عازل كهربائي هاي كي  في تقنية أشباه الموصلات، يعد العازل الكهربائي عالي k مادة تحتوي على ثابت عزل أعلى من formula_1 لثاني أكسيد السيليكون التقليدي (  3.9= ε) أو أكسيد نيتريد السيليكون ( < 6).  المصطلح «هاي كي» مستعار من اللغة الإنجليزية، حيث غالبًا ما يستخدم ثابت العزل formula_2 (kappa)، وفي حالة عدم وجود هذا الرمز يشار إليه أيضًا بـ  "k" .  من أجل تحسين خصائص الدوائر المتكاملة، على سبيل المثال لتقليل استهلاك الطاقة للدوائر والمخزنات المتكاملة على نطاق واسع أو لتحقيق سرعات تحويل أعلى، يتم تصغير الهياكل. بسبب التصغير التدريجي للمكونات الإلكترونية الدقيقة، تصل صناعة أشباه الموصلات بشكل متزايد إلى حدودها المادية وتواجه تيارات تسرب أعلى بسبب التأثيرات الميكانيكية الكمومية. وبالتالي، يزداد تيار النفق مع انخفاض سماكة عازل البوابة إلى أقل من 2  نانومتر. تعتبر السعات الكبيرة (لتخزين الحالة بين دورات التحديث) مع التيارات منخفضة التسرب (فقدان الطاقة) مهمة بشكل خاص لإنتاج الذاكرة. السعة formula_3 من مكثف لوحة بسيط، على سبيل المثال، تقدر بــ:  حيث formula_5 المسافة بين الطبقات، formula_6 مساحة لوحات المكثف، formula_7 سماحية الفراغ وثابت المادة formula_1 السماحية النسبية لطبقة العزل.  وفقًا لذلك، من خلال استخدام مواد عالية الجودة (كبيرة formula_1) يمكن زيادة سماكة الطبقة العازلة في هياكل أشباه الموصلات المعدنية (غالبًا ما تسمى MOS بسبب SiO ) بينما تظل السعة كما هي، مما يقلل بشكل كبير من تيارات التسرب من خلال العازل السميك. لغرض المقارنة، غالبًا ما يتم دمج الخصائص (السعوية) لهذه الطبقات في مقدار واحد، (EOT) «طبقة أكسيد مكافئة».  على النقيض من ذلك، توجد عوازل كهربائية منخفضة k ، والتي تُستخدم كعوازل بين الوصلات البينية وتقليل السعات الطفيلية الناتجة بفضل ثابت العزل الكهربائي المنخفض.  يتم تجريب أنظمة المواد المختلفة، مثل أكاسيد المعادن غير المتبلورة (على سبيل المثال  Al O ، Ta <nowiki></nowiki> O <nowiki></nowiki>)، المعادن الانتقالية (على سبيل المثال B. HfO ، ZrO ) وأكاسيد مختلطة من سيليكات الهافنيوم وسيليكات الزركونيوم. توفر تيتانات السترونشيوم وتيتانات الباريوم أيضًا سماحية أعلى. كما يتم تجريب أكاسيد بلورية للأتربة النادرة (على سبيل المثال B. Pr O و Gd O و Y O ) التي تسمح بنمو متطابق للشبكة البلورية وبالتالي تشكل مساحة بينية مثالية (ذات عدد قليل جدًا من عيوب الشبكة) بين أشباه الموصلات والعازل.  يمكن استخدام كل من العمليات الفيزيائية (PVD) وترسيب البخار الكيميائي (CVD) لإنتاج طبقات رقيقة. يمكن استخدام ترسيب الطبقة الذرية، على سبيل المثال، لطبقات رقيقة جدًا في نطاق سمك يبلغ بضعة نانومترات. كما هو الحال مع جميع عمليات الطلاء الأخرى، يتم تحديد شروط الترسيب أولاً بشكل تجريبي أثناء تطوير العملية من خلال تغيير بيانات النظام (الضغط، وتدفقات الغاز، والغازات الأولية، وما إلى ذلك) على نظام الإنتاج المعني ثم تحسينها في تصميم تجريبي إحصائي للإنتاج. تكون معلمات العملية المحددة بهذه الطريقة خاصة بالمصنع ونادرًا ما يمكن نقلها بشكل عام إلى مصانع أخرى؛ نظرًا للطلبات العالية جدًا على عملية الطلاء أو الطبقة، غالبًا ما ينطبق هذا أيضًا على أنظمة من نفس البناء. في البحث، تتم إضافة ما يسمى بفحص المواد لتطوير العملية وتحسينها، حيث يتم فحص ترسب الطبقة المرغوبة فيما يتعلق بغازات البداية المستخدمة (في عمليات CVD).  تعتبر المادة الأولية لجميع الأكاسيد المذكورة أعلاه والأكاسيد المختلطة معقدات معروفة من «المعادن» ذات الصلة التي يسهل إنتاجها نسبيًا في ظل ظروف لاهوائية صارمة. الشرط المهم لاستخدام المعقدات في إنتاج أشباه الموصلات هو ضغط بخار كافٍ للمركب عند درجة حرارة معتدلة (حوالي 300-600 درجة مئوية). يفضل عادة مواد السلائف السائلة في درجة حرارة الغرفة. في بعض الحالات يستخدم   HfCl لترسيب HfO   ، ولكن تستخدم أيضًا مواد صلبة ذات ضغط تسامي مرتفع بدرجة كافية.  يتم توفير المواد الأساسية لفصل الأكسيد من قبل شركات الكيماويات الدقيقة المتخصصة أو من قبل الشركات المصنعة للمحفزات للتخليق العضوي أو إنتاج البلاستيك (على سبيل المثال إنتاج محفزات Ziegler-Natta). عادة ما تحصل صناعة أشباه الموصلات على الكميات الصغيرة التي تحتاجها من تجارة الكيماويات المختبرية أو من الموردين المتعاملين معها. مستوى سعر المركبات يكون مرتفعا أو مرتفعا جدا.