Nach der Niederschlagung der napoleonischen Herrschaft über Europa fand durch die Gemeindeedikte 1818 wiederum eine Bayerische Verwaltungsreform statt, die dazu führte, dass die bisher zu Aibling gehörigen Orte Ellmosen, Mietraching und Willing selbständige Gemeinden wurden. Eine Volkszählung 1830 ergab daher eine Bevölkerungszahl von 1.088 Einwohnern. Erst 1838 wurde das Landgericht Aibling wieder eingerichtet; das alte Pflegschloss war mittlerweile umfassend renoviert worden.