PRESSURE SENSOR

Abstract: 1. A pressure sensor for recognizing the contours and shape of workpieces (10) comprising a planar body of synthetic material, one of whose flat sides is provided with a group of elongate strip-shaped electrodes (22 to 25) which are at least approximately parallel to one another, and on whose other flat side is arranged a group of strip-shaped column electrodes (26 to 29) which are offset in relation to the row electrodes (22 to 25) at a predetermined angle in such a manner that their intersections form a raster of pressure transformers, and which are covered by an elastomer (32, 33) on at least one of the flat sides, characterised in that a piezobody (20), which consists of polyvinylidenfluoride PVDF and has a thickness of a few mu m, is provided as a synthetic body.

Description: Drucksensor Die Erfindung bezieht sich auf einen Drucksensor zum Erkennen der Konturen und Merkmale von Werkstücken mit einer Matrix von Wandlerelementen und einem flachen Kunststoffkörper, dessen Flachseiten mit Elektroden versehen sind und der auf wenigstens einer Flachseite mit einem Elastomer versehen ist. Montageroboter benötigen bekanntlich eine Einrichtung, die dem Prozessrechner die Daten für eine Werkstück erkennung liefert. Für solche Erkennungsaufgaben und zur Steuerung von Bewegungsvorgängen sind Sensorsysteme mit mechanisch fühlenden und abtastenden Aufnehmern, sogenannten taktilen Aufnehmern, geeignet. Das notwendige Fühlen und Tasten besteht im allgemeinen aus einer Aufeinanderfolge von weg- und kraftgebundenen Abläufen. Die Schwierigkeiten bei der Lösung taktiler Sensoraufgaben liegen in der Erstellung von Verarbeitungsalgorithmen sowie geeigneten konstruktiven Speziallösungen für die Aufnehmer. Werkstückkonturen können durch besonders ausgebildete Greifer ermittelt werden, die mit beweglichen Stiften versehen sind, mit deren Hilfe die Werkstückkontur abgebildet wird. Ein bekannter taktiler Aufnehmer mit Elastomeren enthält ein Rasterfeld von Stiften, die auf einer Flachseite eines Kunststoffkörpers, der bei Druckeinwirkung elektrisch leitend wird, in einer Rasterplatte beweglich gelagert sind. Die Stifte verändern örtlich den Druck auf den Kunststoffkörper, dessen Widerstand sich mit steigendem Druck vermindert. Den beweglichen Stiften sind auf der gegenüberliegenden Flachseite des Kunststoffkörpers weitere Stifte zugeordnet, die in eine Leiterplatte eingegossen und jeweils an eine Stromquelle angeschlossen sind. Die beweglichen Stifte sind ebenfalls mit der Stromquelle verbunden. Wird auf den beweglichen Stiften ein Werkstück gelagert, so fliesst an den Berührungspunkten des Werkstücks mit den beweglichen Stiften durch die Widerstandsverminderung jeweils ein grösserer Strom, so dass der Aufnehmer ein gerastertes Abbild des Werkstückes liefert. Der Aufnehmer ist jedoch nur für grössere Werkstücke geeignet, da er nur mit einem verhältnismässig grossen Aufwand hergestellt werden kann, wenn der Abstand der beweglichen Stifte, die das Rastermass bestimmen, wenige Millimeter unterschreiten soll ("Intelligente Messsysteme zur Automatisierung technischer Prozessen, Oldenbourg-Verlag #ünchen/Wien, 1979, Seiten 240 und 241). Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, den bekannten Drucksensor zu vereinfachen und zu verbessern, insbesondere soll eine Verkleinerung des Rastermasses derart möglich sein, dass nicht nur die Konturen, sondern auch Gestaltungsmerkmale von Werkstücken mit sehr geringer Ausdehnung erkannt werden können. