METHOD OF MARKING SEMICONDUCTOR CHIPS, AND MARKED SEMICONDUCTOR CHIP

Abstract: 1. A process for marking semiconductor chips (1) in respect of at least one specific characteristic, characterised in that in order to provide an electronically detectable marking, at least one conductor path (7) connecting two contact surfaces (2, 3) arranged on the chip surface and which have no connection to a semiconductor structure arranged on the semiconductor chip (1), is severed in dependence upon the characteristic which is to be marked.

Description: Verfahren zur Kennzeichnung von Halbleiterchips und kennzeichenbarer Halbleiterchip Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kennzeichnung von Halbleiterchips bezüglich mindestens eines bestimmten Merkmals. Entsprechende Verfahren werden zur Kennzeichnung von Halbleiterchips angewandt, die in grosser Zahl aus einer Halbleiterscheibe (wafer) hergestellt werden, nach Abschluss der Herstellungsprozesse geprüft und gemäss dem Prüfergebnis entsprechend vorgegebenen Qualitätsmerkmalen oder vorgegebenen Verwendungszwecken gekennzeichnet werden. So ist es beispielsweise üblich, integrierte Schaltkreise, wie z. B. Halbleiterspeicher, noch vor dem Zerteilen der Halbleiterscheiben durch Anlegen von Messspitzen an auf der Chipoberfläche angeordneten Kontaktflächen mittels eines Testers zu prüfen und je nach Prüfresultat auf dem Bereich der Chipoberfläche, der keine Kontaktflächen aufweist, mit kleinen Tintenflecken zu versehen. Dieser Vorgang wird auch als Zinken bezeichnet. Die Tintenflecke können unterschiedliche Farben aufweisen, so dass z. B. ein nicht geinkter Chip als der Qualitätsstufe 1 zugehörig, ein mit roter Tinte geinkter Chip als der Qualitätsstufe 2 zugehörig und ein mit blauer Tinte geinkter Chip als Ausschuss kennzeichenbar sind. Solche mehrfarbigen Inkverfahren haben den Nachteil, dass Tinte auf der Chipoberfläche, insbesondere im aktiven Bereich, ein Zuverlässigkeitsrisiko darstellt. Durch Ausgasen der Tinte können ferner Probleme bei der Chipmontage auftreten. Weiterhin treten gelegentlich bei Abnehmern von geinkten Systemen Bedenken auf, da mit solchen Tintenflecken versehene Chips leicht als zweitrangig eingestuft werden können. Ein anderes Kennzeichnungsverfahren sieht eine Hardware Scheibenkarten vor, die den zu prüfenden Chips auf der Halbleiterscheibe entsprechend gerastert ist. Entsprechend der Funktionsfähigkeit der einzelnen Chips können einzelne Raster ausgestanzt werden, so dass ein topographisches Bild der Halbleiterscheibe entsteht. Bei diesem Verfahren ist jedoch die Übertragung der Informationen der Hardware Scheibenkarten bei der Chipmontage schwierig und aufwendig, ferner besteht die Gefahr von Ausbeuteverlusten. Anstelle der Hardware-Scheibenkarte ist es auch möglich, die entsprechenden Informationen auf eine Software-Scheibenkarte, beispielsweise auf ein Datenband, zu bringen und diese Software-Scheibenkarte zur Montagesteuerung zu verwenden. Der hierbei erforderliche hohe Automatisierungsgrad verursacht jedoch hohe Kosten, eine Verwechslungsgefahr der Chips bzw. der Scheiben ist trotzdem nicht ausgeschlossen. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, hier Abhilfe zu schaffen und ein Verfahren zur Kennzeichnung von Halbleiterchips vorzusehen, bei dem der einzelne Chip unverwechselbar gekennzeichnet ist und bei dem ein zusätzliches Zuverlässigkeitsrisiko und eine Minderung des Verkaufswertes nicht auftritt. Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren der eingangs genannten Art erfindungsgemäss dadurch gelöst, daR zur elektronisch erfassbaren Kennzeichnung mindestens eine, zwei auf der Chipoberfläche angeordnete Kontaktflächen verbindende Leiterbahn in Abhängigkeit vom zu kennzeichnenden Merkmal durchtrennt wird. Auf diese Weise gelingt es ohne Aufbringen eines zusätzlichen Stoffes auf die Chipoberfläche die Halbleiterchips zu kennzeichnen und die Kennzeichnung so zu gestalten, dass sie von einem Unbeteiligten nicht erkannt werden kann. Als zum Zwecke des Markierens vorgesehene Kontaktflächen und Leiterbahnen werden vorzugsweise in üblicherweise metallisierte Flächen verwendet, da solche Flächen auch anderweitig bei der Herstellung von integrierten Schaltungen vorgesehen sind und somit ohne nennenswerte Mehrkosten herstellbar sind. Es liegt im Rahmen der Erfindung, dass die Leiterbahn mittels eines Stromstosses, mittels Ultraschall oder mittels eines Laserstrahls durchtrennt wird. Ein Halbleiterchip zur Durchführung des erfindungsgemässen Verfahrens wird vorteilhafterweise so gestaltet, dass mindestens eine, mit zwei auf der Chipoberfläche angeordneten Kontaktflächen verbundene Leiterbahn