DEVICE FOR THE CONTACTLESS DETERMINATION OF THE POSITION AND/OR OF THE DIELECTRIC PROPERTIES OF OBJECTS

Abstract: 1. A device for contactless determination of the position and/or dielectric properties of objects, the device comprising a measuring electrode (3), connected to the inlet of an evaluation circuit (20, 27, 28, 29) and a first (1) and a second (2) field-producing electrode which are loaded by alternating voltages (4, 5, 21, 33) the phases of which are displaced through 180 degrees with respect to each other, characterised in that one of the field-producing electrodes (1, 2) is connected to a first outlet step (26) provided with a circuit (25; 31, 32) for the displacement of the output amplitude, the amplitude ratio of the alternating voltages (4, 5, 21, 33) on the field-producing electrodes (1, 2) being so changeable by the circuit (25; 31, 32) that in the absence of the object (6) to be registered the currents caused in the measuring electrode (3) by the two field-producing electrodes (1, 2) compensate each other.

Description: Vorrichtiing zur berührungslosen Bestimmung der Lage und/oder der dielektrischen Eigenschaften von Objekten Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur berührungs- losen Bestimmung der Lage und/oder der dielektrischen Eigenschaften von Objekten mit einer an den Ausgang eines Oszillators angeschlossenen felderzeugenden Elektrode und mit einer an den Eingang einer Auswerteschaltung argekoppelten Messelektrode. Näherungsschalter und ähnliche Vorrichtungen zur be ruhrungslosen Lagebestimmung werden in der gesamten Technik und insbesondere bei Automaten und Robotern vielseitig eingesetzt. Bekannt sind z.B. Vorrichtungen, die auf kapazitiver ober induktiver Grundlage arbeiten. Auch Lichtschranken oder Fernsehkameras werden häufig zur berührungslosen Lagebestimmung benutzt. Die optischen Methoden scheitern jedoch bei bestimmten Anwendungen am Schmutz der Umgebung und am mangelnden Kontrast bei aliseits gluhenden Szenen in einem Ofen mit einer rnnentemperatur von etwa 1000 C. In der DE-AS 24 60 057 sind Vorrichtungen zur Bestimmung der Lage von Objekten beschrieben. Diese eignen sich jedoch nicht zum Einsatz bei den extremen Umgebungsbedingungen einer heissen Ofenatmosphare. Insbesondere eignen sich die bekannten Vorrichtungen nicht zum Einsatz bei stark schwankenden Temperaturen. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die insbesondere eine Lagebestimmung in einem Glühofen gestattet und die auch im gluhenden Zustand des- Sensorteils funktionsfahig bleibt. Ausserdem soil eine Bestimmung der dielektrischen Eigenschaften und insbesondere eine Erfassung von Anderungen der dielektrischen Eigenschaften von Objekten durchführbar skein. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäss dadurch gelt, dass die Vorrichtung eine zweite felderzeugende Elektrode aufweist, die mit einer Wechselspannung beaufschlagt ist, deren Phase gegenuber der Phase der an der ersten felderzeugenden Elektrode angelegten Wechselspannung um 1800 verschoben und deren Amplitude so gewähit ist, dass bei Abwesenheit des zu erfassenden Objektes die in der. Messelektrode durch die beiden felderzeugenden Elektroden bewirkten Strove gegenseitig kompensiert sind. Das Problem der Verwendbarkeit des Sensorteils der Vorrichtung im Ofen reduziert sich dadurch auf die Resistenz der drei Elektroden und deren Isolatoren gegen die hohe Temperatur der Umgebung. Eine einfache Trennung zwischen dem aus den Elektroden gebildeten Sensorteil und der elektronischen Auswerteschaltung ist mglich, wobei diese durch temperaturfeste Leitungen verbunden sind. Bei einem bevorzugten