1981 - ગેર્ડ બિનિગ અને હેઇનરિચ રોહરેરે સ્કેનિંગ ટનલિંગ માઇક્રોસ્કોપની શોધ કરી હતી જે અણુ સ્તરે પદાર્થોની ત્રિ-પરિમાણીય છબીઓ આપે છે.