PIEZO ELECTRIC ELEMENT

Abstract: 1. A piezoelectric element comprising a piezoelectric crystal of point group 32 and the total molecular formula ABO4 , wherein said crystal is characterized by a frequency shift of the totally symmetric optical phonons mode of the lowest frequency by no more than 15 percent within the temperature range of 20-500 degrees C.

Description: Einrichtung mit zumindest einem piezoelek trischen Element Die Erfindung betrifft Einrichtungen mit zumindest einem piezoelektrischen Element, dessen piezoelektrische Eigenschaften ausnutzbar sind, insbesonders Ultraschallwand leer, Ultraschallsensoren, Schailpuisgeneratoren, akustische Deflektoren, akustische Modulatoren, Kristalloszillatoren, Frequenznormale, Uhren, ¯Timer", Oberflächenwellengeräte, Aerosolzerstäuber, Sputter-Geräte, Digitalthermometer, Mikrowaagen, Mikro- und Hydrophone, sowie Messwertaufnehmer zur Messung mechanischer Grössen, wie Kraft, Beschleunigung oder Druck. An piezoelektrische Einrichtungen gestellte Anforderungen können oft durch für den Anwendungszweck angepasste Konstruktionen und Technologien erfüllt werden. Die Problemstellungen sind dabei von Fall zu Fall verschieden. Einige, das verwendete Piezoelement betreffende Anforderungen, sind jedoch praktisch allen piezoelektrischen Einrichtungen gemeinsam: Es sind dies folgende Kriterien für Piezoelemente: 1. Temperaturbeständigkeit 2. geringe Temperaturabhängigkeit der 1,Figure of Merkt" 3. hoher Q-Faktor 4. mechanische und chemische Stabilität 5. leichte Bearbeitbarkeit 6. kostengünstige, synthetische Herstellbarkeit 7. keine Pyroelektrizität Die Temperafiturbeständigkeit betrifft dabei nicht nur diejenige der piezoelektrischen Eigenschaften allein, sondern auch andere physikalische Eigenschaften des Piezomaterials. Besonders zu nennen sind dabei die elastischen und dielektrischen Eigenschaften. Eine Erhöhung der Temperaturbeständigkeit gegenüber jetzigen bekannten Piezoelementen ist vom Standpunkt der Ausdehnung des Anwendungs- temperaturbereiches der betreffenden piezoelektrischen Einrichtung wünschenswert und ein Teil der der vorliegenden Erfindung zugrundeliegenden Aufgabe. Am Beispiel piezoelektrischer Messwertaufnehmer sei dieses Problem näher erläutert: Für piezoelektrische Messwertaufnehmer wird gegenwärtig fast ausschliesslich Quarz als Material für die piezoempfindlichen Messelemente verwendet, weil dieses Material mechanisch, chemisch und thermisch widerstandsfähig ist, einen hohen Isolationswiderstand besitzt, sich synthetisch in grossen Einkristallen herstellen lässt und relativ gut bearbeitbar ist. Ein weiterer Vorteil von Quarz in diesem Zusammenhang besteht darin, dass der Temperaturverlauf der effektiven piezoelektrischen Konstanten durch geeignete Wahl der Kristallorientierung kompensierbar ist. Es treten Jedoch vor allem unter thermisch-mechanischen dynamischen Belastungen, wie beispielsweise beim Einsatz derartiger Messwertaufnehmer zur Druckmessung an Brennkraftmaschinen, bei Temperaturen oberhalb von etwa 0 200 C verschiedene gravierende Nachteile auf, die eine sinnvolle Messung nur mehr unter Sicherstellung einer zumindest konstruktiv sehr aufwendigen Kühlung des Bereiches der Messelemente erlauben. So sinkt beispielsweise der Isolationswiderstand bei erhöhter Temperatur merkbar ab, was zum Teil durch die erhöhte Eigenleitfähigkeit des Quarzes verursacht ist, es treten thermo-elektrische Spannungen auf und es werden Sprünge in der Empfindlich- keit durch die verstärkt auftretende Zwillingsbildung im Quarz bewirkt. Während der Verlust an Isolationsfähigkeit und die Störungsspannungen sich durch verschiedene be kannte Massnahmen vermeiden lassen bzw. für das piezoelektrische Messelement ohnedies unspezifisch sind, sind zur Unterdrückung der störenden Zwillingsbildung zwar verschiedene Massnahmen bekannt, welche jedoch allesamt nur zu einer leichten Verschiebung dieses Effektes in höhere Temperaturbereiche und damit zu keiner Vermeidung der damit einhergehenden