ઇલેક્ટ્રોન લિથોગ્રાફી - એક ટેકનિક છે, જેના એક કેન્દ્રિત ઇલેક્ટ્રોન બીમ યોજના અથવા એક વિશિષ્ટ છબી સભ્ય ડ્રોઈંગ જરૂરી વિગતો ફાળવે.