baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102016206230-B4 (DE)
Title: Gerätehaltereinheit, Armaturenbrett und Fahrzeug mit Gerätehaltereinheit
Inventor: TAPTI FIRAT
IPC: F16M13/00
Filed: 2016-04-14
Granted: 2023-10-12
Abstract: Gerätehaltereinheit (100) zum Gebrauch in einem Fahrzeug, mit:einem Gerätehalter (112) zum Halten eines elektronischen Mobilgerätes (104);einem Verstaumechanismus (106) zum Vollführen einer Verstaubewegung (800) des Gerätehalters (112) zwischen einer Verstauposition (802) und einer Gerätehalteposition (804) in einer ersten Richtung (810); sowieeinem Blockiermechanismus (108), welcher die Verstaubewegung (800) aus der Gerätehalteposition (804) blockiert, wenn das elektronische Mobilgerät (104) durch den Gerätehalter (112) gehalten ist; wobei der Verstaumechanismus (106) ferner aufweist:eine erste Führungsschiene (110) zum Führen einer Bewegung des Gerätehalters (112) während der Verstaubewegung (800), wobei sich die erste Führungsschiene (110) zunächst geradlinig in die erste Richtung (810) erstreckt und anschließend entlang einer Kurve abbiegt;eine Bühne (122), die schwenkbar mit dem Gerätehalter (112) verbunden ist, wobei die Bühne (122) einen fächerförmigen Kopf (150) an einem Ende aufweist, wobei der fächerförmige Kopf (150) eine Fläche in der Gestalt eines Kreisabschnitts aufweist; undeine zweite Führungsschiene (120) zum Führen der Bühne (122) während der Verstaubewegung (800), wobei sich die zweite Führungsschiene (120) geradlinig in die erste Richtung (810) erstreckt; und wobei ein Abschnitt des Gerätehalters (112), welcher von der ersten Führungsschiene (110) geführt wird, derart auf der Fläche des fächerförmigen Kopfs (150) gleitet, dass die Verstaubewegung (800) weiterhin eine Rotation des Gerätehalters (112) beinhaltet.
Patent DE-102016208476-B4 (DE)
Title: Elektronische Baugruppe mit ausrichtbaren gestapelten Leiterplatten
Inventor: SCHMIT CHRISTOPHER J
IPC: H05K7/14
Filed: 2016-05-18
Granted: 2023-05-25
Abstract: Elektronische Baugruppe (11), umfassend:eine erste Leiterplatte (10), die mehrere Löcher (14) und einen auf einer Seite (13) der ersten Leiterplatte (10) montierten ersten Verbinderteil (16) aufweist;einen Rahmen (18) zum Vorsehen von Vorkehrungen (20) zum Zusammenfügen mit den Löchern (14), wobei der Rahmen (18) durch die Vorkehrungen (20) und Befestigungselemente (22) zur Bildung einer ersten Leiterplattenbaugruppe (24) an der ersten Leiterplatte (10) fixiert ist;eine zweite Leiterplatte (12), die einen zweiten Verbinderteil (26) zum Zusammenfügen mit dem ersten Verbinderteil (16) zur Bildung einer elektrischen und mechanischen Verbindung aufweist;einen ersten Kapselungsteil (28), der die zweite Leiterplatte (12) sichert;einen Halter (30), der auf der zweiten Leiterplatte (12) liegt, wobei der Halter (30) eine Aussparung (32) mit einer Öffnung (34) aufweist, durch die sich der zweite Verbinderteil (26) erstrecken soll; wobei sich die erste Leiterplattenbaugruppe (24) in der Aussparung (32) befindet und ein Abstandsspalt (36) zwischen dem Innenumfang der Aussparung (32) und dem Außenumfang der Leiterplattenbaugruppe (11) ein Ausrichten oder Indeckungbringen des ersten Verbinderteils (16) und des zweiten Verbinderteils (26) gestattet; undeinen Deckel (42), der über ein oder mehrere Befestigungselemente (44) mit dem Halter (30) verbunden ist, um die erste Leiterplattenbaugruppe (24) bezüglich der zweiten Leiterplatte (12) und des ersten Kapselungsteils (28) zu fixieren,dadurch gekennzeichnet, dass der Rahmen (18) Befestigungselemente (22) umfasst, die beweglich oder schwenkbar an dem Rahmen (18) angelenkt sind, und dass die Befestigungselemente (22) in Position geklappt werden, um die Bolzen umfassenden entsprechenden Vorkehrungen (20) in Eingriff zu nehmen.