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäss gelöst mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1. Der flache Piezokörper kann verhältnismässig einfach mit Elektroden mit geringer Ausdehnung und geringem Abstand versehen werden, die ein Raster von piezoelektrischen Wandlerelementen bilden, deren Rastermass wesentlich weniger als 1 mm betragen kann. Dieses Raster kann durch eine Elektronik abgetastet werden, die nicht nur Konturen, sondern auch weitere Gestaltungsmerkmale eines Werkstückes erkennen lädt. In einer bevorzugten Ausführungsform des Drucksensors können die Elektroden an wenigstens einer der Flachseiten aus elektrisch leitfähigen Elastomeren bestehen, die dann sowohl zur Druckübertragung dienen als auch die Abführung der elektrischen Signale übernehmen. Zur weiteren Erläuterung der Erfindung wird auf die Zeichnung Bezug genommen, in deren Figur 1 die Anwendung des Erkennungssystems mit einem Drucksensor nach der Erfindung schematisch veranschaulicht ist. In Figur 2 ist eine besondere Ausführungsform des Sensors schematisch veranschaulicht. In der Ausführungsform nach Figur 1 ist ein Drucksensor 2 unterhalb eines Transportbandes 4 angeordnet, das beispielsweise mit Hilfe von Transportwalzen bewegt werden kann, die in der Figur mit 6 bzw. 8 bezeichnet sind. Auf dem Transportband 4 soll beispielsweise ein Werkstück transportiert werden, das beispielsweise ein integriertes Bauelement sein kann, dessen Gehäuse 11 integrierte Schaltkreise enthält, deren Anschlüsse 12 im rechten Winkel abgekröpft sind, so dass ihre Enden in der Ebene der Oberfläche des Transportbandes 4 liegen. Der sehr empfindliche Sensor 2 mit geringem Rastermass ist somit in der Lage, die Anzahl und die Gestaltung der Anschlüsse 12 zu erkennen, wenn Sensor 2 und Werkstück 10 durch Relativbewegung einander soweit angenähert werden, dass die Enden der Anschlüsse 12 jeweils einen Druck auf die Oberfläche des Sensors 12 ausüben. Diese Druckeinwirkung kann auch dadurch verstärkt werden, dass die Luft zwischen dem Transportband 4 und der oberen Flachseite des Drucksensors 2 abgesaugt wird. In der Ausführungsform nach Figur 2 enthält ein Sensor 2 einen flachen Piezokörper 20, der beispielsweise aus einer Folie aus Polyvinylidenfluorid PVDF mit einer Dicke von wenigen /um bestehen kann. Der Piezokörper 20 ist auf seiner unteren Flachseite mit streifenförmigen und parallel zueinander angeordneten Zeilenelektroden 22 bis 25 versehen, die beispielsweise aus Metall, vorzugsweise aus mehreren Metallschichten, bestehen, die in Dünnschichttechnik aufgebracht, insbesondere aufgedampft oder aufgesputtert, sind. Geeignet sind beispielsweise Metallelektroden 22 bis 25 aus Chrom und Gold mit einer Dicke von beispielsweise etwa 0,1 /um. An der oberen Flachseite des Piezokörpers 20 sind Spaltenelektroden 26 bis 29 parallel zueinander und derart angeordnet, dass sie gegenüber den Zeilenelektroden 22 bis 26 einen rechten Winkel bilden. Wenigstens an einer der Flachseiten des Piezokörpers 20, vorzugsweise an beiden Flachseiten, ist jeweils eine Abdeckung 32 bzw. 33 vorgesehen. Die Kreuzungspunkte der Zeilenelektroden 22 bis 25 und der Spaltenelektroden 26 bis 29 bilden jeweils ein Wandlerelement. Mit einer Breite der Elektroden 22 bis 29 von beispielsweise etwa 0,2 mm und einem Abstand der Elektroden untereinander von beispielsweise etwa 0,35 mm entsteht ein Rastermass der Druckwandler von 0,5 mm, so dass auf einem mm der Oberfläche des Drucksensors 2 praktisch neun Wandlerelemente wirksam sind. Er ist somit in der Lage, die richtige Gestaltung der Enden der Anschlüsse 12 des Werkstücks 10 nach Figur 1, das beispielsweise eine Ausdehnung von nicht wesentlich mehr als etwa 10 mm haben kann, zu erkennen. Zur Ermittlung