Nach dem Frieden von Tilsit wurde Bentheim am 22. Januar 1808 in das 2. Westpreußische Infanterie-Regiment versetzt. Daran schloss sich ab dem 24. März 1811 eine Verwendung als Major im 1. Schlesischen Infanterie-Regiment Nr. 10 an und als solcher wurde Bentheim am 2. März 1813 zum Kommandeur des III. Bataillons ernannt. In gleicher Eigenschaft wurde er am 1. Juli 1813 in das 5. Reserve-Infanterie-Regiment (Nr. 17) versetzt. Während der Befreiungskriege kämpfte Bentheim in den Schlachten bei Bautzen, Großbeeren und Dennewitz, wo er sich das Eiserne Kreuz II. Klasse erwarb. Er nahm außerdem an den Belagerungen von Wittenberg und Bitsch sowie dem Sturm auf Arnheim teil. Für sein Verhalten in der Schlacht bei Laon wurde Bentheim mit dem Orden der Heiligen Anna II. Klasse ausgezeichnet. Am 26. Juni 1815 wurde er zum Oberstleutnant befördert und am 26. Juli 1815 in das 20. Infanterie-Regiment versetzt. Dort wurde er am 30. März 1818 mit Patent vom 11. April 1818 zum Oberst befördert. Am 29. Mai 1821 wurde er als Direktor in das Militär-Knaben-Erziehungsinstitut in Annaburg versetzt. Am 28. August 1825 bekam er das Ritterkreuz des sächsischen Zivilverdienstordens und das Dienstkreuz. Anlässlich seines 50-jährigen Dienstjubiläums wurde Bentheim am 25. März 1834 der Rote Adlerorden III. Klasse mit Schleife verliehen. Am 8. August 1835 bekam er seinen Abschied mit dem Charakter als Generalmajor und einer jährlichen Pension von 1500 Talern. Er starb am 4. April 1840 in Potsdam.