સિમેન્સ પ્રક્રિયામાં ટ્રાયક્લોરોસિલેન તરીકે ઓળખાતી અસ્થિર ગેસના રાસાયણિક બાષ્પના જુબાનીનો સમાવેશ થાય છે.