METHOD AND DEVICE FOR TRIMMING AT LEAST ONE TEMPERATURE-DEPENDENT RESISTOR

Abstract: 1. A method for trimming at least one temperature-dependent resistance, in particular for a resistance thermometer, in which a resistance track which is applied to a carrier is trimmed to a resistance value which corresponds to a nominal value, predetermined on a calibrating curve, of the resistance at the trimming temperatur, characterised in that for determining the trimming temperature by means of the untrimmed resistance track a first actual value of this resistance track is measured at any point in time before the trimming at a calibrating temperature and the factor of proportionality between this first actual value and the nominal value predetermined by the calibrating curve for the calibrating temperature is determined and that immediately before the start of trimming a second actual value of the resistance track is measured at a second temperature and from the second actual value multiplied by the factor of proportionality a nominal resistance value is defined on the calibrating curve, the associated temperature of which nominal resistance value corresponds to the trimming temperature.

Description: Verfahren zum Trimmen mindestens eines temperaturabhängigen Widerstands Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Trimmen mindestens eines temperaturabhängigen Widerstands, insbesondere für ein Widerstandsthermometer, wobei eine auf einem Träger aufgebrachte Widerstandsbahn auf einen Widerstandswert getrimmt wird, der einem auf einer Eichkurve vorgegebenen Sollwert des Widerstands bei der Trimmtemperatur entspricht. Bei der Herstellung von Widerstandselementen und insbesondere solchen, die für Widerstandsthermometer vorgesehen sind, wird gewöhnlich eine elektrisch leitende Schicht mit definiertem Temperaturkoeffizienten des Widerstands auf einen nichtleitenden Träger, das sogenannte Substrat, aufgebracht. Geeignete Schichten bestehen aus Metall und beispielsweise aus Platin oder Nickel, gebräuchliche Träger aus Oxidkeramik und vorzugsweise aus Aluminiumoxid. Die Schichten können als aushärtbare Paste aufgetragen oder im Vakuum aufgedampft oder durch Kathodenzerstäubung aufgebracht werden. Bei einer ersten Gruppe von Widerstandsthermometern ist die leitende Schicht als schraubenlinienförmige Bahn auf einem stab- oder rohrförmigen Träger, bei einer zweiten Gruppe als mäanderförmige Bahn auf eine ebene Platte aufgebracht. Die mit einem Widerstandsthermometer messbare Temperatur ist eine vom Widerstandswert der Bahn abgeleitete Grösse, weshalb die Genauigkeit der Temperaturmessung von der Genauigkeit des Widerstandswerts abhängig ist. Zum Einstellen oder Trimmen des Widerstandswerts der Bahn ist bei den meisten Ausführungsformen der Widerstand der ursprünglich aufgetragenen, elektrisch leitenden Schicht kleiner als der Sollwert, und die Bahn dieser Schicht weist ein verbreitertes Teilstueck auf. Durch Abtragen der Randpartie dieses Teilstücks kann dessen Breite verringert oder durch Abtragen eines parallel zur Längsrichtung der Bahn verlaufenden Mittelstreifens die Länge.der Widerstandsbahn vergrössert werden, was beides eine Erhöhung des Leitungswiderstands bewirkt. Die leitende Schicht kann dabei einfacherweise mechanisch abgetragen werden, beispielsweise mit einem feinen Sandstrahl, aber auch mit einem gesteuerten Laserstrahl, der das Metall der Schicht verdampft. Um die beim Trimmen angestrebte Genauigkeit zu erreichen, wird bei einem bekannten Verfahren der Träger auf einen Arbeitstisch gelegt und die Temperatur des Arbeitstisches mit einem eingebauten Thermoelement gemessen. Dann wird der Widerstandswert der leitenden Bahn