baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102021121807-A1 (DE)
Title: Verfahren und vorrichtung zum steuern des terrainmodus unter verwendung eines strassenzustandsbeurteilungsmodells auf der basis von deep learning
Inventor: PARK SIN GI
IPC: B60W40/068
Filed: 2021-08-23
Abstract: Die vorliegende Offenbarung schafft nach einigen Ausführungsbeispielen ein Verfahren und eine Vorrichtung, welche ein auf Deep Learning basierendes Lernmodell verwenden, um ein Fahrzeug in die Lage zu versetzen, einen Straßenoberflächenzustand unter Verwendung eines auf Deep Learning basierendes Lernmodells selbstständig zu schätzen, einen für die von dem Fahrzeug befahrene Straßenoberfläche optimierten Terrainmodus zu bestimmen, und jeweilige fahrzeuginterne Module zu steuern und dadurch den Terrainmodus automatisch zu steuern.
Patent DE-102021122592-A1 (DE)
Title: Getriebeeinheit für ein Zweirad
Inventor: SCHLERETH DANIEL
IPC: B62M11/18
Filed: 2021-09-01
Abstract: Gegenstand der Erfindung ist ein Schaltsystem (14) zur Beschaltung einer Getriebeeinheit (1), aufweisend wenigstens eine beweglich angeordnete Schaltwelle (19, 20) und mindestens ein Schaltmittel (15, 16), wobei über eine Bewegung der Schaltwelle (19, 20) relativ zum Schaltmittel (15, 16) die Schaltstellung des Schaltmittels (15, 16) änderbar ist, wobei eine um eine Mittelachse (10) rotierbare Antriebswelle (18) als Teil des Schaltsystems (14) eingerichtet ist, die in einer ersten Schaltstellung des Schaltmittels (15, 16) wenigstens in einer Drehrichtung mit einer Komponente (5) der Getriebeeinheit (1) drehfest verbindbar ist und in einer zweiten Schaltstellung des Schaltmittels (15) in jeder Drehrichtung mit der Komponente (5) der Getriebeeinheit (1) entkoppelbar ist. Erfindungsgemäß ist das Schaltmittel (15, 16) in Verbindung mit der Antriebswelle (18) derart eingerichtet, dass wenigstens ein Teil des Schaltmittels (15, 16) mit einer Rotation der Antriebswelle (18) um die Mittelachse (10) mitrotiert, wodurch die Relativbewegung des Schaltmittels (15, 16) zur Schaltwelle (19, 20) erzeugbar ist. Die Erfindung richtet sich ferner auf eine Getriebeeinheit (1) mit wenigstens einem solchen Schaltsystem (1).
Patent DE-102021124841-A1 (DE)
Title: Elektromotorische Antriebseinheit für ein Fahrzeug
Inventor: BUNGARTZ FLORIAN
IPC: B62M6/45
Filed: 2021-09-27
Abstract: Antriebseinheit für ein Fahrzeug mit einem Elektromotor, einer Batterie und einem Steuerungssystem, wobei das Steuerungssystem die Leistungsabgabe des Elektromotors beim Erreichen einer zugelassenen Maximalgeschwindigkeit des Fahrzeugs beschränkt, wobei das Steuerungssystem die zugelassene Maximalgeschwindigkeit in Abhängigkeit von einem Erkennungssignal einer Erkennungsvorrichtung variiert.
