## PERANCANGAN TEKNOLOGI SEDERHANA UNTUK MEMBANGKITKAN MICROWAVE PLASMA DALAM CAIRAN
Muh. Firdan Nurdin 1 , Andi Erwin Eka Putra 2 , Novriany Amaliyah 3
1 Jurusan Teknik Mesin, Universitas Borneo Tarakan, Tarakan, Indonesia
2 Departemen Teknik Mesin, Universitas Hasanuddin, Makassar, Indonesia
1 firdan@borneo.ac.id
2 erwinep@eng.unhas.ac.id
3 amaliyah_nophie@yahoo.com
Abstract—Plasma  technology  has  interested,  especially plasma  in  liquid  which  can  be  applied  in  the  process  of  gas productions,  water  treatment,  and  nanomaterial  productions. The purpose of this study is to make a simple technology 2.45 GHz  microwave  plasma  and  generate  in  the  variation  of liquids  such  as  distilled  water,  seawater  and  X-Ray  liquid waste by utilizing a microwave oven, as well as to observe the effect  of  vacuum  pressure  variations.  A  microwave  oven  was modified by integrating a waveguide and a plasma reactor for plasma  observation.  The  results,  plasma  was  generated  in distilled  water  at  a  vacuum  pressure  of  about  7  kPa,  X-Ray liquid  waste  at  a  vacuum  pressure  of  about  13  kPa,  and seawater at a vacuum pressure of about 34 kPa.
Keywords — 2.45  GHz  Microwave,  Plasma  in-Liquid,  Plasma Reactor, Waveguide
I ntisari—Teknologi  plasma  telah  menarik  banyak perhatian  terutama  plasma  dalam  cairan  yang  mana  dapat diaplikasikan  dalam  proses  produksi  gas,  water-treatment, dan produksi nano material. Penelitian ini bertujuan untuk membuat  alat  pembangkit  sederhana  2,45  GHz  Microwave Plasma  dan  membangkitkannya  dalam  berbagai  cairan yakni  air  destilasi,  limbah  cairan  X-Ray  dan  air  laut,  serta melakukan  observasi  pengaruh  variasi  tekanan  vakum terhadap  plasma.  Microwave  oven  dimodifikasi  dengan mengintegrasikan  pengarah  gelombang  (waveguide)  dan reaktor  plasma  untuk  memudahkan  observasi  fenomena plasma. Hasil dari penelitian ini, plasma telah dibangkitkan dalam  cairan  air  mineral  pada  tekanan  vakum  sebesar  7 kPa, limbah cairan X-Ray pada tekanan 13 kPa dan air laut pada tekanan vakum 34 kPa.
Kata  Kunci—2,45  GHz  Microwave,  Plasma  Dalam  Cairan, Reaktor Plasma, Waveguide.

## I. PENDAHULUAN
Saat  ini  teknologi  plasma  telah  menarik  banyak perhatian.  Teknologi  ini  dapat  diaplikasikan  secara  luas utamanya  pada  teknologi  rekayasa  material  seperti nanomaterial,  Diamond  like  carbon  (DLC),  dan  material komposit,  pengolahan  limbah  berbahaya  seperti  cairan medis,  dan  sintesis  air  laut  menjadi  material  berguna, serta  produksi  gas  dari  hidrokarbon  cair  [1]–[5].  Plasma dikenal  juga  sebagai  materi  fase  ke  empat  setelah  fase padat,  cair  dan  gas  dimana  partikel  gas  terionisasi. Ionisasi  merupakan  proses  terlepasnya  elektron  suatu atom  atau  molekul  dari  ikatannya.  Proses  ionisasi  dapat dicapai  melalui  energi  pemanasan  yang  tinggi,  high-
voltage  dan  gelombang  mikro  [6].  Akibat  dari  sumber energi tersebut, molekul gas menjadi lebih aktif dan akan berada  pada  fase  plasma.  Pada  fase  plasma,  partikel– partikel  bergerak  bebas  termasuk  beberapa  elektron  dan ion yang bermuatan positif yang mana akan bertumbukkan  sehingga  menimbulkan  pancaran  foton. Pancaran  foton  inilah  yang  merupakan  salah  satu karakteristik dari plasma [7].
