# 1

M E M O RAND U M

- P R O P O S E D DA T A CA T E GO RY A SS I G N M E N T S F O R S U B P AR T I

T o: D o c k e t E P A

- HQ

- O A R

- 2011

- 002 8

F r o m: A l e x i s M c K i tt r i c k , E P A / C l im a t e C h a n g e

D a t e: F e b r u a r y 6

, 2012

Sub j ec t : P r o p o s e d d a t a ca t e g o r y a s s i g n m e n t s f o r d a t a r e p o r

t i ng e l e m e n t s i n 40 C F R p a r t 9 8

,

s u b p a r t I

.

I n t h i s m e m

o r a n d u m

, w e s h o w t h e p r o p o s e d d a t a ca t e g o r y a ss i g n m e n t s f o r d a t a r e po r t i n g

e l e m e n t s i n S u b p a r t I

–

E l ec t r o n i c s M a n u f

ac t u r i n g o f P a r t 98 a s r e f

e r e n c e d i n t h e M

anda t o r y

R e po r ti ng o f G r ee nhou s e G a s e s R u l e : P r opo s e d C on

f i d e n ti a l i t y D e t e r m i na ti on s f

o r Subpa r t I

and P r opo s e d A m e nd m e n ts t o Subpa r t I B e s t

A v a i l ab l e M on it o r i ng M

e t hod s P r o v i s i on s

. T h e

t a b l e b e l o w s h o w s t h e p r o p o s e d a s s i g n m e n t o f eac h d a t a r e p o r t i n g e l e m e n t i n t o o n e o f 10 d a t a

ca t e g o r i e s [ e x c l u d i ng i n

pu t s t o e mi s s i o n e qu a t i o n s ]

. T h e t a b l e a l s o s h o w s t h e p r o p o s e d

c o n f i d e n t i a l i t y d e t e r mi n a t i o n f o r d a t a e l e m e n t s i n t h e t w o d a

t a c a t e g o r i e s f o r w h i c h a ca t e go r i ca l

c o n f i d e n t i a l i t y d e t e r mi n a t i o n w a s n o t m a d e

.

F o r d e s c r i p t i o n s o f t h e d i

r ec t e m i tt e r d a

t a c a t e g o r i e s a n d t h e ca t e go r i ca l c o n f i d e n t i a l it y
d e t e r mi n a t i o n s m a d e f

o r e i g h t o f t h e s e ca t e g o r i e s

, s ee t h e p r e a m b l e s t o t h e p r o p o s e d a n d f i n a l

r u l e m a k i ng s : P r

opo s e d C on f i d e n ti a lit y D e t e r m i na ti on s f

o r D a t a R e qu i r

e d U nd e r t h e M

anda t o r y
G r ee nhou s e G a s R e

po r ti ng R u l e an d P r

opo s e d A m e nd m e n t t o Sp ec i a l R u l e s G o ve r n i ng C e r t a i n

I n f o r m a ti o n O b t a i n e d U

nd e r t h e C l e an A i r

A ct p u b l i s h e d o n J u l y 7

, 2010 ( 75 F R 39094 ) ; a nd

C on fi 

# d e n ti a l i t y D e t e r m i na ti on s f

o r D a t a R e qu i r

e d und e r t h e M

anda t o r y G r ee nhou s e G a s

R e po r ti ng R u l e an d

A m e nd m e n t t o Sp ec i a l R u l e s G o ve r n i ng C e r t a i n I

n f o r m a ti on O b t a i n e d und e r

t h e C l e an A i r A ct pub li s h e d o n M a y 26

, 2011 ( 7 6 F R 30782 )

.

T h e t a b l e b e l o w d o e s n o t i n c l ud e t h o s e s u b p a r t I d a t a e l e m e n t s t h a t a r e i npu t s t o e mi ss i o n s

e qu a t i o n s a n d f

o r w h i c h r e p o r

t i n g h a s b e e n d e f

e rr e d

. F o r m

o r e i n f o r m a t i o n o n t h e d e f

e rr e d

r e po r t i n g o f i npu t s t o e mi ss i o n s e qu a t i o n s

, s ee t h e p r e a m b l e s t o t h e p r o p o s e d a n d f i n a l r u l e

m a k i ng s : [ P r

op o s e d ] C hang e t o t h e R e

po r ti ng D a t

e f o r C e r t a i n D a t a E l e m e n t

s R e qu i r e d U nd e r

t h e M anda t o r y R e po r ti ng o f G r ee nhou s e G a s e s R u le

, pub li s h e d o n D ec e m b e r 27

, 2010

, ( 7 5 F R

81350 )

, a n d [ F i na l ] C

hang e t o t h e R e

po r ti n g D a t e f

o r C e r t a i n D a t a E l e m e n t

s R e qu i r e d U nd e r

t h e M anda t o r y R e po r ti ng o f G r ee nhou s e G a s e s R u le

, pub li s h e d o n A ugu s t 25

, 2011 ( 7 6 F R

53057 )

.

C o p i e s o f t h e p r o p o s e d a n d f i n a l r u l e s c it e d a b o v e a r e a v a i l a b l e o n E P A ’ s w e b s it e :
h tt p : / / www

. e p a

. g o v

/ c l i m a t ec h a n g e / e m i s s i o n s / CB I

. h t ml

, a t t h e f o l l o w i ng li n k s :
h t t p :// www

. g p o

. g o v

/ f d s y s / pkg / F R

- 2010

- 07

- 07 /

p d f / 2010

- 16317

. pdf

, h tt p : / / www

. g p o

. g o v

/ f d s y s / pkg / F R

- 2011

- 05

- 26 /

p d f / 2011

- 12930

. pdf

h tt p : / / www

. g p o

. g o v

/ f d s y s / pkg / F R

- 2010

- 12

- 27 /

p d f / 2010

- 32447

. pdf a n d

h tt p : / / www

. g p o

. g o v

/ f d s y s / pkg / F R

- 2011

- 08

- 25 /

p d f / 2011

- 21727

. pdf

.

