PROCESS AND DEVICE TO DETERMINE A COORDINATE ON THE SURFACE OF A SOLID OBJECT

Abstract: 1. Process for determining a coordinate on the surface of a solid-state body (M) with an accuracy lying in the submicrometre range, in which a subregion of the surface of the solid-state body (M) is imaged using a first optical system (01), in which a subregion of a reference surface (K) aligned parallel to the surface of the solid-state body (M) is imaged using a second optical system (02), and in which the images formed by the first and the second optical system (01, 02) are superposed, characterized in that the reference surface (K), which is provided with a coordinate measuring grid, and the solid-state body (M) are mounted firmly on a table (T), in that the superposition image of the surface of the solid-state body (M) and of the reference surface (K) is fed to an evaluation unit (E), and in that the position of a point on the surface of the solid-state body (M) is determined with the aid of the coordinate measuring grid, the surface of the solid-state body (M) being at rest and not being shifted.

Description: Verfahren zur Festlegung einer Koordinate auf einer Oberfläche eines Festkörpers und Vorrichtung zur Durchführung eines solchen Verfahrens. Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Festlegung einer Koordinate auf einer Oberfläche eines Festkörpers nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und eine Vorrichtung zur Durchführung eines solchen Verfahrens. Die Prüfung der Masshaltigkeit von Strukturen auf einer Oberfläche eines Festkörpers wird zunehmend schwieriger, da einerseits die Abmessungen der zu untersuchenden Oberflächen immer grösser werden und da andererseits die Strukturen auf diesen Oberflächen mit immer grösserer Genauigkeit überprüft werden müssen. Beispielsweise wird bei der Uberprüfung von aufeinanderfolgenden Strukturen auf einer Oberfläche eines Halbleiterwafers eine Genauigkeit von mehr als 0,1/um verlangt. Dabei weisen diese Halbleiterwafer beispielsweise Abmessungen von 6" = 150 mm auf. Messungen von Koordinaten auf einer Oberfläche eines Festkörpers mit einer Genauigkeit von 0,1/um über eine Distanz von mehr als 10 cm zwischen einzelnen Eoordina- ten hinweg sind mit sehr aufwendigen "Messmaschinen" mittels Laser-Interferenzen möglich. Diese "MeEmaschinen" sind sehr teuer und erfordern im allgemeinen speziell ausgestaltete Messräume und besonders ausgebildete Fachleute. Aus der europäischen Patentanmeldung EP 65 429 Al sind ein Verfahren und eine Vorrichtung für die optische Mes sung von Koordinaten auf einer Oberfläche eines Festkörpers mit hoher GenauLgkeit bekannt. Dabei wird ein mit einem Gitter versehenes Referenzobjekt zusammen mit der zu untersuchenden Oberfläche des Festkörpers mit Hilfe eines Tisches über einer Laser-Interferometeranordnung verschoben. Das Gitter des Referenzobjekts weist ausser parallelen Linien keine weitergehende Gitterstruktur auf. Das Gitter dieses Referenzobjekts besitzt daher eine sehr einfache Periodizität mit dem Abstand zwischen zwei Linien als Periode. Ein Laserstrahl trifft so auf das Gitter dieses Referenzobjekts auf, dass er bei der Beugung an diesem Gitter dieses Referenzobjekts in zwei Teilstrahlen aufgeteilt wird. Die Uberlagerung dieser beiden Teilstrahlen wird sodann ausgewertet. Nachteil dieser bekannten Vorrichtung ist, dass die Koordinaten einer zu untersuchenden Oberfläche eines Festkörpers nicht absolut angegeben werden können. Vielmehr können nur Abstände zwischen Jeweils zwei Punkten auf der zu untersuchenden Oberfläche eines Festkörpers angegeben werden. Dabei ergibt sich als weiterer Nachteil, dass solche Abstände zwischen Jeweils zwei Punkten auf der zu untersuchenden Oberfläche eines Festkörpers nur dadurch ermittelt werden können, dass beim Verschieben der zu untersuchenden Oberfläche eines Festkörpers zusammen mit dem Referenzobjekt die Anzahl derjenigen Gitterlinien errechnet werden muss, die gegen den Auftreffbereich des Laserstrahles auf dem Gitter des Referenzobjekts verschoben worden sind. Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genannten Art anzugeben, mit dem eine Koordinate auf einer Oberfläche eines Festkörpers auch dann ermittelt werden kann, wenn diese Oberfläche des Festkörpers sich in Ruhe befindet und nicht verschoben wird. Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren nach dem Än- spruch 1 gelöst. Ausgestaltungen und Vorteile der Erfindung sind in den Unteransprüchen, der Beschreibung und der Zeichnung angegeben. Im Gegensatz zu einer bekannten Anordnung eines Ver gleichsmikro skops mit parallelen Mikroskopvorrichtungen wirkt sich die Tatsache, dass bei einer erfindungsgemässen Anordnung zwei Objektive ein und dieselbe optische Achse aufweisen, durch wesentlich geringere Temperaturdrift und dadurch aus, dass wesentlich geringere Anforderungen an die mechanische Tischverschiebung gestellt werden. Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher beschrieben. Fig.1 zeigt schematisch einen Schnitt durch ein erfin dungsgemässe s Koordinaten-Referenzmikroskop. Fig.2 zeigt das Prinzip eines erfindungsgemässen Koordi- naten-Messgitters. Fig.g zeigt das Prinzip zur erfindungsgemässen Ermittlung der Koordinaten eines Punktes auf einer Oberfläche eines Festkörpers. Fig.1 zeigt schematisch einen Schnitt durch ein erfin dungsgemässes Koordinaten-Referenzmikroskop. In diesem Ausführungsbeispiel befindet sich planparallel zur auszumessenden Oberfläche eines Festkörpers M (beispielsweise eines Halbleiterwafers oder einer Maske, die zur Belichtung von Halbleiterwafern benötigt wird) ein Eoor- dinaten-Messgitter E. Dieses Koordinaten-Messgitter E ist so angeordnet, dass auf ein und derselben optischen Achse OA von jeweils entgegengesetzten Seiten eine gleichzeitige mikroskopische Beobachtung von Messobjekt (Festkörper M) und Koordinaten-Messgitter K erfolgen kann. Die Beobachtung der Oberfläche des Festkörpers M erfolgt über ein Objektiv 01. Die Beobachtung des Koordinaten Messgitters E erfolgt über ein Objektiv 02. Sowohl der Festkörper M als auch das Koordinaten-Messgitter K sind auf einem Tisch T in bestimmten Positionen zueinander montiert. Dieser Tisch T ist gegen eine Tischhalterung - iroorcunazen- TH in zwei Richtungen eines kartesischen x-y-Koorolnaten- systems parallel zur Oberfläche des Festkörpers M verschiebbar. In einer Lampe L1 wird Licht erzeugt, welches von einer Linse auf den Schnittpunkt eines halbdurchlässigen Spiegels H1 mit der optischen Achse OA fokussiert wird. An diesem Schnittpunkt wird Licht von der Lampe L1 umgelenkt und passiert entlang der optischen Achse OA durch das Objektiv 01 hindurch und beleuchtet am Auftreffpunkt auf der Oberfläche des Festkörpers M einen Teil dieser Oberfläche. Nach dem Auftreffen auf diesen Teil der Oberfläche des Festkörpers M wird ein Teil dieses Lichtes entlang der optischen Achse OA durch das Objektiv 01 hindurch reflektiert und an einem Umlenkspiegel S1 umgelenkt. Dieser reflektierte und umgelenkte Teil des Lichtes trifft auf einen halbdurchlässigen Spiegel H auf und wird dort in zwei Teilstrahlen aufgeteilt. Einer dieser beiden Teilstrahlen gelangt zu einem Okular Ok. Der andere dieser beiden Teilstrahlen wird von einer Fernsehkamera TV erfasst. In einer zweiten Lampe L2 wird ebenfalls Licht erzeugt, das wiederum mittels einer Linse auf den Schnittpunkt der optischen Achse OA mit einem halbdurchlässigen Spiegel H2 fokussiert wird. Von der Lampe L2 erzeugtes Licht gelangt nach der Reflexion an diesem halbdurchlässigen