글로벌 어드레스 공간(global address space)(321)의 부분이다. 패킷 프로세서는, 직렬 매체에서 수신된 패킷을 처리하기 위한 직렬 프로세서(307)와 적어도 하나의 병렬 프로세서(303)를 포함한다. 병렬 프로세서는 집적회로를 동일한 유형의 또 다른 집적회로, 버스 또는 스위칭 패브릭(fabric)과 연결시키는데 이용될 수 있다. 패킷 프로세서는 글로벌 메모리의 레지스터의 비트를  셋팅함으로써 더 구성될 수 있다. 구성은 직렬 패킷 프로세서의 군집화(aggregation), 직렬 패킷 프로세서 내의 데이터 스트림의 재순환(recirculation), 수신 프로세서 및 송신 프로세서의 구성요소를 바이패스(bypass)하는 것과, 다른 송신 매체를 다루기 위해 직렬 패킷 프로세서의 I/O 핀을 구성하는 것을 포함한다.
Patent KR-100701825-B1 (KR)
IPC: C30B25/02
Filed: 2000-03-02
Granted: 2007-03-30
Abstract: 케미컬 에치 기판에 직접 실리콘 단결정 박막을 형성하는 것으로, 전체 공정 소요시간을 효과적으로 단축하는 것이 가능해 지고, 실리콘 에피택셜 웨이퍼의 제조코스트의 저감과 제조능율의 향상, 나아가서는 웨이퍼가격의 저렴화 및 납기 단축에 크게 공헌한다. 또 케미컬 에칭처리시의 에칭대를 60μm 이상으로 확보하는 것으로 케미컬 에치 기판의 주표면의 광택도를 95% 이상으로 할 수가 있다. 이로서, 케미컬 에치 기판의 주표면에 형성되는 실리콘 단결정 박막의 광택도를 95% 이상으로 높이는 것이 가능하게 되고, 그후의 리소그래피 공정에 있어서의 오토 얼라이먼트 처리도 문제없이 행할 수가 있다. 
     
     얼라이먼트, 벨트컨베이어, 슬라이싱, 케미컬 에치 기판, 포토리소그래피.
Patent KR-100318988-B1 (KR)
IPC: D02G3/48
Filed: 2001-01-05
Granted: 2001-12-29
Abstract: 본 발명은 타이어 제조후 열적 형태안정성이 우수한 폴리에스테르 타이어 코드지에 관한 것으로,  타이어 코드지 변부를 구성하는 셀비지 코드가 코드지를 주 구성하는 그라운드 코드에 비해 낮은 초기 모듈러스와 낮은 열수축율을 보유함으로 인해 타이어 제조, 성형시 내부 주입공기압과 성형온도에 우수한 형태안정성을 갖게됨으로써 타이어 제조시 또는 사용할 때 발생되는 타이어의 부분적인 형태 불안정 문제를 해소할 수 있는 새로운 폴리에스테르 타이어 코드지에 관한 것이다.
Patent KR-100761659-B1 (KR)
IPC: G01B5/00
Filed: 2001-01-10
Granted: 2007-10-02
Abstract: 본 발명은 구동기를 통해 움직이는 타의 움직임량(타각)을 측정하기 위한 타각 감지기로서, 보다 상세하게는 구동기 컨트롤러에서 10°의 이동 커멘드(command)를 주었을 때, 실제는 얼마나 이동하는지를 측정하는 타각 감지기에 관한 것으로서, 육안으로 타의 움직임량을 볼 수 있고, 싱크로를 통해 입력한 커멘드에 대비하여 출력되는 커멘드를 알 수 있도록 한 타각 감지기를 제공하는데 그 목적이 있다. 
