LASER MICROPROBE FOR SOLID SAMPLES IN WHICH VIEWING OPTICS, LASER LIGHT OPTICS AND ION OPTICS ARE ARRANGED AT THE SAME SIDE OF A SAMPLE MOUNTING

Abstract: 1. A laser microprobe for solid-state samples, in which an observation lens means, a laser light lens means and an ion lens means are arranged on the same side of a sample holder and in which a time-of-flight mass spectrometer is used as the mass analyzer, characterized by the following features : a) on the one hand the sample holder (2) with the sample (1) and on the other hand at least the ion lens means (9) and the observation lens means (3) are movable in relation to each other between an observation position and a measuring position ; b) in the observation position the axis (5) of the observation lens means (3) is perpendicular to the surface of the sample (1) ; c) in the measuring position the axis (14) of the ion lens means (9) is perpendicular to the surface of the sample (1), while the axis (6) of the laser lens means (4) forms an angle beta<90 degrees with the sample surface, the two axes intersecting on the surface of the sample (1) ; d) stop means (25 or 41, 42) are arranged on the movable sample holder (2) or on a movable, lens means-carrying member (26), and are so adjusted that a sample area selected in the observation position by means of the observation lens means (3) lies in the measuring position at the focal point of the laser light lens means (4).

Description: Lasermikrosonde für Festkörperproben, bei der eine Beobachtungsoptik, eine Laserlichtoptik und eine Ionenoptik auf derselben Seite einer Probenhalterung angeordnet sind Die Erfindung bezieht sich auf eine Lasermikrosonde für Festkörperproben, bei der eine Beobachtungsoptik und eine Laserlichtoptik sowie eine Ionenoptik auf derselben Seite der Probe angeordnet sind. Unter "Festkörperproben" sollen. absorbierende, transparente, leitende oder nichtleitende Proben verstanden werden. Auch der Ausdruck "Bulkproben" hat sich durchgesetzt. Lasermikrosonden erlauben eine Analyse von Probenbereichen in der Grössenordnung von wenigen pm. Es ist deshalb erstrebenswert, die Probe mit hoher örtlicher Auflösung beobachten und anregen zu können. Ausserdem sollte die Lasermikrosonde eine möglichst hohe absolute und relative Nachweisempfindlichkeit haben und entweder nahezu zerstörungsfrei arbeiten oder Schichtanalysen mit grosser Tiefenauflösung erlauben. Flugzeitmassenspektrometer haben sich in dieser Hinsicht bei Lasermikrosonden als vorteilhaft erwiesen, da sie empfindlich sind und extrem schnell Informationen über grosse Massenbereiche liefern. Aus den beschriebenen Gründen besteht bei Lasermikrosonden generell das Problem der optimalen Zuordnung der einzelnen Bauteile des Gerätes zur Probe. Um die Probe mit hoher Auflösung sowohl beobachten als auch durch Laserlichtimpulse anregen zu können, müssen die jeweiligen Objektive möglichst nahe bei der Probe angeordnet sein. Diese Forderung gilt wegen der Forderung nach hoher Empfindlichkeit auch für die Bauteile, die die Eintrittsöffnung eines Massenanalysators bilden oder dieser vorgelagert sind (Ionenoptik, Beschleunigungselektrode oder dgl ). Schliesslich ist es wünschenswert, wenn die