baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102020110745-B4 (DE)
Title: Maskentransferverfahren und zugehörige einrichtung für einen bumping-prozess
Inventor: CHU CHING-SHENG
IPC: H01L21/768
Filed: 2020-04-21
Granted: 2023-06-15
Abstract: Verfahren zum Bilden einer integrierten Schaltung, IC, wobei das Verfahren umfasst:Empfangen eines Werkstücks (1102), das eine Interconnect-Struktur (114) aufweist, die in eine Zwischenschichtdielektrikumstruktur (112), ILD-Struktur, eingebettet ist, und eine erste dielektrische Schicht (1104) aufweist, die über der ILD-Struktur (112) und der Interconnect-Struktur (114) angeordnet ist;Bilden einer zweiten dielektrischen Struktur (118) über dem Werkstück (1102);Bilden einer Seitenwandsperrstruktur (126, 1402) über der ersten dielektrischen Schicht (1104) und entlang zweiter innerer Seitenwände der zweiten dielektrischen Struktur (118);Bilden einer Hartmaskenstruktur (1802) über der ersten dielektrischen Schicht (1104) und entlang dritter innerer Seitenwände der Seitenwandsperrstruktur (126, 1402), wobei eine Höhe der Hartmaskenstruktur (1802) geringer ist als eine Höhe der zweiten dielektrischen Struktur (118);nach Bildung der Hartmaskenstruktur (1802), Entfernen eines oberen Abschnitts der Seitenwandsperrstruktur (126, 1402), sodass eine Höhe der Seitenwandsperrstruktur (126, 1402) kleiner oder gleich der Höhe der Hartmaskenstruktur (1802) ist;Entfernen eines Abschnitts der ersten dielektrischen Schicht (1104), der zwischen den dritten inneren Seitenwänden der Seitenwandsperrstruktur (126, 1402) angeordnet ist, um eine erste dielektrische Struktur (116) zu bilden;Bilden einer unteren Bumping-Struktur (122) über der ILD-Struktur (112), die sich vertikal entlang erster innerer Seitenwände der ersten dielektrischen Struktur (116) und entlang der dritten inneren Seitenwände der Seitenwandsperrstruktur (126, 1402) erstreckt; undBilden einer oberen Bumping-Struktur (124) sowohl über der unteren Bumping-Struktur (122) als auch der Seitenwandsperrstruktur (126,1402), wobei sich die obere Bumping-Struktur (124) vertikal entlang der zweiten inneren Seitenwände der zweiten dielektrischen Struktur (118) erstreckt und wobei eine obere Oberfläche der oberen Bumping-Struktur (124) nicht über einer oberen Oberfläche der zweiten dielektrischen Struktur (118) angeordnet ist.
Patent DE-102020111728-B4 (DE)
Title: Elektro-optisches Wandlerbauteil mit einem Abstandhalter, sowie Abstandhalter-Wafer zur Herstellung eines elektro-optischen Wandlerbauteils
Inventor: PEUCHERT ULRICH
IPC: B23K26/53
Filed: 2020-04-29
Granted: 2022-06-23
Abstract: Abstandhalter-Wafer (1) zur Herstellung von rahmenförmigen Abstandhaltern (2) für die Gehäusung elektro-optischer Wandler (3) durch Abtrennen von Abschnitten (4) vom Abstandhalter-Wafer (1), wobei der Abstandhalter-Wafer (1) eine transparente Glasplatte (10) umfasst, die eine Vielzahl von in einem Raster verteilt angeordneten, voneinander getrennten Öffnungen (5) aufweist, so dass durch Abtrennen von Abschnitten (4) der Glasplatte (10) entlang von Trennlinien (7) zwischen den Öffnungen (5) die vereinzelten Abstandhalter (2) erhältlich sind, wobei die Öffnungen (5) Seitenwandungen (50) mit einer Mikrostrukturierung (9) mit einer Rauigkeit aufweisen, wobei der Mittenrauwert Rader Rauigkeit größer als 50 nm und kleiner als 0,5 µm bei einer Meßstrecke von 500 µm beträgt und die Mikrostrukturierung (9) eine Vielzahl von kalottenförmigen Vertiefungen aufweist und die Mikrostrukturierung (9) durch Ätzen mit einem Ätzbad (33) erhalten wird.
