El 31 de marzo de 1887, Planck se casó con su prometida, Marie Merck (1861- 1909), hija de un banquero de Múnich y hermana de uno de sus compañeros de clase. . Max Planck fue padre de familia desde 1888 . La pareja se estableció en Grunewald, un suburbio de Berlín. Tuvieron un total de cuatro hijos, todos los cuales murieron antes que él. Su hijo mayor, Karl, nacido en 1888, murió el 26 de mayo de 1916, durante la Batalla de Verdún. Sus hijas gemelas, Grette y Emma, nacidas en 1889, murieron respectivamente el 15 de mayo de 1917 y el 21 de noviembre de 1919 . Su hijo menor, Erwin, nacido en 1893, fue hecho prisionero en Francia. Erwin se mantuvo muy unido a su padre durante el periodo de entreguerras, ocupando importantes cargos administrativos en la República de Weimar. Fue detenido en 1944, acusado de intentar asesinar a Hitler como parte del complot del 20 de julio de 1944. Erwin fue ejecutado el 23 de enero de 1945.