Achsen aller dieser Geräteteile jeweils senkrecht auf der Probenoberfläche stehen. Die gleichzeitige Erfüllung sämtlicher Forderungen ist bei der Untersuchung von Bulkproben nicht möglich. Bei Proben dieser Art muss von ein- und derselben Seite aus beobachtet und angeregt werden; ausserdem muss von der gleichen Seite aus das Absaugen der durch die Anregung entstandenen Ionen in Richtung Massenanalysator erfolgen. Der Entwickler von Lasermikrosonden ist deshalb gezwungen, bei der Zuordnung der einzelnen, Geräteteile zum Probenort Kompromisse einzugehen. Aus J.Anal.Chem. USSR 29,15/16(1974) ist eine Auflicht Lasermikrosonde mit schräger Beobachtung und schräger Anregungde.r' Probe durch separate Objektive sowie mit ... . senkrechter Ab.saugung der Ionen bekannt. Diese Anordnung setzt relativ langbrennweitige Fokussierungen voraus, was insbesondere fflr die Beobachtung der Probe eine geringe laterale und maxiale Auflösung bedeutet. Auflösungen von weniger als 1 wie sie z. B. bei der Lasermikroanalyse dünner Proben bekannt sind, können damit bei weitem nicht erzielt werden. Bei der Analyse dünner Proben besteht nämlich der Vorteil, dass das sowohl der Beobachtung als auch der Fokussierung der Laserlichtimpulse dienende Objektiv und der Massenanalysator auf unterschiedlichen Seiten der Probe angeordnet werden können (vgl. DE-PS 21 41 387 und DE-OS 27 34 918). Bei einer aus der DE-OS 29 22 128 vorbekannten Lasermikrosonde dieser Art ist unmittelbar in Front der Probe ein Objektiv vorgesehen, das sowohl der Beleuchtung und Beobachtung der Probe als auch der Fokussierung des Laserlichtes auf die Probe dient. Diese Anordnung hat zwar den Vorteil, dass das der Beobachtung und Anregung der Probe dienende Objektiv näher bei der Probe angeordnet sein kann als bei schräger Beobachtung und Anregung durch separate Objektive. Nachteilig ist aber, dass die durch den Laserbeschuss entstehenden und zu analysierenden Ionen entweder "um die Probe herum" oder "um das Objektiv herum" auf die Eintrittsöffnung eines Massenanalysators umgelenkt werden müssen. Das geschieht beim Gegenstand der DE-OS 29 22 128 mit Hilfe eines Energiefilters vom elektrostatischen Spiegeltyp mit Zylindergeometrie, mit dem die unter verschiedenen Winkeln aus der Probe austretenden Ionen auf den Eingang des Massenanalysators fokussiert werden. Bei einer solchen Umlenkung treten für Ionen gleicher Masse, die aus der Probenoberfläche unter verschiedenen Winkeln austreten, erhebliche Laufzeitunterschiede auf. Die Verwendung eines Flugzeitmassenspektrometers als Massenanalysator ist deshalb bei einer Einrichtung dieser Art unzweckmässig, da aufgrund der bereits beim Eintritt in das Flugzeitrohr vorhandenen Laufzeitunterschieae ein definitiver Startzeitpunkt nicht existiert, was für die Flugzeitmassenspektrometrie eine schlechte Auflösung zur Folge hat. Ausserdem ist bekannt (vgl. "A coaxial combined electrostatic objective and anode lens for microprobe mass analysers", Vacuum, Volurne 22, No 11, Seiten 619 ff), dass es schwierig ist, mit derartigen elektrostatischen Umlenksystemen die bei Lasermikrosonden erwünschten Genauigkeiten zu erzielen. Schliesslich muss wegen der Ionenbahnen ein Mindestabstand zwischen Probe und Objektiv eingehalten werden, so dass die erzielbare Auflösung bei der Beobachtung der Probe nicht optimal gut. ist. Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Lasermikrosonde der eingangs genannten Art zu schaffen, die bei Anwendung der Flugzeitmassenspektroskopie den besten Kompromiss der Zuordnung der einzelnen Bauteile zur Probenhalterung bzw. zur Probe darstellt. Erfindungsgemäss wird diese Aufgabe dadurch gelöst, dass die Probenhalterung einerseits und zumindest die Ionenoptik sowie die Beobachtungsoptik andererseits derart relativ zueinander bewegbar sind, dass in einer ersten Position (Beobachtungsposition) die Beobachtungsoptik und in einer zweiten Position (Messposition) die Laser lichtoptik sowie die Ionenoptik der Probe derart zugeordnet sind, dass ein in der Beobachtungsposition mittels der Beobachtungsoptik ausgesuchter Probenbereich in der Messposition im Fokus der Laserlichtoptik liegt. Der Vorteil einer solchen Anordnung liegt darin, dass jedes der Systeme - Probenbeobachtung, Laserfokussierungseinrichtung und Ionenabsaugung - für sich allein justierbar und optimierbar sind. In der Beobachtungsposition kann eine optimale Zuordnung des Beobachtungsobjektivs zur Probe (in unmittelbarer Nähe und senkrecht zur Probenoberfläche) gewählt werden. Die ionenoptischen Bau i, .. ... teile, die in der Messposition möglichst nahe bei der Probe angeordnetvsein müssen, stören dabei nicht. In der Mess- position können für das Laserlichtobjektiv und für die dem Absaugen der Ionen dienenden Elektroden optimale Zuordnungen - gewählt werden. In der Messposition steht zweckmässigerweise die Achse der Ionenoptik senkrecht auf der Probenoberfläche, während die Achse des Laserobjektivs mit der Probenoberfläche einen Winkel kleiner 900 bildet, wobei sich die beiden Achsen auf der Probenoberfläche schneiden. In dieser Position ergibt sich die einzige Abweichung von den eingangs genannten "Ideal"-Forderungen, nämlich dass das Laserobjektiv und die Eintrittsöffnung des Massenanalysators nicht beliebig nahe an die Probenoberfläche herangebracht werden können. Von allen anderen Abweichungen stellt diese diejenige mit den geringsten nachteiligen Folgen dar. Das Fokussieren eines Laserstrahis auf eine schräge Oberfläche ist auch bei etwas längerer Brennweite mit hoher Auflösung möglich, insbesondere dann, wenn auf im UV-Bereich liegende Wellenlängen übergegangen wird. Demgegenüber würde die schräge Anordnung der Ionenoptik wegen der auftretenden Laufzeitunterschiede Verschlechterungen der Messergebnisse zur Folge haben. Beim Ionennachweis würde sich zudem ein unerwünschtes Selektieren erzeugter Ionen nach Anfangsenergie und/oder Anfangsimpuls ergeben. Dies mindert die Nachweisempfindlichkeit und kann zur Verfälschung von Messergebnissen führen. Eine schräge Anordnung des Beobachtungsobjektivs würde nicht nur eine Auflösungsverschlechterung, sondern auch ein teilweise unscharfes Gesichtsfeld bedeuten. Gerade die Beobachtung der Probe ist aber bei der Lasermikroanalyse von besonderer Bedeutung, da vielfach die mikroskopische Untersuchung der bei der Laseranregung entstehenden Krater, insbesondere der Kraterwände, von Interesse ist. Da für das Laserlicht