baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent TR-200200663-U (TR)
Title: Plastik panelli duvarlarda yenilik.
Inventor: NEGIS ZEYNEP GUEL
IPC: E04F13/18
Filed: 2002-03-13
Abstract: Bu bulus belirli bir ortami diger ortamdan ayirmak için kullanilan çit veya duvar olarak isimlendirilen yapilarin yerine geçecek panel duvarlar (sekil 1,2,3) ile ilgilidir. Bulus konusu duvarlar (sekil 1,2,3); birbirlerine helezonik olarak baglanarak (3) elde edilen tel örgü çitlerin aralarindaki bosluklara plastik malzemelerden üretilen panel levhalarin (1) yerlestirilmesi ile olusturulmus yüzeydir. Genel bir anlatimla; panel duvar (sekil 1,2,3) belirli örgü yapisi (3) ile olusturulan çelik veya demir tellerin (2) arasinda kalan bosluklarin kapatilmasi için plastik yüzeyli malzeme (1) ile kapatilmasi sonrasinda elde edilen tabakadir (sekil 1,2,3). Bu tabaka alt ve üst ve yan yüzeye ilave edilen baglanti aksamlari ile ilgili temas noktalarina baglanarak duvar görevini yapmaktadir.
Patent TR-200301128-U (TR)
Title: Su pompası kilitleme tertibatında yapılan geliştirme
Inventor: CELIK SANIYE
IPC: B65B/
Filed: 2003-07-17
Abstract: Bu bulus, içme sularinin damacana adi verilen bidonlardan disa dogru çekilmesine yarayan su pompasinin, damacana agiz kismina kolaylikla monte edilmesini saglayan ve istenildigi zaman rahatlikla ve pratik bir biçimde sökülebilmesini saglayan su pompasi kilitleme tertibatinda yapilan gelistirme ile ilgilidir.
Patent TR-200402091-U (TR)
Title: Polisaj keçesi ve kesim makinesinde yenilik
Inventor: KISMETLI MUSTAFA
IPC: C14B15/00
Filed: 2004-08-20
Abstract: Bulus, kürkün konumlandirildigi bir yüzey (1.5), bahsedilen yüzeye (1.5) dogru ilerleme saglayan tahrik vasitasi (1.1) ve bahsedilen tahrik vasitasiyla  irtibatli kesme biçagi (1.4) içeren ayrica bahsedilen kürkün bahsedilen yüzey (1.5) üzerine sabitlenmesini saglamak üzere bahsedilen tahrik vasitasi (1.1) ile irtibatli ve kürk üzerine baski uygulayan en az bir sikistirma elemani, bir yandan bahsedilen sikistirma elemani üzerinde döner serbestlige sahip olacak sekilde konumlandirilan ve diger yandan bahsedilen kesme biçagini (1.4) tasiyan en az bir kesme koluna (1.3) sahip kürk polisaj keçesi kesim makinesi (1) ve bununla üretilen emniyet bariyerli polisaj keçesidir (2).
Patent TR-200402379-U (TR)
Title: Baza mekanizması sistemi
Inventor: ILIKLI SABAN
IPC: A47C17/00
Filed: 2004-09-20
Abstract: Bu bulus; bazlarin pratik bir sekilde açilip kapanmasini saglayan düsük maliyetli mekanizma sistemi ile ilgilidir.        Baza kapagina(2) düsey yukari yönde kuvvet uygulandiginda baglanti çubuklari (5-6) sabit somunlar (11-12) etrafinda döner ve baza kapagi (2) açilir. Baza kapagina (2) uygulanan kuvvet kaldirildiginda amortisör (4) devreye girer ve baza kapaginin (2) sabit pozisyonda kalmasini saglar. Baza kapagi(2) ve baza çubuklari (3) arasina konumlandirilmis olan amortisör (4) baza kapaginin (2) hareketlerini düzenlemektedir. Baza kapagina (2) uygulanan kuvvet düsey asagi yönde olursa kapak (2) paralel konuma kadar gelir ve kapak (2) kapanmis olur.
