GaAs કાર્યક્રમો માટે પ્રમાણભૂત પુરોગામી ગ્રેડ 99.99% છે, પરંતુ નવા ઉપયોગોને ઊંચી શુદ્ધિકરણની જરૂર છે જે વેક્યૂમ હેઠળ મેટલને વોલેટાઇલ તત્વોને દૂર કરવા અથવા વિદ્યુતરાસાયણિક શુદ્ધિકરણ અને આંશિક સ્ફટિકીકરણ પદ્ધતિઓ દૂર કરવા માટે પ્રાપ્ત કરી શકાય છે.