Patent WO-2012072818-A1 (WO)
Title: Procédé de mesure d'un composant semi-conducteur micro-électromécanique
Inventor: BINKHOFF PETER
IPC: H01L21/66
Filed: 2011-12-05
Abstract: L'invention concerne un procédé de contrôle d'un capteur de pression comportant un élément de mesure (18) à déformation réversible, notamment à flexion réversible, fournissant un signal dépendant du degré de déformation. Le procédé vise à contrôler si le capteur de pression résiste à une pression maximale requise, supérieure de l'ordre d'un facteur prédéfinissable à une pression nominale pour laquelle le capteur de pression est conçu. Le procédé met en oeuvre un capteur de pression de référence de construction identique à celle du capteur de pression à contrôler, comportant un élément de mesure (18) à déformation réversible, notamment à flexion réversible, fournissant un signal dépendant du degré de déformation. Jusqu'à un degré prédéfini de la déformation réversible de l'élément de mesure (18), la dépendance de la grandeur du signal de mesure à la déformation réversible de l'élément de mesure (18) est connue en tant que caractéristique course/pression, la pression critique nécessaire à une rupture de l'élément de mesure (18) étant supérieure à la pression maximale requise à laquelle le capteur de pression à contrôler doit résister. L'invention concerne également un coulisseau de déviation (32) pouvant être déplacé en avant avec une course commandée, étant libre, à l'exception du capteur de pression de référence ou du capteur de pression à contrôler, d'un capteur coopérant avec lui pour la détermination de la force nécessaire au mouvement d'avancement du coulisseau de déviation (32). Le coulisseau de déviation (32) est mis en contact avec l'élément de mesure (18) du capteur de pression de référence et déplacé en avant avec commande de la course et déformation réversible de l'élément de mesure (18). L'élément de mesure (18) est déformé de plus en plus par le coulisseau de déviation (32) déplacé en avant avec commande de la course jusqu'à ce que l'élément de mesure (18) rompe. Les signaux de mesure fournis par l'élément de mesure (18) à mesure que celui-ci se déforme sont détectés. La course parcourue par le coulisseau de déviation (32) du début de la déformation réversible de l'élément de mesure (18) jusqu'à sa rupture est déterminée. La grandeur du signal de mesure à la déformation réversible maximale de l'élément de mesure (18), sans rupture, est déterminé comme signal de mesure critique. Sur la base de la caractéristique connue course/pression du capteur de pression de référence, la grandeur de la pression critique correspondant au signal de mesure critique ou la grandeur d'un paramètre représentant cette pression est déterminée. L'élément de mesure (18) d'au moins un capteur de pression à contrôler au moyen du coulisseau de déviation (32) déplacé en avant avec commande de la course est déformé de façon réversible jusqu'à un degré prédéfinissable et sa caractéristique course/pression est établie. La comparaison entre la caractéristique course/pression établie du capteur de pression à contrôler et la caractéristique course/pression connue du capteur de pression de référence permet de détecter si l'élément de mesure (18) du capteur de pression à contrôler résiste à la pression maximale requise ou aurait rompu à cette pression ou a déjà rompu.