# P F C G a s M anage m ent 200 m m s e m i c ondu c t o r f a c ili ty

### • 3 t y p e s o f c y li nde r o p e r a t i o n s:

– A u t o
- c r o s s o v er

– M anual c r o ss o v er

– M anual s i n gl e c y l i nde r c h an ge



### • R e a l t i m e , 24 / 7 m on i t o r i ng o f e v e r y c y li n d er

• P r e
- de t e r m i ned c y li n d e r c hang e ou t t r i gge r s b y w e i g h t o r b y p r e ss u r e , dep e n d i ng on ga s t y pe

• A u t o
- p a g i ng o f on
- s i t e t e c h n i c i an s f o r a l a r m s:

– Lo w ala r m no t i f i c a t i on

– e n s u r e ne x t c y lin d e r i s on
- s i t e f o r c h ang e out

w hen nee d ed

– Lo w
- lo w ala r m

– p r e p a r e t o m oni t o r au t o
- c r o s s o v e r , c o n du c t m a n ual
c r o s s o v e r , o r e n s u r e t o ol i s s e c u r e f o r s in g le c y li n de r c h a ng e a t t r i gge r poin t ( c o o r d i na t ion w i t h f ab)



### • C y li n d e r c han g eou t s h ap pe n a s c l o s e t o t r i gge r p o i n t a s po ss i b le

– T oo s oo n = w a s t e o f e x pen s i v e g as

– T oo la t e = j e opa r d y o f p r o c e ss in t e r r up t i on due t o e x t r e m e s e n s i t i v i t y o f ga s de l i v e r y in t e g r i ty 

## G e n e r a l G as C y li nd e r M on i t o r i ng

## C y li nd e r C h a ng e ou t T r i gg e rs

* C hang e t r i g ge r i s ei t h e r PS I G o r lb 20% 12 60 N 2O 24% 12 50 S F6 3% 40 1450 N F 3 C VD 4% 60 1450 N F 3 etc h (c) 6% 85 1450 N F 3 etc h ( m) 10% 180 1800 C F4 25% 17 .6 70 CH F3 6% 5 88 C 4 F8 6% 1 16 C 4 F8 9% 1 11 C 4 F6 7% 7 95 C 2 F6 H ee l F ac t or C h a ng e T r igg er lb PS IG G as

m = m anua l c o n f i gura t i on
c = c ro s s o v er c on f i gura t i on7 .4 99 .5 4 Man u al 5 lb 88 lb C 4 F8 22 .1 91 .9 46 Man u al 85 p s ig 1450 p s ig N F3 1 .2 100 .0 76 A u to 60 p s ig 1450 p s ig N F3 4 .2 100 .5 72 A u to 40 p s ig 1450 p s ig N F3 9 .1 100 .0 68 A u to 40 p s ig 1450 p s ig N F3 18 .1 103 .0 68 Man u al 40 p s ig 1450 p s ig N F3 10 .4 110 .8 19 Man u al 7 lb 95 lb C 2 F6 12 .1 111 .6 11 Man u al 7 lb 95 lb C 2 F6 12 .9 110 .5 9 Man u al 7 lb 95 lb C 2 F6 8 .6 113 .4 8 Man u al 7 lb 95 lb C 2 F6 15 .7 102 .1 30 Man u al 180 p s ig 1800 p s ig C F4 6 .3 101 .6 35 Man u al 180 p s ig 1800 p s ig C F4 10 .7 98 .8 31 Man u al 180 p s ig 1800 p s ig C F4 10 .6 105 .0 41 Man u al 180 p s ig 1800 p s ig C F4 S t

. D e v % A c c u r ac y

% C h a n ge ou ts E qu i p m e nt T y pe C h a n g e o ut T r i g g er Fu ll c y l i nd er G as T y pe 

