PROCESS FOR MANUFACTURING A MATRIX OF ELECTRONIC COMPONENTS

Abstract: 1. Process for the production of a system fo electronic components, all the components of which operate correctly, the said process comprising the following steps : forming n groups (2) of r redundant sub-elements (4) of components (6), not electrically connected to each other, the electronic components (6) of an individual sub-element (4) being electrically connected to each other ; and determining within each group (2) of sub-elements (4) a non-defective sub-element, and connecting to each other the sub-elements thus determined in such a manner as to form the system of components (6) ; characterized in that, the system of components being a matrix of components of p lines and q columns and the sub-elements of the sub-matrices, the determination and the connection of the non-defective sub-elements comprise the following steps : selecting in an arbitrary manner, within each group (2) of sub-matrices (4), one of the r redundant sub-matrices (4) ; connecting to each other the selected sub-matrices (4) ; testing the matrix thus obtained in such a manner as to determine the sub-matrices (4) which may possibly be defective ; destroying the connections of these defective sub-matrices (4) ; connecting non-defective sub-matrices (4) to other sub-matrices (4) selected in an arbitrary manner within the groups (2) including the defective sub-matrices ; and repeating the aforementioned operations until there is obtained a matrix of components of p lines and q columns, all the components of which operate correctly.

Description: La présente invention a pour objet un procédé de fabrication d'une matrice de composants électroniques. Elle s'applique à tout arrangement matriciel de composants électroniques et en particulier à une matrice d'éléments utilisée pour la commande d'un écran d'affichage, tels que des transistors commandant un écran d'affichage à cristal liquide ou élèctrolumi#es- cent, ou tels que des détecteurs optiques. Dans une matrice de composants comportant 2 lignes et s colonnes de composants reliés électriquement entre eux, l'excitation électrique d'un composant ij situé au croisement de la ligne i, i étant un entier tel que 1 6i 4 p, et de la colonne i, i étant un entier tel que 1g j 4 q, est effectuée en excitant '(application d'une tension) simultanément la ligne i de composants et la colonne i de composants. Lorsque l'on désire exciter successivement tous les composants, l'excitation se fait en général en excitant simultanément toutes les colonnes et en excitant séquentiellement les lignes, c'est-à-dire en effectuant un balayage ligne par ligne. En conséquence, dans une telle matrice de composants, la présence d'un composant défectueux en train des perturbations, non seulement au niveau de ce composant mais aussi au niveau de la ligne et de la colonne de composants qui lui correspondent, ce qui crée un défaut beaucoup plus important. Pour éviter de tels problèmes, on utilise une redondance au niveau de chaque composant, c'est-à-dire que l'on multiplie le nombre de composants au niveau de chaque croisement ij entre les lignes et les colonnes. En conséquence, si l'un des composants d'un-croisement donné est défectueux, on peut le remplacer par un autre composant correspondant à ce même croisement. La réalisation d'une matrice de composants électroniques, à partir de plusieurs séries de compo sants, consiste, après la fabrication des composants, à tester les composants d'un même croisement, à choisir pour chaque croisement le composant non défectueux et à relier électriquement entre eux les composants choisis. Cette technique de redondance présente de nombreux inconvénients puisque tous les composants devant constituer la matrice doivent être testés pour être ensuite connectés entre eux. En effet, ce test pose le problème d'accès à chaque composant. Par ailleurs, le test de chaque composant est long et fastidieux. De plus, l'utilisation de plusieurs composants pour un croisement d'une ligne et d'une colonne données pose un certain nombres de problèmes technologiques et notamment des problèmes d'encombrement. La présente invention a justement pour objet un procédé de fabrication d'une matrice de composants électroniques permettant de remédier à ces inconvénients. En particulier, elle permet de tester les différents composants devant constituer la matrice de façon relativement simple. De façon plus précise, l'invention a pour objet un procédé de fabrication d'une matrice de composants électroniques comprenant 2 lignes et g colonnes permettant d'obtenir une matrice de composants dont tous les composants fonctionnent correctement, qui consiste à - réaliser n groupes de r sous-matrices de composants non reliées électriquement entre elles, les compo sants