Patent DE-102016220898-B4 (DE)
Title: Kontaktlose Leistungsübertragungseinheit
Inventor: HORIUCHI SATORU
IPC: B60L53/302
Filed: 2016-10-25
Granted: 2023-04-27
Abstract: Kontaktlose Leistungsübertragungseinheit (1), umfassend:eine elektrische Leistungsübertragungsspule (10), die eine Spiralform hat und dazu konfiguriert ist, elektrische Leistung in kontaktloser Weise zu übertragen;ein Unterbringungsgehäuse (60), das die elektrische Leistungsübertragungsspule (10) beherbergt, eine Öffnung (65) an einer Stelle hat, die einem Raum zugewandt ist, der durch einen inneren Umfang der elektrischen Leistungsübertragungsspule (10) definiert wird, und das an einer Unterseite eines Fahrzeugs vorgesehen ist; undeine Schutzeinrichtung (70), die einen Vorsprung (71) hat, wobei die Schutzeinrichtung (60) in einem Zustand fixiert ist, in dem der Vorsprung (71) in die Öffnung (65) eingefügt ist, undwobei der in die Öffnung (65) eingefügte Vorsprung (71) aus dem Unterbringungsgehäuse (60) in eine Richtung weg von der Unterseite des Fahrzeuges über eine Dicke des Unterbringungsgehäuses (60) hinausragt.
Patent DE-102017112659-B4 (DE)
Title: Elektrischer Bauelementwafer und elektrisches Bauelement
Inventor: MEISTER VEIT
IPC: H01L21/76
Filed: 2017-06-08
Granted: 2020-06-10
Abstract: Bauelementwafer mit funktionalen Bauelementstrukturen (DS) für mehrere elektrische Bauelemente, der Folgendes aufweist:- ein Halbleitersubstrat (SU),- eine piezoelektrische Schicht (PL), die auf dem Halbleitersubstrat (SU) angeordnet ist und an dieses gebondet ist,- eine strukturierte Metallisierung auf der piezoelektrischen Schicht (PL), welche die funktionalen Bauelementstrukturen (DS) bildet, die Bauelementfunktionen für die mehreren elektrischen Bauelemente bereitstellen,- Halbleiterstrukturen, die eine Halbleiterfunktion in dem Halbleitersubstrat (SU) bereitstellen,- elektrisch leitende Verbindungen zum Bereitstellen eines Kontakts zwischen Halbleiterstrukturen und funktionalen Bauelementstrukturen (DS),- wobei wenigstens eine Halbleiterfunktion durch eine funktionale Bauelementstruktur (DS) gesteuert wird, oder- wobei wenigstens eine Bauelementfunktion der funktionalen Bauelementstrukturen (DS) durch die Halbleiterstrukturen gesteuert wird wobei die Halbleiterstrukturen dazu ausgelegt sind, eine Ladung in einem aufladbaren Oberflächengebiet des Halbleitersubstrats (SU) zu steuern,- wobei ein lateraler pn-Übergang zwischen dem aufladbaren Oberflächengebiet und dem umgebenden Halbleitermaterial des Halbleitersubstrats (SU) ausgebildet ist, der verhindert, dass Ladungsträger eine dotierte Zone (DW, DF) in lateraler Richtung verlassen.
