С 1796 года, с началом революционных и наполеоновских войн, в княжество вторгались французы (на короткое время установившие республику), англичане и неаполитанцы. После битвы при Маренго княжество было аннексировано Францией. В 1805 году Наполеон создал для своей сестры Элизы на территории бывших республики Лукка и княжества Пьомбино новое княжество Лукка и Пьомбино.