baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102019115952-B4 (DE)
Title: Halbleiter-packages
Inventor: LIN JING-CHENG
IPC: H01L25/065
Filed: 2019-06-12
Granted: 2021-12-16
Abstract: Halbleiter-Package, aufweisend:
 einen Halbleiter-Die,
 eine Wärmeleitstruktur neben dem Halbleiter-Die,
 einen Kapselungsstoff, der den Halbleiter-Die und die Wärmeleitstruktur kapselt, und
 eine Wärmeleitschicht, die eine Rückfläche des Halbleiter-Die abdeckt, wobei die Wärmeleitstruktur mit dem Halbleiter-Die über die Wärmeleitschicht thermisch gekoppelt und vom Halbleiter-Die elektrisch isoliert ist, wobei das Halbleiter-Package ferner eine Umverteilungsschaltungsstruktur aufweist, die über
 einer aktiven Fläche des Halbleiter-Die und einer ersten Fläche des Kapselungsstoffs angeordnet ist, wobei sich die aktive Fläche des Halbleiter-Die gegenüber der Rückfläche des Halbleiter-Die befindet, und die Umverteilungsschaltungsstruktur mit dem Halbleiter-Die elektrisch verbunden ist,
 wobei die Umverteilungsschaltungsstruktur ferner eine Dummy-Struktur aufweist, die auf der ersten Fläche des Kapselungsstoffs angeordnet ist, und die Wärmeleitstruktur mit der Dummy-Struktur verbunden ist.
Patent DE-102019208326-B4 (DE)
Title: Fahrzeug mit Laderaum, Befestigungssystem sowie Verfahren zum Befestigen eines Transportguts in einem Fahrzeug
Inventor: SCHMITZ PHILLIP
IPC: B60P7/06
Filed: 2019-06-07
Granted: 2022-06-09
Abstract: Fahrzeug (10) mit einem Laderaum (12), wobei in dem Laderaum (12) eine Vielzahl von gleichartig ausgebildeten ersten Ankoppelelementen (14) angeordnet ist, wobei ein jeweiliges erstes Ankoppelelement (14) dazu ausgebildet ist, ein jeweiliges mit einem Transportgut (16) koppelbares und in der Form korrespondierend zu dem ersten Ankoppelelement (14) ausgestaltetes zweites Ankoppelelement (18) aufzunehmen, wobei das jeweilige erste Ankoppelelement (14) ausgelegt ist, beim Zusammenwirken mit dem jeweiligen zweiten Ankoppelelement (18) einen jeweiligen Sperrmechanismus (28) zu bilden, der ausgelegt ist, eine Kopplung des ersten und des zweiten Ankoppelelements (14, 18) abwechselnd zu arretieren und zu öffnen, dadurch gekennzeichnet, dass der jeweilige Sperrmechanismus (28) als mechanischer oder als elektronisch ansteuerbarer Sperrmechanismus (28) ausgebildet ist und eine digitale Zugangskontrolle und eine Alarmsicherung aufweist.
Patent DE-102019209318-B4 (DE)
Title: Halbleitervorrichtung mit integrierter Einzeldiffusionsunterbrechung und Herstellungsverfahren hierfür
Inventor: ZANG HUI
IPC: H01L21/762
Filed: 2019-06-27
Granted: 2022-11-03
Abstract: Halbleitervorrichtung, umfassend:eine Mehrzahl von Halbleiterfinnen (120), die über einem Halbleitersubstrat (100) angeordnet sind, wobei die Halbleiterfinnen (120) jeweils ein Source/Drain-Gebiet (124) und einen Kanalbereich (122) neben dem Source/Drain-Gebiet (124) aufweisen;eine Flachgrabenisolationsschicht (160), die über einer oberseitigen Oberfläche des Halbleitersubstrats (100) und um untere Abschnitte der Finnen (120) herum angeordnet ist;einen Gatestapel (410), der über den Kanalbereichen (122) angeordnet ist, wobei der Gatestapel (410) eine Gatedielektrikumsschicht (412), eine Austrittsarbeitsmetallschicht (414) über der Gatedielektrikumsschicht und eine leitfähige Füllschicht (416) über der Austrittsarbeitsmetallschicht umfasst;eine Gatekappe (420), die über dem Gatestapel (410) angeordnet ist; undeine dielektrische Isolationsschicht (700), die sich durch den Gatestapel (410) erstreckt, wobei die dielektrische Isolationsschicht (700) direkt über Seitenwänden der leitenden Füllschicht (416) angeordnet ist,wobei eine oberseitige Oberfläche von mindestens einer der Finnen (120) unter einer oberseitigen Oberfläche der Flachgrabenisolationsschicht (160) angeordnet ist und die dielektrische Isolationsschicht (700) von der oberseitigen Oberfläche der mindestens einen der Finnen (120) durch einen Luftspalt beabstandet ist.
