Korkea-arvoisimpia kansallissosialistisia sotarikollisia tuomittiin Nürnbergin oikeudenkäynneissä. Adolf Hitler ja Joseph Goebbels tekivät itsemurhan sodan vielä ollessa käynnissä, ja Heinrich Himmler murhasi itsensä ennen oikeudenkäyntiä. Sotarikollisia tuomittiin myös muun muassa Dachaun sotarikosoikeudenkäynneissä. Nürnbergin tuomioistuin piti natsien organisoimaa juutalaisten ja muiden kansanryhmien joukkotuhontaa niin vakavana rikoksena, että se määriteltiin rikokseksi koko ihmiskuntaa vastaan. Sotarikollisuusoikeudenkäynneissä käytettiin osittain taannehtivaa oikeudenkäyttöä, sillä useat sotarikolliset eivät olleet rikkoneet Saksan lakia. Jotkut saivat tuomioita muun muassa rikoksista rauhaa vastaan sekä hyökkäyssodan suunnittelusta. Osa sotarikollisista pakeni muun muassa Argentiinaan ja Espanjaan, esimerkiksi Josef Mengele, Adolf Eichmann, Franz Stangl, Gustav Wagner, Klaus Barbie, Aribert Heim, Walter Rauf, Alois Brunner ja Carl Vaernet.