und für die Beobachtung unterschiedliche Objektive vorhanden sind, können diese den jeweils benutzten Wellenlängen in optimaler Weise angepasst werden. Zweckmässigerweise sind zusätzlich Mittel zur Beobachtung der Probe in der Messposition durch das Laserobjektiv vorhanden. Diese Beobachtung ist zwar nur mit geringer Auflösung und mit teilweise unscharfem Bild möglich, erlaubt aber einerseits eine schnelle Analysenfolge, wenn es auf eine sehr genaue Zuordnung von Analysenort und Probenstruktur nicht ankommt, und verschafft andererseits direkten Zugang zu weiteren analytischen Informationen, wie Lichtemission oder Fluoreszenzemission des angeregten Probenvolumens. Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Figuren 1 bis 6 dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert werden. Es zeigen: Figuren 1 und 2 schematisch die wensentlichen Bauteile einer Lasermikrosonde nach der Erfindung in der Beobachtungsposition bzw. in der Messposition, Figuren 3 und 4 eine Lasermikrosonde nach der Erfindung mit drehbar gehalterter Probe und Figuren 5 und 6 mechanische Einzelteile eines trans latorisch verschiebbaren Schlittens. In den Figuren 1 und 2 sind die Probe mit 1, die Probenhalterung mit 2, das Beobachtungsobjektiv mit 3, das Laserobjektiv mit 4 und die Achsen dieser Objektive mit 5 und 6 bezeichnet. Die im Flugzeitrohr 7 mit dem nachgeordneten Ionendetektor 8 vorgelagerte Ionenoptik 9 wird von Rohrlinsen gebildet und umfasst drei Rohrabschnitte 11, 12 und 13 auf einer gemeinsamen Achse 14. Die Probenhalterung ist in x-, y- und z-Richtung justierbar (schematisch dargestellt durch das Koordinatenkreuz 10). In Fig. 1 ist die Beobachtungsposition dargestellt. Das Beobachtungsobjektiv 3 hat eine optimale Zuordnung zur Probe 1, d. h., es befindet sich sehr nahe bei der Probe 1, und seine Achse 5 steht senkrecht auf der Probenoberfläche. Das zur Beleuchtung der Probe notwendige Licht wird von der Lampe 15 erzeugt und mit Hilfe des teildurchlässigen Spiegels 16 in den Beobachtungsweg eingespiegelt. Das von der Probe 1 ausgehende Licht wird mit Hilfe des Spiegels 17 in Richtung (Pfeil 18) eines nicht dargestellten Mikroskoptubus gelenkt. Durch Einschalten geeigneter (nicht dargestellter) Blenden kann die Probenbeobachtung im Hell- und Dunkelfeld erfolgen. In dieser Position stellt die Achse 5 des Beobachtungsobjektivs 3 eine Verlängerung der Achse 19 des Flugzeitrohres 7 dar. Die Objektive 3 und 4, die Spiegel 16 und 17 sowie die Ionenoptik 9 sind auf einem in den schematischen Figuren 1 und 2 nicht dargestellten Schlitten gehaltert und entsprechend dem Doppelpfeil 21 seitlich verschiebbar. Fig. 2 zeigt die Messposition, in der die Achse 14 der Ionenoptik 9 eine Verlängerung der Achse 19 des Flugzeitrohres 7 darstellt. Gleichzeitig ist das Laserobjektiv 4 der Probe 1 zugeordnet, d. h., seine Achse 6 schneidet sich mit der Achse 14 der Ionenoptik 9 auf der Oberfläche der Probe 1. Der Anregung der Probe 1 mitLaserlichtimpulsen dient der Pulslaser 22, dessen Licht mit Hilfe des Spiegels 23 in die Achse 6 des Objektivs 4 umgelenkt wird. Die durch die Anregung entstehenden Ionen werden von der ersten Elektrode 11 der Ionenoptik 9 in Richtung Flugzeitrohr 7 