Patent DE-102021128342-A1 (DE)
Title: Usb-vorrichtungsentfernung und ping-intervention in einer erweiterungsumgebung
Inventor: NAHVI MOHSEN
IPC: G06F13/40
Filed: 2021-10-29
Abstract: Bei einigen Ausführungsformen wird ein System zum Kommunizieren von USB-Informationen über ein Erweiterungsmedium bereitgestellt. Das System umfasst eine Upstream-weisender-Port-Vorrichtung (UFP-Vorrichtung) und eine Downstream-weisender-Port-Vorrichtung (DFP-Vorrichtung). Die UFP-Vorrichtung ist über eine USB-konforme Verbindung kommunikativ mit einer Hostvorrichtung gekoppelt. Die DFP-Vorrichtung ist über eine USB-konforme Verbindung kommunikativ mit mindestens einer USB-Vorrichtung gekoppelt und über ein Nicht-USB-Erweiterungsmedium kommunikativ mit der UFP-Vorrichtung gekoppelt. Die DFP-Vorrichtung ist ausgelegt zum Empfangen, von der UFP-Vorrichtung, eines ankommenden Anforderungspakets, das an einen durch eine USB-Vorrichtung bereitgestellten ersten USB-Endpunkt adressiert ist; und Zurückhalten einer Übertragung eines abgehenden Anforderungspakets basierend auf dem ankommenden Anforderungspaket an die USB-Vorrichtung als Reaktion darauf, dass bestimmt wird, dass noch kein Ping-Antwortpaket von dem ersten USB-Endpunkt empfangen wurde.
Patent DE-102021200617-A1 (DE)
Title: Verfahren zum anpassen einer helligkeit einer beleuchtung in einer bearbeitungsvorrichtung
Inventor: OMORI TAKAFUMI
IPC: H04N5/238
Filed: 2021-01-25
Abstract: Ein Verfahren zum Anpassen der Helligkeit einer Beleuchtung in einer Bearbeitungsvorrichtung beinhaltet durch eine erste Bearbeitungsvorrichtung Speichern eines Beispielbilds, das durch Fotografieren eines Werkstücks mit einer Helligkeit erhalten wird, die durch einen ersten Steuerungswert spezifiziert wird, zusammen mit dem ersten Steuerungswert, Kopieren des Beispielbilds, des ersten Steuerungswerts und einer Bearbeitungsbedingung zu einer zweiten Bearbeitungsvorrichtung, Speichern von mehreren Vergleichsbildern durch die zweite Bearbeitungsvorrichtung, die durch Fotografieren des Werkstücks mit Helligkeiten erhalten werden, die durch mehrere verschiedene Steuerungswerte spezifiziert werden, Identifizieren eines Steuerungswerts zu einem Zeitpunkt eines Fotografierens eines Vergleichsbilds, das einen minimalen Helligkeitsunterschied zu dem Beispielbild aufweist, als einen zweiten Steuerungswert durch Vergleichen des Beispielbilds mit den mehreren Vergleichsbildern und Einstellen eines Unterschieds zwischen den ersten und zweiten Steuerungswerten als ein Korrekturwert des Steuerungswerts der zweiten Bearbeitungsvorrichtung.
Patent DE-102021203990-A1 (DE)
Title: Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer kontinuierlichen Trajektorie eines Fahrzeuges, sowie deren Verwendung
Inventor: SCHMEINK ANKE
IPC: G05D1/10
Filed: 2021-04-21
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung einer kontinuierlichen Trajektorie eines Fahrzeuges, wobei die Trajektorie zwei Punkte (D1, D2) im Raum verbindet, wobei die Trajektorie an einem Ortspunkt (D0) zumindest vorbeiführen soll, wobei für das Fahrzeug eine vorbestimmte maximale Geschwindigkeit zur Verfügung steht und wofür für die Überführung des Fahrzeuges entlang der kontinuierlichen Trajektorie eine bestimmte Zeit zur Verfügung steht, aufweisend die Schritte:• Erhalten von Eingaben bezüglich der Koordinaten der zwei Punkte, des Ortspunktes, sowie der maximalen Geschwindigkeit und der bestimmten Zeit,• Bestimmen eines äquivalenten mechanischen Problems mit einem künstlichen Schwerefeld, wobei das Zentrum des künstlichen Schwerefeldes (APF) dem Ortspunkt entspricht,• Variieren von Startwinkel (a) und/oder Amplitude (Q) des Anfangsvektors, sodass eine kontinuierliche Trajektorie gebildet wird, wobei die vorbestimmte maximale Geschwindigkeit nicht überschritten und die vorbestimmte Zeit ausgenutzt wird.Die Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung zur Bestimmung einer kontinuierlichen Trajektorie eines Fahrzeuges, sowie deren Verwendung.