Patent TR-200402783-U (TR)
Title: Süspansiyon körük lastiğinin tutuculuğunu sağlayan bir piston yapılanması
Inventor: UELGUER ENGIN
IPC: B60G/
Filed: 2004-10-21
Abstract: Bulus, bir piston (1), düz bilezik (2), körük lastigi(3), kivrik bilezik (4) içeren süspansiyon tertibatlari ile ilgili olup, özelligi; bahsedilen körük lastiginin (3) düz bilezik (2) vasitasiyla piston ve kapak (5) agiz bölgelerine uzun süreli sabitlenmesi ve yerinden çikmamasi için piston (1) ve kapak (5) agiz bölgesinde olusturulmus kanallar (1.1)ile ilgilidir.
Patent TR-200501418-U (TR)
Title: Dairesel sıkıştırmalı çift yönlü kayma fren.
Inventor: AKDEMIR LEVENT
IPC: B66B5/00
Filed: 2005-04-19
Abstract: Bu bulus, asansörlerde kullanilan dairesel sikistirmali çift yönlü kayma fren sistemi ile ilgili olup, özelligi; ikiz blok tahrik mili (5) içerisinden geçen tahrik kolunun (1) hareketine bagli olarak ikiz blok tahrik mili (5) içerisinden geçen tahrik sacinin (14) fren blogu (2) içerisinde dairesel olarak hareket etmesi, fren bloguna (2) sabitlenmis olan sabit çene (3), fren blogu (2) üzerinde yer alan kapak alt saci (15), fren blogu (2) üzerine sabitlenmis olan kapak saci (16), tahrik saci (14) ve makara tampon parçasi (13) içerisinde yer alan tampon saci (9), yay tampon parçasi (10), pul yaylar (11) ve makaralardan (12) olusmasidir.
Patent TR-200802986-U (TR)
Title: Lateksli halı.
Inventor: BICER H AHMET
IPC: A47G27/02
Filed: 2008-04-30
Abstract: Üretimi tamamlanmış makine halısının (3) Alt kısmına lateks katmanı (2) uygun koşullarda tatbik edilir. Lates katmanı (2) üzerine keçe veya benzeri bir tabaka (1) sıkıştırılır. Kurutularak rulo halinde piyasaya arz edilir. Bu şekilde oluşturulan lateksli halı, makine halılarına istenilen ebatta kesilebilme özelliği kazandırırken makine halılarının dayanımını, ısı ve ses yalıtımını da artırılmış olur.
Patent TR-200908497-U (TR)
Title: Çamaşır kurutma askısı.
Inventor: KUECUEKER NAZMI
IPC: D06F58/00
Filed: 2009-11-10
Abstract: Buluş; genellikle evlerde insanların kullanmış oldukları çamaşırların yıkanma işlemi sonrasında balkonda kurutulması işleminin, bahsedilen balkonda ip (30) üzerine asılarak kurutulması ile ilgili olup özeliliği; bahsedilen ipin (30) gergin şekilde konumlandırılmasını sağlayan, korkuluk profiline (10) monte edilen en az iki çamaşır kurutma askısı (20) içermesi ile ilgidir.
Patent TR-201000928-U (TR)
Title: Dikiş kaynak elektrotlarında geliştirme.
Inventor: CIKLAKARSLI MEHMET
IPC: B23K35/00
Filed: 2010-02-08
Abstract: Buluş; dikiş kaynak elektrotlarında geliştirme olup, özellikle; soğutucu göbeğin (1) sarf bölgesinden (2) ayrılarak modüler bir yapıya kavuşturulması suretiyle, aynı soğutucu göbeğin (1) birden çok sarf bölgesiyle (2) kullanılmasının sağlanmasıyla ilgilidir.
Patent TR-201008359-U (TR)
Title: Hacim ve ağırlık bilgisinin saptanması için bir cihaz
Inventor: CAN VEYSEL
IPC: G01F17/00
Filed: 2010-10-12
Abstract: Mevcut bulus, koli, paket ya da kargo gibi malzemelerin ağırlık ve hacim bilgilerinin saptanması için bir cihaz ile ilgilidir.Bu cihaz, malzemenin üzerine yerlestirildiği bir platform, buplatform ile irtibatlı bir yük hücresi –#& loadcell –#&, bir manyetik eksen sensörü, muhtelif sayıda en/boy ölçme sensörü, bir yükseklik ölçme sensörü,barkod basma özelliği olan bir yazıcı, bilgisayar destekli olarak kullanılmak istenildiğinde bir PC bağlantı terminali ve tercihen saptanan ölçüm değerlerinin görüntülenmesi için bir kontrol ekranı içermektedir. Bulusa uygun cihaz, ağırlıkbilgisinin yük hücresinden –#& loadcell –#& bir analog-dijital dönüstürücü (24bit ADC) ile okunduğu, en/boy ölçme sensörlerini ve yükseklik ölçme sensörünü doğrudan süren elektronik elemanlara sahip en az bir mikroislemci içermektedir.