Patent DE-102017117013-B4 (DE)
Title: Semiautonome Folgeeinrichtung, insbesondere semiautonome Kehrmaschine
Inventor: LINDAU VALENTIN
IPC: B60W30/10
Filed: 2017-07-27
Granted: 2023-12-14
Abstract: Semiautonome Folgeeinrichtung (100), aufweisend- mindestens eine Antriebsvorrichtung (110, 112),- mindestens eine Vorrichtung (120) zum Lenken der Antriebsvorrichtung (110, 112),- mindestens eine Vorrichtung (130) zur Detektion eines Führungssignals,- mindestens eine Regeleinheit (140), welche als Stellgröße die Vorrichtung (120) zum Lenken der mindestens einen Antriebsvorrichtung (110, 112) in Abhängigkeit des Führungssignals betätigt, dadurch gekennzeichnet, dass- die Regeleinheit (140) oder eine von der Regeleinheit gesonderte Einheit (150) weitere Vorrichtungen in Abhängigkeit des Führungssignals betätigt,wobei die weiteren Vorrichtungen ausgewählt sind, aus der Gruppe bestehend aus:- Richtungsanzeiger (160),- Fahrzeuglichter (170),- Maschinenmodule (180),- Funkfernsteuerungen (190),- und dass die Betätigung der weiteren Vorrichtungen biomimetisch erfolgt, so dass der Habitus der semiautonomen Folgeeinrichtung (100), welchen diese durch Betätigung der weiteren Vorrichtungen zeigt, angelehnt ist an das äußere Verhaltensmuster von Unterordnungs- und Aufmerksamkeitsgesten von Lebewesen mit Sozialverhalten, wie beispielsweise von Primaten oder Canoidea (Hundeartigen).
Patent DE-102017117680-B4 (DE)
Title: Umschaltventil
Inventor: SAATHOFF-KETTWIG GÜNTER
IPC: F16K11/083
Filed: 2017-08-03
Granted: 2019-06-27
Abstract: Umschaltventil mit
 einem Ventilgehäuse (3) aus Stahl, das eine Einlassöffnung (5) und zwei Auslassöffnungen (4, 6) aufweist,
 einem konischen Schließelement (7), das drehbar in dem Ventilgehäuse (3) angeordnet ist, einen verzweigten Durchgang (8) aufweist und in einer ersten Stellung die Einlassöffnung (5) mit der ersten Auslassöffnung (4) und in einer zweiten Stellung die Einlassöffnung (5) mit der zweiten Auslassöffnung (6) verbindet,
 wobei das Schließelement (7) aus Kunststoff ist, an einer Deckfläche des Schließelements (7) eine Welle (11) angebracht ist, und die Welle (11) und das Schließelement (7) über eine Steckverbindung miteinander verbunden sind, und
 wobei die Steckverbindung von einem zentrisches Verbindungselement, das in eine zentrische Aussparung eingreift, um das Schließelement (7) radial relativ zu der Welle (11) zu positionieren, und einem azentrischen Verbindungselement, das in eine azentrische Öffnung eingreift, um die Drehwinkelstellung des Schließelements (7) relativ zu der Welle (11) zu fixieren, gebildet wird.
Patent DE-102017120574-B4 (DE)
Title: Hochspannungs-widerstandsbauelement
Inventor: CHIU YI-CHENG
IPC: H01L29/78
Filed: 2017-09-07
Granted: 2022-05-05
Abstract: Hochspannungs-Widerstandsvorrichtung mit:einem Substrat (301), das einen ersten Bereich (302) aufweist, der eine erste Dotierungsart hat;einem Driftbereich (308), der in dem Substrat über dem ersten Bereich angeordnet ist und eine zweite Dotierungsart hat;einem Body-Bereich (310), der die erste Dotierungsart hat und den Driftbereich (308) seitlich kontaktiert;einem Drain-Bereich (318), der in dem Driftbereich (308) angeordnet ist und die zweite Dotierungsart hat;einem Source-Bereich (320), der in dem Body-Bereich (310) angeordnet ist und die zweite Dotierungsart hat;einer ersten Trennstruktur (316a) über dem Driftbereich (308) zwischen dem Drain-Bereich und dem Body-Bereich (310);einem Trennbereich (312 und 314) der den Body-Bereich (310) seitlich kontaktiert und sich zwischen einer zweiten Trennstruktur (316b) und dem ersten Bereich (302) des Substrats erstreckt, zur Trennung der Hochspannungs-Widerstandsvorrichtung von benachbarten Bauelementen durch Sperrschichtisolation;einem vergrabenen Wannenbereich (306), der die zweite Dotierungsart hat, wobei der vergrabene Wannenbereich (306) eine obere Grenzschicht, die den Driftbereich (308) und den Body-Bereich (310) kontaktiert, und eine untere Grenzschicht hat, die den ersten Bereich (302) des Substrats kontaktiert, wobei der vergrabene Wannenbereich (306) über gegenüberliegende Seiten des Body-Bereichs (310) hinaus bis zu einer Position unter dem Trennbereich (312 und 314) reicht und den Body-Bereich (310) vollständig von dem ersten Bereich (302) des Substrats trennt; undeiner Widerstandsstruktur (120), die über der ersten Trennstruktur (316a) angeordnet ist und einen Hochspannungsanschluss (122a), der mit dem Drain-Bereich (318) verbunden ist, und einen Niederspannungsanschluss (122b) hat, der mit einer Gate-Struktur (118) über der ersten Trennstruktur (316a) verbunden ist; wobei der Trennbereich zu dem Drain-Bereich und zu dem Source-Bereich keine ohmsche Verbindung über eine Verdrahtung aufweist.
