本研究では，微粒子凝集体1個の力学的特性を測定するためにマイクロ圧縮試験装置を製作し，ポリスチレン微粒子凝集体を対象とした圧縮試験を試みた。結果として，ポリスチレン微粒子凝集体の圧縮力－変位曲線を示すとともに，破壊強度に及ぼす凝集体サイズの影響を明らかにした。しかし，ポリスチレン微粒子凝集体の力学的特性を定量的に議論するのに十分なデータを獲得できたとは言い難い。そこで筆者は，今後以下のような課題を課し，研究を進めて行きたいと考えている。
1） マイクロ圧縮試験装置により，ポリスチレン微粒子凝集体の力学的特性（圧縮力-変位，ひずみ曲線，破壊強度の測定）に及ぼす調整条件（一次粒子サイズ，スラリー組成，せん断速度，凝集剤添加等）の影響を更に検討し，凝集体の調整条件－構造－力学的特性の相関を明らかにする。
2） 1)の構造と力学的特性の相関をより詳細に検討するために（実験では観察できない部分を補うために），微粒子凝集体の圧縮変形過程の数理モデル化を行う。
3） 冒頭の「 研究目的」で述べたように，測定対象を化学的機械研磨(CMP)において使用される無機微粒子（シリカやアルミナ微粒子）凝集体に拡張し，その調整条件－構造－力学的特性の相関を明らかにする。また，研究で得られた知見をCMPプロセスの最適化のための基礎データとして蓄積する。

カテゴリ: 物理
質問: 研究で得られた知見は何のための基礎データとして蓄積されますか。
回答: 研究で得られた知見はCMPプロセスの最適化のための基礎データとして蓄積されます。