વિચારણા હેઠળ માળખું ભેજ માપવા માટે એક ભેજમાપક પણ પંપ માટે ગેસ એક ભાગ વિશ્લેષણ કરી શકાય વેક્યૂમ પંપ, અને ગંદા પરિસ્થિતિમાં વધારાના ફિલ્ટરિંગ તત્વો સમાવેશ થાય છે.