baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-100277159-B1 (KR)
Title: 전화기의다양한벨소리제어방법
IPC: H04M1/00
Filed: 1998-09-15
Granted: 2001-01-15
Abstract: 본 발명은 전화기의 벨소리를 다양하게 제어하는 방법에 관한 것으로, 본 발명은, 다양한 종류의 벨소리용 음악을 미리 녹음하여 두고 이를 통신망을 통하여 제공하는 벨소리 서버를 구비하고, 전화기 내에, 상기 벨소리 서버를 호출하여 다양한 벨소리를 수신받아 선택적으로 저장하기 위한 벨소리 저장수단과, 사용자의 선택에 의해 그 벨소리 저장수단에 저장된 벨소리를 선택하여 호출시의 벨소리로서 출력하도록 등록하는 등록수단을 포함하여 구성함으로써 달성된다. 본 발명은, 통화로를 통한 벨소리 수신과정과, 외부 벨소리 입력과정과, 통화로로부터 서버에서 제공하는 음악 또는 외부 음악을 입력받아 차례로 저장하는 녹음과정과, 녹음된 벨소리중 출력용 벨소리를 선택하여 등록시키는 등록과정과, 호출에 응답하는 등록된 벨소리를 출력시키는 벨소리 출력과정을 포함하며, 상기 등록과정에서 차례로 몇개의 벨소리 음악을 등록하여 두고, 모드 선택에 의해 벨소리 출력없이 쉽게 연속등록모드에서 등록된 벨소리를 선택하도록 할 수 있으며, 또한, 연속 등록된 벨소리를 시간대별로 자동으로 변경하여 출력하도록 한다. 따라서, 사용자가 원하는 전화 벨소리를 다양하게 선택하여 이용할 수 있어서 다른 사람의 전화 호출음과 쉽게 구별시킬 수 있고, 쉽게 벨소리를 변경시킬 수도 있으며, 자동으로 변경시킬 수도 있어서 다양한 벨소리를 제공할 수 있다.
Patent KR-100295662-B1 (KR)
IPC: H03K19/00
Filed: 1998-09-17
Granted: 2001-08-07
Abstract: 본 발명은 번인 엔트리 레벨 판단장치에 관한 것으로, 종래의 장치에 있어서는 아날로그 회로 이므로 그 구성이 복잡하고 상승레벨 조절부에 의해 번인 엔트리 레벨을 조절하지만, 조그만 조절에 의해서도 전원전압이 상승할 수록 점점 그 변화의 폭이 커지게 되어 세밀한 조정이 쉽지 않은 문제점이 있었다. 따라서, 본 발명은 외부에서 입력되는 전원전압에 비례하여 발진하는 발진기와; 상기 외부 전원전압의 레벨이 소정치 이상일 경우에만 상기 발진기를 동작시키는 발진기 제어부와; 상기 발진기에서 출력되는 주파수를 카운트하는 카운터부와; 번인레벨로 판단할 수 있는 기준 주파수를 설정하는 스위칭부와; 상기 스위칭부에 설정된 기준 주파수와 상기 카운터부에서 출력된 주파수를 비교하여 그에 따라 번인 엔트리 레벨인지를 판단하는 비교부로 구성하여 전원전압의 레벨 변화에 따라 발진기의 출력 주파수가 달라지는 것을 이용해 스위칭부에 설정된 주파수와 같은 주파수를 갖는 전원전압 레벨을 번인 엔트리 레벨로 판단하게 함으로써 번인 엔트리 레벨을 좀더 쉽고 세밀하게 조정할 수 있는 효과가 있다.
Patent KR-100287779-B1 (KR)
Title: 반도체 제조장치 및 이를 이용한 반도체 제조방법
IPC: H01L21/66
Filed: 1998-10-09
Granted: 2001-04-16
Abstract: 본 발명에 따른 반도체 제조장치는; 소정의 공정을 수해한 기판을 외부와 격리시켜 진공상태에서 일부 또는 전체 공정을 수행하는 반응챔버와, 상기 공정 수행 결과를 인-시튜로 평가할 수 있도록 상기 반응챔버에서의 반응진행 전·후에 상기 기판을 측정하는 AFM 측정수단을 가진 측정챔버를 구비하며; 상기 AFM 측정수단은, 상기 측정챔버가 차지하는 면적을 줄이기 위해, 상기 기판의 원주를 검사하는 제1팁과, 상기 기판의 중심원을 검사하는 제2탑을 구비한 스캐닝수단과; 상기제1탑과 제2탑의 변화를 감지하기 위해 고아을 발산하는 광발산부와, 상기 광을 수광하는 광수광부를 구비한 감지수단과; 상기 감지수단에서 출력되는 신호를 처리하는 신호처리수단을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 커패시터공정시, 사전 세정공정, 하부전극 형성공정, 도핑공정, 장벽막 형성공정, 유전막 형성공정 및 상부전극 형성공정의 일부 또는 전부를 일관적으로 진행하면서 각 공정마다 인-시튜 모니터링을 수행함으로써 대기에 웨이퍼가 노출되지 않고 각 공정 마다 즉시 평가가 이루어지므로 양질의 웨이퍼 생산이 가능하다는 장점이 있다. 또한, 원자현미경의 스캔 범위가 제조되는 웨이퍼의 크기를 넘지 않도록 할 수 있기 때문에 장비의 집적이 용이하다.
Patent KR-100313204-B1 (KR)
Title: 음성대역분할디코더
IPC: H03G5/00
Filed: 1998-11-05
Granted: 2001-12-12
Abstract: 음량 제어 장치(3)는, 배율 갱신 장치(2)로부터, 강조될 부대역에 인접한 부대역들의 재생 배율이 얼마만큼 감소되었는지에 관한 데이터를 얻어, 볼륨 유닛(77)의 아날로그 오디오 신호 출력 레벨을, 재생 배율을 감소되기 이전의 상태로 복원하는데 필요한 재생 배율에 대응하는 범위까지 증대시킨다.  그 결과, 원하는 부대역 (즉, 강조될 부대역)의 신호 레벨이 증가하여 원하는 부대역의 충분한 강조감을 얻을 수 있다.