# 2 

# A pp e nd i x A

P r o p o s e d D a t a C a t e g o r y A ss i g nm e nt s f o r Subp a r t

I

L i s t o f P r o p o s e d D a t a C a t e go r y A ss i g n m e n t s
N o t e :

I n t h e M a y 26

, 2011

, F i n a l C B I r u l e ( 76 F R 30782 )

, t h e E P A i ss u e d ca t e g o r i c a l c o n f i d e n t i a l it y d e t e r m i n a t i o n s f o r e i g h t d i

r ec t o r e m itt e r c a

t e g o r i e s . T h e t a b l e b e l o w i d e n t i f i e s 10 d i r ec t e m itt e r d a

t a c a t e g o r i e s f o r s u b p a r t I a n d

i n t h e h ea d i ng t h e f

i n a l ca t e go r i c a l d e t e r mi n a t i o n s f o r e i g h t o f t h e s e d a t a ca t e g o r i e s . T w o o f t h e d a t a ca t e g o r i e s ( “ U n it / P r o ce ss ‘ S t a t i c ’ C h a r ac t e r i s t i c s T h a t a r e N o t I npu t s t o E mi ss i o n E qu a t i o n s ” a n d “ U n it / P r o ce ss O p e r a t i n g
C h a r ac t e r i s t i c s T h a t a r e N o t I n pu t s t o E mi ss i o n

E qu a t i o n s ” ) do n o t h a v e ca t e g o r i c a l c o n f i d e n t i a l it y d e t e r mi n a t i o n s

, a n d t h e s e d e t e r mi n a t i o n s a r e p r o p o s e d o n a n e l e m e n t

- b y

- e l e m e n t b a s i s

. F o r t h e t h r ee d a t a e l e m e n t s f

o r

w h i c h t h e E P A i s p r o p o s i n g n o c o n f i d e n t i a l it y d e t e r mi n a t i o n a t t h i s t im e

, t h e E P A i s n o t r e qu i r i ng t h e r e p o r

t i n g o f t h e s e r e c i p e

- s p e c i f i c d a t a e l e m e n t s f

o r t h e 2011

, 201 2

, a n d 2013 r e po r t i n g y ea r s . E P A p r o p o s e s t o e v a l u a t e

t h e c o n f i d e n t i a l i t y s t a t u s o f t h e s e d a t a e l e m e n t s o n a ca s e

- b y

- c a s e b a s i s

, i n acc o r d a n c e w it h e x i s t i n g C B I r e gu l a t i o n s i n 40 C F R p a r t 2

, s u b p a r t B

. K e y:

E = a s s i g n e d i n t h i s p r o p o s a l t o a ca t e g o r y w it h a ca t e g o r i c a l d e t e r mi n a t i o n o f “ e m i ss i o n d a t a”

C = a s s i g n e d i n t h i s p r o p o s a l t o a c a t e g o r y w it h a ca t e g o r i c a l d e t e r mi n a t i o n o f “ n o t e mi ss i o n d a t a a n d CB I ”

X = a s s i g n e d i n t h i s p r o p o s a l t o a c a t e g o r y w it h a ca t e g o r i c a l d e t e r mi n a t i o n o f “ n o t e mi s s i o n d a t a a nd n o t CB I ”

P C = a s s i g n e d i n t h i s p r o p o s a l t o a c a t e g o r y w it h o u t a c a

t e go r i c a l d e t e r mi n a t i o n a n d i s p r o p o s e d t o b e CB I

P X = a s s i g n e d i n t h i s p r o p o s a l t o a c a t e g o r y w it h o u t a c a

t e go r i c a l d e t e r mi n a t i o n a n d i s p r o p o s e d t o b e n o t CB I

ND = n o c o n f

i d e n t i a l i t y d e t e r mi n a t i o n i n t h i s p r o p o s a l h a s b ee n m a d e a n d i s p r o p o s e d t o b e e v a l u a t e d o n a ca s e

- b y

- c a s e b a s i s

S ub p a r t D a t a E l e m e nt R e po r t in g S ec t ion 

## Ca t e go ry

F a c ili t y a n d

U n i t

Id e n t i f i e r
In f o r ma t io n (E m i s s io n
D a t a ) E m i ss i o n s

(E m i s s io n
D a t a ) U n i t

/ P r o c e s s

' St a t i c '

C h a r a c t e r i s t i c s
T h a t a r e N o t Inpu t s t o

E m i ss i on
E qu a t i o n s U n i t /p r o c e s s
O p e r a t in g
C h a r a c t e r i s t i c s
T h a t a r e N o t Inpu t s t o

E m i ss i on
E qu a t i o n s C a l c u l a t i o n

M e t hodol o g y
& M e t hod.

T i e r (E m i s s io n
D a t a ) T es t &

C a lib r a t i on

M e t hod s ( N o t

E m i ss i on

D a t a A n d

N o t C B I ) P r od u c t i on/

T h r ough p u t D a t a

T h a t a r e N o t I n pu t s

t o E m i s s i on
E qu a t i o n s ( N o t E m i ss i on D a t a
A n d A r e C B I ) R a w M a t e r i a l s

C on s u m e d Th a t a r e

N o t I n pu t s t o
E m i ss i on
E qu a t i o n s ( N o t E m i ss i on D a t a
A n d A r e C B I ) D a t a E l e m e n t s
R e po r t e d f o r

P e r i o d s o f M i s s in g
D a t a t h a t a r e N o t Inpu t s t o E m i ss i on

E qu a t i o n s (E m i s s io n D a t a ) P r o c e s s S p e c i f i c &

V e n d o r D a t a
S u b m i t t e d i n B A M M

E x t e n s io n
R e q u es t s ( N o t E m i ss i on D a t a
A n d A r e C B I )

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M i n 2 0 1 1 f o r

p a r a m e t e r s o t h e r t h an r e c i p e

- s p e c i f i c u t il i z a t i o n an d b y

- p r o d u c t

f o r m a t i on r a t e s f o r t h e p l a s m a e t c h i n g p r o c e ss t y p e : Li s t o f

s p e c i f i c i t e m s o f m o n i t o r i n g in s t r u m e n t a t i on a n d m ea s u r i n g

s e r v i c e s f o r w h i c h t h e r eq u e s t i s b ei n g m a d e

. 98

. 9 4 a 2 i i A E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M i n 2 0 1 1 f o r

p a r a m e t e r s o t h e r t h an r e c i p e

- s p e c i f i c u t il i z a t i o n an d b y

- p r o d u c t

f o r m a t i on r a t e s f o r t h e p l a s m a e t c h i n g p r o c e ss t y p e : L o c a t i on s

w h e r e ea c h pi e c e o f m o n i t o r i ng in s t r u m en t a t i o n w i l l b e in s t a ll ed

a n d w h e r e ea c h m ea s u r e m en t s e r v i c e w i l l b e p r o v id ed