Patent DE-102017129227-B4 (DE)
Title: Nummerische Steuerung und Maschinenlernvorrichtung
Inventor: KUBO MAMORU
IPC: B23Q17/00
Filed: 2017-12-08
Granted: 2022-03-10
Abstract: Numerische Steuerung (1), die eine Maschine steuert, wobei die numerische Steuerung (1) Folgendes aufweist:eine Datenloggervorrichtung (80), die Informationen bezüglich des Betriebs der Maschine als eine Vielzahl an Arten von Zeitreihendaten erhält; undeine Maschinenlernvorrichtung (100), die maschinelles Lernen von Verläufen bei Betrieb der Maschine, wenn die Anomalien in der Maschine auftreten, basierend auf die Vielzahl an Arten von Zeitreihendaten, die von der Datenloggervorrichtung erhalten werden, ausführt, wobeidie Maschinenlernvorrichtung (100) Folgendes aufweist:eine Zustandsbeobachtungseinheit (110), die die Vielzahl an Arten von Zeitreihendaten, die von der Datenloggervorrichtung (80) erhalten werden, als Eingabedaten erhält,eine Anomaliebeobachtungseinheit (120), die Anomalieinformationen bezüglich der Anomalien, die in der Maschine auftreten, erhält,eine Lerneinheit (130), die das maschinelle Lernen der Verläufe im Betrieb der Maschine bei Auftreten von Anomalien basierend auf den Eingabedaten, die von der Zustandsbeobachtungseinheit (110) erhalten werden, und der Anomalieinformationen, die von der Anomaliebeobachtungseinheit (120) erhalten werden, ausführt, undeine Datenbank (160), die die Ergebnisse des maschinellen Lernens in der Lerneinheit (130) speichert, unddie Lerneinheit (130) Folgendes aufweist:eine Analyseeinheit (132), die Näherungsausdrücke für die Vielzahl an Arten von Zeitreihendaten, die in den Eingabedaten umfasst sind, erhält, die einen Merkmalsvektor, in dem Koeffizienten in den Näherungsausdrücke für die Vielzahl an Arten von Zeitreihendaten verbunden sind, basierend auf den erhaltenen angenäherten Ausdrücken generiert, und die den generierten Merkmalsvektor, der den Anomalieinformationen zugeordnet ist, in der Datenbank (160) speichert, undeine Clustering-Einheit (134), die ein Clustering des Merkmalsvektors, der von der Analyseeinheit (132) generiert wird, durchführt, und die die Ergebnisse eines Clusterings in der Datenbank (160) speichert; gekennzeichnet durch eine Anomaliereihungsbestimmungseinheit (144) die dazu ausgebildet ist, auf die Datenbank (160) zuzugreifen und auf Grundlage von Startzeiten, Arten und Endzeiten von Anomalien, die dem Merkmalsvektor in einem Cluster zugeordnet sind die einem aktuellen Merkmalsvektor am Nächsten liegen , Werte für die Arten der Anomalien nach der folgenden Gleichung zu berechnen:Reihung der Anomalieart in Cluster=Anzahl an Auftreten von Anomalieart in Cluster×(Endseitpunkt der Anomalie−Starzeitpunkt der Anomalie)×Wichtigkeit;wobei die Wichtigkeit ein Wert zwischen 0 und 1 ist und gemäß einer Dringlichkeit bei einem Auftreten der Anomalie entsprechend der Art der Anomalie gesetzt wird; undwobei die Anomaliereihungsbestimmungseinheit (144) dazu ausgebildet ist, die Reihung der Anomaliearten in absteigender Reihenfolge der Bewertungen zu erstellen und die Reihung auszugeben.
