baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent KR-970003859-A (KR)
Title: 반도체 소자의 금속 배선 형성 방법
IPC: H01L21/768
Filed: 1995-06-30
Abstract: 1. 청구 범위에 기재된 발명이 속한 기술분야 
     고집적 반도체 소자 제조 방법. 
     2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제 
     종래의 금속배선 제조 방법에 있어서, 동일한 식각 장치 내에서 TiN막, 알루미늄 합금막, 텅스텐막 및 Ti+TiN 복합막을 식각할 경우 장시간이 소요되어 식각 장치에 무리가 가해지게 되고 C1계 가스와 F계 가스의 혼합으로 식각장치내에 불순물 입자의 발생이 증가할 가능성이 커져서 제조 수율이 저하하게 되며 식각 종료 후에는 감광막 패턴의 경화로 인해 제거하기 어렵다는 문제점을 해결하고자 함. 
     3. 발명의 해결방법의 요지 
     티타늄 나이트라이드막과 알루미늄 합금막을 식각한 다음에 감광막 패턴을 제거하고, 노출된 티타늄 나이트라이드막을 식각 마스크로 하여 텅스텐막을 식각한 다음에 노출된 티타늄 나이트라이드막과 티타늄-티타늄나이트라이드 복합막을 동시에 식각함으로써, 파티클에 의한 오염을 방지하고 감광막의 경화를 방지할 수 있는 금속 배선 형성 방법을 제공하고자 함. 
     4. 발명의 중요한 용도 
     초미세 콘택홀을 갖는 고집적 반도체 소자 제조에 이용됨.
Patent KR-970006992-A (KR)
Title: 무단변속기구
Filed: 1995-07-01
Abstract: 본 발명은 변속기의 구성부분을 이루는 무단변속기구에 관한 것으로, 하나의 유성기어유닛(1)과 토오크를 변화시키는 토오크컨버터(2)로 구성되면서, 상기 유성기어유닛(1)의 선기어(3)에 동력원이 입력축(5)을 통해 연결되고, 상기 선기어(3)의 둘레에 소정의 간격을 두고 배치된 다수개의 피니언기어(6)가 피니언캐리어(7)를 매개하여 토오크컨버터(2)의 임펠러(8)와 연결되어 있으며, 상기 임펠러(8)로부터 동력을 전달받아 회전하게 되는 토오크컨버터(2)의 터어빈(9)은 상기 유성기어유닛(1)의 링기어(10)와 연결되어 있는 한편, 상기 링기어(10)는 링기어축(11)과 출력축(12)을 매개하여 차동기어(13)와 연결된 구조로 이루어져, 엔진에서 전달되는 동력이 출력축에 가해지는 부하의 크기에 따라 자동적으로 제어되면서, 상기 부하에 알맞는 크기로 출력되어지도록 되어 있다.
Patent KR-970005678-A (KR)
Title: 승강식 와셔(washer)액 노즐구조
IPC: B60S1/52
Filed: 1995-08-08
Abstract: 본 발명은 승강실 와셔(WASHER)액 노즐구조에 관한 것으로 자동차 전면 엔진룸 후드에 구비되는 와셔액 노즐을 와셔액 분출시에만 돌출되도록하여 와셔액의 분출이 가능하며 사용후에는 하강되어 엔진룸후드에 은폐시켜 돌출되지 않도록하여 외관이 향상되도록 와셔액 노즐의 사용시 분무되는 와셔액의 압력을 이용하여 전원이 온.오프 되도록하여 모터와 기어 동작에 의해 상·하승강 되도록 하며 사용후에는 후드의 외측곡면과 일치되도록 하강시켜 외측으로 돌출되지 않도록 하여 외관의 향상 효과를 가져오도록 한 승강식 와셔액 노즐구조에 관한 것이다.
Patent KR-970011156-A (KR)
Title: 복합소재 직물의 감량처리방법
Filed: 1995-08-11
Abstract: 본 발명은 복합소재 직물의 감량처리방법에 관한 것으로, MGY(Micro-Grooved Yarn)와 고수축성사로 인터레이스(Interlaced)된 복합소재로 제직된 복합직물을 탱크 감량기에서 약알칼리 조제와 감량촉진제를 병용하여 감량처리를 하므로써 직물의 촉감이 우수하고 완제품의 외관상 경사줄의 발생이 현저하게 개선된 폴리에스테르의 복합사로 제직된 복합소재 직물의 감량처리방법에 관한 것이다.
Patent KR-970012513-A (KR)
Title: 광디스크 플레이어의 루프게인 조절장치
IPC: G11B19/02
Filed: 1995-08-22
Abstract: 본 발명은 일반적인 씨디플레이어나 비디오씨디플레이어와 같은 디스크 재생장치에서 서보루프계의 오프셀 보상 기술에 관한 것으로, 워블링신호(X)에 오프셀이 발생되는 경우 상기 펄스폭 검출부(52B), 슬라이스레벨 제어부(52C), 슬라이스레벨 설정부(52D)를 통해 파형정형기(52A)의 기준레벨인 슬라이스 레벨이 자동적으로 조정되어 이로부터 오프셀에 관계없이 항상 50%의 듀티비를 갖는 보정된 워블링신호(X')가 출력되도록 하고, 위상 비교부(52F)는 그 보정된 워블링신호(X')와 워블링신호(Y)의 위상을 비교함으로써 전압제어형 증폭기(54A)의 제어진압을 정확하게 산출할 수 있게 되며, 이로 인하여 항상 안정된 재생상태를 보장할 수 있게 된다.
Patent KR-970013375-A (KR)
Title: 마스크-롬 및 그 제조방법
IPC: H01L27/112
Filed: 1995-08-22
Abstract: 신규한 마스크-롬 및 그 제조방법이 개시되어 있다. 제1 및 제2 스트링 선택 라인에 각각 그 게이트가 연결된 복수개의 스트링 선택 트랜지스터 ; 상기 복수개의 스트링 선택 트랜지스터에 직렬 연결되어 하나의 스트링을 구성하는 복수개의 셀 트랜지스터 ; 상기 스트링의 끝단에 형성되고 대기라인에 그 게이트가 연결된 대기라인 트랜지스터 ; 상기 스트링 선택 트랜지스터, 셀 트랜지스터, 및 대기라인 트랜지스터를 직렬 접속시키기 위해 형성된 복수개의 불순물층 ; 및 상기 셀 트랜지스터와 셀 트랜지스터 사이에 선택적으로 형성되고 상기 불순물층에 직접 접속되는 워드라인을 갖는 콘택 셀을 구비한다. 셀 트랜지스터들 사이에 선택적인 콘택 셀을 형성함으로써 집적도를 증가시킬 수 있다.