Patent DE-102019214272-B4 (DE)
Title: Verdichter mit Rotorrahmen
Inventor: LEE JONGMOK
IPC: F04B39/00
Filed: 2019-09-19
Granted: 2022-05-05
Abstract: Verdichter, der aufweist: einen Motor (120), in dem ein Rotor (122) außerhalb eines Stators (121) liegt, und einen Rotorrahmen (300) zum Übertragen von Drehkraft des Motors zu einer Drehwelle (113), wobei der mit dem Rotorrahmen (300) versehene Verdichter aufweist:ein Gehäuse (200) mit einem abgedichteten Innenraum;einen Zylinderblock (110), der im Innenraum des Gehäuses (200) eingebaut undmit einem Zylinder (111) versehen ist;eine Drehwelle (113), die mit einem Exzenterteil (150) versehen ist, das mit dem Zylinderblock (110) gekoppelt und durch Drehkraft des Motors (120) drehbar ist;einen Kolben (116), der mit der Drehwelle (113) gekoppelt und so konfiguriert ist, dass er im Zylinder (111) durch das Exzenterteil (150) hin- und herläuft,ein Ausgleichgewicht (170), das so konfiguriert ist, dass es Unwuchtkraft kompensiert, die durch Bewegung des Kolbens (116) und/oder des Exzenterteils (150) erzeugt wird; und:wobei der Rotor (122) des Motors (120) und die Drehwelle (113) im Rotorrahmen (300) so befestigt sind, dass der Rotorrahmen (300) zusammen mit dem Motor (120) dreht, und wobei der Rotorrahmen (300) so konfiguriert ist, dass er eine unausgewuchtete Massenverteilung in Umfangsrichtung um eine Mitte einer solchen Drehung aufweist,wobei der Rotorrahmen (300) aufweist:ein Kantenteil (330), das mit dem Rotor (122) des Motors (120) gekoppelt ist;ein Koppelloch (350), das an einem Mittelteil gebildet und mit der Drehwelle (113) gekoppelt ist; undein plattenförmiges Teil (340), über das das Kantenteil (330) mit dem Koppelloch (350) verbunden ist,wobei die Massenverteilung durch unterschiedliche Größen von Löchern erreicht ist, die im plattenförmigen Teil (340) gebildet sind, undwobei ein Loch (301), das in gleicher Richtung wie das Exzenterteil (150) gebildet ist, eine kleinere Größe als ein anderes Loch (302) hat, das in Gegenrichtung des Exzenterteils (150) gebildet ist.
Patent DE-102020114126-B4 (DE)
Title: Brennstoffzellenseparator und einzelne Brennstoffzelle
Inventor: LI HUA
IPC: H01M8/0258
Filed: 2020-05-27
Granted: 2022-08-11
Abstract: Brennstoffzellenseparator (100) mit Rippen (10), wobeider Brennstoffzellenseparator (100) eine Mehrzahl von Gasströmungspfaden (20) aufweist, die durch die Rippen (10) voneinander getrennt sind;der Brennstoffzellenseparator (100) Flüssigwasserströmungspfade (30) aufweist, wobei(i) die Flüssigwasserströmungspfade (30) auf einer Oberfläche des Brennstoffzellenseparators (100) ausgebildet sind, wobei die Oberfläche des Brennstoffzellenseparators (100), auf der die Flüssigwasserströmungspfade (30) ausgebildet sind, eine Oberfläche auf der Seite der Gasströmungspfade (20) ist,(ii) jeder der Flüssigwasserströmungspfade (30) sich auf einer Oberfläche einer entsprechenden der Rippen (10) befindet,(iii) die Flüssigwasserströmungspfade (30) von den Gasströmungspfaden (20) getrennt sind, und(iv) die Flüssigwasserströmungspfade (30) sich entlang der Gasströmungspfade (20) erstrecken; und jeder der Flüssigwasserströmungspfade (30) einen erweiterten Bereich (31) hat, der eine Querschnittsfläche hat, die größer ist als eine Querschnittsfläche eines verbleibenden Bereichs (32) des Flüssigwasserströmungspfads (30), der ein anderer Bereich des Flüssigwasserströmungspfads (30) als der erweiterte Bereich (31) ist, wobei die Querschnittsfläche des erweiterten Bereichs (31) und die Querschnittsfläche des verbleibenden Bereichs (32) des Flüssigwasserströmungspfads (30) jeweils eine Fläche eines Querschnitts senkrecht zu einer Strömungsrichtung des Flüssigwasserströmungspfads (30) ist.
