Ende November 2014 eröffnete die Staatsanwaltschaft ein Verfahren gegen Mas im Zusammenhang mit der Volksbefragung über die politische Zukunft Kataloniens vom Beginn des Monats. Ebenfalls angeklagt wurden seine Stellvertreterin Joana Ortega sowie die Kultusministerin Irene Rigau. Ihnen wurde Ungehorsam, Rechtsbeugung, Amtsanmaßung und Unterschlagung öffentlicher Gelder zur Last gelegt. Der Prozess begann Anfang Februar 2017. Am 13. März 2017 wurde Mas vom obersten Gericht Kataloniens zu einer Geldstrafe in Höhe von 36.500 Euro verurteilt, außerdem wurde ihm für die Dauer von zwei Jahren untersagt, politische Ämter zu bekleiden; das Urteil wurde später auf 13 Monate begrenzt, so dass Mas ab Februar 2020 wieder für Amter antreten kann.