Patent KR-960006938-A (KR)
Title: 혈액 항응고제에 대한 해독제로서 사용하기에 적합한 조성물 및 이의 용도
IPC: A61K38/37
Filed: 1995-08-25
Abstract: 본 발명은 혈액 항응고제에 대한 해독제로서 사용되며 바람직한 형태로 성분중의 하나인 프로트롬빈 착체 농축물과 함께 혈액 응고를 촉진시키는 상이한 성분의 조합을 나타내는 조성물에 관한 것이다.
Patent KR-960014327-A (KR)
Title: 세포 또는 고정화 세포 현탁액의 보존 방법
IPC: C12N1/04
Filed: 1995-10-14
Abstract: 본 발명은 효소 활성을 지닌 미생물 세포를 이의 현택액으로서 또는 입자중의 고정화 세포의 현탁액으로서, 100mM 내지 무기 염의 포화 농도 범위의 몰 농도를 갖는, 무기 염의 중성 또는 약염기성 수용액인 수성 배지중에서, 상기 효소 활성을 지닌 세포 및 이의 효소 활성을 장시간 동안 안정하게 보존시키는 방법에 관한 것이다. 
     본 발명은 실온에서 조차도 세포 용해도 또는 효소 열화없이도 장시간(예 : 300일)동안 니트릴 하이드라타제 또는 니트릴라제 효소 활성을 갖는 다량의 세포 또는 입자중의 고정화 세포를 보존시키는 산업상 유용한 방법을 제공한다. 또한, 본 발명은 통상의 보존 방법에 필요한 노동력과 냉각비용을 상당히 감소시킬수 있게 한다.
Patent KR-970020598-A (KR)
Title: 증발가스 제어장치에서의 자기진단방법
Filed: 1995-10-30
Abstract: 본 발명은 차량을 시동이 걸린 상태에서 주유하게 되는 경우 연료 탱크내 압력 변화가 심하게 발생하면서 경고 램프를 점등시키게 되는 오작동을 방지시키기 위한 증발가스 제어장치에서의 자기진단방법에 관한 것이다. 
     즉 본 발명은 시동 중에 연료를 주입하면서 연료 탱크(1)내 압력이 급상승 및 급하강하게 되는 주유 모드상태가 전자 제어 장치에서 체크되면 경고 램프를 계속 소등상태로 유지시켜 정상상태로 시스템이 운용되도록 하므로서 시스템의 오동작을 방지하도록 하는 동시에 운전자가 안심하고 운전을 할 수 있도록 하면서 자기 진단에 신뢰성을 향상시키도록 하는 매우 유용한 효과가 있는 것이다.
Patent KR-970030818-A (KR)
Title: 반도체 소자의 캐패시터 제조방법
Filed: 1995-11-06
Abstract: 본 발명은 반도체소자의 캐패시터 제조방법에 관한 것으로, 하부전극의 표면적을 증가시키기 위하여, 하부전극의 금속핵을 성장시키고, 금속핸들을 마스크로 하부전극을 식각하여 하부전극 상부표면에 촘촘한 굴곡을 형성하여 단위면적당 캐패시터 용량을 증대시킨다.
Patent KR-970026461-A (KR)
Title: 자동차의 전동 백미러 장치
Filed: 1995-11-23
Abstract: 1.  청구 범위에 기재된 발명이 속한 기술 분야 
     자동차의 전동 백미러 장치 
     2.  발명이 해결하려고 하는 기술적 과제 
     현재 시판되고 있는 거의 모든 자동차가 좌우측의 사이드 미러는 전동식으로 상하, 좌우 미세 조정을 하도록 되어 있으나, 룸미러는 수동으로 조작하도록 되어 있기 때문에 미세 조정이 어려울 뿐아니라 과도한 조작시 미러를 지지하는 지지대응이 파손되어 교체해 주어야 하는 일이 자주 발생하는 문제점이 있었음. 
     3.  발명의 해결방법의 요지 
     기존의 좌우측 사이드 미러를 선택하기 위한 좌우 변환 스위치를 3단으로 구성하고 룸미러에 모터를 부착하여 사이드 미러와 룸미러 모두를 전동식으로 조절할 수 있는 전동 백미러 장치를 제공하고자함. 
     4.  발명의 중요한 용도 
     자동차의 룸미러를 전동식으로 조절하기 위해 이용됨.
Patent KR-970047976-A (KR)
Title: 자동변속기 출력측 토크 측정장치
Filed: 1995-12-08
Abstract: 본 발명은 자동변속기 출력측 토크 측정장치에 관한 것으로 자동변속기에 연결된 고정된 축과;자동변속기의 다른 쪽에 등속 쪼인트를 통해 연결된 부하장치와; 상기 고정축에 연결하여 자동변속기 출력측의 토크를 검출하기 위한 스트레인 게이지와;상기 스트레인 게이지의 출력신호를 아날로그/디지탈 변환하여 출력하기 위한 아날로그/디지탈 변환기와;상기 아날로그/디지탈 변환기의 디지탈 신호를 입력받아 자동변속기 출력측의 토크를 측정하기 위한 퍼스널 컴퓨터를 포함하여 구성되어 저렴한 비용으로 정확한 신호를 검출할 수 있는 자동변속기 출력측 토크 측정장치에 관한 것이다.
Patent KR-960022278-A (KR)
Title: 오존처리방법 및 오존처리장치
IPC: C02F1/78
Filed: 1995-12-13
Abstract: 본 발명의 목적은 피처리수를 오존접촉지에 도입하여 오존처리를 행하는 방법에 있어서, 오존접촉지에 도입되기 전의 피처리수 일부를 시험용수로 취출하여 오존을 주입하고, 이 때의 주입오존량과 배기오존농도 및 용존오존농도 그리고 시험용수 유량으로부터 시험용수의 오존소비량을 연산하고, 상기 오존소비량과 오존접속지에 유입되는 피처리수 유량 및 오존흡수효율로부터 상기 피처리수에의 오존주입량을 결정하고, 상기 오존주입량에 의하여 오존접촉지에서의 오존처리를 행하는 오존처리방법을 제공하는데 있다. 
     본 발명에 의하면 피처리수중의 오존소비성분이 되는 유기물농도가 급격히 변동하여도 오존주입량을 과부족 없이 적절히 주입할 수 있다.
Patent KR-970056172-A (KR)
Title: 주파수가 서로 다른 클럭과 데이타간의 위상정렬정치
IPC: H04L7/04
Filed: 1995-12-13
Abstract: 본 발명은 전송시스템에서 주파수가 서로 다른 클럭과 데이터간의 위상정렬장치에 관한 것으로서, 주파수가 서로 다른 2개의 클럭으로(f1,f2)부터 추출된 공약수의 주파수(fc1,fc2)는 제어신호로만 사용하여 위상을 제어하고 병렬 데이터의 재생은 입력 클럭으로(f2)재생하고, 위상경계신호를(error)샘플링하여, 그 값으로 분주기의 동작을 제어함으로써 위상을 정렬함으로써 게이트수가 많고, 주파수가 높은 주문형 반도체(ASIC)설계시 신호를 저속으로 병렬화하여 처리하는데 매우 유리한 효과를 갖는다.