     상기와 같은 목적달성을 위한 본 발명의 타각 감지기는 프레임 역할을 하는 것으로, 링 형상으로 이루어진 지지프레임(20)과; 이 지지프레임(20)에 조립되는 싱크로 조립체(30)와; 상기 싱크로 조립체(30)를 타(14)에 연결시켜주는 어뎁터(18)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100691683-B1 (KR)
IPC: G11B21/21
Filed: 2001-01-29
Granted: 2007-03-09
Abstract: 저전압으로 큰 변위를 얻을 수 있고, 소형 경량이며, 제조 비용이 낮은 압전 액츄에이터 및 그와 같은 압전 액츄에이터가 장치된 헤드 구동시의 관성 모멘트가 작은 고기록 밀도로 소형 경량 정보 기억 장치를 제공한다. 
     압전 액츄에이터(200)는 중심체(200a)와 2개의 소용돌이형의 아암(200b)을 갖고 있고, 2개의 아암(200b)은 전체로서 회전 대칭인 동시에 비선대칭이다.  
       
     압전 액츄에이터, 관성 모멘트
Patent KR-100522375-B1 (KR)
Title: 플라즈마처리장치에 있어서의 공정 모니터방법 및모니터장치 및 그것을 사용한 시료의 처리방법
IPC: H01L23/544
Filed: 2001-02-15
Granted: 2005-10-18
Abstract: 발광 다이오드 등의 발광소자를 플라즈마중에 방치하면, 발광소자의 양쪽 끝에 플라즈마로부터의 하전입자(이온, 전자)의 흐름에 의하여 발생하는 전위차에 의해 발광소자에 전류가 흘러, 발광한다.  이 발광소자의 발광강도는 발광소자의 전압이나 전류와 일정한 상관이 있다.  본 발명은 발광소자의 이 성질을 이용하는 것이다.   
     본 발명의 특징은 진공용기에 가스를 도입하여 플라즈마를 발생시켜 시료를 처리하는 플라즈마처리장치에 있어서의 플라즈마처리의 전위차를 측정하는 것에 있어서, 상기 시료와 동일한 구성의 측정용 시료의 위에 발광소자를 형성하고, 플라즈마로부터 입사하는 하전 입자량의 차이에 대응하여 발생하는 전위차를 이용하고, 상기 발광소자의 양쪽 끝에 발생한 전위차에 의해 상기 발광소자에 전류가 흐르고, 이 전류를 따라 상기 발광소자가 발광함으로 인한 발광강도를 측정하여 상기 발광강도의 강약에 따라 상기 측정용 시료상의 전위차를 측정하는 데에 있다.
Patent KR-100518617-B1 (KR)
Title: 플라즈마처리장치 및 플라즈마 처리방법
IPC: H01L21/302
Filed: 2001-02-19
Granted: 2005-10-04
Abstract: 본 발명의 특징은 진공처리실과, 처리실에 가스를 공급하는 처리가스공급수단과, 상기 진공처리실내에서 처리되는 시료를 유지하는 전극과, 상기 시료에 대향하여 설치되는 플라즈마발생장치와, 상기 진공처리실을 감압하는 진공배기계를 가지는 플라즈마처리장치에 있어서, 상기 플라즈마발생장치의 처리실측에 설치된 실리콘제의 플레이트에 대하여 Vdc = -50V 이상 -300V 이하의 바이어스전압을 인가하고, 또 상기 플레이트의 표면온도를 100℃ 이상 200℃ 이하의 범위로 하였다.  또상기 플라즈마처리장치에 있어서의 실리콘제의 플레이트의 표면온도의 변동을 ±25℃ 이내로 하였다.
Patent KR-100352450-B1 (KR)
Filed: 2001-04-12
Granted: 2002-09-11
Abstract: 본 발명은 각 매장별로 신용카드 승인기를 설치할 수 없는 소규모의 매장들이 공동으로 사용할 수 있는 무인 신용카드 승인 방법 및 시스템에 관한 것이다. 
     각 매장의 식별번호, 매장별 비밀번호 및 매장의 상호등이 저장된 매장 ID카드가 사용된다.     매장 ID카드와 고객의 신용카드를 공동으로 설치된 무인 신용카드 승인기에 입력함으로써, 신용카드의 거래가 어느 매장에서의 거래에 대한 것인지를 알 수 있다.     이와 같은 무인 신용카드 승인기는 VAN 사를 경유하여 카드사와 연결되는 것은 물론, 인터넷망을 통하여 직접 카드사와 연결될 수도 있다. 