Patent DE-102020201760-B4 (DE)
Title: Beladevorrichtung, Transportfahrzeug und Beladeverfahren
Inventor: HELBIG MICHA
IPC: B60P3/07
Filed: 2020-02-12
Granted: 2021-09-30
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Beladevorrichtung (1) zum Beladen einer Ladefläche (2) eines mit einer Transportgeschwindigkeit (T) in eine erste Richtung fahrenden Transportfahrzeugs (3) mit einem Kraftfahrzeug (4), aufweisend eine Koppelvorrichtung (5) zum mechanischen Koppeln der Beladevorrichtung (1) mit dem Transportfahrzeug (3) und eine Aufnahmevorrichtung (6) mit einem Aufnahmemittel (7) zur Bereitstellung einer Aufnahmefläche (8) zur Aufnahme des fahrenden Kraftfahrzeugs (4). Die Aufnahmevorrichtung (6) weist eine Kompensationsvorrichtung (9) auf, wobei die Kompensationsvorrichtung (9) ausgebildet ist, die Aufnahmefläche (8) mit einer Kompensationsgeschwindigkeit (K) in eine der ersten Richtung entgegengesetzte zweite Richtung zu bewegen. Ferner betrifft die Erfindung ein Transportfahrzeug (3) zum Transportieren von Kraftfahrzeugen (4) sowie ein Verfahren zum Beladen einer Ladefläche (2) eines erfindungsgemäßen Transportfahrzeugs (3).
Patent DE-112004002558-B4 (DE)
Title: Kugelumlaufspindel
Inventor: FUJII HIDEKI
IPC: F16C33/38
Filed: 2004-11-15
Granted: 2022-02-03
Abstract: Kugelumlaufspindel (1, 2, 3), umfassend:eine Spindelwelle (10), die eine kreisförmige Schnittform aufweist, und die in ihrer Außenumfangsoberfläche mehrere Bahnen in Längsrichtung verlaufender Drehmomentübertragungsnuten (12) aufweist, die in gleichen Abständen angeordnet sind, wobei Kugelwälzoberflächen (11a, 11b) auf Seitenoberflächen von Stegteilen (13) vorgesehen sind, die zwischen den Drehmomentübertragungsnuten (12) angeordnet sind, sodass die Kugelwälzoberflächen (11a, 11b) an beiden Seiten in Richtung der Breite jeder der Drehmomentübertragungsnuten (12) vorgesehen sind;eine Spindelmutter (20), die als ein Zylinder mit einem hohlen Loch (21) ausgebildet ist, in welches die Spindelwelle (10) eingepasst ist, und auf einer Innenumfangsoberfläche des hohlen Loches (21) mehrere Bahnen von Lastwälzoberflächen (21a, 21b), die benachbart in Umfangsrichtung sind, gegenüberliegend den Kugelwälzoberflächen (11a, 11b) der Spindelwelle (10) aufweist; undeine große Anzahl von Kugeln (30), die derart ausgebildet sind, dass sie abrollen, während eine Last im Lastbereich aufgenommen wird, wobei die Kugelwälzoberflächen (11a, 11b) der Spindelwelle (10) und die Lastwälzoberflächen (21a, 21b) der Spindelmutter (20) sich gegenüberliegen, wobeidie Entfernung zwischen einem Paar von Reihen von Kugeln (30), die auf den Kugelwälzoberflächen (11a, 11b) abrollen, die an beiden Seiten jedes der Stegteile (13) vorgesehen sind, größer gewählt ist als die Entfernung zwischen einem Paar von Reihen von Kugeln (30), die auf den Kugelwälzoberflächen (11a, 11b) an beiden Seiten jeder der Drehmomentübertragungsnuten (12) abrollen,dadurch gekennzeichnet, dassin der Spindelmutter (20) Kugelrückkehrkanäle (22) parallel zu den Lastbereichen vorgesehen sind, wobei diese Kugelrückkehrkanäle (22) in den Kontaktnormalen (n) der Kugeln (30) und der Kugelwälzoberflächen (11a, 11b) liegen.
