થર્મોોડાયનેમિક્સનો ઇતિહાસ ઓટ્ટો વોન ગ્યુરિક સાથે શરૂ થાય છે, જેણે 1650 માં, વિશ્વનું પ્રથમ વેક્યૂમ પંપ બનાવ્યું હતું અને તેના મેગ્ડેબર્ગ ગોળાર્ધનો ઉપયોગ કરીને વેક્યુમનું નિદર્શન કર્યું હતું.