Patent DE-102017104884-B4 (DE)
Title: System und Verfahren zum Bestimmen von Fehlerbildern aus Sensordaten in Produktvalidierungs- und Fertigungsprozessen
Inventor: THURNER FRANK
IPC: G07C3/14
Filed: 2017-03-08
Granted: 2019-02-14
Abstract: Verfahren zur Überwachung zumindest eines Prozesses und zur Bestimmung von Fehlerbildern von in dem zumindest einen Prozess auftretenden Fehlern, wobei für eine Anzahl von Teilprozessen des zumindest einen Prozesses eine Parametertabelle mit charakteristischen Fehlerbildern erzeugt wird, wobei das Erzeugen der Parametertabelle basierend auf historischen Sensordaten erfolgt, wobei die historischen Sensordaten eine Anzahl von historischen Kurven beschreiben, die zumindest zwei Dimensionen aufweisen und jeweils einem Teilprozess zugeordnet sind, und wobei die historischen Kurven für jeden Teilprozess historische iO-Kurven (in Ordnung) und historische niO-Kurven (nicht in Ordnung) umfassen, wobei die historischen niO-Kurven fehlerhafte Teilprozesse repräsentieren, wobei das Erzeugen der Parametertabelle für jeden Teilprozess umfasst:- Auswählen (S21a) der historischen niO-Kurven aus den historischen Kurven; und- für jede ausgewählte historische niO-Kurve und in Abhängigkeit von der Art des Teilprozesses:- Einteilen (S21b) der historischen niO-Kurve in eine Anzahl von Abschnitten oder in eine Anzahl von Quadranten;- Ermitteln (S21c) einer Anzahl von Parameterwerten für jeden Abschnitt / jeden Quadranten, wobei die für die Art des Teilprozesses relevanten Parameter in einer Konfigurationstabelle hinterlegt sind;- Durchführen (S21d) eines Zuordnungsschrittes, in dem der historischen niO-Kurve ein Fehlerbild zugeordnet wird, wobei das Fehlerbild ausgewählt wird aus einer Menge von für die Art des Teilprozesses relevanten Fehlerbildern, die in einer Konfigurationstabelle hinterlegt sind, wobei das Erzeugen der Parametertabelle nach dem Zuordnen der Fehlerbilder zu den historischen niO-Kurven weiter umfasst:- für jedes Fehlerbild, Ermitteln (S22a) einer charakteristischen Verteilung für die zu dem jeweiligen Fehlerbild gehörenden Parameter (Parameter-Populationen);- aus allen Fehlerbildern, Ermitteln (S22b) jener Fehlerbilder, die anhand einer einzigen Parameter-Population eineindeutig bestimmbar sind, wobei sich diese eine Parameter-Population mit keiner weiteren Parameter-Population der Fehlerbilder überlappt; und- Einfügen (S22c) der ermittelten eineindeutig bestimmbaren Fehlerbilder in die Parametertabelle, wobei nur jene Werte der Parameter-Population, mit der das Fehlerbild eineindeutig bestimmbar ist, für das jeweilige Fehlerbild als Merkmal in der Parametertabelle gespeichert werden; wobei für jene Fehlerbilder, die nicht anhand einer einzigen Parameter-Population eineindeutig bestimmbar sind, folgende Schritte durchgeführt werden:i) Verkleinern (S23a) der Intervall-Längen der Parameter-Populationen um einen vorbestimmten relativen oder absoluten Wert;ii) Ermitteln (S23b) jener Fehlerbilder, die anhand einer Parameter-Population mit verkleinerten Intervall-Längen eineindeutig bestimmbar sind und Einfügen der ermittelten eineindeutig bestimmbaren Fehlerbilder am Ende der Parametertabelle, wobei die Werte der Parameter-Populationen mit den ursprünglichen Intervall-Längen als Merkmale in der Parametertabelle gespeichert werden; undiii) Prüfen, ob noch Fehlerbilder vorhanden sind, die nicht in die Parametertabelle eingefügt wurden, und falls diese Prüfung positiv ist, Fortfahren mit dem Schritt i), solange, bis alle Fehlerbilder in die Parametertabelle eingefügt wurden.