Patent DE-112005001203-B4 (DE)
Title: Batteriesatz, Elektrowerkzeug, elektrische Kombination daraus und Verfahren zum Betreiben
Inventor: JOHNSON TODD W
IPC: H01M2/10
Filed: 2005-05-24
Granted: 2022-08-04
Abstract: Batteriesatz (50), der zum Zuführen von Energie zu einem schnurlosen Elektrowerkzeug (55) ausgebildet ist, wobei das schnurlose Elektrowerkzeug (55) einen Motor (450) hat, und der Batteriesatz (50) aufweist:mehrere Batteriezellen (80), die so betreibbar sind, dass sie einen Entladungsstrom dem Motor (450) des schnurlosen Elektrowerkzeugs (55) über einen Entladungsweg zuführen, wobei jede der Batteriezellen (80) einen Batteriezellen-Ladungszustand aufweist;einen Schalter (180), der entlang dem Entladungsweg vorgesehen ist, und so betreibbar ist, dass er den Entladungsstrom, der von den Batteriezellen (80) dem Motor (450) zugeführt wird, unterbricht, wenn der Schalter (180) in dem nicht-leitenden Zustand angeordnet ist; undeine Steuerung (140), die elektrisch mit jeder von den Batteriezellen (80) über eine jeweilige Verbindung zu jeder der Batteriezellen (80) verbunden ist, die so betreibbar ist, dass sie den Batteriezellen-Ladungszustand jeder der Batteriezellen (80) überwacht, und die so betreibbar ist, dass sie den Betrieb des Batteriesatzes (50) steuert;wobei die Steuerung (140) den Schalter (180) so steuert, dass er den Entladungsstrom unterbricht, wenn der Batteriezellen-Ladungszustand einer der Batteriezellen (80) eine vorbestimmte Schwelle erreicht, undwobei die Steuerung (140) eine Batteriesatzspannung misst, wenn der Schalter (180) in dem nicht-leitenden Zustand angeordnet ist.
Patent DE-112007003062-B4 (DE)
Title: Ionentransferröhre mit Mehrfachbohrung zu Einzelbohrung
Inventor: ATHERTON PAUL R
IPC: H01J49/04
Filed: 2007-12-12
Granted: 2013-10-10
Abstract: Ionentransferröhre (30) zum Transportieren von Ionen von einer ersten Kammer (15) zu einer zweiten Kammer (18) eines Massenspektrometers, wobei die Ionentransferröhre (30) umfasst: ein erstes Segment (66) und ein zweites Segment (69), das mit dem ersten Segment (66) verbunden ist; wobei das erste Segment (66) ein Einlassende (27) enthält, das zur ersten Kammer (15) geöffnet ist, und das zweite Segment (69) ein Auslassende (33) enthält, das zur zweiten Kammer (18) geöffnet ist, wobei die zweite Kammer (18) bei einem bezogen auf die erste Kammer (15) reduzierten Druck gehalten ist; wobei das erste Segment (66) eine Mehrzahl von getrennten, parallelen Kanälen (80), die in einer Außenhülse (74) aufgenommen sind, aufweist, derart, dass durch das erste Segment (66) strömende Ionen unter der Mehrzahl von Kanälen (80) aufgeteilt sind; wobei das zweite Segment (69) einen gemeinsamen Kanal (92) aufweist, welcher in Strömungsverbindung mit der Mehrzahl von Kanälen (80) des ersten Segments (66) steht und wenigstens einen Abschnitt der Außenhülse (74) umfasst, wobei der gemeinsame Kanal (92) einen kombinierten Ionenfluss von der Mehrzahl von Kanälen (80) im ersten Segment (66) empfängt und transportiert; und eine Heizanordnung (36, 39, 42, 45) zum Heizen von wenigstens einem Abschnitt des ersten Segments (66), um restliches Lösungsmittel, das durch die Ionentransferröhre (30) strömt, zu verdampfen.