der Gestaltungsmerkmale eines in Figur 2 nicht dargestellten Werkstücks werden die Druckwandler des gesamten Rasters nacheinander ausgelesen. Zu diesem Zweck sind die Zeilenelektroden 22 bis 25 und Spaltenelektroden 26 bis 29 jeweils über einen elektronischen Umschalter, die vorzugsweise Feldeffekttransistoren sein können und von denen in der Figur zur Vereinfachung nur einer dargestellt und mit 34 bezeichnet ist, in Reihe mit jeweils einem Verstärker 36 an einen Messstellenumschalter 38 angeschlossen, der zur Abtastung der Zeilen- und Spaltenelektroden 22 bis 29 dient. Er wird von einem Rechner 40 gesteuert, der vorzugsweise ein Mikroprozessor sein kann. Dem Rechner 40 werden die von den Zeilen- und Spaltenelektroden 22 bis 29 abgenommenen Signale über einen Analog-Digital-Wandler zugeführt. In gleicher Weise erhalten die elektronischen Umschalter 34 ihre Steuerbefehle vom Rechner 40 über einen Digital-Analog Wandler 44. Der Rechner 40 steuert über den Digital Analog-Wandler 44 die elektronischen Umschalter 34 so, dass vor jeder Abtastung alle Wandlerelemente kurzgeschlossen sind, was in der Figur durch eine am Umschalter 34 dargestellte und nicht näher bezeichnete Erdungsklemme angedeutet ist. Durch diese Gestaltung wird erreicht, dass nur Belastungsänderungen durch die Elektronik registriert und zugleich statische Aufladungen verhindert werden. Im allgemeinen verhältnismässig langsam verlaufende Temperaturänderungen können somit nicht zu einer Signalbildung führen. In einer bevorzugten Ausführungsform des Sensors 2 können die Zeilenelektroden 22 bis 25 und auch die Spaltenelektroden 26 bis 29 jeweils aus elektrisch leitfähigen Elastomeren gebildet sein. Unter Umständen kann es zweckmässig sein, die Dicke der Elektroden in dieser Ausführungsform so zu wählen, dass zwischen den Flachseiten des Piezokörpers 20 und der ihnen zugewandten Oberfläche der Abdeckungen 32 und 33 zwischen einander benachbarten Elektroden jeweils ein Hohlraum gebildet wird, der für die Druckübertragung auf den Piezokörper 20 unwirksam ist. Durch diese relative Verminderung der Elektrodenfläche gegenüber der Fläche des Piezokörpers 20 wird der pyrolytische Effekt vermindert, während der piezoelektrische Effekt erhalten bleibt. 2 Patentansprüche 2 Figuren

Claims: Patentanspruche 1. Drucksensor zum Erkennen der Konturen und Gestaltungsmerkmale von Werkstücken (10) mit einer Matrix von Wandlerelementen und einem flachen Kunststoffkörper (20), dessen Flachseiten mit Elektroden (22 bis 29) versehen sind und der auf wenigstens einer Flachseite mit einem Elastomer (32, 33) versehen ist, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass ein flacher Piezokörper (20) vorgesehen ist, dessen eine Flachseite mit streifenförmigen und wenigstens annähernd parallel zueinander angeordneten Zeilenelektroden (22 bis 25) versehen ist und dass an der anderen Flachseite streifenförmige Spaltenelektroden (26 bis 29) vorgesehen sind, die derart in einem vorbestimmten Winkel gegenüber den Zeilenelektroden (22 bis 25) versetzt sind, dass ihre Kreuzungspunkte jeweils einen piezoelektrischen Druckwandler bilden, und dass die Elektroden (22 bis 25 bzw. 26 bis 29) an wenigstens einer der Flachseiten von einem Elastomer (32, 33) abgedeckt sind. 2. Sensor nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass die Elektroden (22 bis 29) an wenigstens einer der Flachseiten aus elektrisch leitfähigen Elastomeren bestehen.

Inventors: DIEPERS, HEINRICH, DR., SCHEWE, HERBERT, DR.
Applicants: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN
Application year: 1983
Main classification: G01L1
IPC codes: G01B7, G01L1