એક ઊંચા વોલ્ટેઝ શક્યતા દ્વારા ઓક્સિજન (ઢાંચો:Oxygen2)ના પસાર થવાથી ઓઝોન (ઢાંચો:Oxygen3)નું નિર્માણ થાય છે જેનો પરિણામે ત્રીજા ઓક્સિજનનો પરમાણુ જોડાઇને સ્વરૂપ લે છેઢાંચો:Oxygen3. ઓઝોન બહુજ અસ્થિર અને પ્રતિક્રિયાશીલ હોય છે અને તેના સંપર્કમાં આવનાર અધિકાંશ કાર્બનિક પદાર્થોનું તે ઓક્સીકરણ કરે છે, જેમાં અનેક રોગજનક સૂ્ક્ષ્મજીવ નષ્ટ થાય છે. ઓઝોનની અવશ્યકતા મુજબ સાઇટ પર જ ઉત્પન્ન કરવામાં આવે છે. ક્લોરીનીકરણની તુલનામાં ઓજોનીકરણ વધુ સલામત છે(જોકે અકસ્માતમાં બહાર પડી જતા અતિશય ઝેરી ઘટના બની શકે છે). ઓઝોન પણ ક્લોરીનેશન કરતા ઓછા જંતુનાશક ઉપપેદાશોનું ઉત્પાદન કરે છે. ઓઝોન જંતુરહિત પ્રક્રિયાનું એક નુકશાન તે છે કે ઓઝોન ઉત્પન્ન કરવાવાળા ઉપકરણની કિંમત વધારે હોય છે અને તેને વિશેષ પરિચાલકોની જરૂર પડે છે.