PRESSURE DETECTOR WITH A SENSOR QUARTZ

Abstract: 1. Pressure detector comprising a disc-shaped quartz sensor crystal (1) which is mounted perpendicularly standing on its margin, a first pressure support (15) which serves to introduce force to the quartz sensor crystal (1), a second pressure support (7) which serves to adjust and mount the quartz sensor crystal (1), a frame (2) which serves to fix the second pressure support (7), and two electrodes (8) which are laterally attached to the quartz sensor crystal, in which arrangement the electrodes (8) are each drawn around the margin of the quartz sensor crystal (1), and one electrode (8) touches the first pressure support (15) an the other electrode (8) touches the second pressure support (7), and in which arrangement the first pressure support (15) and the second pressure support (7) are electrically insulated from one another.

Description: Druckaufnehmer mit Sensorquarz Stand der Technik Die Erfindung geht aus von einem Druckaufnehmer mit Sensorquarz nach der Gattung des Hauptanspruches. Sensorquarze, insbesondere Schwingquarzplatten im AT-Schnitt, die einer radialen mechanischen Kraft ausgesetzt werden, erfahren eine der Kraft proportionale Änderung ihrer Eigenfrequenz. Die Vorzüge einer hierauf beruhenden Kraftmessung - gute Linearität, geringe Hysterese, weiter Arbeitstemperaturbereich und hohe zeitliche Konstanz dieser Eigenschaften, frequenzanaloges Signal - werden auch für die Druckmessung eingesetzt, in dem eine geeignete Druck-Kraft-Wandlung vorgenommen wird. Bei den bisher auf dem Markt erschienenen Druckaufnehmern nach diesem Prinzip werden die genannten Eigenschaften mit Hilfe einer aufwendigen Konstruktion erreicht. Der dadurch bedingte hohe Preis stand einer breiten Einführung bisher entgegen. Aus der Firmenschrift der Firma Gould Inc., Measurement Systems Division betreffend den quarz Resonator Pressure Transducer PA9000 ist bereits ein Druckaufnehmer mit Sensorquarz bekannt, bei dem mit Hilfe einer Membran eine Kraft auf ein Drucklager ausgeübt wird, um diese Kraft auf die Kante einer dünnen Quarzplatte einzuleiten. Aus der US-PS 4 126 801, Corbett, ist eine Einspannung für Schwingquarzaufnehmer bekannt, wie sie in der vorhergehenden Firmen schrift Verwendung findet. Der Quarz hat scheibenförmige Gestalt und wird durch zwei Spannglieder mit gewölbter Oberfläche eingespannt. Problematisch an dieser Einspannung ist, dass sie sehr schlecht justierbar ist. Die freiliegenden Anschlussdrähte der Quarz elektroden sind bei der Montage hinderlich und können bei rasch wechselnden Druckbeanspruchungen zu unerwünschten Eigenschwingungen führen. Vorteile der Erfindung Der erfindungsgemässe Druckaufnehmer hat demgegenüber den Vorteil, dass die mit den Elektroden zugleich angebrachten Elektrodenzuführungen auf dem Sensorquarz zu den Drucklagern führen und zur Kontaktherstellung mit den Drucklagern um den Rand des Sensorquarzes herumgezogen sind. Das ermöglicht eine einfachere Montage, und bewirkt den Wegfall von Anschlussdrähten, so dass störende mechanische Eigenschwingungen vermieden werden. Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Massnahmen sind vorteilhafte Verbesserungen und Ausführungen des erfindungsgemässen Druckaufnehmers möglich. Polierte, ebene Lagerflächen, auf denen vor der Montage des Sen sorquarzes keine Lagerstelle durch konstruktive Merkmale vorbestimmt ist, haben den Vorteil, dass keine besonderen Massnahmen zur genauen Justierung der Quarzlage und der Lage der kristallographischen X-Achse zur Kraftrichtung beim einzelnen Druckaufnehmer notwendig sind. Dadurch wird eine wesentliche Kostenreduzierung erreicht. Dass das Gegenlager im Rahmen axial verschiebbar und arretierbar ist, ermöglicht die Justierung des Sensorquarzes, ohne die Drucklagerflächen vor dem Erreichen der endgültigen Lage zu berühren. Damit werden Deformationen der Lagerflächen in der Umgebung der endgültigen Position des Sensorquarzes vermieden, die zu unerwünschten Spannungskomponenten im Sensorquarz führen würden. Durch die axiale Verschiebung des Gegenlagers wird die Einstellung der mechanischen Vorspannung des Sensorquarzes in denkbar einfacher Weise ermöglicht. Eine Markierung der kristallographischen X- Richtung am Rand des Sensorquarzes ermöglicht die Einstellung des gewünschten Winkels zwischen kristallographischer X-Achse und Kraftrichtung. Ein halbkreisförmiges Sensorquarzrandprofil ermöglicht eine Konzentration der Kraftbelastung um die Quarzplatten-Mittelebene. Damit wird eine Verteilung der Belastung auf im wesentlichen zwei Kraft-Linien vermieden, die zu Scherbelastungen im Auflagebereich und zu ungleichmässiger Kraftverteilung führen können. Die Oberfläche des harten Lagermaterials mit einer dünnen, weichen metallischen Schicht (vorzugsweise Gold oder Kupfer einige Mikrometer dick) reduziert die Anforderungen an die Homogenität des Lagermaterials und an die Bearbeitung des Quarzplattenrandes. Damit wird ausserdem die Auslösung von Zwillingsbildung innerhalb der Kristallstruktur vermieden. Die elektrische Verbindung des elektrisch isolierten Gegenlagers mit der Glasdurchführung des Gehäuses mit einem dünnen federnden Stift hat den Vorteil, dass eine zu starke mechanische Kopplung des Druckaufnehinerrahmens mit dem Gehäuse vermieden wird, die unerwünschte Schwingungen auf den Sensorquarz übertragen könnte. Von weiterem Vorteil ist die einfache Montage. Die drei Millibar Stickstoffüllung des Gehäuses anstelle einer Vakuumleerung verbessert die thermische Ankopplung der Quarzplatten an die umgebenden Bauteile durch Wärmeleitung, ohne dass die Eigenerwärmung des Füllgases in Betracht gezogen werden muss. Zeichnung Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Figur 1 zeigt einen Schnitt durch den erfindungsgemässen Druckaufnehmer, Figur 2 zeigt eine Seitenansicht eines Schnittes gemäss Figur 1. Beschreibung des Ausführungsbeispieles Ein Sensorquarz 1 mit zwei Elektroden 8 ist zwischen einem Drucklager 15 und einem Gegenlager 7 eingespannt. Das Drucklager 15 ist an einer Druckdose 3 befestigt, die in einen Rahmen 2 eingeschraubt ist. Das Gegenlager 7 ist in eine Isolierbuchse 11 eingepasst, die über einen Luftspalt einer Glasdurchführung 10 gegenüberliegt, welche in einen Gehäuseboden 6 eingepasst ist. Ein dünner Kontaktstift 18 ist in eine Kontakthülse in das Gegenlager 7 eingesteckt und führt durch ein Isolierstück 9 durch die Glasdurchführung 10 nach aussen, wobei der Kontaktstift 18 in einem Durchführungsrohr eingelötet ist, Der Gehäuseboden 6 ist in einen Gehäusezylinder 4 eingeschweisst, dem ein Gehäusedeckel 5 aufgeschweisst ist. Eine Rohrverschraubung 13 führt durch den Gehäusedeckel 5 und ist in den oberen Teil des Rahmens 2 eingeschraubt. Zwischen Gehäusedeckel 5 und Rahmen 2 liegt eine Distanzscheibe 12. Die Innenbohrung der Rohrverschraubung 13 führt in die Arbeitskammer der Druckdose 3, die mit einem Innengewinde der Rohrverschraubung 13 verschraubt ist. Die Verbindungsstelle