Under Revolutionskrigene mistede huset Nassau-Dietz sine besiddelser. I 1813 fik prins Vilhelm ret til at vende tilbage til Diez. Dette blev dog forhindret af Preussen, der i 1815 indlemmede Nassau-Diez i den preussiske Rhin-provins. Som erstatning fik Vilhelm det nuværende storhertugdømme Luxembourg og provinsen Luxembourg-Arlon. Denne provins måtte han afstå til Belgien allerede i 1839.