Umumnya, energi high-voltage, dan radiasi gelombang elektromagnetik berupa RF (Radio Frekuensi) 13,56 MHz dan gelombang mikro (microwave) 2,45 GHz digunakan  sebagai  sumber  energi  untuk  membangkitkan plasma [8]. Gelombang elektromagnetik emiliki kelebihan yakni  konsumsi  energi  yang  lebih  rendah  untuk membangkitkan  plasma  dibandingkan  high-voltage  . Gelombang  mikro  dengan  frekuensi  2,45  GHz  dapat ditemukan  dalam  Oven  microwave  yang  biasanya digunakan untuk proses pemanasan makanan. Gelombang mikro  tersebut  diubah  menjadi  energi  termal  yang  mana akan  dimanfaatkan  untuk  menghasilkan  proses  ionisasi dengan menambahkan waveguide dan reaktor plasma.
Beberapa  penelitian  dalam  proses  pembangkitan plasma  telah  dilakukan  yakni  pembangkitan  plasma  pada tekanan 1 atmosfer, produksi hidrogen dari bioetanol  dan metana  klatrat  (methane  hydrate),  produksi  nano  partikel zinc,  dan  modifikasi  karakteristik  material  komposit  [9]– [13].
Dari  penjelasan  di  atas,  plasma  dalam  cairan merupakan metode yang sangat penting untuk dikembangkan. Oleh kareana itu, alat pembangkit plasma dalam cairan dirancang dengan memanfaatkan microwave oven  rumah  tangga  yang  mudah  didapat  dan  harga terjangkau.  Dengan  menggunakan  alat  sederhana  ini, pembangkitan  plasma  dalam  cairan  diidentifikasi  dengan air destilaasi, air laut dan limbah cair X-Ray.

## II. METODE PENELITIAN
Dalam  penelitian  ini,  bahan  yang  digunakan  adalah Oven  Microwave  Sanyo  tipe  EM-S10AS  Output  Power 400  Watt  (Gambar  1)  sebagai  sumber  energi  gelombang mikro  [14].  Plat  aluminium  dengan  tebal  3  mm  dengan dimensi  lebar  100  mm  dan  tinggi  100  mm  sebagai waveguide.
Gambar 1. Oven Microwave Sanyo tipe EM-S10AS Output Power 400 Watt [14].
Bahan  reaktor  plasma  terdiri  dari  teflon  silinder diameter  56  mm  dan  29  mm,  Pipa  Akrikil  diameter  57 mm  dan  tinggi  140  mm.  Aluminium  Silinder  dengan diameter  30  mm,  elektroda  tungsten  3  mm  (2  buah), manifold  dan  pressure  gauge  serta  O-ring  tahan  panas yang  digunakan  sebagai  seal  reaktor.  Jenis  cairan  yang digunakan  dalam  pengambilan  data  yakni  air  destilasi, limbah  cari  X-Ray  dan  air  laut  dengan  volume  100  ml, masing-masing.
Pelaksanaan  penelitian  ini  dilakukan  dalam  beberapa tahap  untuk  mempermudah  dan  memperjelas  arah penelitian,  yaitu  tahap  perancangan  (desain)  alat, pembuatan atau perakitan alat, pengujian hasil rancangan, pengamatan,  dan  pengolahan  data  seperti  disajikan  pada Gambar  3.1.  Tahap  perancangan  (desain)  alat  ini menggunakan  program Autodesk  Inventor  Profesional . Pada  perancangan  alat  pembangkit  2,45  GHz  microwave plasma,  terlebih  dahulu  dilakukan  3  tahap  pendekatan desain :
1. Rancangan Fungsional
Alat  ini  terdiri  dari  beberapa  komponen  utama  antara lain: microwave oven yang berfungsi sebagai sumber dari gelombang mikro, pengarah gelombang ( waveguide ) yang berfungsi sebagai pengarah gelombang mikro) dan reactor yang  berfungsi  sebagai  wadah  pengamatan  timbulnya plasma.
2. Rancangan Struktural
Microwave oven akan dimodifikasi dengan menghilangkan ruang pemanasan (Gambar 2).
Gambar 2. Rancangan Microwave Oven
Selanjutnya, Waveguide dibuat  dari  bahan  aluminium dengan ukuran  lebar 100 mm dan tinggi  100 mm dengan
panjang  330  mm.  Terdapat  lubang  berdiameter  8  mm sebagai input elektroda  reaktor.  Jarak  lubang  dari magnetron  adalah  122  mm  ( λ dari  frekuensi  2,45  GHz). Rancangan dapat dilihat pada gambar 3.
Gambar 3. Rancangan Waveguide
Terakhir,  Reaktor  Plasma  dibuat  dari  pipa  akrilik dengan  diameter  dalam  55  mm  dan  tinggi  140  mm. Penutup atas dan bawah terbuat dari bahan Teflon. O-ring ditempatkan sebagai seal penutup (Gambar 4).