Ausfuhrungsbeispiel sind die Elektroden als parallel zueinander verlaufende Stable ausgebildet, die in einer feuerfesten keramischen Masse eingebettet sind. Eine Beeinflussung der Fühlrichtungs- charakteristik ist moglich, wenn wenigstens eine der Elektroden mit einer rinnenformigen Abschirmung versehen ist Bei einem zweckmässigen Ausfuhrungsbeispiel sind die Elektroden gemeinsam in einer U-formigen Abschirmung angeordnet. Dadurch dass die Zuleitungen zu den Elektroden niederohmig ausgebildet sind, ist die Lunge dieser Zuleitungen nur von sekundärer Bedeutung. Eine besonders hohe Genauigkeit und Empfindlichkeit werden erreicht, wenn die Messelektrode umber einen Schmalbandverstärker mit dem Eingang eines phasenem pfindlichen Glelchrichters verbunden ist. Langzeitdriften der Elektronik sowie Veränderungen des mechanischen Sensorteils durch Abbrand u.s.w. werden mit Hilfe eines Nul lpunktkorrekturschaltkreises eliminiertv In der Zeichnung sind Ausfiihrungsbeispiele des Gegen standes der Erfindung dargesteilt. Es zegen: Fig. 1 ein Schaitbild der erfindungsgemässen Vor richtung zur Erlauterung des Messprinzips, Fig. 2 den Potentialverlauf zwischen den felder zeugenden Elektroden, Fig. 3 ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung mit asymmetrisch angeordneten Elektroden, Fig. 4 den Spannungsverlauf des Ausgangssignals der Auswerteschaltung, Fig. 5 das Ausgangssignal der Auswerteschaltung bei symmetrisch angeordneten Elektroden, Fig. 6 ein weiteres Ausfuhrungsbeispiel der erfin dungsgemässen Vorrichtung mit einem eine U-förmige Abschirmung aufweisenden Sensorteil und Fig. 7 das Blockschaltbild eines Ausführungsbei spiels fDr eine Auswerteschaltung und die erforderlichen Wechselspannungsquellen. Zur Erläuterung des Messprinzips ist die erfindungs gemässe Vorrichtung in Fig. 1 schematisch dargestellt. Der Sensor der Vorrichtung verfugt umber eine erste felderzeugende Elektrode 1 und eine zweite felderzeu- gende Elektrode 2, zwischen denen eine Messelektrode 3 angeordnet ist. Die Abstnde a und b zwischen der Messelektrode 3 und den felderzeugenden Elektroden 1, 2 sind bei dem in Fig. I dargestellten Beispiel gleich. Die felderzeugenden Elektroden 1, 2 werden aus einer ersten Spannungsquelle 4 und einer zweiten Spannungsquelle 5 versorgt. Dabei sind die Span-nungen so ge wähit, dass das Potential an der Stelle der Messelektrode 3 bei Abwesenheit des zu erfassenden Objektes 6, das beispielsweise ein Werkstück sein kann, Null ist. Um den Ort der Sensibilitat des Sensor festzulegen, snd die Verbindungsleitungen der felderzeugenden Elektroden 1, 2 und der Messelektrode 3 mit Abschirmungen 7 versehen. Die Abschirmungen 7 sowie die nicht mit den felderzeugenden Elektroden 1, 2 verbundenen Pole der Spannungsquellen 4, 5 sind mit der Masse 8 in Verbindung. Ein Elektrometer 9 dient zur Anzeige des von der Mef3- elektrode 3 erfassten Potentials. Das von den felderzeugenden Elektroden 1, 2 erzeugte elektrische Feld ist ein Gleichfeld, wenn die erste Spannungsquelle 4 und die zweite Spannungsquelle 5 zwei gegensinnig gepolte Gleichspannungsquellen sind. Um die Sonde zur Messung des Potentials mechanisch einfach gestalten zu können und eine empfindliche sowie storungsarme Messung zu gestatten, ist die Erzeugung eines Wechselfeldes mit starrer Frequenz vorteilhaft. Die erste Spannungsquelle 4 und die zweite Spannungsquelle 5 sind dann Wechselspannungsquellen, deren Phasenlagen sich um 1800 voneinander unterscheiden. Das Elektrometer 9 dient im Falle eines Wechselfeldes zur Anzeige eines Stromes, der bei Abwesenheit des zu messenden Objektes 6 infolge der Phasenlagen bei gleichen Amplituden