METHOD OF MANUFACTURING OPTICAL WAVE GUIDES

Abstract: 1. A method of manufacturing optical waveguides, in which compact glass layers are produced directly on the inside of a substrate tube from a reactive gas mixture by electron impact initiation without sintering, characterized in that during the overall duration of the manufacture of glass layers a volatile hydrogen-free fluorine compound is added to the mixture of the reaction gases, both during the deposition of any adjusting or optical cladding layers and during the deposition of core material.

Description: Verfahren zur Herstellung von optischen Wellenleitern Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von optischen Wellenleitern, wobei auf der Innenseite eines Substratrohres aus einem reaktiven Gasgemisch direkt kompakte Glas schichten ohne Sintern erzeugt werden. Für die Herstellung von hochwertigen optischen Wellenleitern, insbesondere von Lichtleitfasern, werden zur Zeit praktisch nur vier Verfahren angewendet (siehe Koel, Proc. 8th European Conf. on Optical Comm. (8ECOC) Cannes, Sept. 1982, S. 1 bis 8, 1982). Es sind dies i) das MCVD-Verfahren, 2) das OVD-Verfahren, 3) das VAD-Verfahren und 4) das PCVD-Verfahren. Der wesentliche Unterschied zwischen diesen Verfahren liegt in der Art und Weise, wie die für die Abscheidung notwendigen chemischen Reaktionen angeregt werden. Während bei den Verfahren (1) bis (3) eine thermische Anregung angewendet wird, nutzt das PCVD-Verfahren (4) Elektronenstossanregungen aus. Bei der thermischen Anregung entstehen im wesentlichen in der Gasphase primär feine Glaspartikel, die nach der Abscheidung auf einem Substrat eine poröse Schicht bilden. Die poröse Schicht wird nach der Abscheidung zu einer kompakten Glasschicht gesintert. Die porösen Vorf'ormen können eine sehr starke Verunreinigung mit OH-Gruppen aufweisen, wenn die russartigen G1ANPIrt ikel direkt in einem Hj)/O,-hnallgasbrenner erzeugt werden, wie bei den Verfahren (2) und (3) (OVD- und VAD Verfahren), oder wenn wasserstoffhaltige Verbindungen, wie z.B. SiHCl3, HCl oder Kohlenweasserstoffverbindungen, in den Ausgangsmaterialien vorkommen, die nur sehr kostenintensiv abgetrennt werden können ( (1) MCVD-Verfahren ). Im Gegensatz hierzu tritt bei der Elektronenstossanregung beim PCVD-Verfahren die Bildung feiner Glaspartikelchen nicht ein: die gasförmigen Reaktionsprodukte liegen in molekularer oder atomarer Form vor; sie können über relativ schnelle Diffusion zur Innenwand des normalerweise benutzten Rohres gelangen und dort direkt massive Glasschichten bilden. Obwohl es grosse Vorteile bietet, direkt aus der Gasphase kompakte Glasschichten ohne Sinterung bilden zu können, ist hiermit doch der Nachteil verbunden, dass derartige Schichten nach ihrer Bildung sich nur schwierig von eingebauten OH-Gruppen befreien lassen. Bei der Herstellung von optischen Wellenleitern ist für eine verlustarme Lichtübertragung die Erzielung möglichst niedriger Dämpfungen wünschenswert. Insbesondere sollen die Dämpfungen im irbertragungsfenster zwischen 800 und 1600 nm möglichst gering sein. In diesem Bereich liegen mehrere Absorptionsbanden - und zwar insbesondere bei 950 nm, bei 1240 nm und bei 1380 nm - die Bindungen von OK-Gruppen im Glas des optischen Wellenleiters zugeordnet werden können. Bereits die Anwesenheit von OH-Gruppen in der Grössenordnung "parts per million" (ppm) im Wellenleitermaterial genügt, um sehr starke Absorptionen (und damit Dämpfungen) im angestrebten Übertragungsbereich zu verursachen. Im allgemeinen gilt, dass 1 ppm OH zu etwa 50 dB/km Zusatzdämpfung bei 1380 nm führt. Für Wellenleiter, die nach den Verfahren (1) bis (3) hergestellt werden, sind extrem niedrige Absorptionswerte von kleiner als 1 dB/km erreicht worden. Diese niedrigen Absorptionen werden nur dann erreicht, wenn die bei diesen Verfahren anfallenden Russ-Sinterkörper in poröser Form einer zusätzlichen, teilweise zeit- und kostenintensiven Nachbehandlung unterworfen werden und/oder unter Verwendung entsprechend vorgereinigter Materialien hergestellt werden. Eine solche Reinigung kann aus einer Nachbehandlung mit Chlorgas bestehen. Bei dem MCVD-Verfahren werden die porösen Glasteilchen während des Abscheidens einer Chloratmosphäre ausgesetzt, bevor sie gesintert werden. Die für eine