Gambar 4. Rancangan Reaktor Plasma
3. Rancangan Akhir
Alat  pembangkit  2,45 GHz microwave plasma dirakit dengan menggabungkan ketiga komponen utama tersebut (Gambar 5).
Gambar 5. Rancangan Alat Pembangkit Microwave Plasma 2,45 GHz Microwave Plasma.
3 2 1

## Tabel I
Keterangan Bagian Desain No. Item Bagian Alat Kuantitas 1. 2,45 GHz Microwave Energy Source 1 2. Waveguide 1 3. Reaktor Plasma 1
Setelah  perancangan  desain  selesai,  dilanjutkan  ke tahap pembuatan atau perakitan alat. Setelah itu, alat diuji coba  dengan  membangkitkan  plasma  dalam  air  destilasi yang mana mempertimbangkan variasi dari dua parameter yakni  tekanan  dan  waktu  pembangkitan  plasma.  Setelah plasma dapat terbangkitkan dalam air destilasi, Selanjutnya  dilakukan  hal  yang  sama  untuk  cairan  yang berbeda  yakni  air  laut  dan  limbah  cairan  X-Ray. Kemudian  dilanjutkan  ke  tahap  pengamatan  dan pengolahan  data  mengenai  pembangkitan  plasma  dalam variasi cairan tersebut.

## III. HASIL DAN PEMBAHASAN
Pada  perancangan  alat  pembangkit  2.45  GHz microwave  plasma,  terdapat  tiga  komponen  utama  yaitu oven  microwave,  pengarah  gelombang,  dan  reaktor plasma.  Microwave  oven  akan  dimodifikasi  dengan mengganti  bagian  ruang  pemanasan  dengan  pengarah gelombang dngan tujuan untuk mengoptimalkan pnyerapan  gelombang  mikro  oleh  elektroda  dari  reaktor plasma.  Pengarah  gelombang  (waveguide)  yang  umum digunakan  untuk  frekuensi  2,45  GHz  yakni  tipe  WG8 dengan  jangkauan  frekuensi  1,70  –  2,60  GHz  [15]. Kemudian dibuat lubang dengan diameter 8 mm dan jarak antara  lubang  terhadap  magnetron  sekitar λ =  122  mm yang  mana  merupakan  kalkulasi  dari  panjang  satu gelombang  pada  frekuensi  2,45  GHz.  Reaktor  plasma dibuat  sebagai  wadah  dari  sistem  pembangkitan  plasma dalam  cairan.  Reaktor  ini  terbuat  dari  bahan  akrilik sebagai tabung reaktor dan penutupnya terbuat dari bahan teflon.  Ketiga  komponen  kemudian  disatukan  sesuai dengan  rancangan  di Autodesk  Inventor sehingga dihasilkan  alat  sederhana  pembangkitan  microwave plasma  dalam  cairan    (Gambar  6)  dan  selanjutnya dilakukan pengujian.
Gambar 6. Alat Microwave Plasma
Pengujian  dilakukan  dengan  power  microwave  oven sebesar 400 Watt pada tiap tekanan vakum sebesar 95 - 7 kPa  (inkremental  7  kPa)  dengan  waktu  2  menit, masing- masing. Plasma dalam cairan dapat dibangkitkan konstan dalam  berbagai  jenis  cairan  (Gambar  7),  sementara  hasil pengolahan data ditabulasikan pada tabel 2.
(a)
(b)
(c)
Gambar 7. Plasma dalam Cairan Air Destilasi (a), Air Laut (c) dan Limbah Cairan X-Ray (c).
Gambar  diatas  menunjukkan  cahaya  tampak  yang dihasilkan  ketika  plasma  terbangkitkan  dalam  cairan;  air destilasi  (a),  air  laut  (b)  dan  limbah  cairan  X-Ray  (c), masing-masing  berbeda.  Hal  ini  dapat  dihubungkan dengan  komposisi  kimia  yang  terkandung  dalam  cairan tersebut. S. Horikoshi dan N. Serpone telah menunjukkan hubungan  antara  emisi  cahaya  selama  proses  ionisasi plasma  dalam  cairan  terhadap  komposisi  kimia.  Mereka membuktikannya  melalui  emisi  spektrum  dari  cahaya tersebut  yang  mana  memperlihatkan  unsur  gas  hidrogen, nitrogen  dan  oksigen  dalam  uap  air  [16],  [17].

