METHOD OF MAKING A PIEZOELECTRIC TRANSDUCER

Abstract: 1. Method for the manufacture of a piezoelectric transducer element, particularly for incorporation in pressure, force or acceleration detectors, consisting of a securing part and at least one annular shear element of piezoelectric material with an open longitudinal slot shrunk-fitted on to the securing part by means of an outer surrounding shrink-ring, characterized in that the annular shear element is first assembled on the securing part by means of a likewise slotted setting-up ring encircling the shear element and is than firmly shrunk on to the securing part in known manner by the cooling of the heated shrink-ring positioned externally around the setting-up ring, whereby the setting-up ring prevents overheating of the annular shear element during the shrinking process.

Description: Piezoelektrisches Wandlerelement und Verfahren zu seiner Herstellung Die Erfindung betrifft ein piezoelektrisches Wandlerelement mit einem Befestigungsteil und wenigstens einem durch einen aussen umgreifenden Klemmring am Befestigungsteil gehaltenen Ringscherelement aus piezoelektrisch ansprechendem Material, sowie ein Verfahren zu seiner herstellung. In der Messtechnik werden Messwertaufnehmer mit piezoelektrischen Wandlerelementen zur Erfassung von mechanischen Grössen, wic Schwingungen, Kräften und Drücken, seit Jahrzehnten erfolgreich eingesetzt. Die Wandlerelemente sind dabei in vollständig abgeschlossenen Beschleunigungs-, Schwingungs-, Kraft- und Druckaufnehmergehäusen eingebaut, die mit entsprechenden Befestigungsteilen, Krafteinleitungsflächen und Druckbeaufschlagungsmembranen versehen sind sowie Anschlüsse zur Abnahme des Messignales aufweisen Je nach Verwendungszweck können sie daher ganz verschiedene äussere Formen haben. Von Bedeutung ist aber, dass das Wandlerelement in allen Fällen die Aufgabe hat, eine mechanische Kraft in ein proportionales elektrisches Signal umzusetzen. Dabei wurden insbesondere für die Beschleunigungs- und Schwingungsmessung schon Wandler eingesetzt, die nach dem Schub- oder Scherprinzip arbeiten. Versuche, ein Einheitswandlerelement zu schaffen, das sich zum Einbau in sämtliche vorgenannten Messwertaufnehmer zur Erfassunq unterschiedlicher mechanischer Grössen verwenden lässt, sind bislang jedoch gescheitert. Insbesondere ist kein universelles Piezowandlerelement bekannt geworden, das sich leicht in Serien herstellen lässt und für alle erwähnten Bauarten von Messwertaufnehmern ohne grosse Anpassungsarbeiten verwendbar ist. So wird in der DE-OS 28 17 981 ein Beschleunigungsaufnehmer mit drei auf Scherung beanspruchten rechteckförmigen Piezoplatten beschrieben, die über drei genau abgestimmte Segmentplatten mittels eines Federringes auf einem dreieckförmig bearbeiteten Befestigungsteil aufgeklemmt sind. Diese Konstruktion ist äusserst aufwendig, sowohl in der Herstellung der Teile wie auch in deren Montage. Aber auch das in der genannten Druckschrift weiter beschriebene Herstellungsverfahren bringt keine wesentliche Vereinfachung, da das hierfür notwendige Anbringen von hochpräzisen Schlitzen in einer Vorform des Befestigungsteils für die Aufnahme der Piezoplatten mit komplizierten Säge- und/oder Fräsarbeiten verbunden ist und in der Praxis mit der gewünschten Genauigkeit in der Regel nicht gelingt. Zudem bedingt das Verfahren, dass das Befestigungsteil und die daraus entwickelten Klemmsegmente notwendigerweise aus dem gleichen Material bestehen, was insbesondere für piezoelektrische Beschleun1- gungsaufnehmer nachteilig ist, da die Klemmseg#mente vorteilhafterweise aus einem Schwermetall gebildet sein sollten. Eine weitere Anordnung eines auf Scherung beanspruchten piezoelektrischen Wandlerelementes für die Beschleunigungsmessung wird in der DE-OS 27 00 342 beschrieben. Hier wird ein keramisches Piezoelement in Form eines konischen Ringes mittels einer Axialschraube und eines Klemmkonus auf einen konischen Zapfen aufgeklemmt. Durch die zweidimensionale Verklemmung des keramischen Piezoelementes wird dessen Funktion jedoch erheblich beeinträchtigt, was sich in einer übermässigen Unlinearität und stark vergrösserten Hysterese auswirkt. Für genaue phasentreue Beschleunigungsund Schwingungsmessungen können solche Aufnehmer daher nicht eingesetzt werden. Wie in der vorgenannten Druckschrift weiter ausgeführt, sind Beschleunigungsmessaufnehmer mit piezoelektrischen keramischen Scherelementen auf dem Markt, die mittels einer Klebung oder Weichlötung an einem Befestigungsteil gehalten sind und auf denen ein Massekörper vorzugsweise aus Schwermetall mittels der gleichen Befestigungsart montiert ist. Solche leitfähigen Kitt- oder Lötverbindungen können bekanntlich nur für begrenzte Temperaturbereiche und für begrenzte mechanische Beanspruchungen verwendet werden, so dass derart aufgebaute Messaufnehmer in ihrer Anwendungsvielfalt stark eingeschränkt sind. Zudem erzeugen solche teilweise elastische Kitt- oder Lötzwischenschichten vermehrt Hysterese und Unlinearität, was in der Messtechnik höchst unerwünscht ist. Die aufgezeigten bekannten Lösungsvorschläge sind deshalb nicht