électroniques d'une même sous-matrice étant reliés électriquement entre eux ; - déterminer dans chaque groupe de sous-matrices une sous-matrice non défectueuse, et connecter entre elles les sous-matrices ainsi déterminées de façon à former la matrice de composants comprenant les 2 li gnes et les g colonnes. Afin d'obtenir une probabilité élevée de trouver parmi les sous-matrices d'un même groupe une sous-matrice non défectueuse, on utilisera, de préférence, au moins trois sous-matrices par groupe. Selon l'invention, la détermination et la connexion des sous-matrices non défectueuses consistent à : - choisir de façon arbitraire, dans chaque groupe de sous-matrices, une des r sous-matrices - connecter entre elles les sous-matrices choisies ; - tester la matrice ainsi obtenue de façon à déterminer les sous-matrices éventuellement défectueuses ; - détruire les connexions de ces sous-matrices défec tueuses ; - connecter des sous-matrices non défectueuses à d'au tres sous-matrices, choisies de façon arbitraire dans les groupes comprenant les sous-matrices défectueu ses, et - répéter les opérations qui précèdent jusqu'à l'obten tion d'une matrice dont tous les composants fonction nent correctement. Ce procédé permet de limiter le nombre d'opé- rations à effectuer pour déterminer les sous-matrices non défectueuses à raccorder. En effet, l'obtention d'une matrice dont tous les composants fonctionnent correctement se fait en choisissant des ensembles de composants non défectueux, c'est-à-dire des sous-matrices non défectueuses, et non en choisissant les composants, composant par composant. De préférence, la destruction des connexions des sous-matrices défectueuses est réalisée au moyen d'un faisceau laser. Selon un mode préféré de mise en oeuvre du procédé de l'invention, le test de la matrice obtenue consiste à - exciter séquentiellement chaque ligne de composants et recueillir séquentiellement le signal de sortie au niveau de chaque ligne de façon à tester chaque li gne, - exciter séquentiellement chaque colonne de compo sants et recueillir séquentiellement le signal de sortie au niveau de chaque colonne de façon à tester chaque colonne, et - exciter séquentiellement chaque ligne de composants et recueillir le signal de sortie en parallèle sur les colonnes de façon à réaliser un test entre les lignes et les colonnes. Ce test permet de détecter les anomalies des lignes et des colonnes de la matrice obtenue. Afin de tester chaque composant de la matrice obtenue, on peut conformément à l'invention, effectuer une étape de test supplémentaire. Cette étape consiste à exciter séquentiellement chaque ligne de composants et à recueillir le signal de sortie en parallèle sur les colonnes, en envoyant un faisceau d'électrons délocalisés sur toute la matrice obtenue, de façon à tester le bon fonctionnement de chaque composant. D'autres avantages et caractéristiques de l'invention ressortiront de la description qui suit, donnée à titre illustratif et non limitatif en référence à l'unique figure qui représente les différentes étapes du procédé de l'invention. En se référant à l'unique figure, le procédé de fabrication selon l'invention consiste à réaliser tout d'abord n groupes 2 de r sous-matrices 4 de composants électroniques 6, r et n étant des nombres entiers positifs. Sur cette figure, on a représenté douze groupes de sous-matrices, portant les références 21, 22,...212, formés chacun de trois sous-matrices 4a, 4b et 4c. Dans une même sous-matrice 4 les composants électroniques 6 sont reliés électriquement entre eux au moyen de conducteurs électriques 8. La réalisation de chaque sous-matrice de composants électroniques se fait de façon classique. Ensuite, on détermine, dans chaque groupe 2 de sous-matrices 4, une sous-matrice 4 fonctionnant correctement et on connecte entre elles les sous-matrices 4 choisies. La connexion des sous-matrices choisies se fait par l'intermédiaire d'interrupteurs 10 à plusieurs branchements, ici trois branchements possibles. Sur la figure, on a représenté une connexion possible de la sous-matrice 4a du groupe 21 à la sousmatrice 4b du groupe 22, cette dernière étant reliée à la sous-matrice 4a du groupe 23, etc... Sur la partie A de cette figure, on a représenté une vue schématique de dessus de la matrice permettant de mieux voir la connexion des différentes sous-matrices entre elles. Les sous-matrices 4a, 4b, 4c d'un même groupe 2 constituent une redondance de sous-matrices permettant d'obtenir à coup sûr une matrice finale de composants électroniques 6, dont tous les composants fonctionnent correctement. Cette matrice finale, comme par exemple celle représentée sur la figure et portant la référence 12, comporte 2 lignes i de composants et g colonnes i de composants. Afin d'obtenir une probabilité élevée