und symmetric scher Anordnung der Messelektrode 3 zu den felderzeugenden Elektroden 1, 2 Null ist. In Fig. 2 ist der Potentialverlauf zwischen der ersten felderzeugenden Elektrode 1 mit der Spannung U1 = und der zweiten felderzeugenden Elektrode 2 mit der Spannung U2 = - a/b x U dargesteilt. Im Falle geicher Abstnde a und b sind die Spannungen U1 und U2 dem Betrag nach gleich, wobei am Ort der Messelektrode 3 das Potential Null herrscht, wie aus der durchgezogenen Linie in Fig. 2 erkennbar ist. Wird nun ein Objekt 6 in das durch die Elektroden 1, 2 erzeugte Feld an einer zur Messelektrode 3 unsymmetrisch gelegenen Stelle ausserhalb der Flache des Potentials Null eingebracht und unterscheidet sich die- Diele-ktri- zitätskonstante des Objektes 6 von der Umgebung, so bewirkt die Anderung der Feldverteilung durch das Objekt 6 eine Potentialverschiebung U an der Stelle der Messelektrode 3, wie in Fig. 2 gestrichelt veranschaulicht ist. Das Vorzeichen der Verschiebung beziehungsweise die Phasenlage gestattet es festzustellen, auf welcher Seite der Messelektrode 3 sich das Objekt 6 im Gleichfeld bzw. Wechselfeld befindet. Der Betrag der Potentialverschiebung AU bzw. die Amplitude des Wechselstromes ist ein Mass für den Abstand des Objektes 6 von einem definierten Punkt oder einer Ebene des Sensors, wobei diese Bezugsorte von der Formgebung des Sensors abhängen. Die Lunge der elektrischen Zuleitungen zu den Elektroden 1, 2 und der Messelektrode 3 ist nur von sekun dryer Bedeutung. Die Zuleitungen für die Elektroden und die Spannungsquellen sind vorzugsweise niederohmig ausgeführt, so dass Blindstrome die Signale kaum beeinflussen. Da die Influenzeffekte auf der Messelektrode 3 als Strom nachgewiesen werden, der auf einer niederohmigen Leitung praktisch keinen Potentialabfall bewirkt, sind auch kapazitive Verluste vernachlassigbar klein. Weil in Abwesenheit des zu messenden Objektes 6 die Bezugsgrösse jeweils der Messelektrodenstrom = Null ist, ergibt sich die Möglichkeit, Langzeitdriften der an den Sensor angeschlossenen Elektronik und Verän- derungen des mechanischen Sensortells, wie Tempera turverzüge, Abbrand, Veranderungen der Umwelt u.s.w., elektrisch zu eliminieren und zwar durch Regelung der Amplitude der Spannung einer der felderzeugenden Elektroden 1, 2 in der Weise, daB der Messelektrodenstrom zu Null wird. Fig. 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel der erfindungs gemässen Vorrichtung, bei dem die Abstnde a, b zwischen der Messelektrode 3 und den felderzeugenden Elektroden 1, 2 ungleich sind. Die felderzeugenden Elektroden 1, 2 werden umber Zuleitungen, die mit Abschirmungen versehen sind, von zwei Spannungsquellen 4, 5 versorgt, die jeweils eine Wechselspannung mit einer Frequenz von vorzugsweise 10 KHr bis etwa 50 KHz liefern. Die Phasen der beiden Spannungsquellen 4, 5 sind um 1800 verschoben. Entsprechend den- Abstandsverhältnissen ist die Amplitude der ersten Spannungsquelle 4 grösser als die Amplitude der zweiten Spannungsquelle 5, so daB bei Abwesenheit der Palette 10 kein Strom in der MeBelektrode 3 fliesst. Bei der Anordnung gemäss Fig. 3 sind die felderzeugenden Elektroden 1, 2 sowie die MeBelektrode 3 in elne Unterlage 11 aus Schamotte eingebettet, die als feuerfeste Auflage fur die in die X-Richtung verschiebbare Palette 10 dient. In Fig. 4 ist der Spannungsverlauf dargestellt, der sich durch phasenempfindliches Gleichrichten des Stro- mes in der Messelektrode 3 durch eine Auswerteschaltung oder ein MessgerÅat 12 ergibt, an dessen Eingang die Messelektrode 3 umber eine beliebig lange niederohmige abgeschirmte Leitung angeschlossen ist. Wie