માઇક્રોવેવ્સનું નિર્માણ કરવા માટે ઘન સ્થિતિ ઉપકરણો અથવા વિશિષ્ટ વેક્યુમ ટ્યૂબ્સનો ઉપયોગ થઈ શકે છે.