એક્સ-રે લિથોગ્રાફી આધુનિક ટેકનિક છે, જેના એક બીમ છે  એક્સ રે  એક ખાસ preform જે ખાસ સબસ્ટ્રેટને પર દંડ વિગતો પેટર્ન દર્શાવે છે પસાર થયા હતા.