Powiat powstał w 1743 r. Po podziale prowincji Śląsk w 1816 r. powiat Tost-Gleiwitz włączono do rejencji opolskiej. W 1818 r. z części powiatów Tost-Gleiwitz, Pleß i Ratibor utworzono nowy Rybnik. W latach 1841-1869 siedzibą powiatu był Gut Kamienietz, a następnie Gliwice. W 1897 r. z powiatu wydzielono miasto Gliwice, które utworzyło odrębny powiat miejski. Po plebiscycie na Górny Śląsku w 1922 r. powiat pozostał w Niemczech. W czasie II wojny światowej powiat włączono do rejencji katowickiej, obejmującej również okupowane ziemie polskie. W 1945 r. terytorium powiatu zajęła Armia Czerwona i znalazł się on pod administracją polską.