Nguyên lý hoạt động 
Trong đầu dò chất bán dẫn bức xạ ion hóa làm phát sinh các phần tử mang điện tự do, là các cặp lỗ trống - điện tử. Năng lượng cần thiết để tạo ra một cặp lỗ trống - điện tử là độc lập với năng lượng của bức xạ tới và đã được biết đến từ trước, thì việc đo số cặp lỗ trống - điện tử cho phép xác định cường độ bức xạ tới. Kết quả là một số electron được chuyển từ vùng hóa trị lên vùng dẫn, và một số lỗ trống đúng bằng như vậy được tạo ra trong vùng hóa trị.