. 98

. 9 4 a 2 i i A C

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M i n 2 0 1 1 f o r

p a r a m e t e r s o t h e r t h an r e c i p e

- s p e c i f i c u t il i z a t i o n an d b y

- p r o d u c t

f o r m a t i on r a t e s f o r t h e p l a s m a e t c h i n g p r o c e ss t y p e : S p e c i f i c r u l e

r e q ui r e m e n t s f o r w hi c h t h e i n s t r u m e n t a t i on o r m e a s u r e m e n t

s e r v i c e i s n ee d e d

. 98

. 9 4 a 2 i i B E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M i n 2 0 1 1 f o r

p a r a m e t e r s o t h e r t h an r e c i p e

- s p e c i f i c u t il i z a t i o n an d b y

- p r o d u c t

f o r m a t i on r a t e s f o r t h e p l a s m a e t c h i n g p r o c e ss t y p e : R ea s on s w h y

t h e n ee d e d e q u i p m e n t c ou l d n o t b e ob t a in ed

, in s t al l e d

, o r

o p e r a t ed o r w h y t h e n ee d ed m ea s u r e m e n t s e r v i c e c ou l d n o t b e

p r o v id ed b e f o r e J u l y 1

, 2 0 1 1

. 98

. 9 4 a 2 ii C P C

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M i n 2 0 1 1 f o r

p a r a m e t e r s o t h e r t h an r e c i p e

- s p e c i f i c u t il i z a t i o n an d b y

- p r o d u c t

f o r m a t i on r a t e s f o r t h e p l a s m a e t c h i n g p r o c e ss t y p e : I f t h e r e a s o n
f o r t h e e x t en s i o n i s t h a t t h e e q u ip m en t c a nn o t b e pu r c h a s ed

, d e li v e r e d

, o r i n s t a ll ed b e f o r e J ul y 1

, 2 0 1 1

, in c l u d e s u p p o r t i n g
d o c u m en t a t i on ( e

. g

., d a t e t h e m oni t o r i n g eq u i p m en t w a s o r d e r ed

, i n v e s t ig a t i o n o f al t e r n a t i v e s u p p li e r s

, o r t h e d a t e s b y w hi c h

al t e r n a t i v e v e nd o r s p r o m i s ed d el i v e r y o r in s t al l a t i on )

. 98

. 9 4 a 2 ii D C

# 3 S ub p a r t D a t a E l e m e nt R e po r t in g S ec t ion 

## Ca t e go ry

F a c ili t y a n d

U n i t

Id e n t i f i e r
In f o r ma t io n (E m i s s io n
D a t a ) E m i ss i o n s

(E m i s s io n
D a t a ) U n i t

/ P r o c e s s

' St a t i c '

C h a r a c t e r i s t i c s
T h a t a r e N o t Inpu t s t o

E m i ss i on
E qu a t i o n s U n i t /p r o c e s s
O p e r a t in g
C h a r a c t e r i s t i c s
T h a t a r e N o t Inpu t s t o

E m i ss i on
E qu a t i o n s C a l c u l a t i o n

M e t hodol o g y
& M e t hod.

T i e r (E m i s s io n
D a t a ) T es t &

C a lib r a t i on

M e t hod s ( N o t

E m i ss i on

D a t a A n d

N o t C B I ) P r od u c t i on/

T h r ough p u t D a t a

T h a t a r e N o t I n pu t s

t o E m i s s i on
E qu a t i o n s ( N o t E m i ss i on D a t a
A n d A r e C B I ) R a w M a t e r i a l s

C on s u m e d Th a t a r e

N o t I n pu t s t o
E m i ss i on
E qu a t i o n s ( N o t E m i ss i on D a t a
A n d A r e C B I ) D a t a E l e m e n t s
R e po r t e d f o r

P e r i o d s o f M i s s in g
D a t a t h a t a r e N o t Inpu t s t o E m i ss i on

E qu a t i o n s (E m i s s io n D a t a ) P r o c e s s S p e c i f i c &

V e n d o r D a t a
S u b m i t t e d i n B A M M

E x t e n s io n
R e q u es t s ( N o t E m i ss i on D a t a
A n d A r e C B I )

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M i n 2 0 1 1 f o r

p a r a m e t e r s o t h e r t h an r e c i p e

- s p e c i f i c u t il i z a t i o n an d b y

- p r o d u c t

f o r m a t i on r a t e s f o r t h e p l a s m a e t c h i n g p r o c e ss t y p e : I f t h e r e a s o n
f o r t h e e x t en s i o n i s t h a t t h e e q u ip m en t c a nn o t b e pu r c h a s ed

, d e li v e r e d

, o r i n s t a ll ed b e f o r e J ul y 1

, 2 0 1 1

, in c l u d e s u p p o r t i n g
d o c u m en t a t i on ( e

. g

., b a c k o r d e r n o t i c e s o r u ne x p e c t ed d e la y s o r
d e sc r i p t i on s o f a c t i on s t a k e n t o e x p e d i t e d el i v e r y o r in s t al l a t i on )

. 98

. 9 4 a 2 ii D PX

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M i n 2 0 1 1 f o r

p a r a m e t e r s o t h e r t h an r e c i p e

- s p e c i f i c u t il i z a t i o n an d b y

- p r o d u c t

f o r m a t i on r a t e s f o r t h e p l a s m a e t c h i n g p r o c e ss t y p e : I f t h e r e a s o n
f o r t h e e x t en s i o n i s t h a t s e r v i c e p r o v i d e r s w e r e un ab l e t o p r o v id e

n e c e s s a r y m ea s u r e m e n t s e r v i c e s

, i n c l ud e s u p p o r t i n g
d o c u m en t a t i on d e m on s t r a t i ng t h a t t h e s e s e r v i c e s c o u ld n o t b e

a c q u i r ed b e f o r e J u l y 1

, 2 0 1 1

. T hi s d o c u m e n t a t i on m u s t i n c l ud e

w r i t t en c o r r e s p on d en c e t o an d f r o m a t l ea s t t h r ee s e r v i c e

p r o v id e r s s t a t in g t h a

t t he y w i ll n o t b e a v a il ab l e t o p r o v id e t h e

n e c e s s a r y s e r v i c e s b e f o r e J u l y 1

, 2 0 11

. 98

. 9 4 a 2 i i E PX

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M i n 2 0 1 1 f o r

p a r a m e t e r s o t h e r t h an r e c i p e

- s p e c i f i c u t il i z a t i o n an d b y

- p r o d u c t

f o r m a t i on r a t e s f o r t h e p l a s m a e t c h i n g p r o c e ss t y p e : S p e c i f i c b e s t

a v a il ab l e m oni t o r i n g m e t h od s t h a t t h e f a c i l i t y w il l u s e i n pl a c e o f

t h e r eq u i r ed m e t h od s

. 98

. 9 4 a 2 i i F E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M i n 2 0 1 1 f o r

p a r a m e t e r s o t h e r t h an r e c i p e

- s p e c i f i c u t il i z a t i o n an d b y

- p r o d u c t

f o r m a t i on r a t e s f o r t h e p l a s m a e t c h i n g p r o c e ss t y p e : S p e c i f i c

a c t i on s t h e o w n e r o r o p e r a t o r w i ll t a k e t o c o m pl y w i t h m oni t o r i n g

r e q ui r e m e n t s b y J an u a r y 1

, 2 0 1 2

. 98

. 9 4 a 2 ii G PX

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M i n 2 0 1 1 f o r r e c i p es p e c i f i c u t il i z a t i o n and b y

