Ліквідавана ў 1793 г. згодна з рашэннямі Гарадзенскага сойма. У 1772 г. правабярэжная частка ваяводства адышла да Расійскай імперыі і ў выглядзе Полацкай правінцыі ўвайшла ў склад Пскоўскай губерні. Левабярэжная частка засталася ў складзе Вялікага Княства Літоўскага. Цэнтрам Полацкага ваяводства стаў Лепель, з 1776 г. — Ушачы, з 1791 г. — Чашнікі. У 1793 г. паводле другога падзела Рэчы Паспалітай астатняя частка Полацкага ваяводства была далучана да Расійскай імперыі і ўвайшла ў Полацкага намесніцтва.