geeignet, ein universell verwendbares Wandlerelement vorzusehen, das in weiten Beanspruchungs- und Temperaturbereichen genaue und zuverlässige Messungen ermöglicht. Demgegenüber liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein universell verwendbares Wandlerelement sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung zu schaffen, das auf dem piezoelektrischen Scherprinzip basiert und sich in wirtschaftlicher Weise mit hoher Präzision in Serie fertigen lässt sowie in Messwertaufnehmern zur Erfassung unterschiedlicher mechanischer Grössen in weiten Temperatur- und Beanspruchungsbereichen eingebaut werden kann, wobei in allen Fällen optimale Ergebnisse bezüglich der geforderten Spezifikation erzielbar sind. Bezüglich der Lösung dieser Aufgabe wird auf die Patentansprüche verwiesen. Das erfindungsgemässe Wandlerelement verwendet somit ein ringförmiges Scherelement, gebildet aus einem Hohlzylinder aus piezoelektrischem Einkristall- oder Keramikmaterial, der in Längsrichtung mit wenigstens einem offenen Schlitz versehen ist. Die Bearbeitung des Innen- und Aussendurchmessers des Ringscherelementes geschieht vorzugsweise am starren Hohlzylinder vor dem Anbringen des Längsschlitzes. Anschliessend wird das Element in der Tiefe seiner Wanddicke in Längsrichtung geschlitzt und erhält so in radialer Richtung eine gewisse Elastizität. Der Innendurchmesser des Ringscherelementes sowie der Aussendurchmesser eines das Element aufnehmenden Befestigungsteils haben solche Toleranzen, dass sich das Ringscherelement mit einem leichten Haftsitz auf das Befestigungsteil aufschieben lässt. Anschliessend wird ein Klemm- oder Schrumpfring nach bekannten Methode der Schrumpftechnik auf das piezoelektrische Ringscherelement aufgesetzt, so dass sich nach Abkühlung des Schrumpfringes im Piezoelement ein nahezu eindimensionaler Radialspannungszustand einstellt. Durch optimale Gestaltung von Ringscherelement Schrumpfring und Befestigungsteil bezüglich der MateriaLwahl und Dimensionierung können sehr hohe Schubkräfte auch bei hohen Temperaturen übertragen werden. Der eindimensionale homogene Spannungszustand im Ringscherelement gew#ährleistet eine lineare,hysteresefreie und symmetrische Kraftumsetzung in beiden Axialrichtungen und verhindert, dass infolge inhomogener Spannungsverteilung eine Depolarisation der Kristallstruktur eintritt. Das so gebildete Wandlerelement kann somit nicht nur serienmässig mit der gewünschten Präzision ohne Schwierigkeiten hergestellt werden, sondern lässt sich auch leicht an die betreffenden Anforderungen unterschiedlicher Messwertaufnehmer, wie nachfolgend näher aufgezeichnet, anpassen. Durch die Erfindung wird daher im Gegensatz zu den bekannten Lösungen erstmals ein piezoelektrisches Wandlerelement bereitgestellt, das eine universelle Verwendbarkeit sowohl hinsichtlich der Temperaturund Beanspruchungsbereiche als auch der Erfassung von Beschleunigungs-, Schwingungs-, Kraft- und Druckwerten besitzt. Ausführungsformen der Erfindung werden anhand der Zeichnung nachfolgend näher erläutert. Es zeigen: Fig. 1 einen Längsschnitt durch ein erfindungsgemäss aufgebautes piezoelektrisches Wandlerelement, Fig. 2 einen Schnitt längs der Schnittlinie 2-2 in Fig. 1, Fig. 3 zum Vergleich eine geschnittene Ansicht von einem hypothetischen Wandlerelement ohne die erfindungsgemässen Merkmale, Fig. 4 eine längsgeschnittene Ansicht von einem Druck aufnehmer zur Messung von Drücken in gasförmigen und flüssigen Medien mit einem piezoelektrischen Wandlerelement nach der Erfindung, Fig. 5 eine längsgeschnittene Ansicht von einem Kraftaufnehmer zur Messung mechanischer Kräfte mit einem piezoelektrischen Wandler element nach der Erfindung, Fig. 6 eine längsgeschnittene Ansicht von einem Be schleunigungsaufnehmer mit einem piezoelektri schen Wandlerelement nach der Erfindung, Fig. 7 eine Modifikation des Beschleunigungsauf nehmers nach Fig. 6 durch Vorsehen einer Grund isolation zwischen Wandlerelement und Auf nehmergehäuse, Fig. 8 eine weitere Ausführungsform von einem erfin dungsgemäss aufgebauten piezoelektrischen Wand lerelement im Längsschnitt, Fig. 9 einen Schnitt längs der Schnittlinie 9-9 in Fig. 8, Fig. 10 eine perspektivische Ansicht von zwei zusammen gekitteten Einkristallplatten zur Herstellung eines Ringscherelementes für ein Wandlerelement nach der Erfindung, Fig. 11 eine längsgeschnittene Ansicht von einer wei teren Ausführungsform eines erfindungsgemäss aufgebauten Wandlerelementes mit einer Vielzahl von konzentrisch zueinander liegenden Ringscher elementen zur Erhöhung der Empfindlichkeit, Fig. 12 in Längsschnitt ein erfindungsgemäss aufge bautes Wandlerelement für einen Beschleuni gungsaufnehmer mit einer auf einem Kalibrier prüfstand direkt justierbaren Zusatzmasse, Fig. 13 eine teilweise weggebrochene perspektivische Ansicht von einem Beschleunigungsaufnehmer mit einem piezoelektrischen Wandlerelement nach der Erfindung. Nach Fig. 1 besteht das erfindungsgemässe Wandlerelement aus einem allgemein mit 1 bezeichneten Befestigungsteil, das einen Passkolben 2 und einen daran koaxial angeformten rohrförmigen Ansatz 3 umfasst. Vorzugsweise