Створана ў 1793 г. Гарадзенскім соймам у складзе Мерацкага павета, Прэнскага павета і Эйшышкскага павета. Тытут мерацкіх ваяводы і кашталяна атрымалі ваявода і кашталян скасаванага Смаленскага ваяводства. Пасля 3-га падзелу Рэчы Паспалітай (1795 г.) тэрыторыя ваяводства была падзелена па р. Нёман паміж Прусіяй (левабярэжжа) і Расійскай імперыяй (правабярэжжа).