Spiegel H2 entlang der optischen Achse OA durch das Objektiv 02 und beleuchtet einen Bereich des Koordinaten Messgitters K. Bei dieser Beleuchtung eines Bereiches des Koordinaten-Messgitters E wird ein Teil des Lichtes entlang der optischen Achse OA reflektiert und gelangt dabei auf einen Umlenkspiegel S2. Dieses reflektierte und umgelenkte Licht trifft ebenfalls auf den halbdurchlässigen Spiegel. H. Dabei gelangt ein Teil auch dieses Lichtes zum Okular Ok. Der andere Teil dieses Lichtes wird ebenfalls von der Fernsehkamera TV erfasst. Sowohl im Okular Ok als auch in der Fernsehkamera TV kann man nunmehr eine Uberlagerung der Abbildungen von jeweils einem Bereich sowohl der Oberfläche des Festkörpers M als auch von einem Bereich des Koordinaten-MeBgit- ters E erhalten. Da die Objektive 01 und .02 jeweils ein und dieselbe optische Achse OA aufweisen, liegen sich der abgebildete Bereich der Oberfläche des Festkörpers M und der abgebildete Bereich des Koordinaten-Messgitters E jeweils um die optische Achse OA herum direkt gegenüber. Die von der Fernsehkamera TV erfasste Uberlagerung von den beiden abgebildeten Bereichen auf einer Seite der Oberfläche des Festkörpers M und andererseits des Eoor- dinaten-Messgitters E kann in einer Bildauswerte-Elektronik E ausgewertet werden. Das Ergebnis dieser Auswertung kann auf einem Monitor Mo sichtbar gemacht werden. Das gesamte Koordinaten-Referenzmikroskop wird mittels eines Stativs St gehaltert. Befindet sich auf dem Koordinaten-Messgitter E ein Massstab, so kann mit Hilfe dieses Massstabes in der Bildaus werte-Elektronik E direkt beispielsweise ein Abstand zwischen zwei Punkten auf der Oberfläche des Festkörpers M ermittelt werden. Befindet sich auf dem Koordinaten-Messgitter E ein absoluter Massstab, so können in bezug auf diesen absoluten Massstab beispielsweise auch die Koordinaten eines einzelnen Punktes auf der Oberfläche des Festkörpers M angegeben werden. Aus den Untersuchungen zur Justierung von Masken und Halbleiterwafern über lichtoptische Marken sind Methoden bekannt, wie die Lage von Linien in einem Beobachtungsfeld von 50/um auch automatisch mit einer Auflösung von unter 0,7/um gemessen werden können. Derartige Verfahren können hier ebenfalls eingesetzt werden. Aus den Untersuchungen zur Herstellung von Masken mittels Elektronenstrahlschreiben ist es bekannt, wie Eoordina- ten-Messgitter K mit der notwendigen Genauigkeit hergestellt werden können. Beispielsweise kann mit Hilfe eines Maskenschreibers eine solche für ein Eoordinaten- Messgitter K benötigte Struktur in einem Lack oder in einem Plexiglas erzeugt werden. Dabei wird mit Hilfe eines Maskenschreibers ein Mutterobjekt für ein solches Eoor- dinaten-Messgitter K hergestellt. Von einem solchen Mutterobjekt für ein Koordinaten-Messgitter X können sodann beispielsweise mit Hilfe von Synchrotronstrahlung Kopien als Koordinaten-Messgitter K erzeugt werden. Fig.2 zeigt das Prinzip eines Ausführungsbeispiels für ein Koordinaten-Messgitter X. Fig.2 zeigt eine mögliche Strichanordnung für ein Messgitter mit einerg,Periodizität von 25/um. Bei einer Strichanordnung nach Fig.2 sind in einem Beobachtungsfeld, welches 40/um Kantenlänge aufweist, Ablesegenauigkeiten von besser als 0,1/um möglich. Ein solches Koordinaten-Messgitter K kann auf einer Glas platte von 150 mm Kantenlänge aufgebracht werden. Die Dicke der Linien S dieses Koordinaten-Messgitters K beträgt 2/um. Ein Koordinaten-Messgitter K wird vorteilhafterweise in einem step-and-repeat-Verfahren hergestellt. Die Synchro tronstrahlungs-Lithogra fie ermöglicht eine preiswerte Rerstellung von erfindungsgemässen Koordinaten-Messgittern E in einem step-and-repeat-Verfahren. Erfindungsgemässe Koordinaten-Messgitter E können mit Hilfe von anderen