Patent KR-100376506-B1 (KR)
Title: 슬러지를이용한용철제조용미분환원철의괴상화방법
IPC: C21B11/00
Filed: 1998-12-12
Granted: 2003-05-17
Abstract: 본 발명은 유동층식 예비환원로와 용융가스화로로 구성되는 용선제조장치에서 용융선철을 제조함에 있어서 예비환원로에서 예비환원된 미립 환원철에 폐기물 슬러지(sludge)를 혼합하여 미분 환원철을 괴상화시키는 방법에 관한 것으로서, 고온에서 슬러지내의 탄재성분및 환원철의 점결력을 이용하여 미분 환원철을 괴상화시킴으로써, 공정이 단순할 뿐만 아니라 폐기물 슬러지를 유용하게 활용할 수 있고, 또한 슬러지에 함유된 철분 회수율을 향상시킬 수 있는 슬러지를 이용한 미분 환원철의 괴상화방법을 제공하고자 하는데, 그 목적이 있다. 
     본 발명은 유동층식 환원로에서 예비환원된 미분 환원철을 용융가스화로에 장입하여 용융선철을 제조하는 방법에 있어서, 상기 미분 환원철에 슬러지를 혼합하여 미분 환원철을 괴상화하여 용융가스화로에 장입하는 슬러지를 이용한 용철제조용 미분 환원철의 괴상화방법을 그 요지로 한다.
Patent KR-100295091-B1 (KR)
Title: 재봉틀 밑실실패
IPC: B65H75/14
Filed: 1998-12-19
Granted: 2001-10-26
Abstract: 본 발명은 밑실을 감아 밑실을 공급하는 밑실실패의 밑실감김부를 구획 형성하는 것에 의해 감겨진 밑실의 외경크기가 서로 다르게 밑실을 다단으로 감을 수 있게 하여 그 만큼 밑실실패에 감기는 밑실의 감김량을 많게함으로써 재봉작업 중 밑실실패의 교체회수를 줄여 재봉작업자가 격는 밑실 교체의 번거로움을 덜어 재봉작업의 효율을 높일 수 있도록 한 것으로, 개구부에 덮개(3)가 설치되는 재봉틀용 북(2)내부의 중앙핀(21)에 끼워 설치되는 밑실실패(A)를 구성함에 있어서, 중앙에 상기 중앙핀(21)에 유동가능하게 끼워지는 연통부(14)를 형성한 실패본체(1)의 양단에는 각각 단벽(11)(12)을 설치하되, 일단의 단벽(12)은 타단의 단벽(11)외경보다 작은크기의 외경을 가지며, 상기 양 단벽(11)(12)사이에는 그 외주면을 만곡돌부(13a) 및 만곡요부(13b)로 반복형성한 구획벽(13)을 설치하여서 되는 것을 특징으로 하는 재봉틀용 밑실실패이다.
Patent KR-100296603-B1 (KR)
Title: 크로스 멤버의 슬라이딩 취부구조
IPC: B62D21/02
Filed: 1998-12-23
Granted: 2001-10-26
Abstract: 크로스 멤버를 롱지튜디날 프레임에 취부할 때 차량의 전방취부점은 고정되게 하고 후방취부점은 차량의 충돌시 슬라이딩 가능하게 취부하여 엔진 룸 내의 충돌변형 가능공간을 확대시키는 결과를 얻게 하여 차량의 충돌에 따라 승객의 상해를 최소화시켜 보호할 수 있도록 하는 크로스 멤버의 슬라이딩 취부구조를 제공하는 것으로, 크로스 멤버의 후방이 설치되는 롱지튜디날 프레임에 장공을 형성하고, 이 롱지튜디날 프레임의 보강을 위해 설치된 보강프레임에 볼트삽입공 및 이 볼트삽입공과 인접하여 차량의 충돌시 볼트의 축부가 이동하도록 파단부 및 슬라이드 장공을 형성하며, 상기 보강프레임에 위치하여 볼트가 삽입되고 너트가 위치되는 너트 브래킷을 상부편과 하부편의 박스형태로 형성하고 상기 상부편과 하부편에 차량의 충돌시 볼트의 축부가 이동하도록 복수의 파단부 및 슬라이드 공을 형성하고, 상기 크로스 멤버의 전방은 롱지튜디날 프레임에 고정수단으로 고정하여 구성한 것을 특징으로 한다.
Patent KR-100285252-B1 (KR)
Title: 다목적 피더의 중송 방지 장치_
IPC: G03G15/00
Filed: 1998-12-30
Granted: 2001-04-02
Abstract: 본 발명은 다목적 피더의 녹업 플레이트에 적재된 용지의 중송을 방지할 수 있는 장치에 관한 것으로써, 상기 녹업 플레이트의 상하 유동에 의해 상기 녹업 플레이트의 상측에 돌출된 몸체가 전후로 유동할 수 있도록 엑추에이터를 설치하여, 용지가 급지되지 않는 시점에서 상기 녹업 플레이트에 적재된 용지의 선단을 정렬하여 주므로써 중송을 미연에 방지할 수 있다.
Patent KR-100582123-B1 (KR)
Title: 공조유니트
IPC: B60H1/00
Filed: 1998-12-31
Granted: 2006-08-18
Abstract: 본 발명은 자동차 실내를 냉,난방할 수 있도록 열교환기에서 열교환된 공기를 차실내로 공급하는 공조유니트에 관한 것으로, 하나의 도어를 이용하여 벤트모드를 비롯한 각각의 모드 조작을 간편하게 하므로써 구조 및 조립성을 단순화하기 위한 것이다. 이러한 공조유니트는 공기를 열교환시킬 수 있게 입구 하부에 열교환기가 설치되는 수납실을 가지며, 상기 열교환기에서 열교환된 공기를 차실내로 공급할 수 있도록 몸체 상부에 벤트출구와 디프로스트출구가 몸체 하부에 플로어출구가 형성되며, 상기 입구로 유입된 공기가 플로어출구로 공급될 수 있도록 상기 플로어출구가 형성되는 몸체 일측벽에서 일정간격 이격되고 상기 벤트출구 하부까지 가이드벽이 밀폐되게 연장되어 그 상면에 통로가 통공되는 하우징과, 상기 수납실 후방 상부에 회전가능하게 고정되어 차실내를 난방할 때 입구로 유입된 공기가 수납실을 통과할 수 있도록 수납실을 개방하고 차실내를 냉방할 때 상기 수납실을 차단하는 뎀퍼도어와, 상기 벤트출구 및 디프로스트출구 하부에 회전가능하게 고정되어 콘트롤의 모드에 따라 회전하여 상기 벤트출구, 디프로스트출구 그리고 플로어출구를 선택적으로 개폐하여 열교환된 공기가 차실내로 공급될 때 공기흐름을 제어하는 출구도어와, 상기 뎀퍼도어 및 출구도어와 연동되게 하우징 외측에 설치되어 모드조작에 따라 출구도어를 회전시키는 도어구동장치를 포함하는 것이 특징이다.
