ફોસ્ફરસને સિલિકોનમાં રજૂ કરવાની અન્ય પદ્ધતિઓમાં વાયુ પ્રસાર, પ્રવાહી ડોપન્ટ સ્પ્રે-ઓન પ્રોસેસ અને એક તકનીકનો સમાવેશ થાય છે જેમાં ફોસ્ફરસ આયનો સિલિકોનની સપાટી પર ચોક્કસપણે ચાલે છે.