baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-20080113979-A (KR)
Title: Guide load pin structure of caliper for brake
Inventor: HWANG DONG KUN
IPC: F16D65/095
Filed: 2007-06-26
Abstract: A guide rod fin structure of the caliper for the brake is provided to prevent the abrasion fault and noise judder due to the excessive caliper drag. A guide rod fin structure of the caliper for the brake comprises a carrier(10) in which it is fixed to the knuckle of the disk brake, and the guide rod hole is formed, a caliper housing it compresses pad in disc if the fluid pressure works and brake, a guide rod pin(30) guiding the movement of the caliper housing. The wedge(31a) is protruded to the longitudinal direction in the fin member(31) outer side of the guide rod pin and it is formed. The wedge groove inserted to the state where the outer side surface of wedge is contacted is formed in the guide rod hole.
Patent KR-20090000448-A (KR)
Title: Led module string
Inventor: KO DONG HYUN
IPC: G09F13/22
Filed: 2007-06-28
Abstract: An LED module string is provided to consecutively connect a plurality of LED modules which are connected between the power cord in which the power source is supplied as many as necessary, thereby using the LED modules simultaneously and easily exchanging each of the LED modules. In a first power source code(10), a first conductor and a second conductor with insulating sheath are parallely installed. A molding unit(13) is formed in the one-side end of the first power source code. A socket connector(14) is formed in the outer end of a molding unit. Electric power is connected from each conductor to the socket connector. In a second power cord(20), the first conductor and the second conductor with the insulating sheath are parallely installed. A molding unit(23) is formed in the one-side end of the second power cord. In the outer end of the molding unit, a plug connector which can be connected to the socket connector while being electrically connected from each conductor is formed. A socket is formed in the one side of an LED(Light Emitting Diode) module(30) into the same configuration as the socket connector. In the other surface of the LED module, the plug of the same configuration as the plug connector is formed. The socket connector and plug are electrically connected to each other. In the outer side surface one end of the LED module, an LED(31) is installed. The LED module is electrically connected with the socket and the plug.
Patent KR-20080005853-A (KR)
Title: Laser irraidiation method and device therefor
Inventor: KANASAWA SHOJI
IPC: H01L21/268
Filed: 2007-07-04
Abstract: A laser irradiation method and a laser irradiation apparatus are provided to prevent a stripe from being formed on a substrate to be processed by applying an irregular timing on the laser irradiation apparatus. A laser generator(1) outputs a laser beam. An optical element(2) changes inlet positions of the laser beam into at least two spots. Optical systems(3,4) irradiate the laser beam on a stripe pattern irradiation region. The position of the laser beam is changed along a long axis direction of the stripe pattern irradiation region. A moving mount(5) supports a semiconductor substrate and moves the semiconductor substrate along a short axis of the stripe pattern irradiating region. A converter(10) sequentially selects one of the laser beams. A conversion timing controller(8) irregularly changes a conversion timing of the converter.
Patent KR-20090005426-A (KR)
Title: Door belt molding for automobile and method for manufacturing the same
Inventor: PARK YONG JU
IPC: B60J5/04
Filed: 2007-07-09
Abstract: As a door of vehicle belt moulding and manufacturing method thereof silver, the extrusion molding times is decreased and is directly inserted without the part including the separate clip etc. in the door panel of the vehicles. While the manufacture and assembly are easy and the work productivity is enhanced, the manufacturing cost is cut down. A door of vehicle belt moulding(100) comprises the fixed body(110) is inserted in the panel of the door of vehicle; the glass contact rib(120) extended in the body to the door grass mounted to door into one body; and the cover which is exposed by the panel outside of door while it is inserted in the body and the cover is fixed. To the body and cover is the hard material, the glass contact rib is formed with the soft material quality, and the body and the glass contact rib characterize to be integrally formed with the double extrusion.