Patent KR-100448181-B1 (KR)
Title: 비디오신호의복조와디코딩을위한장치및수신기,그리고복조네트워크
IPC: H04L27/227
Filed: 1996-06-28
Granted: 2005-05-18
Abstract: 적응 수신기 장치는, 위성, 지상 또는 케이블 송신을 위하여 인코드된 비디오 신호로부터 복조되고 디코드된 출력 데이터를 제공하기 위한, 적응 복조기(10)와 적응 디코더(12)를 포함한다. 선택 가능한 슬라이서 네트워크(30, 35, 40)를 수용하는 적응 타이밍 회복 네트워크(25)와 적응 캐리어 회복 네트워크(25)를 사용함으로써, 복조기는 복조된 출력 데이터를 회복한다. 또한, 복조기 내의 자동 이득 제어 네트워크(25)는 슬라이서의 이전과 이후에 생성된 신호 사이에서의 차이값의 함수로서 이득 제어 출력을 제공한다. 복조기는, 복조된 출력 데이터 내의 에러의 추정 값을 제공하기 위하여, 캐리어 회복 네트워크 신호를 사용하는 신호 품질 검출기를 수용할 수도 있다. 디코더는, 선택 가능한 코드 속도 비터비 디코더를 사용함으로써, 복조된 출력 데이터로부터 비터비 디코드된 출력을 생성한다.
Patent KR-100433566-B1 (KR)
IPC: C07J71/00
Filed: 1996-12-04
Granted: 2004-07-16
Abstract: A process for preparing the compound (11beta,16beta)-21-(3-CARBOXY-1-OXOPROPOXY)-11-HYDROXY-2'-METHYL-5'H-PREGNA-1,4-DIENO(17,16-D) OXAZOLE-3,20-DIONE which comprises reacting the compound (11beta,16beta)-11,21-DIHYDROXY-2'-METHYL-5'H-PREGNA-1, 4-DIENO(17,16-D)OXAZOLE-3,20-DIONE with succinic anhydride in a (C1-C4) alkyl ester of a (C1-C4) carboxylic acid as solvent, in the presence of a basic catalyst.
Patent KR-100450713-B1 (KR)
Title: 피부의상태를개선시키는방법
IPC: A61Q19/00
Filed: 1997-05-13
Granted: 2004-12-03
Abstract: 피부에 생리학적으로 수용 가능한 기질을 투여하여 피부 상태를 개선시키는 방법에 대해 상술하고 있는데, 이때 기질은 정보 에너지를 포함하는 자기 벡터 자장에 노출시킨 것이다.
Patent KR-100481377-B1 (KR)
Title: 지지된후기전이금속촉매시스템
IPC: C08F10/02
Filed: 1997-06-17
Granted: 2005-05-16
Abstract: 본 발명은 고체 지지체상에 고정화된 후기 전이 금속 촉매 시스템, 및 비균일 중합 방법, 특히 올레핀 단량체의 기상 중합에서의 이들의 용도를 포함한다.  바람직한 실시태양은 고체 다공성 금속 또는 메탈로이드 산화물 입자 지지체, 특히는 실리카를 포함하는 지지체 상에 고정화된 2가 리간드 구조에 의해 안정화되는 9족, 10족 또는 11족 금속 착체를 포함하는 후기 전이 금속 촉매 시스템을 포함한다.  올레핀 단량체용 기상 중합 방법은 기상 중합 조건하에서 하나 이상의 올레핀을 이들 촉매 시스템과 접촉시킴을 포함한다.
Patent KR-100266995-B1 (KR)
Title: Cap for protecting ultraviolet ray
Inventor: JUNG JIN YEAL
IPC: A42B3/22
Filed: 1999-03-15
Granted: 2000-09-15
Abstract: PURPOSE: A cap for intercepting ultraviolet rays is provided to control the angle of installing a cap visor, which is made of the material for intercepting the ultraviolet rays, according to the convenience of a user easily. CONSTITUTION: The cap for intercepting ultraviolet rays includes a hair band(1), a main cap visor(2), a connecting pin(3) and an assistant cap visor(4). The hair band(1) has the elasticity. The assistant cap visor(4) is installed along the outer curved surface of the hair band(1). The both end portions of the main cap visor(2) is fixed by the connecting pin(3), which goes through each end portion of the assistant cap visor(4) from the hair band(1). The main cap visor(2) is controlled up and down with the optional angle about the hair band(1) and intercepts the ultraviolet rays and is made of light transmitted poly carbonate.
Patent KR-100545118-B1 (KR)
IPC: C08L9/06
Filed: 1999-04-13
Granted: 2006-01-24
Abstract: 본 발명의 목적은 분말 유동성을 유지할 수 있고 내층에 함유되어 있는 성분의 표면으로의 유출을 억제할 수 있고 발포체 층으로서 작용하는 우레탄 발포체에 대한 접착력을 유지할 수 있는 슬러쉬 성형된 외피, 이를 갖는 성형품 및 이에 사용하기 위한 슬러쉬 성형용 열가소성 엘라스토머 조성물을 제공하는 것이다. 
     적어도 외층(4a)과 내층(4b)의 적층물을 포함하는 슬러쉬 성형된 외피(4)에  있어서, 외피는 분말 슬러쉬 성형으로 제조된다.  외층(4a)은 폴리프로필렌 수지, 수소화 스티렌-부타디엔 랜덤 공중합체 고무, 프로세스 오일, 오일 흡수성이 우수한 엘라스토머 및 내부 이형제를 포함하는 수지 조성물의 분말을 슬러쉬 성형시킴으로써 제조되고, 내층(4b)은 폴리프로필렌 수지, 수소화 스티렌-부타디엔 랜덤 공중합체 고무, 프로세스 오일, 오일 흡수성이 우수한 엘라스토머, 활성 수소를 갖는 올레핀계 중합체, 이소시아네이트 반응을 촉진시키는 촉매 및 내부 이형제를 포함하는 수지 조성물의 분말을 슬러쉬 성형시킴으로써 제조된다. 
       
     자동차 계기판, 복합 외피, 슬러쉬 성형, 열가소성 엘라스토머, 우레탄 발포체, 이형성 및 접착성
Patent KR-100298988-B1 (KR)
Inventor: KIM KANG WOONG
IPC: F16F15/00
Filed: 1999-05-25
Granted: 2001-09-22
Abstract: PURPOSE: A vibroisolating device for reducing impact is provided to reduce a producing cost by simplifying structure through a rubber tune and an iron plate. CONSTITUTION: A vibroisolating device for buffering impact comprises a rubber tube(3) installed between an upper iron plate(1) and a lower iron plate(2); a rubber protecting cover(4) surrounding a side of the rubber tube; plural fixing through holes(6a) penetrating a middle portion of the rubber tube; an air injecting port(7) mounted on an upper portion of the rubber tube; a cap(7a) attached to the air injecting hole; a connecting hole(5b) penetrating the upper iron plate; a plural fixing bars(8) vertically inserted to the fixing through holes; screw unit(8a) combined to the fixing through hole of the lower iron plate by being mounted on a lower portion of the fixing bar; and a cover(9) installed on an upper portion of the fixing bar.