ist der Durchmesser des Passkolbens 2 grösser als der Durchmesser des rohrförmigen Ansatzes 3, wobei der Ubergang zwischen den beiden Abschnitten um einen Radius R ausgerundet ist. Ein Ringscherelement 4, das aus einer handelsüblichen Piezokeramik bestehen kann, ist in seiner Längsachse, wie mit Pfeilen angedeutet, polarisiert und weist einen Längsschlitz S auf, vgl. auch Fig. 2. Das Ringscherelement 4 wird mittels Haftsitz auf dem rohrförmigen Ansatz 3 aufgebracht, wonach die vormontierte Einheit, bestehend aus Befestigungsteil 1 und Ringscherelement 4, mit bekannten Mitteln abgekühlt wird. Danach wird ein Schrumpfring 5 mit einem an seinem einen Endbereich angeformten nach aussen weisenden Ringflansch 6 auf eine geeignete Temperatur erhitzt und auf das vormontierte Ringscherelement 4 aufgeschoben. Nach Abkühlung des Schrumpfringes 5 entsteht eine festmontierte Einheit mit eindimensionaler radial gerichteter hoher Verspannung, die durch Reibung grosse Schubkräfte übertragen kann. Das so gebildete Wandlerelement lässt sich, wie nachfolgend näher erläutert wird, in Messwertaufnehmer für verschiedene Erfassungszwecke einsetzen. Fig. 2 zeigt das Wandlerelement nach Fig. 1 im Schnitt, wobei insbesondere der Längsschlitz S im Ringscherelement 4 deutlich erkennbar ist. Durch diesen Längsschlitz S ist das Ringscherelement radial voll elastisch und entsteht durch den Schrumpfvorgang in ihm ein eindeutig nur radial gerichteter Spannungszustand, wie dies am Beispiel eines Elementarteilchens in Fig. 2 dargestellt ist. Der vom Schrumpfring 5 auf das Ringscherelement 4 übertragenen Radialspannung drl entspricht eine Radialspannung dr2 entgegengesetzt gleicher Grösse, die vom rohrförmigen Ansatz 3 aus ein wirkt, so dass gr1 = dr2 ist. Es ergibt sich somit eine im wesentlichen gleichmässige Radialspannungsverteilung über den gesamten Querschnitt des hohlzylinderförmigen Ringscherelementes 4. Bei Temperaturänderungen ändert sich infolge der unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten der verwendeten Materialien nur der Betrag der Radialspannung. Die homogene Spannungsverteilung im Ringscherelement bleibt jedoch voll erhalten, was für die piezoelektrische Verhaltensweise der Piezomaterialien von besonderer Bedeutung ist, da sich bei inhomogener Spannungsverteilung die Polarisation ändert und damit die Signal grösse beeinflusst wird. Fig. 3 stellt dagegen eine hypothetische Anordnung dar, die in der Praxis nicht vorkommt, da sie zu einer völlig unzuverlässigen Schubkraftübertragung, verbunden mit einem hohen Aufwand an Herstellungspräzision führen würde. Die gezeigte Anordnung mit einem starren Ringscherelement 4 ohne Schlitz, das mit einem Schrumpfring 5 an dem Ansatzstück 3 befestigt wurde, ist aus den genannten Gründen nicht in Erwägung gezogen worden. Man hat sich über die Schwierigkeiten der ungleichmässigen Spannungsübertragung und Spannungsverteilung, wie schon erwähnt, damit hinweggeholfen, dass man das Ringscherelement 4 mit einem leitfähigen Kitt oder Lot 19 am Ansatzstück 3 ebenso wie am Schrumpfring 5 angeklebt hatte. Dies ergibt bei Temperaturänderungen inhomogene Spannungsverteilungen infolge der verschiedenen Ausdehnungskoeffizienten. Im spaltlosen ungekitteten Zustand entsteht infolge der Radialspannung ir und Tangentialspannung dt ein zweiachsiger Spannungszustand im Ringscherelement 4, der sich je nach Temperatur über den Querschnitt des Ringscherelementes sehr ungleichmässig verteilt. So kann die Radialspannung Sr2 seitens des rohrförmigen Ansatzes 3 ein Bruchteil der Radialspannung drl seitens des Schrumpfringes 5 ausmachen mit der Konsequenz, dass sich das Ringscherelement bei Beanspruchung verschiebt oder lose wird. Sowohl der zweiachsige Spannungszustand wie auch die Inhomogenität der Spannungsverteilung führen insbesondere bei Temperaturänderungen zu Depolarisationszonen und damit zu einer Änderung der Piezokonstanten. Diese Schwierigkeiten treten dagegen beim erfindungsgemäss aufgebauten Wandlerelement nach Fig. 1 und 2 nicht auf. Die Elastizität des rohrförmigen Ansatzes 3 und des Schrumpfringes 5 sind beim Wandlerelement nach der Erfindung so aufeinander abgestimmt, dass je nach den physikalischen Eigenschaften der verwendeten Materialien an den drei in Verbindung miteinander stehenden Teile genügend grosse Radialkräfte über den gesamten Einsatz temperaturbereich des Wandlerelementes für die Kraftübertragung anliegen. Die Wandstärke W des rohrförmigen Ansatzes 3 ist von besonderer Bedeutung für die Optimierung der Radialspannungsverhältnisse und daher den gewünschten Anforderungen entsprechend zu bemessen. Wesentlich ist auch, dass die Tiefe der Innenbohrung im rohrförmigen Ansatz 3 wenigstens gleich der axialen Länge des Ringscherelementes 4 gewählt wird. Fig. 4 zeigt ein erfindungsgemäss aufgebautes Wandlerelement, ausgesildet als Druckaufnehmer zur Messung der dynamischen Drücke in gasförmigen oder flüssigen Medien. Das, wie in Verbindung mit Fig. 1 und 2 beschrieben, montierte Wandlerelement ist hier mit seinem Schrumpfring 5 in ein Gehäuse 7 mit einer angepassten Innenbohrung eingesetzt und wird dort über