Patent TR-201109193-U (TR)
Title: Pirinç ve benzeri bakliyatlar için ambalaj.
Inventor: CESUR AYNUR DEMIREL
IPC: B32B27/00
Filed: 2011-09-20
Abstract: Buluşa konu oaln kuru bakliyat ambalajı (1) iki kısımdan oluşmaktadır. Birinci kısım ürünlerin konulduğu hazne (3), ikinci kısım ise yıkama işleminin gerçekleştiği delikli haznedir. (4). (Ürün olarak bahsedilen pirinç, bulgur, şehriye, nohut gibi bakliyatlardır). Tek parça oalrak üretilen poşetin (1) yarısı süzgeç İşlemi görmesi için süzgeç şeklinde deliklerden (2) oluşmaktadır.
Patent TR-201202119-U (TR)
Title: Bıçak tertibatı, ütü ünitesi, aparası geliştirilmiş köprü hazırlama makinesi.
Inventor: TAS FERHAT
IPC: D05B19/00
Filed: 2012-02-24
Abstract: Buluş, pantolon imalatında kumaşlardan köprü hazırlanmasını; konum ve zamanlama ahengi sağlayarak muntazam ve tam ölçüsünde kesim yaparak, ayarı kolay olan apara (30) ile istenilen şekilde kıvrılmasını temin ederek, kıvrılmış kumaşların ütülenmesiyle son formunun verilmesi tarzında gerçekleştiren köprü hazırlama makinesi (90) olup, özellikle; kumaşı (110) makineye (90) veren besleme ünitesi (20), verilen kumaşın (110) tam istenilen ölçüde kesilmesini temin eden, birbirinden bağımsız ayarlan yapılabilen sağ ve sol bıçak bloklarından (41,42) oluşan bıçak tertibatı (40), bu tertibata (40) hareket veren kamalı hareket mili (50), kesimi yapılan kumaşların (110) iki tarafından kıvrılarak köprü formunu almasını temin eden sahip apara (30), bahsedilen apara (30) ile köprü formu verilen kumaşı (110) istenilen şekilde dikimini yapan dikiş kafası (10), kendine iletilen kumaşı (110) köprü halinde formunu sabitleyen, hareketli ve sabit ütüyü (71,72) haiz ütü ünitesiyle (70) ile alakalıdır.
Patent TR-201206001-U (TR)
Title: Yaban ve sokak hayvanları için geliştirilmiş güneş enerjisi ile çalışan besleme makinesi.
Inventor: SAHIN NURSEN
IPC: A23K1/00
Filed: 2012-05-22
Abstract: Bu buluş; doğa, orman, milli parklar vb. yerlerde yaşayan yaban hayvanları ile yerleşim bölgelerinde (veya yerleşim bölgesi yakınlarında) yaşayan sokak hayvanlarının her mevsim kolay ve pratik bir şekilde pelet yemler ile (sıkıştırılmış yem) beslenebilmesini sağlayan güneş enerjisi ile çalışan besleme makinesi ile ilgilidir.
Patent TR-201207444-U (TR)
Title: Tam otomatik çentik açma makinesi.
Inventor: AKI YAVUZ
IPC: B26D3/14
Filed: 2012-06-27
Abstract: Buluş, otomatik olarak çentik açabilen, servo motorlarla desteklenmiş, pnomatik sisteme sahip tam otomatik çentik açma makinesi hakkında olup; şase (1), sağ çentik açıcı piston (2), sol çentik açıcı piston (3) hava besleme tankı (4), zımba (5), sağ kalıp (6), sol kalıp (7), sağ keser yerleştirme pistonu (8), sol keser yerleştirme pistonu (9), sağ keser sabitleme pistonu (10), sol keser sabitleme pistonu (11),  x hareket servo motoru (12), y hareket servo motoru (13), sağ keser sabitleme eksantrik mili (14) ve sol keser sabitleme eksantrik milinden (15) meydana gelmektedir.
