После взятия в 1552 году Казани и подавления антимосковских мятежей 1552—1557 годах в подданство Москвы перешли и чуваши, проживавшие на Луговой стороне. В Чувашии были построены города-крепости Чебоксары (первое упоминание в летописях в 1469, основан как город-крепость в 1555), Алатырь, Цивильск, Ядрин, которые вскоре стали торгово-ремесленными центрами. Во 2-й половине XVI—XVII веков заселились южные и юго-западные части Чувашии, покинутые в XIV—начале XV столетий из-за разбойных нападений ногайских татар. В Чувашии получили распространение землевладения рус. свет. и духов. феодалов (в середине 18 века в крае числилось более 200 помещичьих, 8 монастырских владений), росла численность русских (в 1795 они составляли 19,2 % всего населения). Центром консолидации и роста чувашское народности стала правобережная область расселения. В XVI—XVII веках значительная часть чувашей Приказанья и Заказанья переселилась в Нижнее Закамье и Башкирию, другая часть — в правобережную Чувашию, а оставшиеся на месте чуваши слились с татарами. Во 2-й половине XVI—XVII веков правобережные чуваши заселили юго-восточную часть Чувашии, в XVII—XVIII веках переселились в Нижнее Закамье, Башкирию, Симбирские, Самарские, Пензенские, Саратовские, Оренбургские края. В 1795 из 352 тыс. всех чувашей в России на территории будущей Чувашии проживало 234 тыс. (66,5 %), а за её пределами — 118 тыс. человек.