Patent KR-100296653-B1 (KR)
Title: 냉각시스템에 있어서 제빙장치용 열교환기
IPC: F25C1/04
Filed: 1999-06-21
Granted: 2001-07-12
Abstract: 본 발명은 냉동사이클(100)을 흐르는 냉매가스와 축열조(5)의 축열수가 측면부와 상, 하단부를 통하여 각각 출입하는 밀폐된 중공형의 열교환기 (10)로서, 상기 열교환기(10) 내측 상, 하부에 각각 입, 출구가 설치되어 냉매가스가 출입하는 증발실 (23)을 중간부에, 상기 축열조(5)로부터 유입된 축열수가 통과하도록 상단부는 유입실이 연결되게 결합되고 하단부는 냉각된 축열수가 축열조(5)로 배출되도록 증발실(23)내에 설치되는 냉각관(30)과; 상기 냉각관 내부에 설치되어 축열수가 통과하는 중공의 노즐관(43); 상기 노즐관에 형성되어 노즐관을 관통하는 축열수를 냉각관 내부을 향해 유출시키는 노즐(43a); 상기 노즐관 외주면에 길이 방향의 나선형으로 형성된 스크루블레이드(45); 상기 노즐관에 회전동력을 제공하는 구동모터(60)로 구성된 것을 특징으로 하는 냉각시스템에 있어서 제빙장치용 열교환기에 관한 것이다.
Patent KR-100329706-B1 (KR)
Inventor: PARK GIONG CHUN
IPC: B29C44/60
Filed: 1999-07-10
Granted: 2002-03-21
Abstract: PURPOSE: An energy supplying connection device is provided to discharge humidity in the molding frame to improve working efficiency and prevent contamination of product surface. CONSTITUTION: A styrofoam material is supplied between a fixing mold(10a) and a moving mold(20a) from a raw material supplying portion(40), and steam is supplied by a steam supplying portion to form styrofoam product. The moving mold is moved to one side, and a product withdrawing portion(30) is operated to withdraw the styrofoam product. A moving frame(20) and a fixing frame(10) are connected by a connection pipe(21) to pass steam, coolant and compressed air. When moving the moving frame, energy is passed through the connection pipe to the fixing frame, and the compressed air is supplied to the moving frame to easily detach the product from the mold.
Patent KR-100335650-B1 (KR)
Title: 정전기 발생량이 감소된 전도성 고분자 조성물 및 이를 포함하는 액정배향막
IPC: C08L101/12
Filed: 1999-07-23
Granted: 2002-05-08
Abstract: 본 발명은 정전기 발생량이 적으며, 배항특성이 우수한 액정배향막용 전기전도성 고분자 조성물 및 이를 포함하는 액정배향막에 관한 것이다.  본 발명의 액정배향막용 전도성 고분자 조성물은 전기전도성 고분자와, 폴리이미드 계열의 고분자 및 아크릴레이트 계열의 고분자를 혼합하거나 또는, 산기를 포함하는 폴리이미드 공중합체를 혼합함으로서 제조된다.  본 발명의 전기전도성 고분자 조성물은 기존의 폴리이미드 계열의 고분자와 비교하여 러빙과정에서 액정배향막의 정전기 발생량을 크게 감소시킬 수 있는 바, 정전기발생 억제용 배향막 재료로서 유용하게 사용될 수 있음이 확인되었다.  아울러, 본 발명의 전기전도성 고분자 조성물을 포함하는 액정배향막은 선경사각도에 있어서도 우수한 특성을 나타내는 바, 액정디스플레이 제조공정 중의 러빙시 발생되는 정전기의 발생을 재료측면에서 해결할 수 있다.
Patent KR-100364322-B1 (KR)
Title: 고주파 증폭기에서 발생한 혼변조 신호 검출 회로
IPC: H03F1/32
Filed: 1999-07-23
Granted: 2002-12-11
Abstract: 본 발명은 초고주파 대역에서 두개 이상의 서로 다른 주파수를 가진 입력신호를 증폭할 때 증폭기의 비선형성에 의해 발생되어지는 혼변조 신호를 검출하는 회로이다. 본 회로에 의해 검출된 혼변조 신호는 증폭기에 입력하는 주파수가 아니므로 증폭기에 입력하는 주파수 신호에 대해 잡음으로 동작하게 된다. 본 회로를 통해 검출된 혼변조 신호는 증폭기의 출력부에서 반대 위상으로 재결합되어 증폭기를 통한 출력부에서 혼변조 신호는 상쇄되고, 증폭기에 입력된 신호만 증폭되어 출력하게 된다. 혼변조 신호 검출 시 증폭기에 입력하는 주파수에 대한 검출은 될 수 있는 한 작아야 한다. 혼변조 신호와 함께 검출된 증폭기에 입력하는 주파수 신호는 증폭기 출력부에서 반대 위상으로 재결합될 때 증폭기에 입력된 신호의 출력을 감소시키게 된다. 
     본 발명 회로는 증폭기에서 발생한 혼변조 신호 검출 시 증폭기에 입력하는 주파수 신호에 대한 검출은 작게 하는 회로에 관한 것이다. 
