baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102018119543-B4 (DE)
Title: Spinnzylinderschleifmaschine
Inventor: WOLF JÖRG
IPC: B24B5/313
Filed: 2018-08-10
Granted: 2021-12-30
Abstract: Spinnzylinderschleifmaschine mit einer Schleifeinheit (2) und mit einer der Schleifeinheit (2) koppelbaren Magazineinheit (3) zur Zuführung von Spinnzylindern (4), wobei die Schleifeinheit (2) von der Magazineinheit (3) zum halbautomatischen Betrieb entkoppelbar ist, bei welchem die Spinnzylinder (4) unter Umgehung der Magazineinheit (3) der Schleifeinheit (2) manuell zuführbar sind, und wobei die Schleifeinheit (2) im automatischen Betrieb zur Versorgung mit Spinnzylindern (4) mit der Magazineinheit (3) gekoppelt ist, wobei die Spinnzylinder (4) in einen Zuführmagazin (11) der Magazineinheit (2) in mehreren Lagen (27, 28) gestapelt übereinander liegen, so dass eine unterste, 1. Lage (27) eine benachbarte 2. Lage (28) berührt, wobei das Zuführmagazin (11) eine Klemmvorrichtung (23) für die 2. Lage (28) aufweist, und wobei die Klemmvorrichtung (23) mit Stirnseiten wenigstens eines Spinnzylinders (4) der 2. Lage in Eingriff bringbar ist, um die 2. Lage (28) zu halten, während die untere, 1. Lage (27) durch Vergrößerung des Abstandes zur 2. Lage (28) freigebbar ist, so dass die Spinnzylinder (4) der unteren, 1. Lage (27) zur Schleifeinheit (2) verlagerbar sind
Patent DE-102018132773-B4 (DE)
Title: Plasma-Wundbehandlungssystem
Inventor: AN DOOBAECK
IPC: A61N5/10
Filed: 2018-12-19
Granted: 2021-04-29
Abstract: Plasma-Behandlungssystem, das eine Behandlung einer Schnitt- oder Brandwunde mit einer breitflächigen Plasmaquelle bereitstellt, wobei die breitflächige Plasmaquelle umfasst:eine breite Elektrodenplatte (10) mit einer Vielzahl von auf einer Platte ausgebildeten Entladungspunkten und ein Dielektrikum, das die Elektrode bedeckt;eine Ausgangsplatte (20) mit einer Anzahl von Öffnungen, wobei diese von der breiten Elektrodenplatte (10) an deren Frontseite beabstandet ausgebildet ist und eine Barriere (40) mit einer bestimmten Höhe aufweist, die entlang den lateralen Enden der Ausgangsplatte (20) ausgebildet ist; undein Schlitzdüsenmodul (50), das an einem vertikalen Ende der Ausgangsplatte (20) und der Elektrodenplatte (10) montiert ist, so dass eine Düse für die Zufuhr von Gas zwischen der Elektrodenplatte (10) und der Ausgangsplatte (20) darüber gebildet wird, und so dass das Gas über den gesamten Raum, der in dem Spalt zwischen den oben genannten Platten ausgebildet ist, verteilt ist,wobei die Barriere (40) eine bestimmte Höhe und ein gekrümmtes Ende mit einer Nut aufweist, in die das Ende der flachen Elektrodenplatte (10) eingesetzt werden kann, und das Schlitzdüsenmodul (50) eine Schlitzstruktur aufweist, die es ermöglicht, die Enden der Elektrodenplatte (10) und der Ausgangsplatte (20) einzupassen, und die Schlitzstruktur mit der oben genannten Düse verbunden ist,wobei die breite Elektrodenplatte (10) eine Isolatorplatte, eine Elektrode, die durch Lithographiestrukturierung gebildet ist, um eine Vielzahl von Entladungspunkten auf der Isolatorplatte aufzuweisen, und ein Dielektrium umfasst, das die Elektrode bedeckt, um eine Micro-Gap-Elektrode mit dielektrischer Barriereentladung zu bilden, undwobei ein Edelgas zur Desinfektion zugeführt wird und Stickstoffgas zugeführt wird, um Wunden durch die Düse zu behandeln, und Plasma mit einer Entladungsenergie von 0,04 bis 1,22 J/sec und Ozon von weniger als 0,1 ppm erzeugt wird.
