Napóleon meghiúsult kontinentális gazdasága számos felkeléshez és lázadáshoz vezetett. A nagyhercegség rövid létezése véget ért, amikor a francia erők visszahúzódtak az 1813-as Lipcsei csata során. Ezt követően a területet Poroszország annektálta, amelyet hivatalosan a bécsi kongresszus is elfogadott. Berg része lett az újonnan létrejött Cleves-Berg tartománynak, míg Münster és Mark területei Vesztfália tartomány részei lettek.