- p r o d u c t f o r m a t i on r a t e s f o r pl a s m a

e t c h i n g p r o c e ss t y p e : Li s t o f s p e c i f i c i t e m s o f m o n i t o r i n g
in s t r u m e n t a

t i on a n d m e a s u r i n g s e r v i c e s f o r w h i c h t h e r eq u e s t i s
b e in g m a d e

. 98

. 9 4 a 3 i i A E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M i n 2 0 1 1 f o r r e c i p es p e c i f i c u t il i z a t i o n and b y

- p r o d u c t f o r m a t i on r a t e s f o r pl a s m a

e t c h i n g p r o c e ss t y p e : L o c a t i on s w h e r e ea c h pi e c e o f m o n i t o r i n g
in s t r u m e n t a

t i on w il l b e i n s t al l e d and w h e r e e a c h m e a s u r e m e n t

s e r v i c e w i ll b e p r o v i d e d

. 98

. 9 4 a 3 i i A C

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M i n 2 0 1 1 f o r r e c i p es p e c i f i c u t il i z a t i o n and b y

- p r o d u c t f o r m a t i on r a t e s f o r pl a s m a

e t c h i n g p r o c e ss t y p e : S p e c i f i c r u l e r e q ui r e m e n t s f o r w hi c h t h e
in s t r u m e n t a

t i on o r m ea s u r e m e n t s e r v i c e i s n ee d e d

. 98

. 9 4 a 3 i i A E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M i n 2 0 1 1 f o r r e c i p es p e c i f i c u t il i z a t i o n and b y

- p r o d u c t f o r m a t i on r a t e s f o r pl a s m a

e t c h i n g p r o c e ss t y p e : R ea s on s w h y t h e n ee d e d eq u i p m en t c o u ld

n o t b e ob t a in ed

, in s t a ll ed

, o r o p e r a t ed o r w h y t h e n ee d ed

m e a s u r e m e n t s e r v i c e c ou l d n o t b e p r o v i d e d b e f o r e D e c e m b e r 3 1

, 2 0 11

. 98

. 9 4 a 3 i i A P C

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M i n 2 0 1 1 f o r r e c i p es p e c i f i c u t il i z a t i o n and b y

- p r o d u c t f o r m a t i on r a t e s f o r pl a s m a

e t c h i n g p r o c e ss t y p e : I f t h e r e a s o n f o r t h e e x t en s i on i s t h a t t h e

e q u i p m e n t c an n o t b e p u r c h a s ed

, d e li v e r ed

, o r in s t a ll ed b e f o r e
D e c e m b e r 31

, 2 0 1 1

, in c l u d e s u p p o r t i n g d o c u m en t a t i on ( e

. g

., d a t e

t h e m o n i t o r i ng e q u ip m en t w a s o r d e r ed

, i n v e s t i g a t i o n o f al t e r n a t i v e

s up p l i e r s

, o r t h e d a t e s b y w h i c h al t e r n a t i v e v e nd o r s p r o m i s ed

d e li v e r y o r i n s t al l a t i o n )

. 98

. 9 4 a 3 i i A C

# 4 S ub p a r t D a t a E l e m e nt R e po r t in g S ec t ion 

## Ca t e go ry

F a c ili t y a n d

U n i t

Id e n t i f i e r
In f o r ma t io n (E m i s s io n
D a t a ) E m i ss i o n s

(E m i s s io n
D a t a ) U n i t

/ P r o c e s s

' St a t i c '

C h a r a c t e r i s t i c s
T h a t a r e N o t Inpu t s t o

E m i ss i on
E qu a t i o n s U n i t /p r o c e s s
O p e r a t in g
C h a r a c t e r i s t i c s
T h a t a r e N o t Inpu t s t o

E m i ss i on
E qu a t i o n s C a l c u l a t i o n

M e t hodol o g y
& M e t hod.

T i e r (E m i s s io n
D a t a ) T es t &

C a lib r a t i on

M e t hod s ( N o t

E m i ss i on

D a t a A n d

N o t C B I ) P r od u c t i on/

T h r ough p u t D a t a

T h a t a r e N o t I n pu t s

t o E m i s s i on
E qu a t i o n s ( N o t E m i ss i on D a t a
A n d A r e C B I ) R a w M a t e r i a l s

C on s u m e d Th a t a r e

N o t I n pu t s t o
E m i ss i on
E qu a t i o n s ( N o t E m i ss i on D a t a
A n d A r e C B I ) D a t a E l e m e n t s
R e po r t e d f o r

P e r i o d s o f M i s s in g
D a t a t h a t a r e N o t Inpu t s t o E m i ss i on

E qu a t i o n s (E m i s s io n D a t a ) P r o c e s s S p e c i f i c &

V e n d o r D a t a
S u b m i t t e d i n B A M M

E x t e n s io n
R e q u es t s ( N o t E m i ss i on D a t a
A n d A r e C B I )

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M i n 2 0 1 1 f o r r e c i p es p e c i f i c u t il i z a t i o n and b y

- p r o d u c t f o r m a t i on r a t e s f o r pl a s m a

e t c h i n g p r o c e ss t y p e : I f t h e r e a s o n f o r t h e e x t en s i on i s t h a t t h e

e q u i p m e n t c an n o t b e p u r c h a s ed

, d e li v e r ed

, o r in s t a ll ed b e f o r e
D e c e m b e r 31

, 2 0 1 1

, in c l u d e s u p p o r t i n g d o c u m en t a t i on ( e

. g

., b a ck o r d e r n o t i c e s o r u n e x p e c t e d d e l a y s o r d e sc r i p t i on s o f a c t i on s

t a k e n t o e x p e d i t e d el i v e r y o r in s t al l a t i on )

. 98

. 9 4 a 3 i i A PX

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M i n 2 0 1 1 f o r r e c i p es p e c i f i c u t il i z a t i o n and b y

- p r o d u c t f o r m a t i on r a t e s f o r pl a s m a

e t c h i n g p r o c e ss t y p e : I f t h e r e a s o n f o r t h e e x t en s i on i s t h a t

s e r v i c e p r o v id e r s w e r e un ab l e t o p r o v id e n e c e s s a r y m e a s u r e m e n t

s e r v i c e s

, i n c l ud e s u pp o r t i n g d o c u m en t a t i on d e m on s t r a t i n g t h a t

t h e s e s e r v i c e s c ou l d n o t b e a c q u i r ed b e f o r e D e c e m b e r 31