zwischen Verschraubung der Druckdose 3 und der Rohrverschraubung 13 ist mit einem Kupferdichtring 14 abgedichtet. Im Gehäuseboden 6 sind Anschlüsse eines Referenzquarzes 16, der im Gehäuseinneren sitzt, elektrisch gegen das Gehäuse isoliert nach aussen geführt. Ebenfalls ist durch den Gehäuseboden 6 ein Evakuierungsrohr 17 nach aussen geführt. Der Sensorquarz 1 ist senkrecht freistehend zwischen Gegenlager 7 und Drucklager 15 eingespannt, wobei die mechanische Vorspannung durch die Druckdose 3 bewirkt wird. Ein Überdruck, der durch die Innenbohrung der Rohrverschraubung 13 in die Arbeitskammer der Druckdose 3 gelangt, führt über eine Druck-Kraft-Wandlung durch die Druckdose 3 und das Drucklager 15 zu einer Kraft auf den Sensorquarz 1. Beim Sensorquarz 1 handelt es sich um einen handelsüblichen Dickenscherschwinger mit niedrigen Kosten, hoher Druckempfindlichkeit, hoher mechanischer Festigkeit, günstigen elektrischen Schaltungseigenschaften, d.h. niedrigem Schwingwiderstand und guten Zieheigenschaften, sowie reproduzierbar einstellbarem Frequenz-Temperatur-Verhalten. Dazu ist der Sensorquarz 1 aus einer kommerziell erhältlichen 0,6 mm dicken quadratischen Quarz-Rohplatte, die auf 12 mm Durchmesser rundiert wird, hergestellt. Die elektrische Anregung als Schwingquarz erfolgt im dritten Oberton bei einer Grundfrequenz von 5 MHz. Die kristallographische X-Achse des Sensorquarzes 1, und damit der Kraftrichtungswinkel, wird vor dem Auf bringen der Elektroden 8 unter einem Polarisationsmikroskop nach einem bekannten Verfahren bestimmt, und es wird eine Markierung 19 der X-Richtung am Plattenrand des Sensorquarzes 1 angebracht. Die Elektroden 8 werden unter einem Winkel von 380 zur kristallographischen X-Richtung beidseitig des Sensorquarzes 1 so aufgedampft, dass die Elektroden jeweils um einen Rand der Quarzplatte herumreichen, so dass bei senkrechter Aufstellung des Sensorquarzes 1 die eine Elektrode zum Drucklager 15 führt und die andere, gegenüberliegende Elektrode zum Gegenlager 7, wie es in Figur 1 ersichtlich ist. Hierdurch entfallen störende Anschlussdrähte und nachträgliche Kontaktierungsmittel wie Leitpaste oder Leitkleber, d.h. der Sensorquarz 1 ist sofort nach seiner Einspannung betriebsbereit. Ein elektrischer Anschluss erfolgt damit über das Drucklager 15, die Druckdose 3, den Rahmen 2, Rohrverschraubung 13 und Gehäuseteile 4, 5, 6. Der andere elektrische Anschluss geht über das Gegenlager 7 und den Kontaktstift 18. Über die Isolierbuchse 11, Glasdurchführung 10 und Isolierstück 9 ist das Gegenlager 7 sowie der Kontaktstift 18 von der Gehäusemasse isoliert. Der Rahmen 2 besteht aus einem Stahlrohrprofil mit einem Wärmeausdehnungskoeffizienten, der annähernd gleich dem des Quarzmateriales des Sensorquarzes 1 ist. Hierdurch bleibt die durch die Druckdose 3 ausgeübte Vorspannung konstant und Wärmeausdehnungen werden über einen weiten Temperaturbereich kompensiert. Da im fertig montierten Zustand der Gehäuseinnenraum weitgehend evakuiert ist und sich keine aggressiven Medien bilden, kann der Rahmen 2 ohne Oberflächenbehandlung bleiben. Der untere Teil des Rahmens 2 ist bis zu seitlichen Öffnungen, wie in Figur 2 ersichtlich, geschlitzt, um dem in der ebenfalls geschlitzten Isolierbuchse 11 stehenden Gegenlager 7 durch Klemmung einen festen Sitz zu geben. Die Klemmung wird dabei durch zwei Schrauben bewerkstelligt, wie ebenfalls in Figur 2 ersichtlich ist. Die Druckdose 3 ist mit Feingewinde in den Rahmen 2 geschraubt. Als