В 1813 году состоялось сражение при Баутцене между французами и саксонцами, с одной стороны, и пруссаками и русскими, с другой. Лужицкие сербы участвовали в битве под Лейпцигом 1813 года. Венский конгресс 1815 года заново разделил Лужицу: значительная часть Саксонского королевства вместе со всей Нижней Лужицей и северной и восточной частями верхнелужицкого маркграфства вошли в состав Пруссии. 200 тысяч лужицких сербов оказались во владениях Пруссии, 50 тысяч остались в Саксонии. Нижняя Лужица с Котбусским районом вошли в состав административного округа (провинция Бранденбург), а северная часть Верхней Лужицы — в состав административного округа Лигниц (провинция Силезия). На территории саксонской части Верхней Лужицы было образовано особое маркграфство.