baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102010008054-B4 (DE)
Title: Zweirad-Schloss
IPC: E05B71/00
Filed: 2010-02-16
Granted: 2023-01-12
Abstract: Zweirad-Schloss, mit einem Sperrriegel (16), welcher zwischen einer Verriegelungsstellung und einer Freigabestellung verstellbar ist, und einer Klobenaufnahme (30) für einen Kloben (32) eines Sicherungsseils, wobei die Klobenaufnahme (30) eine Rasteinrichtung aufweist, an der der Kloben (32) verrastbar ist, um den Kloben (32) in der Klobenaufnahme (32) zu halten,wobei das Schloss eine Blockiereinrichtung umfasst, welche derart mit dem Sperrriegel (16) gekoppelt ist, dass die Blockiereinrichtung, wenn sich der Sperrriegel (16) in seiner Verriegelungsstellung befindet, eine Sicherungsstellung einnimmt, in der die Blockiereinrichtung die Rasteinrichtung gegen ein Entnehmen des Klobens (32) aus der Klobenaufnahme (30) blockiert, und dass die Blockiereinrichtung, wenn sich der Sperrriegel (16) in seiner Freigabestellung befindet, eine Entsicherungsstellung einnimmt, in der die Blockiereinrichtung die Rasteinrichtung für ein Entnehmen des Klobens (30) aus der Klobenaufnahme (32) freigibtdadurch gekennzeichnet,dass die Rasteinrichtung zwei parallel voneinander beabstandete, quer zu ihrer Längsrichtung bewegliche Sperrstifte (38) aufweist, die in Richtung einer Fixierstellung vorgespannt sind, in der die Sperrstifte (38) in die Klobenaufnahme (30) hineinragen.
Patent DE-102010013389-B4 (DE)
Title: Verfahren und System zum Durchführen von Caching, basierend auf der Heuristik auf Dateiebene
Inventor: TRIKA SANJEEV N
IPC: G06F12/08
Filed: 2010-03-30
Granted: 2022-11-24
Abstract: System, umfassend:ein Speichermedium, um Daten zu speichern;einen NAND-Flash-Speicher, um die Daten des Speichermediums zu cachen, undeine Cache-Richtlinien-Engine, um die Daten des Speichermediums in/von dem NAND-Flash-Speicher basierend zumindest auf Eingangs-Ausgangs-(I/O)-Zugriffsinformationen der Daten auf Dateiebene zu cachen oder zu entfernen, wobei die Caching-Richtlinie auf Dateiebene beinhaltet, dass die mit einer Datei verbundenen gecachten Daten in einer Caching-Einheit markiert werden, um es anderen Dateien zu ermöglichen, die gecachten Daten zu referenzieren oder darauf hinzuweisen,wenn die Zugriffsinformationen anzeigen, dass die Datei kopiert wird.
Patent DE-102010013911-B4 (DE)
Title: Spannmodul, insbesondere Nullpunktspannmodul
Inventor: SCHRAEDER PHILIPP
IPC: B23Q3/02
Filed: 2010-04-01
Granted: 2013-07-25
Abstract: Spannmodul (10), insbesondere Nullpunktspannmodul, mit einem Grundkörper (12), mit einer grundkörperseitigen, bolzenartigen Erhebung (14) zum Eingriff in einen Spannring (16), mit mindestens zwei im Grundkörper (12) bezüglich einer Mittellängsachse (28) in radialer Richtung geführten Spannschiebern (26), die in eine radial äußere Verriegelungslage zur Verrieglung des Spannrings (16) am Grundkörper (12) und in eine radial innere Freigabelage zur Freigabe des Spannrings (16) verlagerbar sind, und mit einem verlagerbaren, die Spannschieber (26) betätigenden Stellglied (30), wobei zur Bewegungskopplung der Spannschieber (26) mit dem Stellglied (30) das Stellglied (30) bzw. die Spannschieber Führungsnuten (46, 48) aufweist bzw. aufweisen, die in Bewegungsrichtung der Spannschieber verlaufenden Ebenen (42, 44) liegen und die symmetrisch bezüglich der Mittellängsachse (28) verlaufend ausgebildet sind, wobei an den Spannschiebern (26) bzw. am Stellglied in die Führungsnuten (46, 48) eingreifende Führungsnocken (50, 52) vorgesehen sind.