gemessen und mit Hilfe einer Eichkurve festgestellt, um wieviel der gemessene Istwert der Widerstandsbahn vom Sollwert abweicht. Die Eichkurve gibt den Verlauf des Widerstands in Abhängigkeit von der 0 Temperatur an, wobei der Widerstand bei OOC dem Nennwider- stand des zu trimmenden Widerstandsthermometers entspricht. Das Trimmen kann dann kontinuierlich mit gleichzeitiger ununterbrochener Messung des Widerstandswerts durchgeführt werden oder schrittweise nach einem Iterationsverfahren, bis die Differenz zwischen dem gemessenen Istwert der Wi derstandsbahn und dem vorgegebenen Sollwert kleiner als die zulässige Toleranz ist. Bei modernen Fabrikationsmethoden werden eine Vielzahl und beispielsweise mehr als 200 Widerstandsbahnen auf einer gemeinsamen Trägerplatte hergestellt und dann auf dieser Trägerplatte getrimmt. Danach wird die Platte in Plättchen gebrochen, von denen jedes nur eine Widerstandsbahn aufweist. Zum Trimmen wird eine automatisch arbeitende Vorrichtung verwendet, mit einem Computer, in dem die Werte der Eichkurve gespeichert sind, dem die gemessene Temperatur des Arbeitstisches und der gemessene Istwert der zu trimmenden Widerstandsbahn als Eingangsgrössen zugeführt werden und der die Steuersignale für die Verschiebung des Arbeitstisches relativ zu einer ortsfesten Trimmeinrichtung sowie für die Erregung dieser Trimmeinrichtung erzeugt. Nachteilig bei dem beschriebenen Trimmverfahren ist die relativ ungenaue Temperaturmessung. Wegen der nur mit grossem Aufwand vermeidbaren tages- und jahreszeitlich bedingten Aenderungen der Umgebungstemperatur im Arbeitsraum und wegen der relativ langen Zeitspanne für den Temperaturausgleich zwischen einem Werkstück und im vorliegenden Falle des Substrats und dem Arbeitstisch können zwischen dem Messpunkt im Arbeitstisch, wo das Thermoelement angeordnet ist, und der Oberfläche des Substrats mit den Widerstandsbahnen Temperaturdifferenzen von bis zu 1 0C auftreten. Jede ungenaue Temperaturbestimmung der Widerstandsbahn beim Trimmen hat aber zur Folge, dass die vom fertigen Widerstandsthermometer angezeigte Temperatur mit dem gleichen Fehler behaftet ist. Der vorliegenden Erfindung liegt darum die Aufgabe zugrunde, ein Trimmverfahren mit einer verbesserten Messung der Trimmtemperatur zu schaffen. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäss mit einem Trimmverfahren gelöst, bei dem zum Bestimmen der Trimmtemperatur eine ungetrimmte Widerstandsbahn verwendet wird, wozu zu einem beliebigen Zeitpunkt vor dem Trimmen ein erster Istwert dieser Widerstandsbahn bei einer Eichtemperatur gemessen und der Proportionalitätsfaktor zwischen diesem ersten Istwert und dem von der Eichkurve für die Eichtemperatur vorgegebenen Sollwert bestimmt wird und unmittelbar vor Beginn des Trimmens ein zweiter Istwert der Widerstandsbahn gemessen und aus dem mit dem Proportionalitätsfaktor multiplizierten zweiten Istwert ein Widerstandswert aus der Eichkurve definiert wird, dessen zugeordnete Temperatur der Temperatur bei der Messung des zweiten Istwerts entspricht. Nach bisherigen Erfahrungen ist es mit dem neuen Verfahren möglich, die massgebliche Temperatur beim Trimmen einer Widerstandsbahn ohne wesentlichen Mehraufwand mit einer Toleranz von besser als + 0,20C zu bestimmen und damit Widerstandsthermometer mit der gleichen Anzeigegenauigkeit herzustellen. Eine bevorzugte Ausführungsform einer Vorrichtung zur Aus- führung dieses Verfahrens ist gekennzeichnet durch ein elektronisches Leitwerk, dem ein Dateneingabegerät zum Eingeben der Sollwerte der Eichkurve, des ersten Istwerts des Widerstands der einen Widerstandsbahn sowie der Eichtemperatur, einen Speicher zum Speichern der vorgenannten