I 1580'erne efter Den livlandske krig, hvor Sverige havde erobret det nordlige Estland, blev amterne Harjumaa, Järvamaa, Läänemaa og Virumaa officielt dannet. Sydestland, som tilhørte Polen fra 1582-1620, blev opdelt i voivodskaberne Pärnu vojevoodkond og Tartu vojevoodkond. Øen Saaremaa tilhørte Danmark indtil 1645. De blev alle amter, da de kom ind under svensk herredømme.