Nachteile führen. Aus diesem Grunde sind auch Hochtemperaturdruckgeber bekannt, welche mit Lithiumniobat als piezoelektrischem Messelement ausgerüstet sind, welches ferroelektrisch ist, ausgezeichnete elektromechanische Eigenschaften besitzt 0 und bis etwa 1200 C piezoelektrisch ist. Lithiumniobat besitzt jedoch einige markante Nachteile; aufgrund seiner grossen Anisotropie in den Ausdehnungskoeffizienten ist dieser Kristall sehr empfindlich auf thermische Belastungen, womit der Druckgeber nur eine sehr beschränkte Lebensdauer aufweist. Als weiterer Nachteil ist die schlechte Isolation bei höheren Temperaturen zu nennen, welche durch Ionenleitung noch verstärkt wird. Bekannt für die Verwendung in Hochtemperaturgebern ist weiters auch Lithiumtantalat, welches zusätzlich zu den schon bei Lithiumniobat genannten Nachteilen noch eine temperaturabhängige Domänenbildung analog der Zwillingsbildung bei Quarz zeigt. Eine weitere bekannte Möglichkeit besteht in der Verwendung von Turmalin, welches zwar bei höheren Temperaturen als Quarz verwendet werden kann, jedoch keine temperaturkompensierten Schnitte wie Quarz aufweist und sich noch dazu nicht synthetisch herstellen lässt; natürlich vorkommender Turmalin zeigt abhängig von der Zusammensetzung stark schwankende Eigenschaften und ist ziemlich teuer. Ausserdem sind alle obengenannten Kristalle mit Ausnahme des Quarzes pyroelektrisch und es treten daher elektrische Störladungen bei Temperaturänderungen auf, welche aufwendige und nur für bestimmte thermische Zustände wirksame Kompensations-Massnahmen erfordern. Ziel der Erfindung ist daher die Angabe von Piezomaterialen, welche nicht nur in allen piezoelektrischen Einrich tungen einsetzbar sind, sondern welche in einfacher und vorteilhafter Weise auch die oben genannten sieben Kriterien erfüllen. Das bisher in allen der eingangs genannten Anwendungsbeispielen am meisten eingesetzte Material, welches am ehesten die Kriterien 1 bis 7 gemeinsam erfüllt ist, wie bereits im Zusammenhang mit den als Beispiel behandelten Messwertaufnehmern zur Druckmessung angeführt, die cC-Modifikation von Quarz. Bezüglich der Kriterien 3 bis 7 ist Quarz als konkurrenzlos zu bezeichnen. Aufgrund seinesoC-#-Phasenüberganges bei 573 0C ist der Bereich der Temperaturbeständigkeit jedoch beschränkt. Weiters ist die Temperaturabhängigkeit der ¯Figure of Merit" - diese erlaubt in bekannter Weise eine Bewertung der Qualität der gesamten Einrichtung nach bestimmten Gegebenheiten - von piezoelektrischen Einrichtungen welche Quarz enthalten, zu beachten. Insbesonders bei Timern, Frequenznormalen, Frequenzfiltern etc. sind optimierte Kristallschnitte und entsprechende Thermostatisierungen vorzusehen. Einzelne der Kriterien 3 bis 7 könnten für sich ohne weiteres erfüllt werden. Erwähnt seien hier Kristalle der KDP-Familie, für welche Punkt 6 optimal erfüllt ist. Bezüglich der Punkte 1, 2 und vor allem 4 bleiben jedoch diese Kristalle weit unter den üblichen Anforderungen zurück. Die Hauptaufgabe der Erfindung besteht somit in der Angabe von Materialien, welche in bezug auf die Kriterien 3 bis 7 dem Quarz weitgehend äquivalent sind, ihm jedoch in bezug auf 1 und 2 entscheidend überlegen sind. Die Erfindung geht davon aus, dass die Temperaturstabilität und die Temperaturabhängigkeit von physikalischen Eigenschaften, welche sich in jener der ¯Figure of Merit" der entsprechenden piezoelektrischen Einrichtung niederschlagen, durch bestimmte Gegebenheiten im optischen Phononenspektrum der verwendeten Piezokristalle erkennbar ist. Dieser aus einer empirischen Beobachtung fol gende Sachverhalt sei im folgenden kurz erläutert: Ein Piezokristall kann mit einem einfallenden Lichtstrahl derart in Wechselwirkung treten, dass er einen geringen Teil der Lichtenergie aufnimmt und diesen Teil des Lichts mit einer anderen Frequenz, einer anderen Polarisation und in einer relativ beliebigen Richtung wieder abstrahlt. In einem typischen Experiment dieser Art wird ein intensiver Laserstrahl auf den