હાઈપરપાઇર સિલિકોન વેક્યૂમ ફ્લોટ ઝોન પ્રોસેસ દ્વારા અને હાઇડ્રોજન વાતાવરણમાં અલ્ટ્રા-શુદ્ધ ટ્રાઇક્લોરોસિલેનનો ઉષ્મીય વિઘટન દ્વારા તૈયાર કરી શકાય છે.