baber/WOPTO huggingface dataset:
Patent DE-102010044089-A1 (DE)
Title: Method for operating hybrid drive device of motor car, involves charging battery with electrical power from generator when hybrid vehicle is in parking mode or hybrid vehicle is in standstill mode using activated parking brake
Inventor: KAEFER OLIVER
IPC: B60L50/15
Filed: 2010-11-18
Abstract: The method involves generating mechanical energy in an internal combustion engine (7) of an internal combustion engine-generator unit (6). The mechanical energy is converted into electrical power in an internal combustion engine generator (8) of the combustion engine-generator unit. A battery (4) is charged with the electrical power from the generator when a hybrid vehicle is in a parking mode or the hybrid vehicle is in standstill mode using an activated parking brake. Pollutant concentration of the surrounding air is detected using an air quality sensor. An independent claim is also included for a hybrid drive device for a hybrid vehicle, comprising an electric machine.
Patent DE-102010048924-A1 (DE)
Title: Mehrfachwellenlängenfähiger Laserempfänger
Inventor: SNYDER CHRIS W
IPC: G01S3/782
Filed: 2010-10-19
Abstract: Die Verwendung eines Laserlichtempfängers an einer Baustelle zur Erkennung von gepulster Laserstrahlung, das von einer rotierenden Laserlichtquelle stammt, wird offenbart. Auf diese Art fungiert der Laserlichtempfänger als ein Elevationsdetektor und meldet einem Maschinenbetreiber oder einem Bauschaffenden den aktuellen Elevationsstatus hinsichtlich einer Laserlichtebene. Der Laserlichtempfänger stellt ein einheitliches Gerät dar, das mehrfache Lichtfrequenzen/Wellenlängen, einschließlich Laserstrahlen, die sich im grünen, roten oder infraroten Spektrum befinden, erkennt. Der Laserlichtempfänger kann auch zwischen diesen Laserstrahlen und anderen Störlichtquellen, insbesondere Neonlichtquellen, einen Unterschied machen.
Patent DE-102010050348-A1 (DE)
Title: Elektromotor, Bausatz und Verfahren zur Herstellung
Inventor: DITTES GERHARD
IPC: H02K5/04
Filed: 2010-11-05
Abstract: Elektromotor, Bausatz und Verfahren zur Herstellung, aufweisend ein das Statorblechpaket aufnehmendeet kraftschlüssig aufnehmendes Gehäuseteil, wobei ein Flanschteil ein erstes Lager zur Lagerung der Rotorwelle aufnimmt, wobei zwischen Flanschteil und Gehäuseteil ein Umlenkteil angeordnet ist, wobei eine Schraubverbindung zwischen Flanschteil und Umlenkteil vorgesehen ist, die ein Gewindeteil umfasst, wobei eine Schraubverbindung zwischen Umlenkteil und Gehäuseteil vorgesehen ist.
Patent DE-102010053267-A1 (DE)
Title: Transfer box unit for dividing drive torque of input shaft to two output shafts, comprises selective or permanent torque-transmitting toothed belt drive, which has two pulleys and toothed belt coupled to pulleys
Inventor: SIEDLER STEFAN
IPC: B60K17/344
Filed: 2010-12-02
Abstract: The transfer box unit (10) comprises a selective or permanent torque-transmitting toothed belt drive (14), which has two pulleys (40,40') and a toothed belt (42) coupled to the pulleys. A coupling unit (12) is provided, which controls the distribution of driving torque. The toothed belt drive is arranged in a housing (44), which separates the toothed belt drive from the coupling unit.
