Luostari on perustettu vuonna 1578. Sen perustaja oli Pyhä Timotheos Euriposlainen. Luostari oli lähes sen perustamisesta lähtien stauropegiaalinen eli suoraan Konstantinopolin alaisuudessa. Vuodesta 1858 se on kuulunut Ateenan hiippakunnan alaisuuteen. Osmanivallan aikana luostari omisti paljon maita Pentéli-vuoren alueella ja muualla Attikassa. Luostari tuhoutui venetsialaisten ja turkkilaisten sodan aikana 1688–1690 ja toisen kerran Kreikan vapaussodan aikana vuonna 1821. 2010-luvulla luostarin kirjoissa oli 58 munkkia ja siellä asui pysyvästi 17 munkkia.