У 1477 Люксембург перайшоў дынастыі Габсбургаў, а пад час падзела імперыі Карла V тэрыторыя апынулася пад уладай Іспаніі. Калі Нідэрланды пачалі паўстанне супраць Філіпа II, караля Іспаніі, Люксембург захоўваў нейтралітэт. У выніку гэтай рэвалюцыі герцагства перайшло пад уладу паўстаўшай краіны. Пачатак Трыдцацігадовай войны (1618—1648) прайшоў досыць спакойна для Люксембургу, але пасля ўступлення ў яе Францыі ў 1635 годзе ў герцагства прыйшлі сапраўдная бяда і разарэнне. Акрамя гэтага, Вестфальскі мір (1648) не прынёс спакою ў Люксембург — гэта адбылося толькі ў 1659 годзе ў выніку заключэння Пірэнейскага дагавора. У 1679—1684 гадах Людовік XIV, паступова заваёўваў Люксембург, але ўжо ў 1697 годзе Францыя передала яго Іспаніі. Пад час Вайны за іспанскую спадчыну Люксембург разам з Бельгіяй перайшоў да Габсбургаў, якія правілі Аўстрыяй. Праз шэсць год пасля пачатку Французскай Рэвалюцыі Люксембург зноў перайшоў да Францыі. Ранейшая тэрыторыя была падзелена на тры дэпартаменты, у якіх дзейнічала канстытуцыя Дырэкторыі. Сяляне Люксембурга трапілі пад дзеянне антыцаркоўных мер французскага ўрада, а ўвядзенне ваеннай павінасці ў 1798 годзе прывяло да паўстання ў Люксембургу, якое было жорстка падаўлена.