     이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 소정의 고주파 입력신호를 수신하여 증폭 신호 선로(제 1 경로)와 기준 신호 선로(제 2 경로)로 분배하는 제 1 방향성분배기와, 상기 제 1 방향성분배기 출력 중 증폭 신호 선로(제 1 경로)의 고주파 신호를 전력 증폭하여 전력 증폭된 고주파 신호를 출력하는 전력 증폭기와, 상기 전력 증폭된 고주파 신호로부터 일정량의 세기만을 추출하는 제 2 방향성분배기와, 상기 제 2 방향성분배기의 출력과 상기 분배기 출력 중 기준 신호 선로(제 2 경로)의 신호를 입력으로 하여 감산하여 처리하는 전력결합기와, 상기 제 1 방향성분배기의 출력 중 증폭 신호 선로(제 1 경로)와 상기 전력증폭기의 사이에 접속되어 소정 제어하에 상기 전력증폭기로 인가되는 고주파 입력신호의 세기를 변화 시키는 가변 감쇠기와, 상기 제 1 방향성분배기의 출력 중 증폭 신호 선로(제 1 경로)와 상기 전력증폭기의 사이에 접속되어 소정 제어하에 상기 전력증폭기로 인가되는 고주파 입력신호의 위상을 변환시키는 가변 위상 변환기와, 상기 제 1 방향성분배기의 출력 중 기준 신호 선로(제 2 선로)와 상기 감산기의 사이에 위치하여 제 1 방향성 분배기의 순수 입력 신호의 세기와 주파수를 검출하는 제 1 전력분배기와, 상기 제 2 방향성 분배기와 상기 감산기의 사이에 위치하여 상기 전력증폭기의 신호를 검출하는 제 2 전력 분배기와, 상기 제 1 전력 분배기와 상기 제 2 전력 분배기의 신호의 세기를 비교하여 상기 가변 감쇠기의 세기를 제어하는 세기 제어부와, 상기 제 1 전력 분배기와 상기 제 2 전력 분배기의 위상차를 검출하는 위상 검출부와, 상기 위상 검출부의 검출된 위상을 비교하여 상기 가변 위상 변환기의 위상을 조절하는 위상 제어부를 제공한다.
Patent KR-100324323-B1 (KR)
Title: 반도체 장치의 정전방전 보호 회로
IPC: H01L27/02
Filed: 1999-07-28
Granted: 2002-02-16
Abstract: 본 발명은 N-타입 모스 전계효과 트랜지스터(NMOSFET)는 P-타입 실리콘 기판 위에 형성되고, P-타입 모스 전계효과 트랜지스터(PMOSFET)는 P-타입 실리콘 기판 위해 형성된 N-타입 웰 위에 형성되는 정전방전 보호회로에서, 특히 패드를 통해 외부에서 정전방전 신호가 인가 될 때, 정전방전 보호회로에 사용되는 N-타입 모스 트랜지스터의 벌크(bulk)단자를 접지전압에 연결시킴으로써, 정전방전 특성을 향상시킨 반도체 장치의 정전방전 보호회로에 관한 것이다.
Patent KR-100322234-B1 (KR)
IPC: H01L21/027
Filed: 1999-07-29
Granted: 2002-02-07
Abstract: 본 발명은 아세탈 또는 이의 고리화 유도체를 측쇄로 포함하는 폴리아미드 중합체와 감광성 내열절연체 조성물에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 빛에 의해 감광된 부분은 현상액에 의해 용해되고, 빛을 받지 않은 부분은 남아 있다가 후공정인 가열공정에 의해 내열성고분자로 전환이 가능한 기능을 가진 아세탈 또는 이의 고리화 유도체를 측쇄로 포함하는 신규 폴리아미드 중합체와, 상기한 폴리아미드 중합체와 소량의 광산발생제가 함유되어 있어 패시베이션 막(passivation layer), 완충막(buffer coat) 또는 복합 다층인쇄회로기판의 층간 절연막 등으로의 사용이 가능한 감광성 내열절연체 조성물에 관한 것이다.
Patent KR-100344719-B1 (KR)
Title: 내연기관의 배기 환류밸브 강제 구동장치
IPC: F02D41/02
Filed: 1999-08-16
Granted: 2002-07-19
Abstract: 본 발명은 엔진시동에 대한 악영향을 일으키는 일 없이 엔진의 운전중이더라도 EGR 밸브를 강제적으로 완전 개방상태로 구동시켜 디포짓을 제거할 수 있는 배기환류밸브 강제구동장치를 제공하는 것이다. 
     이를 위하여 스텝 S120 내지 S140의 판정이 모두「YES」인 경우가 허가용인시간(TTime) 이상 계속되면(S150 에서「YES」), EGR 밸브를 일시적으로 완전개방으로 이행하여도 배기환류율의 변동이 적다고 하여, EGR 밸브의 일시적 완전개방제어를 허가하고 있다.  이로써 EGR 밸브의 밸브축이 사용한계까지 끌어올려지고 스토퍼의 하단면에 의하여 밸브축의 표면에 존재하는 부착물을 제거할 수 있다.  이와 같이 배기환류율의 변동이 적은 상황에서는 엔진의 연소에 악영향을 주는 일은 없다.  또한 EGR 밸브를 완전개방으로 하는 것은 엔진의 운전정지 타이밍과는 무관하므로 시동불량을 초래하는 일은 없다.
Patent KR-100396739-B1 (KR)
Title: 2' 또는 3' 위치가 치환된 신남알데하이드계 화합물, 이의 제조 방법 및 이를 포함하는 약학 조성물
IPC: C07C47/105
Filed: 1999-08-16
Granted: 2003-09-02
Abstract: 본 발명은 세포주기의 조절에 유용한, 하기 화학식 1로 표시되는, 2' 또는 3' 위치가 치환된 신남알데하이드계 화합물, 이의 제조 방법 및 이를 유효성분으로 포함하는 약학 조성물에 관한 것이다: 
     
       
         
       
     
     상기 식에서, R 1 이 2-메틸벤질옥시기이고 R 2 가 수소이거나, R 1 이 수소이고 R 2 가 2-메틸벤질옥시기이다.
Patent KR-100326683-B1 (KR)
Title: 스트랜드 구동롤의 부하배분을 위한 제어장치 및 방법
IPC: G05B13/00
Filed: 1999-08-17
Granted: 2002-03-12
Abstract: 본 발명은 스트랜드 구동롤의 부하배분을 위한 제어장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 각 구동롤(3)을 구동하는 유도구동모터(7)로 흘러 들어가는 3상전류를 측정하는 전류측정기(10)와; 상기 전류측정기(10)의 3상전류로부터 토크전류값을 산출하고, 속도지령에 따라 인버터(11)를 통해 상기 유도구동모터(7)를 제어하는 모터제어기(8)와; 상기 모터제어기(8)로부터 토크전류값을 전송받아 기준모터제어기와 종속모터제어기의 토크전류값의 차이를 구하고, 이 토크전류차이값으로부터 새로운 속도지령값을 구하여 상기 모터제어기(8)를 통해 각 유도구동모터(7)를 제어하는 상위제어기(9)로 구성되는 것을 특징으로 하는 스트랜드 구동롤의 부하배분을 위한 제어장치에 관한 것이다. 