Daten und ein Rechenwerk zum Errechnen des Proportionalitätsfaktors aus diesen Daten zugeordnet sind, sowie eine Einrichtung zur numerischen Steuerung der Verschiebung eines Arbeitstisches und eine Einrichtung zum Trimmen von mindestens einer auf dem Arbeitstisch angeordneten Widerstandsbahn gemäss den Ausgangssignalen des Leitwerks, und durch einen Elektroden rechen zum Anlegen an die Anschluss flächen mindestens einer Widerstandsbahn, welcher Elektrodenrechen zum Eingeben des Istwerts des Widerstands der mindestens einen Widerstandsbahn und Errechnen des Momentanwerts der Temperatur sowie zum Steuern des Trimmens mit dem Dateneingabegerät verbunden ist. Im folgenden werden Ausführungsbeispiele des erfindungsgemässen Verfahrens und einer zu dessen Ausführung geeigneten Vorrichtung mit Hilfe der Figuren beschrieben. Es zeigen: Fig. 1 die schematische Draufsicht auf ein Widerstandsele ment, Fig. 2 eine Eichkurve RE- f(T) und die durch einen Mess punkt bestimmte Kurve RW = f(T) einer ungetrimmten Widerstandsbahn, Fig. 3 die schematisch gezeichnete Draufsicht auf eine Sub stratplatte mit einer Vielzahl in Zeilen und Spalten angeordneten Widerstandsbahnen und Fig. 4 das Blockschema einer Vorrichtung zur Ausführung des neuen Verfahrens. Das neue Verfahren geht von mehreren Voraussetzungen aus. Zuerst muss das Material der Trägerplatte für die Widerstandsbahnen gut wärmeleitend sein, damit es auf der gesamten Oberfläche praktisch die gleiche Temperatur aufweist. Diese Voraussetzung ist für die gebräuchlichen Al 203 -Sub- strate ausreichend erfüllt. Weiter muss das Herstellverfahren gewährleisten, dass die Widerstandsbahnen übereinstimmende und reproduzierbare Temperaturkoeffizienten und allfällige Therme höherer Ordnung aufweisen. Auch diese Vor aussetzung ist bei den heute gebräuchlichen Herstellverfahren erfüllt. Schliesslich darf beim Trimmen weder die Widerstandsbahn noch die Trägerplatte merklich erwärmt werden, welche Voraussetzung bei den gebräuchlichen Trimmverfahren ebenfalls erfüllt ist. In Fig. 1 ist schematisch ein Widerstandselement gezeigt mit einem Substrat 10, einer Widerstandsbahn 11 und Anschlussflächen 12, 13. Die Widerstandsbahn weist einen verbreiterten Teil 14 auf, der zum Anbringen einer Trimmspur 15 vorgesehen ist, die die Länge der Widerstandsbahn zwischen den Anschlussflächen und damit den Leitungswiderstand vergrössert. Zum Trimmen nach dem neuen Verfahren wird das Widerstandselement zuerst in einen Klimaraum oder eine Klimakammer eingebracht und auf eine massive Metallplatte gelegt, die eine genau bekannte und konstante Temperatur aufweist, die im folgenden als Eichtemperatur bezeichnet wird. Nach etwa 30 bis 60 min, wenn die Temperatur des Widerstandselements stabilisiert und gleich der der Metallplatte ist, wird der Widerstandswert der Widerstandsbahn gemessen. Wie bereits einleitend erwähnt wurde, sollte dieser Wert kleiner als der angestrebte Sollwert sein, weil der Widerstandswert beim Trimmen nur vergrössert, aber nicht verkleinert werden kann. In Fig. 2 ist eine Eichkurve 20 gezeigt, die den vorgegebe E nen Verlauf des Widerstandswertes RE in Abhängigkeit von der Temperatur T angibt und deren Widerstandswert bei der Temperatur von 0 C dem Nennwert n der zu trimmenden Widerstandsbahn entspricht. Weiter ist in Fig. 2 die Kurve 21 für den Widerstand einer beliebigen Widerstandsbahn, die die oben genannten Voraussetzungen erfüllt, aufgezeichnet. Diese Kurve verläuft im gesamten interessierenden Temperaturbereich proportional zur Eichkurve 20, d.h. die Quotienten aus jedem Punkt auf der Kurve 21 mit dem der gleichen Temperatur zugeordnete Punkt auf der Eichkurve 20, sind gleich. Zum Trimmen einer