સ્તરો ગરમ થાય છે અને પછી ઠંડુ થાય છે, જેના કારણે ફેરોઇલેક્ટ્રીક વેફરને પર્સ્રેસ કરવામાં આવે છે . . . # 6629341, ઑકટોબર 7, 2003, પીઝોઇલેક્ટ્રિક કમ્પોઝિટ ઉપકરણના બનાવટની રીત