Patent KR-970053030-A (KR)
Title: 전계효과트랜지스터 제조 방법
IPC: H01L21/334
Filed: 1995-12-16
Abstract: 본 발명은 반도체 기판 상에 절연막을 형성하는 단계; 상기 반도체 기판의 소정 부위에 제1접합영역을 형성하는 단계; 상기 제1접합영역에 오버랩된 보조막 패턴을 형성하는 단계; 전체구조 상부에 전도막을 형성하고 상기 전도막을 비등방성 전면식각하여 상기 보조막 패턴 측벽에 전도막 패턴을 형성하는 단계; 상기 보조막 패턴 및 전도막 패턴으로 덮히지 않은 상기 반도체 기판에 제2접합영역을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전계효과트랜지스터 제조 방법에 관한 것으로, 사진식각공정에서 결정할 수 있는 선폭의 한계를 극복하여 서브-쿼트 미크론의 선폭을 갖는 게이트전극을 형성할 수 있어 소자의 고집적화를 앞 당길 수 있으며, 사진식각공정 장비의 개발 및 구입에 따른 비용절감 효과를 가져올 수 있다. 
     또한, 사진식각공정으로 게이트 전극을 형성하는 경우, 웨이퍼 전체에 걸쳐 그 크기가 달라질수 있고 크기 조절 또한 어려우나 본 발명을 사용하는 경우 게이트의 크기 조절이 자유롭고 크기의 균일도 또한 양호하게 된다.
Patent KR-960039363-A (KR)
Title: 반도체장치 및 그의 제조방법
IPC: G11C11/41
Filed: 1995-12-20
Abstract: 반도체장치 특히 SRAM(STATIC RANDOM ACCESS MEMORY)에 있어서, 메모리 셀의 구조를 배선 저항이 작기 때문에 판독동작을 안정화시켜 기생 트랜지스터에 의한 오동작이 적고, 또한 형성이 용이한 필드 패턴을 가지는 것으로 한다. 
     접지배선이나 워드선이 메모리 셀 내에 있어서 다른 배선의 위에 형성되지 않도록한 배선 위치로서 배선장을 제거하는 것으로 배선 저항을 저감하고, 이것에 의하여 판독동작의 안정화를 도모한다. 
     더 접지 배선을 반도체기판에 가까운 배선층에 의하여 형성한 것에 의하여, 종래 보다도 접지배선과 부하소자의 거리를 크게하기 때문에, 접지배선이 개생 트랜지스터의 게이트전극으로서 작용하고, 오동작하는 것을 억제되어 또, 필드배선의 향상을 간결로 하는 것이 가능하다.
Patent KR-970040244-A (KR)
Title: 차속 감응형 윈드실드 와셔 노즐
Filed: 1995-12-20
Abstract: 본 발명은 고속 주행시나 풍속이 빠른 상태에서 주행하는 경우 와셔액의 분출속도를 증대시켜 윈드실드 글래스 상단까지 와셔액을 분사시킬 수 있는 구조의 차속 감응형 윈드실드 와셔 노즐에 관한 것으로, 노즐 팁이 설치된 와셔 노즐의 타단에는 흡기구를 통해 공기가 유입되는 에어 챔버가 형성되어 있으며, 에어 챔버에는 스프링을 개제하여 스토퍼에 의해 탄성 지지되어 차속에 따라 흡기루를 선택적으로 개방하는 플런저가 설치되어 있다.
Patent KR-970039844-A (KR)
Title: 자동차 안전벨트의 충격흡수장치
IPC: B60R22/28
Filed: 1995-12-27
Abstract: 본 발명은 자동차 안전벨트의 충격흡수장치에 관한 것으로, 버클(10)이 장착되는 장착구(22)내부에는 고정돌기(24)와 다수의 돌기부(26a,26b,26c)가 방사상으로 형성된 회전돌기(26)를 설치하여 걸림구(15)를 고정돌기(24)와 회전돌기(26)사이에 끼워, 충돌사고시 안전벨트(10)에 인장력에 걸려 상기 걸림구(15)가 외측으로 급속하게 빠져나가게 될때, 걸림구(15)가 고정돌기(24)와 회전돌기(26)사이에 다단계로 찝히면서 빠져나가도록하여 안전벨트(10)가 다단계로 신장되면서 신체에 가해지는 순간적인 압박력을 감소시킬 수 있도록 한 것이다.
Patent KR-970039727-A (KR)
Title: 암레스트 조합형 시트 벨트의 아동 보호장치
IPC: B60R22/10
Filed: 1995-12-27
Abstract: 본 발명은 차량용 시트 벨트에 있어서 특히, 차 실내에서 시트밸트의 착용 안전성을 배려하여 별도의 쿠션 부착물을 활용함으로써, 시트 벨트의 착용 안전성을 향상시켜 주기 위하여 차 실내 시트에서 이착탈 가능한 분리홈이 형성되고, 측 병상에 횡 방향성 절개부가 형성된 암레스트를 구성하여 시트벨트 착용단계에서 상기 암레스트에 형성된 절개부측에 시트벨트를 삽입하여 암레스트이 쿠션으로 신체 상해치를 낮춰 주도록 수어된 암레스트 조합형 시트벨트의 아동 보호장치를 제공한 것이다.
Patent KR-970044455-A (KR)
Title: 자동차의 트랜지션트 테스팅을 위한 엔진의 강제냉각방법
IPC: F01P5/00
Filed: 1995-12-27
Abstract: 본 발명은 자동차의 트랜지션트(TRANSITIENT) 테스팅(TESTING)을 위한 방법에 관한 것으로, 특히, 오일을 강제적으로 순환시켜 엔진을 냉각시키기 위한 오일순환펌프(1)와 냉각수를 강제적으로 순환시켜 엔진을 냉각시키기 위한 냉각수순환펌프(2)를 사용하여 오일과 냉각수를 강제적으로 순환시키도록 구성됨을 특징으로 하는 자동차의 트랜지션트 테스팅을 위한 엔진의 강제냉각방법이다.
Patent KR-970040337-A (KR)
Title: 자동차의 사이드 미러 클리닝장치
Filed: 1995-12-28
Abstract: 본 발명은 자동차의 사이드 미러를 효과적을 클리닝 할 수 있는 자동차의 사이드 미러 클리닝 장치를 제공하기 위하여 미러(20)와 인접해 있는 미러 하우징(21)의 테두리부(22)에 상기 미러(20)를 향해 와셔액(W1)과 세척수(W2)를 각각 분사하는 분사노즐(N1) (N2)을 설치하고, 펌프 스위치(PSW1) (PSW2)에 의해 온/오프되어 차내에 설치되어 있는 와셔액 통(30)과 세척수 통(32)으로부터 공급되는 와셔액(W1)과 세척수(W2)를 상기 분사노즐(N1)(N2)쪽으로 압송하는 각각 개별적인 펌프(P1)(P2)를 상기 와셔액 통(30)및 세척수 통(32)과, 상기 분사노즐(N1)(N2)을 연결하는 유체 통로상에 각각 게재시키는 한편, 상기 미러(20)를 홀딩하고 있는 미러 홀더(34)이 후면상에 상기 미러(20)의 표면에 물은 와셔액(W1) 및 세척수(W2)를 털어버리기 위한 진동 모터(40)를 설치하여 구성한 것이다.