Patent TR-201705808-U (TR)
Title: Şarj aparati
Inventor: SEBAHATTİN ERÇİN
IPC: H04M1/12
Filed: 2017-04-19
Abstract: Buluş konusu ürün, telefonların güvenli bir şekilde, priz ile telefon arasında kısa mesafede bile şarj edilmesini sağlayan şarj aparatı ile ilgilidir.
Patent TR-201709413-U (TR)
Title: Bi̇r korkuluk yapilanmasi
Inventor: YUNUS DURMAZ
IPC: E04F11/18
Filed: 2017-06-23
Abstract: Buluş, kafeteryalarda, bahçelerde merdiven korkuluklarında, cam odalarda, cam duvarlarda, cam bahçe duvarlarında, balkon korkuluklarında, havuz kenarlarında, ofis ara bölmelerinde kullanılan bir korkuluk yapılanması ile ilgilidir. Buluş özellikle, korkuluğu zemine irtibatlayan ayak (10), yüksek mukavemete sahip lamasız olup lamalı gibi duran dikme (20), insanların tutunup destek aldığı dairesel küpeşte (20) veya küpeşte (110) veya camlı küpeşte (150) veya ısı camlı küpeşte (150) veya zıvanalı küpeşte (240) veya cam bazalı küpeşte (270) içeren bir korkuluk yapılanması ile ilgilidir. Şekil - 34
Patent TW-M413072-U (TW)
Title: Display module and lightbar device thereof
Inventor: HUANG KANG-CHENG
IPC: F21V15/00
Filed: 2011-01-20
Abstract: A display module includes a back plate, a panel device, a lightbar device, and an outer frame. The panel device is disposed on the back plate. The lightbar device is slidably disposed on the back plate and located at a side of the panel device. The lightbar device includes a base board, a lightbar, and a sheet structure. The lightbar is disposed on the base board and has a connector. The sheet structure is foldably formed on a side of the base board corresponding to the connector for being folded on or extensively protruding from the side of the base board. The outer frame is disposed on the panel device and has an extraction opening corresponding to the lightbar device. The outer frame is used for fixing the panel device onto the back plate. The extraction opening is used for replacing the lightbar device.
Patent TW-M413270-U (TW)
Title: Charger and network apparatus
Inventor: YEH HUNG-YAO
IPC: H04W92/10
Filed: 2011-02-10
Abstract: A charger includes a casing, a charging circuit, an AC power plug, and a plurality of USB charging sockets. The charging circuit is configured in the casing. The AC power plug is connected to the charging circuit and can be plugged into an AC power socket for supplying the power for the charging circuit. The USB charging sockets are configured on the casing and electrically connected to the charging circuit respectively. Therefore, an external electronic device can be plugged into one of the USB charging sockets via a USB interface so that the charging circuit can charge the electronic device. Furthermore, the charger of the present invention can be integrated with a network apparatus to apply the charging and the network functions at the same time.
Patent TW-M414626-U (TW)
Title: An application of zigbee devices to manage passengers and the tour course on a tour bus.
Inventor: CHEN CHIUNG-HSING
IPC: G06Q10/00
Filed: 2011-05-24
Abstract: The design is an application of Zigbee device which is used to provide some important information for passengers and manage the tour course on a tour bus. It includes several watch-type ZigBee end devices with a buzzer, a ZigBee coordinator, and a tour management system. Each passenger owns a watch-type ZigBee end device with an ID. Each watch-type ZigBee end device displays time, telephone number of tour guide, number of license plate, time for temporary stop. And the lingering time can be set by tour management system automatically. Before five minutes of the end, the buzzer of the watch-type ZigBee end devices will be activated every one minute. This is to remind passenger that lingering time will be over. After that, the tour management system transmits a calling instruction to watch-type ZigBee end devices. Each of the watch-type ZigBee end devices then responds an ID code to the system. The system looks up the data library, if it matches then marks the watch-type ZigBee end device is on the bus. The display of management system shows who is on the bus and who is not on the bus.
Patent TW-M427716-U (TW)
Title: Electrical connector
Inventor: Zhang ying-lu
IPC: H01R13/46
Filed: 2011-05-24
Abstract: A connector includes an insulative housing, a plurality of contacts re-tained in the housing, a door movably assembled to the housing and spring members disposed opposite between the housing and the door. The housing defines a mating cavity opening, upwards, the door defines tow side opposite faces and two end opposite faces. The two side faces each defines a first guiding portion, the two end faces each defines a second guiding portion, and the first and second guiding por-tions respectively cooperates with the housing to make the door move smoothly.