Patent DE-102010063912-A1 (DE)
Title: Zusatzgriff, Handwerkzeugmaschine, System
Inventor: MARTIN PAUL
IPC: B25G1/00
Filed: 2010-12-22
Abstract: Zusatzhandgriff (10), der zum Anschluss an eine Handwerkzeugmaschine (100) in einem Anschlussbereich (102) derselben ausgebildet ist, aufweisend: – ein zur Anbringung an den Anschlussbereich (102) ausgebildetes Befestigungselement (11), und – einen zur Handhabung ausgebildeten henkelförmigen Griff (12), und – eine den Griff (12) und das Befestigungselement (11) verbindende Verschlusskupplung (20). Erfindungsgemäß ist dabei vorgesehen, dass die Verschlusskupplung (20) unter Drehen des Griffs (12) um eine Verschlusskupplungsachse (120) zwischen einer, insbesondere das Befestigungselement (11) anbringenden, ersten Stellung und, insbesondere das Befestigungselement 11, zweiten lösenden Stellung verstellbar ist, und die Verschlusskupplung (20) – ein über den Griff (12) betätigbares erstes Kupplungsteil (21) und ein zum Verstellen des Befestigungselements (11) ausgebildetes zweites Kupplungsteil (22) aufweist, wobei das erste und zweite Kupplungsteil (21, 22) entlang der Verschlusskupplungsachse (120) axial ineinandergreifend und unter Bildung eines Bajonettverschlusses der Verschlusskupplung (20) zwischen den Kupplungsteilen (21, 22) angeordnet sind, wobei – der Bajonettverschluss mittels einem bewegbar in eine Führung (2) eingreifenden Eingriffselements (1) derart gebildet ist, dass bei Bewegen des Eingriffselements (1) zwischen einem ersten Punkt der Führung (2) und einem zweiten Punkt der Führung (2), das Befestigungselement (11) zwischen der anbristellt wird.
Patent DE-102011000855-A1 (DE)
Title: Optoelektronischer Sensor und Verfahren zur Erfassung von Objekten
Inventor: MERETTIG GERHARD
IPC: G01V8/20
Filed: 2011-02-21
Abstract: Es wird ein optoelektronischer Sensor (10) zur Erfassung von Objekten (20) mit einem Lichtsender (12) zum Aussenden eines mit einer Codefolge (44) modulierten Lichtsignals (16), einem Lichtempfänger (26) zum Erzeugen eines Empfangssignals aus dem empfangenen Lichtsignal (22) und einer Auswertungseinheit (28, 34) angegeben, in der das Empfangssignal mit der zur Modulation des ausgesandten Lichtsignals (16) verwendeten Codefolge (44) korrelierbar ist. Dabei weist der Lichtempfänger (26) eine Vielzahl von Pixeln (38) zur Erzeugung eines jeweiligen Einzelempfangssignals (46) aus dem empfangenen Lichtsignal (22) auf, und die Auswertungseinheit (28, 34) ist dafür ausgebildet, die Einzelempfangssignale (46) jeweils einzeln mit der Codefolge (44) zu korrelieren und daraufhin eine Auswahl von Pixeln (38b) zu treffen, deren Einzelempfangssignale (46b) der Objekterfassung zugrunde gelegt werden.
Patent DE-102011000977-A1 (DE)
Title: Elastic bearing for engine of motor vehicle, has locking elements which are screwed into undercuts so that inner structure is securely locked with support arm
Inventor: FIRLA ANDREAS
IPC: B60G21/055
Filed: 2011-02-28
Abstract: The bearing (1) has a support arm which is provided with a pin (9) connected with locking elements (10). The pin is rotated against the inner structure in inserted state, while inserting the pin into socket (7). The locking elements are engaged with the grooves (8). The locking elements are screwed into undercuts so that the inner structure is securely locked with the support arm.
Patent DE-102011006359-A1 (DE)
Title: Mobilitätsvorrichtung für körperbehinderte Personen
Inventor: HACIKADIROGLU NECETI
IPC: A61G5/14
Filed: 2011-03-29
Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft eine Mobilitätsvorrichtung für körperbehinderte Personen 1, aufweisend ein Chassis 10 mit mindestens einem Motor 90 zum Verfahren der gesamten Mobilitätsvorrichtung 1, einen Schwenkarm 20, der an seinem unteren Ende 22 schwenkbar an dem Chassis 10 befestigt ist, und eine Beckenstütze 40, die an einem oberen Ende 24 des Schwenkarms 20 befestigt ist, wobei die körperbehinderte Person 2 sitzen kann, während die Beckenstütze 40 an ihrem Körper befestigt ist, auf dem Chassis 10 stehend mittels der Mobilitätsvorrichtung 1 herumfahren kann und selbstständig von der sitzenden zur stehenden Position wechseln kann, und wobei alle Elemente der Mobilitätsvorrichtung 1, außer den Elementen, die direkt den Körper der Person 2 berühren, die über die Taillenhöhe der sitzenden Person 2 hervorragen, auf oder unter diese Höhe h abgesenkt oder bewegt werden können. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Aufrichten einer sitzenden körperbehinderten Person 2 und zum Fixieren der Person im Stand auf einer selbstfahrenden Mobilitätsvorrichtung 1.