Druck-Kraft-Wandler ist sie für 10 bar Betriebsdruck ausgelegt, und hat hierbei eine mittlere Ausdehnung von 0,025 mm/bar. Der Sensorquarz 1 ist so justiert, dass die unmittelbare Krafteinwirkung der Druckdose 3 vom Mittelpunkt des Drucklagers 15 auf die Mittelachse des Sensorquarzes 1 führt. Damit ist ein linearer Zusammenhang zwischen Kraft und Frequenzänderung des Sensorquarzes 1 erreicht. Die genaue Einstellung des Winkels von 380 zwischen der kristallographischen X-Achse und der Kraftrichtung bewirkt ein Minimum der Temperaturabhängigkeit der Druckempfindlichkeit in einem vorgegebenen Temperaturbereich. Die Rohrverschraubung 13 ist in den Gehäusedeckel 5 geschweisst, der Rahmen ist auf der anderen Seite des Gehäusedeckels auf die Rohrverschraubung 13 gegen die Distanzscheibe 12 geschraubt. Die Druckdose 3 ist in den Rahmen 2 bzw. in ein Innengewinde der Rohrverschraubung 13 verschraubt, so dass der Kupferdichtring 14 die Innenbohrung der Rohrverschraubung 13 mit dem Betriebsdruck vom Innenraum des Gehäuses abdichtet. Das Isolierstück 9 bzw. die Glasdurchführung 10 dichten den Innenraum des Gehäuses gegenüber dem Gegenlager 7 vakuumdicht ab. Dass das Gegenlager 7 axial verschiebbar ist führt im Gegensatz zu anderen Alternativen, z.B. Schraublösungen, dazu, dass Durchmessertoleranzen des Sensorquar zes 1 unerheblich sind, dass eine einfache Aufstellung des Sensorquarzes 1 erreicht wird, dass die Vorspannung genauer eingestellt werden kann und dass ein geringeres Lagerspiel bzw. ein besserer Festsitz erreicht wird. Mit der mechanischen Vorspannung und dem Einpressen des Sensorquarzes in die Lager- bzw. Kontaktflächen von Drucklager 15 und Gegenlager 7 wird gewährleistet, dass der Sensorquarz 1 bei Vibration, Stoss und sehr kleinen Betriebsdrücken in seiner ursprünglichen Position bleibt. Die Lagerflächen von Gegenlager 7 und Drucklager 15 sind eben, geläppt und poliert. Das Drucklager 15 ist aus Inconel 600 und das Gegenlager 7 aus geschliffenem Stahl. Die Oberflächen der harten Lagernaterialien sind mit einer dünnen, weichen metallischen Schicht aus Kupfer oder Gold (5 bis 7 Mikrometer dick) bedeckt. Das reduziert die Anforderungen an die Homogenität des Lagermaterials und an die Bearbeitung des Randes des Sensorquarzes 1. Der Gehäusezylinder 4 besteht aus einem Rohrprofil mit einer Wanddicke von 1 mm. Für alle Gehäuseteile, also Gehäusezylinder 4, Gehäuseboden 6, Gehäusedeckel 5 ist aus Gründen der Korrosionsbeständigkeit und guter Laserschweissbarkeit Chromnickelstahl verwendet. Der Gehäuseboden 6 ist als Anschlussplatte ausgebildet und enthält Glasdurchführungsteile für den elektrischen Anschluss des Referenzquarzes 16, des Sensorquarzes 1, sowie für das Evakuierungsrohr 17. Der hochgezogene untere Rand des Gehäusebodens 6 dient als Schutz der Glasdurchführungen und ermöglicht eine einfache Schweissung. Die Konstruktion des Gehäuses erlaubt einen einfachen Montageablauf. Der vorgefertigte Gehäuseboden 6 mit den Glasdurchführungsteilen wird zuerst mit dem Gehäusezylinder 4 und dann anschliessend mit dem Gehäusedeckel 5 verschweisst. Das Zusammenfügen von Rahmenteil mit Gehäusedeckel 5 und Gehäuse zylinder h erfolgt in einer einfachen Vorrichtung, damit der Kontaktstift 18 für den Anschluss des Sensorquarzes 1 sicher in die Kontakthülse des Gegenlagers 7 eingeführt wird. Die zu verschweissenden Teile aus Chromnickelstahl werden mit einem Laser oder Elektronenstrahl geschweisst. Dabei ergeben sich unkritische Temperaturwerte von 