સૌપ્રથમ, સિલિકોન ડાયોક્સાઈડની એક સ્તર સિલિકોન વેફરની સપાટી પર જમા કરવામાં આવે છે, તે પછી તે સ્તર ફોટોરેસિસ્સ્ટથી આવરી લેવામાં આવે છે.