baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent CO-2022009162-A2 (CO)
Title: Proceso para la preparación de ácidos poliaminocarboxílicos y compuestos quelados de los mismos
Inventor: BIASONE ALESSANDRO
IPC: C07F15/02
Filed: 2022-06-30
Abstract: La presente invención se refiere a un proceso para la preparación de ácidos poliaminocarboxílicos, en particular ácidos aril-fenólicos o alquildiaminopolicarboxílicos, preferiblemente un compuesto de fórmula (I):    (I) donde X se selecciona del grupo que consiste en: H, COOH, COO-Y+, OH, alquilo lineal o ramificado C1-C5, CH2OH, SO3H, SO3 -Y+, donde: -	Y+ se selecciona independientemente del grupo que consiste en Li+, Na+, K+, y NH4+; y donde A se selecciona de: -	 Un sistema alifático lineal (CH2)n donde n=2, 3 or 4, preferiblemente 2 o 3; y  -	Un sistema aromático de fórmula donde R1, R2 se seleccionan independientemente del grupo que consiste: H, OH, y alquilo lineal o ramificado C1-C5; comprendiendo dicho proceso la etapa de hacer reaccionar un compuesto fenólico, ácido glioxílico y una aril- o alquildiamina en presencia de una fuente de hierro para obtener una mezcla de reacción que comprende el compuesto de fórmula (I). La invención también se relaciona con un proceso para la preparación de un compuesto quelato, que es un complejo del compuesto de fórmula (I) con hierro.  [FIG. 1]
Patent CO-2022010453-A2 (CO)
Title: Un compuesto aromático sustituido con anillo fundido, método de preparación, composición herbicida y su uso
Inventor: LIAN LEI
IPC: C07D498/04
Filed: 2022-07-26
Abstract: La invención se refiere al campo de la tecnología de pesticidas y en particular, a un tipo de compuesto aromático sustituido con anillo fundido, un método de preparación, una composición herbicida y su uso. El compuesto aromático sustituido con anillo fundido representado por la fórmula general I: M Z Q Y O N X1 X2 Het Ⅰ 1 2 3 4 5 en la cual, Q representa N N N Q2 Q1 Q3 R1 R2 Q-1 , N N Q4 Q5 R6 R7 R8 Q-2 o N R9 Q5 Q4 Q-3 Y representa halógeno, haloalquilo, ciano, nitro o amino; Z representa H, halógeno o hidroxi; M representa CH o N; Het representa una estructura cíclica que comparte dos átomos de carbono en las posiciones 4 y 5 con anillo de isoxazolina para formar un anillo fundido; X1, X2 representan, cada uno en forma independiente, H, halógeno o nitro, etc. El compuesto tiene excelente actividad herbicida contra malezas gramíneas,  2 malezas de hoja ancha, etc. incluso con bajos índices de aplicación, y tiene alta selectividad para los cultivos.
Patent CO-2022017101-A2 (CO)
Title: Derivados microbiocidas
Inventor: EDMUNDS ANDREW
IPC: C07D417/14
Filed: 2022-11-29
Abstract: RESUMEN DERIVADOS MICROBIOCIDAS Compuestos de fórmula (I)  (I) en donde los sustituyentes son como se definen en la reivindicación 1, útiles como pesticidas y, en especial, fungicidas.
Patent CO-2023009626-A2 (CO)
Title: Métodos de tratamiento del cáncer usando anticuerpos anti-tigit en combinación con anticuerpos anti-pd1
Inventor: ZHANG TONG
IPC: A61P35/00
Filed: 2023-07-19
Abstract: Se proveen métodos de tratamiento del cáncer o para aumentar, mejorar o estimular la respuesta inmunitaria con anticuerpos que se unen específicamente a TIGIT (inmunorreceptor de células T con dominios de Ig e ITIM, WUCAM o Vstm3) y fragmentos de unión a antígeno de estos, en combinación con un anticuerpo anti-PD1.
Patent WO-2004112990-A2 (WO)
Title: Dreheinführung
Inventor: GOHRES HANS-WERNER
IPC: F16L27/12
Filed: 2004-06-14
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Dreheinführung für die Kühlmittel-Zu- und/oder -Ableitung eines Rotationselementes, insbesondere einer Stütz- und/oder Transportrolle einer Stranggießanlage, bestehend aus einem in einem feststehenden Anlagenteil drehgelagerten und axial verschiebbar sowie abgedichtet geführten Rotor, der fluchtend zum Kühlkanal des Rotationselementes eine durchgehende axiale Bohrung aufweist und mit einer als Kompensator ausgebildeten elastischen Hülse und dem Rotationselement verbunden ist. Dabei umfasst der Kompensator außendruckbeaufschlagt und koaxial zur Rotorachse den Rotor und ist fluiddicht mit dem Rotor und dem Rotationselement verbunden.
