baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent WO-2021256742-A1 (WO)
Title: Electronic device comprising printed circuit board
Inventor: KIM JUNGJOON
IPC: H05K3/34
Filed: 2021-06-02
Abstract: An electronic device according to an embodiment may comprise a first printed circuit board including a specified area. The first printed circuit board may comprise at least one first pad and at least one second pad formed in the specified area, wherein when a first radio frequency (RF) front end module is disposed in the specified area of the first printed circuit board, at least one first pad is in contact with the first RF front end module and at least one second pad is not in contact with the first RF front end module, and when a second RF front end module is disposed in the specified area of the first printed circuit area, at least one first pad and at least one second pad are in contact with the second RF front end module. Other embodiments may be possible.
Patent WO-2022065655-A1 (WO)
Inventor: LEE CHAN KYU
IPC: H01M50/20
Filed: 2021-07-23
Abstract: A battery module according to one embodiment of the present invention comprises: a battery cell stack in which a plurality of battery cells are stacked; a first L-shaped frame which accommodates the battery cell stack and which has an upper surface and a first side surface; and a second L-shaped frame which accommodates the battery cell stack and which has a lower surface and a second side surface, wherein the first L-shaped frame and the second L-shaped frame encompass four surfaces of the battery cell stack, any one of the first and second L-shaped frames has protrusions, the other thereof has grooves formed at positions corresponding to the protrusions, and the protrusions and the grooves are engaged with each other so that the first and second L-shaped frames are coupled to each other.
Patent WO-2022031060-A1 (WO)
Title: Multiple speaker speech synthesis method and device, using artificial neural network
Inventor: CHANG JOON HYUK
IPC: G10L13/02
Filed: 2021-08-04
Abstract: A multiple speaker speech synthesis method using an artificial neural network, according to one embodiment, may comprise the steps of: generating and storing a speech-trained model for a plurality of users, the speech-trained model being generated by training a convolutional neural network of the speech-trained model on the basis of speech data of the plurality of users; by using a speaker recognition model, generating speaker vectors for a new user who has not been learned and the plurality of pre-learned users; according to pre-set criteria, determining a speaker vector, among the speaker vectors of the plurality of pre-learned users, having the most similar relation to the speaker vector of the new user; and generating and learning a speaker embedding of the new user by setting a speaker embedding value of the user of the determined speaker vector as an initial value, and training the convolutional neural network of the speech-trained model on the basis of speaker data of the new user.
Patent WO-2022055167-A1 (WO)
Inventor: LEE SOOYEON
IPC: G06T9/40
Filed: 2021-08-31
Abstract: 실시예들에 따른 포인트 클라우드 데이터 전송 방법은 포인트 클라우드 데이터를 인코딩하는 단계; 및 상기 포인트 클라우드 데이터를 포함하는 비트스트림을 전송하는 단계를 포함할 수 있다. 또한, 실시예들에 따른 포인트 클라우드 데이터 전송장치는 포인트 클라우드 데이터를 인코딩하는 인코더; 및 상기 포인트 클라우드 데이터를 포함하는 비트스트림을 전송하는 트랜스미터; 를 포함할 수 있다.
Patent WO-2022080847-A1 (WO)
Title: Plvap를 유효성분으로 포함하는 망막 또는 맥락막 질환의 예방 또는 치료용 약학적 조성물
Inventor: LEE JUNYEOP
IPC: C12N15/85
Filed: 2021-10-13
Abstract: 본 발명은 PLVAP를 유효성분으로 포함하는 망막 질환의 예방 또는 치료용 약학적 조성물 등에 관한 것으로, 본 발명자들은 PLVAP의 감소가 맥락막혈관의 초미세구조의 변화를 초래하여 망막변성을 유발할 수 있음을 기초로 하여, PLVAP 플라스미드 DNA를 망막 질환 동물모델에 투여함에 따라 맥락막혈관의 구조와 기능을 유지하면서, 맥락막혈관의 정상적인 기능 유지에 중요한 천공을 증가시키는 효과를 나타냄을 확인하였다. 따라서, PLVAP 단백질 또는 유전자를 망막 또는 맥락막 질환의 치료에 유용하게 사용할 수 있을 것으로 기대된다.