Patent DE-102018109024-B4 (DE)
Title: Linearaktuator
Inventor: WÖLLNER ANDREAS
IPC: H02K41/03
Filed: 2018-04-17
Granted: 2020-08-27
Abstract: Linearaktuator umfassend zwei teleskopisch in- und auseinander bewegbare Rohre (2, 3), die über ein im einen Rohr (3) angeordnetes Federelement (4) miteinander gekoppelt sind, sowie einen Stellmotor (7), über den die beiden Rohre (2, 3) gegeneinander verschiebbar sind, sowie eine die beiden Rohre (2, 3) in der jeweiligen Relativposition zueinander festlegende Bremseinrichtung (12), dadurch gekennzeichnet, dass• der Stellmotor ein Linearmotor (7) umfassend einen stangenförmigen Stator (8) und einen auf diesem angeordneten Läufer (9) ist, wobei• der Läufer und der Stator relativ zueinander bewegbar sind, wobei• der Stator (8) mit dem einen Rohr (2) und der Läufer (9) mit dem anderen Rohr (3) gekoppelt ist, und wobei• das Federelement (4) entweder in Reihe mit dem Läufer (9) oder parallel zum Läufer (9) geschaltet ist und• der Läufer (9) mit dem positionsfesten Rohr (2) und der Stator (8) mit dem beweglichen Rohr (3) gekoppelt ist, wobei• das in Reihe mit dem Läufer (9) geschaltete Federelement (4) einerseits am beweglichen Rohr (3) und andererseits am positionsfesten Rohr (2) oder der mit dem positionsfesten Rohr (2) verbundenen Bremseinrichtung (12), die auf den beweglichen stangenförmigen Stator (8) oder das bewegliche Rohr (3) wirkt, abgestützt ist.
Patent DE-102018121772-B4 (DE)
Title: Schaltungsanordnung zur Verstärkung eines Funksignals und Verfahren zur Ermittlung von Intermodulationsprodukten
Inventor: SOLAN BÜLENT
IPC: H04B7/15
Filed: 2018-09-06
Granted: 2020-06-18
Abstract: Schaltungsanordnung zur Verstärkung eines Funksignals im Signalpfad zwischen einer ersten Antenne zur Funk-Signalverbindung zu einem ersten Funk-Kommunikationsgerät und einer zweiten Antenne zur Funk-Signalverbindung zu einem zweiten Funk-Kommunikationsgerät, wobei die Schaltungsanordnung eine Detektionseinheit zur Erfassung einer Signalleistung des Funksignals in dem Signalpfad hat, wobei die Detektionseinheit zur Erfassung von spektralen Leistungsdichten innerhalb eines Funksignal-Frequenzbandes des Funksignals und zur Ermittlung von Intermodulationsprodukten aus Merkmalen der erfassten spektralen Leistungsdichten durch Vergleich der erfassten spektralen Leistungsdichten mit vorgegebenen Leistungsgrenzwerten für die Leistung und Feststellung einer Überschreitung eines Grenzwertes für Intermodulationsprodukte bei Überschreitung der vorgegebenen Leistungsgrenzwerte durch die erfassten spektralen Leistungsdichten ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Grenzwert dynamisch in Abhängigkeit von dem absoluten Leistungswert der spektralen Leistungsdichte eines Hauptträgers variiert wird.