Patent DE-102010014847-B4 (DE)
Title: Kraftfahrzeugradaufhängung
Inventor: HENKSMEIER THOMAS
IPC: B62D17/00
Filed: 2010-04-13
Granted: 2018-06-07
Abstract: Kraftfahrzeugradaufhängung (1), welche einen Radträger (2) und einen Schräglenker (5) aufweist, wobei der Schräglenker (5) einen Grundkörper mit daran ausgebildeten Lagerabschnitten (20) besitzt, dadurch gekennzeichnet, dass der Radträger (2) zur Sturzeinstellung schwenkbar um eine Drehachse (9) an dem Schräglenker (5) gelagert ist und dass eine im Wesentlichen orthogonal zur Radachse (R) angeordnete Einstellschraube (10) den Radträger (2) an einer Aufnahme mit mindestens einer Montageöffnung (12) an dem Lenker (5) fixiert und dass der Radträger (2) zwei längliche Arme (6) aufweist, die jeweils an ihren Enden (7) über einen Bolzen (8) an Lagerblechen (3) des Schräglenkers (5) gekoppelt sind.
Patent DE-102010020034-B4 (DE)
Title: Vorrichtung zum Entfernen von äußeren Ausstattungen von Flaschen
Inventor: BAECKER MICHAEL DR
IPC: B08B9/00
Filed: 2010-05-11
Granted: 2013-10-31
Abstract: Vorrichtung (1) zum Entfernen von Hülsen oder ähnlichen separaten Ausstattungen (3) von Hälsen von Flaschen (2) aus Glas, wobei die Ausstattungen (3) den Umfang der Hälse zumindest bereichsweise umgeben, und wobei die Vorrichtung (1) zumindest ein verlagerbares Schneidmittel (11) zum Auftrennen einer jeweiligen Ausstattung (3) und eine Einrichtung (6) zum positionierten Halten zumindest einer jeweils zu bearbeitenden Flasche (2) umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung (6) zum positionierten Halten der Flasche (2) Greifarme (7; 8) umfasst, welche die Flasche (2) im Bereich der Ausstattung (3) einzufassen vermögen, wobei die Greifarme (7; 8) oberhalb der oder außen auf der Ausstattung (3) plazierbar sind, und die Greifarme (7; 8), nach einem durch das Schneidmittel (11) erfolgten Einschneiden der Ausstattung (3) in deren unteren, der Flaschenmündung abgewandten Bereich, die Ausstattung (3) mit einer Komponente entlang der Längsachse der Flasche (2) in Richtung (17) eines radial erweiterten Flaschenbauchs (4) zu verschieben vermögen.
Patent DE-102010035577-B4 (DE)
Title: Elektronikteilaufnahmebox
Inventor: NISHIYAMA NORITAKA
IPC: H02G3/08
Filed: 2010-08-27
Granted: 2022-01-13
Abstract: Elektronikteil-Aufnahmebox (1), umfassend:
 mehrere elektronische Bauteile (2), von welchen jedes einen Zuleitungsdraht (2b) aufweist, der von einem Hauptkörper (2a) des jeweiligen elektronischen Bauteils (2) hervorsteht;
 ein Basiselement (10), welches eine Bauteilaufnahmekammer (11) aufweist, in welcher die Hauptkörper (2a) der Bauteile (2) aufeinander gestapelt aufgenommen sind;
 eine Bauteilaufnahmeabdeckung (20), welche an dem Basiselement (10) so angebracht ist, dass sie eine Öffnung der Bauteilaufnahmekammer (11) abdeckt; und
 ein leitendes Element (40), welches an dem Basiselement (10) angebracht ist und an welchem die Zuleitungsdrähte (2b) befestigt sind, wobei
 - ein erster Federabschnitt (14) zum Vorspannen der Hauptkörper (2a) der Bauteile (2) in Richtung der Öffnung der Bauteilaufnahmekammer (11) integral mit dem Basiselement (10) vorgesehen ist, und
 - ein zweiter Federabschnitt (21) zum Vorspannen der Hauptkörper (2a) der Bauteile (2) in Richtung einer Bodenfläche der Bauteilaufnahmekammer (11) integral mit der Bauteilaufnahmeabdeckung (20) vorgesehen ist.