Patent KR-970039263-A (KR)
Title: 차량의 범퍼취부용 스테이 결합구조
Filed: 1995-12-29
Abstract: 본 발명은 차량의 범퍼취부용 스테이 결합구조에 관한 것으로, 종래에는 절곡부를 형성하는 공정이 추가되어 작업 공정이 비효율적이었다.  따라서 본 발명에서는, "ㄷ"자형의 상, 하부몸체(112)(114)로 된 차량의 범퍼 취부용 스테이(110)의 결합구조에 있어서, 상기 상부몸체(112)의 폭은 L'로 형성하는 동시에 상기 하부몸체(114)의 폭은 L로 형성하여 그 하부몸체(114)에 상부몸체(112)가 끼워지게 한 것으로, 상부몸체에 절곡부를 형성하는 대신에 상부몸체의 폭을 하부몸체의 폭보다 넓게 형성함으로써 상부몸체와 하부몸체를 서로 결합할 때 작업성이 향상되는 발명이다.
Patent KR-970044715-A (KR)
Title: 차량의 공회전 조절기의 고장 판단방법
IPC: F02D9/00
Filed: 1995-12-30
Abstract: 본 발명은 차량의 공회전 조절기의 고장 판단 방법에 관한 것으로서, 공회전 조절기를 통하여 흡입되는 공기량 보정을 위한 Ⅰ-제어기의 값과 엔진의 회전수를 판독하고, Ⅰ-제어기의 값이 상한값이고 엔진 회전수가 일정값 이하인 경우 고장으로 판단한다. 또, Ⅰ-제어기의 값이 하한값이고 엔진 회전수가 일정값 이상인 경우 새로운 하한값을 설정하고, Ⅰ-제어기의 값이 하한값이고 엔진 회전수가 일정값 이상인 경우에도 고장으로 판단한다. 그뿐 아니라, 공회전시 연료 차단 회수를 판독하여 연료 차단 회수가 일정값을 초과하는 경우에도 고장으로 판단한다. 
     이와 같이 Ⅰ-제어기의 값이 상한값 또는 하한값에 도달한 경우 엔진 회전수의 변동을 측정하고, 또 공회전시의 연료 차단 회수를 점검하여 더욱 정확하게 공회전 조절기의 고장을 판단할 수 있다.
Patent KR-970044777-A (KR)
Title: 오토매틱 차량의 연비(Power/Economy) 모드 통합 방법
IPC: F02D28/00
Filed: 1995-12-30
Abstract: 본 발명은 오토매틱 차량의 연비(Power/Economy)모드 통합 방법에 관한 것으로서, 종래에는 오토매틱 차량의 연비(Power/Economy)모드의 프로그램이 분리되어 있는 것으로, 운전자의 모드 선택에 따라 어느 한 프로그램이 분리되어 있는 것으로, 운전자의 모드 선택에 따라 어느 한 프로그램만을 사용할 수 있도록 되어 있다. 즉, 상기 일정모드(Economy)는 저연비, 저소음 상태의 주행을 나타내며, 또다른 일정모드(Power)는 화려한 주행을 할 수 있도록 한 것으로, 운전자의 요구에 따라 사용할 수 있지만 시내 주행과 같은 도로 상태에서는 계속적인 연비모드를 변경해야 하는 불편한 문제점이 있었다. 따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 오토매틱 차량의 연비(Power/Economy)모드의 프로그램을 하나로 통합하여 트로틀 포지션 센서(TPS)값에 따라 상기 통합된 모드를 자동으로 전환시킬 수 있도록하여 차량을 이용하는 운전자에게 사용상의 편의를 제공하면서 차량의 연비를 줄이고자 하는 오토매틱 차량의 연비(Power/Economy)모드 통합 방법이다.
Patent KR-970034104-A (KR)
Title: 현가 장치의 볼 조인트
Filed: 1995-12-30
Abstract: 본 발명은 조립이 간단하고, 이상이 발생하였을때 일부 부품의 교체가  용이하며, 내구성이 향상된 자동차의 전방 현가 장치에 연결되는 볼 조인트이며, 하부 아암이 결합되는 볼 조인트의 외부면 하부에 플랜지가 형성되고, 볼은 일단이 조향륜의 조향 너클에 연결된 로드에 연결되어 소켓내에 수용된다.  베어링 부시는 소켓내에서 볼을 감싸는 것에 의하여 볼과, 구면 결합되고, 베어링 시트는 소켓내에 수용되어 베어링 부시를 지지하도록 베어링 부시의 하부에 위치되며, 밀폐 부재가 소켓의 하단부와 세트 스크루에 의하여 결합되며, 중앙 내부에 베어링 시트를 지지하는 볼록부가 형성되어 있다.
Patent KR-970039367-A (KR)
Title: 보강부와 에너지 업소버 포옴이 일체로 된 범퍼
Filed: 1995-12-30
Abstract: 본 발명은 범퍼의 조립 및 교체 또는 수리시에 작업이 용이하도록 자동차의 보강부와 에너지 업소버 포옴이 일체로 된 범퍼이며, 보강부와 중공부를 형성하도록 판재가 보강부에 설치되며, 중공부에는 우레탄 포옴이 충진된다.
Patent KR-960700744-A (KR)
Title: 백신 조성물 및 전신 백신 접종을 통한 점막 면역 반응 유발 방법(Vaccine Compositions and Method for Induction of Mucosal Immune Response via Systemic Vaccination)
IPC: A61K39/12
Filed: 1994-02-03
Abstract: 본 발명은 항원 및 임파성 기관 조절제를 포함하는 백신에 관한 것이다. 적합한 임파성 기관 조절제로는 1.25-디히드록시 비타민 D 3 , 생물학적으로 활성이며 세포내 비타민 D 3 수용체를 활성화시킬 수 있는 비타민 D 3 유도체, 모든 트란스-레티노산, 레티노산 유도체, 레티놀, 레티놀 유도체 및 글루코코르티코이드를 들 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 백신 조성물은 또한 면역 반응 촉진제를 추가로 포함할 수 있다. 면역 반응 촉진제는 T세포 림포킨 형성을 촉진시킨다. 적합한 면역 반응 촉진제로는 DHEA 및 DHEA유도체를 등 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. DHEA유도체로의 예로는 DHEA-황산염(DHEA-S), 16-α-브로모-DHEA 7-옥소-DHEA, 16-α-Br-DHEA-S 및 7-옥소-DHEA-S-를 들 수 있다.