d'avoir, dans chaque groupe 2 de sous-matrices, une sous-matrice 4 dont tous les points fonctionnent correctement, c'est-à-dire une probabilité voisine de 1, on utilisera de préférence une redondance au moins égale à trois, c'est-à-dire que le nombre r est au moins égal à trois. La réalisation d'une matrice, conformément à l'invention, peut être avantageusement utilisée pour l'obtention d'une matrice de composants électroniques, tels que des transistors, utilisés dans l'adressage d'éléments, par exemple de cristal liquide, dans un écran d'affichage. Ces transistors peuvent être, soit des MOSFET (transistor à effet de champ en technologie métal oxyde semiconducteur) réalisés sur du silicium monocristallin, soit des transistors réalisés en couche mince. On va maintenant décrire la façon de déterminer, selon l'invention, les sous-matrices non défectueuses de chaque groupe à connecter électriquement entre elles. La première étape de cette détermination consiste à choisir, arbitrairement, dans chaque groupe 2 de sous-matrices, une sous-matrice 4 et à connecter électriquement entre elles les sous-matrices choisies. Dans le cas de trois sous-matrices par groupe, il y a douze combinaisons possibles pour relier une sous-matrice d'un groupe à l'une des trois sous-matrices des quatre groupes voisins. La seconde étape consiste à tester, comme on le verra ultérieurement, la matrice ainsi obtenue de façon à déterminer les sous-matrices éventuellement défectueuses, cette matrice peut être par exemple celle représentée sur la figure. Ensuite, on détruit les connexions des sous-matrices défectueuses révélées par le test. Cette destruction se fait par exemple en envoyant un faisceau laser sur les connexions illicites. Par exemple, si le test révèle que la sous-matrice 4b du groupe 22 ne fonctionne pas ou fonctionne mal, on détruit les trois connexions de cette sous-matrice 4b, la reliant, réciproquement, à la sous-matrice 4a du groupe 21, à la sous-matrice 4a du groupe 23 et à la sousmatrice 4a du groupe 26. L'étape suivante du procédé consiste à choisir, arbitrairement, dans les groupes comportant les sous-matrices défectueuses, par exemple dans le groupe 22 comportant la sous-matrice défectueuse 4b, une autre sous-matrice, par exemple la sous-matrice 4c de ce groupe 22, et à connecter ces nouvelles sous-matrices choisies, aux autres sous-matrices, par exemple à connecter la sous-matrice 4c du groupe 22, respectivement, à la sous-matrice 4a du groupe 21 (partie A de la figure), à la sous-matrice 4a du groupe 23 et à la sousmatrice 4a du groupe 26. Les opérations décrites précédemment doivent être répétées jusqu'à ce que l'on obtienne une matrice finale dont tous les composants fonctionnent correctement. Bien entendu, il peut se faire que la première matrice réalisée soit la bonne. On va maintenant décrire une façon de réaliser le test de la matrice obtenue, lors de la connexion des sous-matrices de façon arbitraire afin de déterminer les sous-matrices éventuellement défectueuses. La première étape de ce test consiste à déterminer la continuité électrique de chaque ligne i de composants électroniques 6 de la matrice obtenue. Ceci peut être réalisé en excitant séquentiellement les lignes i, de la même façon qu'on le ferait lors du fonctionnement ultérieur de la matrice, et en recueillant le signal de sortie au niveau de chaque ligne. Par exemple, le signal d'excitation peut être envoyé par les entrées Et, à gauche de la figure, et le signal de sortie peut être recueilli sur les sorties SX,,à droite de la figure. Si aucune anomalie n'est détectée, on passe à l'étape suivante du test. La seconde étape du test consiste à déterminer la continuité électrique de chaque colonne i de composants électroniques. Comme pour le contrôle des lignes, ceci peut être réalisé en excitant séquentiellement les colonnes et en recueillant le signal de sor tie au niveau de chaque colonne. Par exemple on peut entrer le signal d'excitation par les entrées Ec, en haut de la figure, et le signal de sortie peut être recueilli sur les sorties Sc, en bas de la figure. Comme précédemment, si aucune anomalie n'est détectée, on peut passer à l'étape suivante du test. La troisième étape du test consiste à réaliser un contrôle entre les lignes et les colonnes de la matrice obtenue. Ceci peut être effectué en excitant séquentiellement les lignes i et en recueillant le signal de sortie en parallèle sur les colonnes i. Par exemple, on peut entrer le signal d'excitation par les entrées EX et recueillir le signal de sortie simultanément sur les sorties Sc. Ces trois étapes de test sont suffisantes pour détecter les anomalies des lignes et des colonnes, anomalies qui sont les plus graves pour une matrice de composants électroniques. Ces trois étapes de test peuvent être réalisées par