标题：真空设计手册
基本信息
主 编：达道安
副主编：邱家稳
编著者：（以章节先后为序）
肖祥正 刘玉魁 谈治信 崔遂先 王先路 李旺奎 张涤新 李得天 李正海 胡炳森 王荣宗 范垂祯 薛大同 张景钦 许启晋 曹慎诚 达道安
技术编辑：崔遂先 谈治信
责任编辑：唐应恒 邢海鹰
出 版 社：国防工业出版社
出版日期：2004年7月
图书在版编目（CIP）数据：
真空设计手册/达道安主编.-3版.-北京：国防工业出版社,2004.7
I．真… Ⅱ.达… Ⅲ.真空技术-设计-手册 Ⅳ.TB7-62
中国版本图书CIP数据核字（2004）第013621号
序 言
在金建中、达道安等数代科学家的主持下，兰州物理研究所从1962年由中国科学院建立以来，已成为中国真空技术强有力的现代研究中心。40多年来，该所为中国基础科学的进步，为很多技术学科的建立和发展，为航天事业的前进和经济建设都做出了卓越的贡献，赢得了全国科学技术界和工业界的赞扬和尊敬。
人类生活在地球表面，有大气层保护着，在日常生活中人们已经感到研究真空的重要。实际上，数十公里高的大气层以外的太阳系空间，太阳系以外的银河系以及整个可见宇宙中全部是"真空"。20世纪下半叶，人类航天事业的出现，卫星、飞船、登月、深空探测都迫切需求关于真空的科学知识和开发利用以及对付真空的技术。为适应中国航天事业的发展计划，1968年兰州物理所转归航天部门，成为中国航天事业的支柱性科学研究机构，为空间事业的展开提供了强有力的科学指导，也为各类卫星、飞船的设计和空间探测做出了不可替代的贡献。与此同时，他们坚持了基础科学研究，为这一新兴学科培养和造就了一大批科学家和工程师，为该学科的未来发展和广泛应用奠定了人才基础。
真空科学是一门基础科学和应用科学紧密结合的现代基础学科，它的主要研究对象是真空环境的结构和性质以及在这种环境中物质的相互作用。在不同真空度的低气压环境中，真空环境和各种物质发生相互作用，产生不同的效应。例如真空吸力、真空隔热和散热、真空蒸馏、真空防氧化、真空干燥、真空绝缘、真空脱气、保鲜、清洁、灭菌、检漏、稀薄气体放电、宇宙真空效应等都和该学科研究的主题有关。这些科学和技术知识已广泛用于电子、半导体、集成电路、冶金、食品、医药、运输、热处理、焊接、铸造、镀膜、检测、离子束、电子束、激光、微机电、可控热核反应及航空航天等领域，推动了近代科学技术进步及工农业的发展。真空科学技术已成为各行各业科技工作及工艺人员的必备知识。学习掌握真空科学技术成为发展现代科学技术的必要条件。
早在上世纪70年代末，由金建中院士（第一任所长）主编了《真空设计手册》一书。1991年由达道安所长和李旺奎副所长主编了该手册第二版，全面总结和详介了关于真空科学技术的基础理论、技术基础及应用领域，深受科技界的欢迎，前后印刷了四次仍不能满足各界需求。现在奉献给大家的第三版是由达道安和邱家稳主编。他们又花费了数年的精力，对第二版剔陈增新，力求反映该学科的最新成就，扩大了应用范围，使全书内容增加了一倍，成为真正的真空科学的百科全书，这在世界科学史上是罕见的巨著。这本新版巨著的出版，对21世纪我国科学技术的进步必会起到有力的推动作用，是对实施科教兴国战略的一大贡献。
在《真空设计手册》第三版付梓之际，我向作者和出版社表示祝贺。我相信这对中国科技界、工业界是难得的善举，对编者和作者们至以衷心谢意。
宋 健 2004年7月
前言
《真空设计手册》[1]（第3版）是在《真空设计手册》第1、2版的基础上重新编写的。该书是供从事真空科学技术与工程的广大科技人员使用的一本实用工具书，亦可作为大专院校师生的教学参考书。
《真空设计手册》第1版分上、下两册。上册1979年5月出版，下册1981年6月出版。该书是我国首次出版的真空科学技术与工程方面的工具书。它概括了我国20世纪70年代真空科学技术的发展水平及国际真空技术发展趋热。第2版，即修订版，将手册上、下册合为一册，于1991年11月出版。它概括了我国20世纪80年代真空技术水平及国际真空发展趋势。修订版内容丰富、结构清晰、层次分明，收集了从低真空到超高真空领域内的真空技术与真空工程各方面的资料，深受国内真空界广大科技人员的欢迎。