     본 발명에 따르면, 소규모 매장들이 공동으로 신용카드 승인기를 사용함으로써, 신용카드에 의한 거래를 위해 각 매장별로 별도의 신용카드 승인기를 설치하는 비용을 경감할 수 있고, 또한 신용카드에 의한 거래를 활성화할 수 있는 효과가 있다.
Patent KR-100537952-B1 (KR)
Title: 중공형 소수성 고분자 마이크로캡슐 및 이의 제조방법, 및이 마이크로캡슐을 함유하는 화장료 조성물
IPC: A61K9/48
Filed: 2001-04-13
Granted: 2005-12-21
Abstract: 본 발명은 화장품에 사용되는 수용성 활성성분을 함유하는 마이크로캡슐에 있어서, 활성성분을 다량 함유하면서 그들의 안정성을 향상시키기 위하여 내부구조를 중공형으로 하고, 소수성 고분자로 제조한 중공형 소수성 고분자 마이크로캡슐 및 이의 제조방법, 및 이를 함유하는 화장료 조성물에 관한 것이다.
Patent KR-100394833-B1 (KR)
Title: 의자의 받침대
IPC: A47C3/20
Filed: 2001-04-13
Granted: 2003-08-19
Abstract: 본 발명은 종래의 의자의 받침대를 개선한 것으로서, 용접공정을 없애고 일부 부품을 본체에 일체화하는 것에 의하여 작업 공정이 단축되고 불량의 염려가 없으며 강도가 뛰어난 제품의 생산이 가능한 것이다. 이는 직사각형 형태의 고정프레임의 길이가 짧은 쪽 두 변에는 반원형상의 오목부가 형성되고 중심으로부터 일정부분이 주위보다 낮게 형성되고, 중심에는 의자 지지축이 관통되는 지지축관통공이 형성되며, 상기 반원형상의 오목부에는 각각 원통형상의 고정봉이 상호 수평으로 평행하게 결합수단에 의하여 결합되며, 고정프레임의 하부에는 U자형의 보강대가 장착되며, 상기 결합수단은 고정프레임의 오목부에 프레스에 의하여 끝부분이 날카로운 다수개의 결합돌기가 형성되고, 상기 결함돌기에 의하여 고정봉의 표면에 다수개의 결합구멍이 천공되어, 상기 결합돌기가 결합구멍에 강제 체결됨으로써 고정봉이 고정프레임에 긴밀하게 장착되며, 조작봉의 양측면에는 단조가공되어 조작봉에 일체화 된 두 개의 돌부가 형성되어 상기 돌부가 상기 조작봉지지부의 결합홀에 각각 끼워지게 됨으로써, 조작봉의 상하 움직임에 의하여 의자 높낮이 조절용 가스의 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 의자의 받침대이다.
Patent KR-100423081-B1 (KR)
Title: 점 용접시 너트 및 타점 누락 방지 시스템
IPC: B23K11/25
Filed: 2001-04-19
Granted: 2004-03-18
Abstract: 본 발명은 점 용접기를 이용하여 두 금속판이나 소정의 금속판에 너트를 용접할 때, 타점 누락 방지장치를 통해 타점 및 너트누락 여부를 작업자에게 용이하게 인지시키고, 생산수량, 팁 드레싱 및 교환주기를 일괄적으로 표시하여 작업자의 용접작업시 실수를 미연에 방지할 수 있도록 한 것이다. 