## Tabel II

## Hasil Pengolahan Data Plasma Dalam Cairan
No. P Vacuum (kPa) Air Destilasi Limbah Cair X-Ray Air Laut t initial generated plasma (detik)
Ket t initial generated plasma (detik) Ket t initial generated plasma (detik) Ket 1 95 - Tidak ada 2 Gelembung 2 Gelembung 2 88 - Tidak ada 2 Gelembung 2 Gelembung 3 81 - Tidak ada 1 Plasma diskontinyu 2 Gelembung 4 74 - Tidak ada 1 Plasma diskontinyu 2 Plasma diskontinyu 5 68 - Tidak ada 1 Plasma diskontinyu 2 Plasma diskontinyu 6 61 - Tidak ada 1 Plasma diskontinyu 2 Plasma diskontinyu 7 54 - Tidak ada 1 Plasma diskontinyu 2 Plasma diskontinyu 8 47 30 Gelembung 1 Plasma diskontinyu 2 Plasma diskontinyu 9 40 25 Gelembung 1 Plasma diskontinyu 2 Plasma diskontinyu 10 34 25 Gelembung 1 Plasma konstan 2 Plasma diskontinyu 11 27 23 Plasma diskontinyu 1 Plasma konstan 2 Plasma diskontinyu 12 20 5 Plasma diskontinyu 1 Plasma konstan 2 Plasma diskontinyu 13 13 4 Plasma diskontinyu 1 Plasma konstan 1 Plasma konstan 14 7 3 Plasma konstan 1 Plasma konstan 1 Plasma konstan
Berdasarkan  tabel  II,  plasma  terbangkitkan  dalam  air destilasi, air laut dan limbah cairan rongten pada tekanan vakum  27  kPa  –  7  kPa,  88  kPa  –  7  kPa,  dan  74 kPa  –  7 kPa, masing-masing. Dari ketiga jenis cairan tersebut, air laut  merupakan  carian  yang  mana  plasma  dapat terbangkitkan konstan lebih mudah pada tekanan 34 kPa, sedangkan  untuk  air  destilasi  dan  limbah  rongten  pada tekanan  7  kPa.    Plasma  terbangkitkan  konstan, diindikasikan  dengan  intensitas  terbentuknya  gelembung yang  sangat  tinggi  shingga  proses  ionisasi  pun  konstan. Sementara  waktu  awal  terbangkitnya  plasma  rata-rata sekitar 2 detik untuk ketiga jenis cairan tersebut.
Sebelum  plasma  terbangkitkan  dalam  ketiga  jenis cairan  tersebut,  karakteristik  awal  ditandai  dengan munculnya  gelembung  yang  mana  merupakan  proses perubahan  fase  cair  menjadi  gas.  Kemudian  gas  tersebut selanjutnya  akan  terionisasi  dan  kemudian  plasma terbangkitkan.  Namun  pada  tekanan  13  kPa,  40  kPa  dan 54 kPa untuk masing-masing  ketiga jenis cairan tersebut, plasma  terbangkitkan  secara  diskontinyu.  Karakteristik plasma  diskontinyu  dapat  kita  simpulkan  sebagai  fase transisi  yang  merupakan  fase  yang  terjadi  antara  fase gelembung dan fase plasma konstan.
Dari  penjelasan  tabel  di  atas,  dapat  kita  jelaskan bahwa  pembangkitan  plasma  merupakan  fungsi  dari tekanan dimana semakin rendah tekanan  (tekanan vakum semakin  besar)  maka  waktu  yang  dibutuhkan  untuk
membangkitkan plasma dalam cairan akan semakin cepat. Pengaruh  tekanan  vakum  terhadap  pembangkitan  plasma dapat  dihubungkan  dengan  fungsi  tekanan  terhadap  suhu yakni titik didih. Seperti yang kita ketahui bahwa semakin rendah tekanan atmosfir, maka semakin rendah titik didih zat  cair  tersebut.  Akibat  titik  didih  zat  cair  rendah,  maka suhu  panas  laten  akan  semakin  rendah  pula  shingga proses  ionisasi  pun  lebih  cepat  terjadi  dan  plasma  lebih cepat terbangkitkan.