《真空设计手册》是国内真空工程界畅销的工具书。第1、2版前后共重印4次，数量达25000册，但是仍满足不了广大读者需求。这些年来，国内很多专家教授及工程技术人员都渴望兰州物理研究所能够在该书的基础上再次修编，把从1991年以来10多年的真空科技发展的新成果、新设备、新工艺、新技术等反映在书中，以适应新时期真空科学发展的水平，满足真空工程技术及应用的需要。在这种情况下，兰州物理研究所的领导高度重视，决定重新编写第3版《真空设计手册》。
《真空设计手册〈（第3版）反映了我国当今真空科学技术的发展水平及国际真空技术发展趋势，在保留第2版主要章节的基础上，进行了修改和编写，并增加了极高真空技术及应用一章。全书内容更加丰富，260多万字、2000幅图表，概括了真空基本概念、真空技术基础理论、真空设计、真空检测、真空工艺及材料和真空装置及仪器等内容；结构清晰。图文并茂。读者通过本书能够方便地查到从低真空、高真空、超高真空到极高真空领域内的真空技术和真空工程各方面的资料。第3版的主要特点有：
1．删除了原手册各章节中不适用的内容，增加了相应的新内容；按最新国家标准的规定，规范了名词术语、图表、公式、数据、符号等，使手册提供的资料更加新颖、可靠和实用。
2．修订了手册第2版中过时的标准和内容。手册包含了大量的现行真空技术标准，从基础标准到产品标准；从各类真空泵和真空机组的型号、参数到各类真空泵的性能测试方法等，可最大限度地满足科技人员的使用要求。
3．新增添的内容涉及到各个章节。例如，无油立式节能往复式真空泵、各类干式真空泵、水蒸气喷射泵的技术特性和设计要点及磁流体密封、磁传动技术、离子束刻蚀技术、真空预冷处理技术、真空保鲜工艺、纳米材料制备、航天器用材料质量损失、真空清洁处理工艺等。
4．增加了第十六章极高真空技术及应用。概括了获得极高真空的方法、技术和实验装备及应用等内容，给出了大量的数据、图表，总结了国内外极高真空研究成果，展现了我国极高真空技术发展水平，为我国今后极高真空技术应用提供了数据、经验。
5．充实了四极质谱计、真空计量、校准、真空容器设计计算、真空镀膜技术、真空冷冻升华干燥技术、真空包装技术等内容；附录中增加经常用设计所需的技术资料，根据最新颁布的国家标准修编了常用真空技术标准目录。
6．增加了真空装置自动控制新内容，概括了真空装置自动控制的基本概念及应用；补充了油扩散喷射泵、油扩散泵设计计算内容（兰州真空设备有限责任公司夏正勋高级工程师修改）。
手册第1版的主编是中国科学院院士、中国真空学会原理事长、著名真空专家金建中教授。手册第2版的主编是中国真空学会原副理事长、中国航空航天部兰州物理研究所原所长达道安研究员，副主编是原副所长李旺奎研究员。崔遂先、谈治信为手册第1、2版技术编辑。
《真空设计手册》（第3版）的主编仍是中国航天科技集团公司中国空间技术研究院原科技委副主任、博士生导师达道安研究员，副主编是兰州物理研究所所长邱家稳研究员。全书技术编辑仍由崔遂先、谈治信担任。全书作者按章节顺序排列有肖祥正（第一章，附录），刘玉魁（第二、八、九、十章），谈治信（第三、四章，附录），崔遂先（第五、六、七、九章），王先路（第十章），李旺奎、张涤新、李得天、李正海（第十一章），胡炳森、王荣宗（第十二章），范垂祯（第十三章），薛大同、张景钦（第十四章），许启晋、曹慎诚（第十五章），达道安（第十六章）等17人。谈治信同志仍负责全书协调组织和对外联系工作。
参与手岗编写工作的人员还有：闫鸿祥、曹艳秋、孟静蓉、陈月琴、赵光平等。
本手册由北京国防工业出版社出版，从第1版到第3版历经25年，得到该社高度重视。王礼国、宋桂珍为手册第1、2版责任编辑；唐应恒、邢海鹰为第3版责任编辑。他们为手册的出版付出了很多心血。
在修订过程中，得到全国高校、真空科研单位、真空厂（企业）很多专家教授、工程技术人员的大力支持。他们提出了不少修改意见，寄来了大量的技术资料，对手册的编写起了很大作用。在此，手册编委会向他们致以诚挚的感谢！由于编写水平有限，涉及内容较多，手册中难免有许多不足之处，恳望读者批评、指正。
兰州物理研究所《真空设计手册》（第3版）编委会
主编 达道安 2004年2月26日