Patent WO-2010028623-A2 (WO)
Title: Fussbodenbelag
Inventor: SCHULTE GUIDO
IPC: E04F15/02
Filed: 2009-09-01
Abstract: Fußbodenbelag bestehend aus einer Vielzahl von im Verbund verlegbaren Elementplatten (1), die an ihren Kopfseiten (2, 3) und an ihren Längsseiten (4, 5) Verriegelungsleisten (6, 7) besitzen, welche in der Montagelage bei in einem Belag benachbarten Elementplatten (1) miteinander in Eingriff gelangen, wobei in den Kopfseiten (2, 3) Nuten (19, 20) vorgesehen sind und wobei die Nuten (19, 20) zweier aneinander stoßender Kopfseiten (2, 3) fluchten und einen Sperrkanal (21) zur Aufnahme einer Kopffeder (22) ausbilden, wobei die Kopffeder (22) in einer der Nuten (20) vormontiert ist, die Kopffeder (22) über ein der Längsseite (5) der Elementplatte (1) zugewandtes Ende der Nut (20) vorsteht und durch Verschieben des überstehenden Endes (24) der Kopffeder (22) in die Nut (20) hinein teilweise von der einen Nut (20) in die korrespondierende Nut (19) der benachbarten Elementplatte (1) verlagerbar ist, wobei die die Kopffeder (22) aufnehmende Nut (20) wenigstens eine Ausnehmung (45) aufweist, in welcher die Auflauffläche (25) ausgebildet ist und in welche ein Nocken (43) der Kopffeder (22) eingreift und wobei die Kopffeder (22) gewellt ist, wobei ihre gewellten Seiten einer Dekorseite und einer Unterseite der Elementplatten (1) zugewandt sind. Dabei soll die Kopffeder (22) wenigstens einen ungewellten Bereich (30) aufweisen, welcher von den Enden (24) der Kopffeder (22) beabstandet zwischen zwei gewellten Bereichen (28, 29) angeordnet ist.
Patent WO-2011012117-A2 (WO)
Title: Absorbeur solaire et son procédé de production, collecteur solaire, installation solaire, lot de rattrapage et procédé de montage en rattrapage
Inventor: HERTLER GUENTER
IPC: F24S10/75
Filed: 2010-07-29
Abstract: L'invention concerne un absorbeur solaire pour un collecteur solaire (1), ainsi qu'un procédé de production pour un absorbeur solaire. L'absorbeur solaire selon l'invention comprend au moins un tube absorbeur (4) dans lequel circule un fluide solaire, ainsi qu'un revêtement d'absorption coopérant avec le tube solaire (4) et servant à l'absorption de l'énergie solaire incidente. Selon l'invention, le revêtement d'absorption est réalisé sous forme de film d'absorption (10) enveloppant au moins partiellement le tube absorbeur (4). L'invention concerne en outre un collecteur solaire (1) comprenant un absorbeur solaire, une installation solaire, un lot de rattrapage, ainsi qu'un procédé de montage en rattrapage.
Patent WO-2012136195-A2 (WO)
Title: Masque multi-usage
Inventor: MUELLER-SERTEN VOLKER
IPC: A61N7/00
Filed: 2012-04-05
Abstract: L'invention concerne un masque multi-usage pour le traitement de la peau du visage. Afin de faciliter la pénétration de produits cosmétiques dans la peau, le masque est doté de générateurs d'ultrasons. Dans d'autres modes de réalisation avantageux de ce masque, les générateurs d'ultrasons sont disposés sur des zones sélectionnées du visage et au moins un joint est prévu le long des bords du masque.