Patent WO-2022114649-A1 (WO)
Inventor: SHINOHARA NOBUHIKO
IPC: A47J36/32
Filed: 2021-11-16
Abstract: Est prévu : un appareil de cuisson qui permet de cuire automatiquement un matériau alimentaire dans un plat avec une sensation en bouche et un goût préférés de l'utilisateur sans exiger de l'utilisateur la réalisation d'opérations compliquées ; et un procédé de commande de celui-ci. L'appareil de cuisson selon un mode de réalisation comprend : une chambre de cuisson ; une unité de chauffage qui chauffe l'intérieur de la chambre de cuisson ; une unité de détection de température qui est placée à l'intérieur de la chambre de cuisson pour détecter la température d'un matériau alimentaire lorsque le matériau alimentaire est placé dans la chambre de cuisson ; et un processeur qui détermine des conditions comprenant un taux d'élévation de température cible et une température intérieure cible souhaitée sur la base du type et de la taille du matériau alimentaire, et règle la sortie de l'unité de chauffage sur la base de la température intérieure du matériau alimentaire qui est déterminée sur la base de la température du matériau alimentaire, détectée par l'unité de détection de température, et des conditions ci-dessus.
Patent WO-2022169141-A1 (WO)
Inventor: LEE SOONHO
IPC: H04L67/60
Filed: 2022-01-20
Abstract: 본 문서에 개시된 다양한 실시예에 따른 전자 장치는, 통신 모듈, 메모리 및 상기 통신 모듈 및 상기 메모리와 작동적으로 연결된 적어도 하나의 프로세서를 포함하고, 상기 프로세서는, 상기 통신 모듈을 제어하여 외부 전자 장치와 Wi-Fi 다이렉트 연결을 통해 상기 외부 전자 장치가 그룹 오너로 동작하고 상기 전자 장치가 그룹 클라이언트로 동작하는 다이렉트 통신 그룹을 생성하여 무선 통신을 수행하고, 상기 다이렉트 통신 그룹을 통한 무선 통신과 관련한 상기 프로세서 및 상기 통신 모듈 중 적어도 하나의 동작 상태 변경에 기반하여 상기 다이렉트 통신 그룹의 동작 스케줄 변경을 요청하는 메시지를 상기 그룹 오너인 외부 전자 장치로 전송하고, 수신되는 동작 스케줄 정보에 따라 상기 통신 모듈을 제어하여 상기 그룹 오너인 외부 전자 장치와 무선 통신을 수행하도록 설정될 수 있다.
Patent WO-2023145982-A1 (WO)
Inventor: BAEK WOON KI
IPC: B25B23/00
Filed: 2022-01-25
Abstract: The present invention relates to a spiral screwdriver. In the spiral screwdriver according to the present invention, a spiral groove of a ball nut is coupled to a hexagonal nut disposed at the rear end of a moving rod constituting a ball screw, so as to prevent idling of the ball screw, and a driver tool is coupled to an assembling concave groove of the moving rod and thus can perform tightening and loosening of assembly screws. Furthermore, a ball nut housing may be pulled upward and moved by the compression force of an elastic spring and the rotation force of a steel ball by the spiral groove of a screw shaft and the ball nut, and the ball nut housing having been moved upward may be moved downward by the restoring force of the elastic spring, so that the assembly screws can be rapidly fastened or loosened by one hand. Therefore, present invention has excellent workability.
Patent WO-2023048349-A1 (WO)
Inventor: YI SANG HO
IPC: H02K3/26
Filed: 2022-02-14
Abstract: 테이프(tape) 형태의 플렉서블(flexible) 기판이 원통형으로 권취되어 제조되는 코어리스 또는 슬롯리스 브러시리스 모터용 코일을 제공한다. 플렉서블 기판은 길이 방향을 따라 복수의 구획으로 구분되며, 각 구획의 앞면과 뒷면에는 각각 나선형의 앞면 회로 및 뒷면 회로가 인쇄된다. 이에 따르면 제조 공정에 수작업 비율이 감소하여, 불량률이 낮고 균일한 품질의 모터용 코일을 제조할 수 있게 된다. 따라서, 모터의 제조 효율이 상승하여 제조 단가가 감소하게 된다. 또한, 모터의 주문형 생산이 용이해져서, 다품종의 맞춤형 제조가 필요한 사례에 적용이 용이하게 된다. 나아가, 정밀한 기계 제조 공정을 통해 종래 기술에 따른 모터보다 소형화된 모터의 제조가 가능하다.