Patent DE-102018200889-B4 (DE)
Title: Kfz-Verschlussdeckel mit integriertem Flüssigkeitstank und Kraftfahrzeug mit einem solchen Verschlussdeckel
Inventor: ROHMBERGER ANTJE
IPC: B60K15/073
Filed: 2018-01-19
Granted: 2022-09-29
Abstract: Kfz-Verschlussdeckel (12) mit einer eine von außen wahrnehmbare Karosserie-Außenhaut (30) bildenden Außenseite (28) und mit einer im Vergleich zur Außenseite (28) im Wesentlichen in entgegengesetzte Richtung weisenden Innenseite (32), wobei zwischen der Außenseite (28) und der Innenseite (32) ein mit einer Flüssigkeit befüllbarer und entleerbarer Tankhohlraum (36) gebildet ist, wobei die Außenseite (28) an einem Außenwandabschnitt (24) und die Innenseite (32) an einem mit Abstand vom Außenwandabschnitt (24) angeordneten Innenwandabschnitt (26) ausgebildet sind, dadurch gekennzeichnet, dass der Außenwandabschnitt (24) und der Innenwandabschnitt (26) zur Bildung eines integrierten Verschlussdeckel-Tank-Bauteils (13) stoffschlüssig miteinander verbunden sind, wobei eine zum Innenwandabschnitt (26) hin weisende erste Wandseite (48) des Außenwandabschnitts (24) und eine zum Außenwandabschnitt (24) weisende zweite Wandseite (52) des Innenwandabschnitts (26) jeweils eine Begrenzungswand (50, 54) des Tankhohlraums (36) bilden.
Patent DE-102018205852-B4 (DE)
Title: Fluidpumpe
Inventor: WAWERSIG SEBASTIAN
IPC: F04D15/00
Filed: 2018-04-18
Granted: 2020-06-18
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Fluidpumpe (1) mit einem Fluideinlass (8), einem Fluidauslass und einem auf einer Antriebswelle (7) angeordneten und um eine Drehachse (2) drehbar gelagerten Laufrad (3) zur Förderung eines Fluids von dem Fluideinlass (8) in Richtung des Fluidauslasses, wobei eine Förderrate der Fluidpumpe (1) mittels eines in axialer Richtung bezüglich der Drehachse (2) verlagerbaren Schiebers (9) einstellbar ist. Dabei ist vorgesehen, dass der Schieber (9) zur Verlagerung mit einer auf der Antriebswelle (7) sitzenden Fliehkraftstelleinrichtung (11) gekoppelt ist, die zur Einstellung einer Überdeckung des Laufrads (3) durch den Schieber (9) in Abhängigkeit von der Drehzahl der Antriebswelle (7) ausgebildet ist.
Patent DE-102018214162-B4 (DE)
Title: Gleitvorrichtung
Inventor: TSUJI EIICHIRO
IPC: B60N2/07
Filed: 2018-08-22
Granted: 2023-10-05
Abstract: Gleitvorrichtung (10), die aufweist:eine an einem Fahrzeug befestigte Festschiene (11), die eine nach oben hin offene Öffnung (11A) aufweist, die in Längsrichtung der Festschiene (11) angeordnet ist;eine Laufschiene (12), an der ein Sitzkörper (2) eines Fahrzeugsitzes (1) befestigt ist, wobei die Laufschiene (12) in einem Zustand, in dem zumindest ein Teil der Laufschiene (12) von der Öffnung (11A) freiliegt, relativ zur Festschiene (11) verschiebbar ist;ein erstes Verschlusselement (22), das relativ zur Festschiene (11) verschiebbar ist und zumindest einen Teil der Öffnung (11A) verschließen kann, wobei das erste Verschlusselement (22) von der Laufschiene (12) eine Kraft zum Gleiten aufnimmt;einen ersten Eingriffsabschnitt (22G), der am ersten Verschlusselement (22) vorgesehen und lösbar mit einem ersten Eingreifabschnitt (122E), der an der Laufschiene (12) vorgesehen ist, im Eingriff ist; undeinen zweiten Eingriffsabschnitt (22H), der am ersten Verschlusselement (22) vorgesehen und lösbar mit einem zweiten Eingreifabschnitt (112A), der an der Festschiene (11) vorgesehen ist, im Eingriff ist, dadurch gekennzeichnet, dassbei einer Vorwärtsbewegung, bei der ein Längsende der Laufschiene (12) von einer Position innerhalb der Festschiene (11) zu einer Position außerhalb der Festschiene (11) gleitet, ein Eingriffszustand des zweiten Eingriffsabschnitts (22H) gelöst wird, nachdem der erste Eingriffsabschnitt (22G) einen Eingriffszustand eingenommen hat, undwobei bei einer Rückwärtsbewegung, bei der die Laufschiene (12) in eine der Vorwärtsbewegung entgegengesetzte Richtung gleitet, der Eingriffszustand des ersten Eingriffsabschnitts (22G) gelöst wird, nachdem der zweite Eingriffsabschnitt (22H) den Eingriffszustand eingenommen hat.