Patent DE-102021000216-B4 (DE)
Title: Ladezustandsanzeige fernbedienbarer Waffenstationen
Inventor: DANIEL BJÖRN
IPC: F41A9/53
Filed: 2021-01-19
Granted: 2023-04-27
Abstract: Ladezustandsanzeige (1) zur Information des Sicherheitspersonals bei Schulschießübungen, wobei- ein erster Infrarot-Abstandssensor (2) einen eingelegten Patronengurt durch einen beliebigen konkreten Abstandswert zwischen Infrarot-Abstandssensor (2) und Patronengurt detektiert,- ein zweiter Infrarot-Abstandssensor einen Durchladeimpuls einer Waffe detektiert und bis zur Rücksetzung hält,- eine grüne Signalleuchte (11) ohne einen Impuls des ersten Sensors (2) das Signal „Waffe entladen“ signalisiert, mit einem Impuls des ersten Sensors (2) und nicht bei einem Impuls des ersten (2) und zweiten Sensors (4) das Signal „Gefechtsbereitschaft“ geschaltet ist,- eine rote Signalleuchte (13) bei einem Impuls des ersten Sensors (2) geschaltet ist und den Zustand „Gefechtsbereitschaft“ oder bei einem Impuls des ersten (2) und zweiten Sensors (4) das Signal „Klar zum Gefecht“ signalisiert- die rote Signalleuchte (13) nach optischer Inspektion.der Waffenanlage manuell gelöscht ist und das Signal „Klar zum Gefecht“ zurückgesetzt ist und- eine gelbe Signalleuchte (12) für den Zustand „Fehlfunktion“ der Waffe manuell geschaltet ist.
Patent DE-102021106972-B4 (DE)
Title: Head-Up-Display für ein Kraftfahrzeug sowie Kraftfahrzeug mit diesem
Inventor: Stockert Christoph
IPC: G02B27/01
Filed: 2021-03-22
Granted: 2024-02-08
Abstract: Head-Up-Display (5) für ein Kraftfahrzeug (1),mit einer Projektionseinrichtung (6), die im Einbauzustand des Head-Up-Displays (5) in einem Armaturenbrett (2) des Kraftfahrzeugs (1) versenkt angeordnet ist,mit einem Schacht (11), der im Einbauzustand des Head-Up-Displays (5) an das Armaturenbrett (2) anschließt und der eine Schachtvorderwand (12) sowie eine Schachtrückwand (13) aufweist,wobei die Schachtrückwand (13) an ihrer der Schachtvorderwand (12) zugewandten Innenseite (18) einen reflektionsreduzierenden Wandabschnitt (19) mit einer unebenen Oberflächenkontur (22) aufweist,dadurch gekennzeichnet,dass die Schachtrückwand (13) an ihrer Innenseite (18) im Wandabschnitt (19) segmentiert ist und mehrere Wandsegmente (22) aufweist, die in einer Höhenrichtung (23) des Schachts (11) aufeinanderfolgen, wobei aneinandergrenzende Wandsegmente (22) in einem parallel zur Höhenrichtung (23) verlaufenden Wandquerschnitt der Schachtrückwand (13) zueinander geneigt sind,dass die Wandsegmente (22) im Wandquerschnitt gegenüber der Höhenrichtung (23) jeweils einen Neigungswinkel (26, 27) aufweisen, dass die Neigungswinkel (26, 27) der aufeinanderfolgenden Wandsegmente (22) so gewählt sind, dass sich in der Höhenrichtung (23) größere Neigungswinkel (26) und kleinere Neigungswinkel (27) abwechseln.