Patent DE-102018205796-B4 (DE)
Title: Antriebsvorrichtung für ein elektrisch betriebenes Fahrzeug
Inventor: SCHMALZRIETH SVEN
IPC: B60R19/16
Filed: 2018-04-17
Granted: 2020-10-15
Abstract: Antriebsvorrichtung für ein elektrisch betriebenes Fahrzeug, mit einem radselektiven Antrieb, bei dem eine erste Elektromaschine (EM1) mit einem ersten Fahrzeugrad (11) einer Fahrzeugachse verbunden ist und eine zweite Elektromaschine (EM2) mit einem zweiten Fahrzeugrad (21) der Fahrzeugachse verbunden ist, wobei in der Fahrzeugquerrichtung (y) eine Traktionsbatterie (33) zwischen den beiden Elektromaschinen (EM1, EM2) angeordnet ist, und wobei in einem Seitencrashfall eine crashzugewandte Elektromaschine (EM1, EM2) unter Bildung eines Quer-Lastpfads (Ly) in kraftübertragende Anlage mit der Traktionsbatterie (33) bringbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Elektromaschinen (EM1, EM2) mit ihren Elektromaschinenwellen (1, 13) bzw. Gelenkwelleneingängen in der Fahrzeuglängsrichtung (x) zueinander achsparallel angeordnet sind und um eine Hebelarmlänge (lh) voneinander beabstandet sind, und dass im Seitencrashfall die crashzugewandte Elektromaschine (EM1) mit der Traktionsbatterie (33) kollidiert, und dass im weiteren Crashverlauf sich die Traktionsbatterie (33) unter Hebelarmwirkung in einer Ausweich-Drehbewegung (D) um eine Fahrzeughochachse (z) in eine Crashposition (C) dreht.
Patent DE-102018215292-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Darstellen einer Fahrzeugumgebung in einem Fahrzeug und zugehörige Vorrichtung
Inventor: GÜNZEL FLORIAN
IPC: B60K35/00
Filed: 2018-09-07
Granted: 2020-08-13
Abstract: Verfahren zum Bereitstellen einer Darstellung einer Fahrzeugumgebung in einem Fahrzeug (1), umfassend:• Erfassen eines Automatisierungsgrades, mit dem das Fahrzeug (1) betrieben wird,• Auswählen eines Satzes von Zusatzinformationen aus einem von mehreren möglichen Sätzen von Zusatzinformationen basierend auf dem erfassten Automatisierungsgrad, wobei jeder Satz von Zusatzinformationen jeweils eine unterschiedliche Anzahl von Zusatzinformationen umfasst, wobei jede der Zusatzinformationen eine Darstellungsoption beschreibt, die einen aktuellen Zustand des Fahrzeuges in einem zugehörigen Fahrzeugumfeld visualisiert, wobei ein Satz von Zusatzinformationen, der für einen niedrigeren Automatisierungsgrad ausgewählt wird, weniger Zusatzinformationen umfasst als ein Satz von Zusatzinformationen, der für einen im Vergleich zu dem niedrigeren Automatisierungsgrad höheren Automatisierungsgrad ausgewählt wird, und• Darstellen einer Ansicht (10) einer Fahrzeugumgebung des Fahrzeuges, wobei in der dargestellten Ansicht (10) die Zusatzinformationen des ausgewählten Satzes von Zusatzinformationen visualisiert werden, dadurch gekennzeichnet, dass bei dem Darstellen der Ansicht (10) der Fahrzeugumgebung ferner eine Perspektive eines Betrachters der Fahrzeugumgebung gemäß dem erfassten Automatisierungsgrad gewählt wird.
