પ્રોજેક્શન લેસર કિરણોત્સર્ગ મદદથી લિથોગ્રાફી વ્યાપક તાજેતરની ઓપ્ટિકલ ટેકનોલોજીના વિકાસ માટે વપરાય છે તેના ઉત્પાદન વધુ અમલીકરણ સાથે મેટ્રોલોજીનો સાધનો સુધારો કરે છે.