માત્ર 1958 માં, એક જાપાની વૈજ્ઞાનિક Esaki તે તેજસ્વી ખાતરી કરવા માટે, ઇતિહાસનો સૌપ્રથમ ટનલ ડાયોડ બનાવવામાં સક્ષમ હતી.