În timpul Războiului Primei Coaliții, ducatul este ocupat de trupele revoluționare franceze iar în 1795 teritoriul său este înglobat în Republica franceză unde face parte din departamentul Forêts. Prin Pacea de la Campo Formio anexarea este recunoscută de puterile internaționale, astfel luând sfârșit existența ducatului de Luxemburg. Acesta va fi reconstituit în urma Congresului de la Viena și va fi ridicat la rangul de Mare Ducat, în uniune personală cu Regatul Unit al Țărilor de Jos.