A Cária foi em seguida incorporada pelo Império Aquemênida como uma satrapia em A cidade mais importante era Halicarnasso, de onde reinavam os sátrapas. Outras grandes cidades eram Heracleia no Latmos, Antioquia, Mindo, Laodiceia no Lico (Denizli), Alinda e Alabanda. A Cária participou da Revolta Jônica contra o domínio persa.