Patent KR-20090007023-A (KR)
Title: Fuel cell stack for vehicle
Inventor: KO JAE JUN
IPC: H01M8/02
Filed: 2007-07-13
Abstract: A fuel cell stack is provided to prevent the temperature degradation of a fuel battery cell near an end plate and to improve cooling starting by reducing the contact area between a current collector and an end plate by changing a structure of the end plate. A fuel cell stack for vehicles comprises a plurality of cells(15), a separator(14), a current collector(12) and an end plate(10). A plurality of grooves(11) is formed at the front side contacting an end plate and the current collector and is formed with an air layer between the end plate and the current collector.
Patent KR-20090012803-A (KR)
Title: Light emitting display device and method of manufacturing the same
Inventor: SUNG DONG YOUNG
IPC: H05B33/10
Filed: 2007-07-31
Abstract: A luminescent display device and a manufacturing method thereof are provided to prevent dielectric breakdown due to static electricity by increasing thickness of an insulating layer between a source supply line and a test signal line. A plurality of first signal lines and a plurality of second signal lines are formed on a substrate in order to be crossed. A plurality of luminescent devices are connected between a plurality of first signal lines and a plurality of second signal lines. A source supply line(118d) supplies power supply voltage to the luminescent device. Each test signal line(114c) is connected to one among the first signal line and the second signal line. The test signal line is opened in the part crossed toward the source supply line. The opened both ends of the test signal line are connected to a conductive region(110b) through a contact hole(113). The contact hole is formed in an insulating layer between the source supply line and the test signal line. The distance between the opened both ends of the test signal line is longer than the width of the source supply line.
Patent KR-20090013343-A (KR)
Title: Viruses having modified surface
Inventor: HAAM SEUNG JOO
IPC: C12N7/00
Filed: 2007-08-01
Abstract: A virus having modified surface is provided to improve the targeting specific to breast cancer cell, increase the cell permeation efficiency, and reduce the immune response caused by the virus vector, thereby developing the gene therapy about the breast cancer. The breast cancer cell-targeting virus has the surface modified by the anti-HER2/neu antibody and PEG(polyethylene glycol). The pharmaceutical composition for treatment of breast cancer comprises a pharmaceutically effective amount of the breast cancer cell-targeting virus has the surface modified by the anti-HER2/neu antibody and PEG and pharmaceutically acceptable carriers.
Patent KR-20090015227-A (KR)
Title: High voltage generator used in memory device
Inventor: KIM SU HYUN
IPC: H01L27/108
Filed: 2007-08-08
Abstract: A high voltage generator of the semiconductor circuit is provided to steadily generate the high voltage and prevent the deterioration of current delivery efficiency by arranging the pumping capacitor near the controlling part. A plurality of pumping capacitors performs the charge pumping by a plurality of clock signals. The control and transferring section(30) distributes the clock signal to a plurality of pumping capacitors according to the phase. The electric charge charged in the pumping capacitor is delivered. The pumping capacitor is arranged around the control part. The pumping capacitor comprises the first pumping capacitor(C1) or the fifth pumping capacitor(C5).
Patent KR-20070085196-A (KR)
Title: Band-form pipe hanger
Inventor: JUNG JANG YOUNG DAM
IPC: F16L3/133
Filed: 2007-08-07
Abstract: A band type pipe hanger is provided to use the pipe hanger in a pipeline for fire fighting equipment, a pipeline for cooling/heating system, and a duct for air conditioning. A band type pipe hanger includes a nut(10), a spring(20), a pipe locking lever(30) assembled through an insertion opening(40a) of a hanger body, and a band(50) fixed through a band insertion opening(51) formed at a lower end of the hanger body. The nut is assembled into a nut insertion opening(10a) through the insertion opening. The pipe locking lever, the spring and the nut are inserted through the insertion opening in sequence. The pipe locking lever and a locking lever spring insertion opening have the same size, and the locking lever is movable in a vertical direction along a fixing lever channel(30a). A band is assembled to a band insertion opening formed at the lower portion of a hanger body(40).