Patent TW-M425391-U (TW)
Title: A wafer holding device of planarization process
Inventor: CHANG YU-CHUAN
IPC: H01L21/68
Filed: 2011-07-21
Abstract: The creation provides a semiconductor wafer holding device of planarization process for holding a plurality of semiconductor wafers during the polishing process. The semiconductor wafer holding device comprises a substrate, a surface structure and a plurality of holding structures. The surface structure has a plurality of through holes. Each through hole surrounds and forms an accommodating space. The accommodating space has a bottom surface. The accommodating space is utilized to accommodate the corresponding semiconductor wafer. The holding structures are separately disposed among the substrate and the plurality of the semiconductor wafers for holding the corresponding semiconducting wafer. The semiconductor wafer holding device of the invention is capable of adjusting the pressure applied on the surface of the semiconductor wafer during the polishing process by a simple structure with low cost to minimize the amount of flatness error of the semiconductor during the polishing process, so as to overcome the problems of failing to control the high tolerance in the prior arts.
Patent TW-M436111-U (TW)
Title: A screw transmission mechanism
Inventor: CHEN SHU-I
IPC: F16H7/02
Filed: 2011-08-08
Abstract: This invention is about a screw transmission mechanism. It contains: a servo motor controlled by computer, a timing belt pulley set, a screw with guide groove, a transmission shaft with side shaft. The feature is: The bearing coupling of side shaft puts inside the guide groove of the screw, and moved by the groove. When the screw rotates, the groove guides the bearing coupling, the transmission shaft moves straight on the slide. This invention has the advantages of small size, few components, can operate in high speed and high frequency without noise, which can accurately and stably transmit. This invention can apply any mechanisms which need transmission.
Patent TW-M438704-U (TW)
Title: Light source module
Inventor: LIAO CHAO-JUNG
IPC: F21V9/40
Filed: 2012-03-06
Abstract: A light source module including a first light emitting unit, a power supply and a carrying sheil is provided. The first light emitting unit includes a first lamp plate and a plurality of flip chip first light emitting diodes disposed on the first lamp plate. The power supply is electrically connected to the flip chip first light emitting diodes. The first light emitting unit and the power supply are disposed inside the carrying shell.
Patent TW-M436214-U (TW)
Title: Four-beard star-shaped cable with barrier
Inventor: GUNNAR ARMBRECHT
IPC: H01B11/00
Filed: 2012-04-09
Abstract: A star-quad cable for transmitting electrical signals, having at least two pairs of conductors, each conductor having one wire made of an electrically conductive material and a conductor sheath radially enclosing the wire and made of an electrically insulating material, the conductors being arranged on the corners of a square in a cross-section, with the conductors of a pair arranged on diagonally opposite corners of the square, wherein four conductors are twisted at a predetermined stranding factor; and a shield made of an electrically conductive material and enclosing the two pairs of conductors is arranged radially on the outside, constructed from a weave of individual shield wires. At least one shield wire or at least one shield wire bundle is stranded radially enclosing the conductors such that they run in the axial direction substantially parallel to a wire of a conductor.
Patent TW-M441960-U (TW)
Title: Camera socket connector
Inventor: HU NAN
IPC: H01R24/60
Filed: 2012-04-27
Abstract: A camera socket connector, includes an insulative housing and a plurality of contacts retained in the insulative housing. The insulative housing has tow pairs of opposite side walls and a bottom wall. The contacts include a plurality of first contacts and a plurality of second contacts. The first contact has a first contact portion and a first tail portion. The second contact has a second contact portion and a second tail portion. The first contact portions extend towards one pair of the opposite side walls. The second contact portions extend towards the other pair of the opposite side walls. The first tail portions and the second tail portions are positioned under one pair of the opposite side walls. Therefore, the first tail portions and the second tail portions are coplanar and can be soldered reliably. The camera socket connector can be used for longer time.
