Patent DE-102021102900-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Betrieb eines Teilchenstrahlgeräts, Computerprogrammprodukt und Teilchenstrahlgerät zur Durchführung des Verfahrens
Inventor: GAMM BJÖRN
IPC: H01J37/28
Filed: 2021-02-08
Granted: 2022-11-17
Abstract: Verfahren zum Betrieb eines Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) zum Abbilden, Bearbeiten und/oder Analysieren eines Objekts (125, 425) mit einem Teilchenstrahl, der geladene Teilchen aufweist, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst:- Wahl einer Vergrößerung aus einem ersten Vergrößerungsbereich des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) durch Ansteuern einer ersten Verstärkereinheit (602) und einer zweiten Verstärkereinheit (603) unter Verwendung einer Steuereinheit (123) des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400);- Zuführen eines digitalen Steuersignals von der Steuereinheit (123) zu einem Digital-Analog-Wandler (601) des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) unter Verwendung einer ersten Signalleitung (701), welche die Steuereinheit (123) mit dem Digital-Analog-Wandler (601) verbindet, wobei das digitale Steuersignal zur Führung des Teilchenstrahls über das Objekt (125, 425) verwendet wird;- Erzeugen eines analogen Steuersignals mit dem Digital-Analog-Wandler (601) auf Basis des digitalen Steuersignals;- Zuführen des analogen Steuersignals von dem Digital-Analog-Wandler (601) zu der ersten Verstärkereinheit (602) des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) unter Verwendung einer zweiten Signalleitung (702), welche den Digital-Analog-Wandler (601) mit der ersten Verstärkereinheit (602) verbindet;- Erzeugen eines analogen ersten Verstärkersignals mit der ersten Verstärkereinheit (602) auf Basis des analogen Steuersignals;- Zuführen des analogen ersten Verstärkersignals von der ersten Verstärkereinheit (602) zu der zweiten Verstärkereinheit (603) des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) unter Verwendung einer dritten Signalleitung (703), wobei die erste Verstärkereinheit (602) zwischen dem Digital-Analog-Wandler (601) und der zweiten Verstärkereinheit (603) angeordnet ist und wobei die dritte Signalleitung (703) die erste Verstärkereinheit (602) mit der zweiten Verstärkereinheit (603) verbindet;- Erzeugen eines analogen zweiten Verstärkersignals mit der zweiten Verstärkereinheit (603) auf Basis des analogen ersten Verstärkersignals;- Bestimmen unter Verwendung der Steuereinheit (123) des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400), ob die gewählte Vergrößerung aus dem ersten Vergrößerungsbereich von einer Grenze eines zweiten Vergrößerungsbereichs mit einer Abweichung abweicht, wobei der erste Vergrößerungsbereich und der zweite Vergrößerungsbereich unterschiedlich sind, wobei der erste Vergrößerungsbereich Vergrößerungen des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) umfasst, welche kleiner sind als Vergrößerungen des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) aus dem zweiten Vergrößerungsbereich;- Bestimmen, ob eine Anzahl von Pixeln auf der Oberfläche des Objekts (125, 425), zu denen der Teilchenstrahl geführt werden soll, einen vorgebbaren Pixelschwellenwert unterschreitet; sowie- wenn (a) die gewählte Vergrößerung von der Grenze des zweiten Vergrößerungsbereichs abweicht sowie die Abweichung kleiner als ein vorgebbarer Wert ist und wenn (b) die Anzahl der Pixel den vorgebbaren Pixelschwellenwert unterschreitet, Durchführen der folgenden Schritte ohne ein Umschalten der Vergrößerung auf eine Vergrößerung aus dem zweiten Vergrößerungsbereich:(i) Zuführen des analogen zweiten Verstärkersignals von der zweiten Verstärkereinheit (603) zu einer Scaneinheit (604) des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) unter Verwendung einer vierten Signalleitung (704), welche die zweite Verstärkereinheit (603) mit der Scaneinheit (604) verbindet;(ii) Führen des Teilchenstrahls des Teilchenstrahlgeräts (100, 200, 400) über das Objekt (125, 425) unter Verwendung der Scaneinheit (604); sowie(iii) Abbilden, Bearbeiten und/oder Analysieren des Objekts (125, 425) mit dem Teilchenstrahl.