Patent DE-102021209424-A1 (DE)
Title: Verteileinheit für ein elektrisches Fahrrad
Inventor: LAUHOFF JAKOB
IPC: B62K19/30
Filed: 2021-08-27
Abstract: Es wird eine Verteileinheit (2) für ein elektrisches Fahrrad (4) gezeigt, wobei die Verteileinheit (2) ausgebildet ist, in einem Oberrohr (6) des Fahrrads (4) angeordnet zu werden, wobei die Verteileinheit (2) ein Steuergerät (10) und eine Leistungsschnittstelle (12) aufweist, wobei die Verteileinheit (2) über die Leistungsschnittstelle (12) mit einer Batterie (14) des Fahrrads (4) leistungsverbindbar ist, wobei die Verteileinheit (2) mit einem Verbraucher (16) über die Leistungsschnittstelle (12) leistungsverbindbar ist, und wobei das Steuergerät (10) eingerichtet ist, die Versorgung des Verbrauchers (16) mit elektrischer Energie von der Batterie (14) über die Verteileinheit (2) gemäß einem Steuersignal zu steuern. Ferner wird ein Fahrrad (4) mit einer solchen Verteileinheit (2) gezeigt.
Patent DE-102021210108-A1 (DE)
Title: Einführanordnung für eine medizinische Invasivkomponente
Inventor: WEISS ANDRÉ
IPC: A61M25/06
Filed: 2021-09-14
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Einführanordnung für eine medizinische Invasivkomponente.
Patent DE-102022000332-A1 (DE)
Title: Verfahren zur Erfassung eines Fahrzeuginnenraums mit einer Infrarotkamera und Fahrzeug
Inventor: SÄGER SEBASTIAN
IPC: B60R1/30
Filed: 2022-01-28
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erfassung von zumindest zwei Abschnitten (1.1, 1.2) eines Fahrzeuginnenraums (1) eines Fahrzeugs (5) mit einer Infrarotkamera (2), wobei ein Teil (3.2) des Strahlengangs (3) der Infrarotkamera (2) wenigstens einmal an einer Licht im Infrarotspektrum reflektierenden Oberfläche reflektiert wird, um das Sichtfeld der Infrarotkamera (2) zu erweitern.Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass als reflektierende Oberfläche eine Scheibe (4) des Fahrzeugs (5) verwendet wird.
Patent DE-102022004797-A1 (DE)
Title: Verfahren zum Betrieb einer Insassenschutzvorrichtung und Insassenschutzvorrichtung
Inventor: LAUKEMANN FELIX
IPC: B60R21/015
Filed: 2022-12-19
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb einer Insassenschutzvorrichtung für ein Fahrzeug (1) mit zumindest einer Innenraumkamera (6), mittels welcher Bilddaten zumindest eines Insassen (2) erfasst werden, wobei anhand der erfassten Bilddaten ermittelt wird, ob der Insasse (2) dicke Kleidung (4) trägt. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass- wenn anhand der erfassten Bilddaten ermittelt wird, dass der Insasse (2) dicke Kleidung (4) trägt, welche eine vorgegebene Dicke überschreitet,- ein Hinweis in Bezug auf ein erhöhtes Verletzungsrisiko für den Insassen (2) wegen einer Gefahr einer aus der dicken Kleidung (4) resultierenden unzureichenden Straffung eines angelegten Sicherheitsgurtes (5) ausgegeben wird. Weiterhin betrifft die Erfindung eine solche Insassenschutzvorrichtung.
Patent DE-102022100150-A1 (DE)
Title: Wandhalterung sowie Montageverfahren für diese Wandhalterung
Inventor: STEINER FRANK
IPC: A47K10/22
Filed: 2022-01-04
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Wandhalterung (10) zur Aufnahme eines Objekts (12) an einem aufgehenden Bauteil (14). Hierzu weist die Wandhalterung (10) ein Aufnahmemittel (16) sowie ein oder mehrere Lagerstege (18) auf. Das eine oder die mehreren Lagerstege (18) sind ausschließlich an einer Seite des Aufnahmemittels (16) angeordnet und bilden einen Endabschnitt (22) der Wandhalterung (10).