Patent KR-20080018102-A (KR)
Title: Light source apparatus
Inventor: FURUUNE TAKAYUKI
IPC: H01J61/02
Filed: 2007-08-10
Abstract: A light source apparatus is provided to detect an installing state of a short arc type discharge lamp for exposure in a semiconductor and a liquid crystal panel. A lamp includes a tap(20) to supply electric power by protecting and supporting mechanically a valve(10) of a light emitting part(9) for radiating light. A tap holder(30) is formed to protect and support the lamp by using the tap. A lamp detection unit detects an installing state of the tap at the tap holder by using the light. A control unit controls a lighting state and a non-lighting state of the lamp according to an output of the lamp detection unit. The lamp detection unit includes a light source for detection, an optical transmission line for guiding the light from the light source for detection to the tap, and a light receiving part for sensing a change of the light from the light source by the presence of the tap.
Patent KR-20090019352-A (KR)
Title: 차량용 공기조화장치 및 그 제어방법
Inventor: YANG DOO WON
IPC: B60H1/12
Filed: 2007-08-20
Abstract: 본 발명은 공기조화장치에 관한 것으로서, 특히 차량 내부로 토출되는 공기의 온도, 및 풍향을 용이하게 인지할 수 있도록 하는 차량용 공기조화장치 및 그 제어방법에 관한 것이다. 
     본 발명은, 인스트루먼트 패널에 구비되어 차량 내부로 공기를 분사토록 하는 토출구, 상기 토출구에 유동 가능하게 설치되어 토출되는 공기의 방향을 조절하는 루버, 및 상기 토출구를 통해 배출되는 공기의 온도에 따라 단계적인 세기의 빛이 발광되는 표시부를 포함하는 것을 특징으로 하는 차량용 공기조화장치를 제공한다. 
       
     차량, 공기조화장치, 루버, 온도감지센서, 제어부
Patent KR-20090024319-A (KR)
Title: Ultrasound system and method for forming ultrasound image
Inventor: HYUN DONG GYU
IPC: A61B8/00
Filed: 2007-09-04
Abstract: An ultrasonic system and a method for forming an ultrasonic image are provided to distinguish the change of the speed of the subject by forming a three dimensional image for the change of the speed of the subject by using an image processing unit. An ultrasound system(100) includes a transceiver(110), a signal processing unit(140), an image processing unit(160) and a display unit. The transceiver transmits the ultrasonic signal to the subject according to each scanning line. The transceiver receives the ultrasonic signal reflected from the subject and forms the receiving signal. The signal processing unit forms the image signal based on the receiving signal. The image signal includes a lot of speed information of the subject obtained in each point and the position information in various points of each scanning line. The image processing unit forms the three-dimensional image for the change of the speed of the subject based on the image signal. The display unit displays the three-dimensional image.
Patent KR-20090024347-A (KR)
Title: Method for exctracting frequent access pattern of mobile user with time
Inventor: KIM UNG MO
IPC: H04L12/28
Filed: 2007-09-04
Abstract: A frequent behavior pattern sampling method of a mobile user according to a time for extracting a useful behavior pattern is provided to extract the useful behavior pattern by using a mining method and offer various application systems through the extracted behavior pattern information. A time stamp classifying the day into the regular time interval unit is defined(ST100). The integrated log data including the time slot behavior pattern about each mobile user is generated(ST110). An integrated log data is stored in the integrated data base. The integrated data base is scanned. Location information having the support rate of the critical over among the behavior pattern of integrated log data is extracted. And the header table is generated(ST120). The location information tree about the location information pattern included in the behavior pattern of integrated log data is comprised based on the header table(ST130). The service information tree about the service information pattern according to each location information pattern is comprised(ST140).
Patent KR-20080026067-A (KR)
Title: Method for re-registering an object to be aligned and storage medium storing a program for executing the method
Inventor: KAGAMI FUMITO
IPC: H01L21/66
Filed: 2007-09-19
Abstract: A method for re-registering an object to be aligned and a storage medium storing a program for executing the method are provided to significantly reduce time required for re-registering by using previously registered photographing conditions of previous image information. A method for re-registering at least one set of image information including registered position data and photographing conditions of an object which has been registered and captured by an imaging unit, the method comprises the steps(S11-18) of: automatically moving at least one of the object or the imaging unit, based on the position data of image information to capture image of the object by the imaging unit; and re-registering the object by using the previously registered photographing condition of the image information.