solche Reinigung notwendige poröse Form des abgeschiedenen Glases mit einer entsprechend grossen, dem wasserentziehenden Mittel zugänglichen Oberfläche ist jedoch bei dem PCVD Verfahren in keiner Herstellungsphase gegeben. Optische Wellenleiter, die bisher nach dem PCVD-Verfahren hergestellt worden sind, hatten demgemäss relativ hohe OH Zusatzabsorptionen, die auch bei sorgfältiger Regelung der Herstellungsbedingungen und bei Verwendung vorgereinigter Rohmaterialien nur schwierig auf die mit den anderen Verfahren erzielten Werte erniedrigt werden konnten. Die Erfindung hat die Aufgabe, ein Verfahren zu schaffen, mit dem aus der Gasphase direkt kompakte Glas schichten abgeschieden werden, die eine niedrige OH-Zusatz-Absorption aufweisen. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäss dadurch gelöst, dass der Mischung der Reaktionsgase während der Gesamtdauer der Erzeugung von Glasschichten eine flüchtige wasserstofffreie Fluorverbindung beigemischt wird. Xorzugqweis wird du Menge der flüchtigen wasserstoff freien Fluorverbindung während der Gesamtdauer der Erzeugung von Glasschichten konstant gehalten. Bei den Untersuchungen, die zur Erfindung geführt haben, wurde festgestellt, dass die Anwesenheit von fluorhaltigen Verbindungen während der gesamten Dauer des Abscheidungs Prozesses es ermöglicht, die OH-Zusatz-Absorption in den abgeschiedenen Glasschichten auf Werte von 0,6 dB/km bei 1380 nm zu erniedrigen. "Während der gesamten Dauer des Abscheidungsprozesses" bedeutet in diesem Zusammenhang, dass dem Gasgemisch sowohl bei der Abscheidung von etwaigen Anpassungs- oder optischen Claddingschichten als auch bei der Abscheidung von Kernmaterial wasserstofffreie fluorhaltige Verbindungen zugesetzt werden. Das Substratrohr besteht z.B. aus Glas oder SiO2. Als wasserstofffreie fluorhaltige Verbindungen werden vorzugsweise flüchtige organische fluorhaltige Kohlenstoffverbindungen, wie z.B CF4 und z.B. C2F6, aber auch anorganische fluorhaltige Verbindungen, wie SiF4, eingesetzt. Die Anwendung von C2Fb wird jedoch bevorzugt, da hiermit schon bei geringen Konzentrationen ein deutlicher Effekt auftritt. Das erfindungsgemässe Verfahren ist bei der Herstellung von Wellenleitern, die ausschliesslich Fluor als brechungsindexverändernden Zusatz enthalten, ebenso anwendbar wie bei der Herstellung von Wellenleitern unter zusätzlicher Verwendung von anderen Dotierungsstoffen, wie z.B. GeO2. Die Anwendbarkeit der Erfindung ist auch unabhängig vom Wellenleitertyp, d.h. sowohl bei der Herstellung von Multimoden Wellenleitern als auch bei der Herstellung von Monomode Wellenleitern wird eine extrem niedrige Absorption infolge eingebauter OH-Gruppen erreicht. Ein zeit- und kosteninten einer Nachreinigungsschritt für die beschichteten Glasrohre ist beim erfindungsgemässen Verfahren nicht nötig. Aus der FR-OS 2 496 o8e, ist zwar ein Verfahren zur Herstellung von optischen Wellenleiteren bekannt, bei dem dotiertes und undotiertes Quarzglas hergestellt wird, indem die Reaktionsgase in die Flamme eines Plasmabrenners geblasen werden. Eine der vorgeschlagenen Dotierungen ist Fluor. Nach dieser Offenlegungsschrift nimmt der Gehalt an OH-Gruppen im gleichen Masse ab wie der Gehalt an Fluor zunimmt. Es zeigt sich aber, dass bei 1300 nm bei einem Fluorgehalt von 0,4 Gev.% im Kernmaterial noch immer mit einer Dämpfung von 5 dB/km zu rechnen ist. Hieraus lässt sich ein Gehalt an OH Gruppen von 0, 1 ppm abschätzen. Aufgrund dieser Offenlegungsschrift war daher eine weitere Erniedrigung des Gehaltes an OH-Gruppen durch Verwendung von Fluor nicht zu erwarten. Es hat sich jedoch gezeigt, dass sich beim PCVD-Verfahren überraschenderweise eine weitere Herabsetzung des Gehaltes an OH-Gruppen bis auf 0,01 ppm, also um eine Grössenordung kleiner, erreichen lässt. Vorzugsweise wird dem reaktiven Gasgemisch (SiCl4+O2, SiCl4+O2+SiF4, SiCl4+O2+GeCl4) eine solche Menge einer was sebrstofffreien Fluorverbindung beigemischt, dass im fertigen Wellenleiter der Brechungsindex um 0,07 bis 0,4 % herabgesetzt wird. Es stellt sich heraus, dass hierzu eine Menge von 0,2 bis 1,3 Mol% CoF6 ausreicht. Die Erfindung wird anhand einer Zeichnung und einiger Aus fiihrungsbeispiele näher erläutert. Die einzige Figur der Zeichnung zeigt das Dämpfungsspektrum eines