実験はBL19B2の第一実験ハッチにて実施した。試料は電子素子であり、樹脂内に金属ワイヤが配線されているものを観察した。検出器は浜松ホトニクス社製CCDカメラC4880-41Sと同社製イメージングユニットM11427-42を組み合わせたものを用いた。CCDカメラとイメージングユニットには単焦点レンズが取り付けられておりその焦点距離はそれぞれ105mmと50mmであった。この組み合わせによる検出器の実効的な画素サイズは2.92μm であった。イメージングユニットの蛍光体は厚さ10μmのGd2O2S:Tbを用いた。CTの測定では、試料を0°から180°まで回転させながら、0.5°毎に試料の透過像を測定した。また、試料の透過像を20枚測定するたびに、試料を検出器視野から退避させて試料が無い状態のX線ビームを測定した。X線のエネルギーは37keV、露光時間は1sおよび試料と検出器の距離は25mmとした。高調波除去のための全反射ミラーは用いなかった。CTの測定時間は約25minだった。試料の温度は、試料近傍に熱電対を設置してモニターした。室温、−25℃および−50℃でCT測定を行った。BL19B2においてCTの測定は、試料回転と透過像取得をステップバイステップで行う方法と、連続的に試料を回転させながら透過像を取得する方法の2通りが選択可能であった。ステップバイステップは画質の高いCT像が得られるが、測定時間が長くなるため霜の影響が大きくなる可能性があった。課題申請書では両方の測定方法を比較する予定であったが最初に行ったステップバイステップでの測定結果において霜の影響が見受けられなかったため試料を連続的に回転させる測定方法は行わなかった。 CTの再構成では、試料の透過像を試料が無い状態のX線ビーム像で規格化した後にフィルタードバックプロジェクション法により再構成を行った。

カテゴリ: 物理
質問: 1回のCTの測定にでは、試料の透過像は何枚測定しましたか。
回答: CTの測定では、試料を0°から180°まで回転させながら、0.5°毎に試料の透過像を測定したので、180/0.5=360より、360枚測定しました。