einzelnen Widerstandsbahn genügt es dar um, wenn der Istwert des Widerstands RW dieser Widerstands e bahn bei der Eichtemperatur T gemessen und mit Hilfe des e aus der Eichkurve 20 ablesbaren zugeordneten Eichwiderstands Re der Proportionalitätsfaktor F = RW/RE bestimmt e e e wird. Beim Trimmen der Widerstandsbahn muss dann nur noch W der Momentanwert des Widerstands Rt gemessen und mit dem Faktor F multipliziert werden, um den Sollwert R" = F.RW t t des Widerstands bei der Trimmtemperatur Tt zu errechnen. Sobald dann beim Trimmen der Widerstandsbahn deren Wider standswert Rt gleich dem zugeordneten Widerstandswert Rt t auf der Eichkurve ist, stimmt die gesamte Widerstandskurve 21 mit der Eichkurve 20 überein, d.h. die Widerstandsbahn ist auf den vorgegebenen Sollwert getrimmt. Die Proportionalität der Eichkurve 20 und der Widerstandskurve 21 einer ungetrimmten Widerstandsbahn ermöglicht auch, eine ungetrimmte Widerstandsbahn als Widerstandsthermometer zu verwenden. Dazu wird zuerst wieder unter Eichbe W dingungen aus dem gemessenen Istwert R der Widerstandsbahn RE auf e und dem vorgegebenen Sollwert e auf der Eichkurve der Proportionalitätsfaktor F bestimmt. Zum weiteren Bestimmen der Temperatur mit der ungetrimmten Widerstandsbahn genügt es dann, den Istwiderstand RW der Bahn zu messen, dann mit x Hilfe des Proportionalitätsfaktors den entsprechenden Sollwiderstand RE auf der Eichkurve zu errechnen und danach auf x der Abszisse des Diagramms den Wert der Temperatur Tx abzu E lesen, der dem errechneten Sollwert Rx entspricht. Bei dem neuen Verfahren wird diese Temperaturmessung mit Hilfe einer nichtgetrimmten Widerstandsbahn genutzt, um die Temperatur dieser und anderer auf der gleichen Trägerplatte angeordneter Widerstandsbahnen bei bzw. vor dem Trimmen zu messen. Fig. 3 zeigt schematisch die Draufsicht auf eine Trägerplatte 25 mit insgesamt 64 Widerstandsbahnen. Die Widerstandsbahnen sind in acht Zeilen 30 bis 37 und acht Spalten 40 bis 47 angeordnet. Zum Trimmen der Widerstandsbahnen wird zuerst der Istwert des Widerstands irgendeiner Widerstandsbahn, z.B. der Bahn 30/47, bei einer Eichtemperatur gemessen. Danach wird mit Hilfe einer Kurve gemäss der Fig. 2 oder einer entsprechenden Tabelle der Sollwert des Widerstands bei dieser Eichtemperatur festgestellt und aus dem Quotienten von Istwert zu Sollwert der Proportionalitätsfaktor bestimmt. Die Trägerplatte kann nach der Bestimmung des Proportionalitätsfaktors gelagert werden. Zum Trimmen wird die Trägerplatte auf einem Trimmtisch befestigt, der mit Hilfe einer numerischen Steuereinrichtung in der Richtung der Zeilen und der Spalten schrittweise verschoben werden kann. Solche Einrichtungen sind jedem Fachmann bekannt, weshalb auf deren Beschreibung hier ausdrücklich verzichtet wird. Die Trägerplatte wird vorzugsweise vorgängig in der Nähe des Trimmtisches gelagert, damit der Temperaturausgleich zwischen Trimmtisch bzw. Trimmraum und Trägerplatte möglichst wenig Zeit beansprucht. Sobald die Temperatur der Trägerplatte stabilisiert ist, wird der Istwert des Widerstands der Widerstandsbahn 30/47 erneut gemessen. Der gemessene Istwert wird dann mit dem vorgängig bestimmten Proportionalitätsfaktor multipliziert. Das Produkt ergibt einen Punkt auf der Eichkurve (Fig. 2), der über der wahren Temperatur der Widerstandsbahn bzw. der Trägerplatte zum Zeitpunkt der zweiten Istwertmessung steht, welche Temperatur im folgenden auch als Trimmtemperatur bezeichnet wird. Anschliessend daran wird der Istwert der ersten zu trimmenden Widerstandsbahn, beispielsweise der Bahn 37/40, gemessen und mit dem Sollwert auf der Eichkurve verglichen, der der vorgängig bestimmten Trimmtemperatur