Impaziente di dedicarsi all'ultimo film della saga, che avrebbe costituito l'anello di congiunzione tra i prequel e la trilogia originale, Lucas cominciò a lavorare all"Episodio III", ancora prima che "L'attacco dei cloni" uscisse nei cinema. Egli comunicò agli artisti concettuali di ideare sette nuovi pianeti, sui quali si sarebbero combattute le guerre dei cloni; il montaggio di queste sequenze avrebbe costituito l'inizio del film. Successivamente il regista riorganizzò l'incipit, facendo sì che Palpatine venisse rapito e il Conte Dooku ucciso da Anakin, come primo passo del processo di trasformazione di Anakin in Dart Fener. Ad aprile 2003 Lucas completò la stesura della sceneggiatura, a cui seguirono altre versioni successive; le riprese iniziarono invece il 30 giugno 2003. A riprese ultimate, Lucas cambiò radicalmente le motivazioni per cui Anakin cede al lato oscuro, imputandone il motivo principale al tentativo di salvare la vita a Padmé. Questo risultato si ottenne tramite cambiamenti in post-produzione e riprese aggiuntive effettuate nel corso del 2004. "" debuttò infine il 15 maggio 2005 al 58º Festival di Cannes.