Patent WO-2018041306-A2 (WO)
Title: Procédé de détermination quantitative d'une distribution temporelle et spatiale de faisceaux lumineux dans un milieu dispersif
Inventor: MARUTZKY MICHAEL
IPC: G01N21/53
Filed: 2017-08-31
Abstract: L'invention concerne un procédé de détermination quantitative d'une distribution temporelle et spatiale de faisceaux lumineux dans un milieu dispersif à partir de la caractéristique de rayonnement d'une source lumineuse, comprenant les étapes suivantes : la détermination d'une direction de rayonnement (θ, φ) et d'une intensité lumineuse Ι(θ, φ) d'un des faisceaux lumineux et la définition d'un vecteur de rayonnement k au moyen de la direction (θ, φ) et de la valeur Ι(θ, φ) ; la détermination d'une distribution de l'intensité lumineuse l Impuls (α Impuls,  t) du vecteur de rayonnement k fonction de la dispersion, en fonction du temps de propagation de la lumière est d'une densité nébuleuse dans l'espace d'impulsion ; la transformation de la distribution de l'intensité lumineuse dans l'espace d'impulsion l Impuls (α Impuls,  t) en une distribution de l'intensité lumineuse dans l'espace local l ort (α Ort , t) fonction de la dispersion ; la détermination d'une intensité d'éclairage Ε(θρ, φρ, rp) d'un point d'observation (P) dans l'espace local à partir d'une intensité lumineuse Ι Ε (Θ, φ, rp) fonction de la distance et de l'intensité lumineuse dans l'espace local l ort (α Ort , t) fonction de la dispersion.
Patent WO-2013029631-A2 (WO)
Title: Détection d'enzymes par microfluidique
Inventor: KOCH JOERN ERLAND
IPC: G01N33/50
Filed: 2012-08-31
Abstract: L'invention concerne des méthodes mises en oeuvre par microfluidique destinées à détecter une enzyme, notamment une enzyme de modification de l'ADN, ainsi que des méthodes de détection d'une cellule, ou d'un microorganisme exprimant ladite enzyme. L'enzyme est détectée par mise à disposition d'un substrat d'acides nucléiques qui est spécifiquement ciblé par cette enzyme.
Patent WO-2005093693-A2 (WO)
Title: Anzeigevorrichtung
Inventor: TUMA JAN
IPC: G02F1/167
Filed: 2005-03-23
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Anzeigevorrichtung (1; 101) mit einer Vielzahl von Bildpunkten (2; 102) zum Anzeigen von Stand- und Bewegtbildern, alphanumerischen Zeichen oder dergleichen, wobei die Bildpunkte mittels einer Ansteuerelektronik einzeln oder gruppenweise ansteuerbar sind, und wobei die Anzeigevorrichtung (1; 101) ein erstes flächiges Substrat (3; 103) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass das erste flächige Substrat (3; 103) auf einer ersten Oberfläche (4; 104) mindestens bereichsweise von der ersten Oberfläche (4; 104) abstehende Haftverschlusselemente (5; 105) aufweist zum lösbaren Festlegen der Anzeigevorrichtung (1; 101) an einer Trägereinrichtung (7) durch Zusammenwirken der Haftverschlusselemente (5; 105) des ersten flächigen Substrats (3; 103) mit der Trägereinrichtung (7).
Patent WO-2005083363-A2 (WO)
Title: Dispositif de mesure pour determiner une position de maniere lineaire
Inventor: HAUCH JENS
IPC: G01D5/16
Filed: 2005-02-14
Abstract: L'invention concerne un dispositif de mesure (5) réalisant une évaluation linéaire, non tactile de la position d'un objet changeant de lieu, ledit dispositif comprenant un dispositif de champ (6) produisant un champ magnétique, lequel éprouve une élongation (x) correspondant au changement de lieu de l'objet, d'une position de base (x0) le long d'une trajectoire de mesure (2). La trajectoire de mesure (2) doit être formée par une trajectoire sous forme de bande (3) et présentant des propriétés magnétorésistantes, cette dernière étant mise en contact dans la longueur avec des bandes de résistance (4a, 4b) fabriquées dans des matériaux résistants. Des connecteurs (A à D) sont situés aux extrémités des bandes de résistance (4a, 4b), sur lesquels des signaux de mesure corrélés avec la position (x) du dispositif de champ (6) sont prélevés.
Patent WO-2006133764-A2 (WO)
Inventor: BIGIOI PETRONEL
IPC: H04N1/00
Filed: 2006-04-28
Abstract: Un procédé d'établissement d'une connexion jumelée entre des premier et deuxième dispositifs de support sur un réseau consiste à envoyer un premier message d'information sur le réseau, ce message incluant un identificateur qui contient une requête portant sur le jumelage des premier et deuxième dispositifs de support. Lorsqu'un deuxième message d'information est reçu en provenance du deuxième dispositif de support au cours d'une première période de temps prédéterminée, le premier dispositif retrouve un identificateur du deuxième dispositif et envoie un message de confirmation sur le réseau, ledit message incluant les identificateurs des dispositifs. Une connexion jumelée entre les dispositifs de support est effective suite à la réception, dans une deuxième période de temps prédéterminée, d'un message de confirmation correspondant, émanant du deuxième dispositif.