, 2 0 1 1

. T hi s d o c u m e n t a

t i on m u s t i n c l ud e w r i tt en c o r r e s p o nd en c e t o a n d

f r o m a t l ea s t t h r ee s e r v i c e p r o v i d e r s s t a t i ng t h a t t h e y w i l l n o t b e

a v a il ab l e t o p r o v id e t h e n e c e s s a r y s e r v i c e s b e f o r e D e c e m b e r 3 1

, 2 0 11

. 98

. 9 4 a 3 i i A PX

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M i n 2 0 1 1 f o r r e c i p es p e c i f i c u t il i z a t i o n and b y

- p r o d u c t f o r m a t i on r a t e s f o r pl a s m a

e t c h i n g p r o c e ss t y p e : S p e c i f i c b e s t a v a il ab l e m on i t o r i n g m e t h od s

t h a t t h e f a c i li t y w i l l u s e i n p l a c e o f t h e r eq u i r ed m e t h od s

. 98

. 9 4 a 3 i i A E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M i n 2 0 1 1 f o r r e c i p es p e c i f i c u t il i z a t i o n and b y

- p r o d u c t f o r m a t i on r a t e s f o r pl a s m a

e t c h i n g p r o c e ss t y p e : S p e c i f i c a c t i on s t h e o w n e r o r o p e r a t o r w i ll

t a k e t o c o m p l y w i t h m o n i t o r i n g r eq u i r e m en t s b y J a nu a r y 1

, 2 0 1 2

. 98

. 9 4 a 3 i i B PX

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M b e y o n d 20 11 : L i s t o f

p a r a m e t e r s f o r w hi c h t h e o w n e r o r o p e r a t o r i s s ee k in g u s e o f b e s t

a v a il ab l e m oni t o r i n g m e t h od s be y o n d 2 01 1

. 98

. 9 4 a 4 i i A E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M b e y o n d 20 11 :

S p e c i f i c r u l e r eq u i r e m e n t s t h a t t h e o w n e r o r o p e r a t o r c a nn o t

m ee t

. 98

. 9 4 a 4 i i B E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M b e y o n d 20 11 :

E x pl a n a t i on a s t o w h y t h e r e q ui r e m e n t s c an n o t b e m e t

. 98

. 9 4 a 4 i i B P C

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M b e y o n d 20 11 :

D e sc r ip t i on o f t h e u n i q u e c i r c u m s t an c e s n e c e ss i t a t i n g an

e x t en s i on

, in c l u d i n g s p e c i f i c t e c h ni c al in f e a s ib i l i t i e s t h a t c on f li c t

w i t h d a t a c o ll e c t i on

. 98

. 9 4 a 4 ii C PX

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M b e y o n d 20 11 :

D e sc r ip t i on o f t h e u n i q u e c i r c u m s t an c e s n e c e ss i t a t i n g an

e x t en s i on

, in c l u d i n g s p e c i f i c d a t a c o ll e c t i o n i ss u e s t h a t d o n o t

m ee t s a f e t y r eg ul a

t i on s o r s p e c i f i c l a w s o r r e g u l a t i on s t h a t c on f li c t

w i t h d a t a c o ll e c t i on

. 98

. 9 4 a 4 ii C PX

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M b e y o n d 20 11 :

E x pl a n a t i on a n d s u pp o r t i n g d o c u m e n t a t i on o f h o w t h e o w n e r o r

o p e r a t o r w i l l r e c e i v e t h e r e q ui r e d d a t a an d / o r s e r v i c e s t o c o m p l y

w i t h t h e r e p o r t i n g r e q ui r e m e n t s

. 98

. 9 4 a 4 ii D PX

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M b e y o n d 20 11 :

E x pl a n a t i on a n d s u pp o r t i n g d o c u m e n t a t i on o f w h en t h e o w n e r o r

o p e r a t o r w i l l r e c e i v e t h e r e q ui r e d d a t a an d / o r s e r v i c e s t o c o m p l y

w i t h t h e r e p o r t i n g r e q ui r e m e n t s

. 98

. 9 4 a 4 ii D P C

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r e x t en s i on r e qu e s t s f o r t h e u s e o f B A M M b e y o n d 20 11 :

D e sc r ip t i on o f t h e s p e c i f i c b e s t a v a il ab l e m on i t o r i n g m e t h od s t h a t

t h e f a c i l i t y w i l l u s e i n p l a c e o f t h e r eq u i r ed m e t h od s

. 98

. 9 4 a 4 i i E E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g A n nu al m anu f a c t u r i ng c a p a c i t y o f a f a c i l i t y a s d e t e r m in ed in

E q u a t i on I

- 5

. 98

. 9 6a PX

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r f a c i li t i e s t h a t m anu f a c t u r e s e m i c on d u c t o r s

, t h e di a m e t e r o f

w a f e r s m a n u f a c t u r ed a t a f a c i li t y

. 98

. 9 6b PX

# 5 S ub p a r t D a t a E l e m e nt R e po r t in g S ec t ion 

## Ca t e go ry

F a c ili t y a n d

U n i t

Id e n t i f i e r
In f o r ma t io n (E m i s s io n
D a t a ) E m i ss i o n s

(E m i s s io n
D a t a ) U n i t

/ P r o c e s s

' St a t i c '

C h a r a c t e r i s t i c s
T h a t a r e N o t Inpu t s t o

E m i ss i on
E qu a t i o n s U n i t /p r o c e s s
O p e r a t in g
C h a r a c t e r i s t i c s
T h a t a r e N o t Inpu t s t o

E m i ss i on
E qu a t i o n s C a l c u l a t i o n

M e t hodol o g y
& M e t hod.

T i e r (E m i s s io n
D a t a ) T es t &

C a lib r a t i on

M e t hod s ( N o t

E m i ss i on

D a t a A n d

N o t C B I ) P r od u c t i on/

T h r ough p u t D a t a

T h a t a r e N o t I n pu t s

t o E m i s s i on
E qu a t i o n s ( N o t E m i ss i on D a t a
A n d A r e C B I ) R a w M a t e r i a l s

C on s u m e d Th a t a r e

N o t I n pu t s t o
E m i ss i on
E qu a t i o n s ( N o t E m i ss i on D a t a
A n d A r e C B I ) D a t a E l e m e n t s
R e po r t e d f o r

P e r i o d s o f M i s s in g
D a t a t h a t a r e N o t Inpu t s t o E m i ss i on

E qu a t i o n s (E m i s s io n D a t a ) P r o c e s s S p e c i f i c &

V e n d o r D a t a
S u b m i t t e d i n B A M M

E x t e n s io n
R e q u es t s ( N o t E m i ss i on D a t a
A n d A r e C B I )

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g A n nu al e m i ss i on s o f e a c h F