Patent DE-102019007592-B4 (DE)
Title: Reinigungsvorrichtung zur Reinigung von Zahnzwischenräumen und Bürstenkopf für eine solche Reinigungsvorrichtung
Inventor: BÄTTIG CURT
IPC: A46B9/04
Filed: 2019-10-31
Granted: 2021-10-21
Abstract: Reinigungsvorrichtung (2) zur Reinigung von Zahnzwischenräumen mit einem Bürstenkopf (6), der mindestens eine Interdentalbürste (42) und einen an der Interdentalbürste (42) angeordneten Bürstenträger (44) mit mindestens einer Beaufschlagungsleitung (66) zur Beaufschlagung der Interdentalbürste (42) mit einem Fluid aufweist, und einem Bürstenkopfhalter (4), der eine Versorgungsleitung (34) zur Versorgung der Beaufschlagungsleitung 66) mit dem Fluid aufweist, wobei der Bürstenträger 44) von einer Löseposition, in der der Bürstenkopf (6) von dem Bürstenkopfhalter (4) gelöst ist, in einer Einführrichtung (8) unter Erzielung einer Strömungsverbindung zwischen der Versorgungsleitung (34) und der Beaufschlagungsleitung (66) in eine Halteposition innerhalb einer Aufnahme (18) an dem Bürstenkopfhalter (4) überführbar ist, in der der Bürstenkopf (6) lösbar an dem Bürstenkopfhalter (4) gehalten ist, und ein Fluid aus der Versorgungsleitung (34) in der Halteposition des Bürstenträgers (44) von einer in Einführrichtung (8) weisenden Stirnseite (62) des Bürstenträgers (44) beabstandet in die Beaufschlagungsleitung (66) einbringbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Bürstenträger (44) in der Halteposition von einem Ringraum (76) umgeben ist, über den die Versorgungsleitung (34) und die Beaufschlagungsleitung (66) miteinander in Strömungsverbindung stehen.
Patent DE-102019104084-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Beeinflussung der Induktivität und/oder Kapazität einer elektronischen Schaltung
Inventor: BECKER TOBIAS
IPC: H05K3/00
Filed: 2019-02-19
Granted: 2022-03-31
Abstract: Verfahren zur Beeinflussung der Induktivität und/oder Kapazität einer elektronischen Schaltung, welche Bauelemente aufweist, die über Leiterbahnen miteinander verbunden sind, bis ein gewünschter Wert einer Induktivität und/oder Kapazität erreicht ist, dadurch gekennzeichnet, dass zur Erzielung dieses Wertes auf einen Bereich der Leiterbahn eine kapazitiv wirkende Substanz und/oder eine induktiv wirkende Substanz aufgebracht wird/werden.