## P r e li m i n a r y A n a l y s i s o f C y li nd e r C h a ng es

A cc u r a c y & S t. D e v

. an a l y s i s a r ound a c t ua l c y l i nde r c h an g e p oin t v s

. t a r g e t p oi nt

## E xa m p l e C y li nd e r C h a ng e ou t H i s t o ry

C / O D a te C / O P SI 9 / 28 / 2009 40 9 / 16 / 2009 40 9 / 5 / 2009 40 8 / 28 / 2009 40 8 / 17 / 2009 40 8 / 6 / 2009 40 7 / 28 / 2009 40 7 / 19 / 2009 80 7 / 7 / 2009 40 6 / 27 / 2009 40 6 / 16 / 2009 40 6 / 7 / 2009 40 5 / 29 / 2009 40 5 / 20 / 2009 40 5 / 10 / 2009 40 4 / 29 / 2009 40 4 / 18 / 2009 40 4 / 8 / 2009 40 3 / 30 / 2009 40 3 / 21 / 2009 40 3 / 9 / 2009 40 3 / 1 / 2009 40 2 / 20 / 2009 40 2 / 12 / 2009 40 2 / 5 / 2009 39 1 / 28 / 2008 40 1 / 20 / 2008 39 1 / 12 / 2008 40 1 / 4 / 2008 40 N F3 C / O D a te C / O P SI 9 / 19 / 2009 8 .5 9 / 4 / 2009 8 .1 8 / 19 / 2009 9 .5 7 / 29 / 2009 6 .4 7 / 7 / 2009 6 .9 6 / 8 / 2009 8 .8 5 / 5 / 2009 6 .6 3 / 17 / 2009 7 .2 2 / 16 / 2009 7 .4 1 / 3 / 2009 8 11 / 24 / 2008 9 .4 10 / 24 / 2008 8 .1 9 / 21 / 2008 7 .8 8 / 29 / 2008 8 .6 8 / 7 / 2008 6 .8 6 / 29 / 2008 8 5 / 27 / 2008 8 .1 4 / 22 / 2008 7 .6 3 / 29 / 2008 11 .4 3 / 5 / 2009 8 .1 2 / 6 / 2008 8 .2 1 / 4 / 2008 9 .7 C 2 F6 C / O D a te C / O P SI 9 / 29 / 2009 108
8 / 29 / 2009 189 8 / 12 / 2009 160 7 / 30 / 2009 193 7 / 5 / 2009 188 6 / 10 / 2009 183 5 / 18 / 2009 184 4 / 24 / 2009 180 4 / 4 / 2009 180 3 / 12 / 2009 187 2 / 8 / 2009 180 1 / 26 / 2009 187 1 / 11 / 2009 185 12 / 25 / 2008 307 12 / 8 / 2008 189 11 / 24 / 2008 180 11 / 11 / 2008 191 10 / 26 / 2008 194 10 / 11 / 2008 180 9 / 24 / 2008 190 9 / 11 / 2008 178 8 / 31 / 2008 169 8 / 17 / 2008 187 8 / 3 / 2008 182 7 / 22 / 2008 165 7 / 10 / 2008 180 6 / 28 / 2008 180 6 / 17 / 2008 185 6 / 7 / 2008 150 5 / 25 / 2008 202 C F4

T a r ge t = 1 80 p si T a r ge t = 8 lb

T a r ge t = 4 0 p si

## C on t r o l R oo m M on i t o r i ng

R e a l

- t i m e m on i t o r i n g o f e v e r y ga s c y li nder T e c hn i c i a n c an s e l e c t r oo m , c ab i n e t, o r i nd i v i d u a l c y li n de r de t a i ls

## C 2 F 6 C y li nd e r M on i t o r i ng (b y w e i ght)

C y li n d e r
w e i gh t at I n s t a l l a t i on 95 l bs

C y li n d er
c hang e out
o r c r o ss o v er t r i gge r at 7 l bs C y linde r i dle U n t il c r o s s o v er

## N F 3 C y li nd e r M on i t o r i ng (b y p r ess u r e)

C y li n d e r i n s t a l l ed at 1450 p s ig

C y li n d er
r ea d y f or
c r o ss o v er ( i d l e)

C y li n d er
c hang e out t r i gge r at 60 p sig

## N F 3 C y li nd e r M on i t o r i ng

Pr e s s u r e i s m o n i t o r ed
a t c y l i nde r an d p o int
o f d e li v e r y t o t ool 

### T e c hn i c i a n c an s ee a l l i n f o r m a t i on a t t he c a b i ne t o r r e m o t e l y i n t he c on t r o l r oom

## N F 3 C a b i n e ts

P r i m a r i l y au t o
- c r o ss o v e r du e t o h i gh u s age

S t o r ed i n e x hau s t e d c a b i n e t s due t o h a z a r d ou s p r o p e r t i es

## N F 3 i n A u t o - C r o ss o v e r C a b i n et

C a b i n e t d i s p l a y s ho w s s a m e da t a a s C on t r o l R oo m d i s p l ay

## P a n e l I n s i d e N F 3 A u t o - C r o ss o v e r C a b i n et

## CH F 3 C y li nd e r s – M o n i t o r e d b y S ca l e , S i n g l e & C r o ss o v er

## CH F 3 M a nu a l C r o ss o v e r P a n el

S w i t c h o v e r v a l v e s

– v a l v e s w i t c h i ng o cc u r s w / i n s e c o nd s

O pen C l o s ed

## C F 4 C y li nd e r s M on i t o r e d b y P r ess u re

## C F 4 C r o ss o v e r P a n el

## N 2 O C y li nd e r s m on i t o r ed b y sca l es

## N 2 O C r o ss o v e r P a n el

## C 4 F 8 M od i f i ca t i on O r igin a ll y h a d m ul t i pl e s m a l l cy linde rs t ha t, w i t h l o w u s a g e , c ou l d h a v e p r o d u c t go be y ond e x pi r a t ion da t e.

C on v e r t ed t o m an i f o l de d c r o s s o v er
c on f igu r a t i o n o f la r ge r c y lin d e rs f eed i ng s e v e r a l e t c h t oo ls