Trong khi đó, quân Bắc Chu tiếp tục truy đuổi, Cao Vĩ đã để Thái hoàng thái hậu ở lại Tế châu và tiếp tục cùng Thái thượng hoàng hậu quý phi Phùng Tiểu Liên và Cao Hằng và một số thân tín chạy đến Thanh châu (青州, nay gần tương ứng với Thanh Châu, Sơn Đông). Tuy nhiên, quân Bắc Chu cũng nhanh chóng tiến về Thanh châu, nhóm Cao Vĩ cố gắng chạy về phía nam đến Trần, song đã bị bắt giữ và bị giải trở lại Nghiệp thành, và tại đây họ được Bắc Chu Vũ Đế đối đãi một cách tôn trọng. Ngay sau đó, Bắc Chu nắm quyền kiểm soát hầu như toàn bộ lãnh thổ Bắc Tề, và khi Vũ Đế trở về kinh đô Trường An của mình, ông ta đã đưa Cao Vĩ cùng các thành viên hoàng tộc Bắc Tề trước đây đi theo.