abgesaugt. Da die Achse 14 der Ionenoptik 9 senk recht (Winkel d ) auf der Probenoberfläche steht, ist der Flugzeitmassenspektrometer-Betrieb in optimaler Weise möglich. Die Achse 6 des Laserobjektivs 4 bildet mi der Probenoberfläche einen Winkel p , der kleiner 900 ist. Bei mechanisch günstigen Anordnungen kann dieser Winkel 450 bis 700 betragen, so dass selbst die mit schrägem Laserlichteinfall verbundenen Nachteile nur wenig in Erscheinung treten. Mit 20 und 30 sind noch optische Einrichtungen (teildurchlässige Platten, Lichtquelle Beobachtungsoptik) bezeichnet, mittels deren eine Beobachtung der Probe 1 durch das Laserobjektiv 4 in der Messposition möglich ist. Fig. 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel, bei dem im Gegensatz zu den Figuren 1 und 2 die Probenhalterung 2 bewegbar, d. h. drehbar ausgebildet ist, während die übrigen Bauteile fest angeordnet sind. Dargestellt ist die Messposition. Die Probenhalterung ist als Teller ausgebildet und um die Achse 24 drehbar. In der Beobachtungsposition nimmt die Probe die gestrichelt dargestellte und mit 1' bezeichnete Stellung ein. Die exakte Positionierung der Probe in ihren beiden Positionen kann mit Hilfe von Anschlägen 25 (Fig. 4) realisiert werden. Darüber hinaus besteht die Möglichkeit, die Vorrichtung zur Drehung und Fixierung der Probe nach Art eines Mikroskoprevolvers aufzubauen. Es ist bekannt, dass die Achsen verschiedener, drehbar angeordneter Objektive eines Mikroskops mit einer Genauigkeit von 1 pm reproduzierbar ineinander übergeführt werden können. Die Figuren 5 und 6 zeigen ein Ausführungsbeispiel für einen Schlitten 26 und seiner Aufhängung 27. Diese umfasst ein U-förmiges Bauteil 28 mit Führungsstangen 29, denen entsprechende, den Schlitten 26 durchsetzende Hülsen 31 und 32 zugeordnet sind. Mittels der Zylinder-Kolben-Einrichtung 33 und der Zugstange 34 ist der Schlitten 26 zwischen zwei Endstellungen hin- und herbewegbar (Doppelpfeil 21). Der Angriffspunkt der Zugstange 34 am Schlitten 26 ist nur in Fig. 4 dargestellt und mit 35 bezeichnet. Das gesamte System ist am Flansch 36 montiert. Der Übersichtlichkeit wegen ist nur ein Teil der in den Figuren 1 und 2 schematisch dargestellten Bauteile, die auf dem Schlitten angeordnet sind und mit diesem der Probe 1 jeweils zugeordnet werden können, eingezeichnet. Fig. 5 zeigt die Beobachtungsposition, in der das Beobachtungsobjektiv 3 mit seiner Achse 5 der Probe 1 zugeordnet ist. Von unten (Pfeil 37) erfolgt die Zuführung des der Beleuchtung der Probe dienenden Lichts. Der Spiegel 16 ist nicht gesondert dargestellt. Das von der Probe 1 reflektierte Licht wird mehrfach innerhalb des Schlittens umgelenkt und dem nicht dargestellten Mikroskoptubus (Pfeil 18) zugeführt. Dazu sind entsprechende Bohrungen und Spiegel im Schlittenblock 26 untergebracht, auf deren Darstellung jedoch ver- zichtet wurde. Der Lichtweg wurde lediglich strichpunktiert eingezeichnet. Die Messposition wird dadurch erreicht, dass der Schlitten 26 entsprechend dem Doppelpfeil 21 verschoben wird. In dieser Position schneiden sich die Achsen 6 und 14 des Laserobjektivs 4 bzw. der Ionenoptik 9 im Bereich der diesen Bauteilen zugewandten Oberfläche der ortsfesten