Patent WO-2007051805-A2 (WO)
Title: Utilisation de matieres specifiques de ceacam8 pour traiter des maladies auto-immunes, et procede de criblage de matieres induisant l'apoptose
Inventor: SINGER BERNHARD B
IPC: A61P19/06
Filed: 2006-10-31
Abstract: L'invention concerne l'utilisation de matières spécifiques de CEACAM8 en vue de fabriquer un médicament pour le traitement prophylactique ou thérapeutique de maladies auto-immunes humaines et/ou de la goutte. L'invention concerne aussi l'utilisation de matières spécifiques de CEACAM8 en vue d'induire l'apoptose in vitro. Elle concerne de plus un procédé de criblage de matières qui induisent l'apoptose et un procédé d'induction de l'apoptose dans des granulocytes humains.
Patent WO-2008006625-A2 (WO)
Title: Dérivés de l'urée et des diamines apparentées, procédés pour leur préparation, et leur utilisation
Inventor: DEPREZ PIERRE
IPC: C07D417/12
Filed: 2007-07-10
Abstract: L'invention concerne des composés de formule (I) : Z est >CH-, >C=CH- ou >N-, R1 et R2 sont facultativement substitués et sont identiques ou différents, et chacun représente un groupe aryle, un groupe hétéroaryle, ou Z, R1 et R2 forment une structure en anneau fusionnée de formule: selon laquelle A représente une simple liaison, ou une séquence de liaison, R3 représente l'hydrogène, un groupe choisi parmi : -AIkCOOR, -AIkNR7R8, -AIkCONR7R8, -AIkCOR9, -AIkSO2NR10R10', -AIkOR10, et -AIkS(O)nR10, AIk étant alkyle, R est l'hydrogène ou alkyle, R7 et R8 représentent chacun H, alkyle facultativement substitué, alkylaminoalkyle ou dialkylaminoalkyle facultativement substitué, ou CONR7R8 forme un hétérocycle facultativement substitué, et R10 et R10 sont un atome d'hydrogène, alkyle facultativement substitué, un groupe alkylaminoalkyle, un cycle facultativement substitué, facultativement espacés par un groupe AIk tel que défini, Q représente >C=0 ou >C=S, R5 est un atome d'hydrogène ou un alkyle, alkoxy, hydroxyalkyle, alkylthio, ou thioalkyle, p est 1, 2 ou 3, q est 0, 1 ou 2, R6 représente un groupe aryle ou hétéroaryle facultativement substitué, leurs sels et leurs esters, ceux-ci étant utiles sur le plan thérapeutique en tant que calcimimétiques.
Patent WO-2008037471-A2 (WO)
Title: Dispositif de navigation portable avec interface sans fil
Inventor: SIEREVELD MARTIN
IPC: H04W4/024
Filed: 2007-09-27
Abstract: Dispositif de navigation portable comprenant des moyens de traitement, un affichage graphique, une mémoire, des données cartographiques stockées dans ladite mémoire, des moyens de saisie utilisateur et des moyens de réception de signal pouvant recevoir un ou des signaux sans fil à partir desquels le processeur peut déterminer la position actuelle du dispositif et, conjointement avec des informations de destination requises entrées par l'utilisateur, effectuer des calculs de trajet et s'acquitter de fonctions de navigation ultérieure grâce au logiciel monté sur le dispositif. De plus, le dispositif de navigation portable est équipé d'un ou de plusieurs émetteurs-récepteurs de signaux sans fil capables d'établir des communications sans fil avec des dispositifs ou des systèmes tiers dotés d'émetteurs-récepteurs de signaux correspondants. Le logiciel du dispositif de navigation portable de l'invention est conçu pour établir une communication sans fil avec un dispositif tiers qui est constitué par un noeud, est équipé d'un émetteur-récepteur de signaux correspondant et fait partie d'un réseau zonal de contrôleur (CAN) de véhicule constitué d'une pluralité de noeuds, chacun de ces noeuds ayant une fonctionnalité représentée par un ou plusieurs signaux distribués au sein du réseau zonal CAN et reçus par au moins un dispositif tiers, et est caractérisé en outre en ce que le logiciel du dispositif de navigation portable comprend une ou plusieurs routines spécifiques à la fonctionnalité d'un ou de plusieurs desdits noeuds de manière à communiquer efficacement avec ledit noeud et utiliser sa fonctionnalité. Comme exemple de dispositifs tiers, on peut citer des modules de communication mains libres, des noeuds de passerelle et généralement tout sous-système de véhicule fournissant une quelconque fonction au véhicule. D'autres exemples sont fournis par des systèmes stéréo, des systèmes de gestion du moteur, des unités de commande de position de siège, des volants de direction multi-fonction, des affichages sur console et tableau de bord, des systèmes de navigation intégrés, et analogues. Avec cette invention, le dispositif de navigation portable peut soit interroger le réseau zonal de contrôleur et extraire des inforations d'un ou de plusieurs dispositifs formant des noeuds sur ce réseau pour affichage sur ledit dispositif ou amélioration du fonctionnement de ce dernier, soit commander un ou plusieurs dispositifs formant noeuds sur le réseau zonal de contrôleur ou déclencher un changement d'état dans ces dispositifs. La reconnaissance vocale est également possible pour le dispositif de navigation portable si un système de reconnaissance vocal existe au sein du réseau zonal de contrôleur. De plus, les instructions vocales fournies par le dispositif de navigation portable peuvent être diffusées par le système stéréo de l'automobile si ce dernier système est également connecté au réseau zonal du contrôleur à l'intérieur du véhicule.