Patent DE-102022100873-A1 (DE)
Title: Nutzbremsung bei kommunikationsunterbrechungen
Inventor: PETTERSSON LARS NIKLAS
IPC: B60T17/22
Filed: 2022-01-14
Abstract: Die Offenbarung stellt Nutzbremsung bei Kommunikationsunterbrechungen bereit. Ein Bremssteuersystem beinhaltet eine Nutzbremssteuerung, eine Reibungsbremssteuerung und eine Master-Steuerung. Die Nutzbremssteuerung reduziert als Reaktion auf das Fehlen einer erwarteten Kommunikation zwischen der Master-Steuerung und der Nutzbremssteuerung die Nutzbremsung. Die Master-Steuerung befiehlt der Reibungsbremssteuerung als Reaktion darauf, dass die Verringerung der Nutzbremsung erfasst wird, die Reibungsbremsung zu erhöhen.
Patent DE-102022102695-A1 (DE)
Title: Gurtkurve
Inventor: FABIANATZ PHILIPP
IPC: B65G15/60
Filed: 2022-02-04
Abstract: Gurtkurve (1),
 die Gurtkurve dazu ist, einen Gegenstand entlang einer gekrümmten Förderrichtung (C) zwischen einem ersten Ende (E1) und einem zweiten Ende (E2) zu fördern, wobei die Förderrichtung (C) senkrecht zu einer radialen Richtung (R) ist;
 die Gurtkurve umfasst:
 - einen Tragrahmen (2);
 - ein Förderband (3), das umlaufend auf dem Tragrahmen (2) angeordnet ist und dazu eingerichtet ist, den Gegenstand zu tragen;
 - einen Antrieb (5), der eingerichtet ist, eine Antriebsleistung für das Förderband (3) bereitzustellen;
 - eine Führung (64), insbesondere eine Führungsschiene, die eingerichtet ist, das Förderband (3) in der Förderrichtung (C) zu führen, wodurch eine Führungskraft (F2) in radialer Richtung nach außen (R) bereitgestellt wird, gekennzeichnet durch eine Spannvorrichtung (7), die zur selektiven Änderung der radialen Führungskraft (F2) auf das Förderband (3) eingerichtet ist.
Patent DE-102022106337-A1 (DE)
Title: Zwischengeschaltetes Wechselrichtersystem und Verfahren zur Herstellung eines zwischengeschalteten Wechselrichtersystems
Inventor: HAYASHI KAZUHITO
IPC: H02M7/48
Filed: 2022-03-18
Abstract: Ein zwischengeschaltetes Inverter- bzw. Wechselrichtersystem (10) umfasst eine Wechselrichterschaltung (120), die DC-Energie von einer DC- Energieversorgung in AC-Energie umwandelt und AC-Energie einer AC-Netzleitung bereitstellt, einen Spannungssensor (151), der eine Spannung von DC-Energie auf einer DC-Energieversorgungsseite der Wechselrichterschaltung erfasst, einen DC-Stromsensor (161), der einen Strom von DC-Energie auf der DC-Energieversorgungsseite der Wechselrichterschaltung erfasst, und eine Motor-ECU (100), die die Wechselrichterschaltung steuert. Die Motor-ECU berechnet die gegenwärtige Leistung der von der Wechselrichterschaltung bereitgestellten AC-Energie unter Verwendung eines Produkts aus einem durch den Spannungssensor erfassten Spannungswert und einem durch den DC-Stromsensor erfassten Stromwert und steuert die Wechselrichterschaltung so, dass die berechnete Ist-Leistung einem Leistungsanweisungswert von außerhalb des zwischengeschalteten Wechselrichtersystems folgt.
Patent DE-102022109713-A1 (DE)
Title: Reiheninduktoren
Inventor: VANUKURU JR VENKATA NARAYANA RAO
IPC: H01F27/28
Filed: 2022-04-22
Abstract: Die vorliegende Offenbarung bezieht sich auf Halbleiterstrukturen, und insbesondere auf Reiheninduktoren und Herstellungsverfahren. Eine Struktur umfasst eine Vielzahl von Verdrahtungsniveaus, von denen jedes eine Verdrahtungsstruktur umfasst, die miteinander in Reihe verbunden sind. Ein zweites Verdrahtungsniveau ist über einem ersten Verdrahtungsniveau der Vielzahl von Verdrahtungsniveaus angeordnet. Eine Verdrahtungsstruktur auf dem zweiten Verdrahtungsniveau ist wenigstens teilweise außerhalb von Grenzen der Verdrahtungsstruktur des ersten Verdrahtungsniveaus.