entspricht. Beim anschliessenden Trimmen wird durch das Erstellen einer Trimmbahn 15 (Fig. 1) der Istwert des Widerstands der Widerstandsbahn solange erhöht, bis dieser innerhalb der zulässigen Toleranz im Bereich des Sollwerts liegt. Danach wird erneut die Trimmtemperatur bestimmt und anschliessend der Istwert einer zweiten zu trimmenden Widerstandsbahn, beispielsweise der Bahn auf dem Element 37/4dz gemessen und wie die erste Widerstandsbahn getrimmt. Bei der praktischen Ausführung des neuen Verfahrens wird vorteilhafterweise eine elektronische Mess-/Auswerte- und Steuereinrichtung verwendet, die die Istwerte der Widerstände der auf einer Trägerplatte aufgebrachten Widerstandsbahnen in rascher Folge messen und auswerten kann und die Eingangssignale für die numerische Steuerung der Verschiebung des Arbeitstisches und für die Trimmeinrichtung liefert. Weiter wird ein Kontaktrechen verwendet, der eine Mehrzahl Kontaktfedern aufweist, die gleichzeitig auf die Anschluss flächen mehrerer und vorzugsweise aller' in der gleichen Zeile angeordneten Widerstandsbahnen gedrückt werden. Wie die praktisch Erfahrung gezeigt hat, können die Gena- igkeit der Temperaturbestimmung und der technische Aufwand verringert werden, wenn die gemäss Fig. 3 auf einer Trägerplatte angeordneten Widerstandsbahnen nicht mit Hilfe nur einer gemessenen und als Widerstandsthermometer verwendeten Widerstandsbahn getrimmt werden, sondern wenn in jeder Zeile eine Widerstandsbahn gemessen und als Widerstandsthermometer verwendet wird. Dazu wird, wie schon weiter oben beschrieben wurde, beispielsweise der Istwert des Widerstands der Widerstandsbahn auf dem Element 30/47 im Klimaraum gemessen und dessen Proportionalitätsfaktor F30/47 bestimmt. Vor Beginn des Trimmens werden dann die Istwerte aller Widerstände in der Spalte 47 gemessen und mit Hilfe des Proportionalitätsfaktors F30/47 die Proportionalitätsfaktoren F 31/47 bis F37/47 dieser Widerstandsbahnen bestimmt. Auf diese Weise können mit dem "primären" Widerstandsthermometer auf dem Element 30/47 weitere sekundäre Widerstandsthermometer auf den Elementen 31/47 bis 37/47 erzeugt werden. Es versteht sich, dass irgendeine Widerstandsbahn jeder Zeile als "sekundäres" Widerstandsthermometer verwendet werden kann und die beschriebene Anordnung aller "se"undä- ren" Widerstandsthermometer in der gleichen Spalte nur eine besonders einfache Anwendung ist. Nachmessungen haben gezeigt, dass der Messfehler der "sekundären" Widerstandsthermometer gegenüber dem "primären" Widerstandsthfrmometer maximal einige tausendstel Grad beträgt. Es verstelLt sich auch, dass beim anschliessenden Trimmen der Widers:andsbah- nen in den einzelnen Zeilen die als "sekundäres" W.der- standsthermometer verwendete Widerstandsbahn vort-.ilhaf- terweise zuletzt getrimmt wird. Bei einer bevorzugten Ausführungsform des neuen Verfahrens werden im Eichraum der Istwert des Widerstands :.ür zwei in der gleichen Zeile angeordnete Widerstandsbahne gemessen, und es werden die entsprechenden zwei Proportic-alitätsfaktoren bestimmt. Diese Doppelbestimmung ermösllc t die Kontrolle der vorgängig im Klimaraum gemessenen Viderstands- und Temperaturwerte auf allfällige Messfehler. Fig. 4 zeigt das stark vereinfachte Blockschaltbild einer zur Ausführung des neuen Verfahrens geeigneten Mess-/Auswerte- und Steuervorrichtung. Die Vorrichtung enthält ein Eingabeterminal 60, das mit einem Leitwerk 61 verbunden ist. Dem Leitwerk sind ein Speicher 62 und ein Rechenwerk 63 zugeordnet. Das Leitwerk ist weiter mit einer Einrichtung 65 zur Verschiebung des Arbeitstisches 66 sowie mit einer Laserlichtquelle 67 verbunden. Zur Vorrichtung gehört auch ein Kontaktrechen 70, der zum