Piezokristall fokusiert, das in ihm derart gestreute Licht wird gesammelt, gebündelt und nach Durchgang durch ein Spektrometer in einem Fotomultiplier in Strompulse umgewandelt. Diese Strompulse werden sodann gezählt oder integriert. Da als physikalische Ursache für die Frequenzänderung des gestreuten Lichts gegenüber dem einfallenden Licht die Übertragung oder die Aufnahme von Energie und Impuls von Gitterwellen (Phononen) des Piezokristalls auf das Licht angesehen wird, bezeichnet man die Intensitätskurve des gestreuten Lichts über der Frequenzdifferenz als Spektrum inelastisch gestreuter optischer Phononen. Sowohl die Anzahl als auch die Lage von Intensitätsmaxima sind charakteristisch für einen Piezokristall. Von allen Phononen, welche in einem Kristall angeregt werden können, muss nicht jedes in diesem Spektrum aufscheinen. Von Bedeutung ist die Tatsache, dass zumindest für denjenigen dielektrischen Tensor, der der Punktgruppe des Kristalls entspricht, auf jeden Fall Intensitätsmaxima im Spektrum existieren. Diese sogenannten totalsymmetrischen Phononen-Noden weisen meist auch höhere Intensitäten als Phononen-Moden anderer Symmetrien auf. Die erwähnte bestimmte Gegebenheit besteht nun im Temperaturverhalten der totalsymmetrischen Phononen-Mode mit der niedrigsten Energie. Der erste Grundgedanke zur überraschend einfachen Lösung der der Erfindung zugrunde liegenden Aufgabe liegt nun darin, das Temperaturverhalten dieses Phononen-Modes mit dem Temperaturverhalten von physikalischen Eigenschaften des Piezokristalls, insbesondere den piezoelektrischen, elastischen und dielektrischen Eigenschaften, in Zusammenhang zu bringen. So können beispielsweise die Energieverluste dieser sogenannten weichen Moden total symmetrischer Symmetrie und niedrigster Energie mit einer verstärkten Neigung zur Zwillingsbildung im Kristall im Zusammenhang gebracht werden, welche ihrerseits im Zusammenhang mit belasteten Druckgebermesselementen einen der Hauptnachteile der bekannten Piezomaterialien darstellt. Sofern die Frequenz dieses Phononen-Modes im Temperaturbereich von 200C bis 5000C sich um nicht mehr als 15 % ändert, so ist eine erhebliche Verbesserung sowohl der Temperaturbeständigkeit als auch der Temperaturabhängigkeit von physikalischen Grössen gegenüber dem Quarz gegeben. Der zweite einfache Grundgedanke zur Bewältigung der gestellten Aufgabe besteht in der Sicherung der Punkte 3 bis 7 durch Beibehaltung der strukturellen Gegebenheiten des Quarzes, welcher 3 bis 7 ausgezeichnet erfüllt. Dies geschieht gemäss der im ersten Patentanspruch angegebenen Kennzeichen durch die Auswahl von Kristallen, welche die Punktsymmetrieklasse 32 besitzen und die chemische Summenformel AB04 haben. Die für die Eigenschaften 3 bis 6 besonders günstige tetraedrische Konfiguration, welche auch beim Quarz gegeben ist, wird in sehr einfacher und vorteilhafter Weise durch die in Anspruch 2 angeführte Auswahl für A und B erreicht. In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist schliesslich vorgesehen, dass Kristalle aus der im Anspruch 3 angeführten Gruppe verwendet werden. Diese Kristalle sind, wie auch Quarz, hydrothermal synthetisch herstellbar. Dieses Verfahren ist wesentlich billiger und energiesparender als andere Herstellungsverfahren und die so erzeugten Kristallelemente sind homogener und frei von inneren Spannungen. Gegenüber dem Quarz sind zur Herstellung der für die erfindungegemässen Einrichtungen verwendeten Kristalle jedoch niedrigere Temperaturen und niedrigere Drücke verwendbar, was die angeführten Vorteile noch verstärkt. Als Beispiel sei das genannte Aluminiumorthoarsenat (AlAs04) näher betrachtet: Wie Quarz oder Berlinit gehört auch dieser Kristall zur Punktsymmetrieklasse 32; die Frequenzen der total symmetrischen Phononen-Moden w1 bis W4, welcHe denen des Quarz entsprechen, liegen hier bei 225, 335, 450 und 1100 cm 1. Eine Betrachtung des Temperaturverhaltens des Kristalles zeigt im Hinblick auf die obigen Ausführungen, dass alle