Patent DE-102022112257-A1 (DE)
Title: Systeme und verfahren zum vorhersagen von mietfahrzeugpräferenzen eines kunden
Inventor: LERNER JEREMY
IPC: G06Q10/00
Filed: 2022-05-16
Abstract: Die Offenbarung betrifft im Allgemeinen Systeme und Verfahren zum Vorhersagen einer Fahrzeugpräferenz eines Kunden einer Mietfahrzeugfirma. Ein beispielhaftes Verfahren dafür schließt einen Computer ein, der eine Vorhersageprozedur zum Erhalten und Bewerten von Informationen, die mit einem Kunden assoziiert sind, ausführt. Die Informationen können einen Fahrzeugbesitzverlauf und/oder Überwachungsdaten beinhalten, die von durch den Kunden verwendeten Fahrzeugen (zum Beispiel einem persönlichen Fahrzeug, einem Taxi und/oder einem Fahrgemeinschaftsdienstfahrzeug) erhalten werden. Die Informationen können durch den Computer bewertet werden, um ein persönliches Profil des Kunden zu bestimmen. Das persönliche Profil kann Elemente, wie etwa physische Attribute des Kunden, eine Familiengröße, Fahreigenschaften und/oder einen vergangenen Fahrzeugbesitz, beinhalten. Das persönliche Profil des Kunden kann dann durch den Computer verwendet werden, um eine durch den Kunden bevorzugte Fahrzeugart vorherzusagen und ein Fahrzeug aus einer Fahrzeugflotte auszuwählen, das mit der bevorzugten Fahrzeugart übereinstimmt.
Patent DE-102022112529-A1 (DE)
Title: Aktive kühlergrillblende mit fussgängerschutz
Inventor: GLICKMAN DAVID BRIAN
IPC: B60K11/08
Filed: 2022-05-18
Abstract: Eine Kühlergrillbaugruppe für ein Fahrzeug wird offenbart und beinhaltet einen vorderen Rahmenabschnitt, einen hinteren Rahmenabschnitt und eine Vielzahl von Federabschnitten, die den vorderen Rahmenabschnitt an den hinteren Rahmenabschnitt koppeln, sodass der vordere Rahmen relativ zum hinteren Rahmenabschnitt beweglich ist. Eine Vorderwagenbaugruppe für ein Fahrzeug wird ebenfalls offenbart, die eine Gestellbaugruppe und ein aktives Kühlergrillblendensystem beinhaltet, das relativ zu der Gestellbaugruppe getragen wird. Das offenbarte Kühlergrillblendensystem beinhaltet eine Vielzahl von Federabschnitten, die einen vorderen Rahmenabschnitt und einen hinteren Rahmenabschnitt derart koppelt, dass der vordere Rahmen relativ zum hinteren Rahmen beweglich ist. Lamellen werden durch mindestens einen von dem vorderen und dem hinteren Rahmenabschnitt getragen und sind zum Steuern des Luftstroms drehbar.
Patent DE-102022112708-A1 (DE)
Title: Fahrer- und umgebungsüberwachung zur vorhersage menschlicher fahrmanöver und zur reduzierung menschlicher fahrfehler
Inventor: ROSALES RAFAEL
IPC: B60W40/08
Filed: 2022-05-20
Abstract: Es werden Techniken zum Detektieren, Informieren und automatischen Korrigieren typischer bewusstseinsbezogener Fehler menschlicher Fahrer offenbart. Dies kann solche umfassen, die durch ein falsches Verständnis der aktuellen Situation, mangelnde Konzentration oder Aufmerksamkeit und/oder übermäßiges Vertrauen in irgendwelche aktuell aktivierten Assistenzfunktionen verursacht werden. Die Offenbarung betrifft die Vorhersage von Fahrzeugmanövern unter Verwendung von Fahrer- und Externe-Umgebung-Modellierung. Die Konsequenz der Ausführung eines vorhergesagten Manövers wird basierend auf ihrem Risiko oder ihrer Gefahr für die Fahrumgebung kategorisiert, und das Fahrzeug kann basierend auf der Kategorisierung eines vorhergesagten Fahrmanövers verschiedene Aktionen ausführen, um dieses Risiko zu mindern oder zu beseitigen.