Patent DE-102021121072-B4 (DE)
Title: Verbindungssystem sowie Verbindungselement
Inventor: JOHNER MICHAEL
IPC: F16B7/04
Filed: 2021-08-13
Granted: 2023-07-27
Abstract: Verbindungssystem, umfassend zumindest ein Rohrelement (10, 12, 14, 16, 112, 114), einen zumindest einen Schlitz (144) aufweisenden Spreizkörper (118), ein in ein Innengewinde (148) des Spreizkörpers (118) schraubbares Schraubelement, mittels dessen der Spreizkörper (118) zum klemmenden Fixieren in dem Rohrelement (10, 12, 14, 16, 112, 114) spreizbar ist, sowie einen mit dem Spreizköper (118) verbindbaren Verbindungskörper (18), dadurch gekennzeichnet, dass der Spreizkörper (118) ein Hülsenelement ist, dass das Innengewinde (148) diametral gegenüberliegend zu dem zumindest einen Schlitz (144) verläuft, und dass bei klemmender Fixierung des Spreizkörpers (118) in dem Rohrelement (10, 12, 14, 16, 112, 114) das Schraubelement zum Spreizen des Schlitzes (144) auf dessen den Schlitz (144) begrenzende Randbereiche einwirkt.
Patent DE-102021202287-B4 (DE)
Title: Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben eines Kraftstoffeinspritzventils mithilfe maschineller Lernverfahren
Inventor: GROH KONRAD
IPC: F02D41/20
Filed: 2021-03-09
Granted: 2023-03-23
Abstract: Verfahren zum Betreiben eines Einspritzventils durch Ermitteln eines Öffnungs- oder Schließzeitpunkts des Einspritzventils (6), basierend auf einem Sensorsignal (S), mit folgenden Schritten:- Bereitstellen (S1, S2) einer Auswertungspunkt-Zeitreihe (Z) durch Abtasten eines Sensorsignals eines Sensors des Einspritzventils;- Erstellen von modifizierten Auswertungspunkt-Zeitreihen durch Multiplizieren des Verlaufs der bereitgestellten Auswertungspunkt-Zeitreihe mit unterschiedlichen zufälligen Faktoren;- Verwenden (S4) eines datenbasierten Zeitpunktbestimmungsmodells mit der Auswertungspunkt-Zeitreihe und den modifizierten Auswertungspunkt-Zeitreihen, um jeweils einen Ausgabevektor zu erhalten, wobei das Zeitpunktbestimmungsmodell trainiert ist, um abhängig von einer als Eingabevektor bereitgestellten Auswertungspunkt-Zeitreihe einen Ausgabevektor auszugeben, der Elemente aufweist, deren Indexwerte jeweils einem möglichen Öffnungs- bzw. Schließzeitpunkt zugeordnet sind, wobei der Wert jedes Elements des Ausgabevektors angibt, ob der entsprechende Indexwert des Elements dem zu bestimmenden Öffnungs- bzw. Schließzeitpunkt entspricht;- Ermitteln (S5, S6) des Öffnungs- oder Schließzeitpunkts durch Auswerten der Ausgabevektoren.
Patent DE-112005002131-B4 (DE)
Title: Motorisiertes Sitzgurtsystem
Inventor: STANLEY JAMES G
IPC: B60R22/46
Filed: 2005-09-01
Granted: 2020-01-09
Abstract: Sitzgurtsystem (1) für ein Fahrzeug, umfassend:
 einen ersten Sitzgurtaufroller (10) einschließlich eines ersten Motors (30) und einer ersten Steuereinheit (20); und
 einen zweiten Sitzgurtaufroller (10) einschließlich eines zweiten Motors (30), wobei der zweite Sitzgurtaufroller (10) eine zweite Steuereinheit (20) enthält;
 wobei die erste Steuereinheit (20) und die zweite Steuereinheit (20) konfiguriert sind, den Betrieb des zweiten Motors (30) zu steuern, wenn das Fahrzeug möglicherweise in eine Kollision involviert ist.