einen auf dem Ringflansch 6 des Schrumpfringes 5 auf liegenden Gewindering 8 gehalten. Der Gewindering ist dabei in eine Gewindebohrung im Gehäuse 7 eingeschraubt. Der Passkolben 2 hat hier in Längsrichtung des Wandlerelementes eine verkürzte Ausbildung und überträgt über einen untergelegten Isolator 11 die auf eine Membran 10 einwirkende Druckraft p, wobei die Membran 10 das untere Ende der Gehäusebohrung, wie dargestellt, überspannt. Eine Elektrode 9 im Inneren der Bohrung im rohrförmigen Ansatz 3 nimmt die auftretende Ladung ab und führt sie zu einem nicht gezeigten Stecker. Fig. 5 zeigt das erfindungsgemässe Wandlerelement, ausqebildet als Kraftaufnehmer. Der Ringflansch 6 am Schrumpfring 5 weist in der gezeigten Arbeitsstellung des Aufnehmers nach unten und ist unter Zwischenlage von Isolierschicht 12 und 13 durch eine in einer Gewindebohrung im Aufnehmergehäuse 17 eingeschraubte Druckplatte 14, wie dargestellt, fest verankert. Die Einleitung der Kraft P erfolgt hier über die obere freiliegende Fläche 15 des in Längsrichtung des Wandlerelementes verkürzten Passkolbens 2, der, wie dargestellt, hier nach oben weist. Am unteren Ende des Aufnehmergehäuses 17 ist ein nicht näher bezeichneter Ringflansch mit Bohrungen vorgesehen, durch die Schrauben zur Befestigung des Aufnehmers an einer Unterlage hindurchgeführt werden können. Um auch Zugkräfte erfassen zu können, kann der Passkolben 2, wie gezeigt, weiter in seiner freiliegenden oberen Fläche 15 eine Gewindebohrung 16 aufweisen, in die ein Zug übertragungsglied eingeschraubt werden kann. Wie weiter dargestellt, ist zwischen Passkolben 2 und einem benachbarten Abschnitt des Gehäuses 17 ein nicht näher bezeichneter Dichtungsring eingelegt, der ein Eindringen von Verunreinigungen in das Gehäuseinnere verhindert. Fig. 6 zeigt das erfindungsgemässe Wandlerelement, atsgebil- det als Beschleunigungsaufnehmer. Der Passkolben 2 des Wandlerelementes ist hier in einem Aufnehmergehäuse 20 eingepresst oder eingeschrumpft. Eine Elektrode 21 nimmt die Ladung direkt vom Schrumpfring 5 ab und leitet sie zu einem im Gehäuse 20 gehaltenen Stecker 23. Die Anordnung ist mit einer Abdeckhaube 22 nach oben hin dicht abgeschlOtseAttHh Falle des Einbaues des Wandlerelementes in Beschleunigungsaufnehmer kann der Schrumpfring 5 aus einem relativ dünnen Stahlreifen bestehen, insbesondere wenn das Ringscherelement aus einer piezokeramischen Masse gebildet ist, die von Natur her ein hohes spezifisches Gewicht von über 8 hat. In Fällen, wo ein Schrumpfring 5 von hoher Elastizitat vorgesehen wird, kann das Befestigungsteil auch ohne die gezeigte Innenbohrung ausgeführt sein, insbesondere wenn die Signalabnahme über einen Impedanzwandler erfolgt, wie dies in Verbindung mit Fig. 12 erläutert wird. Fig. 7 zeigt eine Variante der Aufnehmerkonstruktion nach Fig. 6 mit einer Grundisolation. Der Passkolben 2 des Wandlerelementes ist hier mit einer Isolierschicht 30 aussen versehen und wird darauf in das Aufnehmergehäuse 31 eingepresst oder eingeschrumpft. Der Stecker 32 weist ebenfalls eine Isolierschicht an seinen in das Gehäuse 31 eingreifenden Oberflächen auf und ist ebenfalls in dem Aufnehmergehäuse 31 eingepresst. Als Isolierschichten eignen sich flamm- oder plasmagespritzte A1203 oder MgO-Beschichtungen. Die aufgetragenen Isolierschichten werden anschliessend überschliffen. Damit ergeben sich durch Einschrumpfen oder Einpressen einwandfrei isolierende Verbindungen höchster Festigkeit. Solche Verbindungen sind ferner dicht. Das durch die Schicht 33 isolierte Steckergehäuse 32 ist mit dem ausgebohrten Passkolben 2 und der Leiter 34 im Stecker mit dem Schrumpfring 5, wie dargestellt, elektrisch verbunden. Damit ist das Wand lerelement elektrisch vom Aufnehmergehäuse 31 getrennt. Zur Vergrösserung der Signalabgabe kann der Schrumpfring 5 aus Schwermetall bestehen. Damit ergibt sich die Notwendigkeit, das Ansatzstück rohrförmig auszubilden, wobei dessen Wandstärke, wie vorerwähnt, sorgfältig optimiert werden muss Fig. 8 zeigt ein erfindungsgemässes Wandlerelement entsprechend einer modifizierten Ausführungsform, bei dem das Ringscherelement aus einem piezoelektrischen Einkristall material besteht. ALs piezoelektrische Einkristallmaterialien eignen sich Quarz, Turmalin, Lithium Niobat, Tantal Niobat und andere Einkristalle. Die bekannten piezokeramischen Materialien, wie Blei Metaniobat oder Blei Zirkonat-Titanat etc. haben gegenüber den vorgenannten Einkristallmaterialien in Temperaturbereichen über 3000C den Nachteil, dass sie ihre Empfindlichkeit und Eigen isolation verlieren -sowie die Hysterese zunimmt, wodurch ihre Verwendung nur noch in speziellen Hochfrequenzanwendungen ohne Genauig-keitsansprüch.en mög-lich ist. Insbesondere, wenn die keramischen Wandlerälemente in Druck- oder Kraftaufnehmem eingebaut werden sollen , ist eine zuverlässige Kalibrierung der Aufnehmer in höheren Temperaturbereichen praktisch unmöglich. Für solche Anwendungsfälle #sind Einkristallmaterialien daher besser geeignet als piezokeramische. Infolge der kristallinen Struktur und der bereits in der Materie einheitlich bestimmten Kristallachsen