Patent DE-102010043158-B4 (DE)
Title: Aktuatorsystem und Betriebsverfahren für ein Aktuatorsystem
Inventor: STRECKER ANDREAS
IPC: B60W10/18
Filed: 2010-10-29
Granted: 2023-06-29
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Aktuatorsystem und Betriebsverfahren für ein Aktuatorsystem, insbesondere elektromechanisches Feststellbremssystem (1), mit einem Aktuator (5), wobei der Aktuator (5) durch einen drehrichtungsumkehrbar betreibbaren Gleichstrommotor (28) angetrieben wird, wobei eine Steuereinheit (10) für die Steuerung oder Regelung der Bewegung des Gleichstrommotors (28) vorgesehen ist, und wobei beim Zuspannen und/oder Lösen des Aktuators (5) eine Bewertung, insbesondere auf Grundlage einer Messung oder Ermittlung wenigstens einer, an dem Gleichstrommotor (28) anliegenden elektrischen Größe, vorgenommen wird. Es besteht die Aufgabe, das Aktuatorsystems zur Anwendung bei verschiedenen Betriebsbedingungen, insbesondere für Tieftemperaturanwendungen oder bei erschöpftem elektrischen Bordnetz, zu verbessern.Der Kern der Erfindung besteht darin, dass ein Strom-Istwert mit einem oder mit mehreren abgespeicherten Strom-Sollwerten verglichen und bewertet wird, und dass die Steuereinheit (10) in Abhängigkeit von der Bewertung wenigstens eine Unterstützungsanfrage an eine zusätzliche Energiequelle aussendet, wenn der Istwert von dem, oder von den, Sollwert(en) abweicht, und dass der Gleichstrommotor im Wesentlichen zeitgleich mit einem ausgesendeten Unterstützungssignal automatisch, zumindest kurzzeitig, abgeschaltet wird.
Patent DE-102011011942-B4 (DE)
Title: Roboter-Greifer
Inventor: BECKER RALF
IPC: B25J15/00
Filed: 2011-02-22
Granted: 2014-03-27
Abstract: Roboter-Greifer mit einem Befestigungsflansch (1) für eine lösbare Anbringung an einen Robotermanipulatorarm, mit wenigstens einem, sich in einem Rahmen (3) als mechanisches Gegenlager einseitig abstützenden Aktorelement (5), das wenigstens zwei Greiferbacken (2, 2') mittel- oder unmittelbar kinematisch über ein Kraftübertragungselement betätigt, wobei – zumindest der Befestigungsflansch (1), der Rahmen (3) sowie das Aktorelement (5) einstückig unter Verwendung eines generativen Fertigungsverfahren hergestellt sind, und – das Aktorelement (5) faltenbalgartig ausgebildet, ein inneres, über wenigstens eine Öffnung mit einem Medium befüllbares Volumen einschließt, symmetrisch an einen Abschnitt (3') des Rahmens (3) angeordnet und zwei durch den Abschnitt (3') hindurch miteinander kommunizierende Teilvolumina (51, 52) einschließt, die sich bei Befüllen mit dem Medium längs einer gemeinsamen Linearachse (B), jedoch in entgegengesetzte Richtungen auszudehnen und bei Entleeren der Teilvolumina (51, 52) in entgegengesetzter Richtung längs der Linearachse (B) zusammenzuziehen vermögen, wobei beide Teilvolumina (51, 52) jeweils dem Abschnitt (3') abgewandt einstückig mit dem Kraftübertragungselement verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, dass das Kraftübertragungselement folgende einstückig miteinander verbundene Abschnitte aufweist: – an beiden Teilvolumina (51, 52) ist jeweils dem Abschnitt (3') abgewandt ein Kappenabschnitt (41, 41') angebracht, der den Bewegungen des Aktorelementes (5) längs der Linearachse (B) folgt, – beide Kappenabschnitte (41, 41') sind längs zweier sich gegenüberliegender Seiten des Aktorelementes (5) jeweils mit wenigstens einem wangenartig ausgebildeten Verbindungselement (42, 42') jeweils über ein Filmgelenk miteinander verbunden, und – jeweils mittig zur Längserstreckung des wangenartig ausgebildeten Verbindungselementes (42, 42') ist jeweils eine Greiferbacke (2, 2') mit einem das Verbindungselement (42, 42') orthogonal zur Linearachse (B) überragenden Greiferbackenabschnitt angebracht.