Patent DE-112006000639-B4 (DE)
Title: Turbolader mit elektrischer Rotationsmaschine einer Brennkraftmaschine
Inventor: KITADA TAKAYOSHI
IPC: F02C7/06
Filed: 2006-04-07
Granted: 2021-03-04
Abstract: Turbolader (1) mit einer elektrischen Rotationsmaschine (4), bei der ein Magnet (14) an einer Turbinenwelle (10) zwischen einer Turbine (6) und einem Verdichterlaufrad (8) angeordnet ist, so dass ein Rotor (12) der elektrischen Rotationsmaschine (4) an der Turbinenwelle (10) gebildet wird,wobei ein zylindrisches Element (20), an dem ein Magnethalter (21), der den Magnet (14) von einer äußeren Umfangsseite abdeckt, ein Endflächenabdeckabschnitt (23) zum Abdecken des Magneten (14) von einer Endflächenseite und ein Manschettenabschnitt (24), der an einem inneren Umfang eines Lagers (35) der Turbinenwelle (10) anzuordnen ist, miteinander integriert sind, an der Turbinenwelle (10) vorgesehen ist, undwobei Schmierflüssigkeit, die zu dem Lager (35) eingeführt wird, zwischen das Lager (35) und den Manschettenabschnitt (24) zugeführt wird,dadurch gekennzeichnet, dass das zylindrische Element (20) an seinem äußeren Umfang mit einem Schmierflüssigkeitsverteilungsabschnitt (23a) zum Verteilen der Schmierflüssigkeit in Richtung auf einen Stator (13) der elektrischen Rotationsmaschine (4) durch eine Rotation des Rotors (12) versehen ist.
Patent DE-112011105785-B4 (DE)
Title: Halbleitervorrichtung
Inventor: SATO KEIGO
IPC: H01L29/739
Filed: 2011-10-26
Granted: 2015-05-13
Abstract: Halbleitervorrichtung (10), aufweisend: ein Halbleitersubstrat (12); und eine erste Isolationsschicht (60), wobei das Halbleitersubstrat (12) aufweist: einen aktiven Abschnitt (20), in dem eine Halbleitervorrichtung ausgebildet ist, und einen peripheren Abschnitt (50), der zwischen dem aktiven Abschnitt (20) und einer Randoberfläche (12a) des Halbleitersubstrats (12) angeordnet ist; und wobei die erste Isolationsschicht (60) ein Isolationsmaterial (60b) und leitfähige Partikel (60a) umfasst, die in dem Isolationsmaterial (60b) verteilt sind, und wobei die erste Isolationsschicht (60) zumindest über einem Teilbereich des peripheren Abschnitts (50) ausgebildet ist.
Patent DE-112012002087-B4 (DE)
Title: Eisenbahnwagen mit Kollisionsenergie absorbierenden Aufbau
Inventor: KIMURA SOTA
IPC: B61D15/06
Filed: 2012-05-18
Granted: 2021-09-23
Abstract: Eisenbahnwagen mit einem Kollisionsenergieabsorptionsaufbau, miteinem Endaufbau (5) am Längsende des Eisenbahnwagens;einem Durchgangsöffnungsrahmen (50) am Endaufbau, der eine Durchgangsöffnung für einen Durchgang umgibt, durch den sich Personal und Passagiere von einem Wagen zu einem anderen Wagen bewegen können; und miteinem Durchgangsfaltenbalgrahmen (70), der am Durchgangsöffnungsrahmen befestigt ist und einen zusammendrückbaren Durchgangsfaltenbalg (60) aufweist, der den damit verbundenen Durchgang umgibt;wobei der Durchgangsfaltenbalgrahmen über ein in Längsrichtung des Eisenbahnwagens zusammendrückbares Energieabsorptionselement (110) zwischen dem Durchgangsfaltenbalgrahmen und dem Durchgangsöffnungsrahmen am Durchgangsöffnungsrahmen befestigt ist,dadurch gekennzeichnet, dassvom Durchgangsöffnungsrahmen (50) oder Durchgangsfaltenbalgrahmen (70) mindestens einer aus einem Rahmenkörper (102, 104) mit einer in Längsrichtung des Eisenbahnwagens nach außen offenen Nut gebildet ist, in der das Energieabsorptionselement (110) angeordnet ist, und der andere so ausgestaltet ist, dass er bei Kollision der Eisenbahnwagen das Energieabsorptionselement in der Nut zusammendrückt.