- G H G e m i t t ed f r o m ea c h p r o c e ss t y p e

f o r w hi c h y ou r f a c il i t y i s r e q ui r ed t o c al c ul a t e e m i ss i on s a s

c al c u l a t ed i n E qu a t i on s I

- 6 a n d I

- 7

. 98

. 96 c 1 E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g A n nu al e m i ss i on s o f e a c h F

- G H G e m i t t ed f r o m ea c h i n di v i du al

r e c i p e ( in c l u d i n g t h o s e i n a s e t o f s i m i l a r r e c i p e s )

. 98

. 96 c 2 E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g A n nu al e m i ss i on s o f e a c h F

- G H G e m i t t ed f r o m ea c h p r o c e ss s ubt y p e a s c a l c u l a t ed i n E qu a t i on s I

- 8 a n d I

- 9

. 98

. 96 c 2 E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g E m i ss i on s o f N 2 O e m i t t e d f r o m e a c h c h e m i c a l v a p o r d e p o s i t i o n

p r o c e ss a n d f r o m o t h e r N 2 O u s i n g m a n u f a c t u r i n g p r o c e s s e s a s

c al c u l a t ed i n E qu a t i on I

- 1 0

. 98

. 96 c 3 E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g E m i ss i on s o f ea c h f l u o r i n a t e d h ea t t r an s f e r f l u id e m i tt ed a s

c al c u l a t ed i n E qu a t i on I

- 16 98

. 96 c 4 E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g T he m e t h od o f e m i ss i on s c a l c ul a t i on u s ed i n 40 C F R 98

. 9 3

. 98

. 9 6d E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g A n nu al p r odu c t i on i n t e r m s o f s u b s t r a t e s u r f a c e a r ea

. 98

. 9 6e C

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F i l m o r s u b s t r a t e t h a t w a s e t c h ed / c l ea n e d a n d t h e f ea t u r e t y p e

t h a t w a s e t c h e d

. 98

. 96 f 2 ND

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g C e r t i f i c a t i on t h a t t h e r e c ip e s in c l u d e d i n a s e t o f s i m i l a r r e c i p e s

a r e s i m i l a r

. 98

. 96 f 3 ND

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g C e r t i f i c a t i on t h a t t h e m ea s u r e m en t s f o r a l l r e p o r t e d r e c ip e

- s p e c i f i c

u t i l i z a t i on a n d b y

- p r o d u c t f o r m a t i on r a t e s a n d / o r f a c i l i t y

- s p e c i f i c
N 2 O u t i l i z a t i on f a c t o r s w e r e m a d e u s i ng t h e I n t e r n a t i o n a l

SE M A T E CH # 0 6 1 2 4 8 25 A

– E N G ( i n c o r p o r a t ed b y r e f e r en c e

, s ee
40 C F R 98

. 7 )

, o r t h e I n t e r n a t i o n a l S E M A T E CH # 0 1 1 0 4 1 9 7 A

– X F R ( in c o r p o r a

t e d b y r e f e r en c e

, s ee 4 0 C F R 9 8

. 7 ) i f m ea s u r e m en t s

w e r e m a d e p r i o r t o J an u a r y 1

, 2 0 07

. 98

. 96 f 4 X

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g W h e n y ou u s e f a c t o r s f o r F

- G H G p r o c e ss u t il i z a t i o n and b yp r odu c t f o r m a t i o n r a t e s o t h e r t h an t h e d e f a u l t s p r o v id ed i n T ab l e s
I

- 3

, I

- 4 , I

- 5

, I

- 6

, an d I

- 7 an d / o r N 2 O u t i l i z a t i on f a c t o r s o t h e r t h an

t h e d e f au l t s p r o v id e d i n T a bl e I

- 8

, s ou r c e o f t h e r e c i p e

- s p e c i f i c

u t i l i z a t i on

. 98

. 96 f 5 X

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g W h e n y ou u s e f a c t o r s f o r F

- G H G p r o c e ss u t il i z a t i o n and b yp r odu c t f o r m a t i o n r a t e s o t h e r t h an t h e d e f a u l t s p r o v id ed i n T ab l e s
I

- 3

, I

- 4 , I

- 5

, I

- 6

, an d I

- 7 an d / o r N 2 O u t i l i z a t i on f a c t o r s o t h e r t h an

t h e d e f au l t s p r o v id e d i n T a bl e I

- 8

, s ou r c e o f t h e b y

- p r odu c t

f o r m a t i on r a t e s

. 98

. 96 f 5 X

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g W h e n y ou u s e f a c t o r s f o r F

- G H G p r o c e ss u t il i z a t i o n and b yp r odu c t f o r m a t i o n r a t e s o t h e r t h an t h e d e f a u l t s p r o v id ed i n T ab l e s
I

- 3

, I

- 4 , I

- 5

, I

- 6

, an d I

- 7 an d / o r N 2 O u t i l i z a t i on f a c t o r s o t h e r t h an

t h e d e f au l t s p r o v id e d i n T a bl e I

- 8

, s ou r c e o f t h e f a c i l i t y

- s p e c i f i cN 2 O u t i l i z a t i on f a c t o r s

. 98

. 96 f 5 X

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g W h e n y ou u s e f a c t o r s f o r F

- G H G p r o c e ss u t il i z a t i o n and b yp r odu c t f o r m a t i o n r a t e s o t h e r t h an t h e d e f a u l t s p r o v id ed i n T ab l e s
I

- 3

, I

- 4 , I

- 5

, I

- 6

, an d I

- 7 an d / o r N 2 O u t i l i z a t i on f a c t o r s o t h e r t h an

t h e d e f au l t s p r o v id e d i n T a bl e I

- 8

, c e r t i f i c a t i o n t h a t t h e c on d i t i on s

u nd e r w h i c h t h e m ea s u r e m en t s w e r e m a d e f o r f a c i li t y

- s p e c i f i c
N 2 O u t i l i z a t i on f a c t o r s a r e r ep r e s en t a t i v e o f y o u r f a c i li t y ’ s N 2 O

e m i t t i n g p r odu c t i on p r o c e s s e s

. 98

. 96 f 6 PX

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r a l l F

- G H G o r N 2 O u s e d a t y o u r f a c i l i t y f o r w h i c h y ou h a v e n o t

c al c u l a t ed e m i ss i on s u s i n g E qu a t i on s I

- 6 t h r o u g h I

- 10 : R e p o r t t h e

c h e m i c al n a m e o f t h e G H G u s e d

. 98

. 9 6g C

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r a l l F

- G H G o r N 2 O u s e d a t y o u r f a c i l i t y f o r w h i c h y ou h a v e n o t

c al c u l a t ed e m i ss i on s u s i n g E qu a t i on s I

- 6 t h r o u g h I

- 10 : R e p o r t t h e

a n n u al c on s u m p t i o n o f t h e g a s

. 98

. 9 6g C

# 6 S ub p a r t D a t a E l e m e nt R e po r t in g S ec t ion 

## Ca t e go ry

F a c ili t y a n d

U n i t

Id e n t i f i e r
In f o r ma t io n (E m i s s io n
D a t a ) E m i ss i o n s

(E m i s s io n
D a t a ) U n i t

/ P r o c e s s

' St a t i c '

C h a r a c t e r i s t i c s
T h a t a r e N o t Inpu t s t o

E m i ss i on
E qu a t i o n s U n i t /p r o c e s s
O p e r a t in g
C h a r a c t e r i s t i c s
T h a t a r e N o t Inpu t s t o

E m i ss i on
E qu a t i o n s C a l c u l a t i o n

M e t hodol o g y
& M e t hod.

