ทีแรกประเทศเยอรมนีใช้ค่ายกักกันเป็นที่กักขังศัตรูการเมืองและ "ปรปักษ์ต่อรัฐ" โดยไม่ชอบด้วยกฎหมาย ยังไม่มีการส่งยิวจำนวนมากไปค่ายกักกันจนหลังเหตุการณ์คืนกระจกแตกในเดือนพฤศจิกายน 1938 แม้มีอัตราการตายสูง แต่ค่ายไม่ได้ออกแบบมาเพื่อเป็นสถานที่ฆ่า หลังสงครามอุบัติในปี 1939 มีการตั้งค่ายใหม่ บางแห่งอยู่นอกเยอรมนีในทวีปยุโรปที่ถูกยึดครอง ในเดือนมกราคม 1945 เอ็สเอ็สรายงานว่ามีนักโทษกว่า 700,000 คนในความควบคุม ซึ่งข้อมูลของนักประวัติศาสตร์ส่วนใหญ่มีว่าเกือบครึ่งของจำนวนนี้เสียชีวิตเมื่อถึงปลายเดือนพฤษภาคม 1945 นักโทษยามสงครามส่วนใหญ่ของค่ายมิใช่เยอรมันแต่เป็นพลเมืองของประเทศที่อยู่ภายใต้การยึดครองของเยอรมนี