Patent KR-20090032666-A (KR)
Title: Apparatus for making etching area on substrate
Inventor: PARK CHUN SEONG
IPC: H01L21/68
Filed: 2007-09-28
Abstract: An apparatus for forming an etching region on a substrate is provided to easily perform the loading and unloading process of substrate by forming an isolation space which is able to be opened and closed by the operation of two chamber cases. A chamber part(4) is located in the inside of a frame(2). The chamber part is divided into the first chamber case(C1) and the second chamber case(C2). The first chamber case and the second chamber case are made of the box type including the internal space(S1, S2) having one side which is opened. The first chamber case is combined with the second chamber case by the first driving part (M1). A soft mold(6) is located inside the chamber part. The soft mold is attached to the substrate(G) in the imprint mode. The soft mold has the pattern surface classifying the etched and non-etched regions. The soft mold is located in the enclosure of the chamber part. A stage(10) has the loading plane for loading the substrate.
Patent KR-20090034624-A (KR)
Title: Apparatus and method for encoding image using a psycho-visual characteristic
Inventor: LEE SANG JO
IPC: H04N19/85
Filed: 2007-10-04
Abstract: An apparatus and a method for encoding image by using a color matching function are provided to encode a range capable of being recognized in consideration of the color matching function. An error calculating unit(110) calculates error about reference pixel value corresponding to each pixel of an evaluation unit(100). A coding range determining unit determines the range encoded among the error calculated in the error calculation unit. An encoder(130) encodes error calculated in the error calculation unit corresponding to the range determined on the coding range decision unit.
Patent KR-20090038985-A (KR)
Title: Apparatus and method for testing level of radio frequency signal
Inventor: KWAG JUNG YOUNG
IPC: G01R23/02
Filed: 2007-10-17
Abstract: An apparatus and method for testing level of a radio frequency signal is provided to reduce a cost for constructing a test environment by testing radio frequency of an optical module with a simple digital device. A radio frequency power detection unit(110) converts an inputted radio frequency into a voltage level signal. An analog to digital converter(120) converts the voltage level signal into the digital value. The radio frequency level converter(140) converts the output of the radio frequency level into the radio frequency level output value by using each frequency band radio frequency level table. A reference level setting unit compares the output value of converted radio frequency level with a reference value stored of a predetermined reference optical module. A display unit(170) displays a comparison result of the optical module.
Patent KR-20090040110-A (KR)
Title: Spindle brake apparatus for machine tool
Inventor: KIM SUNG HOON
IPC: B23Q5/00
Filed: 2007-10-19
Abstract: A spindle brake apparatus for a machine tool is provided to prevent noise and oscillation due to the high speed rotation of a spindle. A spindle brake apparatus for a machine tool comprises a first and second clamp members(20,30) reciprocating in order to clamp a brake disk(10); a T-shaped block(40) connecting the first and second clamp member; a coupling pin(50,51) joining the first and second clamp member to a head part(41) of a block; a cylinder rod(71) advancing and retreating, installed in a cylinder; a first coupling pin(80) connecting the first clamp member and the cylinder rod; a cylinder bracket(90) in which a cylinder is mounted on its one side; and a second coupling pin(100) fastening the second clamp member and the cylinder bracket.
Patent KR-20090044873-A (KR)
Inventor: CHOI CHANG HO
IPC: G09F11/02
Filed: 2007-11-01
Abstract: 본 발명은 회전간판용 텐션조절장치에 관한 것으로, 일측이 개방되며 내측에 기다란 이동공간부(11)가 마련된 케이스(10)와, 상기 케이스(10)의 이동공간부(11) 내측에 길이방향으로 글라이딩 가능하게 삽입되고 지지로울러(5)의 회전축의 양단을 각각 지지하는 지지수단(30, 40)을 갖는 가이드블록(20)과, 상기 가이드블록(20)을 슬라이딩시키는 슬라이딩 기구(24, 60)과, 상기 지지수단(30)을 본체(1)의 외측방향으로 탄지하는 탄지수단(50)으로 이루어짐으로써, 지지로울러(5)를 상기 본체(1)의 외측방향으로 탄지함으로써 상기 아크릴 시트(3)를 팽팽하게 유지시키는 것을 특징으로 한다. 따라서, 롤형태의 아크릴시트 교체시 조절볼트에 의한 간단한 조작을 통해 아크릴시트를 불가피하게 절단하지 않고서도 용이하게 교체할 수 있는 장점이 있으며 또한 가이드블록에 내설된 스프링에 의해 아크릴시트의 장력조절이 가능함에 따라 상기 아크릴시트의 정확한 회전이 보장 가능한 매우 유용한 발명이다. 
