રિપ્લેસમેન્ટ માટે રાસાયણિક પદ્ધતિ ઉપયોગ કરતી વખતે  હાઇડ્રોજન પરમાણુ  અણુઓ ખાસ પદાર્થ Silane માટે વપરાય છે.