માઇક્રોસ્કોપની તૈયારીને કારણે, વેક્યૂમના સંપર્કથી, અથવા ઇલેક્ટ્રોન બીમના સંપર્કમાં કારણે નમૂનાનું ફેરફારો થઇ શકે છે.