man in Fig. 4 erkennt, steigt beim Annahern der Palette 10 an den Sensor das Ausgangssignal Ua des Messgerätes 12 zunächst an und geht dann bei weiterem Annähern der Palette 10 durch Null, bevor es mit umgekehrter Polaritat wieder grösser wird. Infolge der unsymmetrischen Anordnung der Elektroden 1, 2, 3 zeigt das Messgerät 12 auch dann einen Ausschlag, wenn die Palette 10 die Anordnung der Elektroden 1, 2, 3 gleichmässig Uberdeckt. Durch Vergleich der Ausgangsspannung Ua mit einer Schwellenspannung Us ist eine exakte Positionsvermessung der Palette 10 bzw. deren Vorderkante moglich. Die gestrichelte Linie zwischen den Figuren 3 und 4 deutet die beim Erreichen des Schwellenwertes Us von der Vorderkannte der Palette eingenommene Lage an. Bei einer symmetrischen Anordnung der felderzeugenden Elektroden 1, 2 in Bezug auf die Messelektrode 3 ergibt sich der in Fig. 5 dargestellte Verlauf der Ausgangs spannung Ua, wenn ein Objekt 6 sich dem Erfassungsbe- reich von der Seite der ersten felderzeugenden Elektrode 1 nähert und diesen auf der Seite der zweiten felderzeugenden Elektrode 2 wieder verlaI3t. Die Reichweite des Sensors kann in Abhängigkeit von den geometrischen Abmessungen und Spannungsamplituden einige Millimeter bis mehrere Meter sein. Das Abstandsgesetz ist dabei abhängig von der Sensorform. Für eine Mittig keitsmessung (Ua = 0) wird der Bereich zwischen A und B in Fig. 5 ausgenutzt. Wenn es auf extreme Nichtline aritat nicht ankommt, ist der Bereich zwischen A' und B' verwendbar. Bei Abstandsmessungen wird ein Schwellenwert S als Indikator fur den richtigen Abstand benutzt. Um Mehrdeutigkeiten zu vermeiden ist der Bereich rechts von C fur das Objekt 6 im allgemeinen verboten und zwar durch Vorgabe des Bewegungsablaufes oder durch Anbringen einer Feld-Abschirmung, die gleichzeitig eine zu starke Annäherung des Objektes 6 an die Null-Potential-Ebene des Sensor verhindert. Die felderzeugenden Elektroden 1, 2 konnen mit in der Zeichnung nicht dargestellten rinnenformigen Abschirmblechen versehen sein, um durch die auf diese Weise bewirkte Anderung der Feldverteilung die "Fühlrichtung" des aus den Elektroden 1, 2, 3 gebildeten Sensors festzulegen. Das Feld greift nur an der Stelle der offenen Abschirmung in den Raum hinaus, so dass nur in diesem Bereich ein Gegenstand erfasst werden kann. In Fig. 6 ist ein Ausfuhrungsbeispiel der erfindungsgemässen Vorrichtung dargestellt, bei dem das Ausgangssignal Ua keinen NuIldurchgang zwischen positiven und negativen Werten macht. Die in Fig. 6 sichtbare Palette 10 befindet sich in einem Aufkohlungsofen und trägt unter Einsatz mehrerer Abstandshalter 13 verschiedene auf Distanz gestapelte Zahnkränze 14. Die Zahnkranze 14 konnen mit Hilfe einer Gabel 15 von oben einzeln abgehoben und entnommen werden. Auf der Gabel 15 ist tuber ein Abstandsstück 16 ein Sensor 17 befestigt, mit dessen Hilfe das Annähern der Gabel 15 an die Zahn kränze 14 berührungslos erfasst werden kann. Der Sensor 17 ist mit einem U-förmigen metallischen Abschirmprofil 18 versehen, in dessen Bodennahe die Messelektrode 3 und die erste felderzeugende Elektrode 1 angeordnet sind. Die zweite felderzeugende Elektrode 2 ist diagonal gegenuber der ersten felderzeugenden Elektrode 1 angeordnet. Die Elektroden 1, 2, 3 sind als mechanisch stabile Stable ausgebildet, die durch hulsen- formige Keramikisolatoren 34 auf Abstand gegenuber festen Abschirmrohren 19 gehalten werden. Das U-formige metallische Abschirmprofil 18 verursacht eine Feldabschirmung nach oben, so dass der Sensor 17 nach oben "blind" ist und von der Decke des Aufkohlungsofens nicht beeinflusst wird. Da das durch