Patent WO-2022177270-A1 (WO)
Title: 비침습적 혈관촬영장치
Inventor: KIM KI HOON
IPC: A61B5/107
Filed: 2022-02-15
Abstract: 본 발명은 비침습적 혈관촬영장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 동정맥루, 하지정맥루를 포함한 혈관 상태 확인 및 수술 중 이동 및 파지 조작이 용이한 상태에서 비침습적으로 혈관 검사를 수행할 수 있도록 하는 레이저 카메라를 이용한 비침습적 혈관촬영장치에 관한 것이다.
Patent WO-2022260246-A1 (WO)
Title: Ultrasound apparatus and ultrasound system comprising same
Inventor: KIM JIN HYUN
IPC: G01N29/44
Filed: 2022-03-11
Abstract: An ultrasound apparatus according to embodiments of the present invention may comprise a control unit and an ultrasound transceiving unit. The control unit may divide a plurality of elements included in an ultrasound array into a plurality of sector elements, provide a transmission control signal for selecting one of the plurality of sector elements as a transmission sector, and provide a reception control signal for selecting one of the plurality of sector elements as a reception sector. The ultrasound transceiving unit may, according to the transmission control signal and the reception control signal, select a transmission sector from among the plurality of sector elements included in the ultrasound array, transmit a transmission ultrasound signal to an object, select a reception sector from among the plurality of sector elements, and receive a reception ultrasound signal reflected from the object. The ultrasound apparatus according to the present invention, according to the transmission control signal and the reception control signal, selects the transmission sector from among the plurality of sector elements included in the ultrasound array, transmits the transmission ultrasound signal to the object, selects the reception sector from among the plurality of sector elements, and receives the reception ultrasound signal reflected from the object, so as to synthesize ultrasound images, and accordingly, image quality may be improved.
Patent WO-2022211460-A1 (WO)
Inventor: OH CHANGKYU
IPC: A61K31/519
Filed: 2022-03-29
Abstract: The present disclosure relates to a pharmaceutical composition for treating or preventing COVID-19 (severe acute respiratory syndrome coronavirus-2 or SARS-CoV-2)-related diseases. That is, the present disclosure relates to therapeutic or prophylactic medicinal use of specific compound(s) for COVID-19-related diseases. Compounds according to the present invention have anti-COVID-19 effects, and thus are useful not only for COVID-19-related diseases and prevention thereof, but also for treatment or prevention of viral lung injury.
Patent WO-2022215995-A1 (WO)
Inventor: JUNG DOO-YOUNG
IPC: A61K31/7068
Filed: 2022-04-05
Abstract: 본 발명은 DNMT1 저해제를 포함 다중 표적 억제제인 4'-티오-5-아자-2'-디옥시사이티딘(4'-thio-5-aza-2'deoxycytidine, Aza-T-dCyd) 및 세포자멸사 (Apoptosis)를 매개하는 BCL-2의 억제제인 베네토클락스(Venetoclax)의 병용 요법에 관한 것이다.
Patent WO-2023003186-A1 (WO)
Inventor: KIM JI HOON
IPC: C08G61/12
Filed: 2022-06-21
Abstract: The present specification relates to: a polymer comprising a first unit represented by chemical formula 1, a second unit represented by chemical formula 1 and different from the first unit, a third unit represented by chemical formula 2, and a terminal group represented by chemical formula 3; and an organic light-emitting element using same.
Patent WO-2022270980-A1 (WO)
Inventor: HAM YOUNG JIN
IPC: A61K31/437
Filed: 2022-06-24
Abstract: La présente invention concerne un nouveau composé en tant qu'inhibiteur de protéine kinase, en particulier, un inhibiteur de RON.
Patent WO-2023008780-A1 (WO)
Title: Procédé d'affichage d'écran et dispositif associé
Inventor: CHOI SEONG MIN
IPC: G06T13/80
Filed: 2022-07-12
Abstract: L'invention concerne un procédé d'affichage d'écran et un dispositif associé. Le procédé d'affichage d'écran fournit, selon un mode de réalisation, une interface de sélection de date pour commuter des pages par dates pendant une opération d'hôpital à l'aide d'un système de gestion d'opération, ce qui permet à un utilisateur de commuter rapidement et facilement l'écran vers une page souhaitée, et donc d'augmenter la commodité et l'efficacité de l'utilisateur.
