CAPACITIVE DISPLACEMENT-TO-FREQUENCY TRANSDUCER, ESPECIALLY A PRESSURE-TO-FREQUENCY TRANSDUCER

Abstract: 1. Capacitive displacement-frequency-transducer, particularly pressure-frequency transducer with at least one metallic membrane (10, 11) exposed to the pressure to be measured and the position of which varies in relation to a counter-electrode (6) in dependence of the measured quantity, the membrane (11) being arranged in a line resonator (27) as a frequency determining element and means (18) being provided for feeding high frequency electromagnetic energy of adjustable frequency to the line resonator (27) and the line resonator being coupled to a detecting circuit (25, 26, 28, 29, 20, 21) for tuning the frequency of the high frequency energy to the resonance frequency of the line resonator (27), thereby characterized, that the metallic membrane (11) is part of a barometric cell (10, 11) and that the line resonator (27) is composed of two concentric circular cylinders (1, 3) with a common base plate (2) and of different lenghts, the barometric cell (10, 11) being secured to the upper face (4) of the shorter inner cylinder (3) with a clearance to the cover plate (6) and to the inner surface of the longer outer cylinder (1) such, that an electrically conductive connection exists between the metallic membrane (11) and the metallic conductive common surface consisting of the outer surface of the inner cylinder (3), the inner surface of the outer cylinder (1) and the base and cover plates (2, 6) connecting said surfaces of the cylinders.

Description: Kapazitiver Weg-Frequenz-Meesgröaaenwandler' insbesondere Druck Frequenz-Wandler Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Weg-Frequenzwandler, insbesondere einen Druck-Frequenzwandler mit wenigstens einer von dem zu messenden Druck beaufschlagten metallischen Membran, deren Lage gegenüber einer Gegenelektrode sich in Abhängigkeit von der Messgrösse ändert. Druckmessdosen zur Messung von Drücken und Druckdifferenzen auf kapazitivem Wege sind bekannt. So ist in DE-OS 31 22 438 (The Bendix Corp.) eine derartige Messdose beschrieben, deren Gehäuse drei Abteilungen enthält, nämlich die Druckmessdose, druckaufnehmende Membranen und eine Elektronik zur Umsetzung der Druckparameter in elektrische Signale. Mit der Druckmessdose zusammenwirkende Gehäuseabteile und Rohre bilden zwei Hohlräume für Medien von zwei Drücken mit unterschiedlichen Pegeln, wobei die Druckmessdose zusammen mit der Elektronik kapazitive Signale für die zu messenden Drücke bzw. Druckunterschiede erzeugt. Es ist weiterhin aus der DE-OS 29 50 891 (Licentia) ein Druck- oder Kraftaufnehmer mit Oberflächenwellen-Anordnung bekannt, bei dem diese Anordnung durch Reflektoren zu einem Resonator vervollständigt ist, derart, dass sich Resonanzfrequenz des Resonators mit der zu messenden Kraft bzw. dem Druck verändert. Schliesslich ist aus der DE-OS 30 37 802 (Robert Bosch GmbH) auch schon ein kapazitiver Weg-Frequenz-Messgrössenwandler, insbesondere ein Druck-Frequenz-Wandler bekannt, bei dem zur Bildung der Kapazität eine von dem zu messenden Druck beaufschlagte metallische Membran einer Druckdose vorgesehen ist. Der Kondensator wird als frequenzbestimmende Grösse in einem RC-Oszillator verwendet. Dabei wird eine Auflösung von etwa 5 kHz/mbar erreicht. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen kapazitiven Weg Frequenzwandler, insbesondere einen Druck-Frequenzwandler zu schaffen, der bei hoher Auflösung und Stabilität ein digital auswertbares Messignal liefert. Diese Aufgabe wird bei einem Wandler der eingangs genannten Art dadurch gelöst, dass die Membran als frequenzbestimmendes Element in einem Leitungsresonator angeordnet ist, dass Mittel vorgesehen sind, durch die der Leitungsresonator mit hochfrequenter elektromagnetischer Energie von einstellbarer Frequenz beaufschlagbar ist und dass der Leitungsresonator mit einer Detektionsschaltung verbunden ist, mit der die Frequenz der hochfrequenten Energie auf die Resonanzfrequenz des Leitungsresonators