Sesuai  dengan  penjelasan  data  di  atas,  maka  tekanan vakum  sebesar 7 kPa dijadikan sebagai acuan awal yang mana  merupakan  tehnik  untuk  membangkitkan  plasma dalam cairan air destilasi pada tekanan 1 atm (101,3 kPa). Tehnik  tersebut  dilakukan  dengan  cara  menurunkan tekanan sampai pada tekanan dimana plasma terbangkitkan konstan (7 kPa). Setelah plasma terbangkitkan,  tekanan  vakum  7  kPa  akan  meningkat hingga  mencapai  tekanan  1  atm  selama  beberapa  waktu. Kenaikan  tekanan  tersebut  merupakan  akibat  dari  proses ionisasi  plasma  pada  sistem  reaktor  tertutup.  Hasilnya, plasma dapat dibangkitkan di dalam cairan pada tekanan 1 atm dengan waktu yang dibutuhkan 9.43 menit. Pengujian pembangkitan  plasma  dalam  air  destilasi  pada  tekanan  1 atm    dilakukan  sebagai  dasar  acuan  untuk  produksi  gas dari cairan.
Dalam  penelitian  ini,  dilakukan  kalibrasi  energi microwave  yang  terabsorbsi  ke  dalam  reaktor  dengan metode  kalorimetrik  [7].  Metode  ini  merupakan  dasar
untuk  mengkonversi  energi  microwave  ke  bentuk  energi panas.  Energi  microwave  dikalkulasi  melalui  panas  yang dihasilkan  dalam  air. Energi  yang  terserap  dalam  air  dan diasumsikan  sebagai  energi  microwave Pmw  =  Pwater load dimana  dapat  dilihat  pada  persamaan  sebagai berikut:
(1)
Dimana, massa air ( m w ), panas spesifik air ( c w ), massa penampung  air ( m c ),  panas  spesifik  penampung  air ( c c ), suhu  awal  dan  suhu  akhir  air ( T i ,  T f ),  dan  waktu  selama air  terkena  radiasi  microwave ( t ).  Dengan  persamaan  ini, maka  dapat  dihitung  energi  microwave  pada  panjang gelombang  sebesar  122  mm  dari  titik  magnetron (lubang pada  waveguide)  dan  berikut  beberapa  parameter  yang diperoleh:
m w =   1 gram m c =   0,5 gram c w =   1
kal/gr o C c c
=   0,2 kal/gr o C T i =   30
o C T f =   54
o C t =   20
sekon
maka, energi yang diserap pada air adalah
Berdasarkan  hasil  di  atas,  dapat  diasumsikan  bahwa jumlah  energi  yang  terabsorbsi  ke  elektroda  untuk membangkitkan  plasma  dalam  cairan  sebesar  4,6  Watt. Jumlah  energi  tersebut  hanya  1%  dari  jumlah  energi output  magnetron  sebesar  400  Watt.  Oleh  karena  itu, dibutuhkan pengembangan lebih lanjut untuk mengotimalkan energi output magnetron.

## IV. KESIMPULAN
Alat  pembangkit  2,45  GHz  microwave  plasma  ini terdiri dari 3 komponen utama yakni microwave oven 400 watt,  pengarah  gelombang  WG8  dan  reaktor  plasma kapasitas  342  ml.  Pengujian  alat  pembangkit  2,45  GHz microwave  plasma  dapat  membangkitkan  plasma  secara konstan dalam cairan air destilasi, air laut dan limbah cair X-Ray  pada  kondisi  tekanan  vakum  sebesar  7  kPa. Variasi tekanan vakum sangat mempengaruhi waktu yang dibutuhkan  untuk  membangkitkan  plasma  dimana semakin besar tekanan vakumnya (semakin kecil tekanan) maka  semakin  cepat  waktu  yang  dibutuhkan  untuk membangkitkan plasma. Untuk tekanan 1 atm, pembangkitan  plasma  dalam  air  destilasi  membutuhkan waktu 9.43 menit. Adapun tujuan dibangkitkannya plasma dalam  cairan  adalah  sebagai  dasar  acuan  untuk memproduksi energi gas dari cairan dan nanomaterial.

## UCAPAN TERIMA KASIH
Terima kasih disampaikan kepada Universitas Borneo Tarakan  yang  telah  memberikan  bantuan  dana  DIPA dalam penelitian ini.

## REFERENSI
[1] S. Nomura et al., “Discharge characteristics of microwave and  high-frequency  in-liquid  plasma  in  water,”  Appl. Phys. Express, vol. 1, no. 4, pp. 0460021–0460023, 2008, doi: 10.1143/APEX.1.046002.
[2] A.  F.  Yong  Yang,  Young  I.  Cho,  Plasma  Discharge  in Liquid: Water Treatment and Applications. 2012.