     점 용접기와 너트공급기를 제어하는 컨트롤박스와 인터페이스되게 연결하여 상호 호환되어 용접이 진행되는 과정과 용접 이상 유무를 LED 소자를 이용해 디스플레이되도록 하는 타점 누락 방지장치; 상기 타점 누락 방지장치와 연결하여 하나의 타점공정이 이루어짐을 알리는 소정의 신호를 발생하는 풋스위치; 상기 타점 누락 방지장치와 연결하여 용접공정이 완료된 제품이 취출됨을 알리는 소정의 신호를 발생하는 제품취출단의 소정의 부위에 형성된 취출감지부; 너트 용접시 상기 너트공급기를 통해 공급되는 너트가 정위치에 안착되어 있는지를 감지하는 너트 감지장치로 구성됨을 특징으로 하는 점 용접시 너트 및 타점 누락 방지시스템을 구현하고자 한 것이다.
Patent KR-100820153-B1 (KR)
IPC: H04N5/92
Filed: 2001-04-19
Granted: 2008-04-08
Abstract: 본 발명은 디지털 방송 신호의 녹화장치 및 방법에 관한 것으로, 기존의 방법은 단일 프로그램(Single Program)과 다중 프로그램(Multi Program)을 구분하지 않고, 그대로 녹화함으로서 테이프를 효율적으로 사용하지 못하고 있으며, 또한 PSIP(Program and System Information Protocol) 정보를 활용하지 않음으로써 프로그램을 이벤트 단위로 예약녹화하지 못하는 문제점이 있다. 따라서, 본 발명은 PSIP 정보를 이용한 EPG 환경에서 디지털 방송 프로그램을 예약 녹화할 때, 비디오 모드를 자동 판별하여 그에 따라 기록모드를 설정하도록 함으로써, 테이프를 효율적으로 사용할 수 있도록 함과 아울러, 프로그램 방영시간과 테이프 잔량을 비교하여 예약녹화 하려는 프로그램을 처음부터 끝까지 완전하게 녹화할 수 없는 경우에는, 미리 사용자에게 통보하여 테이프를 교체할 수 있도록 함으로써, 테이프 잔량 부족에 의해 녹화가 중단되지 않도록 하는 효과가 있다.
Patent KR-100418095-B1 (KR)
Title: 차량을 이용한 광고제공시스템
IPC: H04B7/00
Filed: 2001-05-25
Granted: 2004-02-11
Abstract: 본 발명은 이동중인 차량을 통해 광고가 외부로 노출되도록 함으로써, 광고노출의 효과를 극대화시킬 수 있도록 하고, 광고 노출의 댓가로서 해당 차량에 대한 도난 예방 및 위험 발생에 따른 소정 보안서비스를 제공함과 더불어 차량으로부터 제공되는 속도정보를 근거로 생성되는 교통정보를 차량으로 제공하도록 된 차량을 이용한 광고제공시스템에 관한 것이다. 
     또한, 본 발명에 따른 차량을 이용한 광고제공시스템은, 서비스제공장치가 무선통신망의 기지국을 통해 차량에 설치된 셋탑박스로 소정 광고정보를 송출하여 해당 광고가 차량 외부로 노출되도록 제어하되, 현재 차량의 위치에 대응되는 광고정보를 송출하고, 셋탑박스로부터 보안요구신호가 인가되는 경우에는 해당 차량위치에 대응되는 지역의 보안회사를 통해 보안서비스를 제공함과 더불어 차량의 속도정보를 주기적으로 제공받아 이를 근거로 교통정보를 생성하여 셋탑박스로 제공하도록 구성된 것을 특징으로 한다. 이때, 상기 서비스제공장치는 메인차량으로 등록된 셋탑박스로 광고정보를 제공하고, 메인차량에서 그 주변에 위치한 차량으로 서비스제공장치로부터 수신된 광고정보를 송출하도록 구성되거나, 또는 GPS시스템을 이용하여 차량 위치에 대응되는 광고정보를 송출하도록 구성할 수 있다.