       
     	회전간판, 아크릴시트, 텐션조절장치
Patent KR-20090046200-A (KR)
Inventor: YUN JU HO
IPC: G09G3/36
Filed: 2007-11-05
Abstract: 본 발명은 액정디스플레이 TV의 APL을 검출하고 이에 따라 백라이트의 밝기를 보정해 주어 인간의 눈에 자극하는 광량(光量)을 눈의 피로가 생기지 않도록 하는 액정디스플레이의  눈부심 방지 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 영상 평균치(APL: Average Picture Level)에 따라 백라이트의 밝기를 보정하는 액정디스플레이의 눈부심 방지 장치에 있어서, 액정디스플레이의 APL을 검출하는 APL 검출부; 상기 APL 검출부에서 검출된 APL값에 따라 백라이트의 밝기를 일정하게 반비례하여 증가 또는 감소시키고; 상기 APL값의 감소에 따라 상기 백라이트의 밝기를 증가시키되, 미리 설정된 기준 구간에 대하여 상기 백라이트의 밝기를 소정 밝기로 제한(Limit)시키는 제어부; 및 상기 제어부의 제어에 따라 백라이트의 밝기를 조절하여 구동하는 백라이트 구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 
       
     영상, 밝기, 백라이트, 액정디스플레이,  LCD, APL, 광량
Patent KR-20090046611-A (KR)
Inventor: SHIN HYUN HO
IPC: G01N17/02
Filed: 2007-11-06
Abstract: 본 발명에 따른 부식진단장치는 콘크리트 구조물 내부에 배치되는 감지구조물; 상기 감지구조물과 연결되어 콘크리트 구조물의 외부까지 형성되는 연결선; 상기 연결선의 단부에 형성되는 단자부를 포함한다.  
     또한 본 발명에 따른 콘크리트 구조물 부식진단방법은 콘크리트 구조물을 시공하면서 상기 콘크리트 구조물 내부에 감지구조물을 설치하는 단계; 상기 감지구조물에 연결되며, 상기 콘크리트 구조물 외부에 까지 형성되는 연결선을 인출하는 단계; 상기 연결선의 단부에 단자부를 마련하는 단계; 상기 단자부에 측정장치를 연결시켜 콘트리트 구조물의 내부부식을 측정하는 단계를 포함한다.   
     따라서 본 발명에 의해 제조된 부식진단장치는 전기저항 혹은 광신호 전달 저항이 부식에 의하여 변화하는 물질로 형성된 감지구조물(예로써 선, 루프, 망등)을 콘크리트 시공 시에 콘크리트 내부에 함께 설치하고 연결선을 통해 콘크리트 구조물 외부로 단자를 인출하여, 콘크리트 구조물의 내구성 평가가 필요한 임의 시점에 도달하였을 때, 감지구조가 나타내는 전기저항 혹은 광신호 전달저항을 측정하고 이전의 데이터와 비교를 함으로써 콘크리트구조물 내부의 손상이나 노후 정도를 손쉽게 진단할 수 있는 효과가 있다.
Patent KR-20090046612-A (KR)
Inventor: LEE SANG TAE
IPC: H01L21/60
Filed: 2007-11-06
Abstract: 본 발명은 와이어 본딩 방법에 관한 것이다. 
