493 року до н. е. Кілікію було перетворено на сатрапію. Це відбулося слідом за придушенням Іонійського повстання, якому допомагали карійці та союзний з ними кілікійський цар Сіеннесіс II. Данину було збільшено. Крім того кілікія повинна була тепер надавати війська, насамперед моряків, та судна (в різні часи від 600 до 100 бойових кораблів). Але представники династії продовжували керувати Кілікією (в середині йменувалися царями).