T i e r (E m i s s io n
D a t a ) T es t &

C a lib r a t i on

M e t hod s ( N o t

E m i ss i on

D a t a A n d

N o t C B I ) P r od u c t i on/

T h r ough p u t D a t a

T h a t a r e N o t I n pu t s

t o E m i s s i on
E qu a t i o n s ( N o t E m i ss i on D a t a
A n d A r e C B I ) R a w M a t e r i a l s

C on s u m e d Th a t a r e

N o t I n pu t s t o
E m i ss i on
E qu a t i o n s ( N o t E m i ss i on D a t a
A n d A r e C B I ) D a t a E l e m e n t s
R e po r t e d f o r

P e r i o d s o f M i s s in g
D a t a t h a t a r e N o t Inpu t s t o E m i ss i on

E qu a t i o n s (E m i s s io n D a t a ) P r o c e s s S p e c i f i c &

V e n d o r D a t a
S u b m i t t e d i n B A M M

E x t e n s io n
R e q u es t s ( N o t E m i ss i on D a t a
A n d A r e C B I )

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r a l l F

- G H G o r N 2 O u s e d a t y o u r f a c i l i t y f o r w h i c h y ou h a v e n o t

c al c u l a t ed e m i ss i on s u s i n g E qu a t i on s I

- 6 t h r o u g h I

- 10 : R e p o r t a
b r i e f d e sc r i p t i o n o f G H G u s e

. 98

. 9 6g P C

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g I d en t i f i c a t i on o f t h e q u an t i f i ab l e m e t r i c u s ed in y ou r f a c i l i t y

- s p e c i f i c

e n g in ee r i ng m o d el t o ap p o r t i o n g a s c on s u m p t i on

. 98

. 9 6 m i ND

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g S t a r t an d end d a t e s s e l e c t e d u n d e r 40 C F R 98

. 9 4 ( c )( 2 ) ( i )

. 98

. 9 6 m i i X

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g C e r t i f i c a t i on t h a t t h e g a s e s y o u s e l e c t ed u nd e r 4 0 C F R

98

. 9 4 ( c )( 2 )( i i ) c o r r e s p o n d t o t h e l a r g e s t q u a n t i t i e s c on s u m ed on a

m a ss b a s i s

, a t y o u r f a c i li t y in t h e r e p o r t in g y e a r f o r t h e pl a s m a

e t c h i n g p r o c e ss t y p e

. 98

. 9 6 m ii i X

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g C e r t i f i c a t i on t h a t t h e g a s e s y o u s e l e c t ed u nd e r 4 0 C F R

98

. 9 4 ( c )( 2 )( i i ) c o r r e s p o n d t o t h e l a r g e s t q u a n t i t i e s c on s u m ed on a

m a ss b a s i s

, a t y o u r f a c i li t y in t h e r e p o r t in g y e a r f o r t h e c h a m b e r

c l ean i ng p r o c e ss t y p e

. 98

. 9 6 m ii i X

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g T he r e s ul t o f t h e c al c u l a t i o n c o m p a r i n g t h e a c t u al a n d m o d e l ed

g a s c on s u m p t i on u nd e r 4 0 C F R 9 8

. 94 ( c ) ( 2 )( i ii )

. 98

. 9 6 m i v X

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g I n v e n t o r y o f a l l a b a t e m e n t s y s t e m s t h r o u g h w h i c h F

- G H G s o r
N 2 O f l o w a t y ou r f a c i li t y

. 98

. 9 6p P C

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g D e sc r ip t i on o f al l a b a t e m e n t s y

s t e m s t h r ou g h w hi c h F

- G H G s o r
N 2 O f l o w a t y ou r f a c i li t y

. 98

. 9 6p PX

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g N u m b e r o f a b a t e m en t d e v i c e s o f ea c h m a n u f a c t u r e r t h r o u gh

w hi c h F

- G H G s o r N 2 O f l o w a t y o u r f a c i l i t y

. 98

. 9 6p P C

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g M o d el n u m b e r s o f a b a t e m e n t de v i c e s t h r o u gh w hi c h F

- G H G s o r

N 2 O f l o w a t y ou r f a c i li t y

. 98

. 9 6p PX

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g D e s t r u c t i o n o r r e m o v a l e ff i c i e n c i e s

, i f a n y

, c l a i m ed b y

m anu f a c t u r e r s o f a b a t e m e n t d e v i c e s t h r o u g h w h i c h F

- G H G s o r
N 2 O f l o w a t y ou r f a c i li t y

. 98

. 9 6p PX

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g D e s t r u c t i o n an d r e m o v al e ff i c i en c y m e a s u r e m en t r e c o r d s f o r

a b a t e m en t s y

s t e m t h r o ug h w h i c h F

- G H G s o r N 2 O f l o w a t y o u r
f a c i l i t y o v e r i t s i n

- u s e li f e

. 98

. 9 6p PX

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g D e sc r ip t i on o f t h e t ool s a s s o c i a t ed w i t h ea c h a b a t e m en t s y s t e m

. 98

. 9 6p P C

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g M o d el n u m b e r s o f t h e t ool s a s s o c i a t ed w i t h ea c h a b a t e m en t

s y s t e m

. 98

. 9 6p P C

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g T he r e c ip e ( s )

, p r o c e ss s u b

- t y p e

, o r t y p e f o r t h e t ool s a s s o c i a t ed

w i t h e a c h a b a t e m e n t s y s t e m

. 98

. 9 6p P C

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g C e r t i f i c a t i on t h a t t h e a b a t e m en t s y s t e m i s in s t a ll ed

, m a i n t ai n e d

,
a n d o p e r a

t e d a c c o r d i ng t o m a n u f a c t u r e r s p e c i f i c a t i on s

. 98

. 9 6 q 1 PX

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g C e r t i f i c a t i on t h a t t h e a b a t e m en t s y s t e m s f o r w hi c h c o n t r ol l ed

e m i ss i on s a r e b e i n g r e p o r t ed a r e s p e c i f i c al l y d e s i g n ed f o r F