abstimmbar ist. Dabei ist mit Vorteil die metallische Membran Teil einer Druckdose, und der Leitungsresonator ist aus zwei konzentrischen Kreiszylindern mit gemeinsamer Grundplatte und verschiedener Länge aufgebaut. Die Druckdose ist auf der oberen Stirnfläche des kürzeren inneren Zylinders mit einem Abstand zur Deckplatte und Innenfläche des äusseren längeren Zylinders derart befestigt, dass eine elektrisch leitende Verbindung zwischen der metallischen Membran und der metallisch leitenden gemeinschaftlichen Aussenfläche des inneren und der Innenfläche des äusseren Zylinders, sowie mit den diese Zylinderflächen verbindenden Grund- und Deckplatten besteht. Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist die Druckmessdose in an sich bekannter Art aus zwei metallischen Membranen aufgebaut, zwischen denen ein evakuierter Zwischenraum liegt und deren Durchmesser kleiner als der Innendurchmesser des äusseren Zylinders des Leitungsresonators ist. Der Leitungsresonator weist eine Resonanzfrequenz um 500 MHz auf, und seine Innenfläche sowie die Aussenfläche der Druckdose tragen eine Silberbeschichtung von 5 - 10 tm Dicke. Die Detektionsschaltung umfasst einen Mikroprozessor, einen Programmspeicher (ROM) zur Steuerung des Mikroprozessors, einen Frequenzgenerator, der vom Mikroprozessor angesteuert wird und den Leitungsresonator beaufschlagt, einen Analog Digitalwandler nebst Hochfrequenzdiode zur Messung und Rückführung der Schwingungsamplitude vom Resonator zum Prozessor, einen Random-Access Speicher (RAM) zur Zwischenspeicherung von Amplitudenwerten, einen Temperatursensor für den Resonator nebst Anslog-Digitalwandler und EPROM-Speicher für eine für den Resonator charakteristische Temperatur Kalibrierungskurve, sowie eine Anzeigestufe für vom Mikroprozessor ausgegebene Messwerte. Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Figuren der Zeichnung schematisch dargestllt. Es zeigen Fig. 1 einen Leitungsresonator im Schnitt, welcher in einem erfindungsgemässen Messgrössenwandler verwendet wird,und Fig. 2 eine Gesamtschaltung eines erfindungsgemässen Messgrössenwandlers. Der Leitungsresonator 27 gemäss Fig. 1 umfasst einen kreiszylindrischen Becher 1 mit einer Bodenplatte 2. Die Bodenplatte 2 trägt konzentrisch zum Becher 1 einen inneren Zylinder 3, dessen oberes Ende 4 unterhalb des oberen Randes 5 des Bechers 1 liegt. Auf diesem Rand 5 ist ein Deckel 6 mit Schrauben 7 über einen O-Ring 8 vakuumdicht aufgeschraubt. Becher 1, Zylinder 3 und Deckel 6 bestehen aus Metall und sind miteinander elektrisch leitend verbunden. Dabei ist es wichtig, dass der leitende Kontakt zwischen den Auflageflächen von Becher 1 und Deckel 6 direkt besteht. Auf das obere Ende 4 des Zylinders 3 ist eine Druckdose 9 aufgeschraubt, welche aus einer unteren 10 und aus einer oberen metallischen Membrane 11 aufgebaut ist. Zwischen den Membranen 10 und 11 befindet sich in an sich bekannter Art ein evakuierter Zwischenraum 12 derart, dass bei Schwankungen des äusseren Luftdruckes die obere Membrane 11 sich mehr oder weniger dem Deckel 6 nähert. Das Innere des Leitungsresonators ist durch ein Druckausgleichsloch 13 mit der Umgebungsluft verbunden. Die Druckdose 9 ist durch die Verschraubung mit dem Zylinder 3 elektrisch leitend verbunden. Die obere Membrane 11 und der Deckel 6 bilden somit zwei Elektroden eines Kondensators mit druckabhängiger Kapazität. Durch diese Kapazität ist die Eigenfrequenz des Leitungsresonators wesentlich bestimmt. Durch Einkopplung elektromagnetischer hochfrequenter Energie durch ein Loch 14 in der Bodenplatte 2 mittels einer Koppelschlaufe 15 kann der Resonator zu Schwingungen angeregt werden. Die Amplitude einer angeregten Schwingung kann durch Auskopplung elektromagnetischer Energie durch ein zweites Loch 16 in der Bodenplatte 2 mittels einer zweiten Koppelschlaufe 17 bestimmt werden. Zur Erzielung eines hohen Gütefaktors Q des Resonators ist die Oberfläche von Becher 1, Platte 2, Zylinder 3, Deckel 6 und Druckdose 9 mit einer 5-10 u dicken Silberschicht