Rettsoppgjøret etter krigen skjedde blant annet i form av Auschwitzprosessen, Majdanekprosessen, Nürnbergprosessen og Einsatzgruppenprosessen. Auschwitzprosessen foregikk i Kraków i regi av polske myndigheter og der ble blant andre Arthur Liebehenschel mens Rudolf Höß ble dømt og henrettet i 1947 før de andre Auschwitz-sakene. Himmler tok sitt eget liv i mai 1945 før rettsoppgjøret. Ernst Kaltenbrunner var den eneste blant de øverste ansvarlige for folkemordet i Nürnbergprosessen. Senere fulgte saken mot Adolf Eichmann i Israel i 1961. Rettssaken ble en internasjonal begivenhet og ofrene for nazistenes utryddelsespolitikk var i sentrum i rettssalen. Frankrikes sake mot Klaus Barbie i 1987 satte på dagsorden Frankrikes samarbeid med nazistene. I 1963-1965 gjennomførte Vest-Tyskland sin egne Auschwitz-rettssaker i Frankfurt, trolig den viktigste i Tyskland etter krigen. Det var flere og mer pålitelige vitnemål i sakene mot lavere funksjonærer som beveget seg blant de internerte i Auschwitz. For eksempel ble Robert Mulka (Höß' adjutant) bare dømt for medvirkning til 3000 drap og fikk 14 års fengsel, mens korporal Josef Klehr, som moret seg med å drepe pasienter med fenol, ble dømt for 475 mord og satt i fengsel resten av livet. Klehr ble et monster som tyskere flest kunne distansere seg fra. Hellmuth Reinhard, Gestapo-sjef i Norge, ble på 1960-tallet av en tysk domstol funnet skyldig i deportasjonene fra Norge, men punktet var foreldet etter tysk strafferett.