Foi somente quando Cneu Pompeu Magno venceu os piratas na decisiva Batalha de Coracésio (na moderna Alanya) em que eles foram finalmente expulsos e a Cilícia Traqueia foi conquistada. Depois que Pompeu recebeu o comando da Terceira Guerra Mitridática, ele forçou a rendição de Tigranes e conquistou-lhe as porções da Cilícia Pédias que ainda estavam sob controle armênio. Em , Pompeu organizou a criação da nova província da Cilícia e anexou a ela todas as suas conquistas. A capital escolhida por ele foi Tarso. Ele subdividiu a Cilícia em seis partes: Cilícia Campestre, Cilícia Áspera, Panfília, Pisídia, Isáuria e Licônia. Estavam também sob o comando da nova província uma grande parte da Frígia, incluindo o convento jurídico de Laodiceia, Apameia e .