Patent KR-100415814-B1 (KR)
Title: 삼림의 대기 공급시스템 및 그 공급방법
IPC: F17D3/10
Filed: 2001-05-28
Granted: 2004-01-24
Abstract: 본 발명은 삼림의 대기 공급시스템 및 그 공급방법에 관한 것으로, 삼림의 대기를 추출하여 저장탱크에 압축한 상태에서 다수의 배출장소의 각 사용자가 배출밸브를 조작하면 삼림의 대기를 공급할 수 있도록 하여 삼림으로부터 원거리에 이격된 사용자도 삼림욕을 즐길 수 있도록 한 삼림의 대기 공급시스템 및 그 공급방법을 제공함에 그 목적이 있다. 또한, 배출되는 삼림 대기의 온도를 조절할 수 있도록 하여 하절기와 동절기에는 냉온방과 겸용으로 삼림욕을 즐길 수 있도록 하는 삼림의 대기 공급시스템 및 그 공급방법을 제공함에 또 다른 목적이 있다. 
     본 발명은 삼림지에서 삼림의 대기를 흡기하여 저장탱크에 고압으로 압축하는 대기압축수단과; 각 배출장소에 마련되어 사용자가 밸브의 개방신호를 발생시키고 각종 정보를 출력시킬 수 있게 된 키조작 및 정보출력수단과; 사용자의 키조작신호를 인가받아 밸브의 경로를 제어하고, 이상 발생시 정보를 출력시키기 위한 경로제어수단과; 상기 저장탱크를 배출가능하게 장착한 장착부로부터 그 삼림 대기를 선택적으로 특정 장소로 배출시키기 위하여 각 배출장소와 연결된 대기공급용 파이프라인과; 상기 대기공급용 파이프라인의 중간에 매개하여 상기 경로제어수단으로부터 제어신호를 인가받아 밸브를 개폐하는 밸브개폐수단으로 이루어진 것을 특징으로 한다. 
     본 발명을 적용하면, 신체의 이동이 불가능한 환자와, 도서관에서 시간에 쫓기는 수험생이 삼림욕을 하기 위하여 삼림을 찾아나설 필요없이 원거리의 삼림대기를 압축 이송하여 일정 공간내에 배출시킬 수 있도록 함으로써 삼림욕을 즐길 수 있다는 효과가 있다. 또한, 비 또는 눈이 내리는 기상 악화의 경우에도 삼림욕이 가능하고, 겨울에는 가을이나 여름에 미리 포집한 삼림 대기를 배출시킴으로써 인체에 유익한 테르펜 물질을 충분히 호흡할 수 있게 된다는 효과가 있으며, 동절기 또는 하절기에는 그 삼림 대기가 일정온도를 유지한 상태에서 배출되는 것이 가능하므로 냉난방 효과를 얻을 수 있다.
Patent KR-100797105-B1 (KR)
IPC: H04N5/04
Filed: 2001-06-14
Granted: 2008-01-23
Abstract: 본 발명은 다기능 복합 미디어 기기의 동기화 방법에 관한 것으로 특히, 방송 신호에 포함된 표준 시간 정보를 이용하여 디지털 티브이 모듈과 제어 모듈간을 동기화하도록 함을 목적으로 한다. 이러한 목적의 본 발명은 전원이 온되면 디지털 티브이 모듈(200)이 방송 신호에 포함된 표준 시간 정보를 추출하는 단계와, 상기 디지털 티브이 모듈(200)이 표준 시간 정보를 제어 모듈(100)로 전송하는 단계와, 상기 제어 모듈(100)이 표준 시간 정보를 이용하여 현재 시간을 갱신하는 단계와, 채널 변경, EPG에서의 프로그램 선택 등의 기능 실행에 대해 상기 제어 모듈(100)과 디지털 티브이 모듈(200)이 상기 갱신된 현재 시간을 기준으로 실시간으로 연동하는 단계를 수행하도록 구성함을 특징으로 한다.