Patent DE-102019123454-B4 (DE)
Title: Verfahren zum Prognostizieren des Verschleißes eines Bauteils eines Fahrzeugs sowie Fahrzeug
Inventor: KLINGER THOMAS
IPC: G06N20/00
Filed: 2019-09-02
Granted: 2022-03-17
Abstract: Verfahren zum Prognostizieren eines Verschleißes wenigstens eines Bauteils eines Fahrzeugs, mit den Schritten:- während eines Betriebs des Fahrzeugs: Ermitteln zumindest einer ersten Größe mit einem ersten Wert mittels einer elektronischen Recheneinrichtung;- mittels der elektronischen Recheneinrichtung: Umrechnen des ersten Werts der ersten Größe in wenigstens einen zweiten Wert zumindest einer von der ersten Größe unterschiedlichen zweiten Größe (10) in Abhängigkeit von wenigstens einem von den Größen unterschiedlichen und eine Konfiguration des Fahrzeugs charakterisierenden Parameter;- mittels der elektronischen Recheneinrichtung: Zuordnen eines Belastungsniveaus (A1) zu dem zweiten Wert;- mittels der elektronischen Recheneinrichtung: Ermitteln wenigstens eines zumindest ein Lastkollektiv definierenden Lastkollektivwerts (L), welcher eine Dauer und/oder eine Häufigkeit eines Auftretens zumindest des dem zweiten Wert zugeordneten Belastungsniveaus (A1) charakterisiert; und- mittels der elektronischen Recheneinrichtung: Verwenden eines durch maschinelles Lernen trainierten und einen Zusammenhang zwischen dem dem zweiten Wert zugeordneten Belastungsniveau (A1) und einem aus dem Belastungsniveau (A1) resultierenden Verschleiß (14) des Bauteils beschreibenden Modells, um den Verschleiß (14) des Bauteils zu prognostizieren, indem anhand des Modells und dadurch in Abhängigkeit von dem durch das Modell beschriebenen Zusammenhang und in Abhängigkeit von dem Lastkollektivwert der Verschleiß (14) prognostiziert wird und hierdurch aus dem jeweiligen Lastkollektiv mittels des zuvor angelernten Modells der Verschleiß prognostiziert wird.
Patent DE-102019212946-B4 (DE)
Title: Bauteil eines Klimatisierungs- oder Fenstersystems für ein Freizeitfahrzeug
Inventor: MEDA SAMUELE
IPC: B60H1/32
Filed: 2019-08-28
Granted: 2023-03-30
Abstract: Bauteil eines Klimatisierungssystems oder Fenstersystems für ein Freizeitfahrzeug, wobei das Bauteil von innerhalb des Freizeitfahrzeugs an die Decke (103) des Freizeitfahrzeugs montierbar ist, das Bauteil zum Abdecken eines Montagerahmens (200) des Klimatisierungssystems oder Fenstersystems so konfiguriert ist, dass das Bauteil von innerhalb des Freizeitfahrzeugs sichtbar ist und das Bauteil aus einer Luftverteilungseinheit (500), die konfiguriert ist, um Luft im Inneren des Freizeitfahrzeugs zu verteilen, einem dekorativen Fensterrahmen (301) und einer Verschattungseinheit (700) zum Einstellen der Menge an einfallendem Licht ausgewählt ist,wobei das Bauteil einen oder mehrere Anbringungsabschnitte (901) aufweist, die im montierten Zustand für den Benutzer vom Inneren des Freizeitfahrzeugs zugänglich sind, wobei jeder der einen oder mehreren Anbringungsabschnitte (901) entweder mit einem bestimmten Modul (900) oder mit einer Vielzahl von verschiedenen Modulen (900) in einer gegenseitig austauschbaren Weise verbindbar ist, und wobei die Module (900) Sensoren zum Erfassen von Ereignissen oder Parameteränderungen im Inneren des Freizeitfahrzeugs oder Emissionsvorrichtungen zum Emittieren von Licht oder Schall beinhalten,dadurch gekennzeichnet, dassjeder Anbringungsabschnitt (901) eine elektrische und/oder elektronische Kopplung mit dem damit zu verbindenden Modul (900) vorsieht, um das Modul (900) zumindest mit elektrischer Energie zu versorgen.