une simple lecture de différence de potentiel entre les signaux d'entrée et de sortie. Une différence de potentiel importante entre l'entrée et la sortie du signal correspond à une anomalie de la matrice obtenue. Dans le cas de composants électroniques servant à la commande d'un écran d'affichage, par exemple des transistors, ces trois étapes de test peuvent être effectuées en adressant les éléments d'affichage, cristal liquide par exemple, et en effectuant une lecture optique. Dans ce cas, l'apparition d'éléments d'affichage noirs (c'est-à-dire non excités) correspond à une anomalie de la matrice obtenue. Comme autre technique de test, on peut utiliser un faisceau d'électrons, ou encore la thermographie infrarouge. Afin d'effectuer un test plus poussé au niveau de chaque composant électronique de la matrice, on peut réaliser une étape de test supplémentaire. Cette étape consiste, à exciter séquentiellement les lignes i et à recueillir le signal de sortie en parallèle sur les colonnes i, comme dans l'étape précédente, en envoyant, simultanément à l'excitation, un faisceau d'électrons délocalisés sur toute la matrice de composants. Cette étape supplémentaire correspond au fonctionnement ultérieur de la matrice, lorsque celle-ci est entièrement réalisée. Les circuits électriques (non représentés) permettant d'effectuer les différentes étapes du test de la matrice obtenue peuvent être les mêmes que ceux utilisés pour le fonctionnement ultérieur de la matrice ou bien d'autres circuits facilement réalisables par l'homme de l'art.

Claims: REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication d'une matrice de composants électroniques comprenant 2 lignes et g colonnes permettant d'obtenir une matrice de composants dont tous les composants fonctionnent correctement, caractérisé en ce qu'il consiste à - réaliser n groupes (2) de r sous-matrices (4) de com posants (6) non reliées électriquement entre elles, les composants électroniques (6) d'une même sous-ma trice (4) étant reliés électriquement entre eux - déterminer dans chaque groupe (2) de sous-matrices (4) une sous-matrice non défectueuse, et connecter entre elles les sous-matrices ainsi déterminées de façon à former la matrice de composants (6) compre nant les 2 lignes et les g colonnes. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que r est au moins égal à 3. 3. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que la détermination et la connexion des sous-matrices non défectueuses consistent à - choisir de façon arbitraire, dans chaque groupe (2) de sous-matrices (4), une des r sous-matrices (4) ; - connecter entre elles les sous-matrices (4) choi sies - tester la matrice ainsi obtenue de façon à déterminer les sous-matrices (4) éventuellement défectueuses ; - détruire les connexions de ces sous-matrices (4) dé fectueuses ; - connecter des sous-matrices (4) non défectueuses à d'autres sous-matrices (4), choisies de façon arbi traire dans les groupes (2) comprenant les sous-ma trices défectueuses, et - répéter les opérations qui précèdent jusqu a l'obten tion d'une matrice dont tous les composants fonction nent correctement. 4. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que la destruction des connexions des sous-matrices (4) défectueuses est réalisée au moyen d'un faisceau laser. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 3 et 4, caractérisé en ce que le test de la matrice obtenue consiste à - exciter (E) séquentiellement chaque ligne (i) de composants (6) et recueillir séquentiellement le si gnal de sortie (SL) au niveau de chaque ligne (i) de façon à tester chaque ligne - exciter (Ec) séquentiellement chaque colonne (j) de composants (6) et recueillir séquentiellement le si gnal de sortie (Sc) au niveau de chaque colonne (j) de façon à tester chaque colonne, et - exciter (E) séquentiellement chaque ligne (i) de composants (6) et recueillir le signal de sortie (Sc) en parallèle sur les colonnes (j) de façon à réaliser un test entre les lignes et les colonnes. 6. Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que le test de la matrice comprend une étape supplémentaire qui consiste à exciter (E) sé- quentiellement chaque ligne (i) de composants (6) et à recueillir le signal de sortie (Sc) en parallèle sur les colonnes (j) en envoyant un faisceau d'électrons, délocalisés sur toute la matrice obtenue, de façon à tester le bon fonctionnement de chaque composant (6). 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que les composants (6) sont des transistors de commande d'un écran d'affichage.

Inventors: DUCHENE, JACQUES, LACOUR, JACQUES
Applicants: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT DE CARACTERE SCIENTIFIQUE TECHNIQUE ET INDUSTRIEL
Application year: 1983
Main classification: G01R31
IPC codes: G11C29, H01L21, H01L27