die felderzeugenden Elektroden 1, 2 erzeugte Feld jedoch nach unten und vorne austreten kann, ist der Sensor 17 in der Lage, die Oberkante der Zahnkränze 14 berUh- rungslos zu bestimmen. Um die mechanische Festigkeit der Anordnung zu erhöhen, sind die Elektroden 1, 2, 3 in einer feuerfesten, elektrisch nichtleitenden Masse eingebettet. Die Ver wendbarkejt des Sensors 17 im Ofen ist lediglich von der Resistenz der drei Elektroden 1, 2, 3 und des Isolators gegen die hohe Temperatur der Umgebung ab hanging. Der Sensor 17 und das zugehorige Messgerät 12 sind ortlich trennbar und durch ebenfalls temperaturfeste niederohmige abgeschirmte Leitungen verbunden. Ein Ausfuhrungsbeispiel für die Spannungsquellen 4, 5 und das Messgerät 12 ist in Fig. 7 veranschaulicht. Der symmetrisch oder unsymmetrisch aufgebaute Sensor 17 ist mit seiner Messelektrode 3 an den niederohmigen Eingang eines schmalbandigen Verstarkers 20 angeschlossen. Der Durchlassbereich des Verstärkers 20 ist auf die Frequenr der den felderzeugenden Elektroden 1, 2 zugefuhrten Wechselspannung abgestimmt. Die erste felderzeugende Elektrode 1 ist libber eine abgeschirmte Leitung 21 an den Ausgang einer ersten Ausgangsstufe 22 angeschlossen, timber die sie mit einer Wechselspannung versorgt wird, deren Frequenz einige 10 KHz betragt. Der Eingang der Ausgangsstufe 22 wird von einem amplitudenstabilen Oszillator 23 gespeist. Der Oszillator 23 speist ausser- dem umber einen ersten Phasenschieber 24 oder Inverter und eine Potentiometerschaltung 25 zur manuel len Amplitudeneinstellung eine zweite Ausgangsstufe 26, deren Ausgang mit der zweiten felderzeugenden Elektrode 2 des Sensors 17 umber eine Leitung 33 in Verbindung steht. Durch Verandern der Eins-tellung der Potentiometerschaltung 25 wird das elektrische Wechselfeld des Sensors 17 in Abwesenheit des zu erfassenden Objektes 6 so eingestellt, dass das mit Hilfe eines an den Ausgang des Verstarkers 2G angeschlossenen phasenempfindlichen Gleichrichters 27 und einer Integrationsstufe 28 erhaltene Ausgangssignal Ua, das als Eingangssignal einer Mess- wertverarbeitungsschaltung 29 dient, Null wird. Der phasenempfindliche Gleichrichter 27 erhalt als Refe renzsignal umber einen zweiten Phasenschieber 30 das Signal des Oszillators 23. Wenn nach der Nullpunktsabstimmung das zu messende Objekt 6 die Feldverteilung im Sensor 17 verandert, entsteht am Ausgang des Gleichrichters 27 ein Signal, dessen Amplitude dem Abstand und dessen Polarität der Richtung der Annherung an den Sensor 17 zugeordnet ist. Bei dem in Fig. 7 dargestellten Ausführungsbeispiel ist neben einer manuel len Nullpunktskorrektur ein selbst tätig arbeitender Nullpunktskorrekturschaltkreis 31 vorgesehen. Durch den Nullpunktskorrekturschaltkreis 31 wird ein Bruchteil des Ausgangssignals des Phasenschiebers 24 dem Eingang der Ausgangsstufe 26 Uber einen Widerstand 32 phasengleich hinzuaddiert. Liegt die bipolare Ausgangsspannung der Integrationsstufe 28 oberhalb einer positiven oder negativen Schwellspan nung, werden mit Hilfe einer Torschaltung und eines Taktgenerators Impulse einem Vor/Rückwärtszähler zu geführt. Der Taktgenerator erzeugt dabei nur so lange Impulse wie eine manuell betatigbare Korrekturtaste gedrückt wird. Der Ausgang des Vor/Rückwärtszählers speist einen Digital nalog-Wandler, an dessen Referenzspannungseingang die Wechselspannung des Phasenschiebers 24 angeschlossen ist. Die Ausgangsspannung des Digital-Analog-Wandlers ist somit eine Wechselspannung. Eine Korrektur der Wechselspannungsamplitude erfolgt also immer dann, wenn ein Schwellenwert über- schritten ist und die Korrekturtaste gedrückt worden ist.