Patent DE-102011007759-A1 (DE)
Title: Elektrolysezelle mit einem Blechpaket übereinander gestapelter Bleche mit Ausnehmungen und Verfahren zu deren Herstellung und Betrieb
Inventor: CORDES RALF
IPC: C25B9/17
Filed: 2011-04-20
Abstract: Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Elektrolysezelle (1), ein Verfahren zu deren Herstellung und Betrieb. Die Elektrolysezelle (1) umfasst wenigstens zwei Bipolarplatten (3), wenigstens einen Fluid-Zufluss (15) und Abfluss (16) sowie wenigstens ein Blechpaket (13), angeordnet zwischen den wenigstens zwei Bipolarplatten (3). Das Blechpaket (13) ist aus ubereinander gestapelten Blechen (11, 12) aufgebaut. Wenigstens zwei Bleche (11, 12) weisen Ausnehmungen (14) auf, welche durchgehend durch die gesamte Dicke des jeweiligen Bleches (11, 12) ausgebildet sind. Die wenigstens zwei Bleche (11, 12) sind derart ubereinander angeordnet, dass sich Ausnehmungen (14) benachbarter Bleche (11, 12) teilweise, aber nicht vollstandig uberlappen, wodurch in Richtung der Blechebene durchgehende Kanäle (9) ausgebildet sind.
Patent DE-102011008105-A1 (DE)
Title: Systemrohr und Verfahren zum Haltern zylindrischer Elemente als Endoskopoptik
Inventor: KIEDROWSKI GREGOR
IPC: G02B7/02
Filed: 2011-01-10
Abstract: Bei einem Systemrohr (1) einer Endoskopoptik, ausgebildet zum Umfassen von zylindrischen Elementen (8) eines mit Linsen (8) versehenen Bildleiters und zur Halterung der Elemente (8) mitttels aus der Wand des Systemrohres (1) freigeschnittenen und nichtelastisch verformten Zungen (2, 12, 14, 16), sind die Zungen (2, 12, 14, 16) nach außen verformt und werden von einem Halter (9) elastisch nach innen bis unter das Niveau der Außenfläche des Systemrohres (1) gebogen.
Patent DE-102011008177-A1 (DE)
Title: Temperature sensor for measurement of high temperatures of gaseous and liquid media, has cladding having microstructure in region in which temperature-dependent sensing element is arranged
Inventor: IRRGANG KLAUS DR
IPC: G01K1/12
Filed: 2011-01-10
Abstract: The temperature sensor has metallic socket which is connected with process connection components, and has cladding (4) formed at the lower end and projected into the to-be-measured medium, and inner lead wires (7) at the interior of the socket to connect temperature-dependent sensing element and an electrical terminal. The cladding has microstructure in a tapered region (2) in which the temperature-dependent sensing element is arranged. The microstructure has longitudinal grooves or slats which run parallel to the protective tube axis. An independent claim is included for method for manufacture of temperature sensor.
Patent DE-102011010456-A1 (DE)
Title: Commercial motor vehicle, has storage device arranged outside of longitudinal and/or narrow-side edge regions of vehicle and connected with line for supplying or discharging energy or mediums to/from engine
Inventor: KIENZLE JENS
IPC: B60K15/03
Filed: 2011-02-05
Abstract: The vehicle (10) has a storage device e.g. battery and fuel tank, storing an energy i.e. electrical power, or mediums e.g. diesel fuel, for an engine of the vehicle. The device is arranged outside of longitudinal and/or narrow-side edge regions (42, 44) of the vehicle and connected with a line for supplying or discharging the energy or mediums to/from the engine. The device and the line are arranged behind a driving cab (12) of the vehicle in a vehicle longitudinal direction (16). The device and the line are covered outwardly in a vehicle transverse direction (26) by longitudinal beams (28).