Patent DE-112008001590-B4 (DE)
Title: Prozessorbetriebsinspektionssystem und Betriebsinspektionsschaltung
Inventor: HONDA MAKOTO
IPC: G06F11/28
Filed: 2008-06-13
Granted: 2016-11-03
Abstract: Prozessorbetriebsinspektionssystem, das einen Prozessor und eine Betriebsinspektionsschaltung umfasst, die angepasst ist, um einen Betrieb des Prozessors zu inspizieren, der in der Lage ist, eine Vielzahl von Tasks auszuführen, dadurch gekennzeichnet, dass der Prozessor umfasst: eine Zustandsschaltsignalausgabeeinheit, die angepasst ist, um ein Zustandsschaltsignal, das einen Übergang eines Zustands des Prozessors beim Ausführen eines Programms angibt, in dem eine Vielzahl von Zuständen und Übergängen zwischen den Zuständen definiert sind, zu der Betriebsinspektionsschaltung zu dem Zeitpunkt eines Übergangs von einem vordefinierten Zustand zu einem anderen Zustand auszugeben; und eine Zustandsausgabeeinheit, die angepasst ist, um ein Zustandssignal, das einen momentanen Zustand des Prozessors angibt, zu der Betriebsinspektionsschaltung auszugeben; und die Betriebsinspektionsschaltung einen rekonfigurierbaren Prozessor umfasst und umfasst: eine Zustandsschaltsignaleingabeeinheit, die angepasst ist, um eine Eingabe des Zustandsschaltsignals zu empfangen; eine Zustandssignaleingabeeinheit, die angepasst ist, um eine Eingabe des Zustandssignals zu empfangen; eine Zustandsspeichereinheit, die angepasst ist, um den Zustand des Prozessors zu speichern; eine Zustandsberechnungseinheit, die angepasst ist, um einen neuen, durch den Prozessor anzunehmenden Zustand des Prozessors aus dem in der Zustandsspeichereinheit gespeicherten Zustand des Prozessors und dem durch das Zustandsschaltsignal angegebenen Zustandsübergang zu berechnen; eine Inspektionseinheit, die angepasst ist, um den Betrieb des Prozessors durch Anstellen eines Vergleichs zwischen dem neuen, durch den Prozessor anzunehmenden Zustand, der durch die Zustandsberechnungseinheit berechnet wurde, und dem durch die Zustandssignaleingabeeinheit eingegebenen Zustand des Prozessors zu inspizieren; eine Schaltungsinformationsspeichereinheit, die angepasst ist, um Schaltungsinformationen der Betriebsinspektionsschaltungen jeweils entsprechend der Vielzahl von Tasks zu speichern; und eine Steuereinheit, die angepasst ist, um die Schaltungsinformationen entsprechend dem Task in den rekonfigurierbaren Prozessor gemäß einem Task zu laden, der durch den Prozessor ausgeführt wird.
Patent DE-112009000082-B4 (DE)
Title: Befestigungselementenanordnung
Inventor: SCROGGIE DEREK
IPC: F16B5/06
Filed: 2009-02-12
Granted: 2018-09-20
Abstract: Befestigungselementanordnung, aufweisend:
 erste Komponente (44), welche eine Schlitzöffnung (46) aufweist; und
 ein Befestigungselement (10), welches ausgelegt ist, die erste Komponente (44) mit einer zweiten Komponente (66) zu verbinden, wobei das Befestigungselement (10) ein erstes Verbindungsende (12) aufweist, das an der Schlitzöffnung (46) in der ersten Komponente (44) gehalten wird, und ein zweites Verbindungsende (14), das zur Presspassungseinführung in eine Öffnung (64) in der zweiten Komponente (66) ausgelegt ist;
 wobei das erste Verbindungsende (12) einen erhabenen Randkragen (36) aufweist, welcher eine konkave Oberfläche begrenzt, welche von dem zweiten Verbindungsende (14) wegzeigt, und eine gegenüberliegende Plattformfläche (40), welche in beabstandetem Verhältnis zum erhabenen Randkragen (36) angeordnet ist, wobei ein Pfostenelement (42) sich zwischen dem erhabenen Randkragen (36) und der gegenüberliegenden Plattformfläche (40) erstreckt, wobei die erste Komponente in einem sandwichartigen Verhältnis zwischen dem erhabenen Randkragen (36) und der gegenüberliegenden Plattformfläche (40) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass 
 der erhabene Randkragen (36) eine segmentierte Umfangswand (38) aufweist mit einer Mehrzahl von Ausschnitten (54), welche unabhängige flexible Segmente (55) zwischen den Ausschnitten (54) definieren,
 dass das Befestigungselement (10) eine mehrteilige Konstruktion aufweist, wobei das erste Verbindungsende (12) an das zweite Verbindungsende (14) in einem Einrastverhältnis angefügt wird, und
 dass die erste Komponente (44) eine mit einer Kontur versehene Fläche hat, welche einen vertieften Kanal (48) aufweist, welcher sich in einem Muster erstreckt, das radial außerhalb der Schlitzöffnung (46) angeordnet ist,
 wobei mindestens ein Teil des erhabenen Randkragens (36) in dem vertieften Kanal (48) an der mit der Kontur versehenen Fläche angeordnet ist.
