Першими фільмами з надприродними явищами, насиченими елементами фантасмагорії та кошмару, з'явилися ще у Жоржа Мальєса в кінці 1890-х років, одна з найвідоміших його робіт — це фільм 1896 року «Замок диявола». Це перший кінофільм, у якому використовувалися примітивні спецефекти. Розквіт жанру відбувся в Німеччині, де було створено багато популярних у майбутньому тем, як-то «Празький студент» (1913) чи «Ґолем» (1915). Основоположні персонажі фільмів жанру були запозичені зі страшних історій, створених німецьким експресіонізмом. Так, героєм фільму «Кабінеті доктора Каліґарі» (1920) був шалений вбивця, а в фільмі «Носферату, симфонія жаху» (1921) Фрідріха Вільгельма Мурнау вперше був використаний сюжет роману «Дракула» Брема Стокера.