Patent KR-960701247-A (KR)
Title: 원통형 코러 둘레에 편평한 리본들을 배치하는 방법 및 장치(method and apparatus for applying flat ribbons about a cylindrical core)
IPC: G02B6/44
Filed: 1995-01-30
Abstract: 편평한 필라멘트들 또는 리본들은 그 필라멘트들이 중앙의 원통형 코어 부재의 나선형 표면들에 접선적으로 배치되는 지점들에 가까운 폐쇄 스테이션들로 그 필라멘트들을 모으도록 하는 활차들의 시스템에 의해 편향된다. 연속하는 세트들의 필라넨ㅁ트 편향 활차들이, 평활한 코어에 배치되는 스페이서 요소들에 의해 분리될 수 있는 다발들 또는 더미들로 필라멘트들을 쌓아 올리거나, 또는 필라멘트들이 코어의 나선형 홈들 또는 슬로트들내에 삽입될 수 있다. 바람직하게는, 각 더미를 형성하는 인접한 필라멘트들이 코어에의 배치 직전까지 접촉을 방지하거나 미끄럼 마찰을 완전히 제거하도록 안내된다. 이 장치와 방법은, 편평한 리본들이 코어에 형성된 나선형 홈들내에, 또는 평활한 코어의 원통형 표면 둘레에 감길 수 있는 광섬유 케이블, 가요성의 고압 복함 파이프 등을 제조하는데 사용될 수 있다. 다른 갯수의 필라멘트 유니트들이 코어 둘레에 감길 수 있고, 다른 갯수의 필라멘트들 또는 리본들이 하나 이상의 필라멘트 유니트들 또는 다발들로 쌓여질 수 있다. 본 발명의 장치와 방법은 대단히 용융범위가 넓고, 예를 들어, 수많은 편평한 섬유 광학 리본들 또는 필라멘트들을 포함하는 단순한 섬유 광학 케이블 및 다른 케이블과 복잡한 그러한 케이블들, 또는 나선형으로 감긴 편평한 스트립들의 다중 층들을 가지는 가요성의 복합 파이프를 간단하고 경제적인 방식으로 제조할 수 있다.
Patent KR-960701598-A (KR)
IPC: A24B3/14
Filed: 1994-04-11
Abstract: A process for the manufacture of a reconstituted tobacco product wherein the process comprises extraction of tobacco furnish with an aqueous solvent in the presence of at least one ammonium salt or urea or a urea derivative or a mixture of urea or a urea derivative and at least one ammonium salt to provide an aqueous solvent extract and a fibrous material and forming the fibrous material into a sheet-like product using the papermaking process. The aqueous extract is then applied to the formed sheet-like material and further processing provides a reconstituted tobacco product having improved smoke quality.
Patent KR-960702022-A (KR)
Title: 혼방사의 제조방법 및 제조장치와 혼방사
IPC: D02G1/16
Filed: 1995-02-28
Abstract: 본 발명은 두 구성요소들, 즉 연속 필라멘트사가 스테이플 섬유로 구성된 혼방사의 제조방법을 제안한다.이 혼방사는 에어제트 텍스처가공 공정에 의해서 제조된다. 스테이플 섬유가 방적사 속으로 확실하게 결합되는 것이 가능하였으며, 그리고 이는 텍스처가공 동안에 생산된 연속 필라멘트들 상의 루프들에 의해서 보장된다. 실제적인 텍스처가공의 시작직전에 기류의 흡입 영역이 형성되는 것에 의해서, 스테이플 섬유가 그 속으로 흡입될 수 있고 방적사의 내부로 혼합될 수 있으며 루프에 의해서 방적사 내에 확실하게 고정될 수 있다. 본발명은 새로운 제조방법과 예를 들면 전체 기계로서의 장치에 관한 것이며, 이로써 예를 들면 공지된 루프사 또는 새로운 혼방사가 선택적으로 제조될 수 있다.
Patent KR-970060330-A (KR)
Title: 컬러수상관의 테이프 래핑(Wrapping)장치용 테이프카세트 착탈장치
IPC: H01J29/70
Filed: 1996-01-31
Abstract: 본 발명은 컬러수상관(CPT : Color Picture Tube)의 후면에 형성된 넥(Neck)부분에 편향요크(Defledcting Yoke)를 보다 용이하게 고정시킬 수 있도록 하고 컬러수상관(CTP)의 손상을 방지할 수 있도록 하기 위하여 컬러수상관(CPT)의 손상을 방지할 수 있도록 하기 위하여 넥(Neck)부분에 통상의 테이프(Tape)를 자동으로 래핑(wrapping)시켜주는 테이프래핑(wrapping)에 있어서, 카세트를 장착틀에 장착하고, 장착된 카세트를 착탈틀에 찰탈장착할 수 있도록 된 테이프카세트 착탈장치에 관한 것으로서, 상측판(12)의 일측에 복수개의 장착대(25-4)가 등간격으로 고정된 지지봉(25-5)을 실린더(25-1)의 로드에 브라켓(25-2)으로 연결하여 단속적으로 이동시킬 수 있도록 된 카세트장착틀(25)과 상기 카세트장착틀(25)의 일측편에 실린더(20)를 도립고정시키고 그 로드(20)에 지지틀(22)를 고정시켜 한쌍의 실린더(23)(23-1)를 외측에 장착시키되 실린더(23)의  로드에는 카세트(26)가 착탈되는 착탈틀(28)을 고정시키고 실린더(23-1)의 로드에는 푸셔(23-2)를 고정시키며, 상기 착탈틀(28)에는 실린더(24)의 작동에 의해 정역회전되는 체결편(24-1)을 축(24-2)으로 축착하여서 된 것인바, 테이프를 래핑시킬 때 테이프카세트의 테이프가 소모될 때마다 새로운 테이프카세트를 인출하여 셋팅시켜주기 때문에 래핑장치가 중단없이 래핑작업을 실시할 수 있으며, 복수개의 카세트테이프를 장착틀에 장착시켜 대기시킴으로써 카세트테이프를 교체할 때 짧은 시간내에 신속하게 교체할 수 있어 래핑작업이 능률을 크게 향상시킬 수 있다.
Patent KR-960032733-A (KR)
Title: 불휘발성 반도체메모리장치
IPC: G11C11/56
Filed: 1996-02-01
Abstract: 본 발명의 불휘발성 반도체메모리장치는 복수의 불휘발성 메모리셀과, 불휘발성 메모리셀의 기억상태에 대응하도록 배설된 복수의 레퍼런스셀을 포함하고, 불휘발성 메모리셀의 데이터독출시에, 최소한 2개의 레퍼런스셀중의 2개의 출력전류 사이의 전류 또는 이 전류에 비례하는 전류인 레퍼런스전류를 발생하고, 레퍼런스전류와 불휘발성 메모리셀의 전류와를 비교함으로써, 당해 불휘발성 메모리셀에 기억되어 있는 데이터를 독출한다.
