Patent RU-2735802-C1 (RU)
Title: Способ изготовления микродиагностического устройства
Inventor: Zakoldaev Roman Alekseevich
IPC: B81C1/00
Filed: 2019-11-01
Granted: 2020-11-09
Abstract: Использование: для изготовления микродиагностических устройств. Сущность изобретения заключается в том, что способ изготовления микродиагностического устройства заключается в формировании каждой из перегородок при совмещении плоскости минимального сечения лазерного пучка по уровню энергии 1/е 2 , диаметр сечения которого 2ω 0  определяют из выражения   где ω 0  - радиус минимального сечения лазерного пучка по уровню энергии 1/е 2 , М - качество пучка, λ - длина волны излучения, NA - числовая апертура объектива, и с плоскостью, отстоящей от тыльной поверхности пластины на расстояние, не меньшее чем   в которой, перемещая пластину относительно области минимального сечения лазерного пучка 2ω 0  на всю длину микродиагностического устройства по одной из координат X или Y, формируют первую линию уплотнения, входящую в совокупность линий уплотнения, составляющих перегородку, и далее, смещая плоскость с минимальным сечением лазерного пучка в направлении к верхней поверхности пластины по координате Z на расстояние, не меньшее чем   и не большее чем   а область минимального сечения лазерного пучка 2ω 0  смещают соответственно по одной из координат Y или X на расстояние, не меньшее чем 0,5⋅2ω 0  и не большее чем 1,0⋅2ω 0 , и перемещая пластину относительно области минимального сечения лазерного пучка 2ω 0  на всю длину микродиагностического устройства по той же координате, по которой формировали линию уплотнения, и далее, многократно чередуя смещение плоскости минимального сечения лазерного пучка 2ω 0  в направлении к верхней поверхности пластины по координате Z, а области минимального сечения лазерного пучка 2ω 0  по координате Y или X с перемещением пластины относительно области минимального сечения лазерного пучка 2ω 0  с перемещением на всю длину микродиагностического устройства, в соответствии с ограничениями на формирование линий уплотнения формируют перегородку. При этом последнюю линию уплотнения в перегородке формируют в плоскости, отстоящей от поверхности пластины на расстояние, не меньшее чем   и не большее чем   и осуществляют с длительностью импульса лазерного излучения не более 300 фемтосекунд при частоте следования импульсов не менее 500 кГц с плотностью энергии не менее 8⋅10 3  Дж/см 2  и не более 15⋅10 3  Дж/см 2  при скорости перемещения пластины относительно сфокусированного лазерного пучка не ниже 0,4 мм/с и не выше 2,5 мм/с, при этом используют пластину из пористого силикатного стекла, внешнюю часть каждой из перегородок на каждой из поверхностей которой после завершения формирования всех перегородок микродиагностического устройства создают области уплотнения с размером, превышающим размер перегородки не более чем в 1,2 раза путем перемещения пластины относительно сфокусированного на ее поверхность пучка непрерывного излучения СО 2 -лазера с плотностью мощности не ниже 2,8⋅10 4  Вт/см 2  при скорости сканирования не менее 0,1 мм/с и не более 0,5 мм/с. Технический результат: обеспечение возможности полного устранения взаимодействия материала матрицы микродиагностического устройства с диагностируемым веществом при сохранении возможности многократного использования матрицы, а также исключение как предварительного, так и последующего этапов обработки матрицы микродиагностического устройства. 28 ил.