entfällt weiter eine künstliche Polarisierung.Dagegen ergibt sich die Notwendigkeit, das Ringscherelement aus einem oder mehreren Kristallblöcken,¯die zusammengeleimt oder auf andere Weise miteinander verbunden sind, herauszuarbeiten, was anhand von Fig. 10. noch näher erläutert werden soll. Das einstückige zusammengeleimte Ringscherelement 4 in Fig, 8 weist wiederum einen offenen durchgehenden Längsschlitz 5auf, vgl. auch Fig. 9, und wird auf den rohrförmigen-Ansatz 3 am Passkolben aufgeschoben. Danach wird nach der beschriebenen Methode eine Temperaturdifferenz von etwa 2OQ-0c ¯zwischen Ansatz 3 und Schrumpfring 5 vorgesehen, wobei sich letzterer mittels einer speziellen Vorrichtung direkt auf das Ringscherelement 4 aufschieben lässt. Es hat sich gezeigt, dass insbesondere spröde Einkristalle beim Temperaturausgleichsprozess, der sofort anschliessend erfolgt, Risse bildenkönnen, die# jedoch auf die Funktion des Wandlerelementes keinen Ein fluss haben, da sie sich im Betrieb nicht weiter fortpflanzen. Wenn die Aufnehmer aber nicht einwandfrei hermetisch abgeschlossen sind, können die Risse zu Isoiationsschwierigkeiten führen. Eine wesentliche Verbesserung dieser Situation wird durch Vorsehen eines ebenfalls geschlitzten Montageringes oder Teiles 40 erzielt, das einstückig an einer Montagezange 41 ausgebildet ist. Der Montagering 40 klemmt, wie in Fig. 8 gezeigt, das Ringscherelement 4 auf den rohrförmigen Ansatz 3, wonach der erwähnte Schrumpfring 5 aussen auf den Montagering 40 aufgeschoben wird. Der Temperaturausgleich erfolgt nun über den geschlitzten Montagering 40, der als Temperaturschockdämpfer wirkt und nach dem Aufschrumpfvorgang mechanisch von der Montagestange 41 abgetrennt wird, so dass er im Wandlerelement anschliessend verbleibt. Fig. 9 zeigt das Wandlerelement nach Fig. 8 in geschnittener Ansicht. Das Ringscherelement 4 stellt hier ein Stück aus vier Kreissegmenten dar, die an drei Kittstellen 43, 44, 45 miteinander verbunden sind, während an einer vierten Stelle die Verbindung nicht besteht,sonderndwseden Längsschlitz S bildet. Der in dem Montagering 40 vorgesehene Längsschlitz 46 liegt dabei ausgerichtet zu dem Längsschlitz S im Ringscherelement. Es versteht sich jedoch, dass anstelle des vierteiligen Ringscherelementes auch ein zwei- oder mehrteiliges Kristallstück verwendet werden kann. Fig. 10 zeigt als Beispiel ein zweiteiliges zusammengekittetes Ringscherelement mit Einkristallstruktur, bestehend aus halbschalenförmigen Kristallsegmenten 47, 48 mit den dazu gehörigen Kristallachsen und einer Kittstelle 49 für das Beispiel Turmalin. Auf die Achsorientierung, die jedem Kristallphysiker bekannt ist, soll hier nicht näher eingegangen werden. Von Bedeutung ist lediglich, dass bei Scherbeanspruchung in einer Richtung beide Kristallsegmente auf ihrer Innenfläche dieselbe Ladungspolarität aufweisen. Vom Standpunkt der Signaigrösse ist es aber vorteilhafter, ein vierteiliges Ringscherelement gemäss Fig.- 9 vorzusehen, da nur ein Teil des Kristallmaterials der halbschalenförmigen Kristallsegmente 47, 48 sich am Schereffekt infolge der orthogonal gerichteten Kristallachsen beteiligt. Obschon das vierteilige Kristallelement teuerer ist, wird es daher normalerweise Anwendung finden. Die Herausarbeitung solcher Elemente kann z.B. aus vier zusammengeleimten entsprechend orientierten Kristallstücken erfolgen, was jedoch nicht weiter gezeigt werden soll, da es jedem Fachmann bekannt ist. Nach Fertigbearbeitung wird eine der Kittstellen mit einem handelsüblichen Lösungsmittel weggelöst, womit-wiederum ein einstückiges Ringscherelement mit Längsschlitz und daher der gewünschten radialen Elastizität entsteht. Nach Fertigmontage kann es in vielen Fällen vorteilhaft sein, auch die für die Montage sehr praktischen übrigen Kittstellen wegzulösen. Die Grösse der Kittstellen ist für die Erfindung-nicht von Bedeutung. Fig. 11 zeigt eine Ausführungsform eines Wandlerelementes mit einer Vielzahl von piezoelektrischen Ringscherelementen Die hier verwendeten drei Ringscherelemente 52, 53, 54 liegen konzentrisch zueinander und sind wiederum je mit einem Längss.chlitz versehen. Die Ringscherelemente werden eines nach dem anderen elastisch über den rohrförmigen Ansatz 3' des Befestigungsteils geschoben. Zwischen dem inneren Ringscherelement 54 und dem äusseren Ringscherelement 52 und der¯be- treffenden Oberfläche des innenliegenden Scherelementes 53 sind dünne Elektroden 55 bzw. 56 aus Metallfolie eingelegt. Nach Aufbringen des Schrumpfringes 5 werden die gleichpoligen Elektroden 55, 56 durch entsprechende ,Elektrodenverbindungen 57 mit Partien von Schrumpfring 5 bzw. Ansatz 3 verbunden, Hierauf kann die gebildete Summenladung über eine Signalleitung 58 einem Stecker 59 zugeführt werden, der in- dem hier blockartig ausgebildeten Passkolben 2, 50 eingesetzt ist. Der Passkolben 2 des Wandlerelementes ist hier also in dessen Längsrichtung vergrössert und einstückig mit dem Aufnehmerblock 50 ausgeführt. Zur Befestigung des Beschleunigungsaufnehmer an einer Unterlage dient eine Gewindebohrung 51 im freien Ende von Passkolben 2 bzw. Block 50. Es versteht