Patent KR-970063306-A (KR)
Title: 자동차용 축전지의 전원 스위치
IPC: H01H19/10
Filed: 1996-02-06
Abstract: 본 발명은 자동차용 축전지의 전원 스위치에 관한 것으로, 종래의 축전지은 전극에 전원단자를 끼워 보울트와 너트로 조립할 때 무의식적으로 세게 죄어 전원단자를 파손시킬 문제가 있었다. 
     본 발명은 예시도면 제3도 내지 제4도와 같이 전원단자(16)와 축전지케이블(14) 사이에 스위치(26)를 설치하되 스위치(26)의 일측에 구멍을 형성하고 그 구멍에 손잡이(28)와 연결된 축(34)이 삽입되며 스위치(26)의 내부에는 연결단자(30)가 다수개 내설되고 연결단자(30) 사이에는 축(34)의 끝단부에 고정된 연결구(32)가 설치되어 축전지에서 전원을 차단하고자 할 경우에 스위치의 손잡이를 돌려 전원단자와 축전지케이블을 이격시키고 전원을 연결하고자 할 경우에도 스위치의 손잡이를 다른 방향으로 돌려 연결하므로 시간을 절약할 수 있고 전원단자를 마모시키지 않는 효과가 있다.
Patent KR-970068357-A (KR)
Title: 폭삭(pocsag) 데이타 복조 및 처리장치
IPC: H04L27/00
Filed: 1996-03-12
Abstract: 본 발명은 폭삭/TNPP 컨버터에서 모뎀으로 입력되는 폭삭 데이타를 용이하게 복조 및 처리하도록 한 폭삭 데이타 복조 및 처리장치에 관한 것이다. 
     이러한 본 발명은 CO-라인에 연결된 잭을 통해 인가된 폭삭 데이타를 인터페이스하기 위한 라인 인터페이스부와, 라인 인터페이스부로 부터 인터페이스된 폭삭 데이타를 복조 하기 위한 모뎀과; 모뎀을 통해 복조된 직렬 데이타를 병렬 데이타로 변환하는 직렬/병렬 변환부와; 직력/병렬 변환부에서 변환된 병렬 데이타의 송신을 제어하고 PCB슬롯을 통해 수신된 데이타의 수신처리 동작을 제어하는 중앙처리장치와; 중앙처리장치에서 출력된 송신 데이타를 선입선출하는 송신 선입선출부와; 송신 선입선출부에서 출력된 송신 데이타를 송신기로 출력하고 수신된 신호는 디코더로 인가하는 PCB슬롯과; PCB슬롯에서 얻어진 데이타를 디코딩하는 디코더와; 디코더에서 디코딩 된 데이타를 선입선출하는 수신 선입선출부와; 직렬/병렬 변환부 및 수신 선입선출부에서 각각 얻어진 데이타를 저장하기 위한 램을 구비한다.
Patent KR-970022594-A (KR)
Title: 열경화성수지 입자의 제조방법
IPC: C08L71/00
Filed: 1996-03-22
Abstract: 분말도료 이용분야에서 유용한 좁은 입경분포를 갖는 열 경화성수지 입자는 (a) 30℃ 내지 90℃범위내에 담점을 갖는 첫 번째 수용성 중합체 그리고 어떠한 단점도 갖지 않는 두 번째 수용성 중합체를 제공하는 단계, (b) 상기 용매를 함유하는 액체 열경화성수지 조성물이 첫 번째 및 두 번째 수용성 중합체를 함유하는 수성 현탁매체에서 오일 소적의 1차 입자로서 현탁되는 수성 현탁액을 제조하는 단계, (c) 오일소적이 더 큰 입경의 2차 입자로 응집되도록 담점보다도 높은 온도로 현탁액을 가열하는 단계, (d) (c) 단계동안 또는 (c) 단계후, 입자에 함유된 유기용매를 제거하는 단계 그리고 선택적으로 (e) 입자를 회수는 단계에 의해 제조된다.
Patent KR-960035666-A (KR)
IPC: H01B7/28
Filed: 1996-03-26
Abstract: A cable comprising one or more electrical conductors, each, or a core of one or more electrical conductors, surrounded by an insulating composition comprising:   (i) a homogeneous polyethylene having a polydispersity in the range of about 1.5 to about 3.5 and an essentially uniform comonomer distribution; and, based on 100 parts by weight of component (i), (ii) about 0.1 to about 20 parts by weight of a polyethylene glycol having a molecular weight in the range of about 1000 to about 30,000.
Patent KR-970069014-A (KR)
Title: 발모촉진제의 제조방법
Filed: 1996-04-12
Abstract: 본 발명은 탈모촉진제의 제조방법에 관한 것으로 축백나무잎 분말, 소나무잎분말과 감초분말을 혼합하여 수요액에서 가열추출 및 농축하거나 농축액을 냉각건조시켜 분말제제화한다.
Patent KR-970031996-A (KR)
Title: 이중 콘트라스트 조절기능이 구비된 증폭기
IPC: H04N5/57
Filed: 1996-04-24
Abstract: 본 발명은 영상신호의 이득을 이중으로 조절하여 사용자가 원하는 콘트라스트의 영상을 재현할 수 있도록 하는 것이다. 
     본 발명은 영상신호를 입력받아 이를 처리하는 입력버퍼수단; 마이크로프로세서의 인터페이스를 통해 입력되는 소정의 레벨로 업/다운되는 직류성분의 콘트라스트 신호 및 서브 콘트라스트 신호를 전류변환하여 출력직류전압의 크기를 제어하는 메인 콘트라스트 및 서브 콘트라스트 제어수단; 상기 메인 콘트라스트 제어수단의 출력전압을 제어전압으로하여 입력버퍼수단을 통해 입력되는 영상신호의 이득을 일차적으로 조절하는 메인 콘트라스트 제어수단; 상기 서브 콘트라스트 제어수단의 출력전압을 제어전압으로하여 메인 큰트라스트수단을 통해 입력되는 일차적으로 이득이 조절된 영상신호의 이득을 이차적으로 조절하는 서브 콘트라스트 수단; 및 상기 서브 콘트라스트 수단으로부터 출력되는 이득이 조절된 영상신호를 최종적으로 출력하는 출력수단으로 구비된 것을 특징한다. 
     따라서, 본 발명은 영상신호의 이득을 이중으로 조절함으로써 화면에 표시되는 영상을 더욱 선명하게 하기 위한 증폭단의 이득 조절범위가 확대되고, 이로 인하여 사용자의 요구에 맞는 화면을 제어할 수 있는 범위 또한 확대 되어질 수 있는 효과가 있다.