- G H G

a n d N 2 O a b a t e m en t

, i n c l u d i ng a b a t e m e n t s y s t e m s u p p l i e r
d o c u m en t a t i on

. 98

. 9 6 q 4 PX

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g A d e sc r i p t i on o f t h e a b a t e m e n t s y

s t e m c l a ss f o r w hi c h y o u a r e

r e p o r t in g c on t r ol l e d e m i ss i on s

. 98

. 9 6 q 5i PX

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g T he F

- G H G a n d N 2 O i n t h e e ff l u en t s t r ea m t o t h e a b a t e m e n t

s y s t e m i n t h e c l a ss f o r w hi c h y ou a r e r e p o r t i n g c o n t r ol l ed

e m i ss i on s

. 98

. 9 6 q 5i PX

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g T he m a n u f a c t u r e r o f t h e a b a t e m en t s y s t e m i n t h e c l a ss f o r w h i c h

y o u a r e r e p o r t i n g c on t r o ll ed e m i ss i o n s

. 98

. 9 6 q 5i PX

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g T he m o d e l nu m b e r o f t h e a b a t e m e n t s y

s t e m in t h e c l a ss f o r w hi c h

y o u a r e r e p o r t i n g c on t r o ll ed e m i ss i o n s

. 98

. 9 6 q 5i PX

# 7 S ub p a r t D a t a E l e m e nt R e po r t in g S ec t ion 

## Ca t e go ry

F a c ili t y a n d

U n i t

Id e n t i f i e r
In f o r ma t io n (E m i s s io n
D a t a ) E m i ss i o n s

(E m i s s io n
D a t a ) U n i t

/ P r o c e s s

' St a t i c '

C h a r a c t e r i s t i c s
T h a t a r e N o t Inpu t s t o

E m i ss i on
E qu a t i o n s U n i t /p r o c e s s
O p e r a t in g
C h a r a c t e r i s t i c s
T h a t a r e N o t Inpu t s t o

E m i ss i on
E qu a t i o n s C a l c u l a t i o n

M e t hodol o g y
& M e t hod.

T i e r (E m i s s io n
D a t a ) T es t &

C a lib r a t i on

M e t hod s ( N o t

E m i ss i on

D a t a A n d

N o t C B I ) P r od u c t i on/

T h r ough p u t D a t a

T h a t a r e N o t I n pu t s

t o E m i s s i on
E qu a t i o n s ( N o t E m i ss i on D a t a
A n d A r e C B I ) R a w M a t e r i a l s

C on s u m e d Th a t a r e

N o t I n pu t s t o
E m i ss i on
E qu a t i o n s ( N o t E m i ss i on D a t a
A n d A r e C B I ) D a t a E l e m e n t s
R e po r t e d f o r

P e r i o d s o f M i s s in g
D a t a t h a t a r e N o t Inpu t s t o E m i ss i on

E qu a t i o n s (E m i s s io n D a t a ) P r o c e s s S p e c i f i c &

V e n d o r D a t a
S u b m i t t e d i n B A M M

E x t e n s io n
R e q u es t s ( N o t E m i ss i on D a t a
A n d A r e C B I )

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g T he t o t al nu m b e r o f a b a t e m e n t s y s t e m s i n t h a t a b a

t e m e n t s y

s t e m

c l a ss f o r t h e r e p o r t i n g y ea r

. 98

. 9 6 q 5 i i P C

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g T he t o t al nu m b e r o f a b a t e m e n t s y s t e m s f o r w h i c h d e s t r u c t i on o r

r e m o v a l e ff i c i e n c y w a s m ea s u r ed i n t h a t a b a t e m e n t s y s t e m c l a ss
f o r t h e r e p o r t i n g y ea r

. 98

. 9 6 q 5 i ii P C

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g A d e sc r i p t i on o f t h e c a l c ul a t i on u s ed t o d e t e r m in e t h e c l a ss

a v e r a g e

. 98

. 9 6 q 5i v E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g A d e sc r i p t i on o f m e t h od o f r an d o m l y s e l e c t i n g c l a ss m e m b e r s f o r

t e s t i ng

. 98

. 9 6 q 5 v E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g W h e r e m i ss in g d a t a p r o c edu r e s w e r e u s ed t o e s t i m a t e in pu t s in t o

t h e f l u o r i n a t ed h ea t t r an s f e r f lu i d m a ss b a l an c e e qu a t i on u nd e r 4 0

C F R 9 8

. 95 ( b )

, t h e n u m b e r o f t i m e s m i ss i ng d a t a p r o c e d u r e s w e r e
f o ll o w e d i n t h e r e p o r t i n g y e a r

. 98

. 96 s E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g W h e r e m i ss in g d a t a p r o c edu r e s w e r e u s ed t o e s t i m a t e in pu t s in t o

t h e f l u o r i n a t ed h ea t t r an s f e r f lu i d m a ss b a l an c e e qu a t i on u nd e r 4 0

C F R 9 8

. 95 ( b )

, t h e m e t h od u s ed t o e s t i m a t e t h e m i ss i n g d a

t a

. 98

. 96 s E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g A b r i e f d e sc r i p t i on o f ea c h “ b e s t a v ai l a bl e m oni t o r i n g m e t h od ”

u s e d

. 98

. 9 6 t E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g P a r a m e t e r m e a s u r ed o r e s t i m a t ed u s i n g t h e “ b e s t a v ai l a bl e

m oni t o r i n g m e t h od ” 98

. 9 6 t E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g T i m e p e r i od du r i n g w hi c h t h e “ b e s t a v a il a bl e m o n i t o r i n g m e t h od ”

w a s u s ed

. 98

. 9 6 t E

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r ea c h f l u o r in a t e d h ea t t r an s f e r f l u id u s ed

, w h e t h e r t h e

e m i ss i on e s t i m a t e i n c l u d e s e m i ss i on s f r o m all a p p l i c a t i on s o r f r o m

on l y t h e a p pli c a t i on s s p e c i f i ed i n t h e d e f i n i t i o n o f f l u o r i n a t ed h ea t

t r a n s f e r f l u id s i n 4 0 C F R 9 8

. 9 8

. 98

. 9 6u PX

I

- E l e c t r o n i cs
M anu f a c t u r i n g F o r r e p o r t i n g y e a r 2 0 1 2 on l y

, t h e d a t e on w hi c h y o u b e g a n

m oni t o r i n g e m i ss i o n s o f f lu o r i n a t ed h ea t t r an s f e r f lu i d s w h o s e

v a p o r p r e s s u r e f all s b e l o w 1 m m o f H g ab s olu t e a t 2 5 d eg r ee s C

. 98

. 9 6 v PX