     또한, 본 발명은 인버터(11)를 통해 유도구동모터(7)로 흘러 들어가는 3상전류를 각 전류측정기(10)에서 측정하여 모터제어기(8)로 전송하는 단계와; 상기 모터제어기(8)에서 각 전류측정기(10)의 3상전류로부터 토크전류값을 구하여 상위제어기(9)로 전송하는 단계와; 상기 상위제어기(9)에서 기준유도구동모터의 순토크전류와 종속유도구동모터의 순토크전류의 토크전류차를 구하는 단계와; 상기 상위제어기(9)에서 0이 아닌 토크전류차로부터 산출된 속도변동값을 이전속도지령값에 반영하여 새로운 속도지령값으로 상기 모터제어기(8)에 하달하거나, 토크전류차가 0인 경우 이전속도지령값으로 상기 모터제어기(8)에 하달하는 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 스트랜드 구동롤의 부하배분을 위한 제어방법에 관한 것이다.
Patent KR-100738292-B1 (KR)
IPC: G02B5/32
Filed: 1999-09-09
Granted: 2007-07-12
Abstract: 본 발명은 투사형 영상 표시 장치용 스크린에 관한 것이다.  선형 프레넬 렌즈는 광원으로부터 광 에너지를 수용하는 제1 측면 상에 렌즈 패턴을 갖는다.  프레넬 렌즈의 제2 측면은 제1 측면과 대향 배치된다.  광 에너지는 제2 측면으로부터 프레넬 렌즈를 빠져나간다.  홀로그램은 프레넬 렌즈의 제2 측면에 부착되어 프레넬 렌즈의 제2 측면으로부터 빠져나가는 광 에너지의 분산을 조정한다.  홀로그램은 적층(lamination) 과정을 통하여 프레넬 렌즈에 부착된다.
Patent KR-100286530-B1 (KR)
Title: 포장용 목재의 부식방지 조성물 및 이를 이용한 목재제품의 보존처리방법
IPC: B27K3/16
Filed: 1999-09-18
Granted: 2001-03-15
Abstract: 본 발명은 포장용 목재제품(예를들어, 전선 목드럼, 목재판넬, 목재상자 등)에 발생되는 청태곰팡이를 제거하고, 목재의 부식을 방지하기 위한 액체조성물에 관한 것이다. 
     본 발명은 전선용 목드럼, 목재상자, 목재판넬과 같은 포장용 목재제품에 자연적으로 발생되는 청태곰팡이를 제거하고, 목재의 부식을 방지하기 위한 액체조성물로서, 이 조성물이 차아염소산나트륨 40 ~ 70중량%, 염화칼슘 10 ~ 15중량%, 크로루칼키 3 ~ 5중량% 및 물 20 ~ 30중량%로 이루어지는 것을 특징으로 한다. 
     본 발명의 부식방지 조성물은 목재제품에 변색을 가하지 않으면서도 자연적으로 발생되는 청태곰팡이와 목재의 부식을 방지할 수 있는 특장점을 가진다.
Patent KR-100330914-B1 (KR)
IPC: C04B41/45
Filed: 1999-10-13
Granted: 2002-04-03
Abstract: 본 발명은, 석재 표면의 질감 및 광택을 천연 상태로 유지하면서, 문양의 퍼짐이 없이 선명하고도 섬세하게 석재 표면에 문양을 형성할 수 있는 인쇄 잉크와, 이러한 석재 표면에 문양을 형성하는 방법과, 이와 같은 문양 형성방법에 의해 제조된 석재에 관한 것으로, 본 발명에 따른 인쇄 잉크는, 유성 염료 25∼35 중량%, 유기 용제 15∼30% 중량%, 가소제 20∼30 중량% 및 수지 15∼30% 중량%로 구성되며, 본 발명에 따른 문양 형성방법은, 석재의 표면을 연마하는 단계와, 유성 염료 25∼35 중량%, 유기 용제 15∼30% 중량%, 가소제 20∼30 중량% 및 수지 15∼30% 중량%로 구성된 인쇄 잉크를 사용하여 상기 석재 표면에 소정의 문양을 실크 스크린 인쇄하는 단계와, 문양이 표면에 인쇄된 상기 석재를 50 내지 100℃에서 20분 내지 1시간 동안 예열하는 단계와, 상기 석재를 120 내지 170℃에서 30분 내지 7시간 동안 더 가열하여 석재 내부로 상기 인쇄 잉크를 침투시키는 본열 단계와, 상기 석재를 상온으로 냉각시키고, 석재 표면에 잔류하는 도막을 제거하는 단계를 포함한다.
Patent KR-100330889-B1 (KR)
Title: 차량의 연비제어방법
IPC: G01F9/00
Filed: 1999-10-28
Granted: 2002-04-03
Abstract: 본 발명은 차량의 연비제어방법에 관한 것으로서, 차량의 주행시의 속도(Vspd)와 연료분사기로부터 출력되는 연료 분사 초기값과 초기조건을 입력하여 내부에서 평균화한 후 곱셈기(13)와 램(20)을 통해 연산된 이동거리를 계산하는 이동거리계산기(10)와, 차량의 주행시의 속도(Vspd)와 연료분사기로부터 출력되는 연료 분사 초기값과 초기조건을 입력하여 내부에서 평균화한 후 곱셈기(13)와 나눗셈기(12)를 거쳐 램(20)에 의해 연산된 연료 소비량을 계산하는 연료량계산기(11)의 출력신호를 입력하여 내부에서 나눗셈처리하여 차량 주행거리에 대한 소모연료량에 대한 최종 분석값이 나눗셈기(12)에서 출력될 수 있도록 하여 일반 사용자가 주행중에 연비를 추정할 수 있도록 하는 효과를 갖는다.
Patent KR-100307637-B1 (KR)
Title: 부스팅 커패시터를 구비하는 입력버퍼 회로
IPC: G11C11/407
Filed: 1999-10-30
Granted: 2001-11-02
Abstract: 입력신호의 변화폭이 작더라도 지연시간과 스큐가 작은 입력버퍼 회로가 개시된다. 
     상기 입력버퍼 회로는, 제1입력단을 통해 입력되는 기준전압을 기준으로하여 제2입력단을 통해 입력되는 신호의 레벨을 증폭하여 출력하는 차동증폭기와, 상기 차동증폭기의 제2입력단에 접속되는 부스팅 커패시터를 구비한다. 또한 상기 입력버퍼 회로는, 상기 차동증폭기의 출력신호의 천이를 검출하는 에지 검출기와, 상기 차동증폭기의 제1 및 제2입력단 사이에 접속되고 상기 에지 검출기의 출력신호에 응답하는 스위칭부를 더 구비한다. 따라서 상기 입력버퍼 회로에서는, 입력신호의 천이시 실제로 상기 제2입력단을 통해 입력되는 신호의 레벨이 상기 부스팅 커패시터에 의해 상기 입력신호의 레벨의 두배로 부스팅됨으로써, 상기 입력버퍼 회로의 출력전류가 두배가 되어 상기 입력버퍼 회로의 출력신호가 변화하는 경사가 샤프해지게 되며 결국 지연시간과 스큐가 크게 감소된다.