erfindungsgemäss hergestellten Monomode-Wellenleiters. Beispiel 1: Herstellung eines Multimoden-Gradientenindex Wellenleiters unter Verwendung von GeCl4 und C2F6 als Dotiermittel. Nich dem PCVD-Verfahren wurde eine Vorform eines optischen Wellenleiters hergestellt, wobei während der Abscheidung zusätzlich ein geringer Gasstrom von C2Fb durch ein Substratrohr aus SiO2 mit einem Innendurchmesser von 15,0 mm und einem Aussendurchmesser von 18,0 mm geleitet wurde. Die Beschichtungslänge betrug etwa 45 cm und der mittlere Druck im Abscheidungsbereich etwa 10 mbar. Die Wandtemperatur des Substratrohres lag zwischen 1150 und 1300 C. Bei der Beschichtung wurde ein Mikrowellenresonator mit 500 W Leistungsaufnahme und einer Geschwindigkeit von etwa 8 m/min über dem Rohr hin- und hergefahren. Der totale Gasfluss während der Abscheidung wurde mit 800 sccm konstant gehalten, wobei sccm Kubikzentimeter pro Minute bei Normalbedingungen ( 0 C, 1 bar) bedeutet: die Beschichtungsdauer betrug insgesamt etwa 120 min. Die Reaktionsgasflüsse wurden wie folgt vorgegeben: Der Sauerstoff-Fluss und der C2F6-Fluss blieben während der gesamten Abscheidungszeit mit Q0 = 700 sccm und Q0 g = 0,4 sccm konstant. Im Kernbereich 2 .max. wurde der SiCl4-Fluss von QSiCl = 110 sccm und der GeCl4 4 .max. Fluss von QGeCl -18 sccm so variiert, dass - bei angenähert konstantem Gesamt fluss der Chloride von etwa 110 bis 120 sccm - ein parabolisches Brechungsindexprofil im Kernbereich erzielt wurde; die Abscheidungsgeschwindigkeit für das dotierte Material betrug unter den vorliegenden Bedingungen etwa 0,33 g/min. Die so erhaltene PCVD-Vorform wurde anschliessend kollabiert, zu einem optischen Wellenleiter ausgezogen und bezüglich der optischen Verluste untersucht. Es zeigte sich, dass der im vorliegenden Beispiel zugegebene C2F6-Gasfluss von etwa 0,34 Mol @@bezogen auf den Chloridfluss) die OH-Zusatzdämpfung bei 1.38 m von .twa 35 dB/km auf etwa 2,0 dB/km reduziert. Die relativ Brechungsindexänderung durch Fluor @inbau in das Kernmaterial betrug dabei -1,2 /00. Beispiel 2: Herstellung eines Monomode-Wellenleiters unter Verwendung von C2Fb als Dotiermittel. Nach dem PCVD-Verfahren wurde unter ausschliesslicher Verwendung von C,Ff, als Dotiermittel eine Faservorform hergestellt und zu einem Monomode-Wellenleiter ausgezogen. Die Dimension des Substratrohres sowie Temperatur, Druck, Beschichtungslänge und Resonatorbewegung entsprachen denen von Beispiel 1. Die Plasmaleistung lag dagegen nur bei etwa 200 W. Zu einem konstanten Fluss von etwa 40 sccm SiC14 und 220 sccm 2 wurde während der Abscheidung des Claddings- materials etwa 0,7 sccm (1,72 Mol%) C2F6 zugegeben. Der C2F6-Fluss wurde während der Abscheidung des Kernmaterials der optischen Faser auf etwa 0,15 sccm (0,37 Mol%) reduziert. Die so hergestellte Vorform wurde zu einem Monomode-Wellenleiter ausgezogen und hinsichtlich der optischen Dämpfung untersucht. Wie der Zeichnung zu entnehmen ist, beträgt die Höhe der zusätzlichen OH-Absorption bei 1380 nm lediglich noch etwa 0,6 dB/km. Patentansprüche:

Claims: Patentansprüche: 1. Verfahren zur Herstellung von optischen Wellenleitern, wobei auf der Innenseite eines Substratrohres aus einem reaktiven Gasgemisch direkt kompakte Glasschichten ohne Sintern erzeugt werden, dadurch gekennzeichnet, dass der Mischung der Reaktionsgase während der Gesamtdauer der Erzeugung von Glasschichten eine flüchtige wasserstofffreie Fluorverbindung beigemischt wird. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Menge der flüchtigen wasserstofffreien Fluorverbindung während der Gesamtdauer der Erzeugung von Glasschichten konstant gehalten wird. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Mischung der Reaktionsgase eine wasserstofffreie Fluorkohlenstoffverbindung beigemischt wird. 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Mischung der Reaktionsgase C2F6 beigemischt wird. 5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Mischung der Reaktionsgase 0,2 bis 1,3 Mol% C2F6 beigemischt wird.

Inventors: BACHMANN, PETER, DR., GEITTNER, PETER, DR., LYDTIN, HANS, DR., WILSON, HOWARD
Applicants: N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, PHILIPS PATENTVERWALTUNG GMBH
Application year: 1984
Main classification: C03B37
IPC codes: C03B37, C03C3, G02B6