Patent KR-100432141-B1 (KR)
Title: Ｔｃｂｆ공법을 이용한 침출수의 처리방법
IPC: C02F9/14
Filed: 2001-07-13
Granted: 2004-05-17
Abstract: 본 발명은 TCBF(Temperature control bioreactor  Flocculation)공법을 이용한 침출수의 처리방법에 관한 것으로서, 좀 더 상세하게는 동절기 수온저하에 따라 처리효율이 급격하게 저하되는 암모니아성 질소와 난분해성 유기물을 적정 수온의 유지가 가능한 탈질/질산화 공정 및 특정 응집제를 사용한 화학응집침전 공정을 통해 효과적으로 처리하기 위한 침출수의 처리방법에 관한 것이다.  본 발명에 따르면, 동·하절기 구분없이 생물 반응조의 수온이 20∼35℃로 유지되어 침출수의 난분해성 유기물질 및 암모니아성 질소의 처리효율이 각각 80% 및 99%로 증대된다.  또한, 본 발명은 화학응집침전 공정에서 황산 제이철을 응집제로 사용하여 특정 pH로 유지시키므로써 탈질/질산화 공정 후 잔류되어 있는 유기물질 및 색도가 70% 이상 제거된 경제적인 침출수 처리방법을 제공할 수 있다.
Patent KR-100427990-B1 (KR)
Title: 총륜구동차량의 전륜구동력 단속장치
IPC: B60K17/35
Filed: 2001-07-14
Granted: 2004-04-28
Abstract: 본 발명은 총륜구동차량의 전륜구동력 단속장치에 관한 것으로, 파트타임방식의 총륜구동차량은 전륜으로의 구동력 단속을 위해 단속장치가 장착되어야 하는데, 종래의 구동력 단속장치는 그 구조가 복잡하여 작동불량이 발생되고 장착이 번거롭다는 문제점이 있었다. 
     이에 본 발명은 구동절환스위치(2)에 의해 작동되는 엑튜에이터(22)가 포함된 핀(20)에 의해 전륜과 전륜샤프트와의 구동력접속이 수행되도록 한 것으로, 전륜샤프트(3)와 허브몸체(10)를 일체로 결합하고 허브몸체(10)와 브레이크 디스크(12)를 공회전 가능하게 결합함과 더불어, 허브몸체(10)에 엑튜에이터(22)가 포함되어진 핀(20)을 장착시켜 전륜샤프트(3)와 결합된 허브몸체(10)와 전륜과 결합된 브레이크 디스크(12)가 구동절환스위치(2)에 의해 핀결합 및 그 해제가 수행되도록 한 것이다.
Patent KR-100404584-B1 (KR)
Title: 장식적인 반사 홀로그램을 갖는 선글래스 및 그 제조방법
IPC: G02C7/10
Filed: 2001-07-21
Granted: 2003-11-05
Abstract: 본 발명은 장식적인 반사 홀로그램을 갖는 선글래스 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 종래 엠보싱된 홀로그램 상단에 오버코팅 처리하던 과정을 없애고, 대신 오버코팅층이 형성된 필름적층체를 상기 엠보싱된 홀로그램과 라미네이팅 처리하는 제조방법을 제공함으로서 불량 발생을 현저하게 낮출 수 있도록 한 장식적인 반사 홀로그램을 갖는 선글래스의 제조방법 및 그 제조방법에 의해 제조된 반사 홀로그램을 갖는 선글래스를 제공한다.
Patent KR-100423309-B1 (KR)
Title: 전방현가장치의 로어암
IPC: B60G7/00
Filed: 2001-07-30
Granted: 2004-03-18
Abstract: 본 발명은 전방현가장치의 로어암에 관한 것으로, 크로스멤버(3)부위로 체결되는 클램프결합부(4b)가 그 선단에 형성되는 원형축(4d)에 순차적으로 관통되면서 끼워지는 충격흡수부재(8) 및 클램프(6)와, 이 클램프(6)를 원형축(4d)상에 고정시키기 위해 원형축(4d)에 구비된 나사홈(4e)으로 체결되는 너트(7e)와, 상기 클램프(6)와 원형축(4d)을 일체로 관통하여 조립되는 고정핀(9)을 포함하도록 구성되어져, 주행중 로어암(4)에 비교적 큰 진동 및 충격하중이 전달되더라도 이 충격하중의 대부분이 상기 충격흡수부재(8)와 결합핀(9)에 의해 흡수되게 됨으로써, 상기 클램프결합부(4b)의 내구성이 향상되면서 로어암(4)의 사용수명도 향상되게 되고, 아울러 차량의 주행방향에 따라 운전자가 조행핸들을 조작할 때 휠의 움직임이 운전자가 원하는 방향대로 원활하게 조작이 가능하게 됨으로써, 차량의 주행안정성이 향상되도록 된 것이다.
