Во время войны 1654—1667 годов Смоленское воеводство было занято русскими войсками, уже на начальном этапе войны был взят Смоленск. По итогам Андрусовского перемирия 1667 года и Вечного мира 1686 года территория воеводства вернулась в состав Русского царства, но в Речи Посполитой продолжали существовать поветовые должности Смоленского воеводства, а бежавшая с территории воеводства шляхта (эзгулянты) собирала сеймики в Вильне. В 1793 году номинально существовавшее Смоленское воеводство было ликвидировано, а должности смоленских воеводы и каштеляна были переименованы в мерецких.