Patent KR-970071543-A (KR)
Title: 선재 처리용 대물렌즈홀더 고정장치
IPC: G11B7/09
Filed: 1996-04-26
Abstract: 본 발명은 광픽업 액츄에이터의 베이스 플레이트에 관한 것으로서, 대물렌즈가 상부면에 안착되는 대물렌즈홀더(90)과, 상기 대물렌즈홀더(90)의 외주면에 감겨지거나 접착되어 코일 피씨비(94)에 연결되며, 대물렌즈홀더(90)를 포커싱 조정방향 및 트랙킹 조정방향으로 동작시키는 트랙킹조정코일(92) 및 포커싱조정코일(91)을 구비한 광픽업 액츄에이터에 있어서, 상기 대물렌즈홀더(90)가 다수개 수평으로 안착되어 대물렌즈홀더(90)의 저면에 형성된 하부요홈(93)이 끼워지는 받침돌기(61)가 상부면에 형성된 받침부재(50)와, 상기 받침부재(50)의 양측 끝단부를 각각 지지해주고, 좌,우로 관통된 끼움공(53)이 형성된 받침부재(50)와, 상기 받침부재(50)의 끼움공(53)에 끼워지는 고정볼트(53)에 의해 너트(81)로 체결되어 수평지지부재(60)상에 안치된 대물렌즈홀더(90)의 상부면을 눌러 고정시켜주는 누름부재(70)로 구성된 것을 특징으로 하는 선재 처리용 대물렌즈홀더 고정장치 인바, 대물렌즈홀더의 외주면에 설치되는 조정코일의 선재 처리를 용이하게 하도록 하므로써 광픽업 액츄에이터의 조립성 및 생산성을 향상시키는 효과를 갖는 발명이다.
Patent KR-970071868-A (KR)
Title: 플라이백 트랜스포머(fbt)의 애노드리드 결합장치
IPC: H01F38/42
Filed: 1996-04-29
Abstract: 본 발명은, FBT 고압보빈의 터미널핀과 연결 접속되어 고전압을 인출하는 애노드리드의 결합장치에 관한 것으로 그 목적은, FBT의 고압보빈(1) 일측으로 리드 결합홀(2)이 형성되는 원통상의 결합구(3)가 일체로 현출 배치되고, 상기 결합구(3)의 외측으로 내부 하측에 수개의 계지편(4)이 마련되고 그 상부에는 도전성 고무(5)를 개재하여 애노드 리드(6)가 결합되는 리드 결속편(7)이 덮어 씌워지며, 상기 리드 결속편(7)의 계지편(4)은 결합구(3) 내측 리드 결합홀(2)에 삽통되어 결합구(3)의 일측에 형성된 절결부(8)상에 계지되어 고정토록 되는 것을 그 요지로 한다. 
     이에 따라서, FBT의 터미널핀과 접속되는 애노드 리드의 연결 접속작업을 손쉽고 용이하게 수행토록 하면서도 견고한 상태로 결합 고정토록 되며, 상기 애노드 리드가 리드 결속편에 의해 빠짐을 예방하여 제품 불량을 방지하고, 별도의 다이오드의 설치가 필요없게 되는 것이다.
Patent KR-970075607-A (KR)
Title: 상승온도에 의하여 작동되는 냉각수 순환용 후래프밸브(Flapvalve)
IPC: F16K1/16
Filed: 1996-05-15
Abstract: 본 발명은 원자로의 가동중 전원공급이 차단된 비상사태에서 원자로내의 노심(N) 온도의 상승을 억제하기 위하여 풀(pool)에 저장된 냉각수가 노심(N)과 노벽사이의 냉각수를 자동적으로 지연순환할 수 있도록 사고순간 노심(N)내 냉각수의 온도상승에 의한 비중차로 발생되는, 미소한 차압(差壓)으로 밸브의 디스크(5)를 개방하게 하되 순간적으로 쉽게 개방되도록 디스크(5)의 중추(247)를 동일 샤프트(250)에 장착하여 중추(247)의 무게에 의한 개방가압 모멘트를 이용한 특수기능을 갖는 후래프밸브(FV)에 관한 것이다.
Patent KR-970073702-A (KR)
Title: 배연 탈질용 개질 환원제와 이를 이용한 질소산화물 제거 방법
IPC: B01D53/34
Filed: 1996-05-21
Abstract: 종래의 무촉매 환원 탈질법에 의한 질소산화물 제거 방법에서 사용되는 환원에 산화제 및/또는 분무 촉진 첨가제를 동시에 연소로 내에 분무하여, 반응온도 500∼800℃의 비교적 낮은 운전 온도 범위에서도 50%이상의 높은 질소산화물 제거 효율을 얻을 수 있다.
Patent KR-970073427-A (KR)
Title: 탈착이 용이한 단추
Filed: 1996-05-21
Abstract: 본 발명은 탈착이 용이한 단추에 관한 것으로, 보다 상세하게는 의류에 부착되는 단추에 있어서, 탈착이 쉽고, 밖으로 드러나지 않는 탈착이 용이한 단추에 관한 것으로, 여며야 할 부분이 있는 의류의 그 부분을 여며 주는 단추에 있어서, 여며지는 부분의 어느 한 쪽에 부착되는 것으로, 의류에 부착되는 베이스(11)와, 상기한 베이스(11)에 소정의 길이를 갖고 형성된 연장부(12)와, 상기한 연장부(12)의 일단에 소정의 크기를 갖고 형성되는 로커(13)로 이루어진 후크(1)와; 상기한 후크(1)가 삽입되어 체결되는 것으로, 여며지는 부분의 다른 한 쪽에 부착되고, 상기한 로커(13)가 삽입될 수 있는 삽입홈(21)과 그 폭이 상기한 연장부(12)의 굵기보다 약간 넓게 상기한 삽입홈(21)에 홀더홈(22)이 이어서 형성된 홀더(2)로 구성된다.
Patent KR-970077497-A (KR)
Title: 반도체장치의 소자분리막 형성방법
Filed: 1996-05-28
Abstract: 반도체장치의 소자분리막 형성방법이 개시되어 있다. 본 발명은 반도체기판의 소정영역 표면에 활성영역을 한정하기 위하여 차례로 적층된 제1패드 산화막 패턴 및 실리콘질화막 패턴을 형성하는 단계와, 상기 제1패드 산화막 패턴의 양 옆에 노출된 반도체기판을 일정깊이로 식각하여 리세스된 영역을 갖는 반도체 기판을 형성하는 단계와, 상기 제1패드 산화막 패턴을 등방성 식각하여 상기 실리콘질화막 패턴 가장자리 아리에 언더컷을 형성하는 단계와, 상기 결과물을 열산화시키어 상기 반도체 기판 표면에 제2패드 산화막을 형성하는 단계와, 상기 실리콘질화막 패턴의 측벽 및 상기 리세스된 영역의 측벽에 형성된 제2패드 산화막의 표면에 실리콘질화막으로 이루어진 제1스페이서를 형성하는 단계와, 상기 제1스페이서의 하단부에 폴리실리콘막으로 이루어진 제2스페이서를 형성하는 단계와, 상기 결과물을 열산화시키어 상기 실리콘 질화막 패턴 양 옆에 필드산화막을  형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체장치의 소자분리막 형성방법을 제공한다. 본 발명에 의하면, 버즈비크의 폭을 감소시키면서 그 아래의 반도체기판에 가해지는 스트레스를 크게 완화시킬 수 있다. 따라서, 초고집적 반도체장치에 적합한 소자분리막을 형성할 수 있다.