belegt. Der Resonator ist so dimensioniert, dass er je nach Lage der Membrane 11 eine Resonanzfrequenz um 500 MHz aufweist. Variiert man also die Erregerfrequenz an der Einkopplungsschlaufe 15, so wird beim Erreichen der druckabhängigen Resonanzfrequenz die Amplitude der Resonatorschwingung stark ansteigen. Diese Schwingung gelangt über die Auskoppelschleife 17 auf eine Detektionsschaltung, mit der eine präzise Resonazabstimmung der Erregerfreqeunz möglich ist. Es wurde eine mittlere Detektionsempfindlichkeit des Druck-Frequenzwandlers von 300 kHz/mbar erreicht. Fig. 2 zeigt eine Schaltung des Messgrössenwandlers. Der Leitungsresonator 27 wird von einem Sender 18 über eine Leitung 19 mit elektromagnetischer Energie von einstellbarer Frequenz beaufschlagt. Der Sender 18 ist ein Frequenzsynthesizer, dessen Frequenz von einem Mikroprozessor 20 über einen Datenbus 21, eine Ausgangsstufe 22 und eine Steuerleitung 23 eingestellt wird. Die im Resonator 27 vorhandene Schwingung wird über eine Leitung 24 auf eine Hochfrequenz-Detektionsdiode 25 zur Gleichrichtung ausgekoppelt. Die resultierende Gleichspannung wird in einem Verstärker 26 verstärkt, in einem Analog-Digitalwandler (A/D) 28 gemessen und in ein digitales Signal umgesetzt, welches über eine Eingangsstufe 29 und den Datenbus 21 dem Mikroprozessor 20 zugeführt ist. Am Leitungsresonator 27 ist als Temperatursensor ein Thermistor 30 vorgesehen, dessen Ausgangssignal über eine Leitung 31, einen Verstärker 32, einen Analog-Digitalwandler (A/D) 33, die Eingangsstufe 29 und den Datenbus 21 ebenfalls dem Mikroprozessor 20 zugeführt ist. Ueber den Datenbus 21 wird der Messablauf von einem in einem Programmspeicher (ROM) 34 permanent gespeicherten Programm mittels des Mikroprozessors 20 gesteuert. Dabei auftretende Zwischenwerte werden in einem Arbeitsspeicher (RAM) 35 zwischengespeichert. Zur Berücksichtigung des Temperaturverlaufes der Resonanzfrequenz f (p,T ) des Leitungsresonators 27 ist ein programmierbarer Permanentspeicher (EPROM) 36 vorgesehen, in den die Temperatureichkurve des jeweils verwendeten Resonators 27 eingespeichert wird. Vom Mikroprozessor ausgegebene Messwerte werden über den Datenbus 21 einer Anzeigestufe 37 zugeführt. Die soweit beschriebene Schaltung kann durch verschiedene, im Speicher 34 gespeicherte Programme für verschiedene Auswerteverfahren zur Ermittlung des Luftdruckes aus der Resonanzkurve des Leitungsresonators 27 verwendet werden. Im einfachsten Fall wird man am Sender 18 eine Reihe von Frequenzen im Bereich häufig vorkommender Resonanzfrequenzen (z.B. 500 MHz) anwählen und die zugehörigen Erregungsamplituden im Arbeitsspeicher 35 speichern. Die Frequenz für die maximale Amplitude wird mittels eines Korrekturwertes aus der Eichkurve im Permanentspeicher 36 vom Prozessor 20 auf eine Standardtemperatur (z.B. 200C) reduziert, und aus der reduzierten Frequenz f wird der Druck p (fO) berechnet und auf die Anzeige 37 gegeben. Eine besonders empfindliche Abstimmungsanzeige erhält man dann, wenn man die Frequenz des Senders 18 periodisch variiert und zweckmässig die Resonatorerregung für die maximale und die minimale Frequenz detektiert. Die Differenz der genannten Erregungen wird Null, wenn der Frequenz mittelwert gleich der Resonanzfrequenz ist Betreibt man den Messgrössenwandler als Druck-Frequenz-Wandler, so wird man zweckmässig den Temperatureinfluss auf die Grösse des Spaltes zwischen der Metallmembrane 11 und dem Deckel 6 noch zusätzlich dadurch kompensieren, dass man für den Innenzylinder 3 und den Aussenzylinder 1 Werkstoffe auswählt, deren thermische Ausdehnungskoeffizienten eine an die Abmessungen der Zylinder angepasste Differenz aufweisen. Varianten des beschriebenen Ausführungsbeispiels können zweckmässig sein. Soll die Druckdifferenz zwischen zwei gasförmigen oder flüssigen Medien gemessen werden, so wird man zwei Druckkammern durch nur eine metallische Membrane trennen, deren Verschiebungsweg in der oben beschriebenen Weise mittels eines Leitungsresonators gemessen werden kann.

