Patent DE-102017124097-B4 (DE)
Title: Stromnetzstrukturen und verfahren zu ihrer herstellung
Inventor: BISWAS HIRANMAY
IPC: H01L23/522
Filed: 2017-10-17
Granted: 2023-08-10
Abstract: IC-Struktur (300, 400), umfassend:eine erste Stromschiene (100A), die auf einem Stromschienenniveau (100L) positioniert und in eine Stromschienenrichtung (X) ausgerichtet ist;eine zweite Stromschiene (100B), die auf einem Stromschienenniveau (100L) positioniert und in eine Stromschienenrichtung (X) ausgerichtet ist;eine Mehrzahl erster Metallsegmente (310A, 310B, 310C, 310D, 310E, 310F, 310G, 310H, 410A, 410B), die auf einem ersten Metallniveau (110L) über dem Stromschienenniveau (100L) positioniert sind, wobei die Mehrzahl erster Metallsegmente (310A, 310B, 310C, 310D, 310E, 310F, 310G, 310H) in eine erste Metallniveaurichtung (Y) senkrecht zu der Stromschienenrichtung (X) ausgerichtet ist, wobei die Mehrzahl erster Metallsegmente (310A, 310B, 310C, 310D, 310E, 310F, 310G, 310H) die erste Stromschiene (100A) oder die zweite Stromschiene (100B) überlappt;eine Mehrzahl erster Durchkontaktierungen (315) zwischen dem Stromschienenniveau (100L) und dem ersten Metallniveau (110L), wobei jede erste Durchkontaktierung (315) der Mehrzahl erster Durchkontaktierungen (315) an einer Stelle positioniert ist, an welcher ein entsprechendes erstes Metallsegment der Mehrzahl erster Metallsegmente (310A, 310B, 310C, 310D, 310E, 310F, 310G, 310H, 410A, 410B) die erste Stromschiene (100A) und/oder die zweite Stromschiene (100B) überlappt, wobei eine erste Durchkontaktierung (315) an jeder Stelle, an welcher die ersten Metallsegmente (310A, 310C, 310E, 310G, 410A) der Mehrzahl erster Metallsegmente (310A, 310B, 310C, 310D, 310E, 310F, 310G, 310H, 410A, 410B) die erste Stromschiene (100A) überlappen und an jeder Stelle, an welcher die ersten Metallsegmente (310B, 310D, 310F, 310H, 410B) der Mehrzahl erster Metallsegmente (310A, 310B, 310C, 310D, 310E, 310F, 310G, 310H, 410A, 410B) die zweite Stromschiene (100B) überlappen, gebildet ist;eine Mehrzahl zweiter Metallsegmente (320A, 320B), die auf einem zweiten Metallniveau (120L) über dem ersten Metallniveau (110L) positioniert und in die Stromschienenrichtung (X) ausgerichtet sind, wobei mindestens ein zweites Metallsegment (320A) der Mehrzahl zweiter Metallsegmente (320A, 320B) die erste Stromschiene (100A) überlappt und mindestens ein zweites Metallsegment (320B) der Mehrzahl zweiter Metallsegmente (320A, 320B) die zweite Stromschiene (100B) überlappt, wobei jedes zweite Metallsegment (320A, 320B) mehrere erste Metallsegmente (310A, 310B, 310C, 310D, 310E, 310F, 310G, 310H, 410A, 410B) der Mehrzahl erster Metallsegmente (310A, 310B, 310C, 310D, 310E, 310F, 310G, 310H, 410A, 410B) überlappt;eine Mehrzahl zweiter Durchkontaktierungen (325) zwischen dem ersten Metallniveau (110L) und dem zweiten Metallniveau (120L), wobei jede zweite Durchkontaktierung (325) der Mehrzahl zweiter Durchkontaktierungen (325) an einer Stelle über einer entsprechenden ersten Durchkontaktierung (315) der Mehrzahl erster Durchkontaktierungen (315) positioniert ist;eine Mehrzahl dritter Metallsegmente (330A, 330B, 330C, 330D), die auf einem dritten Metallniveau (130L) unmittelbar über dem zweiten Metallniveau (120L) positioniert sind, wobei die Mehrzahl dritter Metallsegmente (330A, 330B, 330C, 330D) in die erste Metallniveaurichtung (Y) ausgerichtet ist und einen ersten Satz dritter Metallsegmente (330A, 330B, 330C, 330D) abwechselnd mit einem zweiten Satz dritter Metallsegmente (330A, 330B, 330C, 330D) aufweist, wobei jedes dritte Metallsegment der Mehrzahl dritter Metallsegmente (330A, 330B, 330C, 330D) die erste Stromschiene (100A) und die zweite Stromschiene (100B) überlappt;eine Mehrzahl dritter Durchkontaktierungen (335), wobei die Mehrzahl dritter Durchkontaktierungen (335) den ersten Satz dritter Metallsegmente (330A, 330B, 330C, 330D) mit dem mindestens einen zweiten Metallsegment (320A) der Mehrzahl zweiter Metallsegmente (320A, 320B), die die erste Stromschiene (100A) überlappen, elektrisch verbindet, und den zweiten Satz dritter Metallsegmente (330A, 330B, 330C, 330D) mit dem mindestens einen zweiten Metallsegment (320B) der Mehrzahl zweiter Metallsegmente (320A, 320B), die die zweite Stromschiene (100B) überlappen, elektrisch verbindet; undeinen ersten Strom-Strap (550A), der auf einem Strom-Strap-Niveau (550L) über dem dritten Metallniveau (130L) positioniert ist, und einen zweiten Strom-Strap (550B), der auf dem Strom-Strap-Niveau (550L) positioniert ist, wobei:die IC-Struktur (300, 400) konfiguriert ist, um den ersten Strom-Strap (550A) mit der ersten Stromschiene (100A) elektrisch zu verbinden und den zweiten Strom-Strap (550B) separat mit der zweiten Stromschiene (100B) elektrisch zu verbinden;jedes erste Metallsegment der Mehrzahl erster Metallsegmente (310A, 310B, 310C, 310D, 310E, 310F, 310G, 310H, 410A, 410B) eine Breite hat, die einer vorbestimmten Mindestbreite für das erste Metallniveau (110L) entspricht, jedes zweite Metallsegment der Mehrzahl zweiter Metallsegmente (320A, 320B) eine Breite hat, die größer ist als eine vorbestimmte Mindestbreite für das zweite Metallsegmentniveau (120L), jedes dritte Metallsegment der Mehrzahl dritter Metallsegmente (330A, 330B, 330C, 330D) eine Breite hat, die einer vorbestimmten Mindestbreite für das dritte Metallniveau (130L) entspricht, und der erste Strom-Strap (550A) und der zweite Strom-Strap (550B) eine Breite haben, die größer ist als eine vorbestimmte Mindestbreite für das Strom-Strap-Niveau (550L).