1685 wurde er zum Präfekten der Apostolischen Signatur bestellt. Von 1693 bis 1730 war er Kardinalprotodiakon. Benedetto Pamphilj nahm an den Konklaven 1689, 1691, 1700, 1721 und 1724 teil. Er starb während der Sedisvakanz des Apostolischen Stuhles 1730.