     본 발명의 와이어 본딩 방법은 본딩지점의 준비위치로 본딩장치를 이동하는 단계; 상기 본딩지점을 향하여 상기 본딩장치를 하강하는 단계; 상기 하강단계에서 발생하는 포지션 신호 값을 감지하는 단계; 상기 하강단계에서 발생하는 포지션 신호 값과, 기 설정된 포지션 신호 값을 비교, 판단하는 단계; 판단 결과, 상기 하강단계에서 발생하는 포지션 신호 값이 상기 기 설정된 포지션 신호 값보다 작으면, 상기 하강단계에서 발생하는 포지션 신호 값을 계속 감지하고, 만약, 상기 하강단계에서 발생하는 포지션 신호 값이 상기 기 설정된 포지션 신호 값보다 같거나 크면, 상기 본딩장치의 와이어가 상기 본딩패드에 터치한 것으로 추정하고, 이벤트 신호를 발생하여 초음파를 발생하는 단계; 및 초음파 발생에 의하여 본딩 작업을 수행하는 단계를 포함한다. 
       
     포지션 신호 값, 초음파 발생, 프리 터치 포인트
Patent KR-20090047614-A (KR)
Inventor: SON YONG HOON
IPC: H01L27/11582
Filed: 2007-11-08
Abstract: 수직형 반도체 소자 및 그 제조 방법에서, 수직 스트링을 갖는 비휘발성 메모리 소자는 기판 상에 구비되는 필러 형상의 단결정 반도체 패턴과, 상기 단결정 반도체 패턴의 측면에 일정 간격을 가지면서 적층되는  링 형상의 제1 내지 제n 층(n은 2이상의 자연수) 열 산화막 패턴과, 상기 제1 내지 제n 층 열 산화막 패턴 상에 구비되는 전하 저장막 패턴과, 상기 전하 저장막 패턴 상에 구비되는 블록킹 절연막 및 상기 블록킹 절연막 상에 구비되고, 상기 제1 내지 제n 층 열 산화막 패턴과 각각 대향하도록 배치되는 제1 내지 제n 층 콘트롤 게이트 전극 패턴들을 포함한다. 상기 비휘발성 메모리 소자는 수직 방향으로 셀이 적층됨으로써 높은 집적도를 갖는다.
Patent KR-20080046564-A (KR)
Title: Method and system for controlling volume settings for multimedia devices
Inventor: KRIG SCOTT
IPC: H04N5/60
Filed: 2007-11-08
Abstract: A method and a system of controlling volume settings for multimedia devices are provided to control a volume set by using a reproducing volume set when changing a channel and a program. A system of controlling operation of a multimedia device includes at least one processor. At least one processor adjusts reproducing volume of multimedia content for a selected channel based on a determined identity of the selected channel providing the multimedia content and a determined identity of a program associated with the multimedia content. At least one processor tunes to the selected channel. At least one processor stores the adjusted reproducing volume of the channel indicating the multimedia content in a memory. The determined identity of the channel providing the multimedia content is stored in the memory.
Patent KR-20090050460-A (KR)
Inventor: MOON YOUNG SU
IPC: H04N9/64
Filed: 2007-11-15
Abstract: 본 발명은 이미지 처리 장치 및 방법에 관한 것으로, 이미지 센서 베이어(Bayer) 영상에서 계산되는 에지 방향 정보를 기반으로 한 인접 픽셀간의 컬러 밝기값 차이를 정의한 4방향별 영상 구배(Image Gradient) 정보를 이용하여 잡음(Noise) 제거 처리와 보간(Interpolation) 처리를 동시에 통합 수행함으로써 화질 및 속도를 개선할 수 있도록 한 것이다. 