Patent KR-100405727-B1 (KR)
Title: 차량의 연료량 제어방법 및 그 시스템
IPC: F02D43/00
Filed: 2001-08-31
Granted: 2003-11-14
Abstract: MAP(MANIFOLD ABSOLUTE PRESSURE) 센서를 이용하여 퍼지 구간에서의 차량 운정상태에 의한 흡기압 변동에 따른 연산을 수행하여 최종 연료량을 보정제어하여 운전성 및 연비를 향상시키는 차량의 연료량 제어방법 및 그 시스템을 제공할 목적으로, 
     엔진을 제어하는 ECU와, 퍼지 컨트롤 솔레노이드 밸브와, 엔진 회전수 검출센서와, 트롤틀 포지션 센서와, 산소센서와 냉각수온센서 및 흡기 다기관의 진공변동에 따른 흡기압을 간접적으로 검출하여 전압신호를 출력하는 MAP 센서로부터 차량의 운전상태에 따른 신호를 검출하여 피드백 제어함으로서 인젝터를 제어하는 차량의 연료량 제어 시스템에서, 
     상기 ECU는 퍼지 구간에서, 설정된 기본 연료량과 퍼지 연료량 보정치를 계산하되, 차량의 운전상태가 아이들 또는 라이트 로드(Light Load)상태에서 파트 로드(Part Load) 또는 풀 로드(Full Load) 상태로 전환시, 퍼지 연료량 보정치가 과다하게 학습된 경우에는, 정수 1에 대하여 흡기압 변동치에 퍼지 연료량 보정치와 보정상수 K1을 곱한 값을 뺀 후, 다시 상기 기본 연료량에 곱하여 계산되는 제1최종 연료량 보상치를 적용하여 최종 연료량을 보상하며, 
     상기 차량의 운전상태가 파트 로드(Part Load) 또는 풀 로드(Full Load) 상태에서 아이들 또는 라이트 로드(Light Load)상태로 전환시, 상기 퍼지 연료량 보정치가 과다하게 음(-)으로 학습된 경우에는 1에 대하여 흡기압 변동치에 퍼지 연료량 보정치와 보정상수 K2를 곱한 값을 뺀 후, 다시 상기 기본 연료량에 곱하여 계산되는 제2최종 연료량 보상치를 적용하여 최종 연료량을 보상함으로서 인젝터를 제어하는 것을 특징으로 하는 차량의 연료량 제어 시스템을 제공한다.
Patent KR-100878170-B1 (KR)
IPC: C23C16/32
Filed: 2001-09-12
Granted: 2009-01-12
Abstract: 집적회로 제조에서 사용하기 위한 실리콘카바이드층의 형성 방법을 개시한다.     전기장의 존재 하에서 실리콘원, 탄소원 및 불활성 가스를 포함하는 가스 혼합물을 반응시켜 실리콘카바이드층을 형성한다.     전기장은 혼합 주파수 RF 전력을 사용하여 발생시킨다.     실리콘카바이드층은 집적회로 제조 공정과 양립할 수 있다.     일 집적회로 제조 공정에서, 실리콘카바이드층은 예를 들어, 다마슨 구조체 등의 집적회로 구조체를 제조하는 데 하드마스크로 사용된다.     또 다른 집적회로 제조 공정에서, 실리콘카바이드층은 DUV 리소그래피를 위한 반사방지막 (ARC) 으로 사용된다. 
       
     실리콘카바이드층, 플라즈마 화학기상증착, 혼합 주파수 RF 전력, 하드마스크, 반사방지막