vorgesehen ist, die in Abhängigkeit vom Vorliegen eines bestimmten Merkmals durchtrennbar ist. Die Erfindung wird im folgenden anhand der Figuren näher erläutert. Die Figuren 1 und 2 zeigen einen Ausschnitt aus der vergrösserten Oberfläche eines Halbleiterchips in unterschiedlichen Verfahrenszuständen. Der in der Fig. 1 gezeigte Ausschnitt aus der Oberfläche eines Halbleiterchips 1 zeigt drei Kontaktflächen #,5,6, die am Rande des Halbleiterchips 1 angeordnet sind und zur Herstellung von elektrischen Verbindungen zwischen den mit ihnen verbundenen, auf dem Chip 1 befindlichen, in der Figur nicht gezeigten Halbleiterstrukturen und den Aussen anschlüssen des Chipgehäuses mittels Drähten kontaktierbar sind. Ferner sind, ebenfalls am Rande des Chips 1 zwei weiterme Kontaktflächen 2, 3 angeordnet, die mittels einer Leiterbahn 7 verbunden sind. Die Kontaktflächen 2 bis 6 und die Leiterbahn 7 können im gleichen technologischen Herstellungsschritt gefertigt werden und beispielsweise aus Aluminium bestehen. Die Kontaktflächen 2 und 3 müssen keinen Anschluss zu einer auf dem Chip 1 befindlichen Halb leiterstruktur aufweisen. Zur Kennzeichnung des Chips 1 bezüglich eines bestimmten Merkmales wird nun - wie in der Fig. 2 dargestellt - die zum Zwecke des Markierens vorgesehene, die Kontaktflächen 2 und 3 verbindende Leiterbahn 7 z. B. an der Stelle 8 durchtrennt. Dies kann z. B. in der Weise geschehen, dass eine durchtrennte Leiterbahn 7 einen Ausschuss-Chip kenn zeichnet, während eine intakte Leiterbahn 7 einen funktionsfähigen Chip kennzeichnet. Vor oder während der Montage des Chips 1 in ein Gehäuse kann dann beispiels weise durch Anlegen von Kontaktspitzen an die Kontakt flächen 2 und 3 elektronisch festgestellt werden, ob der zu montierende Chip ein Ausschuss-Chip oder ein funktio nierender Chip ist. Soll nicht nur zwischen funktions fähig und nicht-funktionsfähig unterschieden werden, sondern sollen mehrere Qualitätsstufen unterschieden werden, so können entsprechend viele Kontaktstellenpaare, die mit Leiterbahnen verbunden sind, vorgesehen werden. Es ist somit ohne grossen technischen Aufwand möglich, Qualitätsmerkmale bzw. Einsatz- oder Verwendungszweck eines Chip automtisch festzustellen, und somit Fehler quellen weitgehend auszuschliessen. Das Durchtrennen der die Kontaktflächen 2 und 3 verbindenden Leiterbahn 7 kann beispielsweise durch einen über Prüfspitzen 9 und 10 anlegbaren Stromstoss, der ein Verdampfen der Leiterbahn 7 an ihrer engsten Stelle zur Folge hat, erfolgen. Dies ist in einfacher Weise ohne zusätzlichen apparativen Aufwand möglich, da Halbleiterchips bei ihrer Prüfung durch Testgeräte mit diesen Testgeräten bereits über die mit Prüfspitzen kontaktierten Kontaktflächen #, 5, 6 verbunden sind. Ein weiteres Verfahren zur Durchtrennung der Leiterbahn 7 ist das Durchtrennen der Leiterbahn 7 mittels eines Laserstrahls. Es ist auch möglich, die Leiterbahn 7 mittels eines Ultraschall-Cutters, d.h. durch mechanische Reibung, zu trennen. Die Abmessungen der Kontaktflächen 2 und 3 und der Leiterbahn 7 können den für Leiterbahnen und Kontaktflächen auf dem übrigen Chip 1 entsprechenden Grössen entsprechen. Ein Zuverlässigkeitsrisiko beim Durchtrennen der Leiterbahn 7 für die Funktion des Chips 1 ist durch die Anordnung der Leiterbahn 7 am Chiprand auszuschliessen. 2 Figuren 5 Patentansprüche

Claims: Patentansprüche 1. Verfahren zur Kennzeichnung von Halbleiterchips (1) bezüglich mindestens eines bestimmten Merkmals, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass zur elektronisch erfassbaren Kennzeichnung mindestens eine, zwei auf der Chipoberfläche angeordnete Kontaktflächen (2, 3) verbindende Leiterbahn (7) in Abhängigkeit vom zu kennzeichnenden Merkmal durchtrennt wird. 2. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass die Leiterbahn (7) mittels eines Stromstosses durchtrennt wird. 3. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass die Leiterbahn mittels Ultraschall durchtrennt wird. 4. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass die Leiterbahn (7) mittels eines Laserstrahls durchtrennt wird. 5. Halbleiterchip zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 4, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , dass mindestens eine, mit zwei auf der Chipoberfläche angeordneten Kontaktflächen (2, 3) verbundene Leiterbahn (7) vorgesehen ist, die in Abhängigkeit vom Vorliegen eines bestimmten Merkmals durchtrennbar ist.

Inventors: SCHINDLBECK, GUNTER, DIPL.-ING., Schindlbeck, Günter, Dipl.-Ing.
Applicants: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN
Application year: 1982
Main classification: H01L23
IPC codes: H01L23, H01L21