Patent DE-102022115770-A1 (DE)
Title: Trackball-Bedienvorrichtung
Inventor: FRIBUS VITALI
IPC: G06F3/0354
Filed: 2022-06-24
Abstract: Es wird eine Trackball-Bedienvorrichtung mit einem bedienbaren Ball (2) vorgeschlagen, der frei in sämtliche Rotationsrichtungen in einem Gehäuse (3) drehbar geführt ist, wobei den Rotationsrichtungen des Balles (2) vorbestimmte Bedien- und/oder Regelfunktionen zugeordnet sind, wobei dem Ball (2) zumindest ein erster Rotationsdämpfer (5) und ein zweiter Rotationsdämpfer (6) zum Erzeugen von haptischen Wahrnehmungen für einen Bediener bezogen auf die Rotationsrichtungen des Balles (2) zugeordnet sind und wobei die Rotationsachse (7) des ersten Rotationsdämpfers (5) und die Rotationsachse (8) des zweiten Rotationsdämpfers (6) in etwa senkrecht zueinander ausgerichtet sind. Ferner wird ein Fahrzeug mit der Trackball-Bedienvorrichtung vorgeschlagen.
Patent DE-102022123688-A1 (DE)
Title: Systeme und verfahren zum ausgleich des ladezustands von batteriesträngen
Inventor: KANG JUN-MO
IPC: B60K6/28
Filed: 2022-09-15
Abstract: Ein Batteriesystem enthält: Schalter; zwei Batteriemodule, wobei jedes der beiden Batteriemodule drei Stränge von Batteriezellen enthält, die dazu konfiguriert sind, zu unterschiedlichen Zeiten: in Reihe und über erste der Schalter mit einem ersten Pluspol verbunden zu sein; parallel und über zweite der Schalter mit einem zweiten Pluspol verbunden zu sein; und sowohl vom ersten als auch vom zweiten Pluspol getrennt zu sein; und ein Schaltersteuermodul, das konfiguriert ist zum: Bestimmen von Ladezuständen (SOCs) der jeweiligen Stränge von Batteriezellen; Bestimmen, unter Verwendung einer modellprädiktiven Steuerung, von jeweiligen Perioden von Phasen, um die SOCs der Batteriemodule auszugleichen; Bestimmen, unter Verwendung einer modellprädiktiven Steuerung, von jeweiligen Perioden für die Stränge, die während der Phasen verbunden werden sollen, um die SOCs der Stränge von Batteriezellen auszugleichen; und selektiven Betätigen der Schalter basierend auf den Perioden der Phasen und den Perioden für die Stränge von Batteriezellen.
Patent DE-102022128299-A1 (DE)
Title: Elektrowerkzeug
Inventor: NAITO AKIRA
IPC: H02K11/026
Filed: 2022-10-26
Abstract: Ein Elektrowerkzeug erzeugt weniger wahrscheinlich Rauschen. Ein Elektrowerkzeug (1) weist ein Gehäuse (2), einen Stator (33), der an dem Gehäuse (2) fixiert ist und eine Statorspule (36) aufweist, einen relativ zu dem Stator (33) drehbaren Rotor (34), einen Kommutator (45), zwei Bürsten (30), die mit dem Kommutator (45) in Kontakt kommen, und eine Bürstenhalterungseinheit (31), die die zwei Bürsten (30) hält, auf. Die Bürstenhalterungseinheit (31) weist zwei Kontaktschienen (82), die elektrisch mit der Statorspule (36) verbindbar sind, zwei erste Anschlüsse (92), die jeweils mit einer der zwei Kontaktschienen (82) in Kontakt kommen, zwei zweite Anschlüsse (94), die jeweils elektrisch mit einer entsprechenden Bürste (30) der zwei Bürsten (30) verbindbar sind, und eine Drosselspule (96), die sich zwischen mindestens einem der zwei ersten Anschlüsse (92) und mindestens einem der zwei zweiten Anschlüsse (94) befindet, auf.