sich, dass die vorbeschriebene Anordnung aus mehreren Ringscherelementen auch für Druck- und Kraftaufnehmer verwendet werden kann. Durch jedes Ringscherelement wird die Signalladungsabgabe entsprechend vergrössert, und zwar unabhängig von der Elementenwanddicke. Bei einer ungeraden Anzahl von Ringelementen kann die Gesamtladung am einfachsten vom Schrumpfring 5 abgenommen werden. Aus diesem Grund werden Anordnungen mit 1, 3 oder 5 Ringscherelementen bevorzugt. In Fig. 12 ist ein erfindungsgemässes Wandlerelement als Beschleunigungsaufnehmer ausgebildet. Die positive und negative Signalableitung erfolgt hier direkt vom rohrförmigen Ansatz 3 und Schrumpfring 5 vermittels einer auf die freie Stirnfläche des Ansatzes 3 aufgekitteten Printplatte 61. An der Unterseite der Printplatte 61 im Inneren des rohrförmigen Ansatzes 3 ist ein handelsüblicher Impedanzwandler 62 angeordnet, von dem eine Signalleitung 66 zu einem Anschlusstecker führt. An der Oberseite de Printplatte 61 ist innerhalb des nach, ölen verlängerten Schrumpfringes 5 eine zusätzliche Schwermasse 63 für Justierzwecke eingegossen, vgl. rechte Hälfte von Fig. 12. Die Justiermasse kann aus einer Mischung von Kunstharzkleber und Schwermetallpulver bestehen und hat vorzugsweise ein spezifisches Gewicht von #-14. Die Justierung des Aufnehmers auf die qewünschte Empfindlichkeit erfolgt durch Ausbohren dieser Zusatzmasse mit einem passenden Bohrwerkzeug 65 direkt auf einem Schwingtisch 60 bis zu einer in Fig.12 bei 64 angedeuteten Tiefe t. Es lässt sich somit eine sehr genaue und rationelle Justierung der Aufnehmerempfindlichkeit erzielen. Als Variante kann auch, wie in Fig. 12 in der linken Bild-hälfte wiedergegeben, ein Schwerring 67, i.B. aus Schwermetall,am Schrumpfring 5 befestigt oder angelötet sein, der ebenfalls als Justiermasse dient und entsprechend schrittweise bis zur gewünschten Tiefe t ausgebohrt wird. Von Bedeutung ist, dass dieser Justiervorgang am fertigmontierten Beschleunigungsaufnehmer durchgeführt werden kann und danach nur noch ein nicht gezeigter Abschlussdeckel über die Anordnung gestülpt werden braucht Fig. 13 zeigt eine weitere modifizierte Ausführungsform von einem Beschleunigungsaufnehmer mit einem piezoelektrischen Wandlerelement nach der Erfindung, das wie bei der Ausführung nach Fig. -1 ein piezoelektrisches mit einem Längsschlitz S versehenes Scherelement 4 aufweist. Das Scherelement 4 sitzt auf dem steifen zentralen Ansatz 3, der integral am Passkolben 2 angeformt ist. Das-Scherelement 4, das gleichzeitig, z.B. durch Wahl einer geeigneten Piezokeramik, die seismische Masse der Anordnung bildet, wird mittels des aufgeschrumpften Klemmringes 5 gegen den Ansatz 3 verspannt, so dass in ihm ein über seinen gesamten Querschnitt im wesentlichen gleichförmiger Radialspannungszustand vorherrscht. Eine Elektrode 21 nimmt die Ladung direkt vom Klemm- oder Schrumpfring 5 ab und führt sie einem Verstärker 72 mit niedriger Impedanz zu, der auf das Wandlerelement aufgesetzt sein kann. Wie dargestellt, steht der Ausgang des Verstärkers 72 über eine Signalleitung 73 in Verbindung mit einem Stecker 23 Der Passkolben 2 ist in geeigneter Weise, z.B. durch Einschrumpfen oder Einpressen, im Aufnehmergehäuse 71 befestigt. Nach aussen wir die Anordnung durch eine Haube 22 abgedeckt. Der piezoelektrische Beschleunigungsaufnehmer nach Fig. 13 zeichnet sich ¯ebenso wie die anderen vorbeschriebenen Aufnehmer nach der Erfindung durch einen besonders einfachen Aufbau verbunden mit langer Lebensdauer aus. Der, Teil der Aufnehmeranordnung darstellende Verstärker 72 bietet zusätzliche Vorteile. Es versteht sich , dass ein Verstärker mit niedriger Impedanz oder eine vergleichbare Einrichtung, wenn erwünscht, auch bei den anderen Ausführungsformen der Erfindung vorgesehen werden kann. Das beschriebene piezoelektrische Wandlerelement eröffnet somit neue wirtschaftliche Möglichkeiten, hochwertige Messaufnehmer zur Erfassung mechanischer Grössen, wie Beschleunigung, Druck und Kraft, bereitzustellen. Das standardisierte Wandlerelement kann infolge Verwendung eines Ringscherelementes durch einfache Schleifarbeiten sehr genau und billig bearbeitet werden, worauf der Längsschlitz eingebracht wird, was eine einfache Montage ermöglicht. Im montierten Zustand entsteht damit ein eindeutig definierter einachsiger Radialspannungszustand, wie er vom Gesichtspunkt der Kristallstruktur der Piezomaterie erwünscht ist. Der Schrumpfring 5 kann gleichzeitig als Schwermasse ausgebildet sein, doch ist es auch ohne weiteres möglich, am Schrumpfring 5 aussen eine Zusatzmasse 18, vgl. Fig. 1, anzubringen. Auch kann der Schrumpfring 5 aus Stahl oder einer anderen geeigneten Schwermetallegierung bestehen. Gewöhnlich wird das Ringscherelement 4 aus einer handels üblichen Piezokeramik mit einer Polarisierung parallel zur Achse des Befestigungsteils 1 gefertigt. Für Temperaturen über 3000C werden dagegen bevorzugt Ringscherelemente 4 aus zwei oder mehreren Einkristallsegmenten achsorientiert zusammengekittet, wobei nach dem Schleifen eine Kittstelle zur Bildung des Längsschlitzes weggelöst wird. Damit wird auch bei solchen