સ્તરો ગરમ થાય છે અને પછી ઠંડુ થાય છે, જેના કારણે ફેરોઇલેક્ટ્રીક વેફરને પર્સ્રેસ કરવામાં આવે છે . . . # 6379809, 30 એપ્રિલ, 2002, થર્મિલી સ્થિર, પીઝોઇલેક્ટ્રિક અને પાયરોઇલેક્ટ્રિક પોલિમેરિક સબસ્ટ્રેટ્સ અને પદ્ધતિને લગતી પદ્ધતિ