Patent DE-102011015903-B4 (DE)
Title: Pumpenanordnung
Inventor: GELLNER THOMAS
IPC: F04B49/03
Filed: 2011-04-01
Granted: 2021-12-16
Abstract: Pumpenanordnung mit mehreren Konstantpumpen (P1, P2, P3), die gemeinsam von einem Elektromotor (40) antreibbar sind, dessen Drehzahl von einem Frequenzumrichter über einen Regelkreis (34, 38) einstellbar ist, wobei jede Konstantpumpe (P1, P2, P3) eine Arbeitsleitung (2, 4, 6) hat, in der jeweils ein Schaltventil (10, 12, 14) angeordnet ist, über das ein Fördervolumenstrom der zugeordneten Konstantpumpe (P1, P2, P3) zu einem Tank (T) abführbar ist, wobei die einzelnen Arbeitsleitungen (2, 4, 6) an einem gemeinsamen Hochdruckanschluss oder in eine gemeinsame Hockdruckleitung (8) münden, dadurch gekennzeichnet, dass die Schaltventile (10, 12, 14) in Abhängigkeit von einer Schwelldrehzahl des Elektromotors (40) schaltbar sind.
Patent DE-102011075964-B4 (DE)
Title: Rotationswellenvorrichtung
Inventor: NORIHISA TAKASHI
IPC: B23Q11/12
Filed: 2011-05-17
Granted: 2022-11-10
Abstract: Rotationswellenvorrichtung (1), die eine Rotationsverbindung (18) aufweist,die eine vordere Verbindungsscheibe (19), die in einer hinteren Endfläche einer Rotationswelle (3), die mit hin- und hergehenden Durchflusskanälen (5) versehen ist, angeordnet ist, und eine hintere Verbindungsscheibe (20) enthält, die angeordnet ist, um der vorderen Verbindungsscheibe (19) gegenüberzuliegen, und die in der Lage ist, durch ein Pressteil bei einem vorbestimmten Druck gegen die vordere Verbindungsscheibe (19) gepresst zu werden,und die vordere Verbindungsscheibe (19) und die hintere Verbindungsscheibe (20) jeweils mit Vorwärtsverbindungslöchern (23, 28), die mit einer Vorwärtskanal (6) -Seite der hin- und hergehenden Durchflusskanälen (5) verbunden sind, und Rückwärtsverbindungslöchern (25, 30), die mit einer Rückwärtskanal (7)-Seite der hin- und hergehenden Durchflusskanäle (5) verbunden sind, versehen sind, wobeieine ringförmige innere Dichtung (21A, 26A) in zumindest entweder einer Fläche der vorderen Verbindungsscheibe (19) oder einer Fläche der hinteren Verbindungsscheibe (20), die einander gegenüberliegen, vorstehend angeordnet ist, und in dem Presszustand durch das Pressteil an der gegenüberliegenden Fläche an der Achsseite der gegenüberliegenden Verbindungsscheibe nahe einer Achse der Rotationswelle (3) anstößt,eine ringförmige äußere Dichtung (21C, 26C) in zumindest einer der gegenüberliegenden Flächen vorstehend angeordnet ist, und in dem Presszustand an der gegenüberliegenden Fläche an der äußeren Umfangsseite der gegenüberliegenden Verbindungsscheibe anstößt, und konzentrisch zu der inneren Dichtung (21A, 26A) positioniert ist,ein ringförmiger innerer Raum (33) mit den Vorwärtsverbindungslöchern (23, 28) oder den Rückwärtsverbindungslöchern (25, 30) verbunden ist, und ein ringförmiger äußerer Raum (34) mit den Rückwärtsverbindungslöchern (23, 28) oder den Vorwärtsverbindungslöchern (25, 30) verbunden ist, wobeider ringförmige innere Raum (33) und der ringförmige äußere Raum (34) benachbart konzentrisch zueinander zwischen der inneren Dichtung (21A, 26A) und der äußeren Dichtung (21C, 26C) angeordnet sind, unddie Vorwärtsverbindungslöcher (23, 28) und die Rückwärtsverbindungslöcher (25, 30) zumindest in der vorderen Verbindungsscheibe (19) in der Umfangsrichtung der gegenüberliegenden Fläche in einem gleichen Abstand angeordnet sind.
