En el siglo XIX el proceso de creación urbana fue haciéndose escaso desde la iniciativa oficial, dándose en cambio el surgimiento de estos centros de manera espontánea. Destacan entre otros la fundación de San Bernardo y La Unión (1821), San Javier (1852) o Taltal (1878); Puerto Montt (1853) o Puerto Varas (1854) en el contexto de la Colonización Alemana; Punta Arenas (1848) para afianzar la colonización de Magallanes; y tras la Pacificación de la Araucanía, Temuco (1880), Lautaro (1881) o Gorbea (1904). Asimismo, surgen espontáneamente algunos centros urbanos a partir de poblaciones instaladas alrededor de los puertos, como Coquimbo (1867), Viña del Mar (1878) o San Antonio (1894), o de un centro productivo importante. En esta época, se distinguían los centros urbanos en pueblos, villas y ciudades; sólo los dos últimos podían ser cabeza de una subdelegación, y una villa podía convertirse en ciudad mediante decreto del ejecutivo, o excepcionalmente por medio de una ley.