total symmetrischen Moden innerhalb des besagten Temperaturbereiches dem 15 % Stabilitätskriterium gemäss der vorliegenden Erfindung genugen, womit beispielsweise das für die bisher in diesem Zusammenhang bekannten piezoelektrischen Materialien nachteilige Probleme der Zwillingsbildung überhaupt nicht auftritt. Weiters wären noch speziell MnPO4 sowie auch FeP04 und FeAsO4 zu nennen, bei denen ebenfalls die total symmetrischen Phononen-Moden in dem gemäss der vorliegenden Erfindung geforderten Bereich stabil sind. Die gemäss der vorliegenden Erfindung vorgeschlagenen Piezomaterialien können natürlich auf sämtliche der in diesem Zusammenhang bekannten Weisen eingesetzt werden; hier wäre nur als Beispiel die Messung unter Ausnutzung des longitudinalen oder transversalen piezoelektrischen Effektes, die Ausnützung von verschiedenen Kristallorientierungen sowie die Verwendung in aktiven als auch in passiven piezoelektrischen Einrichtungen anzuführen. Für die Verwendung als Piezoresonator für z.B.Frequenznormale oder Timer vereinigen diese Materialien die Vorteile von Quarz (hohe Güte, Existenz vom temperaturkom pensierten Schnitten) sind diesen jedoch bezüglich der thermischen Stabilität und der Grösse des kompensierbaren Temperaturbereiches deutlich überlegen, sodass eine Thermostatisierung, wie bei entsprechenden Quarz-Frequenznormalen notwendig, hier nicht erforderlich ist, Auch für Resonatoren in Digitalthermometern eignen sich diese Kristalle vorzüglich, da man Schnitte mit hoher Linearität des thermischen Frequenzganges wählen kann Zusätzlich erhält man einen wesentlich grösseren Temperaturmessbereich als etwa bei Quarzthermometern. Bei Verwendung in Druckgebern können nunmehr aufwendige Massnahmen zur Kühlung der Piezoelemente entfallen, da auch bei höheren Temperaturen keine Zwillingsbildung zu befürchten ist. In Druckaufnehmern1 welche den longitudinalen Piezoeffekt ausnützen, werden eine Anzahl von Piezoelementen elektrisch parallel und mechanisch in Serie zwecks Erhöhung der Empfindlichkeit in Modulbauweise angeordnet. Wegen der höheren intrinsischen Empfindlichkeit der erfindungsgemäss verwendeten Kristalle kann deren Anzahl vorteilhaft reduziert werden. Entspre,chende Druckaufnehmer, welche den transversalen Piezoeffekt ausnutzen, können aus demselben Grund mit Piezoelementen von kleinerem Volumen ausgestattet werden. Anhand von weiteren Beispielen sei die Überlegenheit der mit der vorliegenden Erfindung vorgeschlagenen Materialien gegenüber bekannten Piezo-Materialien verdeutlicht. In der DE-PS 2 746 712 wird ein piezoelektrischer Resonator beschrieben, dessen Haltestücke gleichzeitig als akustische Impedanzwandler zur Verminderung von Schallverlusten ausgebildet sind. Bei herkömmlichen Materialien für den Resonatorkern sind Massnahmen zur Temperaturkompensation der Resonanzfrequenz vorzusehen, welche nunmehr wegfallen können und zu einer Vereinfachung des Gesamtaufbaus führen. Die piezoelektrischen Elemente dieses Resonators, mittels eines Wechselstromgenerators zu akustischen Schwingungen angeregt, schwingen aufgrund des akustischen Abschlusses, mit von mechanischen Umgebungseinflüssen weitgehend unabgängiger Güte. Nachteilig bei der bekannten Verwendung von Quarz ist hier der beschränkte Temperaturbereich bei der Herstellung des Gesamtresonators. Vorteilhafte Sinter und Hochtemperatur-Klebetechniken zur Aufbringung der AbschluBschichten sind erst mit Verwendung der erfindungsgemässen Elemente einsetzbar. Weiters ist beispielsweise aus der DE-AS 2 416 085 ein Resonator bekannt, welcher als Kernstück ein Piezoplättchen enthält, welches im Elektrodenbereich eine gegenüber dem übrigen Bereich verschiedene, wirksame Resonatordicke besitzt. Bei Verwendung von Kristallelementen nach der vorliegenden Erfindung ergibt sich folgende Verbesserung. Bei Quarz als z. Zt. günstigstem Material hiefür (wegen des hohen Q-Faktors) ist die Fabrikation dieser unterschiedlichen Resonatordicke mit kostengünstigen Atztechniken nicht möglich, da