on-line-Betrieb über eine Leitung 71 mit dem Eingabeterminal 60 verbunden ist. Beim Betrieb dieser Vorrichtung werden vor dem Beginn des Trimmens die Sollwerte der Kurve RE = f(T) für den Nennwiderstand RN der zu trimmenden Widerstandsthermometer in das Eingabeterminal 60 eingegeben und über das Leitwerk 61 in den Speicher 62 eingespeichert. Nach dem Auflegen einer Trägerpiatte mit Widerstandselementen werden die Ortsdaten (z.B. 30/47) der vorgängig ausgemessenen Widerstandsbahn, des gemessenen Widerstandswerts RW und die Eichtemperatur e T e ebenfalls in das Eingangsterminal eingegeben und über das Leitwerk im Speicher gespeichert. Das Leitwerk ruft dann die letzteren Daten wieder ab und gibt sie in das Rechenwerk 63, das den Proportionalitätsfaktor F.errechnet, der dann über das Leitwerk ebenfalls- in den Speicher'einge- speichert wird. Das Leitwerk gibt dann Steuersignale an die Einrichtung 65, die den Arbeitstisch 66 verschiebt, bis die Anschlussflächen der Widerstandsbahn mit den vorgegebenen Ortsdaten von einem definierten Kontaktpaar des Kontaktrechens 70 berührt werden. Das Leltwerk lässt dann den Widerstand dieser Wi W derstandsbahn messen, gibt diesen Istwert Rt und den im Speicher gespeicherten Proportionalitätsfaktor F in das Re- E chenwerk, das über den entsprechenden Widerstandswert Rt den Momentanwert der Temperatur Tt der Widerstandsbahn bzw. des Substrats errechnet. Das Leitwerk bewirkt dann über die numerische Steuereinrichtung eine Verschiebung des Arbeitstisches in der Richtung der Spalten im Muster der Widerstandselemente gemäss Fig. 3 und das Messen des Istwerts von mindestens einer Widerstandsbahn in jeder Zeile, sowie das Berechnen des Proportionalitätsfaktors für jede gemessene Widerstandsbahn. Zum Trimmen der Widerstandsbahnen wird zuerst durch erneutes Messen des Istwerts des Widerstands der Widerstandsbahn, deren Proportionalitätsfaktor vorgängig bestimmt und gespeichert wurde, die Arbeitstemperatur und daraus der Sollwert des zu trimmenden Widerstands bestimmt. Danach wird der Istwert der gleichen Widerstandsbahn gemessen und, wenn dieser kleiner ist als der Sollwert, die Laserlichtquelle eing-eschaltet und der Arbeitstisch zur Ausbildung einer Trimmspur schrittweise verschoben. Wie bereits oben erwähnt wurde, wird nach jedem Schritt, d.h. nach jeder Verlängerung der Trimmspur, der Istwert des Widerstands erneut gemessen und mit dem Sollwert verglichen. Wie bei jedem Iterationsverfahren werden die Verschiebeschritte um so kleiner, je kleiner die Differenz zwischen dem vorgegebenen Sollwert und dem gemessenen Istwert des Widerstands ist. Sobald der Istwert im Bereich der zulässigen Toletanz an den Sollwert angenähert ist, ist der Trimmvorgang beendet. Nach bisherigen Erfahrungen ermöglicht die neue Vorrichtung das Trimmen von Widerständen mit einer Geschwindigkeit im Bereich von etwa 1 sec pro Widerstand, wobei die erreichbare Genauigkeit, beispielsweise für 1,5 kfL-Widerstandsther- mometer, der DIN-Genauigkeit von + 0,1 bis 0,3 C entspricht. Bezeichnungsliste 10 = Substrat 11 = Widerstandsbahn 12, 13 = Anschlussflächen 14 = Bahnteil 15 = Trimmspur 20 = Eichkurve 21 = Widerstandskurve 25 = Trägerplatte 30-37 = Zeilen 40-47 = Spalten 60 = Eingabeterminal 61 = Leitwerk 62 = Speicher 63 = Rechenwerk 65 = numerische Steuereinrichtung 66 = Arbeitstisch 67 = Laserlichtquelle 70 = Kontaktrechen 71 = Leitung