Claims: PATENTANSPRUCHE 1. Vorrichtung zur berührungslosen Bestimmung der Lage und/oder der dielektrischen Eigenschaften von Objekten mit einer an den Ausgang eines Oszillators angeschlos senen felderzeugenden Elektrode und mit einer an den Eingang einer Auswerteschaltung angekoppelten Messelek- trode, d a d u r C h g e ken n z e ic hn e t , dass sie eine zweite felderzeugende Elektrode (2) aufweist, die mit einer Wechselspannung (5) beaufschlagt ist, deren Phase gegenüber der Phase der an der ersten felderzeugenden Elektrode (1) angelegten Wechselspannung (4) um 1800 verschoben und deren Amplitude so gewahlt ist, dass bei Abwesenheit des zu erfassenden Objektes (6) die in der Messelektrode (3) durch die beiden felderzeugenden Elek troden (1, 2) bewirkten Strorne gegenseitig kompensiert sind. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass bei gleichen Abständen der beiden felderzeugenden Elektroden (1,2) von der Messelektrode (3) die Ampli tuden der ihnen zugeführten Wechselspannungen (4,5) gleich und bei ungleichen Abständen verschieden sind. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn zeichnet, dass die felderzeugenden Elektroden (1, 2) sowie die Messelektrode ('3) als parallel zueinander verlaufende Stable ausgebildet sind, die mit geerdeten abgeschirmten Zuleitungen versehen sind. 4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche I bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden (1, 2) in einer feuerfesten keramischen Masse eingebettet sind. 5. Vorrichtung nach einem der Anspruche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine der Elektroden (1, 2, 3) mit einer rinnenförmigen Abschirmung versehen ist. 6. Vorrichtung nach einem der Ansprtiche I bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden (1, 2, 3) gemeinsam in einer U-förmigen Abschirmung (18) angeordnet sind. 7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Messelektrode (3) und eine felderzeugende Elek trode (1) in der Nahe des Bodens des U-förmigen Ab schirmprofils (18) angeordnet sind und dass die zweite felderzeugende Elektrode (2) diagonal gegenuber der ersten felderzeugenden Elektrode (1) liegt. 8. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die erste felderzeugende Elektrode (1) umber eine niederohmige Ausgangsstufe (22) und die zweite felderzeugende Elektrode (2) umber einen Phasenschieber (24) sowie eine niederohmige Ausgangs stufe (26) mit einem amplitudenstabilen Oszillator (23) gekoppelt sind. 9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Messelektrode (3) umber einen auf die Oszillator frequenz abgestimmten eingangsseitig niederohmigen Schmalbandverstärker (20) mit dem Eingang eines phasen empfindlichen Gleichrichters (27) verbunden ist, der mit dem Ausgangssignal des Oszillators (23) umber einen Kompensations-Phasenschieber (30) als Referenzsignal beaufschlagt ist. 10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Ausgangssignal des phasenempfindlichen Gleich richters (27) an den Eingang einer Integrationsstufe (28) angeschaltet ist, die eine Messwertverarbeitungs- schaltung (29) sowie einen Nullpunktskorrekturschalt kreis (31) speist, mit dessen Hilfe die Amplitude der einer der felderzeugenden Elektroden (1, 2) zugefuhrten Spannung (4, 5) veranderbar ist, bis das Ausgangssignal der Integrationsstufe (28) Null ist.

Inventors: BERGMANN, ECKHARD, ING.GRAD., DUMBS, ALFRED, DR-ING.DIPL.-PHYS.
Applicants: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FORDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Application year: 1981
Main classification: G01R29
IPC codes: H03K17, G01N27, G01V3