Patent DE-102020101000-B4 (DE)
Title: Ultraschallmesssystem im Fahrzeug mit einem Doppler-Prozessor als Feature-Extraktor für ein selbstlernendes neuronales Netzwerk
Inventor: DUTINÉ JENNIFER
IPC: B60W30/06
Filed: 2020-01-16
Granted: 2023-04-27
Abstract: Ein Ultraschallmesssystem zur Verwendung in Kraftfahrzeugen zum Erkennen von Hindernissen und/oder Objekten im Umfeld eines Fahrzeugs dadurch gekennzeichnet,- dass es einen Doppler-Prozessor (1054) aufweist, der Ensembles von Echosignalen von diskreten Punkten und/oder Raumrichtungen insbesondere in einem Bildfeld speichert, die dann verwendet werden, um die Doppler-Verschiebung insbesondere an Punkten im Bild und/oder in Raumrichtungen, mit einer schnellen FourierTransformation (FFT) abzuschätzen und in Abhängigkeit von den Doppler-Verschiebungen Verschiebungsvektoren in Form von Verschiebungsvektorsignalen zu erzeugen und- dass das Ultraschallmesssystem ein erstes neuronales Netzwerkmodell (16, 1080) aufweist, dessen Eingangssignale zumindest zum Teil solche Verschiebungsvektorsignale sind oder von solchen Verschiebungsvektorsignalen abhängen.
Patent DE-102020101991-B4 (DE)
Title: Stromversorgungseinheit und elektrische Maschine mit einer solchen Stromversorgungseinheit
Inventor: BOTH DANIEL
IPC: H01L25/11
Filed: 2020-01-28
Granted: 2021-10-07
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Stromversorgungseinheit (200) für eine elektrische Maschine. Dabei umfasst die Stromversorgungseinheit (200): eine Vielzahl von Leitungsabschnitten (211a-n); eine erste maschinenvorderseitige leistungselektronische Schaltung mit einer Vielzahl von Halbbrücken (201a-n), welche ausgebildet ist, die Vielzahl von Leitungsabschnitten (211a-n) mit einem jeweiligen Strom zu beaufschlagen; und eine zweite maschinenrückseitige leitungselektronische Schaltung mit einer Vielzahl von bidirektionalen Schaltern (203aa-nn). Dabei weist die zweite maschinenrückseitige leitungselektronische Schaltung eine Matrixtopologie auf und ist ausgebildet, jeden der Vielzahl von Leitungsabschnitten (211a-n) über eine Vielzahl von Strompfaden, welche durch die Vielzahl von bidirektionalen Schaltern (203aa-nn) und Kombinationen davon definiert werden, mit allen anderen Leitungsabschnitten (211a-n) elektrisch leitend zu verbinden.
Patent DE-102021103542-B4 (DE)
Title: Elektrisches Schaltgerät mit Verriegelung
Inventor: KREUZPOINTNER KORBINIAN
IPC: H01H50/32
Filed: 2021-02-16
Granted: 2023-12-14
Abstract: Schaltgerät (1) mit zumindest einem feststehenden Kontakt (2) sowie einem damit zusammenwirkenden beweglichen Kontakt (3), und mit einer elektromagnetischen Betätigungsvorrichtung zum Antrieb des beweglichen Kontakts (3), wobei die elektromagnetische Betätigungsvorrichtung eine Erregerspule (4) zur Erzeugung eines Magnetfelds, ein Magnetjoch (5/7) zur Verstärkung der Flussdichte des Magnetfelds, und einen durch das Magnetfeld von einer Ausgangsstellung in eine angezogene Stellung anziehbaren Magnetanker (6) aufweist, der mit dem beweglichen Kontakt (3) verbunden ist, wobei die elektromagnetische Betätigungsvorrichtung ferner ein Verriegelungselement (7) aufweist, das von einer verriegelnden Position, in der das Verriegelungselement (7) eine Bewegung des Magnetankers (6) und/oder des beweglichen Kontakts (3) verhindert, in eine entriegelnde Position überführbar ist, in der das Verriegelungselement (7) eine Bewegung des Magnetankers (6) und/oder des beweglichen Kontakts (3) freigibt, und wobei das Verriegelungselement (7) zumindest teilweise aus einem ferromagnetischen Werkstoff besteht und derart angeordnet ist, dass es aufgrund der Einwirkung des Magnetfelds aus der entriegelnden Position in die verriegelnde Position gebracht wird, dadurch gekennzeichnet, dass das Magnetjoch (5/7) derart ausgeführt ist, dass das Magnetjoch eine Unterbrechung aufweist, wenn sich das Verriegelungselement (7) in der verriegelnden Position befindet, wobei die Unterbrechung des Magnetjochs durch das Verriegelungselement (7) geschlossen wird, wenn sich das Verriegelungselement (7) in der entriegelnden Position befindet.
