Miután Filippo Maria Visconti milánói herceg meghalt 1477-ben, Carrarát Sarzana ura, Tommaso Campofregoso szerezte meg, majd ismét a Malaspina család, akik a XVI. század második felében ide költöztették a "signoriájukat". Carrara és Massa alakította meg Massa és Carrara Hercegséget, amely a XV. századtól a XIX. századig létezett. Az utolsó Malaspina, Cybo-Malaspinai Mária Terézia alatt, aki az utolsó Este-házi III. Herkules Rinaldo modenai herceg felesége lett, a város Modena és Reggio Hercegségének része lett. Az Este-ház utolsó uralkodó hercegét 1796-ban Bonaparte Napoléon tábornok első itáliai hadjárata során, 1796-ban fosztották meg hatalmától.