Ayaş ist eine alte Siedlung, die bereits in osmanischer Zeit blühte. Es war bereits 1354 unter osmanische Herrschaft geraten und wird bereits bei Evliya Çelebi mit seinen Herbergen, Badehäusern, Brunnen, Gärten und Weinbergen erwähnt. Die Lage an einem Zweig der Seidenstraße, der über Ankara nach Istanbul führte, begünstigte die Entwicklung von Kultur, Handel und Gewerbe und die frühe Ausbildung administrativer Einrichtungen. Seinerzeit war die Bevölkerung zahlreicher als heute. Ayaş wurde bereits im 19. Jahrhundert eine eigene Gemeinde. Während des Völkermordes an den Armeniern war Ayaş ab dem Jahre 1915 Sammellager und Hinrichtungsort zahlreicher aus Istanbul deportierter armenischer Intellektueller.