1000 bis 0 250 C je nach Schweissgeschwindigkeit. Die Vakuumdicht- heit der Anordnung wird mit einer Helium-Leckprüfung geprüft. Nach dem Verschweissen wird das Gehäuse über das Evakuierungsrohr 17 evakuiert und anschliessend Stickstoff bis zu einem Druck von 3 Millibar eingelassen. Das verbessert die thermische Ankopplung des Sensorquarzes 1 sowie des Referenzquarzes 16 an die umgebenden Bauteile. Für die genaue Justierung des Sensorquarzes 1 auf die Mitte der Lagerstellen, der Lage der kristallographischen X-Achse und das anschliessende Fixieren des Quarzes wird eine Justiervorrichtung mit zwei Mikroskopen für Höhen- und Seitenlage verwendet. Dabei wird der Rahmen 2 auf einem Montagetisch befestigt und der Sensorquarz 1 auf einer Säule mit Mittelbohrung durch Unterdruck gehalten und ausgerichtet. Damit wird eine Positionierung des Sensorquarzes 1 auf das Zentrum der Drucklager 15 mit 0,01 mm Toleranz, sowie eine Einstellung der kristallographischen X-Achse auf 20 Bogenminuten Toleranz erreicht. Nach erfolgter Justierung wird durch eine Druckbelastung von 12 bar bei einer Temperatur von 1500 C in die Kontaktflächen von Drucklager 15 und Gegenlager 7 durch den justierten Sensor quarz 1 eine Eindruckmarke erzeugt, und dadurch die X-Y-Position des Sensorquarzes 1 fixiert. Ein Verändern ist wegen der Eindruckmarken (bzw. Lagerbetten des Sensorquarzes 1) nicht mehr möglich. Der erfindungsgemässe Druckaufnehmer mit Sensorquarz kann überall da Verwendung finden, wo präzise und schnelle Druckmessungen von Flüssigkeiten oder Gasen insbesondere bei hohen Drücken und Umgebungstemperaturen erforderlich sind, wie beispielsweise bei Antriebsturbinen, Gasturbinen oder Fülldruckmessungen.

Claims: Ansprüche 1. Druckaufnehmer mit einem scheibenförmigen Sensorquarz (1), der auf seinem Rand stehend senkrecht eingespannt ist, mit einem ersten Drucklager (15), das zur Krafteinleitung auf den Sensorquarz (1) dient, mit einem zweiten Drucklager (7), das zur Justierung und Einspannung des Sensorquarzes (1) dient, mit einem Rahmen (2), der zur Befestigung des zweiten Drucklagers (7) dient und mit zwei Elektroden (8), die seitlich auf dem Sensorquarz (1) angebracht sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden (8) jeweils um den Rand des Sensorquarzes (1) herumgezogen sind, dass eine Elektrode (8) das erste Drucklager (15) und die andere Elektrode (8) das zweite Drucklager (7) berührt, und dass das erste Drucklager (15) und das zweite Drucklager (7) voneinander elektrisch isoliert sind. 2. Druckaufnehmer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Drucklager (7) in Richtung zum Sensorquarz (1) bewegbar ist, und dass das zweite Drucklager (7) gegenüber dem Rahmen (2) im Presssitz befestigbar ist. 3. Druckaufnehmer nach Anspruch 1 bis 2, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Drucklager (15) an einer Druckdose (3) befestigt ist. 4. Druckaufnehmer nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckdose (3) über eine Rohrverschraubung (13) im Rahmen (2) befestigt ist. 5. Druckaufnehmer nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass ein Kontaktstift (18) mit dem zweiten Drucklager (7) elektrisch verbunden ist, und durch eine isolierende Durchführung (10), vorzugweise aus Glaskeramik, durch einen Gehäuseboden (6) durchgeführt ist. 6. Druckaufnehmer nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass eine Innenbohrung der Rohrverschraubung (13) mit der Arbeitskammer der Druckdose (3) verbunden ist, und dass ein Kupferdichtring (14) die Innenbohrung der Rohrverschraubung ( ] 3) gasdicht abdichtet. 