Patent DE-112009003600-B4 (DE)
Title: Elektrisch isolierte Schaltelementansteuerungsvorrichtung
Inventor: KATO KOZO
IPC: H03K17/567
Filed: 2009-11-27
Granted: 2012-10-18
Abstract: Elektrisch isolierte Schaltelementansteuerungsvorrichtung mit: einer ersten Impulstransformationseinrichtung (20), einer zweiten Impulstransformationseinrichtung (22), einer Einschaltzeitsignalerzeugungseinrichtung (10) zur Erzeugung eines Einschaltzeitsignals mit einem vorbestimmten Einschaltzeitverhältnis, einer Impulstransformationseinrichtungsansteuerungseinrichtung, in die ein Schaltelementansteuerungssignal und das Einschaltzeitsignal eingegeben werden, und die entsprechend dem Einschaltzeitsignal eine aus der ersten Impulstransformationseinrichtung (20) und der zweiten Impulstransformationseinrichtung (22), die in Abhängigkeit eines Zustands des Schaltelementsansteuerungssignals ausgewählt wird, ansteuert, und einer ersten Flankenerfassungseinrichtung (40), einer zweiten Flankenerfassungseinrichtung (42) und einer Steuerungsansteuerungseinrichtung (44), die mit einer Leistung arbeiten, die aus einem Gleichrichten der Ausgabe der ersten Impulstransformationseinrichtung und der zweiten Impulstransformationseinrichtung resultiert, wobei die erste Flankenerfassungseinrichtung (40) ein Ein-Aus-Signal entsprechend einer Flanke in einer Vorgleichrichtungsausgabe der ersten Impulstransformationseinrichtung ausgibt, die zweite Flankenerfassungseinrichtung (42) ein Ein-Aus-Signal entsprechend einer Flanke in einer Vorgleichrichtungsausgabe der zweiten Impulstransformationseinrichtung ausgibt, und die Steuerungsansteuerungseinrichtung (44) ein anzusteuerndes Schaltelement (60) auf der Grundlage der Ausgabe der ersten Flankenerfassungseinrichtung (40)...
Patent DE-112010002709-B4 (DE)
Title: In-vivo-abfrageeinrichtung mit flexibler leiterplatte und verfahren zuihrer montage
Inventor: GILAD ZVIKA
IPC: A61B1/06
Filed: 2010-06-20
Granted: 2023-01-12
Abstract: Flexible Leiterplatte (100) mit einer ersten Seite und einer zweiten Seite, wobei die flexible Leiterplatte (100) Folgendes aufweist:eine erste flexible Installationseinheit (11'), bei der auf ihrer ersten Seite ein erster Imager angeordnet ist;eine zweite flexible Installationseinheit (11), bei der auf ihrer ersten Seite ein zweiter Imager angeordnet ist; undeine dritte flexible Installationseinheit (110), bei der auf ihrer ersten Seite ein Sender angeordnet ist, wobei die dritte Installationseinheit (110) über eine flexible Anschlusseinheit (111, 111') mit der ersten flexiblen Installationseinheit (1 1`) und mit der zweiten Installationseinheit (11) verbunden ist; wobei die dritte flexible Installationseinheit (110) weiter über flexible Anschlusseinheiten (112, 113, 114) mit folgenden Einrichtungen verbunden ist:einer vierten flexiblen Installationseinheit (12), bei der auf ihrer ersten Seite eine erste Beleuchtungsquelle angeordnet ist;einer fünften flexiblen Installationseinheit (13), bei der auf ihrer ersten Seite ein erster Batteriekontakt angeordnet ist; undeiner sechsten flexiblen Installationseinheit (14), auf der eine Antenne angeordnet ist, und wobei die erste flexible Installationseinheit (1 1`) weiter über eine flexible Anschlusseinheit (113') mit einer siebten flexiblen Installationseinheit (13') verbunden ist, auf deren erster Seite ein zweiter Batteriekontakt angeordnet ist; undeiner achten flexiblen Installationseinheit (12'), auf deren erster Seite eine zweite Beleuchtungsquelle angeordnet ist, wobei die achte flexible Installationseinheit (12') über eine flexible Anschlusseinheit (112') mit der siebten flexiblen Installationseinheit (13') verbunden ist.