Ringscherelementen nach der Montage der gewünschte einachsige Radialspannungszustand erhalten. Zur Steigerung der Empfindlichkeit können mehrere Ringscherelemente unter Zwischenlage von Metallfolien 55, 56 als Elektroden konzentrisch übereinander geschoben werden, Das in grossen Serien gefertigte Wandlerelement- nach der Erfindung lässt sich durch geringfügige Anpassungsarbeiten am Passkolben 2 und an dessen Ringflansch 6 zum Einbau in Kraft-, Druck- oder Beschleunìgungsaufnehmer-vorbe- reiten. Interessante Anwendungsmöglichkeiten#-bieten sich ferner für grundisolierte Aufnehmer durch-Beschichten der Passkolben 2 mit Al203. Wie erwähnt, kann das- Wandlerelement in einfacher Weise direkt auf einem Schwingtisch abgestimmt werden, indem eine kunststoffhaltige Schwermasse 63 oder eine metallische Schwermasse 67 gemäss Fig. 12 schrittweise aufgebohrt wird, bis die Toleranzgrenze des Eingangssignals erreicht ist. Durch den Wegfall jeder leitfähigen kleb oder Lötschicht zwischen Ringscherelement 4 und den ¯kraftübertragenden Teilen, nämlich Schrumpfring 5 und rohrförmiger#Ansatz 3, sowie infolge des definierten einachsigen Radialspannungszustandes im Ringscherelement 4 ergibt sich= ein hochpräzises piezoelektrisches Wandlerelement mit universeller Verwend barkeit Indem die Erfindung sowohl bei piezokeramischen als auch Ringscherelementen auf Basis von Einkristallen angewendet werden kann, die sich aus zwei oder mehreren Kristallsegmenten zusammensetzen und so eine einfache Bearbeitung und Montagemöglichkeit bieten, können piezoelektrische Wandlerelemente wirtschaftlich hergestelltwerden die in der Messtechnik neue Anwendungsmöglichkeiten erschliessen.

Claims: Patentansprüche 1. Piezoelektrisches Wandlerelement mit einem Befestigungs teil und wenigstens einem durch einen aussen umgreifen den Klemmring am Befestigungsteil gehaltenen Ringscher element aus piezoelektrisch ansprechendem Material, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass das Ring scherelement (4) mit einem Längsschlitz (S) versehen und der Klemmring (5) auf das Ringscherelement aufge schrumpft ist, so dass im Ringscherelement (4) ein im wesentlichen nur einachsiger Radialspannungszustand vorliegt. 2. Wandlerelement nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass der Klemmring (5) einen nach aussen weisenden Umfangsflansch (6) aufweist. 3. Wandlerelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass das Befestigungsteil (1) einen in das Ringscherelement (4) eingreifenden rohrförmigen Ansatz (3), dessen Wandstärke (W) auf das elastische Verhalten von Klemmring (5) und Ringscher element (4) abgestimmt ist, sowie einen Passkolben (2) umfasst. 4. Wandlerelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass das Befestigungsteil (1) ein Vollstück mit einem Ansatzteil und einem Passkolben ist und das elastische Verhalten durch den entsprechend dünner bemessenen Klemmring (5) bestimmt ist. 5. Wandlerelement nach Anspruch 3 oder 4, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass der Passkolben (2) mit einer isolierenden Metalloxidschicht (30) beschichtet ist. 6. Wandlerelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass eine Viel zahl von Ringscherelementen (52, 53, 54) unter Zwischen anordnung je einer Metallfolienelektrode (55, 56) kon zentrisch zueinander angeordnet ist, wobei die Elektro den so miteinander verbunden sind, dass sich die La dungen summieren, um die Empfindlichkeit des Aufnehmers zu erhöhen. 7. Wandlerelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass das Ring scherelement (4) wenigstens zwei miteinander verkitte te Segmente (47, 48) aus einem Einkristallmaterial umfasst. 8. Wandlerelement nach Anspruch 7, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass zwischen Klemmring (5) und Ringscherelement (4) ein wärmedämmender Montagering (40) mit einem zum Längsschlitz des Ringscherelemen tes ausgerichteten Längsschlitz (46) angeordnet ist. 9. Wandlerelement nach Anspruch 8, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass der Montagering (40) aus Stahl besteht und mit einer Montagezange (41) ein stückig verbunden ist, die vom Montagering (40) ab trennbar ist, 10. Wandlerelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass auf dem Ringscherelement (4) eine Printplatte (61) mit einem Impedanzwandler (62) direkt aufgesetzt ist 11. Wandlerelement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass in einem durch eine Verlängerung des Klemmringes (5) gebilde ten Raum oberhalb des Ringscherelementes (4) eine seismische Zusatzmasse (63, 67) angeordnet ist. 12. Wandlerelement nach Anspruch 11, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass die Zusatzmasse (63) eine Mischung aus Schwermetallpulver und Kunstharz ist. 13. Wandlerelement nach Anspruch 11, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass die Zusatzmasse ein an der Verlängerung des Klemmringes (5) befestigter Ring (67) aus Schwermetall ist. 14. Wandlerelement nach einem der Ansprüche 1 bis 13, ins besondere Anspruch 5, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass zur Anwendung als Beschleunigungsaufneh mer das Befestigungsteil (1) bzw. dessen Passkolben (2) in einem Aufnehmergehäuse (20, 31, 71) direkt eingepresst oder eingeschrumpft ist. 15. Wandlerelement nach einem der Ansprüche 1 bis 13, da durch g e k e n n ? e i c h n e t , dass zur Anwen dung als Druckaufnehmer das Befestigungsteil (1) bzw. dessen Passkolben (2) direkt als Druckübertra gungseinrichtung unter Zwischenschaltung eines Isola tors (11) in Eingriff mit einer Druckübertragungs membran (10) steht und das Wandlerelement durch den Umfangsflansch (6) am Klemmring (5) im Aufnehmerge häuse (7) gehalten ist. 16. Wandlerelement nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass zur Anwendung als Kraftaufnehmer das Befestigungsteil (1) bzw. dessen Passkolben (2) mit seiner Stirn fläche (15) zur Einleitung der Kraft freiliegt und das Wandlerelement mittels des Umfangsflansches (6) am Klemmring (5) im Aufnehmergehäuse (17) vorzugs weise dagegen isoliert gehalten ist. 17. Wandlerelement nach Anspruch 14, 15 oder 16, dadurch g e k e n n z e i c h n e t ,dass im Aufnehmergehäuse ein Verstärker (72) mit niedriger Impedanz angeordnet ist. 18. Wandlerelement nach Anspruch 17, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass der Eingang des Verstärkers (72) in direkter elektrischer Verbindung mit dem Klemmring (5) steht. 19. Wandlerelement nach Anspruch 18, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass der Verstärker (72) auf dem Befestigungsteil (1) aufgesetzt ist. 20. Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Wandlerelementes nach Anspruch 1, bei dem man wenigstens ein starres Ringscherelement aus einem piezoelektrisch ansprechenden Material passungsge recht anfertigt, auf ein Befestigungsteil aufsetzt und mittels eines Klemmringes dagegen verspannt, da durch g e k e n n z e i c h n e t , dass man am Ringscherelement nach Fertigbearbeitung der Pass flächen einen Längsschlitz anbringt und den Klemm ring nach an sich bekannten Methoden auf das ge schlitzte, auf dem Befestigungsteil aufsitzende Ring scherelement aufschrumpfen lässt, so dass im Ring scherelement ein im wesentlichen nur einachsiger Ra dialspannungszustand aufgebaut wird 21. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass das geschlitzte Ringscher element vor dem Aufschrumpfen in Haftsitz um einen Ansatz am Befestigungsteil vorfixiert wird. 22. Verfahren nach Anspruch 20 oder 21, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass das Ringscherelement aus einem piezoelektrischen Keramikmaterial mit axialer Polarisierung herausgearbeitet wird. 23. Verfahren nach Anspruch 22, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass das Keramikmaterial Blei Metaniobat oder Blei Zirkonat-Titanat umfasst. 24. Verfahren nach Anspruch 20 oder 21, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass das Ringscherelement aus wenigstens zwei miteinander verkitteten und ent sprechend achsorientierten Segmenten aus einem Ein kristallmaterial herausgearbeitet wird, wonach eine der entstehenden separaten Kittstellen zur Bildung des Längsschlitzes durch Auflösen entfernt wird. 25. Verfahren nach Anspruch 24, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass das Einkristallmaterial Quarz, Turmalin, Lithium Niobat und Tantal Niobat umfasst. 26. Verfahren nach Anspruch 20 oder 21, insbesondere in Verbindung mit Anspruch 22, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass das Ringscherelement zur Ver wendung in einem Beschleunigungsaufnehmer so bemessen wird, dass es gleichzeitig im wesentlichen die seis mische Masse des Aufnehmers bildet. 27. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadu#rch g e k e n n z e i c h n e t , dass der Klemmring aus#einer Schwermetallegierung besteht und/oder so ausgebildet wird, dass er-die seismische Masse für einen Beschleunigungsaufnehmer bildet. 28.- Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, insbesondere in Verbindung mit Anspruch 24, da durch g e k e n n z e i c h n e t , dass man das geschlitzte Ringscherelement zunächst mittels eines darum gelegten ebenfalls geschlitzten Montage ringes an dem Befestigungsteil unter Vorspannung' vor- fixiert und dann mittels des aussen um den--#Montage- ring gelegten Klemmringes fest aufschrumpften lässt, wobei der Montagering eine schockartige Ubertragung der Wärme auf das Ringscherelement verhindert und eine der Anzahl an Segmenten des Ringscherelementes entsprechende Vielzahl an Längsschlitzen hat. 29. Verfahren nach Anspruch 28, dadurch g e k e n -n z e i c h n e t , dass der geschlitzte Montage ring als einstückiges Teil einer Montagezange von dieser nach dem Schrumpfvorgang abgetrennt wird. -30. Verfahren nach einem der vorhergehenden-Ansprüche, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , dass man am Wandlerelement eine Zusatzmasse vorsieht und diese schrittweise#bis zur Erreichen der Toleranz grenze der geforderten Empfindlichkeit abträgt, wobei das Wandlerelement an einem Schwingtisch befestigt wird.

Inventors: BOLTSHAUSER, WERNER, SONDEREGGER, HANS-CONRAD, DIPL.-ING.
Applicants: KISTLER INSTRUMENTE AG
Application year: 1979
Main classification: H01L41
IPC codes: H01L41, G01L9, G01L1, G01P15