Patent KR-980001556-A (KR)
Title: 차량의 타이밍 벨트 교환시기 표시장치
Filed: 1996-06-13
Abstract: 본 발명은 차량의 타이밍 벨트 교환시기 표시장치에 관한 것으로, 특히 타이밍 벨트의 마모상태를 쉽게 확인하여 교환시기를 알게 함으로써 타이밍 벨트 절단을 방지하도록 한 차량의 타이밍 벨트 교환시기 표시장치에 관한 것이다. 
     종래에는 타이밍 벨트의 마모상태를 쉽게 확인할 수 없었으므로 추운 날씨에 절단되어 엔진을 손상시킬 수 있을 뿐만 아니라 이를 방지하기 위해서는 수시로 점검해야 하는 불편한 문제점이 있었다. 본 발명에 의해 초음파 센서부를 이용하여 타이밍 벨트의 마모상태를 감지하고 마모된 양을 디스플레이하여 교환시기를 알게함으로써 추운 날시에 타이밍 벨트가 절단하여 엔진을 손상시키는 사고를 미연에 방지할 수 있다.
Patent KR-980003998-A (KR)
Title: 제한된 분포의 히스토그램 변환을 이용한 화질 개선방법
IPC: H04N5/20
Filed: 1996-06-27
Abstract: 본 발명의 방법은 입력영상의 그레이 레벨 분포를 계산하되, 각 그레이 레벨의 분포가 소정값 이하로 제한하는 단계, 계산된 그레이 레빌 분포를 근거로 하여 누적분포함수값을 계산하는 단계와 입력영상에 대해 누적분포함수를 변환함수로 이용하여 변환된 히스토그램 분포를 갖는 신호를 출력하는 단계를 포함하여 각 그레이 레벨의 분포를 제한하여 샘플들의 편중된 분포를 방지하여 히스토그램 변환을 행함으로써 입출력신호간의 평균 밝기가 현저하게 변화하는 것과 심한 잡음 증폭을 막을 수 있다.
Patent KR-980005684-A (KR)
Title: 반도체 소자의 평탄화 방법
IPC: H01L21/30
Filed: 1996-06-27
Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 평탄화 방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 0.6㎛ 내지 0.8㎛의 게이트 전극 폭을 갖는 반도체 소자에 효율적으로 금속 배선들을 증착시키기 위한 반도체 소자의 평탄화 방법에 관한 것이다. 본 발명의 반도체 소자의 평탄화 방법은 다층 금속 배선 구조에 있어서, 하층 구조물의 평탄화를 이루기 위한 평탄화 절연막으로서 BPSG를 증착하는 단계; 평탄화 절연막 상에 장벽 급속막으로서 Ti/TiN막을 형성하는 단계; 장벽 금속막 상에 상부 금속 배선을 형성하도록 알루미늄을 증착하여 알루미늄막을 형성하는 단계; 알루미늄막 상에 감광막을 형성하는 단계; 감광막이 형성되 구조물을 건식 식각하여 금속 배선을 형성하는 단계; 금속 배선이 형성된 전체 구조물의 상부에 제1층간 절연막을 증착하는 단계;증착된 제 1층간 절연막을 습식 식각하여 감광막의 측부를 노출시키는 단계; 측부가 노출된 감광막을 스트립하는 단계; 및 감광막이 스트립된 전체 구조물의 상부에 제2층간 절연막을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Patent KR-980005616-A (KR)
Title: 반도체 소자의 제조방법
Filed: 1996-06-29
Abstract: 본 발명은 반도체 소자의 제조방법에 관한 것으로서, 소자의 평탄화를 위하여 실시하는 CMP공정시 하부 구조물들의 패턴밀도가 낮아 디슁 발생이 예상되는 지역에 콘택홀을 형성하고, 상기 콘택홀을 메우는 절연막을 전면에 도포한 후 CMP 연마를 실시하면, 콘택홀 주변의 평탄화막이 연마되는 동안에 상기 콘택홀을 메운 절연막 패턴이 연마 정지층이 되어 디슁을 방지하여 평탄한 표면을 갖는 평탄화막을 형성하였으므로, 후속 금속 공정시 초점 심도가 균일하여 패턴 형성이 유리하고, 오촛점이 방지되어 공정수율 및 소자 동작의 신뢰성을 향상시킬수 있다.
Patent KR-980005345-A (KR)
Title: 정전기(esd) 특성 개선을 위한 반도체 장치
Filed: 1996-06-29
Abstract: 본 발명은 외부 정전기 충격으로부터 내부 회로를 보호하기 위하여 정전기 보호 회로용의 파워 라인을 내부 회로 동작용의 파워 라인과 별도로 분리하여 정전기 회로를 거쳐 흘러 들어온 정전기 전류를 내부 회로와 분리된 정전기 전용 파워 라인으로만 흐르게 하여 정전기로부터 내부 회로의 손상을 방지하도록 한 기술로써, 이 기술을 사용하여 반도체칩을 설계할 경우 정전기 충격으로부터  직접적으로 손상을 입는 영역은 오로지 정전기 보호 회로 영역만 영향을 받고, 칩의 내부회로는 손상을 받지 않기 때문에 정전기 특성을 개선하기가 쉽고 불량 분석의 시간을 줄임으로서 제품의 개발 기간을 줄일 수 있으므로 경제적으로나 기술적으로 큰 효과를 가져온다.
Patent KR-980012072-A (KR)
Title: 반도체기판의 표면평탄화 방법
IPC: H01L21/306
Filed: 1996-07-02
Abstract: 본 발명은 반도체기판의 표면을 평탄화하는 표면평탄화방법에 관한 것으로서, 반도체 기판을 접촉부재가 장착된 반응로에 넣고, 상기 반도체기판의 표면물질과 식각반응하는 반응가스를 반응로에 주입하여 일정 분압을 갖는 상태에서 상기 반도체기판을 가열하여 기판온도를 적정식각온도보다 상대적으로 높게 유지하여 식각이 일어나지 않도록 하는 반면에 상기 접촉부재는 식각반응이 잘 일어나는 적정온도를 유지하도록 하여서, 상기 반도체기판의 표면과 접촉부재를 접촉시켜 접촉부분의 기판온도를 낮아지게 함으로써 국부적으로 온도가 낮아진 기판표면에서 상기 반응가스의 흡착량이 증대되어 상대적으로 식각반응이 빠르게 진행되도록 하는 공정을 포함한다. 이 방법에 의하면, 상기 반도체기판에 표면단차가 존재할 때 표면단차의 하단부보다 상단부에서 접촉부재와의 선택적 접촉이 가능하므로 상단부에서 상기 반응가스의 흡착량이 증대되고 그리고 식각속도가 빠르게 진행되어 기판표면을 평탄화할 수 있다.