સિલિકોન વેફર અને અન્ય સ્ફટિકો વધવા માટે, અને વેલ્ડીંગ માટે રક્ષણાત્મક ગેસ તરીકે, તત્વનો ઉપયોગ શુદ્ધ ગેસ તરીકે પણ થાય છે.