Den 23 mars 2018 meddelade domaren i Spaniens högsta domstol Pablo Llarena att han har påbörjat en process mot 25 av de 28 som är föremål för utredning av den kriminella planering ("diseño criminal") som skett i samband med omröstningen den 1 oktober. Fyra av Puigdemonts rådgivare samt tidigare talmannen Carme Forcadell häktades under dagen. Detta innebär att sammanlagt nio är fängslade, sju har flytt landet och nio är fortfarande fria. Tre (Artur Mas, Marta Pascal och Neus Lloveras) har endast haft marginell inblandning och är inte föremål för denna utredning. Den 25 mars greps Carles Puigdemont i Hamburg på väg från Finland till Belgien. Åtalspunkterna rör i olika grad uppror, förskingring och ohörsamhet och med straffsatser från två till tre månader fängelse upp till 25 år. (se vidare nedan under "Juridiska processer och exil")