Patent TW-M460931-U (TW)
Title: Oil cooled motor
Inventor: Chen yong-li
IPC: F01M5/00
Filed: 2012-11-16
Abstract: An oil cooled motor which comprises a case, a front cover, a rear cover, a stator and a rotor. A case coolant inlet and a case oil channel are provided within said case. A stator resides within said case, and provided with stator cooling channel and stator cooling nozzle. A rotor resides within said stator, and provided with rotor cooling channel. The volume between said stator and said rotor forms a cylindrical oil channel. Both ends of the said case are provided with a front cover and a rear cover, respectively. A coolant outlet is provided within said rear cover. By circulation coolant within the above mentioned motor, heat generated from motor operation can be removed.
Patent TW-M458683-U (TW)
Title: Connector
Inventor: REGNIER KENT E
IPC: F28F3/02
Filed: 2012-12-17
Abstract: The utility model relates to a connector. The connector comprises a cover, a housing, a heat transmitting plate, a first elastic finger-shaped carrier and a second elastic finger-shaped carrier, wherein the cover limits a first port and a second port; the housing is located in the cover and comprises a first clamping slot and a second clamping slot, and the first clamping slot and the second clamping slot are respectively arranged in the first port and the second port; the heat transmitting plate is provided with a main wall, a first side wall and a second wall, and the main wall extends vertically along the first port and the second port; the first elastic finger-shaped carrier is installed on the first side wall and supports a plurality of elastic finger-shaped parts, and a plurality of elastic finger-shaped parts on the first elastic finger-shaped carrier can be jointed with a module which is inserted in the first port; and the second elastic finger-shaped carrier is installed on the second side wall and supports a plurality of elastic finger-shaped parts, and a plurality of elastic finger-shaped parts on the second elastic finger-shaped carrier can be jointed with a module which is inserted in the second port. During working, the heat of the inserted modules can be transmitted to elastic finger-shaped parts from modules, then the heat transmitting plate and a radiating system.
Patent TW-M527800-U (TW)
Title: Drill structure
Inventor: CHIEN NICK SUNG-HAO
IPC: B23B51/02
Filed: 2016-01-22
Abstract: A drill structure includes a shank part and a flute part arranged on one end of the shank part. A chisel edge is formed on the front end of the flute part and two drill blades with tilt directions toward the shank part are symmetrically formed on the two sides of the chisel edge. Every drill blade includes: a primary relief surface with a cutting edge, a first connecting edge and a first chamfering edge, a secondary relief surface with a knife-back edge, a second connecting edge, a second chamfering edge and an outer edge, and an assist relief surface. The second connecting edge joins to the first connecting edge, and the second chamfering edge connects with the first chamfering edge. The assist relief surface, which tilts toward the shank part the, is extend from the first chamfering edge and the second chamfering edge. This drill structure can improve the surface finish of the drilling hole.
Patent TW-M534399-U (TW)
Title: Apparatus and system for delivering exhibition information coded over acoustic wave
Inventor: CHEN YU-HONG
IPC: G06Q50/26
Filed: 2016-02-17
Abstract: The disclosure is related to an apparatus, and a system for delivering exhibition information coded over acoustic wave. The system includes an information-delivering device, and a personal device operated by a user. The circuit elements of the information-delivering device include a signal processing unit used to perform encoding and decoding process onto the acoustic wave, a data interfacing unit for retrieving exhibition information from a database, a storing unit for storing the exhibition information, and an input/output unit coupled to a speaker for outputting the acoustic coding signals encoded by the signal processing unit over the acoustic wave. A user-end information interactive device receives the acoustic coding signals related to an exhibit and generates the information after a decoding process.
Patent TW-M544519-U (TW)
Title: Oxide etch selectivity systems
Inventor: XU LIN
IPC: H01L21/3065
Filed: 2016-08-05
Abstract: Embodiments of the present technology may include a method of etching a substrate. The method may include striking a plasma discharge in a plasma region. The method may also include flowing a fluorine-containing precursor into the plasma region to form a plasma effluent. The plasma effluent may flow into a mixing region. The method may further include introducing a hydrogen-and-oxygen-containing compound into the mixing region without first passing the hydrogen-and-oxygen-containing compound into the plasma region. Additionally, the method may include reacting the hydrogen-and-oxygen-containing compound with the plasma effluent in the mixing region to form reaction products. The reaction products may flow through a plurality of openings in a partition to a substrate processing region. The method may also include etching the substrate with the reaction products in the substrate processing region.