Patent DE-102021107196-B4 (DE)
Title: Verpackung aus Papier aufweisend einen ersten Abschnitt zum Ausbilden eines Bodens und zumindest vier Seitenflächen und einen zweiten Abschnitt sowie ein Verfahren und eine Verpackungsmaschine
Inventor: HAMMER LENNART
IPC: B65D5/355
Filed: 2021-03-23
Granted: 2023-02-09
Abstract: Verpackung (1) aus Papier aufweisend einen ersten Abschnitt (2a) zum Ausbilden eines Bodens (3) und zumindest vier Seitenflächen (4), wobei die Seitenflächen (4) umlaufend um den Boden (3) verlaufen und vom Boden (3) abragen, und einen zweiten Abschnitt (2b) zum Ausbilden einer Deckfläche (7) und zumindest vier Überlappungsflächen (8), dadurch gekennzeichnet, dass zwei sich gegenüberliegende erste Seitenflächen (4a) zumindest zwei Papierlagen des ersten Abschnitts (2a) aufweisen, wobei die Papierlagen der ersten Seitenflächen (4a) mit mindestens einem Teilbereich (9) mit zweiten Seitenflächen (4b) überlappen und zwei sich gegenüberliegende Papierlagen des ersten Abschnitts (2a) zum Ausbilden von zweiten Seitenflächen (4b) zumindest eine Papierlage aufweisen, wobei die ersten Seitenflächen (4a) in dem Teilbereich (9) mit den zweiten Seitenflächen (4b) unbeweglich zueinander miteinander verbunden sind, wobei die Überlappungsflächen (8) des zweiten Abschnitts (2b) mit den aus dem ersten Abschnitt (2a) ausgebildeten Seitenflächen (4) des ersten Abschnitts (2a) zumindest teilweise verklebt sind, zum Ausbilden von festen Seitenflächen (4).
Patent DE-102021206477-B4 (DE)
Title: Hermetisch verkappte, optische Projektionsanordnung und Verfahren zum Herstellen derselben
Inventor: REINERT WOLFGANG
IPC: G02B27/18
Filed: 2021-06-23
Granted: 2023-01-12
Abstract: Eine optische Projektionsanordnung (10) umfasst eine erste Baugruppe (10-1), die auf einem gasdichten ersten Teilsubstrat (20-1) angeordnet ist, mit einem an dem ersten Teilsubstrat (20-1) angeordneten, optoelektronischen Bauteil (30), wobei zumindest ein Teil der Sendestrahlung (32) des optoelektronischen Bauteils (30) eine Hauptabstrahlrichtung in einem Bereich von ± 30° zu einer Vertikalen des ersten Teilsubstrats (20-1) aufweist, einem gasdichten Abdeckungselement (38), das mit dem ersten Teilsubstrat (20-1) hermetisch gefügt ist, um eine hermetisch dichte Häusung für das optoelektronische Bauteil (30) bereitzustellen, wobei das Abdeckungselement (38) zumindest im Bereich der Hauptabstrahlrichtung ein für die Sendestrahlung transparentes Material aufweist, einer Linsenanordnung (40), die fest bzgl. des Abdeckungselements (38) angeordnet ist, zur Kollimation der Sendestrahlung (32) des optoelektronischen Bauteils (30), und einer Prisma-Anordnung (50), die ausgebildet ist, um die kollimierte Sendestrahlung (32) des optoelektronischen Bauteils (30) zu führen und an einer Auskoppeloberfläche (52) auszukoppeln, und ferner eine zweite Baugruppe (10-1), die auf einem zweiten Teilsubstrat (20-1) angeordnet ist, mit einer MEMS-Spiegelanordnung (60) mit einem beweglich aufgehängten und auslenkbaren MEMS-basierten Spiegelelement (62), wobei die Prisma-Anordnung (50) und die MEMS-Spiegelanordnung (60) geometrisch so zueinander angeordnet sind, dass die ausgekoppelte Sendestrahlung (32) unter einem Einfallwinkel β auf das beweglich aufgehängte MEMS-basierte Spiegelelement (62) trifft, wobei der Einfallwinkel β im Ruhezustand des MEMS-basierten Spiegelelements (62) in einem Bereich zwischen 30° und 50° liegt.
