Rettsoppgjøret skjedde blant annet i form av Auschwitzprosessen. Auschwitzprosessen foregikk i Kraków i regi av polske myndigheter og dels mot personer utlevert fra de allierte, blant andre Arthur Liebehenschel som var Rudolf Höß' etterfølger som kommandant. Höß ble dømt og henrettet i 1947 før de andre Auschwitz-sakene. Liebehenschel ble utlevert til Polen og hengt etter Auschwitzprosessen. Hans Frank ble henrettet i Nürnberg i 1946.