Patent DE-102011084261-B4 (DE)
Title: Aktiver Ringsensor mit Passstiften am Lager fixiert
Inventor: HEUBERGER ROBERT
IPC: G01P3/44
Filed: 2011-10-11
Granted: 2015-11-19
Abstract: Vorrichtung (6) zur Befestigung eines Signalaufnehmers (2) eines Drehzahlsensors (26) an einer Achse (10) eines Fahrzeugs, umfassend ein Halteelement (34) zum Tragen des Signalaufnehmers (2) und einen am Halteelement (34) ausgebildeten Passstift (46) einer Steckverbindung zum Zusammenführen mit einem entsprechenden Gegenstück der Steckverbindung an der Achse (10), so dass das Halteelement (34) und damit der Signalaufnehmer (2) mit der Achse (10) drehfest verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, dass ein weiterer Passstift (48), der mit einem die Achse (10) haltenden Radlager (4) in axialer Richtung fest verbindbar ist, umfasst ist und die beiden Passstifte (46, 48) einstückig ausgebildet sind, wobei der weitere Passstift (48) aus einem Material hergestellt ist, das weicher ist, als das Material des Passstiftes (46), und/oder wobei zwischen den Passstiften (46, 48) eine Sollbruchstelle ausgebildet ist.
Patent DE-102011085369-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Bearbeiten mindestens einer Gestellwand einer Druckmaschine
Inventor: EBERT REINHARD
IPC: G05D3/00
Filed: 2011-10-28
Granted: 2015-06-03
Abstract: Es wird ein Verfahren zum Bearbeiten mindestens einer Gestellwand einer Druckmaschine vorgeschlagen, wobei die betreffende Gestellwand mit einer ein Werkzeug haltenden Werkzeugmaschine bearbeitet wird, wobei ausgehend von einer Referenzposition eine Position des Werkzeugs relativ zu der aktuell zu bearbeitenden Gestellwand eingestellt wird, wobei die der Einstellung der Position des Werkzeugs dienende Referenzposition mit einer Messeinrichtung an einem in Zuordnung zu der betreffenden Gestellwand angeordneten Referenzkörper ermittelt und die Position des Werkzeugs ausgehend von der am Referenzkörper ermittelten Referenzposition relativ zu der betreffenden Gestellwand eingestellt werden, wobei ein Referenzkörper mit einem im Vergleich zu der betreffenden zu bearbeitenden Gestellwand selben Temperaturkoeffizienten und/oder selben Wärmedurchgangskoeffizienten und/oder mit einer selben Wärmeleitfähigkeit verwendet wird, wobei die zu bearbeitende Gestellwand und der ihr zugeordnete Referenzkörper während der Bearbeitung dieser Gestellwand in einem Bearbeitungsbereich der Werkzeugmaschine denselben klimatischen Bedingungen ausgesetzt werden.
Patent DE-102011107075-B4 (DE)
Title: Batteriemodul
Inventor: GEIEREGGER GEORG
IPC: H01M50/209
Filed: 2011-07-11
Granted: 2019-11-28
Abstract: Batteriemodul mit einer Anzahl von in Zellenmodulen (5) zusammengefassten Akkuzellen (6), wobei die Zellenmodule (5) auf einer Trägerplatte (1) angeordnet sind, von einem Gehäuse (14) umgeben sind und mittels eines in Kühlkanälen (3, 3', 4a, 4b) in einem geschlossenen Kühlkreislauf geführten Kühlmediums kühlbar sind, wobei, die zur Zu- und Abfuhr des Kühlmediums vorgesehenen Kühlkanäle (3, 3', 4a, 4b) an/in der Trägerplatte (1) verlaufen, und dass jedes Zellenmodul (5) mit einem Kühler (8) fest verbunden ist, welcher in die Kühlkanäle (3, 3', 4a, 4b) gesteckt ist und derart parallel in den Kühlkreislauf eingebunden ist und dass die Akkuzellen (6) in jedem Zellenmodul (5) parallel aufeinander gestapelt sind, wobei zwischen benachbarten Akkuzellen (6) jeweils ein Wärmeleitblech (9) eingefügt ist, wobei die Wärmeleitbleche (9) einseitig im Kühler (8) fixiert sind.