       
     이미지 처리, 잡음 제거, 보간, 이미지 센서,
Patent KR-20090052738-A (KR)
Inventor: HAN SANG WON
IPC: E04B5/40
Filed: 2007-11-21
Abstract: 본 발명은 트러스 거더 일체형 슬래브 거푸집 구조에 관한 것으로서, 특히  슬래브 거푸집 패널이 트러스 거더의 하부에 결합구에 의해 이격되게 매달리도록 결합되어지되, 상기 결합구가 하부철근에 지그재그 형태를 갖도록 결함시킴으로써 보다 안정적인 결합이 가능하면서도 설치 및 해체 작업이 용이하도록 하며, 상기 트러스 거더의 양측 단부 하부에 지지구를 설치함으로써, 상기 트러스 거더가 지지체에 안전하게 지지되어지도록 구성되도록 한 것으로, 슬래브 거푸집 패널이 트러스 거더의 하부에 다수개의 결합구에 의하여 이격되게 매달리어지도록 결합되어지되, 상기 슬래브 거푸집 패널에 형성되는 다수개의 통공은 상기 하부철근에 대응되는 위치에 형성되어지고, 상기 일측의 하부철근에 대응되는 위치에 형성된 통공은 타측의 하부철근에 대응되는 위치에 형성된 통공과 그 위치가 서로 엇갈리도록 지그재그형태로 형성되어, 상기 결합구가 상기 하부철근에 지그재그형태를 갖도록 결합되며, 상기 트러스 거더의 양측 하단부에는 상기 일측의 하부철근과 타측의 하부철근에 연결되어지도록 지지구가 설치되는 것을 특징으로 한다. 
       
     트러스 거더, 지지구, 결합구, 지그재그
Patent KR-20090053137-A (KR)
Inventor: JO SOO BEOM
IPC: H01L21/027
Filed: 2007-11-22
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 패턴의 제거방법은, 이온 주입을 위해 사용된 마스크 패턴을 상기 마스크 패턴이 형성된 박막으로부터 제거하는 방법에 있어서, 1차 산소 플라즈마 에싱(ashing)방법으로 상기 마스크 패턴의 일부를 제거하고, 스트리퍼를 이용하여 상기 마스크 패턴의 나머지 부분을 상기 박막으로부터 제거하고 그리고 2차 산소 플라즈마 에싱 방법으로 잔류하는 마스크 패턴을 제거한다. 
       
     감광막, 마스크 패턴, PR 스트립, 산소 플라즈마 에싱, 이온 주입
Patent KR-20090053543-A (KR)
Inventor: SHIM SEOK HEE
IPC: G02F1/13
Filed: 2007-11-23
Abstract: 본 발명에 따른 기판합착장치는 상부챔버, 상기 상부챔버에 접하여 합착공간을 형성하는 하부챔버, 상기 상부챔버의 하방에 배치되며 제 1기판이 부착되는 상부척, 상기 하부챔버의 상면에 함입되어 상기 하부챔버와 일체로 형성되며 제 2기판이 부착되는 하부척, 상기 상부챔버의 상방에 배치되며 상기 제 1기판의 위치를 조절하는 위치조절수단 및 상기 상부챔버의 상방에 설치되어 상기 합착공간에 진공압을 제공하는 배기부를 포함한다. 
       
     상부챔버, 하부챔버, 상부척, 하부척, 위치조절수단, UVW 테이블
Patent KR-20090054235-A (KR)
Inventor: LEE DOO YOUL
IPC: H01L21/027
Filed: 2007-11-26
Abstract: 셀프 얼라인 더블 패터닝법을 사용한 다마신 패턴 형성방법 및 이를 위한 포토마스크 레이아웃 추출 방법을 제공한다. 상기 방법은 기판 상에 피식각 절연막을 형성하는 단계를 포함한다. 상기 피식각 절연막 상에 복수 개의 서로 평행한 제1 하드 마스크 패턴들을 형성한다. 상기 제1 하드 마스크 패턴들의 상면 및 측벽을 덮는 희생막을 형성한다. 이 때, 상기 제1 하드 마스크 패턴들의 측벽들 상에 형성된 상기 희생막의 서로 마주보는 부분들 사이에 갭이 잔존한다. 상기 갭 내에 제2 하드 마스크 패턴을 형성한다. 상기 제1 하드 마스크 패턴들과 상기 제2 하드 마스크 패턴 사이의 상기 희생막을 식각하여 상기 피식각 절연막을 노출시킨다. 상기 하드 마스크 패턴들을 마스크로 하여 상기 피식각 절연막을 식각하여 상기 피식각 절연막 내에 트렌치들을 형성한다. 상기 트렌치들 내에 도전막을 충전하여 도전 라인들을 형성한다.