标题：隧道洁净室
隧道洁净室的定义
在单向流洁净室中，为进一步提供工作区的洁净度，将生产区和通道分割开而建造的由洁净工作台组成的超级洁净室。
隧道洁净室的基本模型
隧道洁净室最初是由洁净工作台隧道发展改进而来的，如把垂直于方向长如隧道的洁净空间的一个横截面。但是这和在现场把洁净工作台连起来的洁净隧道又不同，由于有空调进风并可调节其与净化送风的比例，故可实现隧道内的温度调节。由于室内排气要穿过工作台循环，则对台面仍有污染的可能，而且在界面处的诱导也是难免的，所以这种形式即使用0.1um高效过滤器，保持10级也有一定困难。于是将工作台隧道置于全面回风的洁净室内，虽然上述问题得到一定解决，但可以看到隧道的回风是参与全室回风的，则前述由于回风速度不均匀而产生的偏流等影响将发生，当然还有不经济以及一些使用上的问题，所以隧道内保持洁净级别也不容易。
为了改善回风穿过工作台和共用回风道的情况，提出了另一种方案，即将工作台隧道置于乱流洁净室中，而回风口在乱流洁净室中央。两方案的差别是在空凋方案上。
隧道洁净室的具体形式
隧道洁净室是一段一段拼装的，每一段是一个净化区域单元，或者说净化区域单元就是洁净隧道的一段，而净化单元的主体是所谓“层流罩”的结构。当把它连续设置时，就构成了能够提供接生产线自由配置的循环式的洁净隧道或隧道洁净室。隧道式洁净室是利用局部平行流的很好的范例。对于典型的隧道式洁净室，国外常有以下三种结构型式。
1．双侧维修型
在洁净工作台的前后都有进风口，所以可针对生产线的发热量，通过调节吸入前后的风量比，来控制工作区中的温度。这种型式不仅可以从前面，更便于从背面隔断用的透明面板所形成的通道中进行净化单元和生产设备的维护。 
2．前侧维修型
因平面布置关系，需将装置的背面紧贴墙壁，所以只能在前面维修。单元的进风口也只设在前面，因为只从前面进风，所以适用于发热量小于双面维修型。这种型式只在前面安装2支日光灯。
3．顶棚布置型
是将净化区域单元设置于全部顶棚上。这样做减少了空调器数量（上述两种型式基本是一个单元一台空调器）送风动力也大大减少。安装单元的框架不要了．只需简单地从整个装置下面固定4个部位。
隧道洁净室的平面布置和系统
一般生产洁净车间可以分为四个区，即 1．洁净区：布置生产设备的区域；
2．操作区；操作人员所在的区域；
3．交通区：输送材料、制品的区域；
4．维护区：对生产设备进行维护的区域。
隧道洁净室正是着眼于发掘这4个区的独立功能。所以在中央布置交通区．两侧布置洁净区和操作区，洁净区内侧为维护区。为此，常用以下两种平面布置形式：
1．，直列式
在一个很长的车间内，不分隔成若干小间，而是由两条净化区域单元组成洁净隧道。
2．并列式
国外也有叫“海弯”式的，当工序较多时，或者每一大工序中又有许多小工序时．可以以用这种布置方法。这也是在一个大车间中不分隔，而由许多小的隧道式洁净室，组成一个相当于许多洁净隧道并列的方案。
这两种形式的特点是：
A各区可分别按需要的洁净度设计，例如洁净区为1 - 10级，操作区为100级、交通区为l000级维护区为10000级。
B对洁净区和操作区的变动很自由。
C很容易形成从洁净区到操作区到交通区到维护区的洁净度从高到低的气流流动。
D进出维护区可不经过操作区，而并列布置时，各列维修设备时彼此没有影响。
由于使用工厂加工好的构件，现场安装时间人为减少，标准化程度提高了。
隧道式洁净室的系统也应遵循简单、灵活、省能的目的
提高隧道洁净室性能的措施
提高隧道洁净室性能的措施有如下几点：
一、杜绝层流罩内过滤器漏泄的影响
1．把风机直接装于静压箱内形成负压静压箱。 
这和负压顶棚的做法不同，不是靠从顶棚向顶棚之外的风机吸入端引小管道来形成顶棚中的负压，而是把风机的压出端用软管和过滤器相连，使过滤器之外的所有可能漏气的缝隙，都处于风机吸人端所在的静压箱的负压之下，这就防止了过滤器边框、框架和壁面之间等处的漏泄．