Patent DE-102022203644-A1 (DE)
Title: Verfahren zum Herstellen eines Substrats und eines reflektiven optischen Elements für die EUV-Lithographie
Inventor: EHM DIRK
IPC: G03F7/20
Filed: 2022-04-12
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Substrats (30) für ein reflektives optisches Element für die EUV-Lithographie, umfassend die Schritte: Bereitstellen eines metallischen Grundkörpers (31) und Abscheiden einer Glättschicht (32) auf dem metallischen Grundkörper (31) mittels eines Abscheidungsprozesses, der mindestens einen Atomlagenabscheidungsschritt umfasst, in dem mindestens ein Teil der Glättschicht (32) mittels Atomlagenabscheidung abgeschieden wird. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Herstellen eines reflektiven optischen Elements für die EUV-Lithographie, umfassend die Schritte: Herstellen eines Substrats (30) gemäß dem weiter oben beschriebenen Verfahren, sowie Abscheiden einer Beschichtung zur Reflexion von EUV-Strahlung auf dem Substrat. Die Erfindung betrifft auch ein reflektives optisches Element für die EUV-Lithographie, welches nach dem Verfahren hergestellt ist, sowie ein EUV-Lithographiesystem, das mindestens ein solches reflektives optisches Element umfasst.
Patent DE-102022204944-A1 (DE)
Title: Sensoranordnung mit integrierter Elektronik
Inventor: SCHILLER HEINO
IPC: G01D11/30
Filed: 2022-05-18
Abstract: Um eine Sensoranordnung (10), aufweisend einen Sensorabschnitt (11) mit mindestens einem Sensor (21) und aufweisend mindestens einen Elektronikabschnitt (12) mit einer Elektronik (22) zum Ansteuern und/oder Auslesen des mindestens einen Sensors (21), zu schaffen, durch welche die Komplexität und die Bauteilvielfalt eines Fluidsystems (100) verringert wird, wird vorgeschlagen, den Elektronikabschnitt (12) auf einer starren Leiterplatte (42) anzuordnen; und den Sensorabschnitt (11) auf einer flexiblen Leiterplatte (41) anzuordnen oder in Form einer flexiblen Leiterplatte (41) auszubilden.
Patent DE-102022206183-A1 (DE)
Title: Dampfgarschublade mit Raumteiler und Heizelementen
Inventor: SAUERBIER ROLF
IPC: F24C1/00
Filed: 2022-06-21
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Dampfgarschublade mit einem aus einem Schubladengehäuse aus- und einfahrbaren Schubfach, aufweisend einen mittels mindestens eines Raumteilers in mindestens zwei Teilräume unterteilbaren Garraum, der einen wannenförmigen, durch einen Deckel abdeckbaren Gargutbehälter aufweist, mindestens einen thermisch isolierenden Raumteiler, der dazu eingerichtet ist, den Garraum oder einen Teilraum davon dampfdicht in zwei Teilräume zu unterteilen, einen Nassdampferzeuger, einen Dampfzufuhrkanal, der dazu eingerichtet ist, erzeugten Dampf in den Garraum zu leiten, mindestens einen Dampfablasskanal, der dazu eingerichtet ist, Dampf aus dem Garraum abzuleiten, wobei der Dampfzufuhrkanal dazu eingerichtet ist, den Dampf in jeden der Teilräume zu leiten, und ferner aufweisend mehrere Heizelemente, wobei jedem der möglichen Teilräume mindestens ein Heizelement zu seiner selektiven Beheizung zugeordnet ist, wobei die Dampfgarschublade dazu eingerichtet ist, abhängig von der Position des mindestens einen in den Gargutbehälter eingesetzten Raumteilers die zu den davon erzeugten Teilräumen gehörigen Heizelemente selektiv anzusteuern.