Patent DE-102022205255-B4 (DE)
Title: Verfahren zur Bestimmung einer Mindestanzahl von zu vermessenden Feldpunkten im Bildfeld eines Projektionsobjektivs
Inventor: SCHNEIDER SONJA
IPC: G01M11/02
Filed: 2022-05-25
Granted: 2024-02-01
Abstract: Verfahren zur Bestimmung einer Mindestanzahl von Feldpunkten (FP1, FP2) im Bildfeld (27) eines Projektionsobjektivs (20) für die Mikrolithographie, welche zur Qualifizierung des Projektionsobjektivs per Wellenfrontmessung zu vermessen sind, wobei das Projektionsobjektiv eine Mehrzahl wellenfrontverändernder optischer Flächen (EOS, EUS) umfasst, mit den Schritten:- Bestimmen eines Subaperturverhältnisses jeder der optischen Flächen an mindestens einem Feldpunkt und Auswahl der optischen Fläche (E1OS) mit dem kleinsten Subaperturverhältnis,- Berechnen einer jeweiligen Auswirkung von periodischen Störungen an der ausgewählten optischen Fläche mit unterschiedlichen Störperiodenanzahlen auf eine Phasenverteilung in der Pupillenebene (38) des Projektionsobjektivs, wobei die berechneten Auswirkungen als Störphasenverteilungen bezeichnet werden,- Ausführen einer Zernike-Zerlegung der Störphasenverteilungen und Bestimmen einer jeweiligen Übersprechkurve (40) für mehrere Zernike-Fehler in Form eines Übersprechverhältnisses in Abhängigkeit von der Störperiodenanzahl, wobei das Übersprechverhältnis das Verhältnis zwischen der dem jeweiligen Zernike-Fehler zugeordneten Zernike-Koeffizienten und einer Amplitude der zugrunde liegenden periodischen Störung für die jeweilige Störperiodenanzahl angibt,- Bestimmen einer maximalen tolerierbaren Störperiodenanzahl (42) in der Pupillenebene durch Auswerten der Übersprechkurven (40), sowie- Ermitteln der zu vermessenden Mindestanzahl (44) von Feldpunkten aus der bestimmten maximalen tolerierbaren Störperiodenanzahl (42).
Patent DE-112007003696-B4 (DE)
Title: Gewindefräser
Inventor: OSAWA JIRO
IPC: B23G5/18
Filed: 2007-10-29
Granted: 2024-02-01
Abstract: Gewindefräser (10), der einen äußeren Umfang hat, der mit mehreren nicht steigenden konvexen Kämmen, die jeder jeweils Querschnittsformen in Übereinstimmung mit einer Gewinderille eines Zielinnengewindes haben, mit einem festen Abstand in eine axiale Richtung des Gewindefräsers (10) und mehreren Nuten (16a-16d; 40a-40d) ausgebildet ist, die die konvexen Kämme kreuzen, um mehrere untergliederte Schneidrücken (18a-18d; 42a-42d) zu definieren, die umfangsmäßig mit mehreren Schneidkanten (20a-20d; 44a-44d), die den Nuten (16a-16d; 40a-40d) jeweils zugewandt sind, ausgebildet sind, wobei der Gewindefräser (10) dadurch gekennzeichnet ist, dass:die mehreren Schneidkanten (20a-20d; 44a-44d) sich spiralförmig in eine gleiche Richtung um eine Mittelachse (S) erstrecken oder sich parallel zur der Mittelachse (S) erstrecken und jeweils feste Steigungen haben, in denen die Steigung von zumindest einer der Schneidkanten (20a-20d; 44a-44d) unterschiedlich zu der Steigung einer anderen Schneidkante (20a-20d; 44a-44d), die in Umfangsrichtung benachbart platziert ist, ausgeführt ist, so dass die Schneidkanten (20a-20d; 44a-44d) in Umfangsrichtung um Zwischenräume beabstandet sind, die in eine axiale Richtung nacheinander variieren.