1813 zogen die Franzosen nach der Niederlage in der Völkerschlacht bei Leipzig aus dem Großherzogtum ab und es fiel ab Ende 1813 unter die provisorische Verwaltung durch Preußen im Generalgouvernement Berg. Der größte Teil des Großherzogtums blieb nach 1816 endgültig bei Preußen. Der Raum um Lingen und Nordhorn kam zum Königreich Hannover und das Gebiet des Arrondissements Dillenburg zum Herzogtum Nassau.