Patent KR-100312629-B1 (KR)
Title: Ｃｎｃ용 자동 공구보정 시스템
IPC: B23Q15/00
Filed: 1999-11-04
Granted: 2001-11-05
Abstract: 본 발명은 CNC 장비용 공구 측정기에 관한 것으로 CNC 장비에서 공구의 치수를 측정하는 장치에 관한 것이다. 본 발명은 수직축 방향과 수평축 방향에서 프로브(1)와 (1')에 의해 공구의 접촉에 의한 전기접점 신호를 포토커플러(19)에 의해 CNC 콘트롤러에 전달되며 CNC 장비의 매크로 프로그램에 의해 기존의 공구보정 정보를 이용하여 계측한 후 새로운 계측정보를 자동보정하는 계측시스템으로 CNC 공구의 접촉에 따른 충격완화가 지지축(2)을 탄지시켜주는 압축스프링(6)에 의한 완충작용에 의해 이루어지며 가공 중 발생되는 칩 및 이물질 제거를 위해 구멍(H)에 고압의 공기를 분사하여 측정부위의 청결을 유지시키는 구조이다. 
     본 발명의 특징은 CNC 장비에 사용되는 공구의 치수를 2개의 축 방향 거리 측정이 가능하고, 실제 사용하고 있는 CNC 장비에서 측정을 행하므로 측정 시 오차를 줄일 수 있도록 한 CNC장비용 공구보정 시스템이다.
Patent KR-100325233-B1 (KR)
Title: 회전체용 다이너모미터의 센서 마운팅 지그
IPC: G01M1/00
Filed: 1999-12-06
Granted: 2002-03-04
Abstract: 본 발명은 다이너모미터의 회전축과 별개로 설치되어 회전 진동에 대한 영향에 관계없이 정확한 센서 장치의 감지 작동이 가능하게 함과 동시에 회전체의 변화에 따라 센서 장치의 장착 위치를 용이하게 변화시킬 수 있도록, 
     다이너모미터(Dinamometer)의 마운팅 베드상에 고정 설치되는 메인 베드와;  상기 마운팅 베드상에 장착되고, 그 양측으로 제1가이드 레일이 형성되는 제1가이드 플레이트와;  상기 제1가이드 플레이트 상에 장착되고, 상기 제1가이드 레일을 따라 X방향으로 슬라이딩하는 제1베드와;  상기 제1베드상에 수직으로 설치되고, 그 중앙에는 제2가이드 레일이 형성되는 제2가이드 플레이트와;  상기 제2가이드 플레이트 상에 장착되고, 상기 제2가이드 레일을 따라 Z방향으로 슬라이딩하는 제2베드 및;  상기 다이너모미터에 의해 회전하는 회전체의 각종 상태를 감지하는 센서 장치가 장착되며, 상기 제2베드에 수평방향으로 형성되는 제3가이드 레일내에 설치되어, 이 제3가이드 레일을 따라 Y방향으로 이동하는 센서 브라켓;을 포함하여 이루어지는 회전체용 다이너모미터의 센서 마운팅 지그를 제공한다.
Patent KR-100684814-B1 (KR)
IPC: E02B3/06
Filed: 1999-12-13
Granted: 2007-02-22
Abstract: 본 발명은 파도 소거 구조체에 관한 것이며, 더욱 상세하게는 파도 소거 장치에 의해 파도 에너지를 감쇠시켜 항만 구역의 정온도(靜穩度)를 향상시키는 데 효과적인 방파제 또는 호안(護岸) 등에서의 파도 소거 구조체를 제공하는 것이 과제이다.  
     불투과성의 제방(2) 전면(前面)에 , 이 제방의 전단면(前端面)으로부터 소요 간극을 두고, 또한 해저면과의 사이에 간극을 가지고 최소한 거의 해면에 이르는 길이의 수하판(垂下板)(4)을 설치한 것이다. 
       
     파도 소거 구조체, 파도 소거 장치, 제방, 수하판, 방파제.
Patent KR-100640048-B1 (KR)
IPC: G09F9/00
Filed: 1999-12-17
Granted: 2006-10-31
Abstract: 본 발명은 액정표시장치 및 그의 제조방법에 관한 것으로서 제 1 투명기판 상에 형성되며 게이트전극과 전기적으로 연결된 N개의 게이트라인과, 상기 제 1 투명기판 상에 상기 게이트라인을 덮도록 형성된 게이트절연층과, 상기 게이트절연층 상에 드레인전극과 전기적으로 연결되게 상기 게이트라인과 교차되게 형성되어 N×M개의 화소영역을 한정하는 M개의 데이터라인과, 상기 데이터라인을 덮도록 형성된 패시베이션층과, 상기 게이트전극을 중심으로 상기 드레인전극과 대응되게 형성되는 소오스전극과 접촉홀을 통해 연결되게 형성된 화소전극과, 상기 제 1 투명기판 상의 상기 게이트라인과 동일한 평면 상에 상기 데이터라인 양측의 소정 부분과 중첩되며 상기 게이트라인과 전기적으로 절연되게 형성된 차광패턴을 포함한다. 
     	따라서 본 발명에 따른 액정표시장치는 게이트라인과 함께 형성된 차광패턴에 의해 화소전극들의 간격을 증가시켜 데이터라인이 중첩되지 않도록 하므로써 기생 용량을 감소하며 인접하는 화소전극 사이의 단락의 발생을 방지하며, 또한, 차광패턴에 의해 블랙매트릭스의 폭을 감소시키므로 상판과 하판의 합착 오정렬에 의한 광 투과율이 감소와 인접하는 화소전극 사이의 간격 증가에 의한 빛샘 현상을 방지할 수 있다.
Patent KR-100389440-B1 (KR)
Title: 전자레인지의 대류장치
IPC: F24C15/32
Filed: 1999-12-17
Granted: 2003-06-27
Abstract: 본 발명은 전자레인지에서 히터에서의 열을 캐비티 내부로 전체적으로 공급하기 위한 대류장치에 관한 것이다. 
