Patent DE-102016208689-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Erzeugen eines Bildes eines Objekts und/oder einer Darstellung von Daten über das Objekt sowie Computerprogrammprodukt und Teilchenstrahlgerät zur Durchführung des Verfahrens
Inventor: HENDRICH CHRISTIAN
IPC: H01J37/26
Filed: 2016-05-20
Granted: 2018-07-26
Abstract: Verfahren zum Erzeugen eines Bildes eines Objekts (114; 425) und/oder einer Darstellung von Daten über das Objekt mit einem Teilchenstrahlgerät (100; 200; 400), wobei- das Teilchenstrahlgerät (100; 200; 400) mindestens einen Strahlerzeuger (101; 301; 402) zum Erzeugen eines Teilchenstrahls mit geladenen Teilchen aufweist, wobei die geladenen Teilchen bei einem Auftreffen auf das Objekt (114; 425) eine Landeenergie (E) aufweisen,- das Teilchenstrahlgerät (100; 200; 400) mindestens eine Führungseinheit (105, 106 ,107, 108; 300, 303, 304, 306; 405, 406, 407, 408, 409, 409A, 409B, 410, 411A, 411B, 411C, 411D, 411E, 411F, 411G, 413A, 413B, 413C, 414, 415, 416, 416A, 416B, 417, 418, 418A, 418B, 421, 422, 423) zum Führen des Teilchenstrahls auf das Objekt (114; 425) aufweist,- das Teilchenstrahlgerät (100; 200; 400) mindestens eine Steuereinheit (601) zum Einstellen der Führungseinheit (105, 106 ,107, 108; 300, 303, 304, 306; 405, 406, 407, 408, 409, 409A, 409B, 410, 411A, 411B, 411C, 411D, 411E, 411F, 411G, 413A, 413B, 413C, 414, 415, 416, 416A, 416B, 417, 418, 418A, 418B, 421, 422, 423) durch Wahl eines Wertes eines Steuerparameters der Steuereinheit (601) aufweist,- das Teilchenstrahlgerät (100; 200; 400) mindestens einen Detektor (116, 117, 121, 419, 500, 502) zum Detektieren von Wechselwirkungsteilchen und/oder Wechselwirkungsstrahlung aufweist, die aus einer Wechselwirkung des Teilchenstrahls mit dem Objekt (114; 425) beim Auftreffen des Teilchenstrahls auf das Objekt (114; 425) hervorgehen/hervorgeht, und wobei- das Teilchenstrahlgerät (100; 200; 400) mindestens eine Anzeigeeinheit (603) zum Anzeigen eines Bildes des Objekts (114; 425) und/oder einer Darstellung von Daten über das Objekt (114; 425) aufweist, wobei das Bild und/oder die Darstellung basierend auf Detektionssignalen erzeugt wird, welche durch das Detektieren der Wechselwirkungsteilchen und/oder Wechselwirkungsstrahlung generiert werden,wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst:- Einstellen der Landeenergie (E) der geladenen Teilchen auf einen ersten Wert (E1, E2, E3) aus einem vorgebbaren Bereich der Landeenergie (E),- Einstellen eines ersten Steuerparameterwerts (SP1, SP2, SP3) des Steuerparameters (SP), bei dem ein erstes Bild des Objekts (114; 425) mit einer gewünschten Bildqualität und/oder eine erste gewünschte Darstellung von Daten über das Objekt (114; 425) erzielt werden/wird,- Einstellen der Landeenergie (E) auf einen zweiten Wert (E1, E2, E3) aus dem vorgebbaren Bereich der Landeenergie (E),- Einstellen eines zweiten Steuerparameterwerts (SP1, SP2, SP3) des Steuerparameters (SP), bei dem ein zweites Bild des Objekts (114; 425) mit einer gewünschten Bildqualität und/oder eine zweite gewünschte Darstellung von Daten über das Objekt (114; 425) erzielt werden/wird,- Bestimmen eines funktionalen Zusammenhangs zwischen dem ersten Steuerparameterwert (SP1, SP2, SP3) und dem zweiten Steuerparameterwert (SP1, SP2, SP3) in Abhängigkeit des vorgebbaren Bereichs der Landeenergie (E),- Einstellen eines gewünschten Werts der Landeenergie (E),- Auswählen des zu dem gewünschten Wert der Landeenergie (E) korrespondierenden Werts des Steuerparameters (SP) basierend auf dem bestimmten funktionalen Zusammenhang,- Steuern der Führungseinheit (105, 106 ,107, 108; 300; 303, 304, 306; 405, 406, 407, 408, 409, 409A, 409B, 410, 411A, 411B, 411C, 411D, 411E, 411F, 411G, 413A, 413B, 413C, 414, 415, 416, 416A, 416B, 417, 418, 418A, 418B, 421, 422, 423) mit dem zum gewünschten Wert der Landeenergie (E) korrespondierenden Wert des Steuerparameters (SP).