Губернський апарат місцевого самоврядування залишався в силі до XX століття. Під час столипінської реакції (1907–1910) були відновлені надзвичайні методи управління. Посилилась роль поліцейських органів і станово-дворянських організацій (Рада об'єднаного дворянства). Після Лютневої революції 1917 року буржуазний Тимчасовий уряд зберіг усю систему губернських закладів. Губернатори були замінені губернськими комісарами (у повітах — повітовими комісарами), проте з переважанням дворянсько-поміщицького складу. Одночасно з цим формувалася система Рад, яка протистояла місцевим владам Тимчасового уряду. Жовтнева революція, зберігши спочатку губернський поділ, ліквідувала весь старий губернський апарат і встановила нові органи радянської влади на чолі з губернськими виконкомами, яких обирали на губернському з'їзді Рад. Губернсько-територіальний поділ ліквідовано у 1924–1929 роках у зв'язку з районуванням СРСР і замінений поділом на області та краї, а пізніше й округи.