Patent DE-112013003609-B4 (DE)
Title: Anzeigevorrichtung und elektronisches Gerät, das die Anzeigevorrichtung beinhaltet
Inventor: HOSAKA YASUHARU
IPC: H05B33/22
Filed: 2013-07-10
Granted: 2017-04-27
Abstract: Anzeigevorrichtung, die umfasst: einen Pixel-Abschnitt (142), der umfasst: einen ersten Transistor (101); einen ersten isolierenden Film (114) über dem ersten Transistor (101); einen zweiten isolierenden Film (116) über dem ersten isolierenden Film (114); einen dritten isolierenden Film (120) über dem zweiten isolierenden Film (116); eine erste Elektrode (122) über dem dritten isolierenden Film (120), wobei die erste Elektrode (122) elektrisch mit dem ersten Transistor (101) verbunden ist; und eine Flüssigkristallschicht (162); und einen Treiberschaltungsabschnitt (140), der umfasst: einen zweiten Transistor (103); den ersten isolierenden Film (114) über dem zweiten Transistor (103); und den zweiten isolierenden Film (116) über dem ersten isolierenden Film (114); wobei der erste isolierende Film (114) ein anorganisches isolierendes Material umfasst, wobei der zweite isolierende Film (116) ein organisches isolierendes Material umfasst, und wobei der dritte isolierende Film (120) ein anorganisches isolierendes Material umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass ...
Patent DE-112013004068-B4 (DE)
Title: Bilddatei-Erzeugungsvorrichtung und Anzeigenvorrichtung
Inventor: WATANABE MIKIO
IPC: H04N5/91
Filed: 2013-07-26
Granted: 2018-02-15
Abstract: Bilddatei-Erzeugungsvorrichtung, umfassend: ein erstes Bilddatenerfassungsmittel (4), das N-Bit erste Bilddaten (D) erfasst; ein zweites Bilddatenerzeugungsmittel (29a), welches M(M < N)-Bit zweite Bilddaten (DH) aus den durch das erste Bilddatenerfassungsmittel erfassten ersten Bilddaten (D) erzeugt; ein drittes Bilddatenerzeugungsmittel (29b), das Pixel niedriger Helligkeit (37S) mit einem vorbestimmten Helligkeitspegel aus entsprechenden Pixeln der durch das: erste Bilddatenerfassungsmittel (4) erfassten ersten Bilddaten (D) auswählt, um dritte Bilddaten (DS) mit einer Anzahl von Abstufungen größer als die Anzahl von Abstufungen zu erzeugen, welche Pixelwerten gleich oder kleiner einem Helligkeitspegel (Ls) der zweiten Bilddaten (DH) zugewiesen sind, auf Basis der Pixel niedriger Helligkeit (37S) der ersten Bilddaten (D); und ein Bilddatenerzeugungsmittel (42), das eine Bilddatei erzeugt, in der die durch das zweite Bilddatenerzeugungsmittel (29a9 erzeugten zweiten Bilddaten (29a), die durch das dritte Bilddatenerzeugungsmittel (29b) erzeugten dritten Bilddaten (DS) und eine, den zur Erzeugung der dritten Bilddaten verwendeten Helligkeitspegel (Ls, γ, γs) zeigende Helligkeitspegelinformation miteinander assoziiert sind; wobei in der erzeugten Bilddatei die zweiten Bilddaten (DS) separat von den dritten Bilddaten (DH) gespeichert sind, die erzeugte Bilddatei auf einer Speicherkarte (10) gespeichert ist; und die Pixel niedriger Helligkeit niederwertige M-Bit-Pixel der ersten Bilddaten (D) sind und das dritte Bilddaten-Erzeugungsmittel (29b) die dritten Bilddaten in den M-Bit erzeugt.