2．用分流阻尼层的办法，把可能从过滤器两侧封头胶处的漏泄，分流到边上去，不使它混入工作区。这要求用整体大过滤器。过滤器涂封头胶的两端是最易漏的，而直接把滤纸贴在框板上的两端一般不漏，所以这一措施只针对封头胶两端。双层壁的内壁可以用玻璃。
二、防止外部污染进入层流罩
1．在操作面设置空气幕
如果在操作面前发生了污染，则上有强力的空气幕推，下有回风口吸，就能确保污染不进人工作区。在这种条件下即使有机械手自动取物送人工作区，也不会发生卷入工作区外面的尘埃的现象。根据实验在过滤器下送风速度为0.3m/s，空气幕出口风速为1 m/s时，净化区域单元的空气幕可将洁净区宽度向外扩展50一100mm．
2．设置前后挡板，可提高罩内气流的稳定性
前面的挡板长度以300～500mm为宜，背面挡板可以伸到工作台面之下，如工作台大，则挡板离开台面以200～3000mm为好。背面挡板和台面有缝隙时，对工作区气流速度均匀性影响的实验结果。前面的挡板如果用双层挡板，也就是使空气幕气流在双层挡板之间流过，则效果更好。
3．消除罩外涡流
人行通道上方过滤器的送风并不能消除洁净隧道前面和顶棚相接的拐角处的涡流，以至不太干净的气流仍能深入隧道前面档扳的下方而进入洁净工作区，如果隧道前面有气幕，则也难免还有少量这种气流裹带入工作区内。为了克服这一现象，可以把走道上面的过滤器安装于隧道前上面拐角处，或者通过阻尼层、孔板之类全面均匀送风，这就保证在前挡板附近不出现涡流，而是处于干净气流范围之中。再配之以空气幕，上述问题就可完全解决。
隧道洁净室和全室洁净室的比较
比较内容 全室式洁净室 隧道式洁净室 洁净度 无操作时，室各处可达到最高洁净度级别。有操作时，洁净度级别将随设备布置密度，人员密度而变化。如果设备过于拥挤挤，将在其间引起涡流，在其表面引起逆流，促使粒子飞扬无操作时，在净化区域内可直接获得最高洁净度级别。有操作时，乱流区域的走道虽然已受到污染，但可用调整各进出口气流和改变挡板位置有效地防止污染侵入单元，所以操作期间也可保持单元的最高洁净度适应性 设备的更换、布置改变和管线连接等均比较自由。工艺设备的小规模改变可迅速实现，大规模改变则要影响全室，需要停产。例如由于生产变更需设置放热量大的生产线时。空调设备也随之要全部更换工艺设备更换受单元尺寸的限制，由于有维修通道管线连接自由。只需将专用的空调装置，设置于单元后的维修通道内，就可以简单地应付生产的迅速变更．总之设置和更换专用单元（空调单元、-加热单元、排毒单元）就可以适应生产变化而不牵动全室操作与维护 无隔墙，有较大的自由度。在顶棚上工作要影响全室，必须停产。维修操作发尘量大时，对邻近操作有影响，使附近洁净度下降操作自由与否取决于人员、物抖移动运输的时间安排．由于每一单元间有隔断，或者在相邻单元之间可以垂下维修用的帘幕，因此不论是顶棚还是邻近单元处于运动状态时，都不妨碍各种维修保养工作的进行，不会使邻接单元洁净度下降运用灵活性 不管室内工艺设备是否全部运行，整个洁净室都需运行随时可以停止-个或几个净化区域单元的运行 运行费用 与隧道洁净室相比，平行流洁净宝与全使用面积积之比大，这将导致循环风量增加，从而提高了风机能耗。由于全室平行流需日夜保持，更使运行费用升高。平行流是在净化区域内部，因而风机能耗小，又由于每个单元可单独启动，调整和停止，所以运行费可以进一步降低 化学气味和腐蚀性 由于设有隔墙而又有湿法工艺存在，带气味和腐蚀性的气氛有影响室内其他设备的危险每个工序可被隔离在自己的单元内，单元内的空气压力可调节，使有味气体不闯入别的单元振动和承载力 由于一般为格栅地板，地面材料必须根据荷载情况加以考滤，有振动问题大部分地面为混凝土材料，没有安装设备方面的问题．如果需要可建造独立于建筑物的单独基础所以振动问题好解决施工期 长 由于净化区域单元可现场安装，施工期短 初投资 大 中等