Patent DE-102011113296-B4 (DE)
Title: Rückenlehne für Sitze
Inventor: BAASS RAINER
IPC: B60N2/64
Filed: 2011-09-14
Granted: 2017-06-29
Abstract: Rückenlehne (15) für Sitze, insbesondere für Rollstühle, Autositze, Passagiersitze, Sessel, Stühle oder Sitzbänke, mit der Möglichkeit zur individuellen Einstellung oder Anpassung, wobei Teile der Rückenlehne relativ zueinander verstellbar, gegen abgewandelte Teile austauschbar, entnehmbar und/oder durch weitere Teile ergänzbar sind, wobei die Rückenlehne aus verschiedenartigen Teilen zusammengesetzt ist, nämlich mindestens einer im Wesentlichen aufrechten Säule (16) und einer oder mehreren sich quer zur Säule (16) erstreckenden Rippen (17), dadurch gekennzeichnet, dass die Rippen (17) jeweils gebildet sind aus einer Mehrzahl von Rippengliedern (18, 49, 57, 65, 67), welche relativ zueinander abwinkelbar sind.
Patent DE-102011120668-B4 (DE)
Title: Voreilende optische Schließkantensicherung für Tore
Inventor: BRECH JÖRG
IPC: E05F15/20
Filed: 2011-12-09
Granted: 2014-10-16
Abstract: Voreilende Schließkantensicherung, die ohne nachträgliche konstruktive Maßnahmen zum Einbau in vorhandene Roll- und Industrietore und neue Roll- und Industrietore geeignet ist und bei Schließen des Tores einfährt und beim Öffnen des Tores wieder automatisch ausfährt, dadurch gekennzeichnet, dass die voreilende Schließkantensicherung an der linken und rechten Rolle des letzten Türblattes des Roll- oder Industrietores in Aufsteckmontage auf die vorhandene Welle montiert wird und aus einem Lichtschrankengrundkörper (1, 6) besteht, der eine schlitzförmige Öffnung mit der Breite des Durchmessers der Haltewelle der Führungsrolle (3) und am unteren Ende Öffnungen für die Sicherheitseinweglichtschranke (2) sowie am oberen Ende eine Halterung für eine Zugfeder (4) besitzt, wobei diese Zugfeder mit einem verfahrbaren Haltewellenaufnehmer (5) verbunden ist, die auf der Haltewelle der Führungsrolle (3) bei der Montage vor der schlitzförmigen Öffnung des Lichtschrankengrundkörpers eingebracht wird.
Patent DE-102012007304-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Regeln einer Einschweißtiefe
Inventor: HESSE TIM
IPC: G01N21/62
Filed: 2012-04-13
Granted: 2014-12-18
Abstract: Verfahren (100) zum Regeln einer Einschweißtiefe (Eist) beim Verschweißen zweier Werkstücke (20a, 20b) mit den folgenden Schritten: – selektives Anordnen (102) eines Markerstoffs (24; 24') lokal zwischen den beiden Werkstücken (20a; 20b); – spektroskopisches Erfassen (106) eines elektromagnetischen Wellenspektrums (36), das während des Schweißprozesses (104) aus einer Schweißzone (28) emittiert wird; – Auswerten des elektromagnetischen Wellenspektrums (36) bei einer charakteristischen Spektrallinie (λM) des Markerstoffs (24; 24'); und – Regeln (110) der Einschweißtiefe (Eist) in Abhängigkeit von einer Intensität (I) der Spektrallinie (λM), wobei der Markerstoff (24; 24') als Bestandteil einer Beschichtung (26) auf einem der beiden oder auf beide Werkstücke (20a; 20b) aufgetragen wird, dadurch gekennzeichnet, dass als Beschichtung (26) eine Legierungsbeschichtung zum Vermeiden von Heißrissen eingesetzt wird.