Patent DE-112011103870-B4 (DE)
Title: Verbesserte Getriebegruppe für Fahrzeuge und mit einer derartigen Getriebegruppe versehenes Fahrzeug
Inventor: PONTANARI MARCO
IPC: F16H37/04
Filed: 2011-11-23
Granted: 2020-03-12
Abstract: Getriebegruppe (10) für Fahrzeuge (11), aufweisend:
 einen Motor (12);
 eine Ausgangswelle (13);
 eine Getriebewelle (14), die mit dem Motor (12) in Eingriff ist und auf der zumindest ein erstes und ein zweites Übertragungszahnrad (15, 16) angeordnet sind;
 ein Ausgangszahnrad (18), das auf der Ausgangswelle (13) angeordnet und in Eingriff mit zumindest einem der Übertragungszahnräder (15) ist;
 eine Eingriffsvorrichtung (17), die zwischen den Übertragungszahnrädern (15, 16) angeordnet ist und die bewegbar ist zwischen einer ersten Ruheposition, in der die Übertragungszahnräder (15, 16) miteinander integral und beide jeweils in Eingriff mit der Getriebewelle (14) sind, und einer zweiten Arbeitsposition, in der das erste Zahnrad (15) in Eingriff mit der Getriebewelle (14) ist und das zweite Zahnrad (16) sowohl mit Bezug auf die Getriebewelle (14) als auch mit Bezug auf das erste Zahnrad (15) freigegeben ist;
 Betätigungsmittel für die Eingriffsvorrichtung (17); und
 einen weiteren Motor (19) für ein sekundäres Zahnrad (20) in Eingriff mit einem Übertragungszahnrad (16), das frei hinsichtlich des Ausgangszahnrads (18) ist;
 wobei der Motor (12), der weitere Motor (19), das sekundäre Zahnrad (20), das Ausgangszahnrad (18) und die Ausgangswelle (13) in einem ersten Modul (30) integriert sind, das an dem Fahrzeug (11) befestigt ist;
 wobei die Getriebewelle (14), die Übertragungszahnräder (15, 16), die Eingriffsvorrichtung (17) und die Betätigungsmittel für die Eingriffsvorrichtung (17) in einem zweiten Modul (31) integriert sind, das ein Gehäuse (12') umfasst, wobei das Gehäuse (12') die Getriebewelle (14), die Übertragungszahnräder (15, 16), die Eingriffsvorrichtung (17) und die Betätigungsmittel stützt und wobei das Gehäuse (12') als Verbindungsteil zwischen dem ersten Modul (30) und dem zweiten Modul (31) ausgebildet ist; und
 wobei das zweite Modul (31) eingerichtet ist, an dem ersten Modul (30) montiert zu werden, indem das Gehäuse (12') an dem ersten Modul (30) montiert wird, und wobei das zweite Modul (31) eingerichtet ist, von dem ersten Modul (30) demontiert zu werden, indem das Gehäuse (12') von dem ersten Modul demontiert wird.
Patent DE-112012002832-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Bilden eines massiven FinFETs mit einheitlicher Höhe und Bodenisolierung
Inventor: CHENG KANGGUO
IPC: H01L21/265
Filed: 2012-07-03
Granted: 2021-08-12
Abstract: Verfahren zum Bilden eines Finnen-Feldeffekttransistors (FinFET) auf einem Substrat, in dieser Reihenfolge aufweisend:A: Bereitstellen eines Substrats (300);B: Bilden einer Ätzstoppschicht (310) innerhalb des Substrats;C: Bilden einer pad-Schicht (320) auf einer Fläche des Substrats;D: Ätzen der Fläche des Substrats bis zu der Ätzstoppschicht oder in diese hinein, um eine Finne (330) zu bilden, wobei ein Abschnitt der pad-Schicht während des Ätzens der Fläche zum Bilden der Finne und des Substrats entfernt wird, wobei das Ätzten ein Durchführen eines reaktiven Ionenätzens (RIE) zum Bilden der Finne aufweist;E: Bilden eines Abstandhalters (340) auf einer Seitenwand der Finne; undF: Umwandeln der Ätzstoppschicht in eine isolierende Schicht (350).