Patent WO-2023038370-A1 (WO)
Inventor: KIM JUN YOUNG
IPC: C23C16/509
Filed: 2022-09-02
Abstract: La présente invention concerne un appareil de traitement de substrat comprenant : une chambre ; une partie de support de substrat qui supporte au moins un substrat dans la chambre ; une plaque inférieure qui est disposée au-dessus de la partie de support de substrat ; et une plaque supérieure qui est disposée au-dessus de la plaque inférieure, la plaque supérieure comprenant un premier trou de pulvérisation qui fournit un premier gaz et un second trou de pulvérisation qui fournit un second gaz ; et la plaque inférieure comprenant une première ouverture qui est disposée sous le premier trou de pulvérisation de façon à permettre au premier gaz fourni par le premier trou de pulvérisation de passer à travers celle-ci et une seconde ouverture qui est disposée sous le second trou de pulvérisation de façon à permettre au second gaz fourni par le second trou de pulvérisation de passer à travers celle-ci.
Patent WO-2023096333-A1 (WO)
Title: Outil de prévention du ronflement et de l'apnée du sommeil
Inventor: CHA YOUNG KIL
IPC: A61C5/00
Filed: 2022-11-23
Abstract: La présente invention concerne un outil de prévention du ronflement et de l'apnée du sommeil (1) conçu pour prévenir le ronflement et l'apnée du sommeil, comprenant : un corps d'outil de prévention (10) qui s'étend d'avant en arrière et dont la partie avant est insérée entre les dents supérieures (2) et les dents inférieures (3) d'un utilisateur et la partie arrière s'étend vers l'arrière le long de la langue (6) de l'utilisateur; une protubérance de butée des dents supérieures (20) qui est située sur la surface supérieure de la partie avant du corps d'outil de prévention (10) et qui fait saillie vers le haut de manière à empêcher les dents supérieures (2) de l'utilisateur de faire saillie vers l'avant; une partie inclinée (30) de guidage des dents inférieures qui est située sur la surface inférieure de la partie avant du corps d'outil de prévention (10) et inclinée vers le haut en direction de la partie avant, de sorte que, lorsque les dents inférieures (3) de l'utilisateur mordent la surface inférieure du corps d'outil de prévention (10), les dents inférieures (3) peuvent faire saillie vers l'avant plus loin que les dents supérieures (2) arrêtées par la protubérance de butée des dents supérieures (20); et une aile de butée (50) qui est fournie sur le corps d'outil de prévention (10) et qui s'étend de manière à être arrêtée par les lèvres (4, 5) de l'utilisateur devant la protubérance de butée des dents supérieures (20).
Patent WO-2023106837-A1 (WO)
Title: Dispositif de positionnement et procédé de positionnement
Inventor: JO SANG UK
IPC: G01S13/06
Filed: 2022-12-07
Abstract: Un dispositif de positionnement selon un mode de réalisation de la présente invention comprend : une unité de communication pour recevoir, en provenance d'un dispositif externe, un message d'informations de position comprenant des informations de position concernant le dispositif externe ; une première unité de positionnement pour générer des premières informations de positionnement comprenant des informations de coordonnées d'un système mondial de navigation par satellite (GNSS) et/ou des informations concernant la distance jusqu'au dispositif externe ; et une seconde unité de positionnement pour générer des secondes informations de positionnement au moyen du message d'informations de position du dispositif externe et des premières informations de positionnement, le message d'informations de position étant un message de diffusion, et les informations de position concernant le dispositif externe étant des informations de positionnement cinématiques en temps réel (RTK) obtenues par correction des coordonnées GNSS du dispositif externe par l'intermédiaire d'un signal de correction RTK.
Patent WO-2023243799-A1 (WO)
Inventor: SONG MOONSOO
IPC: H04N21/4363
Filed: 2023-01-27
Abstract: L'invention concerne un dispositif d'affichage. Le dispositif d'affichage comprend : un panneau d'affichage; un cadre placé derrière le panneau d'affichage et couplé au panneau d'affichage; et un boîtier de communication adjacent à un côté du cadre et couplé au cadre, le boîtier de communication pouvant comprendre : une plaque intérieure allongée dans la direction verticale du panneau d'affichage; et un module d'antenne dont le plan est formé dans la direction traversant la direction verticale du panneau d'affichage, et qui est fixé à la plaque intérieure.
Patent WO-2023153831-A1 (WO)
Inventor: HWANG BO SUNG
IPC: B60R13/02
Filed: 2023-02-09
Abstract: Disclosed in the present invention is a clip structure. The objective of the present invention is to provide a clip structure in which a pair of catching hooks includes a plurality of clip bodies each having hook grooves formed therein, such that the structure can be simplified, a mounting member and a mounted member can be coupled to each other easily, the coupling force can be increased, and the difficulty of manufacturing a mold for injection molding can be addressed.
