В 1625 году в составе воеводства был образован Стародубский повет, а земли, лежащие на север от него, образовали Смоленский повет. По итогам Смоленской войны 1632—1634 годов России отошла Серпейская волость. На оставшейся части Северщины в 1634 году было образовано Черниговское воеводство в составе Королевства Польского. В 1638 году Невельская, Себежская и Красногородская волости были переданы в состав Полоцкого воеводства. В 1644 году король польский и великий князь литовский в качестве жеста доброй воли передал России Трубчевск.