આ ટેકનિકનો ફાયદો એ છે કે તે ખૂબ ઊંચી વિસ્તૃતીકરણ અને રીઝોલ્યુશન (SEM કરતાં વધુ સારી તીવ્રતાનો ઓર્ડર) માટે સક્ષમ છે.