Patent DE-112015003303-B4 (DE)
Title: Temperatursensor
Inventor: YOSHIDA KOUICHI
IPC: G01K7/02
Filed: 2015-07-01
Granted: 2022-04-14
Abstract: Temperatursensor (1), der Folgendes aufweist:ein Mantelrohr (2);ein Paar von Thermoelementdrähten (3), welches in das Mantelrohr (2) eingeführt ist;eine Temperaturmesskontaktstelle (311), welche durch ein Verbinden von Spitzenenden eines Spitzenüberstandabschnitts (31) des Paars von Thermoelementdrähten (3) miteinander gebildet ist, wobei der Spitzenüberstandabschnitt (31) von dem Mantelrohr (2) hervorsteht;eine isolierende Abstützung (4), welche in dem Mantelrohr (2) angeordnet ist; undein Spitzenschutzrohr (5), welches einen Außenumfang eines Spitzenendes (201) des Mantelrohrs (2) bedeckt, um die Temperaturmesskontaktstelle (311) zu umgeben, wobei:das Spitzenschutzrohr (5) Folgendes aufweist:einen Basisend-seitigen Rohrabschnitt (51), welcher den Außenumfang des Spitzenendes (201) des Mantelrohrs (2) bedeckt, undeinen Spitzenend-seitigen Rohrabschnitt (52), welcher an einer Position benachbart zu einer Spitzenendseite des Basisend-seitigen Rohrabschnitts (51) gebildet ist, wobei der Spitzenend-seitige Rohrabschnitt (52) einen Durchmesser hat kleiner als einen Durchmesser des Basisend-seitigen Rohrabschnitts (51), wobei ein Spitzenende des Spitzenend-seitigen Rohrabschnitts (52) verschlossen ist;wobei der Spitzenend-seitige Rohrabschnitt (52) einen Spitzenend-seitigen Abschnitt hat, welcher mit einem ersten Isolierfüllmaterial (61A) gefüllt ist, wobei das erste Isolierfüllmaterial (61A) die Temperaturmesskontaktstelle (311) darin begräbt; undwobei der Spitzenend-seitige Rohrabschnitt (52) einen Abschnitt benachbart zu einer Basisendseite des ersten Füllmaterials (61A) hat, wobei der Abschnitt mit einer Luftschicht (62) gebildet ist oder mit einem zweiten Füllmaterial (61B) gefüllt ist, welches eine thermische Leitfähigkeit und eine Dichte niedriger als eine thermische Leitfähigkeit und eine Dichte des ersten Füllmaterials (61A) hat, wobeider Spitzenend-seitige Rohrabschnitt (52) Folgendes aufweist:einen Mittelstufenabschnitt (521), welcher mit dem Basisend-seitigen Rohrabschnitt (51) verbunden ist, undeinen Spitzenabschnitt (522), welcher an einer Position benachbart zu einer Spitzenendseite des Mittelstufenabschnitts (521) gebildet ist, wobei der Spitzenabschnitt (522) einen Durchmesser kleiner als ein Durchmesser des Mittelstufenabschnitts (521) hat, wobei der Spitzenabschnitt (522) ein geschlossenes Spitzenende hat; undwobei die Temperaturmesskontaktstelle (311) innerhalb des Spitzenabschnitts (522) angeordnet ist, und wobeider Spitzenend-seitige Rohrabschnitt (52) eine Innenoberfläche hat, welche mit einem Isoliermaterial (7) beschichtet ist; undein Abstand (L4) von einem Spitzenende der Temperaturmesskontaktstelle (311) zu einem inneren Spitzenende (525) des Spitzenabschnitts (522) des Spitzenend-seitigen Rohrabschnitts (52) 0,1 mm oder weniger ist.