С 1793 года после второго раздела Речи Посполитой Илья, входит в образованный Докшицкий уезд в составе Российской империи, после упразднения уезда в 1797 году, местечко вошло в состав Вилейского уезда в составе сначала Минской губернии, а с 1843 года Виленской губернии. После участия Михаила Огинского в восстании Костюшко имение было конфисковано в государственную казну, в XIX веке неоднократно меняло хозяев. Около 1828 года в Илье построена деревянная православная церковь св. Ильи.