Patent WO-2023167528-A1 (WO)
Inventor: KIM YOUNDONG
IPC: C12N15/115
Filed: 2023-03-03
Abstract: 본 발명은 인슐린 수용체(Insulin receptor, IR)에 특이적으로 결합하는 DNA 압타머, 이를 포함하는 인슐린 관련 질환의 예방 또는 치료용 약학적 조성물 및 진단용 조성물에 관한 것이다. 본 발명의 압타머는 당뇨병, 당뇨 합병증, 대사성 증후군, 비만 및 심혈관 질환 등의 인슐린 관련 질환의 예방 또는 치료 및 진단에 적용할 수 있다.
Patent WO-2023182741-A1 (WO)
Inventor: KIM EUN DO
IPC: H01L21/67
Filed: 2023-03-20
Abstract: 본 발명은, 유입구 및 배출구가 형성된 밸브 바디와; 상기 유입구와 배출구의 사이의 유체 통로에 설치되는 차단판과; 상기 차단판과 연결되도록 상기 밸브 바디에 설치되며, 상기 유체 통로가 개폐되도록 상기 차단판을 이동시키는 구동부; 및 상기 차단판에 형성된 개구부에 설치되며, 상기 차단판의 닫힘 상태에서 상기 유입구와 상기 배출구 사이로 광을 통과시키는 투광 플레이트;를 포함하는, 진공 게이트 밸브 및 이를 구비하는 진공 시스템에 관한 것이다.
Patent WO-2021261983-A1 (WO)
Inventor: KHIYARI EZZITOUNI
IPC: F25D21/14
Filed: 2021-05-17
Abstract: Disclosed are a device and a physical technical method for disposing of the water from the forced-air evaporator of a cooling unit and for using the energy thereof to reduce the consumption of electrical energy and to increase the profitability of cooling apparatus. Said device uses apparatus that is easy to install and manufacture and is efficient in solving the problems of leakage from the evaporation tube, referred to as the serpentine coil, of water discharged from the evaporator during the defrosting process.
Patent WO-2018111074-A1 (WO)
Inventor: ZARAGOZA SICRE SERGIO JESÚS
IPC: G06F40/20
Filed: 2016-12-16
Abstract: El general de un lexicón que se presenta para el análisis de sentimientos que permite integrar técnicas de aprendizaje automático al análisis basado en lexicones, el modelo se basa en un diccionario de palabras clasificadas en términos de tipos y subtipos gramaticales, así como atributos de polaridad.
Patent WO-2019112414-A1 (WO)
Title: Procédé par microscopie à force atomique pour l'analyse massive physique et mécanique de matériaux, agencements de biomatériaux et structures
Inventor: MARTÍNEZ RIVAS ADRIÁN
IPC: G01Q60/36
Filed: 2018-12-04
Abstract: La présente invention concerne un procédé mis en oeuvre par ordinateur qui consiste en des étapes de fixation précise, de manipulation et des mesures massives par microscopie à force atomique (MFA, AFM ou BioAFM) de manière automatique des propriétés physiques et mécaniques de différents types d'échantillons comme des cellules, des bactéries seules ou interagissant avec des nanoparticules, des biomolécules et un autre type de nanostructures dérivées du carbone comme le graphène ou des particules synthétiques. Le procédé consiste à effectuer de multiples mesures dans un seul échantillon, lesquelles sont réglées de manière précise et à étendre le procédé de manière automatique à d'autres échantillons. A la fin, la zone de travail est étendue à d'autres zones en effectuant des milliers de nano-indentations dans un temps court de manière fiable et reproductible pour l'obtention de données massives et l'obtention de données quantitatives des paramètres physico-mécaniques, permettant de garantir la mesure et la représentativité du type de matériau dérivé de l'extraction de son analyse massive physique et mécanique qui est obtenue à partir de l'analyse statistique.
Patent WO-2022131902-A1 (WO)
Inventor: AGUIRRE CHÁVEZ ALBERTO
IPC: A63B69/18
Filed: 2021-12-16
Abstract: La presente invención se refiere a un mecanismo de resistencia para equipos de simulación de esquí con estabilidad mejorada, que disminuye la vibración del equipo de simulación de esquí donde sea utilizado y que además, evita la pérdida de resistencia por estrés de los elementos de tensión del mecanismo de resistencia.
