ઓક્સિજન ઝેરી પદાર્થ ઉત્પન્ન થાય છે જ્યારે એક મરજીવો ઓક્સિજનની વધુ પડતી ઊંચી એકાગ્રતા (અથવા આંશિક દબાણ) માં આવે છે.