das erforderliche Ä.tz- mittel HF (Flusssäure) bedeutende Nachteile mit sich bringt. Diese Nachteile, die Habhabung betreffend, fallen bei Verwendung von Phosphorsäure für Gas04 bzw. Arsensäure für Also4 und GaAsO4 weg. Die Verwendung von Elementen nach der vorliegenden Erfindung ist beispielsweise auch in einem Oberflächenwellenplättchen für eine Verzögerungsleitung möglich. Bei bekannten derartigen Anordnungen wird beispielsweise LiNbO3 als Substratmaterial verwendet, welches keinen Schnitt mit temperaturkompensierter Arbeitsfrequenz hat, was eine Temperaturkontrolle notwendig macht. Quarz besitzt solche Schnitte, welche jedoch dazu führen, dass Konzessionen bezüglich der Frequenzbandbreite gemacht werden müssen. Die Verwendung von Kristallen gemäss der vorliegenden Erfindung als Substrat vereint die günstigen Eigenschaften von Quarz mit einer verbesserten ¯figur of merit", da aufgrund der verminderten Temperaturabhängigkeit aller physikalischen relevanten Grössen die damit nicht notwendige Schnittbeschränkung für die Optimierung anderer Grössen, wie Bandbreite, Schallgeschwindigkeit oder Kopplungskonstante genutzt werden kann, je nach Frequenzbereich und Anwendung der Oberflächenwelleneinrichtung. Weitere piezoelektrische Einrichtungen, wo die Vorteile der erfindungsgemässen Kristalle zum Tragen kommen, sind beispielsweise Mikrowägeeinrichtungen, welche piezoelektrische Resonatoren mit von der Beladung einer Elektrodenschicht oder auch Kristallschicht abhängigen Resonanz oder Antiresonanzfreuquenz enthalten. Für den Einsatz in Sputter oder Aufdampfanlagen, sowie Oberflächenanalysengeräten fallen die für Quarz notwendigen Vorsichtsmassnahmen (siehe beispielsweise US-PS 3 113 224) weg, welche bei Betrieb bei höheren Temperaturen, wie sie in den genannten Geräten erwünscht sind, getroffen werden müssen. Mit den gemäss der vorliegenden Erfindung verwendeten Kristallen werden auch Ultraschallgeneratoren und Sensoren für Laufzeit, Durchfluss und Schallmessungen in heissen Medien ohne bei zur Zeit bekannten Geräten nötigen thermischen Schutz möglich. Damit ist die Anordnung von piezoelektrischen Schallwandlern zum Zweck der optimalen Übertragung direkt an einem heissen Medium möglich. Thermischer Schutz bei Puislaufzeitmessungen bekannter Art bei heissen Durchflussmedien und Temperaturkompensation bei wechselnden Temperaturen wird unnötig oder wenigstens erheblich erleichtert. Dasselbe gilt für Ultraschallpulsgeber oder -empfänger, die an heissen Festkörpern Aufgaben übernehmen sollen,z.B. Empfang von gestreuten Schallwellen von Mikrorissen in Hochtemperaturkesselanlagen. Eine bekannte Anordnung zur Messung der Partikelkonzentrationen in Gasen kann mit Verwendung von Schallwellengeneratoren und -empfängern auf der Basis von Kristalllen gemäss der vorliegenden Erfindung auf einfache Weise auch zur Partikelmessung an heissen Abgasen eingesetzt werden. Die Beispiele zeigen die Vielfalt der Einsatzbereiche von Materialien, welche durch die mit der vorliegenden Erfindung angegebenen Kennzeichen charakterisiert sind.

Claims: Patentansprüche: 1. Einrichtung mit zumindest einem piezoelektrischen Element, dessen piezoelektrische Eigenschaften aus nutzbar sind, g e k e n n z e i c h n e t d u r c h die Verwendung von piezoelektrischen Kristallen der Punktsymmetrieklasse 32 und der chemischen Summenformel AB04, welche im Temperatur bereich von 20 0C bis 5000 C eine Frequenzverschie bung des totalsymmetrischen Phononen-Modes mit der niedrigsten Frequenz um höchstens 15 % aufweisen. 2. Einrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, dass A aus der Gruppe B, Al, Ga, In, Tl, Fe, Mn, Y, und B aus der Gruppe P, As, Sb, Bi, V, Nb stammt. 3. Einrichtung nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch die Verwendung von piezoelektrischen Kristal len aus der Gruppe GaAsO4, Gas04, Also4.

Inventors: ENGEL, GUNTER, KREMPL, PETER, Engel, Günter 
Applicants: LIST, HANS
Application year: 1982
Main classification: H01L41
IPC codes: H01L41