Auch als die Franzosen 1804 übersetzen wollten, war Benthien wieder dabei und erneut fand der Feldzug nicht statt. Am 29. Oktober 1804 wurde er zum Stabshauptmann befördert. Im Vierten Koalitionskrieg war er Teil der Truppen die in Deutschland einmarschierten. Er überschritt bei Wesel den Rhein und befand sich bei der Einnahme der Festungen Hameln (21. November) und Nienburg. Die Pioniere schlugen dann Brücken über die Weser und bauten Batterien an der Mündung der Elbe. In den Jahren 1807 bauten die Pionier auf Befehl des Generals Drouas eine Schiffsbrücke von ca. 300 m Länge über die Elbe und im Juli 1807 bauten die Pioniere eine Brücke bei Demmin über die Peene. Die Männer wurden in Gützkow einquartiert, wo sie bis zum September 1807 blieben. Er wurde am 8. August 1808 Hauptmann in einem französischen Pontonier-Bataillon. Während der englischen Walcheren-Expedition 1809, kämpfte er wieder in Holland. 1810 wurde Holland durch Frankreich annektiert und die holländische Armee in die französische integriert. 1811 wurde die Pioniere von Delft nach Straßburg verlegt, wo sie weiter nach französischem Muster ausgebildet wurden.