Patent DE-102011011389-A1 (DE)
Title: Passage stopper for corrosion proof motor car hollow body i.e. door, fillable with e.g. corrosion protection wax, has head portion whose external dimensions are larger than external dimensions of foot portion
Inventor: BAEUMEL ANTON
IPC: B62D25/00
Filed: 2011-02-17
Abstract: The stopper (6) has a depressing hole (4) extending along the length of the passage stopper. A cylindrical or frustum-shaped foot portion (61) extends into a motor car hollow body (1) in a use arrangement of the stopper, where the length of the foot portion corresponds to a predefinable level of corrosion protection material (5) filled in the hollow body. A head portion (63) is arranged at a bottom side (3) of the hollow body in the use arrangement of the stopper, where external dimensions of the head portion are larger than external dimensions of the foot portion. The passage stopper is made of resilient material that is resistant against the corrosion protection material.
Patent DE-102011011790-A1 (DE)
Title: Apparatus for extruding and cooling monofilament for e.g. artificial turf, has spinning nozzles which are arranged one behind other above cooling bath in extraction direction of monofilaments
Inventor: SACHER MARCO
IPC: D01D5/08
Filed: 2011-02-19
Abstract: The apparatus has several extruders (1.1,1.2) which are assigned with spinning nozzles (5.1,5.2). The spinning nozzles are associated with lower faces of cooling device. A cooling bath (7) is filled with cooling fluid (8). A thread outlet (10) of cooling bath is associated with withdrawal unit (14), in order to discharge monofilaments (6.1,6.2) within cooling bath. The spinning nozzles are arranged one behind the other above the cooling bath in extraction direction of the monofilaments.
Patent DE-102011014015-A1 (DE)
Title: Paraglider, has profile ribs comprising openings through which ends of supporting surface are connected with each other to form single unit, where surface includes inner space containing inner pressure that stabilizes paraglider structure
Inventor: WODE STEFAN DR
IPC: B64D17/02
Filed: 2011-03-14
Abstract: The paraglider has profile ribs provided with openings through which two ends of a supporting surface are connected with each other in a surface connection for forming a single unit. The supporting surface comprises an inner space containing inner pressure that stabilizes a structure of the paraglider. The supporting surface exhibits an adjustment angle that is different from that of other surfaces. Multiple diagonally running shear rigid elements films or substances are inserted in an edge region through cells.
Patent DE-102011014843-A1 (DE)
Title: Verstärkeranordnung und Verfahren zum Betreiben einer Verstärkeranordnung
Inventor: CHRISTEN THOMAS DR
IPC: H03F1/30
Filed: 2011-03-23
Abstract: Es wird eine Verstärkeranordnung gezeigt, die einen Verstärker (AMP) mit einem Anschluss (SPL) für ein Versorgungssignal (VSPL) sowie eine Biasschaltung (BIAS) zum Bereitstellen des Versorgungssignals (VSPL) am Anschluss (SPL) umfasst. Die Biasschaltung hält mittels des Versorgungssignals (VSPL) einen Arbeitspunkt (OP) des Verstärkers (AMP) konstant. Dabei umfasst die Biasschaltung (BIAS) eine Referenzschaltung (REF) zum Bereitstellen eines Referenzsignals (VREF) und eine Korrekturvorrichtung (COR) mittels derer das Versorgungssignal (VSPL) in Abhängigkeit des Referenzsignals (VREF) und eines Korrektursignals (Vfeed) geregelt wird, wobei das Korrektursignal (Vfeed) vom Arbeitspunkt (OP) des Verstärkers (AMP) abhängig ist. Zudem wird ein Verfahren zum Betreiben einer Verstärkeranordnung beschrieben.
Patent DE-102011016813-A1 (DE)
Title: Method for attaching decorative layer on carrier of interior trim component for vehicle, involves changing property of adhesive so that fixed connection is provided between decorative layer and carrier during final process
Inventor: BRADFISCH KARSTEN F
IPC: B60R13/02
Filed: 2011-04-12
Abstract: The method involves providing an adhesive between a decorative layer (30) and a carrier (20). The decorative layer is releasably connected with the carrier using the adhesive having minimum stickiness during initial process. The property of the adhesive is changed so that fixed connection is provided between the decorative layer and the carrier during final process. The stickiness of adhesive during final process is 15% more than initial process. The temperature of 10-30[deg] C is maintained during initial process. An independent claim is included for interior trim component.