[3] G. Saito and T. Akiyama, “Nanomaterial Synthesis Using Plasma  Generation  in  Liquid,”  J.  Nanomater.,  vol.  2015, 2015, doi: 10.1155/2015/123696.
[4] S. Horikoshi and N. Serpone, “In-liquid plasma: A novel tool  in  the  fabrication  of  nanomaterials  and  in  the treatment of wastewaters,” RSC Adv., vol. 7, no. 75, pp. 47196–47218, 2017, doi: 10.1039/c7ra09600c.
[5] A. Varade, A. Krishna, K. N. Reddy, M. Chellamalai, and P. V. Shashikumar, “Diamond-like Carbon Coating Made by RF Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition for Protective  Antireflective  Coatings  on  Germanium,” Procedia  Mater.  Sci.,  vol.  5,  pp.  1015–1019,  2014,  doi: 10.1016/j.mspro.2014.07.390.
[6] M. Nur, Plasma Physics and Aplications. 2011.
[7] Y. Yang, Y. I. Cho, and A. Fridman, “Plasma Discharge in Water  and  Its  Application  for  Industrial  Cooling  Water Treatment,”  no.  June,  p.  30,  2011,  [Online].  Available: https://studylib.net/doc/18261981/plasma-discharge-in- water-and-its-application-for.
[8] F.  F.  Chen,  “Radiofrequency  Plasma  Sources  for Semiconductor  Processing,”  Adv.  Plasma  Technol.,  pp. 99–115, 2008, doi: 10.1002/9783527622184.ch6.
[9] A.  Ryane,  A.  Oktiawan,  W.  Syakur,  “Penggunaan Teknologi  Plasma  Dalam  Mengurangi  Kandungan  BOD Pada Limbah Minuman Ringan,” pp. 1–6, 2013.
[10]  N.  Amaliyah,  S.  Mukasa,  S.  Nomura,  H.  Toyota,  and  T. Kitamae,  “Plasma  in-liquid  method  for  reduction  of  zinc oxide in zinc nanoparticle synthesis,” Mater. Res. Express, vol.  2,  no.  2,  p.  25004,  2015,  doi:  10.1088/2053- 1591/2/2/025004.
[11]  C.  Chaichumporn,  P.  Ngamsirijit,  N.  Boonklin,  K. Eaiprasetsak,  and  M.  Fuangfoong,  “Design  and Construction of 2 . 45 GHz Microwave Plasma Source at Atmospheric  Pressure,”  vol.  8,  pp.  94–100,  2011,  doi: 10.1016/j.proeng.2011.03.018.
[12]  A.  Erwin  and  E.  Putra,  “Produksi  Bahan  Bakar  Gas Melalui Dekomposisi Bioetanol,” no. Snttm Xiii, pp. 15– 16, 2014.
[13]  A.  E.  E.  Putra,  S.  Nomura,  S.  Mukasa,  and  H.  Toyota, “Hydrogen  production  by  radio  frequency  plasma stimulation in  methane  hydrate  at  atmospheric  pressure,” Int.  J.  Hydrogen  Energy,  vol.  37,  no.  21,  pp.  16000– 16005, 2012, doi: 10.1016/j.ijhydene.2012.07.099.
[14]  Sanyo, INSTRUCTION MANUAL EM-S105AW / AS. .
[15]  M.  R.  Hidayat,  M.  H.  Zamzam,  and  S.  U.  Prini, “Excitation  Analysis  of  Transverse  Electric  Mode Rectangular  Waveguide,”  J.  Elektron.  dan  Telekomun., vol. 20, no. 1, p. 1, 2020, doi: 10.14203/jet.v20.1-8.
[16]  S.  Horikoshi  and  N.  Serpone,  “In-liquid  plasma:  A novel tool  in  the  fabrication  of  nanomaterials  and  in  the treatment of wastewaters,” RSC Adv., vol. 7, no. 75, pp. 47196–47218, 2017, doi: 10.1039/c7ra09600c.
[17]  S.  Horikoshi,  S.  Sawada,  S.  Sato,  and  N.  Serpone, “Microwave-Driven  In-liquid  Plasma  in  Chemical  and Environmental Applications. III. Examination of Optimum Microwave  Pulse  Conditions  for  Prolongation  of Electrode Lifetime, and Application to Dye-Contaminated Wastewater,” Plasma Chem. Plasma Process., vol. 39, no. 1, pp. 51–62, 2019, doi: 10.1007/s11090-018-9935-x.