Eo- ordinaten-Messeinrichtungen überprüft und ihre Fehler katalogisiert werden. Die Anwendung der Erfindung ist nicht auf ein Ausführungsbeispiel nach Fig.1 beschränkt. Beispielsweise kann das erfindungsgemässe Referenzmessprinzip auch für elektronenoptische Maskenschreibgeräte angewandt werden und könnte dabei vorteilhafterweise die gebräuchliche Laser-Interferenz-Tischsteuerung ersetzen. Das erfindungsgemässe Referenzmessprinzip ist grundsätzlich auch für step-andrepeat-Belichtungsmaschinen aller Art geeignet. Vorteilhafterweise kann auch auf die Rückseite eines Festkörpers, beispielsweise eines Halbleiterwafers, eine Markierungsstruktur aufgebracht werden. Damit können vorteilhafterweise Justierungen für Belichtungen oder für sonstige Bearbeitungsvorgänge an einer Oberfläche eines Festkörpers durchgeführt werden. Bei der Bearbeitung einer Oberfläche eines Festkörpers M kann ein und derselbe Lichtstrahl sowohl dazu verwendet werden, die Oberfläche dieses Festkörpers.M zu bearbeiten als auch Teilbereiche der Oberfläche dieses Festkörpers M in erfindungsgemässer Weise abzubilden. Auf diese Weise können bei der Auswertung der Abbildungen von der Oberflä che des Festkörpers M und der Referenzfläche K in der gleichen Bildauswerte-Elektronik E Zeit und Aufwand gespart werden. Ein Detektor wie beispielsweise die Fernsehkamera TV kann z.B. 500 x 500 Detektorelemente aufweisen. Bei Anwendung von Submikrolithografie beträgt die Auflösung pro Detektorelement beispielsweise 0,1/um. Da der Detektor in einer Dimension beispielsweise 500 Detektorelemente aufweisen soll, beträgt die Gesamtauflösung des Detektors in einer Dimension 0,1/um x 500 = 50/um. Bei diesem Beispiel dürfen verschiedene Marken, die sich unmittelbar hintereinander auf der Referenzfläche (goordi- naten-Messgitter K) befinden, höchstens einen Abstand von 50/um aufweisen. Um den Tisch T günstig fuhren zu können, ist es vorteilhaft, auf der Referenzfläche (Koordi naten-Nessgitter E) Grobkoordinaten zweidimensional anzuordnen, wobei in jeder Dimension jeweils zwei unmittelbar hintereinander angeordnete Grobkoordinaten einen Abstand von 100/um aufweisen. Preiswerte Verstelltische T sind für einen zweidimensionalen 100/um-Grobkoordinaten- Massstab günstig im Handel zu erwerben. Bei einem zweidimensionalen 100/um-Grobkoordinaten-Massstab auf der Refe renzfläche (Eoordinaten-Messgitter K) ist es günstig, innerhalb von jeweils zwei aufeinanderfolgenden Grobkoordinaten Striche so anzuordnen, dass sie auf dem Koordinaten Messgitter E in jeder Dimension eine Periodizität von 25 /um aufweisen und dass sie zugleich beispielsweise bei Anwendung einer Submikrolithografie eine Auflösung von. besser als 0,1/um ermöglichen. Die nichtperiodischen Grobkoordinaten können beispielsweise durch unterschiedlich lange Striche oder durch unterschiedliche Ausgestaltungen von Strichen auf dem Koordinaten-Messgitter K definiert werden Fig.3 zeigt das Prinzip einer erfindungsgemässen Ermittlung der Koordinaten eines Punktes auf einer Oberfläche eines Festkörpers M. Ein Bild nach Fig.3 erhält man beispielsweise dann auf einem Monitor Mo, wenn Abbildungen von der Oberfläche des Festkörpers M und vom Koordi- naten-Messgitter E auf dem Bildschirm des MonitorS; No überlagert werden. Durch die Striche bzw. Linien S werden die absoluten Koordinaten x5, y5 eines Referenzpunktes auf dem Koordinaten-Messgitter K definiert. Zur Ermittlung der Koordinaten xS, YS dieses Referenzpunktes wird mit Hilfe der*yildauswerte-Elektronik E bei den Strichen bzw. Linien S eine symmetrische Mitte jeweils zwischen den beiden Kanten einer jeden Linie S vorgenommen. Um das Signal-/Rausch-Verhältnis zu verbessern, erfolgen die Linienmessungen jeweils quer zur Linie S bzw. A. Auf diese Weise werden die