Patent WO-2007093553-A2 (WO)
Title: Elektrische lampe mit haltequetschung für den leuchtkörper
Inventor: GOIHL RUPERT
IPC: H01K1/18
Filed: 2007-02-08
Abstract: Bei der erfindungsgemäßen Lampe (1), insbesondere einer Halogenglühlampe für Netzspannungsbetrieb, ist der Leuchtkörper an mindestens einer Halterungsstelle (9b) innerhalb des Lampengefäßes (2) zwischen einem zusammen- gequetschten Teilbereich der Lampengefäßwand eingequetscht.
Patent WO-2008017640-A2 (WO)
Inventor: WINKELMANN LUDWIG
Filed: 2007-08-03
Abstract: An adjustment device for clutches or gear locks, in particular of motor vehicles, comprising a motorized actuator and a bearing element that can be moved in a linear direction via this actuator and that forms a bearing and turning point for a lever. The bearing element (5) takes the form of an indexing slide (6) on which is arranged a fixed, threaded spindle (21) on which a permanently positioned nut (29) driven by the actuator (19) moves.
Patent WO-2008101592-A2 (WO)
Title: Feststellbremsmodul für druckmittelbetriebene bremsanlage
Inventor: BENSCH UWE
IPC: B60T13/38
Filed: 2008-02-01
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Feststellbremsmodul (10) für eine druckmittelbetriebene Bremsanlage eines Fahrzeuges mit einer Feststellbremsfunktion mittels wenigstens eines Federspeicherbremszylinders (12). Das Feststellbremsmodul (10) weist eine erste, druckmittelmengenverstärkende Ventileinrichtung (44) mit einem Einlass (46) auf, der mit einem Druckmittelvorratsbehälter (24) verbindbar ist, einem Auslass (50), der mit wenigstens einem Federspeicherteil (14) eines Federspeicherbremszylinders (12) verbindbar ist, und einem mit einer Steuerleitung (60) verbundenen Steuereingang (58). Ferner weist das Feststellbremsmodul (10) eine zweite Ventileinrichtung (76) auf mit wenigstens einem ersten, als Anhängersteuerventil-Anschluss dienenden Anschluss (78), der mit einem Anhängersteuerventil (22) zum Steuern einer Anhängerbremse verbindbar ist. Um ein Ventilkonzept für verschiedene Fahrzeugkonfigurationen bereitzustellen, insbesondere mit einer Streckbremsfunktion, ist ein am ersten Anschluss (78) der zweiten Ventileinrichtung (76) herrschender Druck unabhängig vom Druck im Druckmittelvorratsbehälter (24) sowie von einem am Auslass (50) der druckmittelmengenverstärkenden Ventileinrichtung (44) herrschenden Druck einstellbar.
