Efter upplösningen av Napoleons Kungariket Italien 1814, och den slutliga förlusten vid Slaget vid Waterloo fick Ferdinand III:s son, Francesco IV åter bli hertig av Modena under dominans av den Habsburgska monarkin. Strax därefter ärvde han Hertigdömet Massa och Carrara av sin mor. Under Italiens enande från 1830-60-talet blev de Österrikiska-Este hertigarna avsatta i revolutionerna 1831 och 1848, men återvände efter de slogs ner.