ઇ.સ. 1771 માં શીલએ SiF4 ની શોધ કરેલી, પરંતુ ઇ.સ. 1813 માં ડેવી એ ક્લોરિનના જેવુ એક બીજુ તત્વ છે તેમ જાહેર કર્યું આમ છતાં તે ફ્લોરિનને મુક્ત રીતે મેળવી શક્યો ન હતો. ઇ.સ. 1886 માં ફ્રેન્ચ રસાયણશાસ્ત્રી મોઇશાંને આ બાબતે સફળતા મળી.