સેમિકન્ડક્ટર્સ પ્રોસેસમાંથી ઉધાર લેતા, પાતળું ફિલ્મ રેઝિસ્ટરર્સ વેક્યૂમ ડિપોઝિશન પ્રક્રિયા દ્વારા બનાવવામાં આવે છે જેને સ્પુટિંગ કહેવાય છે જ્યાં ઇન્સ્યુલેટીંગ સબસ્ટ્રેટ પર વાહક સામગ્રીનું પાતળું સ્તર જમા કરવામાં આવે છે.