Patent WO-2009012904-A2 (WO)
Title: Kompakte hochdruckfähige spiraldurchfluss-heizeinheit
Inventor: REICHL MARTIN
Filed: 2008-07-11
Abstract: Spiraldurchfluss-Heizeinheit für elektrische Geräte zur Bereitung von Heißgetränken aufweisend einen rohrförmigen Träger mit wenigstens einer elektrischen Heizleiterstruktur in Dickschichttechnik auf seiner Außenseite und je einem an seinen beiden Enden umlaufenden nach Außen weisenden Flansch, ein in dem rohrförmigen Träger angeordnetes Kernelement mit wenigstens einem auf der Mantelfläche des Kerns spiralförmig umlaufenden Steg, wobei zwei benachbarte Stegflanken mit der Mantelfläche eine Strömungsrille bilden, die nach Außen durch die Innenseite des rohrförmigen Trägers im Wesentlichen dicht zu einem Strömungskanal abgeschlossen ist, ein erstes und ein zweites Endstück mit je einem mit dem Strömungskanal kommunizierenden Anschluss, wobei die Endstücke jeweils an ihrem Ende des rohrförmigen Trägers mit dem Kernelement fest verbunden sind, und wobei die aus den Endstücken und dem Kernelement bestehende Einheit aus wenigstens zwei Teilen besteht, die mittels wenigstens einer Schnappverbindung miteinander in Eingriff stehen und mechanisch derart verspannt sind, dass zwischen dem rohrförmigen Träger und den jeweiligen Endstücken angeordnete Dichtungen mit einem ausreichenden Pressdruck belastet sind, sodass die Dichtungen wasser und dampfdicht sind.
Patent WO-2009015859-A2 (WO)
Inventor: KLUG PETER
IPC: C09K23/00
Filed: 2008-07-29
Abstract: The invention relates to alkoxylated phosphoric acid triesters of formula (I) wherein x, y and z respectively stand for a number between 51 and 200. The alkoxylated phosphoric acid triesters of formula (I) are characterised especially by advantageous thickening properties.
Patent WO-2009059779-A2 (WO)
Title: Reinigungs-/trocknungsvorrichtung für das reinigen und/oder trocknen von polstern und/oder flächen in einem kraftfahrzeug
Inventor: AHMAD ELJA
IPC: B60S3/00
Filed: 2008-11-07
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Reinigungsvorrichtung für das Reinigen von Polstern und/oder Flächen in einem Kraftfahrzeug. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Reinigungsvorrichtung zu schaffen, mit der ein Einsatz des Fahrzeugs nach durchgeführter Reinigung sofort ohne Hilfsmittel möglich ist. Gelöst wird die erfindungsgemäße Aufgabe dadurch, dass eine Trocknungsvorrichtung für die Oberfläche der Polster und/oder Flächen vorgesehen ist, die eine punktgenaue Trocknung der feuchten Oberfläche ermöglicht, dass in der Betriebseinheit ein Heißluftgebläse (15) vorgesehen ist, dass die Trocknungsvorrichtung (20) mit dem Heißluftgebläse (15) in der Betriebseinheit über ein Schlauchelement (23) verbunden ist, dass die Trocknungsvorrichtung (20) eine Abgabeelement (26) mit einer Abgabeöffnung (28) für von dem Heißluftgebläse (15) erzeugter Heißluft (27) aufweist.
Patent WO-2008135516-A2 (WO)
Title: Gasversorgungssystem und verfahren zur bereitstellung eines gasförmigen abscheidungsmediums
Inventor: NOELL OLIVER
IPC: C23C16/455
Filed: 2008-04-30
Abstract: Ein Gasversorgungssystem für eine Gasphasenabscheidungs-Reaktionskammer (48), insbesondere für eine CVD-Gasphasenabscheidungs-Reaktionskammer oder für eine PECVD-Gasphasenabscheidungs-Reaktionskammer, weist eine Gasversorgungseinrichtung (10) auf, wobei die Gasversorgungseinrichtung mindestens ein Heizelement (16) zum Erwärmen eines Abscheidungsmediums (20) und zur Überführung des Abscheidungsmediums in die Gasphase aufweist. Ferner weist das Gasversorgungssystem eine Gaszufuhreinrichtung zum Transport des gasförmigen Abscheidungsmediums von der Gasversorgungseinrichtung in die Gasphasenabscheidungs-Reaktionskammer auf, wobei die Gaszufuhreinrichtung am Übergang zur Gasphasenabscheidungs-Reaktionskammer ein Abdichtungselement (40) aufweist. Dadurch ist es möglich, ein Gasversorgungssystem für eine Gasphasenabscheidungs-Reaktionskammer zur Verfügung zu stellen, welches auch bei Abscheidungsmedien, die bei Raumtemperatur nicht im gasförmigen Zustand vorliegen, eine homogene Einspeisung in die Reaktionskammer ermöglicht.