     본 발명에 의한 대류장치는, 캐비티(20)의 일측면에 성형되는 히터챔버(40)와; 상기 히터챔버의 내측에서 적어도 히터챔버의 양측면을 점유하도록 설치되는 히터(32a,32b); 상기 히터의 상부에 설치되고, 상단부에 통기공(36,39)이 성형되며, 히터의 열을 하방의 캐비티로 반사하도록 설치되는 반사판(34,38); 상기 히터챔버의 중간부분에 설치되어 하방을 향하는 에어플로를 형성하는 축류팬(30); 그리고 상기 히터챔버의 하면에 성형되어, 캐비티와 히터챔버 사이에서 에어플로를 통과시키는 통기부(42)로 구성된다.  따라서 캐비티(20)에서 반사판의 내부를 경유하여 통기공으로 히터챔버로 유입된 공기는 축류팬에 의하여 하방의 캐비티로 토출된다.  그리고 이 때 반사판의 부분(34b,38a)는 축류팬에 대하여 오리피스 기능을 수행하여 보다 많은 고온의 공기를 캐비티에 공급하게 된다.
Patent KR-100356798-B1 (KR)
Title: 반도체 소자의 제조방법
IPC: H01L21/28
Filed: 1999-12-27
Granted: 2002-10-18
Abstract: 본 발명의 자기정렬콘택 기술을 이용한 반도체 소자의 제조방법을 개시한다. 개시된 본 발명의 반도체 소자의 제조방법은, 먼저, 트렌치형의 소자분리막이 구비된 반도체 기판 상에 질화막 재질의 하드 마스크막을 이용한 식각 공정을 통해 게이트 전극들을 형성하고, 상기 게이트 전극의 양 측벽에 질화막 재질의 스페이서를 형성한다. 그런다음, 상기 반도체 기판 상에 제1층간절연막을 형성하고, 상기 제1층간절연막을 평탄화시킨다. 이어서, 상기 제1층간절연막을 식각하여 폴리2 콘택 및 폴리3 콘택을 형성하고, 상기 폴리2 콘택 및 폴리3 콘택 내에 각각 비트라인용 플러그와 캐패시터용 제1플러그를 형성한다. 그 다음, 상기 결과물 상에 제2층간절연막을 형성한 후, 상기 제2층간절연막을 식각하여 상기 비트라인용 플러그를 노출시키는 제2콘택홀을 형성하고, 이어서, 상기 제2층간절연막 상에 비트라인을 형성한다. 다음으로, 상기 비트라인을 덮도록, 상기 제2층간절연막 상에 제3층간절연막을 형성한 후, 그 표면을 평탄화시키고, 이어서, 상기 제3 및 제2층간절연막을 식각하여 상기 캐패시터용 제1플러그를 노출시키는 라인 형태의 제3콘택홀을 형성한 후, 상기 제3콘택홀 내에 폴리실리콘막을 매립시켜 상기 캐패시터용 제1플러그와 콘택되는 캐패시터용 제2플러그를 형성한다.
Patent KR-100364197-B1 (KR)
Title: 원자력 발전소 원자로 헤드의 스터드 볼트구멍 검사장치
IPC: G21C17/00
Filed: 1999-12-29
Granted: 2002-12-11
Abstract: 본 발명은 원자력 발전소 원자로 헤드 체결용 스터드 볼트가 삽입되는 스터드 볼트구멍 검사시 반사경을 통하여 직접 육안으로 나사산의 플랭크의 손상유무 및 이물질 검사를 용이하게 실시할 수 있도록 하는 원자력 발전소 원자로 헤드의 스터드 볼트구멍 검사장치에 관한 것이다. 
     이에 따른 본 발명은 원자력 발전소 원자로 헤드의 스터드 볼트구멍(H)을 검사하는 장치로서, 볼트구멍(H)의 저면에 면접되도록 원뿔형상으로 형성된 베이스(10);  상기 베이스(10)로부터 일정 높이 떨어진 수직위치의 볼트구멍(H)의 상단측에 고정되고 볼트구멍(H)의 내부를 볼 수 있도록 투시구(11)가 형성된 지지 플레이트(12);  상기 베이스(10)와 지지 플레이트(12) 간의 중심부에 회전결합되고 전면에 나사산이 형성된 스크류 축(13);  상기 스크류 축(13)에 볼스크류 결합되고 외측부에 일정 각도로 비스듬하게 반사경(15)이 부착 고정된 승강 지지대(16);  상기 베이스(10)와 지지 플레이트(12) 사이에 고정 설치되고, 상기 승강 지지대(16)와 슬라이딩되게 결합되어 그 승강 지지대(16)의 수직변위를 안내하는 가이드 바아(17);  상기 스크류 축(13)과 축결합되도록 지지 플레이트(12)에 고정 설치되어 축동력을 발생하는 기어드모터(18); 및 상기 기어드모터(18)에 전기적으로 연결되어 그 모터의 회전수를 카운트하면서 나사산의 위치를 인지할 수 있는 카운트 수단(20)을 포함한다.
Patent KR-100390961-B1 (KR)
Title: 듀플럭스 존 샤워 헤드 및 이를 적용하는 케미커리인핸스드 화학기상증착 장비
IPC: C23C16/455
Filed: 1999-12-29
Granted: 2003-07-10
Abstract: 본 발명은 촉매 등의 화학적 처리에 의해 화학기상증착법으로 금속 박막을 증착할 때 화학적 처리를 균일하게 할 수 있도록 하여, 금속 박막의 스텝 커버리지, 증착 속도, 결, 점착 특성 등을 개선할 수 있는 듀플럭스 존 샤워 헤드 및 이를 적용하는 케미커리 인핸스드 화학기상증착(Chemically Enhanced Chemical Vapor Deposition; CECVD) 장비에 관하여 기술된다. 본 발명의 듀플럭스 존 샤워 헤드는 증착 소오스 재료 유입 라인과 증착 소오스 재료 분사 노즐이 구비된 제 1 샤워 존과, 케미컬 유입 라인과 케미컬 분사 노즐이 구비된 제 2 샤워 존으로 이루어지며, 증착 소오스 재료를 수용하는 제 1 샤워 존과 케미컬을 수용하는 제 2 샤워 존은 상호 완전히 격리된다. 이러한 듀플럭스 존 샤워 헤드는 제 1 및 제 2 샤워 존의 노즐이 반응 챔버의 내부쪽에 위치되도록 반응 챔버의 상단에 장착되며, 제 1 샤워 존의 증착 소오스 재료 유입 라인은 증착 소오스 재료 공급 장치에 연결되고, 제 2 샤워 존의 케미컬 유입 라인은 케미컬 공급 장치에 연결되어 본 발명의 케미커리 인핸스드 화학기상증착(CECVD) 장비를 이룬다.