Patent DE-102009045645-B4 (DE)
Title: Sensorvorrichtung und Herstellungsverfahren für eine Sensorvorrichtung
Inventor: REINMUTH JOCHEN
IPC: B81C1/00
Filed: 2009-10-13
Granted: 2023-01-19
Abstract: Sensorvorrichtung miteiner Bodenplatte (18);einer ersten seismischen Masse (10,70,90), welche als erste asymmetrische Wippe ausgebildet und über zumindest eine erste Feder (14,54,76,94) so mit der Bodenplatte (18) verbunden ist, dass die erste seismische Masse (10,70,90) in Bezug auf die Bodenplatte (18) um eine erste Drehachse (24) verstellbar ist, wobei die erste seismische Masse (10,70,90) auf einer ersten Seite der ersten Drehachse (24) eine erste Elektrodenfläche (26) und auf einer der ersten Seite gegenüberliegenden zweiten Seite der ersten Drehachse (24) eine zweite Elektrodenfläche (28) aufweist;einer ersten Gegenelektrode (36) und einer zweiten Gegenelektrode (38), welche in Bezug auf die Bodenplatte (18) fest angeordnet sind; undeiner Sensor- und Auswerteeinrichtung, welche derart ausgelegt ist, dass mittels der Sensor- und Auswerteeinrichtung eine Information (C1A,C1 B,C2A,C2B) bezüglich zumindest einer ersten Kapazität (C1A) eines ersten Kondensators umfassend die erste Elektrodenfläche (26) und die erste Gegenelektrode (36) und/oder einer zweiten Kapazität (C1 B) eines zweiten Kondensators umfassend die zweite Elektrodenfläche (28) und die zweite Gegenelektrode (38) ermittelbar ist und eine Bewegungs-Information bezüglich einer Verstellbewegung der Sensorvorrichtung unter Berücksichtigung der ermittelten Information (C1A,C1B,C2A,C2B) festlegbar ist;wobei ein erster Abstand (s1) der ersten Gegenelektrode (36) zu der ersten Drehachse (24) kleiner als ein zweiter Abstand (s2) der zweiten Gegenelektrode (38) zu der ersten Drehachse (24) ist,dadurch gekennzeichnet, dassdie Sensorvorrichtung eine dritte Gegenelektrode (40), eine vierte Gegenelektrode (42) und eine zweite seismische Masse (12,74,92) umfasst,wobei die dritte Gegenelektrode (40) und die vierte Gegenelektrode (42) in Bezug auf die Bodenplatte (18) fest angeordnet sind und die zweite seismische Masse (12,74,92) als zweite asymmetrische Wippe ausgebildet und über zumindest eine zweite Feder (20,60,78,98) so mit der Bodenplatte (18) verbunden ist, dass die zweite seismische Masse (12,74,92) in Bezug auf die Bodenplatte (18) um eine zweite Drehachse (30) verstellbar ist,wobei die zweite seismische Masse (12,74,92) auf einer ersten Seite der zweiten Drehachse (30) eine dritte Elektrodenfläche (32) und auf einer der ersten Seite gegenüberliegenden zweiten Seite der zweiten Drehachse (30) eine vierte Elektrodenfläche (34) aufweist,und wobei die Sensor- und Auswerteeinrichtung derart ausgelegt ist, dass die mittels der Sensor- und Auswerteeinrichtung ermittelte Information (C1A,C1B,C2A,C2B) eine Teilinformation (C2A,C2B) bezüglich einer dritten Kapazität (C2A) eines dritten Kondensators umfassend die dritte Elektrodenfläche (32) und die dritte Gegenelektrode (40) und/oder einer vierten Kapazität (C2B) eines vierten Kondensators umfassend die vierte Elektrodenfläche (34) und die vierte Gegenelektrode (42) umfasst und die Bewegungs-Information unter zusätzlicher Berücksichtigung der ermittelten Teilinformation (C2A,C2B) festlegbar ist.