Patent DE-102018215510-B4 (DE)
Title: Bearbeitungsvorrichtung zum Bearbeiten eines Wafers
Inventor: SHIGEMATSU KOICHI
IPC: H01L21/68
Filed: 2018-09-12
Granted: 2022-10-20
Abstract: Bearbeitungsvorrichtung (2) zum Schleifen oder Polieren einer Rückseite (1b) eines Wafers (1), der strukturelle Objekte (9) auf seiner Oberseite (1a) hat, aufweisend:einen Einspanntisch (8), der den Wafer (1) mit der nach unten zeigenden Oberseite (1a) hält;eine Bearbeitungseinheit (10a), die die Rückseite (1b) des am Einspanntisch (8) gehaltenen Wafers (1), die nach oben freiliegt, schleift oder poliert;einen Kassettentragebereich (26a), auf dem eine Kassette (28a), in der ein Wafer (1) untergebracht ist, getragen ist;eine Liefereinheit, die den Wafer (1) aus der Kassette (28a) auf dem Kassettentragebereich (26a) herausnimmt und den Wafer (1) zum Einspanntisch (8) liefert;eine Infrarotkameraeinheit (40), die ein Bild des Wafers (1) von seiner Rückseite (1b) aufnimmt und ein Bild erhält, das die Oberseite (1a) des Wafers (1) enthält;eine Anzeigeeinheit (44), die verschiedene Informationspunkte anzeigt; undeine Steuerungseinheit (42), die den Einspanntisch (8), die Bearbeitungseinheit (10a), den Kassettentragebereich (26a), die Liefereinheit, die Infrarotkameraeinheit (40) und die Anzeigeeinheit (44) steuert,wobei die Steuerungseinheit (42) beinhalteteine Bestimmungseinheit (42a), die bestimmt, ob der zu bestimmende Wafer (1), der aus der Kassette (28a) auf dem Kassettentragebereich (26a, 26b) herausgenommen wird, ein zu bearbeitender Wafer (1) oder nicht ist, undein Informationsregister (42b), das Information über ein Muster von strukturellen Objekten (9), die ein zu bearbeitender Wafer (1) auf der Oberseite (1a) aufweisen muss, in sich registriert hat, um die Information zur Bestimmungseinheit (42a) zu schicken, wenn die Bestimmungseinheit (42a) bestimmt,wobei die Infrarotkameraeinheit (40) ein Bild des zu bestimmenden Wafers (1) von seiner Rückseite (1b) aufnimmt, bevor er von der Bearbeitungseinheit (10a) bearbeitet wird, und ein Bild erhält, das die Oberseite (1a) des Wafers (1) enthält, und, falls das Muster von strukturellen Objekten (9), die ein zu bearbeitender Wafer (1) auf der Oberseite (1a) aufweisen muss, im erhaltenen Bild gefunden wird, die Bestimmungseinheit (42a) bestimmt, dass der zu bestimmende Wafer (1) ein zu bearbeitender Wafer (1) ist, und falls das Muster von strukturellen Objekten (9), das ein zu bearbeitender Wafer (1) auf der Oberseite (1a) aufweisen muss, nicht im erhaltenen Bild gefunden wird, die Bestimmungseinheit (42a) bestimmt, dass der zu bestimmende Wafer (1) kein zu bearbeitender Wafer (1) ist unddie Anzeigeeinheit (44) das von der Bestimmungseinheit (42a) bestimmte Ergebnis anzeigt.
Patent DE-102019107952-B4 (DE)
Title: Computer-implementiertes Verfahren zur Analyse von Messdaten eines Objekts
Inventor: FIERES JOHANNES
IPC: G01B15/04
Filed: 2019-03-27
Granted: 2023-08-10
Abstract: Computer-implementiertes Verfahren zur Analyse von Messdaten eines Objekts, wobei die Messdaten eine Objektdarstellung in einem Messkoordinatensystem definieren, wobei das Verfahren (100) die folgenden Schritte aufweist:- Ermitteln (102) der Messdaten des Objekts;- Bereitstellen (104) eines Objektkoordinatensystems für zumindest einen Teil des Objekts;- Bereitstellen (106) einer Auswertevorschrift für die Analyse, wobei die Auswertevorschrift mindestens einen Koordinatensatz aus dem bereitgestellten Objektkoordinatensystem für die Durchführung der Analyse bestimmt;- Ermitteln (108) einer nicht-formfesten Abbildung zwischen dem bereitgestellten Objektkoordinatensystem und der Objektdarstellung; und- Ermitteln (110) mindestens eines Teilbereiches der Messdaten für die durchzuführende Analyse, mittels der nicht-formfesten Abbildung; wobei das Ermitteln (110) mindestens eines Teilbereiches der Messdaten für die durchzuführende Analyse mittels der nicht-formfesten Abbildung die Unterschritte aufweist:- Ermitteln (136) mindestens einer Position eines Antastpunktes in dem Objektkoordinatensystem mittels der Auswertevorschrift;- Abbilden (138) der mindestens einen ermittelten Position auf die Objektdarstellung mittels der nicht-formfesten Abbildung; und- Ermitteln (140) eines Antastpunktes für die Analyse der Messdaten in der Objektdarstellung basierend auf der abgebildeten Position.