7. Druckaufnehmer nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckdose (3), das erste Drucklager (15), der Sensorquarz (1), das zweite Drucklager (7) und der Rahmen (2) in einem gasdichten Gehäuse (4, 5, 6) untergebracht sind. 8. Druckaufnehmer nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (4, 5, 6) evakuiert ist. 9. Druckaufnehmer nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (4, 5, 6) mit einem Schutzgas; vorzugsweise Stickstoff, gefüllt ist. 10. Druckaufnehmer nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass im Gehäuse (4, 5, 6) ein Referenzquarz (16) angebracht ist. 11. Druckaufnehmer nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass im Gehäuse (4, 5, 6) ein Evakuierungsrohr (17) angebracht ist. 12. Druckaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden (8) auf den Sensorquarz (1) aufgedampft sind. 13. Druckaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche wenigstens eines Drucklagers (7, 15) eben ist. 14. Druckaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche wenigstens eines Drucklagers (7, 15) mit einer weichen, metallischen Schicht, vorzugsweise aus Gold oder Kupfer, bedeckt ist. 15. Druckaufnehmer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensorquarz (1) ein kreisausschnittförmiges, vorzugweise halbkreisförmiges Randprofil besitzt. 16. Verfahren zur Justierung des Druckaufnehmers nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensorquarz (1) zwischen das erste Drucklager (15) und das zweite Drucklager (7) eingespannt wird, so dass die Kraftrichtung unter dem Kraftrichtungswinkel zur kristallographischen X-Achse des Sensorquarzes (1) von der Mitte des ersten Drucklagers (15) zur Mitte des zweiten Drucklagers (7) ausgerichtet ist. 17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensorquarz (1) vor der Einspannung mit einer Markierung (19) versehen wird, die einen festen Bezug zur kristallographischen X-Achse des Sensorquarzes (1) hat. 18. Verfahren nach Anspruch 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, dass nach Ausrichtung der Kraft des Sensorquarzes (1),der Sensorquarz (i) durch eine Druckbelastung in die Oberflächen des ersten Drucklagers (15) und des zweiten Drucklagers (7) eine Eindruckmarke ein Lagerbett presst. 19. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberflächen der Drucklager (15, 7) vor der Druckbelastung keine Eindruckmarken aufweisen. 20. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 16 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Kraftrichtung des Sensorquarzes (i) unter einem Messmikroskop mit einem Tubus für die Höhenlage und einem Tubus für die Seitenlage des Sensorquarzes (1) ausgerichtet wird. 21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass unter dem Tubus ein Montagetisch zur Befestigung des Rahmens (2) vorgesehen ist, so dz die Ausrichtung des Sensorquarzes optisch überwachbar ist, dass der Sensorquarz (1) auf einer Säule mit Mittelbohrung durch Unterdruck gehalten und ausgerichtet wird, wobei die Säule relativ zum Montagetisch bewegt wird.

Inventors: BORUSCHEWITZ, MANFRED, DIPL.-ING., BOSSE, JURGEN, DIPL.-ING., HAMISCH, HANSJOACHIM, DR., KAISER, HANS-JURGEN, DIPL.-PHYS., TIMM, HORST, DIPL.-ING., Bosse, Jürgen, Dipl.-Ing., Kaiser, Hans-Jürgen, Dipl.-Phys.
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH
Application year: 1984
Main classification: G01L9
IPC codes: G01L9