Diels został zaaresztowany 3 maja 1945 i internowany do 1948. Od jesieni 1945 do lata 1947 był przesłuchiwany jako świadek oskarżenia w procesie norymberskim. Według Johna H. Herza, analizującego zeznanie Dielsa Wedle protokołu z procesu, praca Dielsa dla reżimu nazistowskiego została ostro skrytykowana przez Giseviusa.