Patent DE-102011051795-A1 (DE)
Title: Tensioning device for seat belt of motor vehicle, has cable whose one end extended from outer side of pretensioner is attached to fixed position on pretensioner that receives and guides pressurized gas driven piston
Inventor: SUPTHUT ALEXANDER
IPC: B60R22/46
Filed: 2011-07-13
Abstract: A pretensioner (15) receives and guides a pressurized gas driven piston (30) that is attached with a seatbelt component connected rope by tensioning movement. A gas generator (22) is used as a pressurized gas source for moving the piston by pressurized gas. A piston head (17) is arranged at one end of piston facing away from the gas generator. One end (25) of a cable (24) extended from the outer side of the pretensioner is attached to a fixed position on the tensioner. A safety component is connected to other end of cable above piston head by tensioning movement.
Patent DE-102011075487-A1 (DE)
Title: Fahrzeug-Elektriksystem und Verfahren zur Steuerung eines Wechselrichters während Motorverzögerung
Inventor: HITI SILVA
IPC: H02P6/24
Filed: 2011-05-09
Abstract: Es werden Verfahren und Systeme zum Betreiben eines mit einem Elektromotor gekoppelten Wechselrichters bereitgestellt. Der Wechselrichter weist eine Mehrzahl von Hoch-Schalteinrichtungen und eine Mehrzahl von Niedrig-Schalteinrichtungen auf, welche mit dem Elektromotor gekoppelt sind. Es wird ein auf eine Verzögerung des Elektromotors hinweisender Zustand detektiert. Der Wechselrichter wird zwischen einer ersten Betriebsart und einer zweiten Betriebsart während der Verzögerung des Elektromotors umgeschaltet. In der ersten Betriebsart ist jede Schalteinrichtung von der Mehrzahl von Hoch-Schalteinrichtungen aktiviert und jede Schalteinrichtung von der Mehrzahl von Niedrig-Schalteinrichtungen ist deaktiviert. In der zweiten Betriebsart ist jede Schalteinrichtung von der Mehrzahl von Niedrig-Schalteinrichtungen aktiviert und jede Schalteinrichtung von der Mehrzahl von Hoch-Schalteinrichtungen ist deaktiviert.
Patent DE-102011080039-A1 (DE)
Title: Stromsensoranordnung
Inventor: LENHARD FRIEDRICH
IPC: G01R15/18
Filed: 2011-07-28
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Stromsensoranordnung mit einem Primärleiter zur Leitung eines zu messenden Stromes, mindestens zwei Magnetfeldsonden zur Messung von Magnetfeldern und einem Magnetkern, der eine geschlossene, den Primärleiter umschließende, drei- oder mehreckige Ringstruktur hat, wobei die Magnetfeldsonden an dem Magnetkern oder in Ausnehmungen in dem Magnetkern angeordnet ist.
Patent DE-102011081761-A1 (DE)
Title: Drive assembly for e.g. agricultural machinery, has reversing gearing utilized for reverse rotation, and secondary drive device i.e. hydraulic unit, arranged on power train that is connected with output part of working machine
Inventor: GOETZ MANUEL
IPC: B60K6/48
Filed: 2011-08-30
Abstract: The assembly has a reversing gearing (WG) i.e. planetary gear, utilized for reverse rotation. A secondary drive device i.e. hydraulic unit or electric machine i.e. generator, is arranged on a power train that is connected with an output part of a working machine. A secondary drive device is connected with an electrical or hydraulic accumulator. The secondary drive device is connected with the output part of the working machine via an output differential (1). An input shaft is connected with an outer slat carrier. An output shaft is connected with an inner slat carrier of a forward turn clutch.
Patent DE-102011083989-A1 (DE)
Title: Sensormodul sowie Elektrode für ein Sensormodul
Inventor: DENNER GERHARD
IPC: G01R1/067
Filed: 2011-10-04
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Sensormodul (10) zur Messung einer elektrischen Potenzialdifferenz bzw. eines elektrischen Widerstands mit zwei in einem Gehäuse (58) aus einem elektrisch isolierenden Material angeordneten, elektrisch voneinander isolierten Elektroden (12, 13), die über ein Anschlusskabel an eine elektrische Messeinrichtung anschließbar sind, wobei die Elektroden jeweils ein zwischen einer inneren und einer äußeren Kontaktplatte (26) aus einem Kohlenstoffmaterial angeordnetes Sensorelement aufweisen, das mit dem Anschlusskabel verbunden ist, wobei jeweils eine äußere Kontaktplatte jeder Elektrode in einer Außenfläche des Gehäuses angeordnet ist.
