У выніку другога падзелу Рэчы Паспалітай (1793) Ілья апынулася ў складзе Расійскай імперыі, у Вілейскім павеце Віленскай губерні. За ўдзел у паўстанні Т. Касцюшкі (1794) расійскія ўлады канфіскавалі мястэчка. У 1795—1804 уладальнікам Ільі быў фельдмаршал М. Салтыкоў, у 1804—1806 — генерал-маёр Л. Здзяхоўскі, потым — мэнскі губернскі маршалак Ю. Валадковіч і С. Радзішэўскі, які ў часы вызваленчага паўстання (1830—1831) быў ваенным начальнікам Вілейскага павета і камандзірам палку. Расійскія карныя войскі разрабавалі Ільінскую сядзібу, а маёнтак канфіскавалі. Станам на 1886 у мястэчку было 40 двароў, 2 праваслаўныя царквы, школа, таргі ў нядзелі, рэгулярныя кірмашы 6 студзеня і 20 чэрвеня.