Patent DE-112015000920-B4 (DE)
Title: Mikrofluid-Chip mit pyramidenförmigen, Perlen einfangenden Hohlräumen sowie Herstellungsverfahren desselben
Inventor: DELAMARCHE EMMANUEL
IPC: G01N33/554
Filed: 2015-03-04
Granted: 2021-09-30
Abstract: Mikrofluid-Chip (100), der eine Schicht (10, 60) mit einer Anordnung (30) von Perlen (50) einfangenden Hohlräumen (20) aufweist, die in jener Schicht (10, 60) bereitgestellt sind, wobei die Schicht (10) ein oder mehrere Halbleiterelemente aufweist, wie beispielsweise Silicium, wobei jeder der Hohlräume (20) eine pyramidenförmige Gestalt aufweist, die durch wenigstens vier laterale Wände (21 bis 24) definiert ist, die jeweils hydrophil sind, wobei die pyramidenförmig gestalteten Hohlräume (20) eine Geometrie zeigen, die konsistent mit einem anisotropen Ätzprozess für eine Herstellung der Hohlräume (20) in der Schicht (10) ist, und wobei sich jeder der Hohlräume (20) als ein Blindloch in der Dicke der Schicht (10, 60) erstreckt, dadurch gekennzeichnet, dass zwei oder mehr Untergruppen (32) aus wenigstens einem der Hohlräume (20), wobei die Untergruppen (32) bevorzugt Reihen oder Spalten der Anordnung (30) von Hohlräumen (20) sind, durch wenigstens einen Mikrokanal (14) verbunden sind, und wobei die eine oder die mehreren der Untergruppen (32) bevorzugter in einem Mikrokanal-Abschnitt (12a) definiert sind, dessen untere Wand oder dessen obere Wand von einer Oberfläche der Schicht (10) gebildet wird.
Patent DE-112015004766-B4 (DE)
Title: Halbleitervorrichtungen
Inventor: HATTA HIDEYUKI
IPC: H01L29/12
Filed: 2015-09-07
Granted: 2021-11-18
Abstract: Halbleitervorrichtung, die Folgendes aufweist:- ein Halbleitersubstrat;- eine Driftschicht vom ersten Leitfähigkeitstyp, die auf dem Halbleitersubstrat gebildet ist;- einen Wannenbereich vom zweiten Leitfähigkeitstyp, der selektiv auf einem Bereich der Oberflächenschicht der Driftschicht gebildet ist;- einen Source-Bereich vom ersten Leitfähigkeitstyp, der auf einem Bereich der Oberflächenschicht im Wannenbereich gebildet ist;- einen JFET-Bereich, der ein Bereich der Driftschicht ist, die dem Wannenbereich benachbart ist;- einen Kanalbereich, der ein Bereich des Wannenbereichs ist, der sandwichartig zwischen den Source-Bereich und den JFET-Bereich eingesetzt ist;- eine Gate-Elektrode, die auf der Driftschicht mit einer Gate-Isolierschicht dazwischen vorgesehen ist, so dass sie über den Source-Bereich, den Kanalbereich und den JFET-Bereich hinweg verläuft;- eine Source-Elektrode, die mit dem Source-Bereich verbunden ist; und- eine Drain-Elektrode, die auf der Rückfläche des Halbleitersubstrats gebildet ist, wobei der Source-Bereich Folgendes aufweist:- einen Source-Kontaktbereich, der auf dem Bereich der Oberflächenschicht in dem Wannenbereich gebildet ist und mit der Source-Elektrode verbunden ist;- einen Source-Ausdehnungsbereich, der auf dem Bereich der Oberflächenschicht in dem Wannenbereich gebildet ist und dem Kanalbereich benachbart ist; und- einen Sourcewiderstands-Steuerungsbereich, der zwischen dem Source-Ausdehnungsbereich und dem Source-Kontaktbereich vorgesehen ist, und wobei der Sourcewiderstands-Steuerungsbereich Folgendes aufweist:- einen Sourcewiderstands-Steuerungsbereich mit niedriger Konzentration, dessen Störstellenkonzentration vom ersten Leitfähigkeitstyp niedriger ist als diejenige des Source-Ausdehnungsbereichs oder des Source-Kontaktbereichs; und- einen Sourcewiderstands-Steuerungsbereich mit hoher Konzentration, der zwischen dem Wannenbereich und dem Sourcewiderstands-Steuerungsbereich mit niedriger Konzentration gebildet ist und dessen Störstellenkonzentration vom ersten Leitfähigkeitstyp höher ist als diejenige des Sourcewiderstands-Steuerungsbereichs mit niedriger Konzentration.