1950年11月，中央人民政府人民革命军事委员会军训部部长萧克向中央建议成立防化学兵学校，并且建议野战军和兵团分别编设防化科，军编设防化股，师、团、营编设防化参谋。萧克的建议获周恩来支持。1950年12月1日，毛泽东批准成立中国人民解放军防化学兵学校。1951年，入朝鲜参加抗美援朝战争的中国人民志愿军部队在师、团、营建立防化分队。截至1953年，全军已设有100余个防化连，各大军区先后成立了防化兵处，总参谋部军训部设防化兵处。1955年4月19日，中共中央军委第29次会议讨论军委军训部部长萧克《关于化学兵建设问题的建议》，决定成立中央军委防化学兵部，并且责成总参谋长粟裕负责筹建工作。1955年5月20日，中华人民共和国国防部颁发防化学部编制表，防化学部下辖办公室、8个处以及管理科。1956年1月1日，防化学部正式组成并开始办公。张廼更担任首任部长