x- und y-Koordinaten jeweils der Linienmitten erfasst. Zu diesem Zweck kann beispielsweise ein mit einer Fernsehkamera TV erfasstes Bild bezüglich der Kanten von Linien 5 ausgewertet werden. Eine Auswertung der Linienmitten kann auch mit Hilfe eines in der Bildebene verschiebbaren Spaltes vorgenommen werden. Ausgehend von absoluten Koordinaten x5, y5 eines Referenzpunktes auf dem Koordinaten-Messgitter E werden mit Hilfe einer Auswerteelektronik E die absoluten Koordinaten xF, eines Punktes auf der Oberfläche des Festkörpers M dadurch ermittelt, dass in bezug auf die Bildachse (optische Achse OA) die relativen Koordinaten x, y des Referenzpunktes, der die absoluten Koordinaten xs, y5 besitzt, ermittelt werden und dass in bezug auf diese Bildachse OA die relativen Koordinaten x', y' dieses Punktes, dessen absolute Koordinaten angegeben werden sollen, ermittelt werden. Der Punkt auf der Oberfläche des Festkörpers M, dessen absolute Koordinaten ermittelt werden sollen, kann */ bzw. A dadurch definiert werden, dass beispielsweise zwischen jeweils gegenüberliegenden Kanten einer Marke R gemittelt wird. Als Objektive 01, 02 können Auflichtobjektive mit standardmässig 36-facher Vergrösserung und einer Apertur A von 0,5 verwendet werden. Bei Durchführung eines erfindungsgemässen Referenzmessprin- zips sind auch Dunkelfeldabbildungen möglich. Ein Verfahren zur Ermittlung der Koordinatenlage eines Striches S bzw. A mittels elektronischer Auswertung von Fernsehbildern ist in der US-PS 4 238 780 beschrieben. Auf einer Referenzfläche K sollen die Gitterstriche S nicht zu dicht beieinanderliegen, damit diese Gitterstriche genügend lang und gerade sein können. Zudem sollen diese Gitterstriche S genügend weit auseinanderliegen, damit die Ermittlung der Lage eines Gitterstriches S nicht dadurch gestört wird, dass andere Gitterstriche S allzu nahe benachbart sind. Andererseits sollen diese Gitterstriche S so dicht angeordnet sfln,dass in jedem Gesichts )feld des Auswertesystems für die Abbildungen mindestens ein Gitterstrich S zu erkennen ist. Die Grösse des Gesichtsfeldes ist durch die gewünschte Auflösung von beispielsweise 0,1zum pro Detektorelement (pixel) vorgegeben. Beim heute üblichen Abstand von Fernsehzeilen bei einer Fernsehkamera TV ist ein Abstand von 25/um zwischen zwei solchen Gitterstrichen S günstig, die unmittelbar benachbart in zueinander parallelen Linien verlaufen. Die Striche bzw. Linien S können allgemein als Balkenelemente bezeichnet werden. Diese Balkenelemente sollen nicht zu breit sein, um die virtuelle Mitte zwischen den Kanten dieser Balkenelemente mit hoher Genauigkeit ermitteln zu können. Andererseits erhalten diese Balkenele mente aus herstellungsbedingten Gründen eine endliche Breite. Aus diesen Gründen ist bei heute üblichen Herstellungsverfahren für solche Balkenelemente eine Breite von 2/um für diese Balkenelemente günstig. Eine Referenzfläche E soll gerade, zueinander senkrecht angeordnete Balkenelemente in Form eines Kreuzgitters aufweisen. Diese Balkenelemente werden günstigerweise an Uberkreuzungspunkten unterbrochen. Das von den Balkenelementen definierte Kreuzgitter weist zwischen den Balkenelementen Kreuzgitterfelder auf. Zur Unterscheidung ver- schiedener Kreuzgitterfelder werden günstigerweise verschiedene Hilfsmarkierungen A innerhalb von solchen Ereuzgitter- feldern angeordnet. Bei einem Abstand von Grobkoordinaten von 100/um ist es günstig, dass sich Hilfsmarkierungen A ebenfalls in einem Abstand von 100/um wiederholen. Hilfsmarkierungen A, die innerhalb von einem Kreuzgitterfeld angeordnet sind, ermöglichen die Festlegung einer Skalierung innerhalb von Kreuzgitterfeldern. Da zwischen verschiedenen Detektorelementen bei der Auswertung von Abbildungen Intensftätsübergänge