Patent WO-2013022334-A1 (WO)
Title: Process for the production of organic acids from an integration of solar or fuel cell with electrodialysis system
Inventor: LEE SOO KENG
IPC: B01D61/46
Filed: 2012-07-09
Abstract: The present invention relates to a process for the production of organic acids from an integration of solar or fuel cell with a round shaped electrodialysis system, whereby separation and purification of organic acids is carried out by using an electrodialysis system after the fermentation process. Said electrodialysis is attached to a fuel cell or solar cell to provide a direct current (DC) power supply to the round shaped electrodialysis system.
Patent WO-2020046106-A1 (WO)
Inventor: LIM SAU KONG
IPC: B62B5/02
Filed: 2019-07-31
Abstract: The present invention provides a mechanism for hand truck/trolley to climb stair smoothly. The mechanism utilised combination of rolling, sliding and moment action to yield the objective of smooth stair climbing. The structure of mechanism consists of a base (14) with length adjustable, fixed castor rollers (18), steel balls (24) and handle (22). Rolling means fixed castor rollers (18) with heavy load bearing capability roll and direction of roll are forward & backward. Sliding means base (14) of hand truck/trolley slides on edge of stair while climbs stair. Rolling element: steel balls (24) are mounted at bottom face of base (14) to reduce friction while sliding. Utilising moment action means reduce operating force required from user by eliminating action of lifting up hand truck/trolley while climbs stair. The mechanism consists of three (3) sequential phases: (a) prepare to climb phase, (b) climb phase, (c) move to next prepare to climb phase.
Patent WO-2004101255-A1 (WO)
Title: Ensemble de centrage de moule
Inventor: KRUIDERING RALPH
IPC: B29C45/26
Filed: 2004-05-17
Abstract: L'invention concerne un ensemble moule constitué de deux parties de moule (33, 34) dotées chacune d'un dispositif de centrage qui interagissent l'un avec l'autre. L'ensemble moule est particulièrement prévu pour une presse à mouler par injection dans laquelle le centrage des parties du moule l'une par rapport à l'autre n'est pas assuré par la rigidité de la presse à mouler mais par un dispositif de centrage (38, 42) des parties du moule elles-mêmes. Le dispositif de centrage (40) de l'une ou l'autre des parties du moule peut se déplacer par rapport à la partie du moule concernée. En centrant les parties du moule (33, 34) à l'extérieur de la presse à mouler par injection à l'aide d'une cheville de centrage centrale (45) et en fixant le dispositif de centrage (40) mobile concerné, on obtient un centrage précis lors de l'installation de la presse à mouler par injection.
Patent WO-2006031110-A1 (WO)
Title: Systeme de soufflet et piece associee
Inventor: BROUWER MARKUS FRANCISCUS
IPC: B05B11/00
Filed: 2005-09-15
Abstract: L'invention concerne un système de soufflet et une pièce associée, comprenant une pièce associée présentant une paroi extérieure rigide, et un soufflet associé présentant une paroi flexible d'une forme et d'une épaisseur prédéterminées. La paroi flexible du soufflet est amovible le long de la paroi extérieure amovible de la pièce associée, et le soufflet comprend au moins deux parois flexibles déformables, chacune associée à une partie différente de la paroi extérieure rigide de la pièce associée.
Patent WO-2008147175-A1 (WO)
Title: Appareil lithographique et procédé de fabrication de dispositif
Inventor: LEENDERS MARTINUS HENDRIKUS AN
IPC: G03F7/20
Filed: 2007-05-25
Abstract: Appareil lithographique comprenant : un système d'éclairage configuré pour conditionner un faisceau de rayonnement; un support réalisé pour supporter un dispositif de formation de motif, le dispositif de formation de motif étant pouvant conférer au faisceau de rayonnement un motif réalisé dans sa section transversale pour former un faisceau de rayonnement à motif; une table de substrat réalisée pour recevoir un substrat W; un système de projection PS configuré pour projeter le faisceau de rayonnement à motif dans une fente d'exposition située dans le plan focal sur une partie cible du substrat W. Le système de projection est pourvu d'un élément optique à proximité de la fente d'exposition, et l'appareil comprend en outre un système de mise à niveau (10) pour mesurer une hauteur du substrat W à une position éloignée de la fente d'exposition et un contrôleur pour commander une position de la table de substrat WT de sorte que le substrat soit dans le plan focal du système de projection PS au niveau de la fente d'exposition.