Probe 1. Die Zuführung des Laserlichts erfolgt ebenfalls über mehrere Bohrungen im Schlitten 26 mit entsprechenden Spiegeln. Nur der Spiegel 23 ist dargestellt; ansonsten ist der Weg des Laserlichts ebenfalls lediglich strichpunktiert eingezeichnet und mit dem Pfeil 38 versehen. Wie zu Fig. 2 erwähnt und darin schematisch dargestellt, können zusätzlich optische Einrichtungen vorgesehen sein, die eine Beobachtung der Prcbe 1 in der Messposition durch das Laserobjektiv 4 ermöglichen. Das Justieren des Schlittens 26 in seinen beiden Endstellungen ist von besonderer Bedeutung, da die Achsen 5 und 14 jeweils ineinander überzuführen sind. Seitlich am Schlitten 26 sind deshalb Platten 41 und 42 befestigt, die unterschiedlich geformte Anschlagflächenbereiche 43, 44 und 45 aufweisen (Fig. 4). Diesen Anschlagflächen sind Gewindestifte 46 zugeordnet, deren Gegengewinde sich in den Schenkeln des U-förmigen Bauteils 28 befinden (Fig. 3). Von den drei Anschlagflächen 43, 44 und 45 hat die Anschlagfläche 43 die Form einer Konusbohrung und die Anschlagfläche 44 die Form eines Konusschlitzes. Die Anschlagfläche 45 ist eben gestaltet. Die Gewindestifte 46 haben im Bereich ihres Anschlags 47 die Form einer Kugel. Sämtliche Anschlagflächen sind gehärtet. Infolge der beschriebenen Gestaltung der Anschlagflächen wird eine besonders genaue Justierungsmöglichkeit und vor allem eine exakte Reproduzierbarkeit erreicht, so dass das Überführen der beiden Achsen 5 (des Beobachtungsobjektivs) und 14 (der lonenoptik) mit einer lateralen Genauigkeit von < 1 möglich ist. Beim Arbeiten mit einem der beschriebenen Ausführungsbeispiele wird zunächst in der Beobachtungsposition mit Hilfe der Beobachtungsoptik 3 der gewünschte Analysenort durch Justieren der Probe in x-, y- und z-Richtung ausgesucht. Die Position der Beobachtungsoptik ist durch andere Bauteile nicht beeinträchtigt, so dass eine optimale Darstellung des Analysenortes über das Beobachtungsobjektiv möglich ist. Nach der Relativbewegung in die Position ist gewährleistet, dass der Laserstrahl mit der geforderten lateralen und axialen Genauigkeit auf den gewünschten Analysenort fokussiert ist und auch die ionenoptischen Komponenten auf diesen Ort ausgerichtet sind. Das Beobachtungsobjektiv stört dabei nicht, da es sich in der Messposition nicht mehr in der Nähe der Probe befindet. Insgesamt lassen sich Auflösungen und Bildqualitäten erreichen, wie sie z. B. in der Metallauflichtmikroskopie üblich sind. Bei dem in den Figuren 1 und 2 dargestellten Ausführungsbeispiel ist das Laserobjektiv 4 mit den übrigen Bauteilen verschiebbar. Wenn das schräg zur Probenoberfläche angeordnete Laserobjektiv 4 in der Beobachtungsposition nicht stört, dann kann auf die Verschiebbarkeit des Laserobjektivs verzichtet werden. Es kann z. B. derart fest angeordnet sein dass es der - bis auf die Justiermöglichkeit - festen Probe ständig zugeordnet ist. An dieser Gestaltungsmöglichkeit ist vorteilhaft, dass auf eine unbedingt exakte Positionierung der allein mit der Beobachtungsoptik verschiebbaren Ionenoptik in der Messposition verzichtet werden kann, da eine derart genaue Zuordnung der Eintrittsöffnung der Ionenoptik zum Analysenort nicht erforderlich ist.