Patent DE-102011087117-A1 (DE)
Title: Elektrischer Antrieb für eine Handwerkzeugmaschine
Inventor: RIEDL REINHARD
IPC: H02K5/22
Filed: 2011-11-25
Abstract: Ein elektrischer Antrieb für eine Handwerkzeugmaschine. Eine elektrische Zuleitung (30) enthält zwei oder mehr Litzen (31, 32, 33). Ein Elektromotor (5) ist mit den Litzen (31, 32, 33) elektrisch verbunden. Durch ein Auge eines Ringkerns sind die Litzen (31, 32, 33) wenigstens zweimal geführt. Ein Raumteiler unterteilt das Auge (39) in mehrere Sektoren (45). Durch jeden der Sektoren (45) ist genau eine der Litzen (31, 32, 33) geführt. Die Litzen (31, 32, 33) sind entlang des Umfangs des Auges (39) zyklisch aufeinanderfolgend angeordnet.
Patent DE-102011088652-A1 (DE)
Title: Spannvorrichtung für einen Riementrieb
Inventor: WOLF BENJAMIN
IPC: F16H7/08
Filed: 2011-12-15
Abstract: Vorgeschlagen ist eine Spannvorrichtung (2) für einen Startergenerator-Riementrieb einer Brennkraftmaschine. Die Spannvorrichtung umfasst ein Spannergehäuse (8), einen darin beweglich gelagerten Spannarm (17) und zwei Spannrollen (6, 7), von denen eine auf dem Spannarm und die andere ortsfest auf dem Spannergehäuse (8) gelagert ist. Ein die Vorspannkraft erzeugendes Federmittel umfasst zwei in Reihe geschaltete Schraubendruckfedern (20a, 20b), deren einander zugewandte Federenden (23a, 23b) durch ein im Spannergehäuse gleitend gelagertes Zwischenstück (24) separiert sind. Der Spannarm weist einen Dornfortsatz (28) auf, der die seitens des Spannarms verlaufende Schraubendruckfeder durchsetzt und im Zwischenstück gleitend gelagert ist.
Patent DE-102011090181-A1 (DE)
Title: Scheinwerfer für ein Kraftfahrzeug, der eine Teilfernlicht-Lichtverteilung mit Hilfe eines Reflexionssystems erzeugt
Inventor: SCHOLL MICHAEL
IPC: B60Q1/06
Filed: 2011-12-30
Abstract: Vorgestellt wird ein Scheinwerfer für ein Kraftfahrzeug, mit einem Lichtmodul, das einen Reflektor und eine Halbleiterlichtquelle aufweist, die eine schmale und von mindestens einer geraden Kante an einer Schmalseite berandete Lichtaustrittsfläche aufweist und die den Reflektor beleuchtet, wobei der Reflektor dazu eingerichtet ist, auf ihn einfallendes Licht der Halbleiterlichtquelle in einem eine Hauptabstrahlrichtung aufweisenden Lichtbündel abzustrahlen und dabei eine Lichtverteilung zu erzeugen, die eine geradlinig verlaufende Hell-Dunkel-Grenze aufweist. Der Scheinwerfer zeichnet sich dadurch aus, dass die Halbleiterlichtquelle so angeordnet ist, dass die Längsseiten ihrer Lichtaustrittsfläche in der Hauptabstrahlrichtung hintereinander und/oder übereinander liegen und dabei quer zur Hauptabstrahlrichtung und quer zu der geradlinig verlaufenden Hell-Dunkel-Grenze ausgerichtet sind.
Patent DE-102011100024-A1 (DE)
Title: Verfahren zum ausbilden einer schicht auf einem substrat
Inventor: NIES JUERGEN DR
IPC: C23C16/40
Filed: 2011-04-29
Abstract: Es ist ein Verfahren zum Ausbilden einer Schicht auf einem Halbleitersubstrat, beschrieben, bei dem das Halbleitersubstrat auf eine vorgegebene Prozesstemperatur oberhalb von 500°C erwärmt wird, ein Prozessgas auf eine Oberfläche des Halbleitersubstrats geleitet wird und ein Plasma benachbart zu wenigstens einer Oberfläche des Halbleitersubstrats erzeugt wird.