Patent DE-102012021051-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Polieren eines Substrats
Inventor: GUO YI
IPC: H01L21/302
Filed: 2012-10-26
Granted: 2022-08-18
Abstract: Verfahren zum chemisch-mechanischen Polieren eines Substrats, umfassend:Bereitstellen eines Substrats, wobei das Substrat eine Polysilizium-Deckschicht umfasst, die auf Siliziumdioxid abgeschieden ist,Bereitstellen eines chemisch-mechanischen Polierzusammensetzungskonzentrats, wobei das chemisch-mechanische Polierzusammensetzungskonzentrat besteht aus:Wasser,0,1 bis 25 Gew.-% eines kolloidalen Siliziumdioxidschleifmittels mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von ≤ 100 nm,0,01 bis 1 Gew.-% eines diquaternären Kations gemäß der Formel (I):worin R1eine C2-C6-Alkylgruppe ist undworin R2, R3, R4, R5, R6und R7jeweils unabhängig aus einer C2-C6-Alkylgruppe ausgewählt sind,Bereitstellen eines ersten Verdünnungsmittels,Bereitstellen eines zweiten Verdünnungsmittels,Zusetzen des ersten Verdünnungsmittels zu einem ersten Teil des chemisch-mechanischen Polierzusammensetzungskonzentrats zur Bildung einer ersten Polierformulierung, wobei die erste Polierformulierung einen pH-Wert von >4,2 bis 11 aufweist, wobei die erste Polierformulierung so abgestimmt wird, dass sie eine erste Polysilizium-Entfernungsgeschwindigkeit von ≥200 nm/min und eine erste Polysilizium-zu-Siliziumdioxid-Entfernungsgeschwindigkeitsselektivität von 20:1 bis 600:1 aufweist,Bereitstellen eines chemisch-mechanischen Polierkissens,Erzeugen eines dynamischen Kontakts an einer Grenzfläche zwischen dem chemisch-mechanischen Polierkissen und dem Substrat,Abgeben der ersten Polierformulierung auf das chemisch-mechanische Polierkissen an oder in der Nähe der Grenzfläche zwischen dem chemisch-mechanischen Polierkissen und dem Substrat,Entfernen der Polysilizium-Deckschicht von dem Substrat,Zusetzen des zweiten Verdünnungsmittels zu einem zweiten Teil des chemisch-mechanischen Polierzusammensetzungskonzentrats zur Bildung einer zweiten Polierformulierung, wobei die zweite Polierformulierung einen pH-Wert von 2 bis 4,2 aufweist, wobei die zweite Polierformulierung so abgestimmt wird, dass sie eine zweite Polysilizium-Entfernungsgeschwindigkeit von ≥150 nm/min und eine zweite Polysilizium-zu-Siliziumdioxid-Entfernungsgeschwindigkeitsselektivität von 1:2 bis 10:1 aufweist,Abgeben der zweiten Polierformulierung auf das chemisch-mechanische Polierkissen an oder in der Nähe der Grenzfläche zwischen dem chemisch-mechanischen Polierkissen und dem Substrat undEntfernen von mindestens etwas mehr des Polysiliziums und mindestens einem Teil des Siliziumdioxids von dem Substrat.
Patent DE-102012100082-B4 (DE)
Title: Abgaswärmetauscher mit integrierter Vorrichtung zum Fördern eines Arbeitsfluids
Inventor: PRZYBYLSKI SVEN
IPC: F02G5/02
Filed: 2012-01-05
Granted: 2014-12-31
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft eine Abgaswärmetauscheranordnung sowie ein Verfahren zum Betreiben einer Abgaswärmetauscheranordnung, wobei dem Abgas Wärme für einen Arbeitsmittelprozess, insbesondere einem Rankine-Prozess, entzogen wird. Erfindungsgemäß ist in dem Wärmetauscher (5) der Abgaswärmetauscheranordnung ein Verdichter (11) integriert angeordnet.