Petit-fils du capitaine des gardes de François Jacques d'Angennes (†1562) et fils de l’ambassadeur Nicolas d'Angennes (†1611), il épousa en 1600 Catherine de Vivonne, fille de Jean de Vivonne, marquis de Pisany ; celle-ci lui donna sept enfants, dont deux fils : Léon Pompée d'Angennes, tué à la seconde bataille de Nordlingen (1645), et son cadet Louis (1623-1631), vidame du Mans, mort de la peste à l'âge de huit ans ; et cinq filles, dont Julie-Lucine, marquise de Rambouillet et de Pisany, à la mort de sa mère en 1665, et future duchesse de Montausier.