משנת 1777 ועד לפרוץ מלחמת העולם הראשונה ב-1914 התקיימה עלייה חסידית לערי הגליל העליון - טבריה וצפת, שהפכו עם הזמן לערים יהודיות ברובן. ב-1882 הוקמה ראש פינה, המושבה היהודית הראשונה בגליל, וב-1883 הוקמה יסוד המעלה. בהמשך הוקמו תל חי וכפר גלעדי, שננטשו ב-1920 לאחר מאורעות תל חי.