Claims: Lasermikrosonde für Festkörperproben, bei der eine Beobachtungsoptik, eine Laserlichtoptik und eine Ionenoptik auf derselben Seite einer Probenhalterung angeordnet sind ANSPRUCHE 1. Lasermikrosonde für Festkörperproben, bei der eine Beobachtungsoptik, eine Laserlichtoptik und eine Ionen optik auf derselben Seite einer Probenhalterung angeordnet sind, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t dass die Probenhalterung (2) mit der Probe (1) einerseits und zumindest die Ionenoptik (9) sowie die Beobachtungs optik (3) andererseits derart relativ zueinander bewegbar sind, dass in einer ersten Position (Beobachtungsposition) die Beobachtungsoptik (3) und in einer zweiten Position (Messposition) die Laserlichtoptik (4) sowie die Ionen optik (9) der Probe (1) derart zugeordnet sind, dass ein in der Beobachtungsposition mittels der Beobachtungsoptik ausgesuchter Probenbereich in der Messposition im Fokus der Laserlichtoptik liegt. 2. Lasermikrosonde nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass in der Messposition die Achse (14) der Ionenoptik (9) senkrecht auf der Oberfläche der Probe (1) steht, dass die Achse (6) der Laserlichtoptik (4) mit der Probenoberfläche einen Winkel/3 < 90 bildet und dass sich die beiden Achsen auf der Probenoberfläche schneiden. 3. Lasermikrosonde nach Anspruch 1 oder 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass zusätzlich Mittel (20, 30) zur Beobachtung der Probe (1) in der Messposition vorhanden sind. 4. Lasermikrosonde nach Anspruch 1, 2 oder 3, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass die Relativbewegung eine Drehbewegung ist. 5. Lasermikrosonde nach Anspruch 4, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass die Probe (1) auf einem drehbaren Probenhalter (2) angeordnet ist. 6. Lasermikrosonde nach Anspruch 1, 2 oder 3, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass die Relativbewegung eine translatorische Bewegung ist. 7. Lasermikrosonde nach Anspruch 6, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass ein in einem U-förmi gen Bauteil (28) mit Führungsstangen (29) gehalterter Schlitten (26 > die Objektive (3, 4) sowie die Ionen optik (9) trägt. 8. Lasermikrosonde nach Anspruch 7, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass justierbare Anschläge auf beiden Seiten des Schlittens (26) vorgesehen sind. 9. Lasermikrosonde nach Anspruch 8, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass die Anschläge aus jeweils einer am Schlitten (26) befestigten Anschlag platte (42, 43) und jeweils drei in den Schenkeln des U-förmigen Bauteils (28) angeordneten Gewindestiften (46) bestehen. 10. Lasermikrosonde nach Anspruch 9, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass den jeweils drei Gewindestiften (46) drei unterschiedlich geformte Anschlagflächenbereiche (43, 44, 45) auf der Anschlag platte (42 bzw. 43) zugeordnet sind. 11. Lasermikrosonde nach Anspruch 10, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass eine Anschlag fläche (43) die Form einer Konusbohrung und eine zweite Anschlagfläche (44) die Form eines Konus schlitzes hat, während die dritte Anschlagfläche (45) eben ausgebildet ist. 12. Lasermikrosonde nach einem der Ansprüche 8 bis 11, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass sämtliche Anschlagflächen gehärtet sind. 13. Lasermikrosonde nach einem der Ansprüche 7 bis 12, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass weitere Licht- und optische Komponenten (z. B. Spiegel 16) auf dem bewegten Schlitten (26) angeordnet sind. 14. Lasermikrosonde nach einem der vorhergehenden An sprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t dass die optischen Strahlengänge durch geometrische Führung und geeignete Zwischenabbildungen so angeordnet sind, dass der Analysenort in der Beobachtungsposition durch das Beobachtungsobjektiv und in der Messposition durch das Laserobjektiv im gleichen Okulartubus scharf darstellbar ist. 15. Lasermikrosonde nach einem der vorhergehenden Ansprüche d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass die Probe (1) bzw. die Probenhalterung (2) in x-, y- und z-Richtung justierbar angeordnet ist. 16. Lasermikrosonde nach Anspruch 15, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass bei bewegter Probe die x-, y-, z-Einstelleinheit für die Probe ganz oder teilweise mitbewegt wird.

Inventors: BANK, WALTER, FEIGL, PETER, HEINEN, HANS-JOSEF, DR., HILLENKAMP, FRANZ, PROF. DR., NITSCHE, RAINER, DR., SCHUELER, BRUNO, VOGT, HENNING, WECHSUNG, REINER, DR.
Applicants: LEYBOLD-HERAEUS GMBH
Application year: 1983
Main classification: H01J49
IPC codes: H01J49, H01J27, H01J3, G01N27