vorhanden sind, kann durch Interpolation die Gesamtauflösung besser sein als sie dem blossen Abstand zwischen benachbarten Detektorelementen entsprechen würde. Die Erfindung ermöglicht Winkeltreue und Geradheit bei einer Festlegung einer Koordinate auf einer Oberfläche eines Festkörpers M in zwei Dimensionen. Auf eine zweidimensionale Messung mit Hilfe einer Referenzfläche K kann man sich verlassen. Im Gegensatz dazu können beispielsweise bei einem Tisch T, der mit Hilfe eines Laserinterferometers geführt wird, trotz Eichung auf Orthogonalität und Geradheit der Bezugsspiegel Störungen beim zweidimensionalen Messen entstehen, weil ein solches zweidimensionales Messen mit Hilfe eines Laserinterferometer-Nesssystems aus einer Überlagerung von Messungen in zwei einzelnen Dimensionen besteht.

Claims: Patentansprüche: 1. Verfahren zur Festlegung einer Koordinate auf einer Oberfläche eines Festkörpers (M) mit hoher Genauigkeit, mit einer zweidimensionalen Referenzfläche (in), die in einem bestimmten Abstand zu dieser Oberfläche des Festkörpers (M) angeordnet wird, dadurch g e k e n n z e i chn e t , dass ein Bereich auf der Referenzfläche (K), der der festzulegenden Koordinate gegenüberliegt, abgebildet wird. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass auch derjenige Bereich auf der Oberfläche des Festkörpers (M), in dem die festzulegende Koordinate sich befindet, abgebildet wird. 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass das Bild des Bereiches auf der Oberfläche des Festkörpers (M) und das Bild auf der Referenzfläche (g) in einer einzigen Auswerteeinheit (E) verarbeitet werden. 4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass in bezug auf die Bildachse (OA) die Koordinaten (s, y) eines Punktes auf der Referenzfläche (K) ermittelt werden und dass in bezug auf die Bildachse (OA) die Koordinaten (x', y > ) eines Punktes auf der Oberfläche des Festkörpers (M) ermittelt werden und dass schliesslich daraus die Koordinaten (xFS 9F > des Punktes auf der Oberfläche des Festkörpers (M) absolut angegeben werden. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass die Abbildungen über Auflichtobjektive (01, 02) erfolgen. 6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass die Abblldungsstrahlengänge über einen halbdurchlässigen Spiegel (H) zusammengeführt werden. 7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass die Bilder gleichzeitig betrachtet werden. 8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass der Festkörper (M) in definierter Weise verschoben wird zur gezielten Bearbeitung des Festkörpers (M). 9. Vorrichtung zur Durchführung eines Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 8, g e k e n n z e i c h n e t durch eine elektronische Bilderfassungseinheit (TV) zur Erfassung der Bilder und durch eine daran angeschlossene Bildauswerte-Elektronik (E). 10. Vorrichtung zur Durchführung eines Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass die Referenzfläche (K) fest auf der Rückseite des Festkörpers (M) angeordnet ist. 11. Vorrichtung zur Durchführung eines Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass die Referenzfläche (x) gerade, zueinander senkrecht angeordnete Balkenelemente (Striche bzw. Linien S) aufweist (Kreuzgitter). 12. Vorrichtung nach Anspruch11, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass die Balkenelemente (Striche bzw. Linien S) an Uberkreuzungspunkten unterbrochen sind. 13. Vorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass eine Hilfsmarkierung (A) in einem Kreuzgitterfeld angeordnet ist.

Inventors: MUELLER, KARL-HEINZ, DR., Müller, Karl-Heinz, Dr.
Applicants: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
Application year: 1984
Main classification: G01B11
IPC codes: G01B9, G01B11