Claims: Patentansprüche 1. Verfahren zum Trimmen mindestens eines temperaturabhängi gen Widerstands, insbesondere für ein Widerstandsthermo meter, wobei eine auf einem Träger aufgebrachte Wider standsbahn auf einen Widerstandswert getrimmt wird, der einem auf einer Eichkurve vorgegebenen Sollwert des Wi derstands bei der Trimmtemperatur entspricht, dadurch gekennzeichnet, dass zum Bestimmen der Trimmtemperatur mittels der ungetrimmten Widerstandsbahn zu einem belie bigen Zeitpunkt vor dem Trimmen ein erster Istwert die ser Widerstandsbahn bei einer Eichtemperatur gemessen und der Proportionalitätsfaktor zwischen diesem ersten Istwert und dem von der Eichkurve für die Eichtemperatur vorgegebenen Sollwert bestimmt wird, und unmittelbar vor Beginn des Trimmens ein zweiter Istwert der Widerstands bahn gemessen und aus dem mit dem Proportionalitätsfak- tor multiplizierten zweiten Istwert ein Widerstandswert auf der Eichkurve definiert wird, dessen zugeordnete Temperatur der Temperatur bei der Messung des zweiten Istwerts entspricht. 2. Verfahren nach Anspruch 1 zum Trimmen mehrerer auf dem gleichen Träger angeordneter Widerstandsbahnen, dadurch gekennzeichnet, dass für mindestens eine ausgewählte un getrimmte Widerstandsbahn der Proportionalitätsfaktor bestimmt wird und unmittelbar vor dem Trimmen jeder Wi derstandsbahn der zweite Istwert der mindestens einen ausgewählten Widerstandsbahn gemessen und daraus die Temperatur bei der zweiten Istwertmessung bestimmt wird und die mindestens eine ausgewählte Widerstandsbahn als letzte der mehreren Widerstandsbahnen getrimmt wird. 3. Verfahren nach Anspruch 2, wobei die Widerstandsbahnen in Zeilen und Spalten auf einer Trägerplatte aufgebracht sind und in einer den Zeilen entsprechenden Aufeinander folge getrimmt werden, dadurch gekennzeichnet, dass für mindestens eine ausgewählte ungetrimmte Widerstandsbahn in einer der Zeilen der Proportionalitätsfaktor bei der Eichtemperatur bestimmt wird und danach für mindestens eine ausgewählte ungetrimmte Widerstandsbahn in jeder der anderen Zeilen ein erster Istwert gemessen und mit tels der von der mindestens einen Widerstandsbahn in der einen Zeile bestimmtenMesstemperatur für jeden dieser mindestens einen ausgewählten Widerstandsbahnen in jeder der anderen Zeilen ein zugeordneter Proportionalitäts faktor bestimmt wird und unmittelbar vor dem Trimmen je der Widerstandsbahn einer Zeile der zweite Istwert der in der gleichen Zeile angeordneten ausgewählten Wider standsbahn gemessen und mittels dem zugeordneten Propor tionalitätsfaktor die Temperatur bei der zweiten Ist wertmessung bestimmt wird und die Widerstandsbahnen nacheinander getrimmt werden und die ausgewählte Wider standsbahn als letzte der Widerstandsbahnen der Zeile getrimmt wird. 4. Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein elektronisches Leitwerk (61), dem ein Dateneingabegerät (60) zum Eingeben der Sollwerte der Eichkurve (Fig. 2), des ersten Istwerts des wi- derstands der einen Widerstandsbahn sowie der Eichtemperatur, einen Speicher (62) zum Speichern der vorgenannten Daten und ein Rechenwerk (63) zum Errechnen des Pro portionalittsfaktors aus diesen Daten zugeordnet sind, sowie eine Einrichtung (65) zur numerischen Steuerung der Verschiebung eines Arbeitstisches (66) und eine Einrichtung (67) zum Trimmen von mindestens einer auf dem Arbeitstisch angeordneten Widerstandsbahn gemäss den Ausgangssignalen des Leitwerks, und durch einen Elektrodenrechen (70) zum Anlegen an die Anschlussflächen (12, 13) mindestens einer Widerstandsbahn (11), welcher Elektrodenrechen zum Eingeben des Istwerts des Widerstands der mindestens einen Widerstandsbahn und Errechnen des Momentanwerts der Temperatur sowie zum Steuern des Trimmens mit dem Dateneingabegerät verbunden ist.

Inventors: BERNER, GIANNI, DR., BURKARD, HANS, DR., SCHWERI, LEO, DIPL.-PHYS.
Applicants: BBC AKTIENGESELLSCHAFT BROWN, BOVERI & CIE.
Application year: 1979
Main classification: H01C17
IPC codes: H01C17, G01K15