શિવરાત્રીએ શિવપુજનમાં સૌથી પહેલા શુઘ્ધ વસ્ત્રો સ્નાન વિધી બાદ ધારણ કરી પુજામાં બેસતા જ ઘ્યાન, આહવાન, આસન ગ્રહણ કરાવવું આચમન, જળ સ્નાન, પંચામૃત સ્નાન ફરી શુઘ્ધ જળ સ્નાન વસ્ત્ર ધારણ કરાવવા, યજ્ઞોપવીત્ર ધારણ કરાવવી, ઉપવસ્ત્ર ધારણ કરાવી, ચંદન, અક્ષત, પુષ્પ, પુષ્ણમાળા, ધૂપ-દીપ, નૈવૈદય, પુષ્પાંજલી પરિક્રમા અને ક્ષમા-પ્રાર્થના આ ક્રમમાં શીવ પુજન કરવું જોેઇએ.