Claims: Patentansprüche 1. Kapazitiver Weg-Frequenz-Messgrössenwandler, insbesondere Druck Frequenz-Wandler mit wenigstens einer von dem zu messenden Druck beaufschlagten metallischen Membran (10, 11), deren Lage gegenüber einer Gegenelektrode (6) sich in Abhängigkeit von der Messgrösse ändert, dadurch gekennzeichnet, dass die Membran (11) als frequenzbestimmendes Element in einem Leitungsresonator (27) angeordnet ist, dass Mittel (18) vorgesehen sind, durch die der Leitungsresonator (27) mit hochfrequenter elektromagnetischer Energie von einstellbarer Frequenz beaufschlagbar ist und dass der Leitungsresonator mit einer Detektionsschaltung (25, 26, 28, 29, 20, 21) verbunden ist, mit der die Frequenz der hochfrequenten Energie auf die Resonanzfrequenz des Leitungsresonators (27) ab stimmbar ist. 2. Messgrössenwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die metallische Membran (11) Teil einer Druckdose (10, 11) ist und dass der Leitungsresonator (27) aus zwei konzentrischen Kreiszylindern (1, 3) mit gemeinsamer Grundplatte (2) und ver schiedener Länge aufgebaut ist, wobei die Druckdose (10, 11) auf der oberen Stirnfläche (4) des kürzeren inneren Zylinders (3) und mit einem Abstand zur Deckplatte (6) und Innenfläche des äusseren längeren Zylinders (1) derart befestigt ist, dass eine elektrisch leitende Verbindung zwischen der metallischen Membran (11) und der metallisch leitenden gemeinschaftlichen Aussenfläche des inneren (3) und der Innenfläche des äusseren Zylinders (1) sowie mit den diese Zylinderflächen verbindenden Grund (2) und Deckplatten (6) besteht. a 3. Messgrössenwandler nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckmessdose (10, 11) in an sich bekannter Art aus zwei metallischen Membranen (10, 11) aufgebaut ist, zwischen denen ein evakuierter Zwischenraum (12) liegt und deren Durch messer kleiner als der Innendurchmesser des äusseren Zylinders (1) des Leitungsresonators (27) ist. 4. Messgrössenwandler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Leitungsresonator (27) eine Druckausgleichsöffnung (13) zwischen Innenraum und Umgebung aufweist. 5. Messgrössenwandler nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die gemeinsame Grundplatte (2) der Kreiszylinder (1, 3) eine Oeffnung (14) für eine Einkopplungsschlaufe (15) und eine Oeffnung (16) für eine Auskopplungsschlaufe (17) für die hochfrequente elektromagnetische Energie aufweist. 6. Messgrössenwandler nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Leitungsresonator (27) eine Resonanz frequenz um 500 MHz aufweist. 7. Messgrössenwandler nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenfläche des Leitungsresonators und die Aussenfläche der Druckdose (10, 11) eine Silberbeschichtung von 5 bis 10 #m Dicke aufweisen. 8. Messgrössenwandler nach einem der Ansprüche 2 - 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Werkstoffe von Innenzylinder (3) und Aussenzylinder (1) so ausgewählt sind, dass sich der Abstand zwischen Druckdose (10, 11) und Deckplatte (6) des Aussen zylinders (1) bei Temperaturänderungen möglichst wenig ändert. 9. Messgrössenwandler nach einem der Ansprüche 1-8, dadurch ge kennzeichnet, dass die Detektionsschaltung umfasst: einen Mikroprozessor (20), einen Programmspeicher (ROM) (34) zur Steuerung des Mikroprozessors (20), einen Frequenzgenerator (18), der vom Mikroprozessor (20) angesteuert wird und den Leitungsresonator (27) beaufschlagt, einen Analog-Digital Wandler (28) nebst Hochfrequenzdiode (25) zur Messung und Rückführung der Schwingungsamplitude vom Resonator (27) zum Prozessor (20), einen Random-Access-Speicher (RAM) (35) zur Zwischenspeicherung von Amplitudenwerten, einen Temperatur sensor (30) für den Resonator (27) nebst Analog-Digital-Wandler (33) und EPROM-Speicher (36) für eine, für den Resonator (20) charakteristische Temperatur-Kalibrierungskurve, sowie eine An zeigestufe (37) für vom Mikroprozessor (20) ausgegebene Mess werte. 10. Messgrössenwandler nach einem der Ansprüche 1-9, dadurch ge kennzeichnet, dass die Frequenz der hochfrequenten elektromag netischen Energie, mit der der Leitungsresonator (27) beaufschlagt wird, periodisch variiert und dass die Detektionsschaltung (25, 26, 28, 29, 20, 21) eine Abstimmung auf eine mittlere Frequenz erlaubt derart, dass die Erregung des Resonators (27) bei zwei verschiedenen Frequenzen gleich ist.

Inventors: MEIER, DIETRICH, DR.
Applicants: